(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024113989
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】厚さ測定装置、厚さ測定方法及び厚さ測定プログラム
(51)【国際特許分類】
G01B 15/02 20060101AFI20240816BHJP
G01N 23/02 20060101ALI20240816BHJP
【ＦＩ】
G01B15/02 H
G01N23/02
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023019320
(22)【出願日】2023-02-10
(71)【出願人】
【識別番号】515086908
【氏名又は名称】株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング
(74)【代理人】
【識別番号】110002516
【氏名又は名称】弁理士法人白坂
(72)【発明者】
【氏名】相浦 弘樹
(72)【発明者】
【氏名】白石 有司
(72)【発明者】
【氏名】杉浦 知将
【テーマコード（参考）】
2F067
2G001
【Ｆターム（参考）】
2F067AA27
2F067BB16
2F067EE04
2F067FF07
2F067HH04
2F067JJ03
2F067KK06
2F067LL16
2F067RR12
2F067RR31
2G001AA01
2G001BA11
2G001CA01
2G001GA01
2G001KA11
(57)【要約】
【課題】物体の厚さを測定する厚さ測定装置、厚さ測定方法及び厚さ測定プログラムを提供する。
【解決手段】厚さ測定装置は、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部と、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得部と、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得部と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、第１取得部で取得したＸ線の強度と、第２取得部で取得した透過Ｘ線の強度と、記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】厚さ測定装置は、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部と、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得部と、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得部と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、第１取得部で取得したＸ線の強度と、第２取得部で取得した透過Ｘ線の強度と、記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部と、
Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得部と、
前記Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得部と、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、
前記第１取得部で取得したＸ線の強度と、前記第２取得部で取得した透過Ｘ線の強度と、前記記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、
を備える厚さ測定装置。
Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得部と、
前記Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得部と、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、
前記第１取得部で取得したＸ線の強度と、前記第２取得部で取得した透過Ｘ線の強度と、前記記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、
を備える厚さ測定装置。
【請求項2】
Ｘ線の強度は輝度に置き換えが可能であり、
前記記憶部は、関係情報として、前記複数の部材としての第１部材及び第２部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶し、
前記対応付け部は、第１部材の厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、
前記算出部は、前記第１取得部で取得したＸ線の強度に対応する輝度をＣ０、前記第２取得部で取得する検出領域毎の透過Ｘ線の強度に対応する輝度をＣ、前記記憶部に記憶した関係情報として第１部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を以下の式（１）とし、
μＡ１：第１部材の輝度吸収係数
ｔ１：第１部材の厚さ
前記記憶部に記憶した関係情報として第２部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を以下の式（２）とすると、
μＡ２：第２部材の輝度吸収係数
ｔ２：第２部材の厚さ
第２部材の厚さｔ２を以下の式（３）を用いて算出する
請求項１に記載の厚さ測定装置。
前記記憶部は、関係情報として、前記複数の部材としての第１部材及び第２部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶し、
前記対応付け部は、第１部材の厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、
前記算出部は、前記第１取得部で取得したＸ線の強度に対応する輝度をＣ０、前記第２取得部で取得する検出領域毎の透過Ｘ線の強度に対応する輝度をＣ、前記記憶部に記憶した関係情報として第１部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を以下の式（１）とし、
【数1】
ｔ１：第１部材の厚さ
前記記憶部に記憶した関係情報として第２部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を以下の式（２）とすると、
【数2】
ｔ２：第２部材の厚さ
第２部材の厚さｔ２を以下の式（３）を用いて算出する
【数3】
【請求項3】
前記記憶部は、関係情報として、前記複数の部材としての第１部材、第２部材及び第３部材の輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶し、
前記対応付け部は、第１部材及び第３部材それぞれの厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、
前記算出部は、前記記憶部に記憶した関係情報として第３部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を以下の式（４）とすると、
μＡ３：第１部材の輝度吸収係数
ｔ３：第１部材の厚さ
第２部材の厚さｔ２を以下の式（５）を用いて算出する
請求項２に記載の厚さ測定装置。
前記対応付け部は、第１部材及び第３部材それぞれの厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、
前記算出部は、前記記憶部に記憶した関係情報として第３部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を以下の式（４）とすると、
【数4】
ｔ３：第１部材の厚さ
第２部材の厚さｔ２を以下の式（５）を用いて算出する
【数5】
【請求項4】
前記積層体は、第１部材、第２部材及び第３部材がこの順に積層されており、
第２部材は、第１部材と第３部材とを接着させる接着剤である
請求項３に記載の厚さ測定装置。
第２部材は、第１部材と第３部材とを接着させる接着剤である
請求項３に記載の厚さ測定装置。
【請求項5】
前記積層体の形状及び前記一部の厚さに関する積層体情報を取得する第３取得部を備え、
前記対応付け部は、前記第３取得部で取得した積層体情報に基づいて、前記積層体の一部の厚さを検出領域に対応付ける
請求項１～４のいずれか１項に記載の厚さ測定装置。
前記対応付け部は、前記第３取得部で取得した積層体情報に基づいて、前記積層体の一部の厚さを検出領域に対応付ける
請求項１～４のいずれか１項に記載の厚さ測定装置。
【請求項6】
光源から出射される光の強度に関する情報を取得する第１取得部と、
前記光源から出射された光が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過光を検出部で検出した場合の透過光の強度に関する情報を取得する第２取得部と、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過光の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、
前記第１取得部で取得した光の強度と、前記第２取得部で取得した透過光の強度と、前記複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、
を備える厚さ測定装置。
前記光源から出射された光が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過光を検出部で検出した場合の透過光の強度に関する情報を取得する第２取得部と、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過光の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、
前記第１取得部で取得した光の強度と、前記第２取得部で取得した透過光の強度と、前記複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、
