(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024112615
(43)【公開日】2024-08-21
(54)【発明の名称】加圧装置
(51)【国際特許分類】
B30B 15/02 20060101AFI20240814BHJP
【ＦＩ】
B30B15/02 E
【審査請求】有
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023017779
(22)【出願日】2023-02-08
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2023-09-05
(71)【出願人】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】澤田 智世
(72)【発明者】
【氏名】森 隆博
【テーマコード（参考）】
4E088
【Ｆターム（参考）】
4E088EA10
(57)【要約】
【課題】枠部材の交換時における作業者の作業負担が軽減されると共に、枠部材の製作時における枠部材の加工リスクが低減される加圧装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧装置１は、被加圧物Ｗを挟み込み、加圧する一対の加圧ユニット２，３を有してなる。一方の加圧ユニット２は、被加圧物が加圧されるとき、被加圧物の表面の形状に追従して変形する柔軟体２５１を備える加圧パッド２５と、加圧パッドを保持する枠部材２６と、を備える。枠部材は、柔軟体の全周を囲むように配置されて、柔軟体を保持する第１枠部材２６ａと、第１枠部材が着脱可能に取り付けられる第２枠部材２６ｂと、第１枠部材の全周を囲むように配置されて、第２枠部材に着脱可能に取り付けられて、第１枠部材を第２枠部材に固定する第３枠部材２６ｃと、を備える。水平方向において、第３枠部材は、第１枠部材と第２枠部材とに当接する。
【選択図】図２
【解決手段】本発明に係る加圧装置１は、被加圧物Ｗを挟み込み、加圧する一対の加圧ユニット２，３を有してなる。一方の加圧ユニット２は、被加圧物が加圧されるとき、被加圧物の表面の形状に追従して変形する柔軟体２５１を備える加圧パッド２５と、加圧パッドを保持する枠部材２６と、を備える。枠部材は、柔軟体の全周を囲むように配置されて、柔軟体を保持する第１枠部材２６ａと、第１枠部材が着脱可能に取り付けられる第２枠部材２６ｂと、第１枠部材の全周を囲むように配置されて、第２枠部材に着脱可能に取り付けられて、第１枠部材を第２枠部材に固定する第３枠部材２６ｃと、を備える。水平方向において、第３枠部材は、第１枠部材と第２枠部材とに当接する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
鉛直方向において、被加圧物を挟み込み、加圧する加圧装置であって、
鉛直方向において対向するように配置されて、前記被加圧物を挟み込み、加圧する一対の加圧ユニット、を有してなり、
一対の前記加圧ユニットのうち、一方の前記加圧ユニットは、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物の表面の形状に追従して変形する柔軟体を備える加圧パッドと、
前記加圧パッドを保持する枠部材と、
を備え、
前記枠部材は、
水平方向において、前記柔軟体の全周を囲むように配置されて、前記柔軟体を保持する第１枠部材と、
前記第１枠部材が着脱可能に取り付けられる第２枠部材と、
水平方向において、前記第１枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第２枠部材に着脱可能に取り付けられて、前記第１枠部材を前記第２枠部材に固定する第３枠部材と、
を備え、
水平方向において、前記第３枠部材は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とに当接する、
加圧装置。
鉛直方向において対向するように配置されて、前記被加圧物を挟み込み、加圧する一対の加圧ユニット、を有してなり、
一対の前記加圧ユニットのうち、一方の前記加圧ユニットは、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物の表面の形状に追従して変形する柔軟体を備える加圧パッドと、
前記加圧パッドを保持する枠部材と、
を備え、
前記枠部材は、
水平方向において、前記柔軟体の全周を囲むように配置されて、前記柔軟体を保持する第１枠部材と、
前記第１枠部材が着脱可能に取り付けられる第２枠部材と、
水平方向において、前記第１枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第２枠部材に着脱可能に取り付けられて、前記第１枠部材を前記第２枠部材に固定する第３枠部材と、
を備え、
水平方向において、前記第３枠部材は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とに当接する、
加圧装置。
【請求項2】
水平方向において、前記第１枠部材に対して前記柔軟体が配置されている方向は、第１方向であり、前記第１方向の反対側の方向は、第２方向であり、
鉛直方向において、前記加圧パッドに対して前記被加圧物が配置される方向は、第３方向であり、前記第３方向の反対側の方向は、第４方向であり、
前記第２枠部材は、
前記第２枠部材の前記第３方向側の端部のうち、前記第１方向側の端部に配置されて、前記第１枠部材と前記第３枠部材とが配置される凹部と、
水平方向において、前記凹部よりも前記第２方向側に配置されて、前記第３枠部材の全周を囲むように配置される凸部と、
を備え、
水平方向において、前記第３枠部材は、前記第１枠部材と前記凸部とに当接する、
請求項１に記載の加圧装置。
鉛直方向において、前記加圧パッドに対して前記被加圧物が配置される方向は、第３方向であり、前記第３方向の反対側の方向は、第４方向であり、
前記第２枠部材は、
前記第２枠部材の前記第３方向側の端部のうち、前記第１方向側の端部に配置されて、前記第１枠部材と前記第３枠部材とが配置される凹部と、
水平方向において、前記凹部よりも前記第２方向側に配置されて、前記第３枠部材の全周を囲むように配置される凸部と、
を備え、
水平方向において、前記第３枠部材は、前記第１枠部材と前記凸部とに当接する、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項3】
前記第１枠部材は、前記第２方向に向けられる第１外周面、を備え、
水平方向において、前記凸部は、前記第３枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第１方向に向けられる第２内周面、を備え、
前記第３枠部材は、
水平方向において、前記第１枠部材の全周を囲むように配置されて、
前記第１外周面に対向して、前記第１外周面に当接する第３内周面と、
前記第２内周面に対向して、前記第２内周面に当接する第３外周面と、
を備える、
請求項２に記載の加圧装置。
水平方向において、前記凸部は、前記第３枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第１方向に向けられる第２内周面、を備え、
前記第３枠部材は、
水平方向において、前記第１枠部材の全周を囲むように配置されて、
前記第１外周面に対向して、前記第１外周面に当接する第３内周面と、
前記第２内周面に対向して、前記第２内周面に当接する第３外周面と、
を備える、
請求項２に記載の加圧装置。
【請求項4】
前記第３内周面は、前記第４方向から前記第３方向に向かうにつれて、前記第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面であり、
前記第１外周面は、前記第３方向から前記第４方向に向かうにつれて、前記第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面であり、
前記第３枠部材は、前記第４方向に向けて押圧された状態で、前記第２枠部材に取り付けられる、
請求項３に記載の加圧装置。
前記第１外周面は、前記第３方向から前記第４方向に向かうにつれて、前記第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面であり、
前記第３枠部材は、前記第４方向に向けて押圧された状態で、前記第２枠部材に取り付けられる、
請求項３に記載の加圧装置。
【請求項5】
前記第３外周面は、前記第４方向から前記第３方向に向かうにつれて、前記第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面であり、
前記第２内周面は、前記第３方向から前記第４方向に向かうにつれて、前記第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面である、
請求項４に記載の加圧装置。
前記第２内周面は、前記第３方向から前記第４方向に向かうにつれて、前記第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面である、
請求項４に記載の加圧装置。
【請求項6】
前記凹部は、前記第３方向に向けられて、前記第１枠部材と前記第３枠部材とが取り付けられる取付面、を備え、
前記取付面は、前記第２内周面の前記第１方向側に配置される、
請求項３乃至５のいずれか１項に記載の加圧装置。
前記取付面は、前記第２内周面の前記第１方向側に配置される、
請求項３乃至５のいずれか１項に記載の加圧装置。
【請求項7】
前記被加圧物が加圧されるとき、前記枠部材と前記加圧パッドとに対向するように配置されて、前記加圧パッドと共に前記被加圧物を挟み込む対向部材に、前記被加圧物が載置されて、
前記対向部材は、前記枠部材と前記加圧パッドとに対向して、水平方向に平行な対向面、を備え、
鉛直方向において、前記第１枠部材の厚みは、前記凹部の深さ以上であり、
鉛直方向において、前記第３枠部材の厚みは、前記凹部の深さよりも小さく、
