知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024111633
(43)【公開日】2024-08-19
(54)【発明の名称】太陽電池の検査装置
(51)【国際特許分類】
H02S 50/15 20140101AFI20240809BHJP
G01N 21/88 20060101ALI20240809BHJP
G01N 21/95 20060101ALI20240809BHJP
【ＦＩ】
H02S50/15
G01N21/88 H
G01N21/95 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023016251
(22)【出願日】2023-02-06
(71)【出願人】
【識別番号】000000941
【氏名又は名称】株式会社カネカ
(74)【代理人】
【識別番号】100100480
【弁理士】
【氏名又は名称】藤田 隆
(74)【代理人】
【識別番号】100201455
【弁理士】
【氏名又は名称】横尾 宏治
(72)【発明者】
【氏名】植木 彩水
(72)【発明者】
【氏名】高田 大智
(72)【発明者】
【氏名】中村 聡
【テーマコード（参考）】
2G051
5F151
5F251
【Ｆターム（参考）】
2G051AA41
2G051AB20
2G051BA01
2G051BA11
2G051BA20
2G051BB02
2G051BB03
2G051BB07
2G051CA04
2G051CA06
2G051CB01
2G051CC07
5F151BA11
5F151BA14
5F151KA10
5F251BA11
5F251BA14
5F251KA10
(57)【要約】
【課題】本発明は、太陽電池上の絶縁フィルムの位置を特定できる太陽電池の検査装置を提供する。
【解決手段】太陽電池本体と絶縁フィルムを有する太陽電池に対して、太陽電池本体と絶縁フィルムの境界部分を含む被検査部を検査するものであって、絶縁フィルムは、光を太陽電池に照射したときに、太陽電池本体での反射光に対して反射光の振動方向が変化するものであり、特定方向に偏光した光を照射可能な光照射部と、光照射部から照射された光を太陽電池側に向かって反射し、太陽電池で反射した反射光を透過するミラー部と、反射光から特定方向に対する角度が５度以内のカット方向に偏光した反射成分をカットする撮像側偏光部と、撮像側偏光部を通過した反射光を受光し、太陽電池の被検査部を含むように撮像する撮像部を有する構成とする。
【選択図】図９
【解決手段】太陽電池本体と絶縁フィルムを有する太陽電池に対して、太陽電池本体と絶縁フィルムの境界部分を含む被検査部を検査するものであって、絶縁フィルムは、光を太陽電池に照射したときに、太陽電池本体での反射光に対して反射光の振動方向が変化するものであり、特定方向に偏光した光を照射可能な光照射部と、光照射部から照射された光を太陽電池側に向かって反射し、太陽電池で反射した反射光を透過するミラー部と、反射光から特定方向に対する角度が５度以内のカット方向に偏光した反射成分をカットする撮像側偏光部と、撮像側偏光部を通過した反射光を受光し、太陽電池の被検査部を含むように撮像する撮像部を有する構成とする。
【選択図】図９
【特許請求の範囲】
【請求項1】
太陽電池本体と絶縁フィルムを有する太陽電池に対して、前記太陽電池本体と前記絶縁フィルムの境界部分を含む被検査部を検査する太陽電池の検査装置であって、
前記絶縁フィルムは、光を前記太陽電池に照射したときに、前記太陽電池本体での反射光に対して反射光の振動方向が変化するものであり、
特定方向に偏光した光を照射可能な光照射部と、
前記光照射部から照射された光を前記太陽電池側に向かって反射し、前記太陽電池で反射した反射光を透過するミラー部と、
前記反射光から前記特定方向に対する角度が５度以内の一方向に偏光した反射成分をカットする撮像側偏光部と、
前記撮像側偏光部を通過した前記反射光を受光し、前記太陽電池の被検査部を含むように撮像する撮像部と、を有する、太陽電池の検査装置。
前記絶縁フィルムは、光を前記太陽電池に照射したときに、前記太陽電池本体での反射光に対して反射光の振動方向が変化するものであり、
特定方向に偏光した光を照射可能な光照射部と、
前記光照射部から照射された光を前記太陽電池側に向かって反射し、前記太陽電池で反射した反射光を透過するミラー部と、
前記反射光から前記特定方向に対する角度が５度以内の一方向に偏光した反射成分をカットする撮像側偏光部と、
前記撮像側偏光部を通過した前記反射光を受光し、前記太陽電池の被検査部を含むように撮像する撮像部と、を有する、太陽電池の検査装置。
【請求項2】
前記撮像側偏光部は、前記反射光の前記特定方向に偏光した反射成分をカットする、請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項3】
前記撮像側偏光部は、前記反射光から正反射成分をカットする、請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項4】
前記絶縁フィルムは、複屈折性を有する、請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項5】
前記太陽電池本体と前記絶縁フィルムの境界部分において複数の被検査部を検査するものであり、
前記光照射部は、個別に点灯可能な複数の発光部を有し、
前記複数の発光部は、前記複数の被検査部のそれぞれの位置に対応して配されており、
検査対象の被検査部に合わせて対応する発光部を個別に発光させる、請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
前記光照射部は、個別に点灯可能な複数の発光部を有し、
前記複数の発光部は、前記複数の被検査部のそれぞれの位置に対応して配されており、
検査対象の被検査部に合わせて対応する発光部を個別に発光させる、請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項6】
前記光照射部は、発光部と、前記発光部と前記ミラー部との間に光の進行方向を一定方向に制限する光制御部とを有する、請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項7】
前記光照射部は、前記光制御部と前記ミラー部との間に、前記光制御部で制限された光を前記特定方向に偏光する照明側偏光部を有する、請求項６に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項8】
