特開 2024-112149 ロードポート装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024112149

(43)【公開日】2024-08-20

(54)【発明の名称】ロードポート装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240813BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023017033

(22)【出願日】2023-02-07

(71)【出願人】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001494

【氏名又は名称】前田・鈴木国際特許弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】小番 達裕

(72)【発明者】

【氏名】上嶋 明尭

(72)【発明者】

【氏名】下條 恭

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131DA05

5F131DA32

5F131GA14

5F131GA33

5F131GA74

5F131GA92

5F131HA09

5F131HA12

5F131HA13

5F131JA04

5F131JA12

5F131JA24

(57)【要約】

【課題】容器のポートと流路との接続を検出できるロードポート装置を提供する。
【解決手段】容器を載置する載置部を有するロードポート装置が、上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、前記可動部が、前記上昇位置と前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動が可能となるように、前記可動部を支持するベース部と、前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直に前記可動部から延出し、前記可動部と一体に移動する被検出部と、前記被検出部の位置を検出する検出部と、を有する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動が可能となるように、前記可動部を支持するベース部と、
前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直に前記可動部から延出し、前記可動部と一体に移動する被検出部と、
前記被検出部の位置を検出する検出部と、
を有するロードポート装置。

【請求項2】

前記可動部の移動軸周りの回転を抑止する回転抑止部をさらに有する請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項3】

前記回転抑止部は、前記被検出部の前記移動の方向に沿って前記被検出部が通過可能な間隙を形成する一対の間隙形成部材を有し、前記一対の間隙形成部材は、前記被検出部の前記移動の方向および前記被検出部の前記延出する方向に略垂直な方向に沿って前記被検出部の両側に対向して配置される請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項4】

前記回転抑止部は、前記可動部の外周面の近傍に向き合うように配置される回転防止ガイドを有する請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項5】

前記被検出部は、ロッド状であり、前記可動部に対して着脱可能である請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項6】

前記可動部は、前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直な複数の方向に前記被検出部を装着可能な複数の装着部を有する請求項５に記載のロードポート装置。

【請求項7】

前記可動部は、少なくとも前記下降位置において、前記ベース部の下表面より下方に配置される底部ブロックを有し、
前記被検出部は、前記底部ブロックに装着してある請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項8】

前記流路に接続される配管は、前記被検出部が装着される位置とは異なる位置で、前記底部ブロックに装着してある請求項７に記載のロードポート装置。

【請求項9】

前記検出部は、前記被検出部が装着された前記装着部に対応して取り付け位置を変更可能に前記ベース部に取り付けられる請求項６に記載のロードポート装置。

【請求項10】

前記検出部は、光を生じる発光部と、前記発光部からの光を直接または反射光として受光して信号を出力する受光部と、を有する光学式センサである請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項11】

前記被検出部が、前記可動部の移動の少なくとも一部において前記発光部と前記受光部との間に位置することにより、前記検出部が前記可動部の位置を検出する請求項１０に記載のロードポート装置。

【請求項12】

前記ロードポート装置は、前記流路に清浄化ガスを供給するガス供給部と、前記検出部の信号が入力される制御部とを有し、
前記制御部は、前記検出部からの前記信号により、前記可動部が前記上昇位置にあることを認識した後、前記ガス供給部を制御して前記流路に前記清浄化ガスを供給し、前記ポートを介して前記容器内に前記清浄化ガスを導入する請求項１から請求項１１のいずれかに記載のロードポート装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体工場等で容器の受け渡し等を行うロードポート装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体工場等では、シリコンウエハ等の基板が収容された容器を半導体処理装置等に受け渡すための装置として、ロードポート装置が用いられる。ロードポート装置では、たとえば載置部に載置された容器が、半導体処理装置に繋がるＥＦＥＭ（イーフェム）等へ密封に接続され、ＥＦＥＭ内のウエハ搬送アームが容器内の基板にアクセス可能となる。

【0003】

近年、基板を酸化や汚染から守るために、基板を収容する環境の清浄度を高めることが求められている。このようなニーズに対応したロードポート装置として、載置部に載置された容器の内部に、容器の底部に設けられたポートを介して清浄化ガスを導入し、容器の内部を清浄化する装置がある。たとえば、容器の底部に対して接触・離間するように上下動するノズルを介して、容器の内部に清浄化ガスが導入される（たとえば特許文献１）。

【0004】

容器の底部のポートに対してノズルを上下動させる機構を有するロードポート装置では、動作誤差や、動作不良等により、ポートとノズルとの接続が完全でない場合がある。ポートとノズルとの接続が完全でない状態で清浄化動作を行うと、清浄化ガスを容器内に導入できず、また、工場内に清浄化ガスが漏洩する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１１－１８７５３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、容器のポートと流路との接続を検出できるロードポート装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動が可能となるように、前記可動部を支持するベース部と、
前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直に前記可動部から延出し、前記可動部と一体に移動する被検出部と、
前記被検出部の位置を検出する検出部と、を有する。

【0008】

本発明に係るロードポート装置は、可動部から延出した被検出部の位置を検出する検出部を有するため、上昇位置と下降位置との間の可動部の移動を検出することができ、容器のポートと流路とが適切に接続されているか否かを検出できる。また、被検出部は、可動部の移動の方向に対して略垂直に可動部から延出しているため、可動部の移動方向において被検出部および検出部が占めるスペースを小さくすることができる。その結果、可動部の上下移動に伴う載置部内部のスペース確保を最小限にとどめることができる。換言すれば、ロードポート装置において可動部の移動方向のスペースが狭くても、可動部の上下方向の動きを検出する被検出部および検出部を適切に配置できる。

