(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024108868
(43)【公開日】2024-08-13
(54)【発明の名称】熱処理システム
(51)【国際特許分類】
C21D 1/62 20060101AFI20240805BHJP
C21D 1/00 20060101ALI20240805BHJP
C21D 1/58 20060101ALI20240805BHJP
C21D 11/00 20060101ALI20240805BHJP
【ＦＩ】
C21D1/62
C21D1/00 121
C21D1/58
C21D11/00 104
C21D1/00 B
C21D1/00 123Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023013480
(22)【出願日】2023-01-31
(71)【出願人】
【識別番号】000005197
【氏名又は名称】株式会社不二越
(74)【代理人】
【識別番号】100176072
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 功
(74)【代理人】
【識別番号】100169225
【弁理士】
【氏名又は名称】山野 明
(72)【発明者】
【氏名】橋爪 剛士
(72)【発明者】
【氏名】園部 勝
(72)【発明者】
【氏名】田中 祐馬
(72)【発明者】
【氏名】石井 久貴
【テーマコード（参考）】
4K034
4K038
【Ｆターム（参考）】
4K034AA01
4K034AA19
4K034CA05
4K034CA06
4K034DA08
4K034DB02
4K034DB03
4K034DB05
4K034DB06
4K034EA01
4K034FA06
4K034FB03
4K034FB11
4K034GA11
4K034GA15
4K038BA02
4K038CA01
4K038CA03
4K038DA04
4K038EA04
(57)【要約】
【課題】焼入れ終了後の冷却性能を向上する熱処理システムを提供する。
【解決手段】鋼部材Ｗを内部に配置した状態のまま、鋼部材Ｗに対して少なくとも焼入れ処理から焼戻し処理までを行う共通油槽１１と、共通油槽１１の内部を減圧する真空ポンプ１５と、真空ポンプ１５により共通油槽１１の内部が減圧されることで、共通油槽１１の内部の鋼部材Ｗに油を供給する供給部１２と、共通油槽１１の内部における油の蒸気圧を計測する圧力計１３と、油に関する温度と蒸気圧との相関関係を記憶する記憶部１８と、焼入れ終了後に、真空ポンプ１５の動作制御を行い共通油槽１１の内部に油を供給することで、鋼部材Ｗの冷却を行う制御部１９と、を備え、制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、相関関係に基づいて、圧力計１３が計測する油の蒸気圧が、油の温度が予め設定された鋼部材Ｗの目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。
【選択図】図１
【解決手段】鋼部材Ｗを内部に配置した状態のまま、鋼部材Ｗに対して少なくとも焼入れ処理から焼戻し処理までを行う共通油槽１１と、共通油槽１１の内部を減圧する真空ポンプ１５と、真空ポンプ１５により共通油槽１１の内部が減圧されることで、共通油槽１１の内部の鋼部材Ｗに油を供給する供給部１２と、共通油槽１１の内部における油の蒸気圧を計測する圧力計１３と、油に関する温度と蒸気圧との相関関係を記憶する記憶部１８と、焼入れ終了後に、真空ポンプ１５の動作制御を行い共通油槽１１の内部に油を供給することで、鋼部材Ｗの冷却を行う制御部１９と、を備え、制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、相関関係に基づいて、圧力計１３が計測する油の蒸気圧が、油の温度が予め設定された鋼部材Ｗの目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
鋼部材を内部に配置した状態のまま、当該鋼部材に対して少なくとも焼入れ処理から焼戻し処理までを行う第一油槽と、
前記第一油槽の内部を減圧する真空ポンプと、
前記真空ポンプにより前記第一油槽の内部が減圧されることで、当該第一油槽の内部の前記鋼部材に油を供給する供給部と、
前記第一油槽の内部における前記油の蒸気圧を計測する圧力計と、
前記油に関する温度と蒸気圧との相関関係を記憶する記憶部と、
前記焼入れ終了後に、前記真空ポンプの動作制御を行い前記第一油槽の内部に前記油を供給することで、前記鋼部材の冷却を行う制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記相関関係に基づいて、前記圧力計が計測する前記油の前記蒸気圧が、当該油の温度が予め設定された当該鋼部材の目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、前記真空ポンプの動作制御を行うことを特徴とする熱処理システム。
前記第一油槽の内部を減圧する真空ポンプと、
前記真空ポンプにより前記第一油槽の内部が減圧されることで、当該第一油槽の内部の前記鋼部材に油を供給する供給部と、
前記第一油槽の内部における前記油の蒸気圧を計測する圧力計と、
前記油に関する温度と蒸気圧との相関関係を記憶する記憶部と、
前記焼入れ終了後に、前記真空ポンプの動作制御を行い前記第一油槽の内部に前記油を供給することで、前記鋼部材の冷却を行う制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記相関関係に基づいて、前記圧力計が計測する前記油の前記蒸気圧が、当該油の温度が予め設定された当該鋼部材の目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、前記真空ポンプの動作制御を行うことを特徴とする熱処理システム。
【請求項2】
前記記憶部は、複数種類の前記油毎に前記相関関係を記憶し、
