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特開2024-111836ガラスクロス及びその製造方法、並びにプリプレグ及びプリント配線板
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024111836
(43)【公開日】2024-08-19
(54)【発明の名称】ガラスクロス及びその製造方法、並びにプリプレグ及びプリント配線板
(51)【国際特許分類】
D03D 15/267 20210101AFI20240809BHJP
D03D 1/00 20060101ALI20240809BHJP
D06C 7/00 20060101ALI20240809BHJP
D06B 3/10 20060101ALI20240809BHJP
C08J 5/04 20060101ALI20240809BHJP
H05K 1/03 20060101ALI20240809BHJP
【ＦＩ】
D03D15/267
D03D1/00 A
D06C7/00 Z
D06B3/10 B
C08J5/04 CEZ
C08J5/04 CFC
H05K1/03 610T
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024015945
(22)【出願日】2024-02-05
(31)【優先権主張番号】P 2023016202
(32)【優先日】2023-02-06
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000000033
【氏名又は名称】旭化成株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100099759
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 篤
(74)【代理人】
【識別番号】100123582
【弁理士】
【氏名又は名称】三橋 真二
(74)【代理人】
【識別番号】100108903
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 和広
(74)【代理人】
【識別番号】100142387
【弁理士】
【氏名又は名称】齋藤 都子
(74)【代理人】
【識別番号】100135895
【弁理士】
【氏名又は名称】三間 俊介
(74)【代理人】
【識別番号】100191444
【弁理士】
【氏名又は名称】明石 尚久
(72)【発明者】
【氏名】遠藤 正朗
(72)【発明者】
【氏名】柿崎 宏昂
(72)【発明者】
【氏名】深谷 結花
【テーマコード（参考）】
3B154
4F072
4L048
【Ｆターム（参考）】
3B154AA13
3B154AB20
3B154BA05
3B154BA17
3B154BB12
3B154BB28
3B154BB32
3B154BC01
3B154BC17
3B154BE05
3B154BF16
3B154BF22
3B154DA05
3B154DA11
4F072AA04
4F072AA07
4F072AA08
4F072AB09
4F072AB30
4F072AC01
4F072AC06
4F072AD11
4F072AD23
4F072AD28
4F072AD38
4F072AD42
4F072AD45
4F072AF06
4F072AF14
4F072AG03
4F072AG17
4F072AG19
4F072AH02
4F072AH21
4F072AH31
4F072AJ04
4F072AJ22
4F072AK05
4F072AK14
4F072AL13
4L048AA03
4L048AA34
4L048AA46
4L048BA01
4L048CA15
4L048DA43
4L048EA01
4L048EB00
4L048EB05
(57)【要約】
【課題】良好な絶縁信頼性を有する低誘電ガラスクロス及びその製造方法等を提供すること。
【解決手段】複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を、経糸及び緯糸として構成され、表面処理剤で表面処理された、ガラスクロス。上記ガラスクロスは、３８０℃、２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、上記ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下である。また、上記ガラスクロスを特定の含浸評価用試験液に３分間浸漬した際の未含浸部位数が、１．８×ｅ（α×０．５８）｛式中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合である。｝で求められる値以下である。
【選択図】なし
【解決手段】複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を、経糸及び緯糸として構成され、表面処理剤で表面処理された、ガラスクロス。上記ガラスクロスは、３８０℃、２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、上記ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下である。また、上記ガラスクロスを特定の含浸評価用試験液に３分間浸漬した際の未含浸部位数が、１．８×ｅ（α×０．５８）｛式中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合である。｝で求められる値以下である。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を、経糸及び緯糸として構成され、表面処理剤で表面処理された、ガラスクロスであって、
前記ガラスクロスは、３８０℃、２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、前記ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下であり、
前記ガラスクロスを粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記式（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合である。｝で求められる値以下である、ガラスクロス。
前記ガラスクロスは、３８０℃、２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、前記ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下であり、
前記ガラスクロスを粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記式（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合である。｝で求められる値以下である、ガラスクロス。
【請求項2】
前記ガラスクロスを粘度６５０ｍＰａ・ｓのひまし油に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、前記式（１）で求められる値以下である、請求項１に記載のガラスクロス。
【請求項3】
前記ガラスクロス中の、Ｂ２Ｏ３で換算したホウ素（Ｂ）含有量とＰ２Ｏ５で換算したリン（Ｐ）含有量との和が、２５質量％以上４０質量％以下である、請求項１又は２に記載のガラスクロス。
【請求項4】
厚さが、５μｍ以上１００μｍ以下である、請求項１または２に記載のガラスクロス。
【請求項5】
請求項１又は２に記載のガラスクロスと、前記ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物と、を有する、プリプレグ。
【請求項6】
請求項１又は２に記載のガラスクロスと、前記ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物の硬化物と、を有する、プリント配線板。
【請求項7】
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を、液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を、液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
【請求項8】
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
【請求項9】
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、前記液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、前記液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ガラスクロス及びその製造方法、並びにプリプレグ及びプリント配線板等に関する。
【背景技術】
【0002】
近年の情報通信社会の発達とともに、データ通信及び／又は信号処理が大容量で高速に行われるようになり、電子機器に用いられるプリント配線板の低誘電率化が著しく進行している。そのため、プリント配線板を構成するガラスクロスにおいても、低誘電ガラスクロスが多く提案されている。
【0003】
例えば、特許文献１に開示されている低誘電ガラスクロスは、従来から一般に使用されているＥガラスクロスに対して、ガラス組成中にＢ２Ｏ３を多く配合し、同時にＳｉＯ２等の他の成分の配合量を調整することで、低誘電率を実現している。
【0004】
また、プリント配線板を構成する樹脂として、ポリフェニレンエーテル等の低誘電樹脂が多く提案されている。低誘電樹脂は、嵩高い官能基を有し、粘度が高い傾向があり、従来から一般に用いられているエポキシ樹脂等と比較して、ガラスクロスへの含浸性に劣ることがある。ガラスクロスへの含浸性に劣ると、基板中のガラス繊維糸束に樹脂未含浸部分（ボイド）ができ易く、ＣＡＦ（Conductive Anodic Filaments）が問題になり易い。そのため、ガラスクロス側の樹脂含浸性をより一層高めることにより、耐ＣＡＦ性を向上させることが好ましい。
【0005】
一方で、特許文献２には、積層板の品質が低下したり、樹脂の含浸性が悪くなったりすることを防ぐために、すなわち絶縁信頼性向上のために、例えば毛羽、焼却残渣、集束剤や過剰なカップリング剤などの無機繊維布帛に存在する不純物を、より効果的に除去することができる無機繊維布帛の洗浄方法を開示している。特許文献３には、熱硬化性樹脂の含浸性が改良されるガラスクロスの処理方法に関しての開示がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開２０２０－５０３２３３号公報
【特許文献2】特開２００３―９６６５９号公報
【特許文献3】特開昭６３－１６５４４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかしながら、特許文献１に開示されるような、低誘電ガラスクロスの中でも、低誘電化を進めるために、ガラス糸中のＢ２Ｏ３や、Ｐ２Ｏ５等の成分をとりわけ多く含有するガラスクロスは、絶縁信頼性に劣る問題がある。また、特許文献２及び３は、含浸性、すなわち絶縁信頼性を課題としているものの、いまだ改良の余地がある。
【0008】
本開示は、良好な絶縁信頼性を有する低誘電ガラスクロス及びその製造方法等を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本開示の実施形態の例を以下の項目［１］～［９］に列記する。
［１］
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を、経糸及び緯糸として構成され、表面処理剤で表面処理された、ガラスクロスであって、
前記ガラスクロスは、３８０℃、２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、前記ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下であり、
前記ガラスクロスを粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記式（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合である。｝で求められる値以下である、ガラスクロス。
［２］
