特開 2024-113418 膜厚計測装置及び膜厚計測方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024113418

(43)【公開日】2024-08-22

(54)【発明の名称】膜厚計測装置及び膜厚計測方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/06 20060101AFI20240815BHJP

【ＦＩ】

G01B11/06 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023018384

(22)【出願日】2023-02-09

(71)【出願人】

【識別番号】515086908

【氏名又は名称】株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング

(74)【代理人】

【識別番号】100114306

【弁理士】

【氏名又は名称】中辻 史郎

(74)【代理人】

【識別番号】100148655

【弁理士】

【氏名又は名称】諏訪 淳一

(72)【発明者】

【氏名】椛島 治樹

【テーマコード（参考）】

2F065

【Ｆターム（参考）】

2F065AA30

2F065CC31

2F065DD03

2F065DD06

2F065FF04

2F065GG03

2F065GG07

2F065GG21

2F065JJ03

2F065JJ26

2F065SS13

(57)【要約】

【課題】有機溶剤等の離型剤の厚みを効率良く計測することを課題とする。
【解決手段】膜厚計測装置１０は、光源装置１３より特定の波長帯域の光を有機溶剤５１が塗布された金型６１に照射し、撮像装置１４を用いて有機溶剤５１からの反射光を画像として撮像し、画像の各画素の反射光の強度に基づいて膜厚を算出し、さらに膜厚からＲＧＢコードを算出して所定の表示部１１に表示制御する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の撮像部により計測対象となる物体の画像を撮像し、撮像した物体に塗布された膜の膜厚を所定の表示部に表示制御する膜厚計測装置であって、
前記物体に塗布された膜による反射光の強度に基づいて特定された所定の波長帯域の光を前記物体に照射する光源装置と、
前記物体の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像から膜厚を算出する膜厚算出部と
を備えたことを特徴とする膜厚計測装置。

【請求項2】

前記所定の波長帯域は、
前記物体に塗布された膜による反射光の強度が所定値よりも小さい波長帯域であることを特徴とする請求項１に記載の膜厚計測装置。

【請求項3】

前記物体に照射する各波長帯域のうち前記物体に塗布された前記膜の吸収量が高い波長帯域を特定する特定手段をさらに備え、
前記光源装置は、
前記特定手段により特定された前記波長帯域の光を前記物体に照射する
ことを特徴とする請求項２に記載の膜厚計測装置。

【請求項4】

前記撮像装置は、前記光源装置から照射された前記波長帯域の反射光に基づいて画像を撮像することを特徴とする請求項３に記載の膜厚計測装置。

【請求項5】

前記膜厚算出部は、前記撮像装置で撮像された画像の輝度に基づいて膜厚を算定することを特徴とした請求項４に記載の膜厚計測装置。

【請求項6】

前記光源装置は、
複数の波長帯域を発光する発光部と、
前記発光部から照射される複数の波長帯域の光のうち、前記特定手段により特定された波長帯域の光を透過する第１のフィルタと
を備えたことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一つに記載の膜厚計測装置。

【請求項7】

前記撮像装置は、
前記発光部が照射する波長帯域のうち、前記特定手段により特定された波長帯域の光を透過する第２のフィルタを備えたことを特徴とする請求項６に記載の膜厚計測装置。

【請求項8】

所定の撮像部により計測対象となる物体の画像を撮像し、撮像した物体に塗布された膜の膜厚を所定の表示部に表示制御する膜厚計測装置における膜厚計測方法であって、
所定の光源装置が、前記物体に塗布された膜による反射光の強度に基づいて特定された所定の波長帯域の光を前記物体に照射する照射工程と、
前記物体の画像を撮像する撮像工程と、
前記画像から膜厚を算出する算出工程と
を含むことを特徴とする膜厚計測方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、有機溶剤等の離型剤の膜厚を効率良く計測することができる膜厚計測装置及び膜厚計測方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、金型の形成面には、製品の離型を容易にするために、有機溶剤等の離型剤が塗布されることが多い。かかる離型剤が形成面に均等に塗られていない場合や、そもそも離型剤が塗布されていない箇所が存在する場合は、製品を良好に離型することができない。このため、離型剤の厚みを把握したいニーズがある。

