特開 2024-111985 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024111985

(43)【公開日】2024-08-20

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240813BHJP

   B65C 9/26 20060101ALI20240813BHJP

   B65C 3/00 20060101ALI20240813BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65C9/26

B65C3/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023016772

(22)【出願日】2023-02-07

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】上道 厚史

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA06

3E095AA20

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA22

3E095DA24

3E095DA42

3E095DA48

3E095EA02

3E095EA09

3E095EA13

3E095EA24

3E095EA32

3E095FA03

3E095FA08

3E095FA12

3E095FA30

5F131AA02

5F131BA51

5F131CA12

5F131CA32

5F131EA07

5F131EC33

5F131EC34

5F131EC42

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC68

5F131KA12

5F131KA44

5F131KA60

(57)【要約】

【課題】被着体に貼付された接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が当該被着体から剥がれ易くなることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端側ＡＳＡおよび他端側ＡＳＢのうち少なくとも一方に、被着体ＷＫの所定の一面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、接着シートＡＳを一面ＷＫ３に貼付する第１貼付手段２０と、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面ＷＫ１、ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、はみ出し領域ＡＳＨが別の面ＷＫ１、ＷＫ２に貼付される前に、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方を覆うように、当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておく第２貼付手段４０をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面から前記接着シートの一部がはみ出したはみ出し領域が形成されるように、前記接着シートを前記一面に貼付する第１貼付手段と、
前記はみ出し領域を前記被着体の別の面方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
前記はみ出し領域が前記別の面に貼付される前に、前記接着シートの供給方向先端部および供給方向後端部のうち少なくとも一方を覆うように、当該接着シートに剥離防止シートを貼付しておく第２貼付手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記接着シートおよび剥離防止シートのうち少なくとも接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
前記折り曲げ貼付手段は、前記接着シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記エネルギー付与手段は、前記剥離防止シートが貼付されている領域に対し、前記剥離防止シートが貼付されていない領域よりも単位面積あたりに多くの前記エネルギーを付与することを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

前記折り曲げ貼付手段は、前記はみ出し領域を別の面毎に一括で押圧する一括押圧手段をさらに備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のシート貼付装置。

【請求項5】

所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面から前記接着シートの一部がはみ出したはみ出し領域が形成されるように、前記接着シートを前記一面に貼付する第１貼付工程と、
前記はみ出し領域を前記被着体の別の面方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付工程とを実施するシート貼付方法において、
前記はみ出し領域が前記別の面に貼付される前に、前記接着シートの供給方向先端部および供給方向後端部のうち少なくとも一方を覆うように、当該接着シートに剥離防止シートを貼付しておく第２貼付工程をさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）に貼付された保護テープ（接着シート）は、その供給方向先端部や供給方向後端部が被着体から剥がれ易くなるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、被着体に貼付された接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が当該被着体から剥がれ易くなることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、はみ出し領域が別の面に貼付される前に、接着シートの供給方向先端部および供給方向後端部のうち少なくとも一方を覆うように、当該接着シートに剥離防止シートを貼付しておく（以下「構成１」ともいう）ので、被着体に貼付された接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が当該被着体から剥がれ易くなることを防止することができる。
なお、構成１を採用したことで、接着シートのはみ出し領域を被着体の別の面方向に折り曲げて貼付した後、当該接着シート上に貼付した剥離防止シートを再度被着体の別の面方向に折り曲げて貼付する必要がなくなるので、接着シートと剥離防止シートとを折り曲げて被着体に貼付する時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｌ）は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｍ）～（Ｔ）は、本発明の変形例に係る説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｊ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳ（図１（Ｃ）参照）および剥離防止シートＡＣ（図１（Ｇ）参照）を選択的に所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳＡ側（図１（Ｄ）参照）および他端ＡＳＢ側の両方に、被着体ＷＫの所定の一面としての外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２０と、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１（図１（Ｄ）参照）および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付工程を実施する折り曲げ貼付手段３０と、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付される前に、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ（図１（Ｃ）参照）および供給方向後端部ＡＳＲの両方を覆うように、当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておく第２貼付工程を実施する第２貼付手段４０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段５０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、帯状の接着シート母材ＡＢが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、接着シート母材ＡＢを第１の長さに切断して接着シートＡＳを形成するとともに、当該接着シート母材ＡＢを第２の長さに切断して剥離防止シートＡＣを形成するシート切断手段１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳまたは剥離防止シートＡＣを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳまたは剥離防止シートＡＣに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
シート切断手段１３は、駆動機器としてのエアシリンダ１３Ａと、その出力軸１３Ｂに支持されたカッター刃１３Ｃとを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。
なお、本実施形態では、熱によって変形する接着シート母材ＡＢが採用されることで、当該接着シート母材ＡＢから形成される接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣの両方は、所定のエネルギーとしての熱によって変形可能となっている。

