特開 2024-112789 測定プローブおよび測定プローブを製造するための方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024112789

(43)【公開日】2024-08-21

(54)【発明の名称】測定プローブおよび測定プローブを製造するための方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 5/016 20060101AFI20240814BHJP

   B29C 65/56 20060101ALI20240814BHJP

   G01B 21/00 20060101ALI20240814BHJP

【ＦＩ】

G01B5/016

B29C65/56

G01B21/00 P

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2024017067

(22)【出願日】2024-02-07

(31)【優先権主張番号】23155632.5

(32)【優先日】2023-02-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(71)【出願人】

【識別番号】524052572

【氏名又は名称】ヌメリク・イェーナ・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100118902

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 修

(74)【代理人】

【識別番号】100106208

【弁理士】

【氏名又は名称】宮前 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100196508

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 淳一

(72)【発明者】

【氏名】スリク・レインハルト

【テーマコード（参考）】

2F062

2F069

4F211

【Ｆターム（参考）】

2F062AA01

2F062CC02

2F062EE01

2F062EE62

2F062HH13

2F062HH37

2F069AA01

2F069DD01

2F069GG01

2F069GG52

2F069GG62

2F069HH02

2F069LL02

4F211AD12

4F211AG08

4F211AH42

4F211TA06

4F211TC11

4F211TD02

4F211TD11

4F211TN75

4F211TN78

(57)【要約】

【課題】測定プローブおよび測定プローブを製造するための方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、長手方向（ｘ）に延びるシャフト（３）を把持するための第１のハウジング部品（１）と、第２のハウジング部品（２）とを備える測定プローブ（Ｔ）に関する。本発明は、測定プローブ（Ｔ）が、第１のハウジング部品（１）と第２のハウジング部品（２）との少なくとも第１の嵌合および当接接続を有し、第１の嵌合および当接接続が、第１の溝－輪郭対（１０）によって形成され、第１の嵌合および当接接続が、第２のハウジング部品（２）を成形することによって生成されていることを特徴とする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長手方向（ｘ）に延びる測定プローブ（Ｔ）のシャフト（３）を把持するための第１のハウジング部品（１）と、第２のハウジング部品（２）とを備える測定プローブ（Ｔ）であって、前記第１のハウジング部品（１）と前記第２のハウジング部品（２）とが、重畳領域において互いに少なくとも嵌合接続されており、
前記第１のハウジング部品（１）が、前記重畳領域に配置された少なくとも１つの第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）を有し、
前記第２のハウジング部品（２）が、前記第１の溝に対応する少なくとも１つの第１の輪郭（２．１）を有し、
前記第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）と前記第１の輪郭（２．１）とが、第１の溝－輪郭対（１０）を形成する、測定プローブ（Ｔ）において、
前記第１のハウジング部品（１）と前記第２のハウジング部品（２）との少なくとも第１の嵌合および当接接続を有し、
前記第１の嵌合および当接接続が、前記第１の溝－輪郭対（１０）によって形成され、
前記第１の嵌合および当接接続が、前記第２のハウジング部品（２）を成形することによって生成されている
ことを特徴とする、測定プローブ（Ｔ）。

【請求項2】

前記第１の輪郭（２．１）が横方向（ｙ）に延び、および／または前記第１の輪郭（２．１）が高さ方向（ｚ）で前記第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）内に延びることを特徴とする請求項１に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項3】

前記第１の溝－輪郭対（１０）が高さ方向（ｚ）に延びることを特徴とする、請求項１または２に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項4】

前記第１のハウジング部品（１）が、前記重畳領域に配置された第２の溝（１．２）を有し、前記第２のハウジング部品（２）が、前記第２の溝（１．２）に対応する第２の輪郭（２．２）を有し、前記第２の溝（１．２）と前記第２の輪郭（２．２）とが第２の溝－輪郭対（２０）を形成し、前記測定プローブ（Ｔ）が、前記第１のハウジング部品（１）と前記第２のハウジング部品（２）との第２の嵌合および当接接続を有し、前記第２の嵌合および当接接続が、前記第２の溝－輪郭対（２０）によって形成され、前記第２の嵌合および当接接続が、前記第２のハウジング部品（２）の成形によって生成されていることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項5】

