特開 2024-114347 検査装置、および、検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024114347

(43)【公開日】2024-08-23

(54)【発明の名称】検査装置、および、検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20240816BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 K

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023020051

(22)【出願日】2023-02-13

(71)【出願人】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(74)【代理人】

【識別番号】110003214

【氏名又は名称】弁理士法人服部国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】萩原 晃平

(72)【発明者】

【氏名】鳥居 美之

【テーマコード（参考）】

2G132

【Ｆターム（参考）】

2G132AA20

2G132AB14

2G132AF02

(57)【要約】

【課題】液媒体を高効率に回収可能な検査装置、および、検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、所定の検査温度にてワークＷの電気検査を行うものであって、高温検査槽２０と、電気検査部３０と、回収部５０と、を備える。高温検査槽２０は、ワークＷの液媒体ＬＭによる調温、および、槽内部の真空引きが可能である。電気検査部３０は、ワークＷの電気検査を行う。回収部５０は、高温検査槽２０から排出された液媒体ＬＭ、および、真空引きにより排出された揮発ガスを回収する。検査装置１は、高温検査槽２０において、ワークＷの電気検査および真空乾燥を行う。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行う検査装置であって、
前記ワークの液媒体による調温、および、槽内部の真空引きが可能である調温槽（２０）と、
前記ワークの電気検査を行う電気検査部（３０、８５）と、
前記調温槽から排出された液媒体、および、真空引きにより排出された揮発ガスを回収する回収部（５０）と、
を備え、
前記調温槽において、前記ワークの電気検査および真空乾燥を行う、検査装置。

【請求項2】

前記調温槽は、槽本体（２１）の内部空間を、液媒貯留室（２１２）と、前記ワークが配置されるワーク室（２１３）とに区画する隔壁（２１５）を有し、
前記ワーク室は、前記ワークが配置された状態にて、液媒体で満たされている状態と真空状態とを切替可能である請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記電気検査部は、前記ワーク室の真空引きと並行して電気検査を行う請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記調温槽は、前記ワークを加熱する高温槽であって、
前記高温槽とは別に、前記ワークを冷却する低温槽（１０）を備え、
前記低温槽で冷却された前記ワークの低温での電気検査を真空引きされた前記ワーク室にて行った後、前記ワーク室を液媒体で満たして前記ワークを加熱し、高温での電気検査を行う請求項２または３に記載の検査装置。

【請求項5】

前記調温槽は、前記ワークを加熱する高温槽であって、
前記高温槽とは別に、前記ワークを冷却する低温槽（８０）を備え、
前記低温槽で冷却された前記ワークの低温での電気検査を前記低温槽で行った後、前記ワークを前記高温槽に搬送して液媒体にて前記ワークを加熱し、高温での電気検査を前記高温槽で行う請求項１～３のいずれか一項に記載の検査装置。

【請求項6】

前記回収部は、揮発ガスを凝縮する凝縮器（５１）、および、揮発ガスを貯留するガスホルダ（６０）を有し、前記調温槽の復圧時に揮発ガスを戻す請求項１～３のいずれか一項に記載の検査装置。

【請求項7】

所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行う検査方法であって、
液媒体にて前記ワークを調温する調温工程（Ｓ１３、Ｓ１７、Ｓ３３、Ｓ３７）と、
前記ワークの電気検査を行う電気検査工程（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ３４、Ｓ３８）と、
前記ワークの真空乾燥を行う真空乾燥工程（Ｓ１８、Ｓ３９）と、
を含む検査方法。

【請求項8】

前記調温工程には、前記ワークを冷却する冷却工程（Ｓ１３、Ｓ３３）、および、前記ワークを加熱する加熱工程（Ｓ１７、Ｓ３７）が含まれ、
低温槽（１０）にて前記冷却工程を行い、
冷却された前記ワークを高温槽（２０）に搬送し、真空引きされた前記高温槽にて低温での前記電気検査工程を行った後、前記加熱工程にて前記ワークを加熱し、当該高温槽にて高温での前記電気検査工程および前記真空乾燥工程を行う請求項７に記載の検査方法。