上記ガラスクロスを粘度６５０ｍＰａ・ｓのひまし油に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、上記式（１）で求められる値以下である、項目１に記載のガラスクロス。
［３］
前記ガラスクロス中の、Ｂ２Ｏ３で換算したホウ素（Ｂ）含有量とＰ２Ｏ５で換算したリン（Ｐ）含有量との和が、２５質量％以上４０質量％以下である、項目１又は２に記載のガラスクロス。
［４］
厚さが、５μｍ以上１００μｍ以下である、項目１～３のいずれか一項に記載のガラスクロス。
［５］
項目１～４のいずれか一項に記載のガラスクロスと、前記ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物と、を有する、プリプレグ。
［６］
項目１～４のいずれか一項に記載のガラスクロスと、前記ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物の硬化物と、を有する、プリント配線板。
［７］
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を、液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
［８］
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
［９］
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、前記液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
［１］
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を、経糸及び緯糸として構成され、表面処理剤で表面処理された、ガラスクロスであって、
前記ガラスクロスは、３８０℃、２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、前記ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下であり、
前記ガラスクロスを粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記式（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合である。｝で求められる値以下である、ガラスクロス。
［２］
上記ガラスクロスを粘度６５０ｍＰａ・ｓのひまし油に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、上記式（１）で求められる値以下である、項目１に記載のガラスクロス。
［３］
前記ガラスクロス中の、Ｂ２Ｏ３で換算したホウ素（Ｂ）含有量とＰ２Ｏ５で換算したリン（Ｐ）含有量との和が、２５質量％以上４０質量％以下である、項目１又は２に記載のガラスクロス。
［４］
厚さが、５μｍ以上１００μｍ以下である、項目１～３のいずれか一項に記載のガラスクロス。
［５］
項目１～４のいずれか一項に記載のガラスクロスと、前記ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物と、を有する、プリプレグ。
［６］
項目１～４のいずれか一項に記載のガラスクロスと、前記ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物の硬化物と、を有する、プリント配線板。
［７］
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を、液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
［８］
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
［９］
ガラスクロスの製造方法であって、前記方法は、以下：
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；
製織された前記ガラスクロス生機を加熱して脱糊処理する工程と；
脱糊処理された前記ガラスクロス生機を液体で濡らす工程と、
濡れた状態の前記ガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波が照射されている前記液体中に浸入させ、前記液体中で水平方向に対して０．３°以上の傾斜をつけて走行させながら、超音波で洗浄する工程と；
超音波で洗浄された前記ガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程と；
を含む、ガラスクロスの製造方法。
【発明の効果】
【0010】
本開示によれば、良好な絶縁信頼性を有する低誘電ガラスクロス及びその製造方法を提供することができる。また、本開示によれば、該低誘電ガラスクロスを用いたプリプレグ及びプリント配線板を提供することもできる。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本開示の実施形態について詳細に説明するが、本開示はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
【0012】
《ガラスクロス》
本開示のガラスクロスは、複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として構成され、且つ、表面処理剤で表面処理されたガラスクロスである。ガラスクロスは、３８０℃及び２時間の条件で加熱処理したときのガラス成分由来の重量減少割合と、ガラスフィラメントの平均半径との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下である。そして、ガラスクロスを、粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液（含浸評価用試験液Ａ）に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合（経糸緯糸重複面積割合）である。｝で求められる値以下である。
本開示のガラスクロスは、複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として構成され、且つ、表面処理剤で表面処理されたガラスクロスである。ガラスクロスは、３８０℃及び２時間の条件で加熱処理したときのガラス成分由来の重量減少割合と、ガラスフィラメントの平均半径との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下である。そして、ガラスクロスを、粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液（含浸評価用試験液Ａ）に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合（経糸緯糸重複面積割合）である。｝で求められる値以下である。
【0013】
ガラスクロスの誘電特性を高めるために、ガラス中のＢ２Ｏ３や、Ｐ２Ｏ５等の成分をとりわけ多く含有するガラスクロスは、絶縁信頼性に劣る問題があった。より具体的には、ガラス重量減少が少ない従来のＥガラスや、ガラス重量減少が穏やかな低誘電ガラス（例えば、Ｌガラス）のガラスクロスでは、実用的な絶縁信頼性を有するのに対し、ガラス重量減少が大きい低誘電ガラス（例えば、Ｌ２ガラス）のガラスクロスでは、絶縁信頼性が劣る問題を有していることが分かった。
【0014】
この理由は、限定されるものではないが、本発明者による研究の結果、加熱時の重量減量が大きい低誘電ガラスクロスでは、加熱による糊焼却除去工程で生じるポーラス部位と、当該ポーラス部位へ吸着した燃焼副生物が、絶縁信頼性に大きく影響していることが分かった。すなわち、ガラス中にＢ２Ｏ３や、Ｐ２Ｏ５等の成分をとりわけ多く含有するガラスクロスは、加熱時の重量減少が大きく、ガラスクロスの製造過程でガラス表面からガラス成分が抜け、ガラスクロス表面がポーラスになる傾向がある。そうすると、当該ポーラス部位に起因して、以下の（１）～（３）に説明するように絶縁不良が引き起こされると考えられる。
（１）従来の表面処理剤によるガラス表面の被覆方法では、ポーラス部位への均一な表面処理が困難であり、局所的にガラスクロス表面に外部環境の影響を受けやすい部位が発生する。そこを起点に、ガラスクロスの保管期間中、或いは、ガラスクロスを用いてプリプレグ、及びプリント配線板が製造された後に、ガラスクロス表面、或いはガラスクロスと樹脂の境界面に吸湿が生じやすくなり、絶縁不良が引き起こされるものと考えられる。
（２）ポーラス部位には、有機物の加熱分解時に生じる燃焼副生物が吸着するため、より一層、均一な表面処理を困難なものとしている。また、燃焼副生物が外部環境からの吸湿を促進することにより、絶縁不良が引き起こされると考えられる。
（３）加熱時の重量減少が大きいガラス組成はそもそも吸湿性が高い傾向にあるため、ガラスクロス自身の吸湿性が非常に高くなっている。ガラスクロス自身の吸湿性が高いのに加え、上述のように、ガラス表面のポーラス化、ポーラス部位への燃焼副生物の吸着による均一な表面処理の阻害、及び燃焼副生物による吸湿促進があいまって、より一層、吸湿性が増し、絶縁不良が生じる可能性が高まっていると考えられる。
（１）従来の表面処理剤によるガラス表面の被覆方法では、ポーラス部位への均一な表面処理が困難であり、局所的にガラスクロス表面に外部環境の影響を受けやすい部位が発生する。そこを起点に、ガラスクロスの保管期間中、或いは、ガラスクロスを用いてプリプレグ、及びプリント配線板が製造された後に、ガラスクロス表面、或いはガラスクロスと樹脂の境界面に吸湿が生じやすくなり、絶縁不良が引き起こされるものと考えられる。
（２）ポーラス部位には、有機物の加熱分解時に生じる燃焼副生物が吸着するため、より一層、均一な表面処理を困難なものとしている。また、燃焼副生物が外部環境からの吸湿を促進することにより、絶縁不良が引き起こされると考えられる。
（３）加熱時の重量減少が大きいガラス組成はそもそも吸湿性が高い傾向にあるため、ガラスクロス自身の吸湿性が非常に高くなっている。ガラスクロス自身の吸湿性が高いのに加え、上述のように、ガラス表面のポーラス化、ポーラス部位への燃焼副生物の吸着による均一な表面処理の阻害、及び燃焼副生物による吸湿促進があいまって、より一層、吸湿性が増し、絶縁不良が生じる可能性が高まっていると考えられる。
【0015】
本開示において、ガラス成分由来の重量減少の大きさは、重量減少係数を指標とする。「重量減少係数」とは、加熱時のガラス成分由来の重量減少のし易さを表し、３８０℃及び２０時間の条件でガラスクロスを加熱処理したときのガラス成分由来の重量減少割合（％）と、ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる値である。重量減少が大きい低誘電ガラスクロス（例えば、Ｌ２ガラスクロス）の重量減少係数は、０．４５を超える傾向がある。そのため、本開示のガラスクロスは、従来では絶縁信頼性が劣る傾向にある、重量減少係数が０．４５超の低誘電ガラスクロスを対象としている。
【0016】
そして、本開示においては、ガラスクロスの樹脂含侵性の指標として未含浸部位数を用い、これが特定範囲となるように調整している。「未含浸部位数」とは、ガラスクロスを特定の含浸評価用試験液に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数である。未含浸部位数が特定範囲であることにより、ガラスクロスと樹脂の親和性が高まり、重量減少係数が０．４５超の低誘電ガラスクロスであっても、絶縁信頼性に優れるガラスクロスを得ることが出来る。未含浸部位数を特定範囲に調整するためには、例えば、後述するように、ポーラス部位に吸着した燃焼副生物を洗浄除去してから表面処理することが挙げられる。これによって、表面処理が均一に施されてガラスクロスと樹脂の親和性が高くなる傾向があり、未含浸部位数を本開示の特定の範囲まで大幅に低減することができ、良好な絶縁信頼性が得られる。
【0017】
〔重量減少係数〕
本開示のガラスクロスは、３８０℃及び２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下である。重量減少係数は、好ましくは０．４７以上０．８５以下であり、より好ましくは０．４８以上０．８０以下である。
本開示のガラスクロスは、３８０℃及び２時間の加熱処理におけるガラス成分由来の重量減少割合（％）と、ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）との積として求められる重量減少係数が、０．４５超０．９０以下である。重量減少係数は、好ましくは０．４７以上０．８５以下であり、より好ましくは０．４８以上０．８０以下である。
