特開 2024-113788 バルブユニット、液体吐出装置、及びバルブユニットの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024113788

(43)【公開日】2024-08-23

(54)【発明の名称】バルブユニット、液体吐出装置、及びバルブユニットの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/175 20060101AFI20240816BHJP

   F16K 31/126 20060101ALI20240816BHJP

【ＦＩ】

B41J2/175 171

B41J2/175 501

F16K31/126 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023018977

(22)【出願日】2023-02-10

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】熊王 彰吾

(72)【発明者】

【氏名】水野 隆吉

【テーマコード（参考）】

2C056

3H056

【Ｆターム（参考）】

2C056EA21

2C056FA10

2C056JA13

2C056JB04

2C056KB01

2C056KB13

2C056KB37

2C056KC02

3H056AA01

3H056BB02

3H056BB47

3H056CA07

3H056CB03

3H056CD01

3H056DD05

3H056DD08

3H056GG04

(57)【要約】

【課題】液体貯留室内の液体の圧力を適正に調整することが可能なバルブユニット、液体吐出装置、及びバルブユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】バルブユニット６０は、インクの圧力変化に応じて容積が変化する圧力室８２を備え、圧力室８２は、インクが貯留される凹部が形成された液体貯留部材６１と、凹部の開口を覆うように配置される第２膜部材６３と、によって形成され、第２膜部材６３は、開口を覆うように、液体貯留部材６１に接続される第１フィルム９１と、第１フィルム９１の開口に対向する面の反対面に接着され、インクに含まれる溶剤成分の透過を抑制する第２フィルム９２と、第２フィルム９２の第１フィルム９１に対向する面の反対面に配置され、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルム９３と、を備え、第３フィルム９３は、第２フィルム９２に対して空間Ｓを隔てて配置される。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室を備えるバルブユニットであって、
前記液体貯留室は、
前記液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、
前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、
前記膜部材は、
前記開口を覆うように、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、
前記第１フィルムの前記開口に対向する面の反対面に接着され、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムと、
前記第２フィルムの前記第１フィルムに対向する面の反対面に配置され、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムと、を備え、
前記第３フィルムは、前記第２フィルムに対して空間を隔てて配置される、バルブユニット。

【請求項2】

請求項１に記載のバルブユニットであって、
前記第３フィルムは、凸状に形成され、前記第２フィルムに対向する方向と反対の方向に凸となるように配置される、バルブユニット。

【請求項3】

請求項１又は２に記載のバルブユニットであって、
前記第２フィルムと前記第３フィルムとを隔てる前記空間内に吸湿材が配置される、バルブユニット。

【請求項4】

請求項３に記載のバルブユニットであって、
前記吸湿材は、粒状であり、前記第３フィルムに接着されている、バルブユニット。

【請求項5】

請求項２に記載のバルブユニットであって、
前記第２フィルムと前記第３フィルムとを隔てる前記空間内に吸湿材が配置され、
前記第３フィルムは、前記空間を隔てて前記第２フィルムと略平行に配置される平坦部と、前記第２フィルムと前記平坦部とで挟まれた前記空間の周縁を覆う側壁部と、を含み、
前記吸湿材は、前記第３フィルムの前記側壁部に接着され、前記第３フィルムの前記平坦部には接着されていない、バルブユニット。

【請求項6】

請求項１に記載のバルブユニットであって、
前記第３フィルムは、枠状部材を介して前記第２フィルムに接続される、バルブユニット。

【請求項7】

液体を吐出する液体吐出ヘッドと、前記液体が液体供給源から前記液体吐出ヘッドに向かって流れるように前記液体供給源と前記液体吐出ヘッドとを接続する供給流路と、を備える液体吐出装置であって、
前記供給流路は、前記液体供給源から前記液体が流入される流入部と、前記液体が前記液体吐出ヘッドに向かって流出される流出部と、前記液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室と、を有するバルブユニットを備え、
前記液体貯留室は、
前記液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、
前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、
前記膜部材は、
前記開口を覆うように、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、
前記第１フィルムの前記開口に対向する面の反対面に接着され、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムと、
前記第２フィルムの前記第１フィルムに対向する面の反対面に配置され、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムと、を備え、
前記第３フィルムは、前記第２フィルムに対して空間を隔てて配置される、液体吐出装置。

【請求項8】

液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、前記液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室を備えるバルブユニットの製造方法であって、
前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムとを接着することにより形成された積層フィルムを、前記第１フィルム側が前記凹部と対向するように配置して、前記液体貯留部材に接続する工程と、
周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムを、前記積層フィルムに対して空間を隔てて配置する工程と、を備える、バルブユニットの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バルブユニット、液体吐出装置、及びバルブユニットの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液体吐出装置において、液体を吐出するヘッドと液体の供給源との間に、液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室を配置して、液体の圧力を調整する構成が知られている。液体貯留室は、液体が貯留される容器状の構造体の開口部を、可撓性を有する膜部材で覆うことによって構成される。このような膜部材としては、例えば、ＰＰ（ポリプロピレン）からなる内膜とＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）からなる外膜とを積層した構成の部材が用いられる。ただし、このような構成の場合、周辺の空気中の水分が外膜を透過することにより、内膜と外膜との間に液胞が生じる場合があった。そして、液胞が次第に大きくなって、膜部材が破損してしまう恐れがあった。

【0003】

特許文献１では、ＰＰフィルムとＰＥＴフィルムとを積層するとともに、その外側に防湿フィルムを積層した液体封止用膜部材が提案されている。この構成によれば、周辺の空気中に含まれる水分の浸入が防湿フィルムによって抑制されるため、液胞の発生を抑制することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１－４６０７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、膜部材の層構成を単純に増やしてしまうと、膜部材の可撓性が損なわれる。特に、水分の透過を抑制可能なフィルムは、剛性が高い傾向にあるため、液体の圧力を適切に調整することが困難になる場合があった。

