(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024112415
(43)【公開日】2024-08-21
(54)【発明の名称】表示装置
(51)【国際特許分類】
G02F 1/1343 20060101AFI20240814BHJP
G02F 1/1368 20060101ALI20240814BHJP
G09F 9/35 20060101ALI20240814BHJP
G09F 9/30 20060101ALI20240814BHJP
G02F 1/1335 20060101ALI20240814BHJP
【FI】
G02F1/1343
G02F1/1368
G09F9/35
G09F9/30 349B
G02F1/1335 505
【審査請求】未請求
【請求項の数】18
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023017394
(22)【出願日】2023-02-08
(71)【出願人】
【識別番号】502356528
【氏名又は名称】株式会社ジャパンディスプレイ
(74)【代理人】
【識別番号】110000408
【氏名又は名称】弁理士法人高橋・林アンドパートナーズ
(72)【発明者】
【氏名】尾関 芳孝
(72)【発明者】
【氏名】上島 誠司
【テーマコード(参考)】
2H092
2H192
2H291
5C094
【Fターム(参考)】
2H092GA14
2H092GA29
2H092GA59
2H092HA04
2H092JA25
2H092JA26
2H092JA46
2H092JB58
2H092JB79
2H092KA19
2H092PA01
2H092PA02
2H092PA03
2H092PA09
2H092QA09
2H192AA24
2H192BB12
2H192BB31
2H192BB53
2H192BB86
2H192BC31
2H192CB02
2H192CB05
2H192CB37
2H192CC72
2H192EA03
2H192EA22
2H192EA43
2H192EA67
2H192FB02
2H192JA33
2H291FA02Y
2H291FA14Y
2H291FA94Y
2H291FD07
2H291FD22
2H291FD25
2H291FD26
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2H291GA10
2H291GA19
2H291GA22
2H291HA15
5C094AA02
5C094BA03
5C094BA43
5C094CA19
5C094EA05
5C094ED03
5C094FB14
5C094HA01
5C094HA08
(57)【要約】
【課題】表示品質が高く、酸化物半導体を有するトランジスタを画素回路に備える液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】表示装置は、基板、基板上に位置し、それぞれ液晶素子を有する複数の画素、複数の画素上の第1のオーバーコート、第1のオーバーコート上の第1の透光性導電膜、第1の透光性導電膜上の複数のカラーフィルタ、および複数のカラーフィルタ上の対向基板を備える。複数の画素の各々は、液晶素子と電気的に接続される駆動トランジスタを含む画素回路をさらに有することができ、駆動トランジスタは、酸化物半導体を含んでもよい。
【選択図】
図3
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板、
前記基板上に位置し、それぞれ液晶素子を有する複数の画素、
前記複数の画素上の第1のオーバーコート、
前記第1のオーバーコート上の第1の透光性導電膜、
前記第1の透光性導電膜上の複数のカラーフィルタ、および
前記複数のカラーフィルタ上の対向基板を備える表示装置。
【請求項2】
前記複数の画素の各々は、前記液晶素子と電気的に接続される駆動トランジスタを含む画素回路をさらに有し、
前記駆動トランジスタは、酸化物半導体を含む、請求項1に記載の表示装置。
【請求項3】
前記第1の透光性導電膜は、電気的に浮遊する、請求項1に記載の表示装置。
【請求項4】
前記第1の透光性導電膜は、接地電位が印加されるように構成される、請求項1に記載の表示装置。
【請求項5】
前記液晶素子は、
画素電極、
前記画素電極上の電極間絶縁膜、
前記電極間絶縁膜上の共通電極、
前記共通電極上の第1の配向膜、
前記第1の配向膜上の液晶層、および
前記液晶層上の第2の配向膜を有し、
前記第1の透光性導電膜は、前記共通電極に印加される電位と同一の電位が印加されるように構成される、請求項1に記載の表示装置。
【請求項6】
前記対向基板から前記第1の透光性導電膜までの距離は、隣接する前記画素間で異なる、請求項1に記載の表示装置。
【請求項7】
前記複数のカラーフィルタ上に遮光膜をさらに備える、請求項1に記載の表示装置。
【請求項8】
前記第1の透光性導電膜と前記複数のカラーフィルタの間に第2のオーバーコートをさらに備える、請求項1に記載の表示装置。
【請求項9】
前記対向基板上に、第2の透光性導電膜をさらに備える、請求項1に記載の表示装置。
【請求項10】
基板、
前記基板上に位置し、それぞれ液晶素子を有する複数の画素、
前記複数の画素上のオーバーコート、
前記オーバーコート上に位置し、対応する前記複数の画素と重なる複数のカラーフィルタ、