を備える厚さ測定装置。
【請求項7】
複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部を有するコンピュータが、
Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得ステップと、
前記Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得ステップと、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付けステップと、
前記第１取得ステップで取得したＸ線の強度と、前記第２取得ステップで取得した透過Ｘ線の強度と、前記記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出ステップと、
を実行する厚さ測定方法。
Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得ステップと、
前記Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得ステップと、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付けステップと、
前記第１取得ステップで取得したＸ線の強度と、前記第２取得ステップで取得した透過Ｘ線の強度と、前記記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出ステップと、
を実行する厚さ測定方法。
【請求項8】
コンピュータに、
複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶機能と、
Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得機能と、
前記Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得機能と、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け機能と、
前記第１取得機能で取得したＸ線の強度と、前記第２取得機能で取得した透過Ｘ線の強度と、前記記憶機能に記憶した関係情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出機能と、
を実現させる厚さ測定プログラム。
複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶機能と、
Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得機能と、
前記Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得機能と、
前記積層体を構成する前記複数の部材のうちの一部の厚さを、前記検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け機能と、
前記第１取得機能で取得したＸ線の強度と、前記第２取得機能で取得した透過Ｘ線の強度と、前記記憶機能に記憶した関係情報とに基づいて、前記複数の検出領域それぞれにおいて、前記複数の部材のうちの前記一部を除く他の部材の厚さを算出する算出機能と、
を実現させる厚さ測定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、厚さ測定装置、厚さ測定方法及び厚さ測定プログラムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、物体にＸ線を照射してＸ線透過像を取得する装置がある。例えば、特許文献１に記載の装置は、Ｘ線透過像中の各画素の輝度低下量に応じて、予め定められた大きさ以上の異物が物体に含まれるかを判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－１３５１２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上述した特許文献１に記載の装置は、物体への異物の混入を検出する装置である。
ところで、Ｘ線を用いた測定には、種々のものがあるが、物体の厚さを測定する装置の登場が望まれていた。
ところで、Ｘ線を用いた測定には、種々のものがあるが、物体の厚さを測定する装置の登場が望まれていた。
【0005】
本開示は、物体の厚さを測定する厚さ測定装置、厚さ測定方法及び厚さ測定プログラムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
一態様の厚さ測定装置は、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部と、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得部と、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得部と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、第１取得部で取得したＸ線の強度と、第２取得部で取得した透過Ｘ線の強度と、記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
一態様によれば、物体の厚さを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】一実施形態に係る厚さ測定装置について説明するための図である。
【図2】積層体の第１例について説明するための図である。
【図3】積層体の第２例について説明するための図である。
【図4】一実施形態に係る厚さ測定装置（処理部）について説明するためのブロック図である。
【図5】厚さ算出の誤差を説明する模式図である。
【図6】相関式を説明する模式図である。
【図7】Ｘ線強度及び輝度吸収係数について説明するための図である。（Ａ）はＸ線強度と輝度吸収係数との関係を示す第１模式図、（Ｂ）はＸ線強度と輝度吸収係数との関係を示す第２模式図である。
【図8】一実施形態に係る厚さ測定方法について説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、一実施形態について説明する。
【0010】
［厚さ測定装置１の概要］
まず、一実施形態に係る厚さ測定装置１の概要について説明する。
図１は、一実施形態に係る厚さ測定装置１について説明するための図である。
図２は、積層体２０の第１例について説明するための図である。
図３は、積層体２０の第２例について説明するための図である。
まず、一実施形態に係る厚さ測定装置１の概要について説明する。
図１は、一実施形態に係る厚さ測定装置１について説明するための図である。
図２は、積層体２０の第１例について説明するための図である。
図３は、積層体２０の第２例について説明するための図である。
【0011】
図１に例示するように、厚さ測定装置１は、例えば、Ｘ線を利用して部材の厚さを測定する。部材は、例えば、複数の部材が積層された積層体２０等であってもよい。積層体２０を構成する少なくとも１つの部材は、例えば、金属等であってもよい。
【0012】
厚さ測定装置１は、例えば、Ｘ線源２、Ｘ線検出部（検出部）３及び処理部１０を備える。
【0013】
Ｘ線源２は、積層体２０に対して照射するＸ線を発生させるＸ線発生装置である。Ｘ線源２は、例えば、固定陽極Ｘ線管を備える。Ｘ線管の陽極には、例えば、ターゲットとして、タングステン、モリブデン等の金属が使用される。Ｘ線源２は、例えば、後述する処理部１０の制御に基づいて、Ｘ線を透過させる積層体２０の厚さ及び材質等に応じて、発生させるＸ線量（エネルギ量）を設定する。Ｘ線源２には、例えば、公知のＸ線用の照射装置が使用されてもよい。
【0014】
検出部３は、例えば、Ｘ線源２から照射された後、積層体２０を透過したＸ線を検出する。検出部３は、例えば、積層体２０を透過した透過Ｘ線の強度（一例として、線量及び照射線量等）を検出する。検出部３は、Ｘ線を検出する複数の領域（例えば、ピクセル等の検出領域）を備える。検出部３は、検出領域毎にＸ線を検出することが可能である。検出部３には、例えば、公知のＸ線用の検出装置が使用されてもよい。
【0015】
処理部１０は、例えば、Ｘ線源２及びＸ線検出部３それぞれとの間で情報の送受信を行ってもよい。処理部１０は、例えば、サーバ、デスクトップ及びラップトップ等のコンピュータ（情報処理装置）等であってもよい。
【0016】
処理部１０は、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係（輝度吸収係数の厚さ依存性）に関する関係情報を記憶する。
ここで、輝度吸収係数μＡは、部材の厚さｔに応じて変化し、下式（１）に一例を示すような相関が有ることが発明者の実験等によって判明した。なお、ａは係数、ｂは定数である。
処理部１０は、部材毎の厚さｔと輝度吸収係数μＡとの関係、すなわち積層体を構成する複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報（関係情報）を記憶する。
ここで、輝度吸収係数μＡは、部材の厚さｔに応じて変化し、下式（１）に一例を示すような相関が有ることが発明者の実験等によって判明した。なお、ａは係数、ｂは定数である。
処理部１０は、部材毎の厚さｔと輝度吸収係数μＡとの関係、すなわち積層体を構成する複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報（関係情報）を記憶する。
【0017】
【数1】
【0018】
処理部１０は、厚さ測定装置１によって積層体２０を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを測定する場合、その積層物の一部の部材を除く他の部材の厚さを、検出部３の複数の検出領域それぞれに対応付ける。
積層体２０は、例えば、平板に限定されることはなく、種々の形状であってもよい。このため、検出部３の検出面（平面）に向けて見た場合（平面視した場合）、検出領域毎に積層体２０の厚さが異なる場合がある。処理部１０は、厚さの測定対象となる部材（一部の部材）を除いた他の部材それぞれの既知の厚さを、積層体２０の形状（平面形状）に応じて複数の検出領域に対応付ける。