【0009】

前記ロードポート装置は、前記可動部の移動軸周りの回転を抑止する回転抑止部をさらに有していてもよい。

【0010】

可動部の移動軸周りの不要な回転は可動部が移動方向に対して傾くことにもつながるため、上下方向の移動にあたってのがたつきやポートとの接触の際の接触精度にも影響を及ぼす。回転抑止部によると、そのような回転による種々の影響を低減することができる。

【0011】

また、前記ロードポート装置において、前記回転抑止部は、前記被検出部の前記移動の方向に沿って前記被検出部が通過可能な間隙を形成する一対の間隙形成部材を有し、前記一対の間隙形成部材は、前記被検出部の前記移動の方向および前記被検出部の前記延出する方向に略垂直な方向に沿って前記被検出部の両側に対向して配置されていてもよい。

【0012】

また、前記ロードポート装置において、前記回転抑止部は、前記可動部の外周面の近傍に向き合うように配置される回転防止ガイドを有していてもよい。

【0013】

また、前記ロードポート装置において、前記被検出部は、ロッド状であり、前記可動部に対して着脱可能であってもよい。

【0014】

また、前記ロードポート装置において、前記可動部は、前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直な複数の方向に前記被検出部を装着可能な複数の装着部を有していてもよい。

【0015】

また、前記ロードポート装置において、前記可動部は、少なくとも前記下降位置において、前記ベース部の下表面より下方に配置される底部ブロックを有し、
前記被検出部は、前記底部ブロックに装着してあってもよい。

【0016】

また、前記ロードポート装置において、前記流路に接続される配管は、前記被検出部が装着される位置とは異なる位置で、前記底部ブロックに装着してあってもよい。

【0017】

また、前記ロードポート装置において、前記検出部は、前記被検出部が装着された前記装着部に対応して取り付け位置を変更可能に前記ベース部に取り付けられていてもよい。

【0018】

また、前記ロードポート装置において、前記検出部は、光を生じる発光部と、前記発光部からの光を直接または反射光として受光して信号を出力する受光部と、を有する光学式センサであってもよい。

【0019】

また、前記ロードポート装置において、前記被検出部が、前記可動部の移動の少なくとも一部において前記発光部と前記受光部との間に位置することにより、前記検出部が前記可動部の位置を検出してもよい。

【0020】

また、前記ロードポート装置において、前記ロードポート装置は、前記流路に清浄化ガスを供給するガス供給部と、前記検出部の信号が入力される制御部とを有し、
前記制御部は、前記検出部からの前記信号により、前記可動部が前記上昇位置にあることを認識した後、前記ガス供給部を制御して前記流路に前記清浄化ガスを供給し、前記ポートを介して前記容器内に前記清浄化ガスを導入していてもよい。

【0021】

このようなロードポート装置は、容器のポートとロードポート装置のノズルとの接続が完全でない状態で清浄化動作が開始されることを防止し、清浄化ガスを容器内に確実に導入するとともに、工場内に清浄化ガスが漏洩する問題を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置およびロードポート装置に載置される容器の概略図である。

【図2】図２は、ロードポート装置が有するボトムパージユニットの１つの配置を示す部分拡大図である。

【図3】図３は、図２に示すボトムパージユニットを上方から見た斜視図であり、可動が上昇位置にある状態を表している図である。

【図4】図４は、図２に示すボトムパージユニットを下方から見た斜視図であり、可動が下降位置にある状態を表している図である。

【図5】図５は、図２に示すボトムパージユニットの底面図である。

【図6】図６は、図２に示すボトムパージユニットに含まれる可動部の正面図である。

【図7】図７は、図２に示すボトムパージユニットの正面図であり、可動部が上昇位置にある状態を表している図である。

【図8】図８は、図２に示すボトムパージユニットの正面図であり、可動部が下降位置にある状態を表している図である。

【図9】図９は、図２に示すボトムパージユニットにおいて、被検出部および検出部の装着位置を変更した状態のボトムパージユニットの底面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０と、ロードポート装置１０の載置部１２に載置された容器としてのフープ８０とを示す外観図である。ロードポート装置１０は、通常、ＥＦＥＭの壁部に設置され、ＥＦＥＭの一部を構成する。ＥＦＥＭは、ウエハ搬送用のロボットアーム等が設けられるミニエンバイロメントを形成し、ロボットアームは、ロードポート装置１０によってミニエンバイロメントに接続されたフープ８０内から、フープ８０内に収容されるシリコンウエハ等の基板を取り出し、半導体処理装置等へ搬送する。

【0024】

図１に示すように、ロードポート装置１０は、載置部１２、ドア１４、フレーム１６、ボトムパージユニット２０、ガス供給部６０、制御部７０等を有する。ロードポート装置１０の載置部１２には、基板を密封して収容および搬送するフープ（ＦＯＵＰ）８０が、着脱自在に載置可能になっている。

