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特開2024-110362微細突起具の検査方法、検査装置、製造方法及び製造装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024110362
(43)【公開日】2024-08-15
(54)【発明の名称】微細突起具の検査方法、検査装置、製造方法及び製造装置
(51)【国際特許分類】
G01N 21/95 20060101AFI20240807BHJP
A61M 37/00 20060101ALI20240807BHJP
【ＦＩ】
G01N21/95 Z
A61M37/00 505
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023014918
(22)【出願日】2023-02-02
(71)【出願人】
【識別番号】000000918
【氏名又は名称】花王株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002170
【氏名又は名称】弁理士法人翔和国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】玉腰 正人
【テーマコード（参考）】
2G051
4C267
【Ｆターム（参考）】
2G051AA90
2G051AB01
2G051AB03
2G051BA01
2G051BA10
2G051BB01
2G051CA04
2G051CB01
2G051CB02
2G051DA06
4C267AA72
4C267CC01
4C267GG07
4C267GG09
4C267HH30
(57)【要約】
【課題】微細突起具を精度よく検査することができる微細突起具の検査方法を提供すること。
【解決手段】微細突起具２の検査方法であって、突起部２Ｂが突設された側において基材２Ａの表面に光を照射しながら、反射光を受光することによって該表面を突起部２Ｂと共に撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、突起部２Ｂが突設されていない側において該表面とは反対側の面に光を照射しながら、微細突起具２を透過した透過光を突起部２Ｂが突設された側において受光することによって該表面を突起部２Ｂと共に撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得と、第１及び第２の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する工程と、突起部３Ｂに関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、情報算出工程で算出された情報に基づいて、微細突起具２の良否を判定する良否判定工程と、を有する。
【選択図】図１
【解決手段】微細突起具２の検査方法であって、突起部２Ｂが突設された側において基材２Ａの表面に光を照射しながら、反射光を受光することによって該表面を突起部２Ｂと共に撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、突起部２Ｂが突設されていない側において該表面とは反対側の面に光を照射しながら、微細突起具２を透過した透過光を突起部２Ｂが突設された側において受光することによって該表面を突起部２Ｂと共に撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得と、第１及び第２の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する工程と、突起部３Ｂに関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、情報算出工程で算出された情報に基づいて、微細突起具２の良否を判定する良否判定工程と、を有する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の検査方法であって、
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射しながら、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得工程と、
第１の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得工程と、
第２の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得工程と、
第１情報取得工程において取得した前記形状情報と、第２情報取得工程において取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、
前記情報算出工程で算出された情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定工程と、
を有する、微細突起具の検査方法。
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射しながら、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得工程と、
第１の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得工程と、
第２の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得工程と、
第１情報取得工程において取得した前記形状情報と、第２情報取得工程において取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、
前記情報算出工程で算出された情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定工程と、
を有する、微細突起具の検査方法。
【請求項2】
第２画像取得工程において、
前記基材表面とは反対側の面に照射する前記光は、前記基材表面とは反対側の面に、前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射し、
前記微細突起具を透過した前記透過光は、前記突起部を境としてこれの他方の側から斜め方向に受光される、請求項１に記載の微細突起具の検査方法。
前記基材表面とは反対側の面に照射する前記光は、前記基材表面とは反対側の面に、前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射し、
前記微細突起具を透過した前記透過光は、前記突起部を境としてこれの他方の側から斜め方向に受光される、請求項１に記載の微細突起具の検査方法。
【請求項3】
第２画像取得工程における、前記基材表面とは反対側の面に照射する前記光の入射角度θＬ２を調整することによって、第２画像取得工程において、前記突起部全体が暗く、突起部不存在部が明るい状態の第２の画像が取得されるようにする、請求項２に記載の微細突起具の検査方法。
【請求項4】
第２画像取得工程においては、前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に、光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側における、前記一方の側と同じ側において斜め方向に受光することによって第２の画像を取得する、請求項１に記載の微細突起具の検査方法。
【請求項5】
第２画像取得工程における、前記基材表面とは反対側の面に照射する前記光の入射角度θＬ３を調整することによって、第２画像取得工程において、前記突起部全体が明るく、突起部不存在部が暗い状態の第２の画像が取得されるようにする、請求項４に記載の微細突起具の検査方法。
【請求項6】
透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の検査装置であって、
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射する第１照明手段と、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第１撮像手段とを備える第１画像取得部と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射する第２照明手段と、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第２撮像手段とを備える第２画像取得部と、
第１撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得部と、
第２撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得部と、
第１情報取得部が取得した前記形状情報と、第２情報取得部が取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出部と、
前記情報算出部が算出した情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定部と、
を有する、微細突起具の検査装置。
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射する第１照明手段と、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第１撮像手段とを備える第１画像取得部と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射する第２照明手段と、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第２撮像手段とを備える第２画像取得部と、
第１撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得部と、
第２撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得部と、
第１情報取得部が取得した前記形状情報と、第２情報取得部が取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出部と、