前記太陽電池本体は、前記絶縁フィルムによって、一部が被覆されており、
前記撮像部が撮像した画像データから前記太陽電池本体の前記絶縁フィルムによる被覆部分が実質的に前記絶縁フィルムのみで表される撮像画像を作成する画像処理部を備える、請求項１～７のいずれか１項に記載の太陽電池の検査装置。
前記撮像部が撮像した画像データから前記太陽電池本体の前記絶縁フィルムによる被覆部分が実質的に前記絶縁フィルムのみで表される撮像画像を作成する画像処理部を備える、請求項１～７のいずれか１項に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項9】
前記撮像画像は、絶縁フィルムが単一色で表される、請求項８に記載の太陽電池の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、太陽電池の検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、裏面側のみに電極部が形成された複数の太陽電池セルが電気的に接続されたバックコンタクト型の太陽電池モジュールが知られている（例えば、特許文献１）。
例えば、特許文献１の太陽電池モジュールは、太陽電池セルの端辺同士を重ね、太陽電池セルの電極端子間をインターコネクタで接続しており（いわゆる、シングリング接続）、有効受光面積を大きくでき、従来に比べて変換効率が高い。
例えば、特許文献１の太陽電池モジュールは、太陽電池セルの端辺同士を重ね、太陽電池セルの電極端子間をインターコネクタで接続しており（いわゆる、シングリング接続）、有効受光面積を大きくでき、従来に比べて変換効率が高い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開第２０２２／１０７５４２号
【特許文献2】特開２０２２－１２２５１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、特許文献１のように各太陽電池セルをシングリング接続する場合、隣接する太陽電池セル間の短絡やリーク電流の発生を防止する観点から、隣接する太陽電池セル間においてインターコネクタ以外の部分で直接接触させないことが好ましい。
【0005】
そこで、本発明者は、隣接する太陽電池セルの間と太陽電池セルとインターコネクタの間に透明の絶縁フィルムを介在させた太陽電池モジュールを試作した。
試作した太陽電池モジュールでは、隣接する太陽電池セルの間と太陽電池セルとインターコネクタの間に絶縁フィルムを形成するので、太陽電池セル同士が直接接触しない。そのため、太陽電池セル間の接触による短絡やリーク電流の発生を防止でき、従来に比べて安全性と信頼性が向上した。
試作した太陽電池モジュールでは、隣接する太陽電池セルの間と太陽電池セルとインターコネクタの間に絶縁フィルムを形成するので、太陽電池セル同士が直接接触しない。そのため、太陽電池セル間の接触による短絡やリーク電流の発生を防止でき、従来に比べて安全性と信頼性が向上した。
【0006】
ところで、試作した太陽電池モジュールを工業的に大量生産するためには、機械によって自動で生産できることが好ましい。機械によって生産するためには、絶縁フィルムが正しい位置にあるかの確認が必要となる。
【0007】
そこで、本発明者は、試作した太陽電池モジュールの生産の自動化を達成するために、特許文献２のような同軸照明とカメラを使用した検査装置によって絶縁フィルムと太陽電池セルの境界部分を検査し、絶縁フィルムが正しい位置に設けられているかを判別できるか検討した。
【0008】
しかしながら、試作した太陽電池モジュールでは、透明の絶縁フィルムを使用しているため、同軸照明から光を当てたときに、絶縁フィルムの輝度値と太陽電池セルの輝度値との差が小さく、絶縁フィルムの縁がほとんど見えない。そのため、従来の検査装置では、絶縁フィルムが太陽電池セルに正しい位置に正確に位置しているかの判断が難しい問題があった。
【0009】
そこで、本発明は、太陽電池上の絶縁フィルムの位置を特定できる太陽電池の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記した課題を解決するための本発明の一つの様相は、太陽電池本体と絶縁フィルムを有する太陽電池に対して、前記太陽電池本体と前記絶縁フィルムの境界部分を含む被検査部を検査する太陽電池の検査装置であって、前記絶縁フィルムは、光を前記太陽電池に照射したときに、前記太陽電池本体での反射光に対して反射光の振動方向が変化するものであり、特定方向に偏光した光を照射可能な光照射部と、前記光照射部から照射された光を前記太陽電池側に向かって反射し、前記太陽電池で反射した反射光を透過するミラー部と、前記反射光から前記特定方向に対する角度が５度以内の一方向に偏光した反射成分をカットする撮像側偏光部と、前記撮像側偏光部を通過した前記反射光を受光し、前記太陽電池の被検査部を含むように撮像する撮像部と、を有する、太陽電池の検査装置である。
【0011】
本様相によれば、太陽電池本体での反射光は、絶縁フィルムに比べて正反射成分が多くなり、振動方向を維持したままミラー部側に反射するが、絶縁フィルムの反射光は、正反射成分と拡散反射成分があり、拡散反射成分では振動方向が変化する。
そのため、撮像側偏光部で光照射部からの照射光の偏光方向（特定方向）に近い方向の反射成分をカットすること、すなわち、太陽電池での反射光の正反射成分に近い成分をカットすることで、太陽電池本体での反射光は、撮像側偏光部を通過するときに、大部分がカットされて輝度が低下し、絶縁フィルムでの反射光は、撮像側偏光部を通過するときに、太陽電池本体での反射光に比べてカットされにくく、相対的に太陽電池本体の輝度値に対して大きくなる。
その結果、太陽電池本体に対応する部分と絶縁フィルムに対応する部分との間で輝度値の差を大きくすることができ、太陽電池本体上での絶縁フィルムの位置及び輪郭を特定できる。
そのため、撮像側偏光部で光照射部からの照射光の偏光方向（特定方向）に近い方向の反射成分をカットすること、すなわち、太陽電池での反射光の正反射成分に近い成分をカットすることで、太陽電池本体での反射光は、撮像側偏光部を通過するときに、大部分がカットされて輝度が低下し、絶縁フィルムでの反射光は、撮像側偏光部を通過するときに、太陽電池本体での反射光に比べてカットされにくく、相対的に太陽電池本体の輝度値に対して大きくなる。