前記供給部から前記第一油槽の内部に供給する前記油の種類の入力を受け付ける入力部を更に備え、
前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記入力部が受け付けた前記油の種類、及び、当該油の種類についての前記相関関係に基づいて、前記圧力計が計測する前記油の蒸気圧が、当該油の温度が予め設定された当該鋼部材の目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、前記真空ポンプの動作制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の熱処理システム。
前記供給部から前記第一油槽の内部に供給する前記油の種類の入力を受け付ける入力部を更に備え、
前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記入力部が受け付けた前記油の種類、及び、当該油の種類についての前記相関関係に基づいて、前記圧力計が計測する前記油の蒸気圧が、当該油の温度が予め設定された当該鋼部材の目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、前記真空ポンプの動作制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の熱処理システム。
【請求項3】
前記供給部は、
内部に前記油を貯留する第二油槽と、
前記真空ポンプにより前記第一油槽が減圧されることで、前記第二油槽に貯留された前記油を前記第一油槽に供給する第二油槽用経路と、
前記第二油槽用経路に設置され、前記制御部によって開閉制御される制御弁と、
を備え、
前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記第一油槽の内部に前記油が供給されるように、前記真空ポンプ及び前記制御弁の動作制御を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の熱処理システム。
内部に前記油を貯留する第二油槽と、
前記真空ポンプにより前記第一油槽が減圧されることで、前記第二油槽に貯留された前記油を前記第一油槽に供給する第二油槽用経路と、
前記第二油槽用経路に設置され、前記制御部によって開閉制御される制御弁と、
を備え、
前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記第一油槽の内部に前記油が供給されるように、前記真空ポンプ及び前記制御弁の動作制御を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の熱処理システム。
【請求項4】
前記第一油槽には前記第二油槽用経路の一端が接続され、
前記一端には、前記鋼部材に対して前記油をシャワー状に噴射することができる複数の孔が形成されることを特徴とする請求項３に記載の熱処理システム。
前記一端には、前記鋼部材に対して前記油をシャワー状に噴射することができる複数の孔が形成されることを特徴とする請求項３に記載の熱処理システム。
【請求項5】
前記油はノルマルパラフィンを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の熱処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、鋼部材に対して熱処理を行う熱処理システムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、鋼部材に対して浸炭処理後の焼入れや焼戻し等の熱処理を行う技術が知られている。例えば、下記特許文献１には、浸炭処理後の鋼部材を焼入れ処理用の油槽に浸漬させて焼入れ処理を行い、焼入れ処理後の鋼部材を焼戻し処理用の油槽に浸漬させて焼戻し処理を行う技術が開示されている。
尚、上記熱処理を既知のインライン装置（処理の開始から終了まで鋼部材を系外に出さずに行う装置）で行う技術も周知である。
尚、上記熱処理を既知のインライン装置（処理の開始から終了まで鋼部材を系外に出さずに行う装置）で行う技術も周知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１７－８２２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら上記熱処理をインライン装置で行う場合、焼入れ直後に焼戻し工程に移行するため、特許文献１のような技術では、残留するオーステナイトが増える傾向にあった。
【0005】
上記課題に鑑み、本発明は、焼入れ終了後における冷却性能を向上する熱処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するために、本発明の熱処理システムは、鋼部材を内部に配置した状態のまま、当該鋼部材に対して少なくとも焼入れ処理から焼戻し処理までを行う第一油槽と、前記第一油槽の内部を減圧する真空ポンプと、前記真空ポンプにより前記第一油槽の内部が減圧されることで、当該第一油槽の内部の前記鋼部材に油を供給する供給部と、前記第一油槽の内部における前記油の蒸気圧を計測する圧力計と、前記油に関する温度と蒸気圧との相関関係を記憶する記憶部と、前記焼入れ終了後に、前記真空ポンプの動作制御を行い前記第一油槽の内部に前記油を供給することで、前記鋼部材の冷却を行う制御部と、を備え、前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記相関関係に基づいて、前記圧力計が計測する前記油の前記蒸気圧が、当該油の温度が予め設定された当該鋼部材の目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、前記真空ポンプの動作制御を行う。
【0007】
