特開 2024-108448 検出器台座及びＸ線回折装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024108448

(43)【公開日】2024-08-13

(54)【発明の名称】検出器台座及びＸ線回折装置

(51)【国際特許分類】

   G01T 7/00 20060101AFI20240805BHJP

   G01N 23/2055 20180101ALI20240805BHJP

【ＦＩ】

G01T7/00 A

G01N23/2055 320

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023012826

(22)【出願日】2023-01-31

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用申請有り ＜１＞ （１）展示日 令和４年９月７日（開催期間：令和４年９月７日～９日） （２）展示会名、開催場所 ＪＡＳＩＳ２０２２ 幕張メッセ・国際展示場（千葉県千葉市美浜区中瀬２－１） アパホテル＆リゾート＜東京ベイ幕張ホール＞（千葉県千葉市美浜区ひび野２丁目３） （３）公開者 株式会社リガク （４）出品内容 株式会社リガクは、ＪＡＳＩＳ２０２２にて、白又勇士及び久慈惇史が発明した、検出器台座及びＸ線回折装置を展示及び発表により公開した。 ＜２＞ （１）ウェブサイトの掲載日 令和４年９月７日 （２）ウェブサイトのアドレス ｈｔｔｐｓ：／／ｊａｐａｎ．ｒｉｇａｋｕ．ｃｏｍ／ｊａ／ｐｒｏｄｕｃｔｓ／ｄｅｔｅｃｔｏｒｓ／ｘｓｐａ－４００ｅｒ ｈｔｔｐｓ：／／ｊａｐａｎ．ｒｉｇａｋｕ．ｃｏｍ／ｓｉｔｅｓ／ｄｅｆａｕｌｔ／ｆｉｌｅｓ／２０２２－１０／Ｐａｍｐｈｌｅｔ＿ＸＳＰＡ－４００ＥＲ．ｐｄｆ （３）公開者 株式会社リガク （４）公開された発明の内容 株式会社リガクは、上記アドレスのウェブサイトで公開されている株式会社リガクのウェブサイトにて、白又勇士及び久慈惇史が発明した、検出器台座及びＸ線回折装置について公開した。

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用申請有り ＜３＞ （１）ウェブサイトの掲載日 令和４年１０月６日 （２）ウェブサイトのアドレス ｈｔｔｐｓ：／／ｊａｐａｎ．ｒｉｇａｋｕ．ｃｏｍ／ｊａ／ｗｅｂｉｎａｒｓ／２０２２－１１－２５－１ ｈｔｔｐｓ：／／ｊａｐａｎ．ｒｉｇａｋｕ．ｃｏｍ／ｓｉｔｅｓ／ｄｅｆａｕｌｔ／ｆｉｌｅｓ／２０２２－１０／ｗｅｂｉｎａｒ１１２５．ｐｎｇ （３）公開者 株式会社リガク （４）公開された発明の内容 株式会社リガクは、上記アドレスのウェブサイトで公開されている株式会社リガクのウェブサイトにて、白又勇士及び久慈惇史が発明した、検出器台座及びＸ線回折装置について公開した。 ＜４＞ （１）開催日 令和４年１１月２５日 （２）集会名、開催場所 最新分析セミナー『低バックグラウンド多次元検出器ＸＳＰＡ－４００ ＥＲのご紹介』 主催者：株式会社リガク ウェブ開催（ｈｔｔｐｓ：／／ｕｓ０２ｗｅｂ．ｚｏｏｍ．ｕｓ／ｗｅｂｉｎａｒ／ｒｅｇｉｓｔｅｒ／ＷＮ＿Ａ－ｇ－ａＳｙｖＴｎｅｖｓｖｖｙＧ１Ｏ４Ｚｇ） （３）公開者 株式会社リガク （４）公開された発明の内容 株式会社リガクは、上記アドレスのウェブセミナーにて、白又勇士及び久慈惇史が発明した、検出器台座及びＸ線回折装置について公開した。

(71)【出願人】

【識別番号】000250339

【氏名又は名称】株式会社リガク

(74)【代理人】

【識別番号】100092783

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 浩

(74)【代理人】

【識別番号】100120134

【弁理士】

【氏名又は名称】大森 規雄

(74)【代理人】

【識別番号】100141025

【弁理士】

【氏名又は名称】阿久津 勝久

(74)【代理人】

【識別番号】100221327

【弁理士】

【氏名又は名称】大川 亮

(72)【発明者】

【氏名】白又 勇士

(72)【発明者】

【氏名】久慈 惇史

【テーマコード（参考）】

2G001

2G188

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA18

2G001CA01

2G188AA27

2G188BB02

2G188DD05

2G188DD24

2G188DD25

(57)【要約】

【課題】二次元検出器の配置の切り替えを従来よりも容易に行うこと
【解決手段】Ｘ線検出器の検出器台座は、Ｘ線検出器を第１配置で配置するための第１配置部と、Ｘ線検出器を第２配置で配置するための第２配置部と、Ｘ線検出器を固定可能な取付部と、を備える。検出器台座は、Ｘ線検出器を、取付部を介して第１配置部又は第２配置部に対して選択的に取り付け可能である。第１配置と第２配置とで、取付部に固定されたＸ線検出器の配置角度が異なる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ線検出器の検出器台座であって、
前記Ｘ線検出器を第１配置で配置するための第１配置部と、
前記Ｘ線検出器を第２配置で配置するための第２配置部と、
前記Ｘ線検出器を固定可能な取付部と、
を備え、
前記検出器台座は、前記Ｘ線検出器を、前記取付部を介して前記第１配置部又は前記第２配置部に対して選択的に取り付け可能であり、
前記第１配置と前記第２配置とで、前記取付部に固定された前記Ｘ線検出器の配置角度が異なる、
検出器台座。

