特開 2024-114245 バレル研磨装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024114245

(43)【公開日】2024-08-23

(54)【発明の名称】バレル研磨装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 31/02 20060101AFI20240816BHJP

   B24B 31/12 20060101ALI20240816BHJP

【ＦＩ】

B24B31/02 B

B24B31/12 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023019889

(22)【出願日】2023-02-13

(71)【出願人】

【識別番号】396019631

【氏名又は名称】株式会社チップトン

(74)【代理人】

【識別番号】110000497

【氏名又は名称】弁理士法人グランダム特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大脇 五郎

(72)【発明者】

【氏名】伊東 稔

【テーマコード（参考）】

3C158

【Ｆターム（参考）】

3C158AA02

3C158AA09

3C158AA16

3C158AB04

3C158AB08

3C158AC01

3C158AC05

3C158CB06

(57)【要約】

【課題】研磨槽の内外を連通させるスリットが閉塞されることを防止する。
【解決手段】バレル研磨装置Ａは、筒形をなすドラム４１と、ドラム４１の底面の開口を塞ぐように配置されたディスク６０とを有する研磨槽４０と、ディスク６０をドラム４１と同軸状に回転駆動する駆動機構１５と、ドラム４１の上方において研磨槽４０内の研磨粉を吸引する集塵装置１４と、ドラム４１とディスク６０との間のスリット７０を介して、研磨槽４０の外部から研磨槽４０の内部へエアを圧送する圧送装置７４と、を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

筒形をなすドラムと、前記ドラムの底面の開口を塞ぐように配置されたディスクとを有する研磨槽と、
前記ディスクを前記ドラムと同軸状に回転駆動する駆動機構と、
前記ドラムの上方において前記研磨槽内の研磨粉を吸引する集塵装置と、
前記ドラムと前記ディスクとの間のスリットを介して、前記研磨槽の外部から前記研磨槽の内部へエアを圧送する圧送装置と、を備えているバレル研磨装置。

【請求項2】

前記スリットの幅寸法は、前記研磨槽の外部側から前記研磨槽の内部側に向かって狭まるように設定されている請求項１に記載のバレル研磨装置。

【請求項3】

前記圧送装置は、前記研磨槽の外部に設けた給気空間と、前記給気空間にエアを圧送するエア圧送源とを備えており、
前記給気空間が、前記ディスクに回転力を伝達する筒状の回転軸の給気孔と、前記回転軸を包囲する環状空間とを含み、
前記給気孔が前記エア圧送源に接続され、
前記環状空間と前記スリットとが全周に亘って連通している請求項１又は請求項２に記載のバレル研磨装置。

【請求項4】

前記スリットは、前記研磨槽を前記ディスクの回転中心軸と平行な方向に貫通するように形成されており、
前記ドラムは、前記スリットに対して前記回転中心軸の軸線方向に離隔した位置に配置された筒状部材と、前記スリットを構成するリング状部材と、を組み付けて構成されており、
前記ディスクに対する前記リング部材の径方向の位置を、調整装置によって調整することが可能である請求項１又は請求項２に記載のバレル研磨装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バレル研磨装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、固定槽の底部に回転槽を配置したバレル槽を備えたバレル研磨装置が開示されている。回転槽の外周縁と固定槽の内壁面との間には、全周に沿って微小な間隙が保有されており、この間隙を介して回転槽の内外が連通している。バレル槽の底部には、研磨中に生じた研磨粉を吸引排出する集塵機が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実開平７－３７５６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたバレル研磨装置では、固定槽と回転槽との間の狭小の間隙から研磨粉を下側に吸引除去するようになっている。そのため、バレル槽内の研磨粉やワークが間隙に吸い寄せられ、研磨粉が間隙内に吸い込まれて間隙を詰まらせたり、板状のワークが間隙の開口部を塞いだりする等の不具合があった。

【0005】

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、研磨槽の内外を連通させるスリットが閉塞されることを防止することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、
筒形をなすドラムと、前記ドラムの底面の開口を塞ぐように配置されたディスクとを有する研磨槽と、
前記ディスクを前記ドラムと同軸状に回転駆動する駆動機構と、
前記ドラムの上方において前記研磨槽内の研磨粉を吸引する集塵装置と、
前記ドラムと前記ディスクとの間のスリットを介して、前記研磨槽の外部から前記研磨槽の内部へエアを圧送する圧送装置と、を備えている。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、研磨槽の内外を連通させるスリットが詰まることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施例１のバレル研磨装置の断面図