前記複数のカラーフィルタ上に位置し、隣接する前記画素間を延伸する遮光膜、
前記遮光膜上に位置し、前記遮光膜と接する少なくとも一つの透光性導電膜、および
前記少なくとも一つの透光性導電膜上の対向基板を備える表示装置。
【請求項11】
前記複数の画素の各々は、前記液晶素子と電気的に接続される駆動トランジスタを含む画素回路をさらに有し、
前記駆動トランジスタは、酸化物半導体を含む、請求項10に記載の表示装置。
【請求項12】
前記少なくとも一つの第1の透光性導電膜は、電気的に浮遊する、請求項10に記載の表示装置。
【請求項13】
前記少なくとも一つの第1の透光性導電膜は、接地電位が印加されるように構成される、請求項10に記載の表示装置。
【請求項14】
前記液晶素子は、
画素電極、
前記画素電極上の電極間絶縁膜、
前記電極間絶縁膜上の共通電極、
前記共通電極上の第1の配向膜、
前記第1の配向膜上の液晶層、および
前記液晶層上の第2の配向膜を有し、
前記少なくとも一つの第1の透光性導電膜は、前記共通電極に印加される電位と同一の電位が印加されるように構成される、請求項10に記載の表示装置。
【請求項15】
前記少なくとも一つの第1の透光性導電膜は、前記複数の画素と重なる、請求項10に記載の表示装置。
【請求項16】
前記少なくとも一つの第1の透光性導電膜は、対応する前記複数の画素と重なる複数の開口を有する、請求項10に記載の表示装置。
【請求項17】
前記少なくとも一つの第1の透光性導電膜は、ストライプ状に配列した複数の第1の透光性導電膜を含み、
前記複数の第1の透光性導電膜は、前記遮光膜と重なるように延伸する、請求項10に記載の表示装置。
【請求項18】
前記対向基板上に、第2の透光性導電膜をさらに備える、請求項10に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態の一つは、表示装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、酸化物、特にインジウムやガリウムなどの13族元素の酸化物に半導体特性が見出され、これを契機に精力的な研究開発が進められている。例えば、特許文献1に開示されているように、酸化物半導体を有するトランジスタが組み込まれた半導体デバイス、およびこれを利用する表示装置も開発されるに至っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態の一つは、新規な構造を有する表示装置を提供することを課題の一つとする。例えば、本発明の実施形態の一つは、表示品質が高く、酸化物半導体を有するトランジスタを画素回路に備える液晶表示装置を提供することを課題の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施形態の一つは、表示装置である。この表示装置は、基板、基板上に位置し、それぞれ液晶素子を有する複数の画素、複数の画素上の第1のオーバーコート、第1のオーバーコート上の第1の透光性導電膜、第1の透光性導電膜上の複数のカラーフィルタ、および複数のカラーフィルタ上の対向基板を備える。
【0006】
本発明の実施形態の一つは、表示装置である。この表示装置は、基板、基板上に位置し、それぞれ液晶素子を有する複数の画素、複数の画素上のオーバーコート、オーバーコート上に位置し、対応する前記複数の画素と重なる複数のカラーフィルタ、複数のカラーフィルタ上に位置し、隣接する前記画素間を延伸する遮光膜、遮光膜上に位置し、遮光膜と接する少なくとも一つの透光性導電膜、および少なくとも一つの透光性導電膜上の対向基板を備える。
【0007】
本発明の実施形態の一つは、表示装置である。この表示装置は、基板、基板上に位置し、それぞれ液晶素子を有する複数の画素、複数の画素上の透光性導電膜、透光性導電膜上のオーバーコート、オーバーコート上に位置し、対応する前記複数の画素と重なる複数のカラーフィルタ、複数のカラーフィルタ上に位置し、隣接する前記画素間を延伸する遮光膜、遮光膜上の対向基板を備える。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【
図1】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的展開斜視図。
【
図2】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【
図3】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的端面図。
【
図4】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的端面図。
【
図5】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的端面図。
【
図6】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的端面図。
【
図7】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的端面図。
【
図8】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的端面図。
【