【請求項2】

前記第１配置は、前記Ｘ線検出器の幅方向が横方向に延びる横置き配置であり、
前記第２配置では、前記Ｘ線検出器の幅方向が縦方向に延びる縦置き配置である、
請求項１に記載の検出器台座。

【請求項3】

前記第１配置における前記Ｘ線検出器の３軸の位置調整と、前記第２配置における前記Ｘ線検出器の３軸の位置調整とを実行可能な調整部をさらに備える、
請求項２に記載の検出器台座。

【請求項4】

前記第１配置において前記Ｘ線検出器の検出方向であるＸ方向に直交するＹ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第１Ｙ軸調整機構と、前記第１配置において前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向に直交するＺ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第１Ｚ軸調整機構と、を含む第１調整部と、
前記第２配置において前記Ｙ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第２Ｙ軸調整機構と、前記第２配置において前記Ｚ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第２Ｚ軸調整機構と、を含む第２調整部と、
をさらに備える、
請求項２に記載の検出器台座。

【請求項5】

前記Ｘ線検出器の前記Ｘ方向に延びる軸周りの角度を調整するＸ軸回転調整機構をさらに備え、
前記第１配置と前記第２配置とで、前記取付部に固定された前記Ｘ線検出器の配置角度が直交する、
請求項４に記載の検出器台座。

【請求項6】

前記第１調整部は、前記第１配置において前記Ｘ線検出器の前記Ｘ方向に延びる軸周りの角度を調整する第１Ｘ軸回転調整機構を含み、
前記第２調整部は、前記第２配置において前記Ｘ線検出器の前記Ｘ方向に延びる軸周りの角度を調整する第２Ｘ軸回転調整機構を含む、
請求項４に記載の検出器台座。

【請求項7】

前記第１調整機構が前記取付部に設けられる、
請求項５に記載の検出器台座。

【請求項8】

前記Ｘ線検出器と検出対象物との距離を調整可能なように、ゴニオメータに連結する連結部をさらに備える、
請求項７に記載の検出器台座。

【請求項9】

前記連結部は、前記第１調整部の下方に設けられる、請求項８に記載の検出器台座。

【請求項10】

前記第１配置部及び前記第２配置部はそれぞれ、
前記取付部と各配置部との相対位置を規制する規制部と、
前記規制部により前記相対位置が規制された状態で前記取付部の位置を保持する保持部と、
を含む、
請求項１に記載の検出器台座。

【請求項11】

前記保持部は、
前記取付部に当接する当接部と、
前記当接部を前記取付部に対して進退可能に移動する移動機構と、
前記移動機構を操作するハンドルと、
を含む、
請求項１０に記載の検出器台座。

【請求項12】

Ｘ線検出器と、
請求項１に記載の検出器台座と、
を備える、
Ｘ線回折装置。

【請求項13】

前記Ｘ線検出器の検出範囲のアスペクト比が２以上である、
請求項１２に記載のＸ線回折装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検出器台座及びＸ線回折装置に関する。

【背景技術】

【0002】

Ｘ線検出器として、検出範囲のアスペクト比が１でない２次元検出器が知られている（例えば非特許文献１）。このような検出器では、検出器の配置によって異なる範囲のプロファイルを取得することができる。例えば、検出面が横長となるように検出器を配置した場合、面内方位角方向(β方向)に相対的に広い範囲が測定可能となる。一方、検出面が縦長となるように検出器を配置した場合、面外方向(2θ方向)に相対的に広い範囲が測定可能となる。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0003】

【非特許文献1】Rigaku Journal, Winter 2016, Volume 32, No. 1, 2016, p.3-9

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、上記のような検出器による測定の際には、測定者等が台座を用いてゴニオメータに検出器を取り付けることがある。検出器のゴニオメータへの取り付けを、各配置に応じた別個の台座を用いて行う場合、配置の切り替えごとに検出器を異なる台座に取り付ける必要があり、配置の切り替えに時間を要してしまうことがある。

【0005】

本発明は、二次元検出器の配置の切り替えを従来よりも容易に行う技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明には、以下の態様が含まれる。

【0007】

［態様１］
Ｘ線検出器の検出器台座であって、
前記Ｘ線検出器を第１配置で配置するための第１配置部と、
前記Ｘ線検出器を第２配置で配置するための第２配置部と、
前記Ｘ線検出器を固定可能な取付部と、
を備え、
前記検出器台座は、前記Ｘ線検出器を、前記取付部を介して前記第１配置部又は前記第２配置部に対して選択的に取り付け可能であり、
前記第１配置と前記第２配置とで、前記取付部に固定された前記Ｘ線検出器の配置角度が異なる、
検出器台座。

