特開 2024-107877 リング型照明装置及び検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024107877

(43)【公開日】2024-08-09

(54)【発明の名称】リング型照明装置及び検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/84 20060101AFI20240802BHJP

   G01N 21/956 20060101ALI20240802BHJP

【ＦＩ】

G01N21/84 E

G01N21/956 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023012045

(22)【出願日】2023-01-30

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】301014904

【氏名又は名称】東レエンジニアリング先端半導体ＭＩテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】弁理士法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】村田 浩之

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA51

2G051AB01

2G051AB02

2G051BB02

2G051BB07

2G051BB09

(57)【要約】

【課題】暗視野観察用のリング型照明装置に関して、被検査対象の対象領域に対する光の照射密度向上と明るさバラツキ抑制とを両立する。
【解決手段】リング型照明装置２は、被検査対象Ｗにおける対象領域Ａに対して暗視野観察をする。リング型照明装置２は、リング状のリング部材１０を備える。リング部材１０は、中心穴１２が対象領域Ａに臨むように且つ円周部１１が対象領域Ａよりも外周側にあるように配置される。円周部１１には、円周部１１の全周に亘って配置され且つ対象領域Ａに対して光Ｌが斜めに出射される出射口１３が設けられる。出射口１３と対象領域Ａとの間には、光Ｌをリング部材１０の周方向に拡散する光学素子２０，２１が設けられる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査対象における対象領域に対して暗視野観察をするリング型照明装置であって、
リング状のリング部材を備え、
前記リング部材は、中心穴が前記対象領域に臨むように且つ円周部が前記対象領域よりも外周側にあるように配置され、
前記円周部には、前記円周部の全周に亘って配置され且つ前記対象領域に対して光が斜めに出射される出射口が設けられており、
前記出射口と前記対象領域との間には、前記光を前記リング部材の周方向に拡散する光学素子が設けられている、リング型照明装置。

【請求項2】

請求項１に記載のリング型照明装置であって、
前記光学素子は、前記出射口と前記対象領域との間に全周に亘って配置されたリング状の拡散板である、リング型照明装置。

【請求項3】

請求項１に記載のリング型照明装置であって、
前記出射口は、前記円周部の全周に亘って複数点在しており、
複数の前記出射口と前記対象領域との間には、前記光学素子としての複数のシリンドリカルレンズが設けられている、リング型照明装置。

【請求項4】

請求項１に記載のリング型照明装置と、
前記中心穴を通じて前記対象領域に臨むカメラと、を備え、
前記カメラで撮像された前記対象領域の撮像画像に基づいて前記被検査対象を検査する、検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、リング型照明装置及び検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１に示すように、被検査対象における対象領域に対して暗視野観察をするリング型照明装置が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０－１２７８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このようなリング型照明装置は、リング部材を備える。リング部材は、円周部が被検査対象の対象領域よりも外周側にあるように且つ中心穴が被検査対象の対象領域に臨むように、配置される。リング部材の円周部には、全周に亘って出射口が配置されている。出射口からは、被検査対象の対象領域に対して光が斜めに出射される。

【0005】

リング部材の中心穴を通じて被検査対象の対象領域に対して、カメラが臨んでいる。カメラと被検査対象との間には、対物レンズが配置されている。カメラの視野は、被検査対象の対象領域に対応している。

【0006】

リング部材の円周部の出射口から出射された光は、被検査対象の対象領域に対して斜めに照射される。被検査対象の対象領域における欠陥の存在しない非欠陥部に照射された光は、そのまま斜めに鏡面反射（正反射）されて、カメラの視野外に抜けていく。

【0007】

一方、被検査対象の対象領域における欠陥の存在する欠陥部に照射された光は、拡散反射される（散乱する）。拡散反射された光の一部は、リング部材の中心穴を通じて、対物レンズを介してカメラの視野内に捉えられる。

【0008】

ここで、リング部材の円周部の出射口から出射された光が、被検査対象の対象領域に対して外周側から斜めに照射されるので、被検査対象の対象領域に照射される光は、リング部材の半径方向に長軸を持つ略楕円形状となってしまう（被検査対象の対象領域に照射される光は、リング部材の周方向に短軸を持つ略楕円形状となってしまう）。

【0009】

略楕円形状の光の長軸を被検査対象の対象領域（カメラの視野）に合せた場合、全周の各出射口から出射されて被検査対象の対象領域に対して照射される各光の照射範囲が、対象領域にほぼ一致するので、対象領域に対する光の照射密度を高めることができる。

