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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024114058
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】インダクタ部品
(51)【国際特許分類】
H01F 17/00 20060101AFI20240816BHJP
H01F 27/29 20060101ALI20240816BHJP
【ＦＩ】
H01F17/00 D
H01F27/29 123
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023019440
(22)【出願日】2023-02-10
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100145403
【弁理士】
【氏名又は名称】山尾 憲人
(74)【代理人】
【識別番号】100132252
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 環
(74)【代理人】
【識別番号】100188802
【弁理士】
【氏名又は名称】澤内 千絵
(72)【発明者】
【氏名】谷 健一
【テーマコード（参考）】
5E070
【Ｆターム（参考）】
5E070AA01
5E070AB10
5E070CB13
5E070EA01
5E070EB04
(57)【要約】 （修正有）
【課題】コイル配線層と絶縁層との剥離が抑制されたインダクタ部品を提供する。
【解決手段】インダクタ部品１は、素体と、素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、素体に設けられ、コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と、を備える。素体は、複数の絶縁層５０１、５０２、５０３、５０４、５０５を有する。コイルは、軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層２０１、２０２を有する。各コイル配線層は、絶縁層に挟まれる。少なくとも１つのコイル配線層２０１は、軸方向の一方に位置する第１面６１と、軸方向の他方に位置する第２面６２とを有し、第１面６１または第２面６２の少なくとも一方は、深さＬ２の凹部６３を有する。
【選択図】図５
【解決手段】インダクタ部品１は、素体と、素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、素体に設けられ、コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と、を備える。素体は、複数の絶縁層５０１、５０２、５０３、５０４、５０５を有する。コイルは、軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層２０１、２０２を有する。各コイル配線層は、絶縁層に挟まれる。少なくとも１つのコイル配線層２０１は、軸方向の一方に位置する第１面６１と、軸方向の他方に位置する第２面６２とを有し、第１面６１または第２面６２の少なくとも一方は、深さＬ２の凹部６３を有する。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と
を備え、
前記素体は、複数の絶縁層を有し、
前記コイルは、前記軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層を有し、
各コイル配線層は、前記絶縁層に挟まれ、
少なくとも１つのコイル配線層は、前記軸方向の一方に位置する第１面と、前記軸方向の他方に位置する第２面とを有し、
前記第１面または前記第２面の少なくとも一方は、凹部を有する、インダクタ部品。
前記素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と
を備え、
前記素体は、複数の絶縁層を有し、
前記コイルは、前記軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層を有し、
各コイル配線層は、前記絶縁層に挟まれ、
少なくとも１つのコイル配線層は、前記軸方向の一方に位置する第１面と、前記軸方向の他方に位置する第２面とを有し、
前記第１面または前記第２面の少なくとも一方は、凹部を有する、インダクタ部品。
【請求項2】
前記凹部は、前記第１面と前記第２面との一方のみに存在する、請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項3】
前記凹部は、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸に直交する方向の幅の中央に存在する、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
【請求項4】
前記凹部の軸方向の深さは、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸方向の厚みに対して５％以上３０％以下の範囲にある、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
【請求項5】
前記凹部の前記軸に直交する方向の幅は、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸に直交する方向の幅に対して４０％以上８０％以下の範囲にある、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
【請求項6】
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記軸は、前記底面と平行であり、かつ、前記第１側面と前記第２側面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