積層体２０は、例えば、平板に限定されることはなく、種々の形状であってもよい。このため、検出部３の検出面（平面）に向けて見た場合（平面視した場合）、検出領域毎に積層体２０の厚さが異なる場合がある。処理部１０は、厚さの測定対象となる部材（一部の部材）を除いた他の部材それぞれの既知の厚さを、積層体２０の形状（平面形状）に応じて複数の検出領域に対応付ける。
【0019】
次に、処理部１０は、積層体２０（一部の部材）の厚さを測定する場合、照射Ｘ線の強度Ｉ０、及び、積層体２０を透過したＸ線（透過Ｘ線）の強度Ｉを取得する。
すなわち、処理部１０は、Ｘ線源２から出射されるＸ線の強度Ｉ０に関する情報を取得する。
また、処理部１０は、検出部３で検出されるＸ線の強度Ｉに関する情報を取得する。すなわち、処理部１０は、Ｘ線源２から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体２０を透過した際の透過Ｘ線を検出部３で検出した場合の透過Ｘ線の強度Ｉに関する情報を取得する。
すなわち、処理部１０は、Ｘ線源２から出射されるＸ線の強度Ｉ０に関する情報を取得する。
また、処理部１０は、検出部３で検出されるＸ線の強度Ｉに関する情報を取得する。すなわち、処理部１０は、Ｘ線源２から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体２０を透過した際の透過Ｘ線を検出部３で検出した場合の透過Ｘ線の強度Ｉに関する情報を取得する。
【0020】
処理部１０は、照射Ｘ線の強度Ｉ０、透過Ｘ線の強度Ｉ、及び、関係情報に基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部の部材の厚さｔを算出する。
【0021】
ここで一般的に、吸収係数μは、電磁波の照射強度Ｉ０、部材を透過した電磁波の透過強度Ｉ、及び、部材の厚さｔとの関係によって求まり、下式（２）のような関係がある。
【0022】
【数2】
【0023】
電磁波の一例としてのＸ線を部材に照射する場合、吸収係数μによって減衰されるＸ線の強度Ｉと、輝度吸収係数μＡによって減弱される輝度Ｃは等価であると考えられる。すなわち、Ｘ線の強度は輝度に置き換えが可能である。
【0024】
このため、一例として、３つの部材が積層された積層体２０（図１，２参照）では、第１部材２１の厚さをｔ１、第１部材２１の輝度吸収係数をμＡ１、第２部材２２の厚さをｔ２、第２部材２２の輝度吸収係数をμＡ２、第３部材２３の厚さをｔ３、第３部材２３の輝度吸収係数をμＡ３とすると、下式（３）のような関係式が得られる。
【0025】
【数3】
【0026】
第１部材２１の厚さｔ１及び第３部材２３の厚さｔ３を既知とすると、第２部材２２の厚さｔ２を求める場合、上式（３）に基づいて、下式（４）により得られる。
【0027】
【数4】
【0028】
ここで、輝度吸収係数μＡ１，μＡ２，μＡ３は式（１）に示すように厚さに相関するため、式（５）～（７）に記載するような第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３に応じた相関式（関係情報）を式（４）に代入すると、式（８）が得られる。
【0029】
【数5】
【0030】
【数6】
【0031】
【数7】
【0032】
【数8】
【0033】
すなわち、処理部１０は、照射Ｘ線の輝度Ｃ０、透過Ｘ線の輝度Ｃ、及び、上式（５）～（７）に記載の相関式に関する情報（関係情報）に基づいて、上式（８）から、複数の検出領域それぞれにおいて、積層体２０を構成する第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３のうち第２部材２２の厚さｔ２を算出する。
【0034】
処理部１０は、積層体２０を構成する部材の数が２つ及び４つ以上の場合であっても、積層体２０を構成する一部の部材（例えば、１つの部材等）の厚さｔを算出することが可能である。
【0035】
なお、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を積層させた積層体２０のうち、第２部材２２の厚さを測定する場合、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３は、この順に積層されてもよく、任意の順に積層されてもよい。この場合、第１部材２１と第２部材２２と第３部材２３とは接してもよく、第１部材２１と第２部材２２と第３部材２３との少なくとも一部が接していなくともよい。
【0036】
具体的な一例として、積層体２０は、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３がこの順に積層されてもよい。この場合、第２部材２２は、例えば、第１部材２１と第３部材２３とを接着させる接着剤等であってもよい。また、第１部材２１及び第３部材２３は、例えば、金属部材等であってもよい。
ここで、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３のうち少なくとも１つは、平面方向（図３のＸ方向）に応じて厚さｔが異なっていてもよい。図３に例示する場合、第１部材２１の厚さｔ１は、Ｗ１及びＷ２で示すように異なっていてもよい。同様に、第２部材２２の厚さｔ２は、Ｚ１及びＺ２で示すように異なっていてもよい。
ここで、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３のうち少なくとも１つは、平面方向（図３のＸ方向）に応じて厚さｔが異なっていてもよい。図３に例示する場合、第１部材２１の厚さｔ１は、Ｗ１及びＷ２で示すように異なっていてもよい。同様に、第２部材２２の厚さｔ２は、Ｚ１及びＺ２で示すように異なっていてもよい。
【0037】
また、第１部材及び第２部材を積層させた積層体のうち、第２部材の厚さを測定する場合、第１部材と第２部材とは接してもよく、第１部材と第２部材との少なくとも一部が接していなくともよい。
【0038】
［厚さ測定装置１の詳細］
次に、一実施形態に係る厚さ測定装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図４は、一実施形態に係る厚さ測定装置１（処理部１０）について説明するためのブロック図である。
次に、一実施形態に係る厚さ測定装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図４は、一実施形態に係る厚さ測定装置１（処理部１０）について説明するためのブロック図である。
【0039】
厚さ測定装置１（処理部１０）は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２、表示部１２３及び制御部１１１等を備える。通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３は、出力部の一実施形態であってもよい。制御部１１１は、例えば、第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、対応付け部１１５、算出部１１６及び出力制御部１１７等を備える。制御部１１１は、例えば、厚さ測定装置１（処理部１０）の演算処理装置等によって構成されてもよい。制御部１１１（例えば、演算処理装置等）は、例えば、記憶部１２２等に記憶される各種プログラム等を適宜読み出して実行することにより、各部（例えば、第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、対応付け部１１５、算出部１１６及び出力制御部１１７等）の機能を実現してもよい。
【0040】
通信部１２１は、例えば、処理部１０の外部にある装置（外部装置）等との間で種々の情報の送受信が可能な通信インターフェースである。通信部１２１は、例えば、Ｘ線源２及び検出部３と通信を行ってもよい。また、通信部１２１は、例えば、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等と通信を行ってもよい。ユーザ端末は、例えば、厚さ測定装置１のユーザが使用する端末であってもよく、デスクトップ、ラップトップ、タブレット及びスマートフォン等であってもよい。
【0041】
記憶部１２２は、例えば、種々の情報及びプログラムを記憶してもよい。記憶部１２２の一例は、メモリ、ソリッドステートドライブ及びハードディスクドライブ等であってもよい。なお、記憶部１２２は、例えば、クラウド上にある記憶領域及びサーバ等であってもよい。
【0042】
記憶部１２２は、複数の部材の厚さｔとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数μＡとの関係に関する関係情報を記憶する。
輝度吸収係数μＡは、部材の厚さｔによって変化し、下式（９）に一例を示すような相関が有ることが発明者の実験等によって判明した。なお、ａは係数、ｂは定数である。記憶部１２２は、下式（９）に例示するような、部材毎の厚さｔと輝度吸収係数μＡとの関係を示す関係情報を記憶する。
輝度吸収係数μＡは、部材の厚さｔによって変化し、下式（９）に一例を示すような相関が有ることが発明者の実験等によって判明した。なお、ａは係数、ｂは定数である。記憶部１２２は、下式（９）に例示するような、部材毎の厚さｔと輝度吸収係数μＡとの関係を示す関係情報を記憶する。
【0043】
【数9】
【0044】
一例として、第１部材と第２部材とを備える積層体において、第２部材の厚さを測定する場合、記憶部１２２は、関係情報として、複数の部材としての第１部材及び第２部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報（関係情報）を記憶してもよい。
第１部材の輝度吸収係数μＡ１と厚さｔ１との関係、すなわち輝度吸収係数μＡ１の厚さｔ１の依存性は、上述した式（５）のように表される。換言すると、記憶部１２２に記憶した関係情報として第１部材についての輝度吸収係数μＡ１の厚さｔ１の依存性を１次式で求めた際の関係式を上述した式（５）とする。
第２部材の輝度吸収係数μＡ２と厚さｔ２との関係、すなわち輝度吸収係数μＡ２の厚さｔ２の依存性は、上述した式（６）のように表される。換言すると、記憶部１２２に記憶した関係情報として第２部材についての輝度吸収係数μＡ２の厚さｔ２の依存性を１次式で求めた際の関係式を上述した式（６）とする。