また、前記記憶部は、複数種類の前記油毎に前記相関関係を記憶し、前記供給部から前記第一油槽の内部に供給する前記油の種類の入力を受け付ける入力部を更に備え、前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記入力部が受け付けた前記油の種類、及び、当該油の種類についての前記相関関係に基づいて、前記圧力計が計測する前記油の蒸気圧が、当該油の温度が予め設定された当該鋼部材の目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、前記真空ポンプの動作制御を行う。
【0008】
また、前記供給部は、内部に前記油を貯留する第二油槽と、前記真空ポンプにより前記第一油槽が減圧されることで、前記第二油槽に貯留された前記油を前記第一油槽に供給する第二油槽用経路と、前記第二油槽用経路に設置され、前記制御部によって開閉制御される制御弁と、を備え、前記制御部は、前記鋼部材の冷却を行う際に、前記第一油槽の内部に前記油が供給されるように、前記真空ポンプ及び前記制御弁の動作制御を行う。
【0009】
また、前記第一油槽には前記第二油槽用経路の一端が接続され、
前記一端には、前記鋼部材に対して前記油をシャワー状に噴射することができる複数の孔が形成される。
前記一端には、前記鋼部材に対して前記油をシャワー状に噴射することができる複数の孔が形成される。
【0010】
また、前記油はノルマルパラフィンを含む。
【発明の効果】
【0011】
本発明に係る熱処理システムによれば、焼入れ終了後における冷却性能を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明の実施形態に係る熱処理システムの全体の概略構成を示す回路図である。
【図5】本発明の実施形態に係る熱処理油における温度と蒸気圧との相関関係、すなわち蒸気圧特性の一例を示すグラフである。
【図6】本発明の実施形態に係る熱処理の各処理工程における鋼部材の温度変化の一例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。なお、説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては極力同一の符号を付して、重複する説明は適宜省略する。
【0014】
【0015】
熱処理システム１は、鋼部材Ｗに対して熱処理を行うインライン装置である。この熱処理には、浸炭処理、浸炭処理後の焼入れ処理、残留オーステナイト低減処理、焼戻し処理、及び、洗浄処理等を含む。
【0016】
熱処理システム１は、共通油槽１１（第一油槽）と、貯留油槽２０と、真空ポンプ１５と、給排経路３０と、熱交換器４１，４２，４３，４４と、熱交換経路５１，５２，５３，５４と、蒸留器６０と、熱処理制御装置１４とを主要部として備えている。
【0017】
また、図示していないが、熱処理システム１は、浸炭処理を行う浸炭室、及び、浸炭処理と焼入れ処理との間において、鋼部材Ｗを加熱保持する降温均熱室を含んでいるが、図１を簡略化するため、各処理室、各処理を行うための構成は省略して示している。
【0018】
共通油槽１１（第一油槽）は、鋼部材Ｗを内部に配置した状態のまま、熱処理油が供給又は排出（給排）されることで、鋼部材Ｗに対して焼入れ処理を含む焼入れ処理以降の処理（少なくとも焼入れ処理から焼戻し処理まで）を行う油槽である。
【0019】
共通油槽１１には、熱処理油として、例えば、焼入れ処理用の焼入油、焼戻し処理用の焼戻油、残留オーステナイト低減処理用の低温洗浄油、洗浄処理用の洗浄油等が、入れ替え可能に充填される。
【0020】
鋼部材Ｗは、例えばコンベア等の搬送装置（図示略）によって共通油槽１１内に搬送され、配置される。熱処理油は、貯留油槽２０から共通油槽１１への供給によって、共通油槽１１内に鋼部材Ｗが浸漬あるいはシャワーするようにして充填される。
【0021】
貯留油槽２０は、内部に熱処理油を貯留する油槽であって、焼入油槽２１、焼戻油槽２２、洗浄油槽２３、低温洗浄油槽２４（第二油槽）、及び、再生洗浄油槽２５を含む。
【0022】
焼入油槽２１は、内部に焼入油を貯留する油槽である。焼入油槽２１内の焼入油は、例えば１２０℃程度の設定温度とされている。
【0023】
焼戻油槽２２は、その内部において焼戻油を加熱するとともに貯留する油槽である。焼戻油槽２２には、例えば熱源であるヒータＨが設けられている。焼戻油槽２２内の焼戻油は、このヒータＨによって加熱されており、例えば２００℃程度の設定温度とされている。なお、焼戻油槽２２内の焼戻油は、ヒータＨによる加熱に限らず、例えば浸炭室等の放熱を熱源として利用して加熱されてもよい。
【0024】
洗浄油槽２３は、内部に洗浄油を貯留する油槽である。洗浄油槽２３内の洗浄油は、例えば１１０℃程度の設定温度とされている。
【0025】
低温洗浄油槽２４（第二油槽）は、内部に低温洗浄油を貯留する油槽である。低温洗浄油槽２４内の低温洗浄油は、常温、例えば３０℃程度の温度とされている。
【0026】
再生洗浄油槽２５は、洗浄油槽２３内の洗浄油が蒸留器６０により蒸留されることによって生成された再生洗浄油を、内部に貯留する油槽である。再生洗浄油槽２５の内部の再生洗浄油は、常温、例えば３０℃程度の設定温度とされている。
【0027】
真空ポンプ１５は、共通油槽１１、焼入油槽２１、焼戻油槽２２、洗浄油槽２３、低温洗浄油槽２４、再生洗浄油槽２５、及び、後述のオーバーフロータンクＦＴに対して、排気経路１５Ａによって並列的に接続されており、共通油槽１１、焼入油槽２１、焼戻油槽２２、洗浄油槽２３、低温洗浄油槽２４、及び、再生洗浄油槽２５のそれぞれの内部を減圧（真空排気）することが可能である。
【0028】
なお、排気経路１５Ａは配管等によって構成され、所定位置に制御弁が設けられている。これにより、共通油槽１１、焼入油槽２１、焼戻油槽２２、洗浄油槽２３、低温洗浄油槽２４、及び、再生洗浄油槽２５の圧力を、それぞれ真空ポンプ１５にて個別に制御することができる。
【0029】
また、共通油槽１１、焼入油槽２１、焼戻油槽２２、洗浄油槽２３、低温洗浄油槽２４、及び、再生洗浄油槽２５のそれぞれには、窒素ガスタンク（図示略）が接続されており、当該窒素ガスタンクから窒素ガスが供給可能とされている（図１におけるＮ２）。
