(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024115855
(43)【公開日】2024-08-27
(54)【発明の名称】基板処理装置、および、基板処理方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20240820BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 648F
H01L21/304 647Z
H01L21/304 648K
H01L21/304 643A
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023021729
(22)【出願日】2023-02-15
(71)【出願人】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100088672
【弁理士】
【氏名又は名称】吉竹 英俊
(74)【代理人】
【識別番号】100088845
【弁理士】
【氏名又は名称】有田 貴弘
(72)【発明者】
【氏名】岩尾 通矩
(72)【発明者】
【氏名】加門 宏章
(72)【発明者】
【氏名】岩畑 翔太
【テーマコード（参考）】
5F157
【Ｆターム（参考）】
5F157BD33
5F157BE22
5F157BE23
5F157BE43
5F157CF04
5F157CF14
5F157CF34
5F157CF42
5F157CF44
5F157CF60
5F157CF74
5F157CF99
5F157DA43
5F157DB03
5F157DB12
5F157DC84
5F157DC85
5F157DC86
(57)【要約】
【課題】基板処理に用いられた後の処理液たる廃液を利用した処理液の生成において、廃液から有機物を除去するフィルタの長命化。
【解決手段】基板処理装置は、ペルオキソ二硫酸イオンを含む第１の溶液が供給され第１の溶液を含む処理液を基板に供給するノズル、第１の溶液を貯留する第１のタンク、基板に対する処理に用いられた後の処理液である廃液が供給され第２の溶液を貯留する第２のタンク、第２のタンクとの間で第２の溶液が環流し第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する第１の経路、フィルタを有し第３の溶液をフィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って第１の溶液を生成する第２の経路、第１の溶液を第１のタンクへ供給する第３の経路、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】基板処理装置は、ペルオキソ二硫酸イオンを含む第１の溶液が供給され第１の溶液を含む処理液を基板に供給するノズル、第１の溶液を貯留する第１のタンク、基板に対する処理に用いられた後の処理液である廃液が供給され第２の溶液を貯留する第２のタンク、第２のタンクとの間で第２の溶液が環流し第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する第１の経路、フィルタを有し第３の溶液をフィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って第１の溶液を生成する第２の経路、第１の溶液を第１のタンクへ供給する第３の経路、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
処理液を用いて基板に対して処理を行う装置であって、
ペルオキソ二硫酸イオンを含む第１の溶液が供給され、前記第１の溶液を含む前記処理液を前記基板に供給するノズルと、
前記第１の溶液を貯留する第１のタンクと、
前記基板に対する前記処理に用いられた後の前記処理液である廃液が供給され、第２の溶液を貯留する第２のタンクと、
前記第２のタンクとの間で前記第２の溶液が環流し、前記第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する第１の経路と、
フィルタを有し、前記第３の溶液を前記フィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って前記第１の溶液を生成する第２の経路と、
前記第１の溶液を前記第１のタンクへ供給する第３の経路と
を備える、基板処理装置。
ペルオキソ二硫酸イオンを含む第１の溶液が供給され、前記第１の溶液を含む前記処理液を前記基板に供給するノズルと、
前記第１の溶液を貯留する第１のタンクと、
前記基板に対する前記処理に用いられた後の前記処理液である廃液が供給され、第２の溶液を貯留する第２のタンクと、
前記第２のタンクとの間で前記第２の溶液が環流し、前記第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する第１の経路と、
フィルタを有し、前記第３の溶液を前記フィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って前記第１の溶液を生成する第２の経路と、
前記第１の溶液を前記第１のタンクへ供給する第３の経路と
を備える、基板処理装置。
【請求項2】
前記第１の経路は、
前記第１の電気分解を行う第１の電解装置
を有し、
前記第２の経路は、
前記第３の溶液を貯留する第３のタンクと、
前記第３のタンクとの間で前記第３の溶液が環流し、前記第２の電気分解を行う第２の電解装置と
を有する、請求項１に記載の基板処理装置。
前記第１の電気分解を行う第１の電解装置
を有し、
前記第２の経路は、
前記第３の溶液を貯留する第３のタンクと、
前記第３のタンクとの間で前記第３の溶液が環流し、前記第２の電気分解を行う第２の電解装置と
を有する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項3】
前記第２のタンクは、前記第１の経路および前記第２の経路のいずれにも含まれ、
前記第２の経路は前記第２のタンクとの間で前記第３の溶液が環流する、請求項１に記載の基板処理装置。
前記第２の経路は前記第２のタンクとの間で前記第３の溶液が環流する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項4】
前記第１の経路は、
前記第１の電気分解を行う第１の電解装置
を有し、
前記第２の経路は、
前記第２の電気分解を行う第２の電解装置
を有する、請求項３に記載の基板処理装置。
前記第１の電気分解を行う第１の電解装置
を有し、
前記第２の経路は、
前記第２の電気分解を行う第２の電解装置
を有する、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項5】
前記第２の経路は、
前記フィルタに対して直列に接続される第１の開閉弁
を更に有し、
前記第１の経路は、
前記フィルタと前記第１の開閉弁との直列接続に対して並列に設けられる第２の開閉弁と、
前記第２の経路にも共有される電解装置と
を有し、
前記電解装置は、
前記第１の開閉弁が閉じて前記第２の開閉弁が開くときに前記第１の電気分解を行い、
前記第２の開閉弁が閉じて前記第１の開閉弁が開くときに前記第２の電気分解を行う、
請求項３に記載の基板処理装置。
前記フィルタに対して直列に接続される第１の開閉弁
を更に有し、
前記第１の経路は、
前記フィルタと前記第１の開閉弁との直列接続に対して並列に設けられる第２の開閉弁と、
前記第２の経路にも共有される電解装置と
を有し、
前記電解装置は、
前記第１の開閉弁が閉じて前記第２の開閉弁が開くときに前記第１の電気分解を行い、
前記第２の開閉弁が閉じて前記第１の開閉弁が開くときに前記第２の電気分解を行う、
請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項6】
前記第２の電気分解は、前記第１の電気分解よりも高温において実行される、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項7】
処理液を用いて基板に対して処理を行う方法であって、
ペルオキソ二硫酸イオンが含まれる第１の溶液を含む前記処理液を、前記基板に供給する工程と、
前記基板に対する前記処理に用いられた後の前記処理液である廃液を、第２の溶液を貯留するタンクに供給する工程と、
前記タンクとの間で前記第２の溶液が環流する第１の経路において、前記第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する工程と、
フィルタを有する第２の経路において、前記第３の溶液を前記フィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って前記第１の溶液を生成する工程と
を備える、基板処理方法。
ペルオキソ二硫酸イオンが含まれる第１の溶液を含む前記処理液を、前記基板に供給する工程と、
前記基板に対する前記処理に用いられた後の前記処理液である廃液を、第２の溶液を貯留するタンクに供給する工程と、
前記タンクとの間で前記第２の溶液が環流する第１の経路において、前記第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する工程と、
フィルタを有する第２の経路において、前記第３の溶液を前記フィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って前記第１の溶液を生成する工程と
を備える、基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は基板を処理する技術に関する。当該処理（以下「基板処理」と称される）の対象となる基板には、例えば、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置などのｆｌａｔ ｐａｎｅｌ ｄｉｓｐｌａｙ（ＦＰＤ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用ガラス基板、セラミック基板、電界放出ディスプレイ（ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｄｉｓｐｌａｙ、すなわち、ＦＥＤ）用基板、または、太陽電池用基板などが含まれる。
【背景技術】
【0002】
基板処理に用いられる処理液として、例えばＳＰＭ（ｓｕｌｆｕｒｉｃ ａｃｉｄ－ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｐｅｒｏｘｉｄｅ ｍｉｘｔｕｒｅ）と通称される、硫酸（Ｈ２ＳＯ４）と過酸化水素水（Ｈ２Ｏ２）との混合液が公知である（例えば下記の特許文献１を参照）。ＳＰＭではペルオキソ一硫酸（Ｈ２ＳＯ５）が生成され、例えば、基板の表面に形成されたレジストの除去に用いられる。
【0003】
基板処理における活性種（エッチャント）としてペルオキソ二硫酸イオン（Ｓ２Ｏ８
２－）の利用が公知である。例えば特許文献２では、ペルオキソ二硫酸イオンを得るために硫酸とオゾンとの混合液（ＳＯＭ：Ｓｕｌｆｕｒｉｃ Ｏｚｏｎｅ ｐｅｒｏｘｉｄｅ ｍｉｘｔｕｒｅ）を用いる技術が開示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２０－４７８５７号公報
【特許文献2】特開２０２２－１８８４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
基板処理に用いられた後の処理液（以下「廃液」と称される）は、基板処理に用いられる前の処理液と比較して有機物を多く含む。回収された廃液を利用した処理液の生成（以下「再生」あるいは「再生処理」とも称される）が、例えば特許文献１で紹介される。
【0006】
処理液に有機物が含まれた状態で基板処理を行うことは、基板処理における基板への汚染、とくにパーティクルの付着を招来する可能性がある。従って再生処理において当該有機物は除去されることが望まれる。
【0007】
当該除去には例えばフィルタによる濾過が利用される。フィルタのみによって、再生における有機物の除去を行うことには、フィルタの短命化という課題がある。
【0008】
上記課題に鑑みて本願では、再生処理において廃液から有機物を除去するフィルタの寿命を延ばす技術を開示する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本開示にかかる基板処理装置は、処理液を用いて基板に対して処理を行う装置である。当該基板処理装置の第１の態様は、ペルオキソ二硫酸イオンを含む第１の溶液が供給され、前記第１の溶液を含む前記処理液を前記基板に供給するノズルと、前記第１の溶液を貯留する第１のタンクと、前記基板に対する前記処理に用いられた後の前記処理液である廃液が供給され、第２の溶液を貯留する第２のタンクと、前記第２のタンクとの間で前記第２の溶液が環流し、前記第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する第１の経路と、フィルタを有し、前記第３の溶液を前記フィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って前記第１の溶液を生成する第２の経路と、前記第１の溶液を前記第１のタンクへ供給する第３の経路とを備える。
【0010】
本開示にかかる基板処理装置の第２の態様は、その第１の態様であって、前記第１の経路は、前記第１の電気分解を行う第１の電解装置を有する。前記第２の経路は、前記第３の溶液を貯留する第３のタンクと、前記第３のタンクとの間で前記第３の溶液が環流し、前記第２の電気分解を行う第２の電解装置とを有する。
【0011】
本開示にかかる基板処理装置の第３の態様は、その第１の態様であって、前記第２のタンクは、前記第１の経路および前記第２の経路のいずれにも含まれる。前記第２の経路は前記第２のタンクとの間で前記第３の溶液が環流する。
【0012】
本開示にかかる基板処理装置の第４の態様は、その第３の態様であって、前記第１の経路は、前記第１の電気分解を行う第１の電解装置を有する。前記第２の経路は、前記第２の電気分解を行う第２の電解装置を有する。
【0013】
本開示にかかる基板処理装置の第５の態様は、その第３の態様であって、前記第２の経路は、前記フィルタに対して直列に接続される第１の開閉弁を更に有する。前記第１の経路は、前記フィルタと前記第１の開閉弁との直列接続に対して並列に設けられる第２の開閉弁と、前記第２の経路にも共有される電解装置とを有する。前記電解装置は、前記第１の開閉弁が閉じて前記第２の開閉弁が開くときに前記第１の電気分解を行い、前記第２の開閉弁が閉じて前記第１の開閉弁が開くときに前記第２の電気分解を行う。
【0014】
本開示にかかる基板処理装置の第６の態様は、その第１の態様から第５の態様のいずれかであって、前記第２の電気分解は、前記第１の電気分解よりも高温において実行される。
【0015】
本開示にかかる基板処理方法は、処理液を用いて基板に対して処理を行う方法であって、ペルオキソ二硫酸イオンが含まれる第１の溶液を含む前記処理液を、前記基板に供給する工程と、前記基板に対する前記処理に用いられた後の前記処理液である廃液を、第２の溶液を貯留するタンクに供給する工程と、前記タンクとの間で前記第２の溶液が環流する第１の経路において、前記第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する工程と、フィルタを有する第２の経路において、前記第３の溶液を前記フィルタによって濾過しつつ第２の電気分解を行って前記第１の溶液を生成する工程とを備える。