【0025】

載置部１２には、フープ８０が載置される。載置部１２は、フープ８０を上部に載置した状態でＹ軸方向に移動する移動テーブル等を有し、フープ８０の主開口８６を、フレーム１６のフレーム開口１６ａに接続することができる。なお、図面において、Ｙ軸が載置部１２の移動方向を示し、Ｚ軸が鉛直方向の上下方向を示し、Ｘ軸がこれらのＹ軸およびＺ軸に垂直な方向を示す。

【0026】

フレーム１６は、載置部１２から上方（Ｚ軸正方向）に延びており、載置部１２および載置部１２に設置されたフープ８０は、フレーム１６に対して接近・離間するように移動する。フレーム１６には、フープ８０の主開口８６に対向するようにフレーム開口１６ａが形成されており、フレーム開口１６ａは、ドア１４によって開閉される。

【0027】

ドア１４は、フレーム開口１６ａを開閉するとともに、フープ８０の主開口８６に着脱自在に設けられる蓋部に係合し、主開口８６を開閉する。ロードポート装置１０では、載置部１２がフープ８０をフレーム１６に接触する位置まで移動させた後、ドア１４がフープ８０の蓋部を係合してミニエンバイロメント内に引き込むことにより、フープ８０内とミニエンバイロメントとを、フープ８０の主開口８６を介して気密に連結することができる。

【0028】

ボトムパージユニット２０は、載置部１２に設けられている。ボトムパージユニット２０は、載置部１２に載置されたフープ８０の底部８２に備えられるポート８４を介して、フープ８０内に清浄化ガスを供給する。図１では、ロードポート装置１０が有するボトムパージユニット２０のうち１つのみが表示されているが、ロードポート装置１０は複数のボトムパージユニット２０を有していてもよい。

【0029】

ガス供給部６０は、ボトムパージユニット２０の流路３２（図６参照）に清浄化ガスを供給する。ガス供給部６０は、ボトムパージユニット２０への清浄化ガスの供給・供給停止を切り換える弁等を有する。

【0030】

制御部７０は、ボトムパージユニット２０、載置部１２、ガス供給部６０およびドア１４等を制御する。制御部７０は、各部を制御するための演算処理を行うプロセッサ等を有する。

【0031】

ボトムパージユニット２０の構成について、さらに図２～図８を参照して詳細に説明する。

【0032】

図２は、ロードポート装置１０におけるボトムパージユニット２０の配置を示す概念図である。ボトムパージユニット２０は、フープ８０の底部８２に備えられるポート８４に対向するように配置される。図２に示すように、フープ８０の底部８２に備えられるポート８４と載置部１２との間には隙間が形成されている。

【0033】

図３に示すように、ボトムパージユニット２０は、可動部３０と、ベース部４０と、検出部５０とを有する。

【0034】

可動部３０は、ロードポート装置１０の載置部１２の設置部１２ａに形成される設置部開口１２ｂと、ボトムパージユニット２０のベース部４０に形成される開口部４４（図７および図８参照）を上下方向に挿通するとともに、開口部４４の内部を上下方向に移動する。すなわち、可動部３０は、筒状の開口部４４の開口軸の方向に沿って、図７に示す上昇位置Ｐ２と、図８に示す下降位置Ｐ１との間で移動する。可動部３０は、図７に示すように上昇位置Ｐ２に移動することにより、載置部１２に載置されたフープ８０（図２参照）の底部８２に設けられるポート８４に接触可能である。可動部３０がポート８４に接触したとき、図３に示す可動部３０の流路３２は、ポート８４を介してフープ８０内と連通する。

【0035】

図３、図５，図７および図８における設置部１２ａの形状は、ボトムパージユニット２０の説明のために載置部１２の一部を表示したものである。なお、載置部１２の設置部１２ａは、載置部１２の他の部分から分離可能であってもよく、一体であってもよい。

【0036】

図６に示すように、可動部３０は、内部に流路３２が形成される中空円筒状のノズル部３４と、ノズル部３４から外径方向に突出するノズル鍔部３５とを有する。ノズル鍔部３５は、ノズル部３４の上部に接続しており、図７および図８に示すように、ベース部４０の開口部４４から上方に露出する。図３に示すように、ノズル鍔部３５はリング状である。ただし、ノズル部３４およびノズル鍔部３５の形状は、円筒状やリング状に限定されない。

【0037】

図３に示すように、ノズル鍔部３５の上表面には、リング状の接触部３７が設けられている。接触部３７は、樹脂等の弾力のある材質で構成されることが好ましく、流路３２とポート８４（図１および図２参照）との接続部分の気密性を高め、可動部３０の流路３２とポート８４内を流れる流体が、外部へ流出することを防止する。

【0038】

図６に示すように、ノズル部３４の下端には、底部ブロック３８が設置されている。
底部ブロック３８は、所望の断面形状の柱状部材であり、ノズル部３４の下端にノズル部３４と略同軸に設置されている。本実施形態では、底部ブロック３８は略正方形の断面形状を有し、したがって、底部ブロック３８は、上面３８ａ、下面３８ｂおよび４つの側面３８ｃ１～３８ｃ４を有する四角柱（直方体または立方体）形状である。

【0039】

底部ブロック３８の上面３８ａは、流路３２を有するノズル部３４の下端と接続されている。また、底部ブロック３８の４つの側面３８ｃ１～３８ｃ４のいずれか１つには、継ぎ手部３６が取り付けられている（説明の為に、継ぎ手部３６が取り付けられた側面を第１の側面３８ｃ１と称する）。継ぎ手部３６の内部にはガス供給流路が形成されており、底部ブロック３８を介してノズル部３４内の流路３２につながっている。したがって、底部ブロック３８の内部には、ノズル部３４の流路３２と継ぎ手部３６のガス供給流路とを接続するＬ字形状の図示せぬ流路（Ｌ字流路）が形成されている。