その結果、太陽電池本体に対応する部分と絶縁フィルムに対応する部分との間で輝度値の差を大きくすることができ、太陽電池本体上での絶縁フィルムの位置及び輪郭を特定できる。
【0012】
好ましい様相は、前記撮像側偏光部は、前記反射光の前記特定方向に偏光した反射成分をカットする。
【0013】
好ましい様相は、前記撮像側偏光部は、前記反射光から正反射成分をカットする。
【0014】
これらの様相によれば、太陽電池本体に対応する部分と絶縁フィルムに対応する部分との間の輝度値の差をより大きくできる。
【0015】
好ましい様相は、前記絶縁フィルムは、複屈折性を有する。
【0016】
本様相によれば、絶縁フィルムが複屈折性を有するため、絶縁フィルムを通過し絶縁フィルムと太陽電池本体との界面で反射してミラー部側に向かう反射光において振動方向が変化する。そのため、絶縁フィルムと太陽電池本体との界面での反射光は、大部分が撮像側偏光部を通過でき、絶縁フィルムに対応する部分の輝度値を相対的に太陽電池本体に対応する部分の輝度値に対してより大きくできる。
【0017】
好ましい様相は、前記太陽電池本体と前記絶縁フィルムの境界部分において複数の被検査部を検査するものであり、前記光照射部は、個別に点灯可能な複数の発光部を有し、前記複数の発光部は、前記複数の被検査部のそれぞれの位置に対応して配されており、検査対象の被検査部に合わせて対応する発光部を個別に発光させる。
【0018】
本様相によれば、対応する発光部のみを点灯させて撮像することで、被検査部に対する入射光の垂直成分を大きくできるので、太陽電池本体での拡散反射成分の割合を小さくでき、絶縁フィルムに対応する部分の輝度値に対する太陽電池本体に対応する部分の輝度値を相対的に小さくできる。
【0019】
好ましい様相は、前記光照射部は、発光部と、前記発光部と前記ミラー部との間に光の進行方向を一定方向に制限する光制御部とを有する。
【0020】
本様相によれば、被検査部に対する入射光の垂直成分を大きくできるので、太陽電池本体での拡散反射成分を小さくでき、絶縁フィルムに対応する部分の輝度値に対する太陽電池本体に対応する部分の輝度値を小さくできる。
【0021】
好ましい様相は、前記光照射部は、前記光制御部と前記ミラー部との間に、前記光制御部で制限された光を前記特定方向に偏光する照明側偏光部を有する。
【0022】
本様相によれば、発光部から照射される光の振動方向を特定方向になるように偏光できる。
【0023】
好ましい様相は、前記太陽電池本体は、前記絶縁フィルムによって、一部が被覆されており、前記撮像部が撮像した画像データから前記太陽電池本体の前記絶縁フィルムによる被覆部分が実質的に前記絶縁フィルムのみで表される撮像画像を作成する画像処理部を備える。
【0024】
ここでいう「実質的に絶縁フィルムのみで表される撮像画像」とは、撮像画像内において絶縁フィルムを透過して表される太陽電池本体の面積が撮像画像内の絶縁フィルムの面積の３％以下であることをいう。
【0025】
本様相によれば、絶縁フィルムのみ表される撮像画像が得られるので、絶縁フィルムの位置を特定することができる。
【0026】
より好ましい様相は、前記撮像画像は、絶縁フィルムが単一色で表される。
【0027】
本様相によれば、絶縁フィルムの表面形状における皺や折れの影響を受けづらく、安定して検査できる。
【発明の効果】
【0028】
本発明の太陽電池の検査装置によれば、太陽電池上の絶縁フィルムの位置を特定できる。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】本発明の第１実施形態の太陽電池の検査装置を概念的に示した側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0030】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【0031】
本発明の第１実施形態の太陽電池の検査装置１（以下、単に検査装置１ともいう）は、図３に示される太陽電池モジュール２００の仕掛品である太陽電池１００を検査する装置であり、太陽電池１００の絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂの位置及び輪郭を検査するものである。
検査装置１は、図１，図２（ａ）のように、同軸落射照明部２と、側射照明部３と、撮像側偏光部５と、撮像部６と、ステージ部７と、制御部８を備えている。
検査装置１は、図１，図２（ａ）のように、同軸落射照明部２と、側射照明部３と、撮像側偏光部５と、撮像部６と、ステージ部７と、制御部８を備えている。
【0032】
（同軸落射照明部２）
同軸落射照明部２は、図１のように、筐体部１０と、光照射部１４と、ミラー部１５を備えている。
筐体部１０は、光照射部１４及びミラー部１５を収容する筐体であり、上側開口部２０と、下側開口部２１を備えている。
上側開口部２０は、撮像部６と撮像側偏光部５を挟んで上下方向に対向し、撮像部６の撮像軸Ｐ１上に位置する開口である。
下側開口部２１は、ステージ部７と上下方向に対向し、撮像部６の撮像軸Ｐ１上に位置する開口である。すなわち、下側開口部２１は、上下方向において上側開口部２０とミラー部１５を挟んで対向している。
同軸落射照明部２は、図１のように、筐体部１０と、光照射部１４と、ミラー部１５を備えている。
筐体部１０は、光照射部１４及びミラー部１５を収容する筐体であり、上側開口部２０と、下側開口部２１を備えている。
上側開口部２０は、撮像部６と撮像側偏光部５を挟んで上下方向に対向し、撮像部６の撮像軸Ｐ１上に位置する開口である。
下側開口部２１は、ステージ部７と上下方向に対向し、撮像部６の撮像軸Ｐ１上に位置する開口である。すなわち、下側開口部２１は、上下方向において上側開口部２０とミラー部１５を挟んで対向している。
【0033】
光照射部１４は、特定方向に偏光した光を照射可能な部位であり、図１のように、同軸落射側光源部１１と、光制御部１２と、照明側偏光部１３を備えている。
同軸落射側光源部１１は、図２（ｂ）のように、発光面２２と裏面２３を両主面とし、面状に広がりを持つ板状光源であり、発光面２２側から面状に広がりを持った面状光を照射可能な面状光源である。
同軸落射側光源部１１は、例えば、ＬＥＤが面状に散りばめられたＬＥＤパネルや有機ＥＬパネルが使用できる。
同軸落射側光源部１１は、図２（ｂ）のように、発光面２２に個別に点灯可能な複数の発光部３０ａ～３０ｈを備えている。
