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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024114191
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】検査装置及び検査方法
(51)【国際特許分類】
G01N 29/32 20060101AFI20240816BHJP
【ＦＩ】
G01N29/32
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023019787
(22)【出願日】2023-02-13
(71)【出願人】
【識別番号】000003078
【氏名又は名称】株式会社東芝
(71)【出願人】
【識別番号】598076591
【氏名又は名称】東芝インフラシステムズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110004026
【氏名又は名称】弁理士法人ｉＸ
(72)【発明者】
【氏名】小野 富男
(72)【発明者】
【氏名】中井 豊
(72)【発明者】
【氏名】山本 紀子
【テーマコード（参考）】
2G047
【Ｆターム（参考）】
2G047AA08
2G047AB04
2G047BA01
2G047BC03
2G047BC12
2G047CA01
2G047EA10
2G047GB17
2G047GF09
2G047GG46
(57)【要約】
【課題】検出精度を向上できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、第１、第２送信部、第１、第２受信部、搬送部、及び、制御部を含む。第１送信部は、第１方向に沿って並ぶ複数の第１送信素子を含む。第２送信部は、第１方向に沿って並ぶ複数の第２送信素子を含む。第１送信部から第２送信部への第２方向は、第１方向と交差する。制御部は、第１送信部から第１超音波を送信させ、第２送信部から第２超音波を送信させることが可能である。制御部は、複数の第１送信素子の１つに第１信号を供給し、複数の第１送信素子の別の１つに第１隣信号を供給する。第１隣信号は、第１信号の反転である。
【選択図】図１
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、第１、第２送信部、第１、第２受信部、搬送部、及び、制御部を含む。第１送信部は、第１方向に沿って並ぶ複数の第１送信素子を含む。第２送信部は、第１方向に沿って並ぶ複数の第２送信素子を含む。第１送信部から第２送信部への第２方向は、第１方向と交差する。制御部は、第１送信部から第１超音波を送信させ、第２送信部から第２超音波を送信させることが可能である。制御部は、複数の第１送信素子の１つに第１信号を供給し、複数の第１送信素子の別の１つに第１隣信号を供給する。第１隣信号は、第１信号の反転である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能な制御部であって、前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、前記第１隣信号は、前記第１信号の反転である、前記制御部と、
を備えた検査装置。
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能な制御部であって、前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、前記第１隣信号は、前記第１信号の反転である、前記制御部と、
を備えた検査装置。
【請求項2】
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、請求項１に記載の検査装置。
【請求項3】
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、請求項１に記載の検査装置。
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、請求項１に記載の検査装置。
【請求項4】
前記制御部は、前記第１信号及び前記第１隣信号を前記複数の第１送信素子に交互に供給可能である、請求項１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項5】
前記複数の第１送信素子の前記１つは、
前記第１超音波を発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜と、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１送信導波部と、
を含む、請求項１に記載の検査装置。
前記第１超音波を発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜と、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１送信導波部と、
を含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項6】
前記複数の第１受信素子の１つは、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１受信導波部と、
前記第１超音波により変形可能な第１受信トランスデューサ膜と、
を含み、
前記第１送信導波部は、前記第１送信トランスデューサ膜と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にあり、
前記第１受信導波部は、前記第１送信導波部と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にある、請求項５に記載の検査装置。
前記第１超音波を導波させることが可能な第１受信導波部と、
前記第１超音波により変形可能な第１受信トランスデューサ膜と、
を含み、
前記第１送信導波部は、前記第１送信トランスデューサ膜と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にあり、
前記第１受信導波部は、前記第１送信導波部と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にある、請求項５に記載の検査装置。
【請求項7】
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部であって、前記複数の第１送信素子の１つは、第１圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の別の１つは、第１隣圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、前記第１隣圧電層の極性は、前記第１圧電層の極性に対して反転している、前記第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備えた検査装置。
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備えた検査装置。
【請求項8】
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、請求項７に記載の検査装置。
【請求項9】
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、請求項７に記載の検査装置。
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、請求項７に記載の検査装置。
