特開 2024-108321 診断方法、診断装置及び診断システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024108321

(43)【公開日】2024-08-13

(54)【発明の名称】診断方法、診断装置及び診断システム

(51)【国際特許分類】

   G01M 99/00 20110101AFI20240805BHJP

   G01H 17/00 20060101ALI20240805BHJP

【ＦＩ】

G01M99/00 Z

G01H17/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023012630

(22)【出願日】2023-01-31

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】降籏 公司

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 健太

【テーマコード（参考）】

2G024

2G064

【Ｆターム（参考）】

2G024AD34

2G024BA27

2G024CA13

2G024FA04

2G024FA06

2G024FA11

2G064AA11

2G064AB01

2G064AB02

2G064AB22

2G064BA02

2G064BD02

2G064CC41

2G064DD02

(57)【要約】

【課題】ユーザーが装置に起因する振動成分を特定するための診断情報を生成することが可能な診断方法を提供すること。
【解決手段】ダンパーを介して床に設置された装置の稼働時に前記床に配置された第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第１振動情報を算出し、前記装置の稼働時に前記装置に配置された第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第２振動情報を算出し、前記第１振動情報と前記ダンパーの振動伝達率とに基づいて、前記床から前記ダンパーを介して前記装置に伝達する振動を示す基準情報を算出し、前記第２振動情報と前記基準情報とに基づいて、前記装置の振動に関する診断情報を生成する、診断方法。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダンパーを介して床に設置された装置の稼働時に前記床に配置された第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第１振動情報を算出し、
前記装置の稼働時に前記装置に配置された第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第２振動情報を算出し、
前記第１振動情報と前記ダンパーの振動伝達率とに基づいて、前記床から前記ダンパーを介して前記装置に伝達する振動を示す基準情報を算出し、
前記第２振動情報と前記基準情報とに基づいて、前記装置の振動に関する診断情報を生成する、診断方法。

【請求項2】

請求項１において、
前記診断情報として、前記第２振動情報と前記基準情報とを重ねた画像を生成する、診断方法。

【請求項3】

請求項１において、
前記診断情報として、前記第２振動情報と前記基準情報との差を算出する、診断方法。

【請求項4】

請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記装置の非稼働時に前記第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第３振動情報を算出し、
前記装置の非稼働時に前記第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第４振動情報を算出し、
前記第３振動情報と前記第４振動情報とに基づいて、前記振動伝達率を算出する、診断方法。

【請求項5】

ダンパーを介して床に設置された装置の稼働時に前記床に配置された第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第１振動情報を算出する第１振動情報算出部と、
前記装置の稼働時に前記装置に配置された第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第２振動情報を算出する第２振動情報算出部と、
前記第１振動情報と前記ダンパーの振動伝達率とに基づいて、前記床から前記ダンパーを介して前記装置に伝達する振動を示す基準情報を算出する基準情報算出部と、
前記第２振動情報と前記基準情報とに基づいて、前記装置の振動に関する診断情報を生成する診断情報生成部と、
を含む、診断装置。

【請求項6】

請求項５に記載の診断装置と、
表示装置と、を備え、
前記表示装置は、
前記診断情報を表示する、診断システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、診断方法、診断装置及び診断システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、床の振動に基づいて、選択された除振台を床と装置との間に設置した場合の装置に対する制振に係る診断結果を表示する診断システムが記載されている。特許文献１に記載の診断システムによれば、ユーザーは、診断結果に基づいて、選択した除振台を設置した場合に装置に伝達される振動のレベルが許容され得るか否かを判断することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－７１４８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の診断システムは、ユーザーが装置に起因する振動成分を特定するための診断情報を提供することはできない。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係る診断方法の一態様は、
ダンパーを介して床に設置された装置の稼働時に前記床に配置された第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第１振動情報を算出し、
前記装置の稼働時に前記装置に配置された第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第２振動情報を算出し、
前記第１振動情報と前記ダンパーの振動伝達率とに基づいて、前記床から前記ダンパーを介して前記装置に伝達する振動を示す基準情報を算出し、
前記第２振動情報と前記基準情報とに基づいて、前記装置の振動に関する診断情報を生成する。

