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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024108584
(43)【公開日】2024-08-13
(54)【発明の名称】制御方法、プログラム、制御装置およびシステム
(51)【国際特許分類】
G05D 23/19 20060101AFI20240805BHJP
【ＦＩ】
G05D23/19 H
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023013022
(22)【出願日】2023-01-31
(71)【出願人】
【識別番号】000002945
【氏名又は名称】オムロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100145403
【弁理士】
【氏名又は名称】山尾 憲人
(74)【代理人】
【識別番号】100189555
【弁理士】
【氏名又は名称】徳山 英浩
(74)【代理人】
【識別番号】100172236
【弁理士】
【氏名又は名称】岩木 宣憲
(72)【発明者】
【氏名】津端 創
【テーマコード（参考）】
5H323
【Ｆターム（参考）】
5H323BB12
5H323CA01
5H323CA08
5H323CB22
5H323CB25
5H323CB32
5H323CB33
5H323CB42
5H323CB43
5H323CB44
5H323CB45
5H323DA01
5H323DA04
5H323DB11
5H323DB13
5H323DB15
(57)【要約】
【課題】無駄なエネルギー消費を抑制可能なシステムの制御方法を提供すること。
【解決手段】それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の加熱装置により加熱される複数の対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステムの制御方法であって、複数の対象の各々における冷却装置の操作量を取得し、取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である最大冷却操作量を冷却装置に出力し、出力された最大冷却操作量で冷却装置を制御する。
【選択図】図７
【解決手段】それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の加熱装置により加熱される複数の対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステムの制御方法であって、複数の対象の各々における冷却装置の操作量を取得し、取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である最大冷却操作量を冷却装置に出力し、出力された最大冷却操作量で冷却装置を制御する。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する加熱冷却機構を少なくとも１つ含むシステムの制御方法であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得し、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力し、
出力された前記最大冷却操作量で前記冷却装置を制御する、制御方法。
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得し、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力し、
出力された前記最大冷却操作量で前記冷却装置を制御する、制御方法。
【請求項2】
複数の前記対象の各々において、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量とに基づいて、前記最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な前記加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出し、
算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力する、請求項１に記載の制御方法。
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量とに基づいて、前記最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な前記加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出し、
算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力する、請求項１に記載の制御方法。
【請求項3】
複数の前記対象の各々における前記加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得し、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて算出される操作量を第３加熱操作量とすると、前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加算した操作量を前記第１加熱操作量として算出する、請求項２に記載の制御方法。
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて算出される操作量を第３加熱操作量とすると、前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加算した操作量を前記第１加熱操作量として算出する、請求項２に記載の制御方法。
【請求項4】
前記第１加熱操作量が前記加熱装置の操作量の上限値を超える場合、前記第２加熱操作量への前記第３加熱操作量の加算を停止する、請求項３に記載の制御方法。