【課題を解決するための手段】

【0006】

バルブユニットは、液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室を備えるバルブユニットであって、前記液体貯留室は、前記液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、前記膜部材は、前記開口を覆うように、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、前記第１フィルムの前記開口に対向する面の反対面に接着され、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムと、前記第２フィルムの前記第１フィルムに対向する面の反対面に配置され、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムと、を備え、前記第３フィルムは、前記第２フィルムに対して空間を隔てて配置される。

【0007】

液体吐出装置は、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、前記液体が液体供給源から前記液体吐出ヘッドに向かって流れるように前記液体供給源と前記液体吐出ヘッドとを接続する供給流路と、を備える液体吐出装置であって、前記供給流路は、前記液体供給源から前記液体が流入される流入部と、前記液体が前記液体吐出ヘッドに向かって流出される流出部と、前記液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室と、を有するバルブユニットを備え、前記液体貯留室は、前記液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、前記膜部材は、前記開口を覆うように、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、前記第１フィルムの前記開口に対向する面の反対面に接着され、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムと、前記第２フィルムの前記第１フィルムに対向する面の反対面に配置され、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムと、を備え、前記第３フィルムは、前記第２フィルムに対して空間を隔てて配置される。

【0008】

バルブユニットの製造方法は、液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、前記液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室を備えるバルブユニットの製造方法であって、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムとを接着することにより形成された積層フィルムを、前記第１フィルム側が前記凹部と対向するように配置して、前記液体貯留部材に接続する工程と、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムを、前記積層フィルムに対して空間を隔てて配置する工程と、を備える。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】液体吐出装置の概略構成を示す構成図。

【図2】バルブユニットを示す斜視図。

【図3】バルブユニットを示す斜視図。

【図4】圧力調整機構の構成及び動作を説明するための断面図。

【図5】圧力調整機構の構成及び動作を説明するための断面図。

【図6】バルブユニットの圧力室の一部を模式的に示す断面図。

【図7】第２膜部材の構成を示す斜視図。

【図8】第２膜部材を形成する工程を説明するためのフローチャート。

【図9】変形例に係る第２膜部材の構成を示す斜視図。

【図10】変形例に係るバルブユニットを示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本実施形態の液体吐出装置１について、図面を参照して説明する。本実施形態の液体吐出装置１は、例えば、記録対象である媒体に対して、液体の一例であるインクを吐出することにより、媒体に文字や写真等の画像を記録するインクジェット式のプリンターである。媒体は、紙に限定されず、布や織物等のテキスタイル、塩化ビニル樹脂等、種々の素材が対象になり得る。なお、本実施形態では、紙以外の媒体への印刷が想定されており、インクとしては、溶剤が含まれているインクが使用される。

【0011】

各図には、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸が示されている。典型的には、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、互いに直交する。Ｘ軸は、液体吐出装置１の設置面に平行であり、液体吐出装置１の幅方向に対応する。Ｙ軸は、液体吐出装置１の設置面に平行であり、液体吐出装置１の奥行き方向に対応する。Ｚ軸は、液体吐出装置１の設置面に垂直であり、液体吐出装置１の高さ方向に対応する。

【0012】

Ｘ軸に平行な＋Ｘ方向は、液体吐出装置１の正面に向かって右に向かう方向であり、Ｘ軸に平行な－Ｘ方向は、＋Ｘ方向の反対の方向である。Ｙ軸に平行な＋Ｙ方向は、液体吐出装置１の背面から正面に向かう方向であり、Ｙ軸に平行な－Ｙ方向は、＋Ｙ方向の反対の方向である。Ｚ軸に平行な＋Ｚ方向は、下方に向かう方向であり、Ｚ軸に平行な－Ｚ方向は、＋Ｚ方向の反対の方向である。

【0013】

図１は、液体吐出装置１の概略構成を示す構成図である。
図１に示すように、液体吐出装置１は、液体吐出ヘッド１０と、インク供給部２０と、搬送機構３０と、移動機構４０と、メンテナンス部５０と、制御部１００とを備える。

【0014】

液体吐出ヘッド１０は、インクを吐出する複数のノズル列１２が設けられるノズル面１１を有する。ノズル列１２は、複数のノズルＮが±Ｙ方向に並ぶことで形成される。液体吐出ヘッド１０は、ノズル列１２を構成する複数のノズルＮから＋Ｚ方向にインクを吐出して、媒体である印刷用紙Ｐ上に画像を形成する。本実施形態では、複数のノズル列１２は、ノズル列１２ａ、ノズル列１２ｂ、ノズル列１２ｃ、及びノズル列１２ｄを含む。

【0015】

吐出するインクは、例えば、ブラック、シアン、マゼンタ、及びイエローの合計４色のインクであり、それぞれのインクは、ノズル列１２ａ、ノズル列１２ｂ、ノズル列１２ｃ、及びノズル列１２ｄから吐出される。なお、インクは、上記４色に限定されず、ライトシアン、ライトマゼンタ、ホワイト等、他の色のインクを吐出する構成であってもよい。液体吐出ヘッド１０は、移動機構４０が有する後述のキャリッジ４２に搭載され、キャリッジ４２の移動と共に主走査方向に往復移動する。本実施形態において、主走査方向は、±Ｘ方向である。

【0016】

インク供給部２０は、液体吐出ヘッド１０にインクを供給する。インク供給部２０は、液体供給源２１と、供給流路２４と、を備える。本実施形態の液体供給源２１は、インクを注入可能な注入部２２と、注入部２２から注入されたインクを収容する収容室２３と、を備える注ぎ足しタイプのタンクであるが、交換可能なカートリッジタイプのタンクであってもよい。インク供給部２０は、複数の液体供給源２１を備える。本実施形態では、複数の液体供給源２１は、ブラックインクを収容する液体供給源２１ａ、シアンインクを収容する液体供給源２１ｂ、マゼンタインクを収容する液体供給源２１ｃ、及びイエローインクを収容する液体供給源２１ｄを含む。

