特開 2024-11483 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024011483

(43)【公開日】2024-01-25

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   B61B 3/02 20060101AFI20240118BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20240118BHJP

【ＦＩ】

B61B3/02 B

B61B3/02 C

B65G1/00 501C

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022113479

(22)【出願日】2022-07-14

(71)【出願人】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】山田 慶太

(72)【発明者】

【氏名】藤原 遥介

(72)【発明者】

【氏名】萬井 優太

(72)【発明者】

【氏名】戸羽 浩嘉

(72)【発明者】

【氏名】角間 政志

(72)【発明者】

【氏名】豊島 直哉

(72)【発明者】

【氏名】鯰江 一也

【テーマコード（参考）】

3F022

【Ｆターム（参考）】

3F022HH02

3F022JJ02

3F022JJ11

3F022KK11

3F022LL12

3F022MM11

(57)【要約】

【課題】効率よく搬送可能な搬送システムを実現する。
【解決手段】搬送システム（１）は、搬送対象物（３０）を保持した状態で第１軌道（１０）を走行する第１搬送車（１１）と、載置部（２５）に搬送対象物（３０）を載置した状態で第２軌道（２０）を走行する第２搬送車（２１）と含み、第１搬送車（１１）は、移載部（１５）を用いて第２搬送車（２１）の載置部（２５）との間で搬送対象物（３０）の授受を行うことができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１軌道と、
所要の箇所との間で搬送対象物の授受を行う移載部を有し、前記搬送対象物を保持した状態で前記第１軌道を走行する第１搬送車と、
第２軌道と、
前記搬送対象物を載置するための載置部を有し、前記載置部に前記搬送対象物を載置した状態で前記第２軌道を走行する第２搬送車と、含み、
前記第１搬送車は、前記移載部を用いて、前記第２搬送車の前記載置部との間で前記搬送対象物の授受を行うことが可能である、搬送システム。

【請求項2】

前記第１軌道は、周回経路であり、
前記第２軌道は、周回経路を含み、
前記第１搬送車と前記第２搬送車とは、互いに逆方向に進行する、請求項１に記載の搬送システム。

【請求項3】

前記第１搬送車は、前記第１軌道が天井近傍に配置された天井搬送車である、請求項１に記載の搬送システム。

【請求項4】

前記第２軌道は、前記第１軌道よりも鉛直方向で下側に配置されている、請求項３に記載の搬送システム。

【請求項5】

前記第１搬送車で搬送中の搬送対象物の搬送先である前記所要の箇所に、他の搬送対象物が載置されている場合、前記第１搬送車は、一時的に、前記第２搬送車に当該搬送対象物を移載する、請求項１に記載の搬送システム。

【請求項6】

前記第２軌道は、前記第１軌道の鉛直方向の真下の位置からずれた位置に配置されている、請求項３に記載の搬送システム。

【請求項7】

前記移載部は、前記搬送対象物を水平方向に移動可能なスライド機構を有する、請求項６に記載の搬送システム。

【請求項8】

複数の処理装置を含む搬送エリアが複数存在し、
前記第１軌道が周回する前記搬送エリアの組合せと、前記第２軌道が周回する前記搬送エリアの組合せとが異なる、請求項２に記載の搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送車で搬送する搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

天井に設けられた軌道に沿って搬送車を走行させて搬送対象物を搬送するシステムが知られている。例えば、特許文献１には、下段軌道を一方向に走行する第１搬送車と、上段軌道を一方向に走行する第２搬送車とを備える搬送車システムが記載されている。特許文献１に記載の搬送車システムでは、第１授受部および第２授受部を介して、第１搬送車と第２搬送車との間で搬送対象物の受け渡しが可能となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１７／０２９８７３号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した従来技術は、第１授受部または第２授受部を介して第１搬送車と第２搬送車との間で搬送対象物の受け渡しを行っており、搬送の効率化という点において改善の余地がある。