【請求項5】
請求項１～４のいずれかに記載の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項6】
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する加熱冷却機構を少なくとも１つ含むシステムを制御可能な制御装置であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得可能な取得部と、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力して、前記冷却装置を制御可能な冷却制御部と
を備える、制御装置。
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得可能な取得部と、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力して、前記冷却装置を制御可能な冷却制御部と
を備える、制御装置。
【請求項7】
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量とに基づいて、複数の前記対象の各々において前記最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な前記加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出可能な算出部と、
複数の前記対象の各々において算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力して、前記加熱装置を制御可能な加熱制御部と
を備える、請求項６に記載の制御装置。
複数の前記対象の各々において算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力して、前記加熱装置を制御可能な加熱制御部と
を備える、請求項６に記載の制御装置。
【請求項8】
前記取得部は、
複数の前記対象の各々における前記加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得可能に構成され、
前記算出部は、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて第３加熱操作量を算出し、
前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加えた操作量を前記第１加熱操作量として算出するように構成されている、請求項７に記載の制御装置。
複数の前記対象の各々における前記加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得可能に構成され、
前記算出部は、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて第３加熱操作量を算出し、
前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加えた操作量を前記第１加熱操作量として算出するように構成されている、請求項７に記載の制御装置。
【請求項9】
前記算出部は、
前記第１加熱操作量が前記加熱装置の操作量の上限値を超える場合、前記第２加熱操作量への前記第３加熱操作量の加算を停止するように構成されている、請求項８に記載の制御装置。
前記第１加熱操作量が前記加熱装置の操作量の上限値を超える場合、前記第２加熱操作量への前記第３加熱操作量の加算を停止するように構成されている、請求項８に記載の制御装置。
【請求項10】
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構と、
請求項６～９のいずれかに記載の制御装置と
を備える、システム。
請求項６～９のいずれかに記載の制御装置と
を備える、システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、制御方法、プログラム、制御装置およびシステムに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、温度制御部位を加熱する加熱手段と、液体からなる冷媒を循環させて温度制御部位を冷却する冷却手段とを備える温度制御システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１１－１８７７５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
例えば、特許文献１の温度制御システムにおいて、複数の加熱手段を１つの冷却手段で冷却するように構成した場合、２つの加熱手段の制御にあわせて１つの冷却手段を制御することは困難であるため、常に冷媒を循環させることが考えられる。この場合、例えば、冷却の必要がない温度制御部位が冷却されると、加熱手段により冷却された温度制御部位を加熱しなければならず、無駄にエネルギーを使用するおそれがある。
【0005】
本開示は、無駄なエネルギー消費を抑制可能なシステムの制御方法、プログラム、制御装置およびシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様の制御方法は、
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する加熱冷却機構を少なくとも１つ含むシステムの制御方法であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得し、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力し、
出力された前記最大冷却操作量で前記冷却装置を制御する。
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する加熱冷却機構を少なくとも１つ含むシステムの制御方法であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得し、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力し、