【0017】

供給流路２４は、液体供給源２１が収容するインクが液体吐出ヘッド１０に向けて流れるように、液体供給源２１と液体吐出ヘッド１０とを接続する。本実施形態の供給流路２４は、キャリッジ４２上に配置されて液体吐出ヘッド１０と接続されるバルブユニット６０と、液体供給源２１とバルブユニット６０とを接続するチューブ２５と、により構成される。なお、これ以降、供給流路２４内において、液体供給源２１に近い側を上流側とも呼び、液体吐出ヘッド１０に近い側を下流側とも呼ぶ。

【0018】

バルブユニット６０は、液体吐出ヘッド１０に供給されるインクの圧力を、所定の負圧に調整する。このため、本実施形態では、液体供給源２１の±Ｚ方向の位置に関する制約が少なくなる。例えば、液体供給源２１を、液体供給源２１内のインクの液面が液体吐出ヘッド１０のノズル面１１より－Ｚ方向となる位置に配置することも可能になる。供給流路２４には、複数のバルブユニット６０が設けられる。本実施形態では、複数のバルブユニット６０は、液体供給源２１ａからのインクをノズル列１２ａに供給するバルブユニット６０ａと、液体供給源２１ｂからのインクをノズル列１２ｂに供給するバルブユニット６０ｂと、液体供給源２１ｃからのインクをノズル列１２ｃに供給するバルブユニット６０ｃと、液体供給源２１ｄからのインクをノズル列１２ｄに供給するバルブユニット６０ｄとを含む。バルブユニット６０の詳細については後述する。

【0019】

搬送機構３０は、印刷用紙Ｐを副走査方向に搬送する。副走査方向は、主走査方向である±Ｘ方向と直交する方向であり、本実施形態では、±Ｙ方向である。搬送機構３０は、３つの搬送ローラー３２が装着された搬送ロッド３４と、搬送ロッド３４を回転駆動する搬送用モーター３６とを備える。搬送用モーター３６が搬送ロッド３４を回転駆動することにより、複数の搬送ローラー３２が回転して印刷用紙Ｐが副走査方向における＋Ｙ方向に搬送される。なお、搬送ローラー３２の数は、３つに限定されず、任意の数であってもよい。また、搬送機構３０を複数備える構成としてもよい。

【0020】

移動機構４０は、上述のキャリッジ４２に加えて、搬送ベルト４４と、移動用モーター４６と、プーリー４７と、を備える。キャリッジ４２は、液体吐出ヘッド１０、及びバルブユニット６０を搭載する。キャリッジ４２は、搬送ベルト４４に取り付けられている。搬送ベルト４４は、移動用モーター４６とプーリー４７との間に架け渡されている。移動用モーター４６が回転駆動することにより、搬送ベルト４４は、主走査方向に往復移動する。これにより、搬送ベルト４４に取り付けられているキャリッジ４２も、主走査方向に往復移動する。

【0021】

メンテナンス部５０は、液体吐出ヘッド１０のメンテナンスを行う。メンテナンス部５０は、ワイパー５１、ワイパー駆動部５２、キャップ５３、キャップ保持部５４、キャップ駆動部５５、廃液チューブ５６、吸引ポンプ５７、及び廃液収集部５８を有する。

【0022】

ワイパー５１は、液体吐出ヘッド１０のノズル面１１をワイピングする。ワイパー５１は、ワイパー駆動部５２の駆動により、ノズル面１１に接触しない待機位置とノズル面１１に接触可能なワイピング位置との間を±Ｚ方向に移動する。ワイパー５１がワイピング位置にある状態で、キャリッジ４２の移動と共に、液体吐出ヘッド１０がワイパー５１の－Ｚ方向側を主走査方向に移動することで、ノズル面１１のワイピングが行われる。

【0023】

キャップ５３は、液体吐出ヘッド１０のノズルＮからインクを排出させる。キャップ５３は、液体吐出ヘッド１０のノズル面１１に接触することで、複数のノズルＮが開口する吸引空間を形成する。キャップ５３は、キャップ保持部５４に保持される。キャップ保持部５４は、キャップ駆動部５５の駆動により、±Ｚ方向に移動する。キャップ５３は、キャップ保持部５４が±Ｚ方向に移動することで、ノズル面１１に接触しない非キャッピング位置と、ノズル面１１に接触する吸引可能位置との間を±Ｚ方向に移動する。キャップ５３は、廃液チューブ５６を介して、廃液を収集する廃液収集部５８と通じている。廃液チューブ５６には、キャップ５３が形成する吸引空間を吸引するための吸引ポンプ５７が設けられる。

【0024】

キャップ５３による液体吐出ヘッド１０のメンテナンスを行う場合、キャップ５３が非キャッピング位置にある状態で、液体吐出ヘッド１０は、キャリッジ４２とともに移動して、ノズル列１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄがキャップ５３と対向する位置に配置される。そして、キャップ５３が吸引可能位置に移動することで、ノズル列１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを構成する複数のノズルＮが開口する吸引空間が形成される。吸引ポンプ５７が、形成された吸引空間を吸引することで、ノズル列１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを構成する複数のノズルＮからインクが吸引空間に排出される。吸引空間に排出されるインクは、廃液チューブ５６を介して、廃液収集部５８に収集される。

【0025】

制御部１００は、液体吐出装置１の全体の動作を制御する。例えば、制御部１００は、キャリッジ４２の主走査方向に沿った往復移動動作や、印刷用紙Ｐの副走査方向に沿った搬送動作、液体吐出ヘッド１０のインクの吐出動作、メンテナンス部５０による液体吐出ヘッド１０のメンテナンス動作を制御する。制御部１００は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とにより構成されてもよい。

【0026】

次に、バルブユニット６０について詳述する。
図２及び図３は、バルブユニット６０を示す斜視図である。
バルブユニット６０は、外形が略直方体形状の液体貯留部材６１と、液体貯留部材６１の第１面６１ａを覆う第１膜部材６２と、液体貯留部材６１の第２面６１ｂを覆う第２膜部材６３とを含む。また、バルブユニット６０は、液体吐出ヘッド１０に供給されるインクの圧力を調整する圧力調整機構８０を、液体貯留部材６１の内部に備える。

