特開 2024-112067 圧電素子およびディスク装置用サスペンション

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024112067

(43)【公開日】2024-08-20

(54)【発明の名称】圧電素子およびディスク装置用サスペンション

(51)【国際特許分類】

   G11B 21/10 20060101AFI20240813BHJP

   G11B 21/21 20060101ALI20240813BHJP

   G11B 5/596 20060101ALI20240813BHJP

   G01N 27/24 20060101ALI20240813BHJP

   H10N 30/20 20230101ALI20240813BHJP

   H10N 30/87 20230101ALI20240813BHJP

【ＦＩ】

G11B21/10 N

G11B21/21 C

G11B5/596

G01N27/24

H10N30/20

H10N30/87

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023016907

(22)【出願日】2023-02-07

(71)【出願人】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】新井 幹男

(72)【発明者】

【氏名】米倉 亮介

【テーマコード（参考）】

2G060

【Ｆターム（参考）】

2G060AA09

2G060AE01

2G060AF10

2G060AG03

2G060AG11

2G060EA07

2G060EB05

2G060EB06

2G060EB07

2G060KA15

(57)【要約】

【課題】 クラックを容易に検出することが可能な圧電素子およびディスク装置用サスペンションを提供する。
【解決手段】 一実施形態に係る圧電素子は、第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、前記第１主面に設けられる第１電極と、前記第２主面に設けられる第２電極と、を備える。前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットと、を有し、前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れている。
【選択図】 図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、
前記第１主面に設けられる第１電極と、
前記第２主面に設けられる第２電極と、を備え、
前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットと、を有し、
前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れている、
圧電素子。

【請求項2】

前記第１スリットは、前記第１周縁に沿って複数設けられる、
請求項１に記載の圧電素子。

【請求項3】

前記第１周縁は、第１方向に延びる第１縁部と、前記第１方向に延びるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１縁部と並ぶ第２縁部と、を有し、
前記第１縁部から延びる前記第１スリットは、前記第２方向において、前記第２縁部から延びる前記第１スリットと間隔を置いて並んでいる、
請求項２に記載の圧電素子。

【請求項4】

前記第１周縁は、第１方向に延びる第１縁部と、前記第１方向に延びるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１縁部と並ぶ第２縁部と、を有し、
前記第１縁部から延びる前記第１スリットは、前記第１方向において、前記第２縁部から延びる前記第１スリットと間隔を置いて、交互に並んでいる、
請求項２に記載の圧電素子。

【請求項5】

前記第１スリットは、渦巻き形状を有する、
請求項１に記載の圧電素子。

【請求項6】

前記第１スリットは、前記第１周縁から延びる第１スリット部と、前記第１スリット部と繋がる一対の第２スリット部と、を有し、
前記第１スリット部は、前記一対の第２スリット部の間に位置し、
前記一対の第２スリット部は、前記第１スリット部に沿って延び、
前記一対の第２スリット部の端部は、前記第１周縁からそれぞれ離れている、
請求項１に記載の圧電素子。

【請求項7】

第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、
前記第１主面に設けられる第１電極と、
前記第２主面に設けられる第２電極と、を備え、
前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットを有し、
前記第２電極は、第２周縁と、第２周縁から延びる第２スリットを有し、
前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れ、
前記第２スリットの端部は、第２周縁から離れている、
圧電素子。

【請求項8】

請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電素子を備える、
ディスク装置用サスペンション。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電素子およびディスク装置用サスペンションに関する。

【背景技術】

【0002】

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置には、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクや、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジ等を含んでいる。キャリッジはアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによってピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。

【0003】

上述のアームにディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称す）が取り付けられている。サスペンションは、ロードビームや、ロードビームに重ねられたフレキシャ等を含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部には、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられている。

【0004】

スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。これらのロードビーム、フレキシャ、およびスライダ等によって、ヘッドジンバルアセンブリが構成されている。

【0005】

ディスクの高記録密度化に対応するためには、ヘッドジンバルアセンブリをさらに小形化し、かつディスクの記録面に対してスライダをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。

【0006】

磁気ヘッドの位置決め精度向上を目的として、ポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）とベースプレート側に搭載されたアクチュエータとを併用するＤＳＡ（Ｄｕａｌ Ｓｔａｇｅ Ａｃｔｕａｔｏｒ）サスペンション、さらに磁気ヘッド側にアクチュエータが搭載されたＴＳＡ（Ｔｒｉｐｌｅ Ｓｔａｇｅ Ａｃｔｕａｔｏｒ）サスペンション等が知られている。

【0007】

アクチュエータとして使用する圧電素子も小型化、薄型化が進んでいる。このような圧電素子は、製造工程等において、クラックが発生する場合がある。そのため、従来、圧電素子の検査に関して、様々な提案がなされている（例えば、特許文献１乃至特許文献４）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特許第４６５５５０４号公報

【特許文献2】特許第６５０６７０７号公報

【特許文献3】特許第５４８９９６８号公報

【特許文献4】特許第６５０６７０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

上述の特許文献１乃至特許文献４を踏まえても、圧電素子に発生したクラックの検出に関しては、未だに種々の改善の余地がある。そこで、本発明は、クラックを容易に検出することが可能な圧電素子およびディスク装置用サスペンションを提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

一実施形態に係る圧電素子は、第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、前記第１主面に設けられる第１電極と、前記第２主面に設けられる第２電極と、を備える。前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットと、を有し、前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れている。

【0011】

前記第１スリットは、前記第１周縁に沿って複数設けられてもよい。前記第１周縁は、第１方向に延びる第１縁部と、前記第１方向に延びるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１縁部と並ぶ第２縁部と、を有してもよく、前記第１縁部から延びる前記第１スリットは、前記第２方向において、前記第２縁部から延びる前記第１スリットと間隔を置いて並んでもよい。