鉛直方向において、前記第１枠部材は、前記取付面に当接して、
鉛直方向において、前記第３枠部材と前記取付面との間には、前記第１枠部材の厚みと前記第３枠部材の厚みとの差分よりも小さい隙間が形成される、
請求項６に記載の加圧装置。
前記対向部材は、前記枠部材と前記加圧パッドとに対向して、水平方向に平行な対向面、を備え、
鉛直方向において、前記第１枠部材の厚みは、前記凹部の深さ以上であり、
鉛直方向において、前記第３枠部材の厚みは、前記凹部の深さよりも小さく、
鉛直方向において、前記第１枠部材は、前記取付面に当接して、
鉛直方向において、前記第３枠部材と前記取付面との間には、前記第１枠部材の厚みと前記第３枠部材の厚みとの差分よりも小さい隙間が形成される、
請求項６に記載の加圧装置。
【請求項8】
前記柔軟体から前記第２方向へ向けられる仮想直線上において、前記第３枠部材の幅は、前記第１枠部材と前記凸部それぞれの幅よりも小さい、
請求項７に記載の加圧装置。
請求項７に記載の加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加圧装置に関する。
【背景技術】
【0002】
複数の電子部品（基板、回路素子）などにより構成される被加圧物を加圧するための加圧装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。同装置は、上加圧ユニットと下加圧ユニットとを有してなる。被加圧物は、上加圧ユニットと下加圧ユニットとの間に配置される。上加圧ユニットは、ベース部材、上型、加圧パッド、枠部材、およびバネ部材を備える。ベース部材は、上型およびバネ部材を保持している。上型は、ベース部材と共に下方向に移動して、加圧パッドを介して被加圧物を加圧する。枠部材は、上型に対して上下方向に相対移動可能にバネ部材に保持されている。枠部材は、柔軟性を備える加圧パッドを保持している。被加圧物が上型により加圧されるとき、加圧パッドは、被加圧物の形状に追従して変形して、被加圧物を均等に加圧する。下加圧ユニットは、下型を備えている。被加圧物は、下型の表面に載置されている。被加圧物が上型により加圧されるとき、被加圧物は加圧パッドおよび下型により挟み込まれて、加圧される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００７－８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
被加圧物が上型により加圧されているとき、加圧パッドでは全方向に向けて略均等な圧力が作用している。そのため、被加圧物が高圧力により加圧されているとき、加圧パッドを保持する枠部材にも高圧力が作用している。そのため、水平方向における枠部材の長さは、高圧力に耐え得る長さに設計されている。すなわち、水平方向における枠部材の長さは、枠部材に作用する圧力の増加に応じて、大きくなる。その結果、枠部材の大きさは大きくなり、枠部材の重量も増加する。加圧パッドは使用回数に応じて定期的に取り換えられるので、枠部材の重量が増加すれば、加圧パッドの取り換えに伴う枠部材の着脱の際に、作業者の作業負担が大きくなる。
【0005】
また、水平方向における枠部材の長さが大きくなると、反りが発生する、および加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクにより、枠部材における平坦面の平坦性の確保が難しくなる。特に、載置台に当接する平坦面の平坦性が確保されなければ、加圧処理において、加圧パッドによる被加圧物への圧力の均等性が確保できなくなる。その結果、被加圧物が配置される位置にずれが生じ得て、被加圧物の品質が保たれなくなり得る。このように、枠部材の製作時において、枠部材の反りが発生する、および枠部材の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが大きくなる技術的課題が生じ得る。
【0006】
本発明は、枠部材の交換時における作業者の作業負担を軽減すると共に、枠部材の製作時における枠部材の反りが発生する、および枠部材の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一実施態様における加圧装置は、鉛直方向において、被加圧物を挟み込み、加圧する加圧装置であって、鉛直方向において対向するように配置されて、前記被加圧物を挟み込み、加圧する一対の加圧ユニット、を有してなり、一対の前記加圧ユニットのうち、一方の前記加圧ユニットは、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物の表面の形状に追従して変形する柔軟体を備える加圧パッドと、前記加圧パッドを保持する枠部材と、を備え、前記枠部材は、水平方向において、前記柔軟体の全周を囲むように配置されて、前記柔軟体を保持する第１枠部材と、前記第１枠部材が着脱可能に取り付けられる第２枠部材と、水平方向において、前記第１枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第２枠部材に着脱可能に取り付けられて、前記第１枠部材を前記第２枠部材に固定する第３枠部材と、を備え、水平方向において、前記第３枠部材は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とに当接する。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、枠部材の交換時における作業者の作業負担が軽減されると共に、枠部材の製作時における枠部材の反りが発生する、および枠部材の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが低減される。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明に係る加圧装置における被加圧物の圧着工程を示す概念図である。（ａ）は、載置台に配置されている被加圧物の状態を示している。（ｂ）は、加圧パッドが被加圧物に当接している状態を示している。（ｃ）は、加圧パッドが被加圧物の形状に追従して変形している状態を示している。
【図2】本発明に係る加圧装置の実施の形態を示す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本発明に係る加圧装置（以下「本装置」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、図面は適宜参照される。以下の説明において、同一の構造または機能を有する要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、各図面に図示されている比率に限定されない。
【0011】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、本装置は水平な床面に設置されている。本装置において、水平方向は床面の水平面に対して平行な方向であり、鉛直方向は水平面に対して垂直な方向である。鉛直方向において、下方向は本装置に対して床面が位置する方向であり、上方向は下方向とは反対方向である。下方向は本発明における第３方向の一例であり、上方向は本発明における第４方向の一例である。
【0012】
●加圧装置●
●被加圧物の圧着工程
先ず、本装置における被加圧物の圧着工程が、本装置による加圧の一例として以下に説明される。
●被加圧物の圧着工程
先ず、本装置における被加圧物の圧着工程が、本装置による加圧の一例として以下に説明される。
【0013】
図１は、本装置１（図２参照。以下同じ。）における被加圧物Ｗの圧着工程を示す概念図である。（ａ）は、載置台３１（図２参照、以下同じ。）に配置されている被加圧物Ｗの状態を示している。（ｂ）は、加圧パッド２５が被加圧物Ｗに当接している状態を示している。（ｃ）は、加圧パッド２５が被加圧物Ｗの形状に追従して変形している状態を示している。
【0014】
被加圧物Ｗは、本装置１に加圧される対象である。被加圧物Ｗは、複数の電子部品が組み合わされて構成されている。被加圧物Ｗは、例えば、基板ｗ１、回路素子ｗ２、および接着剤ｗ３を備える。
【0015】
なお、本発明において、被加圧物Ｗは、複数の電子部品が組み合わされた構成に限定されない。
【0016】
図１に示される例において、基板ｗ１は載置台３１に載置されていて、回路素子ｗ２は基板ｗ１の上方向に配置されていて、接着剤ｗ３が基板ｗ１と回路素子ｗ２との間に配置されている。このとき、基板ｗ１の配線ｗ１１は、回路素子ｗ２の対応するバンプｗ２１の下方向に配置されていて、バンプｗ２１に対向している。
【0017】
本装置１により被加圧物Ｗが加圧されるとき、先ず、被加圧物Ｗの上方向に配置されていた加圧パッド２５は、下降して、回路素子ｗ２に当接する（図１（ｂ）参照）。次いで、加圧パッド２５は、被加圧物Ｗの形状に追従して基板ｗ１、回路素子ｗ２、および接着剤ｗ３の側方向を囲むように変形しながら、被加圧物Ｗを加圧する。このとき、被加圧物Ｗは、側方向を加圧パッド２５に囲まれながら、上方向側および側方向側から加圧される。また、接着剤ｗ３が圧縮されて、回路素子ｗ２は基板ｗ１に近接する。その結果、配線ｗ１１がバンプｗ２１に近接して、両者間において圧縮された接着剤ｗ３が導通する。次いで、加圧されている被加圧物Ｗが加熱されて、接着剤ｗ３が熱硬化する。このように、本装置１により、回路素子ｗ２は基板ｗ１に圧着される。
【0018】
●加圧装置の構成
次に、本装置１の構成が、以下に説明される。
次に、本装置１の構成が、以下に説明される。
【0019】
【0020】
本装置１は、被加圧物Ｗを加圧する。本装置１は、上加圧ユニット２、下加圧ユニット３、昇降機構（不図示。以下同じ。）、真空ポンプＰ、および制御部（不図示。以下同じ。）を有してなる。上加圧ユニット２および下加圧ユニット３は、本発明における一対の加圧ユニットの一例である。
【0021】