【請求項10】
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
を含む素子部の前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させ、
前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、
前記第１隣信号は、前記第１信号の反転であり、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間を前記第２方向に沿って移動する検査対象を検査する、検査方法。
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
を含む素子部の前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させ、
前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、
前記第１隣信号は、前記第１信号の反転であり、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間を前記第２方向に沿って移動する検査対象を検査する、検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば超音波などを用いた検査装置がある。検出精度の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第６６６８１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、検出精度を向上できる検査装置及び検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施形態によれば、検査装置は、第１送信部、第２送信部、第１受信部、第２受信部、搬送部、及び、制御部を含む。前記第１送信部は、第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む。前記第２送信部は、前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む。前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差する。前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある。前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である。前記第１受信部は、前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む。前記第２受信部は、前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む。前記搬送部は、前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能である。前記制御部は、前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能である。前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給する。前記第１隣信号は、前記第１信号の反転である。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的斜視図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図３は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１及び図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、第１送信部１１Ａ、第２送信部１２Ａ、第１受信部２１Ａ、第２受信部２２Ａ、搬送部６０及び制御部７０を含む。
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的斜視図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図３は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１及び図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、第１送信部１１Ａ、第２送信部１２Ａ、第１受信部２１Ａ、第２受信部２２Ａ、搬送部６０及び制御部７０を含む。
【0009】
第１送信部１１Ａは、複数の第１送信素子１１を含む。複数の第１送信素子１１は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。複数の第１送信素子１１は、第１超音波１１ｗを送信可能である。
【0010】
第１方向Ｄ１をＹ軸方向とする。Ｙ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｙ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。
【0011】
第２送信部１２Ａは、複数の第２送信素子１２を含む。複数の第２送信素子１２は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。複数の第２送信素子１２は、第２超音波１２ｗを送信可能である。第１送信部１１Ａから第２送信部１２Ａへの第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１と交差する。第２方向Ｄ２は、例えば、Ｘ軸方向に沿う。
【0012】
図３に示すように、複数の第２送信素子１２の１つ（例えば素子１２ａ）の第１方向Ｄ１における第２位置ｐｐ２は、複数の第１送信素子１１の１つ（例えば素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における第１位置ｐｐ１と、複数の第１送信素子１１の別の１つ（例えば素子１１ｎ）の第１方向Ｄ１における第１隣位置ｐｎ１と、の間にある。複数の第１送信素子１１の上記の別の１つ（例えば素子１１ｎ）は、複数の第１送信素子１１の上記の１つ（例えば素子１１ａ）の隣である。
【0013】
例えば、複数の第１送信素子１１の１つ（例えば素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における第１位置ｐｐ１は、複数の第２送信素子１２の１つ（例えば素子１２ａ）の第１方向Ｄ１における第２位置ｐｐ２と、複数の第２送信素子１２の別の１つ（例えば素子１２ｎ）の第１方向Ｄ１における第２隣位置ｐｎ２と、の間にある。複数の第２送信素子１２の上記の別の１つ（例えば素子１２ｎ）は、複数の第２送信素子１２の上記の１つ（例えば素子１２ａ）の隣である。
【0014】
図１に示すように、第１受信部２１Ａは、複数の第１受信素子２１を含む。複数の第１受信素子２１は、第１超音波１１ｗを受信可能である。複数の第１受信素子２１は、複数の第１送信素子１１とそれぞれ対向する。
【0015】
第２受信部２２Ａは、複数の第２受信素子２２を含む。複数の第２受信素子２２は、第２超音波１２ｗを受信可能である。複数の第２受信素子２２は、複数の第２送信素子１２とそれぞれ対向する。
【0016】
図２に示すように、搬送部６０は、第１送信部１１Ａと第１受信部２１Ａとの間、及び、第２送信部１２Ａと第２受信部２２Ａとの間の空間８８Ｓ中を第２方向Ｄ２に沿って、検査対象８０を搬送可能である。通過方向（搬送方向６０Ｄ）は、第２方向Ｄ２に沿う。