第１部材の輝度吸収係数μＡ１と厚さｔ１との関係、すなわち輝度吸収係数μＡ１の厚さｔ１の依存性は、上述した式（５）のように表される。換言すると、記憶部１２２に記憶した関係情報として第１部材についての輝度吸収係数μＡ１の厚さｔ１の依存性を１次式で求めた際の関係式を上述した式（５）とする。
第２部材の輝度吸収係数μＡ２と厚さｔ２との関係、すなわち輝度吸収係数μＡ２の厚さｔ２の依存性は、上述した式（６）のように表される。換言すると、記憶部１２２に記憶した関係情報として第２部材についての輝度吸収係数μＡ２の厚さｔ２の依存性を１次式で求めた際の関係式を上述した式（６）とする。
【0045】
同様に一例として、第１部材２１と第２部材２２と第３部材２３を備える積層体２０において、第２部材２２の厚さを測定する場合、記憶部１２２は、関係情報として、複数の部材としての第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶してもよい。
第１部材２１及び第２部材２２それぞれの関係式（関係情報）は、上述したように式（５）及び式（６）のように表される。
第３部材２３の輝度吸収係数μＡ３と厚さｔ３との関係、すなわち輝度吸収係数μＡ３の厚さｔ３の依存性は、下式（７）のように表される。換言すると、記憶部１２２に記憶した関係情報として第３部材２３についての輝度吸収係数μＡ３の厚さｔ３の依存性を１次式で求めた際の関係式を上述した式（７）とする。
第１部材２１及び第２部材２２それぞれの関係式（関係情報）は、上述したように式（５）及び式（６）のように表される。
第３部材２３の輝度吸収係数μＡ３と厚さｔ３との関係、すなわち輝度吸収係数μＡ３の厚さｔ３の依存性は、下式（７）のように表される。換言すると、記憶部１２２に記憶した関係情報として第３部材２３についての輝度吸収係数μＡ３の厚さｔ３の依存性を１次式で求めた際の関係式を上述した式（７）とする。
【0046】
表示部１２３は、例えば、種々の文字、記号及び画像等を表示することが可能なディスプレイである。
【0047】
第１取得部１１２は、Ｘ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０に関する情報を取得する。
第１取得部１１２は、例えば、通信部１２１を介して、Ｘ線の輝度Ｃ０に関する情報を、Ｘ線源２から取得してもよい。
又は、制御部１１１は、例えば、Ｘ線源２を制御可能であり、Ｘ線源２の管電流及び管電圧等の種々のパラメータが設定される場合に、そのパラメータと、Ｘ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０とが対応付けられている際には、その対応付けを参照し、設定されたパラメータに応じたＸ線の輝度Ｃ０を取得してもよい。
又は、第１取得部１１２は、Ｘ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０が一定の場合には、予め設定されるその一定のＸ線の輝度Ｃ０を取得してもよい。
なお、第１取得部１１２は、上述した一例に限らず、種々の方法によりＸ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０を取得してもよい。
第１取得部１１２は、例えば、通信部１２１を介して、Ｘ線の輝度Ｃ０に関する情報を、Ｘ線源２から取得してもよい。
又は、制御部１１１は、例えば、Ｘ線源２を制御可能であり、Ｘ線源２の管電流及び管電圧等の種々のパラメータが設定される場合に、そのパラメータと、Ｘ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０とが対応付けられている際には、その対応付けを参照し、設定されたパラメータに応じたＸ線の輝度Ｃ０を取得してもよい。
又は、第１取得部１１２は、Ｘ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０が一定の場合には、予め設定されるその一定のＸ線の輝度Ｃ０を取得してもよい。
なお、第１取得部１１２は、上述した一例に限らず、種々の方法によりＸ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０を取得してもよい。
【0048】
第２取得部１１３は、Ｘ線源２から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体２０を透過した際の透過Ｘ線を検出部３で検出した場合の透過Ｘ線の輝度Ｃに関する情報を取得する。第２取得部１１３は、例えば、通信部１２１を介して、検出部３から透過Ｘ線の輝度Ｃを取得してもよい。なお、第２取得部１１３は、例えば、検出部３に配される複数の検出領域毎に検出された透過Ｘ線の輝度Ｃをそれぞれ取得してもよい。
【0049】
第３取得部１１４は、積層体２０の形状及び一部の厚さに関する積層体情報を取得する。第３取得部１１４は、例えば、通信部１２１を介して、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等から積層体情報を取得してもよい。積層体情報は、例えば、積層体２０の形状（立体的形状）の情報であってもよい。一例として、積層体情報は、積層体２０を構成する複数の部材（例えば、後述する第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３等）のうち、厚さ測定の対象となる部材（例えば、第２部材２２等）を除く一部の部材（例えば、第１部材２１、第３部材２３等）の形状（平面形状）及び厚さ（例えば、厚さｔ１、ｔ３等）、すなわち一部の部材の立体的形状の情報等であってもよい。具体的な一例として、積層体情報は、ＣＡＤ情報及びＣＡＥ情報等を始めとする種々の情報であってもよい。
【0050】
対応付け部１１５は、積層体２０を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部３における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける。すなわち、対応付け部１１５は、例えば、厚さ測定の対象となる部材とは異なる（厚さ測定の対象ではない）一部の部材（例えば、第１部材２１及び第３部材２３等）の厚さ（例えば、厚さｔ１、ｔ３等）を検出部３（複数の検出領域それぞれ）に対応付ける。
積層体２０は、例えば、平板に限定されることはなく、種々の形状であってもよい。このため、検出部３の検出面（平面）に向けて見た場合（平面視した場合）、検出領域毎に積層体２０の厚さが異なる場合がある。
対応付け部１１５は、一部の部材それぞれの既知の厚さを、積層体２０の形状（平面形状）に応じて複数の検出領域それぞれに対応付ける。
この場合、対応付け部１１５は、第３取得部１１４で取得した積層体情報に基づいて、積層体２０の一部の部材（例えば、第１部材２１及び第３部材２３等）の厚さ（例えば、厚さｔ１、ｔ３等）を検出領域に対応付けてもよい。
積層体２０は、例えば、平板に限定されることはなく、種々の形状であってもよい。このため、検出部３の検出面（平面）に向けて見た場合（平面視した場合）、検出領域毎に積層体２０の厚さが異なる場合がある。
対応付け部１１５は、一部の部材それぞれの既知の厚さを、積層体２０の形状（平面形状）に応じて複数の検出領域それぞれに対応付ける。
この場合、対応付け部１１５は、第３取得部１１４で取得した積層体情報に基づいて、積層体２０の一部の部材（例えば、第１部材２１及び第３部材２３等）の厚さ（例えば、厚さｔ１、ｔ３等）を検出領域に対応付けてもよい。
【0051】
ここで一例として、第１部材２１及びと第２部材を積層させた積層体の場合、対応付け部１１５は、第１部材の厚さｔ１を複数の検出領域それぞれに対応付けてもよい。すなわち、対応付け部１１５は、第１部材の平面形状に応じて、その第１部材の厚さｔ１を、検出部３を構成する複数の検出領域に対応付ける。これにより、第１部材の厚さｔ１が一定でない場合でも、検出領域毎に第１部材の厚さｔ１が設定される。
この場合、対応付け部１１５は、第３取得部１１４で取得した積層体情報に基づいて、積層体の一部の部材（例えば、第１部材）の厚さ（例えば、厚さｔ１）を検出領域に対応付けてもよい。積層体情報は、例えば、積層体を構成する複数の部材のうち、厚さ測定の対象となる部材（例えば、第２部材）とは異なる一部の部材（例えば、第１部材）の形状及び厚さ（例えば、厚さｔ１）の情報を含んでもよい。
この場合、対応付け部１１５は、第３取得部１１４で取得した積層体情報に基づいて、積層体の一部の部材（例えば、第１部材）の厚さ（例えば、厚さｔ１）を検出領域に対応付けてもよい。積層体情報は、例えば、積層体を構成する複数の部材のうち、厚さ測定の対象となる部材（例えば、第２部材）とは異なる一部の部材（例えば、第１部材）の形状及び厚さ（例えば、厚さｔ１）の情報を含んでもよい。
【0052】
同様に一例として、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を積層させた積層体２０の場合、対応付け部１１５は、第１部材２１及び第３部材２３それぞれの厚さｔ１，ｔ３を複数の検出領域それぞれに対応付けてもよい。
すなわち、対応付け部１１５は、第１部材２１の平面形状に応じて、その第１部材２１の厚さｔ１を、検出部３を構成する複数の検出領域に対応付ける。これにより、第１部材２１の厚さｔ１が一定でない場合でも、検出領域毎に第１部材２１の厚さｔ１が設定される。
同様に、対応付け部１１５は、第３部材２３の平面形状に応じて、その第３部材２３の厚さｔ３を、検出部３を構成する複数の検出領域に対応付ける。これにより、第３部材２３の厚さｔ３が一定でない場合でも、検出領域毎に第３部材２３の厚さｔ３が設定される。
この場合、対応付け部１１５は、第３取得部１１４で取得した積層体情報に基づいて、積層体２０の一部の部材（例えば、第１部材２１及び第３部材２３）の厚さ（例えば、厚さｔ１，ｔ３）を検出領域に対応付けてもよい。積層体情報は、例えば、積層体２０を構成する複数の部材のうち、厚さ測定の対象となる部材（例えば、第２部材２２）とは異なる一部の部材（例えば、第１部材２１及び第３部材２３）の形状及び厚さ（例えば、厚さｔ１，ｔ３）の情報を含んでもよい。