【0012】

第１貼付手段２０は、駆動機器としての直動モータ２１と、その出力軸２１Ａに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ２２とを備えている。押圧ローラ２２は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された状態で、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧する位置に配置可能に設けられている。

【0013】

折り曲げ貼付手段３０は、接着シートＡＳに熱としての熱風ＨＡを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段３１と、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に押圧する押圧工程を実施する押圧手段３２と、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２毎に一括で押圧する一括押圧工程を実施する一括押圧手段３３（図１（Ｂ）参照）とを備えている。
エネルギー付与手段３１は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱風ＨＡを吹き付ける熱風送風機３１Ａを備えている。熱風送風機３１Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された状態で、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付されている接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣに、熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている。なお、本実施形態の熱風送風機３１Ａは、接着シートＡＳに貼付された剥離防止シートＡＣを検知する光電センサやリミットスイッチ等の検知機器を備えた図示しない剥離防止シート検知手段の検知結果を基にして、剥離防止シートＡＣが貼付されている領域に対し、剥離防止シートＡＣが貼付されていない領域よりも単位面積あたりに多くの熱風ＨＡを付与するようになっている。
押圧手段３２は、図１（Ｊ）、（Ｋ）に示すように、押圧部材としての上下一対の第１押圧ローラ３２Ａと、上下一対の第２押圧ローラ３２Ｂとを備えている。第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂは、それぞれが駆動機器としての図示しないエアシリンダの出力軸に回転可能に支持され、図１（Ａ）に示すように、基準位置ＲＰに離間接近するＤ１、Ｄ２方向に移動可能に設けられ、同図中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された状態で、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付されている接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨおよび剥離防止シートＡＣを、被着体ＷＫに押圧する位置に配置可能に設けられている。
一括押圧手段３３は、駆動機器としての直動モータ３３Ａと、その出力軸３３Ｂに支持された上押圧部材３３Ｃと、移動手段５０に支持された駆動機器としての直動モータ３３Ｄと、その出力軸３３Ｅに支持された下押圧部材３３Ｆとを備えている。なお、本実施形態の上押圧部材３３Ｃおよび下押圧部材３３Ｆの内部には、所定の第２エネルギーとしての熱を付与するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の第２エネルギー付与手段３３Ｇが配置されている。

【0014】

第２貼付手段４０は、本実施形態では第１貼付手段２０と兼用する構成となっており、当該第２貼付手段４０と兼用される押圧ローラ２２は、図１（Ｇ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された状態で、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳに、剥離防止シートＡＣを押圧する位置に配置可能に設けられている。

【0015】

移動手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１と、そのスライダ５１Ａに支持され、直動モータ３３Ｄを支持するベースプレート５２と、ベースプレート５２に支持された駆動機器としての回動モータ５３と、その出力軸５３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面５４Ａを有する支持テーブル５４とを備えている。
なお、支持テーブル５４は、回動モータ５３によってテーブル中心５４Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0016】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）、（Ｂ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で、接着シート母材ＡＢの供給方向先端部が当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、上方から見下ろした上面視で被着体中心ＷＫＣがテーブル中心５４Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面５４Ａ上に載置すると、移動手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面５４Ａでの吸着保持を開始する。その後、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５４を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、上面視でテーブル中心５４Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）と基準位置ＲＰとが一致すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。

