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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024114216
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】光モジュールおよび光制御装置
(51)【国際特許分類】
H01S 5/02255 20210101AFI20240816BHJP
H01S 5/02355 20210101ALI20240816BHJP
G02B 26/10 20060101ALI20240816BHJP
【ＦＩ】
H01S5/02255
H01S5/02355
G02B26/10 104Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023019843
(22)【出願日】2023-02-13
(71)【出願人】
【識別番号】000002130
【氏名又は名称】住友電気工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100136098
【弁理士】
【氏名又は名称】北野 修平
(74)【代理人】
【識別番号】100137246
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 勝也
(74)【代理人】
【識別番号】100158861
【弁理士】
【氏名又は名称】南部 史
(74)【代理人】
【識別番号】100194674
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 覚史
(72)【発明者】
【氏名】中西 裕美
【テーマコード（参考）】
2H045
5F173
【Ｆターム（参考）】
2H045AB01
2H045BA12
2H045BA24
5F173MA10
5F173MC15
5F173MD59
5F173MD64
5F173ME22
5F173ME33
5F173ME44
5F173ME47
5F173ME85
5F173MF03
5F173MF18
5F173MF27
5F173MF28
(57)【要約】
【課題】レーザダイオードから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュールは、第１レーザダイオードと、第１サブマウントと、第１基板と、第１透過窓を有し、第１基板にハーメチックシールされて第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを覆う第１キャップと、第１キャップに固定されて、第１基板と第１キャップとによって取り囲まれる第１空間の外部に配置され、第１透過窓を透過した光を第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する第１反射ミラーと、を備える。第１サブマウントは、第１－１面と、第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含む。第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が平行となるように第１－１面に搭載される。第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載される。
【選択図】図１
【解決手段】光モジュールは、第１レーザダイオードと、第１サブマウントと、第１基板と、第１透過窓を有し、第１基板にハーメチックシールされて第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを覆う第１キャップと、第１キャップに固定されて、第１基板と第１キャップとによって取り囲まれる第１空間の外部に配置され、第１透過窓を透過した光を第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する第１反射ミラーと、を備える。第１サブマウントは、第１－１面と、第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含む。第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が平行となるように第１－１面に搭載される。第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載される。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の光を出射する第１レーザダイオードと、
前記第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、
前記第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、
前記第１レーザダイオードから出射される前記第１の光を透過する第１透過窓を有し、前記第１基板にハーメチックシールされて前記第１レーザダイオードおよび前記第１サブマウントを覆う第１キャップと、
前記第１キャップに固定されて、前記第１基板と前記第１キャップとによって取り囲まれる第１空間の外部に配置され、前記第１レーザダイオードから出射され、前記第１透過窓を透過した光を前記第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する第１反射ミラーと、を備え、
前記第１サブマウントは、
第１－１面と、
前記第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含み、
前記第１レーザダイオードは、前記第１主面に対して前記第１の光の光軸方向が平行となるように前記第１－１面に搭載され、
前記第１サブマウントは、前記第１－２面と前記第１主面とが対向するように前記第１基板に搭載される、光モジュール。
前記第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、
前記第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、
前記第１レーザダイオードから出射される前記第１の光を透過する第１透過窓を有し、前記第１基板にハーメチックシールされて前記第１レーザダイオードおよび前記第１サブマウントを覆う第１キャップと、
前記第１キャップに固定されて、前記第１基板と前記第１キャップとによって取り囲まれる第１空間の外部に配置され、前記第１レーザダイオードから出射され、前記第１透過窓を透過した光を前記第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する第１反射ミラーと、を備え、
前記第１サブマウントは、
第１－１面と、
前記第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含み、
前記第１レーザダイオードは、前記第１主面に対して前記第１の光の光軸方向が平行となるように前記第１－１面に搭載され、
前記第１サブマウントは、前記第１－２面と前記第１主面とが対向するように前記第１基板に搭載される、光モジュール。
【請求項2】
前記第１空間の外部に配置され、光の中心波長帯域および偏光方向の少なくともいずれか一つが前記第１の光と異なる第４の光を出射する第４レーザダイオードと、
前記第１空間の外部に配置され、前記第４レーザダイオードを搭載する第４サブマウントと、
前記第１空間の外部に配置され、前記第４サブマウントを搭載する第２主面を有する第２基板と、
前記第４レーザダイオードから出射される前記第４の光を透過する第２透過窓を有し、前記第２基板にハーメチックシールされて前記第４レーザダイオードおよび前記第４サブマウントを覆う第２キャップと、
前記第２キャップに固定されて、前記第１反射ミラーと前記走査ミラーとの間であって、前記第２基板と前記第２キャップとによって取り囲まれる第２空間および前記第１空間の外部に配置され、前記第１の光と前記第４の光とを合波するフィルタと、をさらに備える、請求項１に記載の光モジュール。
前記第１空間の外部に配置され、前記第４レーザダイオードを搭載する第４サブマウントと、
前記第１空間の外部に配置され、前記第４サブマウントを搭載する第２主面を有する第２基板と、
前記第４レーザダイオードから出射される前記第４の光を透過する第２透過窓を有し、前記第２基板にハーメチックシールされて前記第４レーザダイオードおよび前記第４サブマウントを覆う第２キャップと、
前記第２キャップに固定されて、前記第１反射ミラーと前記走査ミラーとの間であって、前記第２基板と前記第２キャップとによって取り囲まれる第２空間および前記第１空間の外部に配置され、前記第１の光と前記第４の光とを合波するフィルタと、をさらに備える、請求項１に記載の光モジュール。
【請求項3】
前記第１の光の中心波長帯域と前記第４の光の中心波長帯域とは、同じであり、
前記第１の光の偏光方向は、前記第４の光の偏光方向と異なる、請求項２に記載の光モジュール。
前記第１の光の偏光方向は、前記第４の光の偏光方向と異なる、請求項２に記載の光モジュール。
【請求項4】
前記第４サブマウントは、
前記第４レーザダイオードを搭載する第４－１面と、
前記第４－１面と垂直に交差する第４－２面と、
前記第４－２面と垂直に交差し、前記第４－１面と間隔をあけて配置される第４－３面と、を含み、
前記第４サブマウントは、前記第４－３面と前記第２主面とが対向するように、前記第２基板に搭載される、請求項２に記載の光モジュール。
前記第４レーザダイオードを搭載する第４－１面と、
前記第４－１面と垂直に交差する第４－２面と、
前記第４－２面と垂直に交差し、前記第４－１面と間隔をあけて配置される第４－３面と、を含み、
前記第４サブマウントは、前記第４－３面と前記第２主面とが対向するように、前記第２基板に搭載される、請求項２に記載の光モジュール。
【請求項5】
前記第１の光の中心波長帯域と前記第４の光の中心波長帯域とは、異なる、請求項２に記載の光モジュール。
【請求項6】
第１の光を出射する第１レーザダイオードと、
前記第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、
前記第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、
前記第１レーザダイオードから出射される前記第１の光を透過する第１透過窓を有し、前記第１基板にハーメチックシールされて前記第１レーザダイオードおよび前記第１サブマウントを覆う第１キャップと、を備え、
