特開 2024-115937 Ｘ線管

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024115937

(43)【公開日】2024-08-27

(54)【発明の名称】Ｘ線管

(51)【国際特許分類】

   H01J 35/16 20060101AFI20240820BHJP

   H01J 35/20 20060101ALI20240820BHJP

   H01J 35/14 20060101ALI20240820BHJP

【ＦＩ】

H01J35/16

H01J35/20

H01J35/14

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023021854

(22)【出願日】2023-02-15

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】石井 淳

(72)【発明者】

【氏名】清水 亮迪

(57)【要約】

【課題】カソードの劣化を抑制することができるＸ線管を提供する。
【解決手段】Ｘ線管１は、筐体２と、筐体２内に配置されており、電子を放出するカソード３２と、筐体２内に配置されており、電子の入射によってＸ線を発生させるターゲット４と、筐体２内においてカソード３２を包囲している第１筒体３５と、第１筒体３５の内側の領域のうち、カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せない領域に配置されたゲッタ５と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

筐体と、
前記筐体内に配置されており、電子を放出するカソードと、
前記筐体内に配置されており、前記電子の入射によってＸ線を発生させるターゲットと、
前記筐体内において前記カソードを包囲している第１筒体と、
前記第１筒体の内側の領域のうち、前記カソードから前記ターゲットに至る前記電子の軌道を見通せない領域に配置されたゲッタと、を備える、Ｘ線管。

【請求項2】

前記筐体内に配置されており、前記カソードから放出された前記電子を前記ターゲットに集束させる集束電極と、
前記第１筒体の内側の前記領域において前記集束電極を支持していると共に前記カソードを包囲している第２筒体と、を更に備え、
前記第２筒体には、前記第２筒体の内側の領域及び前記第２筒体の外側の領域に開口している少なくとも一つの開口が形成されており、
前記ゲッタは、前記第１筒体と前記第２筒体との間の領域に配置されている、請求項１に記載のＸ線管。

【請求項3】

前記ゲッタは、前記開口と向かい合っている、請求項２に記載のＸ線管。

【請求項4】

前記第１筒体及び前記第２筒体は、前記集束電極と同電位となるように前記集束電極と電気的に接続されている、請求項２に記載のＸ線管。

【請求項5】

前記第１筒体の内側の前記領域において前記ゲッタを支持しているワイヤを更に備える、請求項１に記載のＸ線管。

【請求項6】

前記ゲッタは、非蒸発型ゲッタである、請求項５に記載のＸ線管。

【請求項7】

前記ゲッタは、前記第１筒体の内面に膜状に形成されている、請求項１に記載のＸ線管。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線管に関する。

【背景技術】

【0002】

筐体と、筐体内において電子を放出するカソードと、筐体内において電子の入射によってＸ線を発生させるターゲットと、を備えるＸ線管が知られている。このようなＸ線管として、特許文献１には、筐体内で発生したガスを吸着させるためのゲッタを備えるものが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－２５６４４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１に記載のＸ線管では、筐体内の空間のうち、カソードを収容している電子銃の外側の空間に、ゲッタが配置されている。そのため、カソード近傍の部材から放出されたガスが、ゲッタに吸着される前にカソードに付着するおそれがある。ガスがカソードに付着すると、カソードが劣化し、カソードから電子が放出されにくくなる。

【0005】

本発明は、カソードの劣化を抑制することができるＸ線管を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のＸ線管は、［１］「筐体と、前記筐体内に配置されており、電子を放出するカソードと、前記筐体内に配置されており、前記電子の入射によってＸ線を発生させるターゲットと、前記筐体内において前記カソードを包囲している第１筒体と、前記第１筒体の内側の領域のうち、前記カソードから前記ターゲットに至る前記電子の軌道を見通せない領域に配置されたゲッタと、を備える、Ｘ線管」である。

【0007】

上記［１］に記載のＸ線管では、カソードを包囲している第１筒体の内側の領域にゲッタが配置されている。これにより、第１筒体の内側の領域において、カソード近傍の部材から放出されたガスをゲッタに効率良く吸着させることができる。また、第１筒体の内側の領域のうち、カソードからターゲットに至る電子の軌道を見通せない領域に、ゲッタが配置されている。これにより、ゲッタに電子が衝突することに起因して、ゲッタに吸着されたガスがゲッタから第１筒体の内側の領域に再放出されるのを抑制することができる。よって、上記［１］に記載のＸ線管によれば、ガスの付着に起因するカソードの劣化を抑制することができる。

