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特開2024-109112基板支持装置及びこれを用いた基板製造方法
発明の名称 基板支持装置及びこれを用いた基板製造方法
出願人 エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド （識別番号 501426046）
特許公開件数ランキング 206 位（154件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 154 位（181件）（共同出願を含む）
出願人 サニック システム リミテッド （識別番号 500520318）
特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2024-109112
公報発行日 2024年8月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-109112
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