(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024115877
(43)【公開日】2024-08-27
(54)【発明の名称】深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラム
(51)【国際特許分類】
G01B 15/00 20060101AFI20240820BHJP
G01N 23/04 20180101ALI20240820BHJP
【ＦＩ】
G01B15/00 H
G01N23/04
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023021757
(22)【出願日】2023-02-15
(71)【出願人】
【識別番号】515086908
【氏名又は名称】株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング
(74)【代理人】
【識別番号】110002516
【氏名又は名称】弁理士法人白坂
(72)【発明者】
【氏名】相浦 弘樹
(72)【発明者】
【氏名】野中 裕道
(72)【発明者】
【氏名】杉浦 知将
【テーマコード（参考）】
2F067
2G001
【Ｆターム（参考）】
2F067AA24
2F067EE05
2F067FF11
2F067HH04
2F067JJ03
2F067KK06
2F067LL16
2F067NN02
2F067NN03
2F067RR12
2F067RR21
2G001AA01
2G001BA11
2G001CA01
2G001GA01
2G001GA08
2G001JA04
2G001KA01
(57)【要約】
【課題】画像情報から深さを取得することが可能な深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラムを提供する。
【解決手段】深さ測定装置は、基準対象及び評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、第１取得部で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、第２取得部で取得する相関関係を参照して、第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】深さ測定装置は、基準対象及び評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、第１取得部で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、第２取得部で取得する相関関係を参照して、第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、
前記第１取得部で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、
前記第１取得部で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、
前記第２取得部で取得する相関関係を参照して、前記第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
前記第１取得部で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、
前記第１取得部で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、
前記第２取得部で取得する相関関係を参照して、前記第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
【請求項2】
前記第２取得部は、スライド移動量に応じた深さの相関関係を、スライド移動量が相対的に大きい場合に深さが相対的に浅く、スライド移動量が相対的に小さい場合に深さが相対的に深くなる曲線で近似して取得する
請求項１に記載の深さ測定装置。
請求項１に記載の深さ測定装置。
【請求項3】
前記第２取得部は、基準対象につき、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、当該特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得する
請求項２に記載の深さ測定装置。
請求項２に記載の深さ測定装置。
【請求項4】
前記第３取得部は、評価対象につき、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、当該特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得する
請求項３に記載の深さ測定装置。
請求項３に記載の深さ測定装置。
【請求項5】
深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、前記深さの方向に対して交差する方向に光源をスライド移動させて光を照射して得られた透過画像を取得する第１取得部と、
前記第１取得部で取得する基準対象の透過画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記光源を移動させて透過画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、
前記第１取得部で取得する評価対象の透過画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、
前記第２取得部で取得する相関関係を参照して、前記第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
前記第１取得部で取得する基準対象の透過画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記光源を移動させて透過画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、
前記第１取得部で取得する評価対象の透過画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、
前記第２取得部で取得する相関関係を参照して、前記第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、
を備える深さ測定装置。
【請求項6】
コンピュータが、
深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、
前記第１取得ステップで取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得ステップと、
前記第１取得ステップで取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得ステップと、
前記第２取得ステップで取得する相関関係を参照して、前記第３取得ステップで取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得ステップと、
を実行する深さ測定方法。
深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、
前記第１取得ステップで取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得ステップと、
前記第１取得ステップで取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得ステップと、
前記第２取得ステップで取得する相関関係を参照して、前記第３取得ステップで取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得ステップと、
を実行する深さ測定方法。
【請求項7】
コンピュータに、
深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、