【0012】

前記第１周縁は、第１方向に延びる第１縁部と、前記第１方向に延びるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１縁部と並ぶ第２縁部と、を有してもよく、前記第１縁部から延びる前記第１スリットは、前記第１方向において、前記第２縁部から延びる前記第１スリットと間隔を置いて、交互に並んでもよい。

【0013】

前記第１スリットは、渦巻き形状を有してもよい。前記第１スリットは、前記第１周縁から延びる第１スリット部と、前記第１スリット部と繋がる一対の第２スリット部と、を有してもよく、前記第１スリット部は、前記一対の第２スリット部の間に位置してもよく、前記一対の第２スリット部は、前記第１スリット部に沿って延びてもよく、前記一対の第２スリット部の端部は、前記第１周縁からそれぞれ離れてもよい。

【0014】

一実施形態に係る圧電素子は、第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、前記第１主面に設けられる第１電極と、前記第２主面に設けられる第２電極と、を備える。前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットを有し、前記第２電極は、第２周縁と、第２周縁から延びる第２スリットを有し、前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れ、前記第２スリットの端部は、第２周縁から離れている。一実施形態に係るディスク装置用サスペンションは、前記圧電素子を備える。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、クラックを容易に検出することが可能な圧電素子およびディスク装置用サスペンションを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、ディスク装置の一例を示す概略的な斜視図である。

【図2】図２は、ディスク装置の一部を示す概略的な断面図である。

【図3】図３は、第１実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図である。

【図4】図４は、第１実施形態に係るサスペンションが備える圧電素子の概略的な斜視図である。

【図5】図５は、図４に示された圧電素子を示す概略的な平面図である。

【図6】図６は、圧電素子と検査装置とを模式的に示す図である。

【図7】図７は、検査装置による圧電素子の検査工程の一例を示すフローチャートである。

【図8】図８は、比較例に係る圧電素子の概略的な斜視図である。

【図9】図９は、比較例に係る圧電素子にクラックが発生した状態を説明するための図である。

【図10】図１０は、第１実施形態に係る圧電素子にクラックが発生した状態を説明するための図である。

【図11】図１１は、第２実施形態における電極の概略的な平面図である。

【図12】図１２は、第３実施形態における電極の概略的な平面図である。

【図13】図１３は、第４実施形態における電極の概略的な平面図である。

【図14】図１４は、第５実施形態における電極の概略的な平面図である。

【図15】図１５は、第６実施形態における電極の概略的な平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下に図面を参照しながら、本発明の各実施形態について説明する。説明をより明確にするため、図面において、各部分のサイズ、形状等を実際の実施態様に対して変更して模式的に表す場合がある。

【0018】

なお、図面には、必要に応じて理解を容易にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を記載する。Ｘ軸に沿った方向を方向Ｘと称し、Ｙ軸に沿った方向を方向Ｙと称し、Ｚ軸に沿った方向を方向Ｚと称する。また、方向Ｚを上または上方と称し、方向Ｚと反対の方向を下または下方と称する場合がある。方向Ｚは、方向Ｘと方向Ｙを含む平面に対して法線方向である。方向Ｚと平行に各種要素を見ることを平面視という。以下各実施形態において、方向Ｘは第１方向の一例に相当し、方向Ｙは第２方向の一例に相当する。

【0019】

［第１実施形態］
図１は、ディスク装置（ＨＤＤ）１の一例を示す概略的な斜視図である。ディスク装置１は、図１に示す例において、ケース２と、スピンドル３を中心に回転する複数の磁気ディスク（これ以降、単にディスク４と称す）と、ピボット軸５を中心に旋回可能なキャリッジ６と、キャリッジ６を駆動するためのポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）７と、を備える。ケース２は、図示しない蓋によって密閉される。

【0020】

図２は、ディスク装置１の一部を示す概略的な断面図である。キャリッジ６には、図１および図２に示すように、複数（例えば、３つ）のアーム８が設けられる。複数のアーム８の先端部には、サスペンション１０がそれぞれ取り付けられる。サスペンション１０の先端部には、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられる。ディスク４が高速で回転すると、ディスク４とスライダ１１との間に空気が流入することによって、エアベアリングが形成される。

【0021】

ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、スライダ１１がディスク４の所望トラックまで移動する。スライダ１１の先端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子が設けられる。この素子によって、ディスク４に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。

【0022】

図３は、本実施形態に係るサスペンション１０の概略的な平面図である。本実施形態においては、サスペンション１０の一例として、ＴＳＡタイプのサスペンションを開示する。サスペンション１０は、ベースプレート２０と、ロードビーム３０と、フレキシャ４０と、を備えている。

【0023】

ベースプレート２０は、アーム８（図２に示す）と接続される。ベースプレート２０は、例えばステンレス鋼等の金属材料によって形成される。ベースプレート２０は、ボス部２１を有する。ベースプレート２０は、ボス部２１を介して、アーム８に取り付けられる。

【0024】

ロードビーム３０は、ステンレス鋼等の金属材料によって形成される。ロードビーム３０は、先端（図３中左側）に向けて先細りな形状を有する。ロードビーム３０は，ばね部３１を介してベースプレート２０に弾性的に支持される。ロードビーム３０は、例えばレーザを用いたスポット溶接によりベースプレート２０に固定される。

【0025】

フレキシャ４０は、ベースプレート２０およびロードビーム３０に沿って配置される。フレキシャ４０は、例えばレーザを用いたスポット溶接によりベースプレート２０およびロードビーム３０に固定される。フレキシャ４０は、ベースプレート２０よりも後方（図３中右側）に向けて延びている部分を有する。

【0026】

フレキシャ４０は、例えば薄いステンレス鋼の板からなるメタルベース（図示しない）と、メタルベースに重ねられた配線部（図示しない）と、を有する。フレキシャ４０の先端部４０Ａには、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられる。