前記軸は、前記底面と平行であり、かつ、前記第１側面と前記第２側面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
【請求項7】
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記軸が前記第１端面と平行であり、かつ、前記底面と前記天面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
前記軸が前記第１端面と平行であり、かつ、前記底面と前記天面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
【請求項8】
前記凹部は、前記第１面と前記第２面のうちの前記底面側に位置する面のみに存在する、請求項７に記載のインダクタ部品。
【請求項9】
前記複数のコイル配線層は、隣り合う２つのコイル配線層を連結するビア導体をさらに有し、
前記ビア導体の前記軸方向の前記一方の端面は、前記ビア導体の前記軸方向の前記他方の端面よりも広く、
前記凹部は、前記第１面のみに存在する、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
前記ビア導体の前記軸方向の前記一方の端面は、前記ビア導体の前記軸方向の前記他方の端面よりも広く、
前記凹部は、前記第１面のみに存在する、請求項１または２に記載のインダクタ部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、インダクタ部品に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、インダクタ部品としては、特開平５－３６５３２号公報（特許文献１）に記載されたものがある。特許文献１では、インダクタ部品は、素体と、素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルとを備え、素体は、複数の絶縁層を有し、コイルは、軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層を有し、各コイル配線層は、絶縁層に挟まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平５－３６５３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、従来のようなインダクタ部品では、熱応力や曲げ応力によって、コイル配線層と絶縁層とが剥離するおそれがあった。
【0005】
そこで、本発明の目的の一つは、コイル配線層と絶縁層との剥離が低減されたインダクタ部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記課題を解決するため、本開示の一態様であるインダクタ部品は、
素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と
を備え、
前記素体は、複数の絶縁層を有し、
前記コイルは、前記軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層を有し、
各コイル配線層は、前記絶縁層に挟まれ、
少なくとも１つのコイル配線層は、前記軸方向の一方に位置する第１面と、前記軸方向の他方に位置する第２面とを有し、
前記第１面または前記第２面の少なくとも一方は、凹部を有する。
素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と
を備え、
前記素体は、複数の絶縁層を有し、
前記コイルは、前記軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層を有し、
各コイル配線層は、前記絶縁層に挟まれ、
少なくとも１つのコイル配線層は、前記軸方向の一方に位置する第１面と、前記軸方向の他方に位置する第２面とを有し、
前記第１面または前記第２面の少なくとも一方は、凹部を有する。
【0007】
上記のように、コイル配線層が凹部を有することにより、コイル配線層と絶縁層との接触面積は大きくなる。その結果、コイル配線層と絶縁層との接着力が大きくなり、コイル配線層と絶縁層とは剥離しにくくなる。
【発明の効果】
【0008】
本開示によると、コイル配線層と絶縁層との剥離が低減されたインダクタ部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本開示の一態様であるインダクタ部品について図示の実施の態様により詳細に説明する。なお、図面は一部模式的なものを含み、実際の寸法や比率を反映していない場合がある。
【0011】
＜第１実施形態＞
図１は、インダクタ部品の第１実施形態を示す斜面図である。図２は、図１のインダクタ部品の透視正面図である。図３は、図２のIII－III断面図である。図４Ａおよび図４Ｂは、図１のインダクタ部品の分解図である。図５は、図３の一部拡大図である。なお、便宜上、図２では、構造を容易に理解できるよう、透明に描かれているが、半透明や不透明であってもよい。また、図３においては、構造を容易に理解できるよう、ビア配線層は記載していない。
図１は、インダクタ部品の第１実施形態を示す斜面図である。図２は、図１のインダクタ部品の透視正面図である。図３は、図２のIII－III断面図である。図４Ａおよび図４Ｂは、図１のインダクタ部品の分解図である。図５は、図３の一部拡大図である。なお、便宜上、図２では、構造を容易に理解できるよう、透明に描かれているが、半透明や不透明であってもよい。また、図３においては、構造を容易に理解できるよう、ビア配線層は記載していない。
【0012】
図１と図２と図３に示すように、インダクタ部品１は、第１、第２外部電極３０，４０を介して、図示しない回路基板の配線に電気的に接続される。インダクタ部品１は、例えば、高周波回路のインピーダンス整合用コイル（マッチングコイル）として用いられ、パソコン、ＤＶＤプレーヤー、デジカメ、ＴＶ、携帯電話、カーエレクトロニクス、医療用・産業用機械などの電子機器に用いられる。ただし、インダクタ部品１の用途はこれに限られず、例えば、同調回路、フィルタ回路や整流平滑回路などにも用いることもできる。