前記第１取得機能で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得機能と、
前記第１取得機能で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得機能と、
前記第２取得機能で取得する相関関係を参照して、前記第３取得機能で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得機能と、
を実現させる深さ測定プログラム。
深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、前記深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、
前記第１取得機能で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、前記Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得機能と、
前記第１取得機能で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得機能と、
前記第２取得機能で取得する相関関係を参照して、前記第３取得機能で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得機能と、
を実現させる深さ測定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、断層画像を生成する際にトモシンセシス技術が利用される場合があった。特許文献１の装置は、放射線源を検出部の検出面に対して相対的に移動させ、放射線源の移動による複数の線源位置において被写体に放射線を照射するトモシンセシス撮影を行う。さらに、その装置は、複数の投影画像を再構成することにより、被写体の複数の断層面のそれぞれにおける断層画像を生成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２２－１２５３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
出願人は、トモシンセシス技術が様々な技術に利用できると考え、例えば、深度測定技術に利用可能として検討を重ねてきた。そこで、放射線源の移動量、及び、放射線源と放射線の検出部との距離を利用した算出式に基づいて、評価対象の内部に形成された開口部の深さを求める手法をあみ出した。
しかしながら、上述した算出式を利用する場合、移動量及び距離を予め高精度に取得する必要があるが、特に移動量及び距離を取得する際には、開口部の焦点位置及び検出部のフォトダイオードの位置等を厳密に計測する必要があり、測定現場においては手間のかかる作業となっていた。
このため、深度測定技術の改良を行った。
しかしながら、上述した算出式を利用する場合、移動量及び距離を予め高精度に取得する必要があるが、特に移動量及び距離を取得する際には、開口部の焦点位置及び検出部のフォトダイオードの位置等を厳密に計測する必要があり、測定現場においては手間のかかる作業となっていた。
このため、深度測定技術の改良を行った。
【0005】
本開示は、画像情報から深さを取得することが可能な深さ測定装置、深さ測定方法及び深さ測定プログラムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
一態様の深さ測定装置は、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、第１取得部で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、第２取得部で取得する相関関係を参照して、第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
一態様によれば、画像情報から深さを取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】一実施形態に係る深さ測定装置について説明するための図である。
【図2】一実施形態に係る深さ測定装置（処理部）について説明するためのブロック図である。
【図3】Ｘ線源及び検出部の一例について説明するための図である。
【図4】対象の一例について説明するための図である。（Ａ）は基準対象について説明する図、（Ｂ）は評価対象について説明するための図である。
【図5】開口部の深さとスライド移動量との相関関係の一例について説明するための図である。
【図6】画像情報に関連する開口部の輪郭部について説明するための図である。（Ａ）は複数の開口部を重ねた際の第１図、（Ｂ）は透過量について説明する第１図、（Ｃ）は複数の開口部を重ねた際の第２図、（Ｄ）は透過量について説明する第２図である。
【図7】一実施形態に係る深さ測定方法について説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、一実施形態について説明する。
【0010】
【0011】
本開示では、トモシンセシス技術を応用した深度計測技術を提案する。具体的には、深さ測定装置１は、例えば、トモシンセシス技術を応用した、評価対象２２０に形成された開口部２３０（図４参照）の深さを測定する構成等であってもよい。
【0012】
深さ測定装置１は、例えば、Ｘ線源２、Ｘ線検出部（検出部）３及び処理部１０を備える。
【0013】
Ｘ線源２は、対象２０に対して照射するＸ線を発生させるＸ線発生装置である。Ｘ線源２は、例えば、固定陽極Ｘ線管を備える。Ｘ線管の陽極には、例えば、ターゲットとして、タングステン、モリブデン等の金属が使用される。Ｘ線源２は、例えば、後述する処理部１０の制御に基づいて、Ｘ線を透過させる対象２０の厚さ及び材質等に応じて、発生させるＸ線量（エネルギ量）を設定する。Ｘ線源２には、例えば、公知のＸ線用の照射装置が使用されてもよい。
対象２０は、例えば、金属部材を始めとする種々の材質からなる部材等であってもよい。
対象２０は、例えば、金属部材を始めとする種々の材質からなる部材等であってもよい。
【0014】
検出部３は、例えば、Ｘ線源２から照射された後、対象２０を透過したＸ線を検出する。検出部３は、例えば、対象２０を透過した透過Ｘ線の強度（一例として、線量及び照射線量等）を検出する。検出部３には、例えば、公知のＸ線用の検出装置が使用されてもよい。
【0015】
処理部１０は、例えば、Ｘ線源２及びＸ線検出部３それぞれとの間で情報の送受信を行ってもよい。処理部１０は、例えば、サーバ、デスクトップ及びラップトップ等のコンピュータ（情報処理装置）等であってもよい。
【0016】
処理部１０は、対象２０（例えば、基準対象２１０及び評価対象２２０等（図４参照））に対して、Ｘ線源２からＸ線を照射させる。基準対象２１０は、深さ（既知）の異なる複数の開口部２３０が形成された対象であってもよい。評価対象２２０は、深さ測定の対象となる開口部２３０が形成された対象であってもよい。この場合、処理部１０は、例えば、開口部２３０が形成された深さ方向Ｙ（Ｘ線源２側から検出部３側へ向かう方向）に対して交差する方向（交差方向Ｘ）にＸ線源２をスライド移動させる（図３参照）。さらに、処理部１０は、例えば、Ｘ線源２を交差方向Ｘに多段階又は連続的に移動させつつ、対象２０に対して複数回Ｘ線を照射させる。
【0017】
処理部１０は、基準対象２１０の透過Ｘ線画像に基づいて、基準位置Ｌ１から所定位置Ｌ２までのスライド移動量Ｌ１２（図３参照）と、基準対象２１０に形成された複数の開口部２３０それぞれの既知の深さＡ，Ｂ，Ｃとの相関関係を取得する（図５参照）。基準位置Ｌ１は、例えば、基準対象２１０に対向する検出部３側の位置、すなわち、基準対象２１０が配される位置に対応する位置であってもよい。所定位置Ｌ２は、例えば、Ｘ線によって基準対象２１０（開口部２３０）が検出部３に投影される際の検出部３側の位置、すなわち、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置であってもよい。
【0018】