【図2】研磨槽の平面図

【図3】アンダープレートと筒状部材の固定構造をあらわす部分拡大断面図

【図4】アンダープレートとリング状部材の固定構造をあらわす部分拡大断面図

【図5】スリットの構造をあらわす部分拡大断面図

【発明を実施するための形態】

【0009】

最初に本開示の実施形態を列記して説明する。下記の複数の実施形態を、矛盾を生じない範囲で任意に組み合わせたものも、発明を実施するための形態に含まれる。

【0010】

本発明は、
（１）筒形をなすドラムと、前記ドラムの底面の開口を塞ぐように配置されたディスクとを有する研磨槽と、前記ディスクを前記ドラムと同軸状に回転駆動する駆動機構と、前記ドラムの上方において前記研磨槽内の研磨粉を吸引する集塵装置と、前記ドラムと前記ディスクとの間のスリットを介して、前記研磨槽の外部から前記研磨槽の内部へエアを圧送する圧送装置と、を備えている。この構成によれば、研磨槽内の研磨粉は、ドラムの上方において集塵装置によって回収される。圧送装置は、ドラムとディスクとの間のスリットを通して研磨槽内にエアを圧送するので、研磨槽内の研磨粉やワーク等がスリット内に引き寄せられる虞がない。したがって、研磨槽内の研磨粉やワーク等によってスリットが詰まることを抑制できる。

【0011】

（２）（１）において、前記スリットの幅寸法は、前記研磨槽の外部側から前記研磨槽の内部側に向かって狭まるように設定されていることが好ましい。この構成によれば、スリット内では圧送されたエアの流速が高くなるので、スリットの詰まりを効果的に防止することができる。

【0012】

（３）（１）又は（２）において、前記圧送装置は、前記研磨槽の外部に設けた給気空間と、前記給気空間にエアを圧送するエア圧送源とを備えており、前記給気空間が、前記ディスクに回転力を伝達する筒状の回転軸の給気孔と、前記回転軸を包囲する環状空間とを含み、前記給気孔が前記エア圧送源に接続され、前記環状空間と前記スリットとが全周に亘って連通していることが好ましい。この構成によれば、スリットの全周に亘ってエアを均一に研磨槽内へ吐出することができる。

【0013】

（４）（１）～（３）において、前記スリットは、前記研磨槽を前記ディスクの回転中心軸と平行な方向に貫通するように形成されており、前記ドラムは、前記スリットに対して前記回転中心軸の軸線方向に離隔した位置に配置された筒状部材と、前記スリットを構成するリング状部材と、を組み付けて構成されており、前記ディスクに対する前記リング部材の径方向の位置を、調整装置によって調整することが可能であることが好ましい。この構成によれば、スリットの幅を全周に亘って均一に設定することができる。スリットの幅を調整する際には、ドラム全体を移動させるのではなく、リング状部材のみを移動させれば済むので、作業性が良い。

【0014】

＜実施例１＞
以下、本発明を具体化した実施例１を図１～図５を参照して説明する。尚、以下の説明において、上下の方向については、図１，３～５にあらわれる向きを、そのまま上方、下方と定義する。上下方向と軸線方向を同義で用いる。上下方向（軸線方向）と直交する方向を径方向と定義する。

【0015】

本実施例１のバレル研磨装置Ａは、ベースプレート１０と、ハウジング１１と、駆動機構１５と、アンダープレート２２と、研磨槽４０と、集塵装置１４と、圧送装置７４と、調整装置７７とを備えて構成されている。ベースプレート１０は、図示しない基台によって水平に配置されている。ハウジング１１は、下面が開口した箱形をなし、ベースプレート１０に対して研磨槽４０を上から覆うように取り付けられている。

【0016】

ハウジング１１の天板部には、投入口１２と集塵口１３が開口している。研磨槽４０内には、マスＭ（ワーク、研磨石）が、投入口１２から投入されるようになっている。集塵口１３は、研磨槽４０の上方に開口している。集塵口１３には、集塵装置１４のダクトが接続されている。集塵装置１４は、ハウジング１１内及び研磨槽４０内に浮遊する研磨粉を、ダクトを通して吸引して回収する装置である。