【0003】

このため、特許文献１には、蛍光物質を含有する離型剤を、金型キャビティのキャビティ形成面に塗布し、キャビティ形成面に紫外線を照射することにより、離型剤に含有される蛍光物質が発する可視光によって離型剤を視認しやすい状態としたうえで、輝度などで表される可視光の発光強度を測定して離型剤の塗布状態を検出する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００７－０６９２１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記特許文献１のものは、蛍光物質を含有する離型剤が発光した光が反射し、離型剤が無い部位でもこの反射により離型剤が塗布されているように判定されてしまうという問題がある。

【0006】

本発明は、上記従来技術による問題点（課題）を解決するためになされたものであって、有機溶剤等の離型剤の膜厚を効率良く計測することができる膜厚計測装置及び膜厚計測方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明は、所定の撮像部により計測対象となる物体の画像を撮像し、撮像した物体に塗布された膜の膜厚を所定の表示部に表示制御する膜厚計測装置であって、前記物体に塗布された膜による反射光の強度に基づいて特定された所定の波長帯域の光を前記物体に照射する光源装置と、前記物体の画像を撮像する撮像装置と、前記画像から膜厚を算出する膜厚算出部とを備える。

【0008】

また、本発明は、上記発明において、前記所定の波長帯域は、前記物体に塗布された膜による反射光の強度が所定値よりも小さい波長帯域であることを特徴とする。

【0009】

また、本発明は、上記発明において、前記物体に照射する各波長帯域のうち前記物体に塗布された前記膜の吸収量が高い波長帯域を特定する特定手段をさらに備え、前記光源装置は、前記特定手段により特定された前記波長帯域の光を前記物体に照射する。

【0010】

また、本発明は、上記発明において、前記撮像装置は、前記光源装置から照射された前記波長帯域の反射光に基づいて画像を撮像する。

【0011】

また、本発明は、上記発明において、前記膜厚算出部は、前記撮像装置で撮像された画像の輝度に基づいて膜厚を算定する。

【0012】

また、本発明は、上記発明において、前記光源装置は、複数の波長帯域を発光する発光部と、前記発光部から照射される複数の波長帯域の光のうち、前記特定手段により特定された波長帯域の光を透過する第１のフィルタとを備える。

【0013】

また、本発明は、上記発明において、前記撮像装置は、前記発光部が照射する波長帯域のうち、前記特定手段により特定された波長帯域の光を透過する第２のフィルタを備える。

【0014】

また、本発明は、上記発明において、所定の撮像部により計測対象となる物体の画像を撮像し、撮像した物体に塗布された膜の膜厚を所定の表示部に表示制御する膜厚計測装置における膜厚計測方法であって、所定の光源装置が、前記物体に塗布された膜による反射光の強度に基づいて特定された所定の波長帯域の光を前記物体に照射する照射工程と、前記物体の画像を撮像する撮像工程と、前記画像から膜厚を算出する算出工程とを含む。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、有機溶剤等の離型剤の厚みを効率良く計測することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、実施形態１に係る膜厚計測装置の概要を示す図である。

【図2】図２は、図１に示した膜厚計測装置の構成を示す機能ブロック図である。

【図3】図３は、図２に示した膜厚計測装置による波長帯域の特定を説明するための説明図である。

【図4】図４は、図２に示した膜厚データの一例を示す図である。

【図5】図５は、図２に示したカラーマップの一例を示す図である。

【図6】図６は、図２に示した膜厚計測装置の膜厚の表示の一例を示す図である。

【図7】図７は、図２に示した膜厚データの作成手順を示すフローチャートである。

【図8】図８は、図２に示した膜厚計測装置の表示制御手順を示すフローチャートである。

【図9】図９は、実施形態２に係る膜厚計測装置の概要を示す図である。

【図10】図１０は、図９に示した膜厚計測装置の構成を示す機能ブロック図である。

【図11】図１１は、図１０に示した膜厚計測装置の表示制御手順を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下に、本発明に係る膜厚計測装置及び膜厚計測方法の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

【0018】

［実施形態１］
＜膜厚計測装置の概要＞
まず、本実施形態１に係る膜厚計測装置の概要について説明する。図１は、実施形態１に係る膜厚計測装置１０の概要を示す図である。ここでは、あらかじめ計測を行うために照射する波長帯域が特定されているものとする。