【0017】

次に、第１貼付手段２０が直動モータ２１を駆動し、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に接着シート母材ＡＢを押圧する位置に押圧ローラ２２を移動させた後、供給手段１０および移動手段５０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５３を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させつつ接着シート母材ＡＢを供給する。これにより、接着シート母材ＡＢは、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２２によって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧されて貼付されていく。そして、図１（Ｃ）に示すように、接着シート母材ＡＢが所定長さ供給されると、供給手段１０がエアシリンダ１３Ａを駆動し、カッター刃１３Ｃを進退させて接着シート母材ＡＢを第１の長さに切断し、供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとを備えた接着シートＡＳを形成する。このようにして形成された接着シートＡＳは、図１（Ｄ）に示すように、外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で当該外周面ＷＫ３に貼付され、当該接着シートＡＳに続く接着シート母材ＡＢの供給方向先端部が、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

【0018】

その後、図１（Ｅ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが押圧ローラ２２によって被着体ＷＫに貼付された後、接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが押圧ローラ２２の手前の所定位置に到達すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、接着シート母材ＡＢの供給を再開する。これにより、接着シート母材ＡＢは、図１（Ｆ）に示すように、第２貼付手段４０としての押圧ローラ２２によって押圧され、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付されている接着シートＡＳに貼付されていく。次に、供給手段１０がエアシリンダ１３Ａを駆動し、図１（Ｇ）に示すように、カッター刃１３Ｃを進退させて接着シート母材ＡＢを第２の長さに切断し、剥離防止シートＡＣを形成する。そして、剥離防止シートＡＣに続く接着シート母材ＡＢの供給方向先端部が、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。次いで、図１（Ｈ）に示すように、剥離防止シートＡＣの供給方向後端部が押圧ローラ２２によって接着シートＡＳに貼付されると、第２貼付手段４０が直動モータ２１を駆動し、押圧ローラ２２を初期位置に復帰させる。これにより、剥離防止シートＡＣは、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方を覆うように、当該接着シートＡＳに貼付される。

【0019】

その後、折り曲げ貼付手段３０が熱風送風機３１Ａを駆動し、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。これにより、熱風送風機４１Ａの熱風吹付領域を通過したはみ出し領域ＡＳＨおよび剥離防止シートＡＣが熱風ＨＡによって変形し、図１（Ｉ）に示すように、当該はみ出し領域ＡＳＨおよび剥離防止シートＡＣが一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。なお、熱風送風機３１Ａは、接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣに熱風ＨＡを吹き付ける祭、図示しない剥離防止シート検知手段の検知結果を基にして、剥離防止シートＡＣが貼付されている領域に対し、剥離防止シートＡＣが貼付されていない領域よりも単位面積あたりに多くの熱風ＨＡを付与するようになっている。これにより、接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣを変形させるために必要とされる熱の容量が不足することを防止し、それら接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣを所望の状態にまで折り曲げることができるようになる。次に、熱風ＨＡによって変形したはみ出し領域ＡＳＨおよび剥離防止シートＡＣが第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂの押圧領域を通過すると、折り曲げ貼付手段３０が図示しないエアシリンダを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２ＢをＤ１、Ｄ２方向のうち基準位置ＲＰに接近する方向に移動させる。これにより、はみ出し領域ＡＳＨおよび剥離防止シートＡＣは、図１（Ｊ）、（Ｋ）に示すように、第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂによって２段階で折り曲げられ、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方に押圧されて貼付されていく。

【0020】

そして、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣ全体に熱風ＨＡが吹き付けられると、折り曲げ貼付手段３０が熱風送風機３１Ａの駆動を停止する。次いで、接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣが第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂによって一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の外縁部全周に亘って押圧され、一体物ＵＰが形成されると、移動手段５０が回動モータ５３の駆動を停止するとともに、折り曲げ貼付手段３０が図示しないエアシリンダを駆動し、第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂを初期位置に復帰させる。その後、折り曲げ貼付手段３０が直動モータ３３Ａ、３３Ｄを駆動し、上押圧部材３３Ｃを下降させるとともに下押圧部材３３Ｆを上昇させ、図１（Ｌ）に示すように、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２毎に一括で押圧する。この際、折り曲げ貼付手段３０が第２エネルギー付与手段３３Ｇを駆動し、接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣに熱を付与してそれらの被着体ＷＫへの密着性を向上させる。次に、一括押圧が行われて所定時間が経過すると、折り曲げ貼付手段３０が第２エネルギー付与手段３３Ｇの駆動を停止するとともに、直動モータ３３Ａ、３３Ｄを駆動し、上、下押圧部材３３Ｃ、３３Ｆを初期位置に復帰させる。そして、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５４を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面５４Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持して次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付される前に、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲの両方を覆うように、当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくので、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲが当該被着体ＷＫから剥がれ易くなることを防止することができる。