前記第１の溝－輪郭対（１０）と前記第２の溝－輪郭対（２０）とが、高さ方向（ｚ）で前記測定プローブ（Ｔ）の互いに反対の側に配置されていることを特徴とする、請求項４に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項6】

前記第１のハウジング部品（１）が、封止部材（４）を受け入れるために前記重畳領域に配置された環状溝（４．１）を有し、前記環状溝（４．１）が、周方向で前記第１のハウジング部品（１）の周りに延び、前記封止部材（４）が、前記第１のハウジング部品（１）と前記第２のハウジング部品（２）との間に配置されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項7】

前記環状溝（４．１）が、長手方向（ｘ）で前記第１の溝－輪郭対（１０）の前方または後方に配置されていることを特徴とする、請求項６に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項8】

前記第１の輪郭（２．１）および／または前記第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）が、それぞれ、半円形、長方形、三角形、または台形の断面を有することを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項9】

前記第１のハウジング部品（１）と前記シャフト（３）とが、互いに接着接続されていることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項10】

前記第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）が、閉じた溝または開いた溝として形成されていることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の測定プローブ（Ｔ）。

【請求項11】

測定プローブ（Ｔ）を製造するための方法であって、
少なくとも１つの第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）を有する第１のハウジング部品（１）と、第２のハウジング部品（２）とを供給するステップと、
前記第２のハウジング部品（２）を長手方向（ｘ）で前記第１のハウジング部品（１）に差し込むことによって、前記第１のハウジング部品（１）と前記第２のハウジング部品（２）との嵌合接続を行うステップであって、前記第１のハウジング部品（１）と前記第２のハウジング部品（２）との重畳領域が形成され、前記第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）が前記重畳領域に配置されている、ステップとを含む方法において、
前記第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）に対応する少なくとも１つの第１の輪郭（２．１）が形成され、前記第１の溝（１．１；１．１’；１．１１）と前記第１の輪郭（２．１）とが第１の溝－輪郭対（１０）を形成するように前記第２のハウジング部品（２）を成形することによって、前記第１のハウジング部品（１）と前記第２のハウジング部品（２）との嵌合および当接接続が行われる、
ことを特徴とする方法。

【請求項12】

前記第１の輪郭（２．１）が横方向（ｙ）で前記第１の溝（１．１、１．１’、１．１１）内に延びるように、前記嵌合および当接接続が行われることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記嵌合および当接接続が、局所的な塑性材料成形を含むことを特徴とする、請求項１１または１２に記載の方法。

【請求項14】

前記嵌合および当接接続が、プレスまたはクリンチングを含むことを特徴とする、請求項１１から１３のいずれか一項に記載の方法。

【請求項15】

前記嵌合および当接接続が、前記第１の輪郭（２．１）を生成するための少なくとも１つのスタンプ要素（Ｓ；Ｓ’）の一時的な導入を含むことを特徴とする、請求項１１から１４のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、請求項１のプリアンブルに記載の測定プローブ、および請求項１１のプリアンブルに記載の測定プローブを製造するための方法に関する。

【背景技術】

【0002】

測定プローブの２つのハウジング部品を接続するためにねじ接続を使用することが、従来技術において知られている。しかしここで、ねじ接続を形成するために、コア穴および皿穴の穴あけ、バリ取り、場合によっては雌ねじの数回のねじ切りなど、いくつかの加工ステップが必要であることが欠点である。さらに、ここでの欠点は、ねじ接続の使用時、ねじシャフトおよびねじ頭のために必要な設置スペースが増加することを考慮しなければならないことであり、これは、特にコンパクトな構成要素グループの場合、常に可能であるとは限らない。さらに、ねじ接続は、構成要素グループの内部への媒体（例えば液体や気体など）の望ましくない侵入を引き起こす危険性が常にある。