【0010】

しかしながら、光の長軸を対象領域に合せた場合、全周の各出射口から出射されて被検査対象の対象領域に対して照射される各光は、対象領域の中央部のみで互いに重り合うため、対象領域において光の明るさのバラツキが生じてしまう。具体的には、対象領域の中央部において各光が密になって明るくなる一方、対象領域の外周部において各光が疎になって暗くなる。

【0011】

一方、略楕円形状の光の短軸を被検査対象の対象領域（カメラの視野）に合せた場合、全周の各出射口から出射されて被検査対象の対象領域に対して照射される各光は、対象領域のほぼ全域において互いに重なり合うため、対象領域において光の明るさのバラツキを抑制することができる。

【0012】

しかしながら、光の短軸を対象領域に合せた場合、全周の各出射口から出射されて被検査対象の対象領域に対して照射される各光の照射範囲が、対象領域よりも外側にはみ出てしまうので、対象領域に対する光の照射密度が低減してしまう。

【0013】

本開示は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、暗視野観察用のリング型照明装置に関して、被検査対象の対象領域に対する光の照射密度向上と明るさバラツキ抑制とを両立することにある。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本開示に係るリング型照明装置は、被検査対象における対象領域に対して暗視野観察をするリング型照明装置であって、リング状のリング部材を備え、前記リング部材は、中心穴が前記対象領域に臨むように且つ円周部が前記対象領域よりも外周側にあるように配置され、前記円周部には、前記円周部の全周に亘って配置され且つ前記対象領域に対して光が斜めに出射される出射口が設けられており、前記出射口と前記対象領域との間には、前記光を前記リング部材の周方向に拡散する光学素子が設けられている。

【0015】

リング部材の円周部の各出射口から出射された光が、被検査対象の対象領域に対して外周側から斜めに照射されるので、仮に光学素子が無い場合、被検査対象の対象領域に照射される光は、リング部材の半径方向に長軸を持つ略楕円形状となってしまう（リング部材の周方向に短軸を持つ略楕円形状となってしまう）。

【0016】

リング部材の円周部の各出射口と被検査対象の対象領域との間に配置された光学素子は、各出射口から出射された光を、リング部材の周方向に拡散する（周方向に延ばす）。このため、被検査対象の対象領域に照射される光は、リング部材の半径方向及び周方向に亘ってほぼ均等な略円形状となる。

【0017】

このような略円形状の光における任意の外径を被検査対象の対象領域に合せると、全周の各出射口から出射されて被検査対象の対象領域に対して照射される各光は、その照射範囲が対象領域にほぼ一致するとともに、対象領域のほぼ全域において互いに重なり合う。

【0018】

これにより、リング型照明装置を用いて被検査対象における対象領域に対して暗視野観察をするにあたって、対象領域に対する光の照射密度を高めることができるとともに、対象領域において光の明るさのバラツキを抑制することができる。

【0019】

以上、暗視野観察用のリング型照明装置に関して、被検査対象の対象領域に対する光の照射密度向上と明るさバラツキ抑制とを両立することができる。

【0020】

一実施形態では、前記光学素子は、前記出射口と前記対象領域との間に全周に亘って配置されたリング状の拡散板である。

【0021】

かかる構成によれば、光学素子としてリング状の拡散板を用いることによって、リング部材の円周部において多数の出射口を全周に亘って隙間なく配置することができる。

【0022】

一実施形態では、前記出射口は、前記円周部の全周に亘って複数点在しており、複数の前記出射口と前記対象領域との間には、前記光学素子としての複数のシリンドリカルレンズが設けられている。

【0023】

かかる構成によれば、光学素子として複数のシリンドリカルレンズを用いることによって、リング状の拡散板を用いた場合と同等の効果を得ることができる。

【0024】

一実施形態では、前記リング型照明装置と、前記中心穴を通じて前記対象領域に臨むカメラと、を備え、前記カメラで撮像された前記対象領域の撮像画像に基づいて前記被検査対象を検査する。

【0025】

かかる構成によれば、光学素子を備えるリング型照明装置によって、対象領域に対する光の照射密度が高められ且つ対象領域における光の明るさのバラツキが抑制されているので、検査装置にてカメラで撮像された対象領域の撮像画像に基づいて被検査対象を検査した場合における検査精度を向上させることができる。

