特開 2024-110666 ロードポート装置、ロードポート装置の予兆管理システム、ロードポート装置の制御装置およびロードポート装置の予兆管理プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024110666

(43)【公開日】2024-08-16

(54)【発明の名称】ロードポート装置、ロードポート装置の予兆管理システム、ロードポート装置の制御装置およびロードポート装置の予兆管理プログラム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240808BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】17

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023015378

(22)【出願日】2023-02-03

(71)【出願人】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001494

【氏名又は名称】前田・鈴木国際特許弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】藤田 元春

(72)【発明者】

【氏名】三輪 初音

(72)【発明者】

【氏名】加藤 望

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA00

5F131CA32

5F131CA45

5F131DA22

5F131DA32

5F131HA29

(57)【要約】

【課題】メンテナンスを容易に行うことが可能なロードポート装置を提供すること。
【解決手段】ロードポート装置１０は、構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して構成部品の状態を判断する判断手段７１を持つ制御装置７０を有する。
【選択図】図１２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して前記構成部品の状態を判断する判断手段を持つ制御装置を有するロードポート装置。

【請求項2】

前記制御装置は、前記判断手段での判断結果に応じて、外部と通信可能な通信手段を制御する通信制御手段を有する請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項3】

前記通信制御手段は、前記判断手段での判断結果に応じて、前記構成部品の交換部品を発注するかを問い合わせる信号を生成する信号生成手段を有する請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項4】

前記通信制御手段は、前記判断手段での判断結果に基づき、携帯型情報処理端末に送信するように前記通信手段を制御する請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項5】

前記通信制御手段は、前記判断手段での判断結果に基づき、携帯型情報処理端末に、前記携帯型情報処理端末の位置情報に応じて送信するように前記通信手段を制御する請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項6】

前記通信制御手段は、前記構成部品の動作回数を前記検知データとして前記判断手段で判断した判断結果と、前記構成部品のタクトタイムを前記検知データとして前記判断手段で判断した判断結果と、を組み合わせて、前記構成部品以外の構成部品に異常がないかの原因調査を問い合わせる信号を生成する他原因調査信号生成手段を有する請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項7】

前記判断手段は、前記構成部品の動作回数を前記検知データとして、前記構成部品の状態を判断する請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項8】

前記判断手段は、前記構成部品のタクトタイムを前記検知データとして、前記構成部品の状態を判断する請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項9】

前記制御装置は、前記判断手段での判断結果を表示する表示部を制御する表示制御手段を有する請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項10】

前記表示制御手段は、前記判断手段での判断結果を複数の段階に分けて前記表示部に表示する請求項９に記載のロードポート装置。

【請求項11】

ウエハの収容状態を検出するウエハマッピングユニットと、前記ウエハマッピングユニットの振動量を検出する振動センサと、をさらに有する請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項12】

前記ウエハマッピングユニットは、光学センサユニットと、前記光学センサユニットが配置されるフレーム部と、を有し、前記振動センサは、前記フレーム部に配置されている請求項１１に記載のロードポート装置。

【請求項13】

前記判断手段は、前記振動センサが検知する振動量を前記検知データとして、前記ウエハマッピングユニットを駆動する駆動機構の状態を判断する請求項１１に記載のロードポート装置。

【請求項14】

前記ロードポート装置は、発光部および前記発光部から発せられた光を受光する受光部を有するセンサ装置をさらに有し、
前記制御装置は、前記判断手段での判断結果に応じて前記発光部の出力を調節する発光出力制御手段を有し、
前記判断手段は、前記発光部の出力を前記検知データとして前記発光部の状態を判断する請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項15】

請求項１～１４のいずれかに記載のロードポート装置を複数で有し、
複数の前記ロードポート装置は、管理側制御装置と通信可能であり、
前記管理側制御装置は、それぞれの前記ロードポート装置から前記判断手段での判断結果に関する信号を受信し、いずれの前記ロードポート装置の前記判断手段での判断結果に関する信号かを区別する区別手段を有するロードポート装置の予兆管理システム。

【請求項16】

構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して前記構成部品の状態を判断する判断手段を持つロードポート装置の制御装置。

【請求項17】

前記ロードポート装置の構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して前記構成部品の状態を判断するステップを、コンピュータに実行させるためのロードポート装置の予兆管理プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ロードポート装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体などの製造において、半導体などの搬送対象物を密閉された搬送容器内に保管しながら搬送するロードポート装置が使用されている（特許文献１）。このようなロードポート装置を用いた半導体製造システムでは、必要最小限の範囲内でクリーン度を保ちながら自動で半導体の搬送および処理を行えるようになっている。

【0003】

ロードポート装置は、多様かつ多数の構成部品を有している。これらの構成部品は耐用期間が異なるため、構成部品ごとに耐用期間を管理する必要がある。このよう背景から、ロードポート装置のメンテナンスをより簡易的かつ容易に行うことができる機能が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－６２１０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、上記の実情を鑑みてなされ、その目的は、メンテナンスを簡易的かつ容易に行うことが可能なロードポート装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して前記構成部品の状態を判断する判断手段を持つ制御装置を有する。

【0007】

このように構成することで、たとえば故障前に構成部品の状態の予兆を検知することができる。このようなロードポート装置では、事前に、部品の点検、交換部品の発注、部品の交換時期等の計画を立てることで、容易にメンテナンスを行うことができる。また、適切なタイミングで構成部品の交換などを行うことができるので、ロードポート装置の故障などのトラブルを未然に防止することが容易である。

【0008】

前記制御装置は、前記判断手段での判断結果に応じて、外部と通信可能な通信手段を制御する通信制御手段を有してもよい。

【0009】

前記通信制御手段は、前記判断手段での判断結果に応じて、前記構成部品の交換部品を発注するかを問い合わせる信号を生成する信号生成手段を有してもよい。交換部品の発注を問い合わせることで、ロードポート装置のメンテナンスが容易になる。

【0010】

前記通信制御手段は、前記判断手段での判断結果に基づき、携帯型情報処理端末に送信するように前記通信手段を制御してもよい。ロードポート装置が携帯情報処理端末と通信することで、作業員が迅速な対応が可能になり、ロードポート装置のメンテナンスが容易になる。

【0011】

前記通信制御手段は、前記判断手段での判断結果に基づき、携帯型情報処理端末に、前記携帯型情報処理端末の位置情報に応じて送信するように前記通信手段を制御してもよい。ロードポート装置の近くに位置する携帯型情報処理端末を持つ作業員などと通信することで、より迅速な対応が可能になり、ロードポート装置のメンテナンスが容易になる。