【0008】

［態様２］
前記第１配置は、前記Ｘ線検出器の幅方向が横方向に延びる横置き配置であり、
前記第２配置では、前記Ｘ線検出器の幅方向が縦方向に延びる縦置き配置である、
態様１に記載の検出器台座。

【0009】

［態様３］
前記第１配置における前記Ｘ線検出器の３軸の位置調整と、前記第２配置における前記Ｘ線検出器の３軸の位置調整とを実行可能な調整部をさらに備える、
態様２に記載の検出器台座。

【0010】

［態様４］
前記第１配置において前記Ｘ線検出器の検出方向であるＸ方向に直交するＹ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第１Ｙ軸調整機構と、前記第１配置において前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向に直交するＺ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第１Ｚ軸調整機構と、を含む第１調整部と、
前記第２配置において前記Ｙ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第２Ｙ軸調整機構と、前記第２配置において前記Ｚ方向における前記Ｘ線検出器の位置の調整が可能な第２Ｚ軸調整機構と、を含む第２調整部と、
をさらに備える、
態様２に記載の検出器台座。

【0011】

［態様５］
前記Ｘ線検出器の前記Ｘ方向に延びる軸周りの角度を調整するＸ軸回転調整機構をさらに備え、
前記第１配置と前記第２配置とで、前記取付部に固定された前記Ｘ線検出器の配置角度が直交する、
態様４に記載の検出器台座。

【0012】

［態様６］
前記第１調整部は、前記第１配置において前記Ｘ線検出器の前記Ｘ方向に延びる軸周りの角度を調整する第１Ｘ軸回転調整機構を含み、
前記第２調整部は、前記第２配置において前記Ｘ線検出器の前記Ｘ方向に延びる軸周りの角度を調整する第２Ｘ軸回転調整機構を含む、
態様４に記載の検出器台座。

【0013】

［態様７］
前記第１調整機構が前記取付部に設けられる、
態様５に記載の検出器台座。

【0014】

［態様８］
前記Ｘ線検出器と検出対象物との距離を調整可能なように、ゴニオメータに連結する連結部をさらに備える、態様７に記載の検出器台座。

【0015】

［態様９］
前記連結部は、前記第１調整部の下方に設けられる、
態様８に記載の検出器台座。

【0016】

［態様１０］
前記第１配置部及び前記第２配置部はそれぞれ、
前記取付部と各配置部との相対位置を規制する規制部と、
前記規制部により前記相対位置が規制された状態で前記取付部の位置を固定する固定部と、
を含む、
態様１に記載の検出器台座。

【0017】

［態様１１］
前記固定部は、
前記取付部に当接する当接部と、
前記当接部を前記取付部に対して進退可能に移動する移動機構と、
前記移動機構を操作するハンドルと、
を含む、
態様１０に記載の検出器台座。

【0018】

［態様１２］
Ｘ線検出器と、
態様１に記載の検出器台座と、
を備える、
Ｘ線回折装置。

【0019】

［態様１３］
前記Ｘ線検出器の検出範囲のアスペクト比が２以上である、
態様１２に記載のＸ線回折装置。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、二次元検出器の配置の切り替えを従来よりも容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】一実施形態に係るＸ線回折装置の概要を示す斜視図

【図2】一実施形態に係る検出器台座の正面図

【図3】一実施形態に係る検出器台座の側面図

【図4】一実施形態に係る検出器台座の平面図

【図5】（ａ）～（ｃ）は取付部の取り付け動作についての説明図

【図6】（ａ）～（ｂ）は横置き配置と縦置き配置の配置角度の違いを説明する図

【図7】（ａ）は横置き配置における検出領域を示す図、（ｂ）は縦置き配置における検出領域を示す図

【図8】（ａ）～（ｄ）はＸ線検出器の位置ずれが測定結果に及ぼす影響についての説明図

【図9】（ａ）～（ｂ）はあおり角の調整についての説明図。

【図10】横置き配置と縦置き配置での１次元測定の測定結果の違いを説明する図。

【発明を実施するための形態】

【0022】

＜検出器台座の概要＞
図１は、検出器台座１の概要を示す斜視図である。図１では、検出器台座１にＸ線検出器１００が設置された状態を示している。Ｘ線検出器１００は、２次元測定が可能なピクセル検出器である。本実施形態では、Ｘ線検出器１００は、その検出領域のアスペクト比（ここでは、縦に対する横の比を指すものとする）が１でない検出器である。すなわち、Ｘ線検出器１００は、Ｘ線を検出する検出領域を画定する検出面１１０を含む。そして、検出面１１０は、縦と横の長さが異なる長方形形状を有する。検出領域のアスペクト比は、例えば、１．１以上、１．２以上、１．５以上、２以上、３以上、４以上、５以上であってもよい。また、Ｘ線検出器１００は、０次元又は１次元の測定が可能であってもよい。

【0023】

図２は検出器台座１の正面図、図３は検出器台座１の側面図、図４は検出器台座１の平面図である。

【0024】

検出器台座１は、Ｘ線検出器１００を支持する。検出器台座１は、横置配置部１０と、縦置配置部２０と、取付部３０と、調整部４０と、を含む。これらについては後述する。また、検出器台座１は、Ｘ線検出器１００と検出対象物との距離を調整可能なように、ゴニオメータに連結する連結部６０を含む。