【請求項9】

前記調温工程には、前記ワークを冷却する冷却工程（Ｓ１３、Ｓ３３）、および、前記ワークを加熱する加熱工程（Ｓ１７、Ｓ３７）が含まれ、
低温槽（８０）にて前記冷却工程、および、低温での前記電気検査工程を行い、
低温での前記電気検査工程の後、前記ワークを高温槽（２０）に搬送し、前記高温槽にて前記加熱工程、高温での前記電気検査工程、および、前記真空乾燥工程を行う請求項７に記載の検査方法。

【請求項10】

前記電気検査工程と前記真空乾燥工程とは、同時並行で実施される請求項７～９のいずれか一項に記載の検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置、および、検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体装置等の被測定物の温度特性を所定温度下で試験を行う温度特性試験装置が知られている。例えば特許文献１では、測定室内に所定温度に温度制御された熱媒体であるフッ素系不活性液体を注入し、ハンドラにより半導体装置を搬送して熱媒体に浸漬して加熱、冷却し、電気的な温度特性試験を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平５－１１０１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

温度処理を行う液媒体は、熱伝導性、電気絶縁性に優れる流体である一方、地球温暖化係数が高いというデメリットがある。

【0005】

本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、液媒体を高効率に回収可能な検査装置、および、検査方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の検査装置は、所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行うものであって、調温槽（２０）と、電気検査部（３０、８５）と、回収部（５０）と、を備える。調温槽は、ワークの液媒体による調温、および、槽内部の真空引きが可能である。電気検査部は、ワークの電気検査を行う。回収部は、調温槽から排出された液媒体、および、真空引きにより排出された揮発ガスを回収する。検査装置は、調温槽において、ワークの電気検査および真空乾燥を行う。これにより、ワークの調温に用いる液媒体を高効率に回収可能である。

【0007】

本発明の検査方法は、所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行うものであって、調温工程（Ｓ１３、Ｓ１７、Ｓ３３、Ｓ３７）と、電気検査工程（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ３４、Ｓ３８）と、真空乾燥工程（Ｓ１８、Ｓ３９）と、を含む。調温工程では、液媒体にてワークを調温する。電気検査工程では、ワークの電気検査を行う。真空乾燥工程では、ワークの真空乾燥を行う。これにより、検査装置と同様の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施形態による検査装置を示すシステム図である。

【図2】第１実施形態による低温処理槽および高温検査槽を示す模式図である。

【図3】第１実施形態による高温検査槽を示す平面図である。

【図4】図３のＩＶ－ＩＶ線断面図である。

【図5】第１実施形態による高温検査槽において、下治具設置前の状態を示す図である。

【図6】第１実施形態による高温検査槽において、上蓋ユニット設置前の状態を示す図である。

【図7】第１実施形態による高温検査槽において、上室の真空引きを行っているときの状態を示す図である。

【図8】第１実施形態による検査方法を示すフローチャートである。

【図9】第１実施形態による低温処理槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。

【図10】第１実施形態による高温検査槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。

【図11】第２実施形態による低温検査槽および高温検査槽を示す模式図である。

【図12】第２実施形態による検査方法を示すフローチャートである。

【図13】第２実施形態による低温検査槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。

【図14】第２実施形態による高温検査槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明による検査装置を図面に基づいて説明する。以下、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

【0010】

（第１実施形態）
第１実施形態による検査装置を図１～図１０に示す。図１に示すように、検査装置１は、低温処理槽１０と、高温検査槽２０と、電気検査部３０と、回収部５０と、を備え、ＥＣＵ基板製品やセンセミ製品等であるワークＷの温度特性検査を行う。

【0011】

低温処理槽１０は、槽内に搬送されたワークＷを液媒体ＬＭ中にて冷却可能に構成されている。液媒体ＬＭは、液供給部１１から低温処理槽１０に供給される。液面高さは、液面計７１により検出される。低温処理槽１０の液媒体ＬＭは、配管１３１に設けられる循環ポンプ１３により循環され、ミキシングノズル１５を経由して低温処理槽１０に戻される。配管１３１には、ストレーナ１３２およびフィルタ１３３が設けられている。また、低温処理槽１０内の液媒体ＬＭは、低温チラー１７および冷却蛇管１８により冷却される。