【0017】
この例では、搬送部６０は、第１搬送部６１、第２搬送部６２、第３搬送部６３及び第４搬送部６４を含む。第１搬送部６１と第２搬送部６２との間を、検査対象８０が通過する。第３搬送部６３と第４搬送部６４との間を検査対象８０が通過する。これらの搬送部は、例えば、ローラである。
【0018】
検査対象８０は、例えば紙幣などである。検査対象８０の材料は、紙の他に、樹脂でも良い。検査対象８０は、有価証類でも良い。
【0019】
制御部７０は、第１送信部１１Ａから第１超音波１１ｗを送信させ、第２送信部１２Ａから第２超音波１２ｗを送信させることが可能である。制御部７０は、電気回路などを含む。
【0020】
制御部７０から電気信号が第１送信部１１Ａ及び第２送信部１２Ａに供給されることで、これらの送信部から超音波が送信される。送信された超音波は、検査対象８０を通過して受信部で受信される。検査対象８０の状態に応じて、受信部に到達する超音波の強度などが変化する。第１受信部２１Ａ及び第２受信部２２Ａなどにより、超音波が受信され、電気信号に変化される。得られた電気信号により、検査対象８０の状態が検査できる。
【0021】
検査対象８０の状態は、例えば、異物（例えばテープなど）などの付着を含む。
【0022】
図３に示すように、実施形態においては、制御部７０は、複数の第１送信素子１１の１つ（例えば素子１１ａ）に第１信号Ｓｇ１を供給する。制御部７０は、複数の第１送信素子１１の別の１つ（例えば素子１１ｎ）に第１隣信号Ｓｎ１を供給する。第１隣信号Ｓｎ１は、第１信号Ｓｇ１の反転である。
【0023】
この例では、制御部７０は、第１回路７１Ｇ及び反転回路７１Ｒを含む。第１回路７１Ｇは、第１信号Ｓｇ１を生成可能である。反転回路７１Ｒは、第１回路７１Ｇの出力を反転させる。反転回路７１Ｒは、例えば差動回路７１Ｄを含んで良い。差動回路７１Ｄの負入力に、抵抗Ｒ２を介して、第１回路７１Ｇの出力が接続される。差動回路７１Ｄの負入力と、差動回路７１Ｄの出力と、が抵抗Ｒ１により接続される。差動回路７１Ｄの正入力は接地される。反転回路７１Ｒの出力信号が第１隣信号Ｓｎ１に対応する。
【0024】
このように、実施形態においては、複数の第１送信素子１１の１つ（例えば素子１１ａ）と、複数の第１送信素子１１の隣の１つ（例えば素子１１ｎ）と、に極性が反転した信号が供給される。これにより、これらの素子から送信される超音波の位相が１８０°シフトする。
【0025】
実施形態において、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）の第１方向Ｄ１における第２位置ｐｐ２が、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の第１方向Ｄ１のける第１位置ｐｐ１と、複数の第１送信素子１１の隣の１つ（素子１１ｎ）の第１方向Ｄ１の第１隣位置ｐｎ１と、の間になる。これにより、第１方向Ｄ１における解像度が向上する。
【0026】
素子１２ａの第２位置ｐｐ２に対応して、複数の第２受信素子２２の１つが設けられる。この複数の第２受信素子２２の１つに、素子１２ａからの超音波の他に、素子１１ａからの超音波と、素子１１ｎからの超音波と、が到達する。素子１１ａからの超音波と、素子１１ｎからの超音波と、において位相が同じ場合、これらの超音波は強め合う。素子１１ａからの超音波と、素子１１ｎからの超音波と、は、クロストークを発生させる。クロストークは、複数の第２受信素子２２の１つで受信される、素子１２ａからの超音波のノイズとなる。これにより、高い精度の検出が困難になる。
【0027】
実施形態においては、素子１１ａからの超音波と、素子１１ｎからの超音波と、において位相が１８０°シフトされる。これらの超音波は弱め合う。クロストークが抑制される。これにより、複数の第２受信素子２２の１つは、素子１２ａからの超音波を、低ノイズで受信できる。これにより、高精度の検出が可能になる。実施形態によれば、検出精度を向上できる検査装置を提供できる。
【0028】
実施形態において、第２位置ｐｐ２と第１位置ｐｐ１との間の距離は、第２位置ｐｐ２と第１隣位置ｐｎ１との間の距離と実質的に同じで良い。第２位置ｐｐ２に対応して設けられる複数の第２受信素子２２の１つと、第１位置ｐｐ１と、の間の距離は、複数の第２受信素子２２のその１つと、第１隣位置ｐｎ１と、の間の距離と実質的に同じで良い。
【0029】
図３に示すように、複数の第１送信素子１１は、第１方向Ｄ１に沿って第１ピッチｐｔ１で並ぶ。複数の第２送信素子１２は、第１方向Ｄ１に沿って第１ピッチｐｔ１で並ぶ。複数の第２送信素子１２の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１送信素子１１の第１方向Ｄ１における位置を基準にして、第１ピッチｐｔ１の１／２でシフトしている。
【0030】
例えば、図３に示すように、制御部７０は、第１信号Ｓｇ１及び第１隣信号Ｓｎ１を複数の第１送信素子１１に交互に供給可能である。クロストークが抑制される。
【0031】
図３に示すように、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の第２方向Ｄ２における位置と、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）の第２方向Ｄ２における位置と、の間の第２方向Ｄ２に沿う距離を距離ｄｘ１とする。距離ｄｘ１は、例えば、第１送信部１１Ａと第２送信部１２Ａとの間のピッチに対応する。実施形態において、距離ｄｘ１は、第１ピッチｐｔ１の１０倍以下であることが好ましい。これにより、より高い精度での検出が可能になる。距離ｄｘ１が短いとき、第１送信部１１Ａと第２受信部２２Ａとの間の第２方向Ｄ２に沿う距離も短い。この状況において、反転させた極性の適用によるクロストークの低減が、効果的に得られる。実用的に、距離ｄｘ１は、第１ピッチｐｔ１の２倍以上で良い。
【0032】
図３に示すように、制御部７０は、複数の第２送信素子１２の上記の１つ（例えば素子１２ａ）に第１信号Ｓｇ１を供給する。制御部７０は、複数の第２送信素子１２の別の１つ（例えば素子１２ｎ）に第１隣信号Ｓｎ１を供給する。複数の第２送信素子１２の別の１つ（素子１２ｎ）は、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）の隣である。
【0033】
これにより、素子１１ａに対応する受信素子の位置において、素子１２ａから送信される超音波と、素子１２ｎから送信される超音波と、は、互いに弱め合う。クロストークが抑制される。
【0034】
実施形態において、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｎ）から送信される第１超音波１１ｗの位相は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）から送信される第１超音波１１ｗの位相に対して１８０°シフトしている。
【0035】
図４は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図４に示すように、実施形態に係る検査装置１１０ａにおいて、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）は、導波部（第１送信導波部１１Ｇ）を含む。これを除く検査装置１１０ａの構成は、検査装置１１０の構成と同様で良い。
図４に示すように、実施形態に係る検査装置１１０ａにおいて、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）は、導波部（第１送信導波部１１Ｇ）を含む。これを除く検査装置１１０ａの構成は、検査装置１１０の構成と同様で良い。