【発明の効果】
【0016】
本開示にかかる基板処理装置の第1の態様および基板処理方法は、再生処理において廃液から有機物を除去するフィルタの長命化に寄与する。基板処理装置の第２の態様および第４の態様は、電解装置の劣化の抑制に寄与する。基板処理装置の第５の態様は、安価に実現されやすい。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本開示に係る基板処理装置の構成を模式的に示すブロック図である。
【図2】供給回収部の構成を例示する模式図である。
【図3】処理部の構成を例示する模式図である。
【図4】処理ユニットおよび関連する構成を概略的に例示する模式図である。
【図5】ノズルの内部構造を例示する断面図である。
【図6】排出部の構成を例示する模式図である。
【図7】制御部の構成を概念的に例示するブロック図である。
【図8】第１の回収部の構成を例示する模式図である。
【図9】第１の硫酸電解部の構成を例示する模式図である。
【図10】第２の回収部の構成を例示する模式図である。
【図11】第２の硫酸電解部の構成を例示する模式図である。
【図12】第３の硫酸電解部の構成を例示する模式図である。
【図13】再生処理を例示するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、添付される図面が参照されて実施の形態について説明される。以下の実施の形態では、技術の説明のために詳細な特徴なども示されるが、それらは例示であり、実施の形態が実施可能となるために、それらのすべてが必ずしも必須の特徴ではない。
【0019】
図面は概略的に示されるものであり、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化などが図面においてなされる。また、異なる図面にそれぞれ示される構成などの大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。また、断面図ではない平面図などの図面においても、実施の形態の内容を理解することを容易にするために、ハッチングが付される場合がある。
【0020】
図面において配管が三叉または丁字に交叉して描かれている場合、特に断りがない限り、直線状に描かれた三つの配管同士が連通していることを示す。図面において配管が四叉または十字に交叉して描かれている場合、特に断りがない限り、交叉点を通過して直線状に描かれた二つの配管同士が、連通していないことを示す。
【0021】
図面において配管として描かれた線に付記された矢頭は、流体が流れる向きを示す。
【0022】
以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示され、それら同士の名称と機能とについては同様である。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。
【0023】
本願明細書に記載される説明において、ある構成要素を「備える」、「含む」または「有する」などと記載される場合、特に断らない限りは、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
【0024】
本願明細書に記載される説明において、「第１の」または「第２の」などの序数が使われる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上使われるものであり、実施の形態の内容はこれらの序数によって生じ得る順序などに限定されるものではない。
【0025】
本願明細書に記載される説明において、「上」、「下」、「左」、「右」、「側」、「底」、「表」または「裏」などの特定の位置または方向を意味する用語が使われる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上使われるものであり、実施の形態が実際に実施される際の位置または方向とは関係しないものである。
【0026】
本願明細書に記載される説明において、「…の上面」または「…の下面」などと記載される場合、対象となる構成要素の上面自体または下面自体に加えて、対象となる構成要素の上面または下面に他の構成要素が形成された状態も含むものとする。すなわち、例えば、「Ａの上面に設けられるＢ」と記載される場合、ＡとＢとの間に別の構成要素「Ｃ」が介在することを妨げるものではない。
【0027】
＜１．基板処理装置１の概要＞
図１は、本開示に係る基板処理装置１の構成を模式的に示すブロック図である。
図１は、本開示に係る基板処理装置１の構成を模式的に示すブロック図である。
【0028】
基板処理装置１は供給回収部３、排出部５、処理部６、再生部７、回収配管１１０，１２４、排出液配管１６０、および制御部９０を備える。
【0029】
＜１－１．供給回収部３＞
図２は供給回収部３の構成を例示する模式図である。供給回収部３は第１の溶液を処理部６との間で供給と回収とを行う機能を有する。処理部６は基板処理を行う。第１の溶液はペルオキソ二硫酸イオンを含み、典型的にはペルオキソ二硫酸（Ｈ２Ｓ２Ｏ８）を含む。後述されるように、第１の溶液におけるペルオキソ二硫酸の濃度は高いことが望ましい。
図２は供給回収部３の構成を例示する模式図である。供給回収部３は第１の溶液を処理部６との間で供給と回収とを行う機能を有する。処理部６は基板処理を行う。第１の溶液はペルオキソ二硫酸イオンを含み、典型的にはペルオキソ二硫酸（Ｈ２Ｓ２Ｏ８）を含む。後述されるように、第１の溶液におけるペルオキソ二硫酸の濃度は高いことが望ましい。
【0030】
供給回収部３は供給タンク１０、供給配管１００，１０２、排出液配管１６２、バルブ１００Ａ，１０２Ａ，１６２Ａ、流量計１１２、ポンプ１１４、ヒータ１０３，１１６、温度計１０５，１１７、フィルタ１１９を有する。
【0031】
供給配管１００には、後述されるように再生部７によって再生された第１の溶液（以下「再生後溶液硫酸」とも称される）が流れる。供給タンク１０には供給配管１００から再生後溶液が供給される。
【0032】
供給タンク１０は第１の溶液を貯留する第１のタンクとして機能する。バルブ１００Ａは供給配管１００に設けられ、供給配管１００に流れる再生後硫酸の流量を制御部９０の制御の下で調整する。
【0033】
供給配管１０２には供給配管群１０６Ｇが連通する。供給配管１０２は、供給配管群１０６Ｇを介して処理部６へ第１の溶液を供給する機能を有する。
【0034】
流量計１１２、ポンプ１１４、ヒータ１１６、温度計１１７、フィルタ１１９、バルブ１０２Ａは、供給配管１０２において直列に、例えばこの順に設けられる。
【0035】
温度計１１７は供給配管１０２を流れる第１の溶液の温度を計測する。ヒータ１１６は、温度計１１７で計測される温度が例えば９０℃になるように第１の溶液を加熱する。かかる温度の調整は、制御部９０の制御の下で行われる。
【0036】
フィルタ１１９は供給配管１０２を流れる第１の溶液内の異物、例えばパーティクルを除去する。
【0037】
ポンプ１１４は供給配管１０２内の第１の溶液を、供給タンク１０の底部から供給タンク１０とは反対側へ加圧する。かかる加圧により第１の溶液は、供給タンク１０の底部から供給配管１０２を介して供給配管群１０６Ｇへ流れる。供給配管１０２を流れる第１の溶液のうち、供給配管群１０６Ｇへ流れなかった分は再生部７へ供給される。
【0038】
制御部９０は、処理レシピを参照して処理部６で行われる基板処理を把握する。制御部９０は、流量計１１２で計測される第１の溶液の流量が、当該基板処理に十分な流量となるように、供給配管１０２を流れる第１の溶液の流量がバルブ１０２Ａの、例えば開度によって調整される。バルブ１０２Ａの調整は制御部９０による制御の下で行われる。
【0039】
排出液配管１６２は、供給タンク１０から第１の溶液を排出する機能を有する。バルブ１６２Ａは排出液配管１６２に設けられ、排出液配管１６２に流れる第１の溶液の流量を制御部９０の制御の下で調整する。排出液配管１６２を介して供給タンク１０から排出される第１の溶液は、排出部５へ供給される。
【0040】
温度計１０５は供給配管１００を流れる第１の溶液の温度を計測する。ヒータ１０３は、温度計１０５で計測される温度が例えば９０℃になるように第１の溶液を加熱する。かかる温度の調整は、制御部９０の制御の下で行われる。
【0041】
＜１－２．回収配管１１０，１２４と排出液配管１６０＞
回収配管１１０にはリターン配管群１０８Ｇが連通する。リターン配管群１０８Ｇには、供給配管群１０６Ｇから供給されたが基板処理に用いられなかった第１の溶液が流入する。回収配管１１０には処理部６からリターン配管群１０８Ｇを介して第１の溶液が流入する。回収配管１１０に流入した第１の溶液は、再生部７へ供給される。
回収配管１１０にはリターン配管群１０８Ｇが連通する。リターン配管群１０８Ｇには、供給配管群１０６Ｇから供給されたが基板処理に用いられなかった第１の溶液が流入する。回収配管１１０には処理部６からリターン配管群１０８Ｇを介して第１の溶液が流入する。回収配管１１０に流入した第１の溶液は、再生部７へ供給される。
【0042】
回収配管１２４には廃液配管群１２２Ｇが連通する。廃液配管群１２２Ｇには、後述される第１の基板処理に用いられた廃液（以下「第１の廃液」とも称される）が流入する。回収配管１２４には処理部６から廃液配管群１２２Ｇを介して第１の廃液が流入する。回収配管１２４に流入した第１の廃液は、再生部７へ供給される。第１の廃液の再生部７への供給は、処理部６から再生部７への第１の廃液の回収と見ることができる。
【0043】
再生部７においては、後述される再生処理によって、回収された第１の廃液から第１の溶液が得られる。再生処理は、基板処理装置１へ新たに供給される薬液および基板処理装置１から排出される第１の廃液を低減し、資源をよりむだなく使えるようにし、環境にやさしい技術や生産の方法に寄与する。
【0044】
排出液配管１６０には廃液配管群１６１Ｇが連通する。廃液配管群１６１Ｇには、後述される第２の基板処理に用いられた廃液（以下「第２の廃液」とも称される）が流入する。排出液配管１６０には処理部６から廃液配管群１６１Ｇを介して第２の廃液が流入する。排出液配管１６０に流入した第２の廃液は、排出部５へ供給される。
【0045】
回収配管１１０，１２４と排出液配管１６０とは、例えば配管スペース８に配置される。配管スペース８は、例えば供給回収部３が配置される位置と、処理部６が配置される空間との間に設けられる。配管スペース８において、供給配管群１０６Ｇが供給配管１０２に連通し、リターン配管群１０８Ｇが回収配管１１０に連通し、廃液配管群１２２Ｇが回収配管１２４に連通し、廃液配管群１６１Ｇが排出液配管１６０に連通する。
【0046】
【0047】
基板処理装置１による基板処理方法は、処理ユニット６００へ搬送された基板Ｗに対し処理液を吐出して基板処理を行う工程と、基板処理が行われた基板Ｗを洗浄する工程と、洗浄された基板Ｗを回転させて乾燥させる工程と、乾燥された基板Ｗを処理ユニット６００から搬出する工程とを備える。これらの工程は、制御部９０によって基板処理装置１におけるそれぞれの構成（例えばポンプ、ヒータ、バルブ、または、スピンモータ）の動作が制御されることによって行われる。
【0048】
処理ユニット６００の各々はバルブ１０６Ａ，１０８Ａ，１２２Ａ，１６０Ａ，２００Ａおよびノズル１０６Ｂを有する。処理ユニット６００の各々には供給配管１０６、リターン配管１０８、廃液配管１２２，１６１、および混合配管２００が導入される。複数の供給配管１０６が供給配管群１０６Ｇを構成し、複数のリターン配管１０８がリターン配管群１０８Ｇを構成し、複数の廃液配管１２２が廃液配管群１２２Ｇを構成し、複数の廃液配管１６１が廃液配管群１６１Ｇを構成する（図１参照）。
【0049】
供給配管１０６には、供給配管１０２から第１の溶液が流入する。バルブ１０６Ａは供給配管１０６に設けられ、供給配管１０６に流れる第１の溶液の流量を制御部９０の制御の下で調整する。
【0050】
リターン配管１０８にはノズル１０６Ｂから第１の溶液が流入する。リターン配管１０８に流れる第１の溶液は回収配管１１０において合流して再生部７へ流入する。バルブ１０８Ａはリターン配管１０８に設けられ、リターン配管１０８に流れる第１の溶液の流量を制御部９０の制御の下で調整する。
【0051】
廃液配管１２２には第１の廃液が流入する。廃液配管群１２２Ｇに流れる第１の廃液は回収配管１２４において合流して再生部７へ流入する。バルブ１２２Ａは廃液配管１２２に設けられ、廃液配管１２２に流れる第１の廃液の流量を制御部９０の制御の下で調整する。
【0052】
廃液配管１６１には第２の廃液が流入する。廃液配管１６１に流れる第２の廃液は排出液配管１６０において合流して排出部５へ流入する。バルブ１６０Ａは廃液配管１６１に設けられ、廃液配管１６１に流れる第２の廃液の流量を制御部９０の制御の下で調整する。
【0053】
混合配管２００には過酸化水素水供給源１３（図１参照）から過酸化水素水が流入する。バルブ２００Ａは混合配管２００に設けられ、混合配管２００に流れる過酸化水素水の流量を制御部９０の制御の下で調整する。
【0054】
ノズル１０６Ｂは、第１の溶液に過酸化水素水を添加して処理液として基板Ｗに供給する。当該添加は、第１の溶液による基板処理に必須ではない。当該添加は基板処理における第１の溶液の温度を高める。当該温度が高いことは基板処理の効率を高める。
【0055】
基板処理に供される前の第１の溶液の温度が高いと、
Ｓ２Ｏ８ ２－→２ＳＯ４－・
２ＳＯ４－・＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＳＯ４ ２－＋２ＯＨ・
２ＨＳＯ４－＋ｘＨ２Ｏ→２Ｈ２ＳＯ５＋ｘＨ２
２ＳＯ４－・＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＳＯ４ ２－＋２ＯＨ・
で示されるようにペルオキソ二硫酸が分解しやすい（記号「・」はラジカルであることを示す：以下同様）。かかる分解はペルオキソ二硫酸の失活とも表現される。
Ｓ２Ｏ８ ２－→２ＳＯ４－・
２ＳＯ４－・＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＳＯ４ ２－＋２ＯＨ・
２ＨＳＯ４－＋ｘＨ２Ｏ→２Ｈ２ＳＯ５＋ｘＨ２
２ＳＯ４－・＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＳＯ４ ２－＋２ＯＨ・
で示されるようにペルオキソ二硫酸が分解しやすい（記号「・」はラジカルであることを示す：以下同様）。かかる分解はペルオキソ二硫酸の失活とも表現される。
【0056】
基板処理に供されるまで第１の溶液の温度を高めないで失活を抑制し、基板処理に際して第１の溶液に過酸化水素水を添加することは、基板処理の効率を高めることに寄与する。
【0057】