【0005】

本発明の一態様は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、効率よく搬送可能な搬送システムを実現することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送システムは、第１軌道と、所要の箇所との間で搬送対象物の授受を行う移載部を有し、前記搬送対象物を保持した状態で前記第１軌道を走行する第１搬送車と、第２軌道と、前記搬送対象物を載置するための載置部を有し、前記載置部に前記搬送対象物を載置した状態で前記第２軌道を走行する第２搬送車と、含み、前記第１搬送車は、前記移載部を用いて、前記第２搬送車の前記載置部との間で前記搬送対象物の授受を行うことが可能である。

【発明の効果】

【0007】

本発明の一態様によれば、効率よく搬送対象物を所望の位置へ搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の実施形態１に係る搬送システムにおける軌道のレイアウトを示す図である。

【図2】図１のＡ－Ａ線からみた正面図である。

【図3】図２において、搬送対象物を第１搬送車から第２搬送車２１に移載する状態を示す図である。

【図4】図２において、搬送対象物を第２搬送車に移載した状態を示す図である。

【図5】図２において、搬送対象物を装置ポートに移載する状態を示す図である。

【図6】本発明の実施形態２に係る搬送システムにおける軌道のレイアウトを示す図である。

【図7】図６のＢ－Ｂ線からみた正面図である。

【図8】図７において、搬送対象物を第１搬送車から第２搬送車に移載する状態を示す図である。

【図9】搬送システムの効果を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

〔実施形態１〕
〔全体概要〕
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。まず、図１を参照して、搬送システム１の全体概要について説明する。図１は、搬送システム１における搬送車の軌道のレイアウトを示す図である。図１では、搬送システム１を鉛直方向の上側から見た状態を示している。なお、図１では、レイアウトの把握が容易となるよう、第１軌道１０と第２軌道２０との鉛直方向の位置がずれているように記載しているが、本実施形態では、第１軌道１０の鉛直方向の真下に第２軌道２０が配置されている。

【0010】

搬送システム１は、同一または同一に近い処理を行う複数の処理装置５０が配置された搬送エリア（本実施形態ではベイと呼ぶ）間において、搬送対象物３０を、軌道（第１軌道１０、第２軌道２０）に沿って走行可能な搬送車（第１搬送車１１、第２搬送車２１）を用いて搬送するものである。

【0011】

図１に示す例では、上記搬送エリアとして、第１ベイ１０１から第５ベイ１０５までの５つのベイが示されている。第１軌道１０および第２軌道２０は、第１ベイ１０１から第５ベイ１０５までの間で搬送対象物３０を搬送可能なように配置されている。第１軌道１０に沿って第１搬送車１１が走行し、第２軌道２０に沿って第２搬送車２１が走行することにより、搬送対象物３０が搬送される。

【0012】

第１ベイ１０１から第５ベイ１０５までの各ベイには、それぞれ複数の処理装置５０が含まれる。また、処理装置５０にはそれぞれ装置ポート５１が１または複数設けられており、処理装置５０で処理される搬送対象物３０が当該処理装置５０の装置ポート５１に載置される。

【0013】

第１軌道１０は、天井に沿って配置されており、第２軌道２０は、第１軌道１０よりも鉛直方向で下側に配置されている。よって、第１軌道１０に沿って走行する第１搬送車１１は、天井搬送車である。また、第１軌道１０および第２軌道２０は、周回経路と、この周回経路から分岐して各ベイ（第１ベイ１０１～第５ベイ１０５）内の処理装置５０を回って、上記周回経路に戻る経路とを含む。周回経路であることにより、複数の第１搬送車１１、および第２搬送車２１を配置することができる。

【0014】

また、第１搬送車１１は、第１軌道１０に沿って一方向に走行するものであり、第２搬送車２１は、第２軌道２０に沿って一方向に走行する。そして、第１搬送車１１と第２搬送車２１とは走行方向が逆方向となっている。すなわち、例えば、図１に示す例で説明すれば、第１搬送車１１が装置ポート５１Ｘ、装置ポート５１Ｙの順で走行する場合、第２搬送車２１は、装置ポート５１Ｙ、装置ポート５１Ｘの順で走行する。