鉛直方向において、上加圧ユニット２は、下加圧ユニット３と共に被加圧物Ｗを挟み込み、被加圧物Ｗを加圧する。上加圧ユニット２は、下加圧ユニット３の上方向に配置されている。すなわち、鉛直方向において、上加圧ユニット２は、下加圧ユニット３に対向するように、下加圧ユニット３の上方向に配置されている。上加圧ユニット２は、昇降機構により鉛直方向に移動可能である。上加圧ユニット２は、ベース部材２１、上型２２、サイド部材２３、シリンダ２４、加圧パッド２５、枠部材２６、バネ部材２７、および取付ボルト２８を備える。上加圧ユニット２は、本発明における一方の加圧ユニットの一例である。
【0022】
ベース部材２１は、上型２２、シリンダ２４、およびバネ部材２７を保持している。ベース部材２１は、昇降機構により鉛直方向に移動可能に、昇降機構に保持されている。
【0023】
上型２２は、加圧パッド２５を介して上方向から被加圧物Ｗを加圧する。上型２２は、ベース部材２１の下面に配置されていて、ベース部材２１に保持されている。上型２２は、ベース部材２１と一体となって移動する。水平方向において、上型２２の断面形状は、矩形状である。上型２２の下面の形状は、平面状である。上型２２は、上型２２の内部に加熱機構（不図示。以下同じ。）を備える。加熱機構は、被加圧物Ｗに熱を加える。加熱機構の具体的な説明は、後述される。
【0024】
なお、本発明において、上型２２は、上型２２の内部に加熱機構を備えなくてもよい。
【0025】
サイド部材２３は、上加圧ユニット２と下加圧ユニット３との間の被加圧物Ｗが載置される空間を密閉させる。水平方向においてサイド部材２３は、密閉された空間（以下「密閉空間」という。）の全周を囲むように配置されている。下面視において、サイド部材２３の形状は、矩形枠状である。すなわち、下面視において、サイド部材２３の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。サイド部材２３は、サイド部材２３の内側から外側へ貫通している排気孔２３ａを備える。サイド部材２３の内側の内部空間には、上型２２、加圧パッド２５、枠部材２６、およびバネ部材２７が配置されている。水平方向において、サイド部材２３は、上型２２、加圧パッド２５、枠部材２６、およびバネ部材２７を囲むように配置されている。サイド部材２３は、シリンダ２４を介してベース部材２１に保持されている。サイド部材２３が後述される載置台３１に当接することで、被加圧物Ｗが載置されている空間が密閉されて、密閉空間が形成される。
【0026】
「密閉空間」は、サイド部材２３が載置台３１に当接したとき、上型２２、サイド部材２３、枠部材２６、および載置台３１により区画される空間である。相互に隣接する部材の間には、シール（不図示。以下同じ。）が配置されていて、密閉空間の密閉性が保たれている。
【0027】
シリンダ２４は、ベース部材２１に保持されていて、サイド部材２３を昇降可能に保持している。シリンダ２４は、サイド部材２３を下降させて、サイド部材２３を載置台３１に当接させる。シリンダ２４は、例えば、公知のエアシリンダである。
【0028】
加圧パッド２５は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、被加圧物Ｗの表面の形状に追従して変形して、被加圧物Ｗを均等に加圧する。加圧パッド２５は、上型２２と載置台３１との間に配置されている。加圧パッド２５は、柔軟体２５１、および２枚の膜２５２，２５３を備える。
【0029】
柔軟体２５１は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、被加圧物Ｗに均等な圧力を作用させる。柔軟体２５１は、上下の膜２５２，２５３の間に配置されている。柔軟体２５１は、例えば、公知の高い流動性および低い反発弾性率を有する弾性体材料製である。
【0030】
膜２５２，２５３は、柔軟体２５１を保持すると共に、柔軟体２５１の水平方向の流動により生じる被加圧物Ｗのずれを防止する。膜２５２，２５３は、例えば、公知のシリコンゴム膜である。水平方向において、２枚の膜２５２，２５３それぞれの端部は、全周に亘り、枠部材２６に保持されている。
【0031】
このように構成されている加圧パッド２５は、水平方向において、全周に亘り、枠部材２６に保持されている。
【0032】
枠部材２６は、加圧パッド２５を保持する。下面視において、枠部材２６の形状は、矩形枠状である。すなわち、下面視において、枠部材２６の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。枠部材２６は、ボルトなどが挿入される複数の孔を備える。水平方向において、枠部材２６は、上型２２を囲むように配置されている。枠部材２６は、バネ部材２７を介して、上型２２に対して鉛直方向に相対移動可能に、ベース部材２１に保持されている。枠部材２６は、例えば、公知の鋼合金製である。枠部材２６は、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃを備える。枠部材２６は、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされることで、１つの枠部材２６として水平方向の圧力に耐えられる構造を有する。枠部材２６の具体的な構造は、後述される。
【0033】
水平方向において、第１枠部材２６ａは、加圧パッド２５の全周を囲むように配置されていて、加圧パッド２５を保持している。第１枠部材２６ａは、３つの保持部材およびボルトを備える。積層された３つの保持部材がボルトにより固定されていて、１つの第１枠部材２６ａが構成されている。各保持部材間には、加圧パッド２５の膜２５２，２５３の端部が挟持されている。その結果、加圧パッド２５は、第１枠部材２６ａに保持されている。加圧パッド２５を保持している第１枠部材２６ａは、加圧パッドユニットを構成している。
【0034】
ここで、水平方向において、第１枠部材２６ａに対して、加圧パッド２５が配置されている方向は第１方向であり、第１方向の反対側の方向は第２方向であるものとする。
【0035】
第１枠部材２６ａは、第１内周面ａ１、第１外周面ａ２、第１上面ａ３、および第１下面ａ４を備える。
【0036】
第１内周面ａ１は、第１方向に向けられていて、柔軟体２５１に当接している。
【0037】
第１外周面ａ２は、第２方向に向けられていて、後述される第３内周面ｃ１に当接している。第１外周面ａ２は、下方向から上方向に向かうにつれて、第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。
【0038】
第１上面ａ３は、上方向に向けられていて、後述される取付面ｂ３に当接している。第１上面ａ３は、水平方向に平行な面である。
【0039】
第１下面ａ４は、下方向に向けられていて、載置台３１に対向している。第１下面ａ４は、水平方向に平行な面である。本実施の形態において、第１外周面ａ２と第１下面ａ４との間で形成される角度θ１は、鈍角（本実施の形態では、例えば１２０度）である。
【0040】
第２枠部材２６ｂは、枠部材２６におけるベースとなる部材である。第２枠部材２６ｂには、第１枠部材２６ａが着脱可能に取り付けられる。第１方向から第２方向に向けて第２枠部材２６ｂが切断されたときの第２枠部材２６ｂの断面形状は、略Ｌ字形状である。水平方向において、第２枠部材２６ｂは、上型２２の全周、および第３枠部材２６ｃの全周を囲むように配置されている。第２枠部材２６ｂは、上型２２に対して鉛直方向に相対移動可能に、バネ部材２７を介してベース部材２１に保持されている。第２枠部材２６ｂは、凹部ｂ１（図５参照）、凸部ｂ２（図５参照）、取付面ｂ３，第２内周面ｂ４、第２下面ｂ５、および第２上面ｂ６を備える。
【0041】
第２枠部材２６ｂの下部の第１方向側の部分は、全周に亘り上方向に凹むように形成されていて、凹部ｂ１を構成している。凹部ｂ１には、第１枠部材２６ａおよび第３枠部材２６ｃが配置されている。凹部ｂ１は、取付面ｂ３を備える。
【0042】
第２枠部材２６ｂの下部の第２方向側の部分は、凹部ｂ１よりも下方向に突出していて、凸部ｂ２を構成している。すなわち、凸部ｂ２は、凹部ｂ１の第２方向側に配置されている。水平方向において、凸部ｂ２は、第３枠部材２６ｃの全周を囲むように配置されている。凸部ｂ２は、第２内周面ｂ４および第２下面ｂ５を備える。
【0043】
取付面ｂ３は、下方向に向けられていて、第１上面ａ３に当接している。取付面ｂ３は、水平方向に平行な面である。
【0044】
第２内周面ｂ４は、第１方向に向けられていて、後述される第３外周面ｃ２に当接している。第２内周面ｂ４は、下方向から上方向に向かうにつれて、第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。第２内周面ｂ４は、取付面ｂ３の第２方向側に配置されている。すなわち、取付面ｂ３は、第２内周面ｂ４の第１方向側に配置されている。
【0045】
第２下面ｂ５は、下方向に向けられていて、載置台３１に対向している。第２下面ｂ５は、水平方向に平行な面である。本実施の形態において、第２内周面ｂ４と第２下面ｂ５との間で形成される角度θ２は、鈍角（本実施の形態では、例えば、１２０度）である。
【0046】
第２上面ｂ６は、上方向に向けられていて、バネ部材２７が取り付けられている。第２上面ｂ６は、水平方向に平行な面である。
【0047】
第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａを第２枠部材２６ｂに固定する。第１方向から第２方向に向けて第２枠部材２６ｂが切断されたときの鉛直方向における第３枠部材２６ｃの断面形状は、台形状である。水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａの全周を囲むように配置されていて、第２枠部材２６ｂに着脱可能に取り付けられている。第３枠部材２６ｃは、第３内周面ｃ１、第３外周面ｃ２、第３下面ｃ３、および第３上面ｃ４を備える。
【0048】
第３内周面ｃ１は、第１方向に向けられていて、第１外周面ａ２に当接している。第３内周面ｃ１は、上方向から下方向に向かうにつれて、第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。