ノズル１０６Ｂには供給配管１０６、リターン配管１０８、および混合配管２００が接続される。ノズル１０６Ｂには、バルブ１０６Ａを経由して供給配管１０６によって供給配管１０２から第１の溶液が供給される。ノズル１０６Ｂには、バルブ２００Ａを経由して混合配管２００によって過酸化水素水供給源１３から過酸化水素水が供給される。ノズル１０６Ｂは、供給配管１０６から供給されながらも処理液に供されなかった第１の溶液を、バルブ１０８Ａを経由してリターン配管１０８によって回収配管１１０へ流入させる。
【0058】
例えばノズル１０６Ｂは、後述されるようにして、第１の溶液に過酸化水素水を添加して吐出したり、添加せずに第１の溶液をリターン配管１０８へ流入させたりする。
【0059】
【0060】
＜１－４．処理ユニット６００＞
図４は、処理ユニット６００および関連する構成を概略的に例示する模式図である。図４では、図３に例示される一つの供給配管１０６の、供給配管１０２とは反対側（供給配管１０２に流れる第１の溶液についての下流側；以下では単に「供給配管１０２よりも下流側」とも称される）に配置される処理ユニット６００の構成の例が示される。図３に例示される他の供給配管１０６の、供給配管１０２よりも下流側に配置される処理ユニット６００も、図４に例示される構成と同様に構成される。
図４は、処理ユニット６００および関連する構成を概略的に例示する模式図である。図４では、図３に例示される一つの供給配管１０６の、供給配管１０２とは反対側（供給配管１０２に流れる第１の溶液についての下流側；以下では単に「供給配管１０２よりも下流側」とも称される）に配置される処理ユニット６００の構成の例が示される。図３に例示される他の供給配管１０６の、供給配管１０２よりも下流側に配置される処理ユニット６００も、図４に例示される構成と同様に構成される。
【0061】
処理ユニット６００は、チャンバ８０と、スピンチャック２５１と、処理カップ５１１とを備える。
【0062】
チャンバ８０は内部空間を有する箱形を呈する。スピンチャック２５１は、チャンバ８０内で、１枚の基板Ｗを水平姿勢で保持しつつ、鉛直な回転軸線Ｚ１まわりに回転させる機能を有する。例えば基板Ｗの中央部が回転軸線Ｚ１に上に位置する姿勢で、基板Ｗがスピンチャック２５１に保持される。
【0063】
ノズル１０６Ｂは、チャンバ８０の内側の所定部位（例えば、スピンベース２５１Ａ）に向けて、処理液を吐出する。スピンベース２５１Ａに基板Ｗが保持されているときの上記吐出は、ノズル１０６Ｂから基板Ｗへの処理液の供給に相当する。
【0064】
処理ユニット６００には、ノズル１０６Ｂとは別に、他の用途の液を吐出するためのノズル（例えば、他の薬液を吐出するノズル、または、リンス液を吐出するノズル）が接続されていてもよい。
【0065】
処理カップ５１１は、外側カップ５１１Ａと内側カップ５１１Ｂとを有する。外側カップ５１１Ａと内側カップ５１１Ｂとはいずれも、回転軸線Ｚ１に沿って延びる筒状の形状を呈する。
【0066】
内側カップ５１１Ｂはスピンチャック２５１を取り囲み、外側カップ５１１Ａは内側カップ５１１Ｂを取り囲む。
【0067】
廃液配管１２２はチャンバ８０の底部で、かつ、外側カップ５１１Ａの内側かつ内側カップ５１１Ｂの外側に設けられる。廃液配管１６１はチャンバ８０の底部で、かつ、内側カップ５１１Ｂの内側かつスピンチャック２５１の内側に設けられる。
【0068】
外側カップ５１１Ａの上端に対して、内側カップ５１１Ｂの上端は下方に位置する。外側カップ５１１Ａおよび内側カップ５１１Ｂは、図示されない昇降機構（例えばモータまたはシリンダ）によって、互いに独立して、あるいは連動して、鉛直方向に昇降する。
【0069】
基板Ｗがスピンチャック２５１に保持される際には、外側カップ５１１Ａおよび内側カップ５１１Ｂのいずれの上端も、スピンベース２５１Ａよりも下方に位置する。基板Ｗが基板処理をうける際には、外側カップ５１１Ａの上端は、スピンチャック２５１に保持された基板Ｗよりも上方に位置する。
【0070】
内側カップ５１１Ｂはスピンチャック２５１に保持された基板Ｗよりも上方かつ外側カップ５１１Ａよりも下方の位置（以下「上方位置」とも仮称される）へ移動可能である。内側カップ５１１Ｂはスピンチャック２５１に保持された基板Ｗよりも下方の位置（以下「下方位置」とも仮称される）へ移動可能である（図４で例示された位置）。
【0071】
第１の基板処理が行われるときには内側カップ５１１Ｂは下方位置まで移動している。第１の基板処理は例えば基板Ｗ上のレジストを処理液で除去する処理である。レジストの除去にはペルオキソ二硫酸イオンが機能するので、処理液に含まれる第１の溶液におけるペルオキソ二硫酸イオンの濃度は高いことが望ましい。
【0072】
第１の廃液は外側カップ５１１Ａの内側面に受け止められる。外側カップ５１１Ａに受け止められた第１の廃液は、廃液配管１２２を介して回収配管１２４に流入し、再生部７へ供給され、後述される再生処理に供せられる。
【0073】
第２の基板処理が行われるときには内側カップ５１１Ｂは上方位置まで移動している。第２の基板処理は例えば第１の基板処理の後に基板Ｗをすすぐリンス処理である。リンス処理の詳細およびこれを実現するためのリンス液およびその基板Ｗへの供給についての説明は、本実施の形態において割愛される。
【0074】
第２の廃液は内側カップ５１１Ｂの内側面に受け止められる。内側カップ５１１Ｂに受け止められた第２の廃液は後述される再生処理には供せられず、廃液配管１６１を介して排出液配管１６０に流入し、排出部５へ供給される。
【0075】
チャンバ８０は箱状の壁２５０Ａを有する。壁２５０Ａには開口部２５０Ｂが形成される。チャンバ８０への基板Ｗの搬入およびチャンバ８０からの基板Ｗの搬出は開口部２５０Ｂを経由する。
【0076】
チャンバ８０は可動のシャッタ２５０Ｃを有する。開口部２５０Ｂは、シャッタ２５０Ｃによって開閉される。シャッタ２５０Ｃは、図示されないシャッタ昇降機構によって、開口部２５０Ｂを覆う閉位置（図４において鎖線で示される）と、開口部２５０Ｂを開放する開位置（図４において実線で示される）との間で昇降させられる。
【0077】
スピンチャック２５１は、スピンベース２５１Ａと、複数のチャックピン２５１Ｂと、回転軸２５１Ｃと、スピンモータ２５１Ｄとを有する。
【0078】
スピンベース２５１Ａは円板状を呈する。複数のチャックピン２５１Ｂは、スピンベース２５１Ａの上面外周部から上方に突出する。複数のチャックピン２５１Ｂは、基板Ｗの周縁部を把持したり解放したりする。チャックピン２５１Ｂによって把持された基板Ｗは、スピンベース２５１Ａと対向し、スピンチャック２５１において水平な姿勢に保持される。回転軸２５１Ｃは、スピンベース２５１Ａの中央部から下方に延びる。スピンモータ２５１Ｄは、回転軸２５１Ｃを回転させることによって、複数のチャックピン２５１Ｂに把持されている状態の基板Ｗを回転させる。
【0079】
例えばスピンチャック２５１には、複数のチャックピン２５１Ｂによる基板Ｗの把持に代えて、基板Ｗの下面を真空吸着するスピンベースを有する真空吸着式のチャックが採用されてもよい。
【0080】
排気口５１５が、チャンバ８０の側部に設けられる。排気口５１５を通じて、チャンバ８０内の雰囲気がチャンバ８０外に適宜に排出される。図示されないカップ排気機構によって処理カップ５１１内の雰囲気が排気される。
【0081】
＜１－５．ノズル１０６Ｂ＞
図５は、ノズル１０６Ｂの内部構造を例示する断面図である。
図５は、ノズル１０６Ｂの内部構造を例示する断面図である。
【0082】
ノズル１０６Ｂは、本体３６と、弁体３７と、空圧アクチュエータ３８と、吐出口３１とを有する。本体３６は弁室４５を有する。
【0083】
本体３６には、第１の溶液、又は処理液を導く流路３５が形成されている。弁体３７は流路３５を開閉する。空圧アクチュエータ３８は、弁体３７を軸方向Ｘ１に進退させて流路３５を開閉させる。弁体３７よりも吐出口３１側の流路３５は、混合配管２００と連通する。混合配管２００よりも吐出口３１側の流路３５は、処理液が流れる流路３５ｃとして機能する。弁体３７よりも吐出口３１から遠い流路３５は流路３５ａ，３５ｂに分岐する。
【0084】
本体３６には、一対のジョイント４８が接続されている。一方のジョイント４８には、供給配管１０６が接続され、供給配管１０６と流路３５ａとが連通する。流路３５ａを供給配管１０６の一部と見ることもできる。他方のジョイント４８には、リターン配管１０８が接続され、リターン配管１０８と流路３５ｂとが連通する。流路３５ｂをリターン配管１０８の一部と見ることもできる。
【0085】
流路３５ａは、供給配管１０６および弁室４５に連通する。流路３５ｂはリターン配管１０８および弁室４５に連通する。流路３５ｃは、弁室４５および吐出口３１に連通する。
【0086】
空圧アクチュエータ３８は、シリンダ３９、ピストン４２、バネ４３およびロッド４４を有する。シリンダ３９と弁室４５とは、軸方向Ｘ１に沿って並んでいる。シリンダ３９と弁室４５との間は、隔壁４１によって隔てられている。弁体３７は弁室４５内を進退する。
【0087】
シリンダ３９は、ピストン４２によって、隔壁４１側の前室と、軸方向Ｘ１において当該ピストン４２を挟む後室とに隔てられている。バネ４３は、シリンダ３９の後室側において、ピストン４２と本体３６との間に介挿されている。バネ４３は、隔壁４１に向けてピストン４２を押圧している。
【0088】
本体３６には、一対のジョイント４７が接続されている。一方のジョイント４７には、シリンダ３９の前室に空気圧を伝達する不図示のチューブが接続される。他方のジョイント４７には、シリンダ３９の後室に空気圧を伝達する不図示のチューブが接続される。これらのチューブおよびジョイント４７を介して、シリンダ３９の前室または後室のいずれか一方に空気圧を伝達することによって、ピストン４２がシリンダ３９内を軸方向Ｘ１に沿って進退する。
【0089】
ロッド４４は隔壁４１を貫通して軸方向Ｘ１に沿って延びる。ロッド４４の一端はピストン４２に連結されている。ロッド４４の他端は弁体３７に連結されている。弁体３７は例えば円板状を呈し、その径方向が軸方向Ｘ１と直交する。
【0090】
シリンダ３９内でピストン４２が軸方向Ｘ１に沿って進退すると、弁体３７はロッド４４を介して、弁室４５内で軸方向Ｘ１に沿って進退する。
【0091】
弁室４５は弁座面４６を含む。弁座面４６は隔壁４１と対向し、例えば軸方向Ｘ１と直交する円環状を呈する。流路３５ａ，３５ｂは例えば弁座面４６が呈する円環の内縁に接続される。弁体３７の進退方向（軸方向Ｘ１）に沿って見たとき、弁室４５の側方に流路３５ｃが接続される。
【0092】
本体３６は筒部４９を含む。筒部４９は下方へ突出し、その下方側の先端には吐出口３１が形成される。混合配管２００は筒部４９の側方に導入され、流路３５ｃに連通する。
【0093】
シリンダ３９の前室および後室のいずれにも空気圧を作用させないとき、空圧アクチュエータ３８は作動しない状態にある。このときピストン４２は、バネ４３によってシリンダ３９内で弁室４５側へ押圧され、弁室４５内で弁体３７が弁座面４６に接触する。当該接触により流路３５は流路３５ａ，３５ｂと流路３５ｃとの間で閉じられる（図５で例示される状態）。このとき、ピストン４２は、隔壁４１側に近接した位置にある。
【0094】
この状態でバルブ１０６Ａ，１０８Ａが開かれると、供給タンク１０から供給配管１０６と流路３５ａとを通してノズル１０６Ｂへ供給される第１の溶液は、流路３５ｂとリターン配管１０８と回収配管１１０とを経由して再生部７へ供給される。このように基板処理に供せられずに第１の溶液が供給配管１０６からリターン配管１０８へ流れる状態は、以下では「ノズル経由状態」と称される。
【0095】
ノズル経由状態においても、供給配管１０２から供給配管１０６へ分流せずに供給配管１０２から再生部７へ第１の溶液が流れ得る。
【0096】
ノズル経由状態が得られている状況において、シリンダ３９の前室に空気圧を伝達することにより、ピストン４２は、バネ４３の押圧力に抗して、シリンダ３９の後室方向に後退する。このとき、弁室４５内で弁体３７が弁座面４６から離れる。弁体３７が弁座面４６から離れることにより、流路３５ａ，３５ｃと弁室４５とが連通し、流路３５ｃと弁室４５とが連通し、流路３５ａ，３５ｃと流路３５ｃとが連通する。
【0097】
供給配管１０６と流路３５ａとを経由して供給タンク１０から供給される第１の溶液が、流路３５ｃへ流入する。このときにバルブ２００Ａが開くと、混合配管２００から過酸化水素水が流路３５ｃにおいて第１の溶液に添加される。過酸化水素水が添加された第１の溶液は吐出口３１から吐出される。吐出口３１から処理液が吐出される状態は、以下「吐出状態」と称される。
【0098】
この吐出状態が得られている状況において、シリンダ３９の前室への空気圧の伝達を停止することにより、あるいは当該停止と共にシリンダ３９の後室に空気圧を伝達することにより、ピストン４２は、バネ４３の押圧力とともに、シリンダ３９の前室方向に前進する。このとき、弁室４５内で弁体３７が弁座面４６に接触する。弁体３７が弁座面４６に接触することにより、流路３５ａ，３５ｂと弁室４５とが遮断され、流路３５ｃと弁室４５とが遮断され、流路３５ａ，３５ｂと流路３５ｃとの間が閉じられる。このようにしてノズル経由状態が得られる。
【0099】
ノズル１０６Ｂが吐出状態（図５の弁体３７が弁座面４６から離れている状態）にあるとき、バルブ１０６Ａが開かれ、バルブ１０８Ａが閉じられる。流路３５ｃへ第１の溶液が供給される。吐出状態ではバルブ２００Ａも開かれ、流路３５ｃには、混合配管２００から過酸化水素水も供給される。流路３５ｃにおいて第１の溶液に過酸化水素水が添加され、吐出口３１から処理液が吐出される。
【0100】
ノズル１０６Ｂは第１の溶液を用いた処理液の生成に寄与する。吐出口３１から吐出された処理液は基板Ｗの上面に到達し、基板処理が行われる。
【0101】
このように、吐出状態のみならずノズル経由状態においても第１の溶液が供給配管１０６におけるノズル１０６Ｂ内まで流れることは、供給配管１０２，１０６における第１の溶液の温度変化を抑制し、ひいては基板処理に供される処理液の温度変化の抑制に寄与する。例えば、ノズル経由状態において供給配管１０２、ノズル１０６Ｂに流れる第１の溶液は、供給配管１０２，１０６の温度を維持する程度で最低限の流量に抑えられる。
【0102】
＜１－６．排出部５＞
図６は排出部５の構成を例示する模式図である。排出部５は基板処理装置１から、基板処理装置１にとって不要な液体を排出する機能を有する。排出部５は排出液タンク４０とバルブ４０Ａとを有する。
図６は排出部５の構成を例示する模式図である。排出部５は基板処理装置１から、基板処理装置１にとって不要な液体を排出する機能を有する。排出部５は排出液タンク４０とバルブ４０Ａとを有する。
【0103】
排出液タンク４０には、排出液配管１６２を経由して供給回収部３、具体的には供給タンク１０から第１の溶液が供給される。排出液タンク４０には、排出液配管１６４を経由して再生部７から、第１の廃液、いずれも後述される第２の溶液、第３の溶液、第４の溶液、および第５の溶液のいずれかもしくは複数が供給される。排出液タンク４０には、排出液配管１６０を経由して処理部６から第２の廃液が供給される。
【0104】
排出液タンク４０は、第１の廃液、第２の廃液、第１の溶液、第２の溶液、第３の溶液、第４の溶液、および第５の溶液のいずれかもしくはそれらの複数を貯留する。排出液タンク４０に貯留された液体はバルブ４０Ａを経由して基板処理装置１の外部へ排出される。バルブ４０Ａは、制御部９０の制御の下で、排出液タンク４０から排出される液体の流量を調整する。