【0018】
「ガラス成分由来の重量減少割合」とは、加熱処理中にガラス成分の揮発等により、ガラス成分が消失することに起因する重量減少の割合を意味する。重量減少割合は、完成品（表面処理後）のガラスクロスを測定対象とし、アルコール類やアセトン等の良溶媒で予洗浄し、物理吸着している表面処理剤や有機系不純物付着成分を予め除去してから測定する。有機系不純物としては、ガラス糸製造過程で塗布される澱粉系サイジング剤、及び、サイジング剤のヒートクリーニング工程における燃焼残渣等が挙げられる。したがって、そのような３８０℃及び２時間の条件で加熱分解する付着成分を除去した後のガラスクロスの加熱処理後の重量減少割合は、ガラス成分由来の減少割合となる。
【0019】
この重量減少割合は、ガラス糸のフィラメント径に依存することが確認された。ガラスフィラメント径によって、重量減少割合は異なり、フィラメント径が小さいほど重量減少量が大きくなる。一方で、重量減少割合とフィラメント半径の積は、フィラメント径によらずほぼ一定値になる。そのため、本開示では、重量減少割合をフィラメント径で規格化し、これを「重量減少係数」と定義している。
【0020】
重量減少係数が０．４５超であることにより、従来の技術では（そのままでは）絶縁信頼性に劣る。しかしながら、本開示では、例えば、後述するヒートクリーング後のガラス成分揮発に伴うポーラス部位へ吸着した燃焼副生物の除去、および、含侵性試験を指標とするガラスクロスと樹脂との親和性の調整により、絶縁信頼性を改善することができる。また、ガラスクロスを構成するガラス糸の組成に由来して、より低誘電化されたガラスクロスを得ることができる。
【0021】
重量減少係数が０．９０以下であることにより、ガラス表面のより深い位置までガラス成分の揮発による浸食が進むことなく、シランカップリング剤の均一塗布や、燃焼残渣の洗浄除去が容易にでき、十分な絶縁信頼性が得られやすい。また、重量減少係数が０．９０以下であるとことにより、上述したポーラス部位へ吸着した燃焼副生物の除去、および含侵性試験を指標とするガラスクロスと樹脂との親和性の調整により、絶縁信頼性の低下を抑制しやすい。
【0022】
重量減少割合は、好ましくは０．０５～０．７％であり、より好ましくは０．１～０．５％であり、さらに好ましくは０．１２～０．４％である。重量減少割合が０．０５％以上であることにより、従来では（そのままでは）強度低下を引き起こしやすい。しかしながら、本開示では、例えば、鉄（Ｆｅ）含量を調整し、さらに好ましい様態としては鉄（Ｆｅ）及びフッ素（Ｆ）含量を調整することにより、強度低下を抑制することができる。また、ガラスクロスを構成するガラス糸の組成に由来して、より低い誘電率を有するガラスクロスを得ることができる。重量減少割合が０．７％以下であることにより、Ｆｅによる強度低下抑制効果が有効に作用し、著しい強度低下を抑制することができる。
【0023】
重量減少係数の算出に用いるガラスフィラメントの平均半径は、加熱処理前の平均半径である。なお、本開示において、単にガラスフィラメントというときは、ガラスモノフィラメントを意味する。ガラスフィラメントの平均半径は、好ましくは１．２５～４．５μｍであり、より好ましくは１．５～４．０μｍであり、さらに好ましくは１．７５～３．７５μｍである。
【0024】
本開示において、「物理吸着している表面処理剤」とは、ガラスフィラメントに付着している表面処理剤であって、化学結合によりガラスフィラメントに結合している表面処理剤ではないものをいう。これに対して、化学結合によりガラスフィラメントに結合している表面処理剤は、「化学吸着している表面処理剤」という。
【0025】
上記予洗浄は、物理吸着している表面処理剤や有機系不純物を除去するものであり、化学吸着している表面処理剤を除去するものではない。しかしながら、３８０℃及び２時間の条件で加熱したとしても、化学吸着しているシランカップリング剤は分解しないか、仮に一部が分解したとしても誤差範囲を超えるものではないため、本開示の重量減少割合の測定においては、化学吸着しているシランカップリング剤を上記予洗浄で除去する必要はない。
【0026】
重量減少係数は、ガラスクロスの組成のうち、例えば、比較的に揮発しやすい成分、例えばホウ素（Ｂ）含量などの増減により調整することができ、同様の観点からその他の成分の増減によっても調整することができる。
【0027】
重量減少係数は、ガラスクロスにおけるガラスの空間充填率の調整（織密度や厚さ）、開繊加工等によるガラス糸束を構成するモノフィラメントの解し具合の調整、ガラス糸のモノフィラメント径の調整等により、ガラス表面が高温雰囲気に晒される機会の増減によっても調整することができる。即ち、重量減少係数は、ガラスクロスの組成のみによって決定されるものではない。
【0028】
〔未含侵部位数〕
本開示のガラスクロスは、粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液（含浸評価用試験液Ａ）に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合（経糸緯糸重複面積割合）である。｝で求められる値以下である。
本開示のガラスクロスは、粘度６８０ｍＰａ・ｓのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂含有ベンジルアルコール溶液（含浸評価用試験液Ａ）に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合（経糸緯糸重複面積割合）である。｝で求められる値以下である。
【0029】
含浸評価用試験液Ａで測定される未含浸部位数の好ましい範囲は、下式（２）で求められる値以下であり、より好ましい範囲は下式（３）で求められる値以下であり、さらに好ましい範囲は下式（４）で求められる値以下である。
１．７５×ｅ（α×０．５３） ・・・式（２）
１．７０×ｅ（α×０．４７） ・・・式（３）
１．６０×ｅ（α×０．４０） ・・・式（４）
｛ｅ及びαは、式（１）に定義したものと同一である。｝
１．７５×ｅ（α×０．５３） ・・・式（２）
１．７０×ｅ（α×０．４７） ・・・式（３）
１．６０×ｅ（α×０．４０） ・・・式（４）
｛ｅ及びαは、式（１）に定義したものと同一である。｝
【0030】
本開示のガラスクロスは、マトリクス樹脂を低誘電化するためにより嵩高い樹脂を用いた場合にも安定した高い含浸性を得る観点から、粘度６５０ｍＰａ・ｓのひまし油（含浸評価用試験液Ｂ）に温度２５℃で３分間浸漬した際の未含浸部位数が、下記（１）：
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合（経糸緯糸重複面積割合）である。｝で求められる値以下であることが好ましい。
１．８×ｅ（α×０．５８） ・・・式（１）
｛式（１）中、ｅは、ネイピア数であり、αは、ガラスクロス表面の面積に対する、経糸と緯糸が重なっている部位の面積の割合（経糸緯糸重複面積割合）である。｝で求められる値以下であることが好ましい。
【0031】
含浸評価用試験液Ｂで測定される未含浸部位数のより好ましい範囲は、下式（２）で求められる値以下であり、さらに好ましい範囲は下式（３）で求められる値以下であり、さらにより好ましい範囲は下式（４）で求められる値以下である。
１．７５×ｅ（α×０．５３） ・・・式（２）
１．７０×ｅ（α×０．４７） ・・・式（３）
１．６０×ｅ（α×０．４０） ・・・式（４）
｛ｅ及びαは、式（１）に定義したものと同一である。｝
１．７５×ｅ（α×０．５３） ・・・式（２）
１．７０×ｅ（α×０．４７） ・・・式（３）
１．６０×ｅ（α×０．４０） ・・・式（４）
｛ｅ及びαは、式（１）に定義したものと同一である。｝
【0032】
含浸評価用試験液Ａ又はＢで測定される未含浸部位数が、式（１）で求められる値以下であれば、加熱時の重量減少が大きな低誘電ガラスであっても、優れた絶縁信頼性が得られるので好ましい。未含侵部位数の下限値は、０以上であり、０超であってよい。
【0033】
経糸緯糸重複面積割合αは、ガラスクロスを表面から観察した時、経糸と緯糸が重なっている部分が表面全体に占める割合であり、実施例に記載の方法で求められる値である。本発明者らは、含浸性評価試験では、ガラスクロス表面と樹脂の親和性が同等でも、経糸と緯糸の重なり度合いによって未含侵部位数に影響を受けることに着目し、未含浸部位数の絶対値そのものではなく、経糸緯糸重複面積割合αに応じて求められる未含侵部位数こそが、ガラスクロス表面と樹脂の親和性の指標、良好な絶縁信頼性を得るための指標となることを見出した。上述の通り、未含浸部位数が経糸緯糸重複面積割合αに応じて求められる値以下であるとき、良好な絶縁信頼性を得ることができる。
【0034】
ガラスクロスを含浸評価用試験液Ａ又はＢに３分間浸漬した際の未含浸部位数は、例えば、ヒートクリーニング工程の後に、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する方法等によって調整することができる。
【0035】
〔ガラスクロスの構成〕
本開示のガラスクロスを構成するガラス糸は、複数本のフィラメントを束ね、必要に応じて撚って得られるものである。この場合、ガラス糸はマルチガラスフィラメントであり、ガラス糸に含まれるフィラメント（ガラスフィラメント）はモノガラスフィラメントにそれぞれ分類される。
本開示のガラスクロスを構成するガラス糸は、複数本のフィラメントを束ね、必要に応じて撚って得られるものである。この場合、ガラス糸はマルチガラスフィラメントであり、ガラス糸に含まれるフィラメント（ガラスフィラメント）はモノガラスフィラメントにそれぞれ分類される。
【0036】
経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均直径は、各々独立して、好ましくは２．５～９μｍであり、より好ましくは３．０～８μｍであり、さらに好ましくは３．５～７．５μｍである。目的とするガラスクロスの厚さによって、モノガラスフィラメントの平均直径を適時選択して用いることができる。
【0037】
経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均本数は、各々独立して、好ましくは３０本以上２５０本以下であり、より好ましくは３５本以上２３０本以下であり、さらに好ましくは４０本以上２２０本以下である。目的とするガラスクロスの厚さによって、モノガラスフィラメントの平均本数を適時選択して用いることができる。
【0038】
ガラスクロスを構成する経糸及び緯糸の打ち込み密度は、好ましくは３０～１２０本／２５ｍｍであり、より好ましくは４０～１１０本／２５ｍｍであり、さらに好ましくは５０～１００本／２５ｍｍである。目的とするガラスクロスの厚さによって、経糸及び緯糸の打ち込み密度を適時選択して用いることができる。
【0039】
ガラスクロスの厚さは、好ましくは５～１００μｍであり、より好ましくは６～９８μｍであり、さらに好ましくは７～９６μｍである。ガラスクロスの厚さが上記範囲内であることにより、薄くて比較的に強度の高いガラスクロスが得られる傾向にある。また、ガラスクロスの厚さが上記範囲内であれば、加熱時の重量減少係数および含浸評価における未含侵部位数を本開示の特定の範囲に調整することにより、誘電特性に優れ、且つ、絶縁信頼性に優れるガラスクロスが得られやすいので好ましい。
【0040】
ガラスクロスの布重量（目付け）は、好ましくは８～２５０ｇ／ｍ２であり、より好ましくは８～１５０ｇ／ｍ２であり、さらに好ましくは８～１２０ｇ／ｍ２であり、特に好ましくは８～１００ｇ／ｍ２である。
【0041】
ガラスクロスの強熱減量値の好ましい範囲は、下式（ｉ）で求められる値以上であり、より好ましい範囲は下式（ｉｉ）で求められる値以上であり、さらに好ましい範囲は下式（ｉｉｉ）で求められる値以上である。
５．０×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉ）
６．０×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉｉ）
６．４×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉｉｉ）
式（ｉ）～（ｉｉｉ）中、Ｆはガラス糸のフィラメント直径（μｍ）である。
５．０×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉ）
