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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024108347
(43)【公開日】2024-08-13
(54)【発明の名称】放熱フィラー粒子、放熱フィラーおよび放熱シート
(51)【国際特許分類】
C01B 33/18 20060101AFI20240805BHJP
H01L 23/373 20060101ALI20240805BHJP
H01L 23/36 20060101ALI20240805BHJP
C09K 5/14 20060101ALI20240805BHJP
【ＦＩ】
C01B33/18 C
H01L23/36 M
H01L23/36 D
C09K5/14 E ZAB
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023012660
(22)【出願日】2023-01-31
(71)【出願人】
【識別番号】000002130
【氏名又は名称】住友電気工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】大国 秀行
【テーマコード（参考）】
4G072
5F136
【Ｆターム（参考）】
4G072AA25
4G072AA28
4G072AA35
4G072AA36
4G072AA41
4G072BB05
4G072BB16
4G072CC13
4G072DD03
4G072GG02
4G072GG03
4G072HH17
4G072JJ38
4G072JJ45
4G072LL02
4G072MM01
4G072NN13
4G072NN21
4G072QQ09
4G072RR01
4G072RR11
4G072TT30
4G072UU09
4G072UU30
5F136BB18
5F136BC07
5F136FA13
5F136FA14
5F136FA52
5F136FA53
5F136FA54
5F136FA55
5F136FA63
(57)【要約】
【課題】放熱シートの放熱材として用いられた場合に、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを得ることのできる、放熱フィラー粒子および放熱フィラー、並びに、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを提供することを目的とする。
【解決手段】コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、前記コア部は、シリカ粒子からなり、前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
【選択図】図１
【解決手段】コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、前記コア部は、シリカ粒子からなり、前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子。
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子。
【請求項2】
前記シリカ粒子は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなる、請求項１に記載の放熱フィラー粒子。
【請求項3】
前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上である、請求項１または請求項２に記載の放熱フィラー粒子。
【請求項4】
前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下である、請求項１または請求項２に記載の放熱フィラー粒子。
【請求項5】
複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラーであって、
前記放熱フィラー粒子は、コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなり、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー。
前記放熱フィラー粒子は、コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなり、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー。
【請求項6】
前記コア部は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなる、請求項５に記載の放熱フィラー。
【請求項7】
前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上である、請求項５または請求項６に記載の放熱フィラー。
【請求項8】
前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下である、請求項５または請求項６に記載の放熱フィラー。
【請求項9】
請求項５または請求項６に記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、
前記放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シート。
前記放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シート。
【請求項10】
前記放熱シートの熱伝導率Ｃ１と、前記放熱シートの密度Ｄ１とは、Ｃ１／Ｄ１≧１．２５の関係を満たし、
ここで、Ｃ１の単位はＷ／ｍ・Ｋであり、Ｄ１の単位はｇ／ｃｍ３である、請求項９に記載の放熱シート。
ここで、Ｃ１の単位はＷ／ｍ・Ｋであり、Ｄ１の単位はｇ／ｃｍ３である、請求項９に記載の放熱シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、放熱フィラー粒子、放熱フィラーおよび放熱シートに関する。
【背景技術】
【0002】
電子部品（コンピュータ（ＣＰＵ）、ビデオチップ、メモリー等の半導体）とヒートシンクとの間に配置され、ヒートシンクを電子部品に固定するとともに電子部品の動作により発生した熱を電子部品からヒートシンクに伝達する（電子部品の外部に放熱する）放熱シートが知られている。
【0003】
特許文献１には、シリコーンゲルと高分子量の液状シリコーンゴムのブレンド１００重量部に対し、放熱材として、アルミナ（酸化アルミニウム）、マグネシア（酸化マグネシウム）、窒化ほう素の一種以上を５０～６０重量部添加した放熱シートが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００１－００７５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に記載されている放熱材のうち、特にアルミナは、熱伝導率が高く、優れた耐水性を有し、放熱シートの寿命を長くすることができる。また、アルミナは他の材料よりコスト面で有利である。よって、アルミナは放熱材として広く用いられている。一方、アルミナは、シリコーンゲルおよび液状シリコーンゴムに対して、比重が大きい。このため、アルミナを含む放熱シートは密度が増加する。
【0006】
近年、携帯電話やスマートフォン等の携帯用電子機器では、軽量化が望まれている。よって、放熱シートにおいても、高い熱伝導率を維持したまま、軽量化が望まれている。
【0007】
そこで、本開示は、放熱シートの放熱材として用いられた場合に、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを得ることのできる、放熱フィラー粒子および放熱フィラー、並びに、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示の放熱フィラー粒子は、
コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
【発明の効果】
【0009】
本開示によれば、放熱シートの放熱材として用いられた場合に、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを得ることのできる、放熱フィラー粒子および放熱フィラー、並びに、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
（１）本開示の放熱フィラー粒子は、
コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
（１）本開示の放熱フィラー粒子は、
コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
【0012】
本開示の放熱フィラー粒子を放熱シートの放熱材として用いると、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを得ることができる。
【0013】
（２）上記（１）において、前記シリカ粒子は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなってもよい。これによると、放熱フィラー粒子の熱伝導率が向上するため、該放熱フィラー粒子を含む放熱シートの熱伝導率も向上する。
【0014】
（３）上記（１）または（２）において、前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上であってもよい。これによると、放熱フィラー粒子の熱伝導率が向上するため、該放熱フィラー粒子を含む放熱シートの熱伝導率も向上する。
【0015】
（４）上記（１）から（３）のいずれかにおいて、前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下であってもよい。これによると、放熱フィラー粒子がより軽量となるため、該放熱フィラー粒子を含む放熱シートもより軽量化される。
【0016】
（５）本開示の放熱フィラーは、
複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラーであって、
前記放熱フィラー粒子は、コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなり、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラーである。
複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラーであって、
前記放熱フィラー粒子は、コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなり、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラーである。