前記第１サブマウントは、
第１－１面と、
前記第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含み、
前記第１レーザダイオードは、前記第１主面に対して前記第１の光の光軸方向が傾斜するように前記第１－１面に搭載され、
前記第１サブマウントは、前記第１－２面と前記第１主面とが対向するように前記第１基板に搭載される、光モジュール。
前記第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、
前記第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、
前記第１レーザダイオードから出射される前記第１の光を透過する第１透過窓を有し、前記第１基板にハーメチックシールされて前記第１レーザダイオードおよび前記第１サブマウントを覆う第１キャップと、を備え、
前記第１サブマウントは、
第１－１面と、
前記第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含み、
前記第１レーザダイオードは、前記第１主面に対して前記第１の光の光軸方向が傾斜するように前記第１－１面に搭載され、
前記第１サブマウントは、前記第１－２面と前記第１主面とが対向するように前記第１基板に搭載される、光モジュール。
【請求項7】
前記第１レーザダイオードは、
前記第１の光が出射する側の端面である第１端面と、
前記第１端面と前記第１の光の出射方向において反対側に位置する第２端面と、を含み、
前記第１端面は、前記第１端面に垂直な方向から見て、
前記第１レーザダイオードの厚さ方向であり前記第１基板に近い方の第１辺と、
前記第１辺の反対側に位置する第２辺と、を含み、
前記第１－１面に垂直な方向から見て、前記第１辺および前記第２辺のいずれか一方は、前記第１－１面と重なり、前記第１辺および前記第２辺の他方は、前記第１－１面から突出している、請求項６に記載の光モジュール。
前記第１の光が出射する側の端面である第１端面と、
前記第１端面と前記第１の光の出射方向において反対側に位置する第２端面と、を含み、
前記第１端面は、前記第１端面に垂直な方向から見て、
前記第１レーザダイオードの厚さ方向であり前記第１基板に近い方の第１辺と、
前記第１辺の反対側に位置する第２辺と、を含み、
前記第１－１面に垂直な方向から見て、前記第１辺および前記第２辺のいずれか一方は、前記第１－１面と重なり、前記第１辺および前記第２辺の他方は、前記第１－１面から突出している、請求項６に記載の光モジュール。
【請求項8】
光の中心波長帯域が前記第１の光と異なる第２の光を出射する第２レーザダイオードと、
前記第１サブマウントと隣り合って配置され、前記第２レーザダイオードを搭載する第２サブマウントと、をさらに備え、
前記第２サブマウントは、
第２－１面と、
前記第２－１面と垂直に交差する第２－２面と、を含み、
前記第２レーザダイオードは、前記第１主面に対して前記第２の光の光軸方向が傾斜するように前記第２－１面に搭載され、
前記第２サブマウントは、前記第２－２面と前記第１主面とが対向するように前記第１基板に搭載される、請求項６または請求項７に記載の光モジュール。
前記第１サブマウントと隣り合って配置され、前記第２レーザダイオードを搭載する第２サブマウントと、をさらに備え、
前記第２サブマウントは、
第２－１面と、
前記第２－１面と垂直に交差する第２－２面と、を含み、
前記第２レーザダイオードは、前記第１主面に対して前記第２の光の光軸方向が傾斜するように前記第２－１面に搭載され、
前記第２サブマウントは、前記第２－２面と前記第１主面とが対向するように前記第１基板に搭載される、請求項６または請求項７に記載の光モジュール。
【請求項9】
前記第１基板には、前記第１レーザダイオードと電気的に接続される回路パターンが形成されている、請求項１または請求項６に記載の光モジュール。
【請求項10】
前記第１サブマウントは、前記第１－１面と垂直に交差し、前記第１－２面と間隔をあけて配置される第１－４面を含み、
前記第１サブマウントには、前記第１－１面および前記第１－４面に跨って第１パッドが設けられており、
前記第１レーザダイオードは、前記第１－１面に設けられた前記第１パッドと、第１ワイヤボンディングを介して電気的に接続され、
前記回路パターンは、前記第１－４面に設けられた前記第１パッドと、第２ワイヤボンディングを介して電気的に接続される、請求項９に記載の光モジュール。
前記第１サブマウントには、前記第１－１面および前記第１－４面に跨って第１パッドが設けられており、
前記第１レーザダイオードは、前記第１－１面に設けられた前記第１パッドと、第１ワイヤボンディングを介して電気的に接続され、
前記回路パターンは、前記第１－４面に設けられた前記第１パッドと、第２ワイヤボンディングを介して電気的に接続される、請求項９に記載の光モジュール。
【請求項11】
前記第１サブマウントには、前記第１－１面および前記第１－２面に跨って第１パッドが設けられており、
前記第１レーザダイオードは、前記第１－１面に設けられた前記第１パッドと、第１ワイヤボンディングを介して電気的に接続され、
前記回路パターンは、前記第１－２面に設けられた前記第１パッドと導電材料を介して接触することにより電気的に接続される、請求項９に記載の光モジュール。
前記第１レーザダイオードは、前記第１－１面に設けられた前記第１パッドと、第１ワイヤボンディングを介して電気的に接続され、
前記回路パターンは、前記第１－２面に設けられた前記第１パッドと導電材料を介して接触することにより電気的に接続される、請求項９に記載の光モジュール。
【請求項12】
請求項１または請求項６に記載の光モジュールと、
前記第１空間の外部に配置され、前記第１の光が入射する走査ミラーを含み、前記走査ミラーを走査するミラー駆動機構と、を含む、光制御装置。
前記第１空間の外部に配置され、前記第１の光が入射する走査ミラーを含み、前記走査ミラーを走査するミラー駆動機構と、を含む、光制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、光モジュールおよび光制御装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
レーザダイオードを含む光モジュールが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】ＷＯ２０１９／０６９７７５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
光モジュールは、レーザ光を出射するレーザダイオードを含む。レーザダイオードから出射される光については、所望の出射方向へ出射されることが望ましい。この場合、光の出力に対する影響をできるだけ低減することが望ましい。
【0005】
そこで、レーザダイオードから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる光モジュールを提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示に従った光モジュールは、第１の光を出射する第１レーザダイオードと、第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、第１レーザダイオードから出射される第１の光を透過する第１透過窓を有し、第１基板にハーメチックシールされて第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを覆う第１キャップと、第１キャップに固定されて、第１基板と第１キャップとによって取り囲まれる第１空間の外部に配置され、第１レーザダイオードから出射され、第１透過窓を透過した光を第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する第１反射ミラーと、を備える。第１サブマウントは、第１－１面と、第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含む。第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が平行となるように第１－１面に搭載される。第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載される。
【発明の効果】
【0007】
このような光モジュールによると、レーザダイオードから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示に係る光モジュールは、
（１）第１の光を出射する第１レーザダイオードと、第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、第１レーザダイオードから出射される第１の光を透過する第１透過窓を有し、第１基板にハーメチックシールされて第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを覆う第１キャップと、第１キャップに固定されて、第１基板と第１キャップとによって取り囲まれる第１空間の外部に配置され、第１レーザダイオードから出射され、第１透過窓を透過した光を第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する第１反射ミラーと、を備える。第１サブマウントは、第１－１面と、第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含む。第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が平行となるように第１－１面に搭載される。第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載される。
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示に係る光モジュールは、