処理部１０は、基準対象２１０の場合と同様に、評価対象２２０（開口部２３０）についても、基準位置Ｌ１から所定位置Ｌ２までのスライド移動量Ｌ１２（Ｌｅ）を取得する（図５参照）。基準位置Ｌ１は、例えば、評価対象２２０に対向する検出部３側の位置、すなわち、評価対象２２０が配される位置に対応する位置であってもよい。所定位置Ｌ２は、例えば、Ｘ線によって評価対象２２０（開口部２３０）が検出部３に投影される際の検出部３側の位置、すなわち、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置であってもよい。
【0019】
処理部１０は、相関関係を参照して、評価対象２２０に関するスライド移動量Ｌｅに応じた深さＤを取得する。
【0020】
［深さ測定装置１の詳細］
次に、一実施形態に係る深さ測定装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図２は、一実施形態に係る深さ測定装置１（処理部１０）について説明するためのブロック図である。
図３は、Ｘ線源２及び検出部３の一例について説明するための図である。
図４は、対象２０の一例について説明するための図である。図４（Ａ）は基準対象２１０について説明する図、図４（Ｂ）は評価対象２２０について説明するための図である。
図５は、開口部２３０の深さとスライド移動量との相関関係の一例について説明するための図である。
図６は、画像情報に関連する開口部２３０の輪郭部について説明するための図である。図６（Ａ）は複数の開口部２３０を重ねた際の第１図、図６（Ｂ）は透過量について説明する第１図、図６（Ｃ）は複数の開口部２３０を重ねた際の第２図、図６（Ｄ）は透過量について説明する第２図である。
次に、一実施形態に係る深さ測定装置１について詳細に説明する。ここでは特に、処理部１０について詳細に説明する。
図２は、一実施形態に係る深さ測定装置１（処理部１０）について説明するためのブロック図である。
図３は、Ｘ線源２及び検出部３の一例について説明するための図である。
図４は、対象２０の一例について説明するための図である。図４（Ａ）は基準対象２１０について説明する図、図４（Ｂ）は評価対象２２０について説明するための図である。
図５は、開口部２３０の深さとスライド移動量との相関関係の一例について説明するための図である。
図６は、画像情報に関連する開口部２３０の輪郭部について説明するための図である。図６（Ａ）は複数の開口部２３０を重ねた際の第１図、図６（Ｂ）は透過量について説明する第１図、図６（Ｃ）は複数の開口部２３０を重ねた際の第２図、図６（Ｄ）は透過量について説明する第２図である。
【0021】
深さ測定装置１（処理部１０）は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２、表示部１２３及び制御部１１１等を備える。通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３は、出力部の一実施形態であってもよい。制御部１１１は、例えば、Ｘ線源制御部１１２、第１取得部１１３、第２取得部１１４、第３取得部１１５、第４取得部１１６及び出力制御部１１７等を備える。制御部１１１は、例えば、深さ測定装置１の演算処理装置等によって構成されてもよい。制御部１１１（例えば、演算処理装置等）は、例えば、記憶部１２２等に記憶される各種プログラム等を適宜読み出して実行することにより、各部（例えば、Ｘ線源制御部１１２、第１取得部１１３、第２取得部１１４、第３取得部１１５、第４取得部１１６及び出力制御部１１７等）の機能を実現してもよい。
【0022】
通信部１２１は、例えば、深さ測定装置１の外部にある装置（外部装置）等との間で種々の情報の送受信が可能な通信インターフェースである。通信部１２１は、例えば、Ｘ線源２及び検出部３と通信を行ってもよい。また、通信部１２１は、例えば、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等と通信を行ってもよい。ユーザ端末は、例えば、深さ測定装置１のユーザが使用する端末であってもよく、デスクトップ、ラップトップ、タブレット及びスマートフォン等であってもよい。
【0023】
記憶部１２２は、例えば、種々の情報及びプログラムを記憶してもよい。記憶部１２２の一例は、メモリ、ソリッドステートドライブ及びハードディスクドライブ等であってもよい。なお、記憶部１２２は、例えば、クラウド上にある記憶領域及びサーバ等であってもよい。
【0024】
表示部１２３は、例えば、種々の文字、記号及び画像等を表示することが可能なディスプレイである。
【0025】
Ｘ線源制御部１１２は、通信部１２１を介して、Ｘ線源２を制御する。一例として、Ｘ線源制御部１１２は、Ｘ線源２をスライド移動させるよう制御する。図３に例示するように、スライド移動させる方向は、例えば、対象２０に形成された開口部２３０の深さ方向Ｙに対して交差する方向（交差方向Ｘ）、特には直交する方向等であってもよい。これにより、Ｘ線源制御部１１２は、Ｘ線源２をスライド移動させつつ、すなわち、Ｘ線源２を交差方向Ｘに多段階又は連続的に移動させつつ、そのＸ線源２から対象２０に対して複数回Ｘ線を照射させる。対象２０は、基準対象２１０及び評価対象２２０等であってもよい。基準対象２１０は、例えば、既知の異なる深さそれぞれに開口部２３０が形成された対象であってもよい。評価対象２２０は、深さの測定対象となる開口部２３０が形成された対象であってもよい。開口部２３０は、例えば、貫通した孔部であってもよく、底部を有する穴部であってもよく、空間となる空隙であってもよい。
【0026】
なお、基準対象２１０と評価対象２２０とは、同じタイミング又は異なる前後するタイミングで撮像されることにより、それぞれの透過Ｘ線画像が生成されてもよい。また、基準対象２１０及び評価対象２２０それぞれの基準面は、Ｘ線源２から同一（又は、略同一等）の距離に配されてもよい。基準対象２１０の基準面は、図４（Ａ）に示すように、基準対象２１０において、Ｘ線源２に最も近い基準プレート２１１の表面２１３等であってもよい。また、評価対象２２０の基準面は、例えば、図４（Ｂ）に示すように、評価対象２２０においてＸ線源２に最も近い面２２１等であってもよい。
【0027】
ここで、図４（Ａ）に例示する基準対象２１０は、例えば、基準プレート２１１からの深さ（距離）Ａ，Ｂ，Ｃが異なる複数の開口部２３０を有する。図４（Ａ）に例示する場合では、基準対象２１０は、基準プレート２１１と、１つ（又は複数）の開口部２３０を含む複数のプレート２１２とを備える。
基準対象２１０では、深さ方向Ｙに見て、複数の開口部２３０の位置は異なるように配されてもよい（図４（Ａ）参照）。また、複数の開口部２３０の開口幅（例えば、開口部２３０が円形の場合には直径等）それぞれが異なるようになっていてもよい。また、複数の開口部２３０の開口の形状それぞれは異なるようになっていてもよい。これにより、基準対象２１０に照射されたＸ線により、複数の開口部２３０が検出部３に投影される場合、複数の開口部２３０を識別する、すなわち、複数の開口部２３０それぞれの違いに応じて深さを特定することが可能になる。
なお、基準プレート２１１は、開口部を有してよく、又は、開口部を有さなくてもよい。
基準対象２１０では、深さ方向Ｙに見て、複数の開口部２３０の位置は異なるように配されてもよい（図４（Ａ）参照）。また、複数の開口部２３０の開口幅（例えば、開口部２３０が円形の場合には直径等）それぞれが異なるようになっていてもよい。また、複数の開口部２３０の開口の形状それぞれは異なるようになっていてもよい。これにより、基準対象２１０に照射されたＸ線により、複数の開口部２３０が検出部３に投影される場合、複数の開口部２３０を識別する、すなわち、複数の開口部２３０それぞれの違いに応じて深さを特定することが可能になる。
なお、基準プレート２１１は、開口部を有してよく、又は、開口部を有さなくてもよい。
【0028】
また、図４（Ｂ）に例示する評価対象２２０は、例えば、金属等を始めとする種々の材質による部材であってもよい。評価対象２２０は、例えば、内部に開口部２３０（一例として、空隙等）が有ってもよい。
【0029】