より具体的な一例として、図３に例示する積層体２０では、対応付け部は、第１部材２１の厚さｔ１としてのＷ１を、検出部３を構成する複数の検出領域３ａに対応付けてもよい。同様に、対応付け部は、第１部材２１の厚さｔ１としてのＷ２を、検出部３の検出領域３ｂに対応付けてもよい。
すなわち、対応付け部１１５は、第１部材２１の平面形状に応じて、その第１部材２１の厚さｔ１を、検出部３を構成する複数の検出領域に対応付ける。これにより、第１部材２１の厚さｔ１が一定でない場合でも、検出領域毎に第１部材２１の厚さｔ１が設定される。
同様に、対応付け部１１５は、第３部材２３の平面形状に応じて、その第３部材２３の厚さｔ３を、検出部３を構成する複数の検出領域に対応付ける。これにより、第３部材２３の厚さｔ３が一定でない場合でも、検出領域毎に第３部材２３の厚さｔ３が設定される。
この場合、対応付け部１１５は、第３取得部１１４で取得した積層体情報に基づいて、積層体２０の一部の部材（例えば、第１部材２１及び第３部材２３）の厚さ（例えば、厚さｔ１，ｔ３）を検出領域に対応付けてもよい。積層体情報は、例えば、積層体２０を構成する複数の部材のうち、厚さ測定の対象となる部材（例えば、第２部材２２）とは異なる一部の部材（例えば、第１部材２１及び第３部材２３）の形状及び厚さ（例えば、厚さｔ１，ｔ３）の情報を含んでもよい。
より具体的な一例として、図３に例示する積層体２０では、対応付け部は、第１部材２１の厚さｔ１としてのＷ１を、検出部３を構成する複数の検出領域３ａに対応付けてもよい。同様に、対応付け部は、第１部材２１の厚さｔ１としてのＷ２を、検出部３の検出領域３ｂに対応付けてもよい。
【0053】
算出部１１６は、第１取得部１１２で取得したＸ線の輝度Ｃ０と、第２取得部１１３で取得した透過Ｘ線の輝度Ｃと、記憶部１２２に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部の部材（例えば、第１部材２１、第３部材２３等）を除く他の部材（例えば、第２部材２２等）の厚さ（例えば、厚さｔ２等）を算出する。
すなわち、算出部１１６は、Ｘ線の輝度Ｃ０、積層体２０を透過したＸ線（透過Ｘ線）の輝度Ｃ（複数の検出領域それぞれで検出される透過Ｘ線の輝度Ｃ）、及び、複数の検出領域にそれぞれに対応付けられる一部の部材（厚さ測定の対象となる部材とは異なる一部の部材）（例えば、第１部材２１、第３部材２３等）の厚さ（例えば、厚さｔ１、ｔ３等）に基づいて、部材（例えば、第２部材２２等）の厚さ（例えば、厚さｔ２等）を算出する。
すなわち、算出部１１６は、Ｘ線の輝度Ｃ０、積層体２０を透過したＸ線（透過Ｘ線）の輝度Ｃ（複数の検出領域それぞれで検出される透過Ｘ線の輝度Ｃ）、及び、複数の検出領域にそれぞれに対応付けられる一部の部材（厚さ測定の対象となる部材とは異なる一部の部材）（例えば、第１部材２１、第３部材２３等）の厚さ（例えば、厚さｔ１、ｔ３等）に基づいて、部材（例えば、第２部材２２等）の厚さ（例えば、厚さｔ２等）を算出する。
【0054】
ここで一例として、第１部材及び第２部材を積層させた積層体の場合、算出部１１６は、第１取得部１１２で取得したＸ線の輝度（照射Ｘ線輝度）をＣ０、第２取得部１１３で取得する検出領域毎の透過Ｘ線の輝度（積層体２０を透過した透過Ｘ線輝度）をＣとすると、第２部材の厚さｔ２を後述する式（２２）を用いて算出する。
【0055】
同様に一例として、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を積層させた積層体２０の場合、算出部１１６は、第１取得部１１２で取得したＸ線の輝度（照射Ｘ線輝度）をＣ０、第２取得部１１３で取得する検出領域毎の透過Ｘ線の輝度（積層体２０を透過した透過Ｘ線輝度）をＣとすると、第２部材２２の厚さｔ２を後述する式（２１）を用いて算出する。
【0056】
なお、算出部１１６は、例えば、厚さ測定の対象とはならない一部の部材（例えば、第１部材２１、第３部材２３等）の輝度吸収係数（例えば、輝度吸収係数μＡ１，μＡ３等）は既知であり、設計上の情報として取得可能である。また、算出部１１６は、例えば、厚さ測定の対象となる部材（例えば、第２部材２２等）の輝度吸収係数（例えば、輝度吸収係数μＡ２）については、関係情報（例えば、一次相関の式（９）等）に基づいて取得することが可能である。
各部材の情報取得に際しては、処理部１０へ数値入力の他に、ＣＡＤ等の設計情報から処理部１０へ取り込まれるようにしてもよい。
算出に際し使用される相関式は、一次関数、二次関数等の相関性が認められる関数式であり、第２部材２２の材質により適切に選択される。本実施形態では、相関式に直線回帰の一次相関の式（６）が適用されてもよい。
算出部１１６は、例えば、後述する式（２１）又は式（２２）に必要な数値を入力し、第２部材２２の厚さｔ２を算出する。
各部材の情報取得に際しては、処理部１０へ数値入力の他に、ＣＡＤ等の設計情報から処理部１０へ取り込まれるようにしてもよい。
算出に際し使用される相関式は、一次関数、二次関数等の相関性が認められる関数式であり、第２部材２２の材質により適切に選択される。本実施形態では、相関式に直線回帰の一次相関の式（６）が適用されてもよい。
算出部１１６は、例えば、後述する式（２１）又は式（２２）に必要な数値を入力し、第２部材２２の厚さｔ２を算出する。
【0057】
出力制御部１１７は、算出部１１６によって算出された他の部材の厚さを出力するよう出力部を制御してもよい。出力部は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３等であってもよい。
すなわち、出力制御部１１７は、例えば、他の部材の厚さに関する情報を外部装置に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。ここで、外部装置は、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等であってもよい。
出力制御部１１７は、例えば、他の部材の厚さに関する情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１７は、例えば、他の部材の厚さを表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
すなわち、出力制御部１１７は、例えば、他の部材の厚さに関する情報を外部装置に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。ここで、外部装置は、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等であってもよい。
出力制御部１１７は、例えば、他の部材の厚さに関する情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１７は、例えば、他の部材の厚さを表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
【0058】
（輝度吸収係数及び算出式）
次に、輝度吸収係数及び算出部１１６で厚さの算出に用いる算出式について説明する。
図５は、厚さ算出の誤差を説明する模式図である。
図６は、相関式を説明する模式図である。
図７は、Ｘ線強度及び輝度吸収係数について説明するための図である。図７（Ａ）はＸ線強度と輝度吸収係数との関係を示す第１模式図、図７（Ｂ）はＸ線強度と輝度吸収係数との関係を示す第２模式図である。
次に、輝度吸収係数及び算出部１１６で厚さの算出に用いる算出式について説明する。
図５は、厚さ算出の誤差を説明する模式図である。
図６は、相関式を説明する模式図である。
図７は、Ｘ線強度及び輝度吸収係数について説明するための図である。図７（Ａ）はＸ線強度と輝度吸収係数との関係を示す第１模式図、図７（Ｂ）はＸ線強度と輝度吸収係数との関係を示す第２模式図である。
【0059】
輝度吸収係数は、物質の厚さによって変化する。しかし、この輝度吸収係数は、ある物質についての特定の厚さにおける測定から導き出された数値である。従前のＸ線を用いた非破壊の厚さ測定装置１においては、単純に物質毎に所定の輝度吸収係数を用い、被検査物に含まれる層の厚さを算出していた。
【0060】
ところが、図５の模式図のように、厳密には、物質の厚さ（板厚）（横軸）が増減すると、物質の種類によっては、輝度吸収係数は右下がりの曲線のように変化してしまうことが判明した。なお図示とは異なり、物質の種類により、輝度吸収係数の曲線の傾き、右上がり等の変化は見られる。一般に、物質の厚さが増加（厚くなる）すると、算出される数値は実測よりも減少し、逆にある物質の厚さが減少（薄くなる）すると、算出される数値は実測よりも増加する。そのため、所定の厚さ（ｔｓ：例えば厚さ２ｍｍ）の１点のみに基づく輝度吸収係数を利用すると、現実の非破壊検査の際の算出では、当然に所定の厚さ（ｔｓ）以外の厚さであることから、算出と実測（正寸）との間の誤差が不可避であった。
【0061】
そこで、予め、計測対象について、厚さの異なる複数の試料が作成され、同時に各試料の輝度吸収係数が求められる。そこで、試料における厚さと輝度吸収係数の相関性に基づいて所定の相関式が設定される。具体的には、複数種類の厚さの第２部材２２（接着剤等の樹脂素材等の厚さ測定の対象となる部材）と、各厚さの第２部材２２の輝度吸収係数との間に成立する相関式が設定される。
【0062】
相関式については、一次関数、二次関数、べき関数、指数関数、対数関数等の相関性が認められる関数式が採用される。関数式の選択に際しては、第２部材２２（接着剤等の樹脂素材）の材質、素材が考慮される。
【0063】
実施形態では、相関式は、直線回帰の一次相関の式（１０）として規定される。式（１０）は、図６の模式図のとおり、第２部材２２の複数の厚さの試料と、第２部材２２の複数の厚さの試料の輝度吸収係数から最小二乗法により算出され、設定される。一次相関の式とする場合、式中に含まれる係数、定数の個数が少なく、後述の関係式の設定は容易となる。
【0064】
式（１０）において、μＡ２は第２部材２２の輝度吸収係数、ｔ２は第２部材２２の厚さ、ａは一次相関の式の係数、ｂは一次相関の式の定数である。
【0065】
【数10】
【0066】
なお、第１部材２１及び第３部材２３についても、第２部材２２と同様に、直線回帰の一次相関の式が規定される（式（５），（７）参照）。
【0067】
