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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024115569
(43)【公開日】2024-08-27
(54)【発明の名称】通電用プローブユニット
(51)【国際特許分類】
G01R 1/067 20060101AFI20240820BHJP
G01R 1/073 20060101ALI20240820BHJP
G01R 31/26 20200101ALI20240820BHJP
【ＦＩ】
G01R1/067 C
G01R1/073 D
G01R31/26 J
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023021227
(22)【出願日】2023-02-15
(71)【出願人】
【識別番号】591036457
【氏名又は名称】三菱電機エンジニアリング株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110003166
【氏名又は名称】弁理士法人山王内外特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】川本 光太
(72)【発明者】
【氏名】原 大輔
(72)【発明者】
【氏名】塚本 健一
(72)【発明者】
【氏名】小西 信
(72)【発明者】
【氏名】中原 正仁
【テーマコード（参考）】
2G003
2G011
【Ｆターム（参考）】
2G003AA07
2G003AG03
2G003AG12
2G003AH04
2G003AH05
2G003AH08
2G011AA10
2G011AA16
2G011AA21
2G011AB01
2G011AB03
2G011AB04
2G011AB07
2G011AC14
2G011AE01
2G011AF03
2G011AF06
(57)【要約】 （修正有）
【課題】試験対象品の通電部と試験装置の通電部との間の電気的接続をより確実に、かつ、より簡単に行えること。
【解決手段】通電用プローブユニット１０は、第１の端面１１ａと第２の端面１１ｂを有し、導電性材料で形成される導電性ブロック１１と、第１の端面１１ａに対して露出し、第１の方向に向いた接触面を有する第１の接触部１５ａを有し、導電性ブロック１１に電気的及び機械的に接続され、第１の接触部１５ａが反対方向の第２の方向に可動でき、第１の方向に押圧力が与えられて通電部に第１の接触部１５ａの接触面が電気的に接続される通電用プローブ１５と、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂに対して露出し、第２の接触部１６ａを有し、導電性ブロック１１に電気的及び機械的に接続され、第２の接触部１６ａが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品の電気特性を確認する試験を行う。
【選択図】図１
【解決手段】通電用プローブユニット１０は、第１の端面１１ａと第２の端面１１ｂを有し、導電性材料で形成される導電性ブロック１１と、第１の端面１１ａに対して露出し、第１の方向に向いた接触面を有する第１の接触部１５ａを有し、導電性ブロック１１に電気的及び機械的に接続され、第１の接触部１５ａが反対方向の第２の方向に可動でき、第１の方向に押圧力が与えられて通電部に第１の接触部１５ａの接触面が電気的に接続される通電用プローブ１５と、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂに対して露出し、第２の接触部１６ａを有し、導電性ブロック１１に電気的及び機械的に接続され、第２の接触部１６ａが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品の電気特性を確認する試験を行う。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の端面と前記第１の端面に対して重ならずに並行に位置する第２の端面を有し、導電性材料で形成される導電性ブロックと、
前記導電性ブロックの第１の端面に対して露出し、第１の方向に向いている接触面を有する第１の接触部を有し、前記導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第１の接触部が前記第１の方向及び前記第１の方向とは反対方向である第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品に対する通電部に前記第１の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の通電用プローブと、
前記導電性ブロックの第２の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第２の接触部を有し、前記導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第２の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられて前記試験対象品の電気特性を確認する試験を行う試験装置における通電部に前記第２の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験装置側の通電用プローブと、
を備える通電用プローブユニット。
前記導電性ブロックの第１の端面に対して露出し、第１の方向に向いている接触面を有する第１の接触部を有し、前記導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第１の接触部が前記第１の方向及び前記第１の方向とは反対方向である第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品に対する通電部に前記第１の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の通電用プローブと、
前記導電性ブロックの第２の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第２の接触部を有し、前記導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第２の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられて前記試験対象品の電気特性を確認する試験を行う試験装置における通電部に前記第２の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験装置側の通電用プローブと、
を備える通電用プローブユニット。
【請求項2】
前記試験対象品側の通電用プローブは、前記導電性ブロックの第１の端面の周囲に形成された第１の挿入孔に挿抜可能であり、
前記試験装置側の通電用プローブは、前記導電性ブロックの第２の端面の周囲に形成された第２の挿入孔に挿抜可能である、
請求項１に記載の通電用プローブユニット。
前記試験装置側の通電用プローブは、前記導電性ブロックの第２の端面の周囲に形成された第２の挿入孔に挿抜可能である、
請求項１に記載の通電用プローブユニット。
【請求項3】
前記導電性ブロックは、前記第１の端面を有する第１の導電体と、前記第２の端面を有する第２の導電体と、前記第１の導電体の前記第２の方向に位置する端部から前記第２の導電体の前記第２の方向に位置する端部まで前記第１の方向と直交する第３の方向に延在する第３の導電体を有する請求項２に記載の通電用プローブユニット。
【請求項4】
前記導電性ブロックの第１の端面に対して露出し、第１の方向に向いている接触面を有する第１の信号検出用接触部を有し、前記導電性ブロックに電気的に絶縁状態にして装着され、前記第１の信号検出用接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられて前記試験対象品に対する信号検出用端子部に前記第１の信号検出用接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の信号検出用プローブを備えた請求項１に記載の通電用プローブユニット。
【請求項5】
前記導電性ブロックの第２の端面に対して露出し、第１の方向に向いている接触面を有する第２の信号検出用接触部を有し、前記導電性ブロックに電気的に絶縁状態にして装着され、前記第２の信号検出用接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられて前記試験装置に対する信号検出用端子部に前記第２の信号検出用接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験装置側の信号検出用プローブを備えた請求項４に記載の通電用プローブユニット。
【請求項6】
前記試験対象品側の通電用プローブの第１の接触部における前記第１の方向及び前記第２の方向への有効可動範囲であるストローク量と、前記試験装置側の通電用プローブの第２の接触部における前記第１の方向及び前記第２の方向への有効可動範囲であるストローク量が異なる請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の通電用プローブユニット。
【請求項7】
前記導電性ブロックの側面に放熱用フィンが設けられた請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の通電用プローブユニット。
【請求項8】
前記導電性ブロックは流体流入口と流体流出口を有し、前記導電性ブロックの内部に、前記流体流入口から前記流体流出口に至る流体流路を有する請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の通電用プローブユニット。
【請求項9】
前記流体流出口は前記第１の端面に形成された第１の流体流出口と前記第２の端面に形成された第２の流体流出口を有し、
前記流体流路は前記流体流入口から前記第１の流体流出口に至る第１の流体流路と前記流体流入口から前記第２の流体流出口に至る第２の流体流路を有する、
請求項８に記載の通電用プローブユニット。
前記流体流路は前記流体流入口から前記第１の流体流出口に至る第１の流体流路と前記流体流入口から前記第２の流体流出口に至る第２の流体流路を有する、
請求項８に記載の通電用プローブユニット。
【請求項10】
前記導電性ブロックは流体流入口と流体流出口を有し、前記導電性ブロックの内部に、前記流体流入口から前記流体流出口に至る流体流路を有する請求項７に記載の通電用プローブユニット。
【請求項11】
前記流体流出口は前記第１の端面に形成された第１の流体流出口と前記第２の端面に形成された第２の流体流出口を有し、
前記流体流路は前記流体流入口から前記第１の流体流出口に至る第１の流体流路と前記流体流入口から前記第２の流体流出口に至る第２の流体流路を有する、
請求項１０に記載の通電用プローブユニット。
前記流体流路は前記流体流入口から前記第１の流体流出口に至る第１の流体流路と前記流体流入口から前記第２の流体流出口に至る第２の流体流路を有する、
請求項１０に記載の通電用プローブユニット。
【請求項12】
前記導電性ブロックを第１の極の通電を行う第１の導電性ブロックとし、前記試験対象品側の通電用プローブを試験対象品側の第１の通電用プローブとし、前記試験装置側の通電用プローブを試験装置側の第１の通電用プローブとし、
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の通電用プローブユニット。
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の通電用プローブユニット。
【請求項13】
前記導電性ブロックを第１の極の通電を行う第１の導電性ブロックとし、前記試験対象品側の通電用プローブを試験対象品側の第１の通電用プローブとし、前記試験装置側の通電用プローブを試験装置側の第１の通電用プローブとし、
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項６に記載の通電用プローブユニット。
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項６に記載の通電用プローブユニット。
【請求項14】
前記導電性ブロックを第１の極の通電を行う第１の導電性ブロックとし、前記試験対象品側の通電用プローブを試験対象品側の第１の通電用プローブとし、前記試験装置側の通電用プローブを試験装置側の第１の通電用プローブとし、
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項７に記載の通電用プローブユニット。
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項７に記載の通電用プローブユニット。
【請求項15】
前記導電性ブロックを第１の極の通電を行う第１の導電性ブロックとし、前記試験対象品側の通電用プローブを試験対象品側の第１の通電用プローブとし、前記試験装置側の通電用プローブを試験装置側の第１の通電用プローブとし、
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項８に記載の通電用プローブユニット。
前記第１の導電性ブロックの第１の端面と第２の端面は前記第１の方向と直交する第３の方向に離隔して位置し、
前記第１の導電性ブロックと前記第１の方向及び第３の方向とそれぞれ直交する第５の方向に絶縁体を介して設けられ、第３の端面と当該第３の断面に並行に位置する第４の端面を有し、第２の極の通電を行う導電性材料で形成される第２の導電性ブロックと、
前記第２の導電性ブロックの第３の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第３の接触部を有し、前記第２導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第３の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験対象品に対する第２の極の通電に対する通電部に前記第３の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の第２の通電用プローブと、
前記第２の導電性ブロックの第４の端面に対して露出し、前記第１の方向に向いている接触面を有する第４の接触部を有し、前記第２の導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、前記第４の接触部が前記第１の方向及び前記第２の方向に可動自在に移動し、前記第１の方向に押圧力が与えられ、前記試験装置における第２の極の通電に対する通電部に前記第４の接触部の接触面が接触して電気的に接続される複数の試験装置側の第２の通電用プローブと、
を備える請求項８に記載の通電用プローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、モーター、インバータ、又はパワー半導体装置等の半導体製品などの試験対象品（以下、被試験体と言う）の通電部と、被試験体の特性性能等の電気特性を確認する試験を行う試験装置の通電部とを電気的に接続する通電用プローブユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
被試験体の通電部と試験装置の通電部とを電気的に接続する通電コンタクトユニットが特許文献１により提案されている。
特許文献１に示された通電コンタクトユニットは、導電性材料で形成されるホルダーブロックと、ホルダーブロックに装着され、ホルダーブロックと電気的に接続され、被試験体に設けられた通電部に接触導通する複数のコンタクトプローブとを備え、ホルダーブロックはコンタクトプローブが装着された側の反対側に通電ケーブルを接続する接続部を有し、接続部が通電ケーブルを固定するための締結体を含む。
通電ケーブルからの電力は、接続部、ホルダーブロック、及びコンタクトプローブを介して被試験体の通電部に供給される。
特許文献１に示された通電コンタクトユニットは、導電性材料で形成されるホルダーブロックと、ホルダーブロックに装着され、ホルダーブロックと電気的に接続され、被試験体に設けられた通電部に接触導通する複数のコンタクトプローブとを備え、ホルダーブロックはコンタクトプローブが装着された側の反対側に通電ケーブルを接続する接続部を有し、接続部が通電ケーブルを固定するための締結体を含む。
通電ケーブルからの電力は、接続部、ホルダーブロック、及びコンタクトプローブを介して被試験体の通電部に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－１３５２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に示された通電コンタクトユニットは被試験体の通電部と試験装置の通電部との間の電気的接続を確立する提案がなされているものの、被試験体の通電部と試験装置の通電部との間をより確実に、かつ、より簡単に行える電気的接続が望まれている。
【0005】
本開示は、上記した点に鑑みてなされたものであり、試験対象品の通電部と試験装置の通電部との間の電気的接続をより確実に、かつ、より簡単に行える通電用プローブユニットを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示に係る通電用プローブユニットは、第１の端面と第１の端面に対して重ならずに並行に位置する第２の端面を有し、導電性材料で形成される導電性ブロックと、導電性ブロックの第１の端面に対して露出し、第１の方向に向いている接触面を有する第１の接触部を有し、導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、第１の接触部が第１の方向及び第１の方向とは反対方向である第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品に対する通電部に第１の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験対象品側の通電用プローブと、導電性ブロックの第２の端面に対して露出し、第１の方向に向いている接触面を有する第２の接触部を有し、導電性ブロックに電気的及び機械的に接続され、第２の接触部が第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品の電気特性を確認する試験を行う試験装置における通電部に第２の接触部の接触面が接触して電気的に接続される試験装置側の通電用プローブを備える。
【発明の効果】
【0007】
本開示によれば、試験対象品の通電部と試験装置の通電部との間の電気的接続を容易に、かつ確実に実施できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】実施の形態１に係る通電用プローブユニットを示す斜視図である。
【図2】実施の形態１に係る通電用プローブユニットを示す一部破断した要部上面図である。
【図3】実施の形態１に係る通電用プローブユニットを示す正面図である。
【図4】実施の形態１に係る通電用プローブユニットを組み込んだ試験システムを示す構成図である。
【図5】実施の形態２に係る通電用プローブユニットを示す斜視図である。
【図6】実施の形態２に係る通電用プローブユニットを示す正面図である。
【図7】実施の形態３に係る通電用プローブユニットを示す一部断面側面図である。
【図8】実施の形態３に係る通電用プローブユニットを示す正面図である。
【図9】実施の形態４に係る通電用プローブユニットを示す斜視図である。
【図10】実施の形態４に係る通電用プローブユニットを示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
実施の形態１．
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０を図１から図４に基づいて説明する。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は試験対象品２０の通電部２１と試験装置３０の通電部３１とを電気的に接続する。
通電用プローブユニット１０と試験装置３０は試験システムを構成する。
試験対象品２０はモーター、インバータ、又はパワー半導体装置等の半導体製品など、特に大電流、例えば１００Ａの大電流が流れる大電流仕様の製品である。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０を図１から図４に基づいて説明する。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は試験対象品２０の通電部２１と試験装置３０の通電部３１とを電気的に接続する。