【0025】

＜台座部＞
次に、検出器台座１に設けられる二つの配置部（横置配置部１０及び縦置配置部２０）について説明する。

【0026】

横置配置部１０は、Ｘ線検出器１００を横置きで支持する。具体的には、Ｘ線検出器１００を固定した取付部３０が横置配置部１０に取り付けられることによって、横置配置部１０がＸ線検出器１００を横置きで支持する。以下、取付部３０が横置配置部１０に取り付けられた配置、すなわちＸ線検出器１００が取付部３０を介して横置配置部１０に支持された配置、を横置き配置という。横置き配置においては、Ｘ線検出器１００の幅方向が横方向（水平方向）に延びる。本実施形態では、X線検出器１００の幅方向は検出面１１０の長手方向である。横置配置部１０は、配置面１１と、ＸＺ方向規制部１２と、保持部１３と、Ｙ方向規制部１５と、を含む。

【0027】

配置面１１には、取付部３０が配置される。本実施形態では、配置面１１は水平面（ＸＹ平面）に延びる面である。なお、配置面１１は平面でなくてもよい。ＸＺ方向規制部１２は、取付部３０と横置配置部１０との相対位置を規制する。ここでは、ＸＺ方向規制部１２は、取付部３０と横置配置部１０とのＸ方向及びＺ方向の相対位置を規制する。ＸＺ方向規制部１２は、配置面１１から少なくとも上方に延びる壁部である。また、Ｙ方向規制部１５は、取付部３０と横置配置部１０とのＹ方向の相対位置を規制する。本実施形態ではＹ方向規制部１５は、取付部３０が横置配置部１０に配置された際に取付部材３１と当接するように配置された板状の部材である。しかしながら、Ｙ方向規制部１５の形状等は適宜変更可能である。なお、ここでは壁部であるＸＺ方向規制部１２により取付部３０と横置配置部１０とのＸ方向及びＺ方向の相対位置を規制するが、Ｘ方向の相対位置の規制と、Ｚ方向の相対位置の規制がそれぞれ別個の部材により行われてもよい。或いは、ＸＺ方向規制部１２とＹ方向規制部１５とが同一の部材により形成されてもよいし、Ｘ方向又はＺ方向の一方の相対位置の規制とＹ方向の相対位置の規制が同一の部材により行われてもよい。

【0028】

保持部１３は、ＸＺ方向規制部１２により取付部３０と横置配置部１０との相対位置が規制された状態で、取付部３０の位置を保持する。保持部１３は、当接部１３ａと、移動機構１３ｂと、ハンドル１３ｃとを含む。当接部１３ａは、取付部３０に当接する。移動機構１３ｂは、当接部１３ａを取付部３０に対して進退可能に移動する。ハンドル１３ｃは、移動機構１３ｂを操作するためのものである。ハンドル１３ｃが設けられることで、測定者は工具を用いずにＸ線検出器１００の配置の切り替えを行うことができる。本実施形態では、配置面１１と、ＸＺ方向規制部１２と、当接部１３ａとによって区画された空間に取付部３０が取り付けられる。

【0029】

縦置配置部２０は、Ｘ線検出器１００を縦置きで支持する。具体的には、Ｘ線検出器１００を固定した取付部３０が縦置配置部２０に取り付けられることによって、縦置配置部２０がＸ線検出器１００を縦置きで支持する。以下、取付部３０が縦置配置部２０に取り付けられた配置、すなわちＸ線検出器１００が取付部３０を介して縦置配置部２０に支持された配置、を縦置き配置という。縦置き配置においては、Ｘ線検出器１００の幅方向が縦方向（鉛直方向）に延びる。なお、縦置配置部２０は、横置配置部１０と同様の構造を有していてもよい。すなわち、配置面２１、ＸＹ方向規制部２２及び保持部２３はそれぞれ、配置面１１、ＸＺ方向規制部１２及び保持部１３と同様の構造を有していてもよい。本実施形態では、ＸＺ方向規制部１２とＸＹ方向規制部２２とが同様の構造を有するが、配置される角度の違いにより両者が取付部３０との相対位置を規制する方向が異なっている。さらに、保持部２３の構成要素である当接部２３ａ、移動機構２３ｂ及びハンドル２３ｃも、保持部１３の構成要素である当接部１３ａ、移動機構１３ｂ及びハンドル１３ｃと同様の構造を有し得る。したがって、縦置配置部２０の構成要素については説明を省略する。

【0030】

本実施形態では、縦置配置部２０は、横置配置部１０のＹ方向規制部１５に対応する構成として、Ｚ方向規制部２５を含む。縦置配置部２０では、ＸＹ方向規制部２２が取付部３０と縦置配置部２０とのＸ方向及びＹ方向の相対位置を規制し、Ｚ方向規制部２５が両者のＺ方向の位置を規制する。Ｚ方向規制部２５は、配置面２１の下側に設けられるブロック状の部材である。Ｚ方向規制部２５の形状等は適宜変更可能である。

【0031】

＜取付部＞
取付部３０は、Ｘ線検出器１００を固定可能である。また、検出器台座１は、Ｘ線検出器１００を、取付部３０を介して横置配置部１０又は縦置配置部２０に対して選択的に取り付け可能である。取付部３０は、横置配置部１０及び縦置配置部２０に対して着脱可能に取り付けられる取付部材３１と、Ｘ線検出器１００が固定される固定部３２と、を含む。