【0008】

本発明のＸ線管は、［２］「前記筐体内に配置されており、前記カソードから放出された前記電子を前記ターゲットに集束させる集束電極と、前記第１筒体の内側の前記領域において前記集束電極を支持していると共に前記カソードを包囲している第２筒体と、を更に備え、前記第２筒体には、前記第２筒体の内側の領域及び前記第２筒体の外側の領域に開口している少なくとも一つの開口が形成されており、前記ゲッタは、前記第１筒体と前記第２筒体との間の領域に配置されている、上記［１］に記載のＸ線管」であってもよい。当該［２］に記載のＸ線管によれば、例えば、第２筒体の内側の領域に配置されたヒータの輻射熱によってゲッタが過度に加熱されることや、例えば、第２筒体の内側の領域に配置された配線にゲッタが接触することを抑制して、ゲッタを好適に機能させることができる。なお、ヒータの輻射熱によってゲッタが過度に加熱されると、ゲッタに吸着されたガスが脱離によってゲッタから第１筒体の内側の領域に再放出されるおそれがある。また、配線にゲッタが接触すると、Ｘ線管の各部に電圧が適切に印加されないおそれがある。

【0009】

本発明のＸ線管は、［３］「前記ゲッタは、前記開口と向かい合っている、上記［２］に記載のＸ線管」であってもよい。当該［３］に記載のＸ線管によれば、カソード近傍の部材から放出されたガスを、開口を介してゲッタに効率良く吸着させることができる。

【0010】

本発明のＸ線管は、［４］「前記第１筒体及び前記第２筒体は、前記集束電極と同電位となるように前記集束電極と電気的に接続されている、上記［２］又は［３］に記載のＸ線管」であってもよい。当該［４］に記載のＸ線管によれば、カソード周りの電界を安定させて、カソードを好適に機能させることができる。

【0011】

本発明のＸ線管は、［５］「前記第１筒体の内側の前記領域において前記ゲッタを支持しているワイヤを更に備える、上記［１］～［４］のいずれか一つに記載のＸ線管」であってもよい。当該［５］に記載のＸ線管によれば、第１筒体の内側の領域に露出するゲッタの表面積を増加させて、カソード近傍の部材から放出されたガスをゲッタに効率良く吸着させることができる。

【0012】

本発明のＸ線管は、［６］「前記ゲッタは、非蒸発型ゲッタである、上記［５］に記載のＸ線管」であってもよい。当該［６］に記載のＸ線管によれば、ゲッタをブロック状に形成して、第１筒体の内側の領域に露出するゲッタの表面積を増加させることができる。

【0013】

本発明のＸ線管は、［７］「前記ゲッタは、前記第１筒体の内面に膜状に形成されている、上記［１］～［４］のいずれか一つに記載のＸ線管」であってもよい。当該［７］に記載のＸ線管によれば、第１筒体の小型化を図ることができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、カソードの劣化を抑制することができるＸ線管を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】一実施形態のＸ線管を備えるＸ線発生装置の断面図である。

【図2】図１に示されるＸ線管の断面図である。

【図3】図２に示される電子銃の断面図である。

【図4】変形例のＸ線管の電子銃の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［Ｘ線発生装置の構成］

【0017】

図１に示されるように、Ｘ線発生装置１０は、Ｘ線管１と、保持部１１と、電源部１２と、給電部１３と、を備えている。本実施形態では、Ｘ線発生装置１０は、Ｘ線非破壊検査に用いられる微小焦点Ｘ線源として構成されている。

【0018】

保持部１１は、Ｘ線管１を保持している。保持部１１は、金属によって筒状に形成されている。保持部１１の一端部１１１には、Ｘ線管１が液密に取り付けられている。より具体的には、Ｘ線管１の筐体２のうちのヘッド２１が一端部１１１の開口１１１ａの内側に配置され且つＸ線管１の筐体２のうちのバルブ２２が保持部１１の内側に配置された状態で、ヘッド２１が一端部１１１に液密に取り付けられている。保持部１１の他端部１１２には、電源部１２が液密に取り付けられている。保持部１１の内部には、絶縁油が封入されている。

【0019】

電源部１２は、Ｘ線管１に印加するための高電圧を発生させる。電源部１２は、電源ケース１２１と、絶縁ブロック１２２と、昇圧部１２３と、を有している。電源ケース１２１は、絶縁ブロック１２２及び昇圧部１２３を収容している。電源ケース１２１は、金属によって箱状に形成されている。昇圧部１２３は、絶縁ブロック１２２中に埋設されている。絶縁ブロック１２２は、絶縁材料（例えば、エポキシ樹脂等）によってブロック状に形成されている。昇圧部１２３は、Ｘ線発生装置１０の外部から導入された電圧を昇圧し、高電圧を発生させる。