（１）第１の光を出射する第１レーザダイオードと、第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、第１レーザダイオードから出射される第１の光を透過する第１透過窓を有し、第１基板にハーメチックシールされて第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを覆う第１キャップと、第１キャップに固定されて、第１基板と第１キャップとによって取り囲まれる第１空間の外部に配置され、第１レーザダイオードから出射され、第１透過窓を透過した光を第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する第１反射ミラーと、を備える。第１サブマウントは、第１－１面と、第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含む。第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が平行となるように第１－１面に搭載される。第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載される。
【0010】
このような光モジュールによると、第１レーザダイオードは、第１サブマウントに搭載されているため、第１レーザダイオードの駆動時における発熱を第１サブマウントにより効率的に放熱することができる。第１レーザダイオードは、第１キャップと第１基板とによりハーメチックシールされた第１空間内に配置されているため、第１レーザダイオードから出射されるレーザ光（第１の光）の出力を安定させて高出力とすることができる。第１キャップには、第１透過窓が設けられているため、第１レーザダイオードから出射された第１の光を、第１透過窓を通して第１空間の外部に出射することができる。また、第１空間の外部には、第１キャップに固定されて第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ第１の光を反射する第１反射ミラーが備えられている。したがって、この第１反射ミラーを利用して第１透過窓を透過した第１の光を第１キャップの外部の所望する方向に角度を変えて出射することができる。
【0011】
第１レーザダイオードは、安定した光の出射を実現すべく高精度に位置決めすると共に、放熱や電子回路上の特性を確保する観点から、予め第１基板上の所定の位置に配置した上で第１キャップによりハーメチックシールした後、例えば高温処理を伴うリフローにより第１基板上に固定されることが好ましい。ここで、第１レーザダイオードから出射された第１の光の出射方向を所望の角度に変える際に、ミラーといった光学部品を用いる場合がある。このような光学部品は、固定された第１レーザダイオードの光軸等を考慮して、樹脂製の接合材によりその位置が微調整されて第１基板に取り付けられる。ハーメチックシールされて密封空間となった第１空間内に、光学部品を接合する樹脂製の接合材が存在すると、高温となるリフロー環境に接合剤が耐え切れず、接合材の炭化や光学部品の軸ずれを引き起こすこととなる。そうすると、光学部品の取り付けにおける強度的な問題や精度的な問題等が生ずるおそれがある。また、リフロー温度に曝された樹脂製の接合材において、接合材を構成する分子の一部が第１空間内において気化して第１空間内を汚染し、その結果、第１レーザダイオードの出力の低下を招くおそれがある。
【0012】
しかし、上記構成によると、第１の光を所望する方向に角度を変えて出射する第１反射ミラーが第１空間の外部に備えられているため、ハーメチックシールされた第１空間内に、樹脂製の接合材を用いて光学部品等を取り付ける必要がない。したがって、第１レーザダイオードのリフローによる高精度な位置決めを実現すると共に、ハーメチックシールされた第１空間内の汚染に基づく第１レーザダイオードの出力の低下を防止することができる。この場合、第１キャップに固定された第１反射ミラーにより第１の光を所望する方向に角度を変えて出射することができるため、上記したように透過窓を透過した第１の光を第１キャップの外部の所望する方向に角度を変えて出射することができる。
【0013】
ここで、第１レーザダイオードは、第１の光の光軸方向が平行となるように、第１－１面に搭載され、第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載されている。上記光モジュールは、このような用途が求められる場合に、有効に利用される。また、第１レーザダイオードは、搭載される第１サブマウントにより十分に放熱することができる。
【0014】
以上より、このような光モジュールによると、レーザダイオードから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる。
【0015】
（２）上記（１）において、光モジュールは、第１空間の外部に配置され、光の中心波長帯域および偏光方向の少なくともいずれか一つが第１の光と異なる第４の光を出射する第４レーザダイオードと、第１空間の外部に配置され、第４レーザダイオードを搭載する第４サブマウントと、第１空間の外部に配置され、第４サブマウントを搭載する第２主面を有する第２基板と、第４レーザダイオードから出射される第４の光を透過する第２透過窓を有し、第２基板にハーメチックシールされて第４レーザダイオードおよび第４サブマウントを覆う第２キャップと、第２キャップに固定されて、第１反射ミラーと走査ミラーとの間であって、第２基板と第２キャップとによって取り囲まれる第２空間および第１空間の外部に配置され、第１の光と第４の光とを合波するフィルタと、をさらに備えてもよい。このようにすることにより、光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる第１レーザダイオードから出射される第１の光と、光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる第４レーザダイオードから出射される第４の光と、を合波して、出力の増大を図ったり、複数の色の光を出射することができる。したがって、よりユーザの利便性の向上を図った光モジュールを得ることができる。ここで、光の中心波長帯域が異なるとは、例えば第１の光の中心波長帯域と第４の光の中心波長帯域との差が、３０ｎｍよりも大きいことをいう。
【0016】
（３）上記（２）において、第１の光の中心波長帯域と第４の光の中心波長帯域とは、同じであってもよい。第１の光の偏光方向は、第４の光の偏光方向と異なってもよい。このようにすることにより、光の中心波長帯域が同じであり、偏光方向の異なる第１の光と第４の光とを同じ傾斜の角度で出射して合波することが容易となる。そうすると、偏光方向の異なる第１の光と第４の光とを合波して、光の中心波長帯域が同じ第１の光の出力を高くすることができる。ここで、光の中心波長帯域が同じとは、第１の光の中心波長帯域と第４の光の中心波長帯域との差が、偏光方向が同じであるときに互いに可干渉性を有する程度の波長の差のことをいう。
【0017】
（４）上記（２）または（３）において、第４サブマウントは、第４レーザダイオードを搭載する第４－１面と、第４－１面と垂直に交差する第４－２面と、第４－２面と垂直に交差し、第４－１面と間隔をあけて配置される第４－３面と、を含んでもよい。第４サブマウントは、第４－３面と第２主面とが対向するように、第２基板に搭載されてもよい。上記光モジュールは、第４の光がこのような偏光方向であることをユーザが所望する場合に、容易に対応することができる。
【0018】
（５）上記（２）から（４）のいずれかにおいて、第１の光の中心波長帯域と第４の光の中心波長帯域とは、異なってもよい。このようにすることにより、第１の光に加え、光の中心波長帯域の異なる第４の光を所望の出射方向へ出射することができる。この場合、第１レーザダイオードの傾斜の角度と第４レーザダイオードの傾斜の角度を同じとすることにより、第１の光と第４の光とを同じ角度で出射することができる。そうすると、出射された第１の光と第４の光とを合波することが容易となる。
【0019】
また、本開示に係る光モジュールは、
（６）第１の光を出射する第１レーザダイオードと、第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、第１レーザダイオードから出射される第１の光を透過する第１透過窓を有し、第１基板にハーメチックシールされて第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを覆う第１キャップと、を備える。第１サブマウントは、第１－１面と、第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含む。第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が傾斜するように第１－１面に搭載される。第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載される。
（６）第１の光を出射する第１レーザダイオードと、第１レーザダイオードを搭載する第１サブマウントと、第１サブマウントを搭載する第１主面を有する第１基板と、第１レーザダイオードから出射される第１の光を透過する第１透過窓を有し、第１基板にハーメチックシールされて第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを覆う第１キャップと、を備える。第１サブマウントは、第１－１面と、第１－１面と垂直に交差する第１－２面と、を含む。第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が傾斜するように第１－１面に搭載される。第１サブマウントは、第１－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載される。
【0020】
このような光モジュールによると、第１レーザダイオードは、第１主面に対して第１の光の光軸方向が傾斜するように第１－１面に搭載されるため、第１レーザダイオードを出射したい方向に第１レーザダイオードを傾斜させて、所望する方向に第１の光を出射することができる。そして、第１基板の角度等を調整して、第１透過窓を透過した第１の光を第１キャップの外部の所望する方向に角度を変えて出射することができる。また、ハーメチックシールされた第１空間内に、樹脂製の接合材を用いて光学部品等を取り付ける必要がない。したがって、例えば、第１レーザダイオードのリフローによる高精度な位置決めを実現すると共に、ハーメチックシールされた第１空間内の汚染に基づく第１レーザダイオードの出力の低下を防止することができる。したがって、このような光モジュールによると、レーザダイオードから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる。
【0021】
