特開 2024-108327 全固体電池、及び全固体電池の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024108327

(43)【公開日】2024-08-13

(54)【発明の名称】全固体電池、及び全固体電池の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01M 10/052 20100101AFI20240805BHJP

   H01M 10/0562 20100101ALI20240805BHJP

   H01M 10/0585 20100101ALI20240805BHJP

   H01M 4/38 20060101ALI20240805BHJP

   H01M 4/525 20100101ALI20240805BHJP

   H01M 4/134 20100101ALI20240805BHJP

   H01M 4/62 20060101ALI20240805BHJP

   H01M 4/1395 20100101ALI20240805BHJP

   H01M 50/105 20210101ALI20240805BHJP

【ＦＩ】

H01M10/052

H01M10/0562

H01M10/0585

H01M4/38 Z

H01M4/525

H01M4/134

H01M4/62 Z

H01M4/1395

H01M50/105

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023012636

(22)【出願日】2023-01-31

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】藤井 正寛

(72)【発明者】

【氏名】四谷 真一

【テーマコード（参考）】

5H011

5H029

5H050

【Ｆターム（参考）】

5H011AA09

5H011CC10

5H029AJ05

5H029AK01

5H029AK03

5H029AL11

5H029AM12

5H029BJ12

5H050AA07

5H050BA16

5H050BA17

5H050CA01

5H050CA08

5H050CA09

5H050CB11

5H050DA09

5H050DA13

5H050EA02

5H050EA12

5H050FA02

5H050FA18

(57)【要約】

【課題】信頼性を向上させることが可能な全固体電池、及び全固体電池の製造方法を提供する。
【解決手段】正極集電体１００と、負極電極２００と、正極集電体１００と負極電極２００との間に配置された活物質複合体３１０と、を備え、負極電極２００は、シリコンナノワイヤと、シリコンナノワイヤの表面に被覆されたリチウム膜と、を有し、活物質複合体３１０は、コバルト酸リチウムで構成された活物質形成体３２０と、活物質形成体３２０の周囲を覆う第１固体電解質３３０と、を有する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

正極集電体と、
負極電極と、
前記正極集電体と前記負極電極との間に配置された活物質複合体と、
を備え、
前記負極電極は、シリコンナノワイヤと、前記シリコンナノワイヤの表面に被覆されたリチウム膜と、を有し、
前記活物質複合体は、コバルト酸リチウムで構成された活物質形成体と、前記活物質形成体の周囲を覆う第１固体電解質と、を有する、全固体電池。

【請求項2】

請求項１に記載の全固体電池であって、
前記活物質複合体は、第２固体電解質を介して、前記負極電極と接合されている、全固体電池。

【請求項3】

請求項１に記載の全固体電池であって、
前記負極電極の界面には、金とリチウムとの合金膜が配置されている、全固体電池。

【請求項4】

請求項１に記載の全固体電池であって、
前記正極集電体と前記負極電極と前記活物質複合体とが、順に複数積層された積層体を備え、
前記積層体は、アルミラミネート外装材で覆われている、全固体電池。

【請求項5】

活物質複合体を形成する工程と、
シリコン基板の表面にＭＡＣＥ法を用いてシリコンナノワイヤを形成する工程と、
前記シリコンナノワイヤの表面にリチウム膜を成膜して負極電極を形成する工程と、
正極集電体を準備する工程と、
前記正極集電体と前記活物質複合体と前記負極電極とを接合する工程と、
を有する、全固体電池の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、全固体電池、及び全固体電池の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ケイ素ナノワイヤの構成と、エッチング液を用いたケイ素ナノワイヤの製造方法と、が開示されている。ケイ素ナノワイヤは、固体リチウム二次電池などのエネルギー蓄積デバイスに適用される。

【0003】

特許文献２には、リチウム二次電池を構成する電極複合体の構成と、電極複合体の製造方法と、が開示されている。リチウム二次電池は、電解質をガラス状態から晶化して製造することにより、高効率かつ高容量にすることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第６３８３４１２号公報