【0006】

本発明に係る診断装置の一態様は、
ダンパーを介して床に設置された装置の稼働時に前記床に配置された第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第１振動情報を算出する第１振動情報算出部と、
前記装置の稼働時に前記装置に配置された第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第２振動情報を算出する第２振動情報算出部と、
前記第１振動情報と前記ダンパーの振動伝達率とに基づいて、前記床から前記ダンパーを介して前記装置に伝達する振動を示す基準情報を算出する基準情報算出部と、
前記第２振動情報と前記基準情報とに基づいて、前記装置の振動に関する診断情報を生成する診断情報生成部と、
を含む。

【0007】

本発明に係る診断システムの一態様は、
前記診断装置の一態様と、
表示装置と、を備え、
前記表示装置は、
前記診断情報を表示する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】診断システムの構成例を示す図。

【図2】診断システムの他の構成例を示す図。

【図3】第１実施形態の診断装置の構成例を示す図。

【図4】第１実施形態の診断方法の手順の一例を示すフローチャート図。

【図5】第１振動情報の一例を示す図。

【図6】第２振動情報の一例を示す図。

【図7】ダンパーの振動伝達率の一例を示す図。

【図8】基準情報の一例を示す図。

【図9】診断情報の一例を示す図。

【図10】診断情報の他の一例を示す図。

【図11】第２実施形態の診断装置の構成例を示す図。

【図12】第２実施形態の診断方法の手順の一例を示すフローチャート図。

【図13】第３振動情報の一例を示す図。

【図14】第４振動情報の一例を示す図。

【図15】ダンパーの振動伝達率の一例を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

【0010】

１．第１実施形態
１－１．診断システムの構成
図１は、本実施形態の診断システムの構成例を示す図である。また、図２は、本実施形態の診断システムの他の構成例を示す図である。

【0011】

図１及び図２に示すように、診断システム１は、診断装置２と表示装置３とを備える。図１の例において、例えば、診断装置２がパーソナルコンピューターの本体であり、表示装置３が当該パーソナルコンピューターのディスプレイであってもよい。また、図１及び図２の例において、診断装置２と表示装置３がそれぞれ別々のパーソナルコンピューターであってもよい。また、表示装置３は、単体の装置であってもよいし、複数の装置によって構成されてもよい。また、表示装置３は、例えば、クラウドサーバー等の診断装置２とデータ通信を行うクライアント端末であってもよい。

【0012】

診断装置２は、ダンパー７を介して床５に設置された装置６の稼働時に床５に配置された第１振動センサー４ａから出力される検出信号に基づいて、床５の振動を示す第１振動情報を算出する。また、診断装置２は、装置６の稼働時に装置６に配置された第２振動センサー４ｂから出力される検出信号に基づいて、装置６の振動を示す第２振動情報を算出する。装置６は、例えば、各種の計測装置、検査装置、製造装置、モーター、ポンプ等、振動を生じ得る何らかの装置であればよい。ダンパー７は、例えば、種々の除振台であってもよいし、剛性架台であってもよいし、除振台と剛性架台のセットであってもよい。

【0013】

図１の例のように、診断装置２は、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂと接続されて第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂから検出信号を取得してもよい。また、図２の例のように、表示装置３が第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂと接続されて第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂから検出信号を取得し、診断装置２は、ローカルエリアネットワークやインターネット等のネットワーク８を介して表示装置３から検出信号を取得してもよい。また、図１及び図２の例において、診断装置２及び表示装置３とは異なる装置が、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂから検出信号を取得し、取得した検出信号のデータを記憶媒体に格納されたファイルに書き込み、診断装置２は当該ファイルを取得してもよい。

【0014】

第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂは、同じ種類のセンサーであり、同じ型番のセンサーであることが好ましい。例えば、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂは加速度センサーであり、検出信号は加速度の検出信号であってもよい。また、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂは角速度センサーであり、検出信号は角速度の検出信号であってもよい。また、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂは加速度センサー及び角速度センサーを有する慣性計測ユニットであり、検出信号は加速度及び角速度の検出信号であってもよい。また、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂの検出軸は、１軸であってもよいし、２軸以上であってもよい。

【0015】

第１振動情報は、装置６の稼働時の床５における振動の周波数とその大きさを示す情報であってもよい。例えば、検出信号が加速度の検出信号であれば、振動の周波数と振動により生じる加速度の大きさを示す情報であってもよいし、振動の周波数と振動により生じる速度の大きさを示す情報であってもよい。