出力された前記最大冷却操作量で前記冷却装置を制御する。
【0007】
本開示の一態様のプログラムは、
前記態様の制御方法をコンピュータに実行させる。
前記態様の制御方法をコンピュータに実行させる。
【0008】
本開示の一態様の制御装置は、
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する加熱冷却機構を少なくとも１つ含むシステムを制御可能な制御装置であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得可能な取得部と、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力して、前記冷却装置を制御可能な冷却制御部と
を備える。
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する加熱冷却機構を少なくとも１つ含むシステムを制御可能な制御装置であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得可能な取得部と、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力して、前記冷却装置を制御可能な冷却制御部と
を備える。
【0009】
本開示の一態様のシステムは、
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構と、
前記態様の制御装置と
を備える。
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構と、
前記態様の制御装置と
を備える。
【発明の効果】
【0010】
本開示によれば、無駄なエネルギー消費を抑制可能なシステムの制御方法、プログラム、制御装置およびシステムを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本開示の一実施形態のシステムの一部を示す平面図。
【図3】第３加熱操作量の算出方法の一例を説明するための第１のグラフ。
【図4】第３加熱操作量の算出方法の一例を説明するための第２のグラフ。
【図5】第３加熱操作量の算出方法の一例を説明するための第３のグラフ。
【図6】第３加熱操作量の算出方法の一例を説明するための第４のグラフ。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、本開示の適用物、および、本開示の用途を制限することを意図するものではない。添付図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
【0013】
本開示の一実施形態の制御装置１は、それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の加熱装置により加熱される複数の対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する加熱冷却機構を少なくとも１つ含むシステム１００を制御可能に構成されている。
【0014】
図１に、システム１００の一例を示す。図１のシステム１００は、１つの加熱冷却機構１０１を含む。加熱冷却機構１０１は、７つの加熱装置（第１加熱装置１１１、第２加熱装置１１２、第３加熱装置１１３、第４加熱装置１１４、第５加熱装置１１５、第６加熱装置１１６、第７加熱装置１１７）と、１つの冷却装置１２０とを有している。
【0015】
第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７は、例えば、ヒータで構成されている。第１加熱装置１１１は、第１対象１３１を加熱可能に構成されている。第１対象１３１は、一例として、プローバまたはＣＶＤ装置の略円形のステージにおける略中央に位置する部分である。第２加熱装置１１２～第７加熱装置１１７は、第２対象１３２、第３対象１３３、第４対象１３４、第５対象１３５、第６対象１３６および第７対象１３７をそれぞれ加熱可能に構成されている。第２対象１３２～第７対象１３７は、第１対象１３１の径方向の外側に隣接しかつ周方向に相互に隣接するステージの部分である。
【0016】
冷却装置１２０は、例えば、冷媒を冷却可能な熱交換器と、第１対象１３１～第７対象１３７の全てを通るように構成された配管と、配管を介して冷媒を循環させるためのポンプとを含む。
【0017】
制御装置１は、例えば、図２に示すように、プロセッサ１１、記憶部１２および通信部１３を含む。プロセッサ１１は、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＧＰＵ、ＤＳＰ、ＦＰＧＡ、ＡＳＩＣ等を含む。記憶部１２は、例えば、内部記録媒体または外部記録媒体で構成されている。内部記録媒体は、不揮発メモリ等を含む。外部記録媒体は、ハードディスク（ＨＤＤ）、ソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）、光ディスク装置等を含む。通信部１３は、例えば、サーバおよびセンサ等の外部装置との間でデータの送受信を行うための通信回路または通信モジュールを含む。
【0018】
本実施形態では、システム１００は、７つの温度センサ（第１温度センサ１４１、第２温度センサ１４２、第３温度センサ１４３、第４温度センサ１４４、第５温度センサ１４５、第６温度センサ１４６および第７温度センサ１４７）と、入力装置１５０とを含む。制御装置１は、第１温度センサ１４１～第７温度センサ１４７から出力されるデータと、入力装置１５０から出力されるデータとに基づいて、第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７および冷却装置１２０を制御可能に構成されている。第１温度センサ１４１～第７温度センサ１４７は、それぞれ第１対象１３１～第７対象１３７の温度を検出可能に構成されている。入力装置１５０は、例えば、第１対象１３１～第７対象１３７の目標温度を入力可能に構成されている。第１温度センサ１４１～第７温度センサ１４７から出力された温度情報を含むデータと、入力装置１５０から出力された目標温度を含むデータとは、通信部１３を介して制御装置１に入力され、記憶部１２に記憶される。