【0032】

取付部材３１は、横置配置部１０及び縦置配置部２０に対してスライド可能な部材である。例えば、取付部材３１は、横置配置部１０及び縦置配置部２０に形成された空間に相補的な形状を有している。これにより、取付部材３１は、横置配置部１０に対してはＹ方向に移動可能である一方でＺＸ方向の移動が規制される。また、取付部材３１は、縦置配置部２０に対してはＺ方向に移動可能である一方でＸＹ方向の移動が規制される。

【0033】

固定部３２は、例えば、Ｘ線検出器１００の底面に設けられる複数のボルト穴（不図示）の位置に対応する位置に設けられる複数のボルト穴３２ａを有する。そして、固定部３２は、ボルト締結によってＸ線検出器１００を取付部材３１に固定することができる。

【0034】

図５（ａ）～図５（ｃ）は、取付部３０の取り付け動作の説明図である。なお、ここでは取付部３０が横置配置部１０に取り付けられる場合を説明するが、取付部３０が縦置配置部２０に取り付けられる場合も同様である。したがって、縦置配置部２０についての説明は省略する。また、図面を見やすくするため一部の構成要素については省略している。

【0035】

図５（ａ）は、取付部３０の取り付け前の横置配置部１０の状態を示す。図５（ｂ）は、取付部３０を横置配置部１０に対して取り付けている最中の状態を示す。このとき、取付部３０は、横置配置部１０に対して―Ｙ方向にスライドする。図５（ｃ）は、取付部３０が取り付けられた後、取付部３０が保持部１３によって保持された状態を示している。測定者は、ハンドル１３ｃを操作することで当接部１３ａを取付部３０に対して当接させる。これにより、取付部３０が横置配置部１０に対して固定される。

【0036】

また、このとき、取付部３０のＸ方向及びＺ方向の位置は、ＸＺ方向規制部１２との当接によって規制される（図３参照）。また、取付部３０のＹ方向の位置は、Ｙ方向規制部１５との当接によって規制される。そのため、例えば取付部３０を横置配置部１０から縦置配置部２０に付け替え、再び横置配置部１０に取り付ける場合でも、ＸＺ方向規制部１２及びＹ方向規制部１５によって取付部３０の位置が高い精度で再現される。これにより、後述する調整部４０により横置配置部１０に対する取付部３０の位置を調整しておけば、その後のＸ線検出器１００の配置の切り替え後に位置調整が不要となる。よって、Ｘ線検出器１００の配置の切り替えを従来よりも効率的に行うことができる。

【0037】

なお、縦置き配置の場合は、取付部３０のＸ方向及びＺ方向の位置が、取付部材３１とＸＹ方向規制部２２との当接によって規制され、取付部３０のＺ方向の位置が、取付部材３１とＺ方向規制部２５との当接によって規制される。

【0038】

図６（ａ）、図６（ｂ）は、取付部３０が横置配置部１０に取り付けられた場合と取付部３０が縦置配置部２０に取り付けられた場合の配置角度の違いを示す図である。本実施形態では、取付部３０が横置配置部１０に取り付けられた横置き配置（図６（ａ））と、取付部３０が縦置配置部２０に取り付けられた縦置き配置（図６（ｂ））とで、取付部３０に固定されたＸ線検出器１００の配置角度が異なる。さらにいえば、本実施形態では、縦置き配置と横置き配置とで、取付部３０に固定されたＸ線検出器１００のＸ軸周りの配置角度（あおり角）が９０度異なる。したがって、Ｘ線検出器１００が横置き配置の場合と縦置き配置の場合とで、異なる範囲のプロファイルを取得することができる。

【0039】

また、本実施形態では、検出器台座１が横置配置部１０及び縦置配置部２０を含むので、１つの検出器台座１のみを用いてＸ線検出器１００の横置き及び縦置きを行うことができる。これに対し、例えば横置き用の台座と縦置き用の台座をそれぞれ用意する場合、配置の切り替えごとに台座をゴニオメータから取り外す必要があるため、切り替え作業に時間を要してしまうおそれがある。また、台座をゴニオメータから取り外してしまうと、高精度の位置出しをする必要性も生じうる。この点、本実施形態では検出器台座１自体はゴニオメータに対して連結した状態で、横置き配置と縦置き配置との間の切り替えを行うことができるため、従来と比較して配置の切り替えを容易に行うことができる。

【0040】

なお、本実施形態では横置き配置と縦置き配置とで取付部３０に固定されたＸ線検出器１００のＸ軸周りの配置角度（あおり角）が９０度異なるが、配置角度の差は９０度に限定されず、９０度を含む所定の範囲内の角度であってもよい。所定の範囲は、例えば、８９～９１度、８８～９２度、８５～９５度、８０～１００度であってもよい。

【0041】

図７（ａ）は横置き配置における検出領域を示す図、図７（ｂ）は縦置き配置における検出領域を示す図である。横置き配置の場合、面内方位角方向（β方向）に広い範囲を測定することができる。この場合、Ｘ線検出器１００はデバイリングと呼ばれる回折像を円周方向により長い範囲で測定することができる。横置き配置で行うのが効果的な測定としては、例えば、ロッキングカーブ測定、配向状態の評価のための測定などが挙げられる。