【0016】

第２振動情報は、装置６の稼働時の装置６における振動の周波数とその大きさを示す情報であってもよい。例えば、検出信号が加速度の検出信号であれば、振動の周波数と振動により生じる加速度の大きさを示す情報であってもよいし、振動の周波数と振動により生じる速度の大きさを示す情報であってもよい。

【0017】

さらに、診断装置２は、第１振動情報とダンパー７の振動伝達率とに基づいて、床５からダンパー７を介して装置６に伝達する振動を示す基準情報を算出する。

【0018】

本実施形態では、ダンパー７の振動伝達率は既知であり、例えば、ダンパー７の仕様書等に記載された情報であってもよい。ダンパー７の振動伝達率の情報は、診断装置２の内蔵メモリーや外付けの記憶媒体に記憶されていてもよいし、診断装置２がネットワーク８を介して取得してもよい。

【0019】

基準情報は、装置６の稼働時に床５からダンパー７を介して装置６に伝達する振動の周波数とその大きさを示す情報であってもよい。例えば、検出信号が加速度の検出信号であれば、振動の周波数と振動により生じる加速度の大きさを示す情報であってもよいし、振動の周波数と振動により生じる速度の大きさを示す情報であってもよい。例えば、診断装置２は、第１振動情報の各周波数の信号成分にダンパー７の振動伝達率を乗算して基準情報を算出してもよい。

【0020】

そして、診断装置２は、第２振動情報と基準情報とに基づいて、装置６の振動に関する診断情報を生成し、生成した診断情報を表示装置３に表示させる。診断装置２は、診断情報として、第２振動情報と基準情報との差を算出してもよい。診断装置２は、診断情報として、第２振動情報と基準情報との比を算出してもよい。診断情報は、第２振動情報と基準情報との差を示す画像情報であってもよい。また、診断装置２は、診断情報として、第２振動情報と基準情報とを重ねた画像を生成してもよい。診断情報は、トリパタイトグラフの画像であってもよい。トリパタイトグラフは、振動の周波数、速度、加速度及び変位の数値を含むグラフであってもよい。

【0021】

診断装置２は、生成した診断情報を表示装置３に出力し、表示装置３に診断情報が表示される。例えば、図１の例では、診断装置２は、診断情報を直接的に表示装置３に出力し、図２の例では、診断装置２は、診断情報を、ネットワーク８を介して表示装置３に出力する。

【0022】

診断システム１のユーザーは、表示装置３に表示される診断情報に基づいて、装置６の状態について解析することができる。例えば、ユーザーは、第２振動情報と基準情報とに大きな差がなければ、ダンパー７によって装置６に対する制振が十分であると判断することができる。また、ユーザーは、第２振動情報に振動のピークが含まれている場合は、装置６が何らかの要因で発生させている振動であると判断し、その要因を特定することができる。

【0023】

１－２．診断装置の構成
図３は、第１実施形態の診断装置２の構成例を示す図である。図３に示すように、診断装置２は、処理回路２１、記憶回路２２及び通信部２３を含む。なお、診断装置２は、図３の構成要素の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。

【0024】

処理回路２１は、第１振動センサー４ａから出力される検出信号及び第２振動センサー４ｂから出力される検出信号を取得し、取得した検出信号に基づいて各種の計算処理を行う。また、処理回路２１は、表示装置３とデータ通信を行うために通信部２３を制御する処理等を行う。処理回路２１は、例えば、ＣＰＵやＤＳＰによって実現される。ＣＰＵは、Central Processing Unitである。ＤＳＰは、Digital Signal Processorの略である。

【0025】

処理回路２１は、記憶回路２２に記憶されている診断プログラム２２１を実行することにより、検出信号取得部２１１、第１振動情報算出部２１２、第２振動情報算出部２１３、基準情報算出部２１４、診断情報生成部２１５及び出力部２１６として機能する。すなわち、診断装置２は、検出信号取得部２１１、第１振動情報算出部２１２、第２振動情報算出部２１３、基準情報算出部２１４、診断情報生成部２１５及び出力部２１６を含む。