前記情報算出部が算出した情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定部と、
を有する、微細突起具の検査装置。
【請求項7】
第２画像取得部において、
第２照明手段は、前記基材表面とは反対側の面に、前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射するように配されており、
第２撮像手段は、前記微細突起具を透過した前記透過光を、前記突起部を境としてこれの他方の側から斜め方向に受光するように配されている、請求項６に記載の微細突起具の検査装置。
第２照明手段は、前記基材表面とは反対側の面に、前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射するように配されており、
第２撮像手段は、前記微細突起具を透過した前記透過光を、前記突起部を境としてこれの他方の側から斜め方向に受光するように配されている、請求項６に記載の微細突起具の検査装置。
【請求項8】
第２画像取得部においては、
第２照明手段は、前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に、光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射するように配されており、
第２撮像手段は、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側における、前記一方の側と同じ側において斜め方向に受光することによって第２の画像を取得するように配されている、請求項６に記載の微細突起具の検査装置。
第２照明手段は、前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に、光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射するように配されており、
第２撮像手段は、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側における、前記一方の側と同じ側において斜め方向に受光することによって第２の画像を取得するように配されている、請求項６に記載の微細突起具の検査装置。
【請求項9】
透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の製造方法であって、
請求項６～８の何れか一項に記載の微細突起具の検査装置を用いる工程を有する、微細突起具の製造方法。
請求項６～８の何れか一項に記載の微細突起具の検査装置を用いる工程を有する、微細突起具の製造方法。
【請求項10】
透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の製造装置であって、
請求項６～８の何れか一項に記載の微細突起具の検査装置を有する、微細突起具の製造装置。
請求項６～８の何れか一項に記載の微細突起具の検査装置を有する、微細突起具の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基材表面上に少なくとも１つの微細な突起部が突設された微細突起具の検査方法、検査装置、製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、医療分野や美容分野等において、マイクロニードルアレイと称される微細突起具が注目されている。この微細突起具は、マイクロニードルと称される微細な針状の多数の突起部をシート状の基材の上に規則的に配列した状態で突設して構成されている。このような微細突起具を皮膚の表面に貼ることによって、痛みを伴うことなく、注射器による薬剤等の投与と同等の効能が得られる。
【0003】
ところで、かかる微細突起具は、種々の方法によって製造されるが、製造された微細突起具に対しては、基材上に突設された針状の多数の突起部の形状・寸法精度や、異物の付着、折れ等の欠損、バリの発生の有無等が検査される。その検査方法として、出願人は特許文献１に記載の検査方法を提案している。特許文献１には、微細突起具の基材表面を境として突起部が突設された側において基材表面に光を突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、該微細突起具からの反射光を他方の側から斜め方向に受光ことによって基材表面を突起部と共に撮像し、撮像された画像を画像処理した結果に基づいて突起部の良否を判定する方法が記載されている。
【0004】
また特許文献２には、微細突起具の突起部が突設された基材表面をシート第１面、その反対側の面（裏面）をシート第２面とした場合に、シート第２面から照射光を斜めに照射することによって、突起部の先端部分が暗く、根元部分が明るい状態を作り出した上で、突起部を撮像する方法が記載されている。
【0005】
また出願人は、シート状物の検査方法として、特許文献３に記載の検査方法を提案している。特許文献３には、第１シート状部材と、第１シート状部材上に配され、第１シート状部材よりも面積が小さいシート状物の検査方法が記載されている。同文献の検査方法では、赤外線画像及び可視光線画像に基づいてシート状部材の配置状態の良否を判定する。赤外線画像は、第１シート状部材と、第２シート状部材の全域とを含む領域に対して赤外線を照射し、その照射領域における透過光又は反射光を撮像して得られる。可視光線画像は、第１シート状部材と、第２シート状部材の全域とを含む領域に対して可視光線を照射し、その照射領域における透過光又は反射光を撮像して得られる。
【0006】
また特許文献４には、錠剤が収納されたシートに付着した異物を検査する技術が記載されている。同文献には、シートの一方の面に反射光を照射して撮像することにより得られた反射画像と、シートの他方の面に透過光を照射して撮像することにより得られた透過画像とに基づいて異物を検査することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２０２０－８５８６２号公報
【特許文献2】特開２０１６－１６６７６９号公報
【特許文献3】特開２０２１－２５８１１号公報
【特許文献4】国際公開第２０１５／１３６５９８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
特許文献１の検査方法では、突起に光を照射したときに突起の影が生じてしまう。そのため、突起の影と重なる位置に異物が存在している場合や、複数の突起が配されており、一の突起の影と重なる位置に他の突起の先端部が位置している場合に、微細突起具の検査を精度よく行うことについて改良の余地があった。
特許文献２の検査方法では、シート第２面側から光を照射し、シート第１面側から微細突起具を撮像し、得られた画像を用いて微細突起具の検査を行っている。即ち、特許文献２の検査方法では、微細突起具を透過した透過光を受光することによって撮像された画像のみを用いて検査を行っている。そのため、撮像された画像において、微細突起具における突起部全体の輪郭を明瞭に捉えることが困難であり、例えば、突起部の高さを算出することが困難である。
特許文献３及び４は、シートの検査方法であり、突起部が突設された微細突起具の検査を行うことは困難である。
本発明の課題は、前述した従来技術が有する欠点を解消し得る、微細突起具の検査方法及び検査装置を提供することにある。
特許文献２の検査方法では、シート第２面側から光を照射し、シート第１面側から微細突起具を撮像し、得られた画像を用いて微細突起具の検査を行っている。即ち、特許文献２の検査方法では、微細突起具を透過した透過光を受光することによって撮像された画像のみを用いて検査を行っている。そのため、撮像された画像において、微細突起具における突起部全体の輪郭を明瞭に捉えることが困難であり、例えば、突起部の高さを算出することが困難である。
特許文献３及び４は、シートの検査方法であり、突起部が突設された微細突起具の検査を行うことは困難である。
本発明の課題は、前述した従来技術が有する欠点を解消し得る、微細突起具の検査方法及び検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明は、透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の検査方法であって、
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射しながら、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得工程と、
第１の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得工程と、
第２の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得工程と、
第１情報取得工程において取得した前記形状情報と、第２情報取得工程において取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、
前記情報算出工程で算出された情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定工程と、
を有する、微細突起具の検査方法を提供するものである。
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射しながら、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得工程と、
第１の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得工程と、
第２の画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得工程と、
第１情報取得工程において取得した前記形状情報と、第２情報取得工程において取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、
前記情報算出工程で算出された情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定工程と、