【0003】

これに関する代替方法は、接着剤を用いて測定プローブにハウジング部品を接着することである。しかし、ここでの欠点は、接着剤による接続では、例えば経時変化や好ましくない温度により、接着剤の凝集力および接着特性が低下する可能性があることである。

【0004】

ドイツ特許出願公開第３１２０４９２Ａ１号には、変位測定デバイスを備えた機械加工物用の測定装置が開示されている。この測定装置は、シールベローズ用の長方形－台形の溝を有する第１および第２の部分を備える。このシールベローズは、圧入により、変位測定デバイスを外部の影響から保護する。この解決策の欠点は、とりわけ、そのような圧入と所定の公差の遵守とに関連する製造コストが増加することである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】ドイツ特許出願公開第３１２０４９２Ａ１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、製造における費用対効果が高く、構成部品の数をできるだけ少なくした測定プローブを提供することである。さらに、費用対効果が高く効率的な測定プローブの製造方法が提供される。

【課題を解決するための手段】

【0007】

これらの課題は、本発明によれば、独立請求項１および１１の特徴によって解決される。有利な形態および発展形態は、それぞれの従属請求項に記載されている。
本発明による測定プローブは、長手方向（ｘ方向）に延びる測定プローブのシャフトを把持するための第１のハウジング部品と、第２のハウジング部品とを備える。第１のハウジング部品と第２のハウジング部品とが、重畳領域において互いに少なくとも嵌合接続されている。第１のハウジング部品が、重畳領域に配置された少なくとも１つの第１の溝を有する。第２のハウジング部品が、第１の溝に対応する少なくとも１つの第１の輪郭を有する。第１の溝と第１の輪郭とが、第１の溝－輪郭対を形成する。測定プローブが、第１のハウジング部品と第２のハウジング部品との少なくとも第１の嵌合および当接接続を有する。第１の嵌合および当接接続が、第１の溝－輪郭対によって形成される。第１の嵌合および当接接続が、第２のハウジング部品を成形することによって生成されている。

【0008】

例えば、成形は、第１の溝の領域での少なくとも第２のハウジング部品の局所的な塑性材料成形によって行われる。
好ましくは、測定プローブのシャフトは、プローブ要素用の収容部として使用される。シャフトは、例えば、測定ボルト用のガイドとして形成される。プローブ要素は、例えば、測定ボルトと、測定ボルトに接続された可変測定インサートとを含む。

【0009】

例えば、第１のハウジング部品は、本質的に中実に構成される。第２のハウジング部品は、例えば０．２５ｍｍ～６ｍｍの壁厚を有して、例えば本質的に中空に構成される。第２のハウジング部品は、長手方向（ｘ方向）に沿って第１のハウジング部品に差し込むことができ、それにより、いくつかの自由度（すなわち少なくとも５自由度）が拘束される。第１の溝は、例えばフライス加工または旋削によって第１のハウジング部品に導入される。第１の輪郭は、例えばプレス加工輪郭である。

【0010】

第１のハウジング部品、第２のハウジング部品、およびシャフトは、金属もしくは合金、特にアルミニウムもしくは鋼、またはプラスチックからなっていてよい。ここで、すべての構成要素が同一の材料を有することができるが、様々な材料の組合せも考えられる。

【0011】

第１のハウジング部品は、ガイドスリーブと呼ぶこともできる。第２のハウジング部品は、ハウジングキャップと呼ぶこともできる。
嵌合接続とは、少なくとも２つの接続パートナー（すなわち第１のハウジング部品と第２のハウジング部品）が互いに嵌まり合う接続を意味し、したがって、嵌合は、作用面の幾何学的な接触によって行われる。したがって、嵌合接続では、一方の接続パートナーが他方の接続パートナーの動きを阻止し、この阻止作用は少なくとも一方向に関して生じる。