（７）上記（６）において、第１レーザダイオードは、第１の光が出射する側の端面である第１端面と、第１端面と第１の光の出射方向において反対側に位置する第２端面と、を含んでもよい。第１端面は、第１端面２１ｇに垂直な方向から見て、第１レーザダイオードの厚さ方向であり第１基板に近い方の第１辺と、第１辺の反対側に位置する第２辺と、を含んでもよい。第１－１面に垂直な方向から見て、第１辺および第２辺のいずれか一方は、第１－１面と重なり、第１辺および第２辺の他方は、第１－１面から突出していてもよい。このようにすることにより、第１の光が第１－１面に遮られず強い光強度を維持し、かつ、第１レーザダイオードを効率よく放熱することができる。したがって、光の出力の大きさを維持し、かつ、安定させることができる。
【0022】
（８）上記（６）または（７）において、光モジュールは、光の中心波長帯域が第１の光と異なる第２の光を出射する第２レーザダイオードと、第１サブマウントと隣り合って配置され、第２レーザダイオードを搭載する第２サブマウントと、をさらに備えてもよい。第２サブマウントは、第２－１面と、第２－１面と垂直に交差する第２－２面と、を含んでもよい。第２レーザダイオードは、第１主面に対して第２の光の光軸方向が傾斜するように第２－１面に搭載されてもよい。第２サブマウントは、第２－２面と第１主面とが対向するように第１基板に搭載されてもよい。このようにすることにより、光の中心波長帯域が第１の光と異なる第２の光を出射する第２レーザダイオードは、第１主面に対して第２の光の光軸方向が傾斜するように第２－１面に搭載されるため、第２の光を出射したい方向に第２レーザダイオードを傾斜させて、所望する方向に第２の光を出射することができる。そうすると、第１の光に加え、第２の光を所望の出射方向へ出射することができる。この場合、第１レーザダイオードの傾斜の角度と第２レーザダイオードの傾斜の角度を同じとすることにより、第１の光と第２の光とを同じ角度で出射することができる。そうすると、光の中心波長帯域の異なる第１の光と第２の光とを合波して複数の色の光を出射することが容易となる。
【0023】
（９）上記（１）から（８）のいずれかにおいて、第１基板には、第１レーザダイオードと電気的に接続される回路パターンが形成されていてもよい。このようにすることにより、第１レーザダイオードの動作を制御する配線の取り回しをより簡略化することができる。したがって、装置構成のコンパクト化を図ることが容易となる。
【0024】
（１０）上記（９）において、第１サブマウントは、第１－１面と垂直に交差し、第１－２面と間隔をあけて配置される第１－４面を含んでもよい。第１サブマウントには、第１－１面および第１－４面に跨って第１パッドが設けられていてもよい。第１レーザダイオードは、第１－１面に設けられた第１パッドと、第１ワイヤボンディングを介して電気的に接続されてもよい。回路パターンは、第１－４面に設けられた第１パッドと、第２ワイヤボンディングを介して電気的に接続されてもよい。このようにすることにより、第１パッドと第１レーザダイオード、第１レーザダイオードと回路パターンとを接続するそれぞれのワイヤを短くすることができ、ワイヤの配線抵抗の低減を図ることができる。
【0025】
（１１）上記（９）または（１０）において、第１サブマウントには、第１－１面および第１－２面に跨って第１パッドが設けられていてもよい。第１レーザダイオードは、第１－１面に設けられた第１パッドと、第１ワイヤボンディングを介して電気的に接続されてもよい。回路パターンは、第１－２面に設けられた第１パッドと、導電材料を介して接触することにより電気的に接続されてもよい。このようにすることにより、第１レーザダイオードと第１パッドとをワイヤで電気的に接続しながら、ワイヤを用いることなく回路パターンと第１パッドとを電気的に接続することができ、より配線抵抗の低減を図ることができる。
【0026】
（１２）本開示に係る光制御装置は、上記（１）から（１１）のいずれかの光モジュールと、第１空間の外部に配置され、第１の光が入射する走査ミラーを含み、走査ミラーを走査するミラー駆動機構と、を含む。
【0027】
このような光制御装置によると、光モジュールから出射された第１の光を走査して、レーザ光による文字や図形を描画することが容易となる。この場合、光制御装置は、レーザダイオードから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる上記構成の光モジュールを含むため、安定して高品質な画像を描画することができる。
【0028】
［本開示の実施形態の詳細］
次に、本開示の光モジュールおよび光制御装置の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付しその説明は繰り返さない。
次に、本開示の光モジュールおよび光制御装置の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付しその説明は繰り返さない。
【0029】
（実施の形態１）
本開示の実施の形態１における光モジュールおよび光制御装置について説明する。図１は、実施の形態１における光モジュールを含む光制御装置の概略断面図である。図２は、それぞれ後述する第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを拡大して示す概略斜視図である。図１および図２において、Ｘ方向は、後述する第１レーザダイオードから出射される第１の光の光軸方向を示し、Ｚ方向は、光制御装置の高さ方向を示す。Ｚ方向は、Ｘ方向に垂直である。Ｙ方向は、Ｘ方向およびＺ方向にそれぞれ垂直な方向である。図１は、Ｘ－Ｚ平面で切断した場合の断面図である。理解を容易にする観点から、図１に示す構成部材の一部およびハッチングを省略して図示している。
本開示の実施の形態１における光モジュールおよび光制御装置について説明する。図１は、実施の形態１における光モジュールを含む光制御装置の概略断面図である。図２は、それぞれ後述する第１レーザダイオードおよび第１サブマウントを拡大して示す概略斜視図である。図１および図２において、Ｘ方向は、後述する第１レーザダイオードから出射される第１の光の光軸方向を示し、Ｚ方向は、光制御装置の高さ方向を示す。Ｚ方向は、Ｘ方向に垂直である。Ｙ方向は、Ｘ方向およびＺ方向にそれぞれ垂直な方向である。図１は、Ｘ－Ｚ平面で切断した場合の断面図である。理解を容易にする観点から、図１に示す構成部材の一部およびハッチングを省略して図示している。
【0030】
図１および図２を参照して、実施の形態１における光制御装置１０ａは、光モジュール１１ａと、ミラー駆動機構１２ａと、を含む。光制御装置１０ａは、光モジュール１１ａおよびミラー駆動機構１２ａを支持する土台部１９ａを含む。光制御装置１０ａは、光モジュール１１ａに含まれる第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光をミラー駆動機構１２ａで走査しながら光制御装置１０ａの外部へ出射し、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光を用いて、文字や図形等の画像１３ａを描画する。
【0031】
光モジュール１１ａは、第１レーザダイオード２０ａと、第１レーザダイオード２０ａを搭載する第１サブマウント３０ａと、第１サブマウント３０ａを搭載する第１基板４０ａと、第１キャップ５０ａと、第１反射ミラー６０ａと、を含む。第１レーザダイオード２０ａは、第１の光を出射する。第１レーザダイオード２０ａは、第１の光が出射する側の端面である第１端面２１ａと、第１端面２１ａと第１の光の出射方向において反対側に位置する第２端面２２ａと、を含む。第１端面２１ａに垂直な方向から見て、第１端面２１ａは、第１レーザダイオード２０ａの厚さ方向であり第１基板４０ａに近い方の第１辺２５ａ（Ｙ方向に平行）と、第１辺２５ａの反対側に位置する第２辺２６ａと、（後述する）第１－１面３１ａ側に位置する第３辺２７ａ（第１－１面３１ａに平行）と、第３辺２７ａの反対側に位置する第４辺２８ａと、を含む。第１の光は、第３辺２７ａから出射される。ここで、第３辺２７ａから出射されるとは、厳密に第３辺２７ａのみから出射されることを意味するものではなく、第３辺２７ａ近傍から出射されることを含む（他の実施例も同様の意味である）。第１レーザダイオード２０ａから出射された第１の光は、第１の光路Ｌ１に沿って進行する。第１の光路Ｌ１は、第１の光の光軸方向（Ｘ方向）に沿って延びている。第１の光としては、例えば、光の中心波長帯域が６３８ｎｍである赤色の光が挙げられる。
【0032】
第１サブマウント３０ａの形状は、直方体形状である。第１サブマウント３０ａは、第１－１面３１ａと、第１－２面３２ａと、第１－３面３３ａと、第１－４面３４ａと、第１－５面３５ａと、第１－６面３６ａと、を含む。第１－２面３２ａ、第１－４面３４ａ、第１－５面３５ａおよび第１－６面３６ａはそれぞれ、第１－１面３１ａと垂直に交差する。第１－５面３５ａは、第１－２面３２ａおよび第１－４面３４ａとそれぞれ垂直に交差する。第１－６面３６ａは、第１－２面３２ａおよび第１－４面３４ａとそれぞれ垂直に交差する。第１－１面３１ａと第１－３面３３ａとは、Ｘ－Ｚ平面に平行である。第１－２面３２ａと第１－４面３４ａとは、Ｘ－Ｙ平面に平行である。第１－５面３５ａと第１－６面３６ａとは、Ｙ－Ｚ平面に平行である。
【0033】
第１レーザダイオード２０ａは、第１サブマウント３０ａにおいて、第１－１面３１ａ上に搭載される。すなわち、第１レーザダイオード２０ａは、第１サブマウント３０ａのいわゆる側面に取り付けられる。このように取り付けられることにより、例えば、第１の光の偏光方向は、Ｚ方向（垂直方向）となる。
【0034】
第１レーザダイオード２０ａは、第１端面２１ａが第１－５面３５ａ側となるように搭載される。第１レーザダイオード２０ａは、Ｙ方向から見て、第１端面２１ａが第１－１面３１ａから突出するように第１サブマウント３０ａ上に配置される。具体的には、第１レーザダイオード２０ａは、第１端面２１ａが第１－５面３５ａ側に突出するように配置される。このように配置することで、第１の光が第１サブマウント３０ａに遮光されるのを防ぎ、効率よく第１の光を出射することができる。
【0035】
第１基板４０ａは、平板状であって、Ｚ方向である厚さ方向に位置する第１主面４１ａを含む。第１主面４１ａ上に第１サブマウント３０ａが搭載される。第１サブマウント３０ａは、第１－２面３２ａが第１主面４１ａと対向するように第１基板４０ａに搭載される。この場合、はんだ等の接合材を介して第１主面４１ａ上に第１サブマウント３０ａが固定される。上記した第１レーザダイオード２０ａは、第１主面４１ａに対して第１の光の光軸方向（Ｘ方向）が平行となるように、第１－１面３１ａ上に搭載される。
【0036】