【0017】

駆動機構１５は、第１モータ１６と、回転軸１７と、第２モータ１９と、平歯車２０とを備えている。第１モータ１６は、ベースプレート１０よりも下方に配置され、図示しない基台に固定されている。回転軸１７は、軸線を上下方向に向け、上下両端が開放された円筒形の部品である。回転軸１７は、ベースプレート１０の中心孔に回転軸１７の上端部を貫通させた状態で、ベースプレート１０に対して回転自由に支持されている。回転軸１７は、第１モータ１６によって正逆両方向に回転駆動される。回転軸１７の内部は、回転軸１７を上下に貫通する給気孔１８として機能する。給気孔１８の下端部には、エア圧送源２１が接続されている。

【0018】

第２モータ１９はベースプレート１０の下面に取り付けられている。第２モータ１９の上向きの駆動軸には、軸線を上下方向に向けた平歯車２０が取り付けられている。バレル研磨装置Ａを上から見た平面視において、平歯車２０は、回転軸１７に対して偏心した位置に配置されている。平歯車２０はベースプレート１０よりも上方に配置されている。

【0019】

アンダープレート２２は、平面視形状が円形をなし、上面が凹んだ皿形をなしている。アンダープレート２２は、円形のプレート本体部２３と、プレート本体部２３の外周縁から同心状に立ち上がる円筒形の周壁部２４とを有する単一部品である。アンダープレート２２は、ステンレス等の金属材料からなる単一部品である。アンダープレート２２は、軸線を上下方向に向け、回転軸１７と同心状に回転し得る状態でベースプレート１０の上面に支持されている。アンダープレート２２の外周縁部の下面には、内歯歯車２５がアンダープレート２２と同心状に設けられている。内歯歯車２５は、第２モータ１９の平歯車２０に噛み合わされている。アンダープレート２２は、第２モータ１９によって正逆両方向に、且つ周速度の調整を可能に回転駆動される。

【0020】

周壁部２４の上端縁には、アンダープレート２２と同心状に径方向外方へ張り出したフランジ状の支持部２６が形成されている。図３，４に示すように、支持部２６は、円環形をなす水平な載置部２７と、載置部２７の外周縁から同心状に上方へ立ち上がった円形の壁状部２８とを有する。載置部２７の周方向に間隔を空けた複数位置には、載置部２７を上下方向に貫通する第１取付孔２９が形成されている（図３参照）。載置部２７のうち周方向において隣り合う第１取付孔２９の間には、載置部２７を上下方向に貫通する第２取付孔３０が形成されている（図４参照）。壁状部２８の周方向に間隔を空けた複数位置には、壁状部２８を径方向（水平方向）に貫通する調整用雌ネジ孔３１が形成されている。調整用雌ネジ孔３１には、外周面側から調整ボルト３２がねじ込まれている。

【0021】

研磨槽４０は、筒形をなすドラム４１と、ドラム４１の底面の開口を塞ぐように配置されたディスク６０とによって構成されている。研磨槽４０の内部は、バレル研磨を行うための研磨空間３３として機能する。ドラム４１は、全体として軸線を上下方向に向けた円筒形の筒状部材４２と、同じく軸線を上下方向に向けた円環形のリング状部材５０とを備えて構成されている。筒状部材４２は、ドラム本体４３の内周面に、筒状ウレタンライニング４４とをインサート成形によって一体化させたものである。ドラム本体４３は、ステンレス等の金属からなる円筒形の単一部品である。ドラム本体４３の下端部には、周方向に間隔を空けて配置された複数の固定用第１雌ネジ孔４５が形成されている（図３参照）。固定用第１雌ネジ孔４５は、軸線を上下方向に向け、ドラム本体４３の下端面に開口している。

【0022】

筒状ウレタンライニング４４のうち上端側領域の内周面は、複数の長方形平面４６を周方向に連ねて構成されている。図２に示すように、筒状ウレタンライニング４４の上端側領域における内周面の平面視形状は、正多角形（正１２角形）である。筒状ウレタンライニング４４の下端側領域の内周面は、流動促進面４７として機能する。流動促進面４７は、頂点を上向きにした複数の三角形平面４８と、頂点を下向きにした複数の三角形平面４８とを、鈍角をなすように、且つ周方向に交互に連ねて構成されている。流動促進面４７は、筒状ウレタンライニング４４の径方向の厚さ寸法を調整することによって形成されている。筒状ウレタンライニング４４の下端の内周縁は、円形をなしている。