【0036】
図４に示すように、複数の第１送信素子１１の１つ（例えば素子１１ａ）は、第１送信トランスデューサ膜１１Ｆと、第１送信導波部１１Ｇと、を含む。第１送信トランスデューサ膜１１Ｆは、第１超音波１１ｗを発生させることが可能である。第１送信導波部１１Ｇは、第１超音波１１ｗを導波させることが可能である。第１送信導波部１１Ｇは、例えば、導波管である。導波管の内部を超音波が伝搬する。このような構成が、複数の第１送信素子１１のそれぞれに設けられて良い。導波部が設けられることで、例えば、多重反射が抑制できる。多重反射の影響が実質的に存在しないことにより、より高速の検査が可能になる。
【0037】
図４に示すように、複数の第２送信素子１２の１つ（例えば素子１２ａ）は、第２送信トランスデューサ膜１２Ｆと、第２送信導波部１２Ｇと、を含む。第２送信トランスデューサ膜１２Ｆは、第２超音波１２ｗを発生させることが可能である。第２送信導波部１２Ｇは、第２超音波１２ｗを導波させることが可能である。第２送信導波部１２Ｇは、例えば、導波管である。導波管の内部を超音波が伝搬する。このような構成が、複数の第２送信素子１２のそれぞれに設けられて良い。
【0038】
図４に示すように、複数の第１受信素子２１の１つ（素子２１ａ）は、第１受信導波部２１Ｇと、第１受信トランスデューサ膜２１Ｆと、を含む。第１受信導波部２１Ｇは、第１超音波１１ｗを導波させることが可能である。第１受信トランスデューサ膜２１Ｆは、第１超音波１１ｗにより変形可能である。検査対象８０を通過した第１超音波１１ｗが、第１受信導波部２１Ｇを伝搬して、第１受信トランスデューサ膜２１Ｆに到達する。第１受信トランスデューサ膜２１Ｆに到達した第１超音波１１ｗに応じた第１受信トランスデューサ膜２１Ｆの変形が圧電素子などにより電気信号に変換される。電気信号は、検査対象８０の状態に関する情報を含む。
【0039】
図４に示すように、第１送信導波部１１Ｇは、第１送信トランスデューサ膜１１Ｆと、第１受信トランスデューサ膜２１Ｆと、の間にある。第１受信導波部２１Ｇは、第１送信導波部１１Ｇと、第１受信トランスデューサ膜２１Ｆと、の間にある。
【0040】
図４に示すように、複数の第２受信素子２２の１つ（素子２２ａ）は、第２受信導波部２２Ｇと、第２受信トランスデューサ膜２２Ｆと、を含む。第２受信導波部２２Ｇは、第２超音波１２ｗを導波させることが可能である。第２受信トランスデューサ膜２２Ｆは、第２超音波１２ｗにより変形可能である。検査対象８０を通過した第２超音波１２ｗが、第２受信導波部２２Ｇを伝搬して、第２受信トランスデューサ膜２２Ｆに到達する。第２受信トランスデューサ膜２２Ｆに到達した第２超音波１２ｗに応じた第２受信トランスデューサ膜２２Ｆの変形が圧電素子などにより電気信号に変換される。電気信号は、検査対象８０の状態に関する情報を含む。
【0041】
図４に示すように、第２送信導波部１２Ｇは、第２送信トランスデューサ膜１２Ｆと、第２受信トランスデューサ膜２２Ｆと、の間にある。第２受信導波部２２Ｇは、第２送信導波部１２Ｇと、第２受信トランスデューサ膜２２Ｆと、の間にある。
【0042】
このような導波部が設けられることで、対応する送信素子以外からの超音波の影響が抑制される。ノイズがより抑制される。より高い精度の検出が可能になる。
【0043】
一方、導波部が設けられる場合、隣合う送信素子から送信された超音波の影響が大きくなり、クロストークがより発生し易い。実施形態に係る反転信号が適用されることで、クロストークが発生し易くなる導波部が設けられる場合においても、クロストークを抑制できる。
【0044】
実施形態において、検査対象８０の第３方向Ｄ３における位置と、第１送信導波部１１Ｇの第３方向Ｄ３における位置と、の間の距離を第１距離ｄ１とする。第１距離ｄ１は、検査対象８０の第３方向Ｄ３における位置と、第１送信導波部１１Ｇの先端の第３方向Ｄ３における位置と、の間の距離で良い。実用的に、第１距離ｄ１は、例えば、第１ピッチｐｔ１（図３参照）の０．５倍以下である。実用的に、第１距離ｄ１は、第１ピッチｐｔ１の０．１倍以上で良い。
【0045】
図４に示すように、第１受信導波部２１Ｇと第１送信導波部１１Ｇとの間の第３方向Ｄ３における距離を第２距離ｄ２とする。第２距離ｄ２は、実施形態において、第２距離ｄ２は、例えば、第１ピッチｐｔ１（図３参照）の１倍以下であることが好ましい。これにより、クロストークが効果的に抑制される。第２距離ｄ２が短い場合に、反転させた極性の適用によるクロストークの低減が、さらに効果的に得られる。実用的に、第２距離ｄ２は、第２ピッチｐｔ２の０．２倍以上で良い。
【0046】
第２距離ｄ２は、第１超音波１１ｗの波長の３倍以下であることが好ましい。実用的に、第２距離ｄ２は、第１超音波１１ｗの波長の０．５倍以上であることが好ましい。
【0047】
（第２実施形態）
第２実施形態について、第１実施形態と異なる部分について説明する。
図５は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図６（ａ）～図６（ｄ）は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的断面図である。
図５に示すように、実施形態に係る検査装置１２０も、第１送信部１１Ａ、第２送信部１２Ａ、第１受信部２１Ａ（図１及び図２参照）、第２受信部２２Ａ（図１及び図２参照）、及び、搬送部６０（図２参照）を含む。検査装置１２０において、第１受信部２１Ａ、第２受信部２２Ａ及び搬送部６０の構成は、検査装置１１０におけるそれらの構成と同様でよい。
第２実施形態について、第１実施形態と異なる部分について説明する。
図５は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図６（ａ）～図６（ｄ）は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的断面図である。
図５に示すように、実施形態に係る検査装置１２０も、第１送信部１１Ａ、第２送信部１２Ａ、第１受信部２１Ａ（図１及び図２参照）、第２受信部２２Ａ（図１及び図２参照）、及び、搬送部６０（図２参照）を含む。検査装置１２０において、第１受信部２１Ａ、第２受信部２２Ａ及び搬送部６０の構成は、検査装置１１０におけるそれらの構成と同様でよい。
【0048】
【0049】
第２送信部１２Ａは、複数の第２送信素子１２を含む。複数の第２送信素子１２は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。複数の第２送信素子１２は、第２超音波１２ｗ（図１参照）を送信可能である。第１送信部１１Ａから第２送信部１２Ａへの第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１と交差する。
【0050】
検査装置１２０においても、第１受信部２１Ａは、複数の第１受信素子２１を含む（図１参照）。複数の第１受信素子２１は、第１超音波１１ｗを受信可能である。第２受信部２２Ａは、複数の第２受信素子２２を含む（図１参照）。複数の第２受信素子２２は、第２超音波１２ｗを受信可能である。搬送部６０（図２参照）は、第１送信部１１Ａと第１受信部２１Ａとの間、及び、第２送信部１２Ａと第２受信部２２Ａとの間の空間８８Ｓ中を第２方向Ｄ２に沿って、検査対象８０を搬送可能である。
【0051】