第１キャップ５０ａは、第１基板４０ａにハーメチックシールされる。第１キャップ５０ａは、第１レーザダイオード２０ａおよび第１サブマウント３０ａを覆う。第１キャップ５０ａは、第１基板４０ａとの間に第１空間５１ａを形成する。すなわち、第１レーザダイオード２０ａおよび第１サブマウント３０ａは、第１空間５１ａ内に配置される。第１空間５１ａは、減圧された空間である。第１キャップ５０ａは、第１透過窓５２ａを有する。第１透過窓５２ａは、例えばガラス製であり、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光を透過する。第１透過窓５２ａは、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光の出射方向に設けられている。
【0037】
第１反射ミラー６０ａは、第１空間５１ａの外部に配置される。第１キャップ５０ａには、第１の光が出射する側に突出する突出部５３ａが形成されている。突出部５３ａは、第１空間５１ａの外部に配置される。第１反射ミラー６０ａは、第１キャップ５０ａに固定される。具体的には、第１反射ミラー６０ａは、突出部５３ａに取り付けられる。第１反射ミラー６０ａは、第１反射面６１ａが第１透過窓５２ａを透過した第１の光路Ｌ１上に配置するように取り付けられる。第１反射ミラー６０ａは、第１反射面６１ａが第１の光の光軸方向（Ｘ方向）に対して傾斜して配置される。第１反射ミラー６０ａは、第１透過窓５２ａを透過した第１の光を、第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ反射する。第１反射ミラー６０ａによって反射された第１の光は、光路Ｌｒに沿って進行する。
【0038】
第１レーザダイオード２０ａから出射された第１の光路Ｌ１を進行する第１の光は、第１空間５１ａ内を通り、第１透過窓５２ａを透過して、第１空間５１ａの外部に出射される。第１空間５１ａの外部に出射された第１の光は、第１の光路Ｌ１に沿って進行し、第１反射ミラー６０ａの第１反射面６１ａに到達する。第１反射面６１ａは、第１の光の光軸方向に対して傾斜しているため、第１反射面６１ａにより第１の光の光軸に対して角度を変えて光路Ｌｒに沿って反射される。
【0039】
光モジュール１１ａは、拡散光であるレーザ光を集光する集光レンズ１４ａを含む。集光レンズ１４ａは、光路Ｌｒ上に配置される。集光レンズ１４ａにより、光路Ｌｒを進行する第１の光が集光される。集光レンズ１４ａを通過した第１の光は、光路Ｌｒに沿って進行し、ミラー駆動機構１２ａに到達する。
【0040】
次に、ミラー駆動機構１２ａの構成について簡単に説明する。ミラー駆動機構１２ａは、第１空間５１ａの外部に配置される。ミラー駆動機構１２ａは、第１の光が入射する走査ミラー１５ａと、走査ミラー１５ａを支持する支持部１６ａと、を含む。走査ミラー１５ａは、支持部１６ａに揺動可能に支持される。ミラー駆動機構１２ａは、光制御装置１０ａの動作時においては、走査ミラー１５ａを高速で揺動運動させる。
【0041】
光路Ｌｒに沿って進行した第１の光は、走査ミラー１５ａに入射する。走査ミラー１５ａに入射する際の第１の光の入射の角度θは、例えば４５度である。高速で揺動運動する走査ミラー１５ａにより反射された第１の光は、光路Ｌｓに沿って進行し、光制御装置１０ａの外部において、レーザ光による画像１３ａを描画する。
【0042】
ここで、上記した光モジュール１１ａの製造方法について、簡単に説明する。まず、第１基板４０ａを準備し、第１基板４０ａの第１主面４１ａ上に、第１レーザダイオード２０ａを第１－１面３１ａに搭載した第１サブマウント３０ａを搭載する。この場合、第１サブマウント３０ａの第１－２面３２ａと第１主面４１ａとの間にはんだ等の接合材を配置する。その後、第１主面４１ａに第１キャップ５０ａを被せる。この時、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光が第１透過窓５２ａから出射されるように、第１主面４１ａ上において第１キャップ５０ａを配置する。そして、第１基板４０ａに第１キャップ５０ａをハーメチックシールして固定する。その後、はんだを溶融させ、第１基板４０ａの第１主面４１ａ上に第１レーザダイオード２０ａを搭載した第１サブマウント３０ａを固定する。その後、必要に応じて、第１反射ミラー６０ａの傾斜の角度等、取り付け位置を調整する。
【0043】
なお、このようにして製造された光モジュール１１ａを用い、光路Ｌｒや画像１３ａを描画する位置等に応じて、集光レンズ１４ａおよびミラー駆動機構１２ａの位置を調整して配置する。このようにして、光制御装置１０ａが製造される。
【0044】
このような光モジュール１１ａによると、第１レーザダイオード２０ａは、第１サブマウント３０ａに搭載されているため、第１レーザダイオード２０ａの駆動時における発熱を第１サブマウント３０ａにより効率的に放熱することができる。第１レーザダイオード２０ａは、第１キャップ５０ａと第１基板４０ａとによりハーメチックシールされた第１空間５０ａ内に配置されているため、第１レーザダイオード２０ａにより発光され、出射されるレーザ光の出力を安定させて高出力とすることができる。第１キャップ５０ａには、第１透過窓５２ａが設けられているため、第１レーザダイオード２０ａから出射された第１の光を、第１透過窓５２ａを通して第１空間５１ａの外部に出射することができる。第１空間５１ａの外部には、第１キャップ５０ａに固定されており、第１の光の光軸方向に対して傾斜する方向へ第１の光を反射する第１反射ミラー６０ａが備えられているため、第１透過窓５２ａを透過した第１の光を第１キャップ５０ａの外部の所望する方向に角度を変えて出射することができる。
【0045】
また、第１の光を所望する方向に角度を変えて出射する第１反射ミラー６０ａが第１空間５１ａの外部に備えられているため、ハーメチックシールされた第１空間５１ａ内に、樹脂製の接合材を用いて光学部品等を取り付ける必要がない。したがって、第１レーザダイオード２０ａの高精度な位置決めを実現すると共に、ハーメチックシールされた第１空間５１ａ内の汚染に基づく第１レーザダイオード２０ａの出力の低下を防止することができる。この場合、第１キャップ５０ａに固定された第１反射ミラー６０ａにより第１の光を所望する方向に角度を変えて出射することができるため、上記したように第１透過窓５２ａを透過した第１の光を第１キャップ５０ａの外部の所望する方向に角度を変えて出射することができる。
【0046】
また、第１レーザダイオード２０ａは、第１の光の光軸方向が平行となるように、第１－１面３１ａに搭載され、第１サブマウント３０ａは、第１－２面３２ａと第１主面４１ａとが対向するように第１基板４０ａに搭載されている。よって、このような用途が求められる場合に、有効に利用される。また、第１レーザダイオード２０ａは、搭載される第１サブマウント３０ａにより十分に放熱することができる。
【0047】
このような光モジュール１１ａによると、第１レーザダイオード２０ａから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる。
【0048】
また、このような光制御装置１０ａによると、上記光モジュール１１ａから出射された第１の光を走査して、レーザ光による文字や図形を描画することが容易となる。この場合、光制御装置１０ａは、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる上記構成の光モジュール１１ａを含むため、安定して高品質な画像を描画することができる。
【0049】
なお、本実施形態において、光モジュール１１ａは、赤色の第１レーザダイオード２０ａに加え、緑色の光を出射する第２レーザダイオードおよび青色の光を出射する第３レーザダイオードを含むように構成してもよい。この場合、第２レーザダイオードを搭載する第２サブマウントおよび第３レーザダイオードを搭載する第３サブマウントを、第１サブマウント３０ａとは別途設けることにしてもよい。すなわち、光モジュール１１ａは、第１サブマウント３０ａとは別途設けられ、第２レーザダイオードを搭載する第２サブマウントおよび第１サブマウント３０ａとは別途設けられ、第３レーザダイオードを搭載する第３サブマウントを含んでもよい。このようにすることにより、光モジュール１１ａは、各色の光を出射することができる。
【0050】
また、光モジュール１１ａを含む光制御装置は、ミラー駆動機構１２ａを含まず、他の構成を含むものであってもよい。例えば、光制御装置は、光モジュール１１ａから出射される光の単色性、高輝度、可干渉性および直線偏向を利用した表示装置として利用することができる。
【0051】
（実施の形態２）
他の実施の形態である実施の形態２について説明する。図３は、実施の形態２に係る光モジュールを含む光制御装置の概略断面図である。実施の形態２における光制御装置は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２の光制御装置は、第４レーザダイオード等を含む構成が実施の形態１の場合とは異なっている。
他の実施の形態である実施の形態２について説明する。図３は、実施の形態２に係る光モジュールを含む光制御装置の概略断面図である。実施の形態２における光制御装置は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２の光制御装置は、第４レーザダイオード等を含む構成が実施の形態１の場合とは異なっている。
【0052】
図３を参照して、実施の形態２の光制御装置１０ｂは、光モジュール１１ｂと、ミラー駆動機構１２ａと、を含む。光制御装置１０ｂは、光モジュール１１ｂおよびミラー駆動機構１２ａを支持する土台部１９ｂを含む。光モジュール１１ｂは、は、第１レーザダイオード２０ａと、第１レーザダイオード２０ａを搭載する第１サブマウント３０ａと、第１サブマウント３０ａを搭載する第１基板４０ａと、第１キャップ５０ａと、第１反射ミラー６０ａと、を含む。また、光モジュール１１ｂは、第１空間５１ａの外部に配置され、光の偏光方向が第１の光と異なる第４の光を出射する第４レーザダイオード２０ｄと、第１空間５１ａの外部に配置され、第４レーザダイオード２０ｄを搭載する第４サブマウント３０ｄと、第１空間５１ａの外部に配置され、第４サブマウント３０ｄを搭載する第２主面４１ｂを有する第２基板４０ｂと、第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光を透過する第２透過窓５２ｂを有し、第２基板４０ｂにハーメチックシールされて第４レーザダイオード２０ｄおよび第４サブマウント３０ｄを覆う第２キャップ５０ｂと、第２キャップ５０ｂに固定されて、第１反射ミラー６０ａと走査ミラー１５ａとの間であって、第２基板４０ｂと第２キャップ５０ｂとによって取り囲まれる第２空間５１ｂおよび第１空間５１ａの外部に配置され、第１の光と第２の光とを合波するフィルタ６０ｂと、含む。第２キャップ５０ｂは、突出部５３ｂを有する。第２基板４０ｂの構成は、第１基板４０ａの構成と同様であるため、その説明を省略する。