【0027】

液体貯留部材６１の第１面６１ａ及び第２面６１ｂは、いずれもＹＺ平面に沿った面である。第１面６１ａは、－Ｘ方向に面し、第２面６１ｂは、＋Ｘ方向に面する。つまり、第２面６１ｂは、第１面６１ａの反対側の面である。なお、図２及び図３に示す状態は、第１膜部材６２及び第２膜部材６３が配置される前の状態であり、第１膜部材６２及び第２膜部材６３を配置すべき位置が二点鎖線で示されている。第１膜部材６２及び第２膜部材６３は、可撓性を有する膜部材である。

【0028】

液体貯留部材６１の＋Ｙ方向側の正面には、液体供給源２１からインクが流入される流入部６４が形成されている。また、液体貯留部材６１の＋Ｚ方向側の下面には、液体吐出ヘッド１０に向かってインクが流出される流出部６５が形成されている。液体貯留部材６１は、流入部６４から流出部６５に至る流路を構成するとともに、流路の途中に配置されるフィルター室６６、供給室８１（図４参照）及び圧力室８２を構成する。供給室８１及び圧力室８２は、圧力調整機構８０を構成する。本実施形態において、液体貯留部材６１は、溶剤を含むインクによる変質を受けにくいＰＰ（ポリプロピレン）によって形成されている。

【0029】

液体貯留部材６１の第１面６１ａ及び第２面６１ｂには、インクを貯留するための複数の凹部が形成されている。そして、流路の一部や、フィルター室６６、供給室８１及び圧力室８２は、これらの凹部の開口を閉塞することによって形成される。具体的には、液体貯留部材６１の第１面６１ａには、フィルター室６６を構成する凹部と、供給室８１を構成する凹部と、流入流路６７を構成する凹部と、中継流路６８を構成する凹部とが形成されている。供給室８１は、凹部の開口が受け板８３によって閉塞されることにより形成され、フィルター室６６、流入流路６７及び中継流路６８は、凹部の開口が第１膜部材６２で覆われることにより形成される。流入部６４は、流入流路６７等を介してフィルター室６６と連通し、フィルター室６６は、中継流路６８等を介して供給室８１と連通する。

【0030】

また、液体貯留部材６１の第２面６１ｂには、圧力室８２を構成する凹部と、流出流路６９を構成する凹部とが形成されている。圧力室８２及び流出流路６９は、凹部の開口が第２膜部材６３で覆われることにより形成される。つまり、圧力室８２及び流出流路６９は、液体貯留部材６１と第２膜部材６３とによって形成される。圧力室８２は、流出流路６９を介して流出部６５と連通する。圧力室８２は、液体吐出ヘッド１０に供給されるインクを貯留する液体貯留室に相当する。また、可撓性を有する第２膜部材６３がインクの圧力変化に応じて変形することから、圧力室８２の容積もインクの圧力変化に応じて変化する。

【0031】

フィルター室６６には、液体供給源２１から流入されるインクをろ過するフィルター７０が配置される。フィルター７０は、インクが通過可能な多数の孔を有している。フィルター７０としては、例えば、金網や樹脂製の網等の網目状体、多孔質体や、微細な貫通孔を穿設した金属板を用いることができる。網目状体の具体的な例としては、金属メッシュフィルターや金属繊維が挙げられる。金属メッシュフィルターは、針金を織り込んで形成されるフィルターであり、平織、綾織、平畳織、綾畳織等のフィルターがある。流入部６４から流入されたインクは、フィルター７０によってろ過された後に、圧力調整機構８０を構成する供給室８１に流入する。

【0032】

図４及び図５は、圧力調整機構８０の構成及び動作を説明するための断面図である。
図４及び図５に示すように、圧力調整機構８０は、上述した圧力室８２及び供給室８１に加えて、弁体８４と、第１付勢部材８５と、第２付勢部材８６と、連通孔８７と、受圧板８８とを備える。圧力室８２及び供給室８１は、連通孔８７を介して連通可能であり、弁体８４は、連通孔８７に挿通されている。

【0033】

弁体８４は、基端部が供給室８１に配置されるとともに先端部が連通孔８７を通じて圧力室８２内に突出する。弁体８４の基端部には、シール部８９が設けられており、弁体８４は、シール部８９が連通孔８７を閉塞する閉塞位置（図４参照）と、シール部８９が連通孔８７を開放する開放位置（図５参照）とに変位可能である。第１付勢部材８５は、供給室８１に収容されており、弁体８４を閉塞位置に向けて付勢する。

【0034】

第２付勢部材８６は、圧力室８２に収容されており、圧力室８２に突出した弁体８４の先端部を囲むように配置されている。第２付勢部材８６の一端は、第２膜部材６３に付着された受圧板８８に接触し、第２付勢部材８６の他端は、圧力室８２を構成する凹部の底面に接触する。第２付勢部材８６は、受圧板８８が弁体８４の先端に近づいたときに、受圧板８８を、弁体８４の先端から離れる方向に付勢する。

【0035】

弁体８４は、第１付勢部材８５に付勢されることにより、供給室８１の圧力が上昇しても開放位置に移動することはない。一方、流出部６５からのインクの流出により圧力室８２内の圧力が所定の圧力よりも低くなると、第２膜部材６３が圧力室８２の内側に向けて変位する。そして、受圧板８８が弁体８４の先端を押すことにより、弁体８４が開放位置に移動する。これにより、連通孔８７を通じて供給室８１内のインクが圧力室８２内に流入するので、圧力室８２内の圧力が上昇する。そして、圧力室８２内の圧力上昇により第２膜部材６３が圧力室８２の外側に向けて変位し、受圧板８８が弁体８４の先端から離れると、弁体８４が開放位置から閉塞位置に移動する。