【0019】

図１に示すように、膜厚計測装置１０は、光源部１４ａから金型６１に特定された波長帯域の光を照射する（Ｓ１）。金型６１には、厚さの異なる有機溶剤５１ａ及び５１ｂ（以下、「有機溶剤５１」と総称する）が塗布されている。そして、膜厚計測装置１０は、特定された波長帯域の光に基づいて撮像を行う撮像部１３ａを用いて、有機溶剤５１ａ及び５１ｂにおいて反射した特定の波長帯域の光の画像を撮像する（Ｓ２）。

【0020】

そして、膜厚計測装置１０は、撮像した画像の各画素における反射光の強度から膜厚を算定する（Ｓ３）。その後、膜厚計測装置１０は、算出された膜厚からカラーマップ１５ｃを参照し、ＲＧＢコードを算定する（Ｓ４）。そして、膜厚計測装置１０は、金型６１に塗布された有機溶剤５１の膜厚をカラー画像として表示部１１に表示処理する（Ｓ５）。

【0021】

＜膜厚計測装置１０の構成＞
次に、図１に示した膜厚計測装置１０の構成について説明する。図２は、図１に示した膜厚計測装置１０の構成を示す機能ブロック図である。図２に示すように、膜厚計測装置１０は、記憶部１５及び制御部１６を有し、表示部１１、入力部１２、撮像装置１３及び光源装置１４が接続されている。表示部１１は、各種情報を表示する液晶ディスプレイなどの表示デバイスである。入力部１２は、マウスやキーボードなどの入力デバイスである。

【0022】

撮像装置１３は、撮像部１３ａを有する。撮像部１３ａは、特定の波長帯域の反射光に基づいて金型６１の画像を撮像するカメラである。光源装置１４は、光源部１４ａを有する。光源部１４ａは、紫外線の波長帯域の光を照射する。かかる光源部１４ａとして、例えばＬＥＤを用いることができる。なお、高圧水銀ランプ及び低圧水銀ランプなどの放電灯を用いることもできる。

【0023】

記憶部１５は、ハードディスク装置や不揮発性メモリなどの記憶デバイスであり、膜厚データ１５ａと、画像データ１５ｂと、カラーマップ１５ｃとを記憶する。膜厚データ１５ａは、撮像部１３ａで撮像した画像の各画素の光強度と溶剤の膜厚を対応付けたデータである。画像データ１５ｂは、光源部１４ａから特定の波長帯域の光を照射し、金型６１に塗布された有機溶剤５１から反射された光を撮像部１３ａで撮像された画像データである。カラーマップ１５ｃは、有機溶剤５１の膜厚とＲＧＢのカラーコードとを対応付けたデータである。

【0024】

制御部１６は、膜厚計測装置１０の全体を制御する制御部であり、膜厚データ取得部１６ａと、光源制御部１６ｂと、撮像処理部１６ｃと、膜厚算出部１６ｄと、表示制御部１６ｅとを有する。実際には、これらのプログラムをＣＰＵにロードして実行することにより、膜厚データ取得部１６ａと、光源制御部１６ｂと、撮像処理部１６ｃと、膜厚算出部１６ｄと、表示制御部１６ｅとにそれぞれ対応するプロセスを実行させることになる。

【0025】

膜厚データ取得部１６ａは、撮像部１３ａにより撮像された画像から得られる特定の波長帯域における有機溶剤５１の反射光の強度のデータを取得し、有機溶剤５１の膜厚と対応付けて膜厚データ１５ａとして記憶する処理部である。

【0026】

光源制御部１６ｂは、金型６１の有機溶剤５１を撮像するために、特定の波長帯域の光を照射する光源装置１４の光源部１４ａのオン／オフ制御を行う制御部である。特定の波長帯域は、あらかじめ物体に塗布された膜による反射光の強度に基づいて特定された波長帯域であり、具体的には、物体に塗布された膜による反射光の強度が所定値よりも小さくなる波長帯域となる。撮像処理部１６ｃは、光源装置１４から特定の波長帯域の光が照射された後に、金型６１を撮像部１３ａにより撮像させられるように制御する処理部である。撮像処理部１６ｃにより撮像された画像は、画像データ１５ｂとして記憶部１５に記憶する。