通電用プローブユニット１０と試験装置３０は試験システムを構成する。
試験対象品２０はモーター、インバータ、又はパワー半導体装置等の半導体製品など、特に大電流、例えば１００Ａの大電流が流れる大電流仕様の製品である。
【0010】
試験対象品２０の通電部２１は、特性性能等の電気特性を確認する電気特性試験において、電流が供給される電力入力端子である。
試験対象品２０の通電部２１は試験対象品２０自身の電力入力端子又は試験対象品２０自身の電力入力端子が接続された試験装置３０における試験治具３２の電力入力端子である。
試験対象品２０は電流入力端子を介して電流が供給され、電気特性試験が実施される。
試験対象品２０の通電部２１は試験対象品２０自身の電力入力端子又は試験対象品２０自身の電力入力端子が接続された試験装置３０における試験治具３２の電力入力端子である。
試験対象品２０は電流入力端子を介して電流が供給され、電気特性試験が実施される。
【0011】
試験装置３０は試験対象品２０の電気特性試験を行う。
試験対象品２０の電気特性試験は、試験対象品２０がパワー半導体素子又はパワー半導体モジュールである半導体装置である場合、例えば、半導体装置のターンオフ時のサージ電圧による破損防止試験、静特性（ＤＣ：Direct Current）試験における電流の立ち上がり特性試験、及び、短絡耐量等の動特性（ＡＣ：Alternating Current）試験を対象としている。
また、試験対象品２０の電気特性試験として、３相通電試験（負荷試験）なども対象とする。
試験装置３０の通電部３１は、電気特性試験において、試験対象品２０に電流を供給するための電力出力端子である。
試験対象品２０の電気特性試験は、試験対象品２０がパワー半導体素子又はパワー半導体モジュールである半導体装置である場合、例えば、半導体装置のターンオフ時のサージ電圧による破損防止試験、静特性（ＤＣ：Direct Current）試験における電流の立ち上がり特性試験、及び、短絡耐量等の動特性（ＡＣ：Alternating Current）試験を対象としている。
また、試験対象品２０の電気特性試験として、３相通電試験（負荷試験）なども対象とする。
試験装置３０の通電部３１は、電気特性試験において、試験対象品２０に電流を供給するための電力出力端子である。
【0012】
通電用プローブユニット１０は試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１へ大電流を通電する通電経路を形成する通電導体の役割を果たす。
試験対象品２０の電気特性試験は通電用プローブユニット１０を介して試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１へ電力、つまり大電流が供給されて実施される。
試験対象品２０の電気特性試験において、試験対象品２０の測定ノードに現れる電圧等の電気信号を試験装置３０が検出して試験対象品２０の電気特性を試験装置３０が計測する。
試験対象品２０の電気特性試験は通電用プローブユニット１０を介して試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１へ電力、つまり大電流が供給されて実施される。
試験対象品２０の電気特性試験において、試験対象品２０の測定ノードに現れる電圧等の電気信号を試験装置３０が検出して試験対象品２０の電気特性を試験装置３０が計測する。
【0013】
試験装置３０は、図４に示すように、通電部３１と試験治具３２と試験台３３と電力供給部３４と信号検出部３５と計測制御部３６と表示部３７とプローブユニット用可動部３８と装置本体３９を備える。
試験装置３０における通電部３１は装置本体３９の上面に装置本体３９とは電気的に絶縁されて装着される。
試験装置３０における通電部３１は装置本体３９の上面に装置本体３９とは電気的に絶縁されて装着される。
【0014】
通電部３１は、装置本体３９に対して立設され、第２の方向に向いている平坦面である接触面３１ａを有する板状の導電体である。
接触面３１ａは第２の方向と直交する垂直面である。
第２の方向は前後方向の内の後退方向であり、図４において、図示左右方向の内の右方向である。
前後方向の内の前進方向、図４において、図示左右方向の内の左方向が第１の方向である。
接触面３１ａは第２の方向と直交する垂直面である。
第２の方向は前後方向の内の後退方向であり、図４において、図示左右方向の内の右方向である。
前後方向の内の前進方向、図４において、図示左右方向の内の左方向が第１の方向である。
【0015】
なお、本例において、上下方向の内の下方向、図４において、図示上下方向の内の下方向を第３の方向、上下方向の内の上方向、図４において、図示上下方向の内の上方向を第４の方向、左右方向の内の左方向、図４において、図示表裏方向の内の表方向を第５の方向、左右方向の内の右方向、図４において、図示表裏方向の内の裏方向を第６の方向という。
また、通電用プローブユニット１０においても、第１の方向から第６の方向は図４において示した第１の方向から第６の方向とする。
また、通電用プローブユニット１０においても、第１の方向から第６の方向は図４において示した第１の方向から第６の方向とする。
【0016】
試験装置３０の通電部３１は、電力供給部３４からの電力が伝達される板状の導電体であるバスバー又はブロック形状の導電体であるブロック体からなる伝達部３１ｂの一端部に電気的に接続され、機械的に固定されて装置本体３９の上面に装着される。
伝達部３１ｂは装置本体３９とは電気的に絶縁され、他端部が電力供給部３４から電力の供給を受ける。
伝達部３１ｂがバスバー又はブロック体により構成されることにより、電力供給部３４から通電部３１までのインダクタンスの安定化、低インピーダンス化が図れる。
伝達部３１ｂは装置本体３９とは電気的に絶縁され、他端部が電力供給部３４から電力の供給を受ける。
伝達部３１ｂがバスバー又はブロック体により構成されることにより、電力供給部３４から通電部３１までのインダクタンスの安定化、低インピーダンス化が図れる。
【0017】
試験治具３２は試験台３３の上面に装着され、試験対象品２０の電気特性試験時に試験対象品２０が上面に着脱自在に載置固定される。
試験対象品２０に対して高温条件下での特性試験を行う試験装置３０にあっては、試験治具３２にヒーター等の加熱機器が内蔵され、試験対象品２０を試験治具３２内蔵の加熱機器により加熱するようになっている。
試験対象品２０に対して高温条件下での特性試験を行う試験装置３０にあっては、試験治具３２にヒーター等の加熱機器が内蔵され、試験対象品２０を試験治具３２内蔵の加熱機器により加熱するようになっている。
【0018】
試験対象品２０が試験治具３２の上面に設置されると、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａとなる平坦面が第２の方向に向いている。
接触面２１ａは第２の方向と直交する垂直面である。
試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａは試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対して重ならずに並行に位置する。
接触面２１ａは第２の方向と直交する垂直面である。
試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａは試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対して重ならずに並行に位置する。
【0019】
試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａは、試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対し、第１の方向に離隔し、第４の方向に離隔して位置する。
すなわち、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａと試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａは第１の方向及び第２の方向と第３の方向及び第４の方向に離隔し、第５の方向及び第６の方向には位置ずれがない状態に位置する。
すなわち、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａと試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａは第１の方向及び第２の方向と第３の方向及び第４の方向に離隔し、第５の方向及び第６の方向には位置ずれがない状態に位置する。
【0020】
なお、試験対象品２０の通電部２１を試験対象品２０自身の電力入力端子とした場合、試験対象品２０自身の電力入力端子である試験対象品２０の通電部２１の接触面２１ａとなる平坦面が第２の方向に向いて試験治具３２の上面に設置される。
また、試験対象品２０の通電部２１を試験対象品２０自身の電力入力端子が接続された試験装置３０における試験治具３２の電力入力端子とした場合も同様に、試験治具３２の電力入力端子である通電部２１の接触面２１ａとなる平坦面が第２の方向に向いているように通電部２１が試験治具３２に立設して設けられる。
また、試験対象品２０の通電部２１を試験対象品２０自身の電力入力端子が接続された試験装置３０における試験治具３２の電力入力端子とした場合も同様に、試験治具３２の電力入力端子である通電部２１の接触面２１ａとなる平坦面が第２の方向に向いているように通電部２１が試験治具３２に立設して設けられる。
【0021】
電力供給部３４は装置本体３９内に配設され、計測制御部３６の制御に従い、試験対象品２０に大電流からなる電力を供給する試験対象品用電源であり、一般に知られている電源回路により構成される。
信号検出部３５は、試験設定条件下において、試験対象品２０の測定ノードに現れる電圧等のアナログである電気信号を検出し、検出した電気信号をデジタル信号に変換して計測用データとして計測制御部３６へ出力する。
信号検出部３５は、試験設定条件下において、試験対象品２０の測定ノードに現れる電圧等のアナログである電気信号を検出し、検出した電気信号をデジタル信号に変換して計測用データとして計測制御部３６へ出力する。
【0022】
計測制御部３６は電力供給部３４及び信号検出部３５を制御し、試験対象品２０の電気特性試験時に、電力供給部３４から電力を試験対象品２０に供給させ、信号検出部３５により試験対象品２０からの電気信号を計測値として検出させる。
計測制御部３６は信号検出部３５からの計測用データを受け、計測用データを基に計測処理を行い、試験対象品２０の電気特性として計測を行い、計測結果を表示部３７に表示させる。
計測制御部３６は信号検出部３５からの計測用データを受け、計測用データを基に計測処理を行い、試験対象品２０の電気特性として計測を行い、計測結果を表示部３７に表示させる。
【0023】
プローブユニット用可動部３８は通電用プローブユニット１０が装着され、通電用プローブユニット１０を前後方向に稼働する、つまり、第１の方向に前進させ、第２の方向に後退せせる。
プローブユニット用可動部３８は通電用プローブユニット１０を第１の方向に前進させることにより、通電用プローブユニット１０における複数の試験対象品側の通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａを試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａに押圧接触させ、通電用プローブユニット１０における複数の試験装置側の通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａを試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに押圧接触させる。
プローブユニット用可動部３８は通電用プローブユニット１０を第１の方向に前進させることにより、通電用プローブユニット１０における複数の試験対象品側の通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａを試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａに押圧接触させ、通電用プローブユニット１０における複数の試験装置側の通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａを試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに押圧接触させる。
【0024】
なお、複数の通電用プローブ１５として、本例においては７つの通電用プローブ１５１～１５７を有しているが、個々に区別して説明する必要がある場合を除いて説明の煩雑さを避けるため、添え字を省略して通電用プローブ１５として説明する。以下の説明においても同様である。
また、複数の通電用プローブ１６として、本例においては８つの通電用プローブ１６１～１６８を有しているが、個々に区別して説明する必要がある場合を除いて説明の煩雑さを避けるため、添え字を省略して通電用プローブ１６として説明する。以下の説明においても同様である。
また、複数の通電用プローブ１６として、本例においては８つの通電用プローブ１６１～１６８を有しているが、個々に区別して説明する必要がある場合を除いて説明の煩雑さを避けるため、添え字を省略して通電用プローブ１６として説明する。以下の説明においても同様である。
【0025】
プローブユニット用可動部３８はアクチュエータ３８ａと可動部３８ｂと装着部３８ｃを有する。
アクチュエータ３８ａは、例えば、エアーシリンダである。
装着部３８ｃは可動部３８ｂの先端に取り付けられた平板上の絶縁材である。
装着部３８ｃは第１の方向に向いている平坦面である装着面３８ｃａを有し、当該装着面３８ｃａに通電用プローブユニット１０が装着される。
アクチュエータ３８ａが稼働することにより可動部３８ｂが前後進し、可動部３８ｂの前後進に伴い、装着部３８ｃ及び装着部３８ｃに装着された通電用プローブユニット１０も前後進する。
アクチュエータ３８ａは、例えば、エアーシリンダである。
装着部３８ｃは可動部３８ｂの先端に取り付けられた平板上の絶縁材である。
装着部３８ｃは第１の方向に向いている平坦面である装着面３８ｃａを有し、当該装着面３８ｃａに通電用プローブユニット１０が装着される。
アクチュエータ３８ａが稼働することにより可動部３８ｂが前後進し、可動部３８ｂの前後進に伴い、装着部３８ｃ及び装着部３８ｃに装着された通電用プローブユニット１０も前後進する。
【0026】
アクチュエータ３８ａは試験対象品２０の電気特性試験を実施する前は通電用プローブユニット１０を待機位置にする。
試験対象品２０の電気特性試験を開始すると、アクチュエータ３８ａは、通電用プローブユニット１０における複数の試験対象品側の通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａに押圧接触し、通電用プローブユニット１０における複数の試験装置側の通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに押圧接触するまで、通電用プローブユニット１０を前進、つまり、第１の方向に移動させて停止する。
試験対象品２０の電気特性試験が終了すると、アクチュエータ３８ａは通電用プローブユニット１０を待機位置まで後退、つまり、第２の方向に移動させて停止する。
試験対象品２０の電気特性試験を開始すると、アクチュエータ３８ａは、通電用プローブユニット１０における複数の試験対象品側の通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａに押圧接触し、通電用プローブユニット１０における複数の試験装置側の通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに押圧接触するまで、通電用プローブユニット１０を前進、つまり、第１の方向に移動させて停止する。
試験対象品２０の電気特性試験が終了すると、アクチュエータ３８ａは通電用プローブユニット１０を待機位置まで後退、つまり、第２の方向に移動させて停止する。
【0027】
通電用プローブユニット１０は導電性ブロック１１と複数の試験対象品側の通電用プローブ１５１～１５７と複数の試験装置側の通電用プローブ１６１～１６８と信号検出用プローブ１７を有する。
導電性ブロック１１は第１の端面１１ａと第１の端面１１ａに対して重ならずに並行に位置する第２の端面１１ｂを有し、銅又はアルミニウムなどの電気抵抗度の小さい導電性材料で形成される。
なお、導電性ブロック１１の全ての外周面に絶縁層又は絶縁膜を形成してもよい。
導電性ブロック１１は第１の端面１１ａと第１の端面１１ａに対して重ならずに並行に位置する第２の端面１１ｂを有し、銅又はアルミニウムなどの電気抵抗度の小さい導電性材料で形成される。
なお、導電性ブロック１１の全ての外周面に絶縁層又は絶縁膜を形成してもよい。
【0028】
第１の端面１１ａ及び第２の端面１１ｂは平坦面であり、平坦面は通電用プローブユニット１０が装着部３８ｃに装着されると第１の方向に向き、第１の方向と直交する垂直面となる。
第１の端面１１ａは第２の端面１１ｂに対し、第１の方向に離隔し、第４の方向に離隔して位置する。
すなわち、第１の端面１１ａと第２の端面１１ｂは第１の方向及び第２の方向と第３の方向及び第４の方向に離隔し、第５の方向及び第６の方向には位置ずれがない状態に位置する。
第１の端面１１ａは第２の端面１１ｂに対し、第１の方向に離隔し、第４の方向に離隔して位置する。
すなわち、第１の端面１１ａと第２の端面１１ｂは第１の方向及び第２の方向と第３の方向及び第４の方向に離隔し、第５の方向及び第６の方向には位置ずれがない状態に位置する。
【0029】
導電性ブロック１１の第１の端面１１ａの周囲には、複数の試験対象品側の通電用プローブ１５それぞれに対応して第１の端面１１ａから内部に穿たれた複数の第１の挿入孔が形成されている。
複数の通電用プローブ１５それぞれは対応した複数の第１の挿入孔それぞれに挿抜可能である。
複数の通電用プローブ１５それぞれは対応した複数の第１の挿入孔それぞれに挿抜可能である。
【0030】
複数の通電用プローブ１５それぞれが対応した第１の挿入孔それぞれに挿入されると、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが導電性ブロック１１の第１の端面１１ａから第１の方向に突出した状態で導電性ブロック１１に機械的に接続されて装着され、導電性ブロック１１に電気的に接続される。
複数の通電用プローブ１５それぞれを独立に第１の端面１１ａの周囲に等間隔に配置しているので、試験対象品２０における通電部２１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
複数の通電用プローブ１５それぞれを独立に第１の端面１１ａの周囲に等間隔に配置しているので、試験対象品２０における通電部２１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
【0031】
複数の通電用プローブ１５は第１の端面１１ａの周囲に等間隔に配置されるのが好ましいが、必ずしも等間隔に配置する必要はなく、まばらな配置でもよい。
また、第１の端面１１ａにおける制約面積内に最短ピッチで密に配置することにより、第１の端面１１ａに対して最大数の通電用プローブ１５を配置できる。
また、第１の端面１１ａにおける制約面積内に最短ピッチで密に配置することにより、第１の端面１１ａに対して最大数の通電用プローブ１５を配置できる。
【0032】
すなわち、複数の通電用プローブ１５を第１の端面１１ａの周囲に配置することにより、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａが完全な平坦面でなく、平面度にバラツキがあったとしても、複数の通電用プローブ１５それぞれが通電部２１の接触面２１ａに押圧接触するので、複数の通電用プローブ１５と通電部２１の接触面２１ａとの間が低接触抵抗となる接触構造であるため、導電性ブロック１１から通電部２１への大電流の通電が安定的にできる。
【0033】
導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂの周囲には複数の試験装置側の通電用プローブ１６それぞれに対応して第２の端面１１ｂから内部に穿たれた複数の第２の挿入孔が形成されている。
複数の通電用プローブ１６それぞれは対応した複数の第２の挿入孔それぞれに挿抜可能である、
複数の通電用プローブ１６それぞれは対応した複数の第２の挿入孔それぞれに挿抜可能である、
【0034】
複数の通電用プローブ１６それぞれが対応した第２の挿入孔それぞれに挿入されると、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂから第１の方向に突出した状態で導電性ブロック１１に機械的に接続されて装着され、導電性ブロック１１に電気的に接続される。