【0105】
＜１－７．制御部９０＞
図７は制御部９０の構成を概念的に例示するブロック図である。制御部９０は、電気回路を有する一般的なコンピュータによって構成されていてよい。具体的には、制御部９０は、中央演算処理装置（ｃｅｎｔｒａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｕｎｉｔ、すなわち、ＣＰＵ）９１、リードオンリーメモリ（ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍｅｍｏｒｙ、すなわち、ＲＯＭ）９２、ランダムアクセスメモリ（ｒａｎｄｏｍ ａｃｃｅｓｓ ｍｅｍｏｒｙ、すなわち、ＲＡＭ）９３、記憶装置９４、入力部９６、表示部９７および通信部９８と、これらを相互に接続するバスライン９５とを備える。
図７は制御部９０の構成を概念的に例示するブロック図である。制御部９０は、電気回路を有する一般的なコンピュータによって構成されていてよい。具体的には、制御部９０は、中央演算処理装置（ｃｅｎｔｒａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｕｎｉｔ、すなわち、ＣＰＵ）９１、リードオンリーメモリ（ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍｅｍｏｒｙ、すなわち、ＲＯＭ）９２、ランダムアクセスメモリ（ｒａｎｄｏｍ ａｃｃｅｓｓ ｍｅｍｏｒｙ、すなわち、ＲＡＭ）９３、記憶装置９４、入力部９６、表示部９７および通信部９８と、これらを相互に接続するバスライン９５とを備える。
【0106】
ＲＯＭ９２は基本プログラムを格納している。ＲＡＭ９３は、ＣＰＵ９１が所定の処理を行う際の作業領域として用いられる。記憶装置９４は、不揮発性記憶装置（例えばフラッシュメモリまたはハードディスク装置）によって構成されている。入力部９６は、例えば各種スイッチまたはタッチパネルによって構成されており、オペレータから入力設定指示（例えば処理レシピ）を受ける。表示部９７は、例えば、液晶表示装置およびランプなどによって構成されており、ＣＰＵ９１の制御の下、各種の情報を表示する。通信部９８は、例えばｌｏｃａｌ ａｒｅａ ｎｅｔｗｏｒｋ（ＬＡＮ）を介してのデータ通信機能を有する。
【0107】
記憶装置９４には、基板処理装置１におけるそれぞれの構成の制御についての複数のモードがあらかじめ設定されている。ＣＰＵ９１が処理プログラム９４Ｐを実行することによって、上記の複数のモードのうちの１つのモードが選択され、当該モードでそれぞれの構成が制御される。なお、処理プログラム９４Ｐは、記録媒体に記憶されていてもよい。この記録媒体を用いれば、制御部９０に処理プログラム９４Ｐをインストールすることができる。また、制御部９０が実行する機能の一部または全部は、必ずしもソフトウェアによって実現される必要はなく、専用のハードウェア、例えば論理回路によって実現されてもよい。
【0108】
＜２．再生部７＞
再生部７は再生処理を行う。再生処理において第１の電気分解と、第２の電気分解とがこの順序で行われ、第１の廃液を用いて第１の溶液が生成される。
再生部７は再生処理を行う。再生処理において第１の電気分解と、第２の電気分解とがこの順序で行われ、第１の廃液を用いて第１の溶液が生成される。
【0109】
【0110】
再生部７の第１の実施の形態は、第１の回収部７Ａと、第１の硫酸電解部７Ｂと、回収配管１２６と、排出液配管１６４とを含む。回収配管１２６および排出液配管１６４は第１の回収部７Ａと第１の硫酸電解部７Ｂとで共有されると見ることもできるし、第１の回収部７Ａおよび第１の硫酸電解部７Ｂのいずれかが有すると見ることもできる。
【0111】
第１の回収部７Ａと第１の硫酸電解部７Ｂとは、回収配管１２６と排出液配管１６４とで連結される。
【0112】
＜２－１－１．第１の回収部７Ａ＞
第１の回収部７Ａは、回収タンク３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｄと、バルブ１０２Ｄ，１１０Ｄ，１２４Ａ，１２４Ｂ，１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２５Ｄ，１３６Ａ，１３６Ｂ，１３６Ｄ，１６４Ｄ，１６４Ｅ，１６４Ｆと、循環配管１２５と、ポンプ１３６と、電解セル２１Ｃとを有する。
第１の回収部７Ａは、回収タンク３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｄと、バルブ１０２Ｄ，１１０Ｄ，１２４Ａ，１２４Ｂ，１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２５Ｄ，１３６Ａ，１３６Ｂ，１３６Ｄ，１６４Ｄ，１６４Ｅ，１６４Ｆと、循環配管１２５と、ポンプ１３６と、電解セル２１Ｃとを有する。
【0113】
回収配管１２４はバルブ１２４Ａを介して回収タンク３０Ａへ、バルブ１２４Ｂを介して回収タンク３０Ｂへ、それぞれ第１の廃液を供給する。回収タンク３０Ａ，３０Ｂはいずれも、第２の溶液を貯留する第２のタンクとして機能する。第２の溶液は第１の廃液および後述される第３の溶液のいずれかもしくは両方を含む仮称である。
【0114】
バルブ１２４Ａは回収タンク３０Ａへ供給する第１の廃液の流量を、バルブ１２４Ｂは回収タンク３０Ｂへ供給する第１の廃液の流量を、それぞれ制御部９０の制御の下で調整する。
【0115】
バルブ１６４Ｅは回収タンク３０Ａと排出液配管１６４との間に設けられる。バルブ１６４Ｅは、回収タンク３０Ａから排出液配管１６４を介して排出部５へ第２の溶液を供給する量を調整する。
【0116】
バルブ１６４Ｆは回収タンク３０Ｂと排出液配管１６４との間に設けられる。バルブ１６４Ｆは、回収タンク３０Ｂから排出液配管１６４を介して排出部５へ第２の溶液を供給する量を調整する。
【0117】
バルブ１６４Ｅ，１６４Ｆによる流量の調整は、制御部９０による制御の下で行われる。
【0118】
回収タンク３０Ａはバルブ１３６Ａを介して、回収タンク３０Ｂはバルブ１３６Ｂを介して、それぞれポンプ１３６へ第２の溶液を供給する。
【0119】
バルブ１３６Ａ，１３６Ｂのいずれも、制御部９０の制御の下、ポンプ１３６へ供給する第２の溶液の流量を調整する。
【0120】
回収タンク３０Ａに貯留されている第２の溶液はバルブ１３６Ａを介して、回収タンク３０Ｂに貯留されている第２の溶液はバルブ１３６Ｂを介して、いずれもポンプ１３６によって循環配管１２５および回収配管１２６のいずれかまたは両方において送液される。
【0121】
第１の回収部７Ａは、電解セル２１Ｃが行う電気分解によって、第１の廃液に含まれる有機物を分解する。当該電気分解によって第１の廃液から第３の溶液が生成される。第２の溶液に対して電気分解を行って第３の溶液が生成される、ということもできる。このように有機物を分解する電気分解が、上述の第１の電気分解である。
【0122】
回収配管１１０はバルブ１１０Ｄを介して、供給配管１０２はバルブ１０２Ｄを介して、それぞれ回収タンク３０Ｄへ第１の溶液を供給する。回収タンク３０Ｄは第１の溶液の冷却に寄与する。
【0123】
バルブ１０２Ｄ，１１０Ｄは、回収タンク３０Ｄへ供給する第１の溶液の流量を、制御部９０の制御の下で調整する。
【0124】
バルブ１６４Ｄは回収タンク３０Ｄと排出液配管１６４との間に設けられる。バルブ１６４Ｄは、回収タンク３０Ｄから排出液配管１６４を介して排出部５へ第１の溶液を供給する量を調整する。回収タンク３０Ｄはバルブ１３６Ｄを介して、ポンプ１３６へ第１の溶液を供給する。バルブ１３６Ｄ，１６４Ｄによる流量の調整は、制御部９０による制御の下で行われる。
【0125】
バルブ１２５Ｄは、循環配管１２５から回収配管１２６へ流れる第４の溶液の流量を、制御部９０の制御の下で調整する。第４の溶液は、第１の溶液および第３の溶液のいずれかもしくは両方を指す仮称である。
【0126】
回収タンク３０Ａで第１の電気分解が行われる前に、バルブ１２４Ａ，１６４Ｅの調整により、回収タンク３０Ａには第１の電気分解に適した量の廃液が貯留される。
【0127】
回収タンク３０Ｂで第１の電気分解が行われる前に、バルブ１２４Ｂ，１６４Ｆの調整により、回収タンク３０Ｂには第１の電気分解に適した量の廃液が貯留される。
【0128】
回収タンク３０Ａで第１の電気分解が行われる場合にも、回収タンク３０Ｂで第１の電気分解が行われる場合にも、バルブ１２５Ｄが閉じる。第１の溶液に含まれる上述の有機物は少なく、第１の電気分解が行われる必要はなく、バルブ１３６Ｄは閉じる。
【0129】
回収タンク３０Ａで第１の電気分解が行われるとき、バルブ１２４Ａ，１６４Ｅは閉じ、バルブ１２５Ａ，１３６Ａ，１２５Ｃが開く。ポンプ１３６による送液により、回収タンク３０Ａと電解セル２１Ｃとの間で循環配管１２５において第３の溶液が循環し、電解セル２１Ｃにおいて第１の電気分解が行われる。
【0130】
回収タンク３０Ｂで第１の電気分解が行われるとき、バルブ１２４Ｂ，１６４Ｆは閉じ、バルブ１２５Ｂ，１３６Ｂ，１２５Ｃが開く。ポンプ１３６による送液により、回収タンク３０Ｂと電解セル２１Ｃとの間で循環配管１２５において第３の溶液が循環し、電解セル２１Ｃにおいて第１の電気分解が行われる。
【0131】
第１の電気分解において第２の溶液の温度が高いことは望ましくない。回収タンク３０Ａ，３０Ｂは、第２の溶液を貯留してその温度を、例えば６０℃以下へ低下させる。回収タンク３０Ａ，３０Ｂへの第１の廃液の供給と、回収タンク３０Ａ，３０Ｂを用いた第１の電気分解とを相補的に行うことは、回収タンク３０Ａ，３０Ｂのいずれか一方のみが第１の電気分解に採用される場合よりも、第１の電気分解の効率化に寄与する。
【0132】
例えば、バルブ１２４Ａが開いているときにはバルブ１３６Ａが閉じて回収タンク３０Ａに第１の廃液が供給され、バルブ１２５Ｂ，１３６Ｂが開いて回収タンク３０Ｂを用いた第１の電気分解が行われる。例えばバルブ１２４Ｂが開いているときにはバルブ１３６Ｂが閉じて回収タンク３０Ｂに第１の廃液が供給され、バルブ１２５Ａ，１３６Ａが開いて回収タンク３０Ａを用いた第１の電気分解が行われる。
【0133】
第１の電気分解において、
Ｓ２Ｏ８ ２－→２ＳＯ４－・
２ＳＯ４－・＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＳＯ４ ２－＋２ＯＨ・
Ｃ，Ｈ（有機物）＋２ＳＯ４－・→２ＨＳＯ４－＋ｘＣＯ２＋ｙＨ２Ｏ
２ＨＳＯ４－＋ｘＨ２Ｏ→２Ｈ２ＳＯ５＋ｘＨ２
Ｃ，Ｈ（有機物）＋２ＯＨ・→ｘＣＯ２＋ｙＨ２Ｏ
のように有機物が分解される。
Ｓ２Ｏ８ ２－→２ＳＯ４－・
２ＳＯ４－・＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＳＯ４ ２－＋２ＯＨ・
Ｃ，Ｈ（有機物）＋２ＳＯ４－・→２ＨＳＯ４－＋ｘＣＯ２＋ｙＨ２Ｏ
２ＨＳＯ４－＋ｘＨ２Ｏ→２Ｈ２ＳＯ５＋ｘＨ２
Ｃ，Ｈ（有機物）＋２ＯＨ・→ｘＣＯ２＋ｙＨ２Ｏ
のように有機物が分解される。
【0134】
第１の電気分解が実行される時間が長いほど、有機物が多く分解される。例えば第１の電気分解は、有機物が所望の程度まで分解されると想定される時間に亘って実行される。
【0135】
第１の電気分解が終了すると、バルブ１２５Ａ，１２５Ｂの両方が、あるいはバルブ１２５Ｃが閉じる。第１の電気分解が終了すると、バルブ１３６Ａ，１３６Ｂのいずれかまたは両方が開く。第１の電気分解が終了すると、バルブ１３６Ｄが開く。
【0136】
回収配管１２６には、ポンプ１３６により、バルブ１３６Ａ，１２５Ｄを介して回収タンク３０Ａから供給される第３の溶液も、バルブ１３６Ｂ，１２５Ｄを介して回収タンク３０Ｂから供給される第３の溶液も、バルブ１３６Ｄを介して回収タンク３０Ｃから供給される第１の溶液も、供給される。
【0137】
第２の溶液に対して第１の電気分解を行って第３の溶液を生成する経路は、以下「第１の経路」とも仮称される。例えばバルブ１２５Ａ，１３６Ａ，１２５Ｃ、電解セル２１Ｃ、および循環配管１２５は、回収タンク３０Ａとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。例えばバルブ１２５Ｂ，１３６Ｂ，１２５Ｃ、電解セル２１Ｃ、および循環配管１２５は、回収タンク３０Ｂとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。
【0138】
第１の回収部７Ａにおいて回収タンク３０Ａおよび回収タンク３０Ａに関する第１の経路が設けられ、回収タンク３０Ｂおよび回収タンク３０Ｂに関する第１の経路が省略されてもよい。
【0139】
＜２－１－２．第１の硫酸電解部７Ｂ＞
第１の硫酸電解部７Ｂは、再生タンク２０Ａ，２０Ｂと、電解セル２１Ａ，２１Ｂと、循環配管１２８，１３０と、供給配管１３２，１３４と、バルブ１２６Ａ，１２６Ｂとを有する。
第１の硫酸電解部７Ｂは、再生タンク２０Ａ，２０Ｂと、電解セル２１Ａ，２１Ｂと、循環配管１２８，１３０と、供給配管１３２，１３４と、バルブ１２６Ａ，１２６Ｂとを有する。
【0140】
回収配管１２６から、バルブ１２６Ａを介して再生タンク２０Ａへ、バルブ１２６Ｂを介して再生タンク２０Ｂへ、それぞれ第４の溶液が供給される。バルブ１２６Ａ，１２６Ｂのいずれも、制御部９０の制御の下、供給される第４の溶液の流量を調整する。第４の溶液は第１の溶液および第３の溶液のいずれかまたは両方を指す仮称である。再生タンク２０Ａ，２０Ｂのいずれも、第４の溶液を貯留するということができる。
【0141】
再生タンク２０Ａ，２０Ｂのいずれも、第３の溶液を貯留する、第３のタンクとして機能する。
【0142】
循環配管１２８は、再生タンク２０Ａと電解セル２１Ａとの間で第４の溶液を循環させる。当該循環において電解セル２１Ａは第４の溶液に含まれる第３の溶液に対して電気分解を行って、第１の溶液を生成する。循環配管１３０は、再生タンク２０Ｂが貯留する第４の溶液を循環させる。当該循環において電解セル２１Ｂは第４の溶液に含まれる第３の溶液に対して電気分解を行って、第１の溶液を生成する。これらの電気分解が、上述された第２の電気分解である。
【0143】
第２の電気分解において、
２ＳＯ４ ２－→Ｓ２Ｏ８ ２－＋２ｅ－
２ＨＳＯ４－→２Ｈ＋＋Ｓ２Ｏ８ ２－＋２ｅ－
のようにして、ペルオキソ二硫酸イオンが生成される。
２ＳＯ４ ２－→Ｓ２Ｏ８ ２－＋２ｅ－
２ＨＳＯ４－→２Ｈ＋＋Ｓ２Ｏ８ ２－＋２ｅ－
のようにして、ペルオキソ二硫酸イオンが生成される。
【0144】
再生タンク２０Ａ，２０Ｂのいずれも、第２の電気分解によって得られる第１の溶液と、回収タンク３０Ｄに貯留されていた第１の溶液とを貯留する。
【0145】
供給配管１３２は再生タンク２０Ａから、供給配管１３４は再生タンク２０Ｂから、それぞれ供給配管１００へ第１の溶液を供給する。
【0146】
循環配管１２８には、バルブ１２８Ａと、ポンプ１４０と、ヒータ１４２と、温度計１４３と、フィルタ１４４と、電解セル２１Ａと、濃度計１３８とが設けられる。
【0147】
バルブ１２８Ａは再生タンク２０Ａから循環配管１２８へ流れる第４の溶液の流量を制御部９０による制御の下で調整する。
【0148】