【0049】
第３外周面ｃ２は、第２方向に向けられていて、第２内周面ｂ４に当接している。第３外周面ｃ２は、上方向から下方向に向かうにつれて、第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。
【0050】
第３下面ｃ３は、下方向に向けられていて、水平方向に平行な面である。第３上面ｃ４は、上方向に向けられていて、水平方向に平行な面である。水平方向において、第３下面ｃ３の長さは、第３上面ｃ４の長さよりも大きい。すなわち、第３枠部材２６ｃの断面形状は、上部が先細る台形状である。本実施の形態において、第３内周面ｃ１と第３下面ｃ３との間で形成される角度θ３、および、第３外周面ｃ２と第３下面ｃ３との間で形成される角度θ４は、鋭角（本実施の形態では、例えば、６０度）である。
【0051】
第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされて、枠部材２６が構成されている。第１枠部材２６ａは、第３枠部材２６ｃおよび第１取付ボルト２８ａにより、第２枠部材２６ｂに取り付けられている。第３枠部材２６ｃは、第２取付ボルト２８ｂにより、第２枠部材２６ｂに取り付けられている。第３枠部材２６ｃの第３内周面ｃ１は、第１枠部材２６ａの第１外周面ａ２に対向して配置されている。第３内周面ｃ１の全面は、第１外周面ａ２に当接している。第３枠部材２６ｃの第３外周面ｃ２は、第２内周面ｂ４に対向して配置されている。第３外周面ｃ２の全面は、第２内周面ｂ４に当接している。すなわち、水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａ、および第２枠部材２６ｂの凸部ｂ２に当接している。換言すれば、水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａおよび第２枠部材２６ｂに当接している。
【0052】
前述のとおり、第３枠部材２６ｃの断面形状は、上部が先細る台形状である。そのため、第３内周面ｃ１が第１外周面ａ２に当接したとき、第３内周面ｃ１は斜め下方向から第１外周面ａ２を保持している。このとき、第３内周面ｃ１が、第１外周面ａ２に面接触している。その結果、水平方向において、第１枠部材２６ａは、全周に亘り第３枠部材２６ｃに保持されている。加えて、第１枠部材２６ａは、第３枠部材２６ｃにより取付面ｂ３に押し付けられている。
【0053】
鉛直方向において、第１枠部材２６ａの長さ（厚み）は第２枠部材２６ｂの凹部ｂ１の長さ（深さ）より大きく、第３枠部材２６ｃの長さ（厚み）は第２枠部材２６ｂの凹部ｂ１の長さ（深さ）よりも小さい。第１枠部材２６ａの第１上面ａ３は、第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３に当接している。柔軟体２５１から第２方向へ延出される仮想直線Ｖ上において、第３枠部材２６ｃの長さ（幅）は、第２枠部材２６ｂの凸部ｂ２、および第１枠部材２６ａそれぞれの長さ（幅）よりも小さい。
【0054】
鉛直方向において、第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３と、第３枠部材２６ｃの第３上面ｃ４との間には、第１枠部材２６ａの厚みと、第３枠部材２６ｃの厚みと、の差分よりも小さい隙間ｓが形成されている。前述のとおり、第３枠部材２６ｃの断面形状は、上部が先細る台形状である。そのため、第３枠部材２６ｃが第２取付ボルト２８ｂにより上方向に押されると、第３内周面ｃ１は第１外周面ａ２に密着して、第３外周面ｃ２は第２内周面ｂ４に密着する。このとき、第１枠部材２６ａおよび凸部ｂ２は、第３枠部材２６ｃにより斜め上方向へ向かう力を受ける。その結果、第１枠部材２６ａは、第３枠部材２６ｃにより第１方向および上方向に押し付けられて、第２枠部材２６ｂに取り付けられる（固定される）。このとき、第１取付ボルト２８ａが緩められていると、第１枠部材２６ａが第３枠部材２６ｃにより水平方向（第１方向または第２方向）に押されて、水平方向において、第２枠部材２６ｂに対する第１枠部材２６ａの位置が決められる。
【0055】
第１枠部材２６ａが第３枠部材２６ｃから受ける力は、第２取付ボルト２８ｂが第３枠部材２６ｃを上方向に押し付ける力（すなわち、第２取付ボルト２８ｂの締結力）が増加するにつれて増加する。ここで、仮に、隙間ｓが形成されていない場合（第３上面ｃ４が取付面ｂ３に当接している場合）、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃそれぞれが高精度に作製されなければ、同力は殆ど生じ得ず、その結果、第３内周面ｃ１と第１外周面ａ２との密着、および、第３外周面ｃ２と第２内周面ｂ４との密着が阻害され得る（すなわち、各面間に隙間が生じ得る）。本実施の形態では、隙間ｓが形成されているので、第２取付ボルト２８ｂは、常に所定の値以上の締結力で第３枠部材２６ｃを上方向に押し付けることができる。したがって、第３内周面ｃ１と第１外周面ａ２との密着、および、第３外周面ｃ２と第２内周面ｂ４との密着が、常に保たれている。その結果、３つの第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされて枠部材２６が構成されていても、枠部材２６は水平方向における高圧力に耐えられる構造を有する。
【0056】
バネ部材２７は、枠部材２６を上型２２に対して鉛直方向に相対移動可能に保持する。バネ部材２７は、ベース部材２１の下面と、第２枠部材２６ｂの第２上面ｂ６と、に取り付けられている。バネ部材２７は、例えば、公知のバネである。
【0057】
取付ボルト２８は、第２枠部材２６ｂに、第１枠部材２６ａおよび第３枠部材２６ｃを取り付ける。取付ボルト２８は、第１取付ボルト２８ａおよび第２取付ボルト２８ｂを備える。第１取付ボルト２８ａは第１枠部材２６ａを第２枠部材２６ｂに取り付けていて、第２取付ボルト２８ｂは第３枠部材２６ｃを第２枠部材２６ｂに取り付けている。その結果、第１枠部材２６ａおよび第３枠部材２６ｃは、第２枠部材２６ｂに固定されている。
【0058】
鉛直方向において、下加圧ユニット３は、上加圧ユニット２と共に被加圧物Ｗを挟み込み、被加圧物Ｗを加圧する。下加圧ユニット３は、上加圧ユニット２に対向するように、上加圧ユニット２の下方向に配置されている。下加圧ユニット３は、載置台３１および下型３２を備える。下加圧ユニット３は、本発明における他方の加圧ユニットの一例である。
【0059】
載置台３１には、被加圧物Ｗが載置される。載置台３１は、対向面３１１および下面３１２を備える。対向面３１１は、サイド部材２３、加圧パッド２５、および枠部材２６に対向していて、水平方向に平行な面である。載置台３１は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、枠部材２６および加圧パッド２５に対向するように、これらの下方向に配置されていて、加圧パッド２５と共に被加圧物Ｗを挟み込む。載置台３１は、本発明における対向部材の一例である。
【0060】
下型３２は、載置台３１を介して、被加圧物Ｗを加圧する。下型３２は、載置台３１の下面３１２に配置されていて、床面に載置されている。水平方向において、下型３２の断面形状は、矩形状である。下型３２の上面の形状は、平面状である。
【0061】
なお、本発明において、下型３２は、下型３２の内部に加熱機構、および／または、冷却機構を備えてもよい。
【0062】
昇降機構は、上加圧ユニット２を保持して、上加圧ユニット２を昇降させて、被加圧物Ｗを加圧する。昇降機構は、例えば、公知の油圧シリンダを備える。
【0063】
なお、本発明において、昇降機構は、加圧動作が可能な機構であれば、どのような機構を備えてもよい。すなわち、例えば、昇降機構は、公知のエアシリンダを備えてもよい。
【0064】
真空ポンプＰは、被加圧物Ｗが載置されている密閉空間を真空状態にする。真空ポンプＰは、真空ポンプ用配管を介して、排気孔２３ａに接続されている。真空ポンプＰは、真空ポンプ用配管および排気孔２３ａを介して、密閉空間内の空気を吸引する。真空ポンプＰは、例えば、公知の真空ポンプ装置である。
【0065】
制御部は、本装置１全体の動作を制御する。制御部は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサ、ＣＰＵの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）などの揮発性メモリ、および、本装置１を制御するプログラムや他の制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）などの不揮発性メモリ、により構成されている。
【0066】
【0067】
図５は、枠部材２６を構成している第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが分離された状態を示す模式部分拡大断面図である。
図６は、枠部材２６を構成している第１枠部材２６ａを下方向から見た状態を示す底面図である。
図７は、枠部材２６を構成している第２枠部材２６ｂを下方向から見た状態を示す底面図である。
図８は、枠部材２６を構成している第３枠部材２６ｃを下方向から見た状態を示す底面図である。
図６は、枠部材２６を構成している第１枠部材２６ａを下方向から見た状態を示す底面図である。
図７は、枠部材２６を構成している第２枠部材２６ｂを下方向から見た状態を示す底面図である。
図８は、枠部材２６を構成している第３枠部材２６ｃを下方向から見た状態を示す底面図である。
【0068】