【0013】
素体１０は、略直方体状に形成されている。素体１０の表面は、互いに対向する第１端面１５および第２端面１６と、互いに対向する第１側面１３と第２側面１４と、第１端面１５と第２端面１６との間および第１側面１３と第２側面１４との間に接続された底面１７と、底面１７と対向する天面１８とを含む。底面１７は、インダクタ部品１を図示しない実装基板に実装した際に、実装基板側を向く面である。
【0014】
図示するように、Ｘ方向は、第１端面１５および第２端面１６に直交し、第１端面１５から第２端面１６に向かう方向である。Ｙ方向は、第１側面１３および第２側面１４に直交し、第２側面１４から第１側面１３に向かう方向である。Ｚ方向は、底面１７および天面１８に直交し、底面１７から天面１８に向かう方向である。Ｘ方向は、素体１０の長さ方向ともいい、Ｙ方向は、素体１０の幅方向ともいい、Ｚ方向は、素体１０の高さ方向ともいう。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、互いに直交する方向であって、Ｘ，Ｙ，Ｚの順に並べたとき、左手系を構成する。
【0015】
第１外部電極３０および第２外部電極４０は、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕやこれらを主成分とする合金などの導電性材料から構成される。また、第１外部電極３０および第２外部電極４０は、上述した導電性材料（例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ）を下地層として、Ｎｉめっき層と、Ｓｎめっき層と、を順に有していてもよい。その場合、Ｎｉめっき層およびＳｎめっき層が下地層を覆うように素体１０の表面から盛り上がっていてもよい。第１外部電極３０は、第１端面１５から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。第１外部電極３０は、第１端面１５および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれている。第２外部電極４０は、第２端面１６から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。第２外部電極４０は、第２端面１６および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれている。
【0016】
なお、第１実施形態では、第１外部電極３０および第２外部電極４０は、Ｌ字形状を有しているが、他の形状を有してもよい。例えば、第１外部電極３０および第２外部電極４０は、底面のみに設けられる形状を有してもよい。または、第１外部電極３０は、素体１０の第１端面１５および第１端面１５に隣接する第１側面１３、第２側面１４、底面１７および天面１８の一部に設けられ、第２外部電極４０は、第２端面１６および第２端面１６に隣接する第１側面１３、第２側面１４、底面１７および天面１８の一部に設けられてもよい。
【0017】
第１外部電極３０および第２外部電極４０は、素体１０に埋め込まれた複数の第１外部電極導体層３３および第２外部電極導体層４３が積層された構成を有している。第１外部電極導体層３３は、第１端面１５および底面１７に沿って延在しており、第２外部電極導体層４３は、第２端面１６および底面１７に沿って延在している。これにより、素体１０内に第１、第２外部電極３０，４０を埋め込むことができるため、素体１０に外部電極を外付けする構成に比べて、インダクタ部品の小型化を図ることができる。また、コイル２０と第１、第２外部電極３０，４０を同一工程で形成することができ、コイル２０と第１、第２外部電極３０，４０との間の位置関係のばらつきを低減することで、インダクタ部品１の電気的特性のばらつきを低減することができる。
【0018】
コイル２０は、例えば、第１、第２外部電極３０，４０と同様の導電性材料から構成される。コイル２０の第１端は、第１外部電極３０に接続され、コイル２０の第２端は、第２外部電極４０に接続されている。なお、本実施形態では、コイル２０と第１、第２外部電極３０，４０とは一体化されており、明確な境界は存在しないが、これに限られず、コイルと外部電極とが異種材料や異種工法で形成されることにより、境界が存在していても良い。
【0019】
コイル２０は、軸ＡＸが底面１７と平行であり、かつ、第１側面１３と第２側面１４とを交差する。コイル２０は、軸ＡＸに沿って巻回されている。コイル２０の軸ＡＸは、Ｙ方向と一致する。コイル２０の軸ＡＸとは、コイル２０の螺旋形状の中心軸を意味する。
【0020】
コイル２０は、巻回部２３と、巻回部２３の第１端と第１外部電極３０の間に接続された第１引出部２１と、巻回部２３の第２端と第２外部電極４０の間に接続された第２引出部２２とを有する。本実施形態では、巻回部２３と第１、第２引出部２１，２２とは一体化されており、明確な境界は存在しないが、これに限られず、巻回部と引出部とが異種材料や異種工法で形成されることにより、境界が存在していても良い。
【0021】
巻回部２３は、軸ＡＸに沿って螺旋形状に巻回されている。つまり、巻回部２３とは、軸ＡＸに平行な方向からみたときにコイル２０同士が互いに重なり合う螺旋形状に巻回された部分を指す。第１、第２引出部２１，２２とは、重なり合う部分から外れた部分を指す。巻回部２３は、軸ＡＸ方向からみて、略長方形に形成されているが、この形状に限定されない。巻回部２３の形状は、例えば、円形、楕円形、その他の多角形などであってもよい。
【0022】
素体１０は、絶縁体５０からなり、絶縁体５０は複数の積層された絶縁層を有する。具体的には、素体１０は、第２側面１４から第１側面１３の方向に向けて、第１から第２１絶縁層５０１～５２１が順に積層して構成される。なお、本願において、積層されたとは、製造時において積層する方向に限らず、その逆方向も含む。
【0023】
これらの第１から第２１絶縁層５０１～５２１は、例えば、硼珪酸ガラスを主成分とする材料や、フェライト、樹脂などの材料からなる。
【0024】
