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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024116400
(43)【公開日】2024-08-27
(54)【発明の名称】放電加工装置
(51)【国際特許分類】
B23H 7/02 20060101AFI20240820BHJP
B23H 7/26 20060101ALI20240820BHJP
【ＦＩ】
B23H7/02 H
B23H7/02 Q
B23H7/26 E
【審査請求】有
【請求項の数】55
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024099630
(22)【出願日】2024-06-20
(62)【分割の表示】P 2023098504の分割
【原出願日】2023-06-15
(31)【優先権主張番号】63/355,107
(32)【優先日】2022-06-24
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】111137349
(32)【優先日】2022-09-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(31)【優先権主張番号】112114524
(32)【優先日】2023-04-19
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(71)【出願人】
【識別番号】519404230
【氏名又は名称】日揚科技股▲分▼有限公司
(74)【代理人】
【識別番号】100201329
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 真二郎
(74)【代理人】
【識別番号】100167601
【弁理士】
【氏名又は名称】大島 信之
(74)【代理人】
【識別番号】100220917
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 忠大
(72)【発明者】
【氏名】寇崇善
(72)【発明者】
【氏名】葉文勇
(72)【発明者】
【氏名】陳長營
(57)【要約】
【課題】放電加工装置を提供する。
【解決手段】放電加工装置は、ステージと、放電加工ユニットと、を少なくとも備える。ステージは、少なくとも一つの加工対象物を乗せるためのものであり、クランプ部材を備える。放電加工ユニットは、電極と、ジグと、給電ユニットと、を備える。放電加工ユニットが加工方向に沿って加工対象物の加工目標領域に対して放電加工手順を行うときに、電極の放電区分と加工対象物の加工目標領域は相対移動する。本発明によれば、加工手順を改善することができ、工数を減少することができ、電極を交換する時間を減少することもできる。
【選択図】図１
【解決手段】放電加工装置は、ステージと、放電加工ユニットと、を少なくとも備える。ステージは、少なくとも一つの加工対象物を乗せるためのものであり、クランプ部材を備える。放電加工ユニットは、電極と、ジグと、給電ユニットと、を備える。放電加工ユニットが加工方向に沿って加工対象物の加工目標領域に対して放電加工手順を行うときに、電極の放電区分と加工対象物の加工目標領域は相対移動する。本発明によれば、加工手順を改善することができ、工数を減少することができ、電極を交換する時間を減少することもできる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
少なくとも一つの加工対象物を乗せるためのステージと、
加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物の加工目標領域に対して、放電加工手順を行うための放電加工ユニットと、
を少なくとも備え、
前記放電加工ユニットは、
少なくとも一つの電極と、
少なくとも二つの乗せ部材と少なくとも二つの保持部材を、それぞれ対応して組付けて構成され、前記電極の両側は、前記二つの乗せ部材にそれぞれ押し付けることにより、前記電極の放電区分は、フローティング状態にあり、第１の方向に垂直な第２の方向に沿って伸びるジグと、
前記放電加工手順において、第１の電源を前記電極と前記加工対象物とに供給することにより、前記電極の前記放電区分を経由して、前記加工対象物の前記加工目標領域に放電エネルギーを加え、前記放電加工ユニットが前記加工方向に沿って前記放電加工手順を行うときに、前記電極の前記放電区分と前記加工対象物の前記加工目標領域とは、前記第２の方向に沿って相対移動する給電ユニットと、
を備え、
前記ステージは、更に、クランプ部材を備え、前記クランプ部材は、前記加工対象物を固定するためのものであり、
前記クランプ部材は二つのプレートを有し、前記二つのプレートの内少なくとも一つはコーム構造を有することを特徴とする放電加工装置。
加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物の加工目標領域に対して、放電加工手順を行うための放電加工ユニットと、
を少なくとも備え、
前記放電加工ユニットは、
少なくとも一つの電極と、
少なくとも二つの乗せ部材と少なくとも二つの保持部材を、それぞれ対応して組付けて構成され、前記電極の両側は、前記二つの乗せ部材にそれぞれ押し付けることにより、前記電極の放電区分は、フローティング状態にあり、第１の方向に垂直な第２の方向に沿って伸びるジグと、
前記放電加工手順において、第１の電源を前記電極と前記加工対象物とに供給することにより、前記電極の前記放電区分を経由して、前記加工対象物の前記加工目標領域に放電エネルギーを加え、前記放電加工ユニットが前記加工方向に沿って前記放電加工手順を行うときに、前記電極の前記放電区分と前記加工対象物の前記加工目標領域とは、前記第２の方向に沿って相対移動する給電ユニットと、
を備え、
前記ステージは、更に、クランプ部材を備え、前記クランプ部材は、前記加工対象物を固定するためのものであり、
前記クランプ部材は二つのプレートを有し、前記二つのプレートの内少なくとも一つはコーム構造を有することを特徴とする放電加工装置。
【請求項2】
前記電極の前記放電区分と前記加工対象物の前記加工目標領域とは、前記第２の方向に沿って、往復または周期的に元に戻すように相対移動することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項3】
前記二つの乗せ部材と前記二つの保持部材とは、前記電極と一緒に往復または周期的に元に戻すように運動することにより、前記電極が前記放電区分で前記放電エネルギーを前記加工対象物に加えることを特徴とする、請求項２に記載の放電加工装置。
【請求項4】
前記放電加工ユニットは、前記二つの乗せ部材または前記二つの保持部材を相対変位することにより、前記電極の張力を調整することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項5】
更に、安定部材を備え、前記安定部材は、前記電極の前記加工対象物に対する移動を安定化にするためのものであることを特徴とする、請求項２に記載の放電加工装置。
【請求項6】
前記電極は線状または板状を呈することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項7】
前記ステージは、前記第１の方向、前記第２の方向、又は前記加工方向に沿って移動することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項8】
前記ステージは、前記第１の方向、前記第２の方向、又は前記加工方向を軸心として旋轉することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項9】
前記放電加工装置は、更に、チップス排出ユニットを備え、前記放電加工ユニットが前記加工対象物に対して前記放電加工手順を行うときに、前記チップス排出ユニットは、外力を提供して、前記電極が前記加工対象物に対して前記放電エネルギーを加えて発生された残留物を排除することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項10】
前記チップス排出ユニットからの前記外力の加え方向や加え位置は、前記加工対象物の形状によって、ダイナミックに調整して前記残留物を排除することを特徴とする、請求項９に記載の放電加工装置。
【請求項11】
前記放電加工装置は、更に、張力測定ユニットを備え、前記張力測定ユニットは、前記電極の張力を測定するためのものであることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項12】
前記放電加工装置は、更に、振動測定ユニットを備え、前記振動測定ユニットは、前記電極の振動を測定するためのものであることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項13】
前記放電加工ユニットの前記給電ユニットは、更に、第２の電源を前記電極に供給することにより、直流電源または無線周波を前記電極に加えることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項14】