【0023】

リング状部材５０は、リング本体５１の内周面に、リング状ウレタンライニング５２をインサート成形によって一体化させたものである。リング本体５１は、ステンレス等の金属からなる円環形の単一部品である。リング本体５１には、周方向に間隔を空けて配置された複数の調整用貫通孔５３が形成されている（図参照）。調整用貫通孔５３は、軸線を上下方向に向け、リング本体５１を貫通している。調整用貫通孔５３の内径は、後述する第１ボルト５６の雄ネジ部の外径よりも大きい。リング本体５１には、軸線を上下方向に向け、リング本体５１を貫通する複数の固定用第２雌ネジ孔５４が形成されている（図４参照）。複数の固定用第２雌ネジ孔５４は、周方向に隣り合う調整用貫通孔５３の間に配置されている。

【0024】

リング状ウレタンライニング５２の内周面の平面視形状は、円形である。図５に示すように、リング状ウレタンライニング５２の上端部領域の内径は、その上端部領域の下端から上端に至る全領域に亘って一定である。リング状ウレタンライニング５２の内周面のうち内径が一定である上端部領域は、スリット７０内に臨む内向き対向面５５として機能する。リング状ウレタンライニング５２の内周面のうち上端部よりも下方の広範囲領域は、内径が上端から下端に向かって次第に大きくなるようなテーパ状（円錐台状）をなす誘導面３４として機能する。

【0025】

ドラム４１は、アンダープレート２２の支持部２６に一体回転し得るように固定されている。ドラム４１を固定する際には、載置部２７の上面にリング状部材５０を載置し、第１取付孔２９に調整用貫通孔５３を同心状に位置合わせするとともに、第２取付孔３０に固定用第２雌ネジ孔５４を同心状に位置合わせする。次に、リング状部材５０の上面に筒状部材４２を載置し、調整用貫通孔５３に固定用第１雌ネジ孔４５を同心状に位置合わせする。

【0026】

その後、載置部２７の下方から、第１ボルト５６を、第１取付孔２９と調整用貫通孔５３に貫通させ、固定用第２雌ネジ孔５４にねじ込む。同じく載置部２７の下方から、第２ボルト５７を、第２取付孔３０に貫通させて固定用第２雌ネジ孔５４にねじ込む。第１ボルト５６と第２ボルト５７によって、アンダープレート２２とリング状部材５０と筒状部材４２が固定される。第１ボルト５６と第２ボルト５７を締め付けることによって、筒状部材４２とリング状部材５０が一体化されるとともに、アンダープレート２２に固定される。

【0027】

ディスク６０は、全体として上面が浅く凹んだ皿状の部材である。ディスク６０は、ステンレス等の金属からなるディスク本体６１と、皿状ウレタンライニング６７とをインサート成形によって一体化させたものである。ディスク本体６１は、円形の水平板部６２と、水平板部６２と同心の円錐台状をなすテーパ状板部６３とを有する単一部品である。水平板部６２（ディスク本体６１）の中心孔は、回転軸１７の上端部に対して一体回転し得るように固着されている。テーパ状板部６３は、水平板部６２の外周縁から径方向外方（外周縁側）に向かって次第に高くなるように斜め上方へ延出した形状をなす。水平板部６２の上面には、平面視円形をなすドーム状のカバー６５が、ディスク本体６１と同心状に取り付けられている。皿状ウレタンライニング６７は、ディスク本体６１の上面のうちカバー６５よりも外周側の領域全体に形成されている。

【0028】

ディスク本体６１の上面とカバー６５の内面とによって囲まれた空間は、通気空間３５として機能する。通気空間３５内においては、回転軸１７の上端面と水平板部６２の上面中心部に固定板３６が固着されている。固定板３６には、給気孔１８と通気空間３５とを連通させる連通孔３７が形成されている。アンダープレート２２の内面と、ディスク本体６１の下面との間には、エアの流動が可能な環状空間７１が形成されている。環状空間７１は、回転軸１７を包囲するように配置され、回転軸１７と同心の円形をなす空間である。水平板部６２には、通気空間３５と環状空間７１とを連通させる複数の通気孔６４が形成されている。