第１から第２１絶縁層５０１～５２１の積層方向は、素体１０の第１、第２端面１５，１６および底面１７に、平行な方向（Ｙ方向）であり、コイル２０の軸ＡＸと一致する。すなわち、第１から第２１絶縁層５０１～５２１は、ＸＺ平面に広がった層状である。なお、本願における積層方向とは、製造時において積層された方向をいう。本願における「平行」とは、厳密な平行関係に限定されず、現実的なばらつきの範囲を考慮し、実質的な平行関係も含む。なお、素体１０において、焼成などによって、第１から第２１絶縁層５０１～５２１の界面が明確となっていない場合がある。
【0025】
図３と図４Ａと図４Ｂに示すように、コイル２０は、軸ＡＸに沿って積層された複数のコイル配線層２０１～２１０と、軸ＡＸに沿って延在して軸ＡＸ方向に隣り合うコイル配線層を接続する第１から第９ビア配線層６０１～６０９とを有する。なお、図４Ａおよび図４Ｂでは、左上から右下に向かう方向を積層方向（Ｙ方向）とする。
【0026】
複数のコイル配線層２０１～２１０は、それぞれ絶縁層に挟まれ、軸ＡＸ方向（Ｙ方向）に沿って順に積層されている。即ち、絶縁層の積層方向は、軸ＡＸ方向と同一方向である。具体的に述べると、第１コイル配線層２０１は、第１絶縁層５０１と第３絶縁層５０３に挟まれる。第２コイル配線層２０２は、第３絶縁層５０３と第５絶縁層５０５に挟まれる。第３コイル配線層２０３は、第５絶縁層５０５と第７絶縁層５０７に挟まれる。第４コイル配線層２０４は、第７絶縁層５０７と第９絶縁層５０９に挟まれる。第５コイル配線層２０５は、第９絶縁層５０９と第１１絶縁層５１１に挟まれる。第６コイル配線層２０６は、第１１絶縁層５１１と第１３絶縁層５１３に挟まれる。第７コイル配線層２０７は、第１３絶縁層５１３と第１５絶縁層５１５に挟まれる。第８コイル配線層２０８は、第１５絶縁層５１５と第１７絶縁層５１７に挟まれる。第９コイル配線層２０９は、第１７絶縁層５１７と第１９絶縁層５１９に挟まれる。第１０コイル配線層２１０は、第１９絶縁層５１９と第２１絶縁層５２１に挟まれる。
【0027】
第１から第１０コイル配線層２０１～２１０は、それぞれ平面に沿って巻回される。第１から第１０コイル配線層２０１～２１０の巻回数は、１周未満であるが、１周以上であってもよい。
【0028】
積層方向に隣り合うコイル配線層は、第１から第９ビア配線層６０１～６０９を介して電気的に直列に接続される。具体的には、第１コイル配線層２０１は、第３絶縁層５０３を貫通した第１ビア配線層６０１を介して、第２コイル配線層２０２に接続される。第２コイル配線層２０２は、第５絶縁層５０５を貫通した第２ビア配線層６０２を介して、第３コイル配線層２０３に接続される。第３コイル配線層２０３は、第７絶縁層５０７を貫通した第３ビア配線層６０３を介して、第４コイル配線層２０４に接続される。第４コイル配線層２０４は、第９絶縁層５０９を貫通した第４ビア配線層６０４を介して、第５コイル配線層２０５に接続される。第５コイル配線層２０５は、第１１絶縁層５１１を貫通した第５ビア配線層６０５を介して、第６コイル配線層２０６に接続される。第６コイル配線層２０６は、第１３絶縁層５１３を貫通した第６ビア配線層６０６を介して、第７コイル配線層２０７に接続される。第７コイル配線層２０７は、第１５絶縁層５１５を貫通した第７ビア配線層６０７を介して、第８コイル配線層２０８に接続される。第８コイル配線層２０８は、第１７絶縁層５１７を貫通した第８ビア配線層６０８を介して、第９コイル配線層２０９に接続される。第９コイル配線層２０９は、第１９絶縁層５１９を貫通した第９ビア配線層６０９を介して、第１０コイル配線層２１０に接続される。上記構成を有することにより、複数のコイル配線層２０１～２１０は、互いに電気的に直列に接続されながら、螺旋を構成している。なお、上記実施態様では、図４Ａおよび図４Ｂに示すように第１から第９ビア配線層６０１～６０９は円弧形状や直線形状を有するが、他の形状を有していてもよく、例えば、円形状を有していてもよい。
【0029】
第１絶縁層５０１は、素体１０の第２側面１４を有し、第２側面１４と反対側の面において第２絶縁層５０２と接する。第１コイル配線層２０１は、第１引出部２１を介して第１外部電極導体層３３に接続する。第１コイル配線層２０１は、第１絶縁層５０１上であって、第２絶縁層５０２と同一層に設けられる。第２コイル配線層２０２は、第３絶縁層５０３上であって、軸ＡＸ方向に直交する第４絶縁層５０４と同一層に設けられる。第３コイル配線層２０３は、第５絶縁層５０５上であって、軸ＡＸ方向に直交する第６絶縁層５０６と同一層に設けられる。第４コイル配線層２０４は、第７絶縁層５０７上であって、軸ＡＸ方向に直交する第８絶縁層５０８と同一層に設けられる。第５コイル配線層２０５は、第９絶縁層５０９上であって、軸ＡＸ方向に直交する第１０絶縁層５１０と同一層に設けられる。第６コイル配線層２０６は、第１１絶縁層５１１上であって、軸ＡＸ方向に直交する第１２絶縁層５１２と同一層に設けられる。第７コイル配線層２０７は、第１３絶縁層５１３上であって、軸ＡＸ方向に直交する第１４絶縁層５１４と同一層に設けられる。第８コイル配線層２０８は、第１５絶縁層５１５上であって、軸ＡＸ方向に直交する第１６絶縁層５１６と同一層に設けられる。第９コイル配線層２０９は、第１７絶縁層５１７上であって、軸ＡＸ方向に直交する第１８絶縁層５１８と同一層に設けられる。第１０コイル配線層２１０は、第１９絶縁層５１９上であって、軸ＡＸ方向に直交する第２０絶縁層５２０と同一層に設けられる。第１０コイル配線層２１０は、第２引出部２２を介して第２外部電極導体層４３に接続する。
【0030】
第１外部電極導体層３３は、第２から第２０絶縁層５０２～５２０において、第１端面１５から底面１７にかけて設けられている。第２外部電極導体層４３は、第２から第２０絶縁層５０２～５２０において、第２端面１６から底面１７にかけて設けられている。
【0031】
図５には、図３のＡ部の一部拡大図を示す。図５に示すように、第１コイル配線層２０１は、軸ＡＸ方向の一方に位置する第１面６１と、軸ＡＸ方向の他方に位置し、該第１面６１に対向する第２面６２とを有する。この実施形態では、軸ＡＸ方向の一方とは、積層方向であり、具体的には、Ｙ方向（第２側面１４から第１側面１３に向かう方向）である。軸ＡＸ方向の他方とは、Ｙ方向の逆方向である。