【0012】

低温処理槽１０にて冷却されたワークＷは、高温検査槽２０に搬送される。ドライエア発生装置９０にて生成されるドライエア中を搬送することで、搬送中におけるワークＷの結露を防ぐことができる。配管には、流量センサ（図中「ＦＳ」）や圧力センサ（図中「ＰＳ」）等のセンサ類が適宜設けられている。

【0013】

高温検査槽２０は、槽内に搬送されたワークＷの温度特性に係る電気検査、液媒体ＬＭを用いての昇温、真空引きを実施可能に構成されている。高温検査槽２０には、液面計７２、および、真空計７３が設けられている。高温検査槽２０内の液媒体ＬＭは、高温検査槽２０内の液媒体ＬＭは、循環ポンプ４２を用いて攪拌される。

【0014】

高温検査槽２０は、吸引ポンプ４５により真空引き可能に構成されている。揮発した液媒体ＬＭを主体とするガス（以下、「揮発ガス」とする。）は、凝縮器５１に回収される。また、ワークＷへの付着等にて高温検査槽２０に持ち込まれた液媒体ＬＭは、戻し配管４６にて低温処理槽１０に戻される。戻し配管４６には、熱交換器４６１が設けられている。

【0015】

高温検査槽２０には、圧送ポンプ４７にてバックアップ槽４８から液媒体ＬＭが供給される。また、高温検査槽２０内の液媒体ＬＭは、配管５３を経由して凝縮器５１に排出可能である。高温検査槽２０の詳細は、後述する。

【0016】

バックアップ槽４８には、ポンプ４９により凝縮器５１から液媒体ＬＭが供給される。バックアップ槽４８には、ヒータ４８５が設けられており、液媒体ＬＭを所定温度（例えば９０℃）に昇温する。バックアップ槽４８には、液面計、温調計および過昇温計等のセンサが設けられている。

【0017】

回収部５０は、凝縮器５１、ガスホルダ６０、および、分離槽６５等を有する。凝縮器５１は、高温検査槽２０から排出された液媒体ＬＭを貯留するとともに、真空引きされた揮発ガスを凝縮可能に構成されている。凝縮された液媒体ＬＭは、凝縮器５１の鉛直方向下側に貯留される。凝縮器５１には、液媒体ＬＭを加熱するヒータ５２が設けられており、液媒体ＬＭの液面上方は、液媒体ＬＭの飽和蒸気にて満たされる。また、凝縮器５１には、液供給部５５から液媒体ＬＭが供給される。凝縮器５１には、液面計、温調計および過昇温計等のセンサが設けられている。

【0018】

ガスホルダ６０は、例えば吸着等により揮発ガスを保持可能である。高温検査槽２０の真空引きを行う際、凝縮器５１の内圧が高まるのを防ぐべく、乾燥揮発ガスを凝縮器５１の鉛直方向上側から排出し、ガスホルダ６０にて保持する。また、ガスホルダ６０に貯留された乾燥揮発ガスは、高温検査槽２０の復圧時に供給部２７を経由して高温検査槽２０に戻される。すなわち本実施形態の回収部５０は、揮発ガスも含めて完全密封のクローズドシステムとなっている。また、ガスホルダ６０から排出された乾燥媒体ガスは、吸引ポンプ４５にも供給される。

【0019】

分離槽６５には、凝縮器５１から排出された媒体と水との混合蒸気が供給される。混合蒸気は、分離槽６５にて、比重により液媒体ＬＭと水とに分離される。分離された水は系外に排出され、液媒体ＬＭは凝縮器５１に戻される。

【0020】

ここで、ＥＣＵ基板製品やセンセミ製品の製造工程では、ＥＣＵ基板製品等であるワークＷを低温および高温にした状態にて電気プローブを接触させ、低温状態および高温状態それぞれでの電気応答性を確認する温度特性検査が行われる。例えば参考例として、検査装置の耐熱仕様をなくすべく、冷風炉および熱風炉を検査装置とは別体構造にする場合、熱媒体として気体を用いており、特に冷風炉では大量のドライエアが必要であるので、ワークＷの冷加熱以外への熱ロスが大きい。