前記加工対象物は平面区域を有し、前記平面区域は、前記ステージまたは前記クランプ部材と接続することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項15】
前記クランプ部材の形状は、前記加工対象物の形状に準じることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項16】
前記ステージはコーム構造を有することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項17】
前記ステージは、ロック構造を介して前記クランプ部材と接続することを特徴とする、請求項１、１４、及び１５のいずれかの一つに記載の放電加工装置。
【請求項18】
前記クランプ部材の二つのプレートは、スナップイン構造を介して互いに接続することを特徴とする、請求項１、１４、及び１５のいずれかの一つに記載の放電加工装置。
【請求項19】
前記クランプ部材と前記加工対象物は、二つ以上の接触面を有することを特徴とする、請求項１、１４、及び１５のいずれかの一つに記載の放電加工装置。
【請求項20】
前記ステージまたは前記クランプ部材は、接着剤層で前記加工対象物と接続することを特徴とする、請求項１、１４、及び１５のいずれかの一つに記載の放電加工装置。
【請求項21】
前記接着剤層は、非連続の形態で前記ステージまたは前記クランプ部材に設けられていることを特徴とする、請求項２０に記載の放電加工装置。
【請求項22】
前記接着剤層は導電性接着剤であることを特徴とする、請求項２０に記載の放電加工装置。
【請求項23】
前記クランプ部材は、軸方向に沿って前記加工対象物の一側に押し付け、前記放電エネルギーにより前記加工対象物の前記加工目標領域に形成された加工溝は、接着剤層により、前記加工溝の二つの溝壁に接着されていることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項24】
前記放電加工ユニットは、前記加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物と前記クランプ部材とに対して、前記放電加工手順を行うことを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項25】
前記クランプ部材は緩衝部材をクランプし、前記緩衝部材は、導電性接着剤層を介して前記加工対象物に固定されており、前記放電加工ユニットは、前記加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物に対して前記放電加工手順を行うことを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項26】
前記クランプ部材は、導電枠をクランプして前記加工対象物を固定し、前記放電加工ユニットは、前記加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物に対して前記放電加工手順を行うことを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項27】
前記ステージ、前記クランプ部材、又は前記加工対象物は、更に、導電ゲイン層を有し、前記導電ゲイン層により、前記加工対象物と前記ステージ、又は前記加工対象物と前記クランプ部材の電気接触を向上することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項28】
更に、熱源供給源を備え、前記熱源供給源は、前記放電加工手順を行う前、最中、又は後に、前記加工対象物に熱源を提供することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項29】
前記二つの乗せ部材は、それぞれプレート状を呈する構造、又はスリーブ構造であることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項30】
前記二つの乗せ部材は、それぞれ第１のシート及び第２のシートを備え、前記電極は、前記第１のシートと前記第２のシートとの間にクランプされていることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項31】
前記二つの乗せ部材は、それぞれ貫通スロットを有し、前記二つの保持部材は、前記貫通スロットに対応するバンプをそれぞれ有し、前記二つの乗せ部材は、前記貫通スロットで前記二つの保持部材の前記バンプに対応して組付けることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項32】
前記二つの乗せ部材は、貫通穴をそれぞれ有し、前記二つの保持部材は、ねじ穴をそれぞれ有し、前記二つの乗せ部材は、ボルトを使って前記貫通穴を挿通して前記二つの保持部材の前記ねじ穴にねじ込むことを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項33】
前記二つの保持部材は溝構造をそれぞれ有し、前記二つの乗せ部材は、前記二つの保持部材の前記溝構造に差し込むことにより、前記二つの保持部材に対応して組付けることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項34】
前記二つの保持部材は導電性構造をそれぞれ有することにより、前記二つの乗せ部材に押し付ける前記電極と電気的に接続することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項35】
前記二つの保持部材は、前記二つの乗せ部材と前記電極とを同時に固定することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項36】
前記放電加工ユニットは、更に、付属部材を備え、前記付属部材は、前記二つの乗せ部材のエッジにおいて、前記電極と接続することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項37】
前記付属部材は、前記給電ユニットの前記第１の電源または第２の電源と電気的に接続することを特徴とする、請求項３６に記載の放電加工装置。
【請求項38】
前記電極の頭と尾は、前記二つの乗せ部材の同じ一方、又は両方とそれぞれ接続することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項39】
前記二つの乗せ部材のエッジは面取りを有することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項40】
前記ステージに乗せる前記加工対象物は、半導体インゴット、又はウエハーであることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項41】
前記放電加工装置は、前記放電加工手順において、前記ステージに乗せる前記加工対象物を、順番、又は同時に切断または研削することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項42】
前記加工対象物は、複数の工作物を電気的に接着して構成されることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項43】
前記放電エネルギーにより、前記加工対象物の前記加工目標領域に加工溝が形成され、前記加工溝内に充填材が充填されていることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項44】
前記放電エネルギーにより、前記加工対象物の前記加工目標領域に加工溝が形成され、前記加工対象物は、前記加工溝の両側にテープが張り付けられていることにより、前記加工対象物の前記加工目標領域の揺れ現象を減少することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項45】
前記放電加工手順は、流体において、前記加工対象物の前記加工目標領域に前記放電エネルギーを加えることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項46】
前記流体は、オゾン又は酸素の成分を含有することを特徴とする、請求項４５に記載の放電加工装置。
【請求項47】
前記流体はバブルを含有することを特徴とする、請求項４５に記載の放電加工装置。
【請求項48】
前記バブルは、前記放電加工手順において、内外の圧力差により、内破現象が発生されることを特徴とする、請求項４７に記載の放電加工装置。
【請求項49】
前記バブルは、オゾン又は酸素の成分を含有することを特徴とする、請求項４７に記載の放電加工装置。
【請求項50】
前記流体は電解液であることを特徴とする、請求項４５に記載の放電加工装置。
【請求項51】
前記放電加工手順は、真空環境において、前記加工対象物の前記加工目標領域に前記放電エネルギーを加えることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項52】
前記放電加工装置は、更に、超音波発生器または圧電発振器を備えることにより、前記ステージ、前記加工対象物、又は前記電極を発振することを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項53】
前記放電加工装置は、更に、超音波発生器または圧電発振器を備えることにより、前記ステージ、前記加工対象物、前記電極、又は前記流体を発振することを特徴とする、請求項４５に記載の放電加工装置。