複数の通電用プローブ１６それぞれを独立に第２の端面１１ｂの周囲に等間隔に配置しているので、試験装置３０における通電部３１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
複数の通電用プローブ１６それぞれを独立に第２の端面１１ｂの周囲に等間隔に配置しているので、試験装置３０における通電部３１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
【0035】
複数の通電用プローブ１６は第２の端面１１ｂの周囲に等間隔に配置されるのが好ましいが、必ずしも等間隔に配置する必要はなく、まばらな配置でもよい。
また、第２の端面１１ｂにおける制約面積内に最短ピッチで密に配置することにより、第２の端面１１ｂに対して最大数の通電用プローブ１５を配置できる。
また、第２の端面１１ｂにおける制約面積内に最短ピッチで密に配置することにより、第２の端面１１ｂに対して最大数の通電用プローブ１５を配置できる。
【0036】
すなわち、複数の通電用プローブ１６を第２の端面１１ｂの周囲に配置することにより、試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａが完全な平坦面でなく、平面度にバラツキがあったとしても、複数の通電用プローブ１６それぞれが通電部３１の接触面３１ａに押圧接触するので、複数の通電用プローブ１６と通電部３１の接触面３１ａとの間が低接触抵抗となる接触構造であるため、通電部３１から導電性ブロック１１への大電流の通電が安定的にできる。
【0037】
なお、図１において、試験対象品側の通電用プローブ１５及び試験装置側の通電用プローブ１６それぞれが導電性ブロック１１の第１の挿入孔及び第２の挿入孔それぞれに対して挿抜可能であることを示すため、第１の挿入孔及び第２の挿入孔それぞれから抜き出した状態の通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６を参考として示している。
【0038】
本例において、通電用プローブ１５として７つの通電用プローブ１５１～１５７を示しているが、この数７つに限られるものではなく、第１の端面１１ａの周囲に配置された複数の通電用プローブ１５により構成されれば良く、試験対象品２０における通電部２１と導電性ブロック１１との間のさらなる低インピーダンス化を実現するために、７つ以上の通電用プローブ１５を配置してもよい。
また、通電用プローブ１５として大電流が通電可能な１つの通電用プローブを用いるものであってもよい。
また、通電用プローブ１５として大電流が通電可能な１つの通電用プローブを用いるものであってもよい。
【0039】
本例において、通電用プローブ１６として８つの通電用プローブ１６１～１６８を示しているが、この数８つに限られるものではなく、第２の端面１１ｂの周囲に配置された複数の通電用プローブ１６により構成されれば良く、試験装置３０における通電部３１と導電性ブロック１１との間のさらなる低インピーダンス化を実現するために、８つ以上の通電用プローブ１５を配置してもよい。
また、通電用プローブ１６として大電流が通電可能な１つの通電用プローブを用いるものであってもよい。
また、通電用プローブ１６として大電流が通電可能な１つの通電用プローブを用いるものであってもよい。
【0040】
導電性ブロック１１は一隅部に第１の端面１１ａから第２の方向に切りかかれた信号検出用プローブ１７を装着するための切り欠き部を有する。
導電性ブロック１１は第１の導電体１２と第２の導電体１３と第３の導電体１４により構成される。
第１の導電体１２は第１の端面１１ａを有する。第２の導電体１３は第２の端面１１ｂを有し、第１の導電体１２と並行する。第３の導電体１４は第１の導電体１２の第２の方向に位置する端部から第２の導電体１３の第２の方向に位置する端部まで第１の方向と直交する第３の方向に延在する。
導電性ブロック１１は第１の導電体１２と第２の導電体１３と第３の導電体１４により構成される。
第１の導電体１２は第１の端面１１ａを有する。第２の導電体１３は第２の端面１１ｂを有し、第１の導電体１２と並行する。第３の導電体１４は第１の導電体１２の第２の方向に位置する端部から第２の導電体１３の第２の方向に位置する端部まで第１の方向と直交する第３の方向に延在する。
【0041】
第１の導電体１２から第３の導電体１４はそれぞれ角柱形状をなし、第１の導電体１２から第３の導電体１４への内側面は円弧状又はＣカットされた形状であり、第３の導電体１４から第２の導電体１３への内側面は円弧状又はＣカットされた形状である。
なお、第１の導電体１２から第３の導電体１４はそれぞれ円柱形状でもよい。
また、第１の導電体１２から第３の導電体１４への内側面及び第３の導電体１４から第２の導電体１３への内側面はそれぞれ９０度の角形状でもよい。
円弧状又はＣカットされた形状であると、導電性ブロック１１における電子の流れがスムーズになる。
なお、第１の導電体１２から第３の導電体１４はそれぞれ円柱形状でもよい。
また、第１の導電体１２から第３の導電体１４への内側面及び第３の導電体１４から第２の導電体１３への内側面はそれぞれ９０度の角形状でもよい。
円弧状又はＣカットされた形状であると、導電性ブロック１１における電子の流れがスムーズになる。
【0042】
第１の導電体１２の第３の導電体１４の内側面から第１の端面１１ａまでの第１の方向に延在する長さは、第２の導電体１３の第３の導電体１４の内側面から第２の端面１１ｂまでの第１の方向に延在する長さより長い。
なお、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対して第２の方向に離隔している場合は、第１の端面１１ａが第２の端面１１ｂに対して第２の方向に離隔させるので、第１の導電体１２の長さを第２の導電体１３の長さより第１の方向に延在する長さを短くする。
また、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａと試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａが同一垂直面上に位置している場合は、第１の端面１１ａと第２の端面１１ｂが同一垂直面上に位置させるので、第１の導電体１２の長さと第２の導電体１３の長さは同じにする。
なお、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対して第２の方向に離隔している場合は、第１の端面１１ａが第２の端面１１ｂに対して第２の方向に離隔させるので、第１の導電体１２の長さを第２の導電体１３の長さより第１の方向に延在する長さを短くする。
また、試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａと試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａが同一垂直面上に位置している場合は、第１の端面１１ａと第２の端面１１ｂが同一垂直面上に位置させるので、第１の導電体１２の長さと第２の導電体１３の長さは同じにする。
【0043】
試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対して第３の方向に離隔している場合は、第１の導電体１２の第１の端面１１ａを第２の導電体１３の第２の端面１１ｂに対して第３の方向に離隔する。
試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対して第５の方向又は第６の方向にずれている場合は、接触面２１ａと接触面３１ａに対応させて、第１の導電体１２の第１の端面１１ａを第２の導電体１３の第２の端面１１ｂに対して第５の方向又は第６の方向にずれさせる。
試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに対して第５の方向又は第６の方向にずれている場合は、接触面２１ａと接触面３１ａに対応させて、第１の導電体１２の第１の端面１１ａを第２の導電体１３の第２の端面１１ｂに対して第５の方向又は第６の方向にずれさせる。
【0044】
第１の導電体１２の第１の端面１１ａの周囲には、複数の試験対象品側の通電用プローブ１５それぞれに対応して第１の端面１１ａから内部に穿たれた複数の第１の挿入孔が形成されている。
第１の導電体１２は一隅部に第１の端面１１ａから第２の方向に切りかかれた信号検出用プローブ１７を装着するための切り欠き部を有する。
第２の導電体１３の第２の端面１１ｂの周囲には複数の試験装置側の通電用プローブ１６それぞれに対応して第２の端面１１ｂから内部に穿たれた複数の第２の挿入孔が形成されている。
第１の導電体１２は一隅部に第１の端面１１ａから第２の方向に切りかかれた信号検出用プローブ１７を装着するための切り欠き部を有する。
第２の導電体１３の第２の端面１１ｂの周囲には複数の試験装置側の通電用プローブ１６それぞれに対応して第２の端面１１ｂから内部に穿たれた複数の第２の挿入孔が形成されている。
【0045】
複数の試験対象品側の通電用プローブ１５はそれぞれ、先端部に第１の接触部１５ａを有し、第１の接触部１５ａが先端方向、つまり第１の方向に押圧されるスプリング式コンタクトプローブである。
各通電用プローブ１５は第１の接触部１５ａとバレル１５ｂとスプリング１５ｃを有する。
各通電用プローブ１５は第１の接触部１５ａとバレル１５ｂとスプリング１５ｃを有する。
【0046】
バレル１５ｂは有底の筒状の導電材により構成される。バレル１５ｂは一端部及び他端部の外径が第１の導電体１２の第１の端面１１ａに形成された第１の挿入孔の内径と同じであり、中央部が樽状に膨らみ、中央部の外径が第１の挿入孔の内径より大きい。その結果、バレル１５ｂは第１の挿入孔に圧入され、バレル１５ｂの外周面は第１の挿入孔の内周面に挿抜可能に密接される。バレル１５ｂと第１の導電体１２は低い接触抵抗により電気的にも接続される。
バレル１５ｂが第１の挿入孔に装着されると、バレル１５ｂの他端面である底部の外面は第１の挿入孔の底面に接し、バレル１５ｂの一端面と第１の導電体１２の第１の端面１１ａはほぼ同一面になる。
バレル１５ｂが第１の挿入孔に装着されると、バレル１５ｂの他端面である底部の外面は第１の挿入孔の底面に接し、バレル１５ｂの一端面と第１の導電体１２の第１の端面１１ａはほぼ同一面になる。
【0047】
なお、バレル１５ｂは一端部から他端部まで同一の外径を有し、第１の挿入孔の内径がバレル１５ｂの外径より小さめにして全体を圧入することにより、バレル１５ｂを第１の挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
また、バレル１５ｂの有底部にねじを設け、有底部のねじを第１の挿入孔における第１の導電体１２にねじ込むことにより、バレル１５ｂを第１の挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
第１の導電体１２の第１の端面１１ａに対するバレル１５ｂの一端面の位置決めは、バレル１５ｂの一端面にフランジを設け、フランジが第１の端面１１ａに接触することにより行ってもよい。
また、バレル１５ｂの有底部にねじを設け、有底部のねじを第１の挿入孔における第１の導電体１２にねじ込むことにより、バレル１５ｂを第１の挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
第１の導電体１２の第１の端面１１ａに対するバレル１５ｂの一端面の位置決めは、バレル１５ｂの一端面にフランジを設け、フランジが第１の端面１１ａに接触することにより行ってもよい。
【0048】
スプリング１５ｃは導電材により構成される。スプリング１５ｃはバレル１５ｂの内部に収納され、他端がバレル１５ｂの底部の内面に接する。
第１の接触部１５ａは、図１及び図２に示すように、プローブ接触子１５ａ１とプランジャー1５ａ２とボス部１５ａ３を有する。
プローブ接触子１５ａ１とプランジャー1５ａ２とボス部１５ａ３はそれぞれ導電材により一体的に構成される。
第１の接触部１５ａは、図１及び図２に示すように、プローブ接触子１５ａ１とプランジャー1５ａ２とボス部１５ａ３を有する。
プローブ接触子１５ａ１とプランジャー1５ａ２とボス部１５ａ３はそれぞれ導電材により一体的に構成される。
【0049】
プローブ接触子１５ａ１とプランジャー1５ａ２とボス部１５ａ３はそれぞれ円柱状である。プローブ接触子１５ａ１とボス部１５ａ３の外径がプランジャー1５ａ２の外径より太くなっている。
プローブ接触子１５ａ１とボス部１５ａ３の外径がプランジャー1５ａ２の外径と同じであってもよい。
プローブ接触子１５ａ１とボス部１５ａ３の外径がプランジャー1５ａ２の外径と同じであってもよい。
【0050】
ボス部１５ａ３の外径はバレル１５ｂの内径より若干小さい。ボス部１５ａ３はバレル１５ｂの内部に収納され、ボス部１５ａ３の外周面がバレル１５ｂの内周面と密接して摺動する。ボス部１５ａ３とバレル１５ｂは低い接触抵抗により電気的にも接続される。
ボス部１５ａ３の他端がスプリング１５ｃの一端に接触し、ボス部１５ａ３がスプリング１５ｃの弾性力による付勢力によりバレル１５ｂの内周面を摺動する。
ボス部１５ａ３がバレル１５ｂの内部から抜けださないように、バレル１５ｂの一端がボス部１５ａ３の一端に対してストッパとして機能する。
ボス部１５ａ３の他端がスプリング１５ｃの一端に接触し、ボス部１５ａ３がスプリング１５ｃの弾性力による付勢力によりバレル１５ｂの内周面を摺動する。
ボス部１５ａ３がバレル１５ｂの内部から抜けださないように、バレル１５ｂの一端がボス部１５ａ３の一端に対してストッパとして機能する。
【0051】
ボス部１５ａ３の外周面がバレル１５ｂの内周面と密接し、ボス部１５ａ３とバレル１５ｂが低い接触抵抗により電気的にも接続されることにより、スプリング１５ｃは絶縁材のスプリングとしてもよい。この場合、スプリング１５ｃに電流が流れることによる発熱を防げ、スプリング１５ｃの劣化を防げる。
【0052】
通電用プローブ１５は第１の接触部１５ａの有効可動範囲であるストロークを有する。
ストロークは、プローブ接触子１５ａ１の先端位置から、つまり、ボス部１５ａ３のストッパ位置からボス部１５ａ３がスプリング１５ｃの付勢力に抗してバレル１５ｂの内部を有効可動範囲まで摺動したプローブ接触子１５ａ１の後退位置までの長さである。
ストロークは、プローブ接触子１５ａ１の先端位置から、つまり、ボス部１５ａ３のストッパ位置からボス部１５ａ３がスプリング１５ｃの付勢力に抗してバレル１５ｂの内部を有効可動範囲まで摺動したプローブ接触子１５ａ１の後退位置までの長さである。
【0053】
第１の接触部１５ａにおいて、通電用プローブユニット１０が待機位置である時、ボス部１５ａ３がスプリング１５ｃの付勢力によりバレル１５ｂの一端に押し付けられ、プローブ接触子１５ａ１はバレル１５ｂの一端面から最大の距離に位置する。つまり、プローブ接触子１５ａ１は導電性ブロック１１の第１の端面１１ａから第１の方向に最大の距離で突出している。
【0054】
試験対象品２０の電気特性試験を開始し、プローブユニット用可動部３８により通電用プローブユニット１０が前進させられ、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａのプローブ接触子１５ａ１が試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａに接触し、押圧されるとスプリング１５ｃの付勢力に抗してボス部１５ａ３が内部を第２の方向に摺動する。
その結果、プローブ接触子１５ａ１はスプリング１５ｃの付勢力により通電部２１の接触面２１ａに押圧された状態で接触する。
通電用プローブ１５は一般に市販されているスプリング式コンタクトプローブを用いることができる。
その結果、プローブ接触子１５ａ１はスプリング１５ｃの付勢力により通電部２１の接触面２１ａに押圧された状態で接触する。
通電用プローブ１５は一般に市販されているスプリング式コンタクトプローブを用いることができる。
【0055】
なお、通電用プローブ１５として本例ではスプリング式コンタクトプローブを用いているが、板バネ構造の薄板状のプローブプレートを積層した積層プローブ、コイルスプリングを先端に有し、コイル一巻一巻を接触子としたバットコンタクトプローブ、あるいはワイヤプローブ形式のコンタクトプローブ等を導電性ブロックに装着した通電プローブなど、スプリング式コンタクトプローブとは異なる他の方式のプローブを通電用プローブ１５として用いてもよい。
要するに、通電用プローブ１５として、第１の方向に突出した接触部を有し、接触部が第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられるプローブであればよい。
要するに、通電用プローブ１５として、第１の方向に突出した接触部を有し、接触部が第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられるプローブであればよい。
【0056】
複数の試験装置側の通電用プローブ１６はそれぞれ、先端部に第２の接触部１６ａを有し、第２の接触部１６ａが先端方向、つまり第１の方向に押圧されるスプリング式コンタクトプローブである。
各通電用プローブ１６は、断面図を示していないものの、各通電用プローブ１５と同様に、第２の接触部１６ａとバレル１６ｂとスプリング１６ｃと有する。
通電用プローブ１５における構成要素と区別するために通電用プローブ１６における構成要素に符号を付している。
各通電用プローブ１６は、断面図を示していないものの、各通電用プローブ１５と同様に、第２の接触部１６ａとバレル１６ｂとスプリング１６ｃと有する。
通電用プローブ１５における構成要素と区別するために通電用プローブ１６における構成要素に符号を付している。
【0057】
バレル１６ｂは有底の筒状の導電材により構成される。バレル１６ｂは一端部及び他端部の外径が第２の導電体１３の第２の端面１１ｂに形成された第２の挿入孔の内径と同じであり、中央部が樽状に膨らみ、中央部の外径が第２の挿入孔の内径より大きい。その結果、バレル１６ｂは第２の挿入孔に圧入され、バレル１６ｂの外周面は第２の挿入孔の内周面に挿抜可能に密接される。バレル１６ｂと第２の導電体１３は低い接触抵抗により電気的にも接続される。
バレル１６ｂが第２の挿入孔に装着されると、バレル１６ｂの他端面である底部の外面は第２の挿入孔の底面に接し、バレル１６ｂの一端面と第２の導電体１３の第２の端面１１ｂはほぼ同一面になる。
バレル１６ｂが第２の挿入孔に装着されると、バレル１６ｂの他端面である底部の外面は第２の挿入孔の底面に接し、バレル１６ｂの一端面と第２の導電体１３の第２の端面１１ｂはほぼ同一面になる。
【0058】
なお、バレル１６ｂは一端部から他端部まで同一の外径を有し、第２の挿入孔の内径がバレル１６ｂの外径より小さめにして全体を圧入することにより、バレル１６ｂを第２の挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
また、バレル１６ｂの有底部にねじを設け、有底部のねじを第２の挿入孔における第２の導電体１３にねじ込むことにより、バレル１６ｂを第２の挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
第２の導電体１３の第２の端面１１ｂに対するバレル１６ｂの一端面の位置決めは、バレル１６ｂの一端面にフランジを設け、フランジが第２の端面１１ｂに接触することにより行ってもよい。
また、バレル１６ｂの有底部にねじを設け、有底部のねじを第２の挿入孔における第２の導電体１３にねじ込むことにより、バレル１６ｂを第２の挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
第２の導電体１３の第２の端面１１ｂに対するバレル１６ｂの一端面の位置決めは、バレル１６ｂの一端面にフランジを設け、フランジが第２の端面１１ｂに接触することにより行ってもよい。
【0059】
スプリング１６ｃは導電材により構成される。スプリング１６ｃはバレル１６ｂの内部に収納され、他端がバレル１６ｂの底部の内面に接する。
第２の接触部１６ａは、各通電用プローブ１５における第１の接触部１５ａと同様に、プローブ接触子１６ａ１とプランジャー１６ａ２とボス部１６ａ３を有する。
第１の接触部１５ａにおける構成要素と区別するために第２の接触部１６ａにおける構成要素に符号を付している。
第２の接触部１６ａは、各通電用プローブ１５における第１の接触部１５ａと同様に、プローブ接触子１６ａ１とプランジャー１６ａ２とボス部１６ａ３を有する。
第１の接触部１５ａにおける構成要素と区別するために第２の接触部１６ａにおける構成要素に符号を付している。
【0060】
プローブ接触子１６ａ１とプランジャー１６ａ２とボス部１６ａ３はそれぞれ導電材により一体的に構成される。
プローブ接触子１６ａ１とプランジャー１６ａ２とボス部１６ａ３はそれぞれ円柱状である。プローブ接触子１６ａ１とボス部１６ａ３の外径がプランジャー１６ａ２の外径より太くなっている。