６．０×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉｉ）
６．４×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉｉｉ）
式（ｉ）～（ｉｉｉ）中、Ｆはガラス糸のフィラメント直径（μｍ）である。
【0042】
ガラスクロスの強熱減量値は、加熱条件下におけるガラスクロス自体の重量減少と、シランカップリング剤が燃焼除去されることに由来する重量減少を合わせた値であり、単位は質量％である。ガラスクロスの強熱減量値が上記式（ｉ）～（ｉｉｉ）のいずれかで求められる下限値以上であると、シランカップリング剤の塗布量が十分であることによる絶縁信頼性に優れる傾向にあるため好ましい。
【0043】
上記ガラスクロスの強熱減量値の下限値と組み合わせることができる上限値は、好ましくは下式（ｉｖ）で求められる値以下であり、より好ましくは下式（ｖ）で求められる値以下であり、さらに好ましくは下式（ｖｉ）で求められる値以下である。
１８×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉｖ）
１６×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｖ）
１５×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｖｉ）
式（ｉｖ）～（ｖｉ）中、Ｆはガラス糸のフィラメント直径（μｍ）である。
１８×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｉｖ）
１６×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｖ）
１５×Ｆ（－１．６） ・・・式（ｖｉ）
式（ｉｖ）～（ｖｉ）中、Ｆはガラス糸のフィラメント直径（μｍ）である。
【0044】
ガラスクロスの強熱減量値が上記式（ｉｖ）～（ｖｉ）のいずれかで求められる上限値以下であることにより、シランカップリング剤の被膜形成による含浸阻害が生じ難いため、絶縁信頼性に優れる傾向にあるため好ましい。
【0045】
ガラスクロスの織構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造が好ましい。
【0046】
〔ガラスクロスの組成〕
以下、本開示のガラスクロスの組成について説明する。なお、ガラスクロスの組成とは、ガラスクロスを構成するガラス糸の組成と同義である。
以下、本開示のガラスクロスの組成について説明する。なお、ガラスクロスの組成とは、ガラスクロスを構成するガラス糸の組成と同義である。
【0047】
ガラスクロスを構成する元素としては、ケイ素（Ｓｉ）、ホウ素（Ｂ）、アルミニウム（Ａｌ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、リン（Ｐ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタン（Ｔｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、鉄（Ｆｅ）、及びフッ素（Ｆ）等から成る群より選択される少なくとも一つが挙げられる。
【0048】
ガラスクロスのＳｉ含量は、ＳｉＯ２換算で、好ましくは４０～６０質量％であり、より好ましくは４５～５５質量％であり、さらに好ましくは４７～５３質量％であり、４８～５２質量％である。Ｂ含量は、Ｂ２Ｏ３換算で、好ましくは１５～３０質量％であり、より好ましくは１７～２８質量％であり、さらに好ましくは２０～２７質量％であり、よりさらに好ましくは２１～２５質量％であり、さらにより好ましくは２１～２４質量％である。Ｐ含量は、Ｐ２Ｏ５換算で、好ましくは１～８質量％であり、より好ましくは２．０～６．５質量％であり、さらに好ましくは２．５～６．０質量％であり、よりさらに好ましくは３．０～５．０質量％である。Ａｌ含量は、Ａｌ２Ｏ３換算で、好ましくは１０～２０質量％であり、より好ましくは１２～１８質量％であり、さらに好ましくは１４～１７質量％である。Ｃａ含量は、好ましくは１．０～６．０質量％であり、好ましくは２．０～５．０質量％であり、より好ましくは２．５～４．０質量％である。Ｍｇ含量は、ＭｇＯ換算で、好ましくは５．０質量％以下であり、より好ましくは３．０質量％以下であり、さらに好ましくは０．００１～１．０質量％以下であり、よりさらに好ましくは０．００５～０．５質量％以下であり、さらにより好ましくは０．００５～０．３質量％以下である。
【0049】
ガラスクロスのホウ素（Ｂ）含有量とリン（Ｐ）含有量の和が、それぞれＢ２Ｏ３換算、Ｐ２Ｏ５換算において、２５．０質量％以上４０．０質量％以下であることが好ましい。ホウ素（Ｂ）含有量とリン（Ｐ）含有量の和のより好ましい範囲は、２５．５質量％以上３５．０質量％以下であり、さらに好ましい範囲は２６．０質量％以上３２．０質量％以下であり、さらにより好ましい範囲は２６．５質量％以上３１．０質量％以下である。ホウ素（Ｂ）含有量とリン（Ｐ）含有量の和が上記下限値以上であると、良好な誘電特性が得られる傾向にある。また、ホウ素（Ｂ）含有量とリン（Ｐ）含有量の和が上記下限値以上であると、従来では（そのままでは）、ガラスクロスの吸湿性が大きく、吸湿による電気特性の変化や、吸湿による絶縁信頼性の低下が生じやすいが、本開示において、ガラスクロスと樹脂との親和性を高めることで、電気特性の安定性や、優れた絶縁信頼性が得られるため、良好な電気特性と、電気特性の安定性、優れた絶縁信頼性が、同時に得られるため好ましい。ホウ素（Ｂ）含有量とリン（Ｐ）含有量の和が上記上限値以下であれば、ガラスクロスの吸湿性が大きくなりすぎないため、本開示において、ガラスクロスと樹脂との親和性を高めることで、電気特性の変動や絶縁信頼性の低下を抑えることができるため好ましい。
【0050】
ガラスクロスの組成が上記範囲内であるとき、ガラスクロスの誘電特性が向上する傾向にあるため好ましい。また、ガラスクロスの組成が上記範囲内であるとき、加熱時の構成成分の揮発が多く、従来であれば（そのままでは）絶縁信頼性に劣るため実用性に欠ける傾向にある。しかしながら、本開示のガラスクロスは、含浸評価における未含侵部位数を調整することにより、優れた絶縁信頼性を有するため、誘電特性と絶縁信頼性の両方を向上させることが可能となるため好ましい。
【0051】
上述の各元素の含有量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により調整することができる。また、ガラスフィラメント作製中に、作製条件、使用量又は含量が変動し得る場合には、それを予め見越して、原料の仕込み量を調整することができる。
【0052】
〔表面処理剤〕
本開示のガラスクロスは表面処理剤により表面処理されたものである。表面処理剤としては、特に制限されないが、例えば、シランカップリング剤が挙げられ、必要に応じて水、有機溶剤、酸、染料、顔料、界面活性剤等を合わせて用いてもよい。シランカップリング剤としては、特に制限されないが、例えば、下記式（５）：
Ｘ（Ｒ）３－ｎＳｉＹｎ ・・・（５）
｛式（５）中、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも１つを有する有機官能基であり、Ｙは、各々独立して、アルコキシ基であり、ｎは、１以上３以下の整数であり、Ｒは、各々独立して、メチル基、エチル基及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。｝で示される化合物が挙げられる。
本開示のガラスクロスは表面処理剤により表面処理されたものである。表面処理剤としては、特に制限されないが、例えば、シランカップリング剤が挙げられ、必要に応じて水、有機溶剤、酸、染料、顔料、界面活性剤等を合わせて用いてもよい。シランカップリング剤としては、特に制限されないが、例えば、下記式（５）：
Ｘ（Ｒ）３－ｎＳｉＹｎ ・・・（５）
｛式（５）中、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも１つを有する有機官能基であり、Ｙは、各々独立して、アルコキシ基であり、ｎは、１以上３以下の整数であり、Ｒは、各々独立して、メチル基、エチル基及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。｝で示される化合物が挙げられる。
【0053】
式（５）中、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基から選択される少なくとも１つの基を、合計で好ましくは３つ以上、より好ましくは４つ以上有する有機官能基である。
【0054】
上記Ｙのアルコキシ基としては、いずれの形態も使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化の観点から、炭素数５以下のアルコキシ基が好ましい。Ｙのアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基及びブトキシ基等が挙げられる。
【0055】
シランカップリング剤としては、具体的には、Ｎ－β－（Ｎ－ビニルベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ビニルベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）－Ｎ－γ－（Ｎ－ビニルベンジル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリエトキシシラン及びその塩酸塩、γ－（２－アミノエチル）アミノプロピルトリメトキシシラン、γ－（２－アミノエチル）アミノプロピルトリエトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の公知の単体、又はこれらの混合物が挙げられる。
【0056】
シランカップリング剤の分子量は、好ましくは１００～６００であり、より好ましくは１５０～５００であり、さらに好ましくは２００～４５０である。この中でも、分子量が異なる２種類以上のシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる２種類以上のシランカップリング剤を用いてガラス糸の表面を処理することにより、ガラスクロスの表面における表面処理剤密度が高くなり、マトリックス樹脂との反応性がさらに向上する傾向にある。
【0057】
《ガラスクロスの製造方法》
本開示のガラスクロスの製造方法は、特に限定されないが、例えば、製織工程と、ヒートクリーニング工程と、洗浄工程と、次いで、表面処理剤で処理する工程を含む方法が挙げられる。重量減少係数、及び未含浸部位数を本開示の特定範囲に調整する観点で、方法は、以下：複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；製織されたガラスクロス生機を加熱して脱糊処理（ヒートクリーニング）する工程と；脱糊処理されたガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波で洗浄する工程と；超音波で洗浄されたガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程とを含むことが好ましい。
本開示のガラスクロスの製造方法は、特に限定されないが、例えば、製織工程と、ヒートクリーニング工程と、洗浄工程と、次いで、表面処理剤で処理する工程を含む方法が挙げられる。重量減少係数、及び未含浸部位数を本開示の特定範囲に調整する観点で、方法は、以下：複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸を経糸及び緯糸として製織して、ガラスクロス生機を得る工程と；製織されたガラスクロス生機を加熱して脱糊処理（ヒートクリーニング）する工程と；脱糊処理されたガラスクロス生機を、周波数２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の超音波で洗浄する工程と；超音波で洗浄されたガラスクロス生機を表面処理して、表面処理されたガラスクロスを得る工程とを含むことが好ましい。
【0058】
〔製織〕
製織方法は、所定の織構造となるように緯糸と縦糸を織るものであれば特に制限されない。使用するガラス糸の好ましい構成及び組成は、上述のとおりである。ガラスクロスの織構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造が好ましい。
