特開 2024-108270 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024108270

(43)【公開日】2024-08-13

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240805BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023012551

(22)【出願日】2023-01-31

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA53

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA07

5F131EB66

5F131EC34

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC66

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC72

5F131EC73

5F131EC77

(57)【要約】

【課題】被着体に貼付された接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が当該被着体から剥がれ易くなることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】供給される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するシート貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方に、当該接着シートＡＳと当該被着体ＷＫとを掴んで留めておく留め具ＣＬを取り付ける留め具取付手段４０をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

供給される接着シートを被着体に貼付するシート貼付手段を備えたシート貼付装置において、
前記被着体に貼付された前記接着シートの供給方向先端部および供給方向後端部の少なくとも一方に、当該接着シートと当該被着体とを掴んで留めておく留め具を取り付ける留め具取付手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記シート貼付手段は、前記被着体の所定の一面から前記接着シートの一部がはみ出したはみ出し領域が形成されるように、当該接着シートを前記一面に貼付する第１貼付手段と、前記はみ出し領域を前記被着体の別の面方向に折り曲げて貼付する第２貼付手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記接着シートは、硬化エネルギーによって硬化可能に設けられ、
前記被着体に貼付された前記接着シートに前記硬化エネルギーを付与し、当該接着シートを硬化させる硬化エネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

供給される接着シートを被着体に貼付するシート貼付工程を実施するシート貼付方法において、
前記被着体に貼付された前記接着シートの供給方向先端部および供給方向後端部の少なくとも一方に、当該接着シートと当該被着体とを掴んで留めておく留め具を取り付ける留め具取付工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）に貼付された保護テープ（接着シート）は、当該接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が被着体から剥がれ易くなるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、被着体に貼付された接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が当該被着体から剥がれ易くなることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、被着体に貼付された接着シートの供給方向先端部および供給方向後端部の少なくとも一方に留め具を取り付けるので、当該被着体に貼付された接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が当該被着体から剥がれ易くなることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｈ）は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。（Ｉ）～（Ｎ）は、本発明のシート貼付装置に係る変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。図１（Ｄ）の実線は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。図１（Ｄ）の二点鎖線は、図１（Ａ）のＤＲ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付方法を実施するシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するシート貼付工程を実施するシート貼付手段２０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに硬化エネルギーとしての紫外線ＵＶを付与し、当該接着シートＡＳを硬化させる硬化エネルギー付与工程を実施する硬化エネルギー付与手段３０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方に、当該接着シートＡＳと当該被着体ＷＫとを掴んで留めておく留め具ＣＬを取り付ける留め具取付工程を実施する留め具取付手段４０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送工程を実施する被着体搬送手段５０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、変形エネルギーとしての熱によって変形可能、且つ、硬化エネルギーとしての紫外線ＵＶによって硬化可能なものが採用されている。具体的には、接着シートＡＳは、図１（Ａ）中ＣＣを付した図に示すように、熱によって変形する基材ＢＳと、紫外線ＵＶによって硬化する接着剤層ＡＬとを備えている。

【0012】

シート貼付手段２０は、被着体ＷＫの所定の一面としての外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨ（図１（Ｂ）参照）が形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２１と、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の両方向に折り曲げて貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段２２とを備えている。
第１貼付手段２１は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ２１Ａを備え、接着シートＡＳを、接着面（接着剤層ＡＬの表出面）が内側となる筒環状にしつつ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付するようになっている。
第２貼付手段２２は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した変形エネルギーとしての熱である熱風ＨＡをはみ出し領域ＡＳＨに吹き付け、当該はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げる変形エネルギー付与工程を実施する変形エネルギー付与手段としての熱風送風機２２Ａと、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第２押圧ローラ２２Ｂ、第３押圧ローラ２２Ｃとを備えている。
なお、第１押圧ローラ２１Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。
また、熱風送風機２２Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付されている接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに、熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている。
さらに、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃは、図１（Ｄ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃは、ＸＹ平面に対し、それぞれ４５度（１３５度）、１８０度（０度）の角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0013】