【0017】
本開示の放熱フィラーを放熱シートの放熱材として用いると、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを得ることができる。
【0018】
（６）上記（５）において、前記コア部は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなってもよい。これによると、放熱フィラーの熱伝導率が向上するため、該放熱フィラーを含む放熱シートの熱伝導率も向上する。
【0019】
（７）上記（５）または（６）において、前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上であってもよい。これによると、放熱フィラーの熱伝導率が向上するため、該放熱フィラーを含む放熱シートの熱伝導率も向上する。
【0020】
（８）上記（５）から（７）のいずれかにおいて、前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下であってもよい。これによると、放熱フィラーがより軽量となるため、該放熱フィラーを含む放熱シートもより軽量化される。
【0021】
（９）本開示の放熱シートは、上記（５）から（８）のいずれかに記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、
前記放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シートである。
前記放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シートである。
【0022】
本開示の放熱シートは、熱伝導率が高く、かつ、軽量化されている。
【0023】
（１０）上記（９）において、前記放熱シートの熱伝導率Ｃ１と、前記放熱シートの密度Ｄ１とは、Ｃ１／Ｄ１≧１．２５の関係を満たし、
ここで、Ｃ１の単位はＷ／ｍ・Ｋであり、Ｄ１の単位はｇ／ｃｍ３であってもよい。
ここで、Ｃ１の単位はＷ／ｍ・Ｋであり、Ｄ１の単位はｇ／ｃｍ３であってもよい。
【0024】
これによると、放熱シートは所望の熱伝導率を確保しながら、より軽量化される。
【0025】
［本開示の実施形態の詳細］
本開示の放熱フィラー粒子、放熱フィラーおよび放熱シートの具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。本開示の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表すものである。また、長さ、幅、厚さ、深さなどの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜変更されており、必ずしも実際の寸法関係を表すものではない。
本開示の放熱フィラー粒子、放熱フィラーおよび放熱シートの具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。本開示の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表すものである。また、長さ、幅、厚さ、深さなどの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜変更されており、必ずしも実際の寸法関係を表すものではない。
【0026】
本明細書において「Ａ～Ｂ」という形式の表記は、範囲の上限下限（すなわちＡ以上Ｂ以下）を意味し、Ａにおいて単位の記載がなく、Ｂにおいてのみ単位が記載されている場合、Ａの単位とＢの単位とは同じである。
【0027】
本明細書において化合物などを化学式で表す場合、原子比を特に限定しないときは従来公知のあらゆる原子比を含むものとし、必ずしも化学量論的範囲のもののみに限定されるべきではない。
【0028】
本開示において、数値範囲の下限および上限として、それぞれ１つ以上の数値が記載されている場合は、下限に記載されている任意の１つの数値と、上限に記載されている任意の１つの数値との組み合わせも開示されているものとする。例えば、下限として、ａ１以上、ｂ１以上、ｃ１以上が記載され、上限としてａ２以下、ｂ２以下、ｃ２以下が記載されている場合は、ａ１以上ａ２以下、ａ１以上ｂ２以下、ａ１以上ｃ２以下、ｂ１以上ａ２以下、ｂ１以上ｂ２以下、ｂ１以上ｃ２以下、ｃ１以上ａ２以下、ｃ１以上ｂ２以下およびｃ１以上ｃ２以下が開示されているものとする。
【0029】
［実施形態１：放熱フィラー粒子］
本開示の一実施形態（以下、「実施形態１」とも記す。）の放熱フィラー粒子について、図１～図３を用いて説明する。実施形態１の放熱フィラー粒子１は、コア部２と、該コア部２を被覆する被覆部３と、からなる放熱フィラー粒子１であって、該コア部２は、シリカ粒子からなり、該被覆部３は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
本開示の一実施形態（以下、「実施形態１」とも記す。）の放熱フィラー粒子について、図１～図３を用いて説明する。実施形態１の放熱フィラー粒子１は、コア部２と、該コア部２を被覆する被覆部３と、からなる放熱フィラー粒子１であって、該コア部２は、シリカ粒子からなり、該被覆部３は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子である。
【0030】
実施形態１に係る放熱フィラー粒子を放熱材として含む放熱シートは、熱伝導率が高く、かつ、軽量化されている。この理由は以下の通りと推察される。
【0031】
実施形態１の放熱フィラー粒子は、シリカ粒子からなるコア部と、該コア部を被覆する酸化アルミニウムからなる被覆部とからなる。シリカ粒子は、同一の大きさの酸化アルミニウムのみからなる放熱フィラー粒子よりも比重が小さい。これにより、実施形態１の放熱フィラー粒子を含む放熱シートを軽量化することができる。
【0032】
電子部品が発する熱は、放熱シート中の放熱材を伝って外部へ放出される。熱は、主に放熱材の表面を伝って外部へ放出される。実施形態１の放熱フィラー粒子は、その表面が熱伝導率の高い酸化アルミニウムである。よって、実施形態１の放熱フィラー粒子を含む放熱シートは、高い熱伝導率を有することができる。
【0033】
＜コア部＞
実施形態１の放熱フィラー粒子のコア部は、シリカ粒子からなる。本開示において、シリカ粒子とは、二酸化珪素（ＳｉＯ２）を主成分として含む粒子を意味する。「シリカ粒子は、二酸化珪素を主成分として含む」とは、シリカ粒子の二酸化珪素の含有率が７５質量％以上であることを意味する。シリカ粒子の二酸化珪素の含有率は、放熱フィラー粒子の軽量化の観点から、７５質量％以上１００質量％以下が好ましく、８０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、１００質量％がさらに好ましい。すなわち、コア部は二酸化珪素からなることができる。
実施形態１の放熱フィラー粒子のコア部は、シリカ粒子からなる。本開示において、シリカ粒子とは、二酸化珪素（ＳｉＯ２）を主成分として含む粒子を意味する。「シリカ粒子は、二酸化珪素を主成分として含む」とは、シリカ粒子の二酸化珪素の含有率が７５質量％以上であることを意味する。シリカ粒子の二酸化珪素の含有率は、放熱フィラー粒子の軽量化の観点から、７５質量％以上１００質量％以下が好ましく、８０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、１００質量％がさらに好ましい。すなわち、コア部は二酸化珪素からなることができる。
【0034】
上記シリカ粒子は、二酸化珪素と、酸化硼素（Ｂ２Ｏ３）、酸化ナトリウム（Ｎａ２Ｏ）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化カリウム（Ｋ２Ｏ）、酸化バリウム（ＢａＯ）および酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなることが好ましい。これによると、放熱フィラー粒子の密度を下げ、軽量化することができ、かつ、熱膨張率を下げ、被覆部との密着性を向上することができる。該シリカ粒子は、本開示の効果を損なわない範囲において、二酸化珪素および第１化合物に加えて、不純物を含んでいてもよい。実施形態１において、シリカ粒子は、７５質量％以上の二酸化珪素と、第１化合物とからなることができる。実施形態１において、シリカ粒子は、７５質量％以上の二酸化珪素と、第１化合物と、不純物とからなることができる。
【0035】
シリカ粒子の二酸化珪素の含有率および第１化合物の含有率は、シリカ粒子を押し固めてペレット状にし、蛍光Ｘ線分析法により各成分を分析することにより、測定される。
【0036】
コア部の形状は特に限定されない。例えば、球形、略球形、回転楕円体、略回転楕円体、幾何学的な形状などが挙げられる。図１に示されるように、コア部２は、基本的に、１つのシリカ粒子２２からなることができる。
【0037】
コア部２は、図３に示されるように、複数のシリカ粒子２２の凝集体であってもよい。コア部２が、複数のシリカ粒子２２の凝集体である場合は、該凝集体を１つのコア部２と見做す。
【0038】
図２に示されるように、コア部２を構成するシリカ粒子は、外殻２３と、外殻２３により規定される中空部２４とからなることが好ましい。これによると、放熱フィラー粒子がより軽量となるため、放熱シートをより軽量化することができる。
【0039】
＜被覆部＞
実施形態１の放熱フィラー粒子の被覆部は、酸化アルミニウムからなる。該被覆部は、本開示の効果を損なわない範囲において、酸化アルミニウムに加えて、不純物を含んでいてもよい。実施形態１の被覆部は、酸化アルミニウムと不純物とからなることができる。該不純物としては、例えば、炭素が挙げられる。被覆部における該不純物の含有率は、１％以下とすることができる。該不純物の含有率は、予めコア部の分析を行った上で誘導結合プラズマ質量分析法（ＩＣＰ－ＭＳ法）により測定される。
実施形態１の放熱フィラー粒子の被覆部は、酸化アルミニウムからなる。該被覆部は、本開示の効果を損なわない範囲において、酸化アルミニウムに加えて、不純物を含んでいてもよい。実施形態１の被覆部は、酸化アルミニウムと不純物とからなることができる。該不純物としては、例えば、炭素が挙げられる。被覆部における該不純物の含有率は、１％以下とすることができる。該不純物の含有率は、予めコア部の分析を行った上で誘導結合プラズマ質量分析法（ＩＣＰ－ＭＳ法）により測定される。
【0040】
被覆部は、基本的に、コア部の表面全体を被覆するが、本開示の効果を損なわない範囲において、コア部の表面の一部を被覆していなくてもよい。図３に示されるように、コア部２が複数のシリカ粒子２２の凝集体である場合、被覆部３は凝集体の表面全体を被覆していればよく、シリカ粒子２２のそれぞれの表面全体が被覆部３により被覆されていなくてもよい。本開示の効果を損なわない範囲において、被覆部３は凝集体の一部を被覆していなくてもよい。