図9A】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【
図9B】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【
図10A】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【
図10B】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【
図11A】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【
図11B】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【
図12】本発明の実施形態の一つに係る表示装置の模式的上面図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の各実施形態について、図面などを参照しつつ説明する。ただし、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲において様々な態様で実施することができ、以下に例示する実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【0010】
図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状などについて模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。本明細書と各図において、既出の図に関して説明したものと同様の機能を備えた要素には、同一の符号を付して、重複する説明を省略することがある。
【0011】
本明細書および請求項において、ある構造体の上に他の構造体を配置する態様を表現するにあたり、単に「上に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある構造体に接するように、直上に他の構造体を配置する場合と、ある構造体の上方に、さらに別の構造体を介して他の構造体を配置する場合との両方を含むものとする。
【0012】
本明細書および請求項において、「ある構造体が他の構造体から露出する」という表現は、ある構造体の一部が他の構造体によって覆われていない態様を意味し、この他の構造体によって覆われていない部分は、さらに別の構造体によって覆われる態様も含む。また、この表現で表される態様は、ある構造体が他の構造体と接していない態様も含む。
【0013】
本発明の実施形態において、複数の構成が同一の工程で同時に形成された場合、これらは同一の層構造、同一の材料、同一の組成を有する。したがって、これら複数の構成は同層であると定義する。
【0014】
1.表示装置の全体構成
本発明の実施形態の一つである表示装置100の模式的展開斜視図を
図1に示す。表示装置100は液晶表示装置であり、種々の電子デバイスの表示装置として機能することができる。例えば、仮想現実(VR)ゴーグルなどの超小型表示装置、スマートフォンやタブレットなどの携帯型通信端末に使用される中小型表示装置、デスクトップ型コンピュータに接続されるモニタやテレビなどの中大型表示装置、あるいはデジタルサイネージなどの大型表示装置として表示装置100を利用することができる。
【0015】
表示装置100は、アレイ基板102と対向基板104を備え、これらの間にパターニングされた種々の絶縁膜、半導体膜、導電膜が積層される。これらの絶縁膜、半導体膜、導電膜を適宜組み合わせることにより、複数の画素120の画素回路、画素120を制御するための駆動回路(走査線駆動回路106、信号線駆動回路108)、複数の端子110の他、図示しない種々の電極パッドなどが形成される。複数の画素120が設けられる領域は表示領域DRと呼ばれ、表示領域DRを囲む領域は額縁領域FRと呼ばれる。表示装置100の外形や表示領域DRの形状は四角形に限られず、多角形状、角部をラウンドさせた多角形状、円形状、楕円形状など、表示装置100が搭載される電子デバイスが要求する任意の形状を有することができる。なお、信号線駆動回路108は、信号線駆動回路を内蔵したICチップで構成してもよく、あるいは、信号線駆動回路108の全てまたは一部をアレイ基板102上に形成してもよい。
【0016】
対向基板104は、複数の画素120と走査線駆動回路106を覆い、端子110を露出するようにアレイ基板102上に設けられ、
図1では示されないシール材によってアレイ基板102に固定される。表示装置100を駆動するための駆動信号が端子110に接続されるフレキシブル印刷基板(FPC)回路(図示しない)を介して供給され、駆動信号に基づいて走査線駆動回路106と信号線駆動回路108が画素120を制御するための制御信号(ゲート信号や映像信号、初期化信号など)を生成する。この制御信号が画素120に供給されることで画素120が動作し、図示しないバックライトからの光の階調が画素120ごとに制御される。その結果、表示領域DRに映像を表示することができる。以下、表示装置100の各構成について詳述する。
【0017】
2.基板と対向基板