【0036】

つまり、圧力室８２の圧力が低下して、受圧板８８が第１付勢部材８５及び第２付勢部材８６の付勢力に抗して弁体８４の先端を押圧した場合に、弁体８４は、開放位置に移動する。また、インクの流入により圧力室８２内の圧力が正圧まで上昇する前に、第２付勢部材８６の付勢力によって受圧板８８が弁体８４から離されるので、圧力室８２内の圧力は、第２付勢部材８６の付勢力に応じた負圧の範囲に保持される。

【0037】

このように、弁体８４の開放位置への移動は、第２膜部材６３の変位に起因して生じる。そして、第２膜部材６３の外面側は大気に開放されている。つまり、弁体８４の開放位置への移動は、大気圧と圧力室８２の圧力との差圧によって行われるので、バルブユニット６０の圧力調整機構８０を、差圧弁機構、または自己封止弁ともいい、差圧弁機構による自律的な圧力調整機能を自己封止機能ともいう。

【0038】

以上のように、バルブユニット６０は、液体供給源２１から加圧供給されたインクの液体吐出ヘッド１０への流動を規制可能であるとともに、下流側におけるインクの圧力を所定の負圧の範囲内に保持可能である。

【0039】

即ち、液体吐出ヘッド１０からインクが吐出される際に、バルブユニット６０において、流出部６５からインクが流出して圧力室８２の圧力が大気圧未満の所定の圧力よりも低下する。そして、圧力室８２の容積を減少させる方向に変位する第２膜部材６３が弁体８４を開放位置に移動させる。これにより、連通孔８７からインクが圧力室８２に流入して圧力室８２の圧力が上昇する。また、インクの供給により圧力室８２の圧力が大気圧未満の所定の圧力以上になると、弁体８４が再び上流側からのインクの流動を規制する。

【0040】

なお、液体吐出ヘッド１０に外力が加わった場合等には、その衝撃でノズルＮに形成されたメニスカスが壊れ、ノズルＮからインクが漏出することがある。こうしたインクの漏出を抑制するために、バルブユニット６０は、第２付勢部材８６の付勢力によってノズルＮの上流側に位置する圧力室８２内を所定の負圧に保持している。

【0041】

次に、バルブユニット６０を構成する第２膜部材６３について説明する。
図６は、バルブユニット６０の圧力室８２の一部を模式的に示す断面図であり、図７は、第２膜部材６３の構成を示す斜視図である。
図６に示すように、圧力室８２は、液体貯留部材６１に設けられた凹部の開口が第２膜部材６３で覆われることにより形成される。つまり、第２膜部材６３は、凹部の開口を覆うように配置される。本実施形態において、第２膜部材６３は、第１フィルム９１と、第２フィルム９２と、第３フィルム９３とが積層されることによって形成されている。第１フィルム９１、第２フィルム９２、及び第３フィルム９３は、いずれも可撓性を有するフィルムである。

【0042】

第１フィルム９１は、熱溶着により液体貯留部材６１に接続されるフィルムであり、凹部の開口を覆うように配置されている。第１フィルム９１は、液体貯留部材６１に対して熱溶着がなされることから、第１フィルム９１の材料には、液体貯留部材６１の材料であるＰＰとの相溶性が高い材料が用いられる。本実施形態では、第１フィルム９１の材料として、ＣＰＰ（無延伸ポリプロピレン）が用いられる。本実施形態において、第１フィルム９１の厚さは、約２５μｍである。

【0043】

第２フィルム９２は、インクに含まれる所定の成分の透過を抑制するためのフィルムである。具体的には、第２フィルム９２は、インクに含まれる溶剤成分が透過して蒸散することを抑制するために設けられている。このため、第２フィルム９２の材料には、溶剤の透過性が低い材料が用いられる。本実施形態では、第２フィルム９２の材料として、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）が用いられる。本実施形態において、第２フィルム９２の厚さは、約１２μｍである。第２フィルム９２は、例えば、ポリウレタン系の接着剤９４によって、第１フィルム９１の外面、即ち凹部の開口に対向する面の反対面に接着される。これにより、第１フィルム９１と第２フィルム９２とが積層された積層フィルム９０が形成される。

【0044】

第３フィルム９３は、周辺の空気に含まれる水分が透過して積層フィルム９０の内部、即ち第１フィルム９１と第２フィルム９２との間に浸入することを抑制するために設けられている。このため、第３フィルム９３の材料には、水分の透過性が低い材料が用いられる。本実施形態では、第３フィルム９３の材料として、ＰＥＴにアルミナやシリカを蒸着させた蒸着ＰＥＴが用いられる。本実施形態において、第３フィルム９３の厚さは、約１２μｍである。

【0045】

第３フィルム９３は、第２フィルム９２に対向する方向と反対の方向である＋Ｘ方向に凸となるように、予め熱プレスにより凸状に形成されている。この熱プレスにより、第３フィルム９３には、周縁部９３ａと、側壁部９３ｂと、平坦部９３ｃとが形成される。周縁部９３ａは、第３フィルム９３の周縁において第２フィルム９２に接着される部位であり、側壁部９３ｂは、周縁部９３ａの内側から略＋Ｘ方向に起立する枠状の部位である。また、平坦部９３ｃは、第３フィルム９３の中央部において、第２フィルム９２と略平行になる部位である。周縁部９３ａと側壁部９３ｂは、第３フィルム９３の周縁に沿って設けられ、第３フィルム９３の大部分は、平坦部９３ｃによって構成されている。

【0046】

第３フィルム９３は、第２フィルム９２の外面、即ち第１フィルム９１に対向する面の反対面に配置される。具体的には、第３フィルム９３の周縁部９３ａが、接着剤９５によって第２フィルム９２の外面に接着される。これにより、第１フィルム９１、第２フィルム９２及び第３フィルム９３を含む第２膜部材６３が形成される。接着剤９５としては、例えば、オレフィン系のホットメルト接着剤が用いられる。