【0019】
制御装置１は、図２に示すように、取得部２１、冷却制御部２２、算出部２３および加熱制御部２４を含む。冷却制御部２２、算出部２３および加熱制御部２４は、例えば、記憶部１２に記憶されている所定のプログラムをプロセッサ１１が実行することにより実現される。
【0020】
取得部２１は、例えば記憶部１２に記憶されているデータから、次に示す情報を取得可能に構成されている。
・複数の対象の各々における冷却装置１２０の操作量（以下、冷却操作量という。）。各対象の冷却操作量は、例えば、第１温度センサ１４１～第７温度センサ１４７で検出された第１対象１３１～第７対象１３７の温度に基づいて、制御装置１または外部装置で算出される。各対象の冷却操作量が外部装置で算出された場合、例えば、各対象の冷却操作量を含むデータは、通信部１３を介して制御装置１に入力され、記憶部１２に記憶される。各対象の冷却操作量は、例えば、所定のサンプリング時間毎に取得される。
・取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である「最大冷却操作量」が出力された場合に、複数の対象の各々における加熱装置の操作量である「第２加熱操作量」。
・複数の対象の各々における冷却装置１２０の操作量（以下、冷却操作量という。）。各対象の冷却操作量は、例えば、第１温度センサ１４１～第７温度センサ１４７で検出された第１対象１３１～第７対象１３７の温度に基づいて、制御装置１または外部装置で算出される。各対象の冷却操作量が外部装置で算出された場合、例えば、各対象の冷却操作量を含むデータは、通信部１３を介して制御装置１に入力され、記憶部１２に記憶される。各対象の冷却操作量は、例えば、所定のサンプリング時間毎に取得される。
・取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である「最大冷却操作量」が出力された場合に、複数の対象の各々における加熱装置の操作量である「第２加熱操作量」。
【0021】
冷却制御部２２は、取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である最大冷却操作量を冷却装置１２０に出力して、最大冷却操作量で冷却装置を制御可能に構成されている。
【0022】
算出部２３は、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量とに基づいて、第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７の各々に対して、対応する第１加熱操作量を算出可能に構成されている。第１加熱操作量は、複数の対象（本実施形態では、第１対象１３１～第７対象１３７）の各々において最大冷却操作量の出力による冷却を取得された冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な加熱装置の操作量である。
【0023】
例えば、算出部２３は、第２加熱操作量に第３加熱操作量を加えた操作量を第１加熱操作量として算出する。第２加熱操作量は、第１対象１３１～第７対象１３７の各々における第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７の操作量である。第２加熱操作量は、例えば、第１操作量を出力する以前の任意のタイミングで取得される。第３加熱操作量は、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量との差分に基づいて算出される操作量である。第３加熱操作量の加算は、例えば、サンプリング時間毎に行われる。
【0024】
第３加熱操作量は、例えば、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量との差分に係数をかけて、算出される。係数としては、例えば、下記に示す加熱能力および冷却能力の比が用いられる。図３～図６において、「ｎ」は、対象の序数を示す。
・加熱の最大昇温傾きＲｈｎ＝Ｃ１の傾き／Ｂ１と、冷却の最大降温傾きＲｃｎ＝Ｃ２の傾き／Ｂ２との比（Ｒｈｎ／Ｒｃｎ）（図３および図４参照）。
・加熱のシステムゲインＫｈｎ＝Ａ１／Ｂ１と、冷却のシステムゲインＫｃｎ＝Ａ２／Ｂ２との比（Ｋｈｎ／Ｋｃｎ）（図５および図６参照）。
・加熱の最大昇温傾きＲｈｎ＝Ｃ１の傾き／Ｂ１と、冷却の最大降温傾きＲｃｎ＝Ｃ２の傾き／Ｂ２との比（Ｒｈｎ／Ｒｃｎ）（図３および図４参照）。
・加熱のシステムゲインＫｈｎ＝Ａ１／Ｂ１と、冷却のシステムゲインＫｃｎ＝Ａ２／Ｂ２との比（Ｋｈｎ／Ｋｃｎ）（図５および図６参照）。
【0025】
図３および図４には、加熱操作量をステップ状に変化させたときの温度変化を表す波形が示されている。この波形はステップ応答波形と呼ばれ、この応答波形から温度制御対象の特性を調べることができる。例えば、加熱の最大傾きＲｈｎ（＝Ｃ１の傾き／Ｂ１）が示す主要な特性は、ステップ状の加熱操作量を対象に印加した際に、加熱操作量の何倍の速さで昇温するかを表す加熱時の応答速度である。加熱のシステムゲインＫｈｎ（＝Ａ１／Ｂ１）が示す主要な特性は、ステップ状の加熱操作量を対象に印加した際に、加熱操作量の何倍の温度まで上昇するかを表す加熱能力の高さである。図５および図６には、冷却操作量をステップ状に変化させたときの温度変化を表す波形が示されている。図５および図６の波形についても、図３および図４の波形と同様のことが言える。
【0026】
第３加熱操作量は、例えば、モデルを用いて算出することもできる。モデルには、例えば、数式モデルと、機械学習モデルとが含まれる。
【0027】