枠部材２６の第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃの着脱工程は、例えば、本装置１の保守の際に、主に、加圧パッド２５を交換することを目的として実行される。加圧パッド２５が数千回～数万回使用されると、加圧パッド２５の機能が十分に発揮されなくなるので、加圧パッド２５の定期的な交換が必要になる。加圧パッド２５が交換されるとき、第１枠部材２６ａを保持している第３枠部材２６ｃ、および、加圧パッド２５を保持している第１枠部材２６ａ（加圧パッドユニット）が、第２枠部材２６ｂから取り外される。このとき、第２枠部材２６ｂはバネ部材２７を介してベース部材２１に保持されているので、第２枠部材２６ｂは、本装置１から取り外されない。
【0069】
次に、枠部材２６の着脱工程のうち、枠部材２６における取外工程が、以下に説明される。
【0070】
「取外工程」は、加圧パッドユニットを、第２枠部材２６ｂから取り外す工程である。取外工程では、第３枠部材２６ｃが第２枠部材２６ｂから取り外された後に、第１枠部材２６ａが第２枠部材２６ｂから取り外される。
【0071】
先ず、第３枠部材２６ｃと載置台３１との間には、例えば、複数のジャッキ（不図示。以下同じ。）が配置される。複数のジャッキは、第３枠部材２６ｃの形状に合わせて、第３枠部材２６ｃの下方向に配置されていて、第３枠部材２６ｃを下方向から支持している。
【0072】
次いで、第２取付ボルト２８ｂが、取り外される。このとき、第３枠部材２６ｃは、ジャッキ上に載置されていて、第２枠部材２６ｂから分離される。
【0073】
次いで、第３枠部材２６ｃは、本装置１から外部に取り出される。このとき、第３枠部材２６ｃに偏在して力がかからないように、第３枠部材２６ｃは、水平が保たれた状態で取り出される。
【0074】
次に、加圧パッドユニットを第２枠部材２６ｂから取り外す作業が行われる。つまり、第１枠部材２６ａを第２枠部材２６ｂから取り外す作業が行われる。同作業の具体的な内容は、以下に説明される。
【0075】
先ず、第１枠部材２６ａと載置台３１との間には、例えば、複数のジャッキが配置される。複数のジャッキは、第１枠部材２６ａの形状に合わせて、第１枠部材２６ａの下方向に配置されていて、第１枠部材２６ａを下方向から支持している。
【0076】
次いで、第１取付ボルト２８ａが、取り外される。このとき、第１枠部材２６ａは、シャッキ上に載置されていて、第２枠部材２６ｂから分離される。
【0077】
次いで、第１枠部材２６ａは、本装置１から外部に取り出される。このとき、第１枠部材２６ａに偏在して力がかからないように、第１枠部材２６ａは、水平が保たれた状態で取り出される。
【0078】
次に、枠部材２６の着脱工程のうち、枠部材２６における取付工程が、以下に説明される。
【0079】
「取付工程」は、加圧パッドユニットを、第２枠部材２６ｂに取り付ける工程である。取付工程では、第１枠部材２６ａが第２枠部材２６ｂに取り付けられた後、第３枠部材２６ｃが第２枠部材２６ｂに取り付けられる。その後、第１取付ボルト２８ａが作業者によりさらに締め付けられて、第１枠部材２６ａは、第２枠部材２６ｂに固定される。
【0080】
先ず、加圧パッドユニットを第２枠部材２６ｂに取り付ける作業が行われる。つまり、第１枠部材２６ａを第２枠部材２６ｂに取り付ける作業が行われる。このとき、複数のジャッキが、取外工程と同様に配置される。
【0081】
次いで、第１枠部材２６ａは、本装置１の外部から水平方向に移動させられて、ジャッキに載置される。第１枠部材２６ａは、第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３に対向する下方位置（図５を参照）に配置されている。
【0082】
次いで、第１枠部材２６ａは、第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３に当接される。そして、第１枠部材２６ａは、第１取付ボルト２８ａで、第２枠部材２６ｂに仮固定される。
【0083】
「仮固定」は、本固定の前に行われる予備的な固定である。仮固定の固定力は、本固定の固定力より小さい。本実施の形態では、第１枠部材２６ａが第２枠部材２６ｂに仮固定されたとき、第１枠部材２６ａの第１上面ａ３が第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３に当接している。このとき、第１枠部材２６ａは、第１取付ボルト２８ａと孔との間における隙間に応じて水平方向に移動可能である。
【0084】
「本固定」は、仮固定の後に行われる固定である。本固定の固定力は、仮固定の固定力より大きい。本実施の形態では、第１枠部材２６ａが第２枠部材２６ｂに本固定されたとき、第１枠部材２６ａの第１上面ａ３が第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３に当接している。このとき、第１枠部材２６ａは、水平方向に移動不可能である。
【0085】
次いで、第３枠部材２６ｃを第２枠部材２６ｂに取り付ける作業が行われる。このとき、複数のジャッキが、取外工程と同様に配置されている。
【0086】
次いで、第３枠部材２６ｃは、本装置１の外部から水平方向に移動させられて、ジャッキに載置される。第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａと第２枠部材２６ｂとの間であって、取付面ｂ３に対向する下方位置（図５を参照）に配置されている。
【0087】
次いで、第３枠部材２６ｃが、第１枠部材２６ａと第２枠部材２６ｂとの間に挿入される。第３枠部材２６ｃは、第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３に近接する。
【0088】
次いで、第３枠部材２６ｃは、第２取付ボルト２８ｂにより上方向に押し付けられて、第２枠部材２６ｂに固定される。このとき、傾斜面である第３枠部材２６ｃの第３内周面ｃ１が傾斜面である第１枠部材２６ａの第１外周面ａ２に当接しているので、第１枠部材２６ａは、第３枠部材２６ｃにより第１方向および上方向に押し付けられる。その結果、第１枠部材２６ａが第３枠部材２６ｃにより水平方向に押されて、水平方向において、第２枠部材２６ｂに対する第１枠部材２６ａの位置が決められる。すなわち、第３枠部材２６ｃが固定されたとき、第３内周面ｃ１は第１外周面ａ２に密着していて、第１枠部材２６ａは、第２枠部材２６ｂに対して適切な位置に配置される。加えて、第３枠部材２６ｃが第２取付ボルト２８ｂにより固定されたとき、第１枠部材２６ａが上方向に押し付けられて、第１枠部材２６ａは第２枠部材２６ｂに固定される。
【0089】
次いで、第１取付ボルト２８ａが作業者によりさらに締め付けられて、第１枠部材２６ａが第２枠部材２６ｂに本固定される。このとき、第１上面ａ３は、取付面ｂ３に密着している。水平方向において、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ（凸部ｂ２）、および第３枠部材２６ｃは、相互に密着していて、一体となっている。
【0090】
【0091】
図９は、上加圧ユニット２が下降することにより、サイド部材２３が下加圧ユニット３の載置台３１に当接した状態を示す模式断面図である。
図１０は、図９に示されている状態から上加圧ユニット２が下降して、加圧パッド２５を介して、上型２２により被加圧物Ｗが加圧された状態を示す模式断面図である。
図１０は、図９に示されている状態から上加圧ユニット２が下降して、加圧パッド２５を介して、上型２２により被加圧物Ｗが加圧された状態を示す模式断面図である。
【0092】
先ず、載置台３１の所定の位置に被加圧物Ｗが載置される。次いで、制御部は、所定の位置に被加圧物Ｗが載置されたことを確認すると、昇降機構により上加圧ユニット２を下降させる。制御部は、上加圧ユニット２が載置台３１に対して所定の位置まで下降すると、下降を一時停止させる。
【0093】
次いで、制御部は、シリンダ２４を伸ばして、サイド部材２３のみを載置台３１の対向面３１１に当接するまで下降させる。このとき、密閉空間が形成される。
【0094】
次いで、制御部は、真空ポンプＰを動作させて、密閉空間を真空状態にさせる。密閉空間が真空状態となることにより、被加圧物Ｗ周辺の空気が除去されて、例えば、接着剤ｗ３の軟化時などに空気が入り込むエア噛みなどの不具合が未然に防止される。
【0095】
次いで、制御部は、サイド部材２３を載置台３１に当接させた状態で、上加圧ユニット２を下降させて、加圧パッド２５を被加圧物Ｗに当接させる（図１（ｂ）を参照）。次いで、制御部は、上加圧ユニット２をさらに下降させて、第１枠部材２６ａの第１下面ａ４を載置台３１の対向面３１１に当接させる。前述のとおり、鉛直方向において、第１枠部材２６ａの厚みは第２枠部材２６ｂの凹部ｂ１の深さより大きいので、枠部材２６のうち、第１下面ａ４のみが、載置台３１の対向面３１１に当接している。
【0096】
次いで、制御部は、上型２２を下降させて、被加圧物Ｗに対して仮加圧を行う（図１０を参照）。前述のとおり、枠部材２６は、上型２２に対して鉛直方向に相対移動可能である。そのため、第１下面ａ４が対向面３１１に当接していても、上型２２のみが下降して、上型２２は上方向から加圧パッド２５を加圧できる。加圧された加圧パッド２５は、流動性のある柔軟体２５１を備えるので、被加圧物Ｗの表面の形状に追従して変形する（図１（ｃ）を参照）。その結果、加圧パッド２５は、被加圧物Ｗの上方向側、および側方向側を囲む。
【0097】
「仮加圧」は、本加圧の前に実行される予備的な加圧である。仮加圧の加圧力は、本加圧の加圧力より小さい。本実施の形態における仮加圧では、加圧パッド２５が被加圧物Ｗの表面の形状に追従して変形する程度の圧力が被加圧物Ｗに作用する。
【0098】
「本加圧」は、仮加圧の後に実行される加圧である。本加圧の加圧力は、仮加圧の加圧力より大きい。本実施の形態における本加圧では、被加圧物Ｗにおいて、基板ｗ１および回路素子ｗ２が圧着される程度の圧力が被加圧物Ｗに作用する。
【0099】
次いで、制御部は、さらに上型２２を下降させて、本加圧を行う。このとき、柔軟体２５１は、上型２２から受けた加圧力に応じて変形しながら、全方向に向けて略均等な圧力を作用させる。その結果、加圧パッド２５は、被加圧物Ｗを均等に加圧する。
【0100】
ここで、柔軟体２５１からの圧力が枠部材２６に及ぼす影響が、以下に説明される。
