特開2024-114249負圧吸着パレット、自動パレット交換装置、および自動パレット交換方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024114249
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】負圧吸着パレット、自動パレット交換装置、および自動パレット交換方法
(51)【国際特許分類】
B23Q 7/00 20060101AFI20240816BHJP
B23Q 3/08 20060101ALI20240816BHJP
【ＦＩ】
B23Q7/00 J
B23Q7/00 H
B23Q3/08 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023019896
(22)【出願日】2023-02-13
(71)【出願人】
【識別番号】000003458
【氏名又は名称】芝浦機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000637
【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所
(72)【発明者】
【氏名】野中 貴之
(72)【発明者】
【氏名】関 和浩
(72)【発明者】
【氏名】浅野目 裕
【テーマコード（参考）】
3C016
3C033
【Ｆターム（参考）】
3C016DA01
3C033AA15
3C033AA22
(57)【要約】
【課題】負圧配管まわりの構造を簡素にできかつ移動経路全体でワークの吸着が維持できる負圧吸着パレット、自動パレット交換装置、および自動パレット交換方法を提供する。
【解決手段】ワーク２を保持した状態で工作機械のテーブル上に搬入および搬出される負圧吸着パレット３０であって、ワーク２を保持する保持面３３と、保持面３３に配置された第１吸着孔３１４、外部の負圧配管が接続可能な第１カプラ３１３、および第１吸着孔３１４と第１カプラ３１３とを連通する第１連通路３１０、を有する第１吸着回路３１と、保持面３３に配置された第２吸着孔３２４、外部の負圧配管が接続可能な第２カプラ３２３、および第２吸着孔３２４と第２カプラ３２３とを連通する第２連通路３２０、を有する第２吸着回路３２と、を有し、第１吸着孔３１４および第２吸着孔３２４は、保持面３３に載置されたワーク２を個別または同時に吸着可能である。
【選択図】図２
【解決手段】ワーク２を保持した状態で工作機械のテーブル上に搬入および搬出される負圧吸着パレット３０であって、ワーク２を保持する保持面３３と、保持面３３に配置された第１吸着孔３１４、外部の負圧配管が接続可能な第１カプラ３１３、および第１吸着孔３１４と第１カプラ３１３とを連通する第１連通路３１０、を有する第１吸着回路３１と、保持面３３に配置された第２吸着孔３２４、外部の負圧配管が接続可能な第２カプラ３２３、および第２吸着孔３２４と第２カプラ３２３とを連通する第２連通路３２０、を有する第２吸着回路３２と、を有し、第１吸着孔３１４および第２吸着孔３２４は、保持面３３に載置されたワーク２を個別または同時に吸着可能である。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークを保持した状態で工作機械のテーブル上に搬入および搬出される負圧吸着パレットであって、
前記ワークを保持する保持面と、
前記保持面に配置された第１吸着孔、外部の負圧配管が接続可能な第１カプラ、および第１吸着孔と第１カプラとを連通する第１連通路、を有する第１吸着回路と、
前記保持面に配置された第２吸着孔、外部の負圧配管が接続可能な第２カプラ、および第２吸着孔と第２カプラとを連通する第２連通路、を有する第２吸着回路と、を有し、
前記第１吸着孔および前記第２吸着孔は、前記保持面に載置された前記ワークを個別または同時に吸着可能である、負圧吸着パレット。
前記ワークを保持する保持面と、
前記保持面に配置された第１吸着孔、外部の負圧配管が接続可能な第１カプラ、および第１吸着孔と第１カプラとを連通する第１連通路、を有する第１吸着回路と、
前記保持面に配置された第２吸着孔、外部の負圧配管が接続可能な第２カプラ、および第２吸着孔と第２カプラとを連通する第２連通路、を有する第２吸着回路と、を有し、
前記第１吸着孔および前記第２吸着孔は、前記保持面に載置された前記ワークを個別または同時に吸着可能である、負圧吸着パレット。
【請求項2】
請求項１に記載した負圧吸着パレットにおいて、
前記第１カプラおよび前記第２カプラは、それぞれ前記負圧吸着パレットの同じ側面の互いに反対側端部に設置されている、負圧吸着パレット。
前記第１カプラおよび前記第２カプラは、それぞれ前記負圧吸着パレットの同じ側面の互いに反対側端部に設置されている、負圧吸着パレット。
【請求項3】
請求項１または請求項２に記載した負圧吸着パレットにおいて、
前記第１連通路は、互いに平行な複数の第１支線部と、各第１支線部の同じ側の端部を順次連結しかつ前記第１カプラに接続される第１幹線部と、を有し、
前記第２連通路は、前記第１支線部と交互に配置される互いに平行な複数の第２支線部と、前記第１幹線部とは反対側となる各第２支線部の端部を順次連結しかつ前記第２カプラに接続される第２幹線部と、を有する負圧吸着パレット。
前記第１連通路は、互いに平行な複数の第１支線部と、各第１支線部の同じ側の端部を順次連結しかつ前記第１カプラに接続される第１幹線部と、を有し、
前記第２連通路は、前記第１支線部と交互に配置される互いに平行な複数の第２支線部と、前記第１幹線部とは反対側となる各第２支線部の端部を順次連結しかつ前記第２カプラに接続される第２幹線部と、を有する負圧吸着パレット。
【請求項4】
請求項１に記載した負圧吸着パレットを用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換装置であって、
前記テーブル上に前記負圧吸着パレットを保持可能な加工ステーションと、
前記テーブル外で前記負圧吸着パレットを保持可能な準備ステーションと、
前記準備ステーションから前記加工ステーションに至る前記負圧吸着パレットの移動経路の途中で前記負圧吸着パレットを保持可能な中継ステーションと、
前記準備ステーションと前記中継ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる準備側移動機構と、
前記加工ステーションと前記中継ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる加工側移動機構と、
前記準備ステーションと前記中継ステーションとの間にある前記負圧吸着パレットに接続可能な準備側負圧配管と、
前記加工ステーションと前記中継ステーションとの間にある前記負圧吸着パレットに接続可能な加工側負圧配管と、を有する自動パレット交換装置。
前記テーブル上に前記負圧吸着パレットを保持可能な加工ステーションと、
前記テーブル外で前記負圧吸着パレットを保持可能な準備ステーションと、
前記準備ステーションから前記加工ステーションに至る前記負圧吸着パレットの移動経路の途中で前記負圧吸着パレットを保持可能な中継ステーションと、
前記準備ステーションと前記中継ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる準備側移動機構と、
前記加工ステーションと前記中継ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる加工側移動機構と、
前記準備ステーションと前記中継ステーションとの間にある前記負圧吸着パレットに接続可能な準備側負圧配管と、
前記加工ステーションと前記中継ステーションとの間にある前記負圧吸着パレットに接続可能な加工側負圧配管と、を有する自動パレット交換装置。
【請求項5】
請求項１に記載した負圧吸着パレットを用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換装置であって、
前記テーブル上に前記負圧吸着パレットを保持可能な加工ステーションと、
前記テーブル外で前記負圧吸着パレットを保持可能な準備ステーションと、
前記準備ステーションと前記加工ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる移動機構と、
前記準備ステーションから引き出されて、前記準備ステーションから前記加工ステーションまで移動する前記負圧吸着パレットに接続可能な準備側負圧配管と、
前記加工ステーションから引き出されて、前記加工ステーションにある前記負圧吸着パレットに接続可能な加工側負圧配管と、を有する自動パレット交換装置。
前記テーブル上に前記負圧吸着パレットを保持可能な加工ステーションと、
前記テーブル外で前記負圧吸着パレットを保持可能な準備ステーションと、
前記準備ステーションと前記加工ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる移動機構と、
前記準備ステーションから引き出されて、前記準備ステーションから前記加工ステーションまで移動する前記負圧吸着パレットに接続可能な準備側負圧配管と、
前記加工ステーションから引き出されて、前記加工ステーションにある前記負圧吸着パレットに接続可能な加工側負圧配管と、を有する自動パレット交換装置。
【請求項6】
請求項４に記載した自動パレット交換装置を用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換方法であって、
前記準備ステーションにおいて前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記準備ステーションから前記中継ステーションへと移動させ、
前記中継ステーションにおいて、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記加工側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記準備側負圧配管を分離し、
前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記加工ステーションへと移動させることで、前記テーブル上に前記ワークを搬入するとともに、
前記テーブル上から前記ワークを搬出する際には、
前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記加工ステーションから前記中継ステーションへと移動させ、
前記中継ステーションにおいて、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記加工側負圧配管を分離し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記準備ステーションへと移動させる、自動パレット交換方法。
前記準備ステーションにおいて前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記準備ステーションから前記中継ステーションへと移動させ、
前記中継ステーションにおいて、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記加工側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記準備側負圧配管を分離し、
前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記加工ステーションへと移動させることで、前記テーブル上に前記ワークを搬入するとともに、
前記テーブル上から前記ワークを搬出する際には、
前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記加工ステーションから前記中継ステーションへと移動させ、
前記中継ステーションにおいて、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記加工側負圧配管を分離し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記準備ステーションへと移動させる、自動パレット交換方法。
【請求項7】
請求項５に記載した自動パレット交換装置を用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換方法であって、
前記準備ステーションにおいて前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記準備ステーションから前記加工ステーションへと移動させ、
前記加工ステーションにおいて、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記加工側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記準備側負圧配管を分離することで、前記テーブル上に前記ワークを搬入するとともに、
前記テーブル上から前記ワークを搬出する際には、
前記加工ステーションにおいて、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記加工側負圧配管を分離し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記準備ステーションへと移動させる、自動パレット交換方法。