【0042】

一方、縦置き配置の場合、面外方向（２θ方向）に広い範囲を測定することができる。この場合、横置き配置での測定では検出することのできない回折像を検出することができる。縦置き配置で行うのが効果的な測定としては、ｉｎ－ｓｉｔｕ測定(充放電測定、高温測定)、短時間での測定が必要となる微小部のマッピング測定などが挙げられる。

【0043】

このように、測定者は、測定の目的に応じて横置き配置で測定するか縦置き配置で測定するかを選択することにより、より適切な測定結果を得ることができる。また、上述したように、本実施形態では横置き配置及び縦置き配置の切り替えを従来よりも効率的に行うことができるので、測定者はより適切な測定結果をより効率的に得ることができる。

【0044】

＜調整部＞
図８（ａ）～図８（ｄ）は、Ｘ線検出器１００の位置ずれが測定結果に及ぼす影響についての説明図である。図８（ａ）は、Ｘ線検出器１００の位置調整が正しく行われた状態での測定結果を示す。ここでは、円弧状の回折像が示されており、回折像の周方向の中央が検出領域の中央に位置している。一方、横方向にずれた状態で測定が行われた場合、回折像が横方向にずれてしまう図８（ｂ）。また、縦方向にずれた状態で測定が行われた場合、回折像が縦方向（ここでは下方向）にずれてしまう図８（ｃ）。さらに、あおり方向にずれた状態で測定が行われた場合、検出面の左端と右端とで異なる２θ角となってしまう（図８（ｄ））。

【0045】

このように、Ｘ線検出器１００の位置がずれた状態で測定が行われると、所望の測定結果が得られないおそれがある。そこで、本実施形態では、調整部４０が、横置き配置及び縦置き配置それぞれについて、位置調整を行う。

【0046】

図１～４を再び参照する。調整部４０は、横置き配置におけるＸ線検出器１００の３軸の位置調整と、縦置き配置におけるＸ線検出器１００の３軸の位置調整とを実行可能である。本実施形態では、調整部４０は、横置調整部４１と、縦置調整部４２とを含む。

【0047】

横置調整部４１は、横置き配置におけるＸ線検出器１００の配置を調整する。横置調整部４１は、Ｙ軸調整機構４１ａと、Ｚ軸調整機構４１ｂと、Ｘ軸回転調整機構４１ｃとを含む。これらにより、横置調整部４１は、横置き配置においてＸ線検出器１００の３軸の調整が可能である。

【0048】

Ｙ軸調整機構４１ａは、Ｘ線検出器１００の水平方向（Ｙ方向）の位置調整を行う機構である。ここで、Ｙ方向は、Ｘ線検出器１００の検出方向（Ｘ方向）に直交する方向である。Ｚ軸調整機構４１ｂは、Ｘ線検出器１００の鉛直方向（Ｚ方向）の位置調整を行う機構である。ここで、Ｚ方向は、Ｘ線検出器１００の検出方向（Ｘ方向）及びＸ線検出器１００の幅方向（Ｙ方向）に直交する方向である。

【0049】

Ｙ軸調整機構４１ａ及びＺ軸調整機構４１ｂの具体的な構造としては公知のものを適宜用いることができる。例えば、Ｙ軸調整機構４１ａは、移動不能な不動部と、不動部に対してＹ方向に移動可能な可動部と、可動部の移動量を調整するためのねじ等の調整部とを含む。また、Ｚ軸調整機構４１ｂは、移動不能な不動部と、不動部に対してＺ方向に移動可能な可動部と、可動部の移動量を調整するためのねじ等の調整部とを含む。具体的には、Ｙ軸調整機構４１ａ及びＺ軸調整機構４１ｂには、ラックピニオン式、ボールねじ等の送りねじ式、押しねじ式等の位置調整機構を用いることができる。

【0050】

なお、Ｙ軸調整機構４１ａが調整可能な軸とＺ軸調整機構４１ｂが調整可能な軸の関係は直交関係には限定されない。すなわち、Ｙ軸調整機構４１ａ及びＺ軸調整機構４１ｂによりＸ線検出器１００をＹＺ平面上の所望の位置に配置できればよく、２本の軸のなす角は、所定の範囲内の角度であってもよい。所定の範囲は、例えば、８９～９１度、８８～９２度、８５～９５度、８０～１００度であってもよい。

【0051】

Ｘ軸回転調整機構４１ｃは、Ｘ線検出器１００の検出方向（Ｘ方向）に延びる軸周りの角度調整を行う機構である。このＸ方向に延びる軸周りの角度は、あおり角と呼ばれることがある。Ｘ軸回転調整機構４１ｃの具体的な構造としては公知の技術を適宜用いることができる。例えば、横置調整部４１は、移動不能な不動部と、不動部に対してＸ軸周りに回動可能な回動部と、回動部の回動量を調整するためのねじ等の調整部とを含む。。