硬化エネルギー付与手段３０は、発光ダイオードや紫外線発光ランプ等の図示しない紫外線発光機器で発光した紫外線を照射する紫外線照射機３１を備えている。
なお、紫外線照射機３１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに紫外線ＵＶを照射可能な位置に配置されている。

【0014】

留め具取付手段４０は、当該留め具取付手段４０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材４１と、駆動機器としての直動モータ４２と、直動モータ４２の出力軸４２Ａに支持された取付プッシャ４３と、取付プッシャ４３に支持された装填規制ガイド４４と、複数の留め具ＣＬをストック可能なストックプレート４５と、留め具ＣＬを装填位置ＬＰに位置決めする位置決めプレート４６と、付勢手段としてのバネ４７Ａによって留め具ＣＬを位置決めプレート４６に押し付け可能な装填プッシャ４７とを備えている。
本実施形態の留め具ＣＬは、弾性部材としての樹脂によってＵ字形状に構成されたものが採用されている。この留め具ＣＬは、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫにＵ字の開口部ＣＬ１（図１（Ｆ）参照）が押し広げられて取り付けられることで、その弾性復元力によってそれら接着シートＡＳおよび被着体ＷＫを掴んで留めておくことができるようになっている。

【0015】

被着体搬送手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１と、そのスライダ５１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ５２と、その出力軸５２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面５３Ａを有する支持テーブル５３とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル５３は、回動モータ５２によってテーブル中心５３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0016】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットする。また、使用者がバネ４７Ａを押し縮めるように装填プッシャ４７を移動させて保持した状態で、ストックプレート４５間に複数の留め具ＣＬをセットした後、当該装填プッシャ４７の保持を解除する。これにより、先頭の留め具ＣＬがバネ４７Ａの付勢によって位置決めプレート４６に押し付けられ、当該先頭の留め具ＣＬが装填位置ＬＰに位置決めされる。以上の準備が完了すると、使用者が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して、図１（Ａ）に示すように、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

【0017】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心５３Ｃと重なるように、一方の面ＷＫ１を支持面５３Ａ側にして被着体ＷＫを当該支持面５３Ａ上に載置する。すると、被着体搬送手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面５３Ａでの吸着保持を開始する。この際、支持面５３Ａ上に載置された被着体ＷＫは、その右端部が留め具取付手段４０の留め具取付位置に配置されるようになっている。その後、被着体搬送手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心５３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。

【0018】

次に、供給手段１０および被着体搬送手段５０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５２を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、第１押圧ローラ２１Ａによって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧され、当該外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で被着体ＷＫに貼付される。そして、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが熱風送風機２２Ａの熱風吹付領域手前に到達すると、シート貼付手段２０が熱風送風機２２Ａを駆動し、被着体ＷＫに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。次いで、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが熱風送風機２２Ａの熱風吹付領域を通過すると、はみ出し領域ＡＳＨの基材ＢＳが熱風ＨＡによって変形し、図１（Ｃ）に示すように、当該はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。

【0019】

その後も回動モータ４５Ａ、４７Ａ、５２の駆動が続行されると、接着シートＡＳは、図１（Ｄ）に示すように、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃによってはみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されていく。その後、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが紫外線照射機３１の紫外線照射領域手前に到達すると、硬化エネルギー付与手段３０が紫外線照射機３１を駆動し、被着体ＷＫに向けて紫外線ＵＶの照射を開始する。次に、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが紫外線照射機３１の紫外線照射領域を通過すると、はみ出し領域ＡＳＨの接着剤層ＡＬが紫外線ＵＶによって硬化していく。

【0020】

そして、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止し、接着シートＡＳの供給を停止する。次いで、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが熱風吹付領域を通過すると、シート貼付手段２０が熱風送風機２２Ａの駆動を停止し、同供給方向後端部ＡＳＲが紫外線照射領域を通過すると、硬化エネルギー付与手段３０および被着体搬送手段５０が紫外線照射機３１および回動モータ５２の駆動を停止する。これにより、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰが形成される（図１（Ｅ）参照）。なお、本実施形態では、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳは、繰出方向先端部ＡＳＦの上に繰出方向後端部ＡＳＲが覆い被さるように貼付されることで、オーバーラップ部ＡＳＬが形成されるようになっている（図１（Ｅ）参照）。