前記準備ステーションにおいて前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記準備ステーションから前記加工ステーションへと移動させ、
前記加工ステーションにおいて、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記加工側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記準備側負圧配管を分離することで、前記テーブル上に前記ワークを搬入するとともに、
前記テーブル上から前記ワークを搬出する際には、
前記加工ステーションにおいて、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記加工側負圧配管を分離し、
前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記準備ステーションへと移動させる、自動パレット交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、負圧吸着パレット、自動パレット交換装置、および自動パレット交換方法に関する。
【背景技術】
【0002】
工作機械では、テーブル上に載置されたワークに対して工具による加工を行う。テーブル上へのワークの搬入および搬出を効率よく行うために、工作機械にはパレットでワークを搬送する自動パレット交換装置が設置される。
自動パレット交換装置は、テーブル上に設定される加工位置と、テーブル外に設定される準備位置と、準備位置から加工位置に至る移動経路を移動可能な複数のパレットとを備える。ワークは、準備位置でパレットに保持され、パレットに載せて移動経路を移送され、加工位置に搬入されて加工される。加工の間に、準備位置では他のパレットにワークの着脱が実施でき、並列化による作業の効率化が図られる。加工ののち、ワークはパレットとともに加工位置から搬出され、移動経路を搬送されて準備位置へ戻される。
自動パレット交換装置において、パレット上のワークを定位置に保持するために、パレットには真空チャック装置が用いられる。真空チャック装置は、パレットの表面に吸着孔を有し、吸着孔は負圧配管を通して真空ポンプなどの外部の減圧装置に接続され、吸着孔の減圧によりワークを負圧吸着することができる（特許文献１参照）。
自動パレット交換装置は、テーブル上に設定される加工位置と、テーブル外に設定される準備位置と、準備位置から加工位置に至る移動経路を移動可能な複数のパレットとを備える。ワークは、準備位置でパレットに保持され、パレットに載せて移動経路を移送され、加工位置に搬入されて加工される。加工の間に、準備位置では他のパレットにワークの着脱が実施でき、並列化による作業の効率化が図られる。加工ののち、ワークはパレットとともに加工位置から搬出され、移動経路を搬送されて準備位置へ戻される。
自動パレット交換装置において、パレット上のワークを定位置に保持するために、パレットには真空チャック装置が用いられる。真空チャック装置は、パレットの表面に吸着孔を有し、吸着孔は負圧配管を通して真空ポンプなどの外部の減圧装置に接続され、吸着孔の減圧によりワークを負圧吸着することができる（特許文献１参照）。
【0003】
特許文献１の自動パレット交換装置では、テーブル上の加工位置からＸ方向にずれたテーブル外に、２つの準備位置がＹ方向に並べて設置されている。各準備位置にはそれぞれパレットが配置され、各パレットは準備位置からＹ方向およびＸ方向へ移動することで加工位置へ導入可能である。各パレットには、それぞれ吸引ホースおよび真空ポンプが接続される。パレットが移動する際、吸引ホースは移動経路に沿って引き出される。移動経路がＹ方向からＸ方向へ屈曲する地点にはホースリールが設置されている。パレットの移動により引き出される吸引ホースは、ホースリールで屈曲されて移動経路に沿わされ、途中部分での蛇行や絡みが防止される。
【0004】
自動パレット交換装置の真空チャック装置としては、フィルタ清掃のために交互使用可能な２系統の減圧装置を設けたものもある（特許文献２参照）。
特許文献２の装置では、ワークを吸着するパレットへの接続は１系統とされ、その接続先を電磁切替弁で２系統の減圧装置のいずれかに切り替えている。
特許文献２の装置では、ワークを吸着するパレットへの接続は１系統とされ、その接続先を電磁切替弁で２系統の減圧装置のいずれかに切り替えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２００４－６６３７４号公報
【特許文献2】特開２００４－４２２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
前述した特許文献１の自動パレット交換装置では、各パレットに接続される吸引ホースの途中部分をホースリールに巻回させ、これにより移動経路に沿って屈曲させており、吸引ホースの引き出しには抵抗力が生じている。また、ホースリールへの巻回を維持するために吸引ホースには所定の張力を付与することが必要となる。
このような負圧配管からの抵抗力や張力が、テーブル上のパレットに常に加わっていると、ワークの加工時にパレットをＹＸ各方向へ移動させる際に動作抵抗となり、円滑な加工動作が妨げられる可能性があった。
これに対し、テーブル周辺に短尺の吸引ホースを準備しておき、この吸引ホースで加工時のワークの吸着を行うことで、搬送経路までの吸引ホースを分離することができ、加工動作の円滑性を高めることができる。
しかし、このような構成で負圧配管のつなぎ替えを行う際には、一時的にパレットにおけるワークの負圧吸着が途切れることになり、その間にワークのずれ等が生じる可能性があり、精度が要求される工作機械の自動パレット交換装置としては採用できなかった。
このような負圧配管からの抵抗力や張力が、テーブル上のパレットに常に加わっていると、ワークの加工時にパレットをＹＸ各方向へ移動させる際に動作抵抗となり、円滑な加工動作が妨げられる可能性があった。
これに対し、テーブル周辺に短尺の吸引ホースを準備しておき、この吸引ホースで加工時のワークの吸着を行うことで、搬送経路までの吸引ホースを分離することができ、加工動作の円滑性を高めることができる。
しかし、このような構成で負圧配管のつなぎ替えを行う際には、一時的にパレットにおけるワークの負圧吸着が途切れることになり、その間にワークのずれ等が生じる可能性があり、精度が要求される工作機械の自動パレット交換装置としては採用できなかった。
【0007】
本発明の目的は、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる負圧吸着パレット、自動パレット交換装置、および自動パレット交換方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の負圧吸着パレットは、ワークを保持した状態で工作機械のテーブル上に搬入および搬出される負圧吸着パレットであって、前記ワークを保持する保持面と、前記保持面に配置された第１吸着孔、外部の負圧配管が接続可能な第１カプラ、および第１吸着孔と第１カプラとを連通する第１連通路、を有する第１吸着回路と、前記保持面に配置された第２吸着孔、外部の負圧配管が接続可能な第２カプラ、および第２吸着孔と第２カプラとを連通する第２連通路、を有する第２吸着回路と、を有し、前記第１吸着孔および前記第２吸着孔は、前記保持面に載置された前記ワークを個別または同時に吸着可能である。
【0009】
このような本発明では、第１吸着回路および第２吸着回路にそれぞれ外部の負圧配管を接続することができる。そして、第１吸着回路および第２吸着回路のどちらかに外部の負圧配管が接続されていれば、保持面にワークを負圧吸着することができる。従って、複数の負圧配管のつなぎ替えを行う場合でも、その際にワークの負圧吸着が途切れることを防止でき、その間にワークのずれ等が生じる可能性を解消でき、精度が要求される工作機械の自動パレット交換装置にも採用できる。
複数の負圧配管をもつ自動パレット交換装置としては、例えば準備位置から加工位置までの搬送経路（準備位置および加工位置を含む）を分割し、各区間を担当する負圧配管を設けたもの、あるいは搬送経路の往路および復路を各々担当する負圧配管を設けたものが利用できる。
例えば、区間毎に分担する場合、準備位置で第１吸着回路に負圧配管を接続し、第１吸着回路でパレット上のワークを吸着し、この状態でパレットを移動経路の加工位置側へ移動させる。移動の途中で、第２吸着回路に別の負圧配管を接続し、第２吸着回路でパレット上のワークを吸着し、この状態で第１吸着回路に接続されていた負圧配管を分離したうえ、パレットを加工位置へと移動させる。これにより、準備位置から移動経路の途中までは、第１吸着回路によりワークの吸着が維持され、移動経路の途中から加工位置までは、第２吸着回路によりワークの吸着が維持される。
このような操作により、移動経路の途中で第１吸着回路と第２吸着回路とを切り替えることで、第１吸着回路に接続される負圧配管は準備位置から移動経路の途中までの区間を担当し、第２吸着回路に接続される負圧配管は移動経路の途中から加工位置までの区間を担当すればよく、各々の引き回し長さを短縮して絡みなどを防止できる。とくに、移動経路がＸＹ方向に屈曲する際など、屈曲する位置で２系統の負圧配管の切り替えを行うことで、各区間が直線的になり各区間を担当する負圧配管の引き回しをさらに簡素化できる。
さらに、移動経路の途中で第１吸着回路と第２吸着回路とを切り替える操作の間もワークの吸着を維持することができ、移動経路全体でワークの吸着を維持できる。
なお、パレットを加工位置から準備位置へと戻す際には、逆の手順で第２吸着回路と第１吸着回路との切り替えを行えばよい。
これにより負圧配管まわりの構造を簡素にできかつ移動経路全体でワークの吸着が維持できる負圧吸着パレットを提供できる。
複数の負圧配管をもつ自動パレット交換装置としては、例えば準備位置から加工位置までの搬送経路（準備位置および加工位置を含む）を分割し、各区間を担当する負圧配管を設けたもの、あるいは搬送経路の往路および復路を各々担当する負圧配管を設けたものが利用できる。
例えば、区間毎に分担する場合、準備位置で第１吸着回路に負圧配管を接続し、第１吸着回路でパレット上のワークを吸着し、この状態でパレットを移動経路の加工位置側へ移動させる。移動の途中で、第２吸着回路に別の負圧配管を接続し、第２吸着回路でパレット上のワークを吸着し、この状態で第１吸着回路に接続されていた負圧配管を分離したうえ、パレットを加工位置へと移動させる。これにより、準備位置から移動経路の途中までは、第１吸着回路によりワークの吸着が維持され、移動経路の途中から加工位置までは、第２吸着回路によりワークの吸着が維持される。
このような操作により、移動経路の途中で第１吸着回路と第２吸着回路とを切り替えることで、第１吸着回路に接続される負圧配管は準備位置から移動経路の途中までの区間を担当し、第２吸着回路に接続される負圧配管は移動経路の途中から加工位置までの区間を担当すればよく、各々の引き回し長さを短縮して絡みなどを防止できる。とくに、移動経路がＸＹ方向に屈曲する際など、屈曲する位置で２系統の負圧配管の切り替えを行うことで、各区間が直線的になり各区間を担当する負圧配管の引き回しをさらに簡素化できる。
さらに、移動経路の途中で第１吸着回路と第２吸着回路とを切り替える操作の間もワークの吸着を維持することができ、移動経路全体でワークの吸着を維持できる。
なお、パレットを加工位置から準備位置へと戻す際には、逆の手順で第２吸着回路と第１吸着回路との切り替えを行えばよい。
これにより負圧配管まわりの構造を簡素にできかつ移動経路全体でワークの吸着が維持できる負圧吸着パレットを提供できる。
【0010】
本発明の負圧吸着パレットにおいて、前記第１カプラおよび前記第２カプラは、それぞれ前記パレットの同じ側面の互いに反対側端部に設置されていることが好ましい。
このような本発明では、第１カプラおよび第２カプラが前記負圧吸着パレットの同じ側面にあることで、負圧配管を接続する操作を容易に行える。また、第１カプラおよび第２カプラが、同じ側面の互いに反対側端部にあることで、負圧配管を接続する際の各々の識別が容易である。
このような本発明では、第１カプラおよび第２カプラが前記負圧吸着パレットの同じ側面にあることで、負圧配管を接続する操作を容易に行える。また、第１カプラおよび第２カプラが、同じ側面の互いに反対側端部にあることで、負圧配管を接続する際の各々の識別が容易である。
【0011】
本発明の負圧吸着パレットにおいて、前記第１連通路は、互いに平行な複数の第１支線部と、各第１支線部の同じ側の端部を順次連結しかつ前記第１カプラに接続される第１幹線部と、を有し、前記第２連通路は、前記第１支線部と交互に配置される互いに平行な複数の第２支線部と、前記第１幹線部とは反対側となる各第２支線部の端部を順次連結しかつ前記第２カプラに接続される第２幹線部と、を有することが好ましい。
このような本発明では、第１連通路と第２連通路とが互いに櫛形に対向配置され、互いに交錯しない簡単な構造としつつ、第１吸着孔および第２吸着孔を高密度に配置することができる。
このような本発明では、第１連通路と第２連通路とが互いに櫛形に対向配置され、互いに交錯しない簡単な構造としつつ、第１吸着孔および第２吸着孔を高密度に配置することができる。
【0012】