【請求項54】
前記電極は複数あり、これらの前記電極は、前記第１の方向に沿って平行であるように配列されることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項55】
更に、方向修正エレメントを備え、前記方向修正エレメントは、前記電極の前記加工方向にズレ現象が現れたときに、前記電極と前記加工対象物の相対方向を調整して、前記加工方向を修正するためのものであることを特徴とする、請求項１に記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加工装置に関し、特に、放電加工装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体産業の活発な発展に伴い、放電加工技術は結晶インゴットまたはウェーハを加工するために一般的に使用されてきた。放電加工（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ，ＥＤＭ）は、放電によって火花を発生させ、加工対象物を所望の形状に加工する製造手順である。誘電材料は、２つの電極を分離し、電圧を印加して周期的かつ急速に変化する電流放電を発生させ、上記の処理対象物を処理する。ＥＤＭ技術では２つの電極が使用され、一方の電極はツール電極または放電電極と呼ばれ、もう一方の電極は、被加工物電極と呼ばれ、上記の加工対象物と接続する。ＥＤＭにおいて、放電電極とワークピース電極の間に実際の接触はない。
【0003】
２つの電極間の電位差が大きくなると、２つの電極間の電界も大きくなり、電界強さが絶縁耐力を超えると、絶縁破壊が起こり、２つの電極に電流が流れて、材料の一部を取り除く。電流の流れが止まると、新しい誘電材料が電極間の電場に流れ込み、上記の材料の一部が排除されて、誘電絶縁効果が再提供される。電流が流れた後、二つの電極間の電位差は絶縁破壊前に戻り、新たな絶縁破壊が繰り返される。
【0004】
しかしながら、従来の放電加工技術の欠点は、切断面の粗さが良くなく、切断面に非常に多くの表面クラックがあり、非切断方向に沿って伸びることさえあることであり、予期しない方向にクラッキングが発生する。
また、従来の放電加工技術は、例えば、結晶インゴットを切断する際のローリングや位置ズレを防止するために、ジグを用いて結晶インゴットの周囲をクランプし、すなわち、結晶インゴットの側面を放射状にクランプする。
しかし、インゴットの切断面も半径方向に位置するため、従来技術では、ジグの外側に露出したインゴットしか切断できず、ジグとインゴットが重なる部分を切断することができないため、従来技術では、もう一度カットするには、停止して位置を再調整する必要がある。
さらに、従来のＥＤＭ技術では、一度に１枚のウェーハしか切断または薄化することができず、非常に時間がかかる。
さらに、従来の放電加工技術は単一の切断ラインしか使用せず、従来の放電加工装置にはクイックリリース設計がなく、切断ラインが誤って破損した場合には、シャットダウンする必要がある。交換作業には、完了するまでに多くの時間がかかる。
また、従来の放電加工技術は、例えば、結晶インゴットを切断する際のローリングや位置ズレを防止するために、ジグを用いて結晶インゴットの周囲をクランプし、すなわち、結晶インゴットの側面を放射状にクランプする。
しかし、インゴットの切断面も半径方向に位置するため、従来技術では、ジグの外側に露出したインゴットしか切断できず、ジグとインゴットが重なる部分を切断することができないため、従来技術では、もう一度カットするには、停止して位置を再調整する必要がある。
さらに、従来のＥＤＭ技術では、一度に１枚のウェーハしか切断または薄化することができず、非常に時間がかかる。
さらに、従来の放電加工技術は単一の切断ラインしか使用せず、従来の放電加工装置にはクイックリリース設計がなく、切断ラインが誤って破損した場合には、シャットダウンする必要がある。交換作業には、完了するまでに多くの時間がかかる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、上記した従来技術の課題を解決するための放電加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記の目的を達成するために、本発明は、少なくとも一つの加工対象物を乗せるためのステージと、加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物の加工目標領域に対して、放電加工手順を行うための放電加工ユニットと、を少なくとも備え、前記放電加工ユニットは、少なくとも一つの電極と、少なくとも二つの乗せ部材と少なくとも二つの保持部材を、それぞれ対応して組付けて構成され、前記電極の両側は、前記二つの乗せ部材にそれぞれ押し付けることにより、前記電極の放電区分は、フローティング状態にあり、第１の方向に垂直な第２の方向に沿って伸びるジグと、前記放電加工手順において、第１の電源を前記電極と前記加工対象物とに供給することにより、前記電極の前記放電区分を経由して、前記加工対象物の前記加工目標領域に放電エネルギーを加え、前記放電加工ユニットが前記加工方向に沿って前記放電加工手順を行うときに、前記電極の前記放電区分と前記加工対象物の前記加工目標領域とは、前記第２の方向に沿って相対移動する給電ユニットと、を備えることを特徴とする放電加工装置を提供する。
【0007】
本発明に係る放電加工装置によると、前記電極の前記放電区分と前記加工対象物の前記加工目標領域とは、前記第２の方向に沿って、往復または周期的に元に戻すように相対移動することを特徴とする。
【0008】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材と前記二つの保持部材とは、前記電極と一緒に往復または周期的に元に戻すように運動することにより、前記電極が前記放電区分で前記放電エネルギーを前記加工対象物に加えることを特徴とする。
【0009】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材と前記二つの保持部材とは、前記電極と一緒に往復または周期的に元に戻すように運動することにより、前記電極が前記放電区分で前記放電エネルギーを前記加工対象物に加えることを特徴とする。
【0010】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材と前記二つの保持部材とは、前記電極と一緒に往復または周期的に元に戻すように運動することにより、前記電極が前記放電区分で前記放電エネルギーを前記加工対象物に加えることを特徴とする。
【0011】
本発明に係る放電加工装置によると、前記電極は線状または板状を呈することを特徴とする。
【0012】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージは、前記第１の方向、前記第２の方向、又は前記加工方向に沿って移動することを特徴とする。
【0013】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージは、前記第１の方向、前記第２の方向、又は前記加工方向を軸心として旋轉することを特徴とする。
【0014】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工装置は、更に、チップス排出ユニットを備え、前記放電加工ユニットが前記加工対象物に対して前記放電加工手順を行うときに、前記チップス排出ユニットは、外力を提供して、前記電極が前記加工対象物に対して前記放電エネルギーを加えて発生された残留物を排除することを特徴とする。
【0015】
本発明に係る放電加工装置によると、前記チップス排出ユニットからの前記外力の加え方向や加え位置は、前記加工対象物の形状によって、ダイナミックに調整して前記残留物を排除することを特徴とする。
【0016】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工装置は、更に、張力測定ユニットを備え、前記張力測定ユニットは、前記電極の張力を測定するためのものであることを特徴とする。
【0017】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工装置は、更に、振動測定ユニットを備え、前記振動測定ユニットは、前記電極の振動を測定するためのものであることを特徴とする。
【0018】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工ユニットの前記給電ユニットは、更に、第２の電源を前記電極に供給することにより、直流電源または無線周波を前記電極に加えることを特徴とする。
【0019】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージは、更に、クランプ部材を備え、前記クランプ部材は、前記加工対象物を固定するためのものであることを特徴とする。
【0020】
本発明に係る放電加工装置によると、前記加工対象物は平面区域を有し、前記平面区域は、前記ステージまたは前記クランプ部材と接続することを特徴とする。
【0021】
本発明に係る放電加工装置によると、前記クランプ部材の形状は、前記加工対象物の形状に準じることを特徴とする。