【0027】

サスペンション１０は、圧電素子１２，１３と、スライダ１１の両側に配置される一対の圧電素子１４Ａ，１４Ｂと、をさらに備える。圧電素子１４Ａ，１４Ｂは、例えば、フレキシャ４０のスライダ１１が搭載される面の反対側の面に搭載されてもよい。圧電素子１２，１３は、開口２３，２５にそれぞれ収容される。

【0028】

開口２３，２５は、例えば、ベースプレート２０およびロードビーム３０等によって規定される。開口２３，２５によって、アクチュエータ搭載部が形成される。開口２３，２５は、図３に示すように、サスペンション１０の幅方向に並ぶ。圧電素子１２，１３は、接着材によって、開口２３，２５に固定される。接着材は、例えばエポキシ樹脂等の電気絶縁性の樹脂接着材である。

【0029】

ここで、圧電素子１２，１３の構造の一例について、圧電素子１２を用いて説明する。例えば、圧電素子１３も圧電素子１２と同様の構造を有する。

【0030】

図４は、本実施形態に係るサスペンション１０が備える圧電素子１２の概略的な斜視図である。図５は、図４に示された圧電素子１２を示す概略的な平面図である。図５においては、圧電素子１２を方向Ｚと反対の方向に見ている。

【0031】

圧電素子１２は、図４に示すように、圧電体１５と、電極１７Ａ，１７Ｂと、を備える。本実施形態において、電極１７Ａは第１電極の一例に相当し、電極１７Ｂは第２電極の一例に相当する。

【0032】

圧電体１５は、電圧が印加されると、圧電効果によって伸縮する。圧電体１５は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成される。圧電体１５は、複数の層によって形成されてもよいし、単一の層によって形成されてもよい。

【0033】

圧電体１５は、例えば、方向Ｘに長尺な略直方体形状を有する。言い換えると、圧電体１５は、平面視において、略長方形状を有する。なお、圧電体１５は、直方体形状以外の他の形状を有してもよい。圧電体１５は、例えば、略立方体形状を有してもよい。

【0034】

圧電体１５は、方向Ｚにおいて、第１主面１５１と、第１主面１５１の反対側に位置する第２主面１５３と、を有する。第１主面１５１および第２主面１５３は、例えば、方向Ｘおよび方向Ｙによって規定されるＸ－Ｙ平面と平行な面である。ここで、平行には、Ｘ－Ｙ平面に対してわずかに傾く場合も含む。

【0035】

電極１７Ａ，１７Ｂは、例えばスパッタリングあるいはめっき等によって平坦な面に形成される。電極１７Ａ，１７Ｂは、例えば、金等の金属材料によって形成される。

【0036】

電極１７Ａは第１主面１５１に設けられ、電極１７Ｂは第２主面１５３に設けられる。電極１７Ｂは、例えば、電極１７Ａと同様の形状を有する。図４に示す例において、方向Ｚと反対の方向に見た際における電極１７Ａの形状は、方向Ｚに見た際における電極１７Ｂの形状と同じである。なお、方向Ｚと反対の方向に見た際における電極１７Ａの形状は、方向Ｚと反対の方向に見た際における電極１７Ｂの形状と同じであってもよい。以下、電極１７Ａについて、説明する。

【0037】

電極１７Ａは、平面視において、略長方形状を有する。電極１７Ａは、周縁５０を有する。本実施形態において、電極１７Ａの周縁５０は、第１周縁の一例に相当する。周縁５０は、例えば、方向Ｚにおいて、第１主面１５１の周縁と重なる。言い換えると、電極１７Ａは、第１主面１５１の全体を覆うように形成される。

【0038】

電極１７Ａは、一対の縁部５１Ａ，５１Ｂと、一対の縁部５１Ｃ，５１Ｄと、を有する。本実施形態において、縁部５１Ａは第１縁部の一例に相当し、縁部５１Ｂは第２縁部の一例に相当する。

【0039】

一対の縁部５１Ａ，５１Ｂは、図４および図５に示す例において、周縁５０の長辺の側に位置し、一対の縁部５１Ｃ，５１Ｄは、周縁５０の短辺の側に位置する。一対の縁部５１Ａ，５１Ｂは、方向Ｘに延びるとともに、方向Ｙに並ぶ。一対の縁部５１Ｃ，５１Ｄは、方向Ｙに延びるとともに、方向Ｘに並ぶ。

【0040】

電極１７Ａは、複数のスリット６１～６４を有する。本実施形態において、スリット６１～６４は第１スリットの一例に相当する。図５においては、複数のスリット６１～６４にドットを付している。

【0041】

複数のスリット６１～６４は、電極１７Ａを方向Ｚに貫通する。第１主面１５１の一部は、複数のスリット６１～６４から露出する。複数のスリット６１～６４は、周縁５０に沿って設けられる。

【0042】

具体的には、複数のスリット６１，６２は縁部５１Ａから縁部５１Ｂに向けて延び、複数のスリット６３，６４は縁部５１Ｂから縁部５１Ａに向けて延びる。複数のスリット６１～６４は、例えば、Ｙ軸と平行に形成される。

【0043】

図５に示すように、スリット６１は端部６１ａを有し、スリット６２は端部６２ａを有し、スリット６３は端部６３ａを有し、スリット６４は端部６４ａを有する。端部６１ａ～６４ａは、周縁５０から離れている。

【0044】

具体的には、端部６１ａ，６２ａは縁部５１Ｂから離れ、端部６３ａ，６４ａは縁部５１Ａから離れている。他の観点において、スリット６１～６４の端部６１ａ～６４ａは、周縁５０に向けて開口していない。