【特許文献2】特許第６６２４８９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の構成では、ケイ素合金の微細構造内に、ケイ素のナノ構造を形成する必要があったり、ナノワイヤの方向や大きさなどが結晶粒界ごとに不均一となったりするため、電池容量の最大化と耐久性との両立が難しいという課題がある。また、特許文献２に記載の構成では、電池の充放電を繰り返すことに伴い、電池容量が低下したり内部抵抗が増加したりするという課題がある。つまり、特許文献１に記載のナノワイヤを、特許文献２に記載の電極複合体に適用しても、充放電に対する耐久性を向上させることは難しいという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

全固体電池は、正極集電体と、負極電極と、前記正極集電体と前記負極電極との間に配置された活物質複合体と、を備え、前記負極電極は、シリコンナノワイヤと、前記シリコンナノワイヤの表面に被覆されたリチウム膜と、を有し、前記活物質複合体は、コバルト酸リチウムで構成された活物質形成体と、前記活物質形成体の周囲を覆う第１固体電解質と、を有する。

【0007】

全固体電池の製造方法は、活物質複合体を形成する工程と、シリコン基板の表面にＭＡＣＥ法を用いてシリコンナノワイヤを形成する工程と、前記シリコンナノワイヤの表面にリチウム膜を成膜して負極電極を形成する工程と、正極集電体を準備する工程と、前記正極集電体と前記活物質複合体と前記負極電極とを接合する工程と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】全固体電池の構成を示す斜視図。

【図2】全固体電池の構成を示す断面図。

【図3】負極電極を構成するシリコン基板の構成を示す斜視図。

【図4】シリコンナノワイヤの構成を示す断面図。

【図5】電極複合体の構成を示す断面図。

【図6】全固体電池の製造方法を示す斜視図。

【図7】全固体電池の製造方法を示す断面図。

【図8】全固体電池の製造方法を示す断面図。

【図9】全固体電池の製造方法を示す断面図。

【図10】全固体電池の製造方法を示す斜視図。

【図11】全固体電池の製造方法を示す斜視図。

【図12】全固体電池の製造方法を示す斜視図。

【図13】全固体電池の製造方法を示す斜視図。

【図14】全固体電池の製造方法を示す断面図。

【図15】全固体電池の製造方法を示す断面図。

【図16】全固体電池の製造方法を示す斜視図。

【図17】全固体電池の他の例の構成を示す斜視図。

【図18】全固体電池の他の例の構成を示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

まず、図１を参照しながら、全固体電池１０００の構成を説明する。

【0010】

図１に示すように、全固体電池１０００は、例えば、ウエアラブル機器などに用いられ、円盤状に形成された、リチウムイオン電池などの全固体二次電池である。なお、全固体電池１０００は、円盤状であることに限定されず、多角形の盤状であってもよい。

【0011】

全固体電池１０００は、例えば、固体電解質３００を挟んで正極集電体１００と負極電極２００とが配置されている。なお、正極集電体１００、負極電極２００、固体電解質３００の積層体を、電池セル１０００ａと称する。図１に示す全固体電池１０００は、３つの電池セル１０００ａが接続されて構成されている。なお、電池セル１０００ａ単体でも、電池として機能する。

【0012】

全固体電池１０００は、積層された３つの電池セル１０００ａが、アルミラミネート外装材であるアルミラミネートフィルム４００で覆われて構成されている。アルミラミネートフィルム４００は、ポリアミド系樹脂などの絶縁性を有する基材に、表面（包装時に外面となる面）側にアルミ箔、内面（包装時に内面となる面）側に接合層などが形成されている。

【0013】

次に、図２～図５を参照しながら、全固体電池１０００、即ち、電池セル１０００ａの構成を具体的に説明する。

【0014】

図２に示すように、電池セル１０００ａは、正極集電体１００と、負極電極２００と、正極集電体１００と負極電極２００との間に配置された固体電解質３００と、を備えている。

【0015】

負極電極２００は、シリコン基板２１０を備えている。図３に示すように、シリコン基板２１０は、シリコンからなる基材２１１と、基材２１１の一面側に配置されたシリコンナノワイヤ２１２と、を有する。図４に示すように、シリコンナノワイヤ２１２は、シリコンナノワイヤ２１２ａと、シリコンナノワイヤ２１２ａの表面に被覆されたリチウム膜２１２ｂと、を有する。