【0030】
さらに、共通油槽１１と、焼入油槽２１、焼戻油槽２２、洗浄油槽２３、及び、低温洗浄油槽２４との間では、減圧（真空排気）及び窒素ガス加圧によって生じる差圧を利用して、熱処理油を給排することができる。また、熱処理油の給排の際、熱処理油を供給する側又は排出する側の油槽に適宜窒素ガスを供給することにより、熱処理油を圧送することもできる。
【0031】
また、共通油槽１１及び各貯留油槽２０のそれぞれには、例えば、熱処理油の液量を測定するレベルセンサ（図示略）等が設けられている。
【0032】
給排経路３０は、共通油槽１１と各貯留油槽２０との間で熱処理油を給排する経路であって、配管等によって構成されている。給排経路３０は、焼入油経路３１と、焼戻油経路３２と、洗浄油経路３３と、低温洗浄油経路３４（第二油槽用経路）と、を含む。
【0033】
焼入油経路３１は、焼入油槽２１と共通油槽１１との間で焼入油を給排（供給及び排出）する。焼入油経路３１は、焼入油槽２１から共通油槽１１に焼入油を供給する供給経路と、共通油槽１１から焼入油槽２１に焼入油を排出する排出経路と、を含む。この供給経路は、例えば経路ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４により構成されており、この排出経路は、例えば経路ｆ５，ｆ６により構成されている。
【0034】
なお、焼入油経路３１の排出経路を構成する経路ｆ６には、オーバーフロータンクＦＴが配置されており、共通油槽１１から焼入油が排出される際には、このオーバーフロータンクＦＴを経由して焼入油が排出される。
【0035】
また、オーバーフロータンクＦＴは、経路ｆ６とは異なる経路ｆ３０によって窒素ガスタンク（図示略）から窒素の供給を行うことができる（図１中のＮ２）。なお、経路ｆ３０には制御弁が設けられている。さらに、オーバーフロータンクＦＴは排気経路１５Ａによって真空排気を行うことができる。
【0036】
焼戻油経路３２は、焼戻油槽２２と共通油槽１１との間で焼戻油を給排する。焼戻油経路３２は、焼戻油槽２２から共通油槽１１に焼戻油を供給する供給経路と、共通油槽１１から焼戻油槽２２に焼戻油を排出する排出経路と、を含む。この供給経路及び排出経路は、それぞれ、例えば経路ｆ７，ｆ８，ｆ２，ｆ３，ｆ４により構成されている。すなわち、経路ｆ７，ｆ８，ｆ２，ｆ３，ｆ４が、焼戻油の供給時と排出時とで兼用されている。また、焼戻油経路３２は、焼戻油の供給時において共通油槽１１に供給した焼戻油を焼戻油槽２２に戻して循環させるための循環経路や、共通油槽１１に供給した焼戻油を焼戻油槽２２に戻さずに迂回させて共通油槽１１に戻す迂回経路と、を含む。この循環経路は、例えば経路ｆ５，ｆ９，ｆ１０，ｆ１１，ｆ７，ｆ８，ｆ２，ｆ３，ｆ４により構成されており、この迂回経路は、例えば経路ｆ５，ｆ９，ｆ１２，ｆ１３，ｆ１４，ｆ８，ｆ２，ｆ３，ｆ４により構成されている。
【0037】
洗浄油経路３３は、洗浄油槽２３と共通油槽１１との間で洗浄油を給排する。洗浄油経路３３は、洗浄油槽２３から共通油槽１１に洗浄油を供給する供給経路と、共通油槽１１から洗浄油槽２３に洗浄油を排出する排出経路と、を含む。この供給経路は、例えば経路ｆ１５，ｆ１６により構成されており、この排出経路は、例えば経路ｆ４，ｆ３，ｆ１７により構成されている。
【0038】
低温洗浄油経路３４（第二油槽用経路）は、低温洗浄油槽２４と共通油槽１１との間で低温洗浄油を給排する。低温洗浄油経路３４は、低温洗浄油槽２４に貯留された低温洗浄油を共通油槽１１の内部に供給する供給経路と、共通油槽１１から低温洗浄油槽２４に低温洗浄油を排出する排出経路と、を含む。この供給経路及び排出経路は、それぞれ、例えば経路ｆ１８，ｆ４を含んで構成されている。すなわち、経路ｆ１８，ｆ４が、低温洗浄油の供給時と排出時とで兼用されている。
【0039】
特に、低温洗浄油経路３４は、残留オーステナイト低減処理工程において、真空ポンプ１５により共通油槽１１が減圧されることで、低温洗浄油槽２４に貯留された低温洗浄油を共通油槽１１に供給するものである。
【0040】
熱交換器４１～４４は、例えば直径の異なる２つのチューブを外側と内側の２重に組み合わせた二重管式熱交換器である。熱交換器４１～４４は、異なる温度の熱処理油を内部に流すことにより、相対的に高い温度の熱処理油から相対的に低い温度の熱処理油へと伝熱させる。
【0041】
熱交換器４１は、焼戻油槽２２内の焼戻油と焼入油槽２１内の焼入油との間で熱交換を行う。熱交換器４１は、熱交換経路５１に配置されている。熱交換経路５１を流れる焼戻油と焼入油とが熱交換器４１の内部を流れることによって、当該焼戻油と当該焼入油との間で熱交換が行われる。
【0042】
熱交換器４２は、焼入油槽２１内の焼入油と洗浄油槽２３内の洗浄油との間で熱交換を行う。熱交換器４２は、熱交換経路５２に配置されている。熱交換経路５２を流れる焼入油と洗浄油とが熱交換器４２の内部を流れることによって、当該焼入油と当該洗浄油との間で熱交換が行われる。
【0043】
熱交換器４３は、焼入油槽２１内の焼入油と蒸留器６０内の洗浄油との間で熱交換を行う。熱交換器４３は、熱交換経路５３に配置されている。熱交換経路５３を流れる焼入油と洗浄油とが熱交換器４３の内部を流れることによって、当該焼入れ油と当該洗浄油との間で熱交換が行われる。
【0044】
熱交換器４４は、低温洗浄油槽２４内の低温洗浄油と再生洗浄油槽２５内の再生洗浄油との間で熱交換を行う。熱交換器４４は、熱交換経路５４に配置されている。熱交換経路５４を流れる低温洗浄油と再生洗浄油とが熱交換器４４の内部を流れることによって、当該低温洗浄油と当該再生洗浄油との間で熱交換が行われる。
【0045】
熱交換経路５１～５４は、熱処理油を循環させながら熱交換を行う経路であって、配管等によって構成されている。熱交換経路５１～５４には、熱交換器４１～４４が配置されている。熱交換経路５１～５４では、熱処理油が循環しながら熱交換器４１～４４によって熱交換される。
【0046】