プローブ接触子１６ａ１とボス部１６ａ３の外径がプランジャー１６ａ２の外径と同じであってもよい。
プローブ接触子１６ａ１とプランジャー１６ａ２とボス部１６ａ３はそれぞれ円柱状である。プローブ接触子１６ａ１とボス部１６ａ３の外径がプランジャー１６ａ２の外径より太くなっている。
プローブ接触子１６ａ１とボス部１６ａ３の外径がプランジャー１６ａ２の外径と同じであってもよい。
【0061】
ボス部１６ａ３の外径はバレル１６ｂの内径より若干小さい。ボス部１６ａ３はバレル１６ｂの内部に収納され、ボス部１６ａ３の外周面がバレル１６ｂの内周面と密接して摺動する。ボス部１６ａ３とバレル１６ｂは低い接触抵抗により電気的にも接続される。
ボス部１６ａ３の他端がスプリング１６ｃの一端に接触し、ボス部１６ａ３がスプリング１６ｃの弾性力による付勢力によりバレル１６ｂの内周面を摺動する。
ボス部１６ａ３がバレル１６ｂの内部から抜けださないように、バレル１６ｂの一端がボス部１６ａ３の一端に対してストッパとして機能する。
ボス部１６ａ３の他端がスプリング１６ｃの一端に接触し、ボス部１６ａ３がスプリング１６ｃの弾性力による付勢力によりバレル１６ｂの内周面を摺動する。
ボス部１６ａ３がバレル１６ｂの内部から抜けださないように、バレル１６ｂの一端がボス部１６ａ３の一端に対してストッパとして機能する。
【0062】
ボス部１６ａ３の外周面がバレル１６ｂの内周面と密接し、ボス部１６ａ３とバレル１６ｂが低い接触抵抗により電気的にも接続されることにより、スプリング１６ｃは絶縁材のスプリングとしもよい。この場合、スプリング１６ｃに電流が流れることによる発熱を防げ、スプリング１６ｃの劣化を防げる。
【0063】
通電用プローブ１６は第２の接触部１６ａの有効可動範囲であるストロークを有する。
ストロークは、プローブ接触子１６ａ１の先端位置から、つまり、ボス部１６ａ３のストッパ位置からボス部１６ａ３がスプリング１６ｃの付勢力に抗してバレル１６ｂの内部を有効可動範囲まで摺動したプローブ接触子１６ａ１の後退位置までの長さである。
ストロークは、プローブ接触子１６ａ１の先端位置から、つまり、ボス部１６ａ３のストッパ位置からボス部１６ａ３がスプリング１６ｃの付勢力に抗してバレル１６ｂの内部を有効可動範囲まで摺動したプローブ接触子１６ａ１の後退位置までの長さである。
【0064】
第２の接触部１６ａにおいて、通電用プローブユニット１０が待機位置である時、ボス部１６ａ３がスプリング１６ｃの付勢力によりバレル１６ｂの一端に押し付けられ、プローブ接触子１６ａ１はバレル１６ｂの一端面から最大の距離に位置する。つまり、プローブ接触子１６ａ１は導電性ブロック１１の第１の端面１１ａから第１の方向に最大の距離で突出している。
【0065】
試験対象品２０の電気特性試験を開始し、プローブユニット用可動部３８により通電用プローブユニット１０が前進させられ、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａのプローブ接触子１６ａ１が試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに接触し、押圧されるとスプリング１６ｃの付勢力に抗してボス部１６ａ３が内部を第２の方向に摺動する。
その結果、プローブ接触子１６ａ１はスプリング１６ｃの付勢力により通電部３１の接触面３１ａに押圧された状態で接触する。
通電用プローブ１６は一般に市販されているスプリング式コンタクトプローブを用いることができる。
その結果、プローブ接触子１６ａ１はスプリング１６ｃの付勢力により通電部３１の接触面３１ａに押圧された状態で接触する。
通電用プローブ１６は一般に市販されているスプリング式コンタクトプローブを用いることができる。
【0066】
なお、通電用プローブ１６として本例ではスプリング式コンタクトプローブを用いているが、板バネ構造の薄板状のプローブプレートを積層した積層プローブ、コイルスプリングを先端に有し、コイル一巻一巻を接触子としたバットコンタクトプローブ、あるいはワイヤプローブ形式のコンタクトプローブ等を導電性ブロックに装着した通電プローブなど、スプリング式コンタクトプローブとは異なる他の方式のプローブを通電用プローブ１６として用いてもよい。
要するに、通電用プローブ１６として、第１の方向に突出した接触部を有し、接触部が第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられるプローブであればよい。
要するに、通電用プローブ１６として、第１の方向に突出した接触部を有し、接触部が第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられるプローブであればよい。
【0067】
通電用プローブユニット１０において、独立に第１の導電体１２の第１の端面１１ａの周囲に配置された複数の通電用プローブ１５により複数の通電用プローブ１５と試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａとの間が低接触抵抗の状態により接続されるため、通電部２１と導電性ブロック１１における第１の導電体１２との間が低インピーダンスである。
また、独立に第２の導電体１３の第２の端面１１ｂの周囲に配置された複数の通電用プローブ１６により複数の通電用プローブ１６と試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａとの間が低接触抵抗の状態により接続されるため、通電部３１と導電性ブロック１１における第２の導電体１３との間が低インピーダンスである。
その結果、導電性ブロック１１自身も低インピーダンスであるので、通電用プローブユニット１０は試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１へ大電流を供給できる。
また、独立に第２の導電体１３の第２の端面１１ｂの周囲に配置された複数の通電用プローブ１６により複数の通電用プローブ１６と試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａとの間が低接触抵抗の状態により接続されるため、通電部３１と導電性ブロック１１における第２の導電体１３との間が低インピーダンスである。
その結果、導電性ブロック１１自身も低インピーダンスであるので、通電用プローブユニット１０は試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１へ大電流を供給できる。
【0068】
信号検出用プローブ１７は４端子法で計測するためのセンシングプローブの役割を果たすプローブである。
信号検出用プローブ１７は先端部に信号検出用接触部１７ａを有し、信号検出用接触部１７ａが先端方向、つまり第１の方向に押圧されるスプリング式コンタクトプローブである。
信号検出用プローブ１７における信号検出用接触部１７ａが試験対象品２０における信号検出用端子部２２の接触面２２ａに押圧されて接触し電気的に接続される。
信号検出用プローブ１７は後端部が信号配線４０に接続される。
信号検出用プローブ１７は先端部に信号検出用接触部１７ａを有し、信号検出用接触部１７ａが先端方向、つまり第１の方向に押圧されるスプリング式コンタクトプローブである。
信号検出用プローブ１７における信号検出用接触部１７ａが試験対象品２０における信号検出用端子部２２の接触面２２ａに押圧されて接触し電気的に接続される。
信号検出用プローブ１７は後端部が信号配線４０に接続される。
【0069】
信号検出用接触部１７ａが信号検出用端子部２２の接触面２２ａに電気的に接続されると、信号検出用端子部２２から信号検出用プローブ１７及び信号配線４０を介して試験装置３０の信号検出部３５に至る信号経路が形成される。
信号検出部３５は、試験設定条件下において、試験対象品２０の測定ノードに現れる電圧等のアナログである電気信号を信号検出用端子部２２から信号検出部３５に至る信号経路を介して検出し、検出した電気信号をデジタル信号に変換して計測用データとして計測制御部３６へ出力する。
計測制御部３６は、信号検出部３５からの計測用データにより試験対象品２０の電気特性を計測処理する。
信号検出部３５は、試験設定条件下において、試験対象品２０の測定ノードに現れる電圧等のアナログである電気信号を信号検出用端子部２２から信号検出部３５に至る信号経路を介して検出し、検出した電気信号をデジタル信号に変換して計測用データとして計測制御部３６へ出力する。
計測制御部３６は、信号検出部３５からの計測用データにより試験対象品２０の電気特性を計測処理する。
【0070】
試験対象品２０における信号検出用端子部２２は、試験対象品２０の電気特性試験において、試験対象品２０からの電圧等による試験信号が取り出されるための信号検出用端子部である。
試験対象品２０における信号検出用端子部２２は試験対象品２０自身の信号検出用端子部又は試験対象品２０自身の信号検出用端子部が接続された試験装置３０における試験治具３２の信号検出用端子部である。
試験対象品２０における信号検出用端子部２２は試験対象品２０自身の信号検出用端子部又は試験対象品２０自身の信号検出用端子部が接続された試験装置３０における試験治具３２の信号検出用端子部である。
【0071】
試験対象品２０が試験治具３２の上面に設置されると、試験対象品２０における信号検出用端子部２２の接触面２２ａとなる平坦面は試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａとなる平坦面と同一平面に位置し、第２の方向に向いている。
試験対象品２０における信号検出用端子部２２の接触面２２ａは試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａの一部であるが、説明の煩雑さを避けるため、通電部２１と信号検出用端子部２２とを別構成として説明している。
試験対象品２０における信号検出用端子部２２の接触面２２ａは試験対象品２０における通電部２１の接触面２１ａの一部であるが、説明の煩雑さを避けるため、通電部２１と信号検出用端子部２２とを別構成として説明している。
【0072】
プローブ保持体１８は絶縁材料で形成され、導電性ブロック１１の第１の導電体１２に切りかかれた信号検出用プローブ１７を装着するための切り欠き部に第１の導電体１２と絶縁してねじ等で固定装着される。
プローブ保持体１８は外形が矩形をなし、上面が第１の導電体１２の上面と面一にし、一側面が第１の導電体１２の一側面と面一にし、一端面が第１の導電体１２の第１の端面１１ａと面一にして、底面及び他側面が第１の導電体１２の切り欠き部に接して固定される。
なお、プローブ保持体１８の外形は円形でもよく、また、プローブ保持体１８の上面等の側面は第１の導電体１２の側面と面一にしなくとも良い。
プローブ保持体１８は外形が矩形をなし、上面が第１の導電体１２の上面と面一にし、一側面が第１の導電体１２の一側面と面一にし、一端面が第１の導電体１２の第１の端面１１ａと面一にして、底面及び他側面が第１の導電体１２の切り欠き部に接して固定される。
なお、プローブ保持体１８の外形は円形でもよく、また、プローブ保持体１８の上面等の側面は第１の導電体１２の側面と面一にしなくとも良い。
【0073】
プローブ保持体１８は、一端面から内部に穿たれた断面円形のバレル用挿入孔と、バレル用挿入孔から連通し、バレル用挿入孔より小径の断面円形の信号配線体用挿入孔と、上面から信号配線体用挿入孔まで穿たれた信号配線用連通孔１８ａを有する。
信号検出用プローブ１７はバレル用挿入孔に挿抜可能であり、プローブ保持体１８に組み込まれる。
信号検出用プローブ１７はバレル用挿入孔に挿入されると、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａがプローブ保持体１８の一端面から第１の方向に突出した状態でプローブ保持体１８に機械的に接続されて装着される。
また、信号検出用プローブ１７の後端部はプローブ保持体１８の信号配線用連通孔１８ａを挿通される信号配線４０の一端に電気的に接続される。
信号検出用プローブ１７はバレル用挿入孔に挿抜可能であり、プローブ保持体１８に組み込まれる。
信号検出用プローブ１７はバレル用挿入孔に挿入されると、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａがプローブ保持体１８の一端面から第１の方向に突出した状態でプローブ保持体１８に機械的に接続されて装着される。
また、信号検出用プローブ１７の後端部はプローブ保持体１８の信号配線用連通孔１８ａを挿通される信号配線４０の一端に電気的に接続される。
【0074】
信号検出用プローブ１７は信号検出用接触部１７ａとバレル１７ｂとスプリング１７ｃと信号配線体１７ｄを有する。
バレル１７ｂは有底の筒状の導電材により構成される。バレル１７ｂは一端部及び他端部の外径がプローブ保持体１８に形成されたバレル用挿入孔の内径と同じであり、中央部が樽状に膨らみ、中央部の外径がバレル用挿入孔の内径より大きい。その結果、バレル１７ｂはバレル用挿入孔に圧入され、バレル１７ｂの外周面はバレル用挿入孔の内周面に挿抜可能に密接される。
バレル１７ｂは有底の筒状の導電材により構成される。バレル１７ｂは一端部及び他端部の外径がプローブ保持体１８に形成されたバレル用挿入孔の内径と同じであり、中央部が樽状に膨らみ、中央部の外径がバレル用挿入孔の内径より大きい。その結果、バレル１７ｂはバレル用挿入孔に圧入され、バレル１７ｂの外周面はバレル用挿入孔の内周面に挿抜可能に密接される。
【0075】
バレル１７ｂがバレル用挿入孔に装着されると、バレル１７ｂの他端面である底部の外面はバレル用挿入孔の底面に接し、バレル１７ｂの一端面とプローブ保持体１８の一端面はほぼ同一面になる。
なお、バレル１７ｂは一端部から他端部まで同一の外径を有し、バレル用挿入孔の内径がバレル１７ｂの外径より小さめにして全体を圧入することにより、バレル１７ｂをバレル用挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
なお、バレル１７ｂは一端部から他端部まで同一の外径を有し、バレル用挿入孔の内径がバレル１７ｂの外径より小さめにして全体を圧入することにより、バレル１７ｂをバレル用挿入孔に挿抜可能に装着してもよい。
【0076】
スプリング１７ｃは導電材により構成される。スプリング１７ｃはバレル１７ｂの内部に収納され、他端がバレル１７ｂの底部の内面に接する。
信号検出用接触部１７ａは、図２に示すように、プローブ接触子１７ａ１とプランジャー１７ａ２とボス部１７ａ３を有する。
信号検出用接触部１７ａは、図２に示すように、プローブ接触子１７ａ１とプランジャー１７ａ２とボス部１７ａ３を有する。
【0077】
プローブ接触子１７ａ１とプランジャー１７ａ２とボス部１７ａ３はそれぞれ導電材により一体的に構成される。
プローブ接触子１７ａ１とプランジャー１７ａ２とボス部１７ａ３はそれぞれ円柱状である。プローブ接触子１７ａ１とボス部１７ａ３の外径がプランジャー１７ａ２の外径より太くなっている。
プローブ接触子１７ａ１とボス部１７ａ３の外径がプランジャー１７ａ２の外径と同じであってもよい。
プローブ接触子１７ａ１とプランジャー１７ａ２とボス部１７ａ３はそれぞれ円柱状である。プローブ接触子１７ａ１とボス部１７ａ３の外径がプランジャー１７ａ２の外径より太くなっている。
プローブ接触子１７ａ１とボス部１７ａ３の外径がプランジャー１７ａ２の外径と同じであってもよい。
【0078】
ボス部１７ａ３の外径はバレル１７ｂの内径より若干小さい。ボス部１７ａ３はバレル１７ｂの内部に収納され、ボス部１７ａ３の外周面がバレル１７ｂの内周面と密接して摺動する。ボス部１７ａ３とバレル１７ｂは低い接触抵抗により電気的にも接続される。
ボス部１７ａ３の他端がスプリング１７ｃの一端に接触し、ボス部１７ａ３がスプリング１７ｃの弾性力による付勢力によりバレル１７ｂの内周面を摺動する。
ボス部１７ａ３がバレル１７ｂの内部から抜けださないように、バレル１７ｂの一端がボス部１７ａ３の一端に対してストッパとして機能する。
ボス部１７ａ３の他端がスプリング１７ｃの一端に接触し、ボス部１７ａ３がスプリング１７ｃの弾性力による付勢力によりバレル１７ｂの内周面を摺動する。
ボス部１７ａ３がバレル１７ｂの内部から抜けださないように、バレル１７ｂの一端がボス部１７ａ３の一端に対してストッパとして機能する。
【0079】
信号配線体１７ｄは一端がバレル１７ｂの底部の外面から第２の方向に突出した導電性の角棒又は丸棒により形成される。
信号配線体１７ｄは信号配線体１７ｄと一体に形成されてもよく、また、別体にして機械的及び電気的に接続してもよい。
信号検出用プローブ１７の後端部となる信号配線体１７ｄの他端部に、プローブ保持体１８の信号配線用連通孔１８ａを挿通される信号配線４０の一端がねじ止めされて、信号配線体１７ｄと信号配線４０が電気的に接続される。
信号配線体１７ｄは信号配線体１７ｄと一体に形成されてもよく、また、別体にして機械的及び電気的に接続してもよい。
信号検出用プローブ１７の後端部となる信号配線体１７ｄの他端部に、プローブ保持体１８の信号配線用連通孔１８ａを挿通される信号配線４０の一端がねじ止めされて、信号配線体１７ｄと信号配線４０が電気的に接続される。
【0080】
信号検出用プローブ１７は、信号検出用接触部１７ａの有効可動範囲であるストロークを有する。
信号検出用接触部１７ａにおいて、通電用プローブユニット１０が待機位置である時、ボス部１７ａ３がスプリング１７ｃの付勢力によりバレル１７ｂの一端に押し付けられ、プローブ接触子１７ａ１はバレル１７ｂの一端面から最大の距離に位置する。つまり、プローブ接触子１７ａ１はプローブ保持体１８の一端面から第１の方向に最大の距離で突出している。
信号検出用接触部１７ａにおいて、通電用プローブユニット１０が待機位置である時、ボス部１７ａ３がスプリング１７ｃの付勢力によりバレル１７ｂの一端に押し付けられ、プローブ接触子１７ａ１はバレル１７ｂの一端面から最大の距離に位置する。つまり、プローブ接触子１７ａ１はプローブ保持体１８の一端面から第１の方向に最大の距離で突出している。
【0081】
試験対象品２０の電気特性試験を開始し、プローブユニット用可動部３８により通電用プローブユニット１０が前進させられ、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａのプローブ接触子１７ａ１が試験対象品２０における信号検出用端子部２２の接触面２２ａに接触し、押圧されるとスプリング１７ｃの付勢力に抗してボス部１７ａ３が内部を第２の方向に摺動する。
その結果、プローブ接触子１７ａ１はスプリング１７ｃの付勢力により信号検出用端子部２２の接触面２２ａに押圧された状態で接触する。
信号検出用プローブ１７は一般に市販されているスプリング式コンタクトプローブを用いることができる。
その結果、プローブ接触子１７ａ１はスプリング１７ｃの付勢力により信号検出用端子部２２の接触面２２ａに押圧された状態で接触する。
信号検出用プローブ１７は一般に市販されているスプリング式コンタクトプローブを用いることができる。
【0082】
なお、信号検出用プローブ１７として本例ではスプリング式コンタクトプローブを用いているが、板バネ構造の薄板状のプローブプレートを積層した積層プローブ、コイルスプリングを先端に有し、コイル一巻一巻を接触子としたバットコンタクトプローブ、あるいはワイヤプローブ形式のコンタクトプローブ等を導電性ブロックに装着した通電プローブなど、スプリング式コンタクトプローブとは異なる他の方式のプローブを信号検出用プローブ１７として用いてもよい。
【0083】
要するに、信号検出用プローブ１７として、第１の方向に突出した接触部を有し、接触部が第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられるプローブであればよい。
また、信号検出用プローブ１７としてバレル１７ｂが絶縁材である一般に外バネ式と呼ばれるプローブを用い、第１の導電体１２の第１の端面１１ａの一隅部に第１の端面１１ａから内部に穿たれたバレル用挿入孔及び信号配線体用挿入孔を形成し、バレル用挿入孔に信号検出用プローブ１７を圧入装着してもよい。
また、信号検出用プローブ１７としてバレル１７ｂが絶縁材である一般に外バネ式と呼ばれるプローブを用い、第１の導電体１２の第１の端面１１ａの一隅部に第１の端面１１ａから内部に穿たれたバレル用挿入孔及び信号配線体用挿入孔を形成し、バレル用挿入孔に信号検出用プローブ１７を圧入装着してもよい。
【0084】
なお、本例において、信号検出用プローブ１７が１つのものを示したが、試験対象品２０の電気特性試験において、試験対象品２０から複数の試験信号を取り出すために試験対象品２０における信号検出用端子部２２が複数ある場合は、複数の信号検出用端子部２２それぞれに対応して複数の信号検出用プローブ１７を設ければよい。
この場合、プローブ保持体１８に、複数の信号検出用端子部２２それぞれに対応した複数のバレル用挿入孔と複数の信号配線体用挿入孔と複数の信号配線用連通孔１８ａを形成すればよい。