【0047】

第２膜部材６３が上記のように形成されているため、第２膜部材６３には、圧力室８２を構成する凹部の開口に対応する範囲内において、第２フィルム９２と第３フィルム９３との間に空間Ｓが設けられる。つまり、第３フィルム９３は、第２フィルム９２に対して空間Ｓを隔てて配置される。具体的には、第３フィルム９３の平坦部９３ｃが、空間Ｓを隔てて第２フィルム９２と略平行に配置される。そして、第２フィルム９２と平坦部９３ｃとに挟まれた空間Ｓの周縁は、第３フィルム９３の側壁部９３ｂによって覆われている。

【0048】

このように、積層フィルム９０と第３フィルム９３との間に空間Ｓが設けられているため、圧力室８２内の圧力変化によって第２膜部材６３が変形する際、第２膜部材６３のうち積層フィルム９０が主に変形し、第３フィルム９３は大きく変形しない。つまり、積層フィルム９０の変形は、第３フィルム９３よって阻害されにくい。

【0049】

第２フィルム９２と第３フィルム９３とを隔てる空間Ｓの内部には、粒状の吸湿材９６が配置されている。吸湿材９６は、第３フィルム９３が第２フィルム９２に接着される前に、第３フィルム９３の平坦部９３ｃ及び側壁部９３ｂの内面、即ち第２フィルム９２に対向する面に接着される。吸湿材９６は、例えば、シリカゲルによって構成される。また、第３フィルム９３への吸湿材９６の接着には、例えば、アクリル系の接着剤が用いられる。なお、吸湿材９６は、必須の構成ではなく、吸湿材９６を配置しない構成としてもよい。

【0050】

空間Ｓの高さＨ、即ち空間Ｓの±Ｘ方向の寸法は、積層フィルム９０が変形する際に第２フィルム９２が第３フィルム９３に接触することがないように、積層フィルム９０の変形量、及び吸湿材９６の粒径等に応じて適宜定めればよい。例えば、積層フィルム９０の±Ｘ方向の最大変位量が０．８ｍｍであり、吸湿材９６の粒径が数十μｍである場合には、空間Ｓの高さＨは、１．０ｍｍ程度に設定される。

【0051】

次に、バルブユニット６０の製造方法のうち、液体貯留部材６１上に第２膜部材６３を形成する工程について説明する。
図８は、第２膜部材６３を形成する工程を説明するためのフローチャートである。

【0052】

まず、第１フィルム９１と第２フィルム９２とが接着されて、積層フィルム９０が形成される（ステップＳ１０１）。そして、形成された積層フィルム９０は、第１フィルム９１側が液体貯留部材６１の第２面６１ｂに形成された凹部に対向するように配置された後に、液体貯留部材６１に対して熱溶着により接続される（ステップＳ１０２）。

【0053】

次に、第３フィルム９３が、積層フィルム９０に対して空間Ｓを隔てて配置される。具体的には、第３フィルム９３は、熱プレスにより凸状に形成され（ステップＳ１０３）、その後、第３フィルム９３には、第２フィルム９２に対向する内面に吸湿材９６が接着される（ステップＳ１０４）。そして、図７に示すように、第３フィルム９３は、液体貯留部材６１に熱溶着された積層フィルム９０上に配置され、周縁部９３ａが積層フィルム９０に接着される（ステップＳ１０５）。これにより、第３フィルム９３が積層フィルム９０に対して空間Ｓを隔てて配置される。そして、液体貯留部材６１上に第２膜部材６３が形成される。なお、ステップＳ１０３及びステップＳ１０４を実行するタイミングは、ステップＳ１０２の後に限定されず、ステップＳ１０５よりも前であればよい。ステップＳ１０２は、積層フィルム９０を液体貯留部材６１に接続する工程に相当し、ステップＳ１０３～Ｓ１０５は、第３フィルム９３を積層フィルム９０に対して空間Ｓを隔てて配置する工程に相当する。

【0054】

第１膜部材６２は、第２膜部材６３と同様、液体貯留部材６１との相溶性が高い第１フィルム９１と、溶剤成分の蒸散を抑制する第２フィルム９２と、水分の浸入を抑制する第３フィルム９３とによって構成されることが望ましい。つまり、第１膜部材６２は、第２膜部材６３と同様の構成としてもよい。ただし、第１膜部材６２については、±Ｘ方向への変位を考慮する必要がないため、第２フィルム９２と第３フィルム９３との間に空間Ｓを設ける必要はない。つまり、第１膜部材６２は、第１フィルム９１と第２フィルム９２によって構成される積層フィルム９０上に、空間Ｓを設けることなく、全域が平坦な第３フィルム９３を配置する構成としてもよい。

【0055】

以上、説明したように、本実施形態のバルブユニット６０、液体吐出装置１、及びバルブユニット６０の製造方法によれば、以下の効果を得ることができる。

【0056】

本実施形態によれば、周辺の空気に含まれる水分が第１フィルム９１と第２フィルム９２との間に浸入することを抑制するための第３フィルム９３が、第２フィルム９２に対して空間Ｓを隔てて配置される。このため、第２膜部材６３が圧力室８２内のインクの圧力変化に応じて変形する際に、凹部に近接する第１フィルム９１及び第２フィルム９２が主に変形し、空間Ｓを隔てて配置される第３フィルム９３の変形は制限される。つまり、第３フィルム９３が第１フィルム９１及び第２フィルム９２の可撓性を損ねてしまうことが抑制されることから、圧力室８２内のインクの圧力を適正に調整することが可能となる。

【0057】

本実施形態によれば、凸状に形成された第３フィルム９３が、第２フィルム９２に対向する方向と反対の方向に凸となるように配置されるため、第２フィルム９２と第３フィルム９３との間に容易に空間Ｓを形成することができる。

【0058】

本実施形態によれば、第２フィルム９２と第３フィルムと９３を隔てる空間Ｓ内に吸湿材９６が配置されるため、第１フィルム９１と第２フィルム９２との間に水分が浸入してしまうことを一層抑制できる。

【0059】

本実施形態によれば、吸湿材９６が粒状で、第３フィルム９３に接着されているため、第１フィルム９１及び第２フィルム９２の変形を吸湿材９６が阻害してしまうことを抑制できる。