【0041】
実施形態１の放熱フィラー粒子において、被覆部の平均厚さは、放熱フィラー粒子が優れた熱伝導率を有することができれば、特に制限されない。被覆部の平均厚さの下限は、放熱フィラー粒子の熱伝導率の向上の観点から、０．２μｍ以上が好ましく、０．４μｍ以上が好ましく、１．０μｍ以上が好ましく、１．４μｍ以上がより好ましく、１．８μｍ以上がさらに好ましい。被覆部の平均厚さの上限は特に制限されないが、例えば、放熱フィラー粒子の軽量化の観点から、５．５μｍ以下が好ましく、３．５μｍ以下がより好ましい。被覆部の平均厚さは、０．２μｍ以上５．５μｍ以下が好ましく、１．０μｍ以上３．５μｍ以下がより好ましく、１．４μｍ以上３．５μｍ以下がさらに好ましい。
【0042】
実施形態１の放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さの測定方法について図４を用いて説明する。該測定方法は、以下の工程Ａ１～Ｃ１の通りである。
工程Ａ１． 放熱フィラー粒子を光学顕微鏡により１００倍または２００倍で観察しながら、放熱フィラー粒子に対して、粒子の中心を通過するようにＦＩＢ加工（装置：Ｔｈｅｒｍｏ Ｆｉｓｈｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製「Ｑｕａｎｔａ ３Ｄ ２００ｉ」（商標））を行う。これにより、放熱フィラー粒子の中心を含む断面を得る。図４は、該断面を模式的に示す図である。
工程Ａ１． 放熱フィラー粒子を光学顕微鏡により１００倍または２００倍で観察しながら、放熱フィラー粒子に対して、粒子の中心を通過するようにＦＩＢ加工（装置：Ｔｈｅｒｍｏ Ｆｉｓｈｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製「Ｑｕａｎｔａ ３Ｄ ２００ｉ」（商標））を行う。これにより、放熱フィラー粒子の中心を含む断面を得る。図４は、該断面を模式的に示す図である。
【0043】
工程Ｂ１． 放熱フィラー粒子の断面を電子顕微鏡により倍率２００～２０００倍で観察し、コア部の中心Ｃを特定する。コア部が外殻と、外殻により規定される中空部２４とからなる場合は、外殻の外側表面により規定される円の中心を中心Ｃとする。コア部の断面が真円でない場合は、最小外接円の中心を中心Ｃとする。コア部が、複数のシリカ粒子２２の凝集体である場合は、凝集体の最小外接円の中心を中心Ｃとする。被覆部の厚さが最も厚い部分に対応する放熱フィラー粒子の外縁上の点Ｐ１を特定する。ここで、被覆部の厚さは、放熱フィラー粒子の外縁上の１点から中心Ｃに向かう方向の厚さである。中心Ｃと、点Ｐ１とを結ぶ線分Ｌ１を引く。中心Ｃを通り、線分Ｌ１との角度が１２０°となる線分Ｌ２を引く。線分Ｌ２と、放熱フィラー粒子の外縁との交点を点Ｐ２とする。中心Ｃを通り、線分Ｌ２との角度が１２０°となる線分Ｌ３を引く。線分Ｌ３と、放熱フィラー粒子の外縁との交点を点Ｐ３とする。線分Ｌ２と線分Ｌ３とは異なる線分である。
【0044】
工程Ｃ１． 点Ｐ１から線分Ｌ１に沿う方向の被覆部の厚さＴ１を測定する。点Ｐ２から線分Ｌ２に沿う方向の被覆部の厚さＴ２を測定する。点Ｐ３から線分Ｌ３に沿う方向の被覆部の厚さＴ３を測定する。Ｔ１、Ｔ２およびＴ３の平均Ｔ４を算出する。該平均Ｔ４が実施形態１の放熱フィラー粒子における被覆部の平均厚さＴ４に該当する。
【0045】
同一の放熱フィラー粒子で測定する限り、ＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。放熱フィラー粒子のコア部が、複数のシリカ粒子の凝集体である場合においても、ＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。
【0046】
＜（Ｖ２／Ｖ１）×１００＞
実施形態１の放熱フィラー粒子において、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、放熱フィラー粒子を軽量化することができれば、特に制限されない。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、例えば、６０％以下とすることができる。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、５０％以下であることが好ましい。これによると、放熱フィラー粒子がより軽量となるため、放熱シートをより軽量化することができる。ここで、コア部を構成するシリカ粒子が外殻２３と、外殻２３により規定される中空部２４とからなる場合は、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１は、中空部２４の占める空間も含む。
実施形態１の放熱フィラー粒子において、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、放熱フィラー粒子を軽量化することができれば、特に制限されない。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、例えば、６０％以下とすることができる。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、５０％以下であることが好ましい。これによると、放熱フィラー粒子がより軽量となるため、放熱シートをより軽量化することができる。ここで、コア部を構成するシリカ粒子が外殻２３と、外殻２３により規定される中空部２４とからなる場合は、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１は、中空部２４の占める空間も含む。
【0047】
上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、放熱フィラー粒子の軽量化の観点から、５０％以下が好ましく、４０％以下が好ましく、２５％以下がより好ましく、２２％以下がさらに好ましい。上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の下限は特に制限されないが、例えば、放熱フィラー粒子の熱伝導率向上の観点から、７％以上が好ましく、１５％以上がより好ましく、１７％以上がさらに好ましい。上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、７％以上５０％以下が好ましく、１５％以上４０％以下がより好ましく、１７％以上２５％以下がさらに好ましい。
【0048】
実施形態１の放熱フィラー粒子における上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の測定方法は、以下の工程Ａ２～Ｃ２の通りである。
工程Ａ２． 上記の放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さの測定方法の工程Ａ１～Ｃ１と同一の方法で、放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さＴ４を算出する。
工程Ａ２． 上記の放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さの測定方法の工程Ａ１～Ｃ１と同一の方法で、放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さＴ４を算出する。
【0049】
工程Ｂ２． 上記の工程Ｂ１と同一の条件で、放熱フィラー粒子の断面を電子顕微鏡により観察し、線分Ｌ１、Ｌ２およびＬ３のそれぞれの長さを測定し、これらの平均Ｌ４を算出する。測定対象の放熱フィラー粒子を真球と見做す。従って、該平均Ｌ４×２の値が、放熱フィラー粒子の粒径Ｒに相当する。
【0050】
工程Ｃ２． 放熱フィラー粒子の粒径Ｒおよび被覆部の平均厚さＴ４に基づき、百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００を算出する。
【0051】
同一の放熱フィラー粒子で測定する限り、ＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。放熱フィラー粒子のコア部が、複数のシリカ粒子の凝集体である場合において、ＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。
【0052】
実施形態１において、各放熱フィラー粒子の大きさは、どのような大きさであっても、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを提供することができるため、特に限定されない。例えば、放熱フィラー粒子の粒径Ｒは、放熱フィラー粒子同士の接触性の向上、および、複数の放熱フィラー粒子からなる放熱フィラーの充填性の向上の観点から、８μｍ以上１２０μｍ以下が好ましく、１２μｍ以上８５μｍ以下がより好ましく、４５μｍ以上６５μｍ以下がさらに好ましい。ここで、複数の放熱フィラーの充填性とは、放熱フィラーのかさ体積に占める空間の割合である空間率εを意味する。空間率εは、以下の式で定義される。
ε＝１－（ρｂ／ρｐ）＝１－（Ｍ／ρｐＶ）
上記式において、ρｂは放熱フィラーのかさ密度、ρｐは放熱フィラーの粒子密度、Ｍは放熱フィラーの質量、Ｖは放熱フィラーのかさ体積を示す。
ε＝１－（ρｂ／ρｐ）＝１－（Ｍ／ρｐＶ）
上記式において、ρｂは放熱フィラーのかさ密度、ρｐは放熱フィラーの粒子密度、Ｍは放熱フィラーの質量、Ｖは放熱フィラーのかさ体積を示す。
【0053】
＜放熱フィラー粒子の製造方法＞
実施形態１の放熱フィラー粒子の製造方法の一例について説明する。まず、シリカ粒子からなる粉体を準備する。シリカ粒子の表面に、ミストＣＶＤ法を用いて酸化アルミニウムからなる被覆部を形成する。具体的には、まずアルミニウムアセチルアセトナートをメタノールに溶解して得られる原料溶液（アルミニウムアセチルアセトナート濃度：０．１０ｍоｌ／Ｌ）を準備する。原料溶液を用いて、加熱反応部にシリカ粒子からなる粉体の攪拌機能を備えるミストＣＶＤ装置により、シリカ粒子の表面に酸化アルミニウムからなる被覆部を形成し、実施形態１の放熱フィラー粒子を得る。
実施形態１の放熱フィラー粒子の製造方法の一例について説明する。まず、シリカ粒子からなる粉体を準備する。シリカ粒子の表面に、ミストＣＶＤ法を用いて酸化アルミニウムからなる被覆部を形成する。具体的には、まずアルミニウムアセチルアセトナートをメタノールに溶解して得られる原料溶液（アルミニウムアセチルアセトナート濃度：０．１０ｍоｌ／Ｌ）を準備する。原料溶液を用いて、加熱反応部にシリカ粒子からなる粉体の攪拌機能を備えるミストＣＶＤ装置により、シリカ粒子の表面に酸化アルミニウムからなる被覆部を形成し、実施形態１の放熱フィラー粒子を得る。
【0054】