【0026】

検出信号取得部２１１は、ダンパー７を介して床５に設置された装置６の稼働時に、床５に配置された第１振動センサー４ａから出力される検出信号を取得する。また、検出信号取得部２１１は、装置６の稼働時に、装置６に配置された第２振動センサー４ｂから出力される検出信号を取得する。例えば、検出信号取得部２１１は、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂから検出信号を直接的に取得してもよいし、検出信号のデータが書き込まれたファイルを取得してもよい。

【0027】

第１振動情報算出部２１２は、装置６の稼働時に検出信号取得部２１１が取得した第１振動センサー４ａの検出信号に基づいて、床５の振動を示す第１振動情報を算出する。

【0028】

第２振動情報算出部２１３は、装置６の稼働時に検出信号取得部２１１が取得した第２振動センサー４ｂの検出信号に基づいて、装置６の振動を示す第２振動情報を算出する。

【0029】

基準情報算出部２１４は、第１振動情報算出部２１２が算出した第１振動情報とダンパー７の振動伝達率とに基づいて、床５からダンパー７を介して装置６に伝達する振動を示す基準情報を算出する。ダンパー７の振動伝達率は記憶回路２２に記憶されている振動伝達率情報２２２に含まれており、基準情報算出部２１４は、記憶回路２２から振動伝達率情報２２２を読み出して基準情報の算出に用いる。ただし、振動伝達率情報２２２は、外付けの不図示の記憶媒体に記憶されていてもよいし、ネットワーク８に接続されているサーバーから取得されてもよい。例えば、基準情報算出部２１４は、第１振動情報の各周波数の信号成分にダンパー７の振動伝達率を乗算して基準情報を算出してもよい。

【0030】

診断情報生成部２１５は、第２振動情報算出部２１３が算出した第２振動情報と基準情報算出部２１４が算出した基準情報とに基づいて、装置６の振動に関する診断情報を生成する。診断情報生成部２１５は、診断情報として、第２振動情報と基準情報との差を算出してもよい。診断情報は、第２振動情報と基準情報との差を示す画像情報であってもよい。また、診断情報生成部２１５は、診断情報として、第２振動情報と基準情報とを重ねた画像を生成してもよい。診断情報は、トリパタイトグラフの画像であってもよい。

【0031】

出力部２１６は、診断情報生成部２１５が生成した診断情報を、通信部２３を介して表示装置３に出力する。また、出力部２１６は、振動伝達率情報２２２、第１振動情報算出部２１２が算出した第１振動情報、第２振動情報算出部２１３が算出した第２振動情報及び基準情報算出部２１４が算出した基準情報を、通信部２３を介して表示装置３に出力してもよい。表示装置３には、出力部２１６から出力された診断情報等の各種の情報が表示される。

【0032】

記憶回路２２は、不図示のＲＯＭ及びＲＡＭを有している。ＲＯＭは、Read Only Memoryの略である。ＲＡＭは、Random Access Memoryの略である。ＲＯＭは、診断プログラム２２１等の各種のプログラムや振動伝達率情報２２２等の予め用意された各種のデータを記憶する。ＲＡＭは、処理回路２１の作業領域として用いられ、ＲＯＭから読み出されたプログラムやデータ、処理回路２１が取得した検出信号や処理回路２１が生成した第１振動情報、第２振動情報、基準情報、診断情報等の各種のデータを記憶する。

【0033】

通信部２３は、処理回路２１と表示装置３との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。

【0034】

なお、処理回路２１の少なくとも一部が、専用のハードウエアで実現されてもよい。また、診断装置２は、単体の装置であってもよいし、複数の装置によって構成されてもよい。また、診断装置２は、例えば、クラウドサーバー等の装置であってもよい。

【0035】

１－３．診断方法
図４は、診断装置２によって実行される診断方法の手順の一例を示すフローチャート図である。

【0036】

図４に示すように、まず、工程Ｓ１０において、診断装置２は、ダンパー７を介して床５に設置された装置６の稼働時に、床５に配置された第１振動センサー４ａから出力される検出信号を取得する。

【0037】

次に、工程Ｓ２０において、診断装置２は、装置６の稼働時に、装置６に配置された第２振動センサー４ｂから出力される検出信号を取得する。

【0038】

次に、工程Ｓ３０において、診断装置２は、工程Ｓ１０で取得した第１振動センサー４ａの検出信号に基づいて、床５の振動を示す第１振動情報を算出する。図５に、第１振動情報の一例を示す。図５において、横軸は周波数であり、縦軸は強度である。診断装置２は、算出した第１振動情報を表示装置３に出力してもよい。