【0040】

図４に示すように、継ぎ手部３６には、ガス供給部６０（図１参照）の接続経路６２が接続されている。このような構成により、ノズル部３４の流路３２には、継ぎ手部３６を介して接続するガス供給部６０の接続経路６２から、清浄化ガスが供給される。

【0041】

図６に示すように、底部ブロック３８の４つの側面のうち、継ぎ手部３６が取り付けられた第１の側面３８ｃ１以外の３つの側面３８ｃ２～３８ｃ４には、それぞれ、その略中央部に、ロッド設置用ねじ穴３９が形成されており、３つの側面３８ｃ２～３８ｃ４のいずれかのロッド設置用ねじ穴３９に、位置検出用ロッド３３が係合設置される。本実施形態においては、継ぎ手部３６が取り付けられた第１の側面３８ｃ１に対して反対側の面となる第３の側面３８ｃ３に、位置検出用ロッド３３が装着されている。

【0042】

位置検出用ロッド３３は、ベース部４０の開口部４４に沿って上下方向に移動する可動部３０において、可動部３０がベース部４０に対して上昇位置にあるのか下降位置にあるのかを検出するための被検出部である。位置検出用ロッド３３は、可動部３０の移動の方向に対して略垂直に底部ブロック３８から（可動部３０から）延出し、可動部３０と一体に移動する。位置検出用ロッド３３は、後述する検出部５０により所定の位置に存在するか否かが検出され、可動部３０の位置が検出される。

【0043】

位置検出用ロッド３３は、断面が円形のロッド状（棒状、柱状）の部材であり、底部ブロック３８に着脱可能に設置される。位置検出用ロッド３３を着脱可能とするために、位置検出用ロッド３３の一端部は、図示省略するが、底部ブロック３８のロッド設置用ねじ穴３９にねじ込まれる雄ねじに形成されている。また、位置検出用ロッド３３を底部ブロック３８に設置したときに外方向に延出した部分の先端部となる位置検出用ロッド３３の他端部には、位置検出用ロッド３３を軸周りに回転させてロッド設置用ねじ穴３９にねじ込むときに使用する溝３３ａが形成されている。

【0044】

位置検出用ロッド３３を底部ブロック３８のどの側面３８c１～３８c４設置するかは、ロードポート装置１０の載置部１２の内部のスペース、底部ブロック３８に接続される継ぎ手部３６および接続経路６２の配置、複数のボトムパージユニット２０が設置される場合における他のボトムパージユニット２０との配置関係等に基づいて、ロードポート装置１０の他の構成と干渉せず、ロードポート装置１０の載置部１２の内部スペースを有効に利用できるように、適宜決定される。

【0045】

換言すれば、本発明のロードポート装置１０においては、上述したような条件に応じて、底部ブロック３８の側面のうち、継ぎ手部３６が設置される第１の側面３８c１を除く任意の側面３８c２～３８c４に位置検出用ロッド３３を設置できるので、ロードポート装置１０の載置部１２の内部スペースを有効に利用できるとともに、ボトムパージユニット２０の設置スペースが狭い場合や、周囲の構成との関係でボトムパージユニット２０の配置形態に制限がある場合にも、適切にボトムパージユニット２０を載置部１２に設置することができる。

【0046】

なお、位置検出用ロッド３３は、底部ブロック３８に対して着脱可能とせず、いずれかの側面に固定設置されていてもよい。また、底部ブロック３８の形状も四角柱（直方体または立方体）形状に限られるものではなく、三角形、六角形、八角形などの任意の多角形の断面を有する柱状部材、円形の断面形状を有する円柱状部材であってもよい。そのような構成において、継ぎ手部３６および位置検出用ロッド３３（ロッド設置用ねじ穴３９）は、それぞれ任意の側面に、あるいは外周面の任意の位置に配置してよい。

【0047】

位置検出用ロッド３３は、図７に示すように可動部３０が上昇位置Ｐ２にあるときは、可動部３０と一体に上側に（ベース部４０に近い位置に）配置される。また、位置検出用ロッド３３は、図８に示すように可動部３０が下降位置Ｐ１にあるときは、可動部３０と一体に下側に、すなわちベース部４０から離れたボトムパージユニット２０の最下部近く（Ｚ軸方向下側の端部付近）に配置される。

【0048】

この可動部３０が下降位置Ｐ１にあるときに位置検出用ロッド３３が配置される位置、すなわち、ベース部４０から離れたボトムパージユニット２０の最下部近くには、位置検出用ロッド３３の有無を検出する検出部５０が設置されており、検出部５０により位置検出用ロッド３３の有無が検出されることにより、可動部３０の位置が検出される。

【0049】

ベース部４０は、可動部３０が上昇位置Ｐ２（図７参照）と、上昇位置Ｐ２より下方の下降位置Ｐ１との間で上下方向に移動できるように、可動部３０を相対移動可能に支持する。図３に示すように、ベース部４０は、上ベース部４２と下ベース部４３との２つの部材を、上下に組み合わせて構成されている。