熱交換経路５１は、焼戻油槽２２内の焼戻油を、熱交換器４１を経由して焼戻油槽２２内に循環させるとともに、焼入油槽２１内の焼入油を、熱交換器４１を経由して焼入油槽２１内に循環させる。具体的には、熱交換経路５１は、焼戻油を焼戻油槽２２から排出して熱交換器４１を経由して焼戻油槽２２に戻す循環経路５１ａと、焼入油を焼入油槽２１から排出して熱交換器４１を経由して焼入油槽２１に戻す循環経路５１ｂと、を含む。循環経路５１ａは、例えば、熱交換器４１を通る経路ｆ２０と、焼戻油槽２２から経路ｆ２０の一端までを接続する経路ｆ１９，ｆ１３と、経路ｆ２０の他端から焼戻油槽２２までを接続する経路ｆ１１と、により構成されている。また、循環経路５１ｂは、例えば、焼入油槽２１から出て熱交換器４１を通り焼入油槽２１に戻る一つの経路として構成されている。
【0047】
熱交換経路５２は、焼入油槽２１内の焼入油を、熱交換器４２を経由して焼入油槽２１内に循環させるとともに、洗浄油槽２３内の洗浄油を、熱交換器４２を経由して洗浄油槽２３内に循環させる。具体的には、熱交換経路５２は、焼入油を焼入油槽２１から排出して熱交換器４２を経由して焼入油槽２１に戻す循環経路５２ａと、洗浄油を洗浄油槽２３から排出して熱交換器４２を経由して洗浄油槽２３に戻す循環経路５２ｂと、を含む。循環経路５２ａは、例えば、熱交換器４２を通る経路ｆ２２と、焼入油槽２１から経路ｆ２２の一端までを接続する経路ｆ２１と、経路ｆ２２の他端から焼入油槽２１までを接続する経路ｆ２３と、により構成されている。また、循環経路５２ｂは、洗浄油槽２３から出て熱交換器４２を通り洗浄油槽２３に戻る一つの経路として構成されている。
【0048】
熱交換経路５３は、焼入油槽２１内の焼入油を、熱交換器４３を経由して焼入油槽２１内に循環させるとともに、蒸留器６０内の洗浄油を、熱交換器４３を経由して蒸留器６０内に循環させる。具体的には、熱交換経路５３は、焼入油を焼入油槽２１から排出して熱交換器４３を経由して焼入油槽２１に戻す循環経路５３ａと、洗浄油を蒸留器６０から排出して熱交換器４３を経由して蒸留器６０に戻す循環経路５３ｂと、を含む。循環経路５３ａは、熱交換器４３を通る経路ｆ２４と、焼入油槽２１から経路ｆ２４の一端までを接続する経路ｆ２１と、経路ｆ２４の他端から焼入油槽２１までを接続する経路ｆ２３と、により構成されている。なお、図１においては、熱交換器４３を通る経路ｆ２４の途中部の図示を省略し「Ａ」及び「Ｂ」の丸印を付しているが、実際の経路ｆ２４は、図示中の「Ａ」の丸印同士と「Ｂ」の丸印同士が接続されてなる。また、循環経路５３ｂは、例えば、蒸留器６０から出て熱交換器４３を通り蒸留器６０に戻る一つの経路として構成されている。
【0049】
熱交換経路５４は、低温洗浄油槽２４内の焼入油を、熱交換器４４を経由して低温洗浄油槽２４内に循環させるとともに、再生洗浄油槽２５内の洗浄油を、熱交換器４４を経由して再生洗浄油槽２５内に循環させる。具体的には、熱交換経路５４は、低温洗浄油を低温洗浄油槽２４から排出して熱交換器４４を経由して低温洗浄油槽２４に戻す循環経路５４ａと、再生洗浄油を再生洗浄油槽２５から排出して熱交換器４４を経由して再生洗浄油槽２５に戻す循環経路５４ｂと、を含む。循環経路５４ａは、例えば、低温洗浄油槽２４から出て熱交換器４４を通り低温洗浄油槽２４に戻る一つの経路として構成されている。また、循環経路５４ｂは、例えば、再生洗浄油槽２５から出て熱交換器４４を通り再生洗浄油槽２５に戻る一つの経路として構成されている。
【0050】
蒸留器６０は、洗浄油槽２３内の洗浄油を蒸留することによって、再生洗浄油を生成する。蒸留器６０には、洗浄油槽２３内の洗浄油が経路ｆ２５を通って供給される。蒸留器６０は、供給された洗浄油を蒸留し、再生洗浄油を生成する。生成された再生洗浄油は、経路ｆ２６を通って再生洗浄油槽２５に供給される。再生洗浄油槽２５内に貯留された再生洗浄油は、経路ｆ２７，ｆ１５を通って洗浄油槽２３に供給される。なお、蒸留器６０には、洗浄油の蒸留の際に生じた廃油を貯留する廃油タンク６１が接続されている。
【0051】
給排経路３０や熱交換経路５１～５４を含む各経路を構成する配管には、所定の位置において制御弁が設けられている。すなわち、給排経路３０や熱交換経路５１～５４の所定位置には、それぞれ制御弁が配置されている。
【0052】
なお、図１においては、経路ｆ１８に配置された制御弁を第一制御弁ＶＡとし、経路ｆ４に配置された制御弁を第二制御弁ＶＢとしている。図面を簡略化して理解を容易にするため、その他の制御弁については符号の図示を省略する。各制御弁は、後述する制御部１９によって開閉制御される。
【0053】
また、各制御弁の開閉制御によって、給排経路３０や熱交換経路５１～５４において熱処理油を通すか通さないかが制御される。制御弁は、例えばエアオペレート弁（空圧駆動弁）である。また、経路ｆ１３，ｆ２１における所定の位置には、ポンプが配置されている。制御部１９による当該ポンプの制御によって、熱交換経路５１～５４における熱処理油の循環が行われる。
【0054】
供給部１２は、真空ポンプ１５により共通油槽１１の内部が減圧されることで、共通油槽１１の内部の鋼部材Ｗに低温洗浄油を供給する構成を指している。すなわち、供給部１２は、低温洗浄油槽２４と、低温洗浄油経路３４と、第一制御弁ＶＡと、第二制御弁ＶＢと、を含むものである。
【0055】
図２は、内部に鋼部材Ｗが配置された、図１の共通油槽１１の斜視図である。図２に示すように、共通油槽１１には低温洗浄油経路３４の一端３４Ａが接続されている。なお、この一端３４Ａは二本に分岐しており、共通油槽１１の内側の面のうち、互いに対向する二つの面にそれぞれ固定されている。
【0056】
また、この一端３４Ａには、鋼部材Ｗに対して低温洗浄油をシャワー状に噴射することができる複数の孔３４Ｂが形成される。なお、図２では、孔３４Ｂの一部しか表しておらず、実際には、鋼部材Ｗの下方から上方まで均一に低温洗浄油がシャワーされるように、一端３４Ａの、共通油槽１１の下方から上方にかけての広範囲に、孔３４Ｂが形成されている。
【0057】