複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）の第１方向Ｄ１における第２位置ｐｐ２は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の第１方向Ｄ１における第１位置ｐｐ１と、複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｎ）の第１方向にＤ１おける第１隣位置ｐｎ１と、の間にある。複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｎ）は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）の隣である。
【0052】
検査装置１２０においては、素子１１ａの構成が、素子１１ｎの構成と異なる。
図６（ａ）は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）に対応する。図６（ｂ）は、複数の第１送信素子１１の別（隣）の１つの素子（素子１１ｎ）に対応する。
図６（ａ）は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）に対応する。図６（ｂ）は、複数の第１送信素子１１の別（隣）の１つの素子（素子１１ｎ）に対応する。
【0053】
図６（ａ）に示すように、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）は、第１圧電層３１ａを含む。図６（ｂ）に示すように、複数の第１送信素子１１の別（隣）の１つ（素子１１ｎ）は、第１隣圧電層３１ｎを含む。第１隣圧電層３１ｎの極性ｑ２は、第１圧電層３１ａの極性ｑ１に対して反転している。極性は、例えば、分極の向きである。分極の向きは、例えば、素子の製造プロセスにおいて行われる高電圧印加処理などにより、制御できる。極性は、例えば材料（例えば結晶方位）などにより制御されても良い。
【0054】
図６（ａ）に示すように、第１圧電層３１ａは、電極３５ａと電極３５ｂとの間に設けられる。第１圧電層３１ａ、電極３５ａ及び電極３５ｂを含む積層体が膜部３５ｆに固定される。膜部３５ｆは基体３０ｓに支持される。これらの電極に第１信号Ｓｇ１（例えば交流信号）が印加されることで、第１圧電層３１ａが変形する。変形により、膜部３５ｆが変形する。変形により第１超音波１１ｗが発生する。
【0055】
図６（ｂ）に示すように、第１隣圧電層３１ｎは、電極３６ａと電極３６ｂとの間に設けられる。第１隣圧電層３１ｎ、電極３６ａ及び電極３６ｂを含む積層体が膜部３６ｆに固定される。膜部３６ｆは基体３０ｓに支持される。これらの電極に第１信号Ｓｇ１（例えば交流信号）が印加されることで、第１隣圧電層３１ｎが変形する。変形により、膜部３６ｆが変形する。変形により第１超音波１１ｗが発生する。
【0056】
圧電層における極性の違いにより、膜部３６ｆの変形の位相は、膜部３５ｆの変形の位相と、１８０°シフトする。これにより、素子１１ｎから送信される超音波の位相は、素子１１ａから送信される超音波の位相に対して１８０°シフトする。素子１１ｎから送信される超音波と、素子１１ａから送信される超音波と、は互いに弱め合う。
【0057】
このような構成により、クロストークが抑制される。検査装置１２０においても、検出精度を向上できる検査装置を提供できる。
【0058】
このように、実施形態において、複数の第１送信素子１１の別の１つ（例えば素子１１ｎ）から送信される第１超音波１１ｗの位相は、複数の第１送信素子１１の１つ（例えば素子１１ａ）から送信される第１超音波１１ｗの位相に対して１８０°シフトしている。
【0059】
図５に示すように、検査装置１２０において、制御部７０が設けられて良い。制御部７０は、第１送信部１１Ａから第１超音波１１ｗを送信させることが可能である。制御部７０は、第２送信部１２Ａから第２超音波１２ｗを送信させることが可能である。制御部７０は、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）に第１信号Ｓｇ１を供給し、複数の第１送信素子１１の別（隣）の１つ（素子１１ｎ）に第１信号Ｓｇ１を供給する。同じ第１信号Ｓｇ１が供給され、極性が逆の圧電層により、位相が１８０°シフトした超音波が送信される。
【0060】
この例では、制御部７０は、第１回路７１Ｇを含む。第１回路７１Ｇは、第１信号Ｓｇ１を生成可能である。第１回路７１Ｇの出力（第１信号Ｓｇ１）が、複数の第１送信素子１１（及び複数の第２送信素子１２）に供給される。
【0061】
図５に示すように、素子１２ａの第２位置ｐｐ２と、素子１１ａの第１位置ｐｐ１と、の間の距離は、第２位置ｐｐ２と、素子１１ｎの第１隣位置ｐｎ１との間の距離と、実質的に同じで良い。
【0062】
図５に示すように、複数の第１送信素子１１は、第１方向Ｄ１に沿って第１ピッチｐｔ１で並ぶ。複数の第２送信素子１２は、第１方向Ｄ１に沿って第１ピッチｐｔ１で並ぶ。複数の第２送信素子１２の第１方向Ｄ１における位置は、複数の第１送信素子１１の第１方向Ｄ１における位置を基準にして、第１ピッチｐｔ１の１／２でシフトして良い。
【0063】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に例示した構成が、複数の第１送信素子１１に適用されて良い。例えば、複数の第１送信素子１１のそれぞれに含まれる圧電層（第１圧電層３１ａ及び第１隣圧電層３１ｎなど）の極性は、複数の第１送信素子１１において交互に反転して良い。この場合において、制御部７０は、第１信号Ｓｇ１を複数の第１送信素子１１に供給可能である。
【0064】
図５に示すように、複数の第２送信素子１２は、素子１２ａと、素子１２ｎと、を含む。素子１２ｎは、素子１２ａの隣である。
【0065】
図６（ｃ）は、素子１２ａに対応する。図６（ｄ）は、素子１２ｎに対応する。
図６（ｃ）に示すように、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）は、第２圧電層３２ａを含む。図６（ｄ）に示すように、複数の第２送信素子１２の別（隣）の１つ（素子１２ｎ）は、第２隣圧電層３２ｎを含む。第２隣圧電層３２ｎの極性ｑ４は、第２圧電層３２ａの極性ｑ３に対して反転している。極性は、例えば、分極の向きである。極性は、例えば結晶方位である。
図６（ｃ）に示すように、複数の第２送信素子１２の１つ（素子１２ａ）は、第２圧電層３２ａを含む。図６（ｄ）に示すように、複数の第２送信素子１２の別（隣）の１つ（素子１２ｎ）は、第２隣圧電層３２ｎを含む。第２隣圧電層３２ｎの極性ｑ４は、第２圧電層３２ａの極性ｑ３に対して反転している。極性は、例えば、分極の向きである。極性は、例えば結晶方位である。
【0066】
図６（ｃ）に示すように、第２圧電層３２ａは、電極３７ａと電極３７ｂとの間に設けられる。第２圧電層３２ａ、電極３７ａ及び電極３７ｂを含む積層体が膜部３７ｆに固定される。膜部３７ｆは基体３０ｓに支持される。これらの電極に第１信号Ｓｇ１（例えば交流信号）が印加されることで、第２圧電層３２ａが変形する。変形により、膜部３７ｆが変形する。変形により第２超音波１２ｗが発生する。
【0067】
図６（ｄ）に示すように、第２隣圧電層３２ｎは、電極３８ａと電極３８ｂとの間に設けられる。第２隣圧電層３２ｎ、電極３８ａ及び電極３８ｂを含む積層体が膜部３８ｆに固定される。膜部３８ｆは基体３０ｓに支持される。これらの電極に第１信号Ｓｇ１（例えば交流信号）が印加されることで、第２隣圧電層３２ｎが変形する。変形により、膜部３８ｆが変形する。変形により第２超音波１２ｗが発生する。
【0068】
圧電層における極性の違いにより、膜部３８ｆの変形の位相は、膜部３７ｆの変形の位相と、１８０°シフトする。これにより、素子１２ｎから送信される超音波の位相は、素子１２ａから送信される超音波の位相に対して１８０°シフトする。素子１２ｎから送信される超音波と、素子１２ａから送信される超音波と、は互いに弱め合う。
【0069】