【0022】
本発明に係る放電加工装置によると、前記クランプ部材はプレートを有し、前記プレートはコーム構造を有することを特徴とする。
【0023】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージはコーム構造を有することを特徴とする。
【0024】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージは、ロック構造を介して前記クランプ部材と接続することを特徴とする。
【0025】
本発明に係る放電加工装置によると、前記クランプ部材の二つのプレートは、スナップイン構造を介して互いに接続することを特徴とする。
【0026】
本発明に係る放電加工装置によると、前記クランプ部材と前記加工対象物は、二つ以上の接触面を有することを特徴とする。
【0027】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージまたは前記クランプ部材は、接着剤層で前記加工対象物と接続することを特徴とする。
【0028】
本発明に係る放電加工装置によると、前記接着剤層は、非連続の形態で前記ステージまたは前記クランプ部材に設けられていることを特徴とする。
【0029】
本発明に係る放電加工装置によると、前記接着剤層は導電性接着剤であることを特徴とする。
【0030】
本発明に係る放電加工装置によると、前記クランプ部材は、軸方向に沿って前記加工対象物の一側に押し付け、前記放電エネルギーにより前記加工対象物の前記加工目標領域に形成された加工溝は、接着剤層により、前記加工溝の二つの溝壁に接着されていることを特徴とする。
【0031】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工ユニットは、前記加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物と前記クランプ部材とに対して、前記放電加工手順を行うことを特徴とする。
【0032】
本発明に係る放電加工装置によると、前記クランプ部材は緩衝部材をクランプし、前記緩衝部材は、導電性接着剤層を介して前記加工対象物に固定されており、前記放電加工ユニットは、前記加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物に対して前記放電加工手順を行うことを特徴とする。
【0033】
本発明に係る放電加工装置によると、前記クランプ部材は、導電枠をクランプして前記加工対象物を固定し、前記放電加工ユニットは、前記加工方向に沿って、前記ステージ上の前記加工対象物に対して前記放電加工手順を行うことを特徴とする。
【0034】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージ、前記クランプ部材、又は前記加工対象物は、更に、導電ゲイン層を有し、前記導電ゲイン層により、前記加工対象物と前記ステージ、又は前記加工対象物と前記クランプ部材の電気接触を向上することを特徴とする。
【0035】
本発明に係る放電加工装置によると、更に、熱源供給源を備え、前記熱源供給源は、前記放電加工手順を行う前、最中、又は後に、前記加工対象物に熱源を提供することを特徴とする。
【0036】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材は、それぞれプレート状を呈する構造、又はスリーブ構造であることを特徴とする。
【0037】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材は、それぞれ第１のシート及び第２のシートを備え、前記電極は、前記第１のシートと前記第２のシートとの間にクランプされていることを特徴とする。
【0038】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材は、それぞれ貫通スロットを有し、前記二つの保持部材は、前記貫通スロットに対応するバンプをそれぞれ有し、前記二つの乗せ部材は、前記貫通スロットで前記二つの保持部材の前記バンプに対応して組付けることを特徴とする。
【0039】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材は、貫通穴をそれぞれ有し、前記二つの保持部材は、ねじ穴をそれぞれ有し、前記二つの乗せ部材は、ボルトを使って前記貫通穴を挿通して前記二つの保持部材の前記ねじ穴にねじ込むことを特徴とする。
【0040】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの保持部材は溝構造をそれぞれ有し、前記二つの乗せ部材は、前記二つの保持部材の前記溝構造に差し込むことにより、前記二つの保持部材に対応して組付けることを特徴とする。
【0041】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの保持部材は導電性構造をそれぞれ有することにより、前記二つの乗せ部材に押し付ける前記電極と電気的に接続することを特徴とする。
【0042】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの保持部材は、前記二つの乗せ部材と前記電極とを同時に固定することを特徴とする。
【0043】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工ユニットは、更に、付属部材を備え、前記付属部材は、前記二つの乗せ部材のエッジにおいて、前記電極と接続することを特徴とする。
【0044】
本発明に係る放電加工装置によると、前記付属部材は、前記給電ユニットの前記第１の電源または第２の電源と電気的に接続することを特徴とする。
【0045】
本発明に係る放電加工装置によると、前記電極の頭と尾は、前記二つの乗せ部材の同じ一方、又は両方とそれぞれ接続することを特徴とする。
【0046】
本発明に係る放電加工装置によると、前記二つの乗せ部材のエッジは面取りを有することを特徴とする。
【0047】
本発明に係る放電加工装置によると、前記ステージに乗せる前記加工対象物は、半導体インゴット、又はウエハーであることを特徴とする。
【0048】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工装置は、前記放電加工手順において、前記ステージに乗せる前記加工対象物を、順番、又は同時に切断または研削することを特徴とする。
【0049】
本発明に係る放電加工装置によると、前記加工対象物は、複数の工作物を電気的に接着して構成されることを特徴とする。
【0050】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電エネルギーにより、前記加工対象物の前記加工目標領域に加工溝が形成され、前記加工溝内に充填材が充填されていることを特徴とする。
【0051】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電エネルギーにより、前記加工対象物の前記加工目標領域に加工溝が形成され、前記加工対象物は、前記加工溝の両側にテープが張り付けられていることにより、前記加工対象物の前記加工目標領域の揺れ現象を減少することを特徴とする。
【0052】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工手順は、流体において、前記加工対象物の前記加工目標領域に前記放電エネルギーを加えることを特徴とする。
【0053】
本発明に係る放電加工装置によると、前記流体は、オゾン又は酸素の成分を含有することを特徴とする。
【0054】
本発明に係る放電加工装置によると、前記流体はバブルを含有することを特徴とする。
【0055】
本発明に係る放電加工装置によると、前記バブルは、前記放電加工手順において、内外の圧力差により、内破現象が発生されることを特徴とする。
【0056】
本発明に係る放電加工装置によると、前記バブルは、オゾン又は酸素の成分を含有することを特徴とする。
【0057】
本発明に係る放電加工装置によると、前記流体は電解液であることを特徴とする。
【0058】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工手順は、真空環境において、前記加工対象物の前記加工目標領域に前記放電エネルギーを加えることを特徴とする。
【0059】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工装置は、更に、超音波発生器または圧電発振器を備えることにより、前記ステージ、前記加工対象物、又は前記電極を発振することを特徴とする。
【0060】
本発明に係る放電加工装置によると、前記放電加工装置は、更に、超音波発生器または圧電発振器を備えることにより、前記ステージ、前記加工対象物、前記電極、又は前記流体を発振することを特徴とする。
【0061】
本発明に係る放電加工装置によると、前記電極は複数あり、これらの前記電極は、前記第１の方向に沿って平行であるように配列されることを特徴とする。
【0062】
本発明に係る放電加工装置によると、更に、方向修正エレメントを備え、前記方向修正エレメントは、前記電極の前記加工方向にズレ現象が現れたときに、前記電極と前記加工対象物の相対方向を調整して、前記加工方向を修正するためのものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【0063】