【0039】

次に、工程Ｓ４０において、診断装置２は、工程Ｓ２０で取得した第２振動センサー４ｂの検出信号に基づいて、装置６の振動を示す第２振動情報を算出する。図６に、第２振動情報の一例を示す。図６において、横軸は周波数であり、縦軸は強度である。診断装置２は、算出した第２振動情報を表示装置３に出力してもよい。

【0040】

次に、工程Ｓ５０において、診断装置２は、工程Ｓ３０で算出した第１振動情報と振動伝達率情報２２２に含まれるダンパー７の振動伝達率とに基づいて、床５からダンパー７を介して装置６に伝達する振動を示す基準情報を算出する。例えば、診断装置２は、第１振動情報の各周波数の信号成分にダンパー７の振動伝達率を乗算して基準情報を算出してもよい。図７に、ダンパー７の振動伝達率の一例を示す。図７において、横軸は周波数であり、縦軸はゲインである。また、図８に、基準情報の一例を示す。図８において、横軸は周波数であり、縦軸は強度である。診断装置２は、振動伝達率情報２２２や第２振動情報を表示装置３に出力してもよい。

【0041】

次に、工程Ｓ６０において、診断装置２は、工程Ｓ４０で算出した第２振動情報と工程Ｓ５０で算出した基準情報とに基づいて、装置６の振動に関する診断情報を生成する。診断装置２は、診断情報として、第２振動情報と基準情報との差を算出してもよい。図９に、診断情報の一例として、第２振動情報と基準情報との差の画像を示す。図９において、横軸は周波数であり、縦軸は強度である。また、診断装置２は、診断情報として、第２振動情報と基準情報とを重ねた画像を生成してもよい。図１０に、診断情報の一例として、第２振動情報と基準情報とを重ねた画像を示す。図１０において、横軸は周波数であり、縦軸は強度である。実線は第２振動情報であり、破線は基準情報である。

【0042】

最後に、工程Ｓ７０において、診断装置２は、工程Ｓ６０で生成した診断情報を表示装置３に出力する。例えば、表示装置３には、図９や図１０に示した診断情報が表示される。ユーザーは、表示装置３に表示される診断情報に基づいて、装置６の状態について解析することができる。図９及び図１０の例では、第２振動情報に含まれる数百Ｈｚの振動ピークを除いて第２振動情報と基準情報とに大きな差がないので、ダンパー７によって装置６に対する制振が十分であると判断することができる。また、ユーザーは、第２振動情報に含まれる数百Ｈｚの振動成分が、装置６の正常動作時には発生しない振動成分であれば、その要因を解析し、特定することができる。

【0043】

１－４．作用効果
以上に説明したように、第１実施形態では、診断装置２が、装置６の稼働時の第１振動センサー４ａの検出信号に基づいて床５の振動を示す第１振動情報を生成し、装置６の稼働時の第２振動センサー４ｂの検出信号に基づいて装置６の振動を示す第２振動情報を生成する。さらに、診断装置２が、床５からダンパー７を介して装置６に伝達する振動を示す基準情報を算出し、第２振動情報と基準情報とに基づいて装置６の振動に関する診断情報を生成する。第２振動情報と基準情報との差は装置６が発生させる振動に相当するので、第１実施形態によれば、ユーザーが装置６に起因する振動成分を特定するための診断情報を生成することができる。

【0044】

また、第１実施形態によれば、診断装置２が、第２振動情報と基準情報とを重ねた画像を生成することにより、ユーザーが装置６に起因する振動成分を視覚的に特定するための診断情報を生成することができる。

【0045】

また、第１実施形態によれば、診断装置２が、第２振動情報と基準情報との差を算出することにより、ユーザーが装置６に起因する振動成分を直接的に特定するための診断情報を生成することができる。

【0046】

２．第２実施形態
以下、第２実施形態について、第１実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付し、第１実施形態と重複する説明は省略または簡略し、主に第１実施形態と異なる内容について説明する。

