特開 2024-109433 モリブデンメッシュおよび焼成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024109433

(43)【公開日】2024-08-14

(54)【発明の名称】モリブデンメッシュおよび焼成方法

(51)【国際特許分類】

   C22C 27/04 20060101AFI20240806BHJP

   C22F 1/18 20060101ALI20240806BHJP

   C22F 1/00 20060101ALN20240806BHJP

【ＦＩ】

C22C27/04 102

C22F1/18 C

C22F1/00 624

C22F1/00 621

C22F1/00 628

C22F1/00 630K

C22F1/00 650A

C22F1/00 682

C22F1/00 691B

C22F1/00 691C

C22F1/00 691Z

C22F1/00 630B

C22F1/00 692A

C22F1/00 692B

C22F1/00 685Z

【審査請求】有

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023014227

(22)【出願日】2023-02-01

(71)【出願人】

【識別番号】000220103

【氏名又は名称】株式会社アライドマテリアル

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】秋山 大樹

(57)【要約】

【課題】寿命の長いモリブデンメッシュを提供する。
【解決手段】モリブデンメッシュ１は再結晶後でも室温で折り曲げ可能である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

再結晶後でも室温で折り曲げ可能なモリブデンメッシュ。

【請求項2】

ランタンを０．０５質量％以上２．００質量％以下と不可避不純分を含み残分がモリブデンで構成される、請求項１に記載のモリブデンメッシュ。

【請求項3】

前記モリブデンメッシュの端に、前記モリブデンメッシュの厚みの１００～３００％の幅の折り返しを設けた、請求項１または２に記載のモリブデンメッシュ。

【請求項4】

９００℃でクリープ試験を行った時の変形量が５ｍｍ以下である、請求項１または２に記載のモリブデンメッシュ。

【請求項5】

再結晶熱処理を施すことで９００℃でクリープ試験を行った時の変形量が１ｍｍ以下である、請求項１または２に記載のモリブデンメッシュ。

【請求項6】

請求項１または２に記載の、焼成用のモリブデンメッシュ。

【請求項7】

請求項６に記載の焼成用モリブデンメッシュを用いた、焼成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、モリブデンメッシュに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、モリブデンメッシュは、たとえば特開平４－２１０８３４号公報（特許文献１）、特開昭６３－２４３２４９号公報（特許文献２）に記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平４－２１０８３４号公報

【特許文献2】特開昭６３－２４３２４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来のモリブデンメッシュでは、折損しやすいという問題があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示のモリブデンメッシュは、再結晶後でも室温で折り曲げ可能なモリブデンメッシュである。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、実施の形態１に従ったモリブデンメッシュ１を構成するメッシュ構造体１０の平面図である。

【図2】図２は、図１中のＩＩで囲んだ部分を拡大して示す平面図である。

【図3】図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。

【図4】図４は、実施の形態２に従った折り返しが設けられたモリブデンメッシュ１を構成するメッシュ構造体１０の平面図である。

【図5】図５は、実施の形態２に従ったモリブデンメッシュ１の製造方法を説明するための図である。

【図6】図６は、実施の形態２に従ったモリブデンメッシュ１の製造方法を説明するための図である。

【図7】図７は、実施の形態３に従った切断面が設けられていない端部１３を有するモリブデンメッシュ１を示す図である。

【図8】図８は、純モリブデン線材およびランタンがドープされたモリブデン線材の熱処理前と熱処理後の断面組織を示す写真である。

【図9】図９は、モリブデンメッシュ１の室温での折り曲げ特性を測定するための方法を示す図である。

【図10】図１０は、モリブデンメッシュ１の室温での衝撃試験を実施するための方法を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。

【0008】

従来、モリブデンメッシュを用いて焼成すると、使用中高温に暴露されたモリブデンメッシュは、著しく脆化し、室温での取り扱いで、折損し易い問題があった。

【0009】

再結晶したモリブデンメッシュはその結晶形態によっては高温下では粒界滑りにより変形し易く、室温では、粒界強度が低下するため、曲げ荷重が加わった際、再結晶脆化により破断し易い特徴がある。