発光部３０ａ～３０ｈは、上下方向（縦方向Ｙ）に延びた短冊状の発光領域であり、横方向Ｘに並設されている。
同軸落射側光源部１１は、図２（ｂ）のように、発光面２２と裏面２３を両主面とし、面状に広がりを持つ板状光源であり、発光面２２側から面状に広がりを持った面状光を照射可能な面状光源である。
同軸落射側光源部１１は、例えば、ＬＥＤが面状に散りばめられたＬＥＤパネルや有機ＥＬパネルが使用できる。
同軸落射側光源部１１は、図２（ｂ）のように、発光面２２に個別に点灯可能な複数の発光部３０ａ～３０ｈを備えている。
発光部３０ａ～３０ｈは、上下方向（縦方向Ｙ）に延びた短冊状の発光領域であり、横方向Ｘに並設されている。
【0034】
光制御部１２は、互いに平行なスリットを有し、同軸落射側光源部１１の各発光部３０ａ～３０ｈから照射された光をスリットに通過させることで、光の進行方向を一定方向に制限する部位である。
すなわち、光制御部１２は、光の拡散を抑制し、光を平行光に近づける部位であり、具体的には、指向性拡散フィルムたるライトコントロールフィルム（ＬＣＦ）である。
光制御部１２は、図１のように、同軸落射側光源部１１の発光面２２と間隔を空けて対向している。
すなわち、光制御部１２は、光の拡散を抑制し、光を平行光に近づける部位であり、具体的には、指向性拡散フィルムたるライトコントロールフィルム（ＬＣＦ）である。
光制御部１２は、図１のように、同軸落射側光源部１１の発光面２２と間隔を空けて対向している。
【0035】
照明側偏光部１３は、光制御部１２によって制限された光を特定方向に偏光し、振動方向を一方向に制限する偏光板である。
照明側偏光部１３は、特定方向に偏光軸を有している。
照明側偏光部１３は、図１のように、同軸落射側光源部１１とは反対側にあり、光制御部１２と間隔を空けて対向している。
照明側偏光部１３は、特定方向に偏光軸を有している。
照明側偏光部１３は、図１のように、同軸落射側光源部１１とは反対側にあり、光制御部１２と間隔を空けて対向している。
【0036】
ミラー部１５は、同軸落射側光源部１１側から照射された光を傾斜面２５で太陽電池１００側に向かって反射し、太陽電池１００で反射した反射光を傾斜面２５から撮像部６側に透過する部位である。
本実施形態のミラー部１５は、入射する光の一部を反射し、一部を透過するハーフミラーであり、入射光と透過光の強さが同程度である。
ミラー部１５は、図１のように、撮像部６の撮像軸Ｐ１上に設けられ、撮像軸Ｐ１に対して傾斜した傾斜面２５を有している。
本実施形態のミラー部１５は、入射する光の一部を反射し、一部を透過するハーフミラーであり、入射光と透過光の強さが同程度である。
ミラー部１５は、図１のように、撮像部６の撮像軸Ｐ１上に設けられ、撮像軸Ｐ１に対して傾斜した傾斜面２５を有している。
【0037】
（側射照明部３）
側射照明部３は、図１のように、第１側射側光源部４０と、第２側射側光源部４１を有し、各側射側光源部４０，４１から撮像軸Ｐ１に対して傾斜した方向から光を当てる部位である。
側射側光源部４０，４１は、側面視したときに撮像軸Ｐ１に対して左右対称位置に設けられており、同一位置に向かった光を照射可能となっている。
側射照明部３は、図１のように、第１側射側光源部４０と、第２側射側光源部４１を有し、各側射側光源部４０，４１から撮像軸Ｐ１に対して傾斜した方向から光を当てる部位である。
側射側光源部４０，４１は、側面視したときに撮像軸Ｐ１に対して左右対称位置に設けられており、同一位置に向かった光を照射可能となっている。
【0038】
（撮像側偏光部５）
撮像側偏光部５は、太陽電池１００での反射光の特定の反射成分をカットする部位である。
本実施形態の撮像側偏光部５は、照明側偏光部１３によって偏光された光の振動方向と同様の振動方向の光を遮断する偏光フィルターである。
すなわち、本実施形態の撮像側偏光部５は、照明側偏光部１３の偏光軸と９０度異なる偏光軸を有する偏光フィルターであり、照明側偏光部１３を通過し偏光された光の振動方向と同方向の振動方向をもつ成分をカットし、それ以外の光を通過させることが可能となっている。
撮像側偏光部５は、太陽電池１００での反射光の特定の反射成分をカットする部位である。
本実施形態の撮像側偏光部５は、照明側偏光部１３によって偏光された光の振動方向と同様の振動方向の光を遮断する偏光フィルターである。
すなわち、本実施形態の撮像側偏光部５は、照明側偏光部１３の偏光軸と９０度異なる偏光軸を有する偏光フィルターであり、照明側偏光部１３を通過し偏光された光の振動方向と同方向の振動方向をもつ成分をカットし、それ以外の光を通過させることが可能となっている。
【0039】
（撮像部６）
撮像部６は、撮像側偏光部５を通過した反射光を受光し、太陽電池１００の被検査部を撮像するカメラ部である。
撮像部６は、撮像側偏光部５を通過した反射光を受光し、太陽電池１００の被検査部を撮像するカメラ部である。
【0040】
（ステージ部７）
ステージ部７は、被検査物たる太陽電池１００を載置する載置台であり、太陽電池１００が撮像軸Ｐ１を通過するように所定の方向に搬送することが可能となっている。
ステージ部７には、図８から読み取れるように、同軸落射照明部２を点灯したときに、各発光部３０ａ～３０ｈから照射された光に対応して被照射領域５０ａ～５０ｈがある。
被照射領域５０ａ～５０ｈは、同軸落射照明部２を点灯したときに、ミラー部１５側から光が入射する領域である。
ステージ部７は、被検査物たる太陽電池１００を載置する載置台であり、太陽電池１００が撮像軸Ｐ１を通過するように所定の方向に搬送することが可能となっている。
ステージ部７には、図８から読み取れるように、同軸落射照明部２を点灯したときに、各発光部３０ａ～３０ｈから照射された光に対応して被照射領域５０ａ～５０ｈがある。
被照射領域５０ａ～５０ｈは、同軸落射照明部２を点灯したときに、ミラー部１５側から光が入射する領域である。
【0041】
（制御部８）
制御部８は、ハードウェア構成として、各装置を制御する制御装置とデータに対する演算を行う演算装置で構成される中央処理装置と、データを記憶する記憶装置、外部からデータを入力する入力装置、外部にデータを出力する出力装置を備えたコンピュータである。
制御部８は、図２（ａ）のように、同軸落射側光源部１１、側射側光源部４０，４１、撮像部６、及びステージ部７のそれぞれと接続されている。
制御部８は、同軸落射側光源部１１の各発光部３０ａ～３０ｈや側射側光源部４０，４１を個別にそれぞれ点灯及び消灯制御可能となっている。