【0052】

縦置調整部４２は、縦置き配置におけるＸ線検出器１００の配置を調整する。縦置調整部４２は、Ｙ軸調整機構４２ａと、Ｚ軸調整機構４２ａと、を含む。

【0053】

Ｙ軸調整機構４２ａは、Ｘ線検出器１００の水平方向（Ｙ方向）の位置調整を行う機構である。また、Ｚ軸調整機構４２ａは、Ｘ線検出器１００の鉛直方向（Ｚ方向）の位置調整を行う機構である。例えば、Ｙ軸調整機構４２ａは、移動不能な不動部と、不動部に対してＹ方向に移動可能な可動部と、可動部の移動量を調整するためのねじ等の調整部とを含む。また、Ｚ軸調整機構４２ａは、移動不能な不動部と、不動部に対してＺ方向に移動可能な可動部と、可動部の移動量を調整するためのねじ等の調整部とを含む。具体的には、Ｙ軸調整機構４２ａ及びＺ軸調整機構４２ａには、ラックピニオン式、ボールねじ等の送りねじ式、押しねじ式等の位置調整機構を用いることができる。

【0054】

なお、Ｙ軸調整機構４２ａが調整可能な軸とＺ軸調整機構４２ａが調整可能な軸の関係は直交関係には限定されない。すなわち、Ｙ軸調整機構４２ａ及びＺ軸調整機構４２ａによりＸ線検出器１００をＹＺ平面上の所望の位置に配置できればよく、２本の軸のなす角は、所定の範囲内の角度であってもよい。所定の範囲は、例えば、８９～９１度、８８～９２度、８５～９５度、８０～１００度であってもよい。

【0055】

調整部４０に含まれる各機構の配置位置は、適宜設計可能である。本実施形態では、横置調整部４１の各機構のうち、Ｙ軸調整機構４１ａが横置配置部１０側に設けられ、Ｚ軸調整機構４１ｂ及びＸ軸回転調整機構４１ｃが取付部３０側に設けられている。また、縦置調整部４２のＹ軸調整機構４２ａ及びＺ軸調整機構４２ａは縦置配置部２０側に設けられている。

【0056】

本実施形態では横置配置部１０の下方に連結部６０が設けられている。したがって、横置調整部４１の機構の一部を取付部３０側に設けることによって、検出器台座１の取付先であるゴニオメータとの干渉を抑制することができる。

【0057】

一方で、取付部３０にＸ線検出器１００が固定された状態で位置調整が行われる構成上、調整時に取付部３０に対して工具がアクセスすることのできる面は限られる。そこで、本実施形態では、横置調整部４１の調整機構の少なくとも一部を横置配置部１０側に設け、縦置調整部４２の調整機構の少なくとも一部を縦置配置部２０側に設けている。これにより、調整機構への工具のアクセス性の低下を抑制している。

【0058】

また、横置調整部４１の全ての調整機構が横置配置部１０側に設けられ、縦置調整部４２の全ての調整機構が縦置配置部２０側に設けられてもよい。この場合、取付部３０側の構造を簡素化することができる。なお、この場合には、縦置調整部４２にもあおり角を調整するための機構が設けられてもよい。

【0059】

或いは、横置調整部４１及び縦置調整部４２のうちの一方の全ての調整機構が取付部３０側に設けられ、他方の全ての調整機構が横置配置部１０又は縦置配置部２０側に設けられてもよい。

【0060】

また、本実施形態では、縦置調整部４２にはあおり角を調整する機構が設けられていない。以下、縦置き配置におけるあおり角の調整について説明する。図９（ａ）及び図９（ｂ）はそれぞれ、横置き配置及び縦置き配置におけるあおり角の調整についての説明図である。

【0061】

図９（ａ）に示すように、横置配置部１０の配置面１１が水平方向に対して傾いて設置された場合、測定者は、Ｘ軸回転調整機構４１ｃによってＸ線検出器１００の検出面１１０の長手方向が水平となるように調整を行う。ここで、本実施形態では、Ｘ軸回転調整機構４１ｃが取付部３０側に設けられている。よって、Ｘ線検出器１００が横置き配置から縦置き配置に切り替えられた場合でも、Ｘ軸回転調整機構４１ｃによる調整角度（配置面１１、２１に対する固定部３２の角度）は維持される。また、本実施形態では、配置面１１と配置面２１とが直交するように設けられている。これにより、横置き配置で検出面１１０の長手方向が水平となるようにあおり角を調整しておけば、縦置き配置において検出面１１０の長手方向が鉛直方向に沿うことになる（図９（ｂ））。すなわち、横置き配置におけるあおり角の調整が縦置き配置におけるあおり角の調整を兼ねることになる。なお、先に縦置き配置においてあおり角の調整が行われた場合は、当該調整が横置き配置におけるあおり角の調整を兼ねることになる。

【0062】

このように、横置調整部４１のＸ軸回転調整機構４１ｃを取付部３０側に設け、かつ、配置面１１及び配置面２１を互いに直交するように設けることによって、縦置調整部４２のあおり角調整機構を省略することができる。なお、ここでは横置調整部４１がＸ軸回転調整機構４１ｃを含むものとして説明したが、Ｘ軸回転調整機構４１ｃが横置調整部４１のあおり角調整機構と縦置調整部４２のあおり角調整機構を兼ねているということもできる。つまり、横置調整部４１及び縦置調整部４２は、それぞれ３軸の調整が可能であり、２軸（ＹＺ方向の並進）についてはそれぞれ独立した機構で調整を用いることができ、あおり角の調整については共通の機構を用いることができる。なお、ここでは、横置調整部４１がＸ軸回転調整機構４１ｃを含むものとして説明したが、並進方向の調整を行う横置調整部４１及び縦置調整部４２とは別に、Ｘ線検出器１００のあおり角の調整機構が設けられているということもできる。