【0010】

使用中再結晶が起きうる高温に暴露されたモリブデンメッシュは、著しく脆化し、室温での取り扱いで、折損し易い問題があった。

【0011】

また、使用中にメッシュが変形し、形状が焼成物に転写する問題があった。メッシュの寿命が短く、生産効率が悪いことが技術的な問題となっている。

【0012】

本開示におけるモリブデンメッシュは、再結晶後でも室温で折り曲げ可能なモリブデンメッシュである。

【0013】

９００℃でクリープ試験を行った時の変形量が５ｍｍ以下である。このように構成されたモリブデンメッシュにおいては、クリープ試験後の変形量（そり）を５ｍｍ以下とすることができるので、使用時におけるモリブデンメッシュの変形を抑制できる。

【0014】

好ましくは、前記モリブデンメッシュの端に、前記モリブデンメッシュの厚みの１００～３００％の幅の折り返しを設ける。このように構成されたモリブデンメッシュにおいては、端において厚みが増すため強度を大きくすることが可能になる。

【0015】

好ましくは、再結晶熱処理を施すことで再結晶時の変形が１ｍｍ以下である。
好ましくは、モリブデンメッシュは、ランタンを０．０５質量％以上２．００質量％以下と不可避不純分を含み残分がモリブデンで構成される。このように構成されたモリブデンメッシュにおいては、ランタンの作用により結晶粒を長大化させて所望の特性を発揮させやすい。

【0016】

好ましくは、焼成用のモリブデンメッシュは、上記のいずれかのモリブデンメッシュを含む。

【0017】

好ましくは、焼成方法は、上記の焼成用モリブデンメッシュを用いる。
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に従ったモリブデンメッシュ１を構成するメッシュ構造体１０の平面図である。図１で示すように、敷板としてのモリブデンメッシュ１はモリブデンを含むメッシュ構造体１０を備える。

【0018】

メッシュ構造体１０は、モリブデンまたはモリブデン合金の線材により構成されている。

【0019】

線材１１，１２を織る、または編むことでメッシュ構造体１０が形成されている。線材１１，１２の端面が切断面１１ｅ，１２ｅである。切断面１１ｅ，１２ｅは、線材１１，１２を切断することで構成されている。

【0020】

図２は、図１中のＩＩで囲んだ部分を拡大して示す平面図である。図２で示すように、線材１１，１２が交差することでメッシュ構造体１０を構成している。縦方向に延びる線材１１と横方向に延びる線材１２とが交差することで、複数の目１９を構成している。

【0021】

この実施の形態においては、線材１１，１２は互いに直交するように延びている。しかしながら、線材１１，１２が互いに鋭角をなすように延びていてもよい。

【0022】

図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。図３で示すように、線材１１の断面は丸形状である。線材１１の断面は角形状であってもよい。線材１２においても、同様に断面が丸形状または角形状のいずれであってもよい。

【0023】

モリブデンメッシュ１に用いる線材１１，１２の線径は０．１ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下が好ましい。この範囲とすることにより、高温で変形しにくく、加工し易いモリブデンメッシュ１となる。０．１ｍｍ未満では、焼成用途では、線材１１，１２の強度が不足するおそれがある。１．０ｍｍを超えても問題はないが、線材１１，１２に柔軟性が無く、編み込むことが困難となる。

【0024】

モリブデンメッシュ１は、シャーリングもしくはスリッターで所望のサイズに切断する。せん断加工により、切断面は鋭利な状態となり、脆化したモリブデンが折損、脱落しやすくなるが、一部、もしくは全てを折り曲げ加工することで強度の低下や取扱での引っ掛かりによる破損を防止できる。

【0025】

折り曲げ部は、プレスして段差を無くし、焼結材の積載面積を増やすことができる。もしくは、網厚の３倍以内に厚みを持たせることで、積み重ねした際にスペーサーとしての機能を持たせることが出来る。

【0026】

線材１１，１２は、Ｌａ酸化物を２．００質量％以下で含有してもよい。再結晶により脆化した純モリブデンは、室温にて取り扱う際に、延性が乏しく、取扱時の応力で折損する場合がある。

【0027】

Ｌａ酸化物を添加することで、粒界強度を高め、折損を防止することができる。尚、成分の分析には、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分光法により行う。

【0028】

１５００～２６００℃の温度域では変形が大きくなるため、再結晶処理を行うことが好ましい。再結晶処理は、モリブデンメッシュ１加工後に行うことが望ましい。織網の加工歪を除去することで、耐変形性を向上することができる。