【0015】

第１搬送車１１と第２搬送車２１とが逆方向に走行することにより、第２搬送車２１は、搬送対象物３０を第１搬送車１１が搬送した方向と逆方向に搬送することが可能となり、搬送対象物３０の搬送効率を高めることができる。

【0016】

また、第１搬送車１１は、搬送対象物３０を把持部１５２（後述する）で把持した状態で、搬送対象物３０を搬送する。第２搬送車２１は、載置部２５を備え、搬送対象物３０を載置部２５に載置して、搬送対象物３０を搬送する。

【0017】

また、搬送システム１にはコントローラ８０が含まれる。コントローラ８０は、搬送システム１全体における各種制御処理を実行する部分であり、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。本実施形態では、コントローラ８０は、第１搬送車１１の走行制御、第２搬送車２１の走行制御、第１搬送車１１から第２搬送車２１への搬送対象物３０の移載、第１搬送車１１から装置ポート５１への搬送対象物３０の移載、装置ポート５１から第１搬送車１１への搬送対象物３０の移載等の制御を行う。

【0018】

例えば、コントローラ８０は、搬送対象物３０の引き当てがあったときに、適切な第１搬送車１１を制御して、適切な位置に走行させる。

【0019】

また、コントローラ８０は、第１搬送車１１によって搬送されている搬送対象物３０を載置する装置ポート５１を通過させてしまった場合、装置ポート５１を通過した先で、当該搬送対象物３０を第１搬送車１１から第２搬送車２１に移載させる。そして、当該搬送対象物３０を受け取った第２搬送車２１を、第１搬送車１１とは逆方向に走行させ、所望の装置ポート５１を通過させた後、搬送対象物３０を別の第１搬送車１１に移載させる。そして、当該搬送対象物３０を受け取った第１搬送車１１を、第２搬送車２１とは逆方向に走行させ、搬送対象物３０を所望の装置ポート５１に移載させる。

【0020】

また、コントローラ８０は、第１搬送車１１で搬送中の搬送対象物３０の搬送先である装置ポート５１に、他の搬送対象物３０が載置されている場合、一時的に、第１搬送車１１から第２搬送車２１に当該搬送対象物３０を移載させてもよい。これにより、第２搬送車２１に装置ポート５１のバッファの役割を果たさせることができる。

【0021】

〔第１搬送車１１、第２搬送車２１〕
図２は、図１のＡ－Ａ線から見た正面図である。図２に示すように、第１搬送車１１は、移載部１５含む。移載部１５には、昇降部１５１および把持部１５２が含まれる。移載部１５は、搬送対象物３０を把持部１５２で把持し、昇降部１５１で昇降させることにより、搬送対象物３０を第２搬送車２１または装置ポート５１に移載することができる。すなわち、第１搬送車１１は、搬送対象物３０を直接、第２搬送車２１に移載することもできるし、装置ポート５１に移載することもできる。すなわち、第１搬送車１１は、所要の箇所（例えば、装置ポート５１）との間で搬送対象物３０の授受を行う移載部１５を備える。また、第１搬送車１１は、移載部１５を用いて、第２搬送車２１の載置部２５との間で搬送対象物３０の授受を行うことが可能である。

【0022】

第１搬送車１１と第２搬送車２１との間で搬送対象物３０の授受を行うときは、第１搬送車１１および第２搬送車２１は停止している。

【0023】

第２搬送車２１は、載置部２５を備える。第２搬送車２１は、第１搬送車１１のように移載部１５等が設けられていない。よって、第２搬送車２１は、第１搬送車１１よりも軽量化することが可能であり、第１搬送車１１よりも搬送速度を早めることができる。

【0024】

図３および図４は、図２に示す例において、搬送対象物３０を第２搬送車２１に移載する状態を示した図である。第１搬送車１１の真下に第２搬送車２１を配置した状態で、図３に示すように、第１搬送車１１の把持部１５２に把持された搬送対象物３０は、昇降部１５１により、鉛直方向の下方に降下させられ、第２搬送車２１の載置部２５に載置される。その後、図４に示すように、把持部１５２は第１搬送車１１に戻り、搬送対象物３０のみが第２搬送車２１に載置された状態となる。この状態で、第２搬送車２１は、搬送対象物３０を搬送する。