【0027】

膜厚算出部１６ｄは、撮像処理部１６ｃにより取得した画像データ１５ｂの各画素の光強度と膜厚データ１５ａに基づいて、各画素における膜厚を算出する処理部である。表示制御部１６ｅは、カラーマップ１５ｃに基づいて、膜厚算出部１６ｄで算出された膜厚からＲＧＢコードの変換を行い、処理された画像を表示部１１に表示制御する処理部である。

【0028】

＜波長帯域の特定について＞
次に、膜厚の計測に用いられる波長帯域の特定について説明する。図３は、図２に示した膜厚計測装置１０による波長帯域の特定を説明するための説明図である。図３のグラフは、横軸を波長（ｎｍ）とし、縦軸を反射光の強度としたグラフである。

【0029】

図３に示すように、有機溶剤５１に波長帯域の異なる光を照射し、それぞれの波長帯域における有機溶剤５１の膜による反射光の強度を測定する。そして、複数の波長帯域の中で、反射光の強度が所定値よりも小さくなる波長帯域を、膜厚を計測する場合に用いる波長帯域と特定する。図３の例では、波長が３６０ｎｍ付近の波長帯域を特定する。

【0030】

ここで、一般的には、有機溶剤５１の膜による反射光の強度は、図３に示すように下に凸の曲線となる。かかる曲線の最小値となる強度を持つ波長が特定することができる。なお、例えば最小値の強度を５％増加した強度となる波長を特定することもできる。

【0031】

＜膜厚データ１５ａについて＞
次に、有機溶剤５１の膜厚と反射光強度の関係について説明する。図４は、図２に示した膜厚データ１５ａの一例を示す図である。図４に示すように、有機溶剤５１に特定の波長帯域の光を照射すると、照射された光は有機溶剤５１の膜で吸収さる。膜厚が小の場合には、照射された光が膜の中で吸収される量が小さいため、反射光は大きくなる。一方、膜厚が厚い場合は、膜のなかで吸収される量が膜厚の薄い場合に比較して大きいため、反射光は、膜厚が薄い場合に比べると小さくなる。したがって、有機溶剤５１の膜厚と反射光強度の関係は、反射光強度が小さいほど膜厚は厚く、反射光強度が大きいほど膜厚は薄くなる。なお、ここでは反射光強度と膜厚の関係を一次関数で表現したが、かかる特性は一例であり、一次関数の関係でなくともよい。

【0032】

＜カラーマップの一例について＞
次に、カラーマップ１５ｃについて説明する。図５は、図２に示したカラーマップ１５ｃの一例を示す図である。図５に示すように、カラーマップ１５ｃは、膜厚「０－０．１ｍｍ」では、ＲＧＢ値「０，０，０」、膜厚「０．１－０．３ｍｍ」では、ＲＧＢ値「０，０，１２８」、膜厚「０．３－０．５ｍｍ」では、ＲＧＢ値「０，０，２５５」が対応付けられている。

【0033】

また、膜厚「０．５－０．７ｍｍ」では、ＲＧＢ値「０，１２８，０」、膜厚「０．７－０．９ｍｍ」では、ＲＧＢ値「０，２５５，０」、膜厚「０．９－１．１ｍｍ」では、ＲＧＢ値「２５５，２５５，０」、膜厚「１．１－」では、ＲＧＢ値「２５５，１６５，０」が対応付けられている。

【0034】

＜膜厚の表示制御＞
次に、膜厚計測装置１０の膜厚の表示制御について説明する。図６は、図２に示した膜厚計測装置１０の膜厚の表示の一例を示す図である。図６（ａ）に示すように、膜厚計測装置１０は、光源部１４ａから特定の波長帯域の光を金型６１に塗布された有機溶剤５１に照射する。撮像部１３ａは、金型６１に照射された反射光に基づいて画像を撮像する。撮像された画像は、反射光の強度により、強度が高い画素は白く、強度が低い画素は黒くなる（図６（ｂ））。そして、膜厚データ１５ａを用いてこの撮像された画像の各画素の反射光の強度に基づいて膜厚を算出した後、カラーマップ１５ｃを用いて膜厚のデータからカラー画像を算出し、表示制御する（図６（ｃ））。