数式モデルを用いて第３加熱操作量を算出する場合の一例を下記に示す。下記の数式モデルを用いて、ＰＶｈｅａｔとＰＶｃｏｏｌとが一致するようにＭＶｈｅａｔを算出し、第３加熱操作量を算出する。下記の数式モデルにおいて、「ＭＶｃｏｏｌＭＡＸ－ＭＶｃｏｏｌ」が、「出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量との差分」であり、「ＰＶｈｅａｔ」が、「第３加熱操作量」である。下記の数式モデルにおいて、Ｋｈは、加熱のシステムゲインであり、印加された加熱操作量を何倍に増幅するかを表す加熱能力の高さを示している。Ｔ１ｈ、Ｔ２ｈ、は加熱時の応答速度を多項式で表現した際の係数を示している。Ｋｃは、冷却のシステムゲインであり、印加された冷却操作量を何倍に増幅するかを表す冷却能力の高さを示している。Ｔ１ｃ、Ｔ２ｃ、は冷却時の応答速度を多項式で表現した際の係数を示している。
・加熱の数式モデル
・冷却の数式モデル
・加熱の数式モデル
【0028】
機械学習モデルを用いて第３加熱操作量を算出する場合の一例を下記に示す。下記の機械学習モデルを用いて、ＰＶｈｅａｔとＰＶｃｏｏｌとが一致するようにＭＶｈｅａｔを算出し、第３加熱操作量を算出する。下記の数式モデルにおいて、「ＭＶｃｏｏｌＭＡＸ－ＭＶｃｏｏｌ」が、「出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量との差分」であり、「ＰＶｈｅａｔ」が、「第３加熱操作量」である。機械学習モデルは、例えば、ニューラルネットワーク、または、ランダムフォレストを含む。
・加熱の機械学習モデル
・冷却の機械学習モデル
・加熱の機械学習モデル
【0029】
算出部２３は、第１加熱操作量が加熱装置の操作量の上限値（例えば、１００％）を超える場合（言い換えると、第１加熱操作量が飽和する場合）、第２加熱操作量への第３加熱操作量の加算を停止する。これは、例えば、制御装置１がＰＩＤ制御により第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７を制御している場合、ＰＩＤ演算における偏差積分の積分を停止することで実行される。第１加熱操作量が加熱装置の操作量の上限値を超えた場合、各加熱装置に出力される第１加熱操作量には、例えば、加熱装置の操作量の上限値を第１加熱操作量とする飽和処理が施される。
【0030】
加熱制御部２４は、算出された第１加熱操作量を加熱装置に出力して、第１加熱操作量で加熱装置を制御可能に構成されている。
【0031】
図７を参照して、システム１００の制御方法の一例を説明する。ここでは、第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７および冷却装置１２０を制御して、第１対象１３１～第７対象１３７の温度を設定された目標温度で維持する場合について説明する。図７に示す制御方法は、一例として、制御装置１のプロセッサ１１が記憶部１２に記憶されている所定のプログラムを実行することで実施される。
【0032】
システム１００の制御が開始され、第１対象１３１～第７対象１３７の温度が設定された目標温度を超えると、制御装置１は、第１対象１３１～第７対象１３７の各々における冷却操作量を取得する（ステップＳ１）。
【0033】
各対象の冷却操作量が取得されると、冷却制御部２２は、取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である最大冷却操作量を冷却装置１２０に出力し、最大冷却操作量で冷却装置１２０を制御する（ステップＳ３）。
【0034】
冷却装置１２０が最大冷却操作量で制御されると、算出部２３は、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量とに基づいて、第１加熱操作量を算出する（ステップＳ３）。第１加熱操作量は、第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７の各々に対して算出される。
【0035】
第１加熱操作量が算出されると、加熱制御部２４は、第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７の各々に対して、対応する第１加熱操作量を出力して、第１加熱操作量で第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７を制御する（ステップＳ４）。第１加熱操作量での第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７の制御は、例えば、第１対象１３１～第７対象１３７の温度が設定された目標温度に到達するまで実行される。
【0036】
第１加熱装置１１１～第７加熱装置１１７が制御されると、制御装置１は、システム１００の制御を終了するか否かを判定する（ステップＳ５）。例えば、入力装置１５０から終了信号が出力された場合、制御装置１は、システム１００の制御を終了すると判定する。システム１００の制御を終了すると判定された場合、システム１００の制御方法が終了する。システム１００の制御を終了すると判定されなかった場合、ステップＳ１に戻り、第１対象１３１～第７対象１３７の各々における冷却操作量が取得される。
【0037】
本開示の制御方法によれば、次のような効果を発揮できる。
【0038】
本開示の制御方法は、それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の加熱装置により加熱される複数の対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステム１００の制御方法であって、以下の構成を備える。このような構成により、必要なときに冷却装置を制御できるので、無駄なエネルギー消費を抑制できる。
・複数の対象の各々における冷却装置の操作量を取得する。
・取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である最大冷却操作量を冷却装置に出力する。
・出力された最大冷却操作量で冷却装置を制御する。
・複数の対象の各々における冷却装置の操作量を取得する。
・取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である最大冷却操作量を冷却装置に出力する。