を有する、微細突起具の検査方法を提供するものである。
【0010】
また本発明は、透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の検査装置であって、
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射する第１照明手段と、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第１撮像手段とを備える第１画像取得部と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射する第２照明手段と、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第２撮像手段とを備える第２画像取得部と、
第１撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得部と、
第２撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得部と、
第１情報取得部が取得した前記形状情報と、第２情報取得部が取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出部と、
前記情報算出部が算出した情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定部と、
を有する、微細突起具の検査装置を提供するものである。
前記基材表面を境として前記突起部が突設された側において前記基材表面に光を前記突起部を境としてこれの一方の側から斜め方向に照射する第１照明手段と、前記微細突起具からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第１撮像手段とを備える第１画像取得部と、
前記基材表面を境として前記突起部が突設されていない側において前記基材表面とは反対側の面に光を照射する第２照明手段と、前記微細突起具を透過した透過光を前記突起部が突設された側において前記基材表面に対して斜め方向に受光することによって前記基材表面を前記突起部と共に撮像する第２撮像手段とを備える第２画像取得部と、
第１撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第１情報取得部と、
第２撮像手段が撮像した画像から、前記突起部の形状情報を取得する第２情報取得部と、
第１情報取得部が取得した前記形状情報と、第２情報取得部が取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出部と、
前記情報算出部が算出した情報に基づいて、前記微細突起具の良否を判定する良否判定部と、
を有する、微細突起具の検査装置を提供するものである。
【0011】
また本発明は、透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の製造方法であって、
上述の微細突起具の検査装置を用いる工程を有する、微細突起具の製造方法を提供するものである。
上述の微細突起具の検査装置を用いる工程を有する、微細突起具の製造方法を提供するものである。
【0012】
また本発明は、透明又は半透明な基材表面上に少なくとも１つ以上の微細な突起部が突設された微細突起具の製造装置であって、
上述の微細突起具の検査装置を有する、微細突起具の製造装置を提供するものである。
上述の微細突起具の検査装置を有する、微細突起具の製造装置を提供するものである。
【発明の効果】
【0013】
本発明の微細突起具の検査方法及び検査装置によれば、微細突起具を精度よく検査することができる。
本発明の製造方法及び製造装置によれば、高品質な微細突起具を製造することができる。
本発明の製造方法及び製造装置によれば、高品質な微細突起具を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図8】図８（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る微細突起具の検査方法の第１画像取得工程において第１照明手段から出射する光の経路を示す光線図であり、図８（ｂ）は、第１実施形態に係る第１画像取得工程において得られる第１の画像の一例を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下に本発明の第１実施形態を添付図面に基づいて説明する。
先ず、本発明の第１実施形態に係る微細突起具の検査装置の構成を図１に基づいて説明する。
図１は本発明の第１実施形態に係る微細突起具の検査装置のシステム構成図であり、図示の検査装置１は、不図示の移動手段によって搬送される複数の微細突起具２のそれぞれに対して検査を行うものであって、以下のように構成されている。なお、図１においては、説明の便宜上、微細突起具２を１つのみ図示している。
先ず、本発明の第１実施形態に係る微細突起具の検査装置の構成を図１に基づいて説明する。
図１は本発明の第１実施形態に係る微細突起具の検査装置のシステム構成図であり、図示の検査装置１は、不図示の移動手段によって搬送される複数の微細突起具２のそれぞれに対して検査を行うものであって、以下のように構成されている。なお、図１においては、説明の便宜上、微細突起具２を１つのみ図示している。
【0016】
図１に示す検査装置１は、検査対象である各微細突起具２を検査領域へ位置決めする位置決め機構３と、第１の画像を取得する第１画像取得部１０と、第２の画像を取得する第２画像取得部２０と、第１の画像及び第２の画像を画像処理する画像処理部７と、検査装置１の動作を制御するコントローラー８とを含んで構成されている。位置決め機構３としては、例えば、電動アクチュエータを用いることができる。なお、スカラロボットやベルトコンベア等の不図示の移動手段によって、検査対象である各微細突起具２を位置決め機構３へと移載してもよい。
【0017】
第１画像取得部１０は、第１照明手段４と第１撮像手段５とを含んでいる。第１照明手段４は、微細突起具２の基材表面を境として突起部２Ｂが突設された側において該基材表面に光を突起部２Ｂを境としてこれの一方の側から斜め方向に照射するようになされている。第１撮像手段５は、微細突起具２からの反射光を他方の側において斜め方向に受光することによって基材表面を突起部２Ｂと共に撮像するようになされている。
【0018】
第２画像取得部２０は、第２照明手段６と第２撮像手段５とを含んでいる。第２照明手段６は、微細突起具２の基材表面を境として突起部２Ｂが突設されていない側において該基材表面とは反対側の面に、突起部２Ｂを境としてこれの一方の側から斜め方向に光を照射するようになされている。第２撮像手段５は、微細突起具２を透過した透過光を突起部２Ｂが突設された側において基材表面に対して斜め方向に受光することによって該基材表面を突起部２Ｂと共に撮像するようになされている。本実施形態では、１つのカメラ５を、第１撮像手段及び第２撮像手段の両方として用いている。なお、第１撮像手段と第２撮像手段とは、別々のカメラであってもよい。
【0019】
画像処理部７は、第１撮像手段が撮像した画像から、微細突起具２の突起部２Ｂの形状情報を取得する第１情報取得部と、第２撮像手段が撮像した画像から、微細突起具２の突起部２Ｂの形状情報を取得する第２情報取得部と、第１情報取得部が取得した前記形状情報と、第２情報取得部が取得した前記形状情報とから、前記突起部に関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出部とを含んでいる。
画像処理部７は、画像処理によって得られた結果に基づいて微細突起具２の良否を判定する良否判定部を含んでいる。
画像処理部７は、画像処理によって得られた結果に基づいて微細突起具２の良否を判定する良否判定部を含んでいる。
【0020】
【0021】
すなわち、図２は微細突起具の斜視図、図３は図２の一部を拡大して示す斜視図、図４は図３のＡ－Ａ線断面図であり、図示の微細突起具２は、矩形シート状の基材２Ａの上面（表面）に複数（図示例では、３×３＝９個）の微細な突起部（マイクロニードル）２Ｂを規則正しく整然と突設して構成されている。なお、この微細突起具２は光を透過させる透光性の透明又は半透明の熱可塑性樹脂によって構成されており、熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリ脂肪酸エステル、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン等若しくはこれらを組み合わせたものが用いられる。微細突起具２において、基材２Ａ及び突起部２Ｂは、同一の材料によって構成されている。
【0022】
ところで、微細突起具２の各突起部２Ｂは、図３及び図４に詳細に示すように、先端（上端）が針状に尖った中空円錐状を成しており、基材２Ａの表面から垂直かつ一体に立設されている。そして、この突起部２Ｂの側面の上部１箇所には、円孔状の開孔部２ａが斜めに穿設されている。この開孔部２ａは、薬剤等を吐出するためのものであって、図４に示すように、斜め外側方に向かって拡径するテーパ孔として形成されている。薬剤には、肌の状態を改善し得る美容成分を含む美容液等も含まれる。美容成分としては、例えばコラーゲンや各種のビタミン、プラセンタ等が挙げられる。
【0023】
以上のように構成された微細突起具２は、後述のように画像処理によって検査されるが、この検査においては、各突起部２Ｂの形状・寸法、折れなどの欠損、異物の付着や開孔部２ａにおけるバリの有無等が検査される。なお、各突起部２Ｂの形状・寸法の検査においては、各突起部２Ｂの高さＨ、先端部の先端径Ｌ、開孔部２ａの開孔径（直径）ｄと開孔位置ｈ（図４参照）、肉厚Ｔ等が検査される。
【0024】
先端径Ｌは、任意の方法に算出することができる。先端径Ｌは、例えば、以下のように求めることができる。まず、突起部２Ｂの先端部を、図４に示すように拡大観察する。次に、両側辺１ａ，１ｂの内の一側辺１ａにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬａを想定し、他側辺１ｂにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｂを想定する。そして、先端側にて、一側辺１ａが仮想直線ＩＬａから離れる箇所を第１先端点１ａ１として求め、他側辺１ｂが仮想直線ＩＬｂから離れる箇所を第２先端点１ｂ１として求める。このようにして求めた第１先端点１ａ１と第２先端点１ｂ１とを結ぶ直線の長さＬを、突起部２Ｂの先端径とすることができる。