【0016】

固体電解質３００は、活物質複合体３１０を備える。活物質複合体３１０は、コバルト酸リチウムで構成された活物質形成体３２０と、活物質形成体３２０の周囲を覆う第１固体電解質３３０と、を有する。第１固体電解質３３０は、例えば、ニオブ酸リチウムランタンジルコニウムである。言い換えれば、活物質形成体３２０は、第１固体電解質３３０に接して形成されている。また、固体電解質３００は、活物質複合体３１０に加え、第２固体電解質３４０を有する。

【0017】

正極集電体１００は、活物質複合体３１０の一面（一方の面）３１０ａに接して設けられている。つまり、正極集電体１００は、一面３１０ａで露出する活物質形成体３２０に接している。正極集電体１００は、活物質形成体３２０が正極活物質で構成されており、正極として機能する。

【0018】

正極集電体１００の材料としては、例えば、銅（Ｃｕ）、マグネシウム（Ｍｇ）、チタン（Ｔｉ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、インジウム（Ｉｎ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）およびパラジウム（Ｐｄ）からなる群から選ばれる１種の金属（金属単体）や、この群から選ばれる２種以上の金属元素を含む合金等が挙げられる。正極集電体１００と、活物質複合体３１０とを含めて、電極複合体３０１と称する（図５参照）。

【0019】

図５に示すように、活物質形成体３２０は、単結晶で構成された活物質粒子３２１が複数個、三次元的に連結して形成された形成体である。活物質粒子３２１は、遷移金属酸化物としてのリチウム複酸化物で構成される活物質を含む。

【0020】

リチウム複酸化物としては、例えば、ＬｉＣｏＯ₂（コバルト酸リチウム）、ＬｉＮｉＯ₂、ＬｉＭｎ₂Ｏ₄、ＬｉＮｉ０．５Ｍｎ１．５Ｏ₄、ＬｉＮｉ１／３Ｃｏ１／３Ｍｎ１／３Ｏ₂、Ｌｉ₂Ｍｎ₂Ｏ₃、ＬｉＮｉ０．８Ｃｏ０．１６Ａｌ０．０４Ｏ₂、ＬｉＦｅＰＯ₄、Ｌｉ₂ＦｅＰ₂Ｏ₇、ＬｉＭｎＰＯ₄、ＬｉＦｅＢＯ₃、Ｌｉ₃Ｖ₂（ＰＯ₄）３、Ｌｉ₂ＣｕＯ₂、ＬｉＦｅＦ₃、Ｌｉ₂ＦｅＳｉＯ₄、Ｌｉ₂ＭｎＳｉＯ₄等が挙げられる。

【0021】

これらの中でも、リチウムと、コバルト、マンガンおよびニッケルのうちの少なくとも１種とを含む化合物を主材料として含有することが好ましく、具体的には、コバルト酸リチウム、ニッケル・マンガン・コバルト酸リチウム、ニッケル酸リチウム、およびニッケル・コバルト・アルミニウム酸リチウムからなる群から選択される化合物を主成分として含むことが好ましい。

【0022】

このようなリチウム複酸化物を含むことで、活物質粒子３２１は、複数の活物質粒子３２１同士で電子の受け渡しを行い、活物質粒子３２１と第１固体電解質３３０との間でリチウムイオンの受け渡しを行い、活物質としての機能を発揮する。

【0023】

第１固体電解質３３０は、リチウムイオン伝導性を有し、室温でガラス化している固体電解質で構成される。第１固体電解質３３０は、活物質形成体３２０と接している。活物質複合体３１０は、他面３１０ｂ側において、第２固体電解質３４０を介して、負極電極２００に接する。他面３１０ｂ側では、活物質形成体３２０が露出することなく、第１固体電解質３３０が単独で露出するように設けられている。これにより、活物質形成体３２０と負極電極２００との短絡を防止することができる。

【0024】

第２固体電解質３４０は、活物質複合体３１０と負極電極２００との間に配置されている。このように、第２固体電解質３４０を介して活物質複合体３１０と負極電極２００とが接合されているので、活物質複合体３１０と負極電極２００との密着性が向上し、電池の内部抵抗を下げることができる。