【0032】
第１面６１は、第３絶縁層５０３と接触する。第１面６１は、凹部６３を有する。凹部６３は、第３絶縁層５０３と接触する。第２面６２は、第１絶縁層５０１に接触する。第１面６１は凹部６３を有することにより、第１面６１が平坦面である場合に比べて、第１コイル配線層２０１と第３絶縁層５０３との接触面積は大きくなる。その結果、第１コイル配線層２０１と第３絶縁層５０３との接着力が大きくなり、例えば、熱応力や曲げ応力が発生しても、第１コイル配線層２０１と第３絶縁層５０３とは剥離しにくくなる。第１実施形態においては、第１面６１が凹部６３を有したが、第２面６２が凹部６３を有していてもよく、第１面６１が凹部６３を有し、かつ、第２面６２が凹部６３を有していてもよい。
【0033】
なお、図３、図４Ａおよび図４Ｂにおいては、凹部６３は記載していない。また、凹部６３は、１つであってもよく、複数あってもよい。コイル配線層の延在方向の全長に亘って、凹部が延在してもよいし、部分的に配置されていてもよいし、複数に分かれて配置されてもよい。凹部６３は、第１から第１０コイル配線層２０１～２１０のうちの少なくとも１つに存在してもよい。
【0034】
図５に示すように、好ましくは、凹部６３は、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸに直交する方向の幅の中央Ｃに存在する。上記構成を有することにより、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸ側の面（コイルの内周面）の軸ＡＸ方向の長さを長くでき、コイル２０の内周側の厚みを厚くすることができる。これにより、電流の経路を大きくできる。したがって、電流の損失を低減でき、また、Ｑ値も大きくできる。なお、本願における「中央」とは、厳密な中央の位置に限定されず、現実的なばらつきの範囲を考慮し、実質的な中央の位置も含む。例えば、厳密な中央の位置に対して、コイル配線層の軸に直交する方向の幅の±２０％ずれた場合も含む。
【0035】
図５に示すように、好ましくは、凹部６３の軸ＡＸ方向の深さＬ２は、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸ方向の厚みＬ１に対して５％以上３０％以下の範囲にあり、好ましくは５％以上２５％以下の範囲にあり、より好ましくは５％以上２０％以下の範囲にある。深さＬ２が厚みＬ１に対して下限値以上であることにより、第１コイル配線層２０１と第３絶縁層５０３との剥離を抑制することができる。また、深さＬ２が厚みＬ１に対して上限値以下であることにより、第１コイル配線層２０１の厚みを大きくでき、電気抵抗Ｒｄｃを低減できる。
【0036】
ここで、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸ方向の厚みＬ１とは、軸ＡＸに平行で、かつ、コイル２０の延伸方向に垂直な断面を研磨することにより、第１コイル配線層２０１を露出し、この厚みを測定した値である。凹部６３の軸ＡＸ方向の深さＬ２は、上記厚みＬ１と同様に測定した値である。
【0037】
なお、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸ方向の厚みＬ１とは、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸに沿った方向の寸法の最大値である。凹部６３の軸ＡＸ方向の深さＬ２とは、軸ＡＸ方向に沿った方向の最も深いところである。複数の凹部６３が存在する場合には、凹部６３の軸ＡＸ方向の深さＬ２は最も深い凹部６３の値を意味する。
【0038】
図５に示すように、好ましくは、凹部６３の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ２は、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ１に対して４０％以上８０％以下の範囲にあり、好ましくは５０％以上８０％以下の範囲にあり、より好ましくは６０％以上７５以下の範囲にある。幅Ｗ１に対して、幅Ｗ２が下限値以上であることにより、第１面６１は凹部６３を有することにより、第１面６１が平坦面である場合に比べて、第１コイル配線層２０１と第３絶縁層５０３との接触面積は大きくなる。その結果、第１コイル配線層２０１と第３絶縁層５０３との接着力が大きくなり、第１コイル配線層２０１と第３絶縁層５０３とは剥離しにくくなる。幅Ｗ１に対して、幅Ｗ２が上限値以下であることにより、インダクタ部品１の断面積を確保でき、電気抵抗Ｒｄｃを低減できる。
【0039】
ここで、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ１とは、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、第１面６１と第２面６２との間の軸ＡＸに直交する方向の長さの最大値をいう。凹部６３の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ２とは、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、凹部６３の幅の最大値をいう。なお、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、複数の凹部６３が存在する場合には、凹部６３の幅Ｗ２は複数の凹部６３の合計である。
第１コイル配線層２０１の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ１は、軸ＡＸに垂直で、かつ、コイル２０の延伸方向に垂直な断面を研磨することにより第１コイル配線層２０１を露出し、この幅を測定した値である。凹部６３の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ２は、上記幅Ｗ１と同様に測定した値である。