本発明の自動パレット交換装置は、前述した本発明の負圧吸着パレットを用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換装置であって、前記テーブル上に前記負圧吸着パレットを保持可能な加工ステーションと、前記テーブル外で前記負圧吸着パレットを保持可能な準備ステーションと、前記準備ステーションから前記加工ステーションに至る前記負圧吸着パレットの移動経路の途中で前記負圧吸着パレットを保持可能な中継ステーションと、前記準備ステーションと前記中継ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる準備側移動機構と、前記加工ステーションと前記中継ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる加工側移動機構と、前記準備ステーションと前記中継ステーションとの間にある前記負圧吸着パレットに接続可能な準備側負圧配管と、前記加工ステーションと前記中継ステーションとの間にある前記負圧吸着パレットに接続可能な加工側負圧配管と、を有する。
【0013】
このような本発明では、負圧吸着パレットを準備ステーションに保持した状態でワークの設置などの準備作業を行い、負圧吸着パレットを加工ステーションに保持した状態で工作機械によるワークの加工作業を行うことができる。そして、準備側移動機構および加工側移動機構により、準備ステーションの負圧吸着パレットを中継ステーション経由で加工ステーションへと搬入し、あるいは加工ステーションの負圧吸着パレットを中継ステーション経由で準備ステーションへと搬出できる。
搬送経路のうち、準備ステーションから中継ステーションまでの区間では、準備側負圧配管により負圧吸着パレットにおけるワークの吸着が維持され、加工ステーションから中継ステーションまでの区間では、加工側負圧配管により負圧吸着パレットにおけるワークの吸着が維持される。
中継ステーションにおいては、負圧吸着パレットの負圧吸着を維持するための配管を、準備側負圧配管から加工側負圧配管へ、または加工側負圧配管から準備側負圧配管へ切り替える。この際、負圧吸着パレットの第１吸着回路および第２吸着回路にそれぞれ加工側負圧配管および準備側負圧配管のいずれかを接続し、加工側負圧配管による吸着と準備側負圧配管による吸着とを重複させて並列化することで、ワークの負圧吸着が途切れることを防止できる。
従って、本発明においては、加工ステーションから中継ステーションを経て準備ステーションに至る移動経路の全長にわたって途切れることなくワークの吸着を維持できるとともに、移動経路における負圧吸着を準備側負圧配管と加工側負圧配管とで分担することで、各々の配管長さを短縮でき、負圧配管まわりの構造を簡素にできる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットは、加工側負圧配管により加工時のワークの吸着が維持され、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
搬送経路のうち、準備ステーションから中継ステーションまでの区間では、準備側負圧配管により負圧吸着パレットにおけるワークの吸着が維持され、加工ステーションから中継ステーションまでの区間では、加工側負圧配管により負圧吸着パレットにおけるワークの吸着が維持される。
中継ステーションにおいては、負圧吸着パレットの負圧吸着を維持するための配管を、準備側負圧配管から加工側負圧配管へ、または加工側負圧配管から準備側負圧配管へ切り替える。この際、負圧吸着パレットの第１吸着回路および第２吸着回路にそれぞれ加工側負圧配管および準備側負圧配管のいずれかを接続し、加工側負圧配管による吸着と準備側負圧配管による吸着とを重複させて並列化することで、ワークの負圧吸着が途切れることを防止できる。
従って、本発明においては、加工ステーションから中継ステーションを経て準備ステーションに至る移動経路の全長にわたって途切れることなくワークの吸着を維持できるとともに、移動経路における負圧吸着を準備側負圧配管と加工側負圧配管とで分担することで、各々の配管長さを短縮でき、負圧配管まわりの構造を簡素にできる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットは、加工側負圧配管により加工時のワークの吸着が維持され、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
【0014】
本発明の自動パレット交換装置は、前述した本発明の負圧吸着パレットを用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換装置であって、前記テーブル上に前記負圧吸着パレットを保持可能な加工ステーションと、前記テーブル外で前記負圧吸着パレットを保持可能な準備ステーションと、前記準備ステーションと前記加工ステーションとの間で前記負圧吸着パレットを移動させる移動機構と、前記準備ステーションから引き出されて、前記準備ステーションから前記加工ステーションまで移動する前記負圧吸着パレットに接続可能な準備側負圧配管と、前記加工ステーションから引き出されて、前記加工ステーションにある前記負圧吸着パレットに接続可能な加工側負圧配管と、を有する。
【0015】
このような本発明では、負圧吸着パレットを準備ステーションに保持した状態でワークの設置などの準備作業を行い、負圧吸着パレットを加工ステーションに保持した状態で工作機械によるワークの加工作業を行うことができる。そして、移動機構により、準備ステーションの負圧吸着パレットを加工ステーションへと搬入し、あるいは加工ステーションの負圧吸着パレットを準備ステーションへと搬出できる。
加工ステーションにおいては、負圧吸着パレットの負圧吸着を維持するための配管を、準備側負圧配管から加工側負圧配管へ、または加工側負圧配管から準備側負圧配管へ切り替える。この際、負圧吸着パレットの第１吸着回路および第２吸着回路にそれぞれ加工側負圧配管および準備側負圧配管のいずれかを接続し、加工側負圧配管による吸着と準備側負圧配管による吸着とを重複させて並列化することで、ワークの負圧吸着が途切れることを防止できる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットは、加工側負圧配管により加工時のワークの吸着が維持され、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
加工ステーションにおいては、負圧吸着パレットの負圧吸着を維持するための配管を、準備側負圧配管から加工側負圧配管へ、または加工側負圧配管から準備側負圧配管へ切り替える。この際、負圧吸着パレットの第１吸着回路および第２吸着回路にそれぞれ加工側負圧配管および準備側負圧配管のいずれかを接続し、加工側負圧配管による吸着と準備側負圧配管による吸着とを重複させて並列化することで、ワークの負圧吸着が途切れることを防止できる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットは、加工側負圧配管により加工時のワークの吸着が維持され、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
【0016】
本発明の自動パレット交換方法は、前述した中継ステーションを有する本発明の自動パレット交換装置を用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換方法であって、前記準備ステーションにおいて前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続し、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記準備ステーションから前記中継ステーションへと移動させ、前記中継ステーションにおいて、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記加工側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記準備側負圧配管を分離し、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記加工ステーションへと移動させることで、前記テーブル上に前記ワークを搬入するとともに、前記テーブル上から前記ワークを搬出する際に、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記加工ステーションから前記中継ステーションへと移動させ、前記中継ステーションにおいて、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記加工側負圧配管を分離し、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記準備ステーションへと移動させる。
【0017】
このような本発明においては、加工ステーションから中継ステーションを経て準備ステーションに至る移動経路の全長にわたって途切れることなくワークの吸着を維持できるとともに、移動経路における負圧吸着を準備側負圧配管と加工側負圧配管とで分担することで、各々の配管長さを短縮でき、負圧配管まわりの構造を簡素にできる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットは、加工側負圧配管により加工時のワークの吸着が維持され、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットは、加工側負圧配管により加工時のワークの吸着が維持され、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
【0018】
本発明の自動パレット交換方法は、前述した準備用負圧配管および加工用負圧配管を有する本発明の自動パレット交換装置を用いて工作機械のテーブル上にワークを搬入および搬出する自動パレット交換方法であって、前記準備ステーションにおいて前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続し、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記準備ステーションから前記加工ステーションへと移動させ、前記加工ステーションにおいて、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記加工側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記準備側負圧配管を分離することで、前記テーブル上に前記ワークを搬入するとともに、前記テーブル上から前記ワークを搬出する際には、前記加工ステーションにおいて、前記加工側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットに前記準備側負圧配管を接続したのち、前記負圧吸着パレットから前記加工側負圧配管を分離し、前記準備側負圧配管が接続された前記負圧吸着パレットを前記中継ステーションから前記準備ステーションへと移動させる。
【0019】
このような本発明では、準備ステーションから加工ステーションに至る移動経路の全長にわたって、準備側負圧配管により負圧吸着パレットにおけるワークの負圧吸着を維持される。一方、加工ステーションにおいては、加工側負圧配管に接続を切り替えることにより、加工側負圧配管により負圧吸着パレットにおけるワークの吸着が維持される。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットにおいては、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットにおいては、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
【発明の効果】
【0020】
本発明によれば、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる負圧吸着パレット、自動パレット交換装置、および自動パレット交換方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の自動パレット交換装置の第１実施形態を示す平面図。
【図2】前記第１実施形態の負圧吸着パレットを示す平面図。
【図3】前記第１実施形態の負圧吸着パレットの要部を示す部分拡大図。
【図4】前記第１実施形態の第１パレットの準備作業を示す模式図。
【図5】前記第１実施形態の第１パレットの往路中継作業を示す模式図。
【図6】前記第１実施形態の第１パレットの加工作業および第２パレットの準備作業を示す模式図。
【図7】前記第１実施形態の第１パレットの復路中継作業を示す模式図。
【図8】前記第１実施形態の第１パレットの検査作業を示す模式図。
【図9】前記第１実施形態の第２パレットの往路移動作業を示す模式図。
【図10】前記第１実施形態の第２パレットの往路中継作業を示す模式図。
【図11】前記第１実施形態の第２パレットの加工作業および第１パレットの準備作業を示す模式図。
【図12】前記第１実施形態の第２パレットの復路中継作業を示す模式図。
【図13】前記第１実施形態の第２パレットの検査作業および第１パレットの往路移動作業を示す模式図。
【図14】本発明の第２実施形態の第１パレットの加工作業および第２パレットの準備作業を示す模式図。
【図15】本発明の第２実施形態の第２パレットの往路移動作業を示す模式図。
【図16】本発明の第２実施形態の第２パレットの加工作業および第１パレットの準備作業を示す模式図。
【図17】本発明の第２実施形態の第２パレットの復路中継作業を示す模式図。
【図18】本発明の第２実施形態の第２パレットの検査作業および第１パレットの往路移動作業を示す模式図。