【0012】

前記判断手段は、前記構成部品の動作回数を前記検知データとして、前記構成部品の状態を判断してもよい。また、前記判断手段は、前記構成部品のタクトタイムを前記検知データとして、前記構成部品の状態を判断してもよい。

【0013】

構成部品の動作回数やタクトタイムを指標とすることで、構成部品の劣化の予兆を検知することができる。

【0014】

前記通信制御手段は、前記構成部品の動作回数を前記検知データとして前記判断手段で判断した判断結果と、前記構成部品のタクトタイムを前記検知データとして前記判断手段で判断した判断結果と、を組み合わせて、前記構成部品以外の構成部品に異常がないかの原因調査を問い合わせる信号を生成する他原因調査信号生成手段を有していてもよい。

【0015】

構成部品の動作回数とタクトタイムの検知データを組み合わせることで、当該構成部品自体に劣化があるか、それ以外の部品に異常が生じているかを判断することが可能になる。このような判断結果をもとに対応を検討することで、装置の運用コストを低減することができる。

【0016】

前記制御装置は、前記判断手段での判断結果を表示する表示部を制御する表示制御手段を有してもよい。前記表示制御手段は、前記判断手段での判断結果を複数の段階に分けて前記表示部に表示してもよい。

【0017】

判断結果が、段階を分けて表示されることで、対応の必要性を容易に判断することができる。

【0018】

ロードポート装置は、ウエハの収容状態を検出するウエハマッピングユニットと、前記ウエハマッピングユニットの振動量を検出する振動センサと、をさらに有してもよい。また、前記ウエハマッピングユニットは、光学センサユニットと、前記光学センサユニットが配置されるフレーム部と、を有し、前記振動センサは、前記フレーム部に配置されていてもよい。さらに、前記判断手段は、前記振動センサが検知する振動量を前記検知データとして、前記ウエハマッピングユニットを駆動する駆動機構の状態を判断してもよい。

【0019】

このように配置された振動センサが検出した振動量を検知データとすることで、ウエハマッピングユニットの駆動機構の状態を良好に判断することができる。

【0020】

前記ロードポート装置は、発光部および前記発光部から発せられた光を受光する受光部を有するセンサ装置をさらに有し、前記制御装置は、前記判断手段での判断結果に応じて前記発光部の出力を調節する発光出力制御手段を有してもよい。前記判断手段は、前記発光部の出力を前記検知データとして前記発光部の状態を判断してもよい。

【0021】

センサ装置の発光部の状態を発光部の出力をもとに判断し、発光部の出力を調整することで、センサ装置の交換するメンテナンスの頻度を低減できる。

【0022】

前記センサ装置は、位置情報を検出する透過型センサであってもよい。また、センサ装置は、光学センサユニットであってもよい。

【0023】

本発明に係るロードポート装置の予兆管理システムは、
ロードポート装置を複数で有し、
複数の前記ロードポート装置は、管理側制御装置と通信可能であり、
前記管理側制御装置は、それぞれの前記ロードポート装置から前記判断手段での判断結果に関する信号を受信し、いずれの前記ロードポート装置の前記判断手段での判断結果に関する信号かを区別する区別手段を有する。

【0024】

このように構成することで、複数のロードポート装置のうち、いずれのロードポート装置の構成部品がどのような状態にあるのかを管理側制御装置で把握することができる。

【0025】

本発明に係るロードポート装置の制御装置は、
構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して前記構成部品の状態を判断する判断手段を持っている。

【0026】

本発明に係るロードポート装置の予兆管理プログラムは、
前記ロードポート装置の構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して前記構成部品の状態を判断するステップを、コンピュータに実行させる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】図１は一実施形態に係るロードポート装置の概略斜視図である。

【図2】図２は図１に示すロードポート装置の他の角度から見た概略斜視図である。

【図3】図３は図１に示すロードポート装置の設置部に搬送容器を載置した状態を示す側面図である。

【図4】図４は搬送容器内のウエハのマッピングを行う状態を示す側面図である。

【図5】図５は設置部周辺の構成を模式的に示す側面図である。

【図6】図６はウエハマッピングの動作を示す説明図である。

【図7】図７は図４に示すシリンダ周辺の構成を示す拡大図である。

【図8】図８はフロントパージの動作を示す説明図である。

【図9A】図９Ａは図１に示すロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9B】図９Ｂは図９Ａに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9C】図９Ｃは図９Ｂに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9D】図９Ｄは図９Ｃに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9E】図９Ｅは図９Ｄに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9F】図９Ｆは図９Ｅに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9G】図９Ｇは図９Ｆに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9H】図９Ｈは図９Ｇに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9I】図９Ｉは図９Ｈに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図9J】図９Ｊは図９Ｉに続くロードポート装置の動作フローの一状態を示す説明図である。

【図10】図１０は制御装置のブロック図を含むロードポート装置の全体構成図である。

【図11】図１１は図１に示すロードポート装置を用いた予兆管理システムのブロック図である。

【図12】図１２は図１に示すロードポート装置の制御装置の処理工程の一例を示すフローチャート図である。

【図13】図１３は図１に示すロードポート装置の制御装置の処理工程の他の例を示すフローチャート図である。

【図14】図１４は図１に示すロードポート装置の制御装置の処理工程の他の例を示すフローチャート図である。

【図15A】図１５Ａは図１に示すロードポート装置の制御装置の処理工程の他の例を示すフローチャート図（１／２）である。

【図15B】図１５Ｂは図１に示すロードポート装置の制御装置の処理工程の他の例を示すフローチャート図（２／２）である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明の実施形態を、図面を用いて説明する。なお、各図面では、図面を見易くして発明の理解を助けるために、各構成部品の縮尺を適宜変更している場合がある。また、以下、実施形態により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。

【0029】

第１実施形態
まず、ロードポート装置の全体構成を説明する。図１および図２は、本実施形態に係るロードポート装置１０の概略斜視図である。ロードポート装置１０は、たとえば図１０に示すように、搬送容器をロードポート装置と連結するドッキングユニット２０、搬送容器を開閉するドアユニット４０、搬送容器の内部を清浄にするパージユニット３０、半導体ウエハなどの収容状態を検出するウエハマッピングユニット５０などの各種構成部品を有し、これらの各種構成部品は、制御装置７０で制御されている。ロードポート装置１０は、たとえば半導体工場内に設置して、半導体ウエハなどを内部に収容した搬送容器を連結して用いられる。

【0030】

ロードポート装置１０は、設置部１２と、設置部１２に対して移動可能な可動テーブル１３と、半導体ウエハなどの受渡口１１ａが形成してある壁部材１１と、を有する。なお、図面において、Ｙ軸が可動テーブル１３の移動方向を示し、Ｚ軸が鉛直方向の上下方向を示し、Ｘ軸がこれらのＸ軸およびＺ軸に垂直な方向を示す。