【0025】
【0026】
図５は第１照明手段４と第１撮像手段５との位置関係を示す図であり、同図に示すように、第１照明手段４及び第１撮像手段５は、微細突起具２の基材２Ａの平面を境としてこれの上側（微細突起具２の突起部２Ｂが突設された側）に相対向して斜めに設置されている。具体的には、第１照明手段４は、その光が微細突起具２の突起部２Ｂに向かって斜めに照射されるように斜めに傾けて設置されている。このときの光の微細突起具２（基材２Ａの上面）への入射角度（水平面からの角度）を図示のようにθＬ１とすると、この入射角度θＬ１は、微細突起具２に光を照射したときに、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態を作り出し、後述のように第１撮像手段５によって撮像される微細突起具２の画像において、基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）が最大となる角度に設定されている。
【0027】
ところで、第１照明手段４と微細突起具２との距離Ｌ１は、光の強度が確保できる限り、大きいほど、すなわち、微細突起具２に対してより遠くから光を照射することが好ましい。つまり、微細突起具２に遠くから光を当てた方が光が平行になるため、第１撮像手段５によって撮像される微細突起具２の輪郭（エッジ）が明確になる。本実施形態では、第１照明手段４と微細突起具２との距離Ｌ１を１００～１５０ｍｍに設定した。また、第１実施形態では、第１照明手段４の光源として、短波長の青色光を出射する青色ＬＥＤ（青色発光ダイオード）と拡散板とによって構成されるＬＥＤフラット照明（拡散光タイプ）を用いた。ここで、光源としては、青色ＬＥＤに限定されることはなく、赤色ＬＥＤ、白色ＬＥＤなどを用いることもできる。また白熱灯、蛍光灯、ナトリウム灯などを用いることもできる。本実施形態では、第１照明手段４は、拡散光を出射する構成としているが、平行光を出射する構成としても良い。平行光を出射する構成として、スポット照明と集光レンズを組み合わせた構成や同軸照明を使用することが好ましい。スポット照明や同軸照明を使用することで、微細突起具２に対して近くから光を照射した場合においても、微細突起具２の輪郭（エッジ）が明確になるため、第１照明手段４と微細突起具２との距離Ｌ１を短くすることができ、省スペース化が可能である。さらに、微細突起具２に対して近くから光を照射できるため、第１撮像手段５に入射する光の量を多くすることができる。第１撮像手段５に入射する光の量を多くすることにより、第１撮像手段５の絞り値を大きくすることができるため、第１撮像手段５の被写界深度を一層深くすることができる。第１撮像手段５の被写界深度を一層深くすることにより、微細突起具２の形状や輪郭が一層明確な第１の画像を容易に取得することができるようになる。
【0028】
他方、第１撮像手段５は、検査対象である微細突起具２を挟んで第１照明手段４とは反対側に対向して斜めに設置されている。すなわち、第１撮像手段５は、第１照明手段４から出射して微細突起具２で反射した光を受光することができるよう斜めに傾けて設置されている。このときの第１撮像手段５による撮像角度（水平面からの角度）を図示のようにθＣ１とした場合、この撮像角度θＣ１は、小さい方がピントが合い易いために５０°以下に設定することが好ましく、４５°以下に設定することがより好ましい。撮像角度θＣが５０°を超えると、微細突起具２の突起部２Ｂの先端と根元部とにピントが同時に合い難くなる。
【0029】
また、撮像角度θＣ１と光の入射角度θＬ１との差｜θＣ１－θＬ１｜は、１０°以下、好ましくは５°以下、より好ましくは３°以下、更に好ましくは１°以下に設定される。これにより、基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）を大きくすることができる。第１実施形態では、θＣ１＝θＬ１＝４５°に設定した。なお、第１撮像手段５と微細突起具２との距離Ｌ２は、検査カメラ５のレンズの焦点距離や必要な視野によって設定されるが、第１実施形態では、Ｌ２＝８０ｍｍに設定した。
【0030】
【0031】
図６は第２照明手段６と第２撮像手段５との位置関係を示す図であり、同図に示すように、第２照明手段６及び第２撮像手段５は、微細突起具２の基材２Ａの平面を境としてこれの下側（微細突起具２の突起部２Ｂが突設されていない側）及び上側（微細突起具２の突起部２Ｂが突設された側）にそれぞれ設置されている。具体的には、第２照明手段６は、微細突起具２の基材２Ａの平面を境としてこれの下側に配されており、微細突起具２の基材表面とは反対側の面に光を照射するようになされている。また第２照明手段６は、微細突起具２の突起部２Ｂを境としてこれの一方の側に配されている。また第２照明手段６は、照明の発光面６ａを微細突起具２の基材表面に対して斜めに配している。このときの光の微細突起具２（基材２Ａの下面）への入射角度（水平面からの角度）を図示のようにθＬ２とすると、この入射角度θＬ２は、微細突起具２に光を照射したときに、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態を作り出し、後述のように第２撮像手段５によって撮像される微細突起具２の画像において、基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）が最大となる角度に設定されている。この入射角度θＬ２は、第２の画像において、突起部２Ｂの輪郭が強調されるようにする観点から、好ましくは６０°以下、より好ましくは５０°以下、更に好ましくは４５°以下である。
【0032】
ところで、第２照明手段６と微細突起具２との距離Ｌ３は、光の強度が確保できる限り、大きいほど、すなわち、微細突起具２に対してより遠くから光を照射することが好ましい。つまり、微細突起具２に遠くから光を当てた方が光が平行になるため、第２撮像手段５によって撮像される微細突起具２の輪郭（エッジ）が明確になる。本実施形態では、第２照明手段６と微細突起具２との距離Ｌ３を１００～１５０ｍｍに設定した。また、第１実施形態では、第２照明手段６の光源として、短波長の青色光を出射する青色ＬＥＤ（青色発光ダイオード）と拡散板とによって構成されるＬＥＤフラット照明（拡散光タイプ）を用いた。ここで、光源としては、青色ＬＥＤに限定されることはなく、赤色ＬＥＤ、白色ＬＥＤなどを用いることもできる。また白熱灯、蛍光灯、ナトリウム灯などを用いることもできる。本実施形態では、第２照明手段６は、拡散光を出射する構成としているが、平行光を出射する構成としても良い。平行光を出射する構成として、スポット照明と集光レンズを組み合わせた構成や同軸照明を使用することが好ましい。第２照明手段６において、行光を出射する構成としてスポット照明や同軸照明を使用することの利点は、第１照明手段６において、平行光を出射する構成としてスポット照明や同軸照明を使用することの利点と同様である。具体的には、第２照明手段６と微細突起具２との距離Ｌ３を短くすることができるので、省スペース化が可能であり、また、第２撮像手段５に入射する光の量を多くすることができる。第２撮像手段５に入射する光の量を多くすることにより、第２撮像手段５の絞り値を大きくすることができるため、第２撮像手段５の被写界深度を一層深くすることができる。第２撮像手段５の被写界深度を一層深くすることにより、微細突起具２の形状や輪郭が一層明確な第２の画像を容易に取得することができるようになる。
【0033】
他方、第２撮像手段５は、微細突起具２の基材２Ａの平面を境としてこれの上側に配されている。また第２撮像手段５は、検査対象である微細突起具２を挟んで第２照明手段６とは反対側に対向して斜めに設置されている。すなわち、第２撮像手段５は、第２照明手段６から出射して微細突起具２を透過した光を受光することができるよう斜めに傾けて設置されている。このときの第２撮像手段５による撮像角度（水平面からの角度）を図示のようにθＣ２とした場合、この撮像角度θＣ２は、小さい方がピントが合い易いために５０°以下に設定することが好ましく、４５°以下に設定することがより好ましい。撮像角度θＣ２が５０°を超えると、微細突起具２の突起部２Ｂの先端と根元部とにピントが同時に合い難くなる。
【0034】
【0035】
図７は本発明の第１実施形態に係る微細突起具の検査方法の流れを示すフローチャート、図８は同検査方法の第１画像取得工程において第１照明手段４から出射する光の経路を示す光線図である。図９は同検査方法の第２画像取得工程において第２照明手段６から出射する光の経路を示す光線図である。
【0036】
本実施形態に係る検査方法は、
ａ）第１照明手段４が照射する光の入射角度θＬ１と、第２照明手段６が照射する光の入射角度θＬ２とを調整する照明角度調整工程と、
ｂ）微細突起具２を位置決めする位置決め工程と、
ｃ）基材表面を境として突起部２Ｂが突設された側において第１照明手段４によって微細突起具２に光を斜め方向から照射しながら、該微細突起具２からの反射光を第１撮像手段５によって斜め方向から受光することによって微細突起具２を撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、
ｄ）基材表面を境として突起部２Ｂが突設されていない側において第２照明手段６によって微細突起具２に光を斜め方向から照射しながら、該微細突起具２を透過した透過光を、突起部２Ｂは突設された側において第２撮像手段５によって基材表面に対して斜め方向に受光することによって微細突起具２を撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得工程と、
ｅ）第１の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する第１情報取得工程と、
ｆ）第２の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する第２情報取得工程と、
ｇ）第１情報取得工程において取得した形状情報と、第２情報取得工程において取得した形状情報とから、突起部２Ｂに関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、