【0060】

上記の実施形態は、以下のように変更してもよい。

【0061】

上記実施形態において、液体貯留部材６１、第１フィルム９１、第２フィルム９２、第３フィルム９３、接着剤９４，９５、吸湿材９６の材料は、上記に例示した材料に限定されない。例えば、第３フィルム９３は、ＰＥＴにアルミナまたはシリカを蒸着させた蒸着ＰＥＴに限定されず、ＰＥＴにアルミナとシリカの両方を蒸着させた蒸着ＰＥＴでもよい。また、蒸着ＰＥＴの代わりに、ＰＶＤＣ（ポリ塩化ビニリデン）を用いてもよい。また、吸湿材９６は、シリカゲルに限定されず、酸化カルシウムや塩化カルシウム等であってもよい。吸湿材９６の形態は、粒状に限定されず、シート状等であってもよい。

【0062】

上記実施形態では、第３フィルム９３を凸状に形成することにより、第２フィルム９２と第３フィルム９３との間に空間Ｓが形成されるようにしているが、この構成に限定されない。例えば、図９に示すように、積層フィルム９０上に枠状部材９７を配置して、この枠状部材９７上に、全域が平坦な第３フィルム９３を配置する構成としてもよい。この場合、第２膜部材６３は、第１フィルム９１と、第２フィルム９２と、枠状部材９７と、第３フィルム９３とを備え、第３フィルム９３は、枠状部材９７を介して第２フィルム９２に接続される。この構成によれば、第２フィルム９２と第３フィルム９３との間に空間Ｓを設けるために、第３フィルム９３を凸状に加工する必要がなくなる。

【0063】

上記実施形態では、第３フィルム９３の平坦部９３ｃ及び側壁部９３ｂの内面に吸湿材９６を接着させているが、側壁部９３ｂの内面に吸湿材９６を接着させ、平坦部９３ｃの内面には吸湿材９６を接着させないようにしてもよい。この構成によれば、積層フィルム９０が大きく変形する領域を避けて吸湿材９６が配置されるため、積層フィルム９０の変形を吸湿材９６が阻害してしまうことが抑制される。なお、平坦部９３ｃのうち、積層フィルム９０の変位が最大となる凹部の開口の中央部に対応する領域に吸湿材９６を配置せずに、平坦部９３ｃのうち、該領域の周辺には吸湿材９６を配置する構成としてもよい。

【0064】

上記実施形態では、バルブユニット６０がキャリッジ４２上に配置されて液体吐出ヘッド１０に接続される構成を示したが、バルブユニット６０の構成は、これに限定されない。例えば、バルブユニット６０は、液体吐出ヘッド１０と一体的に構成されてもよいし、液体供給源２１と一体的に構成されてもよい。また、図１０に示すように、１つのバルブユニット６０が複数種のインクを貯留可能な構成であってもよい。

【0065】

図１０に示す構成において、バルブユニット６０は、２種のインクを貯留可能であり、２つの圧力調整機構８０ａ，８０ｂを備えている。２種のインクは、それぞれ異なる流入部からバルブユニット６０内に流入し、それぞれ異なる流出部から流出される。一方の圧力調整機構８０ａは、液体貯留部材６１の第１面６１ａ側に形成された圧力室８２ａを有する。圧力室８２ａは、第２面６１ｂ側に形成された供給室８１ａからインクの供給を受ける。他方の圧力調整機構８０ｂは、液体貯留部材６１の第２面６１ｂ側に形成された圧力室８２ｂを有する。圧力室８２ｂは、第１面６１ａ側に形成された供給室８１ｂからインクの供給を受ける。

【0066】

このように、図１０に示す構成では、第１面６１ａ及び第２面６１ｂの双方に圧力室８２ａ，８２ｂが形成されている。このため、第１面６１ａに配置される第１膜部材９８ａと、第２面６１ｂに配置される第２膜部材９８ｂの双方は、上記実施形態における第２膜部材６３と同様の構成、即ち第３フィルム９３が第２フィルム９２に対して空間Ｓを隔てて配置される構成であることが望ましい。

【0067】

上記実施形態において、液体吐出装置１は、インク以外の他の液体を吐出する装置であってもよい。例えば、液体吐出装置１は、各種ディスプレイの製造に用いられる電極材または色材等の材料が、分散または溶解した状態で含有されている液状体を吐出してもよい。

【0068】

以下に、実施形態から導き出される内容を記載する。

【0069】

バルブユニットは、液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室を備えるバルブユニットであって、前記液体貯留室は、前記液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、前記膜部材は、前記開口を覆うように、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、前記第１フィルムの前記開口に対向する面の反対面に接着され、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムと、前記第２フィルムの前記第１フィルムに対向する面の反対面に配置され、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムと、を備え、前記第３フィルムは、前記第２フィルムに対して空間を隔てて配置される。

【0070】

この構成によれば、周辺の空気に含まれる水分が第１フィルムと第２フィルムとの間に浸入することを抑制するための第３フィルムが、第２フィルムに対して空間を隔てて配置される。このため、膜部材が液体貯留室内の液体の圧力変化に応じて変形する際に、凹部に近接する第１フィルム及び第２フィルムが主に変形し、空間を隔てて配置される第３フィルムの変形は制限される。つまり、第３フィルムが第１フィルム及び第２フィルムの可撓性を損ねてしまうことが抑制されることから、液体貯留室内の液体の圧力を適正に調整することが可能となる。

【0071】

上記のバルブユニットにおいて、前記第３フィルムは、凸状に形成され、前記第２フィルムに対向する方向と反対の方向に凸となるように配置されることが望ましい。

【0072】

この構成によれば、凸状に形成された第３フィルムが、第２フィルムに対向する方向と反対の方向に凸となるように配置されるため、第２フィルムと第３フィルムとの間に容易に空間を形成することができる。