【0020】

給電部１３は、電源部１２からＸ線管１に電力を供給する。給電部１３は、複数の配線を有している。給電部１３は、電源ケース１２１の開口１２１ａ及び保持部１１の他端部１１２の開口１１２ａを介して、昇圧部１２３からＸ線管１に延在している。給電部１３の一端部１３ａは、Ｘ線管１と電気的に接続されている。給電部１３の他端部１３ｂは、昇圧部１２３と電気的に接続されている。
［Ｘ線管の構成］

【0021】

図２に示されるように、Ｘ線管１は、筐体２と、電子銃３と、ターゲット４と、ゲッタ５と、を備えている。本実施形態では、Ｘ線管１は、部品の交換が不要な密封透過型Ｘ線管として構成されている。

【0022】

筐体２は、電子銃３、ターゲット４及びゲッタ５を収容している。筐体２内の空間は、真空引きが実施された空間である。筐体２は、ヘッド２１と、バルブ２２と、窓部材２３と、を有している。ヘッド２１は、金属（例えば、ステンレス、銅、銅合金、鉄合金等）によって、管軸Ａを中心線とする筒状に形成されている。バルブ２２は、絶縁材料（例えば、ガラス、セラミック等）によって、管軸Ａを中心線とする筒状に形成されている。窓部材２３は、Ｘ線透過材料（例えば、ベリリウム、アルミニウム、ダイヤモンド等）によって、管軸Ａを中心線とする板状に形成されている。

【0023】

窓部材２３は、ヘッド２１の一端部２１１の開口２１１ａを塞いだ状態で、ヘッド２１の一端部２１１に気密に取り付けられている。バルブ２２の一端部２２１は、ヘッド２１の他端部２１２の開口２１２ａがバルブ２２の内側に配置された状態で、金属（例えば、コバール等）からなるバルブフランジ２４を介して、ヘッド２１に気密に取り付けられている。バルブ２２の他端部は、内側に折り返されることで内筒部２２２を構成している。内筒部２２２の端部２２２ａには、金属（例えば、コバール等）からなるバルブフランジ２５及びステムフランジ２６を介して、ステム２７が気密に取り付けられている。ステム２７は、絶縁材料（例えば、ガラス、セラミック等）によって、管軸Ａを中心線とする板状に形成されている。

【0024】

ステム２７には、複数のステムピン２８が設けられている。各ステムピン２８は、互いに電気的に絶縁され且つ気密を維持した状態で、ステム２７を貫通している。Ｘ線発生装置１０では、給電部１３の一端部１３ａが（図１参照）内筒部２２２の内側において複数のステムピン２８と電気的に接続されている。

【0025】

電子銃３は、筐体２内において電子ビームＢを出射する。電子銃３は、筐体２内においてステム２７上に配置されている。電子銃３は、ヒータ３１と、カソード３２と、電流調整電極３３と、集束電極３４と、第１筒体３５と、第２筒体３６と、複数の支持部材（図示省略）と、を有している。

【0026】

ヒータ３１は、筐体２内に配置されている。ヒータ３１は、例えば、通電によって発熱するフィラメントによって構成されている。ヒータ３１は、対応するステムピン２８と電気的に接続されている。

【0027】

カソード３２は、筐体２内に配置されている。カソード３２は、ヒータ３１によって加熱されることで電子を放出する傍熱型のカソードである。傍熱型のカソード３２は、例えば、多孔質タングステンにアルカリ土類金属の酸化物が含浸した含浸型カソードであり、管軸Ａを中心線とする板状に形成されている。カソード３２は、対応するステムピン２８と電気的に接続されている。なお、カソード３２は、ヒータ３１によって加熱される傍熱型のカソードに限定されず、直熱型のカソードであってもよい。直熱型のカソード３２は、対応するステムピン２８と電気的に接続され、カソード３２に対する通電によって加熱されることで電子を放出する。直熱型のカソード３２は、例えば、タングステン等の高融点金属フィラメント、六ホウ化ランタン（ＬａＢ_６）からなる部材、六ホウ化セリウム（ＣｅＢ_６）からなる部材等である。