このような構成が、複数の第２送信素子１２に適用されて良い。例えば、複数の第２送信素子１２のそれぞれに含まれる圧電層の極性は、複数の第２送信素子１２において交互に反転して良い。制御部７０は、第１信号Ｓｇ１を複数の第２送信素子１２に供給可能である。
【0070】
【0071】
【0072】
実施形態において、複数の第１送信素子１１の別の１つ（例えば素子１１ｎ）から送信される第１超音波１１ｗの位相は、複数の第１送信素子１１の１つ（例えば素子１１ａ）から送信される第１超音波１１ｗの位相に対して１８０°シフトしている。
【0073】
検査装置１２０において、図４に関して説明した構成が適用されて良い。例えば、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）は、第１超音波１１ｗを発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜１１Ｆと、第１超音波１１ｗを導波させることが可能な第１送信導波部１１Ｇと、を含んで良い。
【0074】
検査装置１２０において、複数の第１受信素子２１の１つは、第１超音波１１ｗを導波させることが可能な第１受信導波部２１Ｇと、第１超音波１１ｗにより変形可能な第１受信トランスデューサ膜２１Ｆと、を含んで良い（図４参照）。第１送信導波部１１Ｇは、第１送信トランスデューサ膜１１Ｆと、第１受信トランスデューサ膜２１Ｆと、の間にある。第１受信導波部２１Ｇは、第１送信導波部１１Ｇと、第１受信トランスデューサ膜２１Ｆと、の間にある（図４参照）。
【0075】
（第３実施形態）
第３実施形態は、検査方法に係る。
実施形態に係る検査方法は、第１実施形態または第２実施形態に関して説明した構成を採用した方法で良い。
第３実施形態は、検査方法に係る。
実施形態に係る検査方法は、第１実施形態または第２実施形態に関して説明した構成を採用した方法で良い。
【0076】
図７は、第３実施形態に係る検査方法を例示するフローチャートである。
図７に示すように、検査方法において、超音波を送信し（ステップＳ１１０）する。検査方法において、超音波を受信して、検査対象８０を検査する（ステップＳ１２０）。
図７に示すように、検査方法において、超音波を送信し（ステップＳ１１０）する。検査方法において、超音波を受信して、検査対象８０を検査する（ステップＳ１２０）。
【0077】
ステップＳ１１０において、素子部１０Ｅ（図１参照）の第１送信部１１Ａから第１超音波１１ｗを送信させ、第２送信部１２Ａから第２超音波１２ｗを送信させる。素子部１０Ｅは、図３に例示した第１送信部１１Ａ及び第２送信部１２Ａを含む。素子部１０Ｅは、第１受信部２１Ａ及び第２受信部２２Ａを含む（図１参照）。
【0078】
検査方法において、例えば、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）に第１信号Ｓｇ１が供給される。複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｎ）に第１隣信号Ｓｎ１が供給される。第１隣信号Ｓｎ１は、第１信号Ｓｇ１の反転である。
【0079】
ステップＳ１２０において、第１送信部１１Ａと第１受信部２１Ａとの間、及び、第２送信部１２Ａと第２受信部２２Ａとの間の空間８８Ｓを第２方向Ｄ２に沿って移動する検査対象８０を検査する（図２参照）。
【0080】
実施形態に係る検査方法において、検査装置１２０に関して説明した構成が適用されても良い。例えば、複数の第１送信素子１１の１つ（素子１１ａ）は、第１圧電層３１ａを含む（図６（ａ）参照）。複数の第１送信素子１１の別の１つ（素子１１ｎ）は、第１隣圧電層３１ｎを含む（図６（ｂ）参照）。第１隣圧電層３１ｎの極性ｑ２は、第１圧電層３１ａの極性ｑ１に対して反転している（図６（ａ）及び図６（ｂ）参照）。
【0081】
実施形態に係る検査方法において、隣り合う送信素子から送信される超音波の位相が１８０°シフトする。これにより、例えばクロストークが抑制される。検出精度を向上できる検査方法を提供できる。
【0082】
実施形態に係る検査装置は、例えば、紙などのシート状の検査対象８０の厚さ、及び、テープの有無等を超音波により検出する。例えば、送信素子及び受信素子を含む複数のペアの間で、クロストークが生じ、検査精度が低下する場合がある。
【0083】
クロストークは、例えば、搬送方向６０Ｄと交差する方向に生じる横方向のクロストークと、搬送方向６０Ｄに生じる縦方向のクロストークと、を含む。
【0084】
縦方向のクロストークを抑制する参考例がある。参考例においては、クロストークが発生しないように、超音波の送信と停止とが制御される。このような参考例においては、検査の高速化、及び、高分解能化が不十分である。
【0085】
実施形態によれば、例えば、隣り合う送信素子の極性が反転される。簡単な構成により、縦クロストークを抑制できる。送信を停止する必要がない。システムは簡単である。例えば、検査対象８０の端部に関して高い精度で検査できる。
【0086】
実施形態は、以下の構成（技術案）を含んで良い。
（構成１）
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能な制御部であって、前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、前記第１隣信号は、前記第１信号の反転である、前記制御部と、
を備えた検査装置。
（構成１）
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能な制御部であって、前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、前記第１隣信号は、前記第１信号の反転である、前記制御部と、
を備えた検査装置。
【0087】
（構成２）
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、構成１に記載の検査装置。
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、構成１に記載の検査装置。
【0088】
（構成３）
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、構成１に記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、構成１に記載の検査装置。
【0089】
（構成４）
前記制御部は、前記第１信号及び前記第１隣信号を前記複数の第１送信素子に交互に供給可能である、構成１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
前記制御部は、前記第１信号及び前記第１隣信号を前記複数の第１送信素子に交互に供給可能である、構成１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
【0090】
（構成５）
前記制御部は、前記第１信号を生成可能な第１回路と、前記第１回路の出力を反転させる反転回路と、を含む、構成１～４のいずれか１つに記載の検査装置。
前記制御部は、前記第１信号を生成可能な第１回路と、前記第１回路の出力を反転させる反転回路と、を含む、構成１～４のいずれか１つに記載の検査装置。
【0091】
（構成６）
前記制御部は、前記複数の第２送信素子の前記１つに前記第１信号を供給し、前記複数の第２送信素子の別の１つに前記第１隣信号を供給し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣である、構成１～５のいずれか１つに記載の検査装置。
前記制御部は、前記複数の第２送信素子の前記１つに前記第１信号を供給し、前記複数の第２送信素子の別の１つに前記第１隣信号を供給し、