制御部８は、図示しない画像処理部を備えており、撮像部６で撮像された画像データを取得し、画像処理して撮像画像を作成することが可能となっている。
制御部８は、太陽電池１００の被検査部に合わせてステージ部７の移動速度や移動位置等を制御可能となっている。
制御部８は、ハードウェア構成として、各装置を制御する制御装置とデータに対する演算を行う演算装置で構成される中央処理装置と、データを記憶する記憶装置、外部からデータを入力する入力装置、外部にデータを出力する出力装置を備えたコンピュータである。
制御部８は、図２（ａ）のように、同軸落射側光源部１１、側射側光源部４０，４１、撮像部６、及びステージ部７のそれぞれと接続されている。
制御部８は、同軸落射側光源部１１の各発光部３０ａ～３０ｈや側射側光源部４０，４１を個別にそれぞれ点灯及び消灯制御可能となっている。
制御部８は、図示しない画像処理部を備えており、撮像部６で撮像された画像データを取得し、画像処理して撮像画像を作成することが可能となっている。
制御部８は、太陽電池１００の被検査部に合わせてステージ部７の移動速度や移動位置等を制御可能となっている。
【0042】
（太陽電池１００）
太陽電池１００は、検査装置１で検査される検査対象物である。
太陽電池１００は、図４，図５のように、裏面１０６側に端子部１１０ａ～１１０ｄ，１１１を備え、受光面１０５側に端子部を備えないバックコンタクト型の太陽電池セルである。
太陽電池１００は、図４，図５のように、太陽電池本体１０１と、絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂを備えている。
太陽電池１００は、検査装置１で検査される検査対象物である。
太陽電池１００は、図４，図５のように、裏面１０６側に端子部１１０ａ～１１０ｄ，１１１を備え、受光面１０５側に端子部を備えないバックコンタクト型の太陽電池セルである。
太陽電池１００は、図４，図５のように、太陽電池本体１０１と、絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂを備えている。
【0043】
太陽電池本体１０１は、ｐｎ接合部を有した光電変換部を備え、光エネルギーを電気エネルギーに変換する部位である。
太陽電池本体１０１は、図４のように、複数の第１端子部１１０ａ～１１０ｄと、第２端子部１１１を備えている。
太陽電池本体１０１は、略長方形状の板状パネルであり、縦方向Ｙに延びた縦辺１２０，１２１と、横方向Ｘに延びた横辺１２２，１２３と、縦辺１２１のそれぞれの端部から横辺１２２，１２３に向かって傾斜した傾斜辺１２４，１２５を有している。
太陽電池本体１０１は、裏面１０６側の面の大部分が正極及び負極を構成する金属で構成され金属面となっており、光を照射したときに、絶縁フィルム１０２に比べて、正反射しやすい。
太陽電池本体１０１は、図４のように、複数の第１端子部１１０ａ～１１０ｄと、第２端子部１１１を備えている。
太陽電池本体１０１は、略長方形状の板状パネルであり、縦方向Ｙに延びた縦辺１２０，１２１と、横方向Ｘに延びた横辺１２２，１２３と、縦辺１２１のそれぞれの端部から横辺１２２，１２３に向かって傾斜した傾斜辺１２４，１２５を有している。
太陽電池本体１０１は、裏面１０６側の面の大部分が正極及び負極を構成する金属で構成され金属面となっており、光を照射したときに、絶縁フィルム１０２に比べて、正反射しやすい。
【0044】
第１端子部１１０ａ～１１０ｄは、光電変換部の正極又は負極の一部をなす端子であり、配線部材２０１（図３参照）と接続可能な四角形状の端子パッドである。
【0045】
第２端子部１１１は、第１端子部１１０ａ～１１０ｄと対をなし、光電変換部の負極又は正極の一部をなす端子であり、配線部材２０１と接続可能な長方形状の端子パッドである。
すなわち、第２端子部１１１は、第１端子部１１０ａ～１１０ｄが光電変換部の正極の一部をなす場合は、光電変換部の負極の一部をなす負極側端子であり、第１端子部１１０ａ～１１０ｄが光電変換部の負極の一部をなす場合は、光電変換部の正極の一部となる正極側端子である。
すなわち、第２端子部１１１は、第１端子部１１０ａ～１１０ｄが光電変換部の正極の一部をなす場合は、光電変換部の負極の一部をなす負極側端子であり、第１端子部１１０ａ～１１０ｄが光電変換部の負極の一部をなす場合は、光電変換部の正極の一部となる正極側端子である。
【0046】
絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂは、絶縁性と透明性を有した透明絶縁フィルムである。
絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂは、片面に粘着面をもった絶縁テープであり、太陽電池本体１０１に対して接着可能となっている。
本実施形態の絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂは、複屈折性を有しており、偏光された光が通過したときに、振動方向が変化するものである。
絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂの基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリエチレン等のポリオレフィンフィルムなどの樹脂フィルムが使用できる。
絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂの基材表面の粘着部分としては、例えば、シリコーン系粘着剤等が使用できる。
絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂは、片面に粘着面をもった絶縁テープであり、太陽電池本体１０１に対して接着可能となっている。
本実施形態の絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂは、複屈折性を有しており、偏光された光が通過したときに、振動方向が変化するものである。
絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂの基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリエチレン等のポリオレフィンフィルムなどの樹脂フィルムが使用できる。
絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂの基材表面の粘着部分としては、例えば、シリコーン系粘着剤等が使用できる。
【0047】
ここで、太陽電池１００の各部材の位置関係について説明する。
【0048】
太陽電池１００は、図４のように、太陽電池本体１０１の裏面１０６側に絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂが覆われている。
第１端子部１１０ａ～１１０ｄは、横方向Ｘにおいて中央よりも縦辺１２０側に設けられており、縦辺１２０に沿って間隔を空けて配されている。
本実施形態の第１端子部１１０ａ～１１０ｄは、縦方向Ｙに等間隔に一列に並んでいる。
第１端子部１１０ａ～１１０ｄは、図４の拡大図のように、それぞれ一部が絶縁フィルム１０２ａによって覆われており、残部が第１絶縁フィルム１０２ａから露出している。
第１端子部１１０ａ～１１０ｄは、横方向Ｘにおいて中央よりも縦辺１２０側に設けられており、縦辺１２０に沿って間隔を空けて配されている。
本実施形態の第１端子部１１０ａ～１１０ｄは、縦方向Ｙに等間隔に一列に並んでいる。
第１端子部１１０ａ～１１０ｄは、図４の拡大図のように、それぞれ一部が絶縁フィルム１０２ａによって覆われており、残部が第１絶縁フィルム１０２ａから露出している。
【0049】
第２端子部１１１は、横方向Ｘにおいて中央よりも縦辺１２１側に設けられており、縦辺１２１に沿って縦方向Ｙに帯状に延びている。
第２端子部１１１は、一部が第２絶縁フィルム１０２ｂによって覆われており、残部が第２絶縁フィルム１０２ｂから露出している。
第２端子部１１１は、一部が第２絶縁フィルム１０２ｂによって覆われており、残部が第２絶縁フィルム１０２ｂから露出している。
【0050】
（太陽電池モジュール２００）
太陽電池モジュール２００は、図３のように、複数の太陽電池１００がシングリング接続されたものであり、複数の太陽電池１００と、配線部材２０１と、封止部材２０２，２０３と、封止材２０４，２０５を備えている。
太陽電池モジュール２００は、各太陽電池１００の裏面１０６に設けられた端子部１１０ａ～１１０ｄ，１１１が配線部材２０１によってそれぞれ接続されている。
具体的には、太陽電池１００ｂは、図３（ｂ）のように、第１端子部１１０ａ～１１０ｄが配線部材２０１を介して隣接する太陽電池１００ｃの第２端子部１１１と接続されており、第２端子部１１１が配線部材２０１を介して太陽電池１００ｃとは反対側で隣接する太陽電池１００ａの第１端子部１１０ａ～１１０ｄと接続されている。
隣接する太陽電池１００ａ，１００ｂの間には、下側の太陽電池１００ａの第１絶縁フィルム１０２ａが介在しており、配線部材２０１と太陽電池１００ｂの間には、太陽電池１００ｂの第２絶縁フィルム１０２ｂが介在している。
すなわち、太陽電池モジュール２００では、隣接する太陽電池１００，１００が直接接触せず、接触による短絡やリーク電流の発生を防止している。
太陽電池モジュール２００は、図３のように、複数の太陽電池１００がシングリング接続されたものであり、複数の太陽電池１００と、配線部材２０１と、封止部材２０２，２０３と、封止材２０４，２０５を備えている。
太陽電池モジュール２００は、各太陽電池１００の裏面１０６に設けられた端子部１１０ａ～１１０ｄ，１１１が配線部材２０１によってそれぞれ接続されている。
具体的には、太陽電池１００ｂは、図３（ｂ）のように、第１端子部１１０ａ～１１０ｄが配線部材２０１を介して隣接する太陽電池１００ｃの第２端子部１１１と接続されており、第２端子部１１１が配線部材２０１を介して太陽電池１００ｃとは反対側で隣接する太陽電池１００ａの第１端子部１１０ａ～１１０ｄと接続されている。
隣接する太陽電池１００ａ，１００ｂの間には、下側の太陽電池１００ａの第１絶縁フィルム１０２ａが介在しており、配線部材２０１と太陽電池１００ｂの間には、太陽電池１００ｂの第２絶縁フィルム１０２ｂが介在している。
すなわち、太陽電池モジュール２００では、隣接する太陽電池１００，１００が直接接触せず、接触による短絡やリーク電流の発生を防止している。
【0051】
続いて、本実施形態の検査装置１を用いた検査方法について説明する。
【0052】
検査装置１の検査方法は、太陽電池本体１０１と絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂの境界部分を被検査部とするものであり、側射検査工程と、同軸落射検査工程で構成されている。
検査装置１の検査方法は、側射検査工程と同軸落射検査工程のどちらの工程を先に行ってもよい。
検査装置１の検査方法は、側射検査工程と同軸落射検査工程のどちらの工程を先に行ってもよい。
【0053】
（側射検査工程）
側射検査工程は、側射照明部３を用いて被検査部を検査する工程である。
側射検査工程では、図６のように、側射照明部３の各側射側光源部４０，４１を点灯させ、各側射側光源部４０，４１から太陽電池１００に対して光を照射して太陽電池１００を照らし、太陽電池１００での反射光をミラー部１５及び撮像側偏光部５を通過させて撮像部６で撮像する。そうすると、制御部８の画像処理部が撮像部６で撮像された画像データを画像処理し、図９（ａ）に示されるように、絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂを透過して太陽電池本体１０１全体が見える撮像画像を生成する。
側射検査工程は、側射照明部３を用いて被検査部を検査する工程である。
側射検査工程では、図６のように、側射照明部３の各側射側光源部４０，４１を点灯させ、各側射側光源部４０，４１から太陽電池１００に対して光を照射して太陽電池１００を照らし、太陽電池１００での反射光をミラー部１５及び撮像側偏光部５を通過させて撮像部６で撮像する。そうすると、制御部８の画像処理部が撮像部６で撮像された画像データを画像処理し、図９（ａ）に示されるように、絶縁フィルム１０２ａ，１０２ｂを透過して太陽電池本体１０１全体が見える撮像画像を生成する。
【0054】
このとき、各側射側光源部４０，４１での照射光は、偏光されておらず、複数の振動方向を有しており、撮像側偏光部５によってほとんどカットされない。そのため、太陽電池１００の被検査部全体が反映された撮像画像が生成される。
また、図６に示される各側射側光源部４０，４１の照射光の光路Ｌ１，Ｌ２は、側面視したときに、太陽電池１００の裏面１０６に対して傾斜角度θ１，θ２で傾斜し、撮像軸Ｐ１に対しても傾斜角度（９０－θ１），（９０－θ２）で傾斜している。