【0028】

電流調整電極３３は、筐体２内に配置されている。電流調整電極３３は、カソード３２に対して窓部材２３側に位置している。電流調整電極３３は、金属（例えば、モリブデン等）によって、管軸Ａを中心線とする板状に形成されている。電流調整電極３３には、管軸Ａを中心線とする貫通孔３３ａが形成されている。電流調整電極３３は、カソード３２から放出される電子の量を調整する。電流調整電極３３は、対応するステムピン２８と電気的に接続されている。

【0029】

集束電極３４は、筐体２内に配置されている。集束電極３４は、電流調整電極３３に対して窓部材２３側に位置している。集束電極３４は、金属（例えば、モリブデン等）によって、管軸Ａを中心線とする筒状に形成されている。本実施形態では、集束電極３４は、側壁３４１と、底壁３４２と、を有している。側壁３４１は、管軸Ａを中心線とする円筒状に形成されている。底壁３４２は、側壁３４１における電流調整電極３３側の端部において、側壁３４１と一体で形成されている。底壁３４２には、管軸Ａを中心線とする貫通孔３４ａが形成されている。貫通孔３４ａの内径は、例えば、０．３～０．５ｍｍ程度である。集束電極３４は、カソード３２から放出されて電流調整電極３３を通過した電子を、電子ビームＢとしてターゲット４に集束させる。集束電極３４は、電子ビームＢを構成する電子を引き出すための電界を形成する引出し電極としても機能する。

【0030】

第１筒体３５は、筐体２内に配置されている。第１筒体３５は、金属（例えば、ステンレス等）によって、管軸Ａを中心線とする筒状に形成されている。管軸Ａに平行な方向における第１筒体３５の一端部３５ａは、例えば溶接によって、集束電極３４に固定されている。本実施形態では、第１筒体３５は、一端部３５ａを含む第１部分３５１と、他端部３５ｂを含む第２部分３５２と、を有している。第１部分３５１は、集束電極３４とは反対側に向かって拡がる円錐台筒状に形成されている。第２部分３５２は、円筒状に形成されており、第１部分３５１における集束電極３４とは反対側の端部において、第１部分３５１と一体で形成されている。

【0031】

第１筒体３５は、ヒータ３１、カソード３２、電流調整電極３３、第２筒体３６、複数の支持部材、ステム２７、及びバルブ２２の内筒部２２２の端部２２２ａを包囲している。つまり、ヒータ３１、カソード３２、電流調整電極３３、第２筒体３６、複数の支持部材、ステム２７、及びバルブ２２の内筒部２２２の端部２２２ａは、第１筒体３５の内側の領域に配置されている。管軸Ａに平行な方向における第１筒体３５の他端部３５ｂと、バルブ２２の内筒部２２２の端部２２２ａとの間には、環状の隙間が形成されている。当該隙間の幅は、例えば、５ｍｍ程度である。

【0032】

第２筒体３６は、第１筒体３５の内側の領域において集束電極３４を支持している。第２筒体３６は、金属（例えば、ステンレス等）によって、管軸Ａを中心線とする筒状に形成されている。管軸Ａに平行な方向における第２筒体３６の一端部３６ａは、例えば溶接によって、集束電極３４に固定されている。管軸Ａに平行な方向における第２筒体３６の他端部３６ｂは、例えば溶接によって、ステムフランジ２６に固定されている。第２筒体３６は、ヒータ３１、カソード３２、電流調整電極３３、複数の支持部材、及び複数のステムピン２８のうち筐体２内に位置している部分を包囲している。つまり、ヒータ３１、カソード３２、電流調整電極３３、複数の支持部材、及び複数のステムピン２８のうち筐体２内に位置している部分は、第２筒体３６の内側の領域に配置されている。第２筒体３６は、ステムフランジ２６を介して、対応するステムピン２８と電気的に接続されており、集束電極３４に対する給電経路としても機能する。なお、第１筒体３５及び第２筒体３６は、集束電極３４と同電位となるように集束電極３４と電気的に接続されている。

【0033】

複数の支持部材は、電流調整電極３３と集束電極３４との間に配置されている。複数の支持部材は、互いに離間した状態で、管軸Ａを中心線として等ピッチで並んでいる。各支持部材は、絶縁材料（例えば、セラミック等）によって形成されている。

【0034】

ターゲット４は、筐体２内に配置されている。具体的には、ターゲット４は、管軸Ａ上において、窓部材２３における内側の表面に配置されている。ターゲット４は、電子ビームＢ（電子）の入射によってＸ線Ｒを発生させる。ターゲット４は、例えば、タングステン、モリブデン、銅等によって、窓部材２３における内側の表面に膜状に形成されている。ターゲット４は、ヘッド２１と電気的に接続されている。一例として、ターゲット４及びヘッド２１は、接地電位とされる。