【0012】

当接接続では、２つの接続パートナー（すなわち第１のハウジング部品と第２のハウジング部品）の少なくとも１つの動きが、摩擦に関連する力の系によって防止または制御される（当接）。「嵌合および当接接続」とは、嵌合と当接との両方が生じる接続を意味する。

【0013】

本発明の有利な発展形態によれば、第１の輪郭は、高さ方向（ｚ方向）で第１の溝内に延びる。ここで、第１の溝は、第１の輪郭のネガとして機能し、そのプロファイルおよび形状を少なくとも部分的に規定する。第１の溝は、第１の輪郭に対応する深さ（高さ方向）を有する。

【0014】

例えば、第１の溝－輪郭対は、第１の溝の方向、したがって測定プローブの（中心）長手方向軸の方向で、高さ方向（ｚ方向）に１ミリメートル未満、または代替として最大で数ミリメートルにわたって延びる。この構成は、有利には、第１のハウジング部品と第２のハウジング部品との取り外し不可能な接続を可能にする。

【0015】

さらなる形態では、第１の溝－輪郭対は、横方向（ｙ方向）に延びる。
さらに、有利には、本発明による測定プローブは、第１のハウジング部品が、重畳領域に配置された第２の溝を有し、第２のハウジング部品が、第２の溝に対応する第２の輪郭を有するように構成される。ここで、第２の溝と第２の輪郭とが、第２の溝－輪郭対を形成する。測定プローブは、第２の溝－輪郭対によって形成される、第１のハウジング部品と第２のハウジング部品との少なくとも１つの第２の嵌合および当接接続を含む。ここで、第２の嵌合および当接接続も、第２のハウジング部品の成形によって、例えば第２の溝の領域での少なくとも第２のハウジング部品の局所的な塑性材料成形によって生成可能である。

【0016】

本発明のさらなる有利な形態は、第１の溝－輪郭対と第２の溝－輪郭対とが、高さ方向（ｚ方向）で測定プローブの互いに反対の側または部分に配置されていることを企図する。溝－輪郭対のこの配置は、外部から測定プローブに作用する引張力、圧縮力、およびせん断力をより適切に補償することができるという利点を有する。ここで、当然、面または区間ごとに複数の溝－輪郭対を提供することもできる。

【0017】

有利には、本発明による測定プローブは、第１のハウジング部品に、封止部材、例えばＯリングを受け入れるための重畳領域に配置された環状溝を有し、環状溝が、周方向（測定プローブの長手方向軸に対して径方向）で、部分的にまたは完全に第１のハウジング部品の周りに延びる。ここで、封止部材は、第１のハウジング部品と第２のハウジング部品との間に配置され、媒体（例えば液体または気体など）から測定プローブの内部を保護する。

【0018】

有利には、環状溝は、封止部材と組み合わせて、長手方向（ｘ方向）で第１の溝－輪郭対の前方または後方に配置されている。複数の溝－輪郭対が長手方向で前後に配置される想定可能な場合には、環状溝は、一番前の溝－輪郭対の前または一番最後の溝－輪郭対の後ろに位置するように封止部材と組み合わせて配置されていてもよい。しかし当然、環状溝は、２つの溝－輪郭対の間に位置することもできる。代替として、それぞれ封止部材を備えたいくつかの環状溝が設けられていてもよく、これは、長手方向（ｘ方向）で前後に配置されたいくつかの溝－輪郭対の間に位置決されていてもよい。

【0019】

第１の輪郭、および代替または補完として第１の溝は、有利には、それぞれ半円形、長方形、三角形、または台形の断面を有してもよい。
有利には、本発明は、第１のハウジング部品とシャフトとが互いに（例えば接着によって）接着接続されるように構成され、シャフトと第１のハウジング部品との間に、容易には取り外し可能でない接続が形成されている。