【0045】

スリット６１の方向Ｙの長さは、スリット６２の方向Ｙの長さよりも小さい。スリット６４の方向Ｙの長さは、スリット６３の方向Ｙの長さよりも小さい。例えば、スリット６１の方向Ｙの長さはスリット６４の方向Ｙの長さと等しく、スリット６２の方向Ｙの長さはスリット６３の方向Ｙの長さと等しい。

【0046】

スリット６１，６４の方向Ｙの長さは、例えば、電極１７Ａの方向Ｙの長さの半分よりも小さい。スリット６２，６３の方向Ｙの長さは、例えば、電極１７Ａの方向Ｙの長さの半分よりも大きい。複数のスリット６１～６４の方向Ｘの長さ（幅）は、小さいほうが好ましい。

【0047】

方向Ｘにおいて、スリット６１はスリット６２と間隔を置いて交互に並び、スリット６３はスリット６４と間隔を置いて交互に並ぶ。例えば、スリット６１およびスリット６２は方向Ｘに等間隔に並び、スリット６３およびスリット６４は方向Ｘに等間隔に並ぶ。方向Ｙにおいて、スリット６１はスリット６３と間隔を置いて並び、スリット６２はスリット６４と間隔を置いて並ぶ。

【0048】

電極１７Ａは、複数の導電部７１をさらに有する。複数の導電部７１は、方向Ｙにおいて、スリット６１の端部６１ａとスリット６３の端部６３ａとの間、およびスリット６２の端部６２ａとスリット６４の端部６４ａとの間に位置する。

【0049】

縁部５１Ｃ，５１Ｄとスリット６１，６３との間の領域Ａ１（図５に示す）は、導電部７１によって、スリット６１，６３とスリット６２，６４との間の領域Ａ２（図５に示す）と電気的に接続される。ここで、電気的に接続されるとは、導通状態にあることをいう。同様に、方向Ｘに隣接する領域Ａ２は、導電部７１によって、電気的に接続される。

【0050】

上述の通り、電極１７Ｂは、電極１７Ａと同様の形状を有する。本実施形態において、電極１７Ｂの周縁５０は、第２周縁の一例に相当する。電極１７Ｂは、複数のスリット６１～６４を有する。本実施形態において、電極１７Ｂのスリット６１～６４は第２スリットの一例に相当する。電極１７Ｂは、複数の導電部をさらに有する。

【0051】

電極１７Ａは、例えば、縁部５１Ｄの近傍に給電接続部１７１（図５に示す）を有する。給電接続部１７１の位置は、この例に限られない。電極１７Ａの給電接続部１７１は、例えば、ベースプレート２０（図３に示す）と電気的に接続され、電極１７Ｂの給電接続部は、例えば、フレキシャ４０（図３に示す）の配線部と電気的に接続される。

【0052】

続いて、圧電素子１２を検査するための検査装置２００の一例について説明する。

【0053】

図６は、圧電素子１２と検査装置２００とを模式的に示す図である。図６においては、圧電素子１２を断面にて示している。図６においては、圧電素子１２以外のサスペンション１０を構成する部材を省略している。圧電素子１２は、上述の通り、圧電体１５および電極１７Ａ，１７Ｂを備える。検査装置２００は、例えば、測定装置２１０と、制御装置２３０と、を備える。

【0054】

測定装置２１０、電極１７Ａと電極１７Ｂとの間に所定の電圧を印加する。測定装置２１０は、例えば、図示しない電源等を有している。電圧は、例えば、交流電圧であるが、この例に限られない。印加される電圧の大きさは、例えば、予め設定される。

【0055】

測定装置２１０は、測定用接触子２２１，２２３を介して、電極１７Ａ，１７Ｂの給電接続部１７１と電気的に接続される。例えば、測定用接触子２２１が電極１７Ａと接触し、測定用接触子２２３が電極１７Ｂと接触する。

【0056】

測定装置２１０は、さらに、圧電素子１２に電圧が印加された際、静電容量（キャパシタンス）を測定する。測定装置２１０による測定結果は、制御装置２３０に出力される。

【0057】

制御装置２３０は、測定装置２１０と通信可能に接続される。制御装置２３０は、例えば、半導体集積回路、電子部品、および回路基板等の組み合わせである。制御装置２３０は、各種データ及び各種プログラムを記憶している記憶装置（図示しない）と、これらプログラムを実行するプロセッサ（図示しない）とを有する。

【0058】

制御装置２３０は、判定モジュール２３１を含む。制御装置２３０は、例えば、上述のプロセッサが記憶装置に記憶されているプログラムを実行することにより判定モジュール２３１およびその他の各種機能を実現する。

【0059】

判定モジュール２３１は、圧電素子１２がクラックを有するか否かを判定する判定手段として機能する。具体的には、判定モジュール２３１は、測定装置２１０によって測定された静電容量に基づいて、圧電素子１２がクラックを有するか否かを判定する。

【0060】

検査装置２００は、例えば、圧電素子１２，１３が搭載されたサスペンション１０を用いて、圧電素子１２，１３を検査する。なお、測定用接触子２２１，２２３は、フレキシャ４０のテール部の端子部と接触させてもよい。当該端子部は、圧電素子１２，１３の電極１７Ａ，１７Ｂと電気的に接続されている。この場合も、圧電素子１２，１３が搭載されたサスペンション１０を用いて、圧電素子１２，１３を検査することが可能である。ただし、検査装置２００は、圧電素子１２，１３が搭載される前において、圧電素子１２，１３を検査してもよい。

【0061】

続いて、検査装置２００による圧電素子１２の検査工程について説明する。
図７は、検査装置２００による圧電素子１２の検査工程の一例を示すフローチャートである。

【0062】

まず、工程ＳＴ１０１において、測定用接触子２２１，２２３が電極１７Ａ，１７Ｂの給電接続部１７１にそれぞれ接触する。続いて、工程ＳＴ１０２において、測定装置２１０が測定用接触子２２１，２２３を介して、電極１７Ａと電極１７Ｂとの間に電圧を印加する。