傾斜角度θ１，θ２は、０度超過９０度未満であり、１０度以上６０度以下であることが好ましい。
また、図６に示される各側射側光源部４０，４１の照射光の光路Ｌ１，Ｌ２は、側面視したときに、太陽電池１００の裏面１０６に対して傾斜角度θ１，θ２で傾斜し、撮像軸Ｐ１に対しても傾斜角度（９０－θ１），（９０－θ２）で傾斜している。
傾斜角度θ１，θ２は、０度超過９０度未満であり、１０度以上６０度以下であることが好ましい。
【0055】
（同軸落射工程）
同軸落射工程は、同軸落射照明部２を用いて被検査部を検査する工程である。
同軸落射工程では、図７，図８のように、同軸落射照明部２の同軸落射側光源部１１の被検査部と対応する発光部３０ｂを点灯させ、同軸落射側光源部１１からミラー部１５側に向かって照射する。
例えば、図８のように被検査部が太陽電池本体１０１の第１端子部１１０ａと絶縁フィルム１０２ａの境界部分の場合、被検査部が属する被照射領域５０ｂに対応する発光部３０ｂのみを点灯し、残りの発光部３０ａ，３０ｃ～３０ｈを消灯する。
同軸落射工程は、同軸落射照明部２を用いて被検査部を検査する工程である。
同軸落射工程では、図７，図８のように、同軸落射照明部２の同軸落射側光源部１１の被検査部と対応する発光部３０ｂを点灯させ、同軸落射側光源部１１からミラー部１５側に向かって照射する。
例えば、図８のように被検査部が太陽電池本体１０１の第１端子部１１０ａと絶縁フィルム１０２ａの境界部分の場合、被検査部が属する被照射領域５０ｂに対応する発光部３０ｂのみを点灯し、残りの発光部３０ａ，３０ｃ～３０ｈを消灯する。
【0056】
同軸落射側光源部１１の発光部３０ｂからミラー部１５側に向かって照射された光は、図７のように、光制御部１２，照明側偏光部１３を通過してミラー部１５に至り、ミラー部１５で太陽電池１００側に向かって反射される。
具体的には、同軸落射側光源部１１の発光部３０ｂから照射される光は、図７のように、光制御部１２を通過することで光の進行方向が一定方向に制限されて照明側偏光部１３を向いた平行な光となり、照明側偏光部１３を通過することで光の振動方向が特定方向に制限されてミラー部１５に至り、ミラー部１５で太陽電池１００側に向かって反射されて太陽電池１００の被検査部に至る。
具体的には、同軸落射側光源部１１の発光部３０ｂから照射される光は、図７のように、光制御部１２を通過することで光の進行方向が一定方向に制限されて照明側偏光部１３を向いた平行な光となり、照明側偏光部１３を通過することで光の振動方向が特定方向に制限されてミラー部１５に至り、ミラー部１５で太陽電池１００側に向かって反射されて太陽電池１００の被検査部に至る。
【0057】
ここで、ミラー部１５で太陽電池１００に向かって反射された光は、被検査部である太陽電池本体１０１と絶縁フィルム１０２の境界部分に照射される。
太陽電池１００に入射した光は、一部が太陽電池本体１０１の表面と絶縁フィルム１０２の表面で反射し、他の一部が絶縁フィルム１０２を通過し太陽電池本体１０１と絶縁フィルム１０２の界面で反射する。
太陽電池１００に入射した光の一部は、太陽電池本体１０１の表面において大部分が正反射して正反射成分の反射光となり、振動方向が一定のまま反射する。
太陽電池１００に入射した光の一部は、絶縁フィルム１０２の表面において一部が正反射し、残部の一部が拡散反射して正反射成分と拡散反射成分をもった反射光となる。
太陽電池１００に入射した光の一部は、複屈折性を有する絶縁フィルム１０２を通過し、太陽電池本体１０１と絶縁フィルム１０２の界面で反射することにより、振動方向が変化した反射光として絶縁フィルム１０２から出射する。
太陽電池１００に入射した光は、一部が太陽電池本体１０１の表面と絶縁フィルム１０２の表面で反射し、他の一部が絶縁フィルム１０２を通過し太陽電池本体１０１と絶縁フィルム１０２の界面で反射する。
太陽電池１００に入射した光の一部は、太陽電池本体１０１の表面において大部分が正反射して正反射成分の反射光となり、振動方向が一定のまま反射する。
太陽電池１００に入射した光の一部は、絶縁フィルム１０２の表面において一部が正反射し、残部の一部が拡散反射して正反射成分と拡散反射成分をもった反射光となる。
太陽電池１００に入射した光の一部は、複屈折性を有する絶縁フィルム１０２を通過し、太陽電池本体１０１と絶縁フィルム１０２の界面で反射することにより、振動方向が変化した反射光として絶縁フィルム１０２から出射する。
【0058】
そして、太陽電池１００で反射された反射光は、ミラー部１５を通過して撮像側偏光部５に至り、撮像側偏光部５において正反射成分、すなわち、照明側偏光部１３で制限された振動方向と同じ振動方向をもつ光成分がカットされて撮像部６に至り、撮像部６で受光して撮像される。
そうすると、撮像部６で撮像される画像データが制御部８の画像処理部によって、画像処理され、図９（ｂ）のように太陽電池本体１０１の絶縁フィルム１０２による被覆部分が単一色になり、実質的に絶縁フィルム１０２のみで表される撮像画像が生成される。
具体的には、同軸落射工程で撮像される撮像画像は、絶縁フィルム１０２に対応する部分全体の光量が大きくなって白くなり、絶縁フィルム１０２の下地部分が見えなくなる。そのため、絶縁フィルム１０２と太陽電池本体１０１の境界部分が明確となり、絶縁フィルム１０２の皺や折れにかかわらず、絶縁フィルム１０２の位置や輪郭が特定される。
そうすると、撮像部６で撮像される画像データが制御部８の画像処理部によって、画像処理され、図９（ｂ）のように太陽電池本体１０１の絶縁フィルム１０２による被覆部分が単一色になり、実質的に絶縁フィルム１０２のみで表される撮像画像が生成される。
具体的には、同軸落射工程で撮像される撮像画像は、絶縁フィルム１０２に対応する部分全体の光量が大きくなって白くなり、絶縁フィルム１０２の下地部分が見えなくなる。そのため、絶縁フィルム１０２と太陽電池本体１０１の境界部分が明確となり、絶縁フィルム１０２の皺や折れにかかわらず、絶縁フィルム１０２の位置や輪郭が特定される。
【0059】
本実施形態の検査装置１によれば、太陽電池本体１０１での反射光は、大部分が正反射成分となり、大部分が振動方向を維持したままミラー部１５側に反射するが、絶縁フィルム１０２の反射光は、正反射成分と拡散反射成分があり、拡散反射成分では振動方向が変化する。