【0031】

ロードポート装置１０は、搬送容器の内部に密封状態で収容してあるウエハを、クリーン状態を維持しながら、半導体処理装置の内部に、移し替えるためのインターフェース装置である。このロードポート装置１０は、壁部材１１の受渡口１１ａを開閉するドアユニット４０を有する。壁部材１１は、半導体処理装置の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部、または半導体処理装置とロードポート装置１０とを連結するイーフェム（ＥＦＥＭ）などの装置の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部として機能するようになっている。

【0032】

図３は、ロードポート装置１０の設置部１２に搬送容器２を載置した状態を示す側面図である。設置部１２の可動テーブル１３のＺ軸方向の上部には、搬送容器２が着脱自在に載置可能になっている。可動テーブル１３は、ドッキングシリンダ２８と繋がっており、ドッキングシリンダ２８の駆動により、設置部１２に対してＹ軸方向に移動可能になっている。

【0033】

図５は、設置部１２周辺の構成を模式的に示す側面図である。搬送容器２は、ポットやフープなどで構成してよく、複数の被処理物を密封して保管して搬送可能になっている。搬送容器２は、内部に被処理物たるウエハ１を内部に収めるための空間が形成され、Ｙ軸方向の一面に開口２ａが、蓋４で密封されている。

【0034】

設置部１２の可動テーブル１３の上面には、位置決めピン１８が埋没されている。搬送容器２が可動テーブル１３に載置されると、搬送容器２の下面に設けられた位置決め部２ｃが位置決めピン１８と嵌合して、搬送容器２と可動テーブル１３とのＸ軸－Ｙ軸位置関係が一義的に決定される。

【0035】

設置部１２には、ドッキングユニット２０が配置されている。ドッキングユニット２０は、搬送容器２を可動テーブル１３に固定するクランプ機構２１と、搬送容器２をドア４２に連結するドッキングシリンダ２８と、を有する。クランプ機構２１は、搬送容器２の下面に形成された係合溝２ｂに係合するクランプフック２２と、クランプフック２２をＺ軸方向に駆動させるクランプシリンダ２４と、クランプフック２２をＹ軸方向に駆動させるクランプシリンダ２６と、を有する。クランプシリンダ２４，２６を駆動させることで、クランプフック２２が係合溝２ｂに係合し、搬送容器２が可動テーブル１３に固定される。クランプシリンダ２４，２６の駆動に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0036】

設置部１２は、パージユニットを構成するボトムパージ部３２を有する。ボトムパージ部３２は、搬送容器２の下面に形成されたパージポート５のＺ軸方向下方に配置してある。ボトムパージ部３２は、給気用と排気用とがあるが、パージ用ガスの流れが逆になるのみであり、その構造は同じである。

【0037】

ボトムパージ部３２には、図示しないシリンダと、シリンダの内部に収容してあるピストン式のパージノズルが配置してある。ボトムパージ部３２のシリンダを駆動させることでパージノズルが飛び出しパージポート５に密着する。

【0038】

たとえば、排気用のパージノズルから搬送容器２の内部の雰囲気を排気し、給気用のパージノズルから窒素ガスやその他の不活性ガスなどの清浄化ガスを供給することで、搬送容器２の内部を所望のガスで満たすことができる。ボトムパージ部３２の駆動に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0039】

図３に示すように、ドアユニット４０は、ドア４２と、搬送容器２の蓋４に吸着する吸着パッド４３と、蓋４を開くためのラッチキー４４とを有する。搬送容器２を載置した可動テーブル１３をドッキングシリンダ２８によってドア４２の方向に移動させることで蓋４がドア４２に接触する。

【0040】

ドッキングシリンダ２８の駆動に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。吸着パッド４３を駆動させることで、搬送容器２の蓋４とドア４２が接続する。ラッチリンダ４５を駆動させることで、ラッチキー４４を動作させ、蓋４を搬送容器２から外すことができる。吸着パッド４３およびラッチシリンダ４５の駆動に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0041】

図４に示すように、ドアユニット４０は、ドア開閉シリンダ４６とＬ字クランプ４９で壁部材１１に固定されたドア上下シリンダ４７とを有する。ドア開閉シリンダ４６は、ドア上下シリンダ４７に固定されている。ドア開閉シリンダ４６は、ドア４２をＹ軸方向に平行移動させ、あるいは回動移動させてドア４２を開閉することができる。ドア上下シリンダ４７を動作させて、ドア４２をＺ軸下方に移動させれば、搬送容器２が完全に開き、壁部材１１をＹ軸方向に挟んで搬送容器２とは反対側に配置された装置のロボットハンドなどにより、ウエハ１の受け渡しを行うことができる。吸着パッド４３およびドア上下シリンダ４７の駆動に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0042】

図２に示すように、壁部材１１には、パージユニットを構成するフロントパージ部３４が配置されている。図８に示すように、フロントパージ部３４は、ボトムパージに用いるガスと同様のパージ用ガスが噴射することができるように構成してある。パージ用ガスを搬送容器２の開口２ａに向けて噴射することで、ウエハ１などが清浄な状態に保たれる。フロントパージ部３４の駆動に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0043】

図２に示すように、ウエハマッピングユニット５０は、センサ装置として、発光部５５ａと受光部５５ｂとからなる光学センサユニット５５と、光学センサユニット５５が配置されるフレーム部５２と、を有する。図３および図４に示すように、フレーム部５２は、ドア上下シリンダ４７およびマッピングアーム前進／後退シリンダ５３に繋がっている。フレーム部５２は、ドア上下シリンダ４７の可動体４８の動作に従い、ドア４２と共に、Ｚ軸方向に沿って移動し、マッピングアーム前進／後退シリンダ５３の動作に従い、Ｙ軸方向に沿って移動する。

【0044】

図４に示すように、ドア上下シリンダ４７およびマッピングアーム前進／後退シリンダ５３を動作させて、光学センサユニット５５を搬送容器２の開口２ａに挿入することができる。マッピングアーム前進／後退シリンダ５３の駆動に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0045】

フレーム部５２には、ウエハマッピングユニット５０の振動量を検出する振動センサ６４が配置されている。振動センサ６４が検出した振動量に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。振動センサ６４は、加速度や速度、変位などの物理量を計測するセンサであってもよい。

【0046】

図１０に示すように、光学センサユニット５５は、発光部５５ａと受光部５５ｂを有する。光学センサユニット５５は、発光部５５ａと受光部５５ｂとを結ぶ検出軸５６を有する。光学センサユニット５５は、検出軸５６がウエハ１と交差することにより受光部５５ｂが受ける発光部５５ａの光量が変化する。受光部５５ｂによる受光結果に対応した収容状態信号が図１０に示す制御装置７０に出力されことで、ウエハ１の収容状態を検出する。図４に示す状態では、図１０に示すように、光学センサユニット５５は、Ｚ軸方向から見て検出軸５６がウエハ１に重なる位置まで、搬送容器内に挿入されている。