【0063】

続いて、工程ＳＴ１０３において、測定装置２１０が静電容量を測定する。最後に、工程ＳＴ１０４において、制御装置２３０の判定モジュール２３１が測定された静電容量に基づき、圧電素子１２がクラックを有するか否かを判定する。

【0064】

例えば、測定された静電容量が基準値の範囲内に収まっていない場合、判定モジュール２３１は圧電素子１２がクラックを有すると判定し、測定された静電容量が基準値の範囲内に収まっている場合、判定モジュール２３１は圧電素子１２がクラックを有さないと判定する。

【0065】

基準値は、例えば、予め制御装置２３０が備える記憶装置に記憶される。当該判定結果は、検査装置２００が備えるディスプレイ等の表示手段（図示しない）に表示されてもよい。

【0066】

図８は、比較例に係る圧電素子１００の概略的な斜視図である。比較例に係る圧電素子１００は、圧電体１５と、電極１１０Ａ，１１０Ｂと、を備える。電極１１０Ａは、圧電体１５の第１主面１５１の全体に形成され、電極１１０Ｂは圧電体１５の第２主面１５３の全体に形成される。電極１１０Ａ，１１０Ｂは、スリットをそれぞれ有していない。

【0067】

図９は、比較例に係る圧電素子１００にクラックＣＲが発生した状態を説明するための図である。圧電素子には、マイクロクラック等と呼ばれるクラックが発生する場合がある。このクラックは、圧電素子の一方の長辺の側から他方の長辺の側に向けて発生しやすい。また、このクラックは、圧電素子の短辺方向や厚さ方向の途中までしか形成されない。

【0068】

比較例に係る圧電素子１００は、クラックＣＲを有する。クラックＣＲは、マイクロクラックである。クラックＣＲは、例えば、電極１１０Ａの側において、電極１１０Ａおよび圧電体１５に発生している。クラックＣＲは、例えば、縁部５１Ｂから縁部５１Ａに向けて形成される。ただし、クラックＣＲは、縁部５１Ａまでは到達していない。

【0069】

電極１１０Ａにおいて、縁部５１ＤとクラックＣＲとの間の領域は、縁部５１ＣとクラックＣＲとの間の領域と電気的に接続されている。このような場合、圧電素子１００に電圧が印加されると、電極１１０Ａの全体に電流が流れる。そのため、圧電素子１００の静電容量は、圧電素子１００がクラックＣＲを有さない場合と比較して、ほとんど変化しない。

【0070】

図１０は、本実施形態に係る圧電素子１２にクラックＣＲが発生した状態を説明するための図である。圧電素子１２は、クラックＣＲを有する。クラックＣＲは、複数のスリット６１～６４のうちのスリット（図１０においてはスリット６２Ａとして示す）と交差している。

【0071】

この場合、電極１７Ａは、導通領域Ｐ１と、非導通領域Ｐ２と、を有する。図１０においては、非導通領域Ｐ２にドットを付している。非導通領域Ｐ２は、クラックＣＲおよびスリット６２Ａによって、導通領域Ｐ１と電気的に接続されていない。

【0072】

具体的には、方向Ｘに隣接する領域Ａ２は、クラックＣＲおよびスリット６２Ａによって、電気的に接続されていない。このような場合、圧電素子１２に電圧が印加されると、導通領域Ｐ１には電流が流れるが、非導通領域Ｐ２には電流が流れない。

【0073】

平面視において、導通領域Ｐ１の面積は、電極１７Ａの面積よりも小さい。言い換えると、電極１７Ａのうち、電極面として機能する部分が小さくなる。そのため、圧電素子１２の静電容量は、圧電素子１２がクラックＣＲを有さない場合と比較して、小さくなる。

【0074】

これにより、図７を用いて説明した工程ＳＴ１０４において、制御装置２３０の判定モジュール２３１は、圧電素子１２がクラックＣＲを有すると判定する。その結果、圧電素子１２の検査工程において、クラックＣＲを検出することができる。

【0075】

ここでは、電極１７Ａの側にクラックＣＲが発生する例について説明したが、電極１７Ｂの側にクラックＣＲが発生する場合についても同様にある。

【0076】

以上のように構成された圧電素子１２，１３および圧電素子１２，１３が搭載されたサスペンション１０であれば、マイクロクラックのようなクラックＣＲを容易に検出することが可能である。具体的には、圧電素子１２の電極１７Ａは、複数のスリット６１～６４を有する。スリット６１～６４の端部６１ａ～６４ａは、周縁５０から離れている。

【0077】

圧電素子１２，１３にクラックＣＲが発生する前においては、電極１７Ａの全体に電流が流れる。一方、圧電素子１２，１３にクラックＣＲが発生すると、クラックＣＲおよびスリット６１～６４によって、電極１７Ａには導通領域Ｐ１（図１０に示す）と非導通領域Ｐ２（図１０に示す）とが形成される。導通領域Ｐ１の面積は、電極１７Ａの全体の面積よりも小さい。

【0078】

そのため、圧電素子１２，１３の静電容量は、クラックＣＲが発生する前と比較して、小さくなる。言い換えると、圧電素子１２，１３では、クラックＣＲの有無を静電容量の変化として検出することが可能である。その結果、本実施形態であれば、マイクロクラックのようなクラックＣＲを容易に検出することが可能である。

【0079】

本実施形態において、電極１７Ｂは、電極１７Ａと同様の形状を有する。そのため、クラックＣＲが電極１７Ｂの側に発生した場合、電極１７Ｂにも導通領域Ｐ１と非導通領域Ｐ２とが形成される。