ｈ）情報算出工程で算出された情報に基づいて、微細突起具２の良否を判定する良否判定工程とを有する。
本実施形態に係る検査方法の詳細を図７に示すフローチャートに沿って以下に説明する。
ａ）第１照明手段４が照射する光の入射角度θＬ１と、第２照明手段６が照射する光の入射角度θＬ２とを調整する照明角度調整工程と、
ｂ）微細突起具２を位置決めする位置決め工程と、
ｃ）基材表面を境として突起部２Ｂが突設された側において第１照明手段４によって微細突起具２に光を斜め方向から照射しながら、該微細突起具２からの反射光を第１撮像手段５によって斜め方向から受光することによって微細突起具２を撮像し、第１の画像を取得する第１画像取得工程と、
ｄ）基材表面を境として突起部２Ｂが突設されていない側において第２照明手段６によって微細突起具２に光を斜め方向から照射しながら、該微細突起具２を透過した透過光を、突起部２Ｂは突設された側において第２撮像手段５によって基材表面に対して斜め方向に受光することによって微細突起具２を撮像し、第２の画像を取得する第２画像取得工程と、
ｅ）第１の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する第１情報取得工程と、
ｆ）第２の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する第２情報取得工程と、
ｇ）第１情報取得工程において取得した形状情報と、第２情報取得工程において取得した形状情報とから、突起部２Ｂに関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する情報算出工程と、
ｈ）情報算出工程で算出された情報に基づいて、微細突起具２の良否を判定する良否判定工程とを有する。
本実施形態に係る検査方法の詳細を図７に示すフローチャートに沿って以下に説明する。
【0037】
不図示の移動手段によって微細突起具２が所定の検査領域に移動すると、検査が開始される（ステップＳ１）。
検査が開始された後、第１照明手段４及び第２照明手段６が照射する光の入射角度θＬ１，θＬ２が検知される（ステップＳ２）。入射角度θＬ１，θＬ２を検知した結果、いずれかが適切でない場合（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、適切な角度となるように入射角度θＬ１，θＬ２が調整される（照明角度調整工程：ステップＳ３）。入射角度θＬ１が適切であるとは、第１照明手段４により微細突起具２に光を照射したときに、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態が作り出され、第１画像取得工程において撮像される第１の画像において基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）が最大となるように、第１照明手段４の入射角度θＬ１が設定されていることを意味する。入射角度θＬ２が適切であるとは、第２照明手段６により微細突起具２に光を照射したときに、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態が作り出され、第２画像取得工程において撮像される第２の画像において基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）が最大となるように、第２照明手段６の入射角度θＬ２が設定されていることを意味する。
照明角度調整工程では、不図示の照明角度調整機構により、第１照明手段４及び第２照明手段６の角度を調整することによって、入射角度θＬ１，θＬ２を調整することができる。照明角度調整機構としては、例えば、回転機構を有するロータリーアクチュエータ等が挙げられる。
検査が開始された後、第１照明手段４及び第２照明手段６が照射する光の入射角度θＬ１，θＬ２が検知される（ステップＳ２）。入射角度θＬ１，θＬ２を検知した結果、いずれかが適切でない場合（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、適切な角度となるように入射角度θＬ１，θＬ２が調整される（照明角度調整工程：ステップＳ３）。入射角度θＬ１が適切であるとは、第１照明手段４により微細突起具２に光を照射したときに、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態が作り出され、第１画像取得工程において撮像される第１の画像において基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）が最大となるように、第１照明手段４の入射角度θＬ１が設定されていることを意味する。入射角度θＬ２が適切であるとは、第２照明手段６により微細突起具２に光を照射したときに、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態が作り出され、第２画像取得工程において撮像される第２の画像において基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）が最大となるように、第２照明手段６の入射角度θＬ２が設定されていることを意味する。
照明角度調整工程では、不図示の照明角度調整機構により、第１照明手段４及び第２照明手段６の角度を調整することによって、入射角度θＬ１，θＬ２を調整することができる。照明角度調整機構としては、例えば、回転機構を有するロータリーアクチュエータ等が挙げられる。
【0038】
その後、コントローラー８からの制御信号によって図１に示すように位置決め機構３が駆動され、この位置決め機構３によって微細突起具２が検査領域の所定位置に正確に位置決めされる（位置決め工程：ステップＳ４）。このように微細突起具２が所定の検査位置に正確に位置決めされると、コントローラー８は、画像処理部７を介して、第１画像取得部の第１照明手段４及び第１撮像手段５に対してトリガ信号（撮像要求信号）を発信する（ステップＳ５）。
【0039】
上述のようにコントローラー８から第１照明手段４及び第１撮像手段５に対してトリガ信号（以下、「第１トリガ信号」ともいう。）が発信されると、第１トリガ信号を受信した第１照明手段４の光源が起動されて発光するとともに、第１撮像手段５も起動されて微細突起具２が第１撮像手段５によって撮像され、第１の画像が取得される（第１画像取得工程：ステップＳ６）。具体的には、第１照明手段４の光源が発光すると、この光源から出射する光は、微細突起具２に対して入射角度θＬ１で斜めに照射されて該微細突起具２を照明する。この場合、第１照明手段４から出射する光の一部は、図８（ａ）にＲ１にて示すように、微細突起具２の基材２Ａの表面で反射し、正反射光Ｒ１として第１撮像手段５に向かい、該第１撮像手段５によって受光される。また、他の光は、図８（ａ）にＲ１’にて示すように、微細突起具２の突起部２Ｂで反射して拡散光Ｒ１’として第１撮像手段５に向うことなく拡散する。
したがって、第１撮像手段５によって撮像された微細突起具２の第１の画像（図８（ｂ）参照）においては、正反射光Ｒ１と拡散光Ｒ１’とのコントラスト差（濃淡差）によって、突起部２Ｂが暗く、他の部分が明るくなるため、突起部２Ｂが明瞭に観察される。第１の画像においては、特に、突起部２Ｂの輪郭や開孔部２ａが明瞭に観察される。第１の画像においては、突起部２Ｂ全体が暗く、突起部不存在部が明るい状態となっている。
したがって、第１撮像手段５によって撮像された微細突起具２の第１の画像（図８（ｂ）参照）においては、正反射光Ｒ１と拡散光Ｒ１’とのコントラスト差（濃淡差）によって、突起部２Ｂが暗く、他の部分が明るくなるため、突起部２Ｂが明瞭に観察される。第１の画像においては、特に、突起部２Ｂの輪郭や開孔部２ａが明瞭に観察される。第１の画像においては、突起部２Ｂ全体が暗く、突起部不存在部が明るい状態となっている。
【0040】
またコントローラー８は、画像処理部７を介して、第１トリガ信号とは異なるタイミングで、第２画像取得部の第２照明手段６及び第２撮像手段５に対してトリガ信号（以下、「第２トリガ信号」ともいう。）を発信する（ステップＳ７）。本実施形態では、第１トリガ信号を発信し、第１の画像を撮像した後に、第２トリガ信号を発信する。
上述のようにコントローラー８から第２トリガ信号が発信されると、第２トリガ信号を受信した第２照明手段６の光源が起動されて発光するとともに、第２撮像手段５も起動されて微細突起具２が第２撮像手段５によって撮像され、第２の画像が取得される（第２画像取得工程：ステップＳ８）。具体的には、第２照明手段６の光源が発光すると、この光源から出射する光は、突起部２Ｂが突設された側とは反対側から微細突起具２を照明する。この場合、第２照明手段６から出射する光の一部は、図９（ａ）にＲ２にて示すように、微細突起具２の基材２Ａを透過して第２撮像手段５に向かって進み、第２撮像手段５によって受光される。また、他の光は、図９（ａ）にＲ２’にて示すように、微細突起具２の突起部２Ｂで反射して第２撮像手段５に向かうことなく拡散する。
したがって、第２撮像手段５によって撮像された微細突起具２の第２の画像（図９（ｂ）参照）においては、微細突起具２、特に突起部２Ｂの影が生じにくい。第２の画像においては、特に、微細突起具２の基材２Ａの表面又は裏面に付着した異物や突起部２Ｂの先端の形状が明確に観察される。第２の画像においては、突起部２Ｂ全体が暗く、突起部不存在部が明るい状態となっている。
上述のようにコントローラー８から第２トリガ信号が発信されると、第２トリガ信号を受信した第２照明手段６の光源が起動されて発光するとともに、第２撮像手段５も起動されて微細突起具２が第２撮像手段５によって撮像され、第２の画像が取得される（第２画像取得工程：ステップＳ８）。具体的には、第２照明手段６の光源が発光すると、この光源から出射する光は、突起部２Ｂが突設された側とは反対側から微細突起具２を照明する。この場合、第２照明手段６から出射する光の一部は、図９（ａ）にＲ２にて示すように、微細突起具２の基材２Ａを透過して第２撮像手段５に向かって進み、第２撮像手段５によって受光される。また、他の光は、図９（ａ）にＲ２’にて示すように、微細突起具２の突起部２Ｂで反射して第２撮像手段５に向かうことなく拡散する。