【発明の効果】

【0026】

本開示によれば、暗視野観察用のリング型照明装置に関して、被検査対象の対象領域に対する光の照射密度向上と明るさバラツキ抑制とを両立することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】図１は、本開示の一実施形態に係るリング型照明装置を備える検査装置を正面断面図で示す。

【図2】図２は、リング型照明装置を平面図で示す。

【図3】図３は、暗視野観察の概念を示す。

【図4】図４は、リング型照明装置を正面断面図で示す。

【図5】図５は、リング型照明装置を底面図で示す。

【図6】図６は、拡散板を備えるリング型照明装置を用いた場合に被検査対象の対象領域に照射される光を示す。

【図7】図７は、被検査対象の対象領域での各光の重なり合いを示す。

【図8】図８は、その他の実施形態に係るリング型照明装置を正面断面図で示す。

【図9】図９は、その他の実施形態においてシリンドリカルレンズを備えるリング型照明装置を用いた場合に被検査対象の対象領域に照射される光を示す。

【図10】図１０は、従来技術に係るリング型照明装置を正面断面図で示す。

【図11】図１１は、従来技術に係るリング型照明装置を用いた場合に被検査対象の対象領域に照射される光を示す。

【図12】図１２は、従来技術において略楕円形状の光の長軸を被検査対象の対象領域に合せた場合における対象領域での各光の重なり合いを示す。

【図13】図１３は、従来技術において略楕円形状の光の短軸を被検査対象の対象領域に合せた場合における対象領域での各光の重なり合いを示す。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本開示の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物あるいはその用途を制限することを意図するものでは全くない。

【0029】

（リング型照明装置）
本開示の一実施形態に係る検査装置１を正面断面図で示す。図２は、リング型照明装置２を平面図で示す。図１に示すように、検査装置１は、リング型照明装置２と、カメラ３と、対物レンズ４と、を備える。

【0030】

リング型照明装置２は、被検査対象Ｗにおける対象領域Ａに対して暗視野観察をするためにある。被検査対象Ｗは、例えば半導体基板の表面である。対象領域Ａは、被検査対象Ｗに区画されている。本実施形態では、対象領域Ａは、四角形状である。

【0031】

図２に示すように、リング型照明装置２は、リング状のリング部材１０を備える。リング部材１０は、円周部１１が被検査対象Ｗの対象領域Ａよりも外周側にあるように且つ中心穴１２が被検査対象Ｗの対象領域Ａに臨むように、配置される。リング部材１０は、例えば金属や樹脂などで形成されている。

【0032】

図２に示すように、リング部材１０の円周部１１の内周側には、複数の出射口１３が設けられている。各出射口１３は、円周部１１の全周に亘って配置されている。なお、図２では簡単のため複数の出射口１３が全周に亘って点在しているように見えるが、実際のところ、多数の出射口１３が全周に亘って隙間なく配置されている。多数の出射口１３は、全周に亘るリング状の１つの出射口を構成しているともいえる（図５参照）。

【0033】

図１，２に示すように、各出射口１３からは、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して光Ｌが斜めに出射される。各出射口１３からの光Ｌの出射方向は、リング部材１０の軸方向及び半径方向に対して斜めである。具体的には、リング部材１０の円周部１１の内周部における被検査対象Ｗ側の部分１１ａは、リング部材１０の軸方向及び半径方向に対して斜めになっている（以下「傾斜部１１ａ」という）。出射口１３は、傾斜部１１ａに設けられている。また、各出射口１３からの光Ｌの出射方向は、被検査対象Ｗ（例えば基板の表面）の延びる方向に対して斜めである。

【0034】

図１に示すように、複数の光ファイバ１４が、リング部材１０の円周部１１内の空洞１５を通じて全周に亘って巡らされている。各光ファイバ１４は、各出射口１３に至っている。リング部材１０の円周部１１における外周部の一端部には、導入ダクト１６が設けられている。各光ファイバ１４は、導入ダクト１６を介して円周部１１内の空洞１５に導入されている。円周部１１内の空洞１５と各出射口１３との間の内周壁部には、リング部材１０の軸方向及び半径方向に対して斜めに延びた孔１７が貫通している。このような斜めに延びて各出射口１３に連続する孔１７は、ライトガイドとも呼ばれる。