【0080】

本実施形態であれば、圧電素子１２，１３において、電極１７Ａの側に発生したクラックＣＲだけでなく、電極１７Ｂの側に発生したクラックＣＲも検出することが可能である。

【0081】

本実施形態であれば、画像検査や目視検査等の外観検査ではなく、クラックＣＲの有無を静電容量の変化によって検出する。そのため、画像検査や目視検査では隠れて見えない部分に発生したクラックＣＲについても検出することが可能である。

【0082】

さらに、マイクロクラックのようなクラックＣＲは、長期的に大きなクラックへ進展する場合がある。本実施形態であれば、検査工程においてクラックＣＲを検出することで
大きなクラックの発生を抑制し、信頼性の高い圧電素子１２，１３を提供することができる。

【0083】

本実施形態において、圧電素子１２，１３を搭載したサスペンション１０を用いて、クラックＣＲを検出することが可能である。そのため、製造工程で発生したクラックＣＲを検出することが可能である。これにより、信頼性の高い圧電素子１２，１３を搭載したサスペンション１０を提供することができる。

【0084】

本実施形態において、複数のスリット６１，６２は縁部５１Ａから延び、複数のスリット６３，６４は縁部５１Ｂから延びる。さらに、方向Ｘにおいて、スリット６１はスリット６２と間隔を置いて交互に並び、スリット６３はスリット６４と間隔を置いて交互に並ぶ。

【0085】

これにより、縁部５１Ａ，５１ＢのどちらからクラックＣＲが発生した場合であっても、電極１７Ａには、導通領域Ｐ１と非導通領域Ｐ２とが形成されやすい。その結果、本実施形態であれば、クラックＣＲの検出精度を向上することが可能である。以上説明した他にも、本実施形態からは種々の好適な作用が得られる。

【0086】

本実施形態において、電気特性の変化の一例として、静電容量の変化によって、クラックＣＲを検出する例を開示するが、静電容量以外の電気特性の変化によってクラックＣＲを検出してもよい。

【0087】

本実施形態において、スリット６１～６４は、電極１７Ａ，１７Ｂのどちらか一方のみに形成されてもよい。複数のスリット６１～６４の数は、図示した数よりも多くてもよいし、少なくてもよい。

【0088】

本実施形態において、圧電素子１２，１３を用いて電極の形状について説明するが、磁気ヘッド側に搭載される圧電素子１４Ａ，１４Ｂの電極にも適用することができる。

【0089】

次に、他の実施形態について説明する。以下の各実施形態においては、電極に適用可能な形状について説明する。なお、以下に述べる他の実施形態において、上述した第１実施形態と同様の構成要素には、第１実施形態と同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略あるいは簡略化する場合がある。

【0090】

［第２実施形態］
図１１は、本実施形態における電極１７Ｃの概略的な平面図である。電極１７Ｃは、複数のスリット９１，９２を有する。本実施形態において、スリット９１，９２は第１スリットの一例に相当する。図１１においては、複数のスリット９１，９２にドットを付している。

【0091】

複数のスリット９１，９２は、電極１７Ｃを方向Ｚに貫通する。複数のスリット９１は縁部５１Ａから縁部５１Ｂに向けて延び、複数のスリット９２は縁部５１Ｂから縁部５１Ａに向けて延びる。スリット９１，９２は、例えば、Ｙ軸と平行に形成される。

【0092】

スリット９１は端部９１ａを有し、スリット９２は端部９２ａを有する。端部９１ａ，９２ａは、周縁５０から離れている。具体的には、端部９１ａは縁部５１Ｂから離れ、端部９２ａは縁部５１Ａから離れている。他の観点において、スリット９１，９２の端部９１ａ，９２ａは、周縁５０に向けて開口していない。

【0093】

スリット９１の方向Ｙの長さは、例えば、スリット９２の方向Ｙの長さと等しい。スリット９１，９２の方向Ｙの長さは、例えば、電極１７Ｃの方向Ｙの長さの半分よりも大きい。

【0094】

スリット９２は、方向Ｘにおいて、スリット９１と間隔を置いて、交互に並ぶ。スリット９１およびスリット９２は、例えば、方向Ｘに等間隔に並ぶ。スリット９２は、方向Ｙにおいて、スリット９１と並んでいない。

【0095】

電極１７Ｃは、複数の導電部７４，７５をさらに有する。方向Ｙにおいて、複数の導電部７４は複数のスリット９１と縁部５１Ｂとの間に位置し、複数の導電部７５は複数のスリット９２と縁部５１Ａとの間に位置する。

【0096】

縁部５１Ｄとスリット９２との間の領域Ａ４は、導電部７５によって、スリット９１とスリット９２との間の領域Ａ５と電気的に接続される。同様に、方向Ｘに隣接する領域Ａ５は、導電部７４，７５によって、電気的に接続される。

【0097】

同様に、縁部５１Ｃとスリット９１との間の領域Ａ６は、導電部７４によって、領域Ａ５と電気的に接続される。電極１７Ｃは、例えば、縁部５１Ｄの近傍に給電接続部１７１を有する。

【0098】

本実施形態の構成においても、上述の第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0099】

［第３実施形態］
図１２は、本実施形態における電極１７Ｄの概略的な平面図である。電極１７Ｄは、複数のスリット９３～９５と、スリット９６，９７と、を有する。本実施形態において、スリット９３，９４，９６，９７は第１スリットの一例に相当する。図１２においては、スリット９３～９７にドットをそれぞれ付している。

【0100】

スリット９３～９７は、電極１７Ｄを方向Ｚに貫通する。複数のスリット９３は縁部５１Ａから縁部５１Ｂに向けて延び、複数のスリット９４は縁部５１Ｂから縁部５１Ａに向けて延びる。スリット９３，９４は、例えば、Ｙ軸と平行に形成される。