【0021】

また、気体での冷加熱に替えて、例えばフッ素系の液媒体ＬＭを用いることができる。液媒体ＬＭは、熱伝達性や電気絶縁性に優れる反面、地球温暖化係数が高い。そこで本実施形態では、液媒体ＬＭを用いてワークＷの調温を行い、ワークＷに付着した液媒体ＬＭの乾燥および揮発ガスの回収を、回収ポテンシャルの高い真空乾燥方式にて行う。

【0022】

本実施形態では、高温検査槽２０は、真空引き可能に構成されている。また、高温検査槽２０には、電気検査部３０が組み込まれており、高温検査槽２０にてワークＷの電気検査が可能である。一方、低温処理槽１０には電気検査に係る装置が組み込まれておらず、低温処理槽１０で冷却されたワークＷの低温での電気検査は、真空引きした高温検査槽２０にて実施する。真空引きすることで、熱伝導の３形態（対流、輻射、伝導）のうち、影響の大きい対流と伝導による熱移動を遮断可能であるので、高温検査槽２０内であっても、冷却したワークＷの温度変化を常温の大気中と略同等に抑えることができる。

【0023】

高温検査槽２０の詳細を、図２～図７に示す。図３等はいずれも模式的な図であって、図４～図７では煩雑になることを避けるため、一部のハッチングを省略した。図４に示すように、高温検査槽２０は、槽本体２１、槽本体の外側に設けられる断熱材２３、および、ヒータ２５等を有している。

【0024】

槽本体２１は、溶接構造であって略有底筒状に形成されており、バックアップ槽４８（図１参照）から液媒体ＬＭが供給される。槽本体２１の内底面２１１は、傾斜して形成されている。槽本体２１は、内部空間を鉛直方向下側の下室２１２と、鉛直方向上側の上室２１３に区画する隔壁２１５を有する。隔壁２１５には、下治具３２の一端側を挿通可能な貫通穴２１６が設けられている。

【0025】

下室２１２と上室２１３とは、配管４１、４３を経由して連通している。配管４１には、循環ポンプ４２、ストレーナ４１１、バルブ４１２、４１３、フィルタ４１５、４１６等が設けられている。循環ポンプ４２を駆動することで、液媒体ＬＭを下室２１２から上室２１３へ供給可能である。また、配管４３には、バルブ４３１が設けられている。

【0026】

下室２１２には、ヒータ２５が配置されている。ヒータ２５は、内底面２１１の傾斜上部側に配置されており、液媒体ＬＭを加熱可能である。下室２１２の最下部側には、凝縮器５１と連通する配管５３が接続されている。配管５３に設けられたバルブ５３１を開とすることで、槽本体２１内の液媒体ＬＭを凝縮器５１側に排出可能である。

【0027】

電気検査部３０は、下側共通コネクタ３１、下治具３２、および、上蓋ユニット３５等を有する。上蓋ユニット３５は、蓋３６、ワーク保持部３７、上側共通コネクタ３８、および、上治具３９を有する。

【0028】

下側共通コネクタ３１は、下室２１２に配置されている。下側共通コネクタ３１は、テスト配線３１１と接続されており、電気検査の検出値を系外に設けられる図示しない制御部に出力する。下治具３２は、コネクタ部３２１、鍔部３２２、および、プローブピン３２５等を有する。コネクタ部３２１は、貫通穴２１６に挿通される一端側に設けられており、下側共通コネクタ３１と接続される。

【0029】

鍔部３２２は、外周側に突出して形成されており、コネクタ部３２１側が貫通穴２１６に挿通された状態にて、隔壁２１５と当接する。鍔部３２２と隔壁２１５との間には、Ｏリング２１９が設けられる。これにより、下治具３２が配置された状態にて、下室２１２と上室２１３とが液密に隔離される。