【0035】

なお、図１に示すように、リング型照明装置２は、光学素子としての拡散板２０を備える。拡散板２０の詳細については、後述する。

【0036】

図１に示すように、カメラ３は、リング部材１０の中心穴１２を通じて、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して臨んでいる。対物レンズ４は、カメラ３と被検査対象Ｗとの間に配置されている。カメラ３の視野は、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対応している。

【0037】

図３は、暗視野観察の概念を示す。なお、図３において簡単のため、リング型照明装置２の図示を省略する。上述したように、リング部材１０の円周部１１の各出射口１３から出射された光Ｌは、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して斜めに照射される。被検査対象Ｗの対象領域Ａにおける欠陥Ｘの存在しない非欠陥部Ｗａに照射された光Ｌは、そのまま斜めに鏡面反射（正反射、実線参照）されて、カメラ３の視野外に抜けていく。

【0038】

一方、被検査対象Ｗの対象領域Ａにおける欠陥Ｘの存在する欠陥部Ｗｂに照射された光Ｌは、拡散反射（散乱、破線参照）される。拡散反射された光Ｌの一部は、リング部材１０の中心穴１２を通じて、対物レンズ４を介してカメラ３の視野内に捉えられて、カメラ３で撮像される。

【0039】

検査装置１は、カメラ３で撮像された被検査対象Ｗの対象領域Ａの撮像画像に基づいて、被検査対象Ｗを検査する。検査装置１は、例えば、被検査対象Ｗに形成された欠陥Ｘを検出する。

【0040】

なお、欠陥Ｘとして、例えば、異物、傷、エッジリンス不良、スルーホール異常、塗膜ムラ、剥がれ、スクラッチ、ボンディングパッド異常、色ムラ、パターン異常、染み、変色、変形、などがある。

【0041】

（従来技術の問題点）
従来技術に係るリング型照明装置２’の問題点について説明する。図１０は、従来技術に係るリング型照明装置２’を正面断面図で模式的に示す。図１１は、従来技術に係るリング型照明装置２’を用いた場合に被検査対象Ｗの対象領域Ａに照射される光Ｌを示す。なお、図１１において、上は平面図、下は正面図、中央は平面図に対して対象領域Ａを重ねた図である。

【0042】

図１０に示すように、従来技術に係るリング型照明装置２’は、本実施形態に係るリング型照明装置２とは異なり、拡散板２０（図１参照）を備えない。

【0043】

従来技術に係るリング型照明装置２’では、図１１に示すように、リング部材１０の円周部１１の出射口１３から出射された光Ｌが、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して外周側から斜めに照射される。このため、被検査対象Ｗの対象領域Ａに照射される光Ｌは、リング部材１０の半径方向に長軸Ｒを持つ略楕円形状となってしまう。換言すると、被検査対象Ｗの対象領域Ａに照射される光Ｌは、リング部材１０の周方向に短軸Ｔを持つ略楕円形状となってしまう。なお、略楕円形状には、扁平の多角形状（例えば長方形状）も含まれ得る。

【0044】

図１２は、従来技術において略楕円形状の光Ｌの長軸Ｒを被検査対象Ｗの対象領域Ａに合せた場合における対象領域Ａでの各光Ｌの重なり合いを示す。図１２において、左は１つの出射口１３から出射される光Ｌと対象領域Ｌとの関係を示し、右は全周の各出射口１３から出射される光Ｌの対象領域Ｌにおける重なり合いを示す。

【0045】

略楕円形状の光Ｌの長軸Ｒを被検査対象Ｗの対象領域Ａ（カメラ３の視野）に合せた場合、全周の各出射口１３から出射されて被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して照射される各光Ｌの照射範囲Ｈは、対象領域Ａにほぼ一致する。このため、対象領域Ａに対する光Ｌの照射密度を高めることができる。

【0046】

しかしながら、光Ｌの長軸Ｒを対象領域Ａに合せた場合、全周の各出射口１３から出射されて被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して照射される各光Ｌは、対象領域Ａの中央部のみで互いに重り合う。このため、対象領域Ａにおいて光Ｌの明るさのバラツキが生じてしまう。具体的には、対象領域Ａの中央部において各光Ｌが密になって明るくなる一方、対象領域Ａの外周部において各光Ｌが疎になって暗くなる。

【0047】

図１３は、従来技術において略楕円形状の光Ｌの短軸Ｔを被検査対象Ｗの対象領域Ａに合せた場合における対象領域Ａでの各光Ｌの重なり合いを示す。図１３における左右の図の関係は、図１２と同様である。