【0029】

図５に示すように、ディスク本体６１のテーパ状板部６３の最外周縁部６３Ｅは、上向きに尖った形状をなしている。皿状ウレタンライニング６７の外周縁部には、最外周縁部６３Ｅの外周面に密着する下向きの折返部６８が形成されている。折返部６８の外周面は、スリット７０内に臨む外向き対向面６９として機能する。

【0030】

ドラム４１の下端部内周面とディスク６０の外周縁部との間には、平面視形状がディスク６０と同心の円形リング状をなすスリット７０が形成されている。スリット７０は、研磨槽４０を、回転軸１７の回転中心軸３８と平行な上下方向に貫通させる空間である。図５に示すように、スリット７０は、狭小空間７２と誘導空間７３とから構成されている。狭小空間７２の上端は、全周に亘って研磨槽４０の研磨空間３３内へ上向きに開口している。誘導空間７３は狭小空間７２の下方に位置している。誘導空間７３の上端と狭小空間７２の下端とは、互いに連通している。誘導空間７３の下端は、全周に亘って環状空間７１内へ下向きに開口している。スリット７０は、環状空間７１と研磨空間３３とを連通させる。

【0031】

狭小空間７２は、リング状ウレタンライニング５２の内向き対向面５５と、皿状ウレタンライニング６７の外向き対向面６９の上端部とによって構成されている。回転軸１７の回転中心軸３８を含むようにバレル研磨装置Ａを切断した断面において、内向き対向面５５と外向き対向面６９は、互いに平行をなしている。狭小空間７２の径方向の幅寸法（内向き対向面５５と外向き対向面６９との間隔）は、狭小空間７２の上端から下端まで一定の寸法であり、研磨粉が通過し難いと想定される０．２ｍｍ～０．４ｍｍ程度に設定されている。

【0032】

誘導空間７３は、リング状ウレタンライニング５２の誘導面３４と、外向き対向面６９の下端側領域及びディスク本体６１の外周面とによって構成されている。誘導面３４の上端部と内向き対向面５５の下端部は、段差が生じないように鈍角をなして連なっている。誘導空間７３の径方向の幅寸法は、誘導空間７３の上端において最小であり、誘導空間７３の下端において最大である。誘導空間７３の径方向の幅寸法は、全体として、誘導空間７３の下端から上端に向かって小さくなっている。スリット７０の径方向の幅寸法も、全体としては、下端から上端に向かって小さくなっている。

【0033】

研磨槽４０の内部には、圧送装置７４によって加圧されたエアが供給されるようになっている。圧送装置７４は、エア圧送源２１と、スリット７０と、給気空間７５とを備えて構成されている。エア圧送源２１は、既述のようにディスク６０を回転駆動するための回転軸１７の給気孔１８に接続されている。給気空間７５は、給気孔１８と、既述の環状空間７１と、連通空間７６とを備えて構成されている。連通空間７６は、カバー６５で包囲された通気空間３５と、固定板３６の連通孔３７と、ディスク本体６１の通気孔６４とによって構成されている。

【0034】

エア圧送源２１から圧送されたエアは、給気孔１８と、連通孔３７と、通気空間３５と、通気孔６４と、環状空間７１と、スリット７０とを順に通過することによって、研磨槽４０の研磨空間３３内に供給される。環状空間７１は、給気孔１８を同心状に包囲する空間であるから、給気孔１８に圧送されたエアは、連通空間７６を経た後、環状空間７１内を全周に亘って均一に拡がり、スリット７０に至る。したがって、スリット７０からは、全周に亘って均一な圧力及び均一な流量で、エアが研磨空間３３内に圧送される。

【0035】

研磨中は、ディスク６０の回転力を受けたマスＭが、遠心力によってディスク６０の外周縁部とドラム４１の下端部、即ちスリット７０が開口する領域で流動する。そのため、研磨によって生じた研磨粉が、スリット７０内に侵入してスリット７０を目詰まりさせたり、スリット７０から環状空間７１内へ落下したりすることが懸念される。しかし、スリット７０から研磨槽４０内へエアが吹き出しているので、研磨中に生じた研磨粉がスリット７０に吸い寄せられる虞はない。また、ワークが空気抵抗の大きい板状のものであっても、ワークがスリット７０に引き寄せられることはない。