【0029】

モリブデンメッシュ１が変形すると、焼結材に形状が転写されるおそれがある。本開示により、焼結材の品質、歩留向上も期待できる。

【0030】

メッシュ構造体１０の材質は、純モリブデンまたはモリブデン合金である。メッシュ構造体１０に使用される純モリブデン材料は一般的な純度である９８．５質量％以上のモリブデン材料が望ましい。モリブデン合金は、金属添加剤を０を超えて１．０質量％以下含んでいてもよい。添加剤としては、Ｌａ酸化物が好ましい。添加材成分の測定は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分光法により行う。ＩＣＰ発光分析法では、ＩＣＰＳ－８１００型（島津製作所）を用いる。

【0031】

メッシュ構造体１０は不可避不純物（例えばＡｌ、Ｃａ、Ｆｅ、Ｍｇ、Ｓｉ）を含む。不可避不純物は（ＪＩＳ Ｈ １４０４ ２００１）の７．４項（誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分光法：Ｆｅの測定）、不揮発分定量方法（ＪＩＳ Ｈ １４０４ ２００１）等に従う。ＩＣＰ法では、ＩＣＰＳ－８１００型（島津製作所）を用いる。

【0032】

メッシュ構造体１０の形状は四角形以外でも構わない。モリブデンメッシュ１の製織方法はどの製織方法であっても構わない。

【0033】

（実施の形態２）
図４は、実施の形態２に従った折り返しが設けられたモリブデンメッシュ１を構成するメッシュ構造体１０の平面図である。実施の形態２に従ったメッシュ構造体１０の端部１３，１４，１５，１６に折り返し部２１，２２が設けられている。

【0034】

線材１１，１２の端面が切断面１１ｅ，１２ｅである。切断面１１ｅ，１２ｅは、線材１１，１２を切断することで構成されている。図１で示すメッシュ構造体１０は、四角形の角が落とされた８角形のモリブデン合金線のモリブデンメッシュ１の各辺を折り曲げることにより形成される。そのため、角部において折り曲げられた部分が重ならない。なお、必ずしもこの構造を採用する必要は無く、四角形のモリブデン合金線のメッシュの各辺を折り曲げてメッシュ構造体１０を構成してもよい。この場合にはメッシュ構造体１０の角部においてメッシュが４層重なった構造となる。

【0035】

図５は、実施の形態２に従ったモリブデンメッシュ１の製造方法を説明するための図である。図６は、実施の形態２に従ったモリブデンメッシュ１の製造方法を説明するための図である。

【0036】

図５で示すように、モリブデンメッシュ１を製造するためには、まず、メッシュ構造体１０の端部１３を矢印１０１で示すように曲げる。この実施の形態では端部１３を上方向に曲げているが、端部１３を下方向に曲げてもよい。

【0037】

図６で示すように、矢印１０２で示す方向に端部１３付近をプレスすることで、折り返し部２１を形成する。プレスにより、折り返し部２１の厚みが薄くなる。

【0038】

図７は、実施の形態３に従った切断面が設けられていない端部１３を有するモリブデンメッシュ１を示す図である。図７で示すように、切断面が設けられていない端部１３を有するモリブデンメッシュ１も存在する。この場合、端部１３において線材１２が編み込まれており、線材１２を切断することなくモリブデンメッシュ１を形成することができる。切断面を有さない端部１３は、強度が十分であれば折り返す必要がない。

【0039】

メッシュ構造体１０の厚さは測定部のアンビル並びにスピンドルの測定面が平らなスピンドルの直径Ｄ６ｍｍのデジタルマイクロメータにて測定する。また、この厚みはノギスで測定する事も出来る。

【0040】

折り返し部のある辺の数が１以上の場合には折り返し部のある辺の厚さの平均値を折り返しのある辺の厚さとする。メッシュ構造体１０の中央で厚さを測定し、それをモリブデンメッシュ１の厚さとする。折り返し部の厚みはモリブデンメッシュ１の厚みの１００％以上３００％以下であることが好ましい。

【0041】

（実施例）
以下、本開示を実施例に基づいて説明する。

【0042】

（１）モリブデンメッシュの製造
（１－１）モリブデン線の製造
組成がモリブデンとランタンの組成を様々に変化させた表１および表２の材質の金属粉末を準備した。金属粉末中のＦｅ：０．０１質量％以下、不揮発分：０．０２質量％以下である。