【0050】

図７および図８に示すように、ベース部４０には、可動部３０のノズル部３４が上下方向に挿通する開口部４４が形成されている。開口部４４は、ベース部４０を上下方向に貫通する貫通孔である。開口部４４の開口形状は円形であり、開口部４４の内径はノズル部３４の外径とほぼ同じか僅かに大きい。したがって、ノズル部３４は、開口部４４の内部をスライドして、上下方向に円滑に移動することができる。開口部４４の開口径は、ノズル鍔部３５の外径より小さくなっているため、可動部３０が下方に抜け落ちることは防止される。

【0051】

ベース部４０の内部には、可動部３０に動力を伝える圧力室が形成されており、上ベース部４２と下ベース部４３には、ベース部４０の内部の圧力室に圧力を伝えるための第１接続部４２ａと第２接続部４３ａとが形成されている。ベース部４０と可動部３０とは、シリンダとピストンの関係になっており、第１接続部４２ａおよび第２接続部４３ａからベース部４０内の圧力室に圧力が伝えられることにより、可動部３０を上下方向に移動させることができる。なお、各図では、第１接続部４２ａおよび第２接続部４３ａに圧力を伝える配管については、図示していない。また、可動部３０の圧力室への圧力の伝達は、図１に示す制御部７０によって制御される。

【0052】

図４および図５に示すように、ベース部４０の下表面４０ｂには、一対の回転防止ロッド４８a，４８ｂ（回転防止ロッド対４８）および回転防止ガイド４９が設置されている。回転防止ロッド対４８および回転防止ガイド４９は、それぞれ、可動部３０の移動軸周りの回転（可動部３０の移動の方向を回転軸の方向とする回転）を抑止する回転抑止部である。

【0053】

一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂは、それぞれ、断面が円形のロッド状（棒状）部材であり、位置検出用ロッド３３の両側に設置されている。一方の回転防止ロッド４８ａと他方の回転防止ロッド４８ｂとの間には、位置検出用ロッド３３が通過可能な間隙が形成されている。すなわち、一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂは、位置検出用ロッド３３を挟んでベース部４０の下表面４０ｂに対して下向きに（Ｚ軸方向下向きに）立設されており、その延伸方向は、可動部３０の上下移動の方向と平行である。

【0054】

一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂの長さは、可動部３０が上昇位置Ｐ２（図７参照）と下降位置Ｐ１（図８参照）との間を移動することに伴う位置検出用ロッド３３の上下移動の全範囲にわたり、位置検出用ロッド３３の両側に回転防止ロッド４８ａ，４８ｂが配置されるに足りる長さである。換言すれば、一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂは、可動部３０が上下移動する全範囲において、位置検出用ロッド３３が、常に、回転防止ロッド４８ａ，４８ｂにより形成される間隙を通過するように設置されている。

【0055】

このような一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂを有することにより、可動部３０が移動軸周りに回転をすると、位置検出用ロッド３３が一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂのいずれかに接触することとなり、可動部３０の回転が抑止される。その結果、可動部３０の不要な回転が防止される。

【0056】

一方、回転防止ガイド４９も、回転防止ロッド対４８とともに可動部３０の回転を防止する部材である。回転防止ガイド４９は、可動部３０の回転防止ロッド対４８の第４の側面３８ｃ４に沿って、第４の側面３８ｃ４に近接して配置された板状部材である。

【0057】

このような回転防止ガイド４９を有することにより、可動部３０が移動軸周りに回転をすると、可動部３０の底部ブロック３８の第４の側面３８ｃ４が回転防止ガイド４９に接触することとなり、可動部３０の回転が抑止される。その結果、回転防止ガイド４９によっても、可動部３０の不要な回転が防止される。

【0058】

なお、回転防止ロッド対４８と回転防止ガイド４９とは、いずれか一方のみ具備する構成であってもよいし、本実施形態のように両方を具備する構成であってもよい。また、ボトムパージユニット２０あるいはロードポート装置１０として、他に可動部３０の回転軸周りの回転を抑止する手段を具備する場合いは、回転防止ロッド対４８および回転防止ガイド４９は具備しなくてもよい。

【0059】

また、回転防止ロッド４８ａ，４８ｂは、断面円柱状のロッドに限られず、可動部３０の街道軸周りの回転に伴う位置検出用ロッド３３の移動を規制する間隙が、位置検出用ロッド３３の移動全範囲にわたり形成可能な部材あるいは構成であれば、任意の形状の部材を用いてよく、また、任意の形態で構成してよい。

【0060】

また、回転防止ガイド４９においても、単一の板状部材に限られず、たとえば、棒状の部材であってもよく、また、複数設置してもよい。回転防止ガイド４９は、底部ブロック３８の側面３８ｃ１～３８ｃ４のうち、継ぎ手部３６および位置検出用ロッド３３が取り付けられる箇所を除く任意の位置に、任意の数、任意の形状で配置してよい。回転防止ガイド４９は、底部ブロック３８の側面（可動部３０の移動軸に平行な外周面）のうち、可動部３０の移動軸周りの回転に伴い位置が変化する任意の部分に対して、その近傍に、その部分の位置が変化した場合に接触するように形成してあれば、任意の形状の任意の形態の構成であってよい。