【0048】

略楕円形状の光Ｌの短軸Ｔを被検査対象Ｗの対象領域Ａ（カメラ３の視野）に合せた場合、全周の各出射口１３から出射されて被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して照射される各光Ｌは、対象領域Ａのほぼ全域において互いに重なり合う。このため、対象領域Ａにおいて光Ｌの明るさのバラツキを抑制することができる。

【0049】

しかしながら、光Ｌの短軸Ｔを対象領域Ａに合せた場合、全周の各出射口１３から出射されて被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して照射される各光Ｌの照射範囲Ｈは、対象領域Ａよりも外側にはみ出てしまう。このため、対象領域Ａに対する光Ｌの照射密度が低減してしまう。

【0050】

このように、従来技術では、暗視野観察用のリング型照明装置２’に関して、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対する光Ｌの照射密度向上と明るさバラツキ抑制とを両立することが、困難であった。

【0051】

（拡散板）
本実施形態に係るリング型照明装置２は、拡散板２０を備えることによって、上記問題を解決する。図４は、リング型照明装置２を正面断面図で示す。図５は、リング型照明装置２を底面図で示す。

【0052】

図４に示すように、拡散板２０は、各出射口１３と被検査対象Ｗの対象領域Ａとの間に、設けられている。拡散板２０は、リング状である。図５に示すように、リング状の拡散板２０は、各出射口１３と被検査対象Ｗの対象領域Ａとの間に、全周に亘って配置されている。

【0053】

拡散板２０は、半径方向を厚み方向とする板状でもある。図４に示すように、正面視において、拡散板２０は、被検査対象Ｗ側（下側）に長辺を持ち且つ被検査対象Ｗとは反対側（上側、カメラ３側）に短辺を持つ、台形状でもある。リング部材１０の円周部１１の内周部における被検査対象Ｗ側（下側）の傾斜部１１ａには、拡散板２０の外周部が接している。傾斜部１１ａに設けられた出射口１３は、拡散板２０に覆われている。

【0054】

図６は、拡散板２０を備えるリング型照明装置２を用いた場合に被検査対象Ｗの対象領域Ａに照射される光Ｌを示す。なお、図６において、上は平面図、下は正面図、中央は平面図に対して対象領域Ａを重ねた図である。拡散板２０は、各出射口１３から出射された光Ｌを、リング部材１０の周方向（接線方向、図６の矢印Ｂ参照）のみに拡散する。拡散板２０は、各出射口１３から出射された光Ｌを、リング部材１０の半径方向には拡散しない。

【0055】

（作用効果）
リング部材１０の円周部１１の各出射口１３から出射された光Ｌは、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して外周側から斜めに照射される。このため、従来技術に係るリング型照明装置２’（図１０～１３参照）では、拡散板（光学素子）２０が無いので、被検査対象Ｗの対象領域Ａに照射される光Ｌは、リング部材１０の半径方向に長軸Ｒを持つ略楕円形状となってしまう（リング部材１０の周方向に短軸Ｔを持つ略楕円形状となってしまう）。

【0056】

本実施形態に係るリング型照明装置２では、図６に示すように、リング部材１０の円周部１１の各出射口１３と被検査対象Ｗの対象領域Ａとの間に配置された拡散板（光学素子）２０は、各出射口１３から出射された光Ｌを、リング部材１０の周方向に拡散する（周方向に延ばす）。このため、被検査対象Ｗの対象領域Ａに照射される光Ｌは、リング部材１０の半径方向及び周方向に亘ってほぼ均等な略円形状となる。なお、略円形状には、縦横比がほぼ同じ正多角形状（例えば正方形状）も含まれる。

【0057】

図７は、被検査対象Ｗの対象領域Ａでの各光Ｌの重なり合いを示す。図７において、左は１つの出射口１３から出射される光Ｌと対象領域Ｌとの関係を示し、右は全周の各出射口１３から出射される光Ｌの対象領域Ｌにおける重なり合いを示す。

【0058】

このような略円形状の光Ｌにおける任意の外径Ｄを被検査対象Ｗの対象領域Ａに合せると、全周の各出射口１３から出射されて被検査対象Ｗの対象領域Ａに対して照射される各光Ｌは、その照射範囲Ｈが対象領域Ａにほぼ一致するとともに、対象領域Ａのほぼ全域において互いに重なり合う。