【図19】本発明の自動パレット交換装置の第３実施形態を示す平面図。
【図20】本発明の第３実施形態の第１パレットの準備作業を示す模式図。
【図21】本発明の第３実施形態の第１パレットの往路移動を示す模式図。
【図22】本発明の第３実施形態の第１パレットの往路移動後の負圧配管の切り替えを示す模式図。
【図23】本発明の第３実施形態の第１パレットの加工作業および第２パレットの準備作業を示す模式図。
【図24】本発明の第３実施形態の第１パレットの復路移動前の負圧配管の切り替えを示す模式図。
【図25】本発明の第３実施形態の第１パレットの復路移動を示す模式図。
【図26】本発明の第３実施形態の第１パレットの検査作業を示す模式図。
【図27】本発明の第３実施形態の第２パレットの往路移動前半を示す模式図。
【図28】本発明の第３実施形態の第２パレットの往路移動後半を示す模式図。
【図29】本発明の第３実施形態の第２パレットの往路移動後の負圧配管の切り替えを示す模式図。
【図30】本発明の第３実施形態の第２パレットの加工作業および第１パレットの準備作業を示す模式図。
【図31】本発明の第３実施形態の第２パレットの復路移動前の負圧配管の切り替えを示す模式図。
【図32】本発明の第３実施形態の第２パレットの復路移動前半を示す模式図。
【図33】本発明の第３実施形態の第２パレットの復路移動後半および第１パレットの往路移動前半を示す模式図。
【図34】本発明の自動パレット交換装置の第４実施形態を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【0022】
【0023】
工作機械１０は、フロア１１の上にテーブル１２およびコラム１３を有する。コラム１３には主軸ヘッド１４が支持され、主軸ヘッド１４には主軸１５が支持され、主軸１５の先端には加工用の工具（図示省略）が装着されている。
テーブル１２とフロア１１との間にはＸ軸移動機構１６およびＹ軸移動機構１７が設置され、テーブル１２はフロア１１に対して水平なＸ方向およびＹ方向へ移動可能である。コラム１３にはＺ軸移動機構１８が設置され、主軸ヘッド１４および主軸１５は垂直なＺ方向へ移動可能である。
テーブル１２とフロア１１との間にはＸ軸移動機構１６およびＹ軸移動機構１７が設置され、テーブル１２はフロア１１に対して水平なＸ方向およびＹ方向へ移動可能である。コラム１３にはＺ軸移動機構１８が設置され、主軸ヘッド１４および主軸１５は垂直なＺ方向へ移動可能である。
【0024】
テーブル１２の上面には、自動パレット交換装置２０により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０が搬入および搬出される。
ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０がテーブル１２上に搬入された状態で、主軸１５を回転させつつテーブル１２に対してＸＹＺ各軸移動させることで、ワーク２に対する三次元加工が可能である。
ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０がテーブル１２上に搬入された状態で、主軸１５を回転させつつテーブル１２に対してＸＹＺ各軸移動させることで、ワーク２に対する三次元加工が可能である。
【0025】
自動パレット交換装置２０は、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０を工作機械１０のテーブル１２上へ搬入および搬出する装置であって、テーブル１２上に負圧吸着パレット３０を保持可能な加工ステーションＳ０と、テーブル１２外で負圧吸着パレット３０を保持可能な準備ステーションＳ１，Ｓ２と、準備ステーションＳ１，Ｓ２から加工ステーションＳ０に至る負圧吸着パレット３０の移動経路の途中で負圧吸着パレット３０を保持可能な中継ステーションＳ３と、を備えている。
【0026】
加工ステーションＳ０は、工作機械１０でワーク２を加工する際のテーブル１２上に負圧吸着パレット３０が配置される区画である。
中継ステーションＳ３は、加工ステーションＳ０からコラム１３の反対側へずれた位置に設定された区画である。
準備ステーションＳ１，Ｓ２は、中継ステーションＳ３のＹ方向の両側に対称に設定された区画である。
中継ステーションＳ３は、加工ステーションＳ０からコラム１３の反対側へずれた位置に設定された区画である。
準備ステーションＳ１，Ｓ２は、中継ステーションＳ３のＹ方向の両側に対称に設定された区画である。
【0027】
自動パレット交換装置２０は、準備ステーションＳ１から中継ステーションＳ３を経て準備ステーションＳ２に至る準備側移動機構２１を有する。
準備側移動機構２１は、負圧吸着パレット３０をＹ方向へ移動させる駆動機構で構成され、準備ステーションＳ１、中継ステーションＳ３、および準備ステーションＳ２の各々で負圧吸着パレット３０を静止状態で支持可能である。
準備側移動機構２１は、負圧吸着パレット３０をＹ方向へ移動させる駆動機構で構成され、準備ステーションＳ１、中継ステーションＳ３、および準備ステーションＳ２の各々で負圧吸着パレット３０を静止状態で支持可能である。
【0028】
工作機械１０において、テーブル１２をＸ方向に移動させるＸ軸移動機構１６は、フロア１１の外縁を超えて延伸されており、テーブル１２はＸ軸移動機構１６により加工ステーションＳ０と中継ステーションＳ３との間を移動可能である。
自動パレット交換装置２０においては、工作機械１０のＸ軸移動機構１６が加工側移動機構として兼用されており、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、負圧吸着パレット３０を加工ステーションＳ０と中継ステーションＳ３との間で移動可能である。
自動パレット交換装置２０においては、工作機械１０のＸ軸移動機構１６が加工側移動機構として兼用されており、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、負圧吸着パレット３０を加工ステーションＳ０と中継ステーションＳ３との間で移動可能である。
【0029】
自動パレット交換装置２０は、準備ステーションＳ１，Ｓ２と中継ステーションＳ３との間にある負圧吸着パレット３０に接続可能な準備側負圧配管４１，４２と、加工ステーションＳ０と中継ステーションＳ３との間にある負圧吸着パレット３０に接続可能な加工側負圧配管４３と、を有する。
【0030】
準備側負圧配管４１は、準備ステーションＳ１に設置された第１負圧装置４４から延びる可撓性のホースであり、第１負圧装置４４に設置された真空ポンプにより負圧吸着パレット３０がワーク２を吸着するのに十分な負圧を供給可能である。準備側負圧配管４１は、準備ステーションＳ１にある負圧吸着パレット３０を中継ステーションＳ３まで移動させた際にも接続が維持できかつ余分な弛みを生じない長さとされている。
【0031】
準備側負圧配管４２は、準備ステーションＳ２に設置された第２負圧装置４５から延びる可撓性のホースであり、第２負圧装置４５に設置された真空ポンプにより負圧吸着パレット３０がワーク２を吸着するのに十分な負圧を供給可能である。準備側負圧配管４２は、準備ステーションＳ２にある負圧吸着パレット３０を中継ステーションＳ３まで移動させた際にも接続が維持できかつ余分な弛みを生じない長さとされている。
【0032】
加工側負圧配管４３は、加工ステーションＳ０に設置された第３負圧装置４６から延びる可撓性のホースであり、第３負圧装置４６に設置された真空ポンプにより負圧吸着パレット３０がワーク２を吸着するのに十分な負圧を供給可能である。加工側負圧配管４３は、加工ステーションＳ０にある負圧吸着パレット３０を中継ステーションＳ３まで移動させた際にも接続が維持できかつ余分な弛みを生じない長さとされている。
【0033】
図２および図３には負圧吸着パレット３０が示されている。
負圧吸着パレット３０は、表面がワーク２を保持する保持面３３とされた板状の本体３４を有し、本体３４には第１吸着回路３１および第２吸着回路３２が形成されている。
負圧吸着パレット３０は、表面がワーク２を保持する保持面３３とされた板状の本体３４を有し、本体３４には第１吸着回路３１および第２吸着回路３２が形成されている。
【0034】
第１吸着回路３１は、保持面３３に配置された複数の第１吸着孔３１４と、外部の負圧配管が接続可能な第１カプラ３１３と、複数の第１吸着孔３１４と第１カプラ３１３とを連通する第１連通路３１０と、を有する。
第１連通路３１０は、互いに平行な複数の第１支線部３１１と、各第１支線部３１１の同じ側の端部を順次連結しかつ第１カプラ３１３に接続される第１幹線部３１２と、を有する。
複数の第１吸着孔３１４は、第１支線部３１１および第１幹線部３１２に沿って配列され、保持面３３の略全面にわたって配置されている。
第１吸着回路３１は、第１カプラ３１３に負圧配管を接続して減圧することで、複数の第１吸着孔３１４で保持面３３に置かれたワーク２を負圧吸着し、保持面３３に保持可能である。
第１連通路３１０は、互いに平行な複数の第１支線部３１１と、各第１支線部３１１の同じ側の端部を順次連結しかつ第１カプラ３１３に接続される第１幹線部３１２と、を有する。
複数の第１吸着孔３１４は、第１支線部３１１および第１幹線部３１２に沿って配列され、保持面３３の略全面にわたって配置されている。
第１吸着回路３１は、第１カプラ３１３に負圧配管を接続して減圧することで、複数の第１吸着孔３１４で保持面３３に置かれたワーク２を負圧吸着し、保持面３３に保持可能である。
【0035】
第２吸着回路３２は、保持面３３に配置された複数の第２吸着孔３２４と、外部の負圧配管が接続可能な第２カプラ３２３と、複数の第２吸着孔３２４と第２カプラ３２３とを連通する第２連通路３２０と、を有する。
第２連通路３２０は、互いに平行な複数の第２支線部３２１と、各第２支線部３２１の同じ側の端部を順次連結しかつ第２カプラ３２３に接続される第２幹線部３２２と、を有する。
複数の第２吸着孔３２４は、第２支線部３２１および第２幹線部３２２に沿って配列され、保持面３３の略全面にわたって配置されている。
第２吸着回路３２は、第２カプラ３２３に負圧配管を接続して減圧することで、複数の第２吸着孔３２４で保持面３３に置かれたワーク２を負圧吸着し、保持面３３に保持可能である。
第２連通路３２０は、互いに平行な複数の第２支線部３２１と、各第２支線部３２１の同じ側の端部を順次連結しかつ第２カプラ３２３に接続される第２幹線部３２２と、を有する。
複数の第２吸着孔３２４は、第２支線部３２１および第２幹線部３２２に沿って配列され、保持面３３の略全面にわたって配置されている。
第２吸着回路３２は、第２カプラ３２３に負圧配管を接続して減圧することで、複数の第２吸着孔３２４で保持面３３に置かれたワーク２を負圧吸着し、保持面３３に保持可能である。
【0036】
複数の第１支線部３１１および第２支線部３２１は、互いに近接した状態で並行に配置されており、第１吸着回路３１および第２吸着回路３２によるワーク２の吸着効果は略同一とされている。
第１幹線部３１２および第２幹線部３２２は、本体３４の互いに反対側の辺縁に離れて並行に配置され、それぞれ複数の第１支線部３１１および第２支線部３２１の互いに反対側の各端部を連通している。
このような配置により、第１連通路３１０と第２連通路３２０とは互いに櫛形であって互いに対向した状態で配置され、互いに交錯しない簡単な構造としつつ、各々の第１吸着孔３１４および第２吸着孔３２４をそれぞれ高密度に配置できるようになっている。
第１幹線部３１２および第２幹線部３２２は、本体３４の互いに反対側の辺縁に離れて並行に配置され、それぞれ複数の第１支線部３１１および第２支線部３２１の互いに反対側の各端部を連通している。
このような配置により、第１連通路３１０と第２連通路３２０とは互いに櫛形であって互いに対向した状態で配置され、互いに交錯しない簡単な構造としつつ、各々の第１吸着孔３１４および第２吸着孔３２４をそれぞれ高密度に配置できるようになっている。
【0037】
第１カプラ３１３および第２カプラ３２３は、それぞれ本体３４の同じ側面に配置され、各々に負圧配管を接続する操作を容易に行えるようになっている。また、第１カプラ３１３および第２カプラ３２３は、本体３４の同じ側面における反対側の端部に設置されており、各々に負圧配管を接続する際の各々の識別が容易である。
【0038】
図４から図１３の各図に、第１実施形態における動作を示す。
第１実施形態の自動パレット交換装置２０（図１参照）では、負圧吸着パレット３０（図２および図３参照）を用い、その第１吸着回路３１および第２吸着回路３２にそれぞれ準備側負圧配管４１，４２および加工側負圧配管４３のいずれかを接続することで、準備ステーションＳ１，Ｓ２から中継ステーションＳ３を経て加工ステーションＳ０に至る移動経路全体にわたってワーク２の吸着を維持する。
第１実施形態の自動パレット交換装置２０（図１参照）では、負圧吸着パレット３０（図２および図３参照）を用い、その第１吸着回路３１および第２吸着回路３２にそれぞれ準備側負圧配管４１，４２および加工側負圧配管４３のいずれかを接続することで、準備ステーションＳ１，Ｓ２から中継ステーションＳ３を経て加工ステーションＳ０に至る移動経路全体にわたってワーク２の吸着を維持する。
【0039】
図４において、準備ステーションＳ１，Ｓ２にはそれぞれ負圧吸着パレット３０を設置しておく。このうち、準備ステーションＳ１に配置されたものを負圧吸着パレット３０Ａとし、準備ステーションＳ２に配置されたものを負圧吸着パレット３０Ｂとする。
先ず、準備ステーションＳ１において、負圧吸着パレット３０Ａにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持する。