【0061】

検出部５０は、位置検出用ロッド３３の有無を検出する。換言すれば、検出部５０は、位置検出用ロッド３３の位置を検出する。図３に示すように、検出部５０は、ボトムパージユニット２０の最下部に設置されている。より具体的には、検出部５０は、図８に示すように、可動部３０が下降位置Ｐ１にあるときに位置検出用ロッド３３が配置される位置に設置されている。

【0062】

検出部５０は、検出部設置部材４７を介して、ベース部４０の下表面４０ｂに取り付けられている。検出部設置部材４７は、スペーサとしての機能を有し、所望の厚み（高さ、Ｚ軸方向の長さ）の検出部設置部材４７を用いることにより、検出部５０を取り付け高さ（Ｚ軸方向の位置）を、可動部３０が下降位置Ｐ１にあるときの位置検出用ロッド３３の高さ（Ｚ方向の位置）に正確に位置合わせすることができる。

【0063】

また、検出部設置部材４７は、水平面内における検出部５０の取り付け位置を容易に変更可能とするための中間部材としての機能を有する。すなわち、前述したように可動部３０の位置検出用ロッド３３は、底部ブロック３８の周囲側面の異なる複数の位置に対して取り付けることが可能であるところ、たとえば図９を参照して後述するように位置検出用ロッド３３の位置が変更された場合には、検出部５０の取り付け位置も変更する必要が生じる。このようなとき、検出部５０をベース部４０に接取り付けるのではなく、検出部設置部材４７を介して取り付けることとしておけば、構成が複雑なベース部４０を加工せずとも、検出部設置部材４７に形成する検出部５０を取り付けるためのねじ穴（ボルト穴）の位置を変更あるいは追加するのみで対応可能となる。検出部設置部材４７は、このような機能のためにも使用可能である。

【0064】

たとえば、本実施形態のように位置検出用ロッド３３が底部ブロック３８の３つの側面３８c２～３８c４のいずれかに取り付けられる構成の場合には、検出部設置部材４７に対して、位置検出用ロッド３３の各位置（３形態）に対応した３カ所の位置のそれぞれに予め設置用のねじ穴などを形成しておいてもよい。このようにしておけば、底部ブロック３８のロッド設置用ねじ穴３９に対するねじ込み位置を変更するだけで可能な位置検出用ロッド３３の取り付け位置の変更に加えて、検出部５０の位置の変更も、容易に行うことができる。

【0065】

図５に示すように、検出部５０は、光を生じる発光部５２と、発光部５２からの光を受光して信号を出力する受光部５４とを有する光学式センサである。発光部５２と受光部５４との間には、位置検出用ロッド３３が通過可能な隙間５６が形成されている。検出部５０は、発光部５２と受光部５４との対向方向が、位置検出用ロッド３３の延出方向に対して垂直であり、可動部３０の移動の方向（移動軸方向）に対しても垂直となるような姿勢で、ベース部４０に対して設置されている。

【0066】

また、検出部５０は、可動部３０が下降位置Ｐ１（図８参照）となったときに位置検出用ロッド３３が隙間５６内に位置するように、また、少なくとも可動部３０が上昇位置Ｐ２（図７参照）となったときに位置検出用ロッド３３が隙間５６内に位置しないように、その高さ（Ｚ方向位置）が調整されて設置されている。

【0067】

このように検出部５０を設置することにより、図７に示すように、可動部３０が上昇位置Ｐ２にある場合、位置検出用ロッド３３も可動部３０と一体に上昇している。これにより、位置検出用ロッド３３は検出部５０より上方に移動し、検出部５０の隙間５６（図５参照）内には位置検出用ロッド３３（位置検出用ロッド３３の先端部）が位置しない。したがって、発光部５２からの光は被検出部３３によって遮蔽されることなく受光部５４に到達し、受光部５４は、可動部３０が上昇位置Ｐ２にあることを検出する。

【0068】

これに対して、図８に示すように、可動部３０が下降位置Ｐ１にある場合、位置検出用ロッド３３も可動部３０と一体に下降している。これにより、位置検出用ロッド３３は検出部５０と同じ高さ（Ｚ方向位置）となり、検出部５０の隙間５６（図５参照）内に位置検出用ロッド３３（位置検出用ロッド３３の先端部）が位置することとなる。したがって、発光部５２からの光は位置検出用ロッド３３によって遮蔽されて受光部５４に到達せず、受光部５４は、可動部３０が下降位置Ｐ１にあることを検出する。

【0069】

検出部５０は、前述したような可動部３０の位置情報に関する信号を、制御部７０（図１参照）へ出力する。検出部５０による信号は、配線部５８（図１参照）を介して、制御部７０へ入力される。

【0070】

位置検出用ロッド３３のＺ軸方向の取り付け位置に関して、図６に示すように、ノズル鍔部３５の下表面から位置検出用ロッド３３までの上下方向の長さＬ１は、ノズル鍔部３５の下表面から底部ブロック３８の下面３８ｂまでの上下方向の長さＬ２より短い。これにより、位置検出用ロッド３３の設置のために可動部３０の高さ方向のサイズが大きくなることが防止され、ボトムパージユニット２０の全体サイズをコンパクトにできる。

【0071】

また、ノズル鍔部３５の下表面から位置検出用ロッド３３までの上下方向の長さＬ１は、図８に示す上表面４０ａから下表面４０ｂまでの上下方向の長さＬ３より長い。これにより、可動部３０が上昇位置（Ｐ２）に移動したときも位置検出用ロッド３３とベース部４０とが干渉することはなく、ロードポート装置１０によるフープ８０の内部の清浄化処理、および、位置検出用ロッド３３の位置の検出は、ともに適切に実行される。