【0021】

その後、被着体搬送手段５０がリニアモータ５１および回動モータ５２を駆動し、図１（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、支持テーブル５３を初期位置に復帰させるとともに、オーバーラップ部ＡＳＬを留め具取付位置に配置する。次に、留め具取付手段４０が直動モータ４２を駆動し、装填位置ＬＰに位置決めされている先頭の留め具ＣＬを左方に押し出し、図１（Ｇ）、（Ｈ）に示すように、一体物ＵＰの右端部によって開口部ＣＬ１が押し広げられるようにして、当該留め具ＣＬをオーバーラップ部ＡＳＬに取り付ける。これにより、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方に留め具ＣＬが取り付けられる。この際、先頭の留め具ＣＬに続く次の留め具ＣＬは、バネ４７Ａの付勢によって位置決めプレート４６方向に移動するが、装填規制ガイド４４によって装填位置ＬＰに装填されることはない。

【0022】

そして、留め具取付手段４０が直動モータ４２を駆動し、取付プッシャ４３を初期位置に復帰させると、次の留め具ＣＬがバネ４７Ａの付勢によって位置決めプレート４６に押し付けられ、当該次の留め具ＣＬが装填位置ＬＰに位置決めされる。次いで、被着体搬送手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面５３Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が、留め具ＣＬが取り付けられた一体物ＵＰを支持面５３Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0023】

以上のような実施形態によれば、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方に留め具ＣＬを取り付けるので、当該被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲが当該被着体ＷＫから剥がれ易くなることを防止することができる。

【0024】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート貼付手段は、供給される接着シートを被着体に貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0025】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、例えば、他の装置や使用者が接着シートＡＳを供給してもよい。

【0026】

シート貼付手段２０は、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２１と、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１方向のみや、被着体ＷＫの別の面としての他方の面ＷＫ２方向のみに折り曲げて貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段２２とを備えていてもよいし、被着体ＷＫの所定の一面としての一方の面ＷＫ１から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２１と、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向のみや、被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段２２とを備えていてもよいし、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部が一方の面ＷＫ１方向のみにはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２１を採用してもよいし、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部が他方の面ＷＫ２方向のみにはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２１を採用してもよいし、第１貼付手段２１および第２貼付手段２２の少なくとも１つに代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダや多関節ロボット等を採用し、供給される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようにしてもよいし、第１、第２貼付手段２１、２２を採用することなく、例えば、公知のシート貼付装置や第１貼付手段２１と同等の構成のものを採用し、図１（Ｉ）、（Ｌ）、（Ｍ）、（Ｎ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成されないように、接着シートＡＳを被着体ＷＫの一方の面のみや他方の面ＷＫ２のみ等に貼付したり、図１（Ｊ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成されないように、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル５３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、被着体搬送手段５０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、供給される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、図１（Ｉ）、（Ｌ）に示すように、接着面が１つの平面内に位置する平環状にした（平環状にしつつ）接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、平環状にした（平環状にしつつ）接着シートＡＳを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１または他方の面ＷＫ２に貼付し、当該一方の面ＷＫ１または他方の面ＷＫ２からはみ出したはみ出し領域を折り曲げて、当該はみ出し領域を外周面ＷＫ３に貼付したり、外周面ＷＫ３および他方の面ＷＫ２に貼付したりしてもよいし、第１貼付手段２１および第２貼付手段２２の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、筒環状または平環状にした（筒環状または平環状にしつつ）接着シートＡＳを保持部材で保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし（図１（Ｉ）、（Ｊ）、（Ｌ）参照）、図１（Ｍ）、（Ｎ）に示すように、被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付してもよいし、図１（Ｋ）、（Ｌ）に示すように、供給方向先端縁と供給方向後端縁とが接触するように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、図１（Ｍ）、（Ｎ）に示すように、供給方向先端縁と供給方向後端縁との間に隙間が形成されるように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付していてもよいし、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥ以外の例えば中央部に接着シートＡＳを貼付してもよい。
シート貼付手段２０が張力付与手段１７を備えていてもよい。このような場合、接着シートＡＳとして弾性変形が可能なものを採用し、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知し、当該トルクが所定の値となるようにしながら回動モータ１７Ａを駆動して接着シートＡＳを供給する。これにより、内在する弾性復元力によってはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢となり、当該はみ出し領域ＡＳＨが押圧部材および変形エネルギー付与手段の少なくとも一方を介して、一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げられ、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付するようにしたり、押圧部材および変形エネルギー付与手段の両方を介さずに、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付するようにしたりすることができる。このような張力付与手段１７としては、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する張力を使用者が任意に決定したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａを採用し、一定のトルクが接着シートＡＳに加わるようにしたりしてもよい。
第１貼付手段２１は、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによって、はみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように接着シートＡＳを被着体ＷＫの所定の一面に貼付するものが採用されてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
第２貼付手段２２は、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃが上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみまたは、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２ＣがＸＹ平面に対し、それぞれ３０度（１５０度）、１７９度（１度）といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、前記実施形態では、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃの２組の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを２段階で一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付したが、３体または３組以上の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを３段階以上で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したり、１体または１組の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを１段階で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したりしてもよいし、被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された被着体ＷＫに対し、第２押圧ローラ２２Ｂや第３押圧ローラ２２Ｃ等の押圧部材が離間接近してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによって、はみ出したはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面方向に折り曲げて貼付するものが採用されてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
変形エネルギー付与手段は、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを変形させることができるものであればどのような変形エネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに変形エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で変形エネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げてもよいし、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃや他の押圧部材等を介さずに、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ、折り曲げたはみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0027】