アレイ基板102と対向基板104は、表示装置100に対して物理的強度を提供するとともに、表示装置100としての機能を発現するための画素120や走査線駆動回路106や信号線駆動回路108などの種々の構成を配置するための面を提供する。アレイ基板102と対向基板104は、バックライトからの光、すなわち可視光を透過するように構成され、例えばガラス、石英、あるいはポリイミドやポリアミド、ポリカーボネートなどの高分子を含む。アレイ基板102および/または対向基板104は、可撓性を有してもよい。
【0018】
3.画素
表示領域DRを構成する画素120の模式的上面図を
図2に、
図2の鎖線A-A´に沿った端面の模式図を
図3に示す。画素120の配列に制約はなく、ストライプ配列やペンタイル配列、S-ストライプ配列、ダイアモンドペンタイル配列などの種々の配列を採用することができる。
【0019】
各画素120には、液晶素子150、および液晶素子150と電気的に接続され、制御信号に基づいて液晶素子150を制御する画素回路が設けられる。制御信号は、走査線駆動回路106から延伸する走査線136、および信号線駆動回路から延伸する信号線144を介して供給される(
図2参照。)。走査線136と信号線144の配置に特段の制約はなく、公知の配置を適宜適用することができる。例えば
図2に示すように、複数の走査線136をほぼ平行に配置し、屈曲構造を有する複数の信号線144を走査線136と交差するように配置してもよい。図示しないが、屈曲構造を持たず、直線状に延伸する信号線144を配置してもよい。
【0020】
(1)画素回路
画素回路は、少なくとも一または複数のトランジスタを備えるとともに、一または複数の容量素子をさらに備えても構わない。
図3には、画素回路の構成として、液晶素子150と電気的に接続され、かつ、映像信号に対応する電位を液晶素子150に供給する駆動トランジスタ130が示されている。駆動トランジスタ130は、後述する走査線駆動回路106を構成する回路トランジスタ180と異なり、酸化物半導体を含む半導体膜132を有する。具体的には、駆動トランジスタ130は、半導体膜132、半導体膜132と重なり、走査線136を構成するゲート電極136a、半導体膜132とゲート電極136aの間に配置されるゲート絶縁膜134、半導体膜132とゲート電極136aを覆う第2の層間絶縁膜138と第3の層間絶縁膜140、第3の層間絶縁膜140からゲート絶縁膜134までを貫通して形成されるスルーホールを介して半導体膜132と電気的に接続されるドレイン電極142、および第2の層間絶縁膜138およびゲート絶縁膜134を貫通して形成されるスルーホールを介して半導体膜132と電気的に接続されるソース電極144aを含む。ソース電極144aは信号線144を兼ねる。
図3に示す駆動トランジスタ130は、所謂トップゲート型のトランジスタであるが、駆動トランジスタ130は、ボトムゲート型のトランジスタでもよく、半導体膜132の上下の両方にゲート電極を有してもよい。なお、各画素回路に複数のトランジスタが設けられる場合、駆動トランジスタ130以外のトランジスタの半導体膜は、酸化物半導体を含んでもよく、あるいはケイ素を含んでもよい。
【0021】
また、任意の構成として、表示装置100は、各画素回路の下に遮光膜122を有してもよい。本実施形態の遮光膜122は、アレイ基板102上に設けられて駆動トランジスタ130と重なる。遮光膜122を配置することで、アレイ基板下方に設けられるバックライト(図示省略)からの光が駆動トランジスタ130に入射されることを防ぐことができる。この結果、光による駆動トランジスタ130の特性変化や劣化を防止することができる。遮光膜122は、例えばモリブデンやクロム、ニッケル、ハフニウム、タングステン、チタン、銅、アルミニウムなどの金属、またはこれらの合金を含む単層膜或いは複層膜として形成することができる。
【0022】
半導体膜132を構成する酸化物半導体は、インジウムやガリウムなどの第13族元素の酸化物から選択することができる。酸化物半導体は異なる複数の第13族元素を含有してもよく、一例としてインジウム-ガリウム酸化物(IGO)が例示される。酸化物半導体はさらに12族元素を含んでもよい。12族元素を含む典型的な酸化物半導体としては、インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物(IGZO)が挙げられる。半導体膜132はその他の元素を含むこともでき、スズなどの14族元素、チタンやジリコニウムなどの4族元素を含んでもよい。
【0023】
走査線136や信号線144、ドレイン電極142なども、例えばモリブデンやクロム、タングステン、チタン、銅、アルミニウム、ハフニウム、ニッケルなどの金属、またはこれらの合金を含むように構成される。走査線136や信号線144は、これら合金または単体の金属層の単層または複層により構成されていても構わない。ゲート絶縁膜134、第2の層間絶縁膜138、第3の層間絶縁膜140の各々は、無機化合物を含む単層膜または複層膜として構成することができる。無機化合物としては、窒化ケイ素や酸化ケイ素、窒化酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素などのケイ素含有無機化合物が典型的な例として例示される。あるいは、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化アルミニウムなどのアルミニウム含有無機化合物を上記無機化合物として用いてもよい。
【0024】