次に、準備側移動機構２１により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、準備ステーションＳ１から中継ステーションＳ３へと移動させる。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
先ず、準備ステーションＳ１において、負圧吸着パレット３０Ａにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持する。
次に、準備側移動機構２１により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、準備ステーションＳ１から中継ステーションＳ３へと移動させる。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
【0040】
図５において、中継ステーションＳ３に負圧吸着パレット３０Ａが搬入されたら、準備側負圧配管４１によりワーク２を負圧吸着した状態で、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ａの第２吸着回路３２（第１吸着回路３１または第２吸着回路３２の空いているほう）に接続し、第１吸着回路３１および第２吸着回路３２を同時に用いて並列的にワーク２を負圧吸着する。
続いて、準備側負圧配管４１による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着する。分離した準備側負圧配管４１は準備ステーションＳ１に戻しておく。
この後、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、中継ステーションＳ３から加工ステーションＳ０へと移動させる。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着が維持される。
続いて、準備側負圧配管４１による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着する。分離した準備側負圧配管４１は準備ステーションＳ１に戻しておく。
この後、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、中継ステーションＳ３から加工ステーションＳ０へと移動させる。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着が維持される。
【0041】
図６において、加工ステーションＳ０では、加工側負圧配管４３によりワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着保持した状態で、工作機械１０によるワーク２の加工を行う。
加工が済んだら、図４ないし図６とは逆の手順でワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、加工ステーションＳ０から中継ステーションＳ３を経て準備ステーションＳ１へと戻す。
加工が済んだら、図４ないし図６とは逆の手順でワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、加工ステーションＳ０から中継ステーションＳ３を経て準備ステーションＳ１へと戻す。
【0042】
図７において、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａは、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、加工ステーションＳ０から中継ステーションＳ３へ戻される。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着が維持される。
中継ステーションＳ３では、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着を維持した状態で、準備側負圧配管４１を接続して並列的にワーク２の負圧吸着を行い、次に加工側負圧配管４３を分離し、準備側負圧配管４１からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着した状態とする。分離した加工側負圧配管４３は加工ステーションＳ０に戻しておく。
中継ステーションＳ３では、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着を維持した状態で、準備側負圧配管４１を接続して並列的にワーク２の負圧吸着を行い、次に加工側負圧配管４３を分離し、準備側負圧配管４１からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着した状態とする。分離した加工側負圧配管４３は加工ステーションＳ０に戻しておく。
【0043】
図８において、準備側移動機構２１により、準備側負圧配管４１からの負圧だけでワーク２を負圧吸着している負圧吸着パレット３０Ａを、中継ステーションＳ３から準備ステーションＳ１へと戻す。
準備ステーションＳ１では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４１からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ａからワーク２を取り出す。
準備ステーションＳ１では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４１からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ａからワーク２を取り出す。
【0044】
一方、準備ステーションＳ２においては、加工ステーションＳ０で負圧吸着パレット３０Ａに保持されたワーク２の加工を行っている状態（図６参照）で、負圧吸着パレット３０Ｂにワーク２を設置し、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ｂの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持しておく。
そして、加工済のワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが、中継ステーションＳ３から準備ステーションＳ１へと戻される状態（図８参照）を待って、負圧吸着パレット３０Ｂを準備ステーションＳ２から中継ステーションＳ３ないし加工ステーションＳ０へ搬送する。
そして、加工済のワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが、中継ステーションＳ３から準備ステーションＳ１へと戻される状態（図８参照）を待って、負圧吸着パレット３０Ｂを準備ステーションＳ２から中継ステーションＳ３ないし加工ステーションＳ０へ搬送する。
【0045】
図９において、準備側移動機構２１により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ｂを、準備ステーションＳ２から中継ステーションＳ３へと移動させる。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によるワーク２の負圧吸着が維持される。
【0046】
図１０において、中継ステーションＳ３に負圧吸着パレット３０Ｂが搬入されたら、準備側負圧配管４２によりワーク２を負圧吸着した状態で、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ｂの第２吸着回路３２（第１吸着回路３１または第２吸着回路３２の空いているほう）に接続し、第１吸着回路３１および第２吸着回路３２を同時に用いて並列的にワーク２を負圧吸着する。
続いて、準備側負圧配管４２による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着する。分離した準備側負圧配管４２は準備ステーションＳ２に戻しておく。
この後、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ｂを、中継ステーションＳ３から加工ステーションＳ０へと移動させる。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着が維持される。
続いて、準備側負圧配管４２による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着する。分離した準備側負圧配管４２は準備ステーションＳ２に戻しておく。
この後、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ｂを、中継ステーションＳ３から加工ステーションＳ０へと移動させる。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着が維持される。
【0047】
図１１において、加工ステーションＳ０では、加工側負圧配管４３によりワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着保持した状態で、工作機械１０によるワーク２の加工を行う。負圧吸着パレット３０Ｂに保持されたワーク２の加工の間に、準備ステーションＳ１においては、負圧吸着パレット３０Ａに次のワーク２を準備しておく。
加工が済んだら、図９ないし図１１とは逆の手順でワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、加工ステーションＳ０から中継ステーションＳ３を経て準備ステーションＳ１へと戻す。
加工が済んだら、図９ないし図１１とは逆の手順でワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、加工ステーションＳ０から中継ステーションＳ３を経て準備ステーションＳ１へと戻す。
【0048】
図１２において、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ｂは、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、加工ステーションＳ０から中継ステーションＳ３へ戻される。その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着が維持される。
中継ステーションＳ３では、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着を維持した状態で、準備側負圧配管４２を接続して並列的にワーク２の負圧吸着を行い、次に加工側負圧配管４３を分離し、準備側負圧配管４２からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着した状態とする。分離した加工側負圧配管４３は加工ステーションＳ０に戻しておく。
中継ステーションＳ３では、加工側負圧配管４３によりワーク２の負圧吸着を維持した状態で、準備側負圧配管４２を接続して並列的にワーク２の負圧吸着を行い、次に加工側負圧配管４３を分離し、準備側負圧配管４２からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着した状態とする。分離した加工側負圧配管４３は加工ステーションＳ０に戻しておく。
【0049】
図１３において、準備側移動機構２１により、準備側負圧配管４２からの負圧だけでワーク２を負圧吸着している負圧吸着パレット３０Ｂを、中継ステーションＳ３から準備ステーションＳ２へと戻す。
準備ステーションＳ２では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４２からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ｂからワーク２を取り出す。
この際、準備ステーションＳ１には、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが準備されているので、図４以降の動作を繰り返すことで、２枚の負圧吸着パレット３０を交互に用いてワーク２を工作機械１０へと効率よく搬入および搬出できる。
準備ステーションＳ２では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４２からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ｂからワーク２を取り出す。
この際、準備ステーションＳ１には、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが準備されているので、図４以降の動作を繰り返すことで、２枚の負圧吸着パレット３０を交互に用いてワーク２を工作機械１０へと効率よく搬入および搬出できる。
【0050】
第１実施形態の自動パレット交換装置２０では、負圧吸着パレット３０（３０Ａ，３０Ｂ）を準備ステーションＳ１，Ｓ２に保持した状態でワーク２の設置などの準備作業を行い、負圧吸着パレット３０を加工ステーションＳ０に保持した状態で工作機械１０によるワーク２の加工作業を行うことができる。
自動パレット交換装置２０では、準備側移動機構２１および加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、準備ステーションＳ１，Ｓ２の負圧吸着パレット３０を中継ステーションＳ３経由で加工ステーションＳ０へと搬入し、あるいは加工ステーションＳ０の負圧吸着パレット３０を中継ステーションＳ３経由で準備ステーションＳ１，Ｓ２へと搬出できる。