第１コイル配線層２０１の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ１は、軸ＡＸに垂直で、かつ、コイル２０の延伸方向に垂直な断面を研磨することにより第１コイル配線層２０１を露出し、この幅を測定した値である。凹部６３の軸ＡＸに直交する方向の幅Ｗ２は、上記幅Ｗ１と同様に測定した値である。
【0040】
なお、凹部６３は、第１コイル配線層２０１の延在方向に直交する断面において、第１コイル配線層２０１の軸ＡＸに直交する方向の幅の中央Ｃになくてもよい。例えば、凹部６３は、幅方向の内周面側、幅方向の外周面側に存在してもよい。厚みＬ１に対する深さＬ２の値は、５％未満であってもよく、３０％超であってもよい。幅Ｗ１に対する幅Ｗ２の値は、４０％未満であってもよく、８０％超であってもよい。
【0041】
（インダクタ部品１の製造方法）
図４Ａに示すように、上から下に向かって、第１絶縁層５０１上に第１コイル配線層２０１を設け、第１ビア配線層６０１、第２コイル配線層２０２、第２ビア配線層６０２、第３コイル配線層２０３、第３ビア配線層６０３、第４コイル配線層２０４、第４ビア配線層６０４、第５コイル配線層２０５、第５ビア配線層６０５の順に積層し、続いて、図４Ｂに示すように、上から下に向かって、第６コイル配線層２０６、第６ビア配線層６０６、第７コイル配線層２０７、第７ビア配線層６０７、第８コイル配線層２０８、第８ビア配線層６０８、第９コイル配線層２０９、第９ビア配線層６０９、第１０コイル配線層２１０の順に積層し、第１０コイル配線層２１０上に第２１絶縁層５２１を積層する。これにより、インダクタ部品１が製造される。
第１から第１０コイル配線層２０１～２１０は、例えばスクリーン印刷により絶縁層に設けられる。
凹部６３を、例えば、レーザー加工、研削加工等の機械的加工や、エッチング等の化学的加工により、第１コイル配線層２０１の第１面６１に形成する。このように、凹部６３を制御して形成する。なお、凹部６３は、第２から第１０コイル配線層２０２～２１０においても同様に設けられてもよく、第１から第１０コイル配線層２０１～２１０のうちの少なくとも１つに設けられてもよい。また、凹部６３は上記の機械的加工や化学的加工以外の加工方法により形成してもよい。
第１から第９ビア配線層６０１～６０９は、例えばフォトリソグラフィ工法またはレーザー工法により絶縁層に開口部を設けた後、例えばスクリーン印刷により絶縁層の開口部に設けられる。
図４Ａに示すように、上から下に向かって、第１絶縁層５０１上に第１コイル配線層２０１を設け、第１ビア配線層６０１、第２コイル配線層２０２、第２ビア配線層６０２、第３コイル配線層２０３、第３ビア配線層６０３、第４コイル配線層２０４、第４ビア配線層６０４、第５コイル配線層２０５、第５ビア配線層６０５の順に積層し、続いて、図４Ｂに示すように、上から下に向かって、第６コイル配線層２０６、第６ビア配線層６０６、第７コイル配線層２０７、第７ビア配線層６０７、第８コイル配線層２０８、第８ビア配線層６０８、第９コイル配線層２０９、第９ビア配線層６０９、第１０コイル配線層２１０の順に積層し、第１０コイル配線層２１０上に第２１絶縁層５２１を積層する。これにより、インダクタ部品１が製造される。
第１から第１０コイル配線層２０１～２１０は、例えばスクリーン印刷により絶縁層に設けられる。
凹部６３を、例えば、レーザー加工、研削加工等の機械的加工や、エッチング等の化学的加工により、第１コイル配線層２０１の第１面６１に形成する。このように、凹部６３を制御して形成する。なお、凹部６３は、第２から第１０コイル配線層２０２～２１０においても同様に設けられてもよく、第１から第１０コイル配線層２０１～２１０のうちの少なくとも１つに設けられてもよい。また、凹部６３は上記の機械的加工や化学的加工以外の加工方法により形成してもよい。
第１から第９ビア配線層６０１～６０９は、例えばフォトリソグラフィ工法またはレーザー工法により絶縁層に開口部を設けた後、例えばスクリーン印刷により絶縁層の開口部に設けられる。
【0042】
＜第２実施形態＞
図６は、インダクタ部品１ＡのＸＺ断面図である。図７は、図６の一部拡大図である。第２実施形態は、第１実施形態とは、コイルの軸の方向が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、その説明を省略する。
図６は、インダクタ部品１ＡのＸＺ断面図である。図７は、図６の一部拡大図である。第２実施形態は、第１実施形態とは、コイルの軸の方向が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、その説明を省略する。
【0043】
図６に示すように、素体１０は、天面１８から底面１７方向（Ｚ方向の逆方向）に向けて、第１から第２１絶縁層５０１～５２１が順に、製造時においては積層して構成される。
【0044】
コイル２０の軸ＡＸは、第１端面１５と平行であり、かつ、底面１７と天面１８とを交差するように設けられている。上記構成を有することにより、インダクタ部品１Ａの多様な選択を可能とする。
【0045】
コイル２０は、軸ＡＸ方向に沿って積層された複数のコイル配線層２０１～２１０と、軸ＡＸに沿って延在して軸ＡＸ方向に隣り合うコイル配線層を接続する第１から第９ビア配線層６０１～６０９とを有する。
【0046】
図７に示すように、第１コイル配線層２０１は、軸ＡＸ方向の一方に位置する第１面６１Ａと、軸ＡＸ方向の他方に位置し、該第１面６１Ａに対向する第２面６２Ａとを有する。この実施形態では、軸ＡＸ方向の一方とは、製造時における積層方向であり、具体的には、Ｚ方向の逆方向（天面１８から底面１７に向かう方向）である。軸ＡＸ方向の他方とは、Ｚ方向である。
【0047】
好ましくは、第１コイル配線層２０１の凹部６３Ａは、第１面６１Ａと第２面６２Ａのうちの底面１７側に位置する第１面６１Ａに存在する。上記構成を有することにより、積層時に、第１コイル配線層２０１に凹部を形成しやすい。
【0048】
第１外部電極３０は、第１端面１５から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。第２外部電極４０は、第２端面１６から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。