ポンプ１４０は、循環配管１２８に流れる第４の溶液を送液する。ヒータ１４２は、循環配管１２８に流れる第４の溶液を加熱する。温度計１４３は循環配管１２８に流れる第４の溶液の温度を計測する。フィルタ１４４は、循環配管１２８に流れる第４の溶液内の異物、例えばパーティクルを除去する。濃度計１３８は循環配管１２８に流れる第４の溶液の硫酸濃度を計測する。
【0149】
循環配管１３０には、バルブ１３０Ａと、ポンプ１４８と、ヒータ１５０と、温度計１５１と、フィルタ１５２と、電解セル２１Ｂと、濃度計１４６とが設けられる。
【0150】
バルブ１３０Ａは再生タンク２０Ｂから循環配管１３０へ流れる第４の溶液の流量を制御部９０による制御の下で調整する。
【0151】
ポンプ１４８は、循環配管１３０に流れる第４の溶液を送液する。ヒータ１５０は、循環配管１３０に流れる第４の溶液を加熱する。温度計１５１は循環配管１３０に流れる第４の溶液の温度を計測する。フィルタ１５２は、循環配管１３０に流れる第４の溶液内の異物、例えばパーティクルを除去する。濃度計１４６は循環配管１３０に流れる第４の溶液の硫酸濃度を計測する。
【0152】
上記の「硫酸濃度」は、硫酸の濃度と、ペルオキソ一硫酸の濃度と、ペルオキソ二硫酸の濃度とのいずれをも含む。例えばペルオキソ二硫酸の濃度が所望の下限よりも大きくなることは、第２の電気分解を行った時間で見積もられる。第２の電気分解は、その実行される時間が所定時間を越えたことを以て終了する。
【0153】
第１の硫酸電解部７Ｂにおいて供給配管１００には、ポンプ１５４と、ヒータ１５６と、温度計１５７と、フィルタ１５８とが設けられる。
【0154】
ポンプ１５４には、供給配管１３２およびバルブ１３２Ａを介して再生タンク２０Ａから、供給配管１３４およびバルブ１３４Ａを介して再生タンク２０Ｂから、それぞれ第１の溶液が供給される。ポンプ１５４は、供給配管１００に流れる第１の溶液を送液する。
【0155】
バルブ１３２Ａは供給配管１３２に流れる第１の溶液の流量を、バルブ１３４Ａは供給配管１３４に流れる第１の溶液の流量を、それぞれ制御部９０による制御の下で調整する。
【0156】
フィルタ１５８は、供給配管１００に流れる第１の溶液内の異物、例えばパーティクルを除去する。
【0157】
温度計１５７は供給配管１００を流れる第１の溶液の温度を計測する。ヒータ１５６は、温度計１５７で計測される温度が例えば９０℃になるように第１の溶液を加熱する。かかる温度の調整は、制御部９０の制御の下で行われる。
【0158】
第１の硫酸電解部７Ｂは、バルブ１６４Ａ，１６４Ｂを有する。再生タンク２０Ａはバルブ１６４Ａを介して、再生タンク２０Ｂはバルブ１６４Ｂを介して、それぞれ排出液配管１６４へ第４の溶液を供給する。バルブ１６４Ａ，１６４Ｂによる流量の調整は、制御部９０による制御の下で行われる。
【0159】
再生タンク２０Ａおよび再生タンク２０Ｂには、純水供給源１４から純水（ＤＩＷ）、過酸化水素水またはオゾン水が供給される。純水供給源１４から再生タンク２０Ａに供給される純水などの流量は、バルブ１４Ａを制御部９０で制御することによって調整可能である。また、純水供給源１４から再生タンク２０Ｂに供給される純水などの流量は、バルブ１４Ｂを制御部９０で制御することによって調整可能である。
【0160】
再生タンク２０Ａおよび再生タンク２０Ｂには、硫酸供給源１６から硫酸が供給される。硫酸供給源１６から再生タンク２０Ａに供給される硫酸の流量は、バルブ１６Ａを制御部９０で制御することによって調整可能である。また、硫酸供給源１６から再生タンク２０Ｂに供給される硫酸の流量は、バルブ１６Ｂを制御部９０で制御することによって調整可能である。
【0161】
説明を簡単にするため、まず再生タンク２０Ａにおいて第２の電気分解がおこなわれる場合について説明する。第２の電気分解に先立って、バルブ１２６Ａ，１６４Ａの調整により、再生タンク２０Ａには第２の電気分解に適した量の第４の溶液が貯留される。
【0162】
第２の電気分解において、バルブ１３２Ａは閉じ、再生タンク２０Ａと供給配管１００とは連通しない。バルブ１６４Ａは閉じ、再生タンク２０Ａと排出液配管１６４とは連通しない。バルブ１２６Ａは閉じ、回収配管１２６から再生タンク２０Ａへの第４の溶液の供給は行われない。
【0163】
第２の電気分解において、バルブ１２８Ａが開き、ポンプ１４０が動作し、再生タンク２０Ａに貯留されていた第４の溶液は、電解セル２１Ａへ供給される。電解セル２１Ａは電解装置として機能する。電解セル２１Ａが動作して第４の溶液に含まれる第３の溶液が第２の電気分解を受け、第１の溶液が生成され、これが再生タンク２０Ａへ供給される。このようにして再生タンク２０Ａが貯留する第４の溶液において、第１の溶液の割合が上昇する。
【0164】
再生タンク２０Ａにおいて第２の電気分解が行なわれる場合、再生タンク２０Ｂに対してバルブ１２６Ｂを介して第４の溶液が供給されてもよいし、再生タンク２０Ｂからバルブ１６４Ｂを介して第４の溶液が排出されてもよい。例えばこれらの処理において、バルブ１３０Ａは閉じている。
【0165】
濃度計１３８によって計測される硫酸濃度が低いとき、例えばバルブ１４Ａが開き、再生タンク２０Ａへ硫酸が供給される。濃度計１３８によって計測される硫酸濃度が高いとき、例えばバルブ１６Ａが開き、再生タンク２０Ａへの純水、過酸化水素水、あるいはオゾン水の供給が行われる。
【0166】
例えば、再生タンク２０Ａに貯留された第４の溶液の全体が電解セル２１Ａを流れるのに必要な期間において連続して、計測された硫酸濃度が所定の範囲内に収まるとき、計測された硫酸濃度が再生タンク２０Ａに貯留された第４の溶液の硫酸濃度であると考えることができる。
【0167】
再生タンク２０Ｂにおいても、循環配管１３０およびポンプ１４８、ヒータ１５０、温度計１５１、フィルタ１５２を用いた第２の電気分解が行われる。このとき、バルブ１３４Ａは閉じ、再生タンク２０Ｂと供給配管１００とは連通しない。バルブ１６４Ｂは閉じ、再生タンク２０Ｂと排出液配管１６４とは連通しない。バルブ１２６Ｂは閉じ、回収配管１２６から再生タンク２０Ｂへの第４の溶液の供給は行われない。
【0168】
第２の電気分解において、バルブ１３０Ａが開き、ポンプ１４８が動作し、再生タンク２０Ｂに貯留されていた第４の溶液は、電解セル２１Ｂへ供給される。電解セル２１Ｂは電解装置として機能する。電解セル２１Ｂが動作して第４の溶液に含まれる第３の溶液が第２の電気分解を受け、第１の溶液が生成され、これが再生タンク２０Ｂへ供給される。このようにして再生タンク２０Ｂが貯留する第４の溶液において、第１の溶液の割合が上昇する。
【0169】
再生タンク２０Ｂにおいて第２の電気分解が行なわれる場合、再生タンク２０Ａに対してバルブ１２６Ａを介して第４の溶液が供給されてもよいし、再生タンク２０Ａからバルブ１６４Ａを介して第４の溶液が排出されてもよい。例えばこれらの処理において、バルブ１２８Ａは閉じている。
【0170】
濃度計１４６によって計測される硫酸濃度が低いとき、例えばバルブ１４Ｂが開き、再生タンク２０Ｂへ硫酸が供給される。濃度計１４６によって計測される硫酸濃度が高いとき、例えばバルブ１６Ｂが開き、再生タンク２０Ｂへの純水、過酸化水素水、あるいはオゾン水の供給が行われる。
【0171】
例えば、再生タンク２０Ｂに貯留された第４の溶液の全体が電解セル２１Ｂを流れるのに必要な期間において連続して、計測された硫酸濃度が所定の範囲内に収まるとき、計測された硫酸濃度が再生タンク２０Ｂに貯留された第４の溶液の硫酸濃度であると考えることができる。
【0172】
例えば第２の電気分解は、第１の電気分解よりも高温において実行される。例えば第２の電気分解における第４の溶液の温度は、第１の電気分解における第２の溶液の温度よりも高い。例えば、第１の回収部７Ａにおいて第１の電気分解が実行される前に、第２の溶液は回収タンク３０Ａ，３０Ｂにおいて室温まで冷却される。例えば第２の電気分解における第４の溶液の温度が６０℃に昇温される。
【0173】
かかる昇温は、例えば温度計１４３による温度計測を援用してヒータ１４２によって、例えば温度計１５１による温度計測を援用してヒータ１５０によって、いずれも制御部９０による制御の下で行われる。
【0174】
再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解が行われつつ再生タンク２０Ｂを用いた第４の溶液の供給および排出のいずれかまたは両方が行われ、再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解が行われつつ再生タンク２０Ａを用いた第４の溶液の供給および排出のいずれかまたは両方が行われることは、第２の電気分解の効率化に寄与する。
【0175】
再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解と、再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解とが並行して行われてもよい。
【0176】
第３の溶液に対して第２の電気分解を行って第１の溶液を生成する経路は、以下「第２の経路」とも仮称される。例えばバルブ１２８Ａ、フィルタ１４４、電解セル２１Ａ、および循環配管１２８は、第３の溶液をフィルタ１４４によって濾過しつつ第１の溶液を生成する第２の経路として考えられる。例えばバルブ１３０Ａ、フィルタ１５２、電解セル２１Ｂ、および循環配管１３０は、第３の溶液をフィルタ１５２によって濾過しつつ第１の溶液を生成する第２の経路として考えられる。
【0177】
供給配管１００，１３２，１３４は、再生部７、より具体的には第１の硫酸電解部７Ｂから第１の溶液を供給タンク１０へ供給する、第３の経路として考えられる。
【0178】
上記の動作から、再生処理において第１の廃液を用いて第１の溶液が生成され、第１の電気分解と、第２の電気分解とがこの順序で行われる、ということができる。そして第１の電気分解においては第１の廃液に含まれる有機物が分解されるので、第２の電気分解においてペルオキソ二硫酸イオンを生成する際に、循環配管１２８，１３０に流れる有機物が低減し、フィルタ１４４，１５２の寿命が延びる。
【0179】
例えば図８を参照して、第２の電気分解の途中または第２の電気分解が終了してから、バルブ１３６Ａ，１３６Ｂが閉じた状態でバルブ１３６Ｄ，１２５Ｄ，１２６Ａを開いて再生タンク２０Ａに回収タンク３０Ｄから第１の溶液が供給される。
【0180】
例えば図８を参照して、第２の電気分解の途中または第２の電気分解が終了してから、バルブ１３６Ａ，１３６Ｂが閉じた状態でバルブ１３６Ｄ，１２５Ｄ，１２６Ｂを開いて再生タンク２０Ｂに回収タンク３０Ｄから第１の溶液が供給される。
【0181】
第１の硫酸電解部７Ｂにおいて再生タンク２０Ａおよび再生タンク２０Ａに関する第２の経路が設けられ、再生タンク２０Ｂおよび再生タンク２０Ｂに関する第２の経路が省略されてもよい。
【0182】
【0183】
再生部７の第２の実施の形態は、第２の回収部７Ｃと、第２の硫酸電解部７Ｄと、回収配管１２６と、排出液配管１６４とを含む。回収配管１２６および排出液配管１６４は第２の回収部７Ｃと第２の硫酸電解部７Ｄとで共有されると見ることもできるし、第２の回収部７Ｃおよび第２の硫酸電解部７Ｄのいずれかが有すると見ることもできる。
【0184】
第２の回収部７Ｃと第２の硫酸電解部７Ｄとは、回収配管１２６と排出液配管１６４とで連結される。
【0185】
＜２－２－１．第２の回収部７Ｃ＞
第２の回収部７Ｃは、回収タンク３０Ｃと、バルブ１２４Ｃ，１３６Ｃ，１６４Ｃ，１１０Ｃ，１０２Ｃと、ポンプ１３６とを有する。
第２の回収部７Ｃは、回収タンク３０Ｃと、バルブ１２４Ｃ，１３６Ｃ，１６４Ｃ，１１０Ｃ，１０２Ｃと、ポンプ１３６とを有する。
【0186】
第２の回収部７Ｃは、第１の回収部７Ａとは異なり、第１の電気分解を行わない。再生処理は、具体的には第１の電気分解及び第２の電気分解のいずれもが、第２の硫酸電解部７Ｄにおいて行われる。
【0187】
回収配管１２４はバルブ１２４Ｃを介して回収タンク３０Ｃへ第１の廃液を供給する。バルブ１２４Ｃは回収タンク３０Ｃへ供給する第１の廃液の流量を、制御部９０の制御の下で調整する。
【0188】
バルブ１２４Ｃの調整により、回収タンク３０Ｃには第２の硫酸電解部７Ｄにおける再生処理に適した量の第１の廃液が供給される。
【0189】
供給配管１０２はバルブ１０２Ｃを介して、回収配管１１０はバルブ１１０Ｃを介して、それぞれ回収タンク３０Ｃへ供給する第１の溶液の流量を、制御部９０の制御の下で調整する。
【0190】
回収タンク３０Ｃは第５の溶液を貯留する。第５の溶液は、第１の廃液と第１の溶液との混合物である。
【0191】
バルブ１６４Ｃは回収タンク３０Ｃと排出液配管１６４との間に設けられる。バルブ１６４Ｃは、回収タンク３０Ｃから排出液配管１６４を介して排出部５へ第５の溶液を供給する量を調整する。バルブ１６４Ｃによる流量の調整は、制御部９０による制御の下で行われる。
【0192】
回収タンク３０Ｃはバルブ１３６Ｃを介してポンプ１３６へ第５の溶液を供給する。バルブ１３６Ｃは制御部９０の制御の下、ポンプ１３６へ供給する第５の溶液の流量を調整する。
【0193】
バルブ１３６Ｃの調整およびポンプ１３６の動作により、第２の硫酸電解部７Ｄに供給される第５の溶液が回収配管１２６に流れる。
【0194】
第１の電気分解において第１の溶液の温度が高いことは望ましくない。回収タンク３０Ｃは、第５の溶液を貯留してその温度を、例えば６０℃以下へ低下させる。回収タンク３０Ｃが、第２の硫酸電解部７Ｄに送出される前の第５の溶液を貯留することは、第２の硫酸電解部７Ｄにおける第１の電気分解の効率化に寄与する。
【0195】
＜２－２－２．第２の硫酸電解部７Ｄ＞
第２の硫酸電解部７Ｄは、第１の硫酸電解部７Ｂ（図９参照）に対して、電解セル２１Ｄ，２１Ｅと、バルブ１３８Ａ，１４０Ａ，１４２Ａ，１４６Ａ，１４８Ａ，１５０Ａを追加した構成を有する。
第２の硫酸電解部７Ｄは、第１の硫酸電解部７Ｂ（図９参照）に対して、電解セル２１Ｄ，２１Ｅと、バルブ１３８Ａ，１４０Ａ，１４２Ａ，１４６Ａ，１４８Ａ，１５０Ａを追加した構成を有する。
【0196】
例えばバルブ１３８Ａ，１４０Ａ，１４２Ａ，１４６Ａ，１４８Ａ，１５０Ａのいずれも開閉弁であり、その開閉は制御部９０によって制御される。
【0197】
バルブ１３８Ａ，１４２Ａは、循環配管１２８に設けられる。バルブ１３８Ａは循環配管１２８において、ヒータ１４２と、温度計１４３と、フィルタ１４４と、電解セル２１Ａと、濃度計１３８とを、再生タンク２０Ａの液面側から隔てる。バルブ１４２Ａは循環配管１２８において、ヒータ１４２と、温度計１４３と、フィルタ１４４と、電解セル２１Ａと、濃度計１３８とを、ポンプ１４０およびバルブ１２８Ａから隔てる。
【0198】
循環配管１２８はその再生タンク２０Ａの液面側と、バルブ１３８Ａとの間で分岐し、当該分岐において電解セル２１Ｄが設けられる。循環配管１２８はポンプ１４０と、バルブ１４２Ａとの間で分岐し、当該分岐においてバルブ１４０Ａが設けられる。バルブ１４０Ａと電解セル２１Ｄとは、バルブ１３８Ａ，１４２Ａの間で直列に接続される。バルブ１４０Ａと電解セル２１Ｄとの接続順序は逆でもよい。
【0199】
バルブ１４６Ａ，１５０Ａは、循環配管１３０に設けられる。バルブ１４６Ａは循環配管１３０において、ヒータ１５０と、温度計１５１と、フィルタ１５２と、電解セル２１Ｂと、濃度計１４６とを、再生タンク２０Ｂの液面側から隔てる。バルブ１５０Ａは循環配管１３０において、ヒータ１５０と、温度計１５１と、フィルタ１５２と、電解セル２１Ｂと、濃度計１４６とを、ポンプ１４８およびバルブ１３０Ａから隔てる。