【0053】
第４レーザダイオード２０ｄは、第４の光を出射する。第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光の中心波長帯域は、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光の中心波長帯域と同じである。第４レーザダイオード２０ｄは、第４の光が出射する側の端面である第１端面２１ｂと、第１端面２１ｂと第２の光の出射方向において反対側に位置する第２端面２２ｂと、を含む。第４レーザダイオード２０ｄから出射された第４の光は、第４の光路Ｌ４に沿って進行する。第４の光路Ｌ４は、第４の光の光軸方向（Ｘ方向）に沿って延びている。
【0054】
第４サブマウント３０ｄは、第１サブマウント３０ａと同様に、第４－１面３１ｄと、第４－２面３２ｄと、第４－３面３３ｄと、第４－４面と、第４－５面３５ｄと、第４－６面３６ｄと、を含む。
【0055】
第４レーザダイオード２０ｄは、第４サブマウント３０ｄにおいて、第４－１面３１ｄ上に搭載される。第４サブマウント３０ｄは、第４－３面３３ｄと第２主面４１ｂとが対向するように第２主面４１ｂに搭載される。この場合、第４レーザダイオード２０ｄは、第４サブマウント３０ｄのいわゆる上面に取り付けられる。このように取り付けられることにより、第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光の偏光方向は、Ｙ方向（水平方向）となる。すなわち、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光の偏光方向（Ｚ方向）は、第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光の偏光方向（ｙ方向）に対して垂直である。
【0056】
フィルタ６０ｂは、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光を透過し、第２反射面６１ｂにおいて、第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光を反射する。すなわち、フィルタ６０ｂは、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光を透過し、第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光を反射して、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光と第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光とを合波するように構成されている。
【0057】
光モジュール１１ｂは、合波された光のスポットサイズを変換するコリメートレンズ１７ａを備える。コリメートレンズ１７ａを透過した合波光は、コリメート変換される。コリメート変換された合波光が走査ミラー１５ａに到達する。この合波光を用いて、ミラー駆動機構１２ａにより、画像１３ａが描画される。
【0058】
本実施形態によると、光の中心波長帯域が同じであり、偏光方向の異なる第１の光を同じ傾斜の角度で出射して合波することが容易となる。そうすると、偏光方向の異なる第１の光同士を合波して、光の中心波長帯域が同じ第１の光の出力を高くすることができる。
【0059】
なお、上記の実施の形態において、第４レーザダイオード２０ｄおよび第４サブマウント３０ｄの配置を第１レーザダイオード２０ａおよび第１サブマウント３０ａの配置と同様にし、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光の中心波長帯域と第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光の中心波長帯域とを異ならせる構成を採用することにしてもよい。そして、フィルタ６０ｂにおいて、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光を透過し、第４レーザダイオード２０ｄから出射される第４の光を反射するようにしてもよい。このような光モジュール１１ｂは、光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができると共に、光の中心波長帯域の異なる光を合波して複数の色の光を出射することが容易となる。
【0060】
（実施の形態３）
他の実施の形態である実施の形態３について説明する。図４は、実施の形態３に係る光モジュールを含む光制御装置の概略斜視図である。実施の形態３における光制御装置は、基本的には実施の形態２の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態３の光制御装置は、光の中心波長帯域の異なる複数のレーザダイオードを含む構成が実施の形態２の場合とは異なっている。
他の実施の形態である実施の形態３について説明する。図４は、実施の形態３に係る光モジュールを含む光制御装置の概略斜視図である。実施の形態３における光制御装置は、基本的には実施の形態２の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態３の光制御装置は、光の中心波長帯域の異なる複数のレーザダイオードを含む構成が実施の形態２の場合とは異なっている。
【0061】
図４を参照して、実施の形態３の光制御装置１０ｃは、光モジュール１１ｃと、ミラー駆動機構１２ａと、を含む。光モジュール１１ｃは、赤色の光を出射する第１レーザダイオード２０ａと、光の中心波長帯域が５３２ｎｍであり、緑色の光を出射する第２レーザダイオード２０ｂと、光の中心波長帯域が４５０ｎｍであり、青色の光を出射する第３レーザダイオード２０ｃと、第１レーザダイオード２０ａを搭載する第１サブマウント３０ａと、第２レーザダイオード２０ｂを搭載する第２サブマウント３０ｂと、第３レーザダイオード２０ｃを搭載する第３サブマウント３０ｃと、第１サブマウント３０ａ、第２サブマウント３０ｂおよび第３サブマウント３０ｃを搭載する第１基板４０ａと、第１キャップ５０ａと、第１反射ミラー６０ａと、を含む。本実施形態においては、実施の形態２の場合と異なり、第２レーザダイオード２０ｂは、第１レーザダイオード２０ａと偏光方向が異なるのではなく、光の中心波長帯域が異なるものである。第１サブマウント３０ａ、第２サブマウント３０ｂおよび第３サブマウント３０ｃはそれぞれ、Ｙ方向に並んで隣り合って配置される。また、光モジュール１１ｃは、赤色の光を出射する第４レーザダイオード２０ｄと、緑色の光を出射する第５レーザダイオード２０ｅと、青色の光を出射する第６レーザダイオード２０ｆと、第４レーザダイオード２０ｄを搭載する第４サブマウント３０ｄと、第５レーザダイオード２０ｅを搭載する第５サブマウント３０ｅと、第６レーザダイオード２０ｆを搭載する第６サブマウント３０ｆと、第４サブマウント３０ｄ、第５サブマウント３０ｅおよび第６サブマウント３０ｆを搭載する第２基板４０ｂと、第２キャップ５０ｂと、フィルタ６０ｂと、を含む。第４サブマウント３０ｄ、第５サブマウント３０ｅおよび第６サブマウント３０ｆはそれぞれ、Ｙ方向に並んで隣り合って配置される。
【0062】
第２レーザダイオード２０ｂおよび第３レーザダイオード２０ｃは、それぞれ第１レーザダイオード２０ａと光の中心波長帯域が異なるだけで、その他の構成は同様である。第５レーザダイオード２０ｅおよび第６レーザダイオード２０ｆは、それぞれ第４レーザダイオード２０ｄと光の中心波長帯域が異なるだけで、その他の構成は同様である。
【0063】
フィルタ６０ｂは、偏光方向がＺ方向であって、赤色の光、緑色の光および青色の光を透過する。フィルタ６０ｂは、偏光方向がＹ方向であって、赤色の光、緑色の光および青色の光を反射する。
【0064】
このような光モジュール１１ｃを含む光制御装置１０ｃは、各色において偏光方向が垂直に合波された合波光が出力されるため、フルカラーの画像を高出力で描画することができる。
【0065】
（実施の形態４）
他の実施の形態である実施の形態４について説明する。図５は、実施の形態４に係る光モジュールを含む光制御装置の概略斜視図である。実施の形態４における光制御装置は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態４の光制御装置は、第１レーザダイオードが傾斜している点において実施の形態１の場合とは異なっている。
他の実施の形態である実施の形態４について説明する。図５は、実施の形態４に係る光モジュールを含む光制御装置の概略斜視図である。実施の形態４における光制御装置は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態４の光制御装置は、第１レーザダイオードが傾斜している点において実施の形態１の場合とは異なっている。
【0066】
図５を参照して、実施の形態４の光制御装置１０ｇは、光モジュール１１ｇと、ミラー駆動機構１２ａと、を含む。光制御装置１０ｇは、光モジュール１１ｇおよびミラー駆動機構１２ａを支持する土台部１９ｇを含む。光モジュール１１ｇは、第１レーザダイオード２０ｇと、第１レーザダイオード２０ｇを搭載する第１サブマウント３０ｇと、第１サブマウント３０ｇを搭載する第１基板４０ｇと、第１キャップ５０ｇと、第１反射ミラー６０ｇと、を含む。第１基板４０ｇは、第１主面４１ｇを含む。第１基板４０ｇの構成は、第１基板４０ａの構成と同様であるため、その説明を省略する。
【0067】
第１サブマウント３０ｇは、第１サブマウント３０ａと同様に、第１－１面３１ｇと、第１－２面３２ｇと、第１－３面３３ｇと、第１－４面と、第１－５面３５ｇと、第１－６面３６ｇと、を含む。第１レーザダイオード２０ｇは、第１サブマウント３０ｇにおいて、第１－１面３１ｇ上に搭載される。すなわち、第１レーザダイオード２０ｇは、第１サブマウント３０ｇのいわゆる側面に取り付けられる。第１サブマウント３０ｇは、第１－２面３２ｇと第１主面４１ｇとが対向するように第１基板４０ｇに搭載される。第１レーザダイオード２０ｇは、第１主面４１ｇに対して第１の光の光軸方向が傾斜するように第１－１面３１ｇに搭載される。