本発明に係る放電加工装置によれば、次のような効果がある。
（１）ジグは、少なくとも二つの乗せ部材と少なくとも二つの保持部材を、それぞれ対応して組付けて構成される。快速脱着可能の設計により、電極を交換する時間を大幅に減少することができ、放電電極の張力を調整することもできる。
（２）チップス排出ユニットを有するため、単一又は複数の加工目標領域に外力を加えることができ、外力の加え方向や加え位置は、加工対象物の形状に応じてダイナミックに調整されて、放電加工手順で発生された残留物を排除する。
（３）クランプ部材は、複数のクランプ態様を有し、コーム構造により、加工対象物をしっかりクランプすることができ、従来の放電加工技術のように、クランプ部材と加工対象物の重なり区域を切ることができないという問題を解決することができ、ロック構造により、脱着および調整が可能となる。
（４）方向修正エレメントにより、電極と加工対象物の加工方向を修正することができ、加工方向にズレの発生を回避することができる。
（５）クランプ部材またはステージにコーム構造を形成することにより、スムーズな放電加工手順が促進され、損傷が最小限に抑えられる。
（６）安定部材により、電極の振動を減少することができ、分離用カラムとしてガイドする効果を得ることができ、電気接点として使用することもできる。
（７）熱源は、熱衝撃による、不要な亀裂や亀裂の拡大を軽減することができ、放電加工手順をスムーズに行うことができる。
（８）導電ゲイン層により、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接触を向上することができる。
（９）接着剤層により、放電加工手順の過程中に、加工対象物の振動を回避することができ、放電加工手順を終了する前に、バリの発生を回避することができ、導電性接着剤層を採用すると、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接続が可能となる。
（１）ジグは、少なくとも二つの乗せ部材と少なくとも二つの保持部材を、それぞれ対応して組付けて構成される。快速脱着可能の設計により、電極を交換する時間を大幅に減少することができ、放電電極の張力を調整することもできる。
（２）チップス排出ユニットを有するため、単一又は複数の加工目標領域に外力を加えることができ、外力の加え方向や加え位置は、加工対象物の形状に応じてダイナミックに調整されて、放電加工手順で発生された残留物を排除する。
（３）クランプ部材は、複数のクランプ態様を有し、コーム構造により、加工対象物をしっかりクランプすることができ、従来の放電加工技術のように、クランプ部材と加工対象物の重なり区域を切ることができないという問題を解決することができ、ロック構造により、脱着および調整が可能となる。
（４）方向修正エレメントにより、電極と加工対象物の加工方向を修正することができ、加工方向にズレの発生を回避することができる。
（５）クランプ部材またはステージにコーム構造を形成することにより、スムーズな放電加工手順が促進され、損傷が最小限に抑えられる。
（６）安定部材により、電極の振動を減少することができ、分離用カラムとしてガイドする効果を得ることができ、電気接点として使用することもできる。
（７）熱源は、熱衝撃による、不要な亀裂や亀裂の拡大を軽減することができ、放電加工手順をスムーズに行うことができる。
（８）導電ゲイン層により、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接触を向上することができる。
（９）接着剤層により、放電加工手順の過程中に、加工対象物の振動を回避することができ、放電加工手順を終了する前に、バリの発生を回避することができ、導電性接着剤層を採用すると、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接続が可能となる。
【0064】
本発明の技術的特徴および達成し得る技術的効能の理解を深めるために、より良い実施例と詳細な説明を以下に示す。
【図面の簡単な説明】
【0065】
【図4】本発明に係る加工対象物が複数の加工しようとする工作物を連接して構成された実施の態様を示す側面図である。
【図5】本発明に係る放電加工ユニットが複数の加工対象物に対して放電加工手順を行う実施の態様を示す上面図である。
【図6】本発明に係る電極の横方向の断面が異なる形状を呈する実施の態様を示す模式図である。
【図7】本発明に係る電極の両端がそれぞれ異なる乗せ部材に接続された実施の態様を示す側面図である。
【図8】本発明に係る電極の両端がそれぞれ異なる乗せ部材に接続された実施の態様を示す上面図である。
【図11】本発明に係る乗せ部材の制限スロットに複数の電極が設けられている実施の態様を示す模式図である。
【図12】本発明に係る乗せ部材がプレート状の構造である実施の態様を示す側面図である。
【図13】本発明に係る乗せ部材が別のプレート状の構造である実施の態様を示す上面図である。
【図14】本発明に係る複数の乗せ部材が保持部材にねじ込まれた実施の態様を示す側面図である。
【図15】本発明に係る保持部材が溝構造で乗せ部材に組付けられた実施の態様を示す側面図である。
【図16】本発明に係る保持部材が電極に接続された導電構造を有する実施の態様を示す上面図である。
【図20】本発明に係るクランプ部材のプレートが片側で加工対象物を固定した実施の態様を示す側面図である。
【図27】本発明が複数の乗せ部材により、電極を互いに平行であるように配列した実施の態様を示す模式図であって、図２７（Ａ）は、電極が加工方向Ｆに沿って、互いに平行であるように配列され（すなわち、複数の電極は、単一の加工目標領域に対して、放電加工手順を順番に行う）、図２７（Ｂ）は、電極が第１の方向Ｘに沿って互いに平行であるように配列され（すなわち、複数の電極は、複数の加工目標領域に対して、放電加工手順を同時に行う）。
【図28】本発明が分離用カラムにより、電極が互いに平行である実施の態様を示す上面図であって、図２８（Ａ）は、電極が両側の乗せ部材を囲む状態を示す模式図であり、図２８（Ｂ）は、両側の乗せ部材に電極が接続されている状態を示す模式図である。
【図30】本発明に係る放電加工装置のジグが電極をスクロールする実施の態様を示す模式図である。
【図31】本発明に係る放電加工装置が張力制御モジュールを有する実施の態様を示す模式図である。
【図32】本発明に係る放電加工装置が方向修正エレメントを有する実施の態様を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0066】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
本発明の実施の形態の図面における各部材の比率は、説明を容易に理解するために示され、実際の比率ではない。
また、図に示すアセンブリの寸法の比率は、各部品とその構造を説明するためのものであり、もちろん、本発明はこれに限定されない。
一方、理解を便利にするために、下記の実施の形態における同じ部品については、同じ符号を付して説明する。
本発明の実施の形態の図面における各部材の比率は、説明を容易に理解するために示され、実際の比率ではない。
また、図に示すアセンブリの寸法の比率は、各部品とその構造を説明するためのものであり、もちろん、本発明はこれに限定されない。
一方、理解を便利にするために、下記の実施の形態における同じ部品については、同じ符号を付して説明する。
【0067】
さらに、明細書全体および請求の範囲で使用される用語は、特に明記しない限り、通常、この分野、本明細書に開示される内容、および特別な内容で使用される各用語の通常の意味を有する。
本発明を説明するために使用されるいくつかの用語は、当業者に本発明の説明に関する追加のガイダンスを提供するために、本明細書の以下または他の場所で説明される。
本発明を説明するために使用されるいくつかの用語は、当業者に本発明の説明に関する追加のガイダンスを提供するために、本明細書の以下または他の場所で説明される。
【0068】
この記事での「第１」、「第２」、「第３」などの使用については、順序や順次を具体的に示すものではなく、本発明を制限するためにも使用されていない。これは、同じ専門用語で説明するコンポーネントまたは操作を区別するだけために使用される。
【0069】
次に、この記事で「含む」、「備える」、「有する」、「含有する」などの用語が使用されている場合、それらはすべてオープンな用語である。つまり、これらは、含むがこれに限定されないことを意味する。
【0070】
図１は本発明に係る放電加工装置を示す正面図であって、図１（Ａ）の電極はラップアラウンド設計を採用し、図１（Ｂ）の電極はジャンパー設計を採用する。
図２は本発明に係る放電加工装置の一部の構造を示す上面図であって、図２（Ａ）の電極は、複数あり、ラップアラウンド設計を採用し、図２（Ｂ）の電極は、一つあり、ラップアラウンド設計を採用し、図２（Ｃ）の電極は、一つあり、ジャンパー設計を採用する。
図３は本発明に係る放電加工装置の一部の構造を示す側面図であって、図３（Ａ）は複数の電極が複数の加工目標領域に対して放電加工手順を同時に行い、図３（Ｂ）は、単一の電極が単一の加工目標領域に対して放電加工手順を行う。