【0035】

＜膜厚データ１５ａの作成手順＞
次に、膜厚データ１５ａの作成手順について説明する。図７は、図２に示した膜厚データ１５ａの作成手順を示すフローチャートである。なお、ここでは、有機溶剤５１に照射する波長帯域はあらかじめ特定されているものとする。

【0036】

図７に示すように、膜厚計測装置１０は、特定の波長帯域の光を照射したか否かを判定する（ステップＳ１０１）。特定の波長帯域の光が照射されていなかったら（ステップＳ１０１：Ｎｏ）、光が照射されるまで待機する。そして、膜厚計測装置１０は、特定の波長帯域の光が照射されていたならば（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）、撮像部１３ａにより画像を取得する（ステップＳ１０２）。

【0037】

その後、膜厚計測装置１０は、撮像した溶剤の試料が最後の試料か否かを判定する（ステップＳ１０３）。撮像した溶剤の試料が最後の試料でなかった場合は（ステップＳ１０３：Ｎｏ）、膜厚の異なる溶剤の試料の設置を操作者に促し（ステップＳ１０４）、ステップ１０２に移行する。

【0038】

一方、膜厚計測装置２０は、撮像した溶剤の試料が最後の試料であった場合は（ステップＳ１０３：Ｙｅｓ）、別の溶剤の膜厚を計測するか否かを判定する（ステップＳ１０５）。膜厚計測装置１０は、別の溶剤の膜厚を測定する場合は（ステップＳ１０５：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０１に移行する。また、別の溶剤の膜厚を計測しない場合は（ステップＳ１０５：Ｎｏ）、一連の処理を終了する。

【0039】

次に、膜厚計測装置１０の表示制御手順につて説明する。図８は、図２に示した膜厚計測装置１０の表示制御手順を示すフローチャートである。図８に示すように、膜厚計測装置１０は、光源装置１４をオンにし、特定の波長帯域の光を照射する（ステップＳ２０１）。そして、膜厚計測装置１０は、撮像装置１３により画像を撮像する（ステップＳ２０２）。

【0040】

その後、膜厚計測装置１０は、撮像した画像の各画素における反射光の強度に基づいて膜厚を算出する（ステップＳ２０３）。そして、膜厚計測装置１０は、カラーマップ１５ｃを参照し、膜厚からＲＧＢコードを算出する（ステップＳ２０４）。そして、画像を所定の表示部１１に表示処理し（ステップＳ２０５）、一連の処理を終了する。

【0041】

上述してきたように、本実施形態１では、膜厚計測装置１０は、光源装置１４より特定の波長帯域の光を有機溶剤５１が塗布された金型６１に照射し、撮像装置１３を用いて有機溶剤５１からの反射光を画像として撮像し、画像の各画素の反射光の強度に基づいて膜厚を算出し、さらに膜厚からＲＧＢコードを算出して所定の表示部１１に表示制御するように構成したので、有機溶剤等の離型剤の厚みを効率良く計測することができる。

【0042】

［実施形態２］
ところで、上記実施形態１では、膜厚計測装置１０は、光源装置１４よりあらかじめ特定した波長帯域の光を照射する場合について説明したが、実施形態２では、特定の波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させないフィルタを撮像装置２３及び光源装置２４に備え、フィルタを制御部で自動選択する場合について説明する。なお、実施形態１と同様の部位については、同一の符号を付すこととして、その詳細な説明を省略する。

【0043】

＜膜厚計測装置２０の概要＞
次に、本実施形態２に係る膜厚計測装置２０の概要について説明する。図９は、実施形態２に係る膜厚計測装置２０の概要を示す図である。図９に示すように、膜厚計測装置２０は、金型６１と撮像部２３ａとの間に可変フィルタ２３ｂを配設する。かかる可変フィルタ２３ｂは、特定の波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させない複数枚のフィルタからなる。また、金型６１と光源部２４ａとの間に可変フィルタ２４ｂを配設する。かかる可変フィルタ２４ｂは、可変フィルタ２３ｂと同様に、特定の波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させない複数枚のフィルタからなる。