製織方法は、所定の織構造となるように緯糸と縦糸を織るものであれば特に制限されない。使用するガラス糸の好ましい構成及び組成は、上述のとおりである。ガラスクロスの織構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造が好ましい。
【0059】
〔ヒートクリーニング〕
ヒートクリーニング方法としては、特に制限されないが、例えば、サイジング剤を加熱除去する方法が挙げられる。サイジング剤は、製織工程等においてガラス糸の糸切れなどが生じないよう保護する目的で用いられるものである。このようなサイジング剤としては、特に制限されないが、例えば、澱粉系バインダー、ポリビニルアルコール系バインダー等が挙げられる。サイジング剤を加熱除去する際の温度としては、十分にサイジング剤を除去する観点、ガラス成分の揮発を抑える観点、燃焼副生物の生成を抑える観点から、好ましくは３００～５００℃であり、より好ましくは３３０～４５０℃であり、さらに好ましくは３５０～４３０℃である。
ヒートクリーニング方法としては、特に制限されないが、例えば、サイジング剤を加熱除去する方法が挙げられる。サイジング剤は、製織工程等においてガラス糸の糸切れなどが生じないよう保護する目的で用いられるものである。このようなサイジング剤としては、特に制限されないが、例えば、澱粉系バインダー、ポリビニルアルコール系バインダー等が挙げられる。サイジング剤を加熱除去する際の温度としては、十分にサイジング剤を除去する観点、ガラス成分の揮発を抑える観点、燃焼副生物の生成を抑える観点から、好ましくは３００～５００℃であり、より好ましくは３３０～４５０℃であり、さらに好ましくは３５０～４３０℃である。
【0060】
〔超音波洗浄〕
未含侵部位数を本開示の特定範囲に調整する観点で、ヒートクリーニング工程後に、超音波等による洗浄を施すことが好ましい。超音波洗浄に用いる液体としては、水、又は有機溶媒のいずれも使用できるが、安全性及び地球環境保護の観点から、水を主成分とする液体を用いることが好ましい。洗浄に用いる液体には、洗浄の効率を上がるために、界面活性剤やｐＨ調整剤を加えることも可能である。
未含侵部位数を本開示の特定範囲に調整する観点で、ヒートクリーニング工程後に、超音波等による洗浄を施すことが好ましい。超音波洗浄に用いる液体としては、水、又は有機溶媒のいずれも使用できるが、安全性及び地球環境保護の観点から、水を主成分とする液体を用いることが好ましい。洗浄に用いる液体には、洗浄の効率を上がるために、界面活性剤やｐＨ調整剤を加えることも可能である。
【0061】
超音波洗浄に用いる液体の温度は、特に限定されないが、洗浄効果を高める観点で、５℃以上が好ましい。また、安全性の観点から６０℃以下が好ましい。
【0062】
超音波洗浄工程中の経糸に作用するライン張力は、３０Ｎ～５０００Ｎ／１ｍが好ましい。経糸に作用するライン張力が３０Ｎ／１ｍ以上で、ガラスクロスに弛みがなく均一に張られている場合、超音波による洗浄力をより均一に作用させることができ、未含侵部位数が少なくなりやすい。
【0063】
超音波洗浄は、ガラスクロスの組成や構成するガラス糸のＴＥＸ、ガラス糸束の形状、超音波洗浄中にガラスクロスに作用するライン張力、超音波洗浄中の液温、及び溶存酸素量の加工条件にもよるが、好ましくは、２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の周波数を有する超音波を用いることができる。超音波の周波数は、好ましくは２０ＧＨｚ以上５０ＧＨｚ以下、より好ましくは２０ＧＨｚ以上３０ＧＨｚ以下である。２０ＧＨｚ以上７０ＧＨｚ以下の周波数を有する超音波を用いれば、ガラスクロスの目曲り等の発生が少なく洗浄処理を行えるので好ましい。
【0064】
超音波洗浄には、０．０７Ｗ／ｃｍ２以上３．６０Ｗ／ｃｍ２以下の出力の超音波を用いることができる。超音波出力のより好ましい範囲は０．１４Ｗ／ｃｍ２以上２．１６Ｗ／ｃｍ２以下、更に好ましい範囲は０．２１Ｗ／ｃｍ２以上１．４４Ｗ／ｃｍ２以下である。超音波出力が０．０７Ｗ／ｃｍ２以上で良好に洗浄することができ、超音波出力が３．６０Ｗ／ｃｍ２以下で目曲りなどの発生が少なく、均一な洗浄を行うことができるので好ましい。
【0065】
超音波洗浄時間は、０．５秒以上６０秒以下であることが好ましい。超音波洗浄時間が０．５秒以上であると、より良好に洗浄することができるので好ましい。超音波洗浄時間は長い方が大きな洗浄効果が得られるので好ましいが、６０秒を超えて処理しても更なる洗浄は殆どないので、６０秒以下で十分である。
【0066】
超音波洗浄に用いる液体中には、通常、窒素や酸素を主成分とする空気が溶存しているところ、該溶存酸素量は１ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下であることが好ましい。溶存酸素量のより好ましい範囲は３ｐｐｍ以上１７ｐｐｍ以下であり、更に好ましい範囲は４ｐｐｍ以上１４ｐｐｍ以下である。溶存酸素量を管理することで、間接的に溶存気体量を制御することが可能であり、超音波が溶存気体により減衰される程度を制御することが可能となる。
【0067】
超音波洗浄を行うにあたって、ガラスクロスを液体中に浸入させる前に、ガラスクロスを当該液体で濡らすことにより、ガラスクロスに含まれる空気を排出しておくことが好ましい。濡らす操作は、ガラスクロスに液体を噴霧すること等により行うことができる。また、ガラスクロスを液体中で走行させる際に、超音波処理により発生する気泡が留まらないように、水平方向に対して傾斜をつけてガラスクロスを搬送させることが好ましい。傾斜は、構成するガラス糸のフィラメント径やフィラメント数、糸束形状等のガラスクロス構造、あるいは、ガラスクロスを走行させる速度、超音波洗浄を行う液体の温度、溶存酸素量等の加工条件にもよるが、例えば０．３°以上、１°以上、１０°以上、１５°以上、３０°以上、４５°以上、６０°以上、又は７５°以上であってよい。傾斜の上限は、限定されないが、例えば９０°以下、７５°以下、６０°以下、４５°以下、３０°以下、１５°以下、１０°以下、又は１°以下とすることができる。傾斜の方向は、例えば、ガラスクロスの進行方向川下に向かって高くなるように、すなわち、ガラスクロスの走行が進むにつれて、垂直方向に高くなるように傾斜をつけることが好ましい。超音波処理による気泡の発生を抑止し、また、気泡がガラスクロスに接触した状態が続くことを回避することで、超音波のキャビテーションによる洗浄作業が均一に作用すると推測され、それによって、ガラスクロス面内で含侵性のバラツキが低減し、より十分な含侵性が得られる傾向にある。
【0068】
〔表面処理〕
表面処理工程を行う方法としては、シランカップリング剤等の表面処理剤をガラスクロスと接触させ、乾燥等する方法が挙げられる。ガラスクロスへの表面処理剤の接触は、表面処理剤中にガラスクロスを浸漬させる方法、およびロールコーター、ダイコーター、又はグラビアコーター等を用いてガラスクロスに表面処理剤を塗布する方法等が挙げられる。表面処理剤の乾燥方法としては、特に制限されないが、例えば、熱風乾燥、または電磁波を用いる乾燥方法が挙げられる。
表面処理工程を行う方法としては、シランカップリング剤等の表面処理剤をガラスクロスと接触させ、乾燥等する方法が挙げられる。ガラスクロスへの表面処理剤の接触は、表面処理剤中にガラスクロスを浸漬させる方法、およびロールコーター、ダイコーター、又はグラビアコーター等を用いてガラスクロスに表面処理剤を塗布する方法等が挙げられる。表面処理剤の乾燥方法としては、特に制限されないが、例えば、熱風乾燥、または電磁波を用いる乾燥方法が挙げられる。
【0069】
〔開繊〕
ガラスクロスの製造方法は、表面処理されたガラスクロスを開繊する工程を更に含んでもよい。開繊方法としては、特に制限されないが、例えば、スプレー水（高圧水開繊）、バイブロウォッシャー、超音波水、マングル等で開繊加工する方法が挙げられる。重量減少係数を本開示の特定範囲に調整し、良好な毛羽品質を得る観点で、スプレー水（高圧水開繊）が好ましい。高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧は、好ましくは１．０ｋｇ／ｃｍ２以上１５．０ｋｇ／ｃｍ２以下、より好ましくは１．０ｋｇ／ｃｍ２以上１０．０ｋｇ／ｃｍ２以下、更に好ましくは１．０ｋｇ／ｃｍ２以上５．０ｋｇ／ｃｍ２以下である。
ガラスクロスの製造方法は、表面処理されたガラスクロスを開繊する工程を更に含んでもよい。開繊方法としては、特に制限されないが、例えば、スプレー水（高圧水開繊）、バイブロウォッシャー、超音波水、マングル等で開繊加工する方法が挙げられる。重量減少係数を本開示の特定範囲に調整し、良好な毛羽品質を得る観点で、スプレー水（高圧水開繊）が好ましい。高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧は、好ましくは１．０ｋｇ／ｃｍ２以上１５．０ｋｇ／ｃｍ２以下、より好ましくは１．０ｋｇ／ｃｍ２以上１０．０ｋｇ／ｃｍ２以下、更に好ましくは１．０ｋｇ／ｃｍ２以上５．０ｋｇ／ｃｍ２以下である。
【0070】
《プリプレグ》
本開示のプリプレグは、上記ガラスクロスと、該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂組成物とを有する。上記ガラスクロスを有するプリプレグは、絶縁信頼性がより向上したものとなり、最終製品の歩留まりの高いものとなる。また、誘電特性に優れ、耐吸湿性に優れるために使用環境の影響、特に高湿度環境で誘電率の変動が小さい、プリント配線板を提供することができるという効果も奏することができる。
本開示のプリプレグは、上記ガラスクロスと、該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂組成物とを有する。上記ガラスクロスを有するプリプレグは、絶縁信頼性がより向上したものとなり、最終製品の歩留まりの高いものとなる。また、誘電特性に優れ、耐吸湿性に優れるために使用環境の影響、特に高湿度環境で誘電率の変動が小さい、プリント配線板を提供することができるという効果も奏することができる。
【0071】
プリプレグは、常法に従って製造することができる。例えば、ガラスクロスに、エポキシ樹脂のようなマトリックス樹脂を有機溶剤で希釈したワニスを含浸させた後、乾燥炉にて有機溶剤を揮発させ、熱硬化性樹脂をＢステージ状態（半硬化状態）にまで硬化させることにより製造することができる。
【0072】
マトリックス樹脂組成物としては、上述のエポキシ樹脂の他に、ビスマレイミド樹脂、シアネートエステル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド－トリアジン樹脂（ＢＴ樹脂）、官能基化ポリフェニレンエーテル樹脂等の熱硬化性樹脂；ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、全芳香族ポリエステルの液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリブタジエン、フッ素樹脂等の熱可塑性樹脂；及び、それらの混合樹脂等が挙げられる。誘電特性、耐熱性、耐溶剤性、及びプレス成形性を向上させる観点から、マトリックス樹脂組成物としては、熱可塑性樹脂を熱硬化性樹脂で変性した樹脂を用いてもよい。
【0073】
マトリックス樹脂組成物は、樹脂中にシリカ及び水酸化アルミニウム等の無機充填剤；臭素系、リン系、金属水酸化物等の難燃剤；その他シランカップリング剤；熱安定剤；帯電防止剤；紫外線吸収剤；顔料；着色剤；滑沢剤等を含んでいてもよい。
【0074】
《プリント配線板》
本開示のプリント配線板は、本開示のガラスクロスを備えており、そして所望により、ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物の硬化物も備えることができる。本開示のプリント配線板は、絶縁信頼性がより向上したものとなり、最終製品の歩留まりの高いものとなる。また、誘電特性に優れ、耐吸湿性に優れるために使用環境の影響、特に高湿度環境で誘電率の変動が小さいという効果も奏することができる。
本開示のプリント配線板は、本開示のガラスクロスを備えており、そして所望により、ガラスクロスに含浸したマトリックス樹脂組成物の硬化物も備えることができる。本開示のプリント配線板は、絶縁信頼性がより向上したものとなり、最終製品の歩留まりの高いものとなる。また、誘電特性に優れ、耐吸湿性に優れるために使用環境の影響、特に高湿度環境で誘電率の変動が小さいという効果も奏することができる。
【実施例0075】
以下、本開示の実施例及び比較例を具体的に説明する。しかしながら、本開示は、以下の実施例及び比較例によって何ら限定されるものではない。
【0076】
《測定及び評価方法》
〔ガラスクロスの物性〕