図１から図３を参照する。本発明に係る放電加工（ＥＤＭ）装置１０は、ステージ２０と、放電加工ユニット３０と、を少なくとも備える。ステージ２０は、少なくとも一つの加工対象物１００を乗せるためのものである。
電極３２の両端は、それぞれ、図１（Ｂ）及び図２（Ｃ）に示すように、二つのジグ３６をスパンし、又は図１（Ａ）、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、二つのジグ３６をサラウンドする。
これにより、電極３２の放電区分Ｂはフローティング状態にある。
放電加工ユニット３０の電極３２は、第２の方向Ｙに沿って伸びることにより、電極３２の放電区分Ｂは第２の方向Ｙに平行であり、第２の方向Ｙは第１の方向Ｘと加工方向Ｆとに垂直である。
電極３２の放電区分Ｂと加工対象物１００の加工目標領域１１０は、往復または周期的に元に戻すように相対移動する（例えば、図１に示す第２の方向Ｙに沿って相対変位する）。
これにより、加工方向Ｆに沿って電極３２でステージ２０上の加工対象物１００の加工目標領域１１０に対して放電加工手順を行う。
放電加工ユニット３０の給電ユニット３４は、放電加工手順において、電極３２と加工対象物１００とに第１の電源Ｐ１を供給することにより、放電区分Ｂに位置する電極３２を経由して、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加える。
図２は本発明に係る放電加工装置の一部の構造を示す上面図であって、図２（Ａ）の電極は、複数あり、ラップアラウンド設計を採用し、図２（Ｂ）の電極は、一つあり、ラップアラウンド設計を採用し、図２（Ｃ）の電極は、一つあり、ジャンパー設計を採用する。
図３は本発明に係る放電加工装置の一部の構造を示す側面図であって、図３（Ａ）は複数の電極が複数の加工目標領域に対して放電加工手順を同時に行い、図３（Ｂ）は、単一の電極が単一の加工目標領域に対して放電加工手順を行う。
図１から図３を参照する。本発明に係る放電加工（ＥＤＭ）装置１０は、ステージ２０と、放電加工ユニット３０と、を少なくとも備える。ステージ２０は、少なくとも一つの加工対象物１００を乗せるためのものである。
電極３２の両端は、それぞれ、図１（Ｂ）及び図２（Ｃ）に示すように、二つのジグ３６をスパンし、又は図１（Ａ）、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、二つのジグ３６をサラウンドする。
これにより、電極３２の放電区分Ｂはフローティング状態にある。
放電加工ユニット３０の電極３２は、第２の方向Ｙに沿って伸びることにより、電極３２の放電区分Ｂは第２の方向Ｙに平行であり、第２の方向Ｙは第１の方向Ｘと加工方向Ｆとに垂直である。
電極３２の放電区分Ｂと加工対象物１００の加工目標領域１１０は、往復または周期的に元に戻すように相対移動する（例えば、図１に示す第２の方向Ｙに沿って相対変位する）。
これにより、加工方向Ｆに沿って電極３２でステージ２０上の加工対象物１００の加工目標領域１１０に対して放電加工手順を行う。
放電加工ユニット３０の給電ユニット３４は、放電加工手順において、電極３２と加工対象物１００とに第１の電源Ｐ１を供給することにより、放電区分Ｂに位置する電極３２を経由して、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加える。
【0071】
上記の加工対象物１００は、任意の導体や半導体構造であり、例えば結晶インゴットやウエハーなどであり、例えば円柱状などを呈するブロック、又はシートである。
加工対象物１００には、少なくとも一つの加工目標領域１１０を有し、例えば、図３（Ｂ）に示すように、単一の加工目標領域１１０、又は図３（Ａ）に示すように、複数の加工目標領域１１０を有する。
加工目標領域１１０が複数あることを例とする場合に、これらの加工目標領域１１０は、加工対象物１００における、加工に適合である任意の位置に、互いに平行であるように配列される。
これらの加工目標領域１１０の間隔Ｄは、加工対象物１００の切り厚さ、薄肉化厚さ、又は切り間隔に対応し（例えば加工対象物１００と同じ）、その数値は、選択的に実際のプロセスの必要によって調整することができる。そのため、これらの加工目標領域１１０の間隔Ｄは同じか又は異なることに限定されない。
加工対象物１００には、少なくとも一つの加工目標領域１１０を有し、例えば、図３（Ｂ）に示すように、単一の加工目標領域１１０、又は図３（Ａ）に示すように、複数の加工目標領域１１０を有する。
加工目標領域１１０が複数あることを例とする場合に、これらの加工目標領域１１０は、加工対象物１００における、加工に適合である任意の位置に、互いに平行であるように配列される。
これらの加工目標領域１１０の間隔Ｄは、加工対象物１００の切り厚さ、薄肉化厚さ、又は切り間隔に対応し（例えば加工対象物１００と同じ）、その数値は、選択的に実際のプロセスの必要によって調整することができる。そのため、これらの加工目標領域１１０の間隔Ｄは同じか又は異なることに限定されない。
【0072】
図１から図３を参照する。放電加工（ＥＤＭ）ユニット３０は、加工方向Ｆに沿って、ステージ２０上の加工対象物１００の加工目標領域１１０に対して、放電加工手順を行い、例えば、加工対象物１００の加工目標領域１１０に対して、カッティング（Ｃｕｔｔｉｎｇ）及び／又は研削（Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ，ＥＤＧ）などの放電加工手順を順番または同時に行う。
本発明は、ステージ２０が加工対象物１００を駆動して放電加工ユニット３０の電極３２へ移動し、又は放電加工ユニット３０が電極３２を駆動して加工対象物１００へ移動することに限定されず、放電加工（ＥＤＭ）ユニット３０とステージ２０上の加工対象物１００は上記の加工方向Ｆに沿って相対運動することができれば、本発明に適用することができる。
換言すると、本発明に係るステージ２０は、位置が固定されてもよいし、移動や回動可能でもよい。
本発明は、ステージ２０が乗せ板２１を有する作業プラットフォームを例として説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明に係るステージ２０は、選択的に乗せ板２１を省略してもよいし、乗せ板２１の代わりに下記の接着剤層を使用してもよい。
同じように、本発明に係る加工対象物１００は、単一の工作物で構成されることに限定されず、例えば、加工対象とする複数の工作物を接続して構成されてもよい。
これらの工作物は、選択的に、例えば接着剤層２６により互いに組み付けられる（図４に示す実施例）。
接着剤層２６は、例えば電気接触を向上可能な導電性接着剤である。
しかし、本発明は、これらに限定されず、上記または下記の接着剤層２６が接着効果を発揮できれば、導電性の有無に関わらず、全て本発明の請求の範囲に属する。
一方、本発明に係る放電加工ユニット３０は、選択的に、図５に示すように、一つ又は複数の加工対象物１００に対して放電加工手順を順番または同時に行うこともできる。
図４は複数の加工対象物を互いに接着して放電加工手順を行うことを示す側面図であり、図５は本発明に係る放電加工装置が複数の加工対象物に対して放電加工手順を行うことを示す上面図である。
本発明は、ステージ２０が加工対象物１００を駆動して放電加工ユニット３０の電極３２へ移動し、又は放電加工ユニット３０が電極３２を駆動して加工対象物１００へ移動することに限定されず、放電加工（ＥＤＭ）ユニット３０とステージ２０上の加工対象物１００は上記の加工方向Ｆに沿って相対運動することができれば、本発明に適用することができる。
換言すると、本発明に係るステージ２０は、位置が固定されてもよいし、移動や回動可能でもよい。
本発明は、ステージ２０が乗せ板２１を有する作業プラットフォームを例として説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明に係るステージ２０は、選択的に乗せ板２１を省略してもよいし、乗せ板２１の代わりに下記の接着剤層を使用してもよい。
同じように、本発明に係る加工対象物１００は、単一の工作物で構成されることに限定されず、例えば、加工対象とする複数の工作物を接続して構成されてもよい。
これらの工作物は、選択的に、例えば接着剤層２６により互いに組み付けられる（図４に示す実施例）。
接着剤層２６は、例えば電気接触を向上可能な導電性接着剤である。
しかし、本発明は、これらに限定されず、上記または下記の接着剤層２６が接着効果を発揮できれば、導電性の有無に関わらず、全て本発明の請求の範囲に属する。
一方、本発明に係る放電加工ユニット３０は、選択的に、図５に示すように、一つ又は複数の加工対象物１００に対して放電加工手順を順番または同時に行うこともできる。
図４は複数の加工対象物を互いに接着して放電加工手順を行うことを示す側面図であり、図５は本発明に係る放電加工装置が複数の加工対象物に対して放電加工手順を行うことを示す上面図である。
【0073】
図１から図３を参照する。放電加工ユニット３０は、少なくとも一つの電極３２と、給電ユニット３４と、ジグ３６と、を備える。
電極３２は、例えば、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）及び図３（Ｂ）に示すように、一つあり、又は複数あり、図２（Ａ）及び図３（Ａ）に示すように、加工対象物１００上の一つの加工目標領域１１０又は複数の加工目標領域１１０に対して放電加工手順を行う。