上記のミストＣＶＤ法の条件は、例えば、以下の通りである。
原料溶液搬送Ｎ２流量：２～３Ｌ／ｍｉｎ
希釈Ｎ２流量：３～５Ｌ／ｍｉｎ
成膜温度：３５０～６００℃
粉体撹拌速度：０．５～３ｒｐｍ
原料溶液搬送Ｎ２流量：２～３Ｌ／ｍｉｎ
希釈Ｎ２流量：３～５Ｌ／ｍｉｎ
成膜温度：３５０～６００℃
粉体撹拌速度：０．５～３ｒｐｍ
【0055】
成膜時間を調整することにより、被覆部の厚さを調整することができる。成膜時間は、例えば、１～５０時間とすることができる。
【0056】
［実施形態２：放熱フィラー］
本開示の一実施形態（以下、「実施形態２」とも記す。）の放熱フィラーは、
複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラーであって、
該放熱フィラー粒子は、コア部と、該コア部を被覆する被覆部と、からなり、
該コア部は、シリカ粒子からなり、
該被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラーである。
ここで、「複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラー」とは、放熱フィラーが複数の放熱フィラー粒子が集合した集合体であることを意味する。
本開示の一実施形態（以下、「実施形態２」とも記す。）の放熱フィラーは、
複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラーであって、
該放熱フィラー粒子は、コア部と、該コア部を被覆する被覆部と、からなり、
該コア部は、シリカ粒子からなり、
該被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラーである。
ここで、「複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラー」とは、放熱フィラーが複数の放熱フィラー粒子が集合した集合体であることを意味する。
【0057】
実施形態２に係る放熱フィラーを放熱材として含む放熱シートは、熱伝導率が高く、かつ、軽量化されている。この理由は以下の通りと推察される。
【0058】
実施形態２の放熱フィラーは、複数の放熱フィラー粒子からなり、該放熱フィラー粒子は、シリカ粒子からなるコア部と、該コア部を被覆する酸化アルミニウム粒子からなる被覆部とからなる。シリカ粒子は、同一の大きさの酸化アルミニウムのみからなる放熱フィラー粒子よりも比重が小さい。これにより、実施形態２の放熱フィラーを含む放熱シートを軽量化することができる。
【0059】
電子部品が発する熱は、放熱シート中の放熱材を伝って外部へ放出される。熱は、主に放熱材の表面を伝って外部へ放出される。実施形態２の放熱フィラーを構成する放熱フィラー粒子は、その表面が熱伝導率の高い酸化アルミニウムである。よって、実施形態２の放熱フィラーを含む放熱シートは、高い熱伝導率を有することができる。
【0060】
＜放熱フィラー粒子＞
実施形態２の放熱フィラーは、複数の放熱フィラー粒子からなる放熱フィラーであって、該放熱フィラー粒子は、コア部と、該コア部を被覆する被覆部と、からなり、該コア部は、シリカ粒子からなり、該被覆部は、酸化アルミニウムからなる。
実施形態２の放熱フィラーは、複数の放熱フィラー粒子からなる放熱フィラーであって、該放熱フィラー粒子は、コア部と、該コア部を被覆する被覆部と、からなり、該コア部は、シリカ粒子からなり、該被覆部は、酸化アルミニウムからなる。
【0061】
＜コア部＞
実施形態２において、各放熱フィラー粒子のコア部は、実施形態１の放熱フィラー粒子のコア部と同一の構成（組成、形状）とすることができる。
実施形態２において、各放熱フィラー粒子のコア部は、実施形態１の放熱フィラー粒子のコア部と同一の構成（組成、形状）とすることができる。
【0062】
＜被覆部＞
実施形態２において、各放熱フィラー粒子の被覆部の組成およびコア部の被覆範囲は、実施形態１の放熱フィラー粒子の被覆部と同一の構成とすることができる。
実施形態２において、各放熱フィラー粒子の被覆部の組成およびコア部の被覆範囲は、実施形態１の放熱フィラー粒子の被覆部と同一の構成とすることができる。
【0063】
実施形態２の放熱フィラーにおいて、被覆部の平均厚さは、放熱フィラーが優れた熱伝導率を有することができれば、特に制限されない。被覆部の平均厚さの下限は、放熱フィラーの熱伝導率の向上の観点から、０．２μｍ以上が好ましく、０．４μｍ以上が好ましく、１．０μｍ以上が好ましく、１．４μｍ以上がより好ましく、１．８μｍ以上がさらに好ましい。被覆部の平均厚さの上限は特に制限されないが、例えば、放熱フィラーの軽量化の観点から、５．５μｍ以下が好ましく、３．５μｍ以下がより好ましい。被覆部の平均厚さは、０．２μｍ以上５．５μｍ以下が好ましく、１．０μｍ以上３．５μｍ以下がより好ましく、１．４μｍ以上３．５μｍ以下がさらに好ましい。
【0064】
実施形態２の放熱フィラーにおける被覆部の平均厚さの測定方法は、以下の工程Ａ３～Ｃ３の通りである。
【0065】
工程Ａ３． 放熱フィラーを光学顕微鏡により１００倍または２００倍で観察して、光学顕微鏡像を得る。該光学顕微鏡像中に５００μｍ×１０００μｍの矩形の測定視野を設定する。該測定視野を縦３列×横３列に９分割して、９つの単位領域を設定する。各単位領域内で最も大きい放熱フィラー粒子を特定する。特定された９つの放熱フィラー粒子のそれぞれに対して、粒子の中心を通過するようにＦＩＢ加工（装置：Ｔｈｅｒｍｏ Ｆｉｓｈｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製 Ｑｕａｎｔａ ３Ｄ ２００ｉ）を行う。これにより、放熱フィラー粒子の中心を含む断面を得る。
【0066】
工程Ｂ３． 上記９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの断面において、実施形態１の放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さの測定方法に記載の工程Ｂ１および工程Ｃ１と同一の方法で、各放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さＴ４を測定する。
【0067】
工程Ｃ３． 上記９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの被覆部の平均厚さＴ４の平均Ｔ５を算出する。該平均Ｔ５が実施形態２の放熱フィラーを構成する複数の放熱フィラー粒子の被覆部の平均厚さＴ５に該当する。
【0068】
同一の放熱フィラーで測定する限り、測定視野を任意に選択し、また、放熱フィラー粒子のＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。放熱フィラー粒子のコア部が、複数のシリカ粒子の凝集体である場合において、ＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。
【0069】
＜（Ｖ２／Ｖ１）×１００＞
実施形態２の放熱フィラーにおいて、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、放熱フィラーを軽量化することができれば、特に制限されない。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、例えば、６０％以下とすることができる。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、５０％以下であることが好ましい。これによると、放熱フィラーがより軽量となるため、該放熱フィラーを含む放熱シートもより軽量化される。ここで、コア部を構成するシリカ粒子が外殻２３と、外殻２３により規定される中空部２４とからなる場合は、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１は、中空部２４の占める空間も含む。
実施形態２の放熱フィラーにおいて、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、放熱フィラーを軽量化することができれば、特に制限されない。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、例えば、６０％以下とすることができる。該百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、５０％以下であることが好ましい。これによると、放熱フィラーがより軽量となるため、該放熱フィラーを含む放熱シートもより軽量化される。ここで、コア部を構成するシリカ粒子が外殻２３と、外殻２３により規定される中空部２４とからなる場合は、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１は、中空部２４の占める空間も含む。
【0070】
上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の上限は、放熱フィラーの軽量化の観点から、５０％以下が好ましく、４０％以下が好ましく、２５％以下がより好ましく、２２％以下がさらに好ましい。上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の下限は特に制限されないが、例えば、放熱フィラーの熱伝導率向上の観点から、７％以上が好ましく、１５％以上がより好ましく、１７％以上がさらに好ましい。上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００は、７％以上５０％以下が好ましく、１５％以上４０％以下がより好ましく、１７％以上２５％以下がさらに好ましい。
【0071】
実施形態２の放熱フィラーにおける上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の測定方法は、以下の工程Ａ４～Ｄ４の通りである。
工程Ａ４． 上記の放熱フィラーにおける被覆部の平均厚さの測定方法の工程Ａ３と同一の方法で、９つの放熱フィラー粒子を特定し、該９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの断面を得る。
工程Ａ４． 上記の放熱フィラーにおける被覆部の平均厚さの測定方法の工程Ａ３と同一の方法で、９つの放熱フィラー粒子を特定し、該９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの断面を得る。
【0072】
工程Ｂ４． 上記９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの断面において、上記工程Ｂ３および工程Ｃ３と同一の方法で、９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの被覆部の平均厚さＴ４を測定し、これらの平均Ｔ５を算出する。