【0101】
【0102】
前述のとおり、加圧パッド２５は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、流動性が高い柔軟体２５１により、全方向に向けて略均等な圧力を作用させる。被加圧物Ｗが加圧されるとき、水平方向において、加圧パッド２５を保持している枠部材２６にも同じ圧力が作用する。
【0103】
ここで、従来の加圧装置では、加圧パッド２５は、積層された３つの保持部材のみにより構成された枠部材（以下「従来枠部材」という。）で保持されている。水平方向における従来枠部材の長さは、従来枠部材が加圧パッド２５（柔軟体２５１）から作用される高圧力に耐えられる長さに設計されている。そのため、加圧パッド２５から従来枠部材に高圧力が作用されても、従来枠部材は歪まず、加圧パッド２５による被加圧物Ｗに対する圧力の均等性は確保されていた。一方、加圧装置に求められる加圧力が増加するにつれて、従来枠部材の大きさは大きくなり、従来枠部材の重量は増加していた。
【0104】
本装置１では、枠部材２６は３つの第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされて枠部材２６が構成されている。また、水平方向における第１枠部材２６ａの長さは、従来枠部材の長さよりも小さく設計されている。そのため、第１枠部材２６ａは従来枠部材よりも小さく、かつ、軽いが、水平方向における第１枠部材２６ａの耐圧性は従来枠部材よりも劣る。本発明では、水平方向において、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃは面接触により密着しているので、第１枠部材２６ａの耐圧性が第２枠部材２６ｂ（凸部ｂ２）および第３枠部材２６ｃで補われている。その結果、枠部材２６全体で、従来枠部材と同等の耐圧性が得られている。すなわち、３つの第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされて枠部材２６が構成されていても、枠部材２６は高圧力に耐えられる。
【0105】
また、加圧パッド２５（加圧パッドユニット）の交換時に、従来の加圧装置では、従来枠部材の全てが取り外されていた。一方、本装置１では、第３枠部材２６ｃが取り外された後に、第１枠部材２６ａ（加圧パッドユニット）が取り外される。前述のとおり、第１枠部材２６ａは従来枠部材よりも小さく、かつ、軽く、第３枠部材２６ｃは第１枠部材２６ａよりも軽い。そのため、加圧パッド２５の交換時の作業者の作業負担は、従来の加圧装置における作業負担よりも軽減される。
【0106】
加えて、第１枠部材２６ａは従来枠部材よりも小型化されているので、対向面３１１に当接する面（本実施の形態では、第１下面ａ４）の面積も小さくなる。したがって、第１下面ａ４の精密加工が、従来枠部材に対する同加工よりも容易になる。すなわち、第１枠部材２６ａの製作時において、第１下面ａ４の反りが発生する、および第１下面ａ４の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが低減される。
【0107】
図１０に戻る。
次いで、制御部は、被加圧物Ｗが本加圧された状態において、被加圧物Ｗに、例えば、加熱処理を行う。被加圧物Ｗに熱が加えられることで、接着剤ｗ３が硬化して、被加圧物Ｗが圧着される。
次いで、制御部は、被加圧物Ｗが本加圧された状態において、被加圧物Ｗに、例えば、加熱処理を行う。被加圧物Ｗに熱が加えられることで、接着剤ｗ３が硬化して、被加圧物Ｗが圧着される。
【0108】
なお、本発明において、被加圧物Ｗに加熱処理が行われた後に、例えば、冷却処理が行われてもよい。加熱処理および冷却処理は、被加圧物Ｗの特性に応じて適宜選択され得る。
【0109】
次いで、制御部は、各処理の終了後、本装置１の加圧動作を終了する。加圧動作が終了した後、被加圧物Ｗは、本装置１から取り出される。
【0110】
●まとめ
以上説明した実施の形態によれば、水平方向において、本装置１の加圧パッド２５を保持する枠部材２６は、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされて構成されている。第１枠部材２６ａは、柔軟体２５１の全周を囲むように配置されていて、柔軟体２５１を保持している。第２枠部材２６ｂには、第１枠部材２６ａが着脱可能に取り付けられている。水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａの全周を囲むように配置されていて、第２枠部材２６ｂに着脱可能に取り付けられていて、第１枠部材２６ａを第２枠部材２６ｂに固定している。この構成によれば、枠部材２６が分割可能になるので、従来枠部材と比較して、加圧パッド２５が保持される部材（本発明における第１枠部材２６ａ）の小型化が可能となる。そのため、加圧パッド２５が交換されるとき、取り外される第１枠部材２６ａの重量は、従来枠部材の重量よりも軽くなる。その結果、本装置１からの第１枠部材２６ａの着脱が容易になる。したがって、加圧パッド２５の交換などの保守において、第１枠部材２６ａの着脱の際の作業者の作業負担は軽減される。また、第１枠部材２６ａが小型化されるので、載置台３１に当接する面（第１下面ａ４）の面積も小さくなり、当接する面の精密加工が、従来枠部材に対する同加工よりも容易になる。すなわち、第１枠部材２６ａの製作時において、当接する面の反りが発生する、および当接する面の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが低減される。
以上説明した実施の形態によれば、水平方向において、本装置１の加圧パッド２５を保持する枠部材２６は、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされて構成されている。第１枠部材２６ａは、柔軟体２５１の全周を囲むように配置されていて、柔軟体２５１を保持している。第２枠部材２６ｂには、第１枠部材２６ａが着脱可能に取り付けられている。水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａの全周を囲むように配置されていて、第２枠部材２６ｂに着脱可能に取り付けられていて、第１枠部材２６ａを第２枠部材２６ｂに固定している。この構成によれば、枠部材２６が分割可能になるので、従来枠部材と比較して、加圧パッド２５が保持される部材（本発明における第１枠部材２６ａ）の小型化が可能となる。そのため、加圧パッド２５が交換されるとき、取り外される第１枠部材２６ａの重量は、従来枠部材の重量よりも軽くなる。その結果、本装置１からの第１枠部材２６ａの着脱が容易になる。したがって、加圧パッド２５の交換などの保守において、第１枠部材２６ａの着脱の際の作業者の作業負担は軽減される。また、第１枠部材２６ａが小型化されるので、載置台３１に当接する面（第１下面ａ４）の面積も小さくなり、当接する面の精密加工が、従来枠部材に対する同加工よりも容易になる。すなわち、第１枠部材２６ａの製作時において、当接する面の反りが発生する、および当接する面の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが低減される。
【0111】
また、以上説明した実施の形態によれば、第２枠部材２６ｂは、凹部ｂ１および凸部ｂ２を備える。凹部ｂ１は、第２枠部材２６ｂの下方向側の端部のうち、第１方向側の端部に配置されていて、第１枠部材２６ａおよび第３枠部材２６ｃが凹部ｂ１に配置されている。水平方向において、凸部ｂ２は、凹部ｂ１の第２方向側に配置されていて、第３枠部材２６ｃの全周を囲むように配置されている。水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａおよび凸部ｂ２に当接している。この構成によれば、水平方向において、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが相互に密着しているので、第１枠部材２６ａの耐圧性が第２枠部材２６ｂおよび第３枠部材２６ｃで補われている。その結果、水平方向において、３つの第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが組み合わされて構成されている枠部材２６では、枠部材２６と同じ長さを備えた従来枠部材と同等の耐圧性が得られている。
【0112】
さらに、以上説明した実施の形態によれば、水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａの全周を囲むように配置されていて、第３内周面ｃ１および第３外周面ｃ２を備える。第３内周面ｃ１は、第１枠部材２６ａの第１外周面ａ２に当接している。第３外周面ｃ２は、第２枠部材２６ｂの第２内周面ｂ４に当接している。この構成によれば、水平方向において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａおよび第２枠部材２６ｂに面接触しているので、第１枠部材２６ａの耐圧性が第２枠部材２６ｂ（凸部ｂ２）および第３枠部材２６ｃで補われている。その結果、枠部材２６全体で、従来枠部材と同等の耐圧性が得られている。
【0113】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、第３枠部材２６ｃの第３内周面ｃ１は、上方向から下方向に向かうにつれて、第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。一方、第１枠部材２６ａの第１外周面ａ２は、下方向から上方向に向かうにつれて、第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。第３枠部材２６ｃは、上方向に向けて押圧された状態で、第２枠部材２６ｂに取り付けられる。この構成によれば、第３枠部材２６ｃが第２枠部材２６ｂに固定されたとき、第１外周面ａ２が第３内周面ｃ１に密着している。第１外周面ａ２と第３内周面ｃ１とは相互に傾斜面で当接しているので、第１外周面ａ２と第３内周面ｃ１とが確実に面接触できる。その結果、水平方向において、第１枠部材２６ａおよび第３枠部材２６ｃが一体となる構造を有しているので、柔軟体２５１から受ける圧力に対する耐圧性が得られる。この構成によれば、第１枠部材２６ａは、第３枠部材２６ｃにより第１方向および上方向に押し付けられる。そのため、第１枠部材２６ａは、第１枠部材２６ａが第３枠部材２６ｃにより水平方向に押されて、水平方向において、第２枠部材２６ｂに対する適切な位置に配置される。加えて、第３枠部材２６ｃが固定されたとき、第１枠部材２６ａが上方向に押し付けられて、第１枠部材２６ａは第２枠部材２６ｂに固定される。