ドレイン電極142や第3の層間絶縁膜140上には、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂などの高分子を含む平坦化膜146が設けられる。平坦化膜146は、画素回路に起因する凹凸を緩和し、比較的平坦な上面を与えことができるため、このような平坦な面上に液晶素子150を設けることが可能となる。
【0025】
(2)液晶素子
液晶素子150は透過型の液晶素子であり、
図3に示すように、基本的な構成として、画素電極152、画素電極152上の電極間絶縁膜162、電極間絶縁膜162上の共通電極154、共通電極上154上の第1の配向膜156、第1の配向膜156上の液晶層158、液晶層158上の第2の配向膜160、および液晶層158の厚さを維持するためのスペーサ164を有する。
図3から理解されるように、液晶素子150は、所謂FFS(Fringe Field Switching)方式の液晶素子であり、液晶層158内にあってホモジニアス配向された液晶分子の向きを横方向の電界を加ることによって変化させ、液晶分子の向きの変化の度合いに応じて階調制御が行われる。
【0026】
画素電極152は、平坦化膜146に設けられるスルーホールを介して駆動トランジスタ130のドレイン電極142と電気的に接続される。これにより、映像信号に対応する電位は、信号線144と駆動トランジスタ130を介して画素電極152に供給される。なお、表示装置100は、所謂反転駆動方式で駆動される。このため、映像信号に対応する電位は、共通電極154に印加される定電位を基準としてフレームごとに極性が反転する。
【0027】
また、画素電極152は、バックライトからの光を透過させるため、可視光を透過する。したがって、画素電極152は、例えばインジウム-スズ酸化物(ITO)やインジウム-亜鉛酸化物(IZO)などの透光性導電性酸化物を含む。
図2に示すように、画素電極152は画素120ごとに設けられる。画素電極152は、
図2に示すように、信号線144に沿って屈曲形状を有してもよく、図示しないが、屈曲構造を持たない矩形形状を有してもよい。
【0028】
電極間絶縁膜162は、画素電極152と共通電極154を絶縁する。電極間絶縁膜162は、例えばケイ素含有無機化合物またはアルミニウム含有無機化合物を含む単層膜または複層膜にて構成される。なお、電極間絶縁膜162を介して画素電極152と容量電極(図示しない)とを対向させることで各画素回路内に保持容量を形成してもよい。
【0029】
共通電極154は、電極間絶縁膜162を介して画素電極152と対向する。ここで、共通電極154は、複数または全ての画素120に亘って設けられる。すなわち、共通電極154は、複数または全ての画素120に共有される。共通電極154も可視光を透過するよう、ITOやIZOなどの透光性導電性酸化物を含む。さらに、
図2に示すように、共通電極154は、画素電極152と重なるスリット154aを有しており、画素電極152や電極間絶縁膜162がスリット154aから露出する。各画素120に設けられるスリット154aの数に制約はない。したがって、各画素120においてスリット154aは一本でもよく、複数本でもよい。また、スリット154aの長手方向は、走査線136と直交してもよく、あるいは
図2に示すように、走査線136(または、信号線144に沿った画素120の配列方向)に対して傾いてもよい。例えば、スリット154aの長手方向は、走査線136が延伸する方向から75°以上90°未満の角度で傾いてもよい。上述したように、共通電極154には、所定の定電位が供給される。共通電極154に印加される電位は、接地電位(0V)でもよいが、共通電極154、電極間絶縁膜162、画素電極152によって形成される容量など、画素120内の種々の寄生容量の影響を考慮し、接地電位に対して負の電位でもよい。例えば、共通電極154に印加される電位は、-1.0V以上-0.1V以下、典型的には-0.5Vでもよい。
【0030】
第1の配向膜156と第2の配向膜160は、液晶層158を構成する液晶分子の配向方向を制御するために設けられ、いずれもポリイミドやポリエステルなどの高分子を含む。第1の配向膜156と第2の配向膜160は、インクジェット法やスピンコート法、印刷法、ディップコーティング法などの湿式成膜法を利用することで形成され、その表面はラビング処理される。あるいは、第1の配向膜156と第2の配向膜160は、光配向処理によって形成されてもよい。第1の配向膜156と第2の配向膜160は、液晶分子を配向する方向が互いに平行になるように設けられる。
【0031】
スペーサ164は、アクリル樹脂などの樹脂を含み、例えば隣接する画素120の間に設けられる。
図3に示すスペーサ164は、共通電極154上に固定されて第1の配向膜156で覆われるが、例えば球状のスペーサを液晶層158中に分散することで液晶層158の厚さを維持してもよい。この場合、スペーサは、第1の配向膜156と第2の配向膜160の間に配置される。
【0032】
4.その他の構成
対向基板104には、液晶素子150を透過する光の一部を吸収して色情報を与えるカラーフィルタ168や、不要な光を遮蔽する遮光膜(ブラックマトリクス)166が設けられる。カラーフィルタ168は、隣接する画素120において吸収特性が異なるように設けられる。遮光膜166は、黒色またはそれに準じる色の顔料を含む樹脂で構成することができ、遮光膜122や平坦化膜146のスルーホール、駆動トランジスタ130などと重なるように配置することが好ましい。カラーフィルタ168を通過する光を透過させつつ不要な光を遮蔽するため、遮光膜166は、隣接する画素120間を覆うように設けられる。したがって、後述するように、遮光膜166は、複数の画素120と重なる複数の開口を有する膜として形成される。