自動パレット交換装置２０では、準備側移動機構２１および加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、準備ステーションＳ１，Ｓ２の負圧吸着パレット３０を中継ステーションＳ３経由で加工ステーションＳ０へと搬入し、あるいは加工ステーションＳ０の負圧吸着パレット３０を中継ステーションＳ３経由で準備ステーションＳ１，Ｓ２へと搬出できる。
【0051】
搬送経路のうち、準備ステーションＳ１，Ｓ２から中継ステーションＳ３までの区間では、準備側負圧配管４１，４２により負圧吸着パレット３０におけるワーク２の吸着が維持され、加工ステーションＳ０から中継ステーションＳ３までの区間では、加工側負圧配管４３により負圧吸着パレット３０におけるワーク２の吸着が維持される。
中継ステーションＳ３においては、負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持するための配管を、準備側負圧配管４１，４２から加工側負圧配管４３へ、または加工側負圧配管４３から準備側負圧配管４１，４２へ切り替えることができる。
この際、負圧吸着パレット３０の第１吸着回路３１および第２吸着回路３２に、それぞれ準備側負圧配管４１，４２および加工側負圧配管４３のいずれかを接続し、準備側負圧配管４１，４２による吸着と加工側負圧配管４３による吸着とを重複させて並列化することで、準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３との切り替えの際にワーク２の負圧吸着が途切れることを防止できる。
中継ステーションＳ３においては、負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持するための配管を、準備側負圧配管４１，４２から加工側負圧配管４３へ、または加工側負圧配管４３から準備側負圧配管４１，４２へ切り替えることができる。
この際、負圧吸着パレット３０の第１吸着回路３１および第２吸着回路３２に、それぞれ準備側負圧配管４１，４２および加工側負圧配管４３のいずれかを接続し、準備側負圧配管４１，４２による吸着と加工側負圧配管４３による吸着とを重複させて並列化することで、準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３との切り替えの際にワーク２の負圧吸着が途切れることを防止できる。
【0052】
このように、本実施形態の加工装置１では、準備ステーションＳ１，Ｓ２から中継ステーションＳ３を経て加工ステーションＳ０に至る移動経路の全長にわたって途切れることなくワーク２の吸着を維持できるとともに、移動経路における負圧吸着を準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３とで分担することで、各々の配管長さを短縮でき、負圧配管まわりの構造を簡素にできる。
これにより、加工ステーションＳ０にある負圧吸着パレット３０は、加工側負圧配管４３により加工時のワーク２の吸着が維持され、準備ステーションＳ１，Ｓ２から搬送経路の全長にわたって準備側負圧配管４１，４２を引き回した場合のような、長尺の準備側負圧配管４１，４２との接続を解消でき、ワーク２の加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
これにより、加工ステーションＳ０にある負圧吸着パレット３０は、加工側負圧配管４３により加工時のワーク２の吸着が維持され、準備ステーションＳ１，Ｓ２から搬送経路の全長にわたって準備側負圧配管４１，４２を引き回した場合のような、長尺の準備側負圧配管４１，４２との接続を解消でき、ワーク２の加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
【0053】
〔第２実施形態〕
図１４から図１８により本発明の第２実施形態を説明する。
前述した第１実施形態においては、準備ステーションＳ１，Ｓ２の負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂには、準備側負圧配管４１および準備側負圧配管４２がそれぞれ負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂの反対側すなわち中継ステーションＳ３から離れた側に接続され（図４および図９参照）、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂが中継ステーションＳ３へ移動した際には、準備側負圧配管４１が負圧吸着パレット３０Ａの準備ステーションＳ１側となり、準備側負圧配管４２が負圧吸着パレット３０Ｂの準備ステーションＳ２側となり、それぞれ最寄りの状態とされていた。
これに対し、準備ステーションＳ１，Ｓ２において、準備側負圧配管４１および準備側負圧配管４２を、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂの同じ側に接続してもよい。
図１４から図１８により本発明の第２実施形態を説明する。
前述した第１実施形態においては、準備ステーションＳ１，Ｓ２の負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂには、準備側負圧配管４１および準備側負圧配管４２がそれぞれ負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂの反対側すなわち中継ステーションＳ３から離れた側に接続され（図４および図９参照）、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂが中継ステーションＳ３へ移動した際には、準備側負圧配管４１が負圧吸着パレット３０Ａの準備ステーションＳ１側となり、準備側負圧配管４２が負圧吸着パレット３０Ｂの準備ステーションＳ２側となり、それぞれ最寄りの状態とされていた。
これに対し、準備ステーションＳ１，Ｓ２において、準備側負圧配管４１および準備側負圧配管４２を、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂの同じ側に接続してもよい。
【0054】
前述した第１実施形態の図４および図５の通り、準備ステーションＳ１に配置された負圧吸着パレット３０Ａには中継ステーションＳ３から離れた側に準備側負圧配管４１を接続し、中継ステーションＳ３から加工ステーションＳ０へ搬送する。
図１４において、準備ステーションＳ２に配置された負圧吸着パレット３０Ｂでは、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ａと同じ側、すなわち中継ステーションＳ３に近い側に接続してもよい。
このような場合でも、負圧吸着パレット３０Ｂを中継ステーションＳ３から加工ステーションＳ０へ搬送する際には、図１５に示すように、負圧吸着パレット３０Ｂの空いている側の回路に加工側負圧配管４３を接続すればよい。このような接続であっても、図１６および図１７に示すように、加工ステーションＳ０での加工時（図１６参照）、中継ステーションＳ３への戻り（図１７参照）、準備ステーションＳ２への戻り（図１８）の際にも、前述した第１実施形態の図１０ないし図１３と同様な動作を行うことができる。
図１４において、準備ステーションＳ２に配置された負圧吸着パレット３０Ｂでは、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ａと同じ側、すなわち中継ステーションＳ３に近い側に接続してもよい。
このような場合でも、負圧吸着パレット３０Ｂを中継ステーションＳ３から加工ステーションＳ０へ搬送する際には、図１５に示すように、負圧吸着パレット３０Ｂの空いている側の回路に加工側負圧配管４３を接続すればよい。このような接続であっても、図１６および図１７に示すように、加工ステーションＳ０での加工時（図１６参照）、中継ステーションＳ３への戻り（図１７参照）、準備ステーションＳ２への戻り（図１８）の際にも、前述した第１実施形態の図１０ないし図１３と同様な動作を行うことができる。
【0055】
〔第３実施形態〕
図１９から図３３により本発明の第３実施形態を説明する。
図１９において、本実施形態の加工装置３は、前述した第１実施形態（図１参照）と同様な工作機械１０および自動パレット交換装置２０を備え、負圧吸着パレット３０によりワーク２を搬送可能である。これらの工作機械１０、自動パレット交換装置２０、および負圧吸着パレット３０の構成は、基本的に第１実施形態で説明した通りであり、重複する説明は省略し、以下には相違部分について説明する。
図１９から図３３により本発明の第３実施形態を説明する。
図１９において、本実施形態の加工装置３は、前述した第１実施形態（図１参照）と同様な工作機械１０および自動パレット交換装置２０を備え、負圧吸着パレット３０によりワーク２を搬送可能である。これらの工作機械１０、自動パレット交換装置２０、および負圧吸着パレット３０の構成は、基本的に第１実施形態で説明した通りであり、重複する説明は省略し、以下には相違部分について説明する。
【0056】
前述した第１実施形態では、工作機械１０に加工ステーションＳ０が設置され、自動パレット交換装置２０に準備ステーションＳ１，Ｓ２および中継ステーションＳ３が設置されていた。これに対し、本実施形態では、負圧配管の接続切り替えを行う中継ステーションＳ３が省略され、Ｘ軸移動機構１６（第１実施形態では加工側移動機構に兼用）と準備側移動機構２１とが交差する部分では負圧吸着パレット３０の載せ替えだけが行われる。当該部分では負圧吸着パレット３０の載せ替えのために僅かな時間、負圧吸着パレット３０が停止するが、Ｘ軸移動機構１６および準備側移動機構２１は一連の移動機構として動作し、この移動機構により工作機械１０の加工ステーションＳ０と自動パレット交換装置２０の準備ステーションＳ１，Ｓ２との間で負圧吸着パレット３０が搬送される。
【0057】
前述した第１実施形態では、自動パレット交換装置２０に２系統の準備側負圧配管４１，４２および第１負圧装置４４、第２負圧装置４５が設置され、準備側負圧配管４１，４２はそれぞれ中継ステーションＳ３まで引き出し可能な長さを有していた。これに対し、本実施形態の準備側負圧配管４１，４２は、それぞれ移動機構（Ｘ軸移動機構１６および準備側移動機構２１）に沿って加工ステーションＳ０まで引き出し可能な長さとされている。
【0058】
前述した第１実施形態では、工作機械１０に加工側負圧配管４３および第３負圧装置４６が設置され、加工側負圧配管４３は中継ステーションＳ３まで引き出し可能な長さを有していた。これに対し、本実施形態の加工側負圧配管４３は、自動パレット交換装置２０に達しない短尺とされ、工作機械１０のワーク２の加工動作時にテーブル１２上の負圧吸着パレット３０が移動する範囲に追従可能な最小限の長さとされている。
【0059】
前述した第１実施形態では、準備側負圧配管４１，４２により準備ステーションＳ１，Ｓ２と中継ステーションＳ３との間の負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持し、加工側負圧配管４３により中継ステーションＳ３と加工ステーションＳ０との間の負圧吸着を維持しており、中継ステーションＳ３で準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３との接続を切り替えていた。そして、加工ステーションＳ０での加工動作時には、加工側負圧配管４３をそのまま用いていた。
これに対し、本実施形態では、準備側負圧配管４１，４２により準備ステーションＳ１，Ｓ２と加工ステーションＳ０との間、つまり移動機構（Ｘ軸移動機構１６および準備側移動機構２１）による移動経路の全長にわたって、負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持する。また、加工側負圧配管４３は、加工動作時を含めて、加工ステーションＳ０における負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持する。そして、準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３との接続を切り替えは、加工ステーションＳ０で行われる。
これに対し、本実施形態では、準備側負圧配管４１，４２により準備ステーションＳ１，Ｓ２と加工ステーションＳ０との間、つまり移動機構（Ｘ軸移動機構１６および準備側移動機構２１）による移動経路の全長にわたって、負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持する。また、加工側負圧配管４３は、加工動作時を含めて、加工ステーションＳ０における負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持する。そして、準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３との接続を切り替えは、加工ステーションＳ０で行われる。
【0060】
図２０から図３３に第３実施形態の動作を示す。
図２０において、準備ステーションＳ１，Ｓ２にはそれぞれ負圧吸着パレット３０を設置しておく。前述した第１実施形態と同様、準備ステーションＳ１に配置されたものを負圧吸着パレット３０Ａとし、準備ステーションＳ２に配置されたものを負圧吸着パレット３０Ｂとする。