・出力された最大冷却操作量で冷却装置を制御する。
【0039】
最大冷却操作量で冷却装置が操作されると、冷却操作量が最大となった対象以外の対象が冷却され過ぎるおそれがある。本開示の制御方法は、以下の構成を備えるので、最大冷却操作量で冷却装置が操作されたことによる各対象の温度低下をキャンセルすることができる。
・複数の対象の各々において、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量とに基づいて、最大冷却操作量の出力による冷却を取得された冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出する。
・複数の対象の各々において、算出された第１加熱操作量を加熱装置に出力する。
・複数の対象の各々において、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量とに基づいて、最大冷却操作量の出力による冷却を取得された冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出する。
・複数の対象の各々において、算出された第１加熱操作量を加熱装置に出力する。
【0040】
本開示の制御方法は、以下の構成を備える。このような構成により、最大冷却操作量で冷却装置が操作されたことによる各対象の温度低下をより確実にキャンセルすることができる。
・複数の対象の各々における加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得する。
・出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量との差分に基づいて算出される操作量を第３加熱操作量とすると、第２加熱操作量に第３加熱操作量を加算した操作量を第１加熱操作量として算出する。
・複数の対象の各々における加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得する。
・出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量との差分に基づいて算出される操作量を第３加熱操作量とすると、第２加熱操作量に第３加熱操作量を加算した操作量を第１加熱操作量として算出する。
【0041】
本開示の制御方法は、以下の構成を備える。このような構成により、無駄な処理の実行を防止できる。
・第１加熱操作量が加熱装置の操作量の上限値を超える場合、第２加熱操作量への第３加熱操作量の加算を停止する。
・第１加熱操作量が加熱装置の操作量の上限値を超える場合、第２加熱操作量への第３加熱操作量の加算を停止する。
【0042】
本開示の制御方法は、コンピュータに実行させることができる。本開示には、本開示の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、および、本開示の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶するコンピュータ可読性の記憶媒体が含まれる。
【0043】
本開示の制御装置１によれば、次のような効果を発揮できる。
【0044】
制御装置１は、それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の加熱装置により加熱される複数の対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステム１００を制御可能な制御装置１であって、取得部２１と、冷却制御部２２とを備える。取得部２１は、複数の対象の各々における冷却操作量を取得可能に構成されている。冷却制御部２２は、取得された複数の冷却操作量のうち、最大の冷却操作量である最大冷却操作量を冷却装置に出力して、冷却装置を制御可能に構成されている。このような構成により、必要なときに冷却装置を制御できるので、無駄なエネルギー消費を抑制できる。
【0045】
制御装置１が、算出部２３と、加熱制御部２４とを備える。算出部２３は、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量とに基づいて、複数の対象の各々において最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出可能に構成されている。加熱制御部２４は、算出された第１加熱操作量を加熱装置に出力して、加熱装置を制御可能に構成されている。このような構成により、最大冷却操作量で冷却装置が操作されたことによる各対象の温度低下をキャンセルすることができる。
【0046】
取得部２１が、複数の対象の各々における加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得可能に構成されている。算出部２３は、出力された最大冷却操作量と取得された冷却操作量との差分に基づいて第３加熱操作量を算出し、第２加熱操作量に第３加熱操作量を加えた操作量を第１加熱操作量として算出するように構成されている。このような構成により、最大冷却操作量で冷却装置が操作されたことによる各対象の温度低下をより確実にキャンセルすることができる。
【0047】
算出部２３は、第１加熱操作量が加熱装置の操作量の上限値を超える場合、第２加熱操作量への第３加熱操作量の加算を停止するように構成されている。このような構成により、無駄な処理の実行を防止できる。
【0048】
本開示のシステム１００は、それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の加熱装置により加熱される複数の対象を冷却可能な１つの冷却装置と、制御装置１とを備える。このような構成により、必要なときに冷却装置を制御できるので、無駄なエネルギー消費を抑制できるシステム１００を実現できる。
【0049】
本開示の制御方法、制御装置１およびシステム１００は、次のように構成することができる。
【0050】
図７に示すフローチャートにおいて、ステップＳ３およびステップＳ４は省略することができる。