ここで、図７の模式図を用い、Ｘ線強度と輝度吸収係数との関係について説明する。図７（Ａ）の第１模式図では、所定の部材（金属、樹脂等）について、厚さ（Ｘ透過距離）ｔ、材質に基づくＸ線吸収係数μ、照射Ｘ線強度Ｉ０、及び、透過Ｘ線強度Ｉが求められたとする。すると、下式（１１）の関係式が成立する。これより、厚さｔについて導くと、式（１２）が成立する。式中の「ｌｎ」は自然対数である。なお、Ｘ線吸収係数μは輝度吸収係数μＡに変換可能である（式（１３）参照）。
【0068】
【数11】
【0069】
【数12】
【0070】
【数13】
【0071】
式（１３）中、照射Ｘ線強度Ｉ０は背景の輝度Ｃ０、透過Ｘ線強度Ｉは輝度Ｃとして置換して、μＡは輝度吸収係数、ｔは厚さである。より詳しく説明すると、Ｘ線吸収係数によって吸収されるＸ線の強度と、輝度吸収係数によって減弱される輝度は等価である。そこで、Ｘ線強度のＩ及びＩ０を、Ｃ及びＣ０に置き換えることによりＸ線吸収係数を輝度吸収係数に読み替えることが可能である。また、撮影環境では連続したエネルギのスペクトルが生じる。このため、輝度吸収係数には板厚依存性がある。これに対し、エネルギ毎に固有の値を有するＸ線吸収係数は板厚依存性との関連を有さない。
【0072】
次に、図７（Ｂ）の第２模式図では、複数の部材が重なった状態が示される。模式図は、実施形態の第１部材２１、第２部材２２、及び第３部材２３からなる積層物に対応する３層構造を想定している。図中、Ｃは透過Ｘ線輝度（最終透過Ｘ線輝度）、Ｃ０は透過前のＸ線輝度（照射Ｘ線輝度）、Ｃ１は第１部材２１を透過後のＸ線輝度、Ｃ２は第２部材２２を透過後のＸ線輝度、μＡ１は第１部材２１の輝度吸収係数、μＡ２は第２部材２２の輝度吸収係数、μＡ３は第３部材２３の輝度吸収係数、ｔ１は第１部材２１の厚さ、ｔ２は第２部材２２の厚さ、ｔ３は第３部材２３の厚さである。
【0073】
前出の式（１１）に倣って第２模式図の３層構造の関係式を構築すると、式（１４）が成立する。そして、式（１５）のとおり変形することができる。式（１５）の上３段の式では、式（１１）から式（１４）まで拡張する様子の式が示され、続いて両辺はＣ０で除され、最終的に自然対数をとった式に変形される。こうして、式（１６）のｔ２の式として中間に存在する部材（層）の厚さを求めることができる。
【0074】
【数14】
【0075】
【数15】
【0076】
【数16】
【0077】
【数17】
【0078】
【数18】
【0079】
【数19】
【0080】
【数20】
【0081】
式（１６）より第１部材２１と第３部材２３に挟まれた第２部材２２の厚さｔ２は算出可能である。しかしながら、前掲の図５の説明のとおり、式（１６）の中の第２部材２２の輝度吸収係数のμＡ２をそのまま使用すると、測定対象の厚さいかんによって誤差が増大して非破壊検査の精度が低下する。
【0082】
そこで、厚さと輝度吸収係数の相関式、具体的には、前出の一次相関の式（１０）が取り入れられる。結果、第２部材２２の輝度吸収係数のμＡ２は、一次相関の式（１０）を通じて補正される。すなわち、式（１０）を式（１６）に代入して、式（１７）を得ることができる。さらに、式（１７）において、ｔ２（第２部材２２の厚さ）を解くことができ、式（１８）を得ることができる。
【0083】
【数21】
【0084】
【数22】
【0085】
式（１８）に、第１部材２１の輝度吸収係数μＡ１と厚さｔ１との関係（式（１９）参照）と、第３部材２３の輝度吸収係数μＡ３と厚さｔ３との関係（式（２０）参照）を代入することにより、第２部材２２の厚さｔ２を算出するための算出式（式（２１）参照）を得ることができる。
【0086】
【数23】
【0087】
【数24】
【0088】
【数25】
【0089】
上式（２１）は、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を備える積層体２０のうち、第２部材２２の厚さｔ２を求める際の算出式となる。
【0090】
上記と同様にして、第１部材及び第２部材を備える積層体のうち、第２部材の厚さｔ２を求める際の算出式（下式（２２）参照）も得ることが可能である。
【0091】
【数26】
【0092】
【0093】
ステップＳＴ１０１において、第３取得部１１４は、積層体２０の形状及び一部の厚さに関する積層体情報を取得する。
【0094】
ステップＳＴ１０２において、対応付け部１１５は、ステップＳＴ１０１で取得した積層体情報に基づいて、積層体２０の一部の部材の厚さを検出領域に対応付けてもよい。すなわち、対応付け部１１５は、積層体２０を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部３における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける。
ここで一例として、第１部材及び第２部材を積層させた積層体の場合、対応付け部１１５は、第１部材の厚さｔ１を複数の検出領域それぞれに対応付けてもよい。
同様に一例として、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を積層させた積層体２０の場合、対応付け部１１５は、第１部材２１及び第３部材２３それぞれの厚さｔ１，ｔ３を複数の検出領域それぞれに対応付けてもよい。
ここで一例として、第１部材及び第２部材を積層させた積層体の場合、対応付け部１１５は、第１部材の厚さｔ１を複数の検出領域それぞれに対応付けてもよい。
同様に一例として、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を積層させた積層体２０の場合、対応付け部１１５は、第１部材２１及び第３部材２３それぞれの厚さｔ１，ｔ３を複数の検出領域それぞれに対応付けてもよい。
【0095】
ステップＳＴ１０３において、第１取得部１１２は、Ｘ線源２から出射されるＸ線の輝度Ｃ０に関する情報を取得する。
【0096】
ステップＳＴ１０４において、第２取得部１１３は、Ｘ線源２から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体２０を透過した際の透過Ｘ線を検出部３で検出した場合の透過Ｘ線の輝度Ｃに関する情報を取得する。
【0097】
ステップＳＴ１０５において、算出部１１６は、ステップＳＴ１０３で取得したＸ線の輝度Ｃ０と、ステップＳＴ１０４で取得した透過Ｘ線の輝度Ｃと、記憶部１２２に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部の部材を除く他の部材の厚さ算出する。
ここで一例として、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を積層させた積層体２０の場合、算出部１１６は、Ｘ線の輝度（照射Ｘ線輝度）Ｃ０、検出領域毎の透過Ｘ線輝度Ｃ、及び、関係情報（例えば、相関式（５）～（７）等）に基づいて、第２部材２２の厚さｔ２を式（２１）を用いて算出する。
同様に一例として、第１部材及びと第２部材を積層させた積層体の場合、算出部１１６は、Ｘ線の輝度（照射Ｘ線輝度）Ｃ０、検出領域毎の透過Ｘ線輝度Ｃ、及び、関係情報（例えば、相関式（５），（６）等）に基づいて、第２部材の厚さｔ２を式（２２）を用いて算出する。
ここで一例として、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を積層させた積層体２０の場合、算出部１１６は、Ｘ線の輝度（照射Ｘ線輝度）Ｃ０、検出領域毎の透過Ｘ線輝度Ｃ、及び、関係情報（例えば、相関式（５）～（７）等）に基づいて、第２部材２２の厚さｔ２を式（２１）を用いて算出する。
同様に一例として、第１部材及びと第２部材を積層させた積層体の場合、算出部１１６は、Ｘ線の輝度（照射Ｘ線輝度）Ｃ０、検出領域毎の透過Ｘ線輝度Ｃ、及び、関係情報（例えば、相関式（５），（６）等）に基づいて、第２部材の厚さｔ２を式（２２）を用いて算出する。
【0098】
なお、ステップＳＴ１０５の処理の後、出力制御部１１７は、ステップＳＴ１０５で算出された他の部材の厚さ（例えば、第２部材２２の厚さｔ２）を出力するよう出力部を制御してもよい。
【0099】
［機能及び回路について］
次に、上述した厚さ測定装置１の機能及び回路について説明する。
厚さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、厚さ測定装置１の第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、対応付け部１１５、算出部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等による第１取得機能、第２取得機能、第３取得機能、対応付け機能、算出機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
厚さ測定プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。厚さ測定プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、厚さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、厚さ測定装置１の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、厚さ測定装置１の第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、対応付け部１１５、算出部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等を構成する第１取得回路、第２取得回路、第３取得回路、対応付け回路、算出回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、厚さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されてもよい。また、厚さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、厚さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
次に、上述した厚さ測定装置１の機能及び回路について説明する。