先ず、準備ステーションＳ１において、負圧吸着パレット３０Ａにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持する。
次に、準備側移動機構２１により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、準備ステーションＳ１からＸ軸移動機構１６との交差位置まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
図２０において、準備ステーションＳ１，Ｓ２にはそれぞれ負圧吸着パレット３０を設置しておく。前述した第１実施形態と同様、準備ステーションＳ１に配置されたものを負圧吸着パレット３０Ａとし、準備ステーションＳ２に配置されたものを負圧吸着パレット３０Ｂとする。
先ず、準備ステーションＳ１において、負圧吸着パレット３０Ａにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持する。
次に、準備側移動機構２１により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを、準備ステーションＳ１からＸ軸移動機構１６との交差位置まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
【0061】
図２１において、交差位置では、Ｘ軸移動機構１６により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａを準備側移動機構２１から受け取り、加工ステーションＳ０まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
【0062】
図２２において、加工ステーションＳ０に負圧吸着パレット３０Ａが搬入されたら、準備側負圧配管４１によりワーク２を負圧吸着した状態で、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ａの第２吸着回路３２（第１吸着回路３１または第２吸着回路３２の空いているほう）に接続し、第１吸着回路３１および第２吸着回路３２を同時に用いて並列的にワーク２を負圧吸着する。
続いて、準備側負圧配管４１による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着する。分離した準備側負圧配管４１は準備ステーションＳ１に戻しておく。
続いて、準備側負圧配管４１による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着する。分離した準備側負圧配管４１は準備ステーションＳ１に戻しておく。
【0063】
図２３において、加工ステーションＳ０では、加工側負圧配管４３によりワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着した状態で、工作機械１０によるワーク２の加工を行う。
加工の間に、準備ステーションＳ２においては、負圧吸着パレット３０Ｂにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ｂの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持しておく。
加工の間に、準備ステーションＳ２においては、負圧吸着パレット３０Ｂにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ｂの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持しておく。
【0064】
図２４において、ワーク２の加工が済んだら、加工側負圧配管４３によりワーク２を負圧吸着した状態で、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａの第２吸着回路３２（第１吸着回路３１または第２吸着回路３２の空いているほう）に接続し、第１吸着回路３１および第２吸着回路３２を同時に用いて並列的にワーク２を負圧吸着する。
続いて、加工側負圧配管４３による負圧吸着を停止し、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、準備側負圧配管４１からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着する。分離した加工側負圧配管４３は第３負圧装置４６の近傍にまとめておく。
続いて、加工側負圧配管４３による負圧吸着を停止し、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ａから分離し、準備側負圧配管４１からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ａに吸着する。分離した加工側負圧配管４３は第３負圧装置４６の近傍にまとめておく。
【0065】
図２５において、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａは、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、加工ステーションＳ０から準備側移動機構２１との交差位置まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によりワーク２の負圧吸着が維持される。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によりワーク２の負圧吸着が維持される。
【0066】
図２６において、交差位置では、準備側移動機構２１により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０ＡをＸ軸移動機構１６から受け取り、準備ステーションＳ１まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
準備ステーションＳ１では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４１からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ａからワーク２を取り出す。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ａにおいては、準備側負圧配管４１によるワーク２の負圧吸着が維持される。
準備ステーションＳ１では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４１からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ａからワーク２を取り出す。
【0067】
図２７において、準備ステーションＳ２においては、加工ステーションＳ０で負圧吸着パレット３０Ａに保持されたワーク２の加工を行っている状態（図２３参照）で、負圧吸着パレット３０Ｂにワーク２が設置され、準備側負圧配管４２が負圧吸着パレット３０Ｂに接続され、ワーク２が負圧吸着された状態となっている。
そして、加工済のワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが、準備ステーションＳ１へと戻された状態（図２６参照）を待って、準備側移動機構２１により、負圧吸着パレット３０Ｂを準備ステーションＳ２からＸ軸移動機構１６との交差位置まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によるワーク２の負圧吸着が維持される。
そして、加工済のワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが、準備ステーションＳ１へと戻された状態（図２６参照）を待って、準備側移動機構２１により、負圧吸着パレット３０Ｂを準備ステーションＳ２からＸ軸移動機構１６との交差位置まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によるワーク２の負圧吸着が維持される。
【0068】
図２８において、交差位置では、Ｘ軸移動機構１６により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ｂを準備側移動機構２１から受け取り、加工ステーションＳ０まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によるワーク２の負圧吸着が維持される。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によるワーク２の負圧吸着が維持される。
【0069】
図２９において、加工ステーションＳ０に負圧吸着パレット３０Ｂが搬入されたら、準備側負圧配管４２によりワーク２を負圧吸着した状態で、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ｂの第２吸着回路３２（第１吸着回路３１または第２吸着回路３２の空いているほう）に接続し、第１吸着回路３１および第２吸着回路３２を同時に用いて並列的にワーク２を負圧吸着する。
続いて、準備側負圧配管４２による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ｂから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着する。分離した準備側負圧配管４２は準備ステーションＳ２に戻しておく。
続いて、準備側負圧配管４２による負圧吸着を停止し、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ｂから分離し、加工側負圧配管４３からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着する。分離した準備側負圧配管４２は準備ステーションＳ２に戻しておく。
【0070】
図３０において、加工ステーションＳ０では、加工側負圧配管４３によりワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着した状態で、工作機械１０によるワーク２の加工を行う。
加工の間に、準備ステーションＳ１においては、負圧吸着パレット３０Ａにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持しておく。
加工の間に、準備ステーションＳ１においては、負圧吸着パレット３０Ａにワーク２を設置するとともに、準備側負圧配管４１を負圧吸着パレット３０Ａの第１吸着回路３１（第２吸着回路３２でもよい）に接続し、ワーク２を負圧吸着して保持しておく。
【0071】
図３１において、ワーク２の加工が済んだら、加工側負圧配管４３によりワーク２を負圧吸着した状態で、準備側負圧配管４２を負圧吸着パレット３０Ｂの第２吸着回路３２（第１吸着回路３１または第２吸着回路３２の空いているほう）に接続し、第１吸着回路３１および第２吸着回路３２を同時に用いて並列的にワーク２を負圧吸着する。
続いて、加工側負圧配管４３による負圧吸着を停止し、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ｂから分離し、準備側負圧配管４２からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着する。分離した加工側負圧配管４３は第３負圧装置４６の近傍にまとめておく。
続いて、加工側負圧配管４３による負圧吸着を停止し、加工側負圧配管４３を負圧吸着パレット３０Ｂから分離し、準備側負圧配管４２からの負圧だけでワーク２を負圧吸着パレット３０Ｂに吸着する。分離した加工側負圧配管４３は第３負圧装置４６の近傍にまとめておく。
【0072】
図３２において、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ｂは、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６により、加工ステーションＳ０から準備側移動機構２１との交差位置まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によりワーク２の負圧吸着が維持される。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によりワーク２の負圧吸着が維持される。
【0073】
図３３において、交差位置では、準備側移動機構２１により、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０ＢをＸ軸移動機構１６から受け取り、準備ステーションＳ２まで移動させる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によるワーク２の負圧吸着が維持される。
準備ステーションＳ２では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４２からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ｂからワーク２を取り出す。
この際、準備ステーションＳ１には、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが準備されているので、図２０以降の動作を繰り返すことで、２枚の負圧吸着パレット３０を交互に用いてワーク２を工作機械１０へと効率よく搬入および搬出できる。