この場合、プローブ保持体１８に、複数の信号検出用端子部２２それぞれに対応した複数のバレル用挿入孔と複数の信号配線体用挿入孔と複数の信号配線用連通孔１８ａを形成すればよい。
【0085】
次に、通電用プローブユニット１０により、試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１に至る通電経路の形成、及び、信号検出用プローブ１７における信号検出用接触部１７ａと試験対象品２０における信号検出用端子部２２との電気的接続を行う動作について説明する。
プローブユニット用可動部３８におけるアクチュエータ３８ａは試験対象品２０の電気特性試験を実施する前は通電用プローブユニット１０を待機位置にする。
プローブユニット用可動部３８におけるアクチュエータ３８ａは試験対象品２０の電気特性試験を実施する前は通電用プローブユニット１０を待機位置にする。
【0086】
試験対象品２０の電気特性試験を開始すると、アクチュエータ３８ａは、プローブユニット用可動部３８における可動部３８ｂを前進させ、つまり第１の方向に移動させてプローブユニット用可動部３８における装着部３８ｃに装着された通電用プローブユニット１０を第１の方向に移動させる。
【0087】
通電用プローブユニット１０における複数の試験対象品側の通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが試験対象品２０に対する通電部２１の接触面２１ａに押圧接触し、通電用プローブユニット１０における複数の試験装置側の通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａに押圧接触し、通電用プローブユニット１０における信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａが試験対象品２０に対する信号検出用端子部２２の接触面２２ａに押圧接触するまで、アクチュエータ３８ａは通電用プローブユニット１０を第１の方向に移動させ、停止する。
この時の、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａの位置、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａの位置、及び、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａの位置を、図４において破線により示す。
この時の、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａの位置、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａの位置、及び、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａの位置を、図４において破線により示す。
【0088】
通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが通電部２１の接触面２１ａに押圧接触すると、第１の接触部１５ａのボス部１５ａ３がスプリング１５ｃの付勢力に抗してバレル１５ｂの内部を第２の方向に摺動するため、スプリング１５ｃの付勢力により第１の接触部１５ａのプローブ接触子１５ａ１は通電部２１の接触面２１ａに押圧された状態で確実に接触する。
したがって、通電用プローブ１５が複数独立に第１の端面１１ａの周囲に配置されていることと併せて通電部２１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
したがって、通電用プローブ１５が複数独立に第１の端面１１ａの周囲に配置されていることと併せて通電部２１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
【0089】
通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが通電部３１の接触面３１ａに押圧接触すると、第２の接触部１６ａのボス部１６ａ３がスプリング１６ｃの付勢力に抗してバレル１６ｂの内部を第２の方向に摺動するため、スプリング１６ｃの付勢力により第２の接触部１６ａのプローブ接触子１６ａ１は通電部３１の接触面３１ａに押圧された状態で確実に接触する。
したがって、通電用プローブ１６が複数独立に第２の端面１１ｂの周囲に配置されていることと併せて通電部３１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
したがって、通電用プローブ１６が複数独立に第２の端面１１ｂの周囲に配置されていることと併せて通電部３１と導電性ブロック１１との間の低インピーダンス化を実現できる。
【0090】
その結果、導電性ブロック１１自身も低インピーダンスであるので、通電用プローブユニット１０は試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１までの通電経路の全体において、低インピーダンス化が図れるとともにインダクタンスの安定化が図れ、通電部３１から通電部２１まで、つまり、試験対象品２０へ大電流を供給できる。
【0091】
信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａが信号検出用端子部２２の接触面２２ａに押圧接触すると、信号検出用接触部１７ａのボス部１７ａ３がスプリング１７ｃの付勢力に抗してバレル１７ｂの内部を第２の方向に摺動するため、スプリング１７ｃの付勢力により信号検出用接触部１７ａのプローブ接触子１７ａ１は信号検出用端子部２２の接触面２２ａに押圧された状態で確実に接触する。
その結果、信号検出用端子部２２に現れた電気信号を確実に信号検出部３５に伝達できる。
その結果、信号検出用端子部２２に現れた電気信号を確実に信号検出部３５に伝達できる。
【0092】
このようにして、通電用プローブユニット１０により、試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１へ大電流を供給した状態で、試験対象品２０における電気特性試験結果を得ることができる。
試験対象品２０の電気特性試験が終了すると、アクチュエータ３８ａは通電用プローブユニット１０を待機位置まで後退、つまり、第２の方向に移動させて停止する。
試験対象品２０の電気特性試験が終了すると、アクチュエータ３８ａは通電用プローブユニット１０を待機位置まで後退、つまり、第２の方向に移動させて停止する。
【0093】
以上に述べたように、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、導電性材料で形成される導電性ブロック１１に電気的及び機械的に接続され、導電性ブロック１１の第１の端面１１ａから第１の方向に突出し、第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動する第１の接触部１５ａが第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品２０に対する通電部２１に電気的に接続される試験対象品側の通電用プローブ１５と、導電性ブロック１１に電気的及び機械的に接続され、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂから第１の方向に突出し、第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動する第２の接触部１６ａが第１の方向に押圧力が与えられて試験装置３０における通電部３１に電気的に接続される試験装置側の通電用プローブ１６を備えたので、第１の方向に移動させるだけで試験対象品２０に対する通電部２１と試験装置３０における通電部３１との間の通電経路を形成でき、通電部２１と通電部３１との通電経路に通電用配線を使用する必要もなく、電気的接続が容易である。
【0094】
通電部２１と通電部３１との間の通電経路に通電用配線を必要としないため、第１の方向及び第２の方向に移動させたとしても、通電用配線による断線となるトラブル発生もない。
試験対象品２０の電気特性試験において高温条件下での特性試験を行う場合、試験対象品２０を試験治具３２に内蔵された加熱機器により加熱する場合、試験対象品２０を移動させる必要もなく、試験対象品２０対して容易に大電流を供給できる。
試験対象品２０の電気特性試験において高温条件下での特性試験を行う場合、試験対象品２０を試験治具３２に内蔵された加熱機器により加熱する場合、試験対象品２０を移動させる必要もなく、試験対象品２０対して容易に大電流を供給できる。
【0095】
また、電気特性試験毎に、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａと試験対象品２０に対する通電部２１との電気的接続及び通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａと試験装置３０における通電部３１との電気的接続が繰り返されたとしても、複数の通電用プローブ１５及び複数の通電用プローブ１６を有し、それぞれの第１の接触部１５ａが第１の方向に押圧力が与えられて通電部２１に電気的に接続され、それぞれの第２の接触部１６ａが第１の方向に押圧力が与えられて通電部３１に電気的に接続されるため、通電部２１と通電部３１との間の通電経路は低インピーダンス化を実現でき、通電部２１と通電部３１との間の通電経路におけるインダクタンスは安定しており、試験対象品２０の電気特性試験における計測が安定して行える。
【0096】
さらに、通電用プローブ１５を複数有するので、通電用プローブ１５と通電部２１との電気的接続が安定する。通電用プローブ１６を複数有するので、通電用プローブ１６と通電部２１との電気的接続が安定する。
また、複数の通電用プローブ１５はそれぞれ導電性ブロック１１の第１の端面１１ａの周囲に形成された複数の第１の挿入孔それぞれに挿抜可能であり、複数の通電用プローブ１６それぞれは、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂの周囲に形成された複数の第２の挿入孔それぞれに挿抜可能であるので、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６それぞれの交換メンテナンスを、通電用プローブユニット１０をプローブユニット用可動部３８の装着部３８ｃに装着したまま行え、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６それぞれの交換作業が容易であり、メンテナンス時間を削減できる。
また、複数の通電用プローブ１５はそれぞれ導電性ブロック１１の第１の端面１１ａの周囲に形成された複数の第１の挿入孔それぞれに挿抜可能であり、複数の通電用プローブ１６それぞれは、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂの周囲に形成された複数の第２の挿入孔それぞれに挿抜可能であるので、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６それぞれの交換メンテナンスを、通電用プローブユニット１０をプローブユニット用可動部３８の装着部３８ｃに装着したまま行え、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６それぞれの交換作業が容易であり、メンテナンス時間を削減できる。
【0097】
導電性ブロック１１の第１の端面１１ａから第１の方向に突出し、第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動する信号検出用接触部１７ａが第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品２０に対する信号検出用端子部２２に電気的に接続される試験対象品側の信号検出用プローブ１７を備えることにより、通電用プローブユニット１０を第１の方向に移動させるだけで信号検出用接触部１７ａと信号検出用端子部２２との電気的接続が容易かつ確実に行える。
【0098】
変形例１
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、試験対象品側の通電用プローブ１５において、通電用プローブ１５が第１の導電体１２の第１の端面１１ａから内部に穿たれた第１の挿入孔に挿入されると、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが導電性ブロック１１の第１の端面１１ａから第１の方向に突出した状態で導電性ブロック１１に装着される。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、試験対象品側の通電用プローブ１５において、通電用プローブ１５が第１の導電体１２の第１の端面１１ａから内部に穿たれた第１の挿入孔に挿入されると、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが導電性ブロック１１の第１の端面１１ａから第１の方向に突出した状態で導電性ブロック１１に装着される。
【0099】
これに対して、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１は、試験対象品側の通電用プローブ１５において、通電用プローブ１５が第１の導電体１２の第１の端面１１ａから内部に穿たれた第１の挿入孔に挿入されると、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａにおける第１の方向に向いている接触面が導電性ブロック１１の第１の端面１１ａと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第１の端面１１ａより内側に位置した状態で導電性ブロック１１に装着される。
【0100】
同様に、信号検出用プローブ１７において、信号検出用プローブ１７がプローブ保持体１８の一端面から内部に穿たれたバレル用挿入孔及び信号配線体用挿入孔に挿入されると、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａにおける第１の方向に向いている接触面がプローブ保持体１８の一端面と同じ平面上に位置する状態、もしくは、一端面より内側に位置した状態でプローブ保持体１８に装着される。
【0101】
そして、変形例１の場合、試験対象品２０の通電部２１において、通電部２１の第２の方向に向いている平坦面における通電用プローブユニット１０の通電用プローブ１５に対応した位置に、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａにおける接触面と接触する接触面を有する突出部を設ければよい。
また、試験対象品２０における信号検出用端子部２２において、信号検出用端子部２２の第２の方向に向いている平坦面における通電用プローブユニット１０の信号検出用プローブ１７に対応した位置に、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａにおける接触面と接触する接触面を有する突出部を設ければよい。
また、試験対象品２０における信号検出用端子部２２において、信号検出用端子部２２の第２の方向に向いている平坦面における通電用プローブユニット１０の信号検出用プローブ１７に対応した位置に、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａにおける接触面と接触する接触面を有する突出部を設ければよい。
【0102】
試験対象品２０の電気特性試験において、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが試験対象品２０の通電部２１における突出部の接触面に押圧接触し、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａが試験対象品２０の信号検出用端子部２２における突出部の接触面に押圧接触する。
従って、変形例１においても、実施の形態１と同様の効果を有する。
従って、変形例１においても、実施の形態１と同様の効果を有する。
【0103】
要するに、実施の形態１では、変形例１を含めて、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａにおける接触面が導電性ブロック１１の第１の端面１１ａに対して露出した状態で通電用プローブ１５が導電性ブロック１１に装着されればよい。
また、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａにおける接触面が導電性ブロック１１の第１の端面１１ａ、本例においては導電性ブロック１１の第１の端面１１ａに相当するプローブ保持体１８の一端面に対して露出した状態で信号検出用プローブ１７が導電性ブロック１１に装着されればよい。
また、信号検出用プローブ１７の信号検出用接触部１７ａにおける接触面が導電性ブロック１１の第１の端面１１ａ、本例においては導電性ブロック１１の第１の端面１１ａに相当するプローブ保持体１８の一端面に対して露出した状態で信号検出用プローブ１７が導電性ブロック１１に装着されればよい。
【0104】
また、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、試験装置側の通電用プローブ１６において、通電用プローブ１６が第２の導電体１３の第２の端面１１ｂから内部に穿たれた第２の挿入孔に挿入されると、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂから第１の方向に突出した状態で導電性ブロック１１に装着される。
【0105】
これに対して、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１は、試験装置側の通電用プローブ１６において、通電用プローブ１６が第２の導電体１３の第２の端面１１ｂから内部に穿たれた第２の挿入孔に挿入されると、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａにおける第１の方向に向いている接触面が導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第２の端面１１ｂより内側に位置した状態で導電性ブロック１１に装着される。
【0106】
そして、変形例１の場合、試験装置３０の通電部３１において、通電部３１の第２の方向に向いている平坦面における通電用プローブユニット１０の通電用プローブ１６に対応した位置に、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａにおける接触面と接触する接触面を有する突出部を設ければよい。
【0107】
試験対象品２０の電気特性試験において、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが試験装置３０の通電部３１における突出部の接触面に押圧接触する。
従って、変形例１においても、実施の形態１と同様の効果を有する。
要するに、実施の形態１では、変形例１を含めて、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａにおける接触面が導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂに対して露出した状態で通電用プローブ１６が導電性ブロック１１に装着されればよい。
従って、変形例１においても、実施の形態１と同様の効果を有する。
要するに、実施の形態１では、変形例１を含めて、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａにおける接触面が導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂに対して露出した状態で通電用プローブ１６が導電性ブロック１１に装着されればよい。
【0108】
変形例２
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、複数の試験対象品側の通電用プローブ１５と複数の試験装置側の通電用プローブ１６それぞれを同じプローブにより構成した。
すなわち、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａにおける第１の方向及び第２の方向への有効可動範囲であるストローク（以下、単に通電用プローブ１５のストロークと略称する）と、通電用プローブ１６の第２の接触部における第１の方向及び第２の方向への有効可動範囲であるストローク（以下、単に通電用プローブ１６のストロークと略称する）が同じ大きさである。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、複数の試験対象品側の通電用プローブ１５と複数の試験装置側の通電用プローブ１６それぞれを同じプローブにより構成した。