第２の方向Ｙに沿って伸びる放電区分Ｂの複数の電極３２を有することを例とする場合に、これらの電極３２は、第１の方向Ｘに沿って互いに平行であるように配列され、又は加工方向Ｆに沿って互いに平行であるように配列される。これらの電極３２は、線状（ストリップ状も称し）又は板状（片状も称し）の導電構造であり、例えば導電性ワイヤや箔である。
電極３２の数は、選択的に、実際の必要によって決める。
これらの電極３２の第１の方向Ｘの間隔Ｄは、加工対象物１００のカッティング又は薄肉化厚さに対応する。
これらの電極３２の横方向断面の形状は、同でもよいし、異なってもよく、例えば線状または板状を呈し、或いは、何れかの対称形状（図６に示す円形、正方形または長方形）又は非対称形状を呈する。
給電ユニット３４は、それぞれ電気接点３１（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ ｃｏｎｔａｃｔ）を経由して、電極３２及び加工対象物１００と電気的に接続する。
給電ユニット３４は、１セット又は複数セットの電源出力であり、第１の電源Ｐ１を供給する。
給電ユニット３４は、電極３２と電気的に直列または並列に接続することもでき、電極３２を経由して加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えることができれば、本発明に適用することができる。
電極３２の材質は、例えば、銅（Ｃｏｐｐｅｒ）、真鍮（Ｂｒａｓｓ）、モリブデン（Ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ）、タングステン（Ｔｕｎｇｓｔｅｎ）、黒鉛（Ｇｒａｐｈｉｔｅ）、鉄鋼（Ｓｔｅｅｌ）、アルミ（Ａｌｕｍｉｎｕｍ）及び亜鉛（Ｚｉｎｃ）からなるグループから選ばれる。
放電電極３２の厚さは、約３００ μｍであり、約３０ μｍから３００ μｍであることが好ましい。
しかし、注意すべきことは、本発明は、電極３２の数が複数あることを例として説明したが、これに限定されず、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）及び図３（Ｂ）に示すように、単一の電極を有しても、本発明の請求の範囲に属する。
本発明が属する技術分野の通常の知識を有する者は、本発明および先行技術の開示内容に基づいて、単一の電極または複数の電極に本発明の技術的手段を適用する方法を理解できるため、詳細の説明を省略する。
電極３２は、例えば、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）及び図３（Ｂ）に示すように、一つあり、又は複数あり、図２（Ａ）及び図３（Ａ）に示すように、加工対象物１００上の一つの加工目標領域１１０又は複数の加工目標領域１１０に対して放電加工手順を行う。
第２の方向Ｙに沿って伸びる放電区分Ｂの複数の電極３２を有することを例とする場合に、これらの電極３２は、第１の方向Ｘに沿って互いに平行であるように配列され、又は加工方向Ｆに沿って互いに平行であるように配列される。これらの電極３２は、線状（ストリップ状も称し）又は板状（片状も称し）の導電構造であり、例えば導電性ワイヤや箔である。
電極３２の数は、選択的に、実際の必要によって決める。
これらの電極３２の第１の方向Ｘの間隔Ｄは、加工対象物１００のカッティング又は薄肉化厚さに対応する。
これらの電極３２の横方向断面の形状は、同でもよいし、異なってもよく、例えば線状または板状を呈し、或いは、何れかの対称形状（図６に示す円形、正方形または長方形）又は非対称形状を呈する。
給電ユニット３４は、それぞれ電気接点３１（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ ｃｏｎｔａｃｔ）を経由して、電極３２及び加工対象物１００と電気的に接続する。
給電ユニット３４は、１セット又は複数セットの電源出力であり、第１の電源Ｐ１を供給する。
給電ユニット３４は、電極３２と電気的に直列または並列に接続することもでき、電極３２を経由して加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えることができれば、本発明に適用することができる。
電極３２の材質は、例えば、銅（Ｃｏｐｐｅｒ）、真鍮（Ｂｒａｓｓ）、モリブデン（Ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ）、タングステン（Ｔｕｎｇｓｔｅｎ）、黒鉛（Ｇｒａｐｈｉｔｅ）、鉄鋼（Ｓｔｅｅｌ）、アルミ（Ａｌｕｍｉｎｕｍ）及び亜鉛（Ｚｉｎｃ）からなるグループから選ばれる。
放電電極３２の厚さは、約３００ μｍであり、約３０ μｍから３００ μｍであることが好ましい。
しかし、注意すべきことは、本発明は、電極３２の数が複数あることを例として説明したが、これに限定されず、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）及び図３（Ｂ）に示すように、単一の電極を有しても、本発明の請求の範囲に属する。
本発明が属する技術分野の通常の知識を有する者は、本発明および先行技術の開示内容に基づいて、単一の電極または複数の電極に本発明の技術的手段を適用する方法を理解できるため、詳細の説明を省略する。
【0074】
図１から図３を参照する。ジグ３６は、例えば、少なくとも二つの乗せ部材４０と少なくとも二つの保持部材５０をそれぞれ選択的に対応して組付けて構成される。
電極３２の両側Ａは、二つの乗せ部材４０に対してそれぞれ可動または固定であるように押し付けることにより、電極３２の放電区分Ｂはフローティング状態にある。
二つの乗せ部材４０の間に間隔がある。二つの乗せ部材４０の寸法と、乗せ部材４０に乗せる電極３２の高さとが、同じ又は異なるであることは、特に限定されない。
電極３２の放電区分Ｂがフローティング状態にあれば、本発明に適用することができる。
保持部材５０は、乗せ部材４０に脱着することが可能であり、又は乗せ部材４０にしっかりと組み付けられる。保持部材５０は台座５２上に設けられている。台座５２は、保持部材５０の位置を固定するための構造であり、又は保持部材５０の移動や回動などの運動を可能にするための運動機構であるる。
乗せ部材４０の移動や回動などの運動を駆動するため、電極３２の放電区分Ｂは、左右へ往復動することができる。
台座５２の運動機構としては、例えば、左右へ往復動可能な任意の移動機構であり、例えばスライド機構であり、或いは、例えば、往復または周期的に元に戻すように回転可能な任意の回動機構であり、例えばモータである。
これにより、保持部材５０を駆動して、移動や回動などの運動をすることができる。
これにより、乗せ部材４０及び保持部材５０は、選択的に電極３２と一緒に往復または周期的に元に戻すように移動して、電極３２が、放電区分Ｂで放電エネルギーを加工対象物１００に加える。
電極３２が乗せ部材４０によりよく取り付けられるようにするために、乗せ部材４０のエッジは、図２及び図１２に示すように、選択的に面取り４７を有する。
電極３２の両側Ａは、二つの乗せ部材４０に対してそれぞれ可動または固定であるように押し付けることにより、電極３２の放電区分Ｂはフローティング状態にある。
二つの乗せ部材４０の間に間隔がある。二つの乗せ部材４０の寸法と、乗せ部材４０に乗せる電極３２の高さとが、同じ又は異なるであることは、特に限定されない。
電極３２の放電区分Ｂがフローティング状態にあれば、本発明に適用することができる。
保持部材５０は、乗せ部材４０に脱着することが可能であり、又は乗せ部材４０にしっかりと組み付けられる。保持部材５０は台座５２上に設けられている。台座５２は、保持部材５０の位置を固定するための構造であり、又は保持部材５０の移動や回動などの運動を可能にするための運動機構であるる。
乗せ部材４０の移動や回動などの運動を駆動するため、電極３２の放電区分Ｂは、左右へ往復動することができる。
台座５２の運動機構としては、例えば、左右へ往復動可能な任意の移動機構であり、例えばスライド機構であり、或いは、例えば、往復または周期的に元に戻すように回転可能な任意の回動機構であり、例えばモータである。
これにより、保持部材５０を駆動して、移動や回動などの運動をすることができる。
これにより、乗せ部材４０及び保持部材５０は、選択的に電極３２と一緒に往復または周期的に元に戻すように移動して、電極３２が、放電区分Ｂで放電エネルギーを加工対象物１００に加える。
電極３２が乗せ部材４０によりよく取り付けられるようにするために、乗せ部材４０のエッジは、図２及び図１２に示すように、選択的に面取り４７を有する。
【0075】
放電加工の手順において、給電ユニット３４は、電極３２と加工対象物１００とに第１の電源Ｐ１を供給することにより、電極３２の放電区分Ｂを経由して、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加える。
放電加工ユニット３０が加工方向Ｆ（カッティング／研削方向）に沿って加工対象物１００の加工目標領域１１０に対して放電加工を行うときに、電極３２の放電区分Ｂと加工対象物１００の加工目標領域１１０とは、第２の方向Ｙに沿って相対移動し、例えば往復または周期的に元に戻すように相対移動する。
すなわち、電極３２と加工対象物１００は、そのうちの一方が固定であり、他方が相対移動することができる。
或いは、電極３２と加工対象物１００とは、相対移動する。
加工方向Ｆは、例えば、第１の方向Ｘや第２の方向Ｙに垂直であり、又は第１の方向Ｘや第２の方向Ｙに傾斜である。