したがって、第２撮像手段５によって撮像された微細突起具２の第２の画像（図９（ｂ）参照）においては、微細突起具２、特に突起部２Ｂの影が生じにくい。第２の画像においては、特に、微細突起具２の基材２Ａの表面又は裏面に付着した異物や突起部２Ｂの先端の形状が明確に観察される。第２の画像においては、突起部２Ｂ全体が暗く、突起部不存在部が明るい状態となっている。
【0041】
次に、画像処理部７が有する第１情報取得部が、第１の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する（第１情報取得工程：ステップＳ９）。第１情報取得工程で取得する形状情報としては、突起部２Ｂ自体、又は例えば開孔部２ａ等の突起部２Ｂの特定部位の形状の情報、位置の情報等が挙げられる。具体的には、突起部２Ｂのベース部の形状や位置、開孔部２ａの形状や位置、突起部２Ｂの輪郭形状、等が挙げられる。ここで、突起部２Ｂのベース部とは、突起の根本部分を意味する。
【0042】
次に、画像処理部７が有する第２情報取得部が、第２の画像から、突起部２Ｂの形状情報を取得する（第２情報取得工程：ステップＳ１０）。第２情報取得工程で取得する形状情報としては、突起部２Ｂ自体又は突起部２Ｂの特定部位、例えば先端部の形状の情報、位置の情報等が挙げられる。具体的には、突起部２Ｂの先端の形状や位置、突起部２Ｂの輪郭形状、等が挙げられる。また、第２情報取得工程では、第１情報取得工程において突起部２Ｂの影に隠れる領域の情報も取得することができ、該情報に基づいて、後述の情報算出工程において、該領域に異物が存在するか否かを算出することもできる。異物が存在するか否かを算出するためには、第２の画像は、突起部２Ｂに加えて、突起部２Ｂ以外の部分における基材表面も含まれるように撮像する必要がある。
【0043】
なお、第１情報取得工程で取得する形状情報と、第２情報取得工程で取得する形状情報とは逆であってもよい。具体的には、第１情報取得工程で取得する形状情報は、突起部２Ｂ自体又は突起部２Ｂの特定部位、例えば先端部の形状の情報、位置の情報等であってもよい。また第２情報取得工程で取得する形状情報は、突起部２Ｂ自体、又は例えば開孔部２ａ等の突起部２Ｂの特定部位の形状の情報、位置の情報等であってもよい。
【0044】
そして、第１情報取得工程及び第２情報工程それぞれで取得した形状情報に基づいて、突起部２Ｂに関する寸法情報又は突起部不存在部に関する情報を算出する（情報算出工程：ステップＳ１１）。ここで、突起部２Ｂに関する寸法情報には、突起部２Ｂの高さＨ、先端径Ｌ、開孔部２ａの開孔径ｄ、開孔位置ｈ等の各種寸法のみならず、突起部２Ｂの折れの有無、突起部２Ｂに付着した異物の有無、開孔部２ａの周縁におけるバリの発生の有無、突起部２Ｂの肉厚Ｔ等が含まれる。突起部不存在部は、微細突起具２における、突起部２Ｂ以外の部分の基材表面である。突起部不存在部は、第１の画像では基材表面において突起部２Ｂの影になってしまう領域、又は突起部２Ｂと突起部２Ｂとの間に位置する領域を含むことが好ましい。突起部不存在部に関する情報には、微細突起具２の基材２Ａの表面又は裏面に付着した異物の有無等が含まれる。
【0045】
第１情報取得工程で取得した形状情報からは、例えば、開孔径ｄ、開孔位置ｈ、開孔部２ａの周縁におけるバリの発生の有無、突起部２Ｂの肉厚Ｔ等を算出する。
第２情報取得工程で取得した形状情報からは、例えば、突起部２Ｂの先端径Ｌ、突起部２Ｂの折れの有無等を算出する。
また、第１情報取得工程で取得した形状情報及び第２情報取得工程で取得した形状情報の両方から、突起部２Ｂの高さＨ、突起部２Ｂに付着した異物の有無、微細突起具２の基材２Ａの表面又は裏面に付着した異物の有無等を算出する。例えば、突起部２Ｂの高さＨは、高さ方向の画素数が１８０ｐｉｘｅｌ、画素分解能が３．８μｍ／ｐｉｘｅｌ、カメラ５の撮像角度θｃが４５°である場合、次式によって求めることができる。
Ｈ＝１８０ｐｉｘｅｌ×３．８μｍ／ｐｉｘｅｌ×１／ｃｏｓ４５°＝９６７μｍ
高さ方向の画素数は、例えば、第１の画像から取得した突起部２Ｂのベース部の中心位置の座標と、第２の画像から取得した突起部２Ｂの先端位置の座標とから算出することができる。
第２情報取得工程で取得した形状情報からは、例えば、突起部２Ｂの先端径Ｌ、突起部２Ｂの折れの有無等を算出する。
また、第１情報取得工程で取得した形状情報及び第２情報取得工程で取得した形状情報の両方から、突起部２Ｂの高さＨ、突起部２Ｂに付着した異物の有無、微細突起具２の基材２Ａの表面又は裏面に付着した異物の有無等を算出する。例えば、突起部２Ｂの高さＨは、高さ方向の画素数が１８０ｐｉｘｅｌ、画素分解能が３．８μｍ／ｐｉｘｅｌ、カメラ５の撮像角度θｃが４５°である場合、次式によって求めることができる。
Ｈ＝１８０ｐｉｘｅｌ×３．８μｍ／ｐｉｘｅｌ×１／ｃｏｓ４５°＝９６７μｍ
高さ方向の画素数は、例えば、第１の画像から取得した突起部２Ｂのベース部の中心位置の座標と、第２の画像から取得した突起部２Ｂの先端位置の座標とから算出することができる。
【0046】
そして、微細突起具２が有する全ての突起部２Ｂについて、情報算出工程が行われたか否かを判定する（ステップＳ１２）。情報算出工程が行われていない突起部２Ｂが存在する場合（ステップＳ１２：Ｎо）、再度、位置決め工程を行い、情報算出工程が行われていない突起部２Ｂが明瞭に観察される第１の画像又は第２の画像を取得できる位置に、微細突起具２を位置決めする。その後、ステップＳ５からステップＳ１１までを上述した方法と同様に行う。
【0047】
微細突起具２が有する全ての突起部２Ｂについて、情報算出工程が行われている場合（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）、画像処理部７が有する良否判定部が、情報算出工程で算出された情報に基づいて、微細突起具２の良否を判定する（良否判定工程：ステップＳ１３）。具体的には、突起部２Ｂの外観の良否、突起部２Ｂの各種寸法の良否、突起部不存在部の外観の良否が判定される。全ての判定結果が良好（ＯＫ）である場合（ステップＳ１３：ＯＫ）、画像処理部７から「ＯＫ信号」が出力され（ステップＳ１４）、コントローラー８によって、その結果が出力される（ステップＳ１６）。他方、いずれかの判定結果が不良（ＮＧ）である場合（ステップＳ１３：ＮＧ）、画像処理部７から「ＮＧ信号」が出力され（ステップＳ１５）、コントローラー８によって、その結果が出力される（ステップＳ１６）。結果の出力は、例えば、モニター、ディスプレイ等の表示部９に、判定結果を表示させることにより行うことができる。
【0048】
以上の一連の作業によって１つの微細突起具２に対する検査が終了する（ステップＳ１７）。別の微細突起具２の検査を行う場合、コントローラー８は、不図示の移動手段を起動し、検査済みの微細突起具２を検査領域から取り除くとともに、該別の微細突起具２を検査領域へ搬送し、該微細突起具２に対する検査を、以上と同様の手順によって実施する。
【0049】
以上のように、図１に示す検査装置１を用いて実施される微細突起具２の検査方法においては、反射光を受光することによって撮像された第１の画像と、透過光を受光することによって撮像された第２の画像とから取得された情報に基づいて微細突起具２の良否を判定している。そのため、各画像から、取得しやすい情報を選択して取得することや、各画像から取得した情報を組み合わせた情報を算出することができるので、検査結果の精度や安定性を向上させることができる。
また、透過光を受光することによって撮像された第２の画像においては、突起部２Ｂの影が生じない。したがって、反射光を受光することによって撮像した場合に突起部２Ｂの影が生じてしまうような突起部２Ｂの配置パターンであっても、各突起部２Ｂ又は突起部不存在部を精度よく検査することができる。突起部不存在部の検査として、突起部不存在部に異物が存在するか否かを検査するためには、第２画像取得工程では、第２の画像として、第１の画像では基材表面において突起部２Ｂの影になってしまう領域（以下「影領域」ともいう。）を含む画像を取得し、情報算出工程では、第２の画像から、影領域の情報を算出し、良否判定工程では、影領域に異物があるか等の影領域の良否を判定することが好ましい。
このように、本実施形態の検査装置及び検査方法によれば、微細突起具２を精度よく検査することができる。
また、透過光を受光することによって撮像された第２の画像においては、突起部２Ｂの影が生じない。したがって、反射光を受光することによって撮像した場合に突起部２Ｂの影が生じてしまうような突起部２Ｂの配置パターンであっても、各突起部２Ｂ又は突起部不存在部を精度よく検査することができる。突起部不存在部の検査として、突起部不存在部に異物が存在するか否かを検査するためには、第２画像取得工程では、第２の画像として、第１の画像では基材表面において突起部２Ｂの影になってしまう領域（以下「影領域」ともいう。）を含む画像を取得し、情報算出工程では、第２の画像から、影領域の情報を算出し、良否判定工程では、影領域に異物があるか等の影領域の良否を判定することが好ましい。
このように、本実施形態の検査装置及び検査方法によれば、微細突起具２を精度よく検査することができる。
【0050】
本実施形態においては、図６に示すように、第２照明手段６は、照明の発光面６ａを微細突起具２の基材表面に対して斜めに配されているところ、第２照明手段６は、図１０（ａ）に示すように、照明の発光面６ａを、微細突起具２の基材表面と垂直にした状態で光を照射するように配されていてもよい。第２照明手段６の照明の発光面６ａを、微細突起具２の基材表面と垂直にした状態で光を照射するように配した場合でも、第２画像取得工程において、基材表面とは反対側の面に、突起部２Ｂを境としてこれの一方の側から斜め方向に光を照射し、微細突起具２を透過した透過光は、突起部２Ｂを境としてこれの他方から斜め方向に受光することになるので、突起部２Ｂ全体が暗く、該突起部２Ｂ以外の基材表面が明るい第２の画像を取得することができる。
【0051】
第１実施形態では、位置決め機構３を間欠的に駆動させて微細突起具２の撮像を行っているが、位置決め機構３を停止させずに連続的に駆動させて微細突起具２の撮像を行ってもよい。
【0052】