すなわち、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａにおける第１の方向及び第２の方向への有効可動範囲であるストローク（以下、単に通電用プローブ１５のストロークと略称する）と、通電用プローブ１６の第２の接触部における第１の方向及び第２の方向への有効可動範囲であるストローク（以下、単に通電用プローブ１６のストロークと略称する）が同じ大きさである。
【0109】
これに対して、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例２は、通電用プローブ１５のストローク量と通電用プローブ１６のストローク量が異なる通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６を用いた点が相違し、その他の点は実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
【0110】
すなわち、複数の通電用プローブ１５それぞれのストローク量が複数の通電用プローブ１６それぞれのストローク量に対して大きい、又は、複数の通電用プローブ１６それぞれのストローク量が複数の通電用プローブ１５それぞれのストローク量に対して大きい。
但し、複数の通電用プローブ１５それぞれのストローク量は同じであり、複数の通電用プローブ１６それぞれのストローク量は同じである。
但し、複数の通電用プローブ１５それぞれのストローク量は同じであり、複数の通電用プローブ１６それぞれのストローク量は同じである。
【0111】
このように、通電用プローブ１５のストローク量と通電用プローブ１６のストローク量が異なることにより、試験対象品２０を試験治具３２の上面に設置した時の設置位置のばらつきによる試験対象品２０に対する通電部２１の設定位置に対するずれ、又は試験装置３０設置位置のばらつきによる試験装置３０の通電部３１の設定位置に対するずれが生じたとしても、ストローク量が大きい通電用プローブが設定位置に対するずれを吸収し、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが試験対象品２０に対する通電部２１に対して押圧接触し、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが試験装置３０における通電部３１に対して押圧接触し、第１の接触部１５ａと通電部２１との電気的接続及び第２の接触部１６ａと通電部３１との電気的接続が安定的に行え、試験装置３０の通電部３１から試験対象品２０の通電部２１へ大電流を通電することができる。
【0112】
例えば、試験対象品２０に対する通電部２１の設定位置に対するずれにより、通電部２１の接触面２１ａから通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａの先端面までの距離が設定距離より長くなった場合、プローブユニット用可動部３８により通電用プローブユニット１０が前進させられ、まず、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａが通電部３１に対して押圧接触する。
【0113】
この時、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａが通電部２１の接触面２１ａに接触していなくとも、通電用プローブ１６のストローク量が通電用プローブ１５のストローク量に対して大きくしてあるため、通電用プローブ１６は通電用プローブユニット１０のさらなる移動を吸収できるため、第１の接触部１５ａが通電部２１に対して押圧接触するまで、プローブユニット用可動部３８により通電用プローブユニット１０をさらに前進させることができる。
【0114】
要するに、変形例２に係る通電用プローブユニット１０は、通電部２１の設定位置に対するずれ、又は通電部３１の設定位置に対するずれが生じたとしても、通電用プローブ１５のストローク量と通電用プローブ１６のストローク量が異なることにより、設定位置に対するずれを吸収して第１の接触部１５ａによる通電部２１に対する押圧接触及び第２の接触部１６ａによる通電部３１に対する押圧接触を十分確保することができるため、通電部３１から通電部２１に至る通電経路を確実に確保でき、試験装置３０から試験対象品２０への安定した大電流通電が行える
【0115】
変形例３
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例３は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対して、さらに、試験装置側の信号検出用プローブを備えた点が相違し、その他の点は実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
試験装置側の信号検出用プローブは４端子法で計測するためのセンシングプローブの役割を果たすプローブである。
以下、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対する相違点である試験装置側の信号検出用プローブを中心に説明する。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例３は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対して、さらに、試験装置側の信号検出用プローブを備えた点が相違し、その他の点は実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
試験装置側の信号検出用プローブは４端子法で計測するためのセンシングプローブの役割を果たすプローブである。
以下、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対する相違点である試験装置側の信号検出用プローブを中心に説明する。
【0116】
試験装置３０において、試験装置３０の信号検出部３５に電気的に接続される信号検出用端子部が設けられる。
この信号検出用端子部２２は、試験対象品２０の電気特性試験において、試験対象品２０からの電圧等による試験信号が取り出されるための信号検出用端子部である。
試験装置３０における信号検出用端子部の接触面となる平坦面は試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａとなる平坦面と同一平面に位置し、第２の方向に向いている。
試験装置３０における信号検出用端子部の接触面は試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａの一部であるが、説明の煩雑さを避けるため、通電部３１と信号検出用端子部とを別構成として説明している。
この信号検出用端子部２２は、試験対象品２０の電気特性試験において、試験対象品２０からの電圧等による試験信号が取り出されるための信号検出用端子部である。
試験装置３０における信号検出用端子部の接触面となる平坦面は試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａとなる平坦面と同一平面に位置し、第２の方向に向いている。
試験装置３０における信号検出用端子部の接触面は試験装置３０における通電部３１の接触面３１ａの一部であるが、説明の煩雑さを避けるため、通電部３１と信号検出用端子部とを別構成として説明している。
【0117】
導電性ブロック１１の第２の導電体１３は一隅部に第２の端面１１ｂから第２の方向に切りかかれた試験装置側の信号検出用プローブを装着するための切り欠き部を有する。
当該切り欠き部に絶縁材料で形成されたプローブ保持体が第２の導電体１３と絶縁されてねじ等で固定装着される。
当該プローブ保持体は、試験対象品側の信号検出用プローブ１７が固定装着されるプローブ保持体１８と同様の構成である。
当該切り欠き部に絶縁材料で形成されたプローブ保持体が第２の導電体１３と絶縁されてねじ等で固定装着される。
当該プローブ保持体は、試験対象品側の信号検出用プローブ１７が固定装着されるプローブ保持体１８と同様の構成である。
【0118】
当該プローブ保持体は外形が矩形をなし、上面が第２の導電体１３の下面と面一にし、一側面が第２の導電体１３の一側面と面一にし、一端面が第２の導電体１３の第２の端面１１ｂと面一にして、底面及び他側面が第２の導電体１３の切り欠き部に接して固定される。
なお、当該プローブ保持体の外形は円形でもよく、また、プローブ保持体の上面等の側面は第１の導電体の側面と面一にしなくとも良い。
当該プローブ保持体は、プローブ保持体１８と同様に一端面から内部に穿たれた断面円形のバレル用挿入孔と、バレル用挿入孔から連通し、バレル用挿入孔より小径の断面円形の信号配線体用挿入孔と、上面から信号体用挿入孔まで穿たれた信号配線用連通孔を有する。
なお、当該プローブ保持体の外形は円形でもよく、また、プローブ保持体の上面等の側面は第１の導電体の側面と面一にしなくとも良い。
当該プローブ保持体は、プローブ保持体１８と同様に一端面から内部に穿たれた断面円形のバレル用挿入孔と、バレル用挿入孔から連通し、バレル用挿入孔より小径の断面円形の信号配線体用挿入孔と、上面から信号体用挿入孔まで穿たれた信号配線用連通孔を有する。
【0119】
試験装置側の信号検出用プローブは信号検出用プローブ１７と同様に、信号検出用接触部とバレルとスプリングと信号配線体を有し、同様の構成である。
試験装置側の信号検出用プローブは第２の導電体１３の切り欠きに固定装着されたプローブ保持体のバレル用挿入孔に挿抜可能であり、当該プローブ保持体に組み込まれる。
試験装置側の信号検出用プローブはバレル用挿入孔に挿入されると、信号検出用プローブの信号検出用接触部が当該プローブ保持体の一端面から第１の方向に突出した状態で当該プローブ保持体に機械的に接続されて装着される。
試験装置側の信号検出用プローブは第２の導電体１３の切り欠きに固定装着されたプローブ保持体のバレル用挿入孔に挿抜可能であり、当該プローブ保持体に組み込まれる。
試験装置側の信号検出用プローブはバレル用挿入孔に挿入されると、信号検出用プローブの信号検出用接触部が当該プローブ保持体の一端面から第１の方向に突出した状態で当該プローブ保持体に機械的に接続されて装着される。
【0120】
また、試験装置側の信号検出用プローブの後端部となる信号配線体の他端部に、当該プローブ保持体の信号配線用連通孔を挿通される信号配線４０の他端がねじ止めされて、信号配線体と信号配線４０が電気的に接続される。
その結果、試験装置側の信号検出用プローブの信号配線体と試験対象品２０の信号検出用プローブ１７の信号配線体１７ｄは信号配線４０により電気的に接続される。
なお、信号配線４０は導電性ブロック１１の側面に絶縁膜又は絶縁層を介して張り付けた導電板によって構成してもよい。
その結果、試験装置側の信号検出用プローブの信号配線体と試験対象品２０の信号検出用プローブ１７の信号配線体１７ｄは信号配線４０により電気的に接続される。
なお、信号配線４０は導電性ブロック１１の側面に絶縁膜又は絶縁層を介して張り付けた導電板によって構成してもよい。
【0121】
試験対象品２０の電気特性試験を開始し、プローブユニット用可動部３８により通電用プローブユニット１０が前進させられ、試験装置側の信号検出用プローブの信号検出用接触部のプローブ接触子が試験装置３０における信号検出用端子部の接触面に押圧接触する。
その結果、通電用プローブユニット１０及び信号配線４０により、試験対象品２０における信号検出用端子部２２から試験装置３０における信号検出用端子部までの信号検出を行う信号経路が形成される。
試験装置３０における信号検出用端子部は信号検出部３５に電気的に接続されている。
その結果、通電用プローブユニット１０及び信号配線４０により、試験対象品２０における信号検出用端子部２２から試験装置３０における信号検出用端子部までの信号検出を行う信号経路が形成される。
試験装置３０における信号検出用端子部は信号検出部３５に電気的に接続されている。
【0122】
このように、導電性ブロック１１の第２の端面から第１の方向に突出した第２の信号検出用接触部を有し、導電性ブロック１１に電気的に絶縁状態にして装着され、第２の信号検出用接触部が第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し第１の方向に押圧力が与えられ、試験装置に対する信号検出用端子部に電気的に接続される試験装置側の信号検出用プローブを設けたことにより、試験装置側の信号検出用プローブ１７と試験装置側の信号検出用プローブを電気的に接続する信号配線４０は導電性ブロック１１の前後進に伴う動きと同様の動きを示すため、信号配線４０の捻じれ等による断線を防げる。
【0123】
なお、信号検出用プローブとしてバレルが絶縁材である一般に外バネ式と呼ばれるプローブを用い、第２の導電体１３の第２の端面１１ｂの一隅部に第２の端面１１ｂから内部に穿たれた挿入孔を形成し、当該挿入孔に信号検出用プローブを圧入装着してもよい。
また、信号検出用プローブにおいて、信号検出用プローブがプローブ保持体の一端面から内部に穿たれたバレル用挿入孔及び信号配線体用挿入孔に挿入されると、信号検出用プローブの信号検出用接触部における第１の方向に向いている接触面がプローブ保持体の一端面と同じ平面上に位置する状態、もしくは、一端面より内側に位置した状態でプローブ保持体に装着されるものでもよい。
また、信号検出用プローブにおいて、信号検出用プローブがプローブ保持体の一端面から内部に穿たれたバレル用挿入孔及び信号配線体用挿入孔に挿入されると、信号検出用プローブの信号検出用接触部における第１の方向に向いている接触面がプローブ保持体の一端面と同じ平面上に位置する状態、もしくは、一端面より内側に位置した状態でプローブ保持体に装着されるものでもよい。
【0124】
この場合、試験装置３０における信号検出用端子部において、信号検出用端子部の第２の方向に向いている平坦面における通電用プローブユニット１０の信号検出用プローブに対応した位置に、信号検出用プローブの信号検出用接触部における接触面と接触する接触面を有する突出部を設ければよい。
要するに、信号検出用プローブの信号検出用接触部における接触面が導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂ、本例においては導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂに相当するプローブ保持体の一端面に対して露出した状態で信号検出用プローブが導電性ブロック１１に装着されればよい。
要するに、信号検出用プローブの信号検出用接触部における接触面が導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂ、本例においては導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂに相当するプローブ保持体の一端面に対して露出した状態で信号検出用プローブが導電性ブロック１１に装着されればよい。
【0125】
試験対象品２０における信号検出用端子部２２が複数ある場合は、試験装置側の信号検出用プローブも複数の信号検出用端子部２２それぞれに対応させて複数配置すればよい。
また、試験装置側の信号検出用プローブ１７のストローク量と試験装置側の信号検出用プローブのストローク量が異なるようにしてもよい。
また、試験装置側の信号検出用プローブ１７のストローク量と試験装置側の信号検出用プローブのストローク量が異なるようにしてもよい。
【0126】
実施の形態２．
実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０を図５及び図６に基づいて説明する。
実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対し、導電性ブロック１１の側面に放熱用フィン１９が設けられた点が相違し、その他の点は実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
なお、図５及び図６中、図１から図４に付した符号と同一符号は同一又は相当部分を示す。
以下、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対する相違点である放熱用フィン１９を中心に説明する。
実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０を図５及び図６に基づいて説明する。
実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対し、導電性ブロック１１の側面に放熱用フィン１９が設けられた点が相違し、その他の点は実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
なお、図５及び図６中、図１から図４に付した符号と同一符号は同一又は相当部分を示す。
以下、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対する相違点である放熱用フィン１９を中心に説明する。
【0127】
放熱用フィン１９は高熱伝導材料及び低電気抵抗材料で形成され、放熱面積を拡大するフィン形状である。
放熱用フィン１９は導電性ブロック１１と一体的に形成してもよく、別体に形成した後、溶接等により装着しても良い。
別体とした場合、放熱用フィン１９は導電性ブロック１１と同様に、銅又はアルミニウムなどの電気抵抗度の小さい導電性材料で形成される。
放熱用フィン１９は導電性ブロック１１と一体的に形成してもよく、別体に形成した後、溶接等により装着しても良い。
別体とした場合、放熱用フィン１９は導電性ブロック１１と同様に、銅又はアルミニウムなどの電気抵抗度の小さい導電性材料で形成される。
【0128】
放熱用フィン１９を導電性材料で形成した場合、電流が流れる体積が増え、結果として、放熱用フィン１９を加えた導電性ブロック１１の抵抗値も小さくなる。
また、放熱用フィン１９を導電性ブロック１１と別体とした場合、放熱用フィン１９は高熱伝導材料であるシリコンなどで形成された絶縁タイプのサーマルシートなどでもよい。
本例において、一体に形成した場合も、別体に形成した場合も、導電性ブロック１１の側面に設けられたと表現する。
また、放熱用フィン１９を導電性ブロック１１と別体とした場合、放熱用フィン１９は高熱伝導材料であるシリコンなどで形成された絶縁タイプのサーマルシートなどでもよい。
本例において、一体に形成した場合も、別体に形成した場合も、導電性ブロック１１の側面に設けられたと表現する。
【0129】
放熱用フィン１９は、導電性ブロック１１の側面である上面に設けられた上面用放熱用フィン１９ａと、両側面それぞれに設けられた側面用放熱用フィン１９ｂ、１９ｃにより構成される。
なお、導電性ブロック１１の下面に下面用放熱用フィンを設けても良い。
上面用放熱用フィン１９ａは、導電性ブロック１１の第１の導電体１２の上面に、プローブ保持体１８の上面を除いた位置から第１の導電体１２の他端まで配置される。
なお、導電性ブロック１１の下面に下面用放熱用フィンを設けても良い。
上面用放熱用フィン１９ａは、導電性ブロック１１の第１の導電体１２の上面に、プローブ保持体１８の上面を除いた位置から第１の導電体１２の他端まで配置される。
【0130】
側面用放熱用フィン１９ｂは、第１の導電体１２における他端部の一側面、第２の導電体における他端部の一側面、及び第３の導電体１４における一側面のすべての領域に配置される。
側面用放熱用フィン１９ｃは、第１の導電体１２における他端部の他側面、第２の導電体１３における他端部の他側面、及び第３の導電体１４における他側面のすべての領域に配置される。
下面用放熱用フィンを設けた場合、下面用放熱用フィンは第２の導電体１３の下面のすべての領域に配置される。
側面用放熱用フィン１９ｃは、第１の導電体１２における他端部の他側面、第２の導電体１３における他端部の他側面、及び第３の導電体１４における他側面のすべての領域に配置される。
下面用放熱用フィンを設けた場合、下面用放熱用フィンは第２の導電体１３の下面のすべての領域に配置される。
【0131】
通電用プローブユニット１０の通電経路、つまり、複数の通電用プローブ１６から導電性ブロック１１を介して複数の通電用プローブ１５に至る通電経路に大電流が流れると、 通電用プローブ１５において、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａと試験対象品２０における通電部２１との接触抵抗と、第１の接触部１５ａにおけるボス部１５ａ３とバレル１５ｂとの接触抵抗及びバレル１５ｂと第１の導電体１２との接触抵抗によりジュール熱が発生し、通電用プローブ１５は加熱される。