【0051】
制御装置１を構成する各部は、その全てが１つの機器に設けられていてもよいし、複数の機器に分割して設けられていてもよい。例えば、温調器が、取得部２１、冷却制御部２２、算出部２３および加熱制御部２４の全てを備えていてもよいし、温調器が、取得部２１、冷却制御部２２および算出部２３を備え、ＰＬＣが加熱制御部２４を備えていてもよい。
【0052】
システム１００は、１つの加熱冷却機構１０１を含む場合に限らない。例えば、図８および図９に示すように、システム１００は、２つの加熱冷却機構（第１加熱冷却機構１０２および第２加熱冷却機構１０３）を含んでいてもよい。第１加熱冷却機構１０２は、第２加熱装置１１２、第３加熱装置１１３および第７加熱装置１１７と、第１冷却装置１２１とを有する。第２加熱冷却機構１０３は、第４加熱装置１１４、第５加熱装置１１５および第６加熱装置１１６と、第２冷却装置１２２とを有する。１つの加熱冷却機構に含まれる加熱装置は、複数であればよい。
【0053】
加熱装置は、ヒータに限らず、システム１００の設計等に応じて、対象を加熱可能な任意の冷却装置を採用できる。冷却装置も同様に、熱交換器、配管およびポンプで構成されている場合に限らず、システム１００の設計等に応じて、複数の対象を冷却可能な任意の冷却装置を採用できる。
【0054】
システム１００は、各対象の温度を検出可能な第１温度センサ１４１～第７温度センサ１４７を含む場合に限らない。例えば、システム１００は、複数または全ての対象の温度を検出可能な１以上の任意の数の温度センサを含んでいてもよい。
【0055】
以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
【0056】
本開示の第１態様の制御方法は、
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステム１００の制御方法であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得し、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力し、
出力された前記最大冷却操作量で前記冷却装置を制御する。
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステム１００の制御方法であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得し、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力し、
出力された前記最大冷却操作量で前記冷却装置を制御する。
【0057】
本開示の第２態様の制御方法は、第１態様の制御方法において、
複数の前記対象の各々において、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量とに基づいて、前記最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な前記加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出し、
算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力する。
複数の前記対象の各々において、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量とに基づいて、前記最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な前記加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出し、
算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力する。
【0058】
本開示の第３態様の制御方法は、第２態様の制御方法において、
複数の前記対象の各々における前記加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得し、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて算出される操作量を第３加熱操作量とすると、前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加算した操作量を前記第１加熱操作量として算出する。
複数の前記対象の各々における前記加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得し、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて算出される操作量を第３加熱操作量とすると、前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加算した操作量を前記第１加熱操作量として算出する。
【0059】
本開示の第４態様の制御方法は、第３態様の制御方法において、
前記第１加熱操作量が前記加熱装置の操作量の上限値を超える場合、前記第２加熱操作量への前記第３加熱操作量の加算を停止する。
前記第１加熱操作量が前記加熱装置の操作量の上限値を超える場合、前記第２加熱操作量への前記第３加熱操作量の加算を停止する。
【0060】
本開示の第５態様のプログラムは、
第１態様～第４態様のいずれかに記載の制御方法をコンピュータに実行させる。
第１態様～第４態様のいずれかに記載の制御方法をコンピュータに実行させる。
【0061】
本開示の第６態様の制御装置１は、
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステム１００を制御可能な制御装置であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得可能な取得部２１と、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力して、前記冷却装置を制御可能な冷却制御部２２と