【0072】

このような構成のロードポート装置１０により、載置部１２に載置されたフープ８０の内部へ清浄化ガスを導入する手順について説明する。
まず、第１の工程として、ロードポート装置１０の制御部７０は、フープ８０が載置部１２に載置されたことを検出する。この際、ボトムパージユニット２０の可動部３０は、図８に示す下降位置Ｐ１に位置しており、位置検出用ロッド３３は検出部５０の隙間５６内に位置している。そのため、検出部５０は、発光部５２による光を受光部５４で受光できず、位置検出用ロッド３３が隙間５６に位置していること、換言すれば可動部３０が下降位置Ｐ１にあることを検出する。検出部５０は、位置検出用ロッド３３が隙間５６内に位置すること（可動部３０が下降位置Ｐ１にあること）を示す検出信号を、制御部７０へ出力する。

【0073】

次に、第２の工程として、ロードポート装置１０の制御部７０は、ボトムパージユニット２０を制御し、可動部３０を図７に示す上昇位置Ｐ２に移動させる。可動部３０が上昇位置Ｐ２に移動したことにより、位置検出用ロッド３３は検出部５０の隙間５６内に位置しない状態となり、検出部５０は、発光部５２による光を受光部５ｄで受講できる状態となり、位置検出用ロッド３３が隙間５６に位置していないこと、換言すれば可動部３０が上昇位置Ｐ２にあることを検出する。検出部５０は、位置検出用ロッド３３が隙間５６内に位置しないこと（可動部３０が上昇位置Ｐ２にあること）を示す検出信号を、制御部７０へ出力する。

【0074】

次に、第３の工程として、ロードポート装置１０の制御部７０は、検出部５０からの検出信号により、可動部３０が上昇位置Ｐ２にあることを認識した後、図１に示すガス供給部６０を制御して、ボトムパージユニット２０の流路３２に清浄化ガスを供給し、フープ８０の底部８２のポート８４を介して、フープ８０内に清浄化ガスを導入する。

【0075】

このような手順により、制御部７０がボトムパージユニット２０を制御し、載置部１２に載置されたフープ８０の内部へ、清浄化ガスを導入する。

【0076】

このように、本実施形態のロードポート装置１０は、可動部３０が行う上昇位置Ｐ２と下降位置Ｐ１との間の移動を検出する検出部５０を有するため、フープ８０のポート８４とノズル部３４の流路３２との接続を、適切に検出できる。検出部５０がベース部４０の上表面４０ａより下方に配置されているため、たとえ載置部１２とフープ８０の底部８２との隙間を狭くしたとしても、検出部５０の設置に支障がない。したがって、ロードポート装置１０は、可動部３０のストロークを短くしてボトムパージユニット２０を小型化することと、ポート８４と流路３２との接続の検出とを、両立させることができる。
ロードポート装置１０では、以上のような工程により、載置部１２に載置されたフープ８０の内部へ清浄化ガスを導入する。

【0077】

このように、本実施形態に係るロードポート装置１０では、ボトムパージユニット２０において、フープ８０のポート８４とロードポート装置１０のノズル部３４の流路３２との接続が適切か否かを、可動部３０に取り付けられた被検出部たる位置検出用ロッド３３と、ベース部４０に取り付けられた検出部５０とにより正確に検出することができる。その結果、フープ８０のポート８４とロードポート装置１０のノズル部３４の流路３２との接続が完全でない状態で清浄化動作が開始されることを防止することができ、清浄化ガスをフープ８０内に確実に導入できるとともに、工場内に清浄化ガスが漏洩すること等を防止することができる。

【0078】

また、本実施形態に係るボトムパージユニット２０では、検出部５０はベース部４０の下表面４０ｂより下方の位置で被検出部たる位置検出用ロッド３３の移動を検出する。このようなボトムパージユニット２０は、平面方向のサイズを小さくすることができ、小型化に対して有利である。

【0079】

また、特に本実施形態に係るボトムパージユニット２０では、可動部３０の位置を検出する位置検出用ロッド３３を、可動部３０の下部に形成される底部ブロック３８から、水平方向（可動部３０の移動の方向に対して垂直な方向）に延出して形成している。これにより、たとえば位置検出用ロッド３３をノズル鍔部３５の下面に設置した場合等と比較して、ボトムパージユニット２０において、ノズル鍔部３５の下側の空間に占める構成を少なくすることができる。その結果、ノズル鍔部３５の下側の高さ方向の空間を開放することができ、ボトムパージユニット２０の全体構成を小型化することができる。また、ロードポート装置１０の載置部１２において、狭い空間にボトムパージユニット２０を設置することができ、ロードポート装置１０全体の小型化に有効である。

【0080】

また、本実施形態のロードポート装置１０においては、位置検出用ロッド３３に対して一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂを設け、また、可動部３０の底部ブロック３８に対して回転防止ガイド４９を設けており、可動部３０の移動軸周りの回転を適切に抑止することができる。

【0081】

また、本実施形態のロードポート装置１０においては、検出部がベース部の下表面に取り付けられているため、検出部とベース部と可動部とを一体のユニット（すなわち本実施形態に係るボトムパージユニット２０）とすることができ、装置構成の簡単化、取り扱いの容易化、あるいは、構成の小型化等の点で有効である。