【0047】

第２実施形態の診断システム１の構成は、図１又は図２と同様であるため、その図示及び説明を省略する。第２実施形態では、診断装置２の構成が第１実施形態と異なる。

【0048】

図１１は、第２実施形態の診断装置２の構成例を示す図である。図１１に示すように、第２実施形態の診断装置２は、第１実施形態と同様、処理回路２１、記憶回路２２及び通信部２３を含む。なお、診断装置２は、図１１の構成要素の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。

【0049】

第２実施形態では、処理回路２１は、装置６の非稼働時に第１振動センサー４ａから出力される検出信号及び第２振動センサー４ｂから出力される検出信号に基づいて、振動伝達率情報２２２を算出する。

【0050】

処理回路２１は、記憶回路２２に記憶されている診断プログラム２２１を実行することにより、検出信号取得部２１１、第１振動情報算出部２１２、第２振動情報算出部２１３、基準情報算出部２１４、診断情報生成部２１５、出力部２１６、第３振動情報算出部２１７、第４振動情報算出部２１８及び振動伝達率算出部２１９として機能する。すなわち、第２実施形態の診断装置２は、検出信号取得部２１１、第１振動情報算出部２１２、第２振動情報算出部２１３、基準情報算出部２１４、診断情報生成部２１５、出力部２１６、第３振動情報算出部２１７、第４振動情報算出部２１８及び振動伝達率算出部２１９を含む。

【0051】

検出信号取得部２１１は、ダンパー７を介して床５に設置された装置６の非稼働時に、床５に配置された第１振動センサー４ａから出力される検出信号を取得する。また、検出信号取得部２１１は、装置６の非稼働時に、装置６に配置された第２振動センサー４ｂから出力される検出信号を取得する。例えば、検出信号取得部２１１は、第１振動センサー４ａ及び第２振動センサー４ｂから検出信号を直接的に取得してもよいし、検出信号のデータが書き込まれたファイルを取得してもよい。

【0052】

第３振動情報算出部２１７は、装置６の非稼働時に検出信号取得部２１１が取得した第１振動センサー４ａの検出信号に基づいて、床５の振動を示す第３振動情報を算出する。第３振動情報は、装置６の非稼働時の床５における振動の周波数とその大きさを示す情報であってもよい。例えば、検出信号が加速度の検出信号であれば、振動の周波数と振動により生じる加速度の大きさを示す情報であってもよいし、振動の周波数と振動により生じる速度の大きさを示す情報であってもよい。

【0053】

第４振動情報算出部２１８は、装置６の非稼働時に検出信号取得部２１１が取得した第２振動センサー４ｂの検出信号に基づいて、装置６の振動を示す第４振動情報を算出する。第４振動情報は、装置６の非稼働時の装置６における振動の周波数とその大きさを示す情報であってもよい。例えば、検出信号が加速度の検出信号であれば、振動の周波数と振動により生じる加速度の大きさを示す情報であってもよいし、振動の周波数と振動により生じる速度の大きさを示す情報であってもよい。

【0054】

振動伝達率算出部２１９は、第３振動情報算出部２１７が算出した第３振動情報と第４振動情報算出部２１８が算出した第４振動情報とに基づいて、ダンパー７の振動伝達率を算出する。例えば、振動伝達率算出部２１９は、第４振動情報の各周波数の信号成分の強度を第３振動情報の各周波数の信号成分の強度で除算して振動伝達率を算出してもよい。振動伝達率算出部２１９は、算出したダンパー７の振動伝達率を含む情報を振動伝達率情報２２２として記憶回路２２に記憶させる。

【0055】

その後、検出信号取得部２１１は、装置６の稼働時に、第１振動センサー４ａから出力される検出信号及び第２振動センサー４ｂから出力される検出信号を取得する。そして、第１振動情報算出部２１２、第２振動情報算出部２１３、基準情報算出部２１４、診断情報生成部２１５及び出力部２１６は、第１実施形態と同様の処理を行う。

【0056】

第２実施形態の診断装置２のその他の構成は第１実施形態と同様であるため、その説明を省略する。

【0057】

図１２は、第２実施形態の診断装置２によって実行される診断方法の手順の一例を示すフローチャート図である。図１２において、図４と同じ工程には同じ符号が付されており、その説明を省略する。

【0058】

図１２に示す手順は、図４に示す手順に対して、工程Ｓ１０の前に、工程Ｓ１～Ｓ５が追加されている。

【0059】

図１２に示すように、まず、工程Ｓ１において、診断装置２は、ダンパー７を介して床５に設置された装置６の非稼働時に、床５に配置された第１振動センサー４ａから出力される検出信号を取得する。