【0033】
対向基板104にはさらに、遮光膜166やカラーフィルタ168を介し、第1の透光性導電膜170が設けられる。第1の透光性導電膜170は、複数の画素120と重なるように設けられる。したがって、表示装置100は、全ての画素120と重なる単一の第1の透光性導電膜170を有してもよく、それぞれ複数の画素120と重なる複数の第1の透光性導電膜170を有してもよい。後者の場合、各画素120はいずれかの第1の透光性導電膜170と重なる。第1の透光性導電膜170は、表示領域DRで再現される映像を視認させるため、ITOやIZOなどの透光性導電性酸化物を含む。第1の透光性導電膜170は、高い光透光性を維持するため、好ましくは10nm以上100nm以下の厚さ、より好ましくは10nm以上50nm以下の厚さ、さらに好ましくは10nm以上30nm以下の厚さで設けられる。
【0034】
第1の透光性導電膜170は電気的に浮遊するように構成してもよく、あるいは一定電位(例えば接地電位)が印加されるように構成してもよい。あるいは、共通電極154と同一の電位が供給されるように第1の透光性導電膜170を構成してもよい。
【0035】
図3に示すように、カラーフィルタ168は、隣接する画素120間で吸収特性が異なるため、適切な吸光度が得られるよう、異なる厚さを有することがある。また、隣接する画素120間で重なりが生じると、重畳した部分での厚さが増大することがある。このため、複数のカラーフィルタ168の上面(
図3では下面であり、カラーフィルタ168の対向基板104に対して反対の面)は必ずしも平坦ではなく、凹凸を有することがある。したがって、カラーフィルタ168に接するように設けられる第1の透光性導電膜170から対向基板104までの距離(第1の透光性導電膜170の上面から対向基板104の下面までの距離)Dは、隣接する画素120間で同一でもよく、異なってもよい。あるいは、距離Dは隣接するカラーフィルタ168間で同一でもよく、異なってもよい。すなわち距離Dは各画素120におけるカラーフィルタ168の厚さやカラーフィルタ168同士の積層状態、およびさらに遮光膜166を加えた積層状態に依存して場所ごとに変化する。この点を
図4を用いて詳述すると、第1の透光性導電膜170と対向基板104の間に一つのカラーフィルタ168のみが存在する位置における距離をD
1とし、当該カラーフィルタ168と遮光膜166が積層している位置における距離をD2とし、カラーフィルタ168同士が積層し、さらに遮光膜166が積層している位置における距離をD3とすると、D1<D2<D3となる。
【0036】
図3に示すように、対向基板104にはさらに、第1の透光性導電膜170を覆うオーバーコート172が設けられる。したがって、第1の透光性導電膜170は、遮光膜166とオーバーコート172と挟まれ、かつ、カラーフィルタ168とオーバーコート172に挟まれる。オーバーコート172は、複数の画素120に共有されるように設けられる。オーバーコート172もケイ素含有無機化合物を含む一つまたは複数の膜で構成してもよく、あるいはアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド、ポリアミドなどの高分子を含むように形成してもよい。オーバーコート172を設けることで、対向基板104やカラーフィルタ168、遮光膜166などに含まれる不純物が液晶素子150まで浸透してしまうことを抑制することができる。また、特に高分子を含むオーバーコート172を設けることで、カラーフィルタ168や遮光膜166によって生じる凹凸を緩和し、その上面(
図3では下面であり、オーバーコート172の対向基板104に対して反対の面)の平坦性を向上することができる。その結果、オーバーコート172上に平坦な第2の配向膜160を形成することができる。したがって、オーバーコート172の厚さTは、隣接する画素120間で同一でもよく、あるいはカラーフィルタ168の厚さが異なる場合、厚さTは隣接する画素120間で異なってもよい。
【0037】
表示装置100は、任意の構成として、共通電極154と電気的に接続される補助配線148をさらに有してもよい。補助配線148は、共通電極154内での電圧降下を防止するために設けられ、例えばアルミニウムやチタン、タングステン、モリブデン、銅、ニッケル、タンタルなどの金属またはこれらの合金を含む単層膜または複層膜により形成される。
図3に示す例では、補助配線148は共通電極154の下に設けられるが、補助配線148は共通電極154の上に配置してもよい。補助配線148が設けられる位置に制約はないが、好ましくは、
図3に示すように、液晶層158によって階調が制御された光を遮蔽しないよう、遮光膜122、平坦化膜146に設けられるスルーホール、または駆動トランジスタ130と重なり、走査線136や信号線144と平行に配置される。
【0038】