【0073】
工程Ｃ４． 上記９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの断面において、実施形態１の放熱フィラー粒子における上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の測定方法の工程Ｂ２と同一の方法で、９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの粒径Ｒを算出する。上記９つの放熱フィラー粒子のそれぞれの粒径Ｒの算術平均である平均粒径Ｒ１を算出する。
【0074】
工程Ｄ４． 測定対象の各放熱フィラー粒子を真球と見做し、平均粒径Ｒ１および被覆部の平均厚さＴ５に基づき、百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００を算出する。
【0075】
同一の放熱フィラーで測定する限り、測定視野を任意に選択し、また、放熱フィラー粒子のＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。放熱フィラー粒子のコア部が、複数のシリカ粒子の凝集体である場合において、ＦＩＢ加工の位置を任意に選択しても、測定結果にばらつきがないことが確認されている。
【0076】
実施形態２の放熱フィラーにおいて、各放熱フィラー粒子の大きさは、どのような大きさであっても、熱伝導率が高く、かつ、軽量化された放熱シートを提供することができるため、特に限定されない。例えば、放熱フィラーを構成する複数の放熱フィラー粒子の粒径の平均粒径Ｒ１は、放熱フィラー粒子同士の接触性、および、放熱フィラーの充填性の向上の観点から、８μｍ以上１２０μｍ以下が好ましく、１２μｍ以上８５μｍ以下がより好ましく、４５μｍ以上６５μｍ以下がさらに好ましい。
【0077】
実施形態２の放熱フィラーは、放熱シートに適用された場合、高い熱伝導率を実現することができ、複数の放熱フィラー粒子の粒径分布は特に限定されない。例えば、放熱フィラー粒子の粒径のＤ１０は、１０μｍ以上とすることができる。放熱フィラー粒子の粒径のＤ９０は、２００μｍ以下とすることができる。ここで、放熱フィラー粒子の粒径のＤ１０とは、結晶粒の個数基準の累積粒度分布における、小径側からの累積１０％粒径を意味する。放熱フィラー粒子の断面の直径のＤ９０とは、結晶粒の個数基準の累積粒度分布における、小径側からの累積９０％粒径を意味する。粒度分布はレーザー回折散乱式粒度分布測定装置ＭＴ３３００ＩＩ(マイクロトラックベル株式会社製)を用いて、体積基準の粒度分布を測定する。粒子を球形と見なして、ソフトウエアを用いて個数基準の粒度分布に変換する。
【0078】
＜放熱フィラーの製造方法＞
実施形態２の放熱フィラーの製造方法の一例について説明する。まず、複数のシリカ粒子からなる粉体を準備する。各シリカ粒子の表面に、実施形態１に記載の放熱フィラー粒子の製造方法と同一の方法および条件で、酸化アルミニウムからなる被覆部を形成することにより、実施形態２の放熱フィラーを得ることができる。
実施形態２の放熱フィラーの製造方法の一例について説明する。まず、複数のシリカ粒子からなる粉体を準備する。各シリカ粒子の表面に、実施形態１に記載の放熱フィラー粒子の製造方法と同一の方法および条件で、酸化アルミニウムからなる被覆部を形成することにより、実施形態２の放熱フィラーを得ることができる。
【0079】
［実施形態３：放熱シート］
本開示の一実施形態（以下、「実施形態３」とも記す。）の放熱シートは、実施形態２に記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、該放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シートである。
本開示の一実施形態（以下、「実施形態３」とも記す。）の放熱シートは、実施形態２に記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、該放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シートである。
【0080】
＜放熱フィラー＞
実施形態３の放熱シートに含まれる放熱フィラーは、実施形態２に記載の放熱フィラーであり、軽量かつ熱伝導率が高い。実施形態３の放熱シートは、該放熱フィラーを７０質量％以上含むため、放熱シート内で放熱フィラー粒子の少なくとも一部が互いに接している。これにより、放熱シートは、高い熱伝導率を有することができる。また、実施形態３の放熱シートは、従来の酸化アルミニウムのみからなる放熱フィラーを含む放熱シートに比べて、軽量化されている。
実施形態３の放熱シートに含まれる放熱フィラーは、実施形態２に記載の放熱フィラーであり、軽量かつ熱伝導率が高い。実施形態３の放熱シートは、該放熱フィラーを７０質量％以上含むため、放熱シート内で放熱フィラー粒子の少なくとも一部が互いに接している。これにより、放熱シートは、高い熱伝導率を有することができる。また、実施形態３の放熱シートは、従来の酸化アルミニウムのみからなる放熱フィラーを含む放熱シートに比べて、軽量化されている。
【0081】
実施形態３の放熱シートにおいて、放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である。該放熱フィラーの含有率の下限は、放熱シートの熱伝導率向上の観点から、７０質量％以上であり、７５質量％以上が好ましく、８０質量％以上がより好ましい。該放熱フィラーの含有率の上限は、放熱シート中の適切な樹脂の含有率を確保できるという観点から８５質量％以下である。該放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下であり、７５質量％以上８５質量％以下が好ましく、８０質量％以上８５質量％以下がより好ましい。実施形態３の放熱シートにおいて、放熱フィラーの含有率は、６５質量％以上でもよい。
【0082】
実施形態３の放熱シートにおける放熱フィラーの含有率の測定方法は、以下の通りである。放熱シートの質量Ｍ１を測定する。放熱シートを、放熱シートの樹脂に応じた溶解剤に浸漬することにより、樹脂を溶出させて、複数の放熱フィラー粒子のみを取り出し、複数の放熱フィラーの質量Ｍ２を測定する。放熱シートにおける放熱フィラーの含有率（質量％）は、（Ｍ２／Ｍ１）×１００を算出することにより得ることができる。後述の放熱シートにおける樹脂の含有率（質量％）は、１００－［（Ｍ２／Ｍ１）×１００］を算出することにより得ることができる。溶解剤としては、例えば、樹脂が付加反応型液状シリコーン樹脂の場合は、株式会社日新化学研究所社製の「シリコンクリーナーＸ－４００」（商標）を用いることができる。
【0083】
＜樹脂＞
実施形態３の放熱シートに含まれる樹脂としては、熱硬化性ポリマーを用いることが好ましい。熱硬化性ポリマーとしては、例えば、架橋ゴム、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン、ポリイミドシリコーン、熱硬化型ポリフェニレンエーテル、熱硬化型変性ポリフェニレンエーテルなどが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
実施形態３の放熱シートに含まれる樹脂としては、熱硬化性ポリマーを用いることが好ましい。熱硬化性ポリマーとしては、例えば、架橋ゴム、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン、ポリイミドシリコーン、熱硬化型ポリフェニレンエーテル、熱硬化型変性ポリフェニレンエーテルなどが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【0084】
架橋ゴムとしては、天然ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ニトリルゴム、水添ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、塩素化ポリエチレン、クロロスルホン化ポリエチレン、ブチルゴム、ハロゲン化ブチルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、アクリルゴム、ポリイソブチレンゴム、シリコーンゴムなどが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【0085】
熱硬化性ポリマーは、成形加工性、耐候性に優れると共に、電子部品に対する密着性および追従性の点から、シリコーン樹脂であることが好ましい。シリコーン樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、付加反応型液状シリコーン樹脂、過酸化物を加硫に用いる熱加硫型ミラブルタイプのシリコーン樹脂などが挙げられる。電子機器の放熱シートに用いる場合は、電子部品の発熱面とヒートシンク面との密着性が要求されるため、付加反応型液状シリコーン樹脂が特に好ましい。
【0086】
付加反応型液状シリコーン樹脂としては、ビニル基を有するポリオルガノシロキサンをＡ液、Ｓｉ－Ｈ基を有するポリオルガノシロキサンをＢ液とした、２液性の付加反応型シリコーン樹脂が好ましい。Ａ液とＢ液との混合比率は所望とする放熱シートの柔軟性によって適宜選択される。
【0087】
実施形態３の放熱シートにおいて、樹脂の含有率は、１５質量％以上であってもよい。これによると、放熱シートは柔軟性を有し、電子部品の放熱シートとして好適である。該樹脂の含有率の下限は、放熱シートの柔軟性向上の観点から、２０質量％以上が好ましい。樹脂の含有率の上限は、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましい。樹脂の含有率は、１５質量％以上３０質量％以下が好ましく、２０質量％以上２５質量％以下がより好ましい。
【0088】
＜放熱シートの組成＞
実施形態３の放熱シートは、放熱フィラーと、樹脂とからなる。実施形態３の放熱シートは、本開示の効果を損なわない範囲において、不純物を含んでいてもよい。実施形態３の放熱シートは、放熱フィラーと、樹脂と、不純物とからなることができる。放熱シートにおける該不純物の含有率は、１質量％以下とすることができる。
実施形態３の放熱シートは、放熱フィラーと、樹脂とからなる。実施形態３の放熱シートは、本開示の効果を損なわない範囲において、不純物を含んでいてもよい。実施形態３の放熱シートは、放熱フィラーと、樹脂と、不純物とからなることができる。放熱シートにおける該不純物の含有率は、１質量％以下とすることができる。
【0089】
＜被覆部の平均厚さおよび（Ｖ２／Ｖ１）×１００測定方法＞
実施形態３の放熱シートにおいて、放熱フィラーの被覆部の平均厚さおよび放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の測定方法は以下の通りである。