【0060】

次に、工程Ｓ２において、診断装置２は、装置６の非稼働時に、装置６に配置された第２振動センサー４ｂから出力される検出信号を取得する。

【0061】

次に、工程Ｓ３において、診断装置２は、工程Ｓ１で取得した第１振動センサー４ａの検出信号に基づいて、床５の振動を示す第３振動情報を算出する。図１３に、第３振動情報の一例を示す。図１３において、横軸は周波数であり、縦軸は強度である。診断装置２は、算出した第３振動情報を表示装置３に出力してもよい。

【0062】

次に、工程Ｓ４において、診断装置２は、工程Ｓ２で取得した第２振動センサー４ｂの検出信号に基づいて、装置６の振動を示す第４振動情報を算出する。図１４に、第４振動情報の一例を示す。図１４において、横軸は周波数であり、縦軸は強度である。診断装置２は、算出した第４振動情報を表示装置３に出力してもよい。

【0063】

次に、工程Ｓ５において、診断装置２は、工程Ｓ３で算出した第３振動情報と工程Ｓ４で算出した第４振動情報とに基づいて、ダンパー７の振動伝達率を算出する。例えば、診断装置２は、第４振動情報の各周波数の信号成分の強度を第３振動情報の各周波数の信号成分の強度で除算して振動伝達率を算出してもよい。工程Ｓ５で算出されたダンパー７の振動伝達率を含む情報は、振動伝達率情報２２２として記憶回路２２に記憶される。図１５に、算出されたダンパー７の振動伝達率の一例を示す。図１５において、横軸は周波数であり、縦軸はゲインである。診断装置２は、振動伝達率情報２２２を表示装置３に出力してもよい。

【0064】

次に、診断装置２は、図４と同様の工程Ｓ１０～Ｓ４０の処理を行った後、工程Ｓ５０において、工程Ｓ３０で算出した第１振動情報と工程Ｓ５で算出したダンパー７の振動伝達率とに基づいて、床５からダンパー７を介して装置６に伝達する振動を示す基準情報を算出する。

【0065】

最後に、診断装置２は、図４と同様の工程Ｓ６０，Ｓ７０の処理を行う。ユーザーは、工程Ｓ７０において表示装置３に表示される診断情報に基づいて、装置６の状態について解析することができる。例えば、ユーザーは、第２振動情報と基準情報とに大きな差がなければ、ダンパー７によって装置６に対する制振が十分であると判断することができる。また、ユーザーは、第２振動情報に振動のピークが含まれている場合は、装置６が何らかの要因で発生させている振動であると判断し、その要因を特定することができる。

【0066】

以上に説明した第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0067】

また、第２実施形態では、診断装置２が、装置６の非稼働時の第１振動センサー４ａの検出信号及び第２振動センサー４ｂの検出信号に基づいて、ダンパー７の振動伝達率を算出する。したがって、第２実施形態によれば、ダンパー７の振動伝達率が不明の場合や、ダンパー７の振動伝達率が経時変化した場合でも、実測によりダンパー７の正確な振動伝達率が得られるので、ユーザーが装置６に起因する振動成分を特定するためのより正確な診断情報を生成することができる。また、ダンパー７の振動伝達率が仕様書等に記載されている場合には、ユーザーは、仕様書等に記載されている振動伝達率と、算出した振動伝達率とを比較してダンパー７の性能の劣化度合を判定し、必要に応じてダンパー７を取り換える等の処置を行うことができる。

【0068】

３．変形例
本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

【0069】

例えば、上記の各実施形態において、診断装置２は、記憶回路２２に、装置６が発生させる振動のパラメーターと当該パラメーターに関連づけられる要因との関係を規定した要因情報が記憶されており、第２振動情報と基準情報との差を装置６が発生させる振動のパラメーターとして、要因情報に基づいて装置６が振動を発生させる要因を特定してもよい。そして、診断装置２が、装置６が振動を発生させる要因を表示装置３に表示させることにより、当該要因をユーザーに提示してもよい。さらに、要因情報が、装置６が振動を発生させる要因に関連づけられる解決策の情報を含み、診断装置２は、要因情報に基づいて、特定した要因に関連づけられる解決策を表示装置３に表示させることにより、当該解決策をユーザーに提示してもよい。