【0047】

発光部５５ａは、たとえば可視光ＬＥＤ、赤外線ＬＥＤ、紫外線ＬＥＤなどがあげられるが、ＬＤ（レーザーダイオード）などのＬＥＤ以外の発光部を用いてもよく、特に限定されない。また、受光部５５ｂは、たとえばフォトトランジスタ、フォトダイオード、赤外線検出素子などがあげられるが、特に限定されない。光学センサユニット５５の光量に関する信号は、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0048】

ドア上下シリンダ４７の可動体４８には、センサ装置として、図７に示す位置検知センサ６１が取り付けられている。位置検知センサ６１は、たとえばセンサドグ６２を挟んで左右方向に対向するように配置された、図示しない光照射部及び受光部を有する位置情報を検出する透過型光センサとされている。位置検知センサ６１は、受光部が光照射部からの検出光を受光しながらセンサドグ６２に沿って昇降移動すると共に、受光部による受光結果に対応した位置検出信号を図１０に示す制御装置７０に出力している。

【0049】

位置検知センサ６１は、ドア上下シリンダ４７の可動体４８の昇降移動に伴ってセンサドグ６２に沿って昇降移動可能とされている。センサドグ６２と位置検知センサ６１とが対応付けられているので、位置検出信号に基づいて、ウエハ１に対する光学センサユニット５５の相対位置を検出することが可能とされている。位置検知センサ６１の光量に関する信号も、図１０に示す制御装置７０に出力される。

【0050】

次に、ロードポート装置１０の動作フローについて説明する。図９Ａ～図９Ｊは、ロードポート装置１０の稼働状態を示している。

【0051】

図９Ａに示すように、まず、ウエハが収容された搬送容器２が設置部１２の可動テーブル１３に載置する。次に、図９Ｂに示すように、クランプ機構２１のクランプシリンダを制御して、搬送容器２を可動テーブル１３に固定する。搬送容器２が可動テーブル１３に固定されたら、ボトムパージ部から清浄化ガスを搬送容器２に導入して搬送容器２内のウエハを清浄に保つ。

【0052】

次に、図９Ｃに示すように、ドッキングシリンダ２８を制御して、搬送容器２の蓋４をドア４２に接触させる。図９Ｄに示すように、ドア４２に備えられている吸着パッド４３とラッチキー４４を制御して蓋４とドア４２を接続する。

【0053】

次に図９Ｅに示すように、ドアユニットのドア開閉シリンダを制御して、蓋４を搬送容器２から取り外す。蓋４を搬送容器２から取り外す際に、フロントパージ部から清浄ガスを噴射して搬送容器２内のウエハを清浄に保つ。

【0054】

次に、図９Ｆに示すように、ドア上下シリンダ４７を制御して、光学センサユニット５５をウエハマッピングの開始位置の高さに移動させる。次に、図９Ｇに示すように、マッピングアーム前進／後退シリンダを制御して、光学センサユニット５５を搬送容器２の開口２ａに挿入して、ウエハマッピングを開始する位置に移動させる。

【0055】

次に、図９Ｈに示すように、ドア上下シリンダを制御して、光学センサユニット５５の高さを変えながらウエハマッピングを行う。図９Ｉに示すように、ウエハマッピングが終了したら、マッピングアーム前進／後退シリンダを制御して光学センサユニット５５を搬送容器２の開口２ａから引き抜く。

【0056】

次に、図９Ｊに示すように、ドア上下シリンダを制御して、搬送容器２の開口２ａを完全に開く。このようにすることで、ロードポート装置１０では、搬送容器２の内部に収容したウエハを清浄な状態に保ちながら、ＥＦＥＭなどの装置に搬送することができる。

【0057】

次に、ロードポート装置の制御装置について詳細に説明する。図１０に示すように、ロードポート装置の制御装置７０は、ドッキングユニット２０、ドアユニット４０、パージユニット３０、ウエハマッピングユニット５０などの各種構成部品と直接または通信可能に接続されている。制御装置７０は、判断手段７１と、表示制御手段７２と、通信制御手段７３と、発光出力制御手段７４と、を有する。

【0058】

なお、制御装置７０は、図示しない一般的な制御手段を含んでもよく、その制御手段により、各種構成部品を制御してもよい。各種手段は、これらの機能を実現するためのプログラムが記憶してある記憶手段と、その記憶手段に記憶してあるプログラムを中央情報処理装置（ＣＰＵ）で実行することで実現してもよいが、専用回路で構成してもよい。

【0059】

本実施形態では、制御装置７０は、構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して構成部品の状態を判断する判断手段７１を持っている。この判断手段７１は、ロードポート装置の構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して構成部品の状態を判断する。

【0060】

制御装置７０は、たとえば、構成部品としてドアユニット４０のドア上下シリンダ４７に関して、駆動回数を検知データとして、検知データと予め設定した基準値とを対比してドア上下シリンダ４７の状態を判断することができる。以下では、ドア上下シリンダ４７の状態を判断する工程を例に図１２に基づいて説明する。

【0061】

図１２に示すように、制御装置７０が処理を開始すると、まず、ドア上下シリンダ４７の駆動がセンサにより検出され、カウント手段（図示省略／以下同様）が、記録手段（図示省略／以下同様）に記録してあるドア上下シリンダ４７の駆動回数Ｎを１つ追加する信号を判断手段７１に入力する（ステップＳ１）。次に、判断手段７１が、この駆動回数の検知データＮが予め設定した第１の基準値ＮＴ１を超えたかどうか判断する（ステップＳ２）。

【0062】

ステップＳ２において、検知データＮが第１の基準値ＮＴ１を超えていないと判断した場合には、制御フローはステップＳ１に戻る。ステップＳ２において、検知データＮが第１の基準値ＮＴ１を超えていると判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０のカバー部１４に配置してある表示部１５のライトを点灯させるなどの方法で第１警告を表示させる（ステップＳ３）。

【0063】

また、判断手段７１は、通信制御手段７３の信号生成手段に制御信号を送信し第１警告に対応する第１信号を生成させ、さらにロードポート装置１０の通信手段８０を制御し、図１１に示す管理側制御装置１０１に第１信号を送信する（ステップＳ３）。第１信号は、たとえば交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。