【0082】

以上、実施形態を示して本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、他の多くの実施形態および変形例を有するものであることは言うまでもない。

【0083】

たとえば、位置検出用ロッドおよび検出部は、前述した実施形態のように底部ブロックの継ぎ手部の反対側に設置される構成に限定されるものではなく、たとえば図９に示すように、継ぎ手部３６が設置された底部ブロック３８の第１の側面３８c１に隣接する底部ブロック３８の第４の側面３８c４に設置してもよい。なお、位置検出用ロッド３３、検出部５０、あるいは、一対の回転防止ロッド４８a，４８b、回転防止ガイド４９の具体的の位置の変更方法は、前述した実施形態の中で説明をした通りである。

【0084】

これら位置検出用ロッド３３、検出部５０、一対の回転防止ロッド４８a，４８bあるいは回転防止ガイド４９を底部ブロック３８のどの側面３８c１～３８c４のどの位置に設置するかは、ロードポート装置１０の載置部１２の内部のスペース、底部ブロック３８に接続される継ぎ手部３６および接続経路の配置、複数のボトムパージユニット２０が設置される場合における他のボトムパージユニット２０との配置関係等に基づいて、ロードポート装置１０の他の構成と干渉せず、ロードポート装置１０の載置部１２の内部スペースを有効に利用できるように、任意に決定してよい。

【0085】

また、前述した実施形態では、可動部３０の移動軸周りの回転を抑止する一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂおよび回転防止ガイド４９は、ベース部４０に設置するものとした。しかしながら、前述したように、位置検出用ロッド３３および検出部５０が可動部３０の底部ブロック３８の外周に沿った任意の位置に変更可能な構成においては、一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂおよび回転防止ガイド４９も、その設置位置が容易に変更可能であった方が好ましい。このような点から、一対の回転防止ロッド４８ａ，４８ｂおよび回転防止ガイド４９を、検出部５０をベース部４０に設置するための検出部設置部材４７に形成するようにしてもよい。このようにすれば、継ぎ手部３６、位置検出用ロッド３３および検出部５０を、可動部３０の底部ブロック３８の外遊周りの任意の位置に配置したときに、同時に可動部３０の移動軸周りの回転を抑止する手段も設置位置を容易に変更可能であり、好適だる。

【0086】

また、可動部をベース部に対して相対移動させる方法は、エアシリンダ方式に限定されず、モータによる駆動等、他の駆動方式を用いてもよい。また、可動部が移動する移動方向は、上下方向のみに限定されず、斜め方向や、回転方向、およびこれらと他の移動方向との組み合わせであってもよい。可動部は、前述した実施形態における下降位置および上昇位置に対応する所定の第１の位置と第２の位置との間で位置を変化させることができればよく、その移動方向や移動方法は任意でよい。

【0087】

また、前述した実施形態では、可動部が下降位置にあるときの被検出部たる位置検出用ロッドの位置を検出部で検出する構成としたが、可動部が上昇位置にあるときの被検出部の位置を検出部で検出する構成としてもよい。

【0088】

また、前述した実施形態では、検出部は検出部設置部材を介してベース部に取り付けるものとしたが、検出部を直接ベース部に取り付ける構成であってもよい。また、検出部は、ベース部ではなく、ベース部が固定される載置部に取り付けられてもよい。検出部をベース部に取り付けせず、載置部に取り付けることにより、ベース部に検出部の取り付け部を設けなくてよくなるため、ベース部を小型化することができる。

【0089】

また、前述した実施形態では、被検出部として棒状（ロッド状）の位置検出用ロッドを例示したが、これに限定されず、被検出部は板状であってもよい。被検出部は、可動部の移動の少なくとも一部において、発光部と受光部との間を通るものであればよい。

【0090】

その他、たとえば可動部は、流路が形成されるノズル部から外径方向に突出するノズル鍔部を有する構成であってもよい。
また、検出部の受光部は、被検出部が反射した光を検出するものであってもよい。
また、可動部の移動を検出する検出部としては、たとえば、磁気センサや接触式センサであってもよい。なお、センサの信頼性・耐久性等の観点からは、光学式センサを用いることが好ましい。

【符号の説明】

【0091】

１０…ロードポート装置
１２…載置部
１２ａ…設置部
１２ｂ…設置部開口
１４…ドア
１６…フレーム
１６ａ…フレーム開口
２０…ボトムパージユニット
３０…可動部
３２…流路
３３…被検出部（位置検出用ロッド）
３４…ノズル部
３５…ノズル鍔部
３６…継ぎ手部
３７…接触部
３８…底部ブロック
３８ａ…上面
３８ｂ…下面
３８ｃ１～３８ｃ４…側面
３９…ロッド設置用ねじ穴
Ｐ１…下降位置
Ｐ２…上昇位置
４０…ベース部
４０ａ…上表面
４０ｂ…下表面
４２…上ベース部
４２ａ…第１接続部
４３…下ベース部
４３ａ…第２接続部
４４…開口部
４７…検出部設置部材
４８ａ，４８ｂ…回転防止ロッド（間隙形成部材）
４９…回転防止ガイド
５０…検出部
５２…発光部
５４…受光部
５６…隙間
５８…配線部
６０…ガス供給部
６２…接続経路
７０…制御部
８０…フープ
８２…底部
８４…ポート
８６…主開口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】