【0030】

プローブピン３２５は、コネクタ部３２１とは反対側の端部に、検査対象のワークＷに応じて設けられている。下治具３２が槽本体２１に組み付けられているとき、プローブピン３１５は、上室２１３に露出した状態であり、上治具３９に保持されたワークＷと当接可能に設けられている。

【0031】

上蓋ユニット３５は、搬送装置９５（図２参照）により、ワークＷを保持した状態にて搬送可能に設けられている。蓋３６には、上側共通コネクタ３８が設けられており、槽本体２１上部の開口２１７を塞ぐように設けられている。蓋３６と槽本体２１との間には、Ｏリング３６８が設けられている。また、蓋３６と上側共通コネクタ３８との間には、Ｏリング３６９が設けられている。

【0032】

上治具３９は、コネクタ部３９１、および、プローブピン３９５等を有する。コネクタ部３９１は、上側共通コネクタ３８と接続される。プローブピン３９５は、ワークＷがワーク保持部３７に保持された状態にて、ワークＷと当接可能に設けられている。下治具３２および上治具３９は、検査を行うワークＷに応じたものが用いられる。

【0033】

各工程における高温検査槽２０の状態を図４～図７に示す。なお、図５～図７では、配管４１および循環ポンプ４２等の液媒体ＬＭの上下室循環に係る構成は省略した。図４は、高温検査槽２０に電気検査部３０が組み付けられており、上室２１３にてワークＷが液媒体ＬＭに浸漬されている状態を示している。図５は、下治具３２を組み付ける前の状態を示しており、検査を行うワークＷに応じた下治具３２を槽本体２１に設置する。

【0034】

図６に示すように、高温検査槽２０には、バックアップ槽４８（図１参照）から液媒体ＬＭが供給される。詳細には、バックアップ槽４８からの液媒体ＬＭは、上室２１３に供給され、配管４３を経由して、下室２１２に送られる。また、上室２１３には低温処理槽１０にて冷却されたワークＷが搬送される。本実施形態では、下治具３２と隔壁２１５とで下室２１２が液密となるように槽本体２１が二重底構造となっており、ワーク搬送時には、下室２１２が液媒体ＬＭで満たされており、上室２１３には液媒体ＬＭがない状態となっている。

【0035】

図７に示すように、蓋３６が閉じられて上室２１３が気密状態になると、真空引きを行い、真空状態にて、低温での電気検査を行う。このとき、下室２１２には高温の液媒体ＬＭで満たされている状態が維持される。

【0036】

低温での電気検査が終了すると、乾燥揮発ガスが供給部２７から供給されることで上室２１３を復圧させるとともに、予め加熱された液媒体ＬＭが上室２１３側に供給され、ワークＷを液媒体ＬＭに浸漬する（図４参照）。また、ヒータ２５および循環ポンプ４２を駆動し、液媒体ＬＭを保温する。ワークＷの昇温が完了すると、高温での電気検査と、液排出および真空乾燥とを並行して行う。電気検査と真空乾燥とを同時並行で行うことで、工程時間を短縮可能である。真空乾燥が完了すると、ワークＷを搬出する。なお、高温検査が終了した後に、上室２１３の液排出および真空乾燥を行うようにしてもよい。

【0037】

同一の下治具３２を用いて検査可能なワークＷの検査を繰り返す場合、ワーク搬入（図６）、真空での低温検査（図７）、ワーク昇温（図４）、高温検査および真空乾燥（図７）、ワーク搬出（図６）が繰り返される。

【0038】

本実施形態の検査方法を図８のフローチャートに基づいて説明する。Ｓ１１では、ワークＷを搬送し、Ｓ１２にて、低温処理槽１０に投入される。Ｓ１３では、低温処理槽１０にてワークＷの低温処理が行われる。ワークＷが冷却終了温度Ｔｃ（例えば－３５℃）まで冷却されると、Ｓ１４にて低温処理槽１０から排出され、Ｓ１５にて高温検査槽２０に投入される。