実施形態３の放熱シートにおいて、放熱フィラーの被覆部の平均厚さおよび放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の測定方法は以下の通りである。
【0090】
放熱シートを、放熱シートの樹脂に応じた溶解剤に浸漬することにより、樹脂を溶出させて、複数の放熱フィラー粒子のみを露出または取り出す。溶解剤としては、例えば、樹脂が付加反応型液状シリコーン樹脂の場合は、株式会社日新化学研究所社製の「シリコンクリーナーＸ－４００」（商標）を用いることができる。露出または取り出された複数の放熱フィラー粒子に対して、実施形態２の放熱フィラーにおける被覆部の平均厚さの測定方法の工程Ａ３～Ｃ３と同一の工程を行うことにより、放熱フィラーの被覆部の平均厚さが測定される。また、該複数の放熱フィラー粒子に対して、実施形態２の放熱フィラーにおける上記百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００の測定方法の工程Ａ４～Ｄ４を同一の工程を行うことにより、放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００が測定される。
【0091】
＜熱伝導率＞
実施形態３の放熱シートの熱伝導率Ｃ１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の下限は、放熱性向上の観点から１．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上が好ましく、１．９Ｗ／ｍ・Ｋ以上がより好ましく、２．２Ｗ／ｍ・Ｋ以上がさらに好ましい。該放熱シートの熱伝導率Ｃ１の上限は特に制限されないが、例えば、２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下とすることができる。該放熱シートの熱伝導率Ｃ１は、１．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下が好ましく、１．９Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下がより好ましく、２．２Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下がさらに好ましい。
実施形態３の放熱シートの熱伝導率Ｃ１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の下限は、放熱性向上の観点から１．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上が好ましく、１．９Ｗ／ｍ・Ｋ以上がより好ましく、２．２Ｗ／ｍ・Ｋ以上がさらに好ましい。該放熱シートの熱伝導率Ｃ１の上限は特に制限されないが、例えば、２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下とすることができる。該放熱シートの熱伝導率Ｃ１は、１．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下が好ましく、１．９Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下がより好ましく、２．２Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下がさらに好ましい。
【0092】
実施形態３の放熱シートの熱伝導率は、米国材料試験協会規格（ＡＳＴＭ）Ｄ５４７０に準拠した熱抵抗測定装置（リンザイス社製「サーマルインターフェイスマテリアルテスター」（商標））を用いて測定される。測定時には、放熱シートからなるサンプルを２つのアルミブロックで上面および下面から挟み、荷重３．０ｋｇｆ／ｃｍ２をかけてサンプルの厚み方向の熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）を測定する。測定時のサンプルの上面温度が３０℃となるように、上部ヒータおよび冷却プレートを調整して測定する。
【0093】
＜密度＞
実施形態３の放熱シートの密度Ｄ１（ｇ／ｍ３）の上限は、軽量化の観点から２．１０ｇ／ｃｍ３以下が好ましく、１．１５ｇ／ｃｍ３以下がより好ましく、１．１０ｇ／ｃｍ３以下がさらに好ましい。該放熱シートの密度Ｄ１の下限は特に制限されないが、例えば、０．７０ｇ／ｃｍ３以上とすることができる。該放熱シートの密度Ｄ１は、０．７０ｇ／ｍ３以上２．１０ｇ／ｍ３以下が好ましく、０．７０ｇ／ｍ３以上１．１５ｇ／ｍ３以下がより好ましく、０．７０ｇ／ｍ３以上１．１０ｇ／ｍ３以下がさらに好ましい。実施形態３の放熱シートの密度Ｄ１は、アルキメデス法により測定される。
実施形態３の放熱シートの密度Ｄ１（ｇ／ｍ３）の上限は、軽量化の観点から２．１０ｇ／ｃｍ３以下が好ましく、１．１５ｇ／ｃｍ３以下がより好ましく、１．１０ｇ／ｃｍ３以下がさらに好ましい。該放熱シートの密度Ｄ１の下限は特に制限されないが、例えば、０．７０ｇ／ｃｍ３以上とすることができる。該放熱シートの密度Ｄ１は、０．７０ｇ／ｍ３以上２．１０ｇ／ｍ３以下が好ましく、０．７０ｇ／ｍ３以上１．１５ｇ／ｍ３以下がより好ましく、０．７０ｇ／ｍ３以上１．１０ｇ／ｍ３以下がさらに好ましい。実施形態３の放熱シートの密度Ｄ１は、アルキメデス法により測定される。
【0094】
＜熱伝導率Ｃ１と密度Ｄ１との関係＞
実施形態３の放熱シートの熱伝導率Ｃ１（Ｗ／ｍ・Ｋ）と、放熱シートの密度Ｄ１（ｇ／ｍ３）とは、Ｃ１／Ｄ１≧１．２５の関係を満たすことが好ましい。これによると、放熱シートは所望の熱伝導率を確保しながら、より軽量化され、放熱シートしての熱伝導率の向上率が良好である。上記Ｃ１／Ｄ１の下限は、１．２５以上が好ましく、１．５０以上がより好ましく、２．００以上がさらに好ましい。上記Ｃ１／Ｄ１の上限は特に制限されないが、例えば、２．６０以下とすることができる。上記Ｃ１／Ｄ１は、１．２５以上２．６０以下が好ましく、１．５０以上２．６０以下がより好ましく、２．００以上２．６０以下がさらに好ましい。
実施形態３の放熱シートの熱伝導率Ｃ１（Ｗ／ｍ・Ｋ）と、放熱シートの密度Ｄ１（ｇ／ｍ３）とは、Ｃ１／Ｄ１≧１．２５の関係を満たすことが好ましい。これによると、放熱シートは所望の熱伝導率を確保しながら、より軽量化され、放熱シートしての熱伝導率の向上率が良好である。上記Ｃ１／Ｄ１の下限は、１．２５以上が好ましく、１．５０以上がより好ましく、２．００以上がさらに好ましい。上記Ｃ１／Ｄ１の上限は特に制限されないが、例えば、２．６０以下とすることができる。上記Ｃ１／Ｄ１は、１．２５以上２．６０以下が好ましく、１．５０以上２．６０以下がより好ましく、２．００以上２．６０以下がさらに好ましい。
【0095】
＜放熱シートの厚さ＞
実施形態３の放熱シートの平均厚さは特に制限されず、用途によって適宜調整することができる。該放熱シートの平均厚さは、例えば、０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましく、０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下がより好ましく、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下がさらに好ましい。放熱シートの平均厚さは、放熱シートの任意の３箇所の厚さを測定し、これらの平均を算出することにより得られる。
実施形態３の放熱シートの平均厚さは特に制限されず、用途によって適宜調整することができる。該放熱シートの平均厚さは、例えば、０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましく、０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下がより好ましく、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下がさらに好ましい。放熱シートの平均厚さは、放熱シートの任意の３箇所の厚さを測定し、これらの平均を算出することにより得られる。
【0096】
＜放熱シートの製造方法＞
実施形態３の放熱シートの製造方法の一例について説明する。以下では、樹脂として付加反応型液状シリコーン樹脂を用いる場合について説明する。実施形態２に記載の放熱フィラーと、ビニル基を有するポリオルガノシロキサンをＡ液と、Ｓｉ－Ｈ基を有するポリオルガノシロキサンをＢ液とを混合し、シリコーン樹脂組成物を調整する。該シリコーン樹脂組成物を押出機に投入し、平板形状の吐出口から押出成形してシリコーン形成体を得る。該シリコーン成形体をオーブンにて７０℃で０．５時間加熱し、シリコーン硬化物を得る。該シリコーン硬化物を超音波カッターで切断することにより、所望の厚さの実施形態３の放熱シートを得ることができる。
実施形態３の放熱シートの製造方法の一例について説明する。以下では、樹脂として付加反応型液状シリコーン樹脂を用いる場合について説明する。実施形態２に記載の放熱フィラーと、ビニル基を有するポリオルガノシロキサンをＡ液と、Ｓｉ－Ｈ基を有するポリオルガノシロキサンをＢ液とを混合し、シリコーン樹脂組成物を調整する。該シリコーン樹脂組成物を押出機に投入し、平板形状の吐出口から押出成形してシリコーン形成体を得る。該シリコーン成形体をオーブンにて７０℃で０．５時間加熱し、シリコーン硬化物を得る。該シリコーン硬化物を超音波カッターで切断することにより、所望の厚さの実施形態３の放熱シートを得ることができる。
【0097】
＜用途＞
実施形態３の放熱シートは、電子部品、車載インバータ、パワーモジュール・スイッチング電源等の放熱材に適用可能である。
実施形態３の放熱シートは、電子部品、車載インバータ、パワーモジュール・スイッチング電源等の放熱材に適用可能である。
【0098】
［付記１］
コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子。
コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなる放熱フィラー粒子であって、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー粒子。
【0099】
［付記２］
前記シリカ粒子は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなる、付記１に記載の放熱フィラー粒子。
前記シリカ粒子は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなる、付記１に記載の放熱フィラー粒子。
【0100】
［付記３］
前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上である、付記１または付記２に記載の放熱フィラー粒子。