【0049】
＜第３実施形態＞
図８は、インダクタ部品１Ｂの分解平面図である。図９は、インダクタ部品１ＢのＹＺ断面図である。第３実施形態は、第１実施形態のビア配線層を、ビア導体に置き換えている点が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、その説明を省略する。
図８は、インダクタ部品１Ｂの分解平面図である。図９は、インダクタ部品１ＢのＹＺ断面図である。第３実施形態は、第１実施形態のビア配線層を、ビア導体に置き換えている点が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、その説明を省略する。
【0050】
図８に示すように、第３実施形態の複数のコイル配線層は、第１実施形態の複数のコイル配線層２０１～２１０と同様に、それぞれ絶縁層に挟まれ、軸ＡＸ方向（Ｙ方向）に沿って順に積層されている。第３実施形態では、第１から第１０コイル配線層の長さは、それぞれ、第１実施形態の第１から第１０コイル配線層の長さよりも短い。なお、図８では、コイル配線層のうちの第２コイル配線層２０２Ｂと第３コイル配線層２０３Ｂのみを示している。
【0051】
積層方向に隣り合うコイル配線層は、第１から第９ビア導体を介して電気的に直列に接続される。なお、図８では、第２ビア導体６０２Ｂのみを示している。
【0052】
図９に示すように、第２ビア導体６０２Ｂの軸ＡＸ方向の一方の第１面６０２ａの幅は、第２ビア導体６０２Ｂの軸ＡＸ方向の他方の第２面６０２ｂの幅よりも広い。軸ＡＸ方向の一方とは、製造時における積層方向であり、具体的には、Ｙ方向である。軸ＡＸ方向の他方とは、Ｙ方向の逆方向である。即ち、第２ビア導体６０２Ｂの軸ＡＸ方向の第３コイル配線層２０３Ｂ側の第１面６０２ａの面積は、第２ビア導体６０２Ｂの軸ＡＸ方向の第２コイル配線層２０２Ｂ側の第２面６０２ｂの面積よりも広い。上記構成を有することにより、インダクタ部品１Ｂにおいて多様な選択が可能となる。第２ビア導体６０２Ｂは、第１面６０２ａから第２面６０２ｂに向かってビアの幅が狭くなるようにビアの側面が傾斜したテーパー形状の導体である。なお、第２ビア導体６０２Ｂの側面は、凸曲面を有していてもよく、凹曲面を有していてもよい。
【0053】
第２コイル配線層２０２Ｂは、軸ＡＸ方向の一方（第３コイル配線層２０３Ｂ側）の第１面６１Ｂと、軸ＡＸ方向の他方（第１面６１Ｂと反対側）の第２面６２Ｂとを有する。凹部６３Ｂは、第２コイル配線層２０２Ｂの第１面６１Ｂに設けられる。その他のコイル配線層においても、軸ＡＸの一方側の面に凹部を設けてもよい。
【0054】
図８および図９に示すように、第２ビア導体６０２Ｂは、以下のように形成できる。まず、第２コイル配線層２０２Ｂを設ける。さらに、第２コイル配線層２０２Ｂの第１面６１Ｂに、レーザー加工、研削加工等の機械的加工やエッチング等の化学的加工により凹部６３Ｂを設ける。凹部６３Ｂは、第２ビア導体６０２Ｂに接する位置とは異なる位置に設けられる。その上で、第２コイル配線層２０２Ｂおよび第４絶縁層５０４上に、第５絶縁層５０５を設ける。さらに、第５絶縁層５０５に、レーザー加工、研削加工等の機械的加工により貫通孔を設け、この貫通孔に第２ビア導体６０２Ｂを設ける。これにより、第２ビア導体６０２Ｂと第２コイル配線層２０２Ｂとを接続する。第３コイル配線層２０３Ｂ側の開口が第２コイル配線層２０２Ｂ側の開口よりも大きくなるように、貫通孔を設けることにより、第２ビア導体６０２Ｂの第１面６０２ａの面積は、第２ビア導体６０２Ｂの第２面６０２ｂの面積よりも大きくできる。その上で、第２ビア導体６０２Ｂと連結するように第３コイル配線層２０３Ｂを設ける。なお、凹部６３Ｂは上記の機械的加工や化学的加工以外の加工方法により形成してもよい。
【0055】
なお、本開示は上述の実施形態に限定されず、本開示の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、第１から第３実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。
【0056】
本開示は、下記の態様を含む。
＜１＞
素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と
を備え、
前記素体は、複数の絶縁層を有し、
前記コイルは、前記軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層を有し、
各コイル配線層は、前記絶縁層に挟まれ、
少なくとも１つのコイル配線層は、前記軸方向の一方に位置する第１面と、前記軸方向の他方に位置する第２面とを有し、
前記第１面または前記第２面の少なくとも一方は、凹部を有する、インダクタ部品。
＜２＞
前記凹部は、前記第１面と前記第２面との一方のみに存在する、＜１＞に記載のインダクタ部品。
＜３＞
前記凹部は、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸に直交する方向の幅の中央に存在する、＜１＞または＜２＞に記載のインダクタ部品。
＜４＞
前記凹部の軸方向の深さは、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸方向の厚みに対して５％以上３０％以下の範囲にある、＜１＞から＜３＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜５＞
前記凹部の前記軸に直交する方向の幅は、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸に直交する方向の幅に対して４０％以上８０％以下の範囲にある、＜１＞から＜４＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜６＞