【0020】

さらなる形態では、第１の溝は、閉じた溝または開いた溝として形成されている。開いた溝とは、溝端部を有さない溝を意味する。開いた溝は、例えば第１のハウジング部品の周方向全体にわたって延びることができ、周方向での環状溝の場合と同様に、それ自体につながる。閉じた溝（すなわち、開いていない溝）は、第１のハウジング部品の周方向全体にわたっては延びていない溝を意味する。したがって、閉じた溝は、少なくとも一端に溝端部を有し、この溝端部は、直線状であり、特に端部角度が付いていてよく、または特に端部半径を有して湾曲して形成されていてもよい。

【0021】

本発明の一態様は、測定プローブを製造するための方法に関する。少なくとも１つの第１の溝を有する第１のハウジング部品と、第２のハウジング部品とが供給される。さらに、第２のハウジング部品を長手方向（ｘ方向）で第１のハウジング部品に差し込むことによって、第１のハウジング部品と第２のハウジング部品との嵌合接続が行われ、第１のハウジング部品と第２のハウジング部品との重畳領域が形成され、第１の溝が重畳領域に配置されている。さらに、第１の溝に対応する少なくとも１つの第１の輪郭が形成され、第１の溝と第１の輪郭とが第１の溝－輪郭対を形成するように第２のハウジング部品を成形することによって、第１のハウジング部品と第２のハウジング部品との嵌合および当接接続が行われる。

【0022】

有利には、嵌合および当接接続は、第１の輪郭が高さ方向（ｚ方向）で第１の溝内に延びるように行われる。
さらなる形態では、嵌合および当接接続は、有利には、例えば少なくとも重畳領域において事前に実行された熱処理（（半）熱間成形）を用いて、または熱処理なしで（冷間成形）、意図された局所的な塑性材料成形を含む。

【0023】

有利には、嵌合および当接接続が、第１のハウジング部品との第２のハウジング部品のプレスまたはクリンチングを含む。これにより、ねじやリベットなどのさらなる接続要素をなくすことができる。これはまた、比較的費用対効果が高い。

【0024】

さらなる有利な形態では、嵌合および当接接続が、第１の輪郭を生成するための少なくとも１つのスタンプ要素の一時的な導入を含むことができる。ここで、スタンプ要素は、まず第１の溝の高さで第２のハウジング部品に押し込まれ、指向されたスタンプ力が伝達される。ここで、第２のハウジング部品は、意図された局所的な塑性材料成形を受け、第２のハウジング部分はこの領域で伸長され、それにより嵌合および当接接続が形成される。

【0025】

本発明は、２つのハウジング部品間の嵌合および当接接続を有し、部品数が削減された測定プローブを実現可能にする。特に、測定プローブを製造する際、２つのハウジング部品の嵌合および当接接続を成形により実現することができ、部品数が削減されたコンパクトな測定プローブが実現可能である。

【0026】

また、本発明を、さらなる特徴および利点について、例示的実施形態の説明に基づき、添付の概略図を参照して以下でより詳細に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】図１は、例示的実施形態による測定プローブの斜視図である。

【図2】図２は、図１による測定プローブの上面図である。

【図3】図３は、図２の切断線Ａ－Ａに沿った断面図である。

【図4】図４は、第１および第２の輪郭を生成するためのスタンプ要素の一時的な導入位置に関するインジケータを有する、図１による測定プローブの側面図である。

【図5a】図５ａは、第１の溝を有する第２のハウジング部品の例示的形態の斜視図である。

【図5b】図５ｂは、別の第１の溝を有する第２のハウジング部品の例示的形態の斜視図である。

【図5c】図５ｃは、別の第１の溝を有する第２のハウジング部品の例示的形態の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明の例示的実施形態を、図面に基づいてより詳細に説明する。
図面には、長手方向（ｘ方向）、横方向（ｙ方向）、高さ方向（ｚ方向）を示す座標系が示されている。座標系の座標軸（ｘ、ｙ、ｚ）は、それぞれ対として互いに直交している。

【0029】

図１は、第１の輪郭２．１によって第１のハウジング部品１に嵌合および当接接続される第２のハウジング部品２を備えた測定プローブＴを斜視図で示す。第１のハウジング部品１は、さらにシャフト３に接着接続されており、シャフト３はさらにプローブ要素５を有する。