第１実施形態では、上述のように、第１画像取得工程における入射角度θＬ１を調整することにより、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態となっている第１の画像を取得している。ここで、第１の画像が「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であるか否かは、例えば、以下の方法により判断することができる。
＜判断方法＞
まず、第１撮像工程において撮像された第１の画像において、濃淡値を計測する計測領域を設定する（図１５（ａ）参照）。計測領域は、突起部２Ｂ及び突起部不存在部のそれぞれに設定する。突起部２Ｂの計測領域は、突起部２Ｂの先端を含む領域及び突起部２Ｂの根本を含む領域の２つの領域を含むように設定する。図１５（ａ）に示す例では、突起部２Ｂの計測領域として、先端部Ａ１、中間部Ａ２及び根本部Ａ３を設定している。突起部２Ｂの計測領域は、４つ以上に区分してもよい。
突起不在部の計測領域は、基材２Ａの表面であれば、任意の箇所を計測領域としてもよい。突起部不存在部の計測領域の大きさは、基材２Ａ表面の濃淡平均値が表現できる大きさであれば、任意に設定することができる。ただし、第１の画像では影が発生するため、突起部不存在部の計測領域は、該影は含まないように設定することが好ましい。図１５（ａ）に示す例では、突起部２Ｂの周囲のコの字型の領域を、突起部不存在部の計測領域Ａ４とした。
次に、計測領域Ａ１～Ａ４の濃淡値を測定する。濃淡値は、第１の画像をグレースケール化したときの２５６階調で表される値である。そして、各計測領域Ａ１～Ａ４内の濃淡値の平均値を算出する。以下、算出された濃淡値の平均値を、平均濃淡値という。
そして、突起部不存在部の計測領域の平均濃淡値から、突起部２Ｂの計測領域の平均濃淡値を引いて、差を算出する。突起部２Ｂの計測領域を複数設定している場合、各計測領域の濃淡値それぞれについて、前記差を算出する。
前記差が、好ましくは１００以上、より好ましくは１５０以上、更に好ましくは２００以上である場合、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。突起部２Ｂの計測領域を複数設定している場合、各計測領域の濃淡値それぞれについて算出した前記差の全てが、上述する範囲内であるときに、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。
＜判断方法＞
まず、第１撮像工程において撮像された第１の画像において、濃淡値を計測する計測領域を設定する（図１５（ａ）参照）。計測領域は、突起部２Ｂ及び突起部不存在部のそれぞれに設定する。突起部２Ｂの計測領域は、突起部２Ｂの先端を含む領域及び突起部２Ｂの根本を含む領域の２つの領域を含むように設定する。図１５（ａ）に示す例では、突起部２Ｂの計測領域として、先端部Ａ１、中間部Ａ２及び根本部Ａ３を設定している。突起部２Ｂの計測領域は、４つ以上に区分してもよい。
突起不在部の計測領域は、基材２Ａの表面であれば、任意の箇所を計測領域としてもよい。突起部不存在部の計測領域の大きさは、基材２Ａ表面の濃淡平均値が表現できる大きさであれば、任意に設定することができる。ただし、第１の画像では影が発生するため、突起部不存在部の計測領域は、該影は含まないように設定することが好ましい。図１５（ａ）に示す例では、突起部２Ｂの周囲のコの字型の領域を、突起部不存在部の計測領域Ａ４とした。
次に、計測領域Ａ１～Ａ４の濃淡値を測定する。濃淡値は、第１の画像をグレースケール化したときの２５６階調で表される値である。そして、各計測領域Ａ１～Ａ４内の濃淡値の平均値を算出する。以下、算出された濃淡値の平均値を、平均濃淡値という。
そして、突起部不存在部の計測領域の平均濃淡値から、突起部２Ｂの計測領域の平均濃淡値を引いて、差を算出する。突起部２Ｂの計測領域を複数設定している場合、各計測領域の濃淡値それぞれについて、前記差を算出する。
前記差が、好ましくは１００以上、より好ましくは１５０以上、更に好ましくは２００以上である場合、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。突起部２Ｂの計測領域を複数設定している場合、各計測領域の濃淡値それぞれについて算出した前記差の全てが、上述する範囲内であるときに、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。
【0053】
第１画像取得工程において、撮像角度θＣ１を４５°とし、入射角度θＬ１を変化させて取得した第１の画像について、上述の＜判断方法＞により「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であるか否か判断した結果を表１に示す。
【0054】
【表1】
【0055】
第１の画像における突起部不在部Ａ４の平均濃淡値は、２００以上が好ましく、２３０以上がより好ましく、２５０以上がさらに好ましい。
撮像角度θＣ１が４５°である場合、入射角度θＬ１は、３５°以上５０°以下が好ましく、４０°以上４５°以下がより好ましい。
撮像角度θＣ１が４５°である場合、入射角度θＬ１は、３５°以上５０°以下が好ましく、４０°以上４５°以下がより好ましい。
【0056】
また第１実施形態では、上述のように、第２画像取得工程における入射角度θＬ２を調整することにより、基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態となっている第２の画像を取得している。ここで、第２の画像が「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であるか否かは、以下の点以外は上述の＜判断方法＞と同様の方法により判断することができる。
前記差が、好ましくは８０以上、より好ましくは１００以上、更に好ましくは１５０以上である場合、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。
前記差が、好ましくは８０以上、より好ましくは１００以上、更に好ましくは１５０以上である場合、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。
【0057】
第２画像取得工程において、撮像角度θＣ２を４５°とし、入射角度θＬ２を変化させて取得した第２の画像について、以下の点を変更した以外は上述の＜判断方法＞と同様にして、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であるか否か判断した結果を表２に示す。
突起部不存在部の計測領域Ａ４は、突起部２Ｂを囲むように設定した（図１５（ｂ）参照）。
突起部不存在部の計測領域Ａ４は、突起部２Ｂを囲むように設定した（図１５（ｂ）参照）。
【0058】
【表2】
【0059】
第２の画像における突起部不在部Ａ４の平均濃淡値は、２００以上が好ましく、２３０以上がより好ましく、２５０以上がさらに好ましい。
撮像角度θＣ２が４５°である場合、入射角度θＬ２は、６０°以下が好ましく、５０°以下がより好ましく、４５°以下が更に好ましい。
撮像角度θＣ２が４５°である場合、入射角度θＬ２は、６０°以下が好ましく、５０°以下がより好ましく、４５°以下が更に好ましい。
【0060】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図１１は本発明の第２実施形態に係る微細突起具の検査装置のシステム構成図であり、本図においては、図１に示したものと同一要素には同一符号を付しており、以下、それらについての再度の説明は省略する。
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図１１は本発明の第２実施形態に係る微細突起具の検査装置のシステム構成図であり、本図においては、図１に示したものと同一要素には同一符号を付しており、以下、それらについての再度の説明は省略する。
【0061】
第２実施形態に係る検査装置１Ｂは、第２画像取得部における第２照明手段６と第２撮像手段５との位置関係が第１実施形態に係る検査装置１とは異なっている。第２実施形態に係る第２照明手段６は、微細突起具２の基材表面を境として突起部２Ｂが突設されていない側において基材表面とは反対側の面に、光を突起部２Ｂを境としてこれの一方の側から斜め方向に照射するように配されている。
第２実施形態に係る第２撮像手段５は、微細突起具２を透過した透過光を前記突起部が突設された側における、前記一方の側と同じ側において斜め方向に受光することによって第２の画像を取得するように配されている。
第２実施形態に係る第２撮像手段５は、微細突起具２を透過した透過光を前記突起部が突設された側における、前記一方の側と同じ側において斜め方向に受光することによって第２の画像を取得するように配されている。
【0062】
図１１に示す第２実施形態に係る検査装置１Ｂの他の構成は、第１実施形態に係る検査装置１（図１参照）の構成と同じであり、この検査装置１Ｂを用いて実施される微細突起具２に対する検査方法も第１実施形態に係る検査方法と基本的に同じである。
【0063】
但し、第２実施形態では、第２画像取得工程が第１実施形態の検査方法と異なっている。第２実施形態に係る第２画像取得工程においては、微細突起具２の基材表面を境として突起部２Ｂが突設されていない側において基材表面とは反対側の面に、光を突起部２Ｂを境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、微細突起具２を透過した透過光を突起部２Ｂが突設された側における、前記一方の側と同じ側において斜め方向に受光することによって第２の画像を取得する。具体的には、第２照明手段６の光源が発光すると、この光源から出射する光は、突起部２Ｂが突設された側とは反対側から微細突起具２を照明する。第２照明手段６と第２撮像手段５とは、突起部２Ｂを境として同じ側に配されているので、第２撮像手段５は、第２照明手段６から出射し、突起部２Ｂを透過するとともに該突起部２Ｂにより反射した光Ｒ３（図１２参照）を受光する。
【0064】
第２実施形態においては、第２照明手段６は、図１２に示すように、微細突起具２の基材表面に対して斜めに配されている。第２照明手段６が照射する光の微細突起具２（基材２Ａの下面）への入射角度（水平面からの角度）を図示のようにθＬ３とすると、この入射角度θＬ３は、微細突起具２に光を照射したときに、基材２Ａの表面が暗く、突起部２Ｂの全体の輪郭が明るい状態を作り出し、後述のように第２撮像手段５によって撮像される微細突起具２の画像において、基材２Ａの表面と突起部２Ｂとのコントラスト差（濃淡差）が最大となる角度に設定されている。この入射角度θＬ３は、第２の画像において、突起部２Ｂの輪郭が強調されるようにする観点から、４５°以上８０°以下が好ましく、４５°以上６０°以下がより好ましく、４５°以上５０°以下が更に好ましい。