ガラスクロスの物性、具体的には、ガラスクロスの厚さ、経糸及び緯糸を構成するフィラメントの径、フィラメント数、経糸及び緯糸の打ち込み密度（織密度）、強熱減量値は、ＪＩＳ Ｒ３４２０に準拠して測定した。
〔ガラスクロスの物性〕
ガラスクロスの物性、具体的には、ガラスクロスの厚さ、経糸及び緯糸を構成するフィラメントの径、フィラメント数、経糸及び緯糸の打ち込み密度（織密度）、強熱減量値は、ＪＩＳ Ｒ３４２０に準拠して測定した。
【0077】
〔ガラスクロスの組成〕
ガラスクロスの組成は、ＩＣＰ発光分光分析装置（日立ハイテクサイエンス社製のＰＳ３５２０ＶＤＤＩＩ）を用いて測定した。より具体的に、Ｓｉ含量及びＢ含量は、秤取したガラスクロスを炭酸ナトリウムで融解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定した。Ａｌ含量、Ｃａ含量、Ｐ含量及びＭｇ含量は、秤取したガラスクロスを過塩素酸、硫酸、硝酸及びフッ化水素により加熱分解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定した。
ガラスクロスの組成は、ＩＣＰ発光分光分析装置（日立ハイテクサイエンス社製のＰＳ３５２０ＶＤＤＩＩ）を用いて測定した。より具体的に、Ｓｉ含量及びＢ含量は、秤取したガラスクロスを炭酸ナトリウムで融解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定した。Ａｌ含量、Ｃａ含量、Ｐ含量及びＭｇ含量は、秤取したガラスクロスを過塩素酸、硫酸、硝酸及びフッ化水素により加熱分解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定した。
【0078】
〔重量減少係数〕
実施例、比較例及び参考例で得られた表面処理後のガラスクロスを、エタノールで洗浄し、表面に物理吸着している表面処理剤等を予め除去した。次いで、ガラスクロスを１０５℃±５℃の乾燥機の中に入れて６０分間乾燥し、その後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重量を０．１ｍｇ以下の単位で測定した（ガラスクロス重量ａ）。ついで、ガラスクロスを３８０℃で２時間加熱し、その後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重量を０．１ｍｇ以下の単位で測定した（加熱処理後のガラスクロス重量ｂ）。そして、加熱処理により減少した重量を求め、下記式より、重量減少割合（％）及び重量減少係数を算出した。なお、ガラスフィラメントの平均半径は、ＪＩＳ Ｒ３４２０に準拠してガラスクロスを構成するガラス糸のガラスフィラメントの平均直径を測定し、該平均直径の半分量として求めた。
重量減少割合（％）＝（ａ－ｂ）／ａ×１００
重量減少係数＝重量減少割合（％）×ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）
実施例、比較例及び参考例で得られた表面処理後のガラスクロスを、エタノールで洗浄し、表面に物理吸着している表面処理剤等を予め除去した。次いで、ガラスクロスを１０５℃±５℃の乾燥機の中に入れて６０分間乾燥し、その後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重量を０．１ｍｇ以下の単位で測定した（ガラスクロス重量ａ）。ついで、ガラスクロスを３８０℃で２時間加熱し、その後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重量を０．１ｍｇ以下の単位で測定した（加熱処理後のガラスクロス重量ｂ）。そして、加熱処理により減少した重量を求め、下記式より、重量減少割合（％）及び重量減少係数を算出した。なお、ガラスフィラメントの平均半径は、ＪＩＳ Ｒ３４２０に準拠してガラスクロスを構成するガラス糸のガラスフィラメントの平均直径を測定し、該平均直径の半分量として求めた。
重量減少割合（％）＝（ａ－ｂ）／ａ×１００
重量減少係数＝重量減少割合（％）×ガラスフィラメントの平均半径（μｍ）
【0079】
〔経糸緯糸重複面積割合（％）〕
次の方法で、ガラスクロスを表面から観察した時の、経糸と緯糸の糸幅の平均値をそれぞれ求めた。ガラスクロスの経糸に対して直交する方向（ＴＤ方向）に沿ってカメラを走査させ、ガラスクロス全幅分の経糸の画像を取得し、経糸１本毎の糸幅を測定し、ガラスクロス全幅分の経糸幅の平均値を求めた。次に、ガラスクロスの緯糸に対して直交する方向（ＭＤ方向）に沿ってカメラを走査させ、長さ方向に１３００ｍｍの範囲の緯糸の画像を取得し、緯糸１本毎の糸幅を測定した。長さ方向に１３００ｍｍ分の緯糸幅の平均値を求めた。得られた経糸の糸幅平均値と、緯糸の糸幅平均値を用い、下式（Ａ）により、ガラスクロスを表面から観察した時に経糸と緯糸が重なっている部分が表面全体に占める割合を求めた。
｛経糸の織密度（本／２５ｍｍ）×経糸幅の平均値（ｍｍ）｝×｛緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）×緯糸幅の平均値（ｍｍ）｝／｛２５×２５｝×１００・・・（Ａ）
次の方法で、ガラスクロスを表面から観察した時の、経糸と緯糸の糸幅の平均値をそれぞれ求めた。ガラスクロスの経糸に対して直交する方向（ＴＤ方向）に沿ってカメラを走査させ、ガラスクロス全幅分の経糸の画像を取得し、経糸１本毎の糸幅を測定し、ガラスクロス全幅分の経糸幅の平均値を求めた。次に、ガラスクロスの緯糸に対して直交する方向（ＭＤ方向）に沿ってカメラを走査させ、長さ方向に１３００ｍｍの範囲の緯糸の画像を取得し、緯糸１本毎の糸幅を測定した。長さ方向に１３００ｍｍ分の緯糸幅の平均値を求めた。得られた経糸の糸幅平均値と、緯糸の糸幅平均値を用い、下式（Ａ）により、ガラスクロスを表面から観察した時に経糸と緯糸が重なっている部分が表面全体に占める割合を求めた。
｛経糸の織密度（本／２５ｍｍ）×経糸幅の平均値（ｍｍ）｝×｛緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）×緯糸幅の平均値（ｍｍ）｝／｛２５×２５｝×１００・・・（Ａ）
【0080】
〔未含浸部位数〕
実施例、比較例及び参考例で得られた長尺状のガラスクロスから、含浸性評価用のガラスクロス試験片をそれぞれ５枚採取した。次いで、ガラスクロス試験片を、含浸評価用試験液に温度２５℃で３分間浸漬した。このとき、横からＬＥＤライトの光を照射しながら、高精度カメラを装備したマイクロスコープにて含浸評価用試験液がガラスクロスに含浸する様子を観察することにより、ガラスクロス試験片を含浸評価用試験液に浸漬してから３分後の、長さ１６０μｍ以上の未含浸部位の数（含浸評価用試験液の未含浸部位）をカウントした。また、マイクロスコープで観察したガラスクロスの視野範囲は、経糸方向約３２ｍｍ、緯糸方向約３２ｍｍとした。５枚のガラスクロス試験片の未含浸部位数の平均値を求め、未含浸部位数とした。含侵用評価試験液には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（製品名「エピクロン」）をベンジルアルコール溶液で希釈して、温度２５℃における粘度６８０ｍＰａ・ｓに調整した溶液（含浸評価用試験液Ａ）、および温度２５℃における粘度６５０ｍＰａ・ｓに調整されたひまし油（製品名「ひまし油」、等級ＣＰ、林純薬工業株式会社製）（含浸評価用試験液Ｂ）をそれぞれ用いた。
実施例、比較例及び参考例で得られた長尺状のガラスクロスから、含浸性評価用のガラスクロス試験片をそれぞれ５枚採取した。次いで、ガラスクロス試験片を、含浸評価用試験液に温度２５℃で３分間浸漬した。このとき、横からＬＥＤライトの光を照射しながら、高精度カメラを装備したマイクロスコープにて含浸評価用試験液がガラスクロスに含浸する様子を観察することにより、ガラスクロス試験片を含浸評価用試験液に浸漬してから３分後の、長さ１６０μｍ以上の未含浸部位の数（含浸評価用試験液の未含浸部位）をカウントした。また、マイクロスコープで観察したガラスクロスの視野範囲は、経糸方向約３２ｍｍ、緯糸方向約３２ｍｍとした。５枚のガラスクロス試験片の未含浸部位数の平均値を求め、未含浸部位数とした。含侵用評価試験液には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（製品名「エピクロン」）をベンジルアルコール溶液で希釈して、温度２５℃における粘度６８０ｍＰａ・ｓに調整した溶液（含浸評価用試験液Ａ）、および温度２５℃における粘度６５０ｍＰａ・ｓに調整されたひまし油（製品名「ひまし油」、等級ＣＰ、林純薬工業株式会社製）（含浸評価用試験液Ｂ）をそれぞれ用いた。
【0081】
〔絶縁信頼性評価〕
実施例、比較例及び参考例で得られた長尺状のガラスクロスから、絶縁信頼性評価用のガラスクロスサンプルを採取した。絶縁信頼性評価用のガラスクロスに、ＳＡ９０００（Ｓａｂｉｃイノベーティブプラスチックス社製）５０重量部、ＴＡＩＣ（日本化成社製）２５重量部、パーブチルＰ（日油社製）０．４重量部、熱可塑性樹脂ＳＥＢ―ＳＨ１０５３（旭化成株式会社製）１０重量部、難燃剤ＳＡＹＴＥＸ８０１０（アルベマール社製）３０重量部、球状シリカ（龍森社製）７０重量部、およびトルエン２００重量部、よりなる低誘電樹脂ワニスを含浸させ、１６０℃で２分間乾燥させ、樹脂含量が６０％のプリプレグを得た。このプリプレグをそれぞれ所定枚数重ね、さらに上下に厚さ１２μｍの銅箔を重ね、１９５℃、４０ｋｇ／ｃｍ２で６０分間加熱加圧して、厚さ約０．４ｍｍの基板を得た。得られた基板の両面の銅箔上に０．１５ｍｍ間隔のスルーホールを配する配線パターンを作製して、絶縁信頼性評価の試験用基板をそれぞれ１０枚作製した。得られた試験用基板に対して温度９５℃、湿度９５％ＲＨの雰囲気下で１０Ｖの電圧を掛け、抵抗値の変化を測定した。この際、試験開始後１０００時間以内に抵抗が１ＭΩ未満になった場合を絶縁不良としてカウントした。１０枚の試験用基板について同様の測定を行い、下記評価基準により絶縁信頼性を評価した。
Ａ：１０枚とも絶縁不良が生じなかった。
Ｂ：１枚のみ、絶縁不良が生じた。
Ｃ：２枚のみ、絶縁不良が生じた。
Ｄ：３枚以上で、絶縁不良が生じた。
実施例、比較例及び参考例で得られた長尺状のガラスクロスから、絶縁信頼性評価用のガラスクロスサンプルを採取した。絶縁信頼性評価用のガラスクロスに、ＳＡ９０００（Ｓａｂｉｃイノベーティブプラスチックス社製）５０重量部、ＴＡＩＣ（日本化成社製）２５重量部、パーブチルＰ（日油社製）０．４重量部、熱可塑性樹脂ＳＥＢ―ＳＨ１０５３（旭化成株式会社製）１０重量部、難燃剤ＳＡＹＴＥＸ８０１０（アルベマール社製）３０重量部、球状シリカ（龍森社製）７０重量部、およびトルエン２００重量部、よりなる低誘電樹脂ワニスを含浸させ、１６０℃で２分間乾燥させ、樹脂含量が６０％のプリプレグを得た。このプリプレグをそれぞれ所定枚数重ね、さらに上下に厚さ１２μｍの銅箔を重ね、１９５℃、４０ｋｇ／ｃｍ２で６０分間加熱加圧して、厚さ約０．４ｍｍの基板を得た。得られた基板の両面の銅箔上に０．１５ｍｍ間隔のスルーホールを配する配線パターンを作製して、絶縁信頼性評価の試験用基板をそれぞれ１０枚作製した。得られた試験用基板に対して温度９５℃、湿度９５％ＲＨの雰囲気下で１０Ｖの電圧を掛け、抵抗値の変化を測定した。この際、試験開始後１０００時間以内に抵抗が１ＭΩ未満になった場合を絶縁不良としてカウントした。１０枚の試験用基板について同様の測定を行い、下記評価基準により絶縁信頼性を評価した。
Ａ：１０枚とも絶縁不良が生じなかった。
Ｂ：１枚のみ、絶縁不良が生じた。
Ｃ：２枚のみ、絶縁不良が生じた。
Ｄ：３枚以上で、絶縁不良が生じた。
【0082】
〔毛羽評価〕
実施例、比較例、参考例で得られた長尺状のガラスクロスから、長さ方向１０００ｍｍの毛羽評価用サンプル５枚を採取した。毛羽評価用サンプルを検反板上に広げ、目視検査を行い、下記評価基準により毛羽品質を評価した。
Ａ：毛羽評価用サンプル５枚とも毛羽欠点が無かった。
Ｂ：毛羽評価用サンプルの４枚には、毛羽欠点が無かった。
Ｃ：毛羽評価用サンプルの３枚には、毛羽欠点が無かった。
Ｄ：毛羽評価用サンプルの２枚以上に、毛羽欠点が検出された。
実施例、比較例、参考例で得られた長尺状のガラスクロスから、長さ方向１０００ｍｍの毛羽評価用サンプル５枚を採取した。毛羽評価用サンプルを検反板上に広げ、目視検査を行い、下記評価基準により毛羽品質を評価した。
Ａ：毛羽評価用サンプル５枚とも毛羽欠点が無かった。
Ｂ：毛羽評価用サンプルの４枚には、毛羽欠点が無かった。
Ｃ：毛羽評価用サンプルの３枚には、毛羽欠点が無かった。
Ｄ：毛羽評価用サンプルの２枚以上に、毛羽欠点が検出された。
【0083】
《製造例》