【0025】

負極電極２００の界面、即ち、シリコンナノワイヤ２１２と固体電解質３００との間には、金（Ａｕ）とリチウム（Ｌｉ）との合金膜２２０が配置されている。このように合金膜２２０を配置することにより、シリコンナノワイヤ２１２を形成する際、触媒金属として機能させる膜を金とした場合、リチウムイオンの部分的な析出を抑えることが可能となり、リチウムイオンの析出を均一化させることができる。

【0026】

次に、図６～図１６を参照しながら、全固体電池１０００の製造方法を具体的に説明する。

【0027】

図６に示す工程では、正極多孔体で構成されたグリーンシート３２０Ａを形成し、グリーンシート３２０Ａから、活物質形成体３２０となる前の多孔性正極３２０ａの形状に、例えば、プレス加工により打ち抜く。

【0028】

図７及び図８に示す工程では、グローブボックス内のドライエア中において、多孔性正極３２０ａの空隙に、第１固体電解質３３０の前駆体溶液３３０ａを含侵して、これを焼成して結晶化する。以上により、活物質複合体３１０が形成される。

【0029】

第１固体電解質３３０の材料は、例えば、前述した、リチウムイオン伝導性を備える、Ｃ、ＳｉまたはＢを含むリチウム酸化物が挙げられ、Ｂを含むリチウム酸化物（Ｌｉ－Ｂ－ＯまたはＬｉ－Ｂ－Ｏの構成元素を含む材料）が好ましく用いられる。これにより、得られる第１固体電解質３３０のイオン伝導性を優れたものとすることができるとともに、第１固体電解質３３０の前駆体溶液３３０ａに、多孔性正極３２０ａを確実に溶解させることができる。

【0030】

図９に示す工程では、真空中において、活物質複合体３１０の表面に、スパッタ法を用いて第２固体電解質３４０を成膜する。

【0031】

次に、負極電極２００側の製造方法を説明する。

【0032】

図１０に示す工程では、シリコン基板２１０の上に、金（Ａｕ）膜２３０ａを成膜する。具体的には、金膜２３０ａは、スパッタ法、蒸着法や置換めっき法等によりシリコン基板２１０の上に成膜する。金膜２３０ａは、シリコン基板２１０に、シリコンナノワイヤ２１２ａを形成するＭＡＣＥ（メタルアシステッドケミカルエッチング）の触媒膜として機能する。また、この金膜２３０ａは、ＭＡＣＥ後もシリコンナノワイヤ２１２ａ表面や基材２１１のシリコンナノワイヤ２１２ａ側の面に残留し、リチウム（Ｌｉ）のシリコンナノワイヤ２１２ａへの蒸着によりリチウムとの合金膜２２０を形成して、全固体電池１０００の充放電時のリチウムイオンの析出を均一化する膜として機能する合金膜２２０の材料となる。

【0033】

次に、図示はしないが、金膜２３０ａの上にアルミニウム膜を成膜し、アルミニウム膜に陽極酸化法を用いて細孔を形成する。

【0034】

図１１に示す工程では、細孔２３０ｃを有する金膜パターン２３０ｂを形成する。具体的には、上記した細孔を有するアルミ陽極酸化膜をマスクとし、アルゴン（Ａｒ）を用いたスパッタ法を用いて、金膜２３０ａをエッチングする。これにより、金膜２３０ａには、細孔２３０ｃの形状が反映された金膜パターン２３０ｂが形成される。

【0035】

図１２に示す工程では、ＭＡＣＥ加工を行って、シリコンナノワイヤ２１２ａを形成する。ＭＡＣＥ加工は、フッ酸と過酸化水素水を適量に混合した液を、室温で浸漬するだけで行える簡単なエッチング方法である。シリコンナノワイヤ２１２ａの長さは、浸漬時間を調整することにより、容易に制御することができる。

【0036】

ＭＡＣＥ法を用いることにより、直径数ｎｍ～１００ｎｍで、長さ５μｍ程度の高いアスペクト比のシリコンナノワイヤ２１２ａを形成することができる。

【0037】

図１３に示す工程では、アルゴン（Ａｒ）雰囲気の真空中において、シリコンナノワイヤ２１２ａの表面に、リチウム（Ｌｉ）膜を、蒸着法を用いて形成する。以上により、シリコン基板２１０が完成する。