前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上である、付記１または付記２に記載の放熱フィラー粒子。
【0101】
［付記４］
前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下である、付記１から付記３のいずれかに記載の放熱フィラー粒子。
前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下である、付記１から付記３のいずれかに記載の放熱フィラー粒子。
【0102】
［付記５］
複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラーであって、
前記放熱フィラー粒子は、コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなり、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー。
複数の放熱フィラー粒子からなる、放熱フィラーであって、
前記放熱フィラー粒子は、コア部と、前記コア部を被覆する被覆部と、からなり、
前記コア部は、シリカ粒子からなり、
前記被覆部は、酸化アルミニウムからなる、放熱フィラー。
【0103】
［付記６］
前記コア部は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなる、付記５に記載の放熱フィラー。
前記コア部は、二酸化珪素と、酸化硼素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化カリウム、酸化バリウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１化合物と、からなる、付記５に記載の放熱フィラー。
【0104】
［付記７］
前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上である、付記５または付記６に記載の放熱フィラー。
前記被覆部の平均厚さは１．０μｍ以上である、付記５または付記６に記載の放熱フィラー。
【0105】
［付記８］
前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下である、付記５から付記７のいずれかに記載の放熱フィラー。
前記放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する前記被覆部の体積Ｖ２の百分率は、５０％以下である、付記５から付記７のいずれかに記載の放熱フィラー。
【0106】
［付記９］
付記５から付記８のいずれかに記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、
前記放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シート。
付記５から付記８のいずれかに記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、
前記放熱フィラーの含有率は、７０質量％以上８５質量％以下である、放熱シート。
【0107】
［付記１０］
前記放熱シートの熱伝導率Ｃ１と、前記放熱シートの密度Ｄ１とは、Ｃ１／Ｄ１≧１．２５の関係を満たし、
ここで、Ｃ１の単位はＷ／ｍ・Ｋであり、Ｄ１の単位はｇ／ｃｍ３である、付記９に記載の放熱シート。
前記放熱シートの熱伝導率Ｃ１と、前記放熱シートの密度Ｄ１とは、Ｃ１／Ｄ１≧１．２５の関係を満たし、
ここで、Ｃ１の単位はＷ／ｍ・Ｋであり、Ｄ１の単位はｇ／ｃｍ３である、付記９に記載の放熱シート。
【0108】
［付記１１］
付記５から付記８のいずれかに記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、
前記放熱フィラーの含有率は、６５質量％以上８５質量％以下である、放熱シート。
付記５から付記８のいずれかに記載の放熱フィラーと、樹脂と、からなる放熱シートであって、
前記放熱フィラーの含有率は、６５質量％以上８５質量％以下である、放熱シート。
【実施例0109】
本実施の形態を実施例によりさらに具体的に説明する。ただし、これらの実施例により本実施の形態が限定されるものではない。
【0110】
［検討１］
［放熱フィラーの作製］
＜試料１～試料８＞
シリカ（ＳｉＯ２）粒子からなる粉体として、以下の粉体１および粉体２を準備した。以下の粉体に含まれるシリカ粒子は、中空の粒子である。
粉体１：スリーエムジャパン（株）社製の「３ＭグラスバブルスｉＭ３０Ｋ」（商標）、組成：ＳｉＯ２含有率が７５質量％以上、その他の成分として、Ｎａ２Ｏ、ＣａＯ、Ａｌ２Ｏ３およびＢ２Ｏ３を含む。平均粒径は１６．１μｍ、Ｄ１０は８．８μｍ、Ｄ９０は３５．２μｍ。表１および以下において「ｉＭ３０Ｋ」と記す。
粉体２：スリーエムジャパン（株）社製の「３ＭグラスバブルズＫ１」（商標）、組成：ＳｉＯ２含有率が７５質量％以上、その他の成分として、Ｎａ２Ｏ、ＣａＯ、Ａｌ２Ｏ３およびＢ２Ｏ３を含む。平均粒径は６５．１μｍ、Ｄ１０は２８．９μｍ、Ｄ９０は１２０．８μｍ。表１および以下において「Ｋ１」と記す。
各試料で用いられた粉体の種類は、表１の「粉体」の「種類」欄に記載の通りである。
［放熱フィラーの作製］
＜試料１～試料８＞
シリカ（ＳｉＯ２）粒子からなる粉体として、以下の粉体１および粉体２を準備した。以下の粉体に含まれるシリカ粒子は、中空の粒子である。
粉体１：スリーエムジャパン（株）社製の「３ＭグラスバブルスｉＭ３０Ｋ」（商標）、組成：ＳｉＯ２含有率が７５質量％以上、その他の成分として、Ｎａ２Ｏ、ＣａＯ、Ａｌ２Ｏ３およびＢ２Ｏ３を含む。平均粒径は１６．１μｍ、Ｄ１０は８．８μｍ、Ｄ９０は３５．２μｍ。表１および以下において「ｉＭ３０Ｋ」と記す。
粉体２：スリーエムジャパン（株）社製の「３ＭグラスバブルズＫ１」（商標）、組成：ＳｉＯ２含有率が７５質量％以上、その他の成分として、Ｎａ２Ｏ、ＣａＯ、Ａｌ２Ｏ３およびＢ２Ｏ３を含む。平均粒径は６５．１μｍ、Ｄ１０は２８．９μｍ、Ｄ９０は１２０．８μｍ。表１および以下において「Ｋ１」と記す。
各試料で用いられた粉体の種類は、表１の「粉体」の「種類」欄に記載の通りである。
【0111】
アルミニウムアセチルアセトナート（富士フィルム和光純薬（株）社製、純度９８％）をメタノール（富士フィルム和光純薬（株）社製、試薬特級、純度９９．８％以上）に溶解し、アルミニウムアセチルアセトナート濃度０．１０ｍｏｌ／Ｌの原料溶液を準備した。
【0112】
上記原料溶液を用いて、ミストＣＶＤ法により、シリカ粒子の表面に酸化アルミニウムからなる被覆部を形成し、各試料の放熱フィラーを得た。上記のミストＣＶＤ法の条件は以下の通りとした。
原料溶液搬送Ｎ２流量：２Ｌ／ｍｉｎ
希釈Ｎ２流量：３Ｌ／ｍｉｎ
成膜温度：５００℃
粉体撹拌速度：０．５～３ｒｐｍ
成膜時間：表１の「製造条件」の「成膜時間」欄に記載の通り。
原料溶液搬送Ｎ２流量：２Ｌ／ｍｉｎ
希釈Ｎ２流量：３Ｌ／ｍｉｎ
成膜温度：５００℃
粉体撹拌速度：０．５～３ｒｐｍ
成膜時間：表１の「製造条件」の「成膜時間」欄に記載の通り。
【0113】
＜試料９～試料１１＞
シリカ粒子からなる粉体として、ｉＭ３０ＫおよびＫ１を準備した。試料１と同一の原料溶液を準備した。ｉＭ３０ＫおよびＫ１のそれぞれについて、ミストＣＶＤ法により、シリカ粒子の表面に酸化アルミニウムからなる被覆部を形成し、ｉＭ３０Ｋをコア部とする第１放熱フィラー、および、Ｋ１をコア部とする第２放熱フィラーを得た。上記のミストＣＶＤ法の条件は以下の通りとした。
原料溶液搬送Ｎ２流量：２Ｌ／ｍｉｎ
希釈Ｎ２流量：３Ｌ／ｍｉｎ
成膜温度：４００℃
粉体撹拌速度：０．５～３ｒｐｍ
成膜時間：表１の「製造条件」の「成膜時間」欄に記載の通り。
シリカ粒子からなる粉体として、ｉＭ３０ＫおよびＫ１を準備した。試料１と同一の原料溶液を準備した。ｉＭ３０ＫおよびＫ１のそれぞれについて、ミストＣＶＤ法により、シリカ粒子の表面に酸化アルミニウムからなる被覆部を形成し、ｉＭ３０Ｋをコア部とする第１放熱フィラー、および、Ｋ１をコア部とする第２放熱フィラーを得た。上記のミストＣＶＤ法の条件は以下の通りとした。
原料溶液搬送Ｎ２流量：２Ｌ／ｍｉｎ
希釈Ｎ２流量：３Ｌ／ｍｉｎ
成膜温度：４００℃
粉体撹拌速度：０．５～３ｒｐｍ
成膜時間：表１の「製造条件」の「成膜時間」欄に記載の通り。
【0114】
第１放熱フィラーと第２放熱フィラーとを、表１の「放熱フィラー」の「混合比」欄に記載の質量比で混合して混合フィラーを得た。試料９では、第１放熱フィラーと第２放熱フィラーとを質量比で第１放熱フィラー：第２放熱フィラー＝６．１：９３．９で混合して混合フィラーを得た。試料１０では、第１放熱フィラーと第２放熱フィラーとを質量比で第１放熱フィラー：第２放熱フィラー＝１６：８４で混合して混合フィラーを得た。試料１１では、第１放熱フィラーと第２放熱フィラーとを質量比で第１放熱フィラー：第２放熱フィラー＝２：９８で混合して混合フィラーを得た。
【0115】
試料９の混合フィラー中の第１放熱フィラーと第２放熱フィラーの粒子数の比は、第１放熱フィラー：第２放熱フィラー＝１：１である。試料９の混合フィラーにおいて、放熱フィラー粒子のコア部を構成するシリカ粒子の平均粒径は２４．０μ、Ｄ１０は１２．４μｍ、Ｄ９０は１００．２μｍである。
【0116】
試料１０の混合フィラー中の第１放熱フィラーと第２放熱フィラーの粒子数の比は、第１放熱フィラー：第２放熱フィラー＝３：１である。試料１０の混合フィラーにおいて、放熱フィラー粒子のコア部を構成するシリカ粒子の平均粒径は１７．１μ、Ｄ１０は８．４μｍ、Ｄ９０は７８．５μｍである。
【0117】
試料１１の混合フィラー中の第１放熱フィラーと第２放熱フィラーの粒子数の比は、第１放熱フィラー：第２放熱フィラー＝１：３である。試料１１の混合フィラーにおいて、放熱フィラー粒子のコア部を構成するシリカ粒子の平均粒径は５７．５μ、Ｄ１０は１３．５μｍ、Ｄ９０は１１０．２μｍである。
【0118】
＜試料１－１＞
試料１－１では、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）粒子（住友化学社製の「ＡＡ－１８」（商標））を放熱フィラーとして用いた。「ＡＡ－１８」の平均粒径は２０．３μ、Ｄ１０は４．６μ、Ｄ９０は５３．４μｍである。
試料１－１では、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）粒子（住友化学社製の「ＡＡ－１８」（商標））を放熱フィラーとして用いた。「ＡＡ－１８」の平均粒径は２０．３μ、Ｄ１０は４．６μ、Ｄ９０は５３．４μｍである。
【0119】
＜試料１－２＞
試料１－２では、Ｋ１を放熱フィラーとして用いた。
試料１－２では、Ｋ１を放熱フィラーとして用いた。
【0120】
［放熱フィラーの評価］