同様に、通電用プローブ１６において、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａと試験装置３０における通電部３１との接触抵抗と、第２の接触部１６ａにおけるボス部１６ａ３とバレル１６ｂとの接触抵抗及びバレル１６ｂと第２の導電体１３との接触抵抗によりジュール熱が発生し、通電用プローブ１６は加熱される。
同様に、通電用プローブ１６において、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａと試験装置３０における通電部３１との接触抵抗と、第２の接触部１６ａにおけるボス部１６ａ３とバレル１６ｂとの接触抵抗及びバレル１６ｂと第２の導電体１３との接触抵抗によりジュール熱が発生し、通電用プローブ１６は加熱される。
【0132】
通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６が加熱され、温度上昇すると通電用プローブユニット１０の通電経路における抵抗値の増加を招くことにより、通電用プローブユニット１０の通電経路における大電流の通電に弊害が生じるが、放熱用フィン１９により通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６により発生する熱を導電性ブロック１１の外部に放熱する。
【0133】
その結果、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度上昇を抑えることができ、通電用プローブユニット１０の通電経路における抵抗値の増加を抑制し、抵抗値の増加による通電電流の減少を抑制し、通電用プローブユニット１０の通電経路における大電流の通電に弊害が生じることがなく、大電流の通電の安定化が図れる。
また、導電性ブロック１１の温度上昇を抑えることができ、プローブ保持体１８及びプローブユニット用可動部３８における装着部３８ｃの温度上昇も抑えることができるので、プローブ保持体１８及び装着部３８ｃに耐熱温度の低い材料を用いることができる。
また、導電性ブロック１１の温度上昇を抑えることができ、プローブ保持体１８及びプローブユニット用可動部３８における装着部３８ｃの温度上昇も抑えることができるので、プローブ保持体１８及び装着部３８ｃに耐熱温度の低い材料を用いることができる。
【0134】
実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同様の効果を有し、さらに、導電性ブロック１１の側面に放熱用フィン１９を設けたことにより、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度上昇を抑えることができ、通電用プローブユニット１０の通電経路により大電流を流すことができる。
【0135】
なお、実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１として示したように、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａの接触面及び信号検出用プローブ１７の第１の信号検出用接触部の接触面が、導電性ブロック１１の第１の端面１１ａと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第１の端面１１ａより内側に位置した状態で通電用プローブ１５及び信号検出用プローブ１７が導電性ブロック１１に装着されてもよい。
【0136】
また、実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例２として示したように、通電用プローブ１５のストローク量と通電用プローブ１６のストローク量が異なる通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６を用いても良い。
さらに、実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例３として示したように、試験装置側の信号検出用プローブを備えた構成としても良い。
さらに、実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例３として示したように、試験装置側の信号検出用プローブを備えた構成としても良い。
【0137】
実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１及び変形例３として示したように、通電用プローブ１６通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａの接触面及び試験装置側の信号検出用プローブの第２の信号検出用接触部の接触面が、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第１の端面１１ａより内側に位置した状態で通電用プローブ１５及び信号検出用プローブ１７が導電性ブロック１１に装着されてもよい。
【0138】
実施の形態３．
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０を図７及び図８に基づいて説明する。
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対し、導電性ブロック１１の内部に流体が流れる流体流路１２１、１３１、１４１を形成した点が相違し、その他の点は実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
なお、図７及び図８中、図１から図４に付した符号と同一符号は同一又は相当部分を示す。
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０を図７及び図８に基づいて説明する。
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対し、導電性ブロック１１の内部に流体が流れる流体流路１２１、１３１、１４１を形成した点が相違し、その他の点は実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
なお、図７及び図８中、図１から図４に付した符号と同一符号は同一又は相当部分を示す。
【0139】
以下、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０に対する相違点である流体流路１２１～１２３が形成された導電性ブロック１１を中心に説明する。
なお、以下の例では、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度上昇を抑えるために、流体流路１２１、１３１、１４１を冷媒を流す冷媒流路として説明する。
したがって、流体を冷媒として説明する。
なお、以下の例では、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度上昇を抑えるために、流体流路１２１、１３１、１４１を冷媒を流す冷媒流路として説明する。
したがって、流体を冷媒として説明する。
【0140】
導電性ブロック１１は冷媒流入口１０１と第１の冷媒流出口１０２と第２の冷媒流出口１０３を有する。
冷媒流入口１０１は円形又は多角形であり、導電性ブロック１１の第１の導電体１２における他端部の上面に形成される。
第１の冷媒流出口１０２は円形又は多角形であり、導電性ブロック１１の第１の端面１１ａの中央に形成される。
第２の冷媒流出口１０３は円形又は多角形であり、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂの中央に形成される。
冷媒流入口１０１は円形又は多角形であり、導電性ブロック１１の第１の導電体１２における他端部の上面に形成される。
第１の冷媒流出口１０２は円形又は多角形であり、導電性ブロック１１の第１の端面１１ａの中央に形成される。
第２の冷媒流出口１０３は円形又は多角形であり、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂの中央に形成される。
【0141】
導電性ブロック１１の内部に、冷媒流入口１０１から第１の冷媒流出口１０２に至る第１の冷媒流路と冷媒流入口１０１から第２の冷媒流出口１０３に至る第２の冷媒流路を有する。
第１の冷媒流路は第１の導電体１２の軸心に位置し、断面円形又は多角形であり、冷媒流入口１０１と第１の冷媒流出口１０２との間を連通する冷媒流路１２１である。
第２の冷媒流路は、第２の導電体１３の軸心に位置し、断面円形又は多角形であり、第２の冷媒流出口１０３と第３の導電体１４の軸心との間を連通する冷媒流路１３１と、第３の導電体１４の軸心に位置し、断面円形又は多角形であり、冷媒流入口１０１と第２の導電体１３の軸心との間を連通する冷媒流路１４１により構成される。
第１の冷媒流路は第１の導電体１２の軸心に位置し、断面円形又は多角形であり、冷媒流入口１０１と第１の冷媒流出口１０２との間を連通する冷媒流路１２１である。
第２の冷媒流路は、第２の導電体１３の軸心に位置し、断面円形又は多角形であり、第２の冷媒流出口１０３と第３の導電体１４の軸心との間を連通する冷媒流路１３１と、第３の導電体１４の軸心に位置し、断面円形又は多角形であり、冷媒流入口１０１と第２の導電体１３の軸心との間を連通する冷媒流路１４１により構成される。
【0142】
冷媒流入口１０１に流入された冷媒は、冷媒流路１２１と冷媒流路１４１との合流点で分流され、一方の冷媒は冷媒流路１２１により構成される第１の冷媒流路を流れて第１の冷媒流出口１０２から流出され、他方の冷媒は冷媒流路１４１及び冷媒流路１３１により構成される第２の冷媒流路を流れて第２の冷媒流出口１０３から流出される。
冷媒は空気又は水などの液体であり、空気又は水に限られるものではなく、一般に知られている冷媒であり、導電性ブロック１１の内部の冷媒流路に流せる流体であればよい。
冷媒は空気又は水などの液体であり、空気又は水に限られるものではなく、一般に知られている冷媒であり、導電性ブロック１１の内部の冷媒流路に流せる流体であればよい。
【0143】
冷媒が第１の冷媒流路及び第２の冷媒流路を流れることにより、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６により発生する熱を冷媒を介して導電性ブロック１１の外部に放熱する。
その結果、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度上昇を抑えることができ、通電用プローブユニット１０の通電経路における抵抗値の増加を抑制し、抵抗値の増加による通電電流の減少を抑制し、通電用プローブユニット１０の通電経路における大電流の通電に弊害が生じることがなく、大電流の通電の安定化が図れる。
その結果、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度上昇を抑えることができ、通電用プローブユニット１０の通電経路における抵抗値の増加を抑制し、抵抗値の増加による通電電流の減少を抑制し、通電用プローブユニット１０の通電経路における大電流の通電に弊害が生じることがなく、大電流の通電の安定化が図れる。
【0144】
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０は、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同様の効果を有し、さらに、導電性ブロック１１の内部に、冷媒流入口１０１から第１の冷媒流出口１０２に至る第１の冷媒流路と冷媒流入口１０１から第２の冷媒流出口１０３に至る第２の冷媒流路を形成したことにより、通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度上昇を抑えることができ、通電用プローブユニット１０の通電経路により大電流を流すことができる。
【0145】
なお、第１の冷媒流路における第１の冷媒流出口１０２は、導電性ブロック１１の第１の端面１１ａの中央に形成されたものではなく、導電性ブロック１１の側面に形成されたものでもよい。
第１の冷媒流路は第１の導電体１２の軸心に位置せず、軸心からずれた位置に形成してもよい。
第１の冷媒流路は第１の導電体１２の軸心に位置せず、軸心からずれた位置に形成してもよい。
【0146】
また、第２の冷媒流路における第２の冷媒流出口１０３は、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂの中央に形成されたものではなく、導電性ブロック１１の側面に形成されたものでもよい。
第２の冷媒流路は第２の導電体１３の軸心及び第３の導電体１４の軸心に位置せず、第２の導電体１３の軸心及び第３の導電体１４の軸心それぞれからずれた位置に形成してもよい。
第２の冷媒流路は第２の導電体１３の軸心及び第３の導電体１４の軸心に位置せず、第２の導電体１３の軸心及び第３の導電体１４の軸心それぞれからずれた位置に形成してもよい。
【0147】
さらに、第１の冷媒流出口１０２と第２の冷媒流出口１０３の２つの冷媒流出口を形成するのではなく、１つの冷媒流出口を導電性ブロック１１に形成し、冷媒流入口１０１から１つの冷媒流出口に至る冷媒流路としてもよい。この場合、冷媒流入口１０１は導電性ブロック１１の第１の導電体１２における他端部の上面に形成されなくともよい。
冷媒流出口を導電性ブロック１１に３つ以上形成し、３つ以上の冷媒流路を導電性ブロック１１の内部に形成してもよい。
冷媒流出口を導電性ブロック１１に３つ以上形成し、３つ以上の冷媒流路を導電性ブロック１１の内部に形成してもよい。
【0148】
なお、試験対象品２０における電気特性試験において、導電性ブロック１１と通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度を維持させる必要がある特性試験がある。
この場合、第１の冷媒流路及び第２の冷媒流路に設定温度を有する湯などの流体を流すことにより、第１の流体流路及び第２の流体流路を流れる流体から導電性ブロック１１に熱量を加えることができ、導電性ブロック１１と通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度を設定温度に維持でき、通電用プローブユニット１０の通電経路における抵抗値を適正に管理することができる。
この場合、第１の冷媒流路及び第２の冷媒流路に設定温度を有する湯などの流体を流すことにより、第１の流体流路及び第２の流体流路を流れる流体から導電性ブロック１１に熱量を加えることができ、導電性ブロック１１と通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６の温度を設定温度に維持でき、通電用プローブユニット１０の通電経路における抵抗値を適正に管理することができる。
【0149】
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１として示したように、通電用プローブ１５の第１の接触部１５ａの接触面及び信号検出用プローブ１７の第１の信号検出用接触部の接触面が、導電性ブロック１１の第１の端面１１ａと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第１の端面１１ａより内側に位置した状態で通電用プローブ１５及び信号検出用プローブ１７が導電性ブロック１１に装着されてもよい。
【0150】
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例２として示したように、通電用プローブ１５のストローク量と通電用プローブ１６のストローク量が異なる通電用プローブ１５及び通電用プローブ１６を用いても良い。
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例３として示したように、試験装置側の信号検出用プローブを備えた構成としても良い。
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例３として示したように、試験装置側の信号検出用プローブを備えた構成としても良い。
【0151】
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１及び変形例３として示したように、通電用プローブ１６の第２の接触部１６ａの接触面及び試験装置側の信号検出用プローブの第２の信号検出用接触部の接触面が、導電性ブロック１１の第２の端面１１ｂと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第１の端面１１ａより内側に位置した状態で通電用プローブ１５及び信号検出用プローブ１７が導電性ブロック１１に装着されてもよい。
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０として示したように、導電性ブロック１１の側面に放熱用フィン１９を設けても良い。
実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０として示したように、導電性ブロック１１の側面に放熱用フィン１９を設けても良い。
【0152】
実施の形態４．
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０を図９及び図１０に基づいて説明する。
なお、図９及び図１０中、図１から図４に付した符号と同一符号は同一又は相当部分を示す。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、電気特性試験において、試験装置３０の電力出力端子である通電部３１から試験対象品２０の電力入力端子である通電部２１へ大電流を通電する通電経路を形成する通電導体の役割を果たす通電用プローブユニットである。
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０を図９及び図１０に基づいて説明する。
なお、図９及び図１０中、図１から図４に付した符号と同一符号は同一又は相当部分を示す。
実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０は、電気特性試験において、試験装置３０の電力出力端子である通電部３１から試験対象品２０の電力入力端子である通電部２１へ大電流を通電する通電経路を形成する通電導体の役割を果たす通電用プローブユニットである。
【0153】
これに対して、実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０は、電気特性試験において、第１の極であるＰ(正）極と第２の極であるＮ(負）極の２つの電力端子を有する試験対象品２０に対し、試験対象品２０のＰ極用通電部である第１の通電部２１Ｐ及びＮ極用通電部である第２の通電部２１Ｎそれぞれと試験装置３０のＰ極用通電部である第１の通電部３１Ｐ及びＮ極用通電部である第２の通電部３１Ｎそれぞれとを電気的に接続する。
【0154】
すなわち、実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０は、電気特性試験において、試験装置３０のＰ極用の電力端子である第１の通電部３１Ｐから試験対象品２０のＰ極用の電力入力端子である第１の通電部２１Ｐへ大電流を通電する通電経路を形成し、試験対象品２０のＮ極用の電力端子である第２の通電部２１Ｎから試験装置３０のＮ極用の電力端子である第２の通電部３１Ｎへ大電流を通電する通電経路を形成する通電導体の役割を果たす通電用プローブユニットである。
【0155】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０はＰ極通電用プローブユニット１０ＰとＮ極通電用プローブユニット１０Ｎと絶縁体５０を備える。
Ｐ極通電用プローブユニット１０ＰとＮ極通電用プローブユニット１０Ｎそれぞれは実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
したがって、以下、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の構成要素と同じＰ極通電用プローブユニット１０Ｐの構成要素には符号に添え字としてＰを付加し、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の構成要素と同じＮ極通電用プローブユニット１０Ｎの構成要素には符号に添え字としてＮを付加して説明する。
Ｐ極通電用プローブユニット１０ＰとＮ極通電用プローブユニット１０Ｎそれぞれは実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同じである。
したがって、以下、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の構成要素と同じＰ極通電用プローブユニット１０Ｐの構成要素には符号に添え字としてＰを付加し、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の構成要素と同じＮ極通電用プローブユニット１０Ｎの構成要素には符号に添え字としてＮを付加して説明する。