第１取得部１１３は、例えば、通信部１２１を介して、検出部３において対象２０（例えば、基準対象２１０及び評価対象２２０）を透過したＸ線（透過Ｘ線）を検出することに応じて生成された透過Ｘ線画像を取得する。すなわち、第１取得部１１３は、深さの異なる複数の開口部２３０が形成された基準対象２１０、及び、開口部２３０が形成された評価対象２２０それぞれに対して、深さの方向Ｙに対して交差する方向ＸにＸ線源２をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する。
【0030】
第２取得部１１４は、第１取得部１１３で取得する基準対象２１０の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象２１０が配される位置に対応する基準位置Ｌ１から、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置Ｌ２までのスライド移動量Ｌ１２と、複数の開口部２３０それぞれの深さとの相関関係を取得する。
すなわち、第２取得部１１４は、基準対象２１０の透過Ｘ線画像に基づいて、図３に示すような、基準対象２１０が配される位置に対応する基準位置Ｌ１から、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置Ｌ２までのスライド移動量Ｌ１２と、複数の開口部２３０それぞれの深さＡ，Ｂ，Ｃとの相関関係を取得する（図５参照）。
すなわち、第２取得部１１４は、基準対象２１０の透過Ｘ線画像に基づいて、図３に示すような、基準対象２１０が配される位置に対応する基準位置Ｌ１から、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置Ｌ２までのスライド移動量Ｌ１２と、複数の開口部２３０それぞれの深さＡ，Ｂ，Ｃとの相関関係を取得する（図５参照）。
【0031】
基準位置Ｌ１は、例えば、基準対象２１０に対向する検出部３における位置、また基準対象２１０から深さ方向Ｙにある検出部３上の位置等と言うことが可能である。
また、Ｘ線源２をスライド移動させつつ対象２０（基準対象２１０）にＸ線を照射する場合、検出部３で検出される基準対象２１０の像（画像情報上の基準対象２１０の像）は、Ｘ線源２をスライド移動させる交差方向Ｘ（プラス方向（図３では右方向））とは反対方向（マイナス方向）に移動しつつ検出部３に投影される。すなわち、検出部３に投影される基準対象２１０の像の位置（所定位置）Ｌ２は、交差方向（マイナス）に移動する。
また、Ｘ線源２をスライド移動させつつ対象２０（基準対象２１０）にＸ線を照射する場合、検出部３で検出される基準対象２１０の像（画像情報上の基準対象２１０の像）は、Ｘ線源２をスライド移動させる交差方向Ｘ（プラス方向（図３では右方向））とは反対方向（マイナス方向）に移動しつつ検出部３に投影される。すなわち、検出部３に投影される基準対象２１０の像の位置（所定位置）Ｌ２は、交差方向（マイナス）に移動する。
【0032】
したがって、第２取得部１１４は、既知の異なる深さ（図４（Ａ）に例示する場合には深さＡ，Ｂ，Ｃ）の開口部２３０（複数の開口部２３０）それぞれに応じた、基準位置Ｌ１から、基準対象２１０が投影される位置Ｌ２までの、交差方向Ｘ（マイナス方向）の移動量（スライド移動量）Ｌ１２を取得する。すなわち、第２取得部１１４は、複数の開口部２３０それぞれの複数の既知の深さＡ，Ｂ，Ｃと、スライド移動量Ｌ１２との相関関係を取得する。
【0033】
第２取得部１１４は、スライド移動量に応じた深さの相関関係を、スライド移動量が相対的に大きい場合に深さが相対的に浅く、スライド移動量が相対的に小さい場合に深さが相対的に深くなる曲線で近似して取得することとしてもよい。相関関係は、上述したように、異なる既知の深さの開口部２３０（複数の開口部２３０）を利用して取得される。この場合、第２取得部１１４は、スライド移動量Ｌ１２と複数の開口部２３０の深さＡ，Ｂ，Ｃとの関係をプロットし、そのプロットした点を非線形曲線（一例として、対数曲線等）で近似することにより、相関関係を取得してもよい。
【0034】
第２取得部１１４は、基準対象２１０につき、Ｘ線源２を多段階又は連続的に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置（所定位置）Ｌ２を特定し、その特定した位置Ｌ２と基準位置Ｌ１とに基づいてスライド移動量Ｌ１２を取得することとしてもよい。
【0035】
ここで、Ｘ線源２をスライド移動させつつ基準対象２１０（開口部２３０）の像が記録された透過Ｘ線画像の複数を重ねる場合、開口部２３０に対してＸ線源２の見掛けの移動量が小さい際には、複数の画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。同様に、開口部２３０に対してＸ線源２の見掛けの移動量が大きい際には、画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
【0036】
開口部２３０が深さ方向Ｙに対してより浅い位置（Ｘ線源２側により近い位置）に有る場合、その開口部２３０からより近い位置をＸ線源２が移動する際（図３に例示する移動量ｄが小さい場合）には、その開口部２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される開口部２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより大きくなると考えられる。すなわちこの場合には、複数の画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
同様に、開口部２３０が深さ方向Ｙに対してより浅い位置（Ｘ線源２側により近い位置）に有る場合、その開口部２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図３に例示する移動量ｄが大きい場合）には、その開口部２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される開口部２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより小さくなると考えられる。すなわちこの場合には、複数の画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。
同様に、開口部２３０が深さ方向Ｙに対してより浅い位置（Ｘ線源２側により近い位置）に有る場合、その開口部２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図３に例示する移動量ｄが大きい場合）には、その開口部２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される開口部２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより小さくなると考えられる。すなわちこの場合には、複数の画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。
【0037】
また、開口部２３０が深さ方向Ｙに対してより深い位置（検出部３側により近い位置）に有る場合、その開口部２３０からより近い位置をＸ線源２が移動する際（図３に例示する移動量ｄが小さい場合）には、その開口部２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される開口部２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより小さくなると考えられる。すなわちこの場合には、画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより鮮明になると考えられる。
同様に、開口部２３０が深さ方向Ｙに対してより深い位置（検出部３側により近い位置）に有る場合、その開口部２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図３に例示する移動量ｄが大きい場合）には、その開口部２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される開口部２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより大きくなると考えられる。すなわちこの場合には、画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