硬化エネルギー付与手段３０は、硬化エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを硬化させることができるものであればどのような硬化エネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、例えば、シート貼付手段２０で接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付する前に、当該接着シートＡＳに硬化エネルギーを付与してもよく、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに硬化エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに一括で硬化エネルギーを付与し、当該接着シートＡＳを一括で硬化させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0028】

留め具取付手段４０は、図１（Ｌ）に示した右側の留め具ＣＬのみを取り付けることで、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦのみに、留め具ＣＬを取り付けてもよいし、図１（Ｌ）に示した左側の留め具ＣＬのみを取り付けることで、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのみに、留め具ＣＬを取り付けてもよいし、図１（Ｌ）に示すように、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方それぞれに留め具ＣＬを取り付けてもよいし、図１（Ｋ）、（Ｍ）に示すように、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方に跨るように留め具ＣＬを取り付けてもよいし、図１（Ｍ）、（Ｎ）に示すように、被着体ＷＫに貼付された複数の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方に跨るように留め具ＣＬを取り付けてもよいし、図１（Ｎ）に示した中央部の２つの留め具ＣＬのように、被着体ＷＫに貼付された複数の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方それぞれに留め具ＣＬを取り付けてもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦのみ、または、供給方向後端部ＡＳＲのみに１または複数の留め具ＣＬを取り付けてもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方に、留め具ＣＬが複数重なるように取り付けてもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲ以外の位置に、留め具ＣＬを１つまたは複数取り付けたり、留め具ＣＬが複数重なるように取り付けたりしてもよい。
留め具取付手段４０は、留め具ＣＬの開口部ＣＬ１を広げるエアシリンダや直動モータ等の駆動機器を採用し、当該駆動機器で開口部ＣＬ１を広げた状態で留め具ＣＬを一体物ＵＰに差し込んだ後、留め具ＣＬから駆動機器を取り外すことで、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方に留め具ＣＬを取り付けてもよいし、上記の実施形態で例示した構成のものに代えて、例えば、駆動機器としての多関節ロボットを採用し、当該多関節ロボットの作業部（先端アーム）で保持した留め具ＣＬを一体物ＵＰに差し込むことで、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方に留め具ＣＬを取り付けてもよいし、例えば、特開２０１８－８３３１８号公報に記載の連射式クリップ機や、特開２００１－５９５０５号公報に記載の金属クリップ着脱用器具等を採用しでもよく、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方に留め具ＣＬを取り付けることができるものであれば、どのようなものが採用されてもよい。