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記軸は、前記底面と平行であり、かつ、前記第１側面と前記第２側面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、＜１＞から＜５＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜７＞
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記軸が前記第１端面と平行であり、かつ、前記底面と前記天面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、＜１＞から＜６＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜８＞
前記凹部は、前記第１面と前記第２面のうちの前記底面側に位置する面のみに存在する、＜７＞に記載のインダクタ部品。
＜９＞
前記複数のコイル配線層は、隣り合う２つのコイル配線層を連結するビア導体をさらに有し、
前記ビア導体の前記軸方向の前記一方の端面は、前記ビア導体の前記軸方向の前記他方の端面よりも広く、
前記凹部は、前記第１面のみに存在する、＜１＞から＜８＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜１＞
素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って旋回されたコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続された第１外部電極と第２外部電極と
を備え、
前記素体は、複数の絶縁層を有し、
前記コイルは、前記軸方向に沿って積層された複数のコイル配線層を有し、
各コイル配線層は、前記絶縁層に挟まれ、
少なくとも１つのコイル配線層は、前記軸方向の一方に位置する第１面と、前記軸方向の他方に位置する第２面とを有し、
前記第１面または前記第２面の少なくとも一方は、凹部を有する、インダクタ部品。
＜２＞
前記凹部は、前記第１面と前記第２面との一方のみに存在する、＜１＞に記載のインダクタ部品。
＜３＞
前記凹部は、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸に直交する方向の幅の中央に存在する、＜１＞または＜２＞に記載のインダクタ部品。
＜４＞
前記凹部の軸方向の深さは、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸方向の厚みに対して５％以上３０％以下の範囲にある、＜１＞から＜３＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜５＞
前記凹部の前記軸に直交する方向の幅は、前記コイル配線層の延在方向に直交する断面において、前記コイル配線層の前記軸に直交する方向の幅に対して４０％以上８０％以下の範囲にある、＜１＞から＜４＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜６＞
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記軸は、前記底面と平行であり、かつ、前記第１側面と前記第２側面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、＜１＞から＜５＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜７＞
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記軸が前記第１端面と平行であり、かつ、前記底面と前記天面とを交差するように設けられており、
前記第１外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在し、
前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に沿って延在する、＜１＞から＜６＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
＜８＞
前記凹部は、前記第１面と前記第２面のうちの前記底面側に位置する面のみに存在する、＜７＞に記載のインダクタ部品。
＜９＞
前記複数のコイル配線層は、隣り合う２つのコイル配線層を連結するビア導体をさらに有し、
前記ビア導体の前記軸方向の前記一方の端面は、前記ビア導体の前記軸方向の前記他方の端面よりも広く、
前記凹部は、前記第１面のみに存在する、＜１＞から＜８＞のいずれか１つに記載のインダクタ部品。
【符号の説明】
【0057】
１，１Ａ，１Ｂ インダクタ部品
１０ 素体
１３ 第１側面
１４ 第２側面
１５ 第１端面
１６ 第２端面
１７ 底面
１８ 天面
２０ コイル
２０１～２１０，２０２Ｂ，２０３Ｂ コイル配線層
２１ 第１引出部
２２ 第２引出部
２３ 巻回部
３０ 第１外部電極
３３ 第１外部電極導体層
４０ 第２外部電極
４３ 第２外部電極導体層
５０ 絶縁体
５０１～５２１ 絶縁層
６０１～６０９ ビア配線層
６０２Ｂ ビア導体
６０２ａ 第１面
６０２ｂ 第２面
６１，６１Ａ，６１Ｂ 第１面
６２，６２Ａ，６２Ｂ 第２面
６３，６３Ａ，６３Ｂ 凹部
ＡＸ 軸
Ｃ 中央
Ｗ１，Ｗ２ 幅
Ｌ１ コイル配線層の厚み
Ｌ２ 凹部の深さ
１０ 素体
１３ 第１側面
１４ 第２側面
１５ 第１端面
１６ 第２端面
１７ 底面
１８ 天面
２０ コイル
２０１～２１０，２０２Ｂ，２０３Ｂ コイル配線層
２１ 第１引出部
２２ 第２引出部
２３ 巻回部
３０ 第１外部電極
３３ 第１外部電極導体層
４０ 第２外部電極
４３ 第２外部電極導体層
５０ 絶縁体
５０１～５２１ 絶縁層
６０１～６０９ ビア配線層
６０２Ｂ ビア導体
６０２ａ 第１面
６０２ｂ 第２面
６１，６１Ａ，６１Ｂ 第１面
６２，６２Ａ，６２Ｂ 第２面
６３，６３Ａ，６３Ｂ 凹部
ＡＸ 軸
Ｃ 中央
Ｗ１，Ｗ２ 幅
Ｌ１ コイル配線層の厚み
Ｌ２ 凹部の深さ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】