【0156】
試験対象品２０には、Ｐ極に対応する電力端子である第１の通電部２１Ｐ及びＮ極に対応する電力端子である第２の通電部２１ＮとＰ極に対応する第１の信号検出用端子部２２Ｐ及びＮ極に対応する第２の信号検出用端子部２２Ｎが設けられている。
第１の通電部２１Ｐ及び第２の通電部２１Ｎは互いに電気的に絶縁され、第１の信号検出用端子部２２Ｐ及び第２の信号検出用端子部２２Ｎは互いに電気的に絶縁されている。
第１の通電部２１Ｐ及び第２の通電部２１Ｎは互いに電気的に絶縁され、第１の信号検出用端子部２２Ｐ及び第２の信号検出用端子部２２Ｎは互いに電気的に絶縁されている。
【0157】
第１の信号検出用端子部２２Ｐの接触面２２ａＰは第１の通電部２１Ｐの接触面２１ａＰの一部であるが、説明の煩雑さを避けるため、第１の通電部２１Ｐと第１の信号検出用端子部２２Ｐとを別構成として説明している。
同様に、第２の信号検出用端子部２２Ｎの接触面２２ａＮは第２の通電部２１Ｎの接触面２１ａＮの一部であるが、説明の煩雑さを避けるため、第２の通電部２１Ｎと第２の信号検出用端子部２２Ｎとを別構成として説明している。
第１の通電部２１Ｐの接触面２１ａＰ及び第２の通電部２１Ｎの接触面２１ａＮと第１の信号検出用端子部２２Ｐの接触面２２ａＰ及び第２の信号検出用端子部２２Ｎの接触面２２ａＮは平坦面であり、同一平面上に位置する。
同様に、第２の信号検出用端子部２２Ｎの接触面２２ａＮは第２の通電部２１Ｎの接触面２１ａＮの一部であるが、説明の煩雑さを避けるため、第２の通電部２１Ｎと第２の信号検出用端子部２２Ｎとを別構成として説明している。
第１の通電部２１Ｐの接触面２１ａＰ及び第２の通電部２１Ｎの接触面２１ａＮと第１の信号検出用端子部２２Ｐの接触面２２ａＰ及び第２の信号検出用端子部２２Ｎの接触面２２ａＮは平坦面であり、同一平面上に位置する。
【0158】
試験装置３０には、Ｐ極に対応する電力端子である第１の通電部３１Ｐ及びＮ極に対応する電力端子である第２の通電部３１Ｎが設けられている。
第１の通電部３１Ｐ及び第２の通電部３１Ｎは互いに電気的に絶縁されている。
第１の通電部３１Ｐの接触面３１ａＰ及び第２の通電部３１Ｎの接触面３１ａＮは平坦面であり、同一平面上に位置する。
第１の通電部３１Ｐ及び第２の通電部３１Ｎは互いに電気的に絶縁されている。
第１の通電部３１Ｐの接触面３１ａＰ及び第２の通電部３１Ｎの接触面３１ａＮは平坦面であり、同一平面上に位置する。
【0159】
Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐは、第１の導電性ブロック１１Ｐと、複数の試験対象品側の第１の通電用プローブ１５Ｐと、複数の試験装置側の第１の通電用プローブ１６Ｐと、試験対象品側の第１の信号検出用プローブ１７Ｐを備える。
第１の導電性ブロック１１Ｐは第１の端面１１ａＰと第２の端面１１ｂＰを有し、導電性材料で形成される。
第１の導電性ブロック１１Ｐは第１の端面１１ａＰと第２の端面１１ｂＰを有し、導電性材料で形成される。
【0160】
複数の試験対象品側の第１の通電用プローブ１５Ｐはそれぞれが第１の導電性ブロック１１Ｐの第１の端面１１ａＰから第１の方向に突出した第１の接触部１５ａＰを有し、第１の導電性ブロック１１Ｐに電気的及び機械的に接続され、第１の接触部１５ａＰが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品２０に対する第１の通電部２１Ｐに電気的に接続される。
【0161】
複数の試験装置側の第１の通電用プローブ１６Ｐはそれぞれが第１の導電性ブロック１１Ｐの第２の端面１１ｂＰから第１の方向に突出した第２の接触部１６ａＰを有し、第１の導電性ブロック１１Ｐに電気的及び機械的に接続され、第２の接触部１６ａＰが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験装置３０における第１の通電部３１Ｐに電気的に接続される。
【0162】
試験対象品側の第１の信号検出用プローブ１７Ｐは第１の導電性ブロック１１Ｐの第１の端面１１ａＰから第１の方向に突出した第１の信号検出用接触部１７ａＰを有し、第１の導電性ブロック１１Ｐに第１のプローブ保持体１８Ｐを介して電気的に絶縁状態にして装着され、第１の信号検出用接触部１７ａＰが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品２０に対する第１の信号検出用端子部２２Ｐに電気的に接続される。
【0163】
Ｎ極通電用プローブユニット１０Ｎは、第２の導電性ブロック１１Ｎと、複数の試験対象品側の第２の通電用プローブ１５Ｎと、複数の試験装置側の第２の通電用プローブ１６Ｎと、試験対象品側の第２の信号検出用プローブ１７Ｎを備える。
第２の導電性ブロック１１Ｎは第３の端面１１ａＮと第４の端面１１ｂＮを有し、導電性材料で形成される。
第２の導電性ブロック１１Ｎは第３の端面１１ａＮと第４の端面１１ｂＮを有し、導電性材料で形成される。
【0164】
複数の試験対象品側の第２の通電用プローブ１５Ｎはそれぞれが第２の導電性ブロック１１Ｎの第３の端面１１ａＮから第１の方向に突出した第３の接触部１５ａＮを有し、第２の導電性ブロック１１Ｎに電気的及び機械的に接続され、第３の接触部１５ａＮが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品２０に対する第２の通電部２１Ｎに電気的に接続される。
【0165】
複数の試験装置側の第２の通電用プローブ１６Ｎはそれぞれが第２の導電性ブロック１１Ｎの第４の端面１１ｂＮから第１の方向に突出した第４の接触部１６ａＮを有し、第２の導電性ブロック１１Ｎに電気的及び機械的に接続され、第４の接触部１６ａＮが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験装置３０における第２の通電部３１Ｎに電気的に接続される。
【0166】
試験対象品側の第２の信号検出用プローブ１７Ｎは第２の導電性ブロック１１Ｎの第３の端面１１ａＮから第１の方向に突出した第２の信号検出用接触部１７ａＮを有し、第２の導電性ブロック１１Ｎに第２のプローブ保持体１８Ｎを介して電気的に絶縁状態にして装着され、第２の信号検出用接触部１７ａＮが第１の方向及び第２の方向に可動自在に移動し、第１の方向に押圧力が与えられて試験対象品２０に対する第２の信号検出用端子部２２Ｎに電気的に接続される。
【0167】
第１の導電性ブロック１１Ｐと第２の導電性ブロック１１Ｎは第５の方向に絶縁体５０を介して設けられる。
つまり、第１の導電性ブロック１１Ｐの一側面と第２の導電性ブロック１１Ｎの他側面との間に絶縁体５０を介して、第１の導電性ブロック１１Ｐと第２の導電性ブロック１１Ｎと絶縁体５０が一体化される。
つまり、第１の導電性ブロック１１Ｐの一側面と第２の導電性ブロック１１Ｎの他側面との間に絶縁体５０を介して、第１の導電性ブロック１１Ｐと第２の導電性ブロック１１Ｎと絶縁体５０が一体化される。
【0168】
第１の導電性ブロック１１Ｐの第１の端面１１ａＰと第２の導電性ブロック１１Ｎの第３の端面１１ａＮは同一平面上に位置する。
第１の導電性ブロック１１Ｐの第２の端面１１ｂＰと第２の導電性ブロック１１Ｎの第４の端面１１ｂＮは同一平面上に位置する。
第１の導電性ブロック１１Ｐの第２の端面１１ｂＰと第２の導電性ブロック１１Ｎの第４の端面１１ｂＮは同一平面上に位置する。
【0169】
通電用プローブユニット１０において、Ｐ極通電用プローブユニット１０ＰとＮ極通電用プローブユニット１０Ｎは電気的に絶縁され、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐは試験対象品２０の第１の通電部２１Ｐと試験装置３０の第１の通電部３１Ｐとを電気的に接続し、Ｎ極通電用プローブユニット１０Ｎは試験対象品２０の第２の通電部２１Ｎと試験装置３０の第２の通電部３１Ｎとを電気的に接続する。
Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐに流れる電流の方向とＮ極通電用プローブユニット１０Ｎに流れる電流の方向は逆方向である。
その結果、Ｐ極通電用プローブユニット１０ＰとＮ極通電用プローブユニット１０Ｎによるインダクタンスは低減される。
Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐに流れる電流の方向とＮ極通電用プローブユニット１０Ｎに流れる電流の方向は逆方向である。
その結果、Ｐ極通電用プローブユニット１０ＰとＮ極通電用プローブユニット１０Ｎによるインダクタンスは低減される。
【0170】
試験対象品２０の電気特性試験を開始すると、プローブユニット用可動部３８におけるアクチュエータ３８ａは、プローブユニット用可動部３８における可動部３８ｂを前進させ、つまり第１の方向に移動させてプローブユニット用可動部３８における装着部３８ｃに装着された通電用プローブユニット１０を第１の方向に移動させる。
【0171】
通電用プローブユニット１０のＰ極通電用プローブユニット１０Ｐにおける複数の試験対象品側の第１の通電用プローブ１５Ｐの第１の接触部１５ａＰが試験対象品２０に対する第１の通電部２１Ｐの接触面２１ａＰに押圧接触し、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐにおける複数の試験装置側の第１の通電用プローブ１６Ｐの第２の接触部１６ａＰが試験装置３０における第１の通電部３１Ｐの接触面２１ａＰに押圧接触し、第１の信号検出用プローブ１７Ｐの第１の信号検出用接触部１７ａＰが試験対象品２０に対する第１の信号検出用端子部２２Ｐの接触面２２ａＰに押圧接触するまで、アクチュエータ３８ａは通電用プローブユニット１０を第１の方向に移動させ、停止する。
【0172】
この時、同時に、通電用プローブユニット１０のＮ極通電用プローブユニット１０Ｎにおける複数の試験対象品側の第２の通電用プローブ１５Ｎの第３の接触部１５ａＮが試験対象品２０に対する第２の通電部２１Ｎの接触面２１ａＮに押圧接触し、Ｎ極通電用プローブユニット１０Ｎにおける複数の試験装置側の第２の通電用プローブ１６Ｎの第４の接触部１６ａＮが試験装置３０における第２の通電部３１Ｎの接触面２１ａＮに押圧接触し、第２の信号検出用プローブ１７Ｎの第２の信号検出用接触部１７ａＮが試験対象品２０に対する第２の信号検出用端子部２２Ｎの接触面２２ａＮに押圧接触する。
【0173】
したがって、通電用プローブユニット１０をプローブユニット用可動部３８により第１の方向に移動させることにより、通電用プローブユニット１０におけるＰ極通電用プローブユニット１０Ｐが試験装置３０の第１の通電部３１Ｐから試験対象品２０の第１の通電部２１Ｐまでの通電経路を、Ｎ極通電用プローブユニット１０Ｎが試験対象品２０の第２の通電部２１Ｎから試験装置３０の第２の通電部３１Ｎまでの通電経路を同時に形成できる。
この時、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐにより形成される通電経路及びＮ極通電用プローブユニット１０Ｎにより形成される通電経路は、共に全体において、低インピーダンス化が図れるとともにインダクタンスの安定化を図れ、両方の通電経路に大電流を流すことができ、試験対象品２０へ大電流を供給できる。
この時、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐにより形成される通電経路及びＮ極通電用プローブユニット１０Ｎにより形成される通電経路は、共に全体において、低インピーダンス化が図れるとともにインダクタンスの安定化を図れ、両方の通電経路に大電流を流すことができ、試験対象品２０へ大電流を供給できる。
【0174】
また、同時に、第１の信号検出用プローブ１７Ｐと試験対象品２０の第１の信号検出用端子部２２Ｐとの電気的接続、及び第２の信号検出用プローブ１７Ｎと試験対象品２０の第２の信号検出用端子部２２Ｎとの電気的接続を確実に行える。
【0175】
以上に述べたように、実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０は、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐ及びＮ極通電用プローブユニット１０Ｎにおいて、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０と同様の効果を有し、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐにより形成される通電経路及びＮ極通電用プローブユニット１０Ｎにより形成される通電経路に通電用配線を使用する必要もなく、プローブユニット用可動部３８により第１の方向に移動させるという簡単な操作により容易に形成できる。
【0176】
しかも、両方の通電経路に大電流を流すことができ、試験対象品２０へ大電流を供給できるとともに、両方の通電経路におけるインダクタンスは安定しており、試験対象品２０の電気特性試験における計測が安定して行える。
また、通電用プローブユニット１０をプローブユニット用可動部３８の装着部３８ｃに装着したまま、第１の通電用プローブ１５Ｐ及び第２の通電用プローブ１５Ｎと第１の通電用プローブ１６Ｐ及び第２の通電用プローブ１６Ｎそれぞれの交換メンテナンスを行え、第１の通電用プローブ１５Ｐ及び第２の通電用プローブ１５Ｎと第１の通電用プローブ１６Ｐ及び第２の通電用プローブ１６Ｎそれぞれの交換作業が容易であり、メンテナンス時間を削減できる。
また、通電用プローブユニット１０をプローブユニット用可動部３８の装着部３８ｃに装着したまま、第１の通電用プローブ１５Ｐ及び第２の通電用プローブ１５Ｎと第１の通電用プローブ１６Ｐ及び第２の通電用プローブ１６Ｎそれぞれの交換メンテナンスを行え、第１の通電用プローブ１５Ｐ及び第２の通電用プローブ１５Ｎと第１の通電用プローブ１６Ｐ及び第２の通電用プローブ１６Ｎそれぞれの交換作業が容易であり、メンテナンス時間を削減できる。
【0177】
さらに、第１の信号検出用プローブ１７Ｐと第１の信号検出用端子部２２Ｐとの電気的接続、及び第２の信号検出用プローブ１７Ｎと第２の信号検出用端子部２２Ｎとの電気的接続が容易かつ確実に行える。
【0178】
なお、実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１として示したように、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐにおける第１の通電用プローブ１５Ｐの第１の接触部１５ａＰの接触面及び第１の信号検出用プローブ１７Ｐの第１の信号検出用接触部の接触面が、第１の導電性ブロック１１Ｐの第１の端面１１ａＰと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第１の端面１１ａＰより内側に位置した状態で第１の通電用プローブ１５Ｐ及び第１の信号検出用プローブ１７Ｐが第１の導電性ブロック１１Ｐに装着されてもよい。
【0179】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１として示したように、Ｎ極通電用プローブユニット１０Ｎにおける第２の通電用プローブ１５Ｎの第３の接触部１５ａＮの接触面及び第２の信号検出用プローブ１７Ｎの第２の信号検出用接触部の接触面が、第２の通電用プローブ１５Ｎの第３の端面１１ａＮと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第３の端面１１ａＮより内側に位置した状態で第２の通電用プローブ１５Ｎ及び第２の信号検出用プローブ１７Ｎが第２の通電用プローブ１５Ｎに装着されてもよい。
【0180】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例２として示したように、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐにおける第１の通電用プローブ１５Ｐ及びＮ極通電用プローブユニット１０Ｎにおける第２の通電用プローブ１５Ｎそれぞれ0038ーク量とＰ極通電用プローブユニット１０Ｐにおける第１の通電用プローブ１６Ｐ及びＮ極通電用プローブユニット１０Ｎにおける第２の通電用プローブ１６Ｎそれぞれのストローク量が異なる通電用プローブ１５Ｐ及び通電用プローブ１５Ｎと通電用プローブ１６Ｐ及び通電用プローブ１６Ｎを用いてもよい。
【0181】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例３として示したように、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐ及びＮ極通電用プローブユニット１０Ｎそれぞれに試験装置側の信号検出用プローブを備えた構成としてもよい。
【0182】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１及び変形例３として示したように、Ｐ極通電用プローブユニット１０Ｐにおける第１の通電用プローブ１６Ｐの第２の接触部１６ａＰの接触面及び試験装置側の信号検出用プローブの信号検出用接触部の接触面が、第１の導電性ブロック１１Ｐの第２の端面１１ｂＰと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第２の端面１１ｂＰより内側に位置した状態で第１の通電用プローブ１６Ｐ及び試験装置側の信号検出用プローブが第１の導電性ブロック１１Ｐに装着されてもよい。
【0183】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態１に係る通電用プローブユニット１０の変形例１及び変形例３として示したように、Ｎ極通電用プローブユニット１０Ｎにおける第２の通電用プローブ１６Ｎの第４の接触部１６ａＮの接触面及び試験装置側の信号検出用プローブの信号検出用接触部の接触面が、第２の導電性ブロック１１Ｎの第４の端面１１ｂＮと同じ平面上に位置する状態、もしくは、第４の端面１１ｂＮより内側に位置した状態で第２の通電用プローブ１６Ｎ及び試験装置側の信号検出用プローブが第２の導電性ブロック１１Ｎに装着されてもよい。
【0184】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態２に係る通電用プローブユニット１０と同様に、第１の導電性ブロック１１Ｐの上面及び他側面と第２の導電性ブロック１１Ｎの上面及び一側面に放熱用フィン１９を設けてもよい。
【0185】
実施の形態４に係る通電用プローブユニット１０において、実施の形態３に係る通電用プローブユニット１０と同様に、第１の導電性ブロック１１Ｐの内部に、冷媒流入口１０１から第１の冷媒流出口１０２に至る第１の冷媒流路と冷媒流入口１０１から第２の冷媒流出口１０３に至る第２の冷媒流路を形成し、第２の導電性ブロック１１Ｎの内部に、冷媒流入口１０１から第１の冷媒流出口１０２に至る第１の冷媒流路と冷媒流入口１０１から第２の冷媒流出口１０３に至る第２の冷媒流路を形成してもよい。
【0186】
なお、各実施の形態の自由な組み合わせ、各実施の形態の任意の構成要素の変形、または各実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
【産業上の利用可能性】
【0187】
本開示の通電用プローブユニットは、モーター、インバータ、又はパワー半導体装置等の半導体製品など、特に大電流が流れる大電流仕様の試験対象品に試験装置から大電流を供給するための、試験対象品の通電部と試験装置の通電部とを電気的に接続するのに好適である。
【符号の説明】
【0188】
１０ 通電用プローブユニット、１０Ｐ Ｐ極通電用プローブユニット、１０Ｎ Ｎ極通電用プローブユニット、１１ 導電性ブロック、１１ａ 第１の端面、１１ｂ 第２の端面、１１Ｐ 第１の導電性ブロック、１１Ｎ 第２の導電性ブロック、１２ 第１の導電体、１３ 第２の導電体、１４ 第３の導電体、１５、１５１～１５７ 試験対象品側の通電用プローブ、１５ａ 第１の接触部、１５Ｐ 第１の通電用プローブ、１５Ｎ 第２の通電用プローブ、１６、１６１～１６８ 試験装置側の通電用プローブ、１６ａ 第２の接触部、１７ 信号検出用プローブ、１６Ｐ 第１の通電用プローブ、１６Ｎ 第２の通電用プローブ、１８ プローブ保持体、１９、１９ａ～１９ｃ 放熱用フィン、１１１～１３１ 冷媒流路、２０ 試験対象品、２１ 通電部、２１Ｐ 第１の通電部、２１Ｎ 第２の通電部、３０ 試験装置、３１ 通電部、３１Ｐ 第１の通電部、３１Ｎ 第２の通電部、３２ 試験治具、３３ 試験台、３４ 電力供給部、３５信号検出部、３６ 計測制御部、３７ 表示部、３８ プローブユニット用可動部、３９ 装置本体、４０ 信号配線、５０ 絶縁体。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】