【0200】
循環配管１３０はその再生タンク２０Ｂの液面側と、バルブ１４６Ａとの間で分岐し、当該分岐において電解セル２１Ｅが設けられる。循環配管１３０はポンプ１４８と、バルブ１５０Ａとの間で分岐し、当該分岐においてバルブ１４８Ａが設けられる。バルブ１４８Ａと電解セル２１Ｅとは、バルブ１４６Ａ，１５０Ａの間で直列に接続される。バルブ１４８Ａと電解セル２１Ｅとの接続順序は逆でもよい。
【0201】
回収配管１２６から、バルブ１２６Ａを介して再生タンク２０Ａへ、バルブ１２６Ｂを介して再生タンク２０Ｂへ、それぞれ第５の溶液が供給される。バルブ１２６Ａ，１２６Ｂのいずれも、制御部９０の制御の下、供給される第５の溶液の流量を調整する。
【0202】
再生タンク２０Ａにおいて、第１の電気分解が開始するまでは第５の溶液が貯留される。再生タンク２０Ａにおいて、第１の電気分解では第５の溶液における第１の廃液から第３の溶液が生成されるので、第５の溶液および第３の溶液が貯留されるとも言えるし、第１の溶液および第２の溶液が含まれるとも言える。再生タンク２０Ａにおいて、第２の電気分解では第３の溶液から第１の溶液が生成される。これらの観点から、再生タンク２０Ａは第２の溶液を貯留する第２のタンクであるとも言えるし、第３の溶液を貯留する第３のタンクであるとも言える。同様にして、再生タンク２０Ｂは、第２のタンクであるとも言えるし、第３のタンクであるとも言える。
【0203】
第２の硫酸電解部７Ｄにおいて、バルブ１２８Ａ，１４０Ａが開き、バルブ１３８Ａ，１４２Ａが閉じた状態でポンプ１４０および電解セル２１Ｄが動作して、再生タンク２０Ａに貯留された第５の溶液に含まれる第１の廃液に対する第１の電気分解が行われる。
【0204】
再生タンク２０Ａに貯留された第５の溶液は、バルブ１３８Ａ，１４２Ａに遮られるので、電解セル２１Ａ、フィルタ１４４を経由することなく、バルブ１２８Ａ，１４０Ａを介して循環配管１２８内においてポンプ１４０の動作によって送液される。当該第５の溶液に含まれる第１の廃液は、電解セル２１Ｄによって第１の電気分解を受ける。当該第１の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ａにおける第１の廃液の量が減少し、第３の溶液の量が増大する。
【0205】
再生タンク２０Ａを用いた第１の電気分解は、第１の回収部７Ａにおける第１の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第１の電気分解が終了した時点で、再生タンク２０Ａは、実質的には第４の溶液を貯留する。
【0206】
第１の電気分解が終了した後、バルブ１２８Ａ，１３８Ａ，１４２Ａが開き、バルブ１４０Ａが閉じた状態でポンプ１４０および電解セル２１Ａが動作して、再生タンク２０Ａに貯留された第４の溶液に含まれる第３の溶液に対する第２の電気分解が行われる。
【0207】
再生タンク２０Ａに貯留された第４の溶液は、バルブ１４０Ａに遮られるので、電解セル２１Ｄを経由することなく、バルブ１２８Ａ，１３８Ａ，１４０Ａを介して循環配管１２８内においてポンプ１４０の動作によって送液される。第４の溶液はフィルタ１４４によって濾過されつつ、当該第４の溶液に含まれる第３の溶液は電解セル２１Ａによって第２の電気分解を受ける。当該第２の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ａにおける第３の溶液の量が減少し、第１の溶液の量が増大する。
【0208】
再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解は、第１の硫酸電解部７Ｂにおける第２の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第２の電気分解が終了した時点で、再生タンク２０Ａは、実質的には第１の溶液を貯留する。
【0209】
このような動作から電解セル２１Ｄは第１の電気分解を行う第１の電解装置と言える。電解セル２１Ａは第２の電気分解を行う第２の電解装置と言える。
【0210】
第２の硫酸電解部７Ｄにおいて、バルブ１３０Ａ，１４８Ａが開き、バルブ１４６Ａ，１５０Ａが閉じた状態でポンプ１４８および電解セル２１Ｅが動作して、再生タンク２０Ｂに貯留された第５の溶液に含まれる第１の廃液に対する第１の電気分解が行われる。
【0211】
再生タンク２０Ｂに貯留された第５の溶液は、バルブ１４６Ａ，１５０Ａに遮られるので、電解セル２１Ｅ、フィルタ１５２を経由することなく、バルブ１３０Ａ，１４８Ａを介して循環配管１３０内においてポンプ１４８の動作によって送液される。当該第５の溶液に含まれる第１の廃液は、電解セル２１Ｅによって第１の電気分解を受ける。当該第１の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ｂにおける第１の廃液の量が減少し、第３の溶液の量が増大する。
【0212】
再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解は、第１の回収部７Ａにおける第１の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第１の電気分解が終了した時点で再生タンク２０Ｂは、実質的には第４の溶液を貯留する。
【0213】
第１の電気分解が終了した後、バルブ１３０Ａ，１４６Ａ，１５０Ａが開き、バルブ１４８Ａが閉じた状態でポンプ１４８および電解セル２１Ｂが動作して、再生タンク２０Ｂに貯留された第４の溶液に含まれる第３の溶液に対する第２の電気分解が行われる。
【0214】
再生タンク２０Ｂに貯留された第４の溶液は、バルブ１４８Ａに遮られるので、電解セル２１Ｅを経由することなく、バルブ１３０Ａ，１４６Ａ，１４８Ａを介して循環配管１３０内においてポンプ１４８の動作によって送液される。第４の溶液はフィルタ１５２によって濾過されつつ、当該第４の溶液に含まれる第３の溶液は電解セル２１Ｂによって第２の電気分解を受ける。当該第２の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ｂにおける第３の溶液の量が減少し、第１の溶液の量が増大する。
【0215】
再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解は、第１の硫酸電解部７Ｂにおける第２の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第２の電気分解が終了した時点で、再生タンク２０Ｂは、実質的には第１の溶液を貯留する。
【0216】
このような動作から電解セル２１Ｅは第１の電気分解を行う第１の電解装置と言える。電解セル２１Ｂは第２の電気分解を行う第２の電解装置と言える。
【0217】
電解セル２１Ｄ，２１Ｅによる第１の電気分解以外の第２の硫酸電解部７Ｄの動作は、第１の硫酸電解部７Ｂの動作と同様である。
【0218】
再生タンク２０Ａを用いた第１の電気分解と、再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解とが並行して行われてもよい。再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解と、再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解とが並行して行われてもよい。
【0219】
再生タンク２０Ａを用いた第1の電気分解が行われつつ再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解が行われてもよい。再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解が行われつつ再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解が行われてもよい。再生タンク２０Ａ，２０Ｂが第１の電気分解と第２の電気分解とを相補的に行うことは、再生タンク２０Ａ，２０Ｂのいずれか一方のみが第２の硫酸電解部７Ｄに採用される場合よりも、再生処理の効率化に寄与する。
【0220】
第２の実施の形態において、例えばバルブ１２８Ａ，１４０Ａ，電解セル２１Ｄ、および循環配管１２８は、再生タンク２０Ａとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。例えばバルブ１３０Ａ，１４８Ａ、電解セル２１Ｅ、および循環配管１３０は、再生タンク２０Ｂとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。
【0221】
第２の実施の形態においても第１の実施の形態と同様に、例えばバルブ１２８Ａ、フィルタ１４４、電解セル２１Ａ、および循環配管１２８は、第３の溶液をフィルタ１４４によって濾過しつつ第１の溶液を生成する第２の経路として考えられる。例えばバルブ１３０Ａ、フィルタ１５２、電解セル２１Ｂ、および循環配管１３０は、第３の溶液をフィルタ１５２によって濾過しつつ第１の溶液を生成する第２の経路として考えられる。
【0222】
第２の実施の形態においても第１の実施の形態と同様に、供給配管１００，１３２，１３４は、再生部７、より具体的には第２の硫酸電解部７Ｄから第１の溶液を供給タンク１０へ供給する、第３の経路として考えられる。
【0223】
第２の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、フィルタ１４４，１５２の寿命が延びる。
【0224】
第２の実施の形態も第１の実施の形態と同様に、電解セル２１Ａ，２１Ｂが第１の電気分解を担当しないことにより、電解セル２１Ａ，２１Ｂの劣化が抑制される。
【0225】
第１の実施の形態では、バルブ１３６Ｄと、バルブ１３６Ａおよびバルブ１３６Ｂとを排他的に開閉することが可能である（図８参照）。かかる開閉により、回収配管１１０、供給配管１０２から再生部７へ供給された第１の溶液に対して、再生処理を不要にできる観点で、第１の実施の形態には第２の実施の形態に対する利点がある。
【0226】
第２の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、例えば第２の電気分解は、第１の電気分解よりも高温において実行される。かかる温度制御は、温度計１４３とヒータ１４２との協働や、温度計１５１とヒータ１５０との協働により実現され得る。
【0227】
第２の硫酸電解部７Ｄにおいて、再生タンク２０Ａ並びに再生タンク２０Ａに関する第１の経路および第２の経路が設けられ、再生タンク２０Ｂ並びに再生タンク２０Ｂに関する第１の経路および第２の経路が省略されてもよい。
【0228】
＜２－３．再生部７の第３の実施の形態＞
図１２は、第３の硫酸電解部７Ｅの構成を例示する模式図である。再生部７の第３の実施の形態は、第２の回収部７Ｃ（図１０参照）と、第３の硫酸電解部７Ｅと、回収配管１２６と、排出液配管１６４とを含む。回収配管１２６および排出液配管１６４は第２の回収部７Ｃと第３の硫酸電解部７Ｅとで共有されると見ることもできるし、第２の回収部７Ｃおよび第３の硫酸電解部７Ｅのいずれかが有すると見ることもできる。
図１２は、第３の硫酸電解部７Ｅの構成を例示する模式図である。再生部７の第３の実施の形態は、第２の回収部７Ｃ（図１０参照）と、第３の硫酸電解部７Ｅと、回収配管１２６と、排出液配管１６４とを含む。回収配管１２６および排出液配管１６４は第２の回収部７Ｃと第３の硫酸電解部７Ｅとで共有されると見ることもできるし、第２の回収部７Ｃおよび第３の硫酸電解部７Ｅのいずれかが有すると見ることもできる。
【0229】
第２の回収部７Ｃと第３の硫酸電解部７Ｅとは、回収配管１２６と排出液配管１６４とで連結される。
【0230】
第３の硫酸電解部７Ｅも第２の硫酸電解部７Ｄと同様に、第１の電気分解および第２の電気分解を行う。第３の実施の形態においても、第２の回収部７Ｃは、第２の実施の形態と同様に動作する。
【0231】
第３の硫酸電解部７Ｅは、第１の硫酸電解部７Ｂ（図９参照）に対して、バルブ１４４Ａ，１４４Ｂ，１４４Ｃ，１５２Ａ，１５２Ｂ，１５２Ｃを追加した構成を有する。例えばバルブ１４４Ａ，１４４Ｂ，１４４Ｃ，１５２Ａ，１５２Ｂ，１５２Ｃのいずれもが開閉弁であり、その開閉は制御部９０によって制御される。
【0232】
バルブ１４４Ａ，１４４Ｂは循環配管１２８に設けられる。バルブ１４４Ａは循環配管１２８において温度計１４３とフィルタ１４４との間に配置される。バルブ１４４Ｂは循環配管１２８において電解セル２１Ａとフィルタ１４４との間に配置される。循環配管１２８はその温度計１４３と電解セル２１Ａとの間でバルブ１４４Ａをバイパスして分岐し、当該分岐においてバルブ１４４Ｃが設けられる。バルブ１４４Ｃはバルブ１４４Ａとフィルタ１４４との直列接続に対して並列に設けられるとも言えるし、バルブ１４４Ｂとフィルタ１４４との直列接続に対して並列に設けられるとも言えるし、バルブ１４４Ａ，１４４Ｂとフィルタ１４４との直列接続に対して並列に設けられるとも言える。
【0233】
バルブ１５２Ａ，１５２Ｂは循環配管１３０に設けられる。バルブ１５２Ａは循環配管１３０において温度計１５１とフィルタ１５２との間に配置される。バルブ１５２Ｂは循環配管１３０において電解セル２１Ｂとフィルタ１５２との間に配置される。循環配管１３０はその温度計１５１と電解セル２１Ｂとの間でバルブ１５２Ａをバイパスして分岐し、当該分岐においてバルブ１５２Ｃが設けられる。バルブ１５２Ｃはバルブ１５２Ａとフィルタ１５２との直列接続に対して並列に設けられるとも言えるし、バルブ１５２Ｂとフィルタ１５２との直列接続に対して並列に設けられるとも言えるし、バルブ１５２Ａ，１５２Ｂとフィルタ１５２との直列接続に対して並列に設けられるとも言える。
【0234】
第２の実施の形態と同様にして、再生タンク２０Ａ，２０Ｂのいずれも、第２のタンクであるとも言えるし、第３のタンクであるとも言える。
【0235】
回収配管１２６から、バルブ１２６Ａを介して再生タンク２０Ａへ、バルブ１２６Ｂを介して再生タンク２０Ｂへ、それぞれ第５の溶液が供給される。バルブ１２６Ａ，１２６Ｂのいずれも、制御部９０の制御の下、供給される第５の溶液の流量を調整する。
【0236】
第３の硫酸電解部７Ｅにおいて、バルブ１４４Ａ，１４４Ｂのいずれかまたは両方が閉じ、バルブ１２８Ａ，１４４Ｃが開いた状態でポンプ１４０および電解セル２１Ａが動作して、再生タンク２０Ａに貯留された第５の溶液に含まれる第１の廃液に対する第１の電気分解が行われる。
【0237】
再生タンク２０Ａに貯留された第５の溶液は、バルブ１４４Ａ，１４４Ｂのいずれかに遮られるので、フィルタ１４４を経由することなく、バルブ１２８Ａ，１４４Ｃを介して循環配管１２８内においてポンプ１４０の動作によって送液される。当該第５の溶液に含まれる第１の廃液は、電解セル２１Ａによって第１の電気分解を受ける。当該第１の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ａにおける第１の廃液の量が減少し、第３の溶液の量が増大する。
【0238】