【0068】
第１レーザダイオード２０ｇは、第１の光を出射する。第１レーザダイオード２０ｇは、第１の光が出射する側の端面である第１端面２１ｇと、第１端面２１ｇと第１の光の出射方向において反対側に位置する第２端面２２ｇと、を含む。また、第１端面２１ｇに垂直な方向（Ｙ方向）から見て、第１端面２１ｇは、第１レーザダイオード２０ｇの厚さ方向であり第１基板４０ａに近い方の第１辺２５ｇ（Ｙ方向に平行）と、第１辺２５ｇの反対側に位置する第２辺２６ｇ（Ｙ方向に平行）と、第１－１面３１ｇ側に位置する第３辺２７ｇ（第１－１面３１ｇに平行）と、第３辺２７ｇの反対側に位置する第４辺２８ｇ（第１－１面３１ｇに平行）と、を含む。第１の光は、第３辺２７ｇから出射される。第１レーザダイオード２０ｇから出射された第１の光は、第１の光路Ｌ１に沿って進行する。第１の光路Ｌ１は、第１主面４１ｇに対して傾斜した方向に沿って延びている。Ｙ方向から見て、第１辺２５ｇは、第１－１面３１ｇと重なり、第２辺２６ｇは、第１－１面３１ｇから突出している。
【0069】
本実施形態によると、第１辺２５ｇは、第１－１面３１ｇと重なり、第２辺２６ｇは、第１－１面３１ｇから突出している。この構成により、第１の光が第１－１面３１ｇに遮られず強い光強度を維持し、かつ、第１レーザダイオード２０ｇを効率よく放熱することができる。したがって、光の出力の大きさを維持し、かつ、安定させることができる。
【0070】
第１キャップ５０ｇは、第１基板４０ｇにハーメチックシールされる。第１キャップ５０ｇは、第１レーザダイオード２０ｇおよび第１サブマウント３０ｇを覆う。第１キャップ５０ｇは、第１基板４０ｇとの間に第１空間５１ｇを形成する。すなわち、第１レーザダイオード２０ｇおよび第１サブマウント３０ｇは、第１空間５１ｇ内に配置される。第１キャップ５０ｇは、第１透過窓５２ｇを有する。第１透過窓５２ｇは、例えばガラス製であり、第１レーザダイオード２０ｇから出射される第１の光を透過する。第１透過窓５２ｇは、第１レーザダイオード２０ａから出射される第１の光の出射方向に設けられている。なお、第１キャップ５０ｇは、実施の形態１の第１キャップ５０ａと異なり、突出部を有していない。また、光モジュール１１ｇは、第１反射ミラーを備えていない。
【0071】
第１レーザダイオード２０ｇから出射された第１の光路Ｌ１を進行する第１の光は、第１空間５１ｇ内を通り、第１透過窓５２ｇを透過して、第１空間５１ｇの外部に出射される。第１空間５１ｇの外部に出射された第１の光は、第１の光路Ｌ１に沿って進行し、ミラー駆動機構１２ａの走査ミラー１５ａに到達する。この時の入射の角度は、実施の形態１の場合よりも低い（小さい）角度となる。その後の動作等については、実施の形態１と同様である。
【0072】
本実施形態によると、第１レーザダイオード２０ｇは、第１主面４１ｇに対して第１の光の光軸方向が傾斜するように第１－１面３１ｇに搭載されるため、第１レーザダイオード２０ｇを出射したい方向に第１レーザダイオード２０ｇを傾斜させて、所望する方向に第１の光を出射することができる。したがって、このような光モジュール１１ｇによると、第１レーザダイオード２０ｇから出射される光の出力への影響を低減しながら、所望の出射方向へ光を出射することができる。
【0073】
なお、本実施形態において、緑色の光を出射する第２レーザダイオードおよび青色の光を出射する第３レーザダイオードを含む構成としてもよい。第２レーザダイオードおよび第３レーザダイオードについては、第１レーザダイオード２０ｇと同様に、第１主面４１ｇに対しそれぞれ光の光軸方向が傾斜するように搭載されていてもよい。
【0074】
（実施の形態５）
他の実施の形態である実施の形態５について説明する。図６は、実施の形態５に係る光モジュールを含む光制御装置の概略斜視図である。図７は、図６に示す光モジュールを含む光制御装置の概略平面図である。実施の形態５における光制御装置は、基本的には実施の形態４の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態５の光制御装置は、第３レーザダイオード等を含む構成が実施の形態４の場合とは異なっている。
他の実施の形態である実施の形態５について説明する。図６は、実施の形態５に係る光モジュールを含む光制御装置の概略斜視図である。図７は、図６に示す光モジュールを含む光制御装置の概略平面図である。実施の形態５における光制御装置は、基本的には実施の形態４の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態５の光制御装置は、第３レーザダイオード等を含む構成が実施の形態４の場合とは異なっている。
【0075】
図６および図７を参照して、実施の形態５の光制御装置１０ｈは、光モジュール１１ｈを含む。光モジュール１１ｈは、赤色の光を出射する第１レーザダイオード２０ｈと、緑色の光を出射する第２レーザダイオード２０ｉと、青色の光を出射する第３レーザダイオード２０ｊと、第１レーザダイオード２０ｈを搭載する第１サブマウント３０ｈと、第２レーザダイオード２０ｉを搭載する第２サブマウント３０ｉと、第３レーザダイオード２０ｊを搭載する第３サブマウント３０ｊと、第１サブマウント３０ｈ、第２サブマウント３０ｉおよび第３サブマウント３０ｊを搭載する第１基板４０ｈと、第１キャップ５０ｈと、を含む。また、第１基板４０ｈには、第１レーザダイオード２０ｈ、第２レーザダイオード２０ｉおよび第３レーザダイオード２０ｊと電気的に接続される回路パターン４３ｈが形成されている。回路パターン４３ｈは、第１主面４１ｈに形成されている。回路パターン４３ｈと、第１レーザダイオード２０ｈ、第２レーザダイオード２０ｉおよび第３レーザダイオード２０ｊとを電気的に接続するワイヤの図示は省略している。
【0076】
第１レーザダイオード２０ｈは、第１主面４１ｈに対して第１の光の光軸方向が傾斜するように第１サブマウント３０ｈの第１－１面３１ｈに搭載される。第２レーザダイオード２０ｉは、第１主面４１ｈに対して第２の光の光軸方向が傾斜するように第２サブマウント３０ｉの第３－１面３１ｉに搭載される。第３レーザダイオード２０ｊは、第１主面４１ｈに対して第３の光の光軸方向が傾斜するように第３サブマウント３０ｊの第３－１面３１ｊに搭載される。第１の光の傾斜の角度、第２の光の傾斜の角度および第３の光の傾斜の角度は、同じである。第１の光は、第３辺２７ｈから出射される。Ｙ方向から見て、第１レーザダイオード２０ｈの第２辺２６ｈは、第１－１面３１ｈと重なり、第１基板４０ｈに近い方の第１辺２５ｈは、第１－１面３１ｈから突出している。このように配置することで、第１の光が第１サブマウント３０ｈに遮光されるのを防ぎ、効率よく第１の光を出射することができる。特に温度劣化の大きな赤色の第１レーザダイオード２０ｈについて、第１の光が第１－１面３１ｈに遮られず強い光強度を維持し、かつ、第１レーザダイオード２０ｈを効率よく放熱することができる。したがって、光の出力の大きさを維持し、かつ、安定させることができる。なお、Ｙ方向から見て、第２レーザダイオード２０ｉの第１辺２５ｉおよび第３レーザダイオード２０ｊの第１辺２５ｊは、第１－１面３１ｉおよび第１－１面３１ｊとそれぞれ重なる。つまり、Ｙ方向から見て、第２レーザダイオード２０ｉの第１辺２５ｉと第３辺および第３レーザダイオード２０ｊの第１辺２５ｊと第３辺はそれぞれ、第１－１面３１ｉおよび第１－１面３１ｊと重なる。この配置により、比較的温度劣化の強い緑色の第２レーザダイオード２０ｉと青色の第３レーザダイオード２０ｊについて、効率よく光を出射することができる。
【0077】
このような光モジュール１１ｈによると、第１レーザダイオード２０ｈ、第２レーザダイオード２０ｉおよび第３レーザダイオード２０ｊから出射される光の出力への影響を低減しながら、それぞれについて所望の出射方向へ光を出射することができる。この場合、第１レーザダイオード２０ｈから出射される赤色の光、第２レーザダイオード２０ｉから出射される緑色の光および第３レーザダイオード２０ｊから出射される青色の光を合波して、フルカラーのレーザ光による描画を実現することができる。
【0078】
本実施形態においては、第１基板４０ｈには、第１レーザダイオード２０ｈ等と電気的に接続される回路パターン４３ｈが形成されている。よって、第１レーザダイオード２０ｈ等の動作を制御する配線の取り回しをより簡略化することができる。したがって、装置構成のコンパクト化を図ることが容易となる。
【0079】
（実施の形態６）
他の実施の形態である実施の形態６について説明する。図８は、実施の形態６に係る光モジュールに含まれる第１サブマウント周辺を拡大して示す概略斜視図である。実施の形態６における光モジュールは、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態６の光モジュールは、第１レーザダイオードが回路パターンとワイヤにて接続されている点において実施の形態１の場合とは異なっている。
他の実施の形態である実施の形態６について説明する。図８は、実施の形態６に係る光モジュールに含まれる第１サブマウント周辺を拡大して示す概略斜視図である。実施の形態６における光モジュールは、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態６の光モジュールは、第１レーザダイオードが回路パターンとワイヤにて接続されている点において実施の形態１の場合とは異なっている。
【0080】
図８を参照して、光モジュール１１ｋは、第１サブマウント３０ｋを含む。第１基板４０ｋの第１主面４１ｋ上に搭載された第１サブマウント３０ｋは、第１－１面３１ｋと垂直に交差し、第１－２面３２ｋと間隔をあけて配置される第１－４面３４ｋを含む。第１サブマウント３０ｋには、第１－１面３１ｋおよび第１－４面３４ｋに跨って第１パッド３１ｐが設けられている。また、第１サブマウント３０ｋには、第１－１面３１ｋおよび第１－４面３４ｋに跨って第２パッド３２ｐが設けられている。第１パッド３１ｐは、第１－１面３１ｋと第１レーザダイオード２０ｋとが、ワイヤボンディングを介してワイヤ４５ｋにより電気的に接続されている。第２パッド３２ｐは、第１レーザダイオード２０ｋの下面と電気的に接続されている。回路パターン４３ｋは、第１－４面３４ｋに設けられた第１パッド３１ｐと、ワイヤボンディングを介してワイヤ４６ｋにより電気的に接続されている。回路パターン４４ｋは、第１サブマウント３０ｋの第１－４面３４ｋと、ワイヤボンディングを介してワイヤ４７ｋにより電気的に接続されている。よって、第１パッド３１ｐと第１レーザダイオード２０ｋ、第１レーザダイオード２０ｋと回路パターン４３ｋとを接続するそれぞれのワイヤを短くすることができ、ワイヤの配線抵抗の低減を図ることができる。