同様に、開口部２３０が深さ方向Ｙに対してより深い位置（検出部３側により近い位置）に有る場合、その開口部２３０からより遠い位置をＸ線源２が移動する際（図３に例示する移動量ｄが大きい場合）には、その開口部２３０に対するＸ線源２の見掛けの移動量（例えば、検出部３に投影される開口部２３０の像の－Ｘ方向への移動量）がより大きくなると考えられる。すなわちこの場合には、画像を重ねた開口部２３０の輪郭部はより不鮮明になると考えられる。
【0038】
開口部２３０の輪郭部は、例えば、Ｘ線の透過量に応じて特定される。Ｘ線の透過量がより多い場合には開口部２３０があること、またＸ線の透過量がより少ない場合には開口部２３０が無いことと推定が可能である。
したがって、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、開口部２３０の移動がより大きいと複数の開口部２３０の像のずれが大きくなり（図６（Ａ）参照）、開口部２３０の輪郭部２３１がより不鮮明になり、開口部２３０の輪郭部２３１（開口内部と開口外部との境界）のＸ線透過量Ｔの差がより緩やかな変動になる（図６（Ｂ）参照）。
同様に、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、開口部２３０の移動がより少ないと複数の開口部２３０の像のずれが少なくなり（図６（Ｃ）参照）、開口部２３０の輪郭部２３１がより鮮明になり、開口部２３０の輪郭部２３１（開口内部と開口外部との境界）のＸ線透過量Ｔの差がより急激な変動になる（図６（Ｄ）参照）。
したがって、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、開口部２３０の移動がより大きいと複数の開口部２３０の像のずれが大きくなり（図６（Ａ）参照）、開口部２３０の輪郭部２３１がより不鮮明になり、開口部２３０の輪郭部２３１（開口内部と開口外部との境界）のＸ線透過量Ｔの差がより緩やかな変動になる（図６（Ｂ）参照）。
同様に、複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合、開口部２３０の移動がより少ないと複数の開口部２３０の像のずれが少なくなり（図６（Ｃ）参照）、開口部２３０の輪郭部２３１がより鮮明になり、開口部２３０の輪郭部２３１（開口内部と開口外部との境界）のＸ線透過量Ｔの差がより急激な変動になる（図６（Ｄ）参照）。
【0039】
第２取得部１１４は、Ｘ線源２のスライド移動に応じた複数の透過Ｘ線画像を重ねた場合の、開口部２３０の輪郭部の透過量Ｔの変化が予め設定された所定値以上の場合（例えば、透過量Ｔの変化の割合が閾値以上の場合）、検出部３側に投影される開口部２３０の移動が最も少ない位置、すなわち、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置（所定位置）Ｌ２として、特定する。
なお、第２取得部１１４は、例えば、透過量Ｔとして、透過Ｘ線の強度又は輝度を利用してもよい。
なお、第２取得部１１４は、例えば、透過量Ｔとして、透過Ｘ線の強度又は輝度を利用してもよい。
【0040】
第３取得部１１５は、第１取得部１１３で取得する評価対象２２０の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象２２０に形成された開口部２３０が写るスライド移動量Ｌ１２を取得する。第３取得部１１５は、評価対象２２０の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象２２０に形成された開口部２３０が写るスライド移動量Ｌ１２を取得する。この場合、第３取得部１１５は、Ｘ線源２をスライド移動させつつ評価対象２２０を撮像した複数の透過Ｘ線画像を重ね、重ねた複数の透過Ｘ線画像に記録される開口部２３０の輪郭部がより鮮明に記録される際の、透過Ｘ線画像を取得した位置Ｌ２を取得する。当該位置Ｌ２は、上述した基準対象２１０の際に取得する位置Ｌ２と同様に取得することが可能である。第３取得部１１５は、評価対象２２０に関する基準位置Ｌ１から、開口部２３０の輪郭部がより鮮明に記録される際の透過Ｘ線画像を取得した位置Ｌ２までの、スライド移動量Ｌ１２を取得する。当該スライド移動量Ｌ１２は、上述した基準対象２１０の際に取得するスライド移動量Ｌ１２と同様に取得することが可能である。
【0041】
第３取得部１１５は、評価対象２２０につき、Ｘ線源２を多段階又は連続的に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量Ｔの変化が所定値以上の位置（所定位置）Ｌ２を特定し、その特定した位置Ｌ２と基準位置Ｌ１とに基づいてスライド移動量Ｌ１２を取得することとしてもよい。
【0042】
基準位置Ｌ１は、例えば、基準対象２１０と同様に、評価対象２２０に対向する検出部３における位置、また評価対象２２０から深さ方向にある検出部３の位置等と言うことが可能である。
また、Ｘ線源２をスライド移動させつつ対象２０（評価対象２２０）にＸ線を照射する場合、基準対象２１０と同様に、検出部３で検出される評価対象２２０の像（画像情報上の評価対象２２０の像）は、Ｘ線源２をスライド移動させる交差方向Ｘ（プラス方向）とは反対方向（マイナス方向）に移動しつつ検出部３に投影される。すなわち、検出部３に投影される評価対象２２０の像の位置（所定位置）Ｌ２は、交差方向（マイナス）に移動する。
また、Ｘ線源２をスライド移動させつつ対象２０（評価対象２２０）にＸ線を照射する場合、基準対象２１０と同様に、検出部３で検出される評価対象２２０の像（画像情報上の評価対象２２０の像）は、Ｘ線源２をスライド移動させる交差方向Ｘ（プラス方向）とは反対方向（マイナス方向）に移動しつつ検出部３に投影される。すなわち、検出部３に投影される評価対象２２０の像の位置（所定位置）Ｌ２は、交差方向（マイナス）に移動する。
【0043】
第３取得部１１５は、上述した第２取得部１１４の処理と同様に、評価対象２２０に形成された開口部２３０に関し、Ｘ線源２のスライド移動に応じた開口部２３０の検出部３への複数の投影画像（透過Ｘ線画像）を重ねる。第３取得部１１５は、複数の開口部２３０を重ねた輪郭部の透過量Ｔの変化が予め設定された所定値以上の場合（例えば、透過量Ｔの変化の割合が閾値以上の場合）、検出部３側に投影される開口部２３０の移動が最も少ない位置、すなわち、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置（所定位置）Ｌ２として、特定する。
なお、第３取得部１１５は、例えば、透過量Ｔとして、透過Ｘ線の強度又は輝度を利用してもよい。
なお、第３取得部１１５は、例えば、透過量Ｔとして、透過Ｘ線の強度又は輝度を利用してもよい。
【0044】
第４取得部１１６は、第２取得部１１４で取得する相関関係を参照して、第３取得部１１５で取得するスライド移動量Ｌ１２に応じた深さを取得する。具体的な一例として、第４取得部１１６は、第３取得部１１５で取得したスライド移動量Ｌ１２が「Ｌｅ」の場合、図５に例示する相関関係を参照し、スライド移動量Ｌｅに応じた深さＤを特定する。第４取得部１１６は、特定した深さＤを、評価対象２２０に形成された開口部２３０の深さＤとして取得する。
【0045】
出力制御部１１７は、第４取得部１１６で取得した深さを出力するよう出力部を制御してもよい。出力部は、例えば、通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３等であってもよい。
すなわち、出力制御部１１７は、例えば、深さに関する情報を外部装置に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。ここで、外部装置は、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等であってもよい。