再生タンク２０Ａを用いた第１の電気分解は、第１の回収部７Ａにおける第１の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第１の電気分解が終了した時点で、再生タンク２０Ａは、実質的には第４の溶液を貯留する。
【0239】
第１の電気分解が終了した後、バルブ１２８Ａ，１４４Ａ，１４４Ｂが開き、バルブ１４４Ｃが閉じた状態でポンプ１４０および電解セル２１Ａが動作して、再生タンク２０Ａに貯留された第４の溶液に含まれる第３の溶液に対する第２の電気分解が行われる。
【0240】
再生タンク２０Ａに貯留された第４の溶液は、バルブ１４４Ｃに遮られるので、フィルタ１４４を迂回することなく、バルブ１２８Ａ，１４４Ａ，１４４Ｂを介して循環配管１２８内においてポンプ１４０の動作によって送液される。第４の溶液はフィルタ１４４によって濾過されつつ、当該第４の溶液に含まれる第３の溶液は電解セル２１Ａによって第２の電気分解を受ける。当該第２の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ａにおける第３の溶液の量が減少し、第１の溶液の量が増大する。
【0241】
再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解は、第１の硫酸電解部７Ｂにおける第２の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第２の電気分解が終了した時点で、再生タンク２０Ａは、実質的には第１の溶液を貯留する。
【0242】
このような動作から電解セル２１Ａは第１の電気分解を行う第１の電解装置であり、かつ第２の電気分解を行う第２の電解装置であると言える。
【0243】
第３の硫酸電解部７Ｅにおいて、バルブ１５２Ａ，１５２Ｂのいずれかまたは両方が閉じ、バルブ１３０Ａ，１５２Ｃが開いた状態でポンプ１４８および電解セル２１Ｂが動作して、再生タンク２０Ｂに貯留された第５の溶液に含まれる第１の廃液に対する第１の電気分解が行われる。
【0244】
再生タンク２０Ｂに貯留された第５の溶液は、バルブ１５２Ａ，１５２Ｂのいずれかに遮られるので、フィルタ１５２を経由することなく、バルブ１３０Ａ，１５２Ｃを介して循環配管１３０内においてポンプ１４８の動作によって送液される。当該第５の溶液に含まれる第１の廃液は、電解セル２１Ｂによって第１の電気分解を受ける。当該第１の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ｂにおける第１の廃液の量が減少し、第３の溶液の量が増大する。
【0245】
再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解は、第１の回収部７Ａにおける第１の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第１の電気分解が終了した時点で、再生タンク２０Ｂは、実質的には第４の溶液を貯留する。
【0246】
第１の電気分解が終了した後、バルブ１３０Ａ，１５２Ａ，１５２Ｂが開き、バルブ１５２Ｃが閉じた状態でポンプ１４８および電解セル２１Ｂが動作して、再生タンク２０Ｂに貯留された第４の溶液に含まれる第３の溶液に対する第２の電気分解が行われる。
【0247】
再生タンク２０Ｂに貯留された第４の溶液は、バルブ１５２Ｃに遮られるので、フィルタ１５２を迂回することなく、バルブ１３０Ａ，１５２Ａ，１５２Ｂを介して循環配管１３０内においてポンプ１４８の動作によって送液される。第４の溶液はフィルタ１５２によって濾過されつつ、当該第４の溶液に含まれる第３の溶液は電解セル２１Ｂによって第２の電気分解を受ける。当該第２の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ｂにおける第３の溶液の量が減少し、第１の溶液の量が増大する。
【0248】
再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解は、第１の硫酸電解部７Ｂにおける第２の電気分解と同様に、例えば時間の経過に基づいて終了する。第２の電気分解が終了した時点で、再生タンク２０Ｂは、実質的には第１の溶液を貯留する。
【0249】
このような動作から電解セル２１Ｂは第１の電気分解を行う第１の電解装置であり、かつ第２の電気分解を行う第２の電解装置であると言える。
【0250】
電解セル２１Ａ，２１Ｂによる第１の電気分解以外の第３の硫酸電解部７Ｅの動作は、第１の硫酸電解部７Ｂの動作と同様である。
【0251】
再生タンク２０Ａを用いた第１の電気分解と、再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解とが並行して行われてもよい。再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解と、再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解とが並行して行われてもよい。
【0252】
再生タンク２０Ａを用いた第1の電気分解が行われつつ再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解が行われてもよい。再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解が行われつつ再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解が行われてもよい。再生タンク２０Ａ，２０Ｂが第１の電気分解と第２の電気分解とを相補的に行うことは、再生タンク２０Ａ，２０Ｂのいずれか一方のみが第３の硫酸電解部７Ｅに採用される場合よりも、再生処理の効率化に寄与する。
【0253】
第３の実施の形態において、例えばバルブ１２８Ａ，１４４Ｃ、電解セル２１Ａ、および循環配管１２８は、再生タンク２０Ａとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。例えばバルブ１３０Ａ，１５２Ｃ、電解セル２１Ａ、および循環配管１３０は、再生タンク２０Ｂとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。
【0254】
第３の実施の形態において、例えばバルブ１２８Ａ、フィルタ１４４、バルブ１４４Ａ，１４４Ｂ、電解セル２１Ａ、および循環配管１２８は、第３の溶液をフィルタ１４４によって濾過しつつ第１の溶液を生成する第２の経路として考えられる。例えばバルブ１３０Ａ、フィルタ１５２、バルブ１５２Ａ，１５２Ｂ、電解セル２１Ｂ、および循環配管１３０は、第３の溶液をフィルタ１５２によって濾過しつつ第１の溶液を生成する第２の経路として考えられる。
【0255】
第３の実施の形態においても第１の実施の形態と同様に、供給配管１００，１３２，１３４は、再生部７、より具体的には第３の硫酸電解部７Ｅから第１の溶液を供給タンク１０へ供給する、第３の経路として考えられる。
【0256】
第３の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、フィルタ１４４，１５２の寿命が延びる。
【0257】
第３の実施の形態は、第１の実施の形態における電解セル２１Ｃを必要とせず、第２の実施の形態における電解セル２１Ｄ，２１Ｅを必要としない。この観点で、第３の実施の形態は第１の実施の形態および第２の実施の形態のいずれに対しても、安価に得られ易い利点がある。
【0258】
第３の実施の形態は、第１の実施の形態における電解セル２１Ｃを採用せず、第２の実施の形態における電解セル２１Ｄ，２１Ｅを採用せず、電解セル２１Ａ，２１Ｂのいずれもが第１の電解セルと第２の電解セルとを兼務する。この観点で、第１の実施の形態および第２の実施の形態のいずれも、第３の実施の形態に対して、電解セル２１Ａ，２１Ｂが劣化しにくい（劣化の抑制）という利点がある。
【0259】
第１の実施の形態では、回収配管１１０、供給配管１０２から再生部７へ供給された第１の溶液に対して、再生処理を不要にできる観点で、第１の実施の形態には第３の実施の形態に対する利点がある。
【0260】
第３の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、例えば第２の電気分解は、第１の電気分解よりも高温において実行される。かかる温度制御は、温度計１４３とヒータ１４２との協働や、温度計１５１とヒータ１５０との協働により実現され得る。
【0261】
第３の硫酸電解部７Ｅにおいて、再生タンク２０Ａ並びに再生タンク２０Ａに関する第１の経路および第２の経路が設けられ、再生タンク２０Ｂ並びに再生タンク２０Ｂに関する第１の経路および第２の経路が省略されてもよい。
【0262】
＜３．硫酸再生処理＞
上記のように基板処理装置１が動作し、第１の廃液から第１の溶液が生成される。第１の溶液は再生後硫酸として供給タンク１０に供給され、処理液の生成に供される。
上記のように基板処理装置１が動作し、第１の廃液から第１の溶液が生成される。第１の溶液は再生後硫酸として供給タンク１０に供給され、処理液の生成に供される。
【0263】
図１３は第１の廃液から第１の溶液を得る再生処理を例示するフローチャートである。再生処理はステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７を備える。硫酸再生処理はステップＳ１８を含む場合もある。
【0264】
ステップＳ１１は第１の廃液を第２のタンクに供給する工程である。第１の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１１において、回収配管１２４からバルブ１２４Ａを介して回収タンク３０Ａへ、バルブ１２４Ｂを介して回収タンク３０Ｂへ、それぞれ第１の廃液が供給される（図８参照）。第２の実施の形態および第３の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１１において、回収配管１２４からバルブ１２４Ｃを介して回収タンク３０Ｃへ第１の廃液が供給される（図１０参照）。
【0265】
ステップＳ１２は第１の電気分解を開始する工程である。第１の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１２において、バルブ１２４Ａ，１２４Ｂ，１２５Ｄ，１６４Ｅ，１６４Ｆが閉じ、バルブ１２５Ｃが開き、ポンプ１３６および電解セル２１Ｃが動作する。回収タンク３０Ａを用いて第１の電気分解が行われる場合にはバルブ１２５Ａ，１３６Ａが開く。回収タンク３０Ｂを用いて第１の電気分解が行われる場合にはバルブ１２５Ｂ，１３６Ｂが開く（図８参照）。
【0266】
第１の実施の形態における第１の電気分解において、バルブ１３６Ｄを閉じることは、回収タンク３０Ｄに貯留される第１の溶液を第１の電気分解へ供さず、もって電解セル２１Ｃの負荷を軽くすることに寄与する。
【0267】
第２の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１２においてはバルブ１３２Ａ，１３４Ａが閉じている。再生タンク２０Ａを用いて第１の電気分解が行われる場合には、ステップＳ１２において、バルブ１３８Ａ，１４２Ａが閉じており、バルブ１２８Ａ，１４０Ａが開いており、ポンプ１４０および電解セル２１Ｄが動作する。再生タンク２０Ｂを用いて第１の電気分解が行われる場合には、ステップＳ１２において、バルブ１４６Ａ，１５０Ａが閉じており、バルブ１３０Ａ，１４８Ａが開いており、ポンプ１４８および電解セル２１Ｅが動作する（図１１参照）。
【0268】
第３の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１２においてバルブ１３２Ａ，１３４Ａが閉じている。再生タンク２０Ａを用いて第１の電気分解が行われる場合には、ステップＳ１２において、バルブ１４４Ａ，１４４Ｂのいずれかまたは両方が閉じており、バルブ１４４Ｃが開いており、ポンプ１４０および電解セル２１Ａが動作する。再生タンク２０Ｂを用いて第１の電気分解が行われる場合には、ステップＳ１２において、バルブ１５２Ａ，１５２Ｂのいずれかまたは両方が閉じており、バルブ１５２Ｃが開いており、ポンプ１４８および電解セル２１Ｂが動作する（図１２参照）。
【0269】
ステップＳ１２によって第１の電気分解が開始した後、ステップＳ１３が実行される。ステップＳ１３においては、ステップＳ１２が実行されてから第１の所定時間が経過したかが判断される。当該判断の結果が肯定的となるまでステップＳ１２が繰り返し実行される。
【0270】
ステップＳ１２において開始した第１の電気分解は、第１の所定時間が経過するまで継続される。第１の所定時間は第１の電気分解に必要であると推定される時間である。第１の所定時間は、第１の廃液における有機物の量、あるいはその割合が所定値を下回ると推定される時間である、とも言える。ステップＳ１３の判断の結果が肯定的となると、ステップＳ１４が実行される。
【0271】
ステップＳ１４は第１の電気分解を停止するステップである。第１の実施の形態に即して言えば、例えば電解セル２１Ｃの動作が停止する（図８参照）。第２の実施の形態に即して言えば、再生タンク２０Ａを用いた第１の電気分解を停止するときには、例えば電解セル２１Ｄの動作が停止し、再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解を停止するときには、例えば電解セル２１Ｅの動作が停止する（図１１参照）。第３の実施の形態に即して言えば、再生タンク２０Ａを用いた第１の電気分解を停止するときには、例えば電解セル２１Ａの動作が停止し、再生タンク２０Ｂを用いた第１の電気分解を停止するときには、例えば電解セル２１Ｂの動作が停止する（図１２参照）。
【0272】
第３の実施の形態においては、第１の電気分解および第２の電気分解のいずれにおいても電解セル２１Ａ，２１Ｂが動作する。第１の電気分解の後に第２の電気分解が実行されるので、ステップＳ１４において必ずしも電解セル２１Ａ，２１Ｂが停止しなくてもよい。
【0273】
ステップＳ１５は第２の電気分解を開始する工程である。第１の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１５において、バルブ１２５Ｃが（あるいは更にバルブ１２５Ａ，１２５Ｂも）閉じている。回収タンク３０Ａを用いた第１の電気分解が終了している場合にはバルブ１３６Ａが開き、回収タンク３０Ｂを用いた第１の電気分解が終了している場合にはバルブ１３６Ｂが開き、いずれの場合にもポンプ１３６が動作する（図８参照）。
【0274】
ステップＳ１５においてはバルブ１３２Ａ，１３４Ａが閉じている。再生タンク２０Ａを用いて第２の電気分解が行われる場合には、バルブ１２８Ａが開き、ポンプ１４０および電解セル２１Ａが動作する。再生タンク２０Ｂを用いて第２の電気分解が行われる場合には、バルブ１３０Ａが開き、ポンプ１４８および電解セル２１Ｂが動作する（図９参照）。
【0275】