【0022】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、折り曲げ貼付手段は、はみ出し領域を被着体の別の面方向に折り曲げて貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0023】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳと剥離防止シートＡＣとが供給方向ＳＤに沿って交互に仮着された原反ＲＳから、それら接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣを交互に供給してもよいし、剥離シートＲＬに仮着された接着シート母材ＡＢに閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳや剥離防止シートＡＣとされた原反ＲＳからそれらを剥離して供給してもよいし、剥離シートＲＬに仮着された接着シート母材ＡＢを繰り出す途中で、当該接着シート母材ＡＢに閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳや剥離防止シートＡＣとされた原反ＲＳからそれらを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳや剥離防止シートＡＣを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シート母材ＡＢ、接着シートＡＳまたは剥離防止シートＡＣが採用されてもよいし、上記の実施形態のように、接着シートＡＳを供給するものと、剥離防止シートＡＣを供給するものとが同じもので構成されていてもよいし、接着シートＡＳを供給するものと、剥離防止シートＡＣを供給するものとが別々のもので構成されていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳや剥離防止シートＡＣを供給すればよい。
張力付与手段１７は、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0024】

第１貼付手段２０は、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳＡ側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う他端ＡＳＢ側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、第２貼付手段４０と兼用されることなく、当該第２貼付手段４０とは別体で構成されてもよいし、押圧ローラ２２を移動させる駆動機器が備わっていなくてもよいし、移動手段５０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、はみ出し領域ＡＳＨが形成されるように接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、押圧ローラ２２に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによって、はみ出し領域ＡＳＨが形成されるように接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、図１（Ｍ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの端縁とが接触するように突き合わせ、当該接着シートＡＳを所定の一面に貼付してもよいし、図１（Ｎ）、（Ｏ）、（Ｒ），（Ｔ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの端縁との間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートＡＳを所定の一面に貼付してもよいし、図１（Ｐ）、（Ｑ）、（Ｓ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なり合うようにして当該接着シートＡＳを所定の一面に貼付してもよいし、接着シートＡＳを貼付する所定の一面が一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２等どのような面でもよく、例えば、所定の一面としての一方の面ＷＫ１からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付してもよいし、所定の一面としての他方の面ＷＫ２からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、接着シートＡＳを他方の面ＷＫ２に貼付してもよい。