【0036】

スリット７０の隙間（径方向の幅寸法）は、調整装置７７によって、全周に亘って均一になるように調整されている。調整装置７７は、アンダープレート２２の支持部２６と、調整用雌ネジ孔３１と、調整ボルト３２と、第１ボルト５６と、第２ボルト５７と、調整用貫通孔５３とを備えて構成されている。スリット７０の隙間を調整する際には、アンダープレート２２に対してリング状部材５０がディスク６０と同心状に配置されるように、リング状部材５０の水平方向の位置を調整する。調整の際には、第１ボルト５６と第２ボルト５７を緩めた状態で、複数の調整ボルト３２をリング状部材５０（リング本体５１）の外周面に押し当てることによって、リング状部材５０を載置部２７の上面で滑らせるようにして水平方向に移動させる。リング状部材５０をディスク６０と同心状となるように位置決めした後、第１ボルト５６と第２ボルト５７を締め付けることによって、リング状部材５０をアンダープレート２２に固定する。

【0037】

次に、本実施例１の作用を説明する。研磨を行う際には、研磨槽４０にマスＭ（ワーク、研磨石）を投入し、駆動機構１５によって、ディスク６０とドラム４１を、同軸状に且つ互いに逆方向へ回転させる。ディスク６０とドラム４１の回転によって、マスＭが研磨槽４０内周で流動し、研磨石によってワークの表面が研磨される。研磨中は、ワークや研磨石から発生した研磨粉が研磨槽４０の上方へ舞い上がるが、この舞い上がったマスＭの研磨粉は、ハウジング１１の外部へ拡散することなく、集塵口１３から集塵装置１４によって吸引される。

【0038】

研磨中は、マスＭが、ディスク６０からの回転力を受け、遠心力によってディスク６０の外周縁からドラム４１の内周面に沿って上昇し、雪崩のように流動する。このとき、マスＭは、ドラム４１の流動促進面４７によって周方向へ横流れすることを抑制されるので、上下方向の流動を生じ易い。この上下方向の流動によって、ワークの表面全体に亘って研磨石が均一に接触し、良好な研磨が促進される。また、ドラム４１とディスク６０が逆方向に回転しているので、マスＭのドラム４１への貼り付きも抑制される。

【0039】

研磨槽４０の内面を構成するドラム４１の内周面には、耐摩耗性に優れた筒状ウレタンライニング４４が形成されている。同じく研磨槽４０の内面を構成するディスク６０の上面にも、耐摩耗性に優れた皿状ウレタンライニング６７が形成されている。これにより、ステンレスよりも硬いワークや研磨石が、研磨槽４０の内面に高速で接触してもディスク６０やドラム４１は摩耗し難い。

【0040】

ドラム４１の内周面とディスク６０の外周縁との間にスリット７０を設けることによって、ドラム４１とディスク６０が、摺動抵抗を生じさせることなく、非接触の状態で円滑に回転できるようにした。圧送装置７４によって環状空間７１に圧送されたエアが、スリット７０の上端から研磨槽４０内へ上向きに吐出される。したがって、研磨槽４０内においてスリット７０の幅よりも小径の研磨粉が発生したとしても、その小径の研磨粉がスリット７０を通って環状空間７１内に落下する虞はない。

【0041】

研磨粉の一部がスリット７０に噛み込んでも、スリット７０を構成する内向き対向面５５と外向き対向面６９は、ウレタン樹脂製なので、噛み込んだ研磨粉によって摩耗する虞はない。万一、研磨粉がスリット７０に噛み込んで、内向き対向面５５が摩耗した場合には、内向き対向面５５を有するリング状部材５０を交換すればよい。リング状部材５０を交換する際には、第１ボルト５６と第２ボルト５７を外し、筒状部材４２とリング状部材５０をアンダープレート２２の支持部２６から取り外す。そして、新規のリング状部材５０をアンダープレート２２に載置し、その上に筒状部材４２を位置して、第１ボルト５６と第２ボルト５７によって筒状部材４２とリング状部材５０を固定すればよい。