図１に戻り、圧力計１３は、例えばピラニ真空計であり、共通油槽１１の排気側、すなわち、排気経路１５Ａの経路ｆ４０に設置され、共通油槽１１の内部における低温洗浄油（熱処理油）の蒸気圧を計測する。
【0058】
図３は、図１の熱処理制御装置１４のハードウェア構成の一例を概略的に示すブロック図である。図３に示すように、熱処理制御装置１４は、記憶装置２と、制御装置３と、通信装置４と、を主に備えて主要部が構成されている。
【0059】
記憶装置２は、熱処理制御装置１４の内部に配置されたハードディスク等によって構成される補助記憶装置である。この記憶装置２は、制御装置３における処理の実行に必要な各種プログラム、各種の情報、及び、処理結果の情報を記憶する。
【0060】
制御装置３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５、及び、メモリ（主記憶装置）６を主に備えて主要部が構成される。ＣＰＵ５は、熱処理制御装置１４の各種構成を動作制御する。メモリ６は、例えば熱処理制御装置１４における処理の実行に必要な各種プログラム等を記憶する。
【0061】
また、制御装置３は、ＣＰＵ５が記憶装置２あるいはメモリ６等に格納された所定のプログラムを実行することにより、各種の機能構成として機能する。この機能構成の詳細については後述する。当該プログラムは、記憶装置２に記憶されてもよく、熱処理制御装置１４の外部の記憶装置等に記憶されてもよい。また、当該プログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録して提供してもよく、インターネット等のネットワーク経由でインストールする形式で提供してもよい。
【0062】
通信装置４は、外部の装置と通信するための通信インターフェース等で構成される。通信装置４は、例えば、圧力計１３、真空ポンプ１５、各ポンプ、各制御弁、ヒータＨ、熱電対、レベルセンサ、及び、その他各種センサとの間で通信を行う。
【0063】
なお、熱処理制御装置１４は、専用又は汎用のコンピュータ等を用いて実現することができる。また、図３は熱処理制御装置１４が有する主要なハードウェア構成の一部を示しているに過ぎず、熱処理制御装置１４は、コンピュータが一般的に備える他の構成を備えることができる。
【0064】
図４は、図１の熱処理制御装置１４の機能的構成の一例を、圧力計１３、真空ポンプ１５、温度測定部１６、及び、制御弁ＶＡ，ＶＢとともに概略的に示すブロック図である。なお、温度測定部１６は、図１，２においては省略したが、鋼部材Ｗの温度を測定するものであり、例えば熱電対などである。
【0065】
図４に示すように、熱処理制御装置１４は、取得部１７と、入力部１９Ａと、記憶部１８と、制御部１９と、を主要部として備えている。
【0066】
取得部１７は、圧力計１３により計測した、共通油槽１１における低温洗浄油の蒸気圧のデータを取得するとともに、温度測定部１６により測定した、鋼部材Ｗの温度のデータを取得する。
【0067】
入力部１９Ａは、ユーザによる、使用する低温洗浄油（すなわち熱処理油）の種類、及び、オーステナイト低減処理における鋼部材Ｗの目標温度の入力を受け付ける。なお、本実施形態では、オーステナイト低減処理工程以外の各処理工程における設定温度においても、ユーザが設定することができるものとしてもよく、その場合にも入力部１９Ａにて受け付ける。
【0068】
記憶部１８は、低温洗浄油（熱処理油）に関する温度と蒸気圧との相関関係、すなわち蒸気圧特性を記憶する。さらに、記憶部１８は、複数種類の低温洗浄油（熱処理油）毎にこの相関関係を記憶する。
【0069】
制御部１９は、真空ポンプ１５の動作制御、その他各ポンプの動作制御、及び、第一制御弁ＶＡ、第二制御弁ＶＢの開閉動作制御、その他各制御弁の開閉動作制御、及び、ヒータＨの動作制御等を行うものである。
【0070】
特に制御部１９は、焼入れ終了後の残留オーステナイト低減処理工程において、第一制御弁ＶＡ及び第二制御弁ＶＢを開状態とするとともに、真空ポンプ１５の動作制御を行い、共通油槽１１の内部に低温洗浄油を供給することで、鋼部材Ｗの冷却を行う。
【0071】
ここで、残留オーステナイト低減処理工程における、制御部１９による真空ポンプ１５の動作制御について具体的に説明する。
制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、入力部１９Ａが受け付けた低温洗浄油の種類、及び、（記憶部１８に記憶された）当該種類についての相関関係に基づいて、圧力計１３が計測する低温洗浄油の蒸気圧（取得部１７が取得するデータ）が、低温洗浄油の温度が予め設定された鋼部材Ｗの目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。この目標温度はユーザが入力部１９Ａにて設定する。
制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、入力部１９Ａが受け付けた低温洗浄油の種類、及び、（記憶部１８に記憶された）当該種類についての相関関係に基づいて、圧力計１３が計測する低温洗浄油の蒸気圧（取得部１７が取得するデータ）が、低温洗浄油の温度が予め設定された鋼部材Ｗの目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。この目標温度はユーザが入力部１９Ａにて設定する。
【0072】
ここで、図５は、図４の記憶部１８に記憶された低温洗浄油（熱処理油）における温度と蒸気圧との相関関係すなわち蒸気圧特性の一例を示すグラフである。当該グラフは、横軸が低温洗浄油（熱処理油）の温度［℃］、縦軸が低温洗浄油（熱処理油）の蒸気圧［ＫＰａ］となっている（ただし、縦軸は対数表示されている）。
【0073】
図５の各曲線は、低温洗浄油（熱処理油）が沸騰（突沸）する条件を示している。例えば、低温洗浄油（熱処理油）の種類がＮＳクリーン２００である場合、低温洗浄油は、蒸気圧１６００Ｐａであれば温度８０℃で沸騰することになる。
【0074】