【0064】

図１２に示すステップＳ４において、図１０に示すドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を判断手段７１が図１１に示す管理側制御装置１０１から受信した場合には、判断手段７１が、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたかを判断する（ステップＳ５）。ステップＳ５において、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力された場合には、判断手段７１が、表示制御手段７２に制御信号を送信し、表示部１５に表示した第１警告を消す。また、カウント手段が、記録手段に記録してある駆動回数の検知データＮを０に戻し、制御フローはステップＳ１に戻る（ステップＳ１１）。なお、本実施形態において、交換部品の発注信号は、外部から判断手段７１に送信されてもよいが、制御装置７０が自ら生成して判断手段に送信してもよい。

【0065】

ステップＳ４においてドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を判断手段７１が受信していなかった場合、または、ステップＳ５においてドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力されていない場合には、判断手段７１は、検知データＮが第２の基準値ＮＴ２を超えたかどうか判断する（ステップＳ６）。第２の基準値ＮＴ２は第１の基準値ＮＴ１よりも大きな値に設定されており、たとえば、ＮＴ２はＮＴ１の（１．０５）倍～（３）倍など、対象となる構成部品に応じて決定してよい。

【0066】

ステップＳ６において、検知データＮが第２の基準値ＮＴ２を超えていないと判断した場合には、制御フローはステップＳ１に戻る。ステップＳ６において、検知データＮが第２の基準値ＮＴ２を超えていると判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０の表示部１５に点灯したライトを点滅させるなど第１警告とは異なる方法で第２警告を表示させる（ステップＳ７）。

【0067】

また、判断手段７１は、通信制御手段７３の信号生成手段を制御して第２警告に対応する第２信号を生成させ、さらにロードポート装置１０の通信手段８０を制御させ、図１１に示す管理側制御装置１０１に第２信号を送信する（ステップＳ７）。第２信号は、たとえば交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。

【0068】

ステップＳ８においてドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を受信した場合には、判断手段７１が、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたかを判断する（ステップＳ９）。ステップＳ９において、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力された場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、表示部１５に表示した第２警告を消す。また、カウント手段が、記録手段に記録してある駆動回数の検知データＮを０に戻し、制御フローはステップＳ１に戻る（ステップＳ１２）。

【0069】

ステップＳ８においてドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を判断手段７１が受信していなかった場合、または、ステップＳ５においてドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力されていない場合には、ロードポート装置１０を停止するかを判断する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０において、判断手段７１が停止信号を受信した場合にはロードポート装置１０を停止させて処理を終了する。ステップＳ１０において、判断手段７１が停止信号を受信していない場合には制御フローはステップＳ１に戻る。

【0070】

図１０に示すように、本実施形態のロードポート装置では、制御装置７０の判断手段７１は、各種構成部品の状態に関して検出される検知データと、予め設定した基準値と、を対比して構成部品の状態を判断する。

【0071】

そのため、たとえば故障前に構成部品の状態の予兆を検知することができる。このようなロードポート装置１０では、事前に、部品の点検、交換部品の発注、部品の交換時期等の計画を立てることで、容易にメンテナンスを行うことができる。また、適切なタイミングで構成部品の交換などを行うことができるので、ロードポート装置１０の故障などのトラブルを未然に防止することが容易である。

【0072】

ロードポート装置１０は、判断手段７１での判断結果に応じて、外部と通信可能な通信手段８０を有する。制御装置７０は、通信手段８０を制御する通信制御手段７３を有する。通信制御手段７３は、判断手段７１での判断結果に応じて、構成部品の交換部品を発注するかを問い合わせる信号を生成する信号生成手段を有する。このように、交換部品の発注を問い合わせることで、ロードポート装置１０では、自動でメンテナンスに要する通信を行うことができるため、メンテナンスが容易になる。

【0073】

本実施形態では、判断手段７１は、構成部品の動作回数を検知データとして、構成部品の状態を判断している。このように、構成部品の動作回数を指標とし、部品ごとに定められた耐用回数に応じて基準値を設定することで、構成部品の劣化を事前に判断することができ、メンテナンスを効率的に行うことができる。

【0074】

図１０に示すように、ロードポート装置１０は、判断手段７１での判断結果を表示する表示部１５を有する。制御装置７０は、表示部１５を制御する表示制御手段を有しており、判断手段７１での判断結果を複数の段階に分けて表示部１５に表示できる。判断結果が、段階を分けて表示されることで、対応の必要性を外部から容易に判断することができる。

【0075】

図１０に示すように、本実施形態のロードポート装置は、外部装置と通信可能な通信手段を有する。図１１に示すように、ロードポート装置の制御装置７０は、構成部品の状態に関する判断結果を、通信制御手段７３が制御する通信手段を介して管理制御装置１０１に送信することができる。なお、管理側制御装置１０１と制御装置７０との通信方法は、特に限定されず、有線であっても無線であってもよい。

【0076】

そのため、予兆管理システム１００では、ロードポート装置１０から管理側制御装置１０１に送信された信号に基づいて、外部からメンテナンスの要否などの計画を策定することが可能である。

【0077】

第２実施形態
本実施形態は、図１０に示す制御装置７０の処理工程が第１実施形態と異なるのみであり、共通する部分の説明は省略し、以下、異なる部分について主として詳細に説明する。以下において説明しない部分は、第１実施形態の説明と同様である。

【0078】

図１３に示すように、本実施形態の制御装置の処理工程では、判断手段は、タクトタイムの検知データとして構成部品の状態を判断している。以下では、ドア上下シリンダ４７の状態を判断する工程を例に図１３に基づいて説明する。

【0079】

判断手段７１は、たとえば、構成部品としてドア上下シリンダ４７に関して、タクトタイムを検知データとして、検知データと予め設定した基準値とを対比してドア上下シリンダ４７の状態を判断する。以下では、ドア上下シリンダ４７の状態を判断する工程を例に図１３に基づいて説明する。なお、本実施形態の処理工程は、第１実施形態の制御装置での処理工程と組み合わせて実行されてもよい。

【0080】

図１３に示すように、判断手段７１が処理を開始すると、まず、ドア上下シリンダ４７のタクトタイムがセンサにより検出され、タクトタイム入力手段が、タクトタイムに関する信号を判断手段７１に入力する（ステップＳ２１）。次に、判断手段７１が、このタクトタイムの検知データｔが第３の基準値ｔ０±Δｔ１の範囲内に納まっているかどうかを判断する（ステップＳ２２）。

【0081】

ステップＳ２２において、検知データｔが第３の基準値ｔ０±Δｔ１の範囲内に納まっていると判断した場合には、制御フローはステップＳ２１に戻る。ステップＳ２２において、検知データｔが第３の基準値ｔ０±Δｔ１の範囲内に納まっていないと判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０の表示部１５のライトを点灯させるなどの方法で第３警告を表示させる（ステップＳ２３）。