【0063】

また、本実施形態では、横置調整部４１のＹ軸調整機構４１ａＺ軸調整機構４１ｂが横置配置部１０側に設けられ、縦置調整部４２のＹ軸調整機構４２ａ及びＺ軸調整機構４２ａが縦置配置部２０側に設けられる。これにより、縦置き配置及び横置き配置におけるＸＺ方向の調整後の位置を独立に維持しておくことができる。詳細には、Ｚ軸調整機構４１ｂは取付部３０側に設けられているため、縦置き配置時の位置調整においてＺ軸調整機構４１ｂを用いて調整を行うことが構造的には可能である。しかし、縦置き配置時の位置調整では縦置配置部２０側のＺ軸調整機構４２ａで調整を行うことで、縦置き配置及び横置き配置におけるＸＺ方向の調整後の位置を独立に維持しておくことができる。また、本実施形態の態様に限らず、Ｙ軸調整機構４１ａ及びＹ軸調整機構４２ａの少なくとも一方、並びにＺ軸調整機構４１ｂ及びＺ軸調整機構４２ａの少なくとも一方が横置配置部１０側又は縦置配置部２０側に設けられることによって、縦置き配置及び横置き配置におけるＸＺ方向の調整後の位置を独立に維持しておくことができる。

【0064】

一方で、Ｘ軸回転調整機構４１ｃが取付部３０側に設けられ、かつ、配置面１１及び配置面２１が直交するように設けられることによって、横置配置き及び縦置き配置のどちらの場合もあおり角を所望の角度に保つことができる。その結果、配置の切り替えが生じても、横置き配置及び縦置き配置の両方の調整後の位置を維持することができる。なお、本実施形態ではＸ軸回転調整機構４１ｃが取付部３０に設けられているが、配置面１１及び配置面２１を同時にＸ軸周りに回転させて調整可能なあおり角の調整機構が設けられてもよい。すなわち、横置配置部１０（配置面１１）及び縦置配置部２０（配置面２１）を、図９（ａ）に示す状態から図６（ａ）に示す状態に調整可能なあおり角の調整機構も採用可能である。

【0065】

また、横配置用のあおり角調整機構（Ｘ軸回転調整機構）と、縦配置用のあおり角調整機構（Ｘ軸回転調整機構）とを別個に設ける構成も採用可能である。この場合、配置面１１と配置面２１とを所定の直交精度で設ける必要がなくなる。よって、横置き配置及び縦置き配置であおり角調整機構を共用する場合と比較して、製造時に許容できる公差を大きくすることができる。また、横配置用のあおり角調整機構又は縦配置用のあおり角調整機構の少なくとも一方を横置配置部１０又は縦置配置部２０側に設けることによって、横置き配置及び縦置き配置の両方の調整後のあおり角を維持することができる。

【0066】

なお、調整部４０は、横置調整部４１及び縦置調整部４２に代えて、縦置き配置及び横置き配置で共通の位置調整機構を有していてもよい。この場合は配置の切り替えごとに調整部４０による配置の微調整が必要となる。しかし、前述のように配置の切り替えごとにゴニオメータから台座を取り外す必要がないので、この場合でも従来よりも配置の切り替えを容易に行うことができる。

【0067】

＜他の実施形態＞
図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、横置き配置と縦置き配置での１次元測定の測定結果の違いを説明する図である。１次元測定を行う場合、横置き配置では角度分解能重視の測定を行うことができ、縦置き配置では回折強度重視の測定を行うことができる。

【0068】

＜Ｘ線回折装置＞
図１を再び参照する。本発明の一側面によれば、上記実施形態に係る検出器台座１と、Ｘ線検出器１００とを含むＸ線回折装置２００が提供され得る。Ｘ線回折装置２００は、Ｘ線回折測定を実行するための装置である。Ｘ線回折装置２００は、不図示のゴニオメータと、Ｘ線発生装置とを含み得る。例えば、ゴニオメータには、試料を支持して回転する試料台が設けられる。また、ゴニオメータには、試料台上の試料と検出器台座１に支持されたＸ線検出器１００との距離を調整可能なように、検出器台座１を連結可能である。試料台の回転角度を制御することにより、Ｘ線発生装置で発生したＸ線が所定の角度で試料へと照射される。試料へ照射されたＸ線と、試料内の結晶格子面との間で所定のＸ線回折条件が満たされるときに、Ｘ線が試料で回折する。Ｘ線検出器１００は試料で回折したＸ線を検出する。例えば、試料の結晶格子面に対してＸ線が角度θで入射したとき、Ｘ線の回折角度は２θである。

【0069】

上記実施形態は、本発明の趣旨又は範囲から逸脱しない限り、他の変形及び変更も可能である。また、本発明の一つの実施形態に関連して説明した特徴を、たとえ明確に前述していなくても、他の形態とともに用いることも可能である。

【符号の説明】

【0070】

１：検出器台座、１０：横置配置部、２０：縦置配置部、３０：取付部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】