【0029】

被着体搬送手段５０は、支持面５３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル５３が採用されてもよいし、リニアモータ５１、回動モータ５２および支持テーブル５３に代えて多関節ロボット等の駆動機器によって、シート貼付手段２０やシート貼付手段２０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳや接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようにしてもよいし、リニアモータ５１、回動モータ５２および支持テーブル５３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを搬送してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0030】

シート貼付装置ＥＡは、複数重ねられた被着体ＷＫに１または複数の接着シートＡＳを貼付し、貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方に留め具ＣＬを取り付けて、複数重ねられた被着体ＷＫを一体化してもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側の少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の付属部材を重ね合わせ、当該被着体ＷＫに１または複数の接着シートＡＳを貼付し、貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの少なくとも一方に留め具ＣＬを取り付けて、それらを一体化してもよい。
次工程は、めっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0031】

接着シートＡＳは、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの少なくとも一方が変形エネルギーによって変形するものであってもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの両方が変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの少なくとも一方が変形エネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
接着シートＡＳは、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの少なくとも一方が硬化エネルギーによって硬化するものであってもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの両方が硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、基材ＢＳおよび接着剤層ＡＬの少なくとも一方が硬化エネルギーによって硬化するものである場合、収縮を伴って硬化したり、膨張を伴って硬化したり、収縮も膨張も伴うことなく硬化したりするものでもよい。
接着シートＡＳは、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等によって変形するものでもよく、どのような変形エネルギーによって変形するものでもよいし、硬化エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等によって硬化するものでもよく、どのような硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形し、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化するものでもよいし、変形エネルギーによって変形せず、且つ、硬化エネルギーによって硬化しないものでもよいし、平面形状が一直線形状、湾曲形状、屈折形状等、どのような形状でもよい。
接着剤層ＡＬは、単体の層で構成されていたり、複数の層で形成されていたり、基材ＢＳを構成する層以外の全ての層で構成されていたり、基材ＢＳを構成する層以外の一部の層で構成されていたりしてもよい。
基材ＢＳは、単体の層で構成されていたり、複数の層で形成されていたり、接着剤層ＡＬを構成する層以外の全ての層で構成されていたり、接着剤層ＡＬを構成する層以外の一部の層で構成されていたりしてもよい。
被着体ＷＫは、他方の面ＷＫ２側に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の付属部材が取り付けられていてもよい。

【0032】

留め具ＣＬは、接着シートＡＳと被着体ＷＫとを掴んで留めておくことができる部材であればどのようなものでもよく、例えば、連射式クリップ、ゼムクリプ、目玉クリップ、ターンクリップ、紙クリップの他、特開２０１８－８３３１８号公報に記載の連射式クリップ機で使用されるクリップ２や、特開２００１－５９５０５号公報に記載の金属クリップ着脱用器具で使用される金属クリップ１等、どのようなものでもよいし、Ｕ字形状以外にコ字形状、Ｖ字形状等、どのような形状でもよいし、弾性部材としての金属、ゴム、紙等で構成されていてもよいし、非弾性部材としての金属、硝子、陶器等で構成されていてもよいし、弾性部材と非弾性部材とが組み合わされた部材で構成されていてもよいし、接着シートＡＳや被着体ＷＫに触れる面に、接着剤（接着剤層）や粘着剤（粘着剤層）が積層されていたり、両面接着シートが接着されていたりしてもよいし、接着シートＡＳや被着体ＷＫに触れる面に、接着剤（接着剤層）や粘着剤（粘着剤層）が積層されておらず、接着シートＡＳや被着体ＷＫから簡単に取り外しができるものでもよいし、接着シートＡＳや被着体ＷＫから取り外し、再度留め具ＣＬとして使用できるものでもよいし、再度留め具ＣＬとして使用できないものでもよい。

【0033】

本発明における接着シートＡＳ、被着体ＷＫ、付属部材および留め具ＣＬの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよび付属部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫおよび付属部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0034】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0035】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0036】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…シート貼付手段
２１…第１貼付手段
２２…第２貼付手段
３０…硬化エネルギー付与手段
４０…留め具取付手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＦ…供給方向先端部
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳＲ…供給方向後端部
ＣＬ…留め具
ＵＶ…紫外線（硬化エネルギー）
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（一面）

【図1】