【0082】

また、判断手段７１は、通信制御手段７３の信号生成手段を制御して第３警告に対応する第３信号を生成させ、さらにロードポート装置１０の通信手段８０を制御させ、図１１に示す管理側制御装置１０１に第３信号を送信する（ステップＳ２３）。第３信号は、たとえば交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。

【0083】

ステップＳ２４においてドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を受信した場合には、判断手段７１が、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたかを判断する（ステップＳ２５）。ステップＳ５において、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力された場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、表示部１５に表示した第３警告を消し、制御フローはステップＳ２１に戻る（ステップＳ３１）。

【0084】

ステップＳ２４においてドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を判断手段７１が受信していなかった場合、または、ステップＳ２５においてドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力されていない場合には、判断手段７１は、検知データｔが第４の基準値ｔ０±Δｔ２の範囲内に納まっているかどうか判断する（ステップＳ２６）。

【0085】

ステップＳ２６において、検知データｔが第４の基準値ｔ０±Δｔ２の範囲内に納まっていると判断した場合には、制御フローはステップＳ２１に戻る。ステップＳ２６において、検知データｔが第４の基準値ｔ０±Δｔ２の範囲内に納まっていないと判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０の表示部１５に点灯したライトを点滅させるなど第３警告とは異なる方法で第４警告を表示させる（ステップＳ２７）。

【0086】

また、判断手段７１は、通信制御手段７３の信号生成手段を制御して第４警告に対応する第４信号を生成させ、さらにロードポート装置１０の通信手段８０を制御させ、図１１に示す管理側制御装置１０１に第４信号を送信する（ステップＳ２７）。第４信号は、たとえば交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。第４の基準値ｔ０±Δｔ２の範囲は第３の基準値ｔ０±Δｔ１の範囲よりも広い範囲に設定されており、たとえば、Δｔ２はΔｔ１の（１．０５）倍～（３）倍など、対象となる構成部品に応じて決定してよい。

【0087】

ステップＳ２８においてドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を受信した場合には、判断手段７１が、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたかを判断する（ステップＳ２９）。ステップＳ２９において、ドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力された場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、表示部１５に表示した第３警告を消し、制御フローはステップＳ２１に戻る（ステップＳ３２）。なお、本実施形態において、交換部品の発注信号は、外部から判断手段７１に送信されてもよいが、制御装置７０が自ら生成して判断手段に送信してもよい。

【0088】

ステップＳ２８においてドア上下シリンダ４７の交換部品の発注信号を受信していなかった場合、または、ステップＳ５においてドア上下シリンダ４７が交換部品に交換されたという交換信号が入力されていない場合には、ロードポート装置１０を停止するかを判断する（ステップＳ３０）。ステップＳ３０において、判断手段７１が停止信号を受信した場合にはロードポート装置１０を停止させて処理を終了する。ステップＳ３０において、判断手段７１が停止信号を受信していない場合には制御フローはステップＳ２１に戻る。

【0089】

本実施形態では、構成部品のタクトタイムを検知データとして、構成部品の状態を判断している。このように、構成部品のタクトタイムのような構成部品の劣化に関係する指標を用いて、基準値と対比することで、構成部品の劣化の予兆を検知することができ、メンテナンスを効率的に行うことができる。

【0090】

第３実施形態
本実施形態は、図１０に示す制御装置７０の処理工程が第１実施形態または第２実施形態と異なるのみであり、共通する部分の説明は省略し、以下、異なる部分について主として詳細に説明する。以下において説明しない部分は、第１実施形態または第２実施形態の説明と同様である。

【0091】

図１４に示すように、本実施形態の制御装置の処理工程では、構成部品の状態を判断すると共に、これらの部品の出力を制御している。図１４では、判断手段７１は、たとえば、光学センサユニット５５の発光部５５ａが発する光量を検知データとして、検知データと予め設定した基準値とを対比して光学センサユニット５５の状態を判断する。以下では、光学センサユニット５５の状態を判断する工程を例に図１４に基づいて説明する。なお、本実施形態の処理工程は、第１実施形態および第２実施形態の制御装置での処理工程と組み合わせて実行されてもよい。

【0092】

図１４に示すように、判断手段７１が処理を開始すると、まず、発光部５５ａの光量がセンサにより検出され、光量入力手段が、光量に関する信号を判断手段７１に入力する（ステップＳ４１）。次に、判断手段７１が、この光量の検知データＩが第５の基準値Ｉ１を超えているかどうかを判断する（ステップＳ４２）。

【0093】

ステップＳ４２において、検知データＩが第５の基準値Ｉ１を超えていると判断した場合には、制御フローはステップＳ４１に戻る。ステップＳ４２において、検知データＩが第５の基準値Ｉ１を超えていないと判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０の表示部１５のライトを点灯させるなどの方法で第５警告を表示させる（ステップＳ４３）。また、判断手段７１は、通信制御手段７３の信号生成手段を制御して第５警告に対応する第５信号を生成させ、さらにロードポート装置１０の通信手段８０を制御させ、図１１に示す管理側制御装置１０１に第５信号を送信する（ステップＳ４３）。第５信号は、たとえば交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。

【0094】

ステップＳ４４において発光部５５ａの出力を調節する出力調節信号を受信した場合には、判断手段７１が、発光出力制御手段７４に制御信号を送信し、発光出力制御手段７４に発光部５５ａの出力を強くさせ、制御フローはステップＳ４１に戻る（ステップＳ５３）。ステップＳ４４において出力調節信号を受信していない場合には、光学センサユニット５５の交換部品の発注信号を受信したか判断する（ステップＳ４５）。

【0095】

ステップＳ４５において光学センサユニット５５の交換部品の発注信号を受信した場合には、判断手段７１が、光学センサユニット５５が交換部品に交換されたかを判断する（ステップＳ４６）。ステップＳ４６において、光学センサユニット５５が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力された場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、表示部１５に表示した第５警告を消し、制御フローはステップＳ４１に戻る（ステップＳ５４）。

【0096】

ステップＳ４５において光学センサユニット５５の交換部品の発注信号を判断手段７１が受信していなかった場合、または、ステップＳ４６において光学センサユニット５５が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力されていない場合には、判断手段７１は、検知データＩが第６の基準値Ｉ２を超えているかどうか判断する（ステップＳ４６）。第６の基準値Ｉ２は第５の基準値Ｉ６よりも低い値に設定されており、たとえば、Ｉ１はＩ２の（１．０５）倍～（３）倍など、マッピングに必要とされる光量に応じて決定してよい。