【0044】

そして、膜厚計測装置２０は、特定の波長帯域が決まったならば、可変フィルタ２３ｂ及び可変フィルタ２４ｂの特定された波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させないフィルタを選択する（Ｓ１１）。そして、膜厚計測装置２０は、光源装置２４の光源部２４ａにより発光された光のうち可変フィルタ２４ｂを透過した光を金型６１に照射する（Ｓ１２）。膜厚計測装置２０は、金型６１から反射した光を、選択処理された波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させないフィルタが選択された可変フィルタ２３ｂを介して撮像部２３ａで画像を撮像する（Ｓ１３）。

【0045】

そして、膜厚計測装置２０は、撮像した画像の各画素における反射光の強度から膜厚を算定する（Ｓ１４）。その後、膜厚計測装置２０は、算出された膜厚からカラーマップ１５ｃを参照し、ＲＧＢコードを算定する（Ｓ１５）。そして、膜厚計測装置１０は、金型６１に塗布された有機溶剤５１の膜厚をカラー画像として表示部１１に表示処理する（Ｓ１６）。

【0046】

＜膜厚計測装置２０の構成＞
次に、図９に示した膜厚計測装置２０の構成について説明する。図１０は、図９に示した膜厚計測装置２０の構成を示す機能ブロック図である。図１０に示すように、膜厚計測装置２０は、記憶部２５及び制御部２６を有し、表示部１１、入力部１２、撮像装置２３及び光源装置２４が接続されている。

【0047】

撮像装置２３は、撮像部２３ａと、可変フィルタ２３ｂとを有する。撮像部２３ａは紫外光の複数の波長帯域の光を撮像可能なカメラである。可変フィルタ２３ｂは、特定の波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させない複数枚の光学フィルタから構成され、円形又は直線の光学フィルタを保持する金具に光学フィルタを装着し、金具をモータ等で動かすことによって、透過させる光の波長帯域を可変する。

【0048】

光源装置２４は、光源部２４ａと、可変フィルタ２４ｂとを有する。光源部２４ａは、紫外光の複数の波長帯域の光を含む光を照射可能な光源である。可変フィルタ２４ｂは、特定の波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させない複数枚の光学フィルタから構成され、円形又は直線の光学フィルタを保持する金具に光学フィルタを装着し、金具をモータ等で動かすことによって、透過させる光の波長帯域を可変する。

【0049】

記憶部２５は、ハードディスク装置や不揮発性メモリなどの記憶デバイスであり、膜厚データ１５ａと、画像データ１５ｂと、カラーマップ１５ｃと、波長帯域データ２５ａとを記憶する。波長帯域データ２５ａは、複数の有機溶剤５１の種類と、各有機溶剤５１の光吸収量が大きな波長帯域とを対応つけたデータである。

【0050】

制御部２６は、膜厚計測装置２０の全体を制御する制御部であり、膜厚データ取得部１６ａと、光源制御部１６ｂと、撮像処理部１６ｃと、膜厚算出部１６ｄと、表示制御部１６ｅと、波長帯域選択処理部２６ａと、フィルタ選択処理部２６ｂとを有する。実際には、これらのプログラムをＣＰＵにロードして実行することにより、膜厚データ取得部１６ａと、光源制御部１６ｂと、撮像処理部１６ｃと、膜厚算出部１６ｄと、表示制御部１６ｅと、波長帯域選択処理部２６ａと、フィルタ選択処理部２６ｂとにそれぞれ対応するプロセスを実行させることになる。

【0051】

波長帯域選択処理部２６ａは、操作者が使用する有機溶剤５１を選択したならば、波長帯域データ２５ａを参照して該有機溶剤５１の吸収量が高い波長帯域を選択する処理部である。フィルタ選択処理部２６ｂは、波長帯域選択処理部２６ａで選択処理された光の波長帯域に対応して、可変フィルタ２３ｂ及び可変フィルタ２４ｂに配設されている複数枚の光学フィルタから選択処理された波長帯域に光を透過させ、かつ、この波長帯域以外の光を透過させないフィルタを選択する処理をする。具体的には、波長帯域選択処理部２６ａで光の波長帯域が選択処理されたならば、その波長帯域の光を透過させ、かつ、この波長帯域以外の光を透過させないフィルタを選択する信号を撮像装置２３の可変フィルタ２３ｂと、光源装置２４の可変フィルタ２４ｂに通知する。