【0043】

【表1】

【0044】

【表2】

【0045】

表１の試料番号１から１４は、表２の試料番号１ａから１４ａと同じ組成を有する。違いは、後の工程の再結晶熱処理の有無である。

【0046】

これをモリブデン線材の加工法によってプレス、焼結してインゴットを作成した。得られたインゴットを、溝ロール圧延又はスエージ加工を行った後、線引き加工を施し、表１および表２の「線径」の欄で示す直径を有する試料番号１から１４および１ａから１４ａのモリブデン線を得た。モリブデン線は電解研磨、焼鈍し、最終仕上げを行った。

【0047】

（１－２）織網、切断工程
試料番号１から１４および１ａから１４ａのモリブデン線を用いて織機に１１００ｍｍの幅で縦糸を張った。縦糸に対して横糸を直角に公差させ、筬で打ち込むことで織網をし、長さ３５ｍのロールを製作した。ロールはシャーリングまたはスリッターで切断をし、幅２２０ｍｍ、長さ１８０ｍｍに切断をした。

【0048】

（１－３）曲げ工程
試料番号４、１１から１４、４ａ、１１ａから１４ａについては、プレスブレーキを用いて２または４辺の端部を５ｍｍ～２０ｍｍ折り曲げをした。

【0049】

折り曲げ後は、網厚の３倍以内でプレスした。これにより、図１または図４で示すモリブデンメッシュ１を得た。

【0050】

（１－４）再結晶熱処理
焼成炉を用いて、真空雰囲気中で表２で示す「再結晶熱処理」の温度で加熱処理して、再結晶処理をした。具体的には昇温速度１０℃／ｍｉｎで、表２の再結晶熱処理の温度まで昇温した。表２の再結晶熱処理の時間を保持し、降温速度２０℃／ｍｉｎで室温まで降温した。

【0051】

表１の試料にはこの再結晶熱処理は行わない。処理量を増やすため治具を使用する場合もあるが、モリブデンメッシュ１と治具との接触部の反応を避けるため、モリブデンメッシュ１と同材質の治具を用いることが好ましい。

【0052】

すなわち、上記モリブデンメッシュ１を再結晶が始まる１２００℃以上で加熱し、結晶粒子を線材の長さ方向へ伸長させた。再結晶熱処理温度は１５００℃以上、２０００℃以下がより好ましい。再結晶する温度以下での処理では、十分な効果が得られないおそれがある。２０００℃を超えても問題無いがコストの増加や接触部の反応が起きるおそれがある。再結晶熱処理の時間は、モリブデンメッシュ１を構成するモリブデンが充分に再結晶するのに必要な時間とされる。ただし、必要以上の再結晶熱処理の時間は、経済性を悪化させる。

【0053】

また、焼成炉は真空雰囲気中の他に、水素など還元性ガス雰囲気、または不活性ガス雰囲気中でも良い。表１および２における「熱処理」の欄の「温度（℃）」とは熱処理中の最高温度、「時間（Ｈ）」とは最高温度を保持した時間をいう。

【0054】

再結晶熱処理後のモリブデンメッシュ１のメッシュを解き、樹脂に埋め込んだ後解いた線の概ね１／２の位置まで研磨を行い鏡面状態にした後、村上試薬等の適切なエッチング液を用いて結晶観察を行った。

【0055】

結晶観察ではキーエンス社製デジタルマイクロスコープＶＨＸ－１０００を用い、線径等の条件により５０～４００倍程度の倍率で熱処理により組織が塑性加工後の繊維組織から再結晶した組織に変わっている事を確認した。表１および表２における「繊維状」とは、塑性加工（伸線加工）後の組織を示す。「粗大」または「長大」とは、再結晶後の組織であることを示す。「粗大」とは等方的に結晶成長していること、「長大」とは異方的に結晶成長していること、（図８）をいう。

【0056】

図８は、純モリブデン線材およびランタンがドープされたモリブデン線材の熱処理前と熱処理後の断面組織を示す写真である。図８において熱処理前および熱処理後の組織を示す。図８から、組織が粗大化または長大化していることが分かる。

【0057】

純モリブデンは再結晶熱処理を行う事によって塑性加工後にみられる繊維状組織は粗大化する。

【0058】

再結晶後、モリブデンメッシュ１の組成を確認したところ、原材料の組成を保っていることが確認された。さらにモリブデンメッシュ１の各線径を確認したところ、表２の「線径」が保たれていることが確認された。