出力制御部１１７は、例えば、深さに関する情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１７は、例えば、深さを表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
すなわち、出力制御部１１７は、例えば、深さに関する情報を外部装置に送信するよう通信部１２１を制御してもよい。ここで、外部装置は、サーバ及びユーザ端末（図示せず）等であってもよい。
出力制御部１１７は、例えば、深さに関する情報を記憶するよう記憶部１２２を制御してもよい。
出力制御部１１７は、例えば、深さを表示するよう表示部１２３を制御してもよい。
【0046】
【0047】
ステップＳＴ１０１において、第１取得部１１３は、基準対象２１０及び評価対象２２０それぞれに対して、深さの方向Ｙに対して交差する方向ＸにＸ線源２をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する。基準対象２１０は、例えば、深さＡ，Ｂ，Ｃ（既知）の異なる複数の開口部２３０が形成された部材である。評価対象２２０は、例えば、深さを取得する対象となる開口部２３０が形成された部材である。
【0048】
ステップＳＴ１０２において、第２取得部１１４は、ステップＳＴ１０１で取得した基準対象２１０の透過Ｘ線画像に基づいて、基準位置Ｌ１から所定位置Ｌ２までのスライド移動量Ｌ１２と、複数の開口部２３０それぞれの深さＡ，Ｂ，Ｃとの相関関係を取得する。基準位置Ｌ１は、例えば、基準対象２１０が配される位置に対応する位置である。所定位置Ｌ２は、例えば、Ｘ線源２を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置である。
この場合、第２取得部１１４は、基準対象２１０につき、Ｘ線源２を多段階又は連続的に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量Ｔの変化が所定値以上の位置（所定位置）Ｌ２を特定し、その所定位置Ｌ２と基準位置Ｌ１とに基づいてスライド移動量Ｌ１２を取得することとしてもよい。
第２取得部１１４は、スライド移動量Ｌ１２に応じた深さの相関関係を、スライド移動量Ｌ１２が相対的に大きい場合に深さが相対的に浅く、スライド移動量Ｌ１２が相対的に小さい場合に深さが相対的に深くなる曲線で近似して取得することとしてもよい。
この場合、第２取得部１１４は、基準対象２１０につき、Ｘ線源２を多段階又は連続的に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量Ｔの変化が所定値以上の位置（所定位置）Ｌ２を特定し、その所定位置Ｌ２と基準位置Ｌ１とに基づいてスライド移動量Ｌ１２を取得することとしてもよい。
第２取得部１１４は、スライド移動量Ｌ１２に応じた深さの相関関係を、スライド移動量Ｌ１２が相対的に大きい場合に深さが相対的に浅く、スライド移動量Ｌ１２が相対的に小さい場合に深さが相対的に深くなる曲線で近似して取得することとしてもよい。
【0049】
ステップＳＴ１０３において、第３取得部１１５は、ステップＳＴ１０１で取得した評価対象２２０の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象２２０に形成された開口部２３０が写るスライド移動量Ｌ１２を取得する。
第３取得部１１５は、例えば、評価対象２２０のスライド移動量Ｌ１２を、ステップＳＴ１０２で取得した基準対象２１０のスライド移動量Ｌ１２と同様に取得してもよい。
すなわち、第３取得部１１５は、評価対象２２０につき、Ｘ線源２を多段階又は連続的に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量Ｔの変化が所定値以上の位置（所定位置）Ｌ２を特定し、その所定位置Ｌ２と基準位置Ｌ１とに基づいてスライド移動量Ｌ１２を取得することとしてもよい。なお、ステップＳＴ１０３における基準位置Ｌ１は、例えば、評価対象２２０が配される位置に対応する検出部３上の位置である。
第３取得部１１５は、例えば、評価対象２２０のスライド移動量Ｌ１２を、ステップＳＴ１０２で取得した基準対象２１０のスライド移動量Ｌ１２と同様に取得してもよい。
すなわち、第３取得部１１５は、評価対象２２０につき、Ｘ線源２を多段階又は連続的に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部２３０の輪郭部におけるＸ線の透過量Ｔの変化が所定値以上の位置（所定位置）Ｌ２を特定し、その所定位置Ｌ２と基準位置Ｌ１とに基づいてスライド移動量Ｌ１２を取得することとしてもよい。なお、ステップＳＴ１０３における基準位置Ｌ１は、例えば、評価対象２２０が配される位置に対応する検出部３上の位置である。
【0050】
ステップＳＴ１０４において、第４取得部１１６は、ステップＳＴ１０２で取得した相関関係を参照して、ステップＳＴ１０３で取得したスライド移動量Ｌ１２に応じた深さを取得する。すなわち、第４取得部１１６は、基準対象２１０の相関関係を参照し、評価対象２２０のスライド移動量Ｌ１２（Ｌｅ）からその評価対象２２０にある開口部２３０の深さＤを取得する。
【0051】
［機能及び回路について］
次に、上述した情報処理装置の機能及び回路について説明する。
深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１２、第１取得部１１３、第２取得部１１４、第３取得部１１５、第４取得部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等によるＸ線源制御機能、第１取得機能、第２取得機能、第３取得機能、第４取得機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
深さ測定プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。深さ測定プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、深さ測定装置１の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１２、第１取得部１１３、第２取得部１１４、第３取得部１１５、第４取得部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等を構成するＸ線源制御回路、第１取得回路、第２取得回路、第３取得回路、第４取得回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
次に、上述した情報処理装置の機能及び回路について説明する。
深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等の機能として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１２、第１取得部１１３、第２取得部１１４、第３取得部１１５、第４取得部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等によるＸ線源制御機能、第１取得機能、第２取得機能、第３取得機能、第４取得機能及び出力制御機能（制御機能）としてそれぞれ実現されてもよい。
深さ測定プログラムは、上述した各機能をコンピュータに実現させることができる。深さ測定プログラムは、例えば、メモリ、ソリッドステートドライブ、ハードディスクドライブ又は光ディスク等の、コンピュータで読み取り可能な非一時的な記録媒体等に記録されていてもよい。記録媒体は、例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体と言い換えてもよい。
また、上述したように、深さ測定装置１の各部は、コンピュータの演算処理装置等で実現されてもよい。その演算処理装置等は、例えば、集積回路等によって構成される。このため、深さ測定装置１の各部は、演算処理装置等を構成する回路として実現されてもよい。すなわち、深さ測定装置１のＸ線源制御部１１２、第１取得部１１３、第２取得部１１４、第３取得部１１５、第４取得部１１６及び出力制御部１１７（制御部１１１）は、コンピュータの演算処理装置等を構成するＸ線源制御回路、第１取得回路、第２取得回路、第３取得回路、第４取得回路及び出力制御回路（制御回路）として実現されてもよい。