【0038】

図１４に示す工程では、固体電解質３００の一面３１０ａ側に、正極集電体１００を形成する。更に、固体電解質３００の他面３１０ｃ側に、負極電極２００を接合する。

【0039】

具体的には、別体として準備した正極集電体１００を、固体電解質３００の一面３１０ａ側に接合してもよく、固体電解質３００の一面３１０ａ側に、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法などを用いて正極集電体１００を成膜してもよい。

【0040】

また、固体電解質３００の他面３１０ｃ側に、金とリチウムとの合金膜２２０を介して、シリコン基板２１０、即ち、負極電極２００を圧接して接合する。以上により、電池セル１０００ａが完成する。

【0041】

図１５に示す工程では、電池セル１０００ａを積層し、引き出し電極５０１，５０２を介して、電池セルを並列接続させる。具体的には、上下に重なる電池セル１０００ａは、表裏逆となって積層されている。全固体電池１０００は、およそ１４層以上の電池セル１０００ａを用いることにより、１．５Ｖ程度の電圧を得ることができる。

【0042】

図１６に示す工程では、積層された複数の電池セル１０００ａを、アルミラミネートフィルム４００によって包装する。以上により、全固体電池１０００が完成する。

【0043】

図１７及び図１８は、実施形態の一例である、全固体電池１００１において、電池セル１１１０の電極取り出し方法、電池セル１１１０の固定方法、電池セル１１１０の包装方法を示している。

【0044】

図１７に示すように、ケース１１３０に重畳して収容された、電池セル１１１０、正極基板（図示せず）、負極基板１１２４は、ケース１１３０の側壁１１３１，１１３２，１１３３、凸部１１４０、底部（図示せず）によって保持される。側壁１１３１，１１３２，１１３３は、切欠き１１５０を有し、この切欠き１１５０によって、側壁１１３１，１１３２に分割されている。

【0045】

図１８に示すように、全固体電池１００１は、２枚のアルミラミネートフィルム１１６１，１１６２を用いて、上方と下方とが覆われている。

【0046】

アルミラミネートフィルム１１６１，１１６２は伸縮性を有している。そのため、アルミラミネートフィルム１１６１は、全固体電池１００１の側面（ケース１１３０の側壁）、全固体電池１００１の上方の面などの全固体電池１００１の外形に沿って、全固体電池１００１の上方を覆っている。アルミラミネートフィルム１１６２は、全固体電池１００１の下方の面を覆っている。アルミラミネートフィルム１１６１，１１６２は、全固体電池１００１の下方の面から庇状にせり出した領域で、内面同士が接合されて一体に形成されている。

【0047】

引き出し電極として機能する、正極タブ１１２２ａおよび負極タブ１１２４ａは、上記の庇状にせり出した領域で、アルミラミネートフィルム１１６１，１１６２の間から外側に引き出されている。アルミラミネートフィルム１１６１，１１６２は、正極タブ１１２２ａおよび負極タブ１１２４ａに密着し、上記の庇状にせり出した領域で一体となっている。そのため、全固体電池１００１は、正極タブ１１２２ａおよび負極タブ１１２４ａを除いて、アルミラミネートフィルム１１６１，１１６２によって密封されている。全固体電池１００１は、アルミラミネートフィルム１１６１，１１６２で包装されることにより、水分やガスなどの影響を低減することができる。

【0048】

以上述べたように、本実施形態の全固体電池１０００は、正極集電体１００と、負極電極２００と、正極集電体１００と負極電極２００との間に配置された活物質複合体３１０と、を備え、負極電極２００は、シリコンナノワイヤ２１２ａと、シリコンナノワイヤ２１２ａの表面に被覆されたリチウム膜２１２ｂと、を有し、活物質複合体３１０は、コバルト酸リチウムで構成された活物質形成体３２０と、活物質形成体３２０の周囲を覆う第１固体電解質３３０と、を有する。