【0059】

これにより、リング型照明装置２を用いて被検査対象Ｗにおける対象領域Ａに対して暗視野観察をするにあたって、対象領域Ａに対する光Ｌの照射密度を高めることができるとともに、対象領域Ａにおいて光Ｌの明るさのバラツキを抑制する（均一性を高める）ことができる。

【0060】

以上、暗視野観察用のリング型照明装置２に関して、被検査対象Ｗの対象領域Ａに対する光Ｌの照射密度向上と明るさバラツキ抑制とを両立することができる。

【0061】

光学素子としてリング状の拡散板２０を用いることによって、リング部材１０の円周部１１において多数の出射口１３を全周に亘って隙間なく配置することができる。

【0062】

拡散板（光学素子）２０を備えるリング型照明装置２によって、対象領域Ａに対する光Ｌの照射密度が高められ且つ対象領域Ａにおける光Ｌの明るさのバラツキが抑制されているので、検査装置１にてカメラ３で撮像された対象領域Ａの撮像画像に基づいて被検査対象Ｗを検査した場合における検査精度を向上させることができる。

【0063】

（その他の実施形態）
図８は、その他の実施形態に係るリング型照明装置２を正面断面図で示す。図９は、その他の実施形態においてシリンドリカルレンズ２１を備えるリング型照明装置２を用いた場合に被検査対象Ｗの対象領域Ａに照射される光Ｌを示す。なお、図９において、上は平面図、下は正面図ある。

【0064】

図８に示すように、この実施形態に係るリング型照明装置２では、出射口１３は、リング部材１０の円周部１１の全周に亘って複数点在している。複数の出射口１３は、周方向に互いに間隔を空けて配置されている。周方向に隣り合う出射口１３同士の間には、隙間がある。

【0065】

図８に示すように、リング型照明装置２は、光学素子としての複数のシリンドリカルレンズ２１を備える。複数のシリンドリカルレンズ２１は、複数の出射口１３に対応するように、周方向に互いに間隔を空けて配置されている。周方向に隣り合うシリンドリカルレンズ２１同士の間には、隙間がある。複数のシリンドリカルレンズ２１は、複数の出射口１３と被検査対象Ｗの対象領域Ａとの間に、設けられている（配置されている）。

【0066】

図９に示すように、シリンドリカルレンズ２１の内周側部分は、平面視において外周側に凹んでいる。各シリンドリカルレンズ２１は、各出射口１３から出射された光Ｌを、リング部材１０の周方向（図９の矢印Ｂ参照）のみに拡散する。各シリンドリカルレンズ２１は、各出射口１３から出射された光Ｌを、リング部材１０の半径方向には拡散しない。

【0067】

この実施形態によれば、光学素子として複数のシリンドリカルレンズ２１を用いることによって、リング状の拡散板２０を用いた場合と同等の効果を得ることができる。

【0068】

以上、本開示を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。

【0069】

光学素子（拡散板２０、シリンドリカルレンズ２１）は、各出射口１３から出射された光Ｌを、リング部材１０の半径方向に多少拡散しても差し支えない。すなわち、光学素子２０，２１による周方向への光Ｌの拡散量が、光学素子２０，２１による半径方向への光Ｌの拡散量よりも、大きければよい。光学素子は、拡散板２０及びシリンドリカルレンズ２１に限定されず、各出射口１３から出射された光Ｌをリング部材１０の周方向に拡散するのであれば、いかなる構成でもよい。

【0070】

被検査対象Ｗは、半導体基板に限定されず、例えば、ガラスや金属や樹脂その他でもよく、また板材でなくてもよい。対象領域Ａは、四角形状ではなく、例えば円形状などもよい。

【産業上の利用可能性】

【0071】

本開示は、リング型照明装置及び検査装置に適用できるので、極めて有用であり、産業上の利用可能性が高い。

【符号の説明】

【0072】

Ｗ 被検査対象
Ａ 対象領域
Ｌ 光
Ｘ 欠陥
Ｒ 長軸
Ｔ 短軸
Ｈ 照射範囲
Ｄ 外径
１ 検査装置
２ リング型照明装置
３ カメラ
４ 対物レンズ
１０ リング部材
１１ 円周部
１２ 中心穴
１３ 出射口
１４ 光ファイバ
１７ ライトガイド（孔）
２０ 拡散板（光学素子）
２１ シリンドリカルレンズ（光学素子）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】