【0030】

図２は、測定プローブＴを上面図で示し、第１の輪郭２．１は、第１のハウジング部品１と第２のハウジング部品２との重畳領域において、高さ方向ｚで測定プローブＴ内に延びている。さらに、第１の輪郭２．１は、横方向ｙに沿って延びている。

【0031】

図３は、図２の切断線Ａ－Ａに沿った測定プローブＴの断面図を示す。第１のハウジング部品１は、高さ方向ｚに沿って測定プローブＴ内に延びる第１の溝１．１を含む。第２のハウジング部品２は第１の輪郭２．１を含み、第１の輪郭２．１が第１の溝１．１内に嵌合および当接して延び、第１の溝－輪郭対１０が形成される。測定プローブＴの高さ方向ｚにおいて（第１の溝－輪郭対１０に関して）反対の側に、第２の溝１．２および第２の輪郭２．２が形成され、それら両方が、高さ方向ｚに沿って測定プローブＴ内に延び、同様に嵌合および当接接続を形成する。ここで、第２の溝１．２と第２の輪郭２．２とは、第２の溝－輪郭対２０を形成する。

【0032】

さらに、第１のハウジング部品１は、閉じた溝として形成され、周方向に延びる環状溝４．１を含む。環状溝４．１は、封止部材４、例えばＯリングのための収容部として働く。

【0033】

図４は、第１の輪郭２．１および第２の輪郭２．２を形成するために使用される方法ステップを示す。ここで、それぞれ１つのスタンプ要素Ｓ、Ｓ’が、第１の溝１．１または第２の溝１．２の領域において外側から第２のハウジング部品２に一時的に導入され、第１の輪郭２．１または第２の輪郭２．２が形成され、対応する位置で、第１のハウジング部品１と第２のハウジング部品２との嵌合および当接接続が生じる。ここで、第２のハウジング部品２の局所的な塑性材料成形が生じる。

【0034】

図５ａ～５ｃは、第１の溝１．１（図５ａ）およびその例示的な変形形態（以下、図５ｂによる第１の溝１．１’、図５ｃによる第１の溝１．１１）を有する第１のハウジング部品１を示す。ここで、第１の溝は、例えば、長方形の断面（図５ａによる第１の溝１．１）で、三角形の断面（図５ｂによる第１の溝１．１’）で、または円形の穴（図５ｃによる第１の溝１．１１）として形成される。図５ｃによる第１の溝１．１１に加えて、さらなる円形の穴１．１２～１．１４を設けることもできる。第１の溝１．１１および穴１．１２～１．１４は、例えば、長方形構成の形でのグループを形成する（図５ｃ参照）。第２のハウジング部品２の対応する輪郭（図示せず）と併せてこのグループによって、さらなる溝－輪郭対を測定プローブＴの片側に形成することができる。補完として、第２の溝１．２またはさらなるグループは、第１の溝１．１、１．１’、１．１１または前述のグループ１．１１～１．１４と同様に形成することができる（図示せず）。例えば、第２の溝１．２またはさらなるグループは、高さ方向ｚにおいて（第１の溝１．１１、１．１’、１．１１および前述のグループ１．１１～１．１４に対して）測定プローブＴの反対側に形成することができる。

【符号の説明】

【0035】

１ 第１のハウジング部品
１．１；１．１’；１．１１ 第１の溝
１．２ 第２の溝
２ 第２のハウジング部品
２．１ 第１の輪郭
２．２ 第２の輪郭
３ シャフト
４ 封止部材
４．１ 環状溝
１０ 第１の溝－輪郭対
２０ 第２の溝－輪郭対
Ｓ；Ｓ’ スタンプ要素
Ｔ 測定プローブ
ｘ 長手方向
ｚ 高さ方向
ｙ 横方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5a】

【図5b】

【図5c】

【外国語明細書】