そこで、制御部１９は、入力部１９Ａにて入力された低温洗浄油（熱処理油）の種類がＮＳクリーン２００であり、同じく入力された鋼部材Ｗの目標温度を８０℃とした場合、記憶部１８に記憶された図５の相関関係に基づいて、圧力計１３が計測するＮＳクリーン２００の蒸気圧が、ＮＳクリーン２００の温度が上記目標温度と等しい８０℃の場合の蒸気圧１６００Ｐａとなるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。
【0075】
上記動作制御によって、焼入れ終了直後には上記目標温度８０℃よりも高温である鋼部材Ｗに対して低温洗浄油を供給することで、鋼部材Ｗに接触した低温洗浄油が突沸する。この突沸により鋼部材Ｗの熱を奪うので、冷却機能が向上し、目標温度８０℃までの到達時間を短縮することができる。また、例えばタップ穴が形成された鋼部材Ｗであっても、突沸した低温洗浄油がタップ穴の内部にまで侵入するため、均一に冷却することができる。なお、温度測定部１６により計測した鋼部材Ｗの温度（取得部１７が取得するデータ）が目標温度８０℃となって時点で、残留オーステナイト低減処理を終了する。
【0076】
また、低温洗浄油（熱処理油）にはノルマルパラフィンを含むものを用いるのが好ましい。図５に示したＮＳクリーン２００、ダフニークリーナＳＤ３、テクリーンＮ２０、エクソールＤ８０、及び、ダフニークリーナＮＨは、全てこのノルマルパラフィンを含んでいる。特に、ＮＳクリーン２００を用いるのが好ましい。
【0077】
≪各工程における鋼部材Ｗの温度変化≫
次に、図６を参照して、熱処理の各処理工程の流れと鋼部材Ｗの温度変化について説明する。図６は、熱処理の各処理工程における鋼部材Ｗの温度変化の一例を示すグラフである。図６の横軸は時間を示し、図６の縦軸は鋼部材Ｗの温度を示す。ここで、熱処理前の鋼部材Ｗの受け入れ時には、鋼部材Ｗの温度は常温であって例えば３０℃程度であると仮定する。なお、熱処理の各工程の流れは、図６に示す例に限定されず、例えば後洗浄処理が省略されてもよい。
次に、図６を参照して、熱処理の各処理工程の流れと鋼部材Ｗの温度変化について説明する。図６は、熱処理の各処理工程における鋼部材Ｗの温度変化の一例を示すグラフである。図６の横軸は時間を示し、図６の縦軸は鋼部材Ｗの温度を示す。ここで、熱処理前の鋼部材Ｗの受け入れ時には、鋼部材Ｗの温度は常温であって例えば３０℃程度であると仮定する。なお、熱処理の各工程の流れは、図６に示す例に限定されず、例えば後洗浄処理が省略されてもよい。
【0078】
共通油槽１１内における前洗浄処理工程においては、共通油槽１１内の鋼部材Ｗの温度は、３０℃程度の常温状態から８３～１１０℃程度に上昇させる。続いて、浸炭室における浸炭処理工程においては、鋼部材Ｗの目標温度は９３０℃程度とする。続いて、浸炭処理後の鋼部材Ｗを降温均熱室において加熱保持し、共通油槽１１内に搬入される際の鋼部材Ｗの目標温度は８５０℃程度とする。続いて、共通油槽１１内における焼入れ処理工程においては、鋼部材Ｗの目標温度は１２０℃程度とする。続いて、共通油槽１１内における残留オーステナイト低減処理工程においては、鋼部材Ｗの目標温度は８０℃程度とする。続いて、共通油槽１１内における後洗浄処理工程においては、鋼部材Ｗの目標温度は８３～１１０℃程度とする。続いて、共通油槽１１内における焼戻し処理工程においては、鋼部材Ｗの温度は２００℃程度とする。続いて、共通油槽１１内における後洗浄処理工程においては、鋼部材Ｗの目標温度は８３～１１０℃程度とする。その後、常温の３０℃程度になった状態で、熱処理後の鋼部材Ｗが払い出される。
【0079】
≪低温洗浄油の流れ≫
以下では、オーステナイト低減処理工程における低温洗浄油の流れについて説明する。
以下では、オーステナイト低減処理工程における低温洗浄油の流れについて説明する。
【0080】
残留オーステナイト低減処理工程においては、制御部１９が、低温洗浄油槽２４が共通油槽１１よりも高圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御による共通油槽１１の減圧（真空排気）や、低温洗浄油槽２４への窒素ガス供給の制御を行うとともに、低温洗浄油経路３４における供給経路に配置された第一制御弁ＶＡ及び第二制御弁ＶＢを開状態とする。
【0081】
これにより、図１に破線矢印で示すように、低温洗浄油槽２４内の低温洗浄油は、低温洗浄油経路３４における経路ｆ１８，ｆ４を通過して、共通油槽１１に供給される。低温洗浄油は、鋼部材Ｗに対してシャワー状に吹き付けられるようにして供給される。
【0082】
共通油槽１１内では、供給された低温洗浄油が突沸することにより鋼部材Ｗが冷却される。これにより、鋼部材Ｗに残留したオーステナイトが低減される。
【0083】
≪作用効果≫
本実施形態に係る熱処理システム１は、鋼部材Ｗを内部に配置した状態のまま、鋼部材Ｗに対して少なくとも焼入れ処理から焼戻し処理までを行う共通油槽１１（第一油槽）と、共通油槽１１の内部を減圧する真空ポンプ１５と、真空ポンプ１５により共通油槽１１の内部が減圧されることで、共通油槽１１の内部の鋼部材Ｗに油を供給する供給部１２と、共通油槽１１の内部における油の蒸気圧を計測する圧力計１３と、油に関する温度と蒸気圧との相関関係を記憶する記憶部１８と、焼入れ終了後に、真空ポンプ１５の動作制御を行い共通油槽１１の内部に油を供給することで、鋼部材Ｗの冷却を行う制御部１９と、を備え、制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、相関関係に基づいて、圧力計１３が計測する油の蒸気圧が、油の温度が予め設定された鋼部材Ｗの目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、焼入れ終了後の鋼部材Ｗに油を供給することで、従来のインライン装置に比べて冷却性能を向上することができ、冷却時間を短縮することができる。また、鋼部材Ｗが目標温度に冷却されるまで、鋼部材Ｗに供給された油が突沸するので、より冷却性能が向上する。