【0025】

折り曲げ貼付手段３０は、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１方向のみ、または、別の面としての他方の面ＷＫ２方向のみに折り曲げて貼付してもよいし、エネルギー付与手段３１、押圧手段３２および一括押圧手段３３のうち少なくとも１つではみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面に折り曲げて貼付してもよいし、エネルギー付与手段３１、押圧手段３２および一括押圧手段３３のうち少なくとも１つに代えてまたは併用して、傾斜ローラ、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面に折り曲げて貼付してもよいし、第１貼付手段２０で接着シートＡＳを貼付する所定の一面が一方の面ＷＫ１とされ、はみ出し領ＡＳ域を別の面としての外周面ＷＫ３や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、第１貼付手段２０で接着シートＡＳを貼付する所定の一面が他方の面ＷＫ２とされ、はみ出し領ＡＳ域を別の面としての外周面ＷＫ３や一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付してもよく、はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げて貼付する別の面は、所定の一面とは異なる別の面であればどのような面であってもよい。
折り曲げ貼付手段３０は、張力付与手段１７を備えていてもよい。この場合、接着シートＡＳとして弾性変形が可能なものを採用し、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳに所定のトルクが加わるように回動モータ１７Ａを駆動し、内在する弾性復元力により、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢となるようにしてもよい。なお、弾性復元力によって折れ曲がり姿勢となったはみ出し領域ＡＳＨは、エネルギー付与手段３１、押圧手段３２および一括押圧手段３３のうち少なくとも１つを介して一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付されてもよいし、エネルギー付与手段３１、押圧手段３２および一括押圧手段３３を介さずに一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付されてもよい。このような張力付与手段１７としては、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａを採用し、被着体ＷＫの回転速度と駆動ローラ１７Ｃの回転速度との速度差によって、接着シートＡＳに付与したりすることができる。なお、弾性変形が可能な接着シートＡＳに加える張力は、当該接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して任意に決定することができる。
エネルギー付与手段３１は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、所定の一面に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、押圧手段３２、一括押圧手段３３または他の押圧部材等を介さずに、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面方向に折り曲げたり、貼付したりしてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で所定のエネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で別の面方向に折り曲げたり、貼付したりしてもよいし、接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣに熱風ＨＡを吹き付ける祭、回動モータ５３の回転速度を変更することなく熱風送風機３１Ａの出力を高くして高温の熱風ＨＡを付与したり、熱風送風機３１Ａの出力を高くせずに回動モータ５３の回転速度を遅くしたりして、剥離防止シートＡＣが貼付されている領域に対し、剥離防止シートＡＣが貼付されていない領域よりも単位面積あたりに多くの熱風ＨＡを付与してもよいし、剥離防止シート検知手段として回動モータ５３の回転パルス信号を検知したり記憶したりするエンコーダやコンピュータ等のパルス検知機器が採用されてもよいし、剥離防止シートＡＣが貼付されている領域に対し、剥離防止シートＡＣが貼付されていない領域よりも単位面積あたりに多くの熱風ＨＡを付与しなくてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
押圧手段３２は、第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂが上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみや、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、１体または１組の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを１段階で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に押圧してもよいし、３体以上または３組以上の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを３段階以上で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に押圧してもよいし、第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂを移動させる駆動機器が備わっていなくてもよいし、第１、第２押圧ローラ３２Ａ、３２Ｂに代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによって、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に押圧してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
一括押圧手段３３は、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１のみに一括で押圧してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを他方の面ＷＫ２のみに一括で押圧してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを外周面ＷＫ３のみに一括で押圧してもよいし、接着シートＡＳや被着体ＷＫの種類によって、はみ出し領域ＡＳＨを一括で被着体ＷＫに押圧する強さや押圧する時間を変更してもよいし、上押圧部材３３Ｃや下押圧部材３３Ｆの形状は、例えば、円形、円環形、楕円形、楕円環形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよく、はみ出し領域ＡＳＨを別の面毎に一括で押圧できる形状であればどのような形状でもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
第２エネルギー付与手段３３Ｇは、第２エネルギーとしてエネルギー付与手段３１が付与するエネルギーと同種のエネルギーを付与するものでもよいし、異種のエネルギーを付与するものでもよく、例えば、第２エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、被着体ＷＫに対する接着シートＡＳの密着性を向上させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、例えば、接着シートＡＳが第２エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等によって硬化したり、変形したり、化学変化したりするものである場合、それらエネルギーを接着シートＡＳに付与して当該接着シートＡＳを硬化させたり、変形させたり、化学変化させたりしてもよいし、上押圧部材３３Ｃの内部のみに配置されていてもよいし、下押圧部材３３Ｆの内部のみに配置されていてもよいし、上押圧部材３３Ｃや下押圧部材３３Ｆの内部以外の位置に配置されていてもよく、はみ出し領域ＡＳＨを別の面毎に一括で押圧する際に接着シートＡＳに所定の第２エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに配置されていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを一括で被着体ＷＫに押圧する祭、剥離防止シートＡＣが貼付されている領域に対して出力を高くすることで、剥離防止シートＡＣが貼付されていない領域よりも単位面積あたりに多くの熱を付与するようにしてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0026】