その間、移動する負圧吸着パレット３０Ｂにおいては、準備側負圧配管４２によるワーク２の負圧吸着が維持される。
準備ステーションＳ２では、加工されたワーク２の検査を行ったのち、準備側負圧配管４２からの負圧を停止してワーク２の負圧吸着を解除し、負圧吸着パレット３０Ｂからワーク２を取り出す。
この際、準備ステーションＳ１には、ワーク２を保持した負圧吸着パレット３０Ａが準備されているので、図２０以降の動作を繰り返すことで、２枚の負圧吸着パレット３０を交互に用いてワーク２を工作機械１０へと効率よく搬入および搬出できる。
【0074】
このような第３実施形態によれば、準備ステーションＳ１，Ｓ２から加工ステーションＳ０に至る移動経路の全長にわたって、準備側負圧配管４１，４２により負圧吸着パレット３０におけるワーク２の負圧吸着が維持される。一方、加工ステーションＳ０においては、加工側負圧配管４３に接続を切り替えることにより、加工側負圧配管４３により負圧吸着パレット３０におけるワーク２の吸着が維持される。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットにおいては、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
これにより、加工ステーションにある負圧吸着パレットにおいては、準備ステーションから引き回される長尺の準備側負圧配管との接続を解消でき、ワークの加工時の負圧配管による動作抵抗を低減できる。
【0075】
加工ステーションＳ０では、負圧吸着パレット３０の負圧吸着を維持するための配管を、準備側負圧配管４１，４２から加工側負圧配管４３へ、または加工側負圧配管４３から準備側負圧配管４１，４２へ切り替えることができる。
この際、負圧吸着パレット３０の第１吸着回路３１および第２吸着回路３２に、それぞれ準備側負圧配管４１，４２および加工側負圧配管４３のいずれかを接続し、準備側負圧配管４１，４２による吸着と加工側負圧配管４３による吸着とを重複させて並列化することで、準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３との切り替えの際にワーク２の負圧吸着が途切れることを防止できる。
この際、負圧吸着パレット３０の第１吸着回路３１および第２吸着回路３２に、それぞれ準備側負圧配管４１，４２および加工側負圧配管４３のいずれかを接続し、準備側負圧配管４１，４２による吸着と加工側負圧配管４３による吸着とを重複させて並列化することで、準備側負圧配管４１，４２と加工側負圧配管４３との切り替えの際にワーク２の負圧吸着が途切れることを防止できる。
【0076】
〔第４実施形態〕
図３４により本発明の第４実施形態を説明する。
前述した第３実施形態では、工作機械１０に加工ステーションＳ０が設置され、自動パレット交換装置２０に準備ステーションＳ１，Ｓ２が設置されていた。そして、第１実施形態および第２実施形態における中継ステーションＳ３は省略され、準備ステーションＳ１，Ｓ２で準備された負圧吸着パレット３０（３０Ａ，３０Ｂ）が交互に加工ステーションＳ０まで搬送され、加工ステーションＳ０において負圧配管４１，４２，４３の接続切り替えを行っていた。
ここで、第３実施形態では、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを準備ステーションＳ１，Ｓ２から加工ステーションＳ０まで搬送するために、自動パレット交換装置２０の準備側移動機構２１および工作機械１０のＸ軸移動機構１６を用いていた。つまり、準備側移動機構２１で負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを準備ステーションＳ１，Ｓ２からＸ軸移動機構１６の端部まで搬送し、テーブル１２に負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを交互に載置して加工ステーションＳ０まで搬送していた。
図３４により本発明の第４実施形態を説明する。
前述した第３実施形態では、工作機械１０に加工ステーションＳ０が設置され、自動パレット交換装置２０に準備ステーションＳ１，Ｓ２が設置されていた。そして、第１実施形態および第２実施形態における中継ステーションＳ３は省略され、準備ステーションＳ１，Ｓ２で準備された負圧吸着パレット３０（３０Ａ，３０Ｂ）が交互に加工ステーションＳ０まで搬送され、加工ステーションＳ０において負圧配管４１，４２，４３の接続切り替えを行っていた。
ここで、第３実施形態では、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを準備ステーションＳ１，Ｓ２から加工ステーションＳ０まで搬送するために、自動パレット交換装置２０の準備側移動機構２１および工作機械１０のＸ軸移動機構１６を用いていた。つまり、準備側移動機構２１で負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを準備ステーションＳ１，Ｓ２からＸ軸移動機構１６の端部まで搬送し、テーブル１２に負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを交互に載置して加工ステーションＳ０まで搬送していた。
【0077】
図３４において、本実施形態の加工装置４は２つのテーブル１２（１２Ａ，１２Ｂ）を有し、各々は自動パレット交換装置２０の準備側移動機構２１および工作機械１０のＸ軸移動機構１６により準備ステーションＳ１，Ｓ２と加工ステーションＳ０との間を移動可能である。
２つのテーブル１２Ａ，１２Ｂの上には負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂが載置されている。このうち、負圧吸着パレット３０Ａを載置したテーブル１２Ａは、準備ステーションＳ１から加工ステーションＳ０まで搬送され、負圧吸着パレット３０Ｂを載置したテーブル１２Ｂは、準備ステーションＳ２から加工ステーションＳ０まで搬送される。
２つのテーブル１２Ａ，１２Ｂの上には負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂが載置されている。このうち、負圧吸着パレット３０Ａを載置したテーブル１２Ａは、準備ステーションＳ１から加工ステーションＳ０まで搬送され、負圧吸着パレット３０Ｂを載置したテーブル１２Ｂは、準備ステーションＳ２から加工ステーションＳ０まで搬送される。
【0078】
従って、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂが準備ステーションＳ１，Ｓ２から加工ステーションＳ０へと搬送される点では前述した第３実施形態と同様であり、前述した第３実施形態で説明した通りのワーク２および負圧配管４１，４２，４３の操作により、同様な機能を得ることができる。
さらに、本実施形態では、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂはそれぞれ２つのテーブル１２Ａ，１２Ｂの上に載置された状態とされ、載せ替え操作が必要なく、作業効率を向上できる。
さらに、本実施形態では、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂはそれぞれ２つのテーブル１２Ａ，１２Ｂの上に載置された状態とされ、載せ替え操作が必要なく、作業効率を向上できる。
【0079】
なお、第４実施形態では、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂはテーブル１２Ａ，１２Ｂの上に常時載置されるものであり、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂがテーブル１２Ａ，１２Ｂと一体化された構成としてもよい。
また、テーブル１２Ａ，１２Ｂを省略し、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂがそれぞれ単体で、準備側移動機構２１およびＸ軸移動機構１６により準備ステーションＳ１，Ｓ２から加工ステーションＳ０へと搬送されるようにしてもよい。
この場合、工作機械１０のテーブル１２およびＸ軸移動機構１６は、工作機械１０が設置された加工ステーションＳ０の範囲内で設置すればよく、自動パレット交換装置２０の搬送装置を加工ステーションＳ０まで延長して負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを加工ステーションＳ０まで搬送できる構成とすればよい。
また、テーブル１２Ａ，１２Ｂを省略し、負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂがそれぞれ単体で、準備側移動機構２１およびＸ軸移動機構１６により準備ステーションＳ１，Ｓ２から加工ステーションＳ０へと搬送されるようにしてもよい。
この場合、工作機械１０のテーブル１２およびＸ軸移動機構１６は、工作機械１０が設置された加工ステーションＳ０の範囲内で設置すればよく、自動パレット交換装置２０の搬送装置を加工ステーションＳ０まで延長して負圧吸着パレット３０Ａ，３０Ｂを加工ステーションＳ０まで搬送できる構成とすればよい。
【0080】
〔他の実施形態〕
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形などは本発明に含まれる。
前記第１ないし第３実施形態では、Ｘ軸移動機構１６の移動範囲を延長して加工側移動機構として兼用したが、専用の加工側移動機構を別途設置してもよい。ただし、Ｘ軸移動機構１６の延長部分を加工側移動機構として兼用することで、構成の簡素化および設備コストの低減が図れる。
前記第１および第２実施形態において、準備ステーションＳ１，Ｓ２および中継ステーションＳ３は、自動パレット交換装置２０に設置される専用の区画などでなくてよく、負圧吸着パレット３０を搬送する準備側移動機構２１の途中の区間を用いてもよい。例えば、準備側移動機構２１として負圧吸着パレット３０を搬送するコンベアの途中に、負圧吸着パレット３０を係止するストッパなどを設置し、負圧吸着パレット３０を静止させて準備側移動機構２１上に保持する構成などが採用でき、ストッパを進退させることで負圧吸着パレット３０の通過および停止を切り替えるようにしてもよい。
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形などは本発明に含まれる。
前記第１ないし第３実施形態では、Ｘ軸移動機構１６の移動範囲を延長して加工側移動機構として兼用したが、専用の加工側移動機構を別途設置してもよい。ただし、Ｘ軸移動機構１６の延長部分を加工側移動機構として兼用することで、構成の簡素化および設備コストの低減が図れる。
前記第１および第２実施形態において、準備ステーションＳ１，Ｓ２および中継ステーションＳ３は、自動パレット交換装置２０に設置される専用の区画などでなくてよく、負圧吸着パレット３０を搬送する準備側移動機構２１の途中の区間を用いてもよい。例えば、準備側移動機構２１として負圧吸着パレット３０を搬送するコンベアの途中に、負圧吸着パレット３０を係止するストッパなどを設置し、負圧吸着パレット３０を静止させて準備側移動機構２１上に保持する構成などが採用でき、ストッパを進退させることで負圧吸着パレット３０の通過および停止を切り替えるようにしてもよい。
【0081】
前記第１および第２実施形態では、加工ステーションＳ０からＸ方向にずれた位置に中継ステーションＳ３を設け、そのＹ方向の両側に１つずつ一対の準備ステーションＳ１，Ｓ２を設けた。
これに対し、準備側移動機構２１をＹ方向に延長し、中継ステーションＳ３の両側に複数の準備ステーションを設けてもよい。一方、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６をさらに延長し、複数の中継ステーションを設け、各々のＹ方向の両側に準備ステーションを設けてもよい。
これに対し、準備側移動機構２１をＹ方向に延長し、中継ステーションＳ３の両側に複数の準備ステーションを設けてもよい。一方、加工側移動機構であるＸ軸移動機構１６をさらに延長し、複数の中継ステーションを設け、各々のＹ方向の両側に準備ステーションを設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【0082】
本発明は、負圧吸着パレット、自動パレット交換装置、および自動パレット交換方法に利用できる。
【符号の説明】
【0083】
１，３，４…加工装置、２…ワーク、１０…工作機械、１１…フロア、１２，１２Ａ，１２Ｂ…テーブル、１３…コラム、１４…主軸ヘッド、１５…主軸、１６…加工側移動機構であるＸ軸移動機構、１７…Ｙ軸移動機構、１８…Ｚ軸移動機構、２０…自動パレット交換装置、２１…準備側移動機構、３０，３０Ａ，３０Ｂ…負圧吸着パレット、３１…第１吸着回路、３２…第２吸着回路、３３…保持面、３４…本体、４１，４２…準備側負圧配管、４３…加工側負圧配管、４４…第１負圧装置、４５…第２負圧装置、４６…第３負圧装置、３１０…第１連通路、３１１…第１支線部、３１２…第１幹線部、３１３…第１カプラ、３１４…第１吸着孔、３２０…第２連通路、３２１…第２支線部、３２２…第２幹線部、３２３…第２カプラ、３２４…第２吸着孔、Ｓ０…加工ステーション、Ｓ１，Ｓ２…準備ステーション、Ｓ３…中継ステーション。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】