【0114】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、第３枠部材２６ｃの第３外周面ｃ２は、上方向から下方向に向かうにつれて、第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。一方、第２枠部材２６ｂの第２内周面ｂ４は、下方向から上方向に向かうにつれて、第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。この構成によれば、第３枠部材２６ｃが第２枠部材２６ｂに固定されたとき、第２内周面ｂ４が第３外周面ｃ２に面接触して、密着できる。
【0115】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、第２枠部材２６ｂの凹部ｂ１は、取付面ｂ３を備える。取付面ｂ３は、下方向に向けられていて、第１枠部材２６ａおよび第３枠部材２６ｃが第２枠部材２６ｂに取り付けられている。取付面ｂ３は、第２内周面ｂ４よりも第１方向側に配置されている。この構成によれば、第１枠部材２６ａが取付面ｂ３に当接することで、第１枠部材２６ａでは、上方向へも水平方向の柔軟体２５１から受ける圧力が分散される。
【0116】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、載置台３１は、枠部材２６および加圧パッド２５に対向して、水平方向に平行な対向面３１１を備える。鉛直方向において、第１枠部材２６ａの厚みが第２枠部材２６ｂの凹部ｂ１の深さより大きく、第３枠部材２６ｃの厚みは、凹部ｂ１の深さよりも小さい。第１枠部材２６ａは、第２枠部材２６ｂの取付面ｂ３に当接しており、第３枠部材２６ｃと取付面ｂ３との間には、第１枠部材２６ａの厚みと第３枠部材２６ｃの厚みとの差分よりも小さい隙間ｓが形成されている。この構成によれば、被加圧物Ｗが加圧されるとき、対向面３１１は、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃのうち第１枠部材２６ａのみに当接している。そのため、従来枠部材と比較して、対向面３１１に当接する面（第１下面ａ４）の面積も小さくできる。その結果、当接する面の精密加工が、従来枠部材に対する同加工よりも容易になる。すなわち、従来枠部材と比較して、当接する面の面積が小さくなるので、第１枠部材２６ａの製作時において、第１下面ａ４の反りが発生する、および第１下面ａ４の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが低減される。加えて、この構成によれば、隙間ｓがあることにより、第２取付ボルト２８ｂは、常に所定の値以上の締結力で第３枠部材２６ｃを上方向に押し付けることができる。そのため、第３内周面ｃ１と第１外周面ａ２との密着、および、第３外周面ｃ２と第２内周面ｂ４との密着が、常に保たれている。このとき、第１枠部材２６ａは、第３枠部材２６ｃにより第１方向および上方向に押し付ける。その結果、第１枠部材２６ａは、第３枠部材２６ｃにより水平方向（第１方向）に押されて、水平方向において、第２枠部材２６ｂに対する適切な位置に配置される。第３枠部材２６ｃが固定されたとき、第１枠部材２６ａが上方向に押し付けられて、第１枠部材２６ａは第２枠部材２６ｂに固定される。
【0117】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、柔軟体２５１から第２方向へ向けられる仮想直線Ｖ上において、第３枠部材２６ｃの幅は、第１枠部材２６ａおよび凸部ｂ２それぞれの幅よりも小さい。この構成によれば、第１枠部材２６ａおよび第２枠部材２６ｂよりも第３枠部材２６ｃが小さいので、第１枠部材２６ａの着脱工程において、第３枠部材２６ｃを着脱させる作業効率が向上する。
【0118】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、下面視における枠部材２６の形状は、被加圧物Ｗの形状に応じて適宜設計されていればよく、矩形枠状に限定されない。すなわち、例えば、下面視における枠部材２６の形状は、円環状でもよい。
なお、本発明において、下面視における枠部材２６の形状は、被加圧物Ｗの形状に応じて適宜設計されていればよく、矩形枠状に限定されない。すなわち、例えば、下面視における枠部材２６の形状は、円環状でもよい。
【0119】
また、本発明において、枠部材２６の材質は、加圧パッド２５を保持できて、圧力に対して形状を保てる強度を有していればよく、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃそれぞれの材質は、それぞれが異なる材質でもよい。
【0120】
さらに、本発明において、第１枠部材２６ａにおける第１外周面ａ２および第１下面ａ４により形成される角度θ１は、１２０度に限定されない。すなわち、例えば、同角度は、９０度以上１３５度以下でもよい。
【0121】
さらにまた、本発明において、第２枠部材２６ｂにおける第２内周面ｂ４および第２下面ｂ５により形成される角度θ２は、１２０度に限定されない。すなわち、例えば、同角度は、９０度以上１３５度以下でもよい。
【0122】
さらにまた、本発明において、第３内周面ｃ１および第３下面ｃ３により形成される角度θ３、および、第３外周面ｃ２および第３下面ｃ３により形成される角度θ４は、６０度に限定されない。すなわち、例えば、それぞれの同角度は、４５度以上９０度以下でもよい。また、例えば、第３内周面ｃ１および第３下面ｃ３により形成される角度θ３は、第３外周面ｃ２および第３下面ｃ３により形成される角度θ４とは異なる角度でもよい。
【0123】
さらにまた、本発明において、第１枠部材２６ａの構造は、第１枠部材２６ａが膜２５２，２５３を保持可能な構造であればよく、本実施の形態に限定されない。
【0124】
さらにまた、本発明において、水平方向における、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃそれぞれの幅の長さは、被加圧物Ｗに作用する圧力の大きさに応じて適宜設定され得る。
【0125】
さらにまた、本発明において、鉛直方向において、第１枠部材２６ａの厚みは、第２枠部材２６ｂの凹部ｂ１の深さと同じでもよい。
【0126】
さらにまた、本発明において、第１枠部材２６ａの第１下面ａ４が載置台３１の対向面３１１に当接していればよく、第２枠部材２６ｂの第２下面ｂ５、および／または、第３枠部材２６ｃの第３下面ｃ３は、対向面３１１に当接していてもよい。
【0127】
さらにまた、本発明において、第３枠部材２６ｃは、第１枠部材２６ａの水平方向の全周を囲むことができれば、複数の部材が組み合わされて構成されてもよい。すなわち、例えば、第３枠部材２６ｃは、４本の棒状部材が矩形枠状に組み合わされて構成されていてもよい。
【0128】
さらにまた、本発明において、上型２２および下型３２は、上型２２および下型３２それぞれの内部に冷却機構のみを備えてもよいし、加熱機構と共に冷却機構を備えてもよい。
【0129】
さらにまた、本発明において、下型３２は、上型２２とは異なる昇降機構に保持されていてもよい。この構成では、昇降機構に下型３２が保持されるとき、上下の昇降機構で被加圧物Ｗを加圧できるので、本装置１は、より大きな加圧力で被加圧物Ｗを加圧できる。
【0130】
さらにまた、本発明において、載置台３１は、被加圧物Ｗが載置可能であり、上加圧ユニット２と下加圧ユニット３との間で加圧可能であればよく、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、載置台３１は、被加圧物Ｗを搬送する搬送台でもよい。つまり、本装置１自体が載置台３１を備えなくてもよい。
【0131】
さらにまた、本発明において、第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃが備える取付ボルト２８およびボルトの位置や数は、枠部材２６の寸法および被加圧物Ｗへの圧力の大きさによって適宜選択され得る。
【0132】
さらにまた、本発明において、第３枠部材２６ｃと、第１枠部材２６ａおよび第２枠部材２６ｂとの密着性が確保されていれば、取付面ｂ３と第３上面ｃ４との間には、隙間ｓが形成されなくてもよい。
【0133】
さらにまた、本発明において、柔軟体２５１から第２方向へ向けられる仮想直線Ｖ上において、第３枠部材２６ｃの幅は、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、同幅は、第１枠部材２６ａおよび凸部ｂ２それぞれの幅以上でもよい。
【0134】
さらにまた、本発明において、枠部材２６は、少なくとも３つの第１枠部材２６ａ、第２枠部材２６ｂ、および第３枠部材２６ｃに分離可能に構成されていればよく、さらに分離可能に構成されていてもよい。すなわち、例えば、凸部ｂ２は、第２枠部材２６ｂから分離可能に構成されてもよい。
【0135】
さらにまた、本発明において、上加圧ユニット２が本発明における他方の加圧ユニットとして機能していて、下加圧ユニット３が本発明における一方の加圧ユニットとして機能していてもよい。この場合、加圧パッド２５は、下加圧ユニット３に備えられていて、被加圧物Ｗは加圧パッド２５に載置されてもよい。