【0081】
なお、上記の実施の形態において、回路パターン４４ｋをＸ方向に延ばし、第１サブマウント３０ｋの第１－２面３２ｋと電気的に接触させる構成を採用することにしてもよい。こうすることにより、ワイヤ４７ｋを省略することができ、ワイヤの本数を少なくすることができる。
【0082】
（実施の形態７）
他の実施の形態である実施の形態６について説明する。図９は、実施の形態７に係る光モジュールに含まれる第１サブマウント周辺を拡大して示す概略斜視図である。実施の形態７における光モジュールは、基本的には実施の形態６の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態７の光モジュールは、第１レーザダイオードが第１パッドとワイヤにて接続されている点において実施の形態６の場合とは異なっている。
他の実施の形態である実施の形態６について説明する。図９は、実施の形態７に係る光モジュールに含まれる第１サブマウント周辺を拡大して示す概略斜視図である。実施の形態７における光モジュールは、基本的には実施の形態６の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態７の光モジュールは、第１レーザダイオードが第１パッドとワイヤにて接続されている点において実施の形態６の場合とは異なっている。
【0083】
図９を参照して、光モジュール１１ｍは、第１サブマウント３０ｍを含む。第１基板４０ｍの第１主面４１ｍ上に搭載された第１サブマウント３０ｍには、第１－１面３１ｍおよび第１－２面３２ｍに跨って第１パッド３３ｐが設けられている。また、第１サブマウント３０ｍには、第１－１面３１ｍおよび第１－２面３２ｍに跨って第２パッド３４ｐが設けられている。第１パッド３３ｐは、第１－１面３１ｍと第１レーザダイオード２０ｍとが、ワイヤボンディングを介してワイヤ４５ｍにより電気的に接続されている。第２パッド３４ｐは、第１レーザダイオード２０ｍの下面と電気的に接続されている。回路パターン４４ｍは、第１－２面３２ｍに設けられた第１パッド３３ｐと、導電材料を介して接触することにより電気的に接続されている。よって、第１レーザダイオード２０ｍと第１パッド３３ｐとをワイヤ４５ｍで電気的に接続しながら、ワイヤを用いることなく回路パターン４４ｍと第１パッド３３ｐおよび第１サブマウント３０ｍとを電気的に接続することができ、より配線抵抗の低減を図ることができる。
【0084】
（実施の形態８）
他の実施の形態である実施の形態８について説明する。図１０は、実施の形態８に係る光制御装置に含まれる光モジュールの概略斜視図である。図１１は、図１０に示す光モジュールのキャップを取り除いた状態を示す外観斜視図である。図１２は、図１０に示す光モジュールのキャップを取り除いた状態を示す外観平面図である。実施の形態８における光制御装置に含まれる光モジュールは、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態８の光制御装置に含まれる光モジュールは、第２レーザダイオード等を含む構成が実施の形態１の場合とは異なっている。なお、理解を容易にする観点から、図１１および図１２において、第１透過窓を図示している。
他の実施の形態である実施の形態８について説明する。図１０は、実施の形態８に係る光制御装置に含まれる光モジュールの概略斜視図である。図１１は、図１０に示す光モジュールのキャップを取り除いた状態を示す外観斜視図である。図１２は、図１０に示す光モジュールのキャップを取り除いた状態を示す外観平面図である。実施の形態８における光制御装置に含まれる光モジュールは、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態８の光制御装置に含まれる光モジュールは、第２レーザダイオード等を含む構成が実施の形態１の場合とは異なっている。なお、理解を容易にする観点から、図１１および図１２において、第１透過窓を図示している。
【0085】
図１０、図１１および図１２を参照して、実施の形態８の光制御装置に含まれる光モジュール１１ｑは、赤色の光を出射する第１レーザダイオード２０ｑと、緑色の光を出射する第２レーザダイオード２０ｒと、青色の光を出射する第３レーザダイオード２０ｓと、第１レーザダイオード２０ｑを搭載する第１サブマウント３０ｑと、第２レーザダイオード２０ｒを搭載する第２サブマウント３０ｒと、第３レーザダイオード２０ｓを搭載する第３サブマウント３０ｓと、第１サブマウント３０ｑ、第２サブマウント３０ｒおよび第３サブマウント３０ｓを搭載する第１基板４０ｑと、第１キャップ５０ｑと、を含む。第１基板４０ｑの第１主面４１ｑ上には、回路パターン４４ｑが設けられている。光モジュール１１ｑは、Ｚ方向に延びるように第１基板４０ｑに取り付けられた複数のリードピン４８ｑを含む。また、第１基板４０ｑには、第１レーザダイオード２０ｑ、第２レーザダイオード２０ｒおよび第３レーザダイオード２０ｓと電気的に接続される回路パターン４３ｑが形成されている。回路パターン４３ｑは、第１主面４１ｑに形成されている。第１レーザダイオード２０ｑ、第２レーザダイオード２０ｒおよび第３レーザダイオード２０ｓは、複数のワイヤ４９ｑを介して、複数のリードピン４８ｑ等と電気的に接続されている。第１レーザダイオード２０ｑ、第２レーザダイオード２０ｒおよび第３レーザダイオード２０ｓはそれぞれ、第１主面４１ｑに対して傾斜している。第１キャップ５０ｑには、第１透過窓５２ｑが設けられており、第１透過窓５２ｑを通じて、赤色の光、緑色の光および青色の光が光モジュール１１ｑの外部に出射される。
【0086】
このようにすることにより、複数のリードピン４８ｑを介して外部と電気的に各レーザダイオードを接続して制御することができる。
【0087】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0088】
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｇ，１０ｈ 光制御装置
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｇ，１１ｈ，１１ｋ，１１ｍ，１１ｑ 光モジュール
１２ａ ミラー駆動機構
１３ａ 画像
１４ａ 集光レンズ
１５ａ 走査ミラー
１６ａ 支持部
１７ａ コリメートレンズ
１９ａ，１９ｂ，１９ｇ 土台部
２０ａ，２０ｇ，２０ｈ，２０ｋ，２０ｍ，２０ｑ 第１レーザダイオード
２０ｂ，２０ｉ，２０ｒ 第２レーザダイオード
２０ｃ，２０ｊ，２０ｓ 第３レーザダイオード
２０ｄ 第４レーザダイオード
２０ｅ 第５レーザダイオード
２０ｆ 第６レーザダイオード
２１ａ，２１ｂ，２１ｇ 第１端面
２２ａ，２２ｂ，２２ｇ 第２端面
２５ａ，２５ｇ，２５ｈ，２５ｉ，２５ｊ 第１辺
２６ａ，２６ｇ，２６ｈ 第２辺
２７ａ，２７ｇ，２７ｈ 第３辺
２８ａ，２８ｇ 第４辺
３０ａ，３０ｇ，３０ｈ，３０ｋ，３０ｍ，３０ｑ 第１サブマウント
３０ｂ，３０ｉ，３０ｒ 第２サブマウント
３０ｃ，３０ｊ，３０ｓ 第３サブマウント
３０ｄ 第４サブマウント
３０ｅ 第５サブマウント
３０ｆ 第６サブマウント
３１ａ，３１ｂ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉ，３１ｊ，３１ｋ，３１ｍ，３２ａ，３２ｄ，３２ｇ，３２ｋ，３２ｍ，３３ａ，３３ｄ，３３ｇ，３４ａ，３４ｋ，３５ａ，３５ｄ，３５ｇ，３６ａ，３６ｄ，３６ｇ 面
３１ｐ，３３ｐ 第１パッド
３２ｐ，３４ｐ 第２パッド
４０ａ，４０ｇ，４０ｈ，４０ｋ，４０ｍ，４０ｑ 第１基板
４０ｂ 第２基板
４１ａ，４１ｇ，４１ｈ，４１ｋ，４１ｍ，４１ｑ 第１主面
４１ｂ 第２主面
４３ｈ，４３ｋ，４４ｋ，４４ｍ，４４ｑ 回路パターン
４５ｋ，４５ｍ，４６ｋ，４７ｋ，４９ｑ ワイヤ
４８ｑ リードピン
５０ａ，５０ｇ，５０ｈ，５０ｑ 第１キャップ
５０ｂ 第２キャップ
５１ａ，５１ｇ 第１空間
５１ｂ 第２空間
５２ａ，５２ｇ，５２ｑ 第１透過窓
５２ｂ 第２透過窓
５３ａ，５３ｂ 突出部
６０ａ，６０ｇ 第１反射ミラー
６０ｂ フィルタ
６１ａ 第１反射面
６１ｂ 第２反射面
Ｌ１ 第１の光路
Ｌ２ 第２の光路
Ｌｒ，Ｌｓ 光路
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｇ，１１ｈ，１１ｋ，１１ｍ，１１ｑ 光モジュール
１２ａ ミラー駆動機構
１３ａ 画像
１４ａ 集光レンズ
１５ａ 走査ミラー
１６ａ 支持部
１７ａ コリメートレンズ
１９ａ，１９ｂ，１９ｇ 土台部
２０ａ，２０ｇ，２０ｈ，２０ｋ，２０ｍ，２０ｑ 第１レーザダイオード
２０ｂ，２０ｉ，２０ｒ 第２レーザダイオード
２０ｃ，２０ｊ，２０ｓ 第３レーザダイオード
２０ｄ 第４レーザダイオード
２０ｅ 第５レーザダイオード
２０ｆ 第６レーザダイオード
２１ａ，２１ｂ，２１ｇ 第１端面
２２ａ，２２ｂ，２２ｇ 第２端面
２５ａ，２５ｇ，２５ｈ，２５ｉ，２５ｊ 第１辺
２６ａ，２６ｇ，２６ｈ 第２辺
２７ａ，２７ｇ，２７ｈ 第３辺
２８ａ，２８ｇ 第４辺
３０ａ，３０ｇ，３０ｈ，３０ｋ，３０ｍ，３０ｑ 第１サブマウント
３０ｂ，３０ｉ，３０ｒ 第２サブマウント
３０ｃ，３０ｊ，３０ｓ 第３サブマウント
３０ｄ 第４サブマウント
３０ｅ 第５サブマウント
３０ｆ 第６サブマウント
３１ａ，３１ｂ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉ，３１ｊ，３１ｋ，３１ｍ，３２ａ，３２ｄ，３２ｇ，３２ｋ，３２ｍ，３３ａ，３３ｄ，３３ｇ，３４ａ，３４ｋ，３５ａ，３５ｄ，３５ｇ，３６ａ，３６ｄ，３６ｇ 面
３１ｐ，３３ｐ 第１パッド
３２ｐ，３４ｐ 第２パッド
４０ａ，４０ｇ，４０ｈ，４０ｋ，４０ｍ，４０ｑ 第１基板
４０ｂ 第２基板
４１ａ，４１ｇ，４１ｈ，４１ｋ，４１ｍ，４１ｑ 第１主面
４１ｂ 第２主面
４３ｈ，４３ｋ，４４ｋ，４４ｍ，４４ｑ 回路パターン
４５ｋ，４５ｍ，４６ｋ，４７ｋ，４９ｑ ワイヤ
４８ｑ リードピン
５０ａ，５０ｇ，５０ｈ，５０ｑ 第１キャップ
５０ｂ 第２キャップ
５１ａ，５１ｇ 第１空間
５１ｂ 第２空間
５２ａ，５２ｇ，５２ｑ 第１透過窓
５２ｂ 第２透過窓
５３ａ，５３ｂ 突出部
６０ａ，６０ｇ 第１反射ミラー
６０ｂ フィルタ
６１ａ 第１反射面
６１ｂ 第２反射面
Ｌ１ 第１の光路
Ｌ２ 第２の光路
Ｌｒ，Ｌｓ 光路
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】