【0070】

上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。

【0071】

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成、例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

【0072】

上述した実施形態および変形例から以下の内容が導き出される。

【0073】

診断方法の一態様は、
ダンパーを介して床に設置された装置の稼働時に前記床に配置された第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第１振動情報を算出し、
前記装置の稼働時に前記装置に配置された第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第２振動情報を算出し、
前記第１振動情報と前記ダンパーの振動伝達率とに基づいて、前記床から前記ダンパーを介して前記装置に伝達する振動を示す基準情報を算出し、
前記第２振動情報と前記基準情報とに基づいて、前記装置の振動に関する診断情報を生成する。

【0074】

この診断方法では、第２振動情報は装置の振動を示し、基準情報は床からダンパーを介して装置に伝達する振動を示すので、第２振動情報と基準情報との差は装置が発生させる振動に相当する。したがって、この診断方法によれば、ユーザーが装置に起因する振動成分を特定するための診断情報を生成することができる。

【0075】

前記診断方法の一態様は、
前記診断情報として、前記第２振動情報と前記基準情報とを重ねた画像を生成してもよい。

【0076】

この診断方法によれば、ユーザーが装置に起因する振動成分を視覚的に特定するための診断情報を生成することができる。

【0077】

前記診断方法の一態様は、
前記診断情報として、前記第２振動情報と前記基準情報との差を算出してもよい。

【0078】

この診断方法によれば、ユーザーが装置に起因する振動成分を直接的に特定するための診断情報を生成することができる。

【0079】

前記診断方法の一態様は、
前記装置の非稼働時に前記第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第３振動情報を算出し、
前記装置の非稼働時に前記第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第４振動情報を算出し、
前記第３振動情報と前記第４振動情報とに基づいて、前記振動伝達率を算出してもよい。

【0080】

この診断方法によれば、ダンパーの振動伝達率が不明の場合や、ダンパーの振動伝達率が経時変化した場合でも、実測によりダンパーの正確な振動伝達率が得られるので、ユーザーが装置に起因する振動成分を特定するためのより正確な診断情報を生成することができる。また、ダンパーの振動伝達率が仕様書等に記載されている場合には、ユーザーは、仕様書等に記載されている振動伝達率と、算出した振動伝達率とを比較してダンパーの性能の劣化度合を判定し、必要に応じてダンパーを取り換える等の処置を行うことができる。

【0081】

診断装置の一態様は、
ダンパーを介して床に設置された装置の稼働時に前記床に配置された第１振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記床の振動を示す第１振動情報を算出する第１振動情報算出部と、
前記装置の稼働時に前記装置に配置された第２振動センサーから出力される検出信号に基づいて、前記装置の振動を示す第２振動情報を算出する第２振動情報算出部と、
前記第１振動情報と前記ダンパーの振動伝達率とに基づいて、前記床から前記ダンパーを介して前記装置に伝達する振動を示す基準情報を算出する基準情報算出部と、
前記第２振動情報と前記基準情報とに基づいて、前記装置の振動に関する診断情報を生成する診断情報生成部と、
を含む。

【0082】

この診断装置によれば、第２振動情報と基準情報との差は装置が発生させる振動に相当するので、ユーザーが装置に起因する振動成分を特定するための診断情報を生成することができる。

【0083】

診断システムの一態様は、
前記診断装置の一態様と、
表示装置と、を備え、
前記表示装置は、
前記診断情報を表示する。

【0084】

この診断システムによれば、第２振動情報と基準情報との差は装置が発生させる振動に相当するので、ユーザーが装置に起因する振動成分を特定するための診断情報を生成することができる。

【符号の説明】

【0085】

１…診断システム、２…診断装置、３…表示装置、４ａ…第１振動センサー、４ｂ…第２振動センサー、５…床、６…装置、８…ネットワーク、２１…処理回路、２２…記憶回路、２３…通信部、２１１…検出信号取得部、２１２…第１振動情報算出部、２１３…第２振動情報算出部、２１４…基準情報算出部、２１５…診断情報生成部、２１６…出力部、２１７…第３振動情報算出部、２１８…第４振動情報算出部、２１９…振動伝達率算出部、２２１…診断プログラム、２２２…振動伝達率情報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】