厚さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、厚さ測定装置１の第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、対応付け部１１５、算出部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等による第１取得機能、第２取得機能、第３取得機能、対応付け機能、算出機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
厚さ測定プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。厚さ測定プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、厚さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、厚さ測定装置１の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、厚さ測定装置１の第１取得部１１２、第２取得部１１３、第３取得部１１４、対応付け部１１５、算出部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等を構成する第１取得回路、第２取得回路、第３取得回路、対応付け回路、算出回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、厚さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されてもよい。また、厚さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、厚さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
【0100】
厚さ測定装置１は、上述した複数の各部のうち１又は任意の複数を組み合わせることが可能である。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
【0101】
［変形例］
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した厚さ測定について説明した。しかしながら、本開示の厚さ測定装置１等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用して厚さを測定してもよい。この場合、厚さ測定装置１等は、赤外光、可視光及び紫外光等を利用して、厚さを測定してもよい。種々の波長（波長域）を利用して厚さを測定する部材の一例は、半導体等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
この場合であっても、厚さ測定装置１等は、積層体を構成する複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性（例えば、式（１），（５）～（７）参照）を利用して、検出部３における複数の検出領域毎の厚さ（例えば、上述した第２部材の厚さｔ２等）を測定することができる。
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した厚さ測定について説明した。しかしながら、本開示の厚さ測定装置１等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用して厚さを測定してもよい。この場合、厚さ測定装置１等は、赤外光、可視光及び紫外光等を利用して、厚さを測定してもよい。種々の波長（波長域）を利用して厚さを測定する部材の一例は、半導体等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
この場合であっても、厚さ測定装置１等は、積層体を構成する複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性（例えば、式（１），（５）～（７）参照）を利用して、検出部３における複数の検出領域毎の厚さ（例えば、上述した第２部材の厚さｔ２等）を測定することができる。
【0102】
［本実施形態の態様及び効果］
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
【0103】
（態様１）
一態様の厚さ測定装置は、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部と、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得部と、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得部と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、第１取得部で取得したＸ線の強度と、第２取得部で取得した透過Ｘ線の強度と、記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、を備える。
これにより、厚さ測定装置は、積層物を構成する複数の部材それぞれの輝度吸収係数（複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性）を考慮して、その積層物を構成する部材（他の部材）の厚さを非破壊により測定することができる。
また、厚さ測定装置は、複数の検出領域毎に他の部材の厚さを算出するので、複数の検出領域で算出された厚さをまとめることにより、「面」として他の部材の厚さを求めることができる。
なお、従来では、輝度吸収係数ではなく、厚さに依存しない吸収係数を用いられる場合があった。従来の吸収係数を用いて厚さを求める場合、測定対象となる部材の厚さが測定毎に変動すると、厚さを正確に求められないことがあった。
そこで、本実施形態の厚さ測定装置では、厚さ依存性のある輝度吸収係数を利用するので、測定対象となる部材の厚さが測定毎に変動する場合でも、従来に比べてより正確に厚さを求めることができる。
一態様の厚さ測定装置は、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部と、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得部と、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得部と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、第１取得部で取得したＸ線の強度と、第２取得部で取得した透過Ｘ線の強度と、記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、を備える。
これにより、厚さ測定装置は、積層物を構成する複数の部材それぞれの輝度吸収係数（複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性）を考慮して、その積層物を構成する部材（他の部材）の厚さを非破壊により測定することができる。
また、厚さ測定装置は、複数の検出領域毎に他の部材の厚さを算出するので、複数の検出領域で算出された厚さをまとめることにより、「面」として他の部材の厚さを求めることができる。
なお、従来では、輝度吸収係数ではなく、厚さに依存しない吸収係数を用いられる場合があった。従来の吸収係数を用いて厚さを求める場合、測定対象となる部材の厚さが測定毎に変動すると、厚さを正確に求められないことがあった。
そこで、本実施形態の厚さ測定装置では、厚さ依存性のある輝度吸収係数を利用するので、測定対象となる部材の厚さが測定毎に変動する場合でも、従来に比べてより正確に厚さを求めることができる。
【0104】
（態様２）
一態様の厚さ測定装置では、Ｘ線の強度は輝度に置き換えが可能であり、記憶部は、関係情報として、複数の部材としての第１部材及び第２部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶し、対応付け部は、第１部材の厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、算出部は、第１取得部で取得したＸ線の強度に対応する輝度をＣ０、第２取得部で取得する検出領域毎の透過Ｘ線の強度に対応する輝度をＣ、記憶部に記憶した関係情報として第１部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を上記の式（５）とし、記憶部に記憶した関係情報として第２部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を上記の式（６）とすると、第２部材の厚さｔ２を上記の式（２２）を用いて算出することとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、第１部材及び第２部材を積層させた積層物のうち第２部材（他の部材）の厚さｔ２を算出することができる。
一態様の厚さ測定装置では、Ｘ線の強度は輝度に置き換えが可能であり、記憶部は、関係情報として、複数の部材としての第１部材及び第２部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶し、対応付け部は、第１部材の厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、算出部は、第１取得部で取得したＸ線の強度に対応する輝度をＣ０、第２取得部で取得する検出領域毎の透過Ｘ線の強度に対応する輝度をＣ、記憶部に記憶した関係情報として第１部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を上記の式（５）とし、記憶部に記憶した関係情報として第２部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を上記の式（６）とすると、第２部材の厚さｔ２を上記の式（２２）を用いて算出することとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、第１部材及び第２部材を積層させた積層物のうち第２部材（他の部材）の厚さｔ２を算出することができる。
【0105】
（態様３）