【0052】

＜膜厚計測装置２０の表示制御手順＞
次に、膜厚計測装置２０の表示制御手順について説明する。図１１は、図１０に示した膜厚計測装置２０の表示制御手順を示すフローチャートである。なお、ここでは、金型６１に塗布する有機溶剤５１は特定されており、照射する波長帯域は特定されているものとする。

【0053】

図１１に示すように、膜厚計測装置２０は、光源装置２４の可変フィルタ２４ｂを特定の波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させないフィルタに設定する（ステップＳ３０１）。そして、膜厚計測装置２０は、撮像装置２３の可変フィルタ２３ｂを特定の波長帯域の光を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させないフィルタに設定する（ステップＳ３０２）。

【0054】

その後、膜厚計測装置２０は、光源装置２４をオンにし、光を照射する（ステップＳ３０３）。かかる光には、様々な波長の光が含まれるが、可変フィルタ２４ｂにより選択処理された波長帯域の光が透過され、かつ、この波長帯域以外が透過されない光が金型６１に照射される。そして、膜厚計測装置２０は、金型６１で反射された可変フィルタ２３ｂにより選択処理された波長帯域であり、かつ、この波長帯域以外が透過されない反射光の画像を撮像装置２３により撮像する（ステップＳ３０４）。

【0055】

その後、膜厚計測装置２０は、撮像した画像の各画素の反射光の強度から膜厚を算出する（ステップＳ３０５）。そして、膜厚計測装置２０は、算出した膜厚から、膜厚に対応するＲＧＢコードを算出し（ステップＳ３０６）、画像の表示処理を行い（ステップＳ３０７）、一連の処理を終了する。

【0056】

上述してきたように、本実施形態２では、膜厚計測装置２０は、特定の波長帯域を透過させ、かつ、該波長帯域以外の光を透過させない複数枚のフィルタから構成される可変フィルタ２３ｂ及び２４ｂを撮像装置２３及び光源装置２４に配設し、この可変フィルタ２３ｂ及び２４ａを制御部で選択することにより、波長帯域選択処理部２６ａで選択処理された波長帯域の光を有機溶剤５１が塗布された金型６１に照射し、撮像装置２３を用いて有機溶剤５１からの反射光を画像として撮像し、画像の各画素の反射光の強度に基づいて膜厚を算出し、さらに膜厚からＲＧＢコードを算出して所定の表示部１１に表示制御するように構成したので、有機溶剤等の離型剤の厚みを効率良く計測することができる。

【0057】

なお、上記実施形態１及び実施形態２では、表示制御部１６ｅは、カラーマップ１５ｃに基づいて、膜厚算出部１６ｄで算出された膜厚からＲＧＢコードの変換を行い、処理された画像を表示部１１に表示制御する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、膜厚算出部１６ｄで算出した膜厚データ１５ａに基づいて、金型６１に塗布された有機溶剤５１が所定の閾値より薄くなった場合、又は、有機溶剤５１が所定の閾値より厚くなった場合に、警告を表示するようにしてもよい。

【0058】

上記の各実施形態で図示した各構成は機能概略的なものであり、必ずしも物理的に図示の構成をされていることを要しない。すなわち、各装置の分散・統合の形態は図示のものに限られず、その全部又は一部を各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。

【産業上の利用可能性】

【0059】

本発明に係る膜厚計測装置及び膜厚計測方法は、有機溶剤等の離型剤の厚みを効率良く計測する場合に適している。

【符号の説明】

【0060】

１０ 膜厚計測装置
１１ 表示部
１２ 入力部
１３ 撮像装置
１３ａ 撮像部
１４ 光源装置
１４ａ 光源部
１５ 記憶部
１５ａ 膜厚データ
１５ｂ 画像データ
１５ｃ カラーマップ
１６ 制御部
１６ａ 膜厚データ取得部
１６ｂ 光源制御部
１６ｃ 撮像処理部
１６ｄ 膜厚算出部
１６ｅ 表示制御部
２０ 膜厚計測装置
２３ 撮像装置
２３ａ 撮像部
２３ｂ 可変フィルタ
２４ 光源装置
２４ａ 光源部
２４ｂ 可変フィルタ
２５ 記憶部
２６ 制御部
２６ａ 波長帯域選択処理部
２６ｂ フィルタ選択処理部
５１、５１ａ、５１ｂ 有機溶剤
６１ 金型

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】