第２の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１５において、バルブ１３２Ａ，１３４Ａが閉じている。再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解が行われる場合にはバルブ１３８Ａ，１４２Ａが開き、ポンプ１４０および電解セル２１Ａが動作する。再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解が行われる場合にはバルブ１４６Ａ，１５０Ａが開き、ポンプ１４８および電解セル２１Ｂが動作する（図１１参照）。
【0276】
第３の実施の形態に即して言えば、ステップＳ１５において、バルブ１３２Ａ，１３４Ａが閉じている。再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解が行われる場合にはバルブ１４４Ａ，１４４Ｂが開き、バルブ１４４Ｃが閉じ、ポンプ１４０および電解セル２１Ａが動作する。再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解が行われる場合にはバルブ１５２Ａ，１５２Ｂが開き、バルブ１５２Ｃが閉じ、ポンプ１４８および電解セル２１Ｂが動作する（図１２参照）。
【0277】
ステップＳ１５によって第２の電気分解が開始した後、ステップＳ１６が実行される。ステップＳ１６においては、ステップＳ１５が実行されてから第２の所定時間が経過したかが判断される。当該判断の結果が肯定的となるまでステップＳ１６が繰り返し実行される。
【0278】
ステップＳ１５において開始した第２の電気分解は、第２の所定時間が経過するまで継続される。第２の所定時間は第２の電気分解に必要であると推定される時間である。第２の所定時間は、得られた第１の溶液の量あるいはその濃度、具体的にはペルオキソ二硫酸イオンの量あるいはその濃度が所定値を上回ると推定される時間である、とも言える。ステップＳ１６の判断の結果が肯定的となると、ステップＳ１７が実行される。
【0279】
ステップＳ１７は第２の電気分解を停止するステップである。第１の実施の形態、第２の実施の形態、第３の実施の形態のいずれにも即して言えば、再生タンク２０Ａを用いた第２の電気分解を停止するときには例えば電解セル２１Ａの動作が停止し、再生タンク２０Ｂを用いた第２の電気分解を停止するときには例えば電解セル２１Ｂの動作が停止する（図９、図１１、図１２参照）。
【0280】
硫酸再生処理は、更にステップＳ１８を備えている場合も想定される。ステップＳ１８はステップＳ１７が実行された後に、第１の溶液を第１のタンクへ供給するステップである。第１の実施の形態、第２の実施の形態、第３の実施の形態のいずれにも即して言えば、ステップＳ１７において例えばバルブ１３２Ａ，１３４Ａが開き、ポンプ１５４が動作する。
【0281】
上記の観点から、本開示にかかる基板処理方法は、処理液を用いて基板に対して処理を行う方法であって、例えばペルオキソ二硫酸イオンが含まれる第１の溶液を含む処理液を、基板Ｗに供給する工程と、廃液を第２の溶液を貯留する第２のタンク（第１の実施の形態に即して言えば回収タンク３０Ａ，３０Ｂであり、第２の実施の形態および第３の実施の形態に即して言えば再生タンク２０Ａ，２０Ｂが該当する）に供給する工程と、再生処理を行う工程とを備える、と見ることができる。
【0282】
再生処理は第１の電気分解と第２の電気分解という二つの工程を含むと見ることができる。第１の電気分解は、第２のタンクとの間で第２の溶液が環流する第１の経路において、第２の溶液に対して第３の溶液を生成する。第２の電気分解は、フィルタ１４４，１５２を有する第２の経路において、第３の溶液をフィルタ１４４，１５２によって濾過しつつ第１の溶液を生成する。このようにして生成された第１の溶液は、処理液として再利用に供される。
【0283】
＜４．変形＞
濃度計１３８，１４６はペルオキソ二硫酸の濃度を、硫酸の濃度およびペルオキソ一硫酸の濃度と区別して測定できる場合もあり得る（例えば分光分析など）。ステップＳ１６の判断はペルオキソ二硫酸の失活の程度を判断する。上記の場合には、ステップＳ１６における判断の条件は「ペルオキソ二硫酸の濃度は所定の濃度未満であるか」に変更され得る。
濃度計１３８，１４６はペルオキソ二硫酸の濃度を、硫酸の濃度およびペルオキソ一硫酸の濃度と区別して測定できる場合もあり得る（例えば分光分析など）。ステップＳ１６の判断はペルオキソ二硫酸の失活の程度を判断する。上記の場合には、ステップＳ１６における判断の条件は「ペルオキソ二硫酸の濃度は所定の濃度未満であるか」に変更され得る。
【0284】
第２の実施の形態および第３の実施の形態において第２の回収部７Ｃに代替して、第１の回収部７Ａから循環配管１２５、電解セル２１Ｃ、バルブ１２５Ａ，１２５Ｂを除いた構成が用いられてもよい。
【0285】
なお、上記各実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
【符号の説明】
【0286】
１ 基板処理装置
１０ 供給タンク
２０Ａ，２０Ｂ 再生タンク
３０Ａ，３０Ｂ 回収タンク
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅ 電解セル
１００，１３２，１３４ 供給配管
１２５，１２８，１３０ 循環配管
１０６Ｂ ノズル
１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２８Ａ，１３０Ａ，１３６Ａ，１３６Ｂ，１４０Ａ，１４８Ａ，１４４Ａ，１４４Ｂ，１４４Ｃ，１５２Ａ，１５２Ｂ，１５２Ｃ バルブ
１４４，１５２ フィルタ
Ｗ 基板
１０ 供給タンク
２０Ａ，２０Ｂ 再生タンク
３０Ａ，３０Ｂ 回収タンク
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅ 電解セル
１００，１３２，１３４ 供給配管
１２５，１２８，１３０ 循環配管
１０６Ｂ ノズル
１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２８Ａ，１３０Ａ，１３６Ａ，１３６Ｂ，１４０Ａ，１４８Ａ，１４４Ａ，１４４Ｂ，１４４Ｃ，１５２Ａ，１５２Ｂ，１５２Ｃ バルブ
１４４，１５２ フィルタ
Ｗ 基板
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【手続補正書】
【提出日】2024-05-16
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0031】
供給配管１００には、後述されるように再生部７によって再生された第１の溶液（以下「再生後硫酸」とも称される）が流れる。供給タンク１０には供給配管１００から再生後硫酸が供給される。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0038】
制御部９０は、処理レシピを参照して処理部６で行われる基板処理を把握する。流量計１１２で計測される第１の溶液の流量が、当該基板処理に十分な流量となるように、供給配管１０２を流れる第１の溶液の流量がバルブ１０２Ａの、例えば開度によって調整される。バルブ１０２Ａの調整は制御部９０による制御の下で行われる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0067】
廃液配管１２２はチャンバ８０の底部で、かつ、外側カップ５１１Ａの内側かつ内側カップ５１１Ｂの外側に設けられる。廃液配管１６１はチャンバ８０の底部で、かつ、内側カップ５１１Ｂの内側かつスピンチャック２５１の外側に設けられる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0087】
シリンダ３９は、ピストン４２によって、隔壁４１側の前室と、軸方向Ｘ１において当該ピストン４２を前室と共に挟む後室とに隔てられている。バネ４３は、シリンダ３９の後室側において、ピストン４２と本体３６との間に介挿されている。バネ４３は、隔壁４１に向けてピストン４２を押圧している。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0126】
回収タンク３０Ａを用いて第１の電気分解が行われる前に、バルブ１２４Ａ，１６４Ｅの調整により、回収タンク３０Ａには第１の電気分解に適した量の第１の廃液が貯留される。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0127】
回収タンク３０Ｂを用いて第１の電気分解が行われる前に、バルブ１２４Ｂ，１６４Ｆの調整により、回収タンク３０Ｂには第１の電気分解に適した量の第１の廃液が貯留される。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0128】
回収タンク３０Ａを用いて第１の電気分解が行われる場合にも、回収タンク３０Ｂを用いて第１の電気分解が行われる場合にも、バルブ１２５Ｄが閉じる。第１の溶液に含まれる上述の有機物は少なく、第１の溶液に対して第１の電気分解が行われる必要はなく、バルブ１３６Ｄは閉じる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0129】
回収タンク３０Ａを用いて第１の電気分解が行われるとき、バルブ１２４Ａ，１６４Ｅは閉じ、バルブ１２５Ａ，１３６Ａ，１２５Ｃが開く。ポンプ１３６による送液により、回収タンク３０Ａと電解セル２１Ｃとの間で循環配管１２５において第３の溶液が循環し、電解セル２１Ｃにおいて第１の電気分解が行われる。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0130】
回収タンク３０Ｂを用いて第１の電気分解が行われるとき、バルブ１２４Ｂ，１６４Ｆは閉じ、バルブ１２５Ｂ，１３６Ｂ，１２５Ｃが開く。ポンプ１３６による送液により、回収タンク３０Ｂと電解セル２１Ｃとの間で循環配管１２５において第３の溶液が循環し、電解セル２１Ｃにおいて第１の電気分解が行われる。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0161】
説明を簡単にするため、まず再生タンク２０Ａを用いて第２の電気分解がおこなわれる場合について説明する。第２の電気分解に先立って、バルブ１２６Ａ，１６４Ａの調整により、再生タンク２０Ａには第２の電気分解に適した量の第４の溶液が貯留される。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0165】
濃度計１３８によって計測される硫酸濃度が低いとき、例えばバルブ１６Ａが開き、再生タンク２０Ａへ硫酸が供給される。濃度計１３８によって計測される硫酸濃度が高いとき、例えばバルブ１４Ａが開き、再生タンク２０Ａへの純水、過酸化水素水、あるいはオゾン水の供給が行われる。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0170】
濃度計１４６によって計測される硫酸濃度が低いとき、例えばバルブ１６Ｂが開き、再生タンク２０Ｂへ硫酸が供給される。濃度計１４６によって計測される硫酸濃度が高いとき、例えばバルブ１４Ｂが開き、再生タンク２０Ｂへの純水、過酸化水素水、あるいはオゾン水の供給が行われる。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0179】
例えば図８をも参照して、第２の電気分解の途中または第２の電気分解が終了してから、バルブ１３６Ａ，１３６Ｂが閉じた状態でバルブ１３６Ｄ，１２５Ｄ，１２６Ａを開いて再生タンク２０Ａに回収タンク３０Ｄから第１の溶液が供給される。
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0180】
例えば図８をも参照して、第２の電気分解の途中または第２の電気分解が終了してから、バルブ１３６Ａ，１３６Ｂが閉じた状態でバルブ１３６Ｄ，１２５Ｄ，１２６Ｂを開いて再生タンク２０Ｂに回収タンク３０Ｄから第１の溶液が供給される。
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0207】
再生タンク２０Ａに貯留された第４の溶液は、バルブ１４０Ａに遮られるので、電解セル２１Ｄを経由することなく、バルブ１２８Ａ，１３８Ａ，１４２Ａを介して循環配管１２８内においてポンプ１４０の動作によって送液される。第４の溶液はフィルタ１４４によって濾過されつつ、当該第４の溶液に含まれる第３の溶液は電解セル２１Ａによって第２の電気分解を受ける。当該第２の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ａにおける第３の溶液の量が減少し、第１の溶液の量が増大する。
【手続補正16】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0214】
再生タンク２０Ｂに貯留された第４の溶液は、バルブ１４８Ａに遮られるので、電解セル２１Ｅを経由することなく、バルブ１３０Ａ，１４６Ａ，１５０Ａを介して循環配管１３０内においてポンプ１４８の動作によって送液される。第４の溶液はフィルタ１５２によって濾過されつつ、当該第４の溶液に含まれる第３の溶液は電解セル２１Ｂによって第２の電気分解を受ける。当該第２の電気分解が進行することにより、再生タンク２０Ｂにおける第３の溶液の量が減少し、第１の溶液の量が増大する。
【手続補正17】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0253】
第３の実施の形態において、例えばバルブ１２８Ａ，１４４Ｃ、電解セル２１Ａ、および循環配管１２８は、再生タンク２０Ａとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。例えばバルブ１３０Ａ，１５２Ｃ、電解セル２１Ｂ、および循環配管１３０は、再生タンク２０Ｂとの間で第２の溶液が環流する第１の経路として考えられる。
【手続補正18】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0269】
ステップＳ１２によって第１の電気分解が開始した後、ステップＳ１３が実行される。ステップＳ１３においては、ステップＳ１２が実行されてから第１の所定時間が経過したかが判断される。当該判断の結果が肯定的となるまでステップＳ１３が繰り返し実行される。
【手続補正19】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0281】
上記の観点から、本開示にかかる基板処理方法は、処理液を用いて基板に対して処理を行う方法であって、例えばペルオキソ二硫酸イオンが含まれる第１の溶液を含む処理液を、基板Ｗに供給する工程と、第２の溶液を貯留する第２のタンク（第１の実施の形態に即して言えば回収タンク３０Ａ，３０Ｂであり、第２の実施の形態および第３の実施の形態に即して言えば再生タンク２０Ａ，２０Ｂが該当する）に廃液を供給する工程と、再生処理を行う工程とを備える、と見ることができる。
【手続補正20】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0284】
第２の実施の形態および第３の実施の形態において第２の回収部７Ｃに代替して、第１の回収部７Ａから循環配管１２５、電解セル２１Ｃ、バルブ１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃを除いた構成が用いられてもよい。