【0039】

Ｓ１６では、ワークＷが配置されている状態にて上室２１３の真空引きを行い、低温での電気検査が行われる。Ｓ１７では、ワークＷを移動させることなく上室２１３にて液媒体ＬＭに浸漬し、高温処理を行う。ワークＷが加熱終了温度Ｔｈ（例えば７５℃）まで昇温されると、Ｓ１８にて、高温での電気検査が行われる。また電気検査と並行して、上室２１３からの液媒体ＬＭの排出および真空乾燥が行われる。真空乾燥が完了すると、Ｓ１９にてワークＷが高温検査槽２０から排出される。

【0040】

低温処理槽１０におけるワークＷの温度プロファイルを図９に示す。図９では、横軸を時間、縦軸を温度とする。図１０、および、後述の図１３、図１４も同様である。低温処理槽１０では、時刻ｘ１１にて、冷却開始温度Ｔｎ（例えば２０℃）から冷却終了温度Ｔｃ（例えば－３５℃）までワークＷを冷却する。時刻ｘ１２にて冷却終了温度Ｔｃに到達すると、時刻ｘ１３にてワークＷが低温処理槽１０から排出される。排出時の温度は成り行きである。冷却終了温度Ｔｃは、低温検査開始温度Ｔｄより低く、液媒体ＬＭの凝固点よりも高い温度に設定される。本実施形態では、低温処理槽１０では電気検査を行わない。そのため、検査サイクルとは独立して冷却時間を確保することができるので、冷凍能力を抑えることで省エネを実現可能である。

【0041】

高温検査槽２０におけるワークＷの温度プロファイルを図１０に示す。ワークＷが低温処理槽１０からドライエア環境中を経由して高温検査槽２０に投入されると、上室２１３が真空引きされ、時刻ｘ１３から検査実施時間（例えば数十秒）に亘り、低温での電気検査が行われる。低温検査開始温度Ｔｄ（例えば－２５℃）は、低温での電気検査性能を保証可能な温度である。

【0042】

時刻ｘ１４にて、電気検査が終了すると、真空引きを停止して槽本体２１内を復圧させ、上室２１３に高温（例えば９０℃）の液媒体ＬＭを供給し、ワークＷを加熱する。加熱開始温度は成り行きである。

【0043】

時刻ｘ１５にて、加熱終了温度Ｔｈ（例えば７５℃）になると、高温での電気検査を行う。また、上室２１３の液媒体ＬＭを排出し、真空乾燥を行う。時刻ｘ１６にて高温検査が終了し、時刻ｘ１７にて工程が終了すると、ワークＷが高温検査槽２０から排出される。

【0044】

以上説明したように、検査装置１は、所定の検査温度にてワークＷの電気検査を行うものであって、高温検査槽２０と、電気検査部３０と、回収部５０と、を備える。高温検査槽２０は、ワークＷの液媒体ＬＭによる調温、および、槽内部の真空引きが可能である。電気検査部３０は、ワークＷの電気検査を行う。回収部５０は、高温検査槽２０から排出された液媒体ＬＭ、および、真空引きにより排出された揮発ガスを回収する。検査装置１は、高温検査槽２０において、ワークＷの電気検査および真空乾燥を行う。

【0045】

液媒体ＬＭを用いることで、ワークＷを効率よく調温可能であり、温度処理に要するエネルギや放熱、ドライエア使用量が抑制される。したがって、冷風炉での冷却や熱風炉での加熱を行う場合と比較し、大幅な省エネ効果が見込める。また、回収部５０を設け、ワークＷを真空乾燥することで、ワークＷの温度処理に用いる液媒体ＬＭを高効率に回収することができる。また、真空乾燥方式とすることで、フリーボードが不要になるため、高温検査槽２０の液槽高さを低くすることができる。

【0046】

高温検査槽２０は、槽本体２１の内部空間を、ヒータ２５が設けられる下室２１２と、ワークＷが配置される上室２１３とに区画する隔壁２１５を有する。上室２１３は、ワークＷが配置された状態にて、液媒体ＬＭで満たされている状態と真空状態とを切替可能である。本実施形態では、高温検査槽２０を二重底構造とし、上室２１３の液媒体ＬＭの入れ替えを行うことで、高効率に上室２１３の真空引きを行うことができる。