さらに、任意の構成として、表示装置100は対向基板104上に帯電防止膜として第2の透光性導電膜176を備えてもよい。第2の透光性導電膜176もITOやIZOなどの透光性導電性酸化物を含む。第2の透光性導電膜176には、一定電位(例えば、接地電位)が印加される。第2の透光性導電膜176を設けることで、外部電界を遮蔽し、液晶素子150がその影響を受けてしまうことを防止することができる。ただし、第1の透光性導電膜170で外部電界を十分に遮蔽できる場合には、第2の透光性導電膜176は設けなくてもよい。
【0039】
5.額縁領域の構造
上述したように、額縁領域FRには、走査線駆動回路106が設けられる。額縁領域FRの端面の模式図を
図5に示す。
図5に示すように、額縁領域FRに設けられるシール材174によってアレイ基板102と対向基板104が互いに固定され、アレイ基板102、対向基板104、およびシール材174によって形成される空間に液晶層158が封止される。
【0040】
走査線駆動回路106は、複数の回路トランジスタ180や図示しない容量素子が適宜接続されることで構成される。回路トランジスタ180の構成も任意に決定でき、例えば
図5に示すように、ゲート電極182、ゲート電極182と重なる半導体膜184、ゲート電極182と半導体膜184の間のゲート絶縁膜124、ゲート電極182と半導体膜184を覆う第1の層間絶縁膜126、および第1の層間絶縁膜126とゲート絶縁膜134に設けられるスルーホールを介して半導体膜184と電気的に接続される一対の端子186、188などによって構成される。一対の端子186、188は、第2の層間絶縁膜138に設けられるスルーホールにおいて配線190と電気的に接続されてもよい。回路トランジスタ180の半導体膜184は、ケイ素を含むように構成することができ、これにより、高速駆動可能な走査線駆動回路106を構成することができる。ゲート絶縁膜124や第1の層間絶縁膜126は、上述したケイ素含有無機化合物またはアルミニウム含有無機化合物を用いて形成すればよい。また、ゲート電極182や一対の端子186、188、配線190も、アルミニウムやチタン、タングステン、モリブデン、銅、ニッケル、タンタルなどの金属またはこれらの合金を含むように形成すればよい。
【0041】
上述したように、表示装置100はFFS方式の透過型液晶表示装置であり、画素単位で液晶層158の配向を制御することにより、バックライトから出射されて液晶層を通過する光の階調が画素単位で制御される。このため、表示装置100の駆動時には常に第1の配向膜156や第2の配向膜160、カラーフィルタ168、遮光膜166がバックライトからの光に曝され、その結果、これらの膜には光励起によってホールと電子が発生する。この状態で駆動トランジスタ130をオンにすると、第1の配向膜156は共通電極154と接するため、共通電極154から第1の配向膜156に電子が注入される。これにより、第1の配向膜156内では再結合によってホールが一部消失し、第1の配向膜156内の電荷バランスが崩れて電子リッチな状態となる。
【0042】
その後、所定期間経過後に駆動トランジスタ130がオフ状態となる。ここで、例えば駆動トランジスタのオフ電流が大きい場合には、オフ状態であっても画素電極152や半導体膜132を介して一部の電荷が移動するため、第1の配向膜156における電荷バランスは速やかに回復する。しかしながら、本実施形態のように酸化物半導体を半導体膜132に含む駆動トランジスタ130のオフ電流は極めて低く、無視できる程度である。このため、第1の配向膜156における電荷バランスの回復は遅く、電荷のアンバランスな状態が維持される。このような現象が発生すると、駆動トランジスタ130がオンとなる度に電荷の偏りが蓄積し、これが他の層の分極を助長してしまうことが想定し得る。例えば、電荷の偏りが対向基板104側の遮光膜166の分極にまで影響を及ぼし、遮光膜166の分極がさらにアレイ基板102側の共通電極の電位シフト(Vcomシフト)を促してしまうことが想定し得る。この現象は、特に誘電率の高い遮光膜166が存在する場合に顕著となりやすい。このようなVcomシフトはフリッカー発生の原因となるため、表示品質が低下する。
【0043】
しかしながら、本発明の実施形態の一つに係る表示装置100では、カラーフィルタ168とオーバーコート172の間および遮光膜166とオーバーコート172の間に導電性を有する第1の透光性導電膜170が配置される。このため、第1の配向膜156内において電荷バランスが崩れても、これによって生じる電界は第1の透光性導電膜170によって遮蔽され、カラーフィルタ168や遮光膜166の分極を防止することができる。その結果、Vcomシフトが防止され、Vcomシフトに起因するフリッカーの発生が抑制される。したがって、本発明の実施形態を適用することで、表示品質が高い液晶表示装置を提供することができる。
【0044】
6.変形例
表示装置100の構成は上述した構成に限られず、種々の変形が可能である。以下、変形例について説明する。
【0045】
(1)変形例1
図6に示すように、互いに重なる二つのオーバーコート172-1と172-2を配置し、これらの間に第1の透光性導電膜170を配置してもよい。オーバーコート172-1と172-2の厚さは同一でもよく、異なってもよい。また、オーバーコート172-1と172-2の組成は同一でもよく、異なってもよい。なお、カラーフィルタ168側のオーバーコート172-1が高分子を含む場合、比較的容易にカラーフィルタ168や遮光膜166に起因する凹凸を吸収することができるため、変形例1では、距離Dを隣接する画素120間で同一または実質的に同一にすることも可能である。