各試料の放熱フィラーについて、被覆部の平均厚さおよび放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００を測定した。具体的な測定方法は、実施形態１および実施形態２に記載の通りである。結果を表１の「放熱フィラー」の「被覆部の平均厚さ」および「Ｖ２／Ｖ１」欄に示す。
各試料の放熱フィラーについて、被覆部の平均厚さおよび放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００を測定した。具体的な測定方法は、実施形態１および実施形態２に記載の通りである。結果を表１の「放熱フィラー」の「被覆部の平均厚さ」および「Ｖ２／Ｖ１」欄に示す。
【0121】
試料１～試料１１の放熱フィラーについて、放熱フィラー粒子のコア部の組成を確認したところ、シリカ粒子から粉体の組成を維持していることが確認された。
【0122】
各試料の放熱フィラー粒子の粒度分布を測定し、平均粒径Ｒ１、Ｄ１０、Ｄ９０を求めた。粒度分布の測定方法は実施形態２に記載の通りである。平均粒径Ｒ１を表１の「放熱フィラー」の「平均粒径Ｒ１」欄に示す。
【0123】
試料１～試料８の各試料の粒度分布を示すヒストグラムでは、Ｄ１０は１０μｍ以上であり、Ｄ９０は２００μ以下であり、平均粒径Ｒ１の近傍に１つの鋭いピークが確認された。
【0124】
試料９～試料１１の粒度分布を示すヒストグラムでは、Ｄ１０は１０μｍ以上であり、Ｄ９０は２００μ以下であり、粒径が１０～３０μｍの範囲にピークトップを有する第一ピークおよび粒径が６０～９０μｍの範囲にピークトップを有する第二ピークが確認された。
【0125】
【表1】
【0126】
［検討２］
［放熱シートの作製］
＜試料２１～試料３１、試料２－２１～試料２－２５＞
シリコーンＡ液（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社社製「ＴＳＥ３０６２－Ａ」（商標））と、シリコーンＢ液（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社社製「ＴＳＥ３０６２－Ｂ」（商標））とを１：１の質量比で混合したシリコーン樹脂を準備した。該シリコーン樹脂に、上記の検討１で作製した各試料の放熱フィラーを分散させて、シリコーン樹脂組成物を調製した。各試料で用いた放熱フィラーの試料Ｎｏ．は、表２の「放熱シート」の「放熱フィラー試料Ｎｏ．」欄に記載の通りである。例えば、試料２１では、検討１で作製された試料１の放熱フィラーを用いた。
［放熱シートの作製］
＜試料２１～試料３１、試料２－２１～試料２－２５＞
シリコーンＡ液（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社社製「ＴＳＥ３０６２－Ａ」（商標））と、シリコーンＢ液（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社社製「ＴＳＥ３０６２－Ｂ」（商標））とを１：１の質量比で混合したシリコーン樹脂を準備した。該シリコーン樹脂に、上記の検討１で作製した各試料の放熱フィラーを分散させて、シリコーン樹脂組成物を調製した。各試料で用いた放熱フィラーの試料Ｎｏ．は、表２の「放熱シート」の「放熱フィラー試料Ｎｏ．」欄に記載の通りである。例えば、試料２１では、検討１で作製された試料１の放熱フィラーを用いた。
【0127】
各試料において、シリコーン樹脂と、放熱フィラーとの混合比は、シリコーン樹脂組成物中の放熱フィラーの含有率およびシリコーン樹脂の含有率が、表２の「放熱シート」の「放熱フィラー含有率」欄および「樹脂含有率」欄に記載の通りとなるように調整した。なお、上記混合比は、放熱シートにおいても維持されることが確認された。
【0128】
得られたシリコーン樹脂組成物を押出機中に投入し、平板形状の吐出口から押出成形してシリコーン成形体を作製した。得られたシリコーン成形体をオーブンにて７０℃で０．５時間加熱して、シリコーン硬化物とした。該シリコーン硬化物を用いて、各評価項目に応じた放熱シートを作製した。
【0129】
［放熱シートの評価］
＜熱伝導率Ｃ１および密度Ｄ１＞
得られたシリコーン硬化物を、平均厚みが１００μｍとなるように超音波カッターで押出し方向に対して垂直方向にスライス切断した。以上により、平均厚み１００μｍ、縦３０ｍｍ、横３０ｍｍの正方形状の各試料の放熱シート（以下、「第１放熱シート」とも記す。）を得た。
＜熱伝導率Ｃ１および密度Ｄ１＞
得られたシリコーン硬化物を、平均厚みが１００μｍとなるように超音波カッターで押出し方向に対して垂直方向にスライス切断した。以上により、平均厚み１００μｍ、縦３０ｍｍ、横３０ｍｍの正方形状の各試料の放熱シート（以下、「第１放熱シート」とも記す。）を得た。
【0130】
各試料の第１放熱シートについて、熱伝導率Ｃ１および密度Ｄ１を測定した。具体的な測定方法は、実施形態３に記載の通りである。結果を表２の「放熱シート」の「熱伝導率Ｃ１」および「密度Ｄ１」欄に示す。第１放熱シートの熱伝導率Ｃ１が１．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上の場合、該第１放熱シートは高い熱伝導率を有すると判断される。第１放熱シートの密度Ｄ１が試料１－１の放熱シートの密度よりも小さい場合、該第１放熱シートは軽量であると判断される。
【0131】
熱伝導率Ｃ１および密度Ｄ１に基づき、Ｃ１／Ｄ１を算出した。結果を表２の「放熱シート」の「Ｃ１／Ｄ１」欄に示す。
【0132】
＜柔軟性＞
得られたシリコーン硬化物を、平均厚みが２．５ｍｍとなるように超音波カッターで押出し方向に対して垂直方向にスライス切断して各試料の放熱シート（以下、「第２放熱シート」とも記す。）を得た。第２放熱シートの厚み方向に荷重２．０ｋｇｆ／ｃｍ２をかけた時の厚みの圧縮率を測定した。表２において、圧縮率が２０％以上を「Ａ」、圧縮率が２０％未満を「Ｂ」と記載した。「Ａ」は柔軟性を有し、電子部品の放熱シートとして好適であることを示し、「Ｂ」は柔軟性が不十分であることを示す。
得られたシリコーン硬化物を、平均厚みが２．５ｍｍとなるように超音波カッターで押出し方向に対して垂直方向にスライス切断して各試料の放熱シート（以下、「第２放熱シート」とも記す。）を得た。第２放熱シートの厚み方向に荷重２．０ｋｇｆ／ｃｍ２をかけた時の厚みの圧縮率を測定した。表２において、圧縮率が２０％以上を「Ａ」、圧縮率が２０％未満を「Ｂ」と記載した。「Ａ」は柔軟性を有し、電子部品の放熱シートとして好適であることを示し、「Ｂ」は柔軟性が不十分であることを示す。
【0133】
各試料の第２放熱シートにおいて、被覆部の平均厚さおよび放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００を測定した。具体的な測定方法は実施形態３に記載の通りである。全ての試料において、これらの値は、放熱フィラーにおいて測定された被覆部の平均厚さおよび放熱フィラー粒子の体積Ｖ１に対する被覆部の体積Ｖ２の百分率（Ｖ２／Ｖ１）×１００と同一であることが確認された。
【0134】
【表2】
【0135】
＜評価＞
試料１～試料１１の放熱フィラーは実施例に該当する。試料２１～試料３１の放熱シートは実施例に該当する。これらの放熱シートは、高い熱伝導率を確保しながら、軽量化されており、シートとしての熱伝導率の向上率が良好であることが確認された。なお、試料１～試料８の放熱フィラーの粒度分布を示すヒストグラムにおいて、１つのピークが確認され、試料９～試料１１の放熱フィラーの粒度分布を示すヒストグラムでは、２つのピークが確認されているが、試料１～試料１１をそれぞれ用いた試料２１～試料３１の放熱シートは、すべて高い熱伝導率を実現している。すなわち、試料１～試料１１の放熱フィラーは、これらの粒度分布にかかわらず、高い熱伝導率を有する放熱シートを実現できることが確認された。これは、粒径が所定の範囲内であり、放熱シートが放熱フィラーを所定量以上含む場合、放熱フィラーの粒度分布に関わらず、放熱シート中で放熱フィラーの少なくとも一部が互いに接することができるためと推察される。
試料１～試料１１の放熱フィラーは実施例に該当する。試料２１～試料３１の放熱シートは実施例に該当する。これらの放熱シートは、高い熱伝導率を確保しながら、軽量化されており、シートとしての熱伝導率の向上率が良好であることが確認された。なお、試料１～試料８の放熱フィラーの粒度分布を示すヒストグラムにおいて、１つのピークが確認され、試料９～試料１１の放熱フィラーの粒度分布を示すヒストグラムでは、２つのピークが確認されているが、試料１～試料１１をそれぞれ用いた試料２１～試料３１の放熱シートは、すべて高い熱伝導率を実現している。すなわち、試料１～試料１１の放熱フィラーは、これらの粒度分布にかかわらず、高い熱伝導率を有する放熱シートを実現できることが確認された。これは、粒径が所定の範囲内であり、放熱シートが放熱フィラーを所定量以上含む場合、放熱フィラーの粒度分布に関わらず、放熱シート中で放熱フィラーの少なくとも一部が互いに接することができるためと推察される。
【0136】
試料１－１の放熱フィラーおよび試料２－２１の放熱シートは、放熱フィラーがＡｌ２Ｏ３粒子からなり、比較例に該当する。試料２－２１の放熱シートは、軽量化されていない。
【0137】
試料１－２の放熱フィラーおよび試料２－２２の放熱シートは、放熱フィラーが中空ガラス粒子のみからなり、比較例に該当する。試料２－２２の放熱シートは、熱伝導率が低いことが確認された。
【0138】
試料２－２３および試料２－２４の放熱シートは、試料７の放熱フィラーを用いているが、放熱フィラーの含有率が６５質量％以下であり、比較例に該当する。試料２－２３および試料２－２４の放熱シートは、「Ｃ１／Ｄ１」が１．２５未満であり、シートしての熱伝導率の向上率が不十分であった。試料２－２４の放熱シートは、熱伝導率も低かった。
【0139】
試料２－２５の放熱シートは、試料８の放熱フィラーを用いているが、放熱フィラーの含有率が９８質量％であり、比較例に該当する。試料２－２５の放熱シートは、熱伝導率が低く、柔軟性が不十分であった。
【0140】
以上のように本開示の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせたり、様々に変形することも当初から予定している。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態および実施例ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態および実施例ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0141】
１ 放熱フィラー粒子
２ コア部
３ 被覆部
２２ シリカ粒子
２３ 外殻
２４ 中空部
２ コア部
３ 被覆部
２２ シリカ粒子
２３ 外殻
２４ 中空部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】