【0073】

上記のバルブユニットにおいて、前記第２フィルムと前記第３フィルムとを隔てる前記空間内に吸湿材が配置されることが望ましい。

【0074】

この構成によれば、第２フィルムと第３フィルムとを隔てる空間内に吸湿材が配置されるため、第１フィルムと第２フィルムとの間に水分が浸入してしまうことを一層抑制できる。

【0075】

上記のバルブユニットにおいて、前記吸湿材は、粒状であり、前記第３フィルムに接着されていることが望ましい。

【0076】

この構成によれば、吸湿材が粒状で、第３フィルムに接着されているため、第１フィルム及び第２フィルムの変形を吸湿材が阻害してしまうことを抑制できる。

【0077】

上記のバルブユニットにおいて、前記第２フィルムと前記第３フィルムとを隔てる前記空間内に吸湿材が配置され、前記第３フィルムは、前記空間を隔てて前記第２フィルムと略平行に配置される平坦部と、前記第２フィルムと前記平坦部とで挟まれた前記空間の周縁を覆う側壁部と、を含み、前記吸湿材は、前記第３フィルムの前記側壁部に接着され、前記第３フィルムの前記平坦部には接着されていないことが望ましい。

【0078】

この構成によれば、膜部材が大きく変形する領域を避けて吸湿材が配置されるため、第１フィルム及び第２フィルムの変形を吸湿材が阻害してしまうことを一層抑制できる。

【0079】

上記のバルブユニットにおいて、前記第３フィルムは、枠状部材を介して前記第２フィルムに接続されてもよい。

【0080】

この構成によれば、第２フィルムと第３フィルムとの間に空間を設けるために、第３フィルムを凸状に加工する必要がなくなる。

【0081】

液体吐出装置は、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、前記液体が液体供給源から前記液体吐出ヘッドに向かって流れるように前記液体供給源と前記液体吐出ヘッドとを接続する供給流路と、を備える液体吐出装置であって、前記供給流路は、前記液体供給源から前記液体が流入される流入部と、前記液体が前記液体吐出ヘッドに向かって流出される流出部と、前記液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室と、を有するバルブユニットを備え、前記液体貯留室は、前記液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、前記膜部材は、前記開口を覆うように、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、前記第１フィルムの前記開口に対向する面の反対面に接着され、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムと、前記第２フィルムの前記第１フィルムに対向する面の反対面に配置され、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムと、を備え、前記第３フィルムは、前記第２フィルムに対して空間を隔てて配置される。

【0082】

この構成によれば、周辺の空気に含まれる水分が第１フィルムと第２フィルムとの間に浸入することを抑制するための第３フィルムが、第２フィルムに対して空間を隔てて配置される。このため、膜部材が液体貯留室内の液体の圧力変化に応じて変形する際に、凹部に近接する第１フィルム及び第２フィルムが主に変形し、空間を隔てて配置される第３フィルムの変形は制限される。つまり、第３フィルムが第１フィルム及び第２フィルムの可撓性を損ねてしまうことが抑制されることから、液体貯留室内の液体の圧力を適正に調整することが可能となる。

【0083】

バルブユニットの製造方法は、液体が貯留される凹部が形成された液体貯留部材と、前記凹部の開口を覆うように配置される膜部材と、によって形成され、前記液体の圧力変化に応じて容積が変化する液体貯留室を備えるバルブユニットの製造方法であって、前記液体貯留部材に接続される第１フィルムと、前記液体に含まれる所定の成分の透過を抑制する第２フィルムとを接着することにより形成された積層フィルムを、前記第１フィルム側が前記凹部と対向するように配置して、前記液体貯留部材に接続する工程と、周辺の空気に含まれる水分の透過を抑制する第３フィルムを、前記積層フィルムに対して空間を隔てて配置する工程と、を備える。

【0084】

この構成によれば、周辺の空気に含まれる水分が第１フィルムと第２フィルムとの間に浸入することを抑制するための第３フィルムが、第２フィルムに対して空間を隔てて配置される。このため、膜部材が液体貯留室内の液体の圧力変化に応じて変形する際に、凹部に近接する第１フィルム及び第２フィルムが主に変形し、空間を隔てて配置される第３フィルムの変形は制限される。つまり、第３フィルムが第１フィルム及び第２フィルムの可撓性を損ねてしまうことが抑制されることから、液体貯留室内の液体の圧力を適正に調整することが可能となる。

【符号の説明】

【0085】

１…液体吐出装置、１０…液体吐出ヘッド、１１…ノズル面、１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ…ノズル列、２０…インク供給部、２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ…液体供給源、２２…注入部、２３…収容室、２４…供給流路、２５…チューブ、３０…搬送機構、３２…搬送ローラー、３４…搬送ロッド、３６…搬送用モーター、４０…移動機構、４２…キャリッジ、４４…搬送ベルト、４６…移動用モーター、４７…プーリー、５０…メンテナンス部、５１…ワイパー、５２…ワイパー駆動部、５３…キャップ、５４…キャップ保持部、５５…キャップ駆動部、５６…廃液チューブ、５７…吸引ポンプ、５８…廃液収集部、６０，６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄ…バルブユニット、６１…液体貯留部材、６１ａ…第１面、６１ｂ…第２面、６２…第１膜部材、６３…第２膜部材、６４…流入部、６５…流出部、６６…フィルター室、６７…流入流路、６８…中継流路、６９…流出流路、７０…フィルター、８０，８０ａ，８０ｂ…圧力調整機構、８１，８１ａ，８１ｂ…供給室、８２，８２ａ，８２ｂ…圧力室、８３…受け板、８４…弁体、８５…第１付勢部材、８６…第２付勢部材、８７…連通孔、８８…受圧板、８９…シール部、９０…積層フィルム、９１…第１フィルム、９２…第２フィルム、９３…第３フィルム、９３ａ…周縁部、９３ｂ…側壁部、９３ｃ…平坦部、９４，９５…接着剤、９６…吸湿材、９７…枠状部材、９８ａ…第１膜部材、９８ｂ…第２膜部材、１００…制御部、Ｎ…ノズル、Ｐ…印刷用紙、Ｓ…空間。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】