前記複数の第２送信素子の前記別の１つは、前記複数の第２送信素子の前記１つの隣である、構成１～５のいずれか１つに記載の検査装置。
【0092】
（構成７）
前記複数の第１送信素子の前記別の１つから送信される前記第１超音波の位相は、前記複数の第１送信素子の前記１つから送信される前記第１超音波の位相に対して１８０°シフトしている、構成１～６のいずれか１つに記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子の前記別の１つから送信される前記第１超音波の位相は、前記複数の第１送信素子の前記１つから送信される前記第１超音波の位相に対して１８０°シフトしている、構成１～６のいずれか１つに記載の検査装置。
【0093】
（構成８）
前記複数の第１送信素子の前記１つは、
前記第１超音波を発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜と、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１送信導波部と、
を含む、構成１～７のいずれか１つに記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子の前記１つは、
前記第１超音波を発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜と、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１送信導波部と、
を含む、構成１～７のいずれか１つに記載の検査装置。
【0094】
（構成９）
前記複数の第１受信素子の１つは、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１受信導波部と、
前記第１超音波により変形可能な第１受信トランスデューサ膜と、
を含み、
前記第１送信導波部は、前記第１送信トランスデューサ膜と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にあり、
前記第１受信導波部は、前記第１送信導波部と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にある、構成８に記載の検査装置。
前記複数の第１受信素子の１つは、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１受信導波部と、
前記第１超音波により変形可能な第１受信トランスデューサ膜と、
を含み、
前記第１送信導波部は、前記第１送信トランスデューサ膜と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にあり、
前記第１受信導波部は、前記第１送信導波部と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にある、構成８に記載の検査装置。
【0095】
（構成１０）
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部であって、前記複数の第１送信素子の１つは、第１圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の別の１つは、第１隣圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、前記第１隣圧電層の極性は、前記第１圧電層の極性に対して反転している、前記第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備えた検査装置。
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部であって、前記複数の第１送信素子の１つは、第１圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の別の１つは、第１隣圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、前記第１隣圧電層の極性は、前記第１圧電層の極性に対して反転している、前記第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備えた検査装置。
【0096】
（構成１１）
前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能な制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに前記第１信号を供給する、構成１０に記載の検査装置。
前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能な制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに前記第１信号を供給する、構成１０に記載の検査装置。
【0097】
（構成１２）
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、構成１０または１１に記載の検査装置。
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、構成１０または１１に記載の検査装置。
【0098】
（構成１３）
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、構成１０または１１に記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、構成１０または１１に記載の検査装置。
【0099】
（構成１４）
前記複数の第１送信素子のそれぞれに含まれる圧電層の極性は、前記複数の第１送信素子において交互に反転し、
前記制御部は、前記第１信号を前記複数の第１送信素子に供給可能である、構成１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子のそれぞれに含まれる圧電層の極性は、前記複数の第１送信素子において交互に反転し、
前記制御部は、前記第１信号を前記複数の第１送信素子に供給可能である、構成１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
【0100】
（構成１５）
前記複数の第２送信素子のそれぞれに含まれる圧電層の極性は、前記複数の第２送信素子において交互に反転し、
前記制御部は、前記第１信号を前記複数の第２送信素子に供給可能である、構成１４に記載の検査装置。
（構成１６）
前記複数の第１送信素子の前記別の１つから送信される前記第１超音波の位相は、前記複数の第１送信素子の前記１つから送信される前記第１超音波の位相に対して１８０°シフトしている、構成１０～１５のいずれか１つに記載の検査装置。
前記複数の第２送信素子のそれぞれに含まれる圧電層の極性は、前記複数の第２送信素子において交互に反転し、
前記制御部は、前記第１信号を前記複数の第２送信素子に供給可能である、構成１４に記載の検査装置。
（構成１６）
前記複数の第１送信素子の前記別の１つから送信される前記第１超音波の位相は、前記複数の第１送信素子の前記１つから送信される前記第１超音波の位相に対して１８０°シフトしている、構成１０～１５のいずれか１つに記載の検査装置。
【0101】
（構成１７）
前記複数の第１送信素子の前記１つは、
前記第１超音波を発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜と、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１送信導波部と、