【0035】

図３に示されるように、ゲッタ５は、第１筒体３５の内側の領域のうち、カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せない領域に配置されている。カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道とは、カソード３２からターゲット４に至る電子ビームＢの中心線を意味し、本実施形態では、管軸Ａのうちカソード３２とターゲット４とを結ぶ部分に一致している。カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せない領域とは、「その領域内の任意の点」と「カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道上の任意の点」とを結ぶ線分上に何らかの部材が存在する領域を意味する。一方、カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せる領域とは、「その領域内の任意の点」と「カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道上の任意の点」とを結ぶ線分上に何らの部材も存在しない領域を意味する。図３では、ドットハッチングが施された領域が、カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せる領域である。ゲッタ５が占めている領域は、カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せない領域である。

【0036】

本実施形態では、ゲッタ５は、第１筒体３５と第２筒体３６との間の領域に配置されており、第２筒体３６に形成された複数の開口３６ｃの一つと向かい合っている。第２筒体３６において、各開口３６ｃは、第２筒体３６の内側の領域及び第２筒体３６の外側の領域に開口している。複数の開口３６ｃは、互いに離間した状態で、管軸Ａを中心線として等ピッチで並んでいる。

【0037】

ゲッタ５は、第１筒体３５と第２筒体３６との間の領域において一対のワイヤ６によって支持されている。各ワイヤ６は、金属ワイヤである。一方のワイヤ６は、支持部材６１とゲッタ５との間に掛け渡されている。支持部材６１は、第２筒体３６から第１筒体３５側に突出した金属部材である。支持部材６１は、例えば溶接によって、第２筒体３６に固定されている。一方のワイヤ６は、例えば溶接によって、支持部材６１及びゲッタ５のそれぞれに固定されている。他方のワイヤ６は、支持部材６２とゲッタ５との間に掛け渡されている。支持部材６２は、ゲッタ５が向かい合っている開口３６ｃを介してステムピン２８の一つから第１筒体３５側に突出した金属部材である。支持部材６２は、例えば溶接によって、ステムピン２８の一つに固定されている。他方のワイヤ６は、例えば溶接によって、支持部材６２及びゲッタ５のそれぞれに固定されている。

【0038】

ゲッタ５は、非蒸発型ゲッタである。非蒸発型ゲッタは、真空中で加熱されることで、ガスを化学的に吸着し得る表面が形成されたゲッタである。ゲッタ５の材料は、例えば、チタン、ジルコニウム、バナジウム、又はこれらの金属を含む合金である。一例として、Ｘ線管１の製造時に、筐体２内の空間に対して真空引きが実施されつつ、ステムピン２８の一つ、支持部材６２、及び他方のワイヤ６を介した通電によってゲッタ５が加熱されることで、ゲッタ５が活性化される（すなわち、ガスを化学的に吸着し得る表面が形成される）。

【0039】

以上のように構成されたＸ線管１では、ターゲット４及びヘッド２１の電位を基準として負の高電圧が電源部１２によって電子銃３に印加される。一例として、電源部１２は、ターゲット４及びヘッド２１が接地電位とされた状態で、負の高電圧（例えば、－１０ｋＶ～－５００ｋＶ）を、給電部１３及び各ステムピン２８を介して電子銃３の各部に印加する。電子銃３から出射された電子ビームＢは、管軸Ａに沿ってターゲット４上に集束される。ターゲット４における電子ビームＢの照射領域において発生したＸ線Ｒは、当該照射領域を焦点として、ターゲット４及び窓部材２３を透過して外部に出射される。

【0040】

Ｘ線管１の動作中、カソード３２及びターゲット４は、高温（例えば、１０００℃程度）になる。そのため、カソード３２の輻射熱によって加熱されたカソード３２近傍の部材（例えば、電流調整電極３３、集束電極３４におけるカソード３２側の端部等）、及びターゲット４は、筐体２内にガスを放出する場合がある。その場合、カソード３２近傍の部材から放出されたガスは、第１筒体３５の内側の領域に留まりやすく、ターゲット４から放出されたガスは、第１筒体３５の内側の領域に進入しにくい。それは、第１筒体３５の内側の領域と第１筒体３５の外側の領域とが、狭い領域（すなわち、集束電極３４の貫通孔３４ａ、及び、第１筒体３５の他端部３５ｂとバルブ２２の内筒部２２２の端部２２２ａとの間の環状の隙間）を介して連通しているからである。そのため、カソード３２近傍の部材から放出されたガスは、第１筒体３５の内側の領域においてゲッタ５によって吸着されやすく、ターゲット４から放出されたガスは、カソード３２に付着しにくい。
［作用及び効果］