【0025】

図５は、搬送対象物３０を装置ポート５１に載置する状態を示した図である。搬送対象物３０を装置ポート５１に載置する場合、第１搬送車１１の把持部１５２に把持された搬送対象物３０は、昇降部１５１により、鉛直方向の下方に降下させられ、装置ポート５１に載置される。なお、上述したように、移載部１５は第１搬送車１１のみに設けられており、第２搬送車２１には設けられていない。よって、第２搬送車２１に載置された搬送対象物３０を、直接、装置ポート５１に移載することはできない。

【0026】

以上のように、搬送システム１は、第１軌道１０と、所要の箇所との間で搬送対象物３０の授受を行う移載部１５を有し、搬送対象物３０を保持した状態で第１軌道１０を走行する第１搬送車１１と、第２軌道２０と、搬送対象物３０を載置するための載置部２５を有し、載置部２５に搬送対象物３０を載置した状態で第２軌道２０を走行する第２搬送車２１と含み、第１搬送車１１は、移載部１５を用いて、第２搬送車２１の載置部２５との間で搬送対象物３０の授受を行うことが可能である。

【0027】

これにより、直接、第１搬送車１１と第２搬送車２１との間で搬送対象物３０の受け渡しを行うことが可能となり、搬送対象物３０の搬送の効率を高めることができる。

【0028】

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。

【0029】

〔全体概要〕
まず、図６を参照して、本実施形態に係る搬送システム１’の全体概要について説明する。図６は、搬送システム１’における搬送車の軌道のレイアウトを示す図である。図６は、搬送システム１’を鉛直方向の上側から見た図である。搬送システム１’の第１軌道１０は、上述した実施形態に１における軌道と同様である。搬送システム１’では、搬送システム１の第２軌道２０に代えて、第２軌道２０Ａおよび第２軌道２０Ｂが配置されている。第２軌道２０Ａは、第１ベイ１０１と第４ベイ１０４とを結ぶ周回経路となっている。また、第２軌道２０Ｂは、第２ベイ１０２と第３ベイ１０３と結ぶ周回経路となっている。

【0030】

また、第２軌道２０Ａおよび第２軌道２０Ｂは、第１軌道１０の鉛直方向の真下ではなく、鉛直方向の真下からずれた位置に配置されている。

【0031】

すなわち、本実施形態では、複数の処理装置５０を含むベイ（第１ベイ１０１、第２ベイ１０２、第３ベイ１０３、第４ベイ１０４、第５ベイ１０５）が複数存在し、第１軌道１０が周回するベイの組合せ（第１ベイ１０１、第２ベイ１０２、第３ベイ１０３、第４ベイ１０４、第５ベイ１０５）と、第２軌道２０Ａおよび第２軌道２０Ｂが周回するベイの組合せ（第２軌道２０Ａは第１ベイ１０１および第４ベイ１０４、第２軌道２０Ｂは第２ベイ１０２および第３ベイ１０３）とが異なる。

【0032】

例えば、第１ベイ１０１と第４ベイ１０４との間の搬送が多い場合、第２軌道２０Ａを第１ベイと第４ベイの間だけを周回する経路とすることにより、第１軌道１０を走行する場合と比較して効率よく搬送を行うことができる。また、第１軌道１０を走行する第１搬送車１１の渋滞を緩和することができる。

【0033】

同様に、第２ベイ１０２と第３ベイ１０３との間の搬送が多い場合、第２軌道２０Ｂを第２ベイ１０２と第３ベイ１０３との間だけを周回する経路とすることにより、第１軌道１０を走行する場合と比較して効率よく搬送を行うことができる。また、第１軌道１０を走行する第１搬送車１１の渋滞を緩和することができる。

【0034】

〔第１搬送車１１’、第２搬送車２１〕
図７は、図６のＢ－Ｂから見た正面図である。図７に示すように、第１搬送車１１’は、移載部１５およびスライド機構１６含む。移載部１５には、昇降部１５１および把持部１５２が含まれる。スライド機構１６は、移載部１５を水平方向にスライド（移動）させる機構である。第１搬送車１１’は、スライド機構１６を備えることにより、搬送対象物３０を、鉛直方向の真下に配置されていない第２搬送車２１に移載することができる。より詳細に、図８を参照して説明する。