【0049】

この構成によれば、負極電極２００が、リチウム膜２１２ｂで被覆されたシリコンナノワイヤ２１２で構成されているので、充放電を繰り返すことによって発生する膨張収縮による応力を、シリコンナノワイヤ２１２で吸収することが可能となり、充放電時における負極電極２００が破損することを抑えることができる。よって、全固体電池１０００の耐久性を向上させることができる。加えて、負極電極２００がシリコンナノワイヤ２１２で構成されているため、負極電極２００の表面積を増やすことが可能となり、充放電の容量を大きくすることができる。よって、全固体電池１０００の寿命を延ばすことができる。また、電池セル１０００ａを小型にできるので、電池セル１０００ａを積層した場合でも、全固体電池１０００が大型化することを抑えることができる。

【0050】

また、本実施形態の全固体電池１０００において、活物質複合体３１０は、第２固体電解質３４０を介して、負極電極２００と接合されていることが好ましい。この構成によれば、第２固体電解質３４０を介して活物質複合体３１０と負極電極２００とが接合されているので、活物質複合体３１０と負極電極２００との密着性が向上し、全固体電池１０００の内部抵抗を下げることができる。

【0051】

また、本実施形態の全固体電池１０００において、負極電極２００の界面には、金とリチウムとの合金膜２２０が配置されていることが好ましい。この構成によれば、金とリチウムとの合金膜２２０が配置されているので、ＭＡＣＥに用いる触媒金属として機能させる膜を金とした場合、シリコンナノワイヤ２１２表面に残留する微量の金を利用してリチウムの蒸着によりＡｕ／Ｌｉ合金を負極界面となるシリコンナノワイヤ表面に形成して、全固体電池１０００の繰り返し充放電時のリチウムイオンの部分的な析出を抑えることが可能となり、リチウムイオンの析出を均一化させ更に応力を緩和し、充放電の繰り返しによる電池容量の低下を防止することができる。

【0052】

また、本実施形態の全固体電池１０００において、正極集電体１００と負極電極２００と活物質複合体３１０とが、順に複数積層された積層体、即ち、電池セル１０００ａを備え、積層体は、アルミラミネートフィルム４００で覆われていることが好ましい。この構成によれば、上記構成の積層体がアルミラミネートフィルム４００で覆われているので、所定の電池容量を有する全固体電池１０００として、取り扱いやすくすることができる。

【0053】

また、本実施形態の全固体電池１０００の製造方法は、活物質複合体３１０を形成する工程と、シリコン基板２１０の表面にＭＡＣＥ法を用いてシリコンナノワイヤ２１２ａを形成する工程と、シリコンナノワイヤ２１２ａの表面にリチウム膜２１２ｂを成膜して負極電極２００を形成する工程と、正極集電体１００を準備する工程と、正極集電体１００と活物質複合体３１０と負極電極２００とを接合する工程と、を有する。

【0054】

この方法によれば、負極電極２００を、リチウム膜２１２ｂで被覆されたシリコンナノワイヤ２１２で形成するので、充放電によって発生する膨張収縮による応力を、シリコンナノワイヤ２１２で吸収することが可能となり、充放電時における負極電極２００が破損することを抑えることができる。よって、全固体電池１０００の耐久性を向上させることができる。加えて、負極電極２００がシリコンナノワイヤ２１２で構成されているため、負極電極２００の表面積を増やすことが可能となり、充放電の容量を大きくすることができる。よって、全固体電池１０００の寿命を延ばすことができる。

【符号の説明】

【0055】

１００…正極集電体、２００…負極電極、２１０…シリコン基板、２１１…基材、２１２…シリコンナノワイヤ、２１２ａ…シリコンナノワイヤ、２１２ｂ…リチウム膜、２２０…合金膜、２３０ａ…金膜、２３０ｂ…金膜パターン、２３０ｃ…細孔、３００…固体電解質、３０１…電極複合体、３１０…活物質複合体、３１０ａ…一面、３１０ｂ…他面、３１０ｃ…他面、３２０…活物質形成体、３２０ａ…多孔性正極、３２０Ａ…グリーンシート、３２１…活物質粒子、３３０…第１固体電解質、３３０ａ…前駆体溶液、３４０…第２固体電解質、４００…アルミラミネートフィルム、５０１，５０２…引き出し電極、１０００…全固体電池、１０００ａ…電池セル、１００１…全固体電池、１１１０…電池セル、１１２２ａ…正極タブ、１１２４…負極基板、１１２４ａ…負極タブ、１１３０…ケース、１１４０…凸部、１１６１，１１６２…アルミラミネートフィルム。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】