【0041】

Ｘ線管１では、カソード３２を包囲している第１筒体３５の内側の領域にゲッタ５が配置されている。これにより、第１筒体３５の内側の領域において、カソード３２近傍の部材から放出されたガスをゲッタ５に効率良く吸着させることができる。また、第１筒体３５の内側の領域のうち、カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せない領域に、ゲッタ５が配置されている。これにより、ゲッタ５に電子が衝突することに起因して、ゲッタ５に吸着されたガスがゲッタ５から第１筒体３５の内側の領域に再放出されるのを抑制することができる。よって、Ｘ線管１によれば、ガスの付着に起因するカソード３２の劣化を抑制することができる。

【0042】

Ｘ線管１では、第１筒体３５の内側の領域において集束電極３４を支持していると共にカソード３２を包囲している第２筒体３６に、複数の開口３６ｃが形成されており、ゲッタ５が、第１筒体３５と第２筒体３６との間の領域に配置されている。これにより、第２筒体３６の内側の領域に配置されたヒータ３１の輻射熱によってゲッタ５が過度に加熱されることや、第２筒体３６の内側の領域に配置された配線にゲッタ５が接触することを抑制して、ゲッタ５を好適に機能させることができる。なお、ヒータ３１の輻射熱によってゲッタ５が過度に加熱されると、ゲッタ５に吸着されたガスが脱離によってゲッタ５から第１筒体３５の内側の領域に再放出されるおそれがある。また、配線にゲッタ５が接触すると、Ｘ線管１の各部に電圧が適切に印加されないおそれがある。

【0043】

Ｘ線管１では、ゲッタ５が、第２筒体３６に形成された開口３６ｃと向かい合っている。これにより、カソード３２近傍の部材から放出されたガスを、開口３６ｃを介してゲッタ５に効率良く吸着させることができる。また、Ｘ線管１の製造時におけるゲッタ５の活性化の際に、熱伝導によって第２筒体３６を介して熱が逃げるのを抑制することができるため、ゲッタ５を効率良く且つ均一に加熱することができる。

【0044】

Ｘ線管１では、第１筒体３５及び第２筒体３６が、集束電極３４と同電位となるように集束電極３４と電気的に接続されている。これにより、カソード３２周りの電界を安定させて、カソード３２を好適に機能させることができる。

【0045】

Ｘ線管１では、第１筒体３５の内側の領域においてゲッタ５がワイヤ６によって支持されている。これにより、第１筒体３５の内側の領域に露出するゲッタ５の表面積を増加させて、カソード３２近傍の部材から放出されたガスをゲッタ５に効率良く吸着させることができる。

【0046】

Ｘ線管１では、ゲッタ５は、非蒸発型ゲッタである。これにより、ゲッタ５をブロック状に形成して、第１筒体３５の内側の領域に露出するゲッタ５の表面積を増加させることができる。
［変形例］

【0047】

本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、図４に示されるように、ゲッタ５は、第１筒体３５の内面３５ｃに膜状に形成されていてもよい。これによれば、第１筒体３５の小型化を図ることができる。その場合、ゲッタ５は、蒸発型ゲッタであってもよい。蒸発型ゲッタは、蒸着又はスパッタリングによって生じる金属薄膜の気体吸着作用を利用したゲッタである。ゲッタ５の材料は、例えば、バリウムである。

【0048】

また、第１筒体３５と第２筒体３６との間の領域に配置されたゲッタ５は、第２筒体３６に形成された開口３６ｃと向かい合っていなくてもよい。また、ゲッタ５は、第１筒体３５の内側の領域のうち、カソード３２からターゲット４に至る電子の軌道を見通せない領域に配置されていれば、第１筒体３５と第２筒体３６との間の領域に配置されていなくてもよい。ゲッタ５は、ワイヤ６以外の部材によって支持されていてもよい。また、Ｘ線管１は、密封反射型Ｘ線管として構成されていてもよい。

【符号の説明】

【0049】

１…Ｘ線管、２…筐体、４…ターゲット、５…ゲッタ、６…ワイヤ、３２…カソード、３４…集束電極、３５…第１筒体、３５ｃ…内面、３６…第２筒体、３６ｃ…開口。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】