【0101】

スリット９３は端部９３ａを有し、スリット９４は端部９４ａを有する。端部９３ａ，９４ａは、周縁５０から離れている。他の観点において、スリット９３，９４の端部９３ａ，９４ａは、周縁５０に向けて開口していない。スリット９３の方向Ｙの長さは、例えば、スリット９４の方向Ｙの長さと等しい。複数のスリット９３，９４は、例えば、方向Ｘにおいて、等間隔に並ぶ。

【0102】

スリット９６は縁部５１Ｃから縁部５１Ｄに向けて延び、スリット９７は縁部５１Ｄから縁部５１Ｃに向けて延びる。スリット９６，９７は、例えば、Ｘ軸と平行に形成される。スリット９６の方向Ｘの長さは、例えば、スリット９７の方向Ｘの長さと等しい。

【0103】

スリット９６は端部９６ａを有し、スリット９７は端部９７ａを有する。端部９６ａ，９７ａは、周縁５０から離れている。他の観点において、スリット９６，９７の端部９６ａ，９７ａは、周縁５０に向けて開口していない。

【0104】

複数のスリット９５は、方向Ｙに並ぶ。スリット９５は、例えば、クロス形状を有する。スリット９５は、方向Ｘに延びる部分９５Ｘと、方向Ｙに延びる部分９５Ｙと、を有する。部分９５Ｘの大きさは、部分９５Ｙの大きさと等しい。部分９５Ｘは、例えば、部分９５Ｙの中央部において、直交している。

【0105】

スリット９７、複数のスリットの部分９５Ｘ、スリット９６は、方向Ｘにおいて、この順で並ぶ。スリット９４、スリットの部分９５Ｙ、スリット９３は、方向Ｙにおいて、この順で並ぶ。

【0106】

電極１７Ｄは、複数の導電部７６，７７をさらに有する。導電部７６は、方向Ｘにおいて、スリット９５とスリット９６との間、スリット９５とスリット９５との間、およびスリット９５とスリット９７との間に位置する。

【0107】

導電部７７は、方向Ｙにおいて、スリット９３とスリット９５との間、スリット９４とスリット９５との間に位置する。スリット９５の周囲の領域Ａ７は、導電部７６，７７によって、電気的に接続される。電極１７Ｄは、例えば、縁部５１Ｄの近傍に給電接続部１７１を有する。

【0108】

本実施形態の構成においても、上述の各実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0109】

［第４実施形態］
図１３は、本実施形態における電極１７Ｅの概略的な平面図である。電極１７Ｅは、スリット９８を有する。本実施形態において、スリット９８は、第１スリットの一例に相当する。図１３においては、スリット９８にドットを付している。スリット９８は、電極１７Ｅを方向Ｚに貫通する。スリット９８は、例えば、渦巻き形状を有する。

【0110】

スリット９８は、例えば、スリット部９８１と、スリット部９８２と、を有する。スリット部９８１は、縁部５１Ａから縁部５１Ｂに向けて延びる。スリット部９８１は、縁部５１Ｂまでは到達していない。スリット部９８１は、例えば、Ｙ軸と平行に形成される。スリット部９８１の方向Ｙの長さは、例えば、電極１７Ｅの方向Ｙの長さの半分よりも大きい。

【0111】

スリット部９８２は、スリット部９８１と繋がる。スリット部９８２は、端部９８２ａを有する。端部９８２ａは、スリット９８の端部に相当する。端部９８２ａは、周縁５０から離れている。他の観点において、スリット９８は、周縁５０に向けて開口していない。

【0112】

スリット部９８２は、方向Ｘに延びる複数の部分９８２Ｘと、方向Ｙに延びる複数の部分９８２Ｙを有する。スリット部９８２は、部分９８２Ｘと部分９８２Ｙとが交互に繋がることで形成される。

【0113】

電極１７Ｅは、図１３に示すように、スリット９８によって、電流が流れない領域を有さない。言い換えると、電極１７Ｅには、スリット９８によって、他の領域と電気的に接続されていない領域が形成されない。電極１７Ｅは、例えば、スリット部９８１と縁部５１Ｄとの間に給電接続部１７１を有する。

【0114】

本実施形態の構成においても、上述の各実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、スリット９８のスリット部９８１は縁部５１Ａから延びるが、スリット部９８１は縁部５１Ｂ～５１Ｄのうちの１つから延びてもよい。

【0115】

［第５実施形態］
図１４は、本実施形態における電極１７Ｆの概略的な平面図である。電極１７Ｆは、複数（例えば、３つ）のスリット１０１を有する。本実施形態において、スリット１０１は、第１スリットの一例に相当する。図１４においては、複数のスリット１０１にドットを付している。

【0116】

複数のスリット１０１は、電極１７Ｆを方向Ｚに貫通する。複数のスリット１０１は、縁部５１Ｃから縁部５１Ｄに向けて延びる。スリット１０１は、例えば、Ｘ軸と平行に形成される。

【0117】

スリット１０１は、端部１０１ａを有する。端部１０１ａは、周縁５０から離れている。具体的には、端部１０１ａは縁部５１Ｄから離れている。他の観点において、スリット１０１の端部１０１ａは、周縁５０に向けて開口していない。

【0118】

複数のスリット１０１は、例えば、方向Ｙに沿って、等間隔に並ぶが、この例に限られない。スリット１０１の方向Ｘの長さは、例えば、電極１７Ｆの方向Ｘの長さの半分よりも大きい。

【0119】

電極１７Ｆは、導電部７８を有する。導電部７８は、複数のスリット１０１の端部１０１ａと縁部５１Ｄとの間に位置する。

【0120】

縁部５１Ａ，５１Ｂとスリット１０１との間の領域Ａ８は、導電部７８によって、スリット１０１とスリット１０１との間の領域Ａ９と電気的に接続される。同様に、方向Ｙに隣接する領域Ａ９は、導電部７８によって、電気的に接続される。電極１７Ｆは、例えば、縁部５１Ｄの近傍に給電接続部１７１を有する。