【0047】

電気検査部３０は、上室２１３の真空引きと並行して電気検査を行う。これにより、工程時間を短縮することができる。

【0048】

検査装置１は、ワークＷを加熱する高温検査槽２０とは別に、ワークＷを冷却する低温処理槽１０を備える。検査装置１は、低温処理槽１０で冷却されたワークＷの低温での電気検査を真空引きされた上室２１３で行った後、上室２１３を液媒体ＬＭで満たしてワークＷを加熱し、高温での電気検査を行う。

【0049】

これにより、相対的に低温での低温検査、および、相対的に高温での高温検査を適切に行うことができる。また、低温処理槽１０側にも検査治具を設ける場合と比較し、テスタや検査治具の台数を削減することができる。さらにまた、電気検査とは別途で冷却を行うことで、冷却に時間を確保することができるため、冷凍能力を落とすことが可能であって、更なる省エネ効果が見込める。

【0050】

回収部５０は、揮発ガスを凝縮する凝縮器５１、および、揮発ガスを貯留するガスホルダ６０を有し、高温検査槽２０の復圧時に乾燥した揮発ガスを高温検査槽２０に戻す。すなわち本実施形態では、回収した液媒体ＬＭを復圧時に高温検査槽２０に戻すクローズドの循環システムとしているため、液媒体ＬＭの消費量を削減可能である。

【0051】

本実施形態の検査方法は、所定の検査温度にてワークＷの電気検査を行う方法であって、液媒体ＬＭにてワークＷを調温する調温工程と、ワークＷの電気検査を行う電気検査工程と、ワークＷの真空乾燥を行う真空乾燥工程と、を含む。

【0052】

調温工程には、ワークＷを冷却する冷却工程、および、ワークＷを加熱する加熱工程が含まれる。本実施形態では、低温処理槽１０にて冷却工程を行い、冷却されたワークＷを高温検査槽２０に搬送し、真空引きされた高温検査槽２０にて低温での電気検査工程を行った後、加熱工程にてワークＷを加熱し、高温検査槽２０にて高温での電気検査工程および真空乾燥工程を行う。高温での電気検査工程と真空乾燥工程とは、同時並行で実施される。このような検査方法において、上記検査装置１と同様の効果を奏する。

【0053】

本実施形態では、低温処理槽１０が「低温槽」、高温検査槽２０が「調温槽」および「高温槽」、下室２１２が「液媒貯留室」、上室２１３が「ワーク室」に対応する。また、Ｓ１３およびＳ１７が「調温工程」、Ｓ１３が「冷却工程」、Ｓ１７が「加熱工程」、Ｓ１６、Ｓ１８が「電気検査工程」、Ｓ１８が「真空乾燥工程」に対応する。

【0054】

（第２実施形態）
第２実施形態を図１１～図１４に示す。図１１は、第１実施形態の図２に対応する図であって本実施形態の検査装置２は、低温検査槽８０と、高温検査槽２０と、電気検査部８５と、回収部５０（図１１では不図示）と、を備える。

【0055】

電気検査部８５は、上記実施形態の電気検査部３０の各構成に加え、下側共通コネクタ８６、および、下治具８７を有する。下側共通コネクタ８６、および、下治具８７は、低温検査槽８０に設けられており、低温検査槽８０にて、低温での電気検査を実施可能に構成されている。なお、上治具３９等は、高温検査槽２０における高温での電気検査と共用される。低温検査槽８０では、液媒体ＬＭの蒸発速度の観点から真空引きは行わないため、真空槽にはなっておらず、真空引きや液の入れ替えに係る構成等は設けられていない。したがって、低温検査後のワークＷは、真空乾燥せずに高温検査槽２０に投入される。

【0056】

本実施形態の検査方法を図１２のフローチャートに基づいて説明する。Ｓ３１～Ｓ３３の処理は、図８中のＳ１１～Ｓ１３の処理と同様である。ワークＷの温度が低温検査開始温度Ｔｄまで低下すると、Ｓ３４にて低温検査槽８０内にて低温での電気検査を行う。本実施形態では、低温検査は低温検査槽８０内で行うため、搬送等による昇温を考慮して低温検査を行う温度よりも温度を低下させる必要がない。