【0035】

図８は、図７に示す例において、搬送対象物３０を第２搬送車２１に移載する状態を示した図である。図８に示すように、第１搬送車１１’の把持部１５２に把持された搬送対象物３０は、スライド機構１６により、第２搬送車２１の載置部２５の真上に移動する。そして、昇降部１５１により、鉛直方向の下方に降下させられ、第２搬送車２１の載置部２５に載置される。これにより、第２搬送車２１は、搬送対象物３０を搬送することができる。

【0036】

〔実施形態１、２における作用効果〕
上述したように、本実施形態に係る搬送システム１、１’では、第１搬送車１１、１１’から第２搬送車２１に搬送対象物３０を移載することが可能である。また、第１搬送車１１、１１’と第２搬送車２１とは逆方向に移動する。これにより、効率よく搬送対象物３０を装置ポート５１に載置することができる。

【0037】

図９を参照して説明する。図９は、搬送システム１、１’の効果を説明するための図である。図９は、第１搬送車１１Ａ、１１Ｂ、および第２搬送車２１の進行方向の横から見た図であり、第１搬送車１１Ａ、１１Ｂ、第２搬送車２１、および装置ポート５１（５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃ）の位置関係を示す図である。

【0038】

図９の９０１に示すように、処理装置５０の３つの装置ポート５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃの何れかに搬送対象物３０Ｃを載置したい場合で、装置ポート５１Ａ、および装置ポート５１Ｂには既に搬送対象物３０が載置されている状態とする。

【0039】

この場合、第１搬送車１１Ａは、搬送対象物３０Ｃを装置ポート５１Ｃに載置する必要があるが、装置ポート５１Ｃを通り過ぎていた場合、通常であれば、第１軌道１０の周回経路を１周して、再度、装置ポート５１Ｃまで到達する必要がある。

【0040】

しかし、本実施形態に係る搬送システム１、１’では、第１搬送車１１Ａと逆方向に走行する第２搬送車２１が存在するので、第１搬送車１１Ａは、装置ポート５１Ｃを通り過ぎた先で第２搬送車２１に搬送対象物３０Ｃを移載することができる（図９の９０２）。そして、搬送対象物３０Ｃが移載された第２搬送車２１は、第１搬送車１１Ａと逆方向に走行し（図９の９０３）、装置ポート５１Ｃを通り過ぎた後、第１搬送車１１Ａとは異なる第１搬送車１１Ｂによって、第１搬送車１１Ｂに移載される（図９の９０４）。搬送対象物３０Ｃを受け取った第１搬送車１１Ｂは、装置ポート５１Ｃ方向に走行し（図９の９０５）、装置ポート５１Ｃまで到達したときに（図９の９０６）、装置ポート５１Ｃに搬送対象物３０Ｃを載置する（図９の９０７）。

【0041】

このように、本実施形態に係る搬送システム１、１’によれば、所望の載置箇所を通り過ぎた場合であっても、そのまま第１軌道１０を周回することなく、搬送対象物３０を効率よく載置箇所に載置することができる。

【0042】

また、例えば、所望の装置ポート５１Ｃに搬送対象物３０が載置されており、すぐに搬送対象物３０Ｃの載置ができない場合、一旦、第２搬送車２１に搬送対象物３０Ｃを載置して、装置ポート５１Ｃが空くのを待つということもできる。換言すれば、第２搬送車２１は、装置ポート５１のバッファの役割を果たすということできる。特に、第２軌道２０Ａ、第２軌道２０Ｂのように、第１軌道１０より周回経路が短い場合、第２搬送車２１に載置された搬送対象物３０は、短時間で所望の装置ポート５１に戻ってくることができるので有用である。