〔比較例１〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４９．８質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．１質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度５２．５本／２５ｍｍ、緯糸織り密度５２．５本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。ガラスクロス生機を加熱加工により脱糊処理した後、シランカップリング処理液（メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコーニング株式会社製；Ｚ６０３０）を水に分散させた処理液）を用いて表面処理を行った。次いで、表面処理後のガラスクロスに、水圧を１０．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２に調整したスプレーで高圧水開繊を施し、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
〔比較例１〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４９．８質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．１質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度５２．５本／２５ｍｍ、緯糸織り密度５２．５本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。ガラスクロス生機を加熱加工により脱糊処理した後、シランカップリング処理液（メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコーニング株式会社製；Ｚ６０３０）を水に分散させた処理液）を用いて表面処理を行った。次いで、表面処理後のガラスクロスに、水圧を１０．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２に調整したスプレーで高圧水開繊を施し、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0084】
〔比較例２〕
開繊処理における高圧水スプレーの水圧を１８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と高くし開繊強度を上げたこと以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
開繊処理における高圧水スプレーの水圧を１８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と高くし開繊強度を上げたこと以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0085】
〔比較例３〕
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数８０ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数８０ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0086】
〔実施例１〕
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数４５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。ここで、ガラスクロスを水中で走行させる前に、ガラスクロスに含まれる空気を排出する目的で、ガラスクロスにスプレー水を噴霧してガラスクロスを濡らしてから水中に浸入させ、水中で走行させた。また、ガラスクロスを水中で走行させる際は、超音波処理による発生する気泡が留まらないように、進行方向川下に向かって高くなるよう水平方向に対して０．４°の傾斜をつけてガラスクロスを搬送させた（ガラスクロスの走行が進むにつれて、垂直方向に高くなるように傾斜をつけた）。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数４５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。ここで、ガラスクロスを水中で走行させる前に、ガラスクロスに含まれる空気を排出する目的で、ガラスクロスにスプレー水を噴霧してガラスクロスを濡らしてから水中に浸入させ、水中で走行させた。また、ガラスクロスを水中で走行させる際は、超音波処理による発生する気泡が留まらないように、進行方向川下に向かって高くなるよう水平方向に対して０．４°の傾斜をつけてガラスクロスを搬送させた（ガラスクロスの走行が進むにつれて、垂直方向に高くなるように傾斜をつけた）。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0087】
〔実施例２〕
超音波を照査する洗浄処理に用いる超音波の周波数を２５ＧＨｚとした以外は、実施例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
超音波を照査する洗浄処理に用いる超音波の周波数を２５ＧＨｚとした以外は、実施例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0088】
〔参考例１〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５１．２質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．３質量％、ＣａＯ換算８．１質量％、ＭｇＯ換算０．３質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．３質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５１．２質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．３質量％、ＣａＯ換算８．１質量％、ＭｇＯ換算０．３質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．３質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0089】
〔参考例２〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５３．１質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１５．４質量％、ＣａＯ換算２１．０質量％、ＭｇＯ換算１．９質量％、Ｂ２Ｏ３換算８．０質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５３．１質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１５．４質量％、ＣａＯ換算２１．０質量％、ＭｇＯ換算１．９質量％、Ｂ２Ｏ３換算８．０質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0090】
〔比較例４〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４６．９質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．６質量％、ＣａＯ換算３．９質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２８．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算５．６質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、実施例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数２００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４６．９質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．６質量％、ＣａＯ換算３．９質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２８．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算５．６質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、実施例１と同様にして、厚さ４６μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0091】
〔比較例５〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４９．８質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．１質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度６４．５本／２５ｍｍ、緯糸織り密度６７本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。ガラスクロス生機を加熱加工により脱糊処理した後、シランカップリング処理液（メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコーニング株式会社製；Ｚ６０３０）を水に分散させた処理液）を用いて表面処理を行った。次いで、表面処理後のガラスクロスに、水圧を８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２に調整したスプレーで高圧水開繊を施し、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４９．８質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．１質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度６４．５本／２５ｍｍ、緯糸織り密度６７本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。ガラスクロス生機を加熱加工により脱糊処理した後、シランカップリング処理液（メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコーニング株式会社製；Ｚ６０３０）を水に分散させた処理液）を用いて表面処理を行った。次いで、表面処理後のガラスクロスに、水圧を８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２に調整したスプレーで高圧水開繊を施し、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0092】
〔比較例６〕
開繊処理における高圧水スプレーの水圧を１８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と高くして開繊強度を上げたこと以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
開繊処理における高圧水スプレーの水圧を１８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と高くして開繊強度を上げたこと以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0093】
〔比較例７〕
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数８０ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数８０ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0094】
〔実施例３〕