本実施形態に係る熱処理システム１は、鋼部材Ｗを内部に配置した状態のまま、鋼部材Ｗに対して少なくとも焼入れ処理から焼戻し処理までを行う共通油槽１１（第一油槽）と、共通油槽１１の内部を減圧する真空ポンプ１５と、真空ポンプ１５により共通油槽１１の内部が減圧されることで、共通油槽１１の内部の鋼部材Ｗに油を供給する供給部１２と、共通油槽１１の内部における油の蒸気圧を計測する圧力計１３と、油に関する温度と蒸気圧との相関関係を記憶する記憶部１８と、焼入れ終了後に、真空ポンプ１５の動作制御を行い共通油槽１１の内部に油を供給することで、鋼部材Ｗの冷却を行う制御部１９と、を備え、制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、相関関係に基づいて、圧力計１３が計測する油の蒸気圧が、油の温度が予め設定された鋼部材Ｗの目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、焼入れ終了後の鋼部材Ｗに油を供給することで、従来のインライン装置に比べて冷却性能を向上することができ、冷却時間を短縮することができる。また、鋼部材Ｗが目標温度に冷却されるまで、鋼部材Ｗに供給された油が突沸するので、より冷却性能が向上する。
【0084】
また、記憶部１８は、複数種類の油毎に相関関係を記憶し、供給部１２から共通油槽１１の内部に供給する油の種類の入力を受け付ける入力部１９Ａを更に備え、制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、入力部１９Ａが受け付けた油の種類、及び、油の種類についての相関関係に基づいて、圧力計１３が計測する油の蒸気圧が、油の温度が予め設定された鋼部材Ｗの目標温度と等しい場合の蒸気圧となるように、真空ポンプ１５の動作制御を行う。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、複数種類の油に対応することができる。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、複数種類の油に対応することができる。
【0085】
また、供給部１２は、内部に油を貯留する低温洗浄油槽２４（第二油槽）と、真空ポンプ１５により共通油槽１１が減圧されることで、低温洗浄油槽２４に貯留された油を共通油槽１１に供給する低温洗浄油経路３４（第二油槽用経路）と、低温洗浄油経路３４に設置され、制御部１９によって開閉制御される制御弁ＶＡ，ＶＢと、を備え、制御部１９は、鋼部材Ｗの冷却を行う際に、共通油槽１１の内部に油が供給されるように、真空ポンプ１５及び制御弁ＶＡ，ＶＢの動作制御を行う。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、共通油槽１１と低温洗浄油槽２４との差圧を利用して、鋼部材Ｗに簡便に油を供給することができる。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、共通油槽１１と低温洗浄油槽２４との差圧を利用して、鋼部材Ｗに簡便に油を供給することができる。
【0086】
また、共通油槽１１には低温洗浄油経路３４の一端３４Ａが接続され、一端３４Ａには、鋼部材Ｗに対して油をシャワー状に噴射することができる複数の孔３４Ｂが形成される。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、鋼部材Ｗに対し満遍なく油をかけることができるので、例えばタップ穴が形成されるなどの複雑な形状の鋼部材Ｗにおいても、均一に冷却することができる。
これにより、本実施形態に係る熱処理システム１は、鋼部材Ｗに対し満遍なく油をかけることができるので、例えばタップ穴が形成されるなどの複雑な形状の鋼部材Ｗにおいても、均一に冷却することができる。
【0087】
また、低温洗浄油（熱処理油）はノルマルパラフィンを含む。
これにより、比較的高い蒸気圧で突沸が発生するので、冷却性能がより向上する。
これにより、比較的高い蒸気圧で突沸が発生するので、冷却性能がより向上する。
【0088】
＝＝＝変形例＝＝＝
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。すなわち、上述した具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。また、上記実施形態及び下記変形例が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。すなわち、上述した具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。また、上記実施形態及び下記変形例が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【0089】
例えば、給排経路３０や熱交換経路５１～５４は、上記実施形態で説明した構成に限定されず、例えば図に示した経路以外の他の経路等を含んで構成されていてもよい。また、上記実施形態では、熱交換経路５１～５４で熱処理油を循環させながら熱交換器４１～４４による熱処理油の熱交換を行う例について説明したが、熱交換経路５１～５４で熱処理油を循環させずに、熱交換器を介して各貯留油槽２０同士を接続すること等によって熱処理油の熱交換を行ってもよい。
【0090】
また、上記実施形態では、熱処理システム１が、一つの共通油槽１１を備える例について説明したが、熱処理システム１が複数の共通油槽１１を備えていてもよい。熱処理システム１は、複数の共通油槽１１のそれぞれにおいて、異なる鋼部材Ｗの熱処理を同時に又は並行して行ってもよい。
【符号の説明】
【0091】
１：熱処理システム、１１：共通油槽（第一油槽）、１２：供給部、１３：圧力計、１５：真空ポンプ、１８：記憶部、１９：制御部、１９Ａ：入力部、２４：低温洗浄油槽（第二油槽）、３４：低温洗浄油経路（第二油槽用経路）、３４Ａ：一端、３４Ｂ：孔、ＶＡ：第一制御弁，ＶＢ：第二制御弁、Ｗ：鋼部材
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】