【0057】

低温検査が終了すると、Ｓ３５にてワークＷを低温検査槽８０から排出し、Ｓ３６にて高温検査槽２０に投入する。Ｓ３７では、ワークＷを液媒体ＬＭにて加熱する高温処理を行う。ワークＷが加熱終了温度Ｔｈまで昇温されると、Ｓ３８にて高温での電気検査が行われる。電気検査が終了すると、Ｓ３９にて液媒体ＬＭの排出および真空乾燥が行われる。真空乾燥が完了すると、Ｓ４０にてワークＷが高温検査槽２０から排出される。

【0058】

低温検査槽８０におけるワークＷの温度プロファイルを図１３に示す。低温検査槽８０では、温度ｘ２１にて、冷却開始温度Ｔｎから低温検査開始温度ＴｄまでワークＷを液媒体ＬＭに浸漬し冷却する。時刻ｘ２２にて低温検査開始温度Ｔｄになると、低温での電気検査を行う。時刻ｘ２３にて電気検査が終了すると、時刻ｘ２４にてワークＷが低温検査槽８０から排出される。

【0059】

高温検査槽２０におけるワークＷの温度プロファイルを図１４に示す。ワークＷが高温検査槽２０に投入されると、時刻ｘ２５にてワークＷを液媒体ＬＭに浸漬し加熱する。時刻ｘ２６にて加熱終了温度Ｔｈになると、高温での電気検査を行う。時刻ｘ２７にて電気検査が終了すると、液媒体ＬＭを排出し、真空乾燥を行う。時刻ｘ２８にて真空乾燥を行う。時刻ｘ２９にて工程が終了すると、ワークＷが高温検査槽２０から排出される。

【0060】

本実施形態の検査装置２は、低温検査槽８０で冷却されたワークＷの低温での電気検査を低温検査槽８０で行った後、ワークＷを高温検査槽２０に搬送して液媒体ＬＭにてワークＷを加熱し、高温での電気検査を高温検査槽２０で行う。

【0061】

本実施形態の検査方法では、低温検査槽８０にて冷却工程、および、低温での電気検査工程を行い、低温での電気検査工程の後、ワークＷを高温検査槽２０に搬送し、高温検査槽２０にて加熱工程、高温での電気検査工程、および、真空乾燥工程を行う。

【0062】

本実施形態では、低温での電気検査および高温での電気検査を、それぞれ低温検査槽８０および高温検査槽２０にて行うので、より適切な温度条件での電気検査を行うことができる。また上記実施形態と同様の効果を奏する。

【0063】

本実施形態では、低温検査槽８０が「低温槽」に対応する。また、Ｓ３３およびＳ３７が「調温工程」、Ｓ３３が「冷却工程」、Ｓ３７が「加熱工程」、Ｓ３４およびＳ３８が「電気検査工程」、Ｓ３９が「真空乾燥工程」に対応する。

【0064】

（他の実施形態）
上記実施形態では、低温処理と高温処理にて同種の液媒体を用いている。他の実施形態では、低温処理に用いる液媒体と高温処理に用いる液媒体とが異なっていてもよい。第１実施形態では、高温での電気検査と同時並行に真空乾燥を行い、第２実施形態では、高温での電気検査後に真空乾燥を行っている。他の実施形態では、第１実施形態の検査装置にて、電気検査後に真空乾燥を行ってもよいし、第２実施形態の検査装置にて、高温での電気検査と真空乾燥を同時並行に行ってもよい。

【0065】

他の実施形態では、低温槽を真空引き可能な「調温槽」としてもよく、調温槽にて電気検査および真空乾燥が可能であれば、装置の詳細等は上記実施形態と異なっていてもよい。また、実施形態に例示した温度プロファイルは一例であって、任意に設定可能である。以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。

【符号の説明】

【0066】

１、２・・・検査装置
１０・・・低温処理槽（低温槽）
２０・・・高温検査槽（調温槽、高温槽）
３０、８５・・・電気検査部
５０・・・回収部
８０・・・低温検査槽（低温槽）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】