【0065】
第２実施形態では、第２画像取得工程において、微細突起具２の基材表面を境として突起部２Ｂが突設されていない側において基材表面とは反対側の面に、光を突起部２Ｂを境としてこれの一方の側から斜め方向に照射しながら、微細突起具２を透過した透過光を突起部２Ｂが突設された側における、前記一方の側と同じ側において斜め方向に受光することによって第２の画像を取得しているので、第２の画像は、突起部２Ｂ全体が明るく、該突起部２Ｂ以外の基材表面が暗い状態となる。その他、第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【0066】
第２実施形態では、上述のように、第２画像取得工程における入射角度θＬ３を調整することにより、基材２Ａの表面が暗く、突起部２Ｂの全体の輪郭が明るい状態となっている第２の画像を取得している。ここで、第２実施形態において、第２の画像が「基材２Ａの表面が暗く、突起部２Ｂの全体の輪郭が明るい状態」であるか否かは、以下の点以外は上述の＜判断方法＞と同様の方法により判断することができる。
前記差が、好ましくは－８０以上、より好ましくは－１００以上、更に好ましくは－１２０以上である場合、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。
前記差が、好ましくは－８０以上、より好ましくは－１００以上、更に好ましくは－１２０以上である場合、「基材２Ａの表面が明るく、突起部２Ｂの全体の輪郭が暗い状態」であると判定する。
【0067】
第２実施形態に係る第２画像取得工程において、撮像角度θＣ３を４５°とし、入射角度θＬ３を変化させて取得した第２の画像について、以下の点を変更した以外は上述の＜判断方法＞と同様にして、「基材２Ａの表面が暗く、突起部２Ｂの全体の輪郭が明るい状態」であるか否か判断した結果を表３に示す。
突起部不存在部の計測領域Ａ４は、突起部２Ｂを囲むように設定した（図１５（ｃ）参照）。
突起部不存在部の計測領域Ａ４は、突起部２Ｂを囲むように設定した（図１５（ｃ）参照）。
【0068】
【表3】
【0069】
第２実施形態では、第２の画像における突起部不在部Ａ４の平均濃淡値は、６０以下が好ましく、５０以下がより好ましく、４０以下がさらに好ましい。
撮像角度θＣ３が４５°である場合、入射角度θＬ３は、４５°以上８０°以下が好ましく、４５°以上６０°以下がより好ましく、４５°以上５０°以下が更に好ましい。
撮像角度θＣ３が４５°である場合、入射角度θＬ３は、４５°以上８０°以下が好ましく、４５°以上６０°以下がより好ましく、４５°以上５０°以下が更に好ましい。
【0070】
次に、本発明の微細突起具の製造方法及び製造装置について説明する。
図１３は、本発明の微細突起具の製造装置の好ましい一実施形態に係る製造装置のシステム構成を示す図である。図１３に示す製造装置８０を用いて、微細突起具２を製造する方法について、図１３及び図１４（ａ）～（ｅ）を参照しながら説明する。なお、図１４（ａ）～（ｅ）は微細突起具の製造方法をその工程順に示す断面図である。本実施形態の製造方法は、本発明の検査装置、好ましくは第１実施形態又は第２実施形態の検査装置１を微細突起具２の製造ラインに設けられた検査領域に設置し、微細突起具２の製造工程中に該微細突起具２の検査を並行して行うことを特徴としている。
図１３は、本発明の微細突起具の製造装置の好ましい一実施形態に係る製造装置のシステム構成を示す図である。図１３に示す製造装置８０を用いて、微細突起具２を製造する方法について、図１３及び図１４（ａ）～（ｅ）を参照しながら説明する。なお、図１４（ａ）～（ｅ）は微細突起具の製造方法をその工程順に示す断面図である。本実施形態の製造方法は、本発明の検査装置、好ましくは第１実施形態又は第２実施形態の検査装置１を微細突起具２の製造ラインに設けられた検査領域に設置し、微細突起具２の製造工程中に該微細突起具２の検査を並行して行うことを特徴としている。
【0071】
図１３に示す微細突起具２の製造ラインにおいては、原材料である熱可塑性樹脂から成るシート状の基材２Ａが巻装されたロール４０から基材２Ａが上下一対のローラ４１，４２の図示矢印方向の回転によって送り出され、この基材２Ａは、水平状態を維持して図示矢印方向に間欠的に送り出される。
【0072】
検査領域（成形領域に同じ）においては、停止した基材２Ａの上下面が矩形枠状の押え部材４３によって挟持され、該基材２Ａの撓み変形が防がれる。また、この検査領域（成形領域）には、基材２Ａの下方に成形装置５０が配設されており、この成形装置５０の水平なステージ５１上には、成形されるべき微細突起具２の突起部２Ｂの外形形状と同じ形状（円錐形状）である針状の複数（図示例では、３×３＝９個）の金型５２（図１４（ａ）～（ｄ）参照）が整然と立設されている。
【0073】
そして、微細突起具２の製造に際しては、図１４（ａ）に示すように、不図示の超音波装置によって金型５２を超音波振動させる。すると、金型５２が超音波振動によって発熱する。次に、図１２に示す成形装置５０に設けられたアクチュエータ５３を駆動してステージ５１を上方へと移動させ、図１４（ｂ）に示すように、加熱された金型５２を基材２Ａに下面側から刺入する。この結果、基材２Ａには、その上面に複数（図１４には１つのみ図示）の中空円錐状の突起部２Ｂが立設される。
【0074】
上述のように基材２Ａの上面に複数（９個）の突起部２Ｂが立設されると、図１４（ｃ）に示すように、超音波装置による金型５２の超音波振動が停止され、図１３に示すブロワ等の冷却装置６０から突起部２Ｂに冷風が吹き付けられる。すると、加熱状態にある金型５２と突起部２Ｂが冷風によって冷却され、加熱によって軟化状態にあった突起部２Ｂが固化する。その後、図１３に示す成形装置５０のアクチュエータ５３を駆動してステージ５１を下降させることによって図１４（ｄ）に示すように金型５２を引き抜けば、基材２Ａ上に複数（９個）の突起部２Ｂが整然と配列された状態で立設される。
【0075】
そして、最後に、図１３に示すレーザー装置７０を起動し、該レーザー装置７０から出射するレーザーを各突起部２Ｂに斜めから順次照射することによって、図１４（ｅ）に示すように、各突起部２Ｂには開孔部２ａが斜めに穿設され、製品としての微細突起具２が製造される。以後、ロール４０から基材２Ａを間欠的に送り出しながら以上の作業を繰り返すことによって、製品である微細突起具２が連続して製造される。
【0076】
ところで、本実施形態においては、微細突起具２の製造ラインの検査領域（成形領域）に設置された検査装置１によって、微細突起具２に対する検査が該微細突起具２の製造工程中に並行して行われる。ここで、検査装置１による微細突起具２の検査は第１実施形態と同じ方法によってなされるが、第３実施形態では、レーザー装置７０による穿孔作業の前に検査が行われ、この検査によって算出された微細突起具２の各突起部２Ｂの開孔部２ａの位置（穿孔されるべき開孔部２ａの位置）がコントローラー８に送信される。
【0077】
すると、コントローラー８は、レーザー装置７０によるレーザーの照射位置を高精度に制御する。このため、微細突起具２の各突起部２Ｂには、レーザー装置７０から出射されるレーザーによって開孔部２ａが正確に穿設され、当該微細突起具２に高い品質が確保される。
【0078】
以上のように、本実施形態の製造装置及び製造方法では、微細突起具２に対する検査を該微細突起具２の製造工程中に並行して行うようにしたため、微細突起具２の製造と検査を短時間で効率良く行うことができる。また、微細突起具２に対する検査結果をコントローラー８にフィードバックし、その結果に基づいてコントローラー８がレーザーの照射位置を制御して微細突起具２の各突起部２Ｂに開孔部２ａを高精度に穿孔するようにしたため、製品である微細突起具２の品質が高められるという効果が得られる。
このように、本実施形態の製造装置及び製造方法によれば、高品質な微細突起具２を製造することができる。その他、第３実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られることは勿論である。
このように、本実施形態の製造装置及び製造方法によれば、高品質な微細突起具２を製造することができる。その他、第３実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られることは勿論である。
【0079】
また、本発明は、医療分野や美容分野以外に用いられる微細突起具に対しても同様に適用可能である。
【0080】
その他、本発明は、以上説明した実施の形態に適用が限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。
【0081】
第１及び２実施形態の検査方法においては、第１画像取得工程、第２画像取得工程、第１情報取得工程、第２情報取得工程、情報算出工程及び良否判定工程をこの順で行っていたが、各工程を行う順番は、この順に限られない。例えば、第２画像取得工程を第１画像取得工程よりも先に行ってもよい。また、第２情報取得工程を第１情報取得工程よりも先に行ってもよい。また、第１画像取得工程、第１情報取得工程、第２画像取得工程、第２情報取得工程、情報算出工程及び良否判定工程の順に行ってもよいし、第２画像取得工程、第２情報取得工程、第１画像取得工程、第１情報取得工程、情報算出工程及び良否判定工程の順に行ってもよい。
【符号の説明】
【0082】
１，１Ｂ 検査装置
２ 微細突起具
２Ａ 微細突起具の基材
２Ｂ 微細突起部の突起部
２ａ 微細突起具の開孔部
３ 移動手段
４ 第１照明手段
５ カメラ（第１撮像手段、第２撮像手段）
６ 第２照明手段
７ 画像処理部
８ コントローラー
２ 微細突起具
２Ａ 微細突起具の基材
２Ｂ 微細突起部の突起部
２ａ 微細突起具の開孔部
３ 移動手段
４ 第１照明手段
５ カメラ（第１撮像手段、第２撮像手段）
６ 第２照明手段
７ 画像処理部
８ コントローラー
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