を備える。
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構を含むシステム１００を制御可能な制御装置であって、
複数の前記対象の各々における前記冷却装置の操作量を取得可能な取得部２１と、
取得された複数の前記冷却装置の操作量のうち、最大の前記冷却装置の操作量である最大冷却操作量を前記冷却装置に出力して、前記冷却装置を制御可能な冷却制御部２２と
を備える。
【0062】
本開示の第７態様の制御装置１は、第６態様の制御装置１において、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量とに基づいて、複数の前記対象の各々において前記最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な前記加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出可能な算出部２３と、
複数の前記対象の各々において算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力して、前記加熱装置を制御可能な加熱制御部２４と
を備える。
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量とに基づいて、複数の前記対象の各々において前記最大冷却操作量の出力による冷却を取得された前記冷却装置の操作量の出力による冷却にするために必要な前記加熱装置の操作量である第１加熱操作量を算出可能な算出部２３と、
複数の前記対象の各々において算出された前記第１加熱操作量を前記加熱装置に出力して、前記加熱装置を制御可能な加熱制御部２４と
を備える。
【0063】
本開示の第８態様の制御装置１は、第７態様の制御装置１において、
前記取得部２１は、
複数の前記対象の各々における前記加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得可能に構成され、
前記算出部２３は、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて第３加熱操作量を算出し、
前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加えた操作量を前記第１加熱操作量として算出するように構成されている。
前記取得部２１は、
複数の前記対象の各々における前記加熱装置の操作量である第２加熱操作量を取得可能に構成され、
前記算出部２３は、
出力された前記最大冷却操作量と取得された前記冷却装置の操作量との差分に基づいて第３加熱操作量を算出し、
前記第２加熱操作量に前記第３加熱操作量を加えた操作量を前記第１加熱操作量として算出するように構成されている。
【0064】
本開示の第９態様の制御装置１は、第８態様の制御装置１において、
前記算出部２３は、
前記第１加熱操作量が前記加熱装置の操作量の上限値を超える場合、前記第２加熱操作量への前記第３加熱操作量の加算を停止するように構成されている。
前記算出部２３は、
前記第１加熱操作量が前記加熱装置の操作量の上限値を超える場合、前記第２加熱操作量への前記第３加熱操作量の加算を停止するように構成されている。
【0065】
本開示の第１０態様のシステム１００は、
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構と、
第６態様～第９態様のいずれかに記載の制御装置１と
を備える。
それぞれ異なる対象を加熱可能な複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置により加熱される複数の前記対象を冷却可能な１つの冷却装置とを有する少なくとも１つの加熱冷却機構と、
第６態様～第９態様のいずれかに記載の制御装置１と
を備える。
【0066】
前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
【0067】
本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
【産業上の利用可能性】
【0068】
本開示は、例えば、プローバまたはＣＶＤ装置に適用できる。
【符号の説明】
【0069】
１ 制御装置
１１ プロセッサ
１２ 記憶部
１３ 通信部
２１ 取得部
２２ 冷却制御部
２３ 算出部
２４ 加熱制御部
１００ システム
１０１ 加熱冷却機構
１０２ 第１加熱冷却機構
１０３ 第２加熱冷却機構
１１１ 第１加熱装置
１１２ 第２加熱装置
１１３ 第３加熱装置
１１４ 第４加熱装置
１１５ 第５加熱装置
１１６ 第６加熱装置
１１７ 第７加熱装置
１２０ 冷却装置
１２１ 第１冷却装置
１２２ 第２冷却装置
１３１ 第１対象
１３２ 第２対象
１３３ 第３対象
１３４ 第４対象
１３５ 第５対象
１３６ 第６対象
１３７ 第７対象
１４１ 第１温度センサ
１４２ 第２温度センサ
１４３ 第３温度センサ
１４４ 第４温度センサ
１４５ 第５温度センサ
１４６ 第６温度センサ
１４７ 第７温度センサ
１５０ 入力装置
１１ プロセッサ
１２ 記憶部
１３ 通信部
２１ 取得部
２２ 冷却制御部
２３ 算出部
２４ 加熱制御部
１００ システム
１０１ 加熱冷却機構
１０２ 第１加熱冷却機構
１０３ 第２加熱冷却機構
１１１ 第１加熱装置
１１２ 第２加熱装置
１１３ 第３加熱装置
１１４ 第４加熱装置
１１５ 第５加熱装置
１１６ 第６加熱装置
１１７ 第７加熱装置
１２０ 冷却装置
１２１ 第１冷却装置
１２２ 第２冷却装置
１３１ 第１対象
１３２ 第２対象
１３３ 第３対象
１３４ 第４対象
１３５ 第５対象
１３６ 第６対象
１３７ 第７対象
１４１ 第１温度センサ
１４２ 第２温度センサ
１４３ 第３温度センサ
１４４ 第４温度センサ
１４５ 第５温度センサ
１４６ 第６温度センサ
１４７ 第７温度センサ
１５０ 入力装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】