【0121】

本実施形態の構成においても、上述の各実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、スリット１０１の数は３つ限られず、２つ以下でもよいし、４つ以上でもよい。

【0122】

［第６実施形態］
図１５は、本実施形態における電極１７Ｇの概略的な平面図である。電極１７Ｇは、スリット１０２を有する。本実施形態において、スリット１０２は第１スリットの一例に相当する。図１５においては、スリット１０２にドットを付している。スリット１０２は、電極１７Ｇを方向Ｚに貫通する。

【0123】

スリット１０２は、例えば、スリット部１０２１と、一対のスリット部１０２２と、スリット部１０２３と、を有する。本実施形態において、スリット部１０２１は第１スリット部の一例に相当し、スリット部１０２２は第２スリット部の一例に相当する。

【0124】

スリット部１０２１は、縁部５１Ｃから縁部５１Ｄに向けて延びる。スリット部１０２１は、方向Ｙにおいて、一対のスリット部１０２２の間に位置する。スリット部１０２２は、スリット部１０２１と間隔を置いて並ぶ。

【0125】

一対のスリット部１０２２は、スリット部１０２１に沿って延びる。スリット部１０２１および一対のスリット部１０２２は、例えば、Ｘ軸と平行に形成される。スリット部１０２１，１０２２の方向Ｘの長さは、例えば、電極１７Ｇの方向Ｘの長さの半分よりも大きい。一対のスリット部１０２２の方向Ｘの長さは、スリット部１０２１の方向Ｘの長さよりも小さい。

【0126】

スリット部１０２３は、方向Ｙに延びる。１０２３の方向Ｙの長さは、例えば、電極１７Ｇの方向Ｙの長さの半分よりも大きい。一対のスリット部１０２２は、スリット部１０２３を介して、スリット部１０２１と繋がる。例えば、一対のスリット部１０２２は、スリット部１０２３の両端部とそれぞれ繋がり、スリット部１０２１はスリット部１０２３の中央部と繋がる。

【0127】

一対のスリット部１０２２は、端部１０２２ａをそれぞれ有する。端部１０２２ａは、スリット１０２の端部に相当する。端部１０２２ａは、周縁５０から離れている。具体的には、端部１０２２ａは縁部５１Ｃから離れている。他の観点において、スリット部１０２２の端部１０２２ａは、周縁５０に向けて開口していない。

【0128】

電極１７Ｇは、２つの導電部７９と、導電部８０と、をさらに有する。導電部７９は、一対のスリット部１０２２と縁部５１Ｃとの間に位置する。導電部８０は、スリット部１０２３と縁部５１Ｄとの間に位置する。

【0129】

縁部５１Ａ，５１Ｂとスリット部１０２２との間の領域Ａ１０は、導電部７９によって、スリット部１０２１とスリット部１０２２との間の領域Ａ１１と電気的に接続される。縁部５１Ａとスリット部１０２２との間の領域Ａ１０は、導電部８０によって、縁部５１Ｂとスリット部１０２２との間の領域Ａ１０と電気的に接続される。電極１７Ｇは、例えば、縁部５１Ｄの近傍に給電接続部１７１を有する。

【0130】

本実施形態の構成においても、上述の各実施形態と同様の効果を得ることができる。本実施形態において、スリット１０２は、スリット部１０２１と、スリット部１０２１に沿って延びる一対のスリット部１０２２と、を有する。

【0131】

例えば、縁部５１ＡからクラックＣＲが発生した場合、クラックＣＲは縁部５１Ａの側のスリット部１０２２と交差する。これにより、縁部５１Ａの側の領域Ａ１１には電気が流れなくなり、非導通領域Ｐ２の面積を大きくすることができる。すなわち、クラックＣＲが発生した際における静電容量の変化が大きくなる。その結果、クラックＣＲの検出精度をより向上することが可能である。

【0132】

以上の実施形態にて開示した発明を実施するにあたっては、ベースプレート、ロードビームやフレキシャの形状等の具体的な態様をはじめとして、ディスク装置用サスペンションを構成する各要素の具体的な態様を種々に変更できる。

【0133】

上述の各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、各実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削減してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組合せてもよい。

【0134】

圧電素子が備える２つの電極は、例えば、それぞれ異なる形状を有してもよい。具体的には、２つの電極の各々が上述の各実施形態の電極をそれぞれ有してもよい。この場合、スリットの幅は十分に小さいことが好ましい。サスペンションが複数の圧電素子を備える場合、例えば、圧電素子が搭載される位置に応じて、圧電素子が備える電極の形状が異なってもよい。

【0135】

上述の各実施形態において、スリットの各々は、方向Ｘに延びる部分および方向Ｙに延びる部分によって形成されるが、スリットは、方向Ｘ，Ｙと交差する方向に延びる部分を有してもよいし、湾曲形状の部分を有してもよい。

【符号の説明】

【0136】

１…ディスク装置、１０…サスペンション、１２，１３…圧電素子、１５…圧電体、１７Ａ～１７Ｇ…電極、２０…ベースプレート、３０…ロードビーム、４０…フレキシャ、５０…周縁、５１Ａ～５１Ｄ…縁部、６１～６４…スリット、６１ａ～６４ａ…端部、９１～９８…スリット、９１ａ～９４ａ…端部、９６ａ，９７ａ…端部、１０１，１０２…スリット、１０１ａ…端部、１５１…第１主面、１５３…第２主面、９８１，９８２…スリット部、９８２ａ…端部、１０２１～１０２３…スリット部、１０２２ａ…端部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】