【0042】

本実施例１のバレル研磨装置Ａは、研磨槽４０と、駆動機構１５と、集塵装置１４と、圧送装置７４とを備えている。研磨槽４０は、筒形をなすドラム４１と、ドラム４１の底面の開口を塞ぐように配置されたディスク６０とを有する。駆動機構１５は、ディスク６０をドラム４１と同軸状に回転駆動する。集塵装置１４は、ドラム４１の上方において研磨槽４０内の研磨粉を吸引する。圧送装置７４は、ディスク６０とドラム４１との間のスリット７０を介して、研磨槽４０の外部から研磨槽４０の内部へエアを圧送する。研磨槽４０内で発生した研磨粉は、ドラム４１の上方において集塵装置１４によって回収される。圧送装置７４は、ドラム４１とディスク６０との間のスリット７０を通して研磨槽４０内にエアを圧送するので、研磨槽４０内の研磨粉やワークがスリット７０に引き寄せられる虞がない。したがって、研磨槽４０内の研磨粉やワーク等によってスリット７０が詰まることを抑制できる。

【0043】

スリット７０の径方向の幅寸法は、研磨槽４０の外部側（スリット７０の下端）から研磨槽４０の内部側（スリット７０の上端）に向かって狭まるように設定されている。この構成によれば、スリット７０内では圧送されたエアの流速が高くなり、スリット７０から研磨槽４０内へのエアの吐出圧が高くなるので、スリット７０の詰まりを効果的に防止することができる。

【0044】

圧送装置７４は、研磨槽４０の外部に設けた給気空間７５と、給気空間７５にエアを圧送するエア圧送源２１とを備えている。給気空間７５は、ディスク６０に回転力を伝達する筒状の回転軸１７の給気孔１８と、回転軸１７を包囲する環状空間７１とを含んでいる。給気孔１８はエア圧送源２１に接続されている。環状空間７１とスリット７０とが全周に亘って連通している。この構成によれば、スリット７０の全周に亘ってエアを均一に研磨槽４０内へ吐出することができる。

【0045】

スリット７０は、研磨槽４０をディスク６０の回転中心軸３８と平行な上下方向に貫通するように形成されている。ドラム４１は、筒状部材４２とリング状部材５０とを組み付けて構成されている。筒状部材４２は、スリット７０に対して回転中心軸３８の軸線方向（上方）に離隔した位置に配置されている。リング状部材５０は、スリット７０を構成する部材である。

【0046】

ディスク６０に対するリング状部材５０の径方向の位置は、調整装置７７によって調整することが可能である。調整装置７７を設けたことによって、スリット７０の径方向の幅寸法を全周に亘って均一に設定することができる。スリット７０の幅を調整する際には、ドラム４１全体を移動させるのではなく、リング状部材５０のみを移動させれば済むので、作業性が良い。リング状部材５０のうちスリット７０に臨む面が摩耗したときには、リング状部材５０のみを交換すればよく、ドラム４１全体を交換せずに済む。

【0047】

＜他の実施例＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
研磨槽におけるスリットの貫通方向は、ディスクの回転中心軸と交差する径方向（水平方向や、水平方向に対して傾斜した方向）としてもよい。
スリットの幅寸法は、研磨槽の内部側（スリットの上端）から外部側（スリットの下端）に至る全領域に亘って一定の寸法であってもよい。
エア圧送源が、環状空間の外周縁部や、環状空間のうち回転軸に対して径方向に偏心した位置に接続されていてもよい。
ドラムは、筒状部材とリング状部材とに分離できない一体型のものでもよい。
ドラムは、回転せずに固定されていてもよい。
ドラムに流動促進面を設けない構成としてもよい。
ディスクの上面に、複数の平面部を鈍角状に連ねた回転促進面を形成してもよい。
スリットの内面（ドラム本体の内周面とディスク本体の外周面）にウレタンライニングが形成されていなくてもよい。

【符号の説明】

【0048】

Ａ…バレル研磨装置
１５…駆動機構
１４…集塵装置
１７…回転軸
１８…給気孔
２１…エア圧送源
４０…研磨槽
４１…ドラム
４２…筒状部材
５０…リング状部材
５５…内向き対向面
６０…ディスク
６９…外向き対向面
７０…スリット
７１…環状空間
７４…圧送装置
７５…給気空間
７７…調整装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】