【0046】
あるいは、
図7に示すように、第1の透光性導電膜170を第2の配向膜160とオーバーコート172の間に配置してもよい。この場合でも、高分子を含むのオーバーコート172を用いることで、距離Dを隣接する画素120間で同一または実質的に同一にすることができる。
【0047】
変形例1においても、第1の配向膜156内において電荷バランスが崩れた場合でも、これによって生じる電界は第1の透光性導電膜170によって遮蔽されるため、カラーフィルタ168や遮光膜166の分極を防止することができる。このため、駆動トランジスタ130の極めて低いオフ電流に起因して第1の配向膜156の電荷バランスが崩れても、Vcomシフトを効果的に防止することができる。
(2)変形例2
あるいは、
図8に示すように、対向基板104と遮光膜166の間に、遮光膜166と接する第1の透光性導電膜170を配置してもよい。この場合、第1の透光性導電膜170と遮光膜166の間で電荷移動が可能であるため、第1の配向膜156において電荷バランスが崩れても、遮光膜166における分極を防止することができる。その結果、フリッカーの発生が抑制され、高品質な映像を提供することが可能となる。
【0048】
変形例2では、表示装置100は必ずしも全ての画素120と重なる単一の第1の透光性導電膜170を備える必要は無く、
図9Aから
図12を用いて説明するように、様々な形状パターンを有する第1の透光性導電膜170を有することができる。
図8Aから
図12は表示装置100の模式的上面図(平面図)であり、
図9Bから
図12では対向基板104は図示されず、画素120、遮光膜166、および第1の透光性導電膜170間の配置関係が示されている。
【0049】
例えば、
図9Aに示すように対向基板104の下に画素120がマトリクス状に配置される場合、遮光膜166は、隣接する画素120の間の領域を覆うように配置される(
図9B)。すなわち、遮光膜166は、マトリクス状に配列されて画素120と対向する複数の開口166aを有する。この時、第1の透光性導電膜170も、マトリクス状に配列されて画素120と対向する複数の開口170aを有するように構成することができる(
図10A)。したがって、第1の透光性導電膜170は、画素120の少なくとも一部を露出し、かつ、遮光膜166と重なる単一の膜として形成することができる。
【0050】
あるいは、
図10Bや
図11Aに示すように、表示装置100は、互いに平行にストライプ状に配列した複数の第1の透光性導電膜170を備えてもよい。この場合、複数の第1の透光性導電膜170の長手方向は、走査線136若しくは信号線144が延伸する方向、または、走査線136若しくは信号線144に沿って画素120が延伸する方向となる。また、それぞれの第1の透光性導電膜170は、遮光膜166と重なるように延伸する。
【0051】
あるいは、
図11Bや
図12に示すように、表示装置100は、複数の開口170aを有する第1の透光性導電膜170を有してもよい。複数の開口170aの長手方向は、走査線136若しくは信号線144が延伸する方向、または、走査線136若しくは信号線144に沿って画素120が延伸する方向となる。また、各開口170aは、走査線136または信号線144が延伸する方向に配列する複数の画素120と重なる。この場合においても、第1の透光性導電膜170は、遮光膜166と重なるように配置される。
【0052】
本発明の実施形態として上述した各実施形態は、相互に矛盾しない限りにおいて、適宜組み合わせて実施することができる。また、各実施形態の表示装置を基にして、当業者が適宜構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略もしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
【0053】
上述した各実施形態の態様によりもたらされる作用効果とは異なる他の作用効果であっても、本明細書の記載から明らかなもの、または、当業者において容易に予測し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
【符号の説明】
【0054】
100:表示装置、102:アレイ基板、104:対向基板、106:走査線駆動回路、108:信号線駆動回路、110:端子、120:画素、122:遮光膜、124:ゲート絶縁膜、126:第1の層間絶縁膜、130:駆動トランジスタ、132:半導体膜、134:ゲート絶縁膜、136:走査線、136a:ゲート電極、138:第2の層間絶縁膜、140:第3の層間絶縁膜、142:ドレイン電極、144:信号線、144a:ソース電極、146:平坦化膜、148:補助配線、150:液晶素子、152:画素電極、154:共通電極、154a:スリット、156:第1の配向膜、158:液晶層、160:第2の配向膜、162:電極間絶縁膜、164:スペーサ、166:遮光膜、166a:開口、168:カラーフィルタ、170:第1の透光性導電膜、170a:開口、172:オーバーコート、172-1:オーバーコート、172-2:オーバーコート、174:シール材、176:第2の透光性導電膜、180:回路トランジスタ、182:ゲート電極、184:半導体膜、186:端子、188:端子、190:配線