一態様の厚さ測定装置では、記憶部は、関係情報として、複数の部材としての第１部材、第２部材及び第３部材の輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶し、対応付け部は、第１部材及び第３部材それぞれの厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、算出部は、記憶部に記憶した関係情報として第３部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を上記の式（７）とすると、第２部材の厚さｔ２を上記の式（８）を用いて算出することとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、第１部材、第２部材及び第３部材を積層させた積層物のうち第２部材（他の部材）の厚さｔ２を算出することができる。
一態様の厚さ測定装置では、記憶部は、関係情報として、複数の部材としての第１部材、第２部材及び第３部材の輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報を記憶し、対応付け部は、第１部材及び第３部材それぞれの厚さを複数の検出領域それぞれに対応付け、算出部は、記憶部に記憶した関係情報として第３部材についての輝度吸収係数の厚さの依存性を１次式で求めた際の関係式を上記の式（７）とすると、第２部材の厚さｔ２を上記の式（８）を用いて算出することとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、第１部材、第２部材及び第３部材を積層させた積層物のうち第２部材（他の部材）の厚さｔ２を算出することができる。
【0106】
（態様４）
一態様の厚さ測定装置では、積層体は、第１部材、第２部材及び第３部材がこの順に積層されており、第２部材は、第１部材と第３部材とを接着させる接着剤であることとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、第２部材としての接着剤の厚さを測定することができる。
一態様の厚さ測定装置では、積層体は、第１部材、第２部材及び第３部材がこの順に積層されており、第２部材は、第１部材と第３部材とを接着させる接着剤であることとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、第２部材としての接着剤の厚さを測定することができる。
【0107】
（態様５）
一態様の厚さ測定装置では、積層体の形状及び一部の厚さに関する積層体情報を取得する第３取得部を備え、対応付け部は、第３取得部で取得した積層体情報に基づいて、積層体の一部の厚さを検出領域に対応付けることとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、積層物が平面方向（複数の検出領域で形成される検出面に平行な方向（図３に例示するＸ方向））に幅を持っていても、その平面方向に応じた（複数の検出領域毎に）第２部材の厚さを測定することができる。すなわち、厚さ測定装置は、「面」での第２部材の厚さを測定することができる。
一態様の厚さ測定装置では、積層体の形状及び一部の厚さに関する積層体情報を取得する第３取得部を備え、対応付け部は、第３取得部で取得した積層体情報に基づいて、積層体の一部の厚さを検出領域に対応付けることとしてもよい。
これにより、厚さ測定装置は、積層物が平面方向（複数の検出領域で形成される検出面に平行な方向（図３に例示するＸ方向））に幅を持っていても、その平面方向に応じた（複数の検出領域毎に）第２部材の厚さを測定することができる。すなわち、厚さ測定装置は、「面」での第２部材の厚さを測定することができる。
【0108】
（態様６）
一態様の厚さ測定装置は、光源から出射される光の強度に関する情報を取得する第１取得部と、光源から出射された光が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過光を検出部で検出した場合の透過光の強度に関する情報を取得する第２取得部と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過光の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、第１取得部で取得した光の強度と、第２取得部で取得した透過光の強度と、複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、を備える。
これにより、厚さ測定装置は、上述した態様と同様の効果を奏することができる。
一態様の厚さ測定装置は、光源から出射される光の強度に関する情報を取得する第１取得部と、光源から出射された光が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過光を検出部で検出した場合の透過光の強度に関する情報を取得する第２取得部と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過光の複数の検出領域に対応付ける対応付け部と、第１取得部で取得した光の強度と、第２取得部で取得した透過光の強度と、複数の部材それぞれの輝度吸収係数の厚さ依存性に関する情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出部と、を備える。
これにより、厚さ測定装置は、上述した態様と同様の効果を奏することができる。
【0109】
（態様７）
一態様の厚さ測定方法では、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部を有するコンピュータが、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得ステップと、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得ステップと、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付けステップと、第１取得ステップで取得したＸ線の強度と、第２取得ステップで取得した透過Ｘ線の強度と、記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出ステップと、を実行する。
これにより、厚さ測定方法は、上述した一態様の厚さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の厚さ測定方法では、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶部を有するコンピュータが、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得ステップと、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得ステップと、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付けステップと、第１取得ステップで取得したＸ線の強度と、第２取得ステップで取得した透過Ｘ線の強度と、記憶部に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出ステップと、を実行する。
これにより、厚さ測定方法は、上述した一態様の厚さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
【0110】
（態様８）
一態様の厚さ測定プログラムは、コンピュータに、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶機能と、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得機能と、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得機能と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け機能と、第１取得機能で取得したＸ線の強度と、第２取得機能で取得した透過Ｘ線の強度と、記憶機能に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出機能と、を実現させる。
これにより、厚さ測定プログラムは、上述した一態様の厚さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の厚さ測定プログラムは、コンピュータに、複数の部材の厚さとＸ線の透過に伴う輝度吸収係数との関係に関する関係情報を記憶する記憶機能と、Ｘ線源から出射されるＸ線の強度に関する情報を取得する第１取得機能と、Ｘ線源から出射されたＸ線が複数の部材を積層させた積層体を透過した際の透過Ｘ線を検出部で検出した場合の透過Ｘ線の強度に関する情報を取得する第２取得機能と、積層体を構成する複数の部材のうちの一部の厚さを、検出部における透過Ｘ線の複数の検出領域に対応付ける対応付け機能と、第１取得機能で取得したＸ線の強度と、第２取得機能で取得した透過Ｘ線の強度と、記憶機能に記憶した関係情報とに基づいて、複数の検出領域それぞれにおいて、複数の部材のうちの一部を除く他の部材の厚さを算出する算出機能と、を実現させる。
これにより、厚さ測定プログラムは、上述した一態様の厚さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【0111】
１ 厚さ測定装置
２ Ｘ線源
３ 検出部
１０ 処理部
１１１ 制御部
１１２ 第１取得部
１１３ 第２取得部
１１４ 第３取得部
１１５ 対応付け部
１１６ 算出部
１１７ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
２０ 積層体
２ Ｘ線源
３ 検出部
１０ 処理部
１１１ 制御部
１１２ 第１取得部
１１３ 第２取得部
１１４ 第３取得部
１１５ 対応付け部
１１６ 算出部
１１７ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
２０ 積層体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】