【0097】

ステップＳ４７において、検知データＩが第６の基準値Ｉ２を超えていないと判断した場合には、制御フローはステップＳ４１に戻る。ステップＳ４７において、検知データＩが第６の基準値Ｉ２を超えていると判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０の表示部１５に点灯したライトを点滅させるなど第５警告とは異なる方法で第６警告を表示させる（ステップＳ４８）。また、判断手段７１は、通信制御手段７３の信号生成手段を制御して第６警告に対応する第６信号を生成させ、さらにロードポート装置１０の通信手段８０を制御させ、図１１に示す管理側制御装置１０１に第６信号を送信する（ステップＳ４８）。第６信号は、たとえば交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。

【0098】

ステップＳ４９において発光部５５ａの出力を調節する出力調節信号を受信した場合には、判断手段７１が、発光出力制御手段７４に制御信号を送信し、発光出力制御手段７４に発光部５５ａの出力を強くさせ、制御フローはステップＳ４１に戻る（ステップＳ５５）。ステップＳ４９において出力調節信号を受信していない場合には、光学センサユニット５５の交換部品の発注信号を受信したか判断する（ステップＳ５０）。

【0099】

ステップＳ５０において光学センサユニット５５の交換部品の発注信号を受信した場合には、判断手段７１が、光学センサユニット５５が交換部品に交換されたかを判断する（ステップＳ５１）。ステップＳ５１において、光学センサユニット５５が交換部品に交換されたという交換信号が判断手段７１に入力された場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、表示部１５に表示した第６警告を消し、制御フローはステップＳ４１に戻る（ステップＳ５６）。

【0100】

ステップＳ５０において光学センサユニット５５の交換部品の発注信号を受信していなかった場合、または、ステップＳ５１において光学センサユニット５５が交換部品に交換されたという交換信号が入力されていない場合には、ロードポート装置１０を停止するかを判断する（ステップＳ５２）。ステップＳ５２において、判断手段７１が停止信号を受信した場合には、ロードポート装置１０を停止させて処理を終了する。ステップＳ５２において、判断手段７１が停止信号を受信していない場合には制御フローはステップＳ４１に戻る。

【0101】

本実施形態のロードポート装置１０では、フレーム部５２に振動センサ６４は光学センサユニット５５が配置されている。図１０に示す判断手段７１が、検知データとして、振動センサ６４が検知する振動量を基準値と対比して、ウエハマッピングユニットを駆動する駆動機構（ドア上下シリンダ４７やマッピングアーム前進／後退シリンダ）の状態を判断することも可能である。

【0102】

図３に示すように、光学センサユニット５５の近傍に配置されている。このように配置された振動センサ６４が検出した振動量を、検知データとすることで、ウエハマッピングユニット５０の駆動機構の状態を良好に判断することができる。なお、その他の構成部品のシリンダなどの駆動機構の近傍に振動センサを配置して、その振動量を検知データとして判断手段７１に入力して駆動機構の状態を判断することも可能である。

【0103】

図１４に示すように、制御装置７０は、判断手段７１での判断結果に応じて発光部５５ａの出力を調節する発光出力制御手段７４を有する。判断手段７１は、発光部５５ａの出力を検知データとして発光部の状態を判断することもできる。判断手段７１は、光学センサの発光部５５ａの状態を発光部５５ａの光量を基に判断し、発光出力制御手段７４に発光部５５ａの出力を調整させることで、光学センサの交換するメンテナンスの頻度を低減できる。

【0104】

なお、判断手段７１は、発光出力制御手段に、発光機能を有する他のセンサ装置などの部品（位置検知センサ６１など）でも同様に、出力の調整を行うことができる。

【0105】

第４実施形態
本実施形態は、図１０に示す制御装置７０の処理工程が第１実施形態～第３実施形態と異なるのみであり、共通する部分の説明は省略し、以下、異なる部分について主として詳細に説明する。以下において説明しない部分は、第１実施形態～第３実施形態の説明と同様である。

【0106】

図１５Ａおよび図１５Ｂに示すように、本実施形態の制御装置の処理工程では、判断手段７１は、構成部品の動作回数とタクトタイムの検知データを組み合わせて構成部品の状態を判断している。以下では、ドア上下シリンダ４７の状態を判断する工程を例に図１５Ａおよび図１５Ｂに基づいて説明する。

【0107】

図１５Ａおよび図１５Ｂに示すように、本実施形態では、図１２に示す制御装置の処理工程と同様のステップＳ１、Ｓ３～Ｓ５、Ｓ７～Ｓ１２を有するが、図１２に示す制御装置の処理工程のステップＳ２、Ｓ６とは異なるステップＳ２００，Ｓ６００を有する。

【0108】

図１５Ａおよび図１５Ｂに示すように、本実施形態では、第１実施形態のステップＳ２と同様に、ステップＳ２００では、ドア上下シリンダ４７の駆動回数の検知データＮが予め設定した第１の基準値ＮＴ１を超えていると判断した場合には、ステップＳ３に移行する。一方、ステップＳ１５において、駆動回数の検知データＮが予め設定した第１の基準値ＮＴ１を超えていないと判断した場合には、タクトタイムを検出するステップＳ６１に移行する。

【0109】

ステップＳ６１において、ドア上下シリンダ４７のタクトタイムが検出され、タクトタイムに関する信号が判断手段７１に入力される。次に、判断手段７１が、このタクトタイムの検知データｔが第３の基準値ｔ０±Δｔ１の範囲内に納まっているかどうかを判断する（ステップＳ６２）。

【0110】

ステップＳ６２において、検知データｔが第３の基準値ｔ０±Δｔ１の範囲内に納まっていると判断した場合には、制御フローはステップＳ１に戻る。ステップＳ６２において、検知データｔが第３の基準値ｔ０±Δｔ１の範囲内に納まっていないと判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０の表示部１５のライトを点灯させるなどの方法で第７警告を表示させる（ステップＳ６３）。

【0111】

また、判断手段７１は、構成部品以外の構成部品に異常がないかの原因調査を問い合わせる信号を生成する他原因調査信号生成手段を制御して第７警告に対応する第７信号を生成させ、通信制御手段７３にロードポート装置１０の通信手段８０を制御させ、図１１に示す管理側制御装置１０１に第７信号を送信する（ステップＳ６３）。第７信号は、構成部品以外の構成部品に異常がないかの原因調査を問い合わせる信号と共に、交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。

【0112】

次に、ステップＳ６４において、ロードポート装置１０を停止するかを判断する。ステップＳ６４において、判断手段７１が停止信号を受信した場合にはロードポート装置１０を停止させて処理を終了する。

【0113】

ステップＳ６４において、判断手段７１が停止信号を受信していなかった場合には、判断手段７１は、検知データｔが第８の基準値ｔ０±Δｔ２の範囲内に納まっているかどうか判断する（ステップＳ６５）。