を含む、構成１０～１６のいずれか１つに記載の検査装置。
前記複数の第１送信素子の前記１つは、
前記第１超音波を発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜と、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１送信導波部と、
を含む、構成１０～１６のいずれか１つに記載の検査装置。
【0102】
（構成１８）
前記複数の第１受信素子の１つは、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１受信導波部と、
前記第１超音波により変形可能な第１受信トランスデューサ膜と、
を含み、
前記第１送信導波部は、前記第１送信トランスデューサ膜と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にあり、
前記第１受信導波部は、前記第１送信導波部と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にある、構成１７に記載の検査装置。
前記複数の第１受信素子の１つは、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１受信導波部と、
前記第１超音波により変形可能な第１受信トランスデューサ膜と、
を含み、
前記第１送信導波部は、前記第１送信トランスデューサ膜と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にあり、
前記第１受信導波部は、前記第１送信導波部と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にある、構成１７に記載の検査装置。
【0103】
（構成１９）
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
を含む素子部の前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させ、
前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、
前記第１隣信号は、前記第１信号の反転であり、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間を前記第２方向に沿って移動する検査対象を検査する、検査方法。
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
を含む素子部の前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させ、
前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、
前記第１隣信号は、前記第１信号の反転であり、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間を前記第２方向に沿って移動する検査対象を検査する、検査方法。
【0104】
（構成２０）
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部であって、前記複数の第１送信素子の１つは、第１圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の別の１つは、第１隣圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、前記第１隣圧電層の極性は、前記第１圧電層の極性に対して反転している、前記第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
を含む素子部の前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させて、前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間を通過する検査対象を検査する、検査方法。
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部であって、前記複数の第１送信素子の１つは、第１圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の別の１つは、第１隣圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、前記第１隣圧電層の極性は、前記第１圧電層の極性に対して反転している、前記第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
を含む素子部の前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させて、前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間を通過する検査対象を検査する、検査方法。
【0105】
実施形態によれば、検出感度を向上できる検査装置及び検査方法が提供できる。
【0106】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、検査装置に含まれる送信部、送信素子、受信部、受信素子、搬送部、及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
【0107】
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【0108】
その他、本発明の実施の形態として上述した検査装置及び検査方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての検査装置及び検査方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【0109】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【0110】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0111】
１０Ｅ：素子部、 １１、１２：第１、第２送信素子、 １１Ａ、１２Ａ：第１、第２送信部、 １１Ｆ、１２Ｆ：第１、第２送信トランスデューサ膜、 １１Ｇ、１２Ｇ：第１、第２送信導波部、 １１ａ、１１ｎ、１２ａ、１２ｎ：素子、 １１ｗ、１２ｗ：第１、第２超音波、 ２１、２２：第１、第２受信素子、 ２１Ａ、２２Ａ：第１、第２受信部、 ２１Ｆ、２２Ｆ：第１、第２受信トランスデューサ膜、 ２１Ｇ、２２Ｇ：第１、第２受信導波部、 ２１ａ、２２ａ：素子、 ３０ｓ：基体、 ３１ａ、３２ａ：第１、第２圧電層、 ３１ｎ、３２ｎ：第１、第２隣圧電層、 ３５ａ、３５ｂ、３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂ、３８ａ、３８ｂ：電極、 ３５ｆ、３６ｆ、３７ｆ、３８ｆ：膜部、 ６０：搬送部、 ６０Ｄ：搬送方向、 ６１～６４：第１～第４搬送部、 ７０：制御部、 ７１Ｄ：差動回路、 ７１Ｇ：第１回路、 ７１Ｒ：反転回路、 ８０：検査対象、 ８８Ｓ：空間、 １１０、１１０ａ、１２０：検査装置、 Ｄ１、Ｄ２：第１、第２方向、 Ｒ１、Ｒ２：抵抗、 ｄ１、ｄ２：第１、第２距離、 ｄｘ１：距離、 Ｓｇ１：第１信号、 Ｓｎ１：第１隣信号、 ｐｎ１、ｐｎ２：第１、第２隣位置、 ｐｐ１、ｐｐ２：第１、第２位置、 ｐｔ１：第１ピッチ、 ｑ１～ｑ４：極性
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】