第２貼付手段４０は、押圧ローラ２２を移動させる駆動機器が備わっていなくてもよいし、移動手段５０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、上記のようにように接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、押圧ローラ２２に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによって、上記のように接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、剥離防止シートＡＣ全体を接着シートＡＳに貼付してもよいし、剥離防止シートＡＣを部分的に接着シートＡＳに貼付してもよいし、図１（Ｍ）、（Ｎ）、（Ｐ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲを剥離防止シートＡＣで全体的に覆わないように、当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、図１（Ｏ）、（Ｑ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲを剥離防止シートＡＣで全体的に覆うように、当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、図１（Ｒ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲを覆うように、当該接着シートＡＳに複数の剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、図１（Ｓ）および図１（Ｔ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのみを覆うように、当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、図１（Ｔ）中実線で示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦのみを覆うように、当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方を覆うように、当該接着シートＡＳの一端ＡＳＡ側のみに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方を覆うように、当該接着シートＡＳの他端ＡＳＢ側のみに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方を覆うように、当該接着シートＡＳの一端ＡＳＡ側および他端ＡＳＢ側の両方に、２枚または複数の剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよいし、接着シートＡＳ全体を覆うように当該接着シートＡＳに剥離防止シートＡＣを貼付しておくようにしてもよい。
第２貼付手段４０は、第１貼付手段２０と兼用されることなく、当該第１貼付手段２０とは別体で構成されてもよい。この場合、例えば、接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣの両方を供給可能な供給手段を採用し、当該供給手段から供給された接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付するものを第１貼付手段２０とし、当該第１貼付手段２０とは別体に設けられ、供給手段から供給された剥離防止シートＡＣを接着シートＡＳに貼付するものを第２貼付手段４０としてもよいし、接着シートＡＳのみを供給する１つ目の供給手段と、剥離防止シートＡＣのみを供給する２つ目の供給手段とを別々に採用し、１つ目の供給手段から供給された接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付するものを第１貼付手段２０とし、当該第１貼付手段２０とは別体に設けられ、２つ目の供給手段から供給された剥離防止シートＡＣを接着シートＡＳに貼付するものを第２貼付手段４０としてもよい。

【0027】

移動手段５０は、保持面５４Ａでの吸着保持ができない支持テーブル５４が採用されてもよいし、リニアモータ５１、回動モータ５３および支持テーブル５４に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、第１貼付手段２０や第２貼付手段４０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳや剥離防止シートＡＣを被着体ＷＫや接着シートＡＳに貼付してもよいし、被着体ＷＫを支持テーブル５４とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0028】

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳや１枚の剥離防止シートＡＣを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳや複数の剥離防止シートＡＣを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳや剥離防止シートＡＣで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよい。
次工程は、被着体ＷＫや接着シートＡＳを対象としためっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0029】

接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣは、同一の接着シート母材から形成されたり、同種の接着シート母材から形成されたり、異種の接着シート母材から形成されたりしてもよいし、所定のエネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよいし、接着シートＡＳのみが所定のエネルギーによって変形するものでもよいし、剥離防止シートＡＣのみが所定のエネルギーによって変形するものでもよいし、接着シートＡＳのみが所定の第２エネルギーによって硬化したり、変形したり、化学変化したりするものでもよいし、剥離防止シートＡＣのみが所定の第２エネルギーによって硬化したり、変形したり、化学変化したりするものでもよいし、接着シートＡＳおよび剥離防止シートＡＣの両方が所定の第２エネルギーによって硬化したり、変形したり、化学変化したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよいし、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２が外周面ＷＫ３に隣接していてもよいし、隣接していなくてもよい。

【0030】

本発明における接着シートＡＳ、剥離防止シートＡＣ、他の接着シート、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離防止シートＡＣ、他の接着シート、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳ、剥離防止シートＡＣおよび他の接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳ、剥離防止シートＡＣおよび他の接着シートが採用された場合は、当該接着シートＡＳ、剥離防止シートＡＣおよび他の接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ、剥離防止シートＡＣおよび他の接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ、剥離防止シートＡＣおよび他の接着シートは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0031】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0032】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0033】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…第１貼付手段
３０…折り曲げ貼付手段
３１…エネルギー付与手段
３３…一括押圧手段
４０…第２貼付手段
ＡＣ…剥離防止シート
ＡＳ…接着シート
ＡＳＡ…一端側
ＡＳＢ…他端側
ＡＳＦ…供給方向先端部
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳＲ…供給方向後端部
ＨＡ…熱風（エネルギー）
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（一面）

【図1】