【0059】

表１および２における「折り返し（辺）」とはモリブデンメッシュ１における折り返された辺の数、「折り返し（回数）」とは折り返された辺における折り返しの回数をいう。

【0060】

（２）モリブデンメッシュの評価
モリブデンメッシュを折り曲げ試験、衝撃試験およびクリープ試験により評価した。表３と表４はそれぞれ表１と表２で作製されたモリブデンメッシュ１に対して再結晶熱処理を行ったもの（表４）と行っていない状態のもの（表３）の評価結果を表す。

【0061】

【表3】

【0062】

【表4】

【0063】

（２－１）評価１：折り曲げ試験
図９は、モリブデンメッシュ１の室温での折り曲げ特性を測定するための方法を示す図である。モリブデンメッシュ１の折り曲げ試験を実施した。モリブデンメッシュ１（試料番号１２ａ）と、比較として純モリブデンのモリブデンメッシュ１（試料番号４ａ）を試験した。

【0064】

評価には線径０．３５ｍｍ、＃２４メッシュを用い、端部は４辺を５ｍｍ折り曲げした。♯２４メッシュとは１インチ（２５．４ｍｍ）の幅に２４本の線が存在することをいう。モリブデンメッシュ１の網目（メッシュ）は＃４～５０メッシュが望ましい。

【0065】

折り返し部２１，２２は、折り曲げの無い部分の厚みの１１５％にプレスした。モリブデンメッシュ１のサイズは幅Ｌが５０ｍｍ、長さＢが５０ｍｍの正方形とした。モリブデンメッシュ１の両端１０ｍｍを台１１５，１１６により支持し、中央にφ５の丸棒１１２を橋渡しにした。台１１５，１１６間の距離は３０ｍｍである。

【0066】

丸棒１１２はワイヤ１１３でテンションゲージ１１０と接続される。室温にて、テンションゲージ１１０を矢印１１１で示す下方へ引くことで、モリブデンメッシュ１に集中荷重を加えた。荷重を徐々に増加させ、メッシュが破断又は塑性変形した時の最大荷重をテンションゲージで測定し、破断の有無を確認した。

【0067】

測定は縦糸方向と横糸方向それぞれで行い、平均値で評価した。純モリブデンでは、荷重を２．２ｋｇｆ（２．２×９．８Ｎ）まで増加させると容易に破断した。一方、Ｌａ酸化物を含有した本メッシュは、６ｋｇｆの荷重を加えても破断せず、９０°に塑性変形した。

【0068】

その他の試料番号について同じ試験をしたところ試料番号５ａから１４ａのモリブデンメッシュにおいて６ｋｇｆの荷重を加えても破断せず、９０°に塑性変形した。

【0069】

その他の試料番号についても同様の試験を実施した。その結果を表３および表４における「曲げ試験」の欄において示す。

【0070】

「曲げ試験」の欄における評価「Ａ」は６ｋｇｆの荷重を加えてもモリブデンメッシュ１のいずれの場所においても破断しなかったことを示す。「Ｂ」は６ｋｇｆ未満の荷重をくわえるとモリブデンメッシュ１のいずれかの場所が破断したことを示す。

【0071】

この試験により、試料番号５から１４（５ａから１４ａ）は、再結晶後でも室温で折り曲げ可能なモリブデンメッシュ１であるといえる。なお、表１にある再結晶熱処理をしていない試料番号１から１４（表３）はいずれも破断しなかった。

【0072】

（２－２）評価２：衝撃試験
モリブデンメッシュ１の破壊試験（耐衝撃試験）を実施した。モリブデンメッシュ１（試料番号５ａ）と、比較として純モリブデンのモリブデンメッシュ１（試料番号１ａ）を試験した。

【0073】

図１０は、モリブデンメッシュ１の室温での衝撃試験を実施するための方法を示す図である。評価には線径０．３５ｍｍ、＃２４メッシュを用い、モリブデンメッシュ１のサイズは幅Ｌが１００ｍｍ、長さＢが１００ｍｍの正方形とした。幅５０ｍｍ、長さ５０ｍｍの枠の上にモリブデンメッシュ１を置いた。これにより、図１０における点線で示される穴１３０を構成した。穴１３０は枠が存在しない領域である。穴１３０の上にモリブデンメッシュ１が存在して穴１３０を覆っている。穴１３０の寸法は幅５０ｍｍ、長さ５０ｍｍである。穴１３０内は枠によって支持されていない。そのため、穴１３０に上から力が加わると穴１３０を構成するモリブデンメッシュ１が変形する。これに対して穴１３０外は枠に直接接触しているため穴外に上から力が加わってもモリブデンメッシュ１は変形しない。