【0114】

ステップＳ６５において、検知データｔが第４の基準値ｔ０±Δｔ２の範囲内に納まっていると判断した場合には、制御フローはステップＳ１に戻る。ステップＳ６４において、検知データｔが第８の基準値ｔ０±Δｔ２の範囲内に納まっていないと判断した場合には、判断手段７１は、表示制御手段７２に制御信号を送信し、ロードポート装置１０の表示部１５に点灯したライトを点滅させるなど第７警告とは異なる方法で第８警告を表示させる（ステップＳ６６）。

【0115】

また、判断手段７１は、通信制御手段７３の他原因調査信号生成手段を制御して第８警告に対応する第８信号を生成させ、通信制御手段７３にロードポート装置１０の通信手段８０を制御させ、図１１に示す管理側制御装置１０１に第８信号を送信する（ステップＳ６６）。第８信号は、構成部品以外の構成部品に異常がないかの原因調査を問い合わせる信号と共に、交換部品を発注するか問い合わせる信号であってもよい。

【0116】

次に、ステップＳ６７において、ロードポート装置１０を停止するかを判断する。ステップＳ６４において、判断手段７１が停止信号を受信した場合にはロードポート装置１０を停止させて処理を終了する。ステップＳ６４において、判断手段７１が停止信号を受信しなかった場合には、制御フローはステップＳ２１に戻る。

【0117】

本実施形態では、ドア上下シリンダ４７の駆動回数Ｎが、基準値（ＮＴ１またはＮＴ２）を超えていないにもかかわらず、タクトタイムｔが、基準値（ｔ０±Δｔ１またはｔ０±Δｔ２）の範囲外である場合を特別に警告することができる。駆動回数が基準値内であるにもかかわらずタクトタイムが基準値の範囲外になった場合は、当該構成部品以外に何らかの問題が生じている可能性が高い。

【0118】

通信制御手段７３は、構成部品の動作回数を検知データとして判断手段７１で判断した判断結果と、構成部品のタクトタイムを検知データとして判断手段７１で判断した判断結果と、を組み合わせて、構成部品以外の構成部品に異常がないかの原因調査を問い合わせることができる。したがって、本実施形態では、構成部品の動作回数とタクトタイムの検知データを組み合わせることで、当該構成部品自体に劣化があるか、それ以外の部品に異常が生じているかを判断することが可能になる。このような判断結果をもとに対応を検討することで、装置の運用コストを低減することができる。

【0119】

第５実施形態
図１１に示す本実施形態の予兆管理システム１００について説明する。図１１に示すように、本実施形態の予兆管理システム１００では、管理側制御装置１０１が、携帯型情報処理端末１１０および複数のロードポート装置１０と直接または通信可能に接続していることを除き、上述の実施形態と同様である。また、ロードポート装置は、上述の実施形態のいずれかのロードポート装置が用いられ得る。

【0120】

管理側制御装置１０１は、ロードポート装置の制御装置７０から受信した信号が、いずれのロードポート装置の制御装置７０から送信された信号かを区別する区別手段を有する。そのため、複数のロードポート装置のうち、いずれのロードポート装置の構成部品がどのような状態にあるのかを管理側制御装置１０１で把握することができる。

【0121】

予兆管理システム１００では、ロードポート装置１０の制御装置７０は、判断手段での判断結果に基づき、携帯型情報処理端末１１０の位置情報に応じて携帯型情報処理端末１１０に、判断結果を送信するように通信制御手段７３で通信手段を制御可能になっている。なお、本実施形態では、管理側制御装置１０１が、携帯型情報処理端末１１０の位置情報に応じて携帯型情報処理端末１１０に、判断結果を送信することも可能になっている。ロードポート装置１０の近くに位置する携帯型情報処理端末１１０を持つ作業員などと通信することで、より迅速な対応が可能になり、ロードポート装置１０のメンテナンスが容易になる。

【0122】

なお、上述した実施形態は、特許請求の範囲の要旨を逸脱しない範囲内での種々、設計変更した形態も技術的範囲に含むものである。

【0123】

たとえば、ロードポート装置１０が状態を判断する構成部品は、各シリンダや光学センサの以外でも、パッド、透過型センサ、モータなど、ロードポート装置に使用される公知の構成部品であってもよい。また、検知データは、駆動回数やタクトタイムや光量以外でも、加速度、速度、変位、電流値、抵抗など、適宜用いることができる。

【0124】

また、ドッキングユニット２０、ドアユニット４０、パージユニット３０、ウエハマッピングユニット５０などの各種構成部品は、それぞれの動作を記録するデータロガーなどに接続されデータログをバックアップしてあってもよい。

【0125】

また、ロードポート装置１０は、管理側制御装置１０１と通信しなくてもよい。たとえば、第１警告～第８警告は、管理側制御装置１０１に送信せずに表示部１５に表示するのみでもよい。また、第１信号～第８信号の一例として記載した交換部品を発注するか問い合わせる信号は、管理側制御装置１０１に送信せずに、直接的にインターネットなどを介して外部に送信するように構成してもよい。

【符号の説明】

【0126】

１…ウエハ
２…搬送容器
２ａ…開口
２ｂ…係合溝
２ｃ…位置決め部
４…蓋
５…パージポート
１０…ロードポート装置
１１…壁部材
１１ａ…受渡口
１２…設置部
１３…可動テーブル
１４…カバー部
１５…表示部
１８…位置決めピン
２０…ドッキングユニット
２１…クランプ機構
２２…クランプフック
２４…クランプシリンダ（Ｚ軸駆動機構）
２６…クランプシリンダ（Ｘ軸駆動機構）
２８…ドッキングシリンダ（駆動機構）
３０…パージユニット
３２…ボトムパージ部
３４…フロントパージ部
４０…ドアユニット
４２…ドア
４３…吸着パッド
４４…ラッチキー
４５…ラッチシリンダ
４６…ドア開閉シリンダ
４７…ドア上下シリンダ
４８…動体
４９…Ｌクランプ
５０…ウエハマッピングユニット
５２…フレーム部
５３…マッピングアーム前進／後退シリンダ
５５…光学センサユニット（センサ装置）
５５ａ…発光部
５５ｂ…受光部
５６…検出軸
６１…位置検知センサ（センサ装置）
６２…センサドグ
６４…振動センサ
７０…制御装置
７１…判断手段
７２…表示制御手段
７３…通信制御手段
７４…発光出力制御手段
８０…通信手段
１００…予兆管理システム
１０１…管理側制御装置
１０２…通信制御手段
１１０…携帯情報処理端末

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】

【図9C】

【図9D】

【図9E】

【図9F】

【図9G】

【図9H】

【図9I】

【図9J】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15A】

【図15B】