また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、演算処理装置等の機能を含む通信機能、記憶機能及び表示機能（出力機能）として実現されもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、集積回路等によって構成されることにより通信回路、記憶回路及び表示回路（出力回路）として実現されてもよい。また、深さ測定装置１の通信部１２１、記憶部１２２及び表示部１２３（出力部）は、例えば、複数のデバイスによって構成されることにより通信装置、記憶装置及び表示装置（出力装置）として構成されてもよい。
【0052】
深さ測定装置１は、上述した複数の各部のうち１又は任意の複数を組み合わせることが可能である。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
本開示では、「情報」の文言を使用しているが、「情報」の文言は「データ」と言い換えることができ、「データ」の文言は「情報」と言い換えることができる。
【0053】
［変形例］
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した装置について説明した。しかしながら、本開示の装置等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用してもよい。この場合、装置等は、例えば、赤外光、可視光及び紫外光等を利用して、透過画像を取得し、また深さを測定してもよい。種々の波長（波長域）を利用して透過画像を取得し、また深さを測定する部材の一例は、半導体等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
上述した実施形態では、Ｘ線を利用した装置について説明した。しかしながら、本開示の装置等では、Ｘ線を利用するばかりでなく、種々の波長（波長域）の光及び放射線（電磁波）を利用してもよい。この場合、装置等は、例えば、赤外光、可視光及び紫外光等を利用して、透過画像を取得し、また深さを測定してもよい。種々の波長（波長域）を利用して透過画像を取得し、また深さを測定する部材の一例は、半導体等を始めとする種々の材質からなる部材であってもよい。
【0054】
［本実施形態の態様及び効果］
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
次に、本実施形態の一態様及び各態様が奏する効果について説明する。なお、以下に記載する各態様は出願時の一例であり、本実施形態は以下に記載する態様に限定されることはない。すなわち、本実施形態は以下に記載する各態様に限定されることはなく、上述した各部を適宜組み合わせて実現されてもよい。また、下位の態様は、それよりも上位の態様のいずれでも引用できる場合がある。
また、以下に記載する効果は一例であり、各態様が奏する効果は以下に記載するものに限定されることはない。また、各態様は、例えば、以下に記載する少なくとも１つの効果を奏してもよい。
【0055】
（態様１）
一態様の深さ測定装置は、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、第１取得部で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、第２取得部で取得する相関関係を参照して、第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象にある開口部の深さを取得することができる。
すなわち、深さ測定装置は、深さの取得に算出式を用いることがないため、Ｘ線源の移動量ｄ、及び、Ｘ線源と検出部との距離Ｌを厳密に計測する必要がない。よって、深さ測定装置は、深さの測定現場において測定者の手間を省くことができ、算出式を用いる場合に比べて容易に深さを取得することができる。なお、本実施形態の深さ測定装置を用いて測定した深さと、従来の深さ測定手法（従来手法）で得た深さとを比較すると、本実施形態の深さ測定装置の深さは従来手法に比べて０．０２～０．０９ｍｍ（誤差０．３～０．８％）精度が高く、本実施形態の深さ測定装置で得た深さはより精度が高いことが確認できた。本実施形態の深さ測定装置は、±０．１ｍｍの精度で深さを測定することができる。
一態様の深さ測定装置は、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、第１取得部で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、第２取得部で取得する相関関係を参照して、第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象にある開口部の深さを取得することができる。
すなわち、深さ測定装置は、深さの取得に算出式を用いることがないため、Ｘ線源の移動量ｄ、及び、Ｘ線源と検出部との距離Ｌを厳密に計測する必要がない。よって、深さ測定装置は、深さの測定現場において測定者の手間を省くことができ、算出式を用いる場合に比べて容易に深さを取得することができる。なお、本実施形態の深さ測定装置を用いて測定した深さと、従来の深さ測定手法（従来手法）で得た深さとを比較すると、本実施形態の深さ測定装置の深さは従来手法に比べて０．０２～０．０９ｍｍ（誤差０．３～０．８％）精度が高く、本実施形態の深さ測定装置で得た深さはより精度が高いことが確認できた。本実施形態の深さ測定装置は、±０．１ｍｍの精度で深さを測定することができる。
【0056】
（態様２）
一態様の深さ測定装置では、第２取得部は、スライド移動量に応じた深さの相関関係を、スライド移動量が相対的に大きい場合に深さが相対的に浅く、スライド移動量が相対的に小さい場合に深さが相対的に深くなる曲線で近似して取得することとしてもよい。
深さ測定装置は、スライド移動量は開口部の深さに依存すると推定されるため、その推定に基づいた近似曲線を利用して、相関関係を取得することができる。
一態様の深さ測定装置では、第２取得部は、スライド移動量に応じた深さの相関関係を、スライド移動量が相対的に大きい場合に深さが相対的に浅く、スライド移動量が相対的に小さい場合に深さが相対的に深くなる曲線で近似して取得することとしてもよい。
深さ測定装置は、スライド移動量は開口部の深さに依存すると推定されるため、その推定に基づいた近似曲線を利用して、相関関係を取得することができる。
【0057】
（態様３）
一態様の深さ測定装置では、第２取得部は、基準対象につき、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、その特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得することとしてもよい。
深さ測定装置は、トモシンセシス技術を利用して得た複数の透過Ｘ線画像を重ねた際の、開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の場合、開口部に焦点が合っていると推定することができる。深さ測定装置は、その推定に基づいてスライド移動量を取得し、さらに相関関係を取得することができる。
一態様の深さ測定装置では、第２取得部は、基準対象につき、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、その特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得することとしてもよい。
深さ測定装置は、トモシンセシス技術を利用して得た複数の透過Ｘ線画像を重ねた際の、開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の場合、開口部に焦点が合っていると推定することができる。深さ測定装置は、その推定に基づいてスライド移動量を取得し、さらに相関関係を取得することができる。
【0058】
（態様４）