【0074】

室温にて、モリブデンメッシュ１の中央に位置する穴１３０に重さ１３０グラムの円柱型の錘１３１を高さ１００ｍｍから自由落下させた。

【0075】

試験は５回繰り返し実施した。純モリブデンでは、衝撃荷重によりモリブデンメッシュ１に破れが生じ、折損が見られた。Ｌａ酸化物を含有したモリブデンメッシュ１は、変形するのみで、破れが生じることはなかった。

【0076】

その他の試料番号についても同様の試験を実施した。その結果を表３および表４における「衝撃試験」の欄において示す。

【0077】

表３にある再結晶熱処理を行っていない試料は変形するのみで、破れが生じる事はなかった。

【0078】

「Ａ」は５回試験を繰り返してもモリブデンメッシュ１に破れが生じなかったことを示す。「Ｂ」は５回の試験でモリブデンメッシュ１に一度以上破れが生じたことを示す。この試験より、試料番号５ａから１４ａは再結晶後に室温の衝撃試験で破損しないモリブデンメッシュ１であるといえる。

【0079】

（２－３）評価３：クリープ試験
モリブデンメッシュ１のクリープ試験を実施した。モリブデンメッシュ１（試料番号５）と、比較として純モリブデンのモリブデンメッシュ１（試料番号１）を製作した。評価には線径０．３５ｍｍ、＃２４メッシュを用い、モリブデンメッシュ１のサイズは幅５０ｍｍ、長さ１００ｍｍの長方形とした。モリブデンメッシュ１の両端１０ｍｍを支持し、中央に１３１グラムの円柱型の錘を置いた。焼成炉を用いて、水素雰囲気中で９００℃に加熱して、処理を３回繰り返した。錘を乗せた状態でスパンの中央の高さをデジタルノギスで測定し、熱処理前後の差を変形量とした。純モリブデンのモリブデンメッシュ１では、６．８ｍｍの変形が見られたが、Ｌａ酸化物を含有したモリブデンメッシュ１は、３．８ｍｍの変形に抑えることができた。

【0080】

その他の試料番号についても同様の試験を実施した。その結果を表１および表２における「クリープ変形量」の欄において示す。

【0081】

ランタンを含まない試料番号１ａから４ａではクリープ変形量が大きくなった。ただし、試料番号４ａにおいては折り返しの作用によりクリープ変形は小さかった。

【0082】

再結晶熱処理を行わなかった試料番号１－１４においては再結晶熱処理を行った試料番号１ａ－１４ａに比べてクリープ変形量が大きくなったものがあった。ただし、試料番号５－１４、５ａ－１４ａは添加物の効果でクリープ変形は小さかった。試料番号４、１１－１４、４ａ、１１ａ-１４ａにおいては折り返しの作用によりクリープ変形は小さかった。再結晶熱処理温度が１８００℃である。クリープ変形量が小さいことで、長期の使用に耐えうるモリブデンメッシュ１を提供することができる。
（付記１）
再結晶後でも室温で折り曲げ可能なモリブデンメッシュ。
（付記２）
ランタンを０．０５質量％以上２．００質量％以下と不可避不純分を含み残分がモリブデンで構成される、付記１に記載のモリブデンメッシュ。
（付記３）
前記モリブデンメッシュの端に、前記モリブデンメッシュの厚みの１００～３００％の幅の折り返しを設けた、付記１または２に記載のモリブデンメッシュ。
（付記４）
９００℃でクリープ試験を行った時の変形量が５ｍｍ以下である、付記１から３のいずれか１項に記載のモリブデンメッシュ。
（付記５）
再結晶熱処理を施すことで９００℃でクリープ試験を行った時の変形量が１ｍｍ以下である、付記１から４のいずれか１項に記載のモリブデンメッシュ。
（付記６）
付記１から５のいずれか１項に記載の、焼成用のモリブデンメッシュ。
（付記７）
付記６に記載の焼成用モリブデンメッシュを用いた、焼成方法。

【0083】

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0084】

１ モリブデンメッシュ、１０ メッシュ構造体、１１，１２ 線材、１１ｅ，１２ｅ 切断面、１３，１４，１５，１６ 端部、１９ 目、２１，２２ 折り返し部、１０１，１０２，１１１ 矢印、１１０ テンションゲージ、１１２ 先端、１１５，１１６ 台、１３０ 穴、１３１ 錘。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】