【0043】

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る搬送システムは、第１軌道と、所要の箇所との間で搬送対象物の授受を行う移載部を有し、前記搬送対象物を保持した状態で前記第１軌道を走行する第１搬送車と、第２軌道と、前記搬送対象物を載置するための載置部を有し、前記載置部に前記搬送対象物を載置した状態で前記第２軌道を走行する第２搬送車と、含み、前記第１搬送車は、前記移載部を用いて、前記第２搬送車の前記載置部との間で前記搬送対象物の授受を行うことが可能である。

【0044】

前記の構成によれば、第１搬送車と第２搬送車との間で直接、搬送対象物の授受が可能となるので、搬送対象物の搬送を効率的に行うことができる。

【0045】

本発明の態様２に係る搬送システムは、前記態様１において、前記第１軌道は、周回経路であり、前記第２軌道は、周回経路を含み、前記第１搬送車と前記第２搬送車とは、互いに逆方向に進行するものであってもよい。

【0046】

前記の構成によれば、第１搬送車と第２搬送車とが逆方向に走行するので、第１搬送車と第２搬送車との間で搬送対象物の授受を行うことにより、搬送対象物を逆方向に搬送することができ、搬送効率を高めることができる。

【0047】

本発明の態様３に係る搬送システムは、前記態様１または２において、前記第１搬送車は、前記第１軌道が天井近傍に配置された天井搬送車であってもよい。

【0048】

前記の構成によれば、第１搬送車を天井搬送車とすることができる。

【0049】

本発明の態様４に係る搬送システムは、前記態様３において、前記第２軌道は、前記第１軌道よりも鉛直方向で下側に配置されていてもよい。

【0050】

前記の構成によれば、第１搬送車と第２搬送車との間で容易に搬送対象物の授受を行うことができる。

【0051】

本発明の態様５に係る搬送システムは、前記態様１～４のいずれかにおいて、前記第１搬送車で搬送中の搬送対象物の搬送先である前記所要の箇所に、他の搬送対象物が載置されている場合、前記第１搬送車は、一時的に、前記第２搬送車に当該搬送対象物を移載するものであってもよい。

【0052】

前記の構成によれば、第１搬送車が、搬送対象物を所要の箇所に降ろすことができないまま、待機することより搬送効率が低下することを抑制できる。よって、第１搬送車を効率的に運用しつつ、搬送対象物を所要の箇所へ搬送することができる。

【0053】

本発明の態様６に係る搬送システムは、前記態様１～５のいずれかにおいて、前記第２軌道は、前記第１軌道の鉛直方向の真下の位置からずれた位置に配置されているものであってもよい。

【0054】

前記の構成によれば、第１軌道と第２軌道とのレイアウトを自由にでき、搬送空間を効率的に利用することが可能となる。また、第２軌道が、第１軌道の真下からずれた位置にあるので、第１軌道を走行する第１搬送車から直接、所要の箇所（例えば、装置ポート）へ搬送対象物を容易に移載することができる。

【0055】

本発明の態様７に係る搬送システムは、前記態様１～６のいずれかにおいて、前記移載部は、前記搬送対象物を水平方向に移動可能なスライド機構を有するものであってもよい。

【0056】

前記の構成によれば、第１搬送車から搬送対象物を移載するときに、真下以外の場所にも移載することが可能となる。

【0057】

本発明の態様８に係る搬送システムは、前記態様１～７のいずれかにおいて、複数の処理装置を含む搬送エリアが複数存在し、前記第１軌道が周回する前記搬送エリアの組合せと、前記第２軌道が周回する前記搬送エリアの組合せとが異なるものであってもよい。

【0058】

前記の構成によれば、第１軌道と第２軌道とを利用することにより、効率的に搬送対象物を搬送することが可能となる。

【0059】

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

【符号の説明】

【0060】

１ 搬送システム
１０ 第１軌道
１１ 第１搬送車
１５ 移載部
１５１ 昇降部
１５２ 把持部
１６ スライド機構
２０ 第２軌道
２１ 第２搬送車
２５ 載置部
３０ 搬送対象物
５０ 処理装置
５１ 装置ポート
８０ コントローラ
１０１ 第１ベイ
１０２ 第２ベイ
１０３ 第３ベイ
１０４ 第４ベイ
１０５ 第５ベイ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】