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数４５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。ここで、ガラスクロスを水中で走行させる前に、ガラスクロスに含まれる空気を排出する目的で、ガラスクロスにスプレー水を噴霧してガラスクロスを濡らしてから水中に浸入させ、水中で走行させた。また、ガラスクロスを水中で走行させる際は、超音波処理による発生する気泡が留まらないように、進行方向川下に向かって高くなるよう水平方向に対して０．４°の傾斜をつけてガラスクロスを搬送させた（ガラスクロスの走行が進むにつれて、垂直方向に高くなるように傾斜をつけた）。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数４５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。ここで、ガラスクロスを水中で走行させる前に、ガラスクロスに含まれる空気を排出する目的で、ガラスクロスにスプレー水を噴霧してガラスクロスを濡らしてから水中に浸入させ、水中で走行させた。また、ガラスクロスを水中で走行させる際は、超音波処理による発生する気泡が留まらないように、進行方向川下に向かって高くなるよう水平方向に対して０．４°の傾斜をつけてガラスクロスを搬送させた（ガラスクロスの走行が進むにつれて、垂直方向に高くなるように傾斜をつけた）。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0095】
〔実施例４〕
超音波を照査する洗浄処理に用いる超音波の周波数を２５ＧＨｚとした以外は、実施例３と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
超音波を照査する洗浄処理に用いる超音波の周波数を２５ＧＨｚとした以外は、実施例３と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0096】
〔参考例３〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５１．２質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．３質量％、ＣａＯ換算８．１質量％、ＭｇＯ換算０．３質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．３質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５１．２質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．３質量％、ＣａＯ換算８．１質量％、ＭｇＯ換算０．３質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．３質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0097】
〔参考例４〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５３．１質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１５．４質量％、ＣａＯ換算２１．０質量％、ＭｇＯ換算１．９質量％、Ｂ２Ｏ３換算８．０質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５３．１質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１５．４質量％、ＣａＯ換算２１．０質量％、ＭｇＯ換算１．９質量％、Ｂ２Ｏ３換算８．０質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例５と同様にして、厚さ３０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0098】
〔比較例８〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４９．８質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．１質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度６０本／２５ｍｍ、緯糸織り密度５７本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。ガラスクロス生機を加熱加工により脱糊処理した後、シランカップリング処理液（メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコーニング株式会社製；Ｚ６０３０）を水に分散させた処理液）を用いて表面処理を行った。次いで、表面処理後のガラスクロスに、水圧を１２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２に調整したスプレーで高圧水開繊を施し、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算４９．８質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．１質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．９質量％、Ｐ２Ｏ５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度６０本／２５ｍｍ、緯糸織り密度５７本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。ガラスクロス生機を加熱加工により脱糊処理した後、シランカップリング処理液（メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコーニング株式会社製；Ｚ６０３０）を水に分散させた処理液）を用いて表面処理を行った。次いで、表面処理後のガラスクロスに、水圧を１２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２に調整したスプレーで高圧水開繊を施し、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0099】
〔比較例９〕
開繊処理における高圧水スプレーの水圧を１８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と高くして開繊強度を上げたこと以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
開繊処理における高圧水スプレーの水圧を１８．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と高くして開繊強度を上げたこと以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0100】
〔比較例１０〕
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数８０ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数８０ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0101】
〔実施例５〕
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数４５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。ここで、ガラスクロスを水中で走行させる前に、ガラスクロスに含まれる空気を排出する目的で、ガラスクロスにスプレー水を噴霧してガラスクロスを濡らしてから水中に浸入させ、水中で走行させた。また、ガラスクロスを水中で走行させる際は、超音波処理による発生する気泡が留まらないように、進行方向川下に向かって高くなるよう水平方向に対して０．７°の傾斜をつけてガラスクロスを搬送させた（ガラスクロスの走行が進むにつれて、垂直方向に高くなるように傾斜をつけた）。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
加熱加工により脱糊処理した後に、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数４５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ２の超音波を照射する洗浄処理を行った。ここで、ガラスクロスを水中で走行させる前に、ガラスクロスに含まれる空気を排出する目的で、ガラスクロスにスプレー水を噴霧してガラスクロスを濡らしてから水中に浸入させ、水中で走行させた。また、ガラスクロスを水中で走行させる際は、超音波処理による発生する気泡が留まらないように、進行方向川下に向かって高くなるよう水平方向に対して０．７°の傾斜をつけてガラスクロスを搬送させた（ガラスクロスの走行が進むにつれて、垂直方向に高くなるように傾斜をつけた）。また、高圧水開繊の高圧水スプレーの水圧を２．０±０．１ｋｇ／ｃｍ２と低くし開繊強度を下げた。上記以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0102】
〔実施例６〕
超音波を照査する洗浄処理に用いる超音波の周波数を２５ＧＨｚとした上記以外は、実施例５と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
超音波を照査する洗浄処理に用いる超音波の周波数を２５ＧＨｚとした上記以外は、実施例５と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0103】
〔参考例５〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５１．２質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．３質量％、ＣａＯ換算８．１質量％、ＭｇＯ換算０．３質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．３質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５１．２質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１４．３質量％、ＣａＯ換算８．１質量％、ＭｇＯ換算０．３質量％、Ｂ２Ｏ３換算２３．３質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0104】
〔参考例６〕
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５３．１質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１５．４質量％、ＣａＯ換算２１．０質量％、ＭｇＯ換算１．９質量％、Ｂ２Ｏ３換算８．０質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
ガラス糸（フィラメント直径５．１μｍ、フィラメント本数１００本、ガラス組成；ＳｉＯ２換算５３．１質量％、Ａｌ２Ｏ３換算１５．４質量％、ＣａＯ換算２１．０質量％、ＭｇＯ換算１．９質量％、Ｂ２Ｏ３換算８．０質量％、Ｐ２Ｏ５換算０．１質量％未満）を経糸および緯糸に用いる以外は、比較例８と同様にして、厚さ９０μｍ、幅１２８０ｍｍ、長さ２，０００ｍのガラスクロスを作製した。
【0105】
表１～３に、実施例、比較例及び参考例のガラスクロスの特性及び評価をまとめる。表中、未含浸部位数上限１～４は、それぞれ、上記式（１）～（４）で算出される未含浸部位数の上限を意味する。
【0106】
【表1】
【0107】
【表2】
【0108】
【表3】
【0109】
実施例の低誘電ガラスクロスは、比較例のガラスクロスに比較して、良好な絶縁信頼性が得られた。また、実施例の低誘電ガラスクロス、及び比較例３、４、７、１０のガラスクロスは、比較例１、２、５、６、８、９及び参考例のガラスクロスに対して、良好な毛羽品質が得られた。
【0110】
参考例に示した従来のＥガラス、及び加熱による重量減少が穏やかな低誘電ガラスクロスは、比較例３、７、１０と同様の含侵性評価による未含浸部位数であったが、良好な絶縁信頼性が得られた。含侵性評価では、Ｅガラス、及び加熱による重量減少が穏やかな低誘電ガラスクロスと同等の未含浸部位数であっても、絶縁信頼性に劣ることは、加熱による重量減少が大きい低誘電ガラスクロスに特有の課題であったが、本開示のガラスクロスにより解決されることが明らかとなった。