【0136】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語および符号を援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語および符号を援用しつつ、以下に記載する。
【0137】
本発明の第１の実施態様は、鉛直方向において、被加圧物（例えば、被加圧物Ｗ）を挟み込み、加圧する加圧装置（例えば、本装置１）であって、鉛直方向において対向するように配置されて、前記被加圧物を挟み込み、加圧する一対の加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット２および下加圧ユニット３）、を有してなり、一対の前記加圧ユニットのうち、一方の前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット２）は、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物の表面の形状に追従して変形する柔軟体（例えば、柔軟体２５１）を備える加圧パッド（例えば、加圧パッド２５）と、前記加圧パッドを保持する枠部材（例えば、枠部材２６）と、を備え、前記枠部材は、水平方向において、前記柔軟体の全周を囲むように配置されて、前記柔軟体を保持する第１枠部材（例えば、第１枠部材２６ａ）と、前記第１枠部材が着脱可能に取り付けられる第２枠部材（例えば、第２枠部材２６ｂ）と、水平方向において、前記第１枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第２枠部材に着脱可能に取り付けられて、前記第１枠部材を前記第２枠部材に固定する第３枠部材（たとえば、第３枠部材２６ｃ）と、を備え、水平方向において、前記第３枠部材は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とに当接する。
この構成によれば、枠部材の交換時における作業者の作業負担が軽減されると共に、枠部材の製作時における枠部材の反りが発生する、および枠部材の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが低減される。
この構成によれば、枠部材の交換時における作業者の作業負担が軽減されると共に、枠部材の製作時における枠部材の反りが発生する、および枠部材の加工精度の確保が難しくなるなどの加工リスクが低減される。
【0138】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、水平方向において、前記第１枠部材に対して前記柔軟体が配置されている方向は、第１方向であり、前記第１方向の反対側の方向は、第２方向であり、鉛直方向において、前記加圧パッドに対して前記被加圧物が配置される方向は、第３方向（例えば、下方向）であり、前記第３方向の反対側の方向は、第４方向（例えば、上方向）であり、前記第２枠部材は、前記第２枠部材の前記第３方向側の端部のうち、前記第１方向側の端部に配置されて、前記第１枠部材と前記第３枠部材とが配置される凹部（例えば、凹部ｂ１）と、水平方向において、前記凹部よりも前記第２方向側に配置されて、前記第３枠部材の全周を囲むように配置される凸部（例えば、凸部ｂ２）と、を備え、水平方向において、前記第３枠部材は、前記第１枠部材と前記凸部とに当接する。
この構成によれば、水平方向において、第１枠部材、第２枠部材、および第３枠部材が組み合わされて構成されている枠部材では、枠部材と同じ長さを備えた従来枠部材と同等の耐圧性が得られている。
この構成によれば、水平方向において、第１枠部材、第２枠部材、および第３枠部材が組み合わされて構成されている枠部材では、枠部材と同じ長さを備えた従来枠部材と同等の耐圧性が得られている。
【0139】
本発明の第３の実施態様は、第２の実施態様において、前記第１枠部材は、前記第２方向に向けられる第１外周面（例えば、第１外周面ａ２）、を備え、水平方向において、前記凸部は、前記第３枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第１方向に向けられる第２内周面（例えば、第２内周面ｂ４）、を備え、前記第３枠部材は、水平方向において、前記第１枠部材の全周を囲むように配置されて、前記第１外周面に対向して、前記第１外周面に当接する第３内周面（例えば、第３内周面ｃ１）と、前記第２内周面に対向して、前記第２内周面に当接する第３外周面（例えば、第３外周面ｃ２）と、を備える。
この構成によれば、水平方向において、第３枠部材は、第１枠部材および第２枠部材に面で当接するので、枠部材全体で、従来枠部材と同等の耐圧性が得られている。
この構成によれば、水平方向において、第３枠部材は、第１枠部材および第２枠部材に面で当接するので、枠部材全体で、従来枠部材と同等の耐圧性が得られている。
【0140】
本発明の第４の実施態様は、第３の実施態様において、前記第３内周面は、前記第４方向から前記第３方向に向かうにつれて、前記第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面であり、前記第１外周面は、前記第３方向から前記第４方向に向かうにつれて、前記第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面であり、前記第３枠部材は、前記第４方向に向けて押圧された状態で、前記第２枠部材に取り付けられる。
この構成によれば、水平方向において、第１枠部材および第３枠部材が一体となる構造を有するので、柔軟体から受ける圧力に対する耐圧性が得られる。第１枠部材は、第２枠部材に対する適切な位置に配置される。第３枠部材が固定されたとき、第１枠部材が上方向に押し付けられて、第１枠部材は第２枠部材に固定される。
この構成によれば、水平方向において、第１枠部材および第３枠部材が一体となる構造を有するので、柔軟体から受ける圧力に対する耐圧性が得られる。第１枠部材は、第２枠部材に対する適切な位置に配置される。第３枠部材が固定されたとき、第１枠部材が上方向に押し付けられて、第１枠部材は第２枠部材に固定される。
【0141】
本発明の第５の実施態様は、第３または第４の実施態様において、前記第３外周面は、前記第４方向から前記第３方向に向かうにつれて、前記第２方向側に突出するように傾斜する傾斜面であり、前記第２内周面は、前記第３方向から前記第４方向に向かうにつれて、前記第１方向側に突出するように傾斜する傾斜面である。
この構成によれば、第３枠部材が第２枠部材に固定されたとき、第２内周面が第３外周面に密着する。
この構成によれば、第３枠部材が第２枠部材に固定されたとき、第２内周面が第３外周面に密着する。
【0142】
本発明の第６の実施態様は、第３乃至第５のいずれか１の実施態様において、前記凹部は、前記第３方向に向けられて、前記第１枠部材と前記第３枠部材とが取り付けられる取付面（例えば、取付面ｂ３）、を備え、前記取付面は、前記第２内周面の前記第１方向側に配置される。
この構成によれば、第１枠部材が取付面に当接することで、第１枠部材では、上方向へも水平方向の柔軟体から受ける圧力が分散される。
この構成によれば、第１枠部材が取付面に当接することで、第１枠部材では、上方向へも水平方向の柔軟体から受ける圧力が分散される。
【0143】
本発明の第７の実施態様は、第６の実施態様において、前記被加圧物が加圧されるとき、前記枠部材と前記加圧パッドとに対向するように配置されて、前記加圧パッドと共に前記被加圧物を挟み込む対向部材（例えば、載置台３１）に、前記被加圧物が載置されて、前記対向部材は、前記枠部材と前記加圧パッドとに対向して、水平方向に平行な対向面（例えば、対向面３１１）、を備え、鉛直方向において、前記第１枠部材の厚みは、前記凹部の深さ以上であり、鉛直方向において、前記第３枠部材の厚みは、前記凹部の深さよりも小さく、鉛直方向において、前記第１枠部材は、前記取付面に当接して、鉛直方向において、前記第３枠部材と前記取付面との間には、前記第１枠部材の厚みと前記第３枠部材の厚みとの差分よりも小さい隙間（例えば、隙間ｓ）が形成される。
この構成によれば、従来枠部材と比較して、対向面に当接する面の面積が小さくなる。また、第３枠部材により、第２枠部材に対する第１枠部材の位置が決められると共に、第１枠部材は第２枠部材に固定される。
この構成によれば、従来枠部材と比較して、対向面に当接する面の面積が小さくなる。また、第３枠部材により、第２枠部材に対する第１枠部材の位置が決められると共に、第１枠部材は第２枠部材に固定される。
【0144】
本発明の第８の実施態様は、第２乃至第７のいずれか１の実施態様において、前記柔軟体から前記第２方向へ向けられる仮想直線（例えば、仮想直線Ｖ）上において、前記第３枠部材の幅は、前記第１枠部材および前記凸部それぞれの幅よりも小さい。
この構成によれば、第３枠部材を小さくできるので、第１枠部材の着脱工程において、第３枠部材を着脱させる作業効率が向上する。
この構成によれば、第３枠部材を小さくできるので、第１枠部材の着脱工程において、第３枠部材を着脱させる作業効率が向上する。
【符号の説明】
【0145】
１ 加圧装置
２ 上加圧ユニット（一方の加圧ユニット）
３ 下加圧ユニット（他方の加圧ユニット）
２５ 加圧パッド
２５１ 柔軟体
２６ 枠部材
２６ａ 第１枠部材
ａ２ 第１外周面
２６ｂ 第２枠部材
ｂ１ 凹部
ｂ２ 凸部
ｂ３ 取付面
ｂ４ 第２内周面
２６ｃ 第３枠部材
ｃ１ 第３内周面
ｃ２ 第３外周面
３１ 載置台（対向部材）
３１１ 対向面
ｓ 隙間
Ｖ 仮想直線
２ 上加圧ユニット（一方の加圧ユニット）
３ 下加圧ユニット（他方の加圧ユニット）
２５ 加圧パッド
２５１ 柔軟体
２６ 枠部材
２６ａ 第１枠部材
ａ２ 第１外周面
２６ｂ 第２枠部材
ｂ１ 凹部
ｂ２ 凸部
ｂ３ 取付面
ｂ４ 第２内周面
２６ｃ 第３枠部材
ｃ１ 第３内周面
ｃ２ 第３外周面
３１ 載置台（対向部材）
３１１ 対向面
ｓ 隙間
Ｖ 仮想直線
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