そのため、撮像側偏光部５で太陽電池１００での反射光の正反射成分をカットすることで、太陽電池本体１０１での反射光は、撮像側偏光部５を通過するときに、大部分がカットされて輝度が低下し、絶縁フィルム１０２での反射光は、撮像側偏光部５を通過するときに、太陽電池本体１０１での反射光に比べてカットされにくく、相対的に太陽電池本体１０１の輝度値に対して大きくなる。すなわち、太陽電池本体１０１に対応する部分と絶縁フィルム１０２に対応する部分との間で輝度値の差を大きくすることができ、露光時間を調整することで絶縁フィルム１０２を単一色にすることができる。その結果、太陽電池本体１０１上での絶縁フィルム１０２の位置及び輪郭を特定できる。
そのため、撮像側偏光部５で太陽電池１００での反射光の正反射成分をカットすることで、太陽電池本体１０１での反射光は、撮像側偏光部５を通過するときに、大部分がカットされて輝度が低下し、絶縁フィルム１０２での反射光は、撮像側偏光部５を通過するときに、太陽電池本体１０１での反射光に比べてカットされにくく、相対的に太陽電池本体１０１の輝度値に対して大きくなる。すなわち、太陽電池本体１０１に対応する部分と絶縁フィルム１０２に対応する部分との間で輝度値の差を大きくすることができ、露光時間を調整することで絶縁フィルム１０２を単一色にすることができる。その結果、太陽電池本体１０１上での絶縁フィルム１０２の位置及び輪郭を特定できる。
【0060】
本実施形態の検査装置１によれば、絶縁フィルム１０２が複屈折性を有するため、絶縁フィルム１０２を透過し、絶縁フィルム１０２と太陽電池本体１０１の界面での反射光は、絶縁フィルム１０２の通過に伴って振動方向がずれる。そのため、絶縁フィルム１０２と太陽電池本体１０１の界面での反射光はそのまま撮像側偏光部５を通過し、太陽電池本体１０１に対応する部分の輝度値と絶縁フィルム１０２に対応する部分での輝度値の差を大きくできる。
【0061】
本実施形態の検査装置１によれば、被検査部に対応する発光部３０ａ～３０ｈを個別に点灯させて撮像するので、太陽電池１００の被検査部に対する光の垂直成分を大きくでき、太陽電池本体１０１での拡散反射成分（乱反射成分）を小さくできる。その結果、絶縁フィルム１０２に対応する部分に対する太陽電池本体１０１に対応する部分の輝度値を相対的に小さくできる。
【0062】
本実施形態の検査装置１によれば、各発光部３０ａ～３０ｈとミラー部１５の間に光の進行方向を一定方向に制限する光制御部１２が設けられているので、被検査部に対して太陽電池１００の裏面１０６に対する直交方向に入射できる。そのため、太陽電池本体１０１での正反射成分を大きくでき、太陽電池本体１０１での拡散反射成分を小さくできる。その結果、絶縁フィルム１０２に対応する部分に対する太陽電池本体１０１に対応する部分の輝度値を小さくできる。
【0063】
本実施形態の検査装置１によれば、光制御部１２とミラー部１５との間に光制御部１２で制限された光を特定方向に偏光する照明側偏光部１３が設けられているので、各発光部３０ａ～３０ｈから照射される光の振動方向を特定方向になるように偏光できる。
【0064】
本実施形態の検査装置１によれば、撮像部６によって、太陽電池本体１０１の絶縁フィルム１０２による被覆部分が実質的に絶縁フィルム１０２のみで表される撮像画像を撮像するので、絶縁フィルム１０２の位置や輪郭を特定することができる。
【0065】
本実施形態の検査装置１によれば、撮像画像は、絶縁フィルム１０２が単一色で表されるので、絶縁フィルム１０２の皺や折れ等の表面形状の影響が受けにくく、安定して検査できる。
【0066】
上記した実施形態では、撮像側偏光部５は、偏光軸が照明側偏光部１３の偏光軸に対して９０度ずれていたが、本発明はこれに限定されるものではない。撮像側偏光部５は、太陽電池本体１０１での反射光を絶縁フィルム１０２での反射光に対して相対的に多くカットできるものであれば、偏光軸の照明側偏光部１３の偏光軸に対する角度は、９０度に限定されない。偏光軸の照明側偏光部１３の偏光軸に対する角度は、８５度以上９５度以下であることが好ましい。
【0067】
上記した実施形態では、側射検査工程や同軸落射工程において一つの被検査部に対して一つの画像を撮像して検査したが、本発明はこれに限定されるものではない。側射検査工程や同軸落射工程において複数の被検査部に対して一つの画像を撮像して検査してもよいし、一つの被検査部に対して複数の画像を撮像して検査してもよい。
【0068】
上記した実施形態では、側射照明部３は、２つの側射側光源部４０，４１で構成されていたが、本発明はこれに限定されるものではない。側射照明部３は、１つの側射側光源部で構成されていてもよいし、３つ以上の側射側光源部で構成されていてもよい。
【0069】
上記した実施形態では、被検査部に対応する発光部３０ｂのみ点灯したが、本発明はこれに限定されるものではない。他の発光部３０ａ，３０ｃ～３０ｈを適宜点灯してもよい。
【0070】
上記した実施形態では、光制御部１２は、同軸落射側光源部１１の発光面２２と間隔を空けて対向していたが、本発明はこれに限定されるものではない。光制御部１２は、同軸落射側光源部１１の発光面２２と接していてもよい。
【0071】
上記した実施形態では、照明側偏光部１３は、光制御部１２と間隔を空けて対向していたが、本発明はこれに限定されるものではない。照明側偏光部１３は、光制御部１２と接していてもよい。
【0072】
上記した実施形態では、同軸落射側光源部１１は、発光面２２に８つの発光部３０ａ～３０ｈを備えていたが、本発明はこれに限定されるものではない。発光面２２に１つ以上７つ以下の発光部３０を備えていてもよいし、９つ以上の発光部３０を備えていてもよい。
【0073】
上記した実施形態は、本発明の技術的範囲に含まれる限り、各実施形態間で各構成部材を自由に置換や付加できる。
【符号の説明】
【0074】
１ 検査装置
２ 同軸落射照明部
５ 撮像側偏光部
６ 撮像部
１２ 光制御部
１３ 照明側偏光部
１４ 光照射部
１５ ミラー部
３０ａ～３０ｈ 発光部
１００，１００ａ～１００ｃ 太陽電池
１０１ 太陽電池本体
１０２ 絶縁フィルム
１０２ａ 第１絶縁フィルム
１０２ｂ 第２絶縁フィルム
２ 同軸落射照明部
５ 撮像側偏光部
６ 撮像部
１２ 光制御部
１３ 照明側偏光部
１４ 光照射部
１５ ミラー部
３０ａ～３０ｈ 発光部
１００，１００ａ～１００ｃ 太陽電池
１０１ 太陽電池本体
１０２ 絶縁フィルム
１０２ａ 第１絶縁フィルム
１０２ｂ 第２絶縁フィルム
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