一態様の深さ測定装置では、第３取得部は、評価対象につき、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、その特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得することとしてもよい。
深さ測定装置は、トモシンセシス技術を利用して得た複数の透過Ｘ線画像を重ねた際の、開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の場合、開口部に焦点が合っていると推定することができる。深さ測定装置は、その推定に基づいてスライド移動量を取得することができる。
一態様の深さ測定装置では、第３取得部は、評価対象につき、Ｘ線源を多段階に移動させることに応じて取得する複数の透過Ｘ線画像に基づく開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の位置を特定し、その特定した位置と基準位置とに基づいてスライド移動量を取得することとしてもよい。
深さ測定装置は、トモシンセシス技術を利用して得た複数の透過Ｘ線画像を重ねた際の、開口部の輪郭部におけるＸ線の透過量の変化が所定値以上の場合、開口部に焦点が合っていると推定することができる。深さ測定装置は、その推定に基づいてスライド移動量を取得することができる。
【0059】
（態様５）
一態様の深さ測定装置は、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向に光源をスライド移動させて光を照射して得られた透過画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する基準対象の透過画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、光源を移動させて透過画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、第１取得部で取得する評価対象の透過画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、第２取得部で取得する相関関係を参照して、第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、上述した一態様と同様の効果を奏することができる。
一態様の深さ測定装置は、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向に光源をスライド移動させて光を照射して得られた透過画像を取得する第１取得部と、第１取得部で取得する基準対象の透過画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、光源を移動させて透過画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得部と、第１取得部で取得する評価対象の透過画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得部と、第２取得部で取得する相関関係を参照して、第３取得部で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得部と、を備える。
これにより、深さ測定装置は、上述した一態様と同様の効果を奏することができる。
【0060】
（態様６）
一態様の深さ測定方法では、コンピュータが、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、第１取得ステップで取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得ステップと、第１取得ステップで取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得ステップと、第２取得ステップで取得する相関関係を参照して、第３取得ステップで取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得ステップと、を実行する。
これにより、深さ測定方法は、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の深さ測定方法では、コンピュータが、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得ステップと、第１取得ステップで取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得ステップと、第１取得ステップで取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得ステップと、第２取得ステップで取得する相関関係を参照して、第３取得ステップで取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得ステップと、を実行する。
これにより、深さ測定方法は、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
【0061】
（態様７）
一態様の深さ測定プログラムは、コンピュータに、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、第１取得機能で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得機能と、第１取得機能で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得機能と、第２取得機能で取得する相関関係を参照して、第３取得機能で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得機能と、を実現させる。
これにより、深さ測定プログラムは、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
一態様の深さ測定プログラムは、コンピュータに、深さの異なる複数の開口部が形成された基準対象、及び、開口部が形成された評価対象それぞれに対して、深さの方向に対して交差する方向にＸ線源をスライド移動させてＸ線を照射して得られた透過Ｘ線画像を取得する第１取得機能と、第１取得機能で取得する基準対象の透過Ｘ線画像に基づいて、基準対象が配される位置に対応する基準位置から、Ｘ線源を移動させて透過Ｘ線画像を取得した位置までのスライド移動量と、複数の開口部それぞれの深さとの相関関係を取得する第２取得機能と、第１取得機能で取得する評価対象の透過Ｘ線画像に基づいて、評価対象に形成された開口部が写るスライド移動量を取得する第３取得機能と、第２取得機能で取得する相関関係を参照して、第３取得機能で取得するスライド移動量に応じた深さを取得する第４取得機能と、を実現させる。
これにより、深さ測定プログラムは、上述した一態様の深さ測定装置と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【0062】
１ 深さ測定装置
２ Ｘ線源
３ Ｘ線検出部（検出部）
１０ 処理部
１１１ 制御部
１１２ Ｘ線源制御部
１１３ 第１取得部
１１４ 第２取得部
１１５ 第３取得部
１１６ 第４取得部
１１７ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
２０ 対象
２１０ 基準対象
２１１ 基準プレート
２１２ プレート
２１３ 基準プレートの表面
２２０ 評価対象
２３０ 開口部
２３１ 輪郭部
２ Ｘ線源
３ Ｘ線検出部（検出部）
１０ 処理部
１１１ 制御部
１１２ Ｘ線源制御部
１１３ 第１取得部
１１４ 第２取得部
１１５ 第３取得部
１１６ 第４取得部
１１７ 出力制御部
１２１ 通信部
１２２ 記憶部
１２３ 表示部
２０ 対象
２１０ 基準対象
２１１ 基準プレート
２１２ プレート
２１３ 基準プレートの表面
２２０ 評価対象
２３０ 開口部
２３１ 輪郭部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】