例を挙げて説明すると、加工対象物１００が電極３２に対して移動することを例とする場合に、本発明に係るステージ２０は、例えば、移動や回転可能な可動式ステージであり、且つ例えば、上記の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、又は加工方向Ｆに沿って移動し、或いは、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、又は加工方向Ｆを軸心として回転する。
放電加工ユニット３０が加工方向Ｆ（カッティング／研削方向）に沿って加工対象物１００の加工目標領域１１０に対して放電加工を行うときに、電極３２の放電区分Ｂと加工対象物１００の加工目標領域１１０とは、第２の方向Ｙに沿って相対移動し、例えば往復または周期的に元に戻すように相対移動する。
すなわち、電極３２と加工対象物１００は、そのうちの一方が固定であり、他方が相対移動することができる。
或いは、電極３２と加工対象物１００とは、相対移動する。
加工方向Ｆは、例えば、第１の方向Ｘや第２の方向Ｙに垂直であり、又は第１の方向Ｘや第２の方向Ｙに傾斜である。
例を挙げて説明すると、加工対象物１００が電極３２に対して移動することを例とする場合に、本発明に係るステージ２０は、例えば、移動や回転可能な可動式ステージであり、且つ例えば、上記の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、又は加工方向Ｆに沿って移動し、或いは、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、又は加工方向Ｆを軸心として回転する。
【0076】
本発明は、図１から図３に示すように、電極３２が第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される。電極３２は、例えば、互いに距離を置いた二つの乗せ部材４０をそれぞれ移動可能に囲むことにより、電極３２の放電区分Ｂがフローティング状態にあり、且つ二つの乗せ部材４０の運動に従って、第２の方向Ｙに沿って往復または周期的に元に戻すように移動する。
或いは、電極３２は、例えば、固定方式であり、互いに距離を置いた二つの乗せ部材４０を跨ぎ、又はサラウンドする。
放電加工装置１０は、選択的に、接続構造３５を有する。接続構造３５は、第１の方向Ｘに沿って伸びて、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される複数の電極３２と接続する。
接続構造３５は、放電電極３２の放電加工を行うときの構造安定性を増加することができる。そのため、接続構造３５は、導電性を有しない材料を採用してもよい。これにより、電極３２同士が互いに電気接触することを防止することができる。
接続構造３５が導電性材料を採用する場合に、接続構造３５は電気接点３１として使用することができる。
すなわち、各電極３２の頭と尾の端は、それぞれ、図１Ａに示すように、二つの乗せ部材４０の同じ一方と接続し、又は図７に示すように、二つの乗せ部材４０の両方と接続することにより、電極３２の放電区分Ｂがフローティング状態にあり、且つ二つの乗せ部材４０に従って往復動して、第２の方向Ｙに沿って往復動する。
図７に示すように、電極３２は、二つの乗せ部材４０にサラウンドすることに限定されず、選択的に、二つの乗せ部材４０の頂側だけを跨いでもよい。
或いは、電極３２は、例えば、固定方式であり、互いに距離を置いた二つの乗せ部材４０を跨ぎ、又はサラウンドする。
放電加工装置１０は、選択的に、接続構造３５を有する。接続構造３５は、第１の方向Ｘに沿って伸びて、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される複数の電極３２と接続する。
接続構造３５は、放電電極３２の放電加工を行うときの構造安定性を増加することができる。そのため、接続構造３５は、導電性を有しない材料を採用してもよい。これにより、電極３２同士が互いに電気接触することを防止することができる。
接続構造３５が導電性材料を採用する場合に、接続構造３５は電気接点３１として使用することができる。
すなわち、各電極３２の頭と尾の端は、それぞれ、図１Ａに示すように、二つの乗せ部材４０の同じ一方と接続し、又は図７に示すように、二つの乗せ部材４０の両方と接続することにより、電極３２の放電区分Ｂがフローティング状態にあり、且つ二つの乗せ部材４０に従って往復動して、第２の方向Ｙに沿って往復動する。
図７に示すように、電極３２は、二つの乗せ部材４０にサラウンドすることに限定されず、選択的に、二つの乗せ部材４０の頂側だけを跨いでもよい。
【0077】
図９（Ａ）に示すように、放電加工手順において、放電加工ユニット３０は、電極３２の放電区分Ｂを経由して、加工方向Ｆに沿って、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加える。そのため、加工方向Ｆに沿って、加工対象物１００の加工目標領域１１０に複数の加工溝１２０を形成することができる。
加工溝１２０の深さＨは、全部の放電加工手順が終了するまで、放電加工手順の行いに従って深くなる。
図９（Ａ）に示すように、本発明は、選択的に、充填手順を行うことにより、加工溝１２０に、選択的に、充填材１２４を充填してもよい。
これにより、加工対象物１００の振動を減少することができ、加工対象物１００のカットしたままの状態（ａｓ-ｃｕｔ）／薄肉化距離を保持することができる。
そして、カッティングや研磨された後の加工対象物１００のシートが互いに衝突することを回避することができる。
上記の充填材１２４は、空気、脱イオン水、オイル、グルーなどの絶縁材料、又は他の適切な絶縁材料を誘電材料として使用することができる。
しかし、本発明に係る充填材１２４の材料は、絶縁材料に限定されず、加工溝１２０に充填することが可能な何れかの材料（例えば半絶縁材料または非絶縁材料）でも、全て本発明の請求の範囲に属する。
そして、実際のプロセスの必要によって、放電加工手順と充填手順は、同期、順番または交代に行われてもよい。
例えば、加工溝１２０の一部の深さを形成した後、及び加工溝１２０が加工対象物１００を完全に貫通する前に、本発明は、更に、選択的に、加工溝１２０に対して充填手順を行うことができる。
例えば、図９（Ｂ）に示すように、加工溝１２０に対して分注手順を行う。
これは、接着剤を充填材１２４として、加工溝１２０の両側の加工面を接着して、加工対象物１００に加工溝１２０が形成されたことによるブレの発生を減少することができる。
上記の接着剤は、導電性接着剤または非導電性接着剤である。上記の接着剤は、加工溝１２０の一部や全部を補填することに限定されず、接着して固定することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
或いは、図９（Ｃ）に示すように、本発明は、選択的に、金属箔または金属ブロックを充填材１２４として、充填材１２４を加工溝１２０に入れることができる。
金属箔または金属ブロックは、例えば銅箔または銅シートなどの導電性材料である。
これにより、同じように、加工対象物１００のブレ現象を減少することができる。
同じように、上記の金属箔または金属ブロックは、加工溝１２０の一部または全部を充填することに限定されない。充填材１２４は金属箔または金属ブロックなどの導電性材料に限定されず、絶縁ブロックなども、選択的に、充填材１２４とすることもできる。
補填効果を得ることができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
一方、その他、本発明は、選択的に、加工溝１２０が形成された加工対象物１００に対して、テープ張付け手順を行うことができ、例えば導電性または非導電性のテープ１２６を加工対象物１００の加工溝１２０の両側に張り付けることにより、しっかり固定することができ、加工対象物１００の加工目標領域１１０のブレ現象を減少することもできる。
加工溝１２０に金属箔または金属ブロックなどの充填材１２４を充填したと、充填材１２４を支持エレメントとして、加工溝１２０の両側を支持することができ、加工の過程中または加工の後に、シートである加工対象物１００が外力を受けて破裂し、又は破砕することなどを有効に回避することができる。
例を挙げて説明すると、充填材１２４は金属箔または金属ブロックなどの導電性材料であり、且つ放電加工手順と充填手順が交互に行なわれる。
本発明は、例えば、第１段時間の放電加工手順を行って一部の加工溝１２０を形成した後、第２段時間の充填手順を行い、例えば金属箔または金属ブロックなどの充填材１２４を加工溝１２０に充填して、テープ１２６を張り付ける。
同じように、本発明は、この後、第３段時間の放電加工手順を行って別の部分の加工溝１２０を形成して、第４段時間の充填手順を行い、などなど。
これにより、加工溝１２０の一部または全部を補填することができる。
その他、本発明は、上記の液相または気相などの流体において、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えて、放電加工手順を行うことに限定されず、本発明の放電加工手順は、真空環境において、行われてもよい。真空環境において行われる場合は、放電ロス及び不純物による汚染を減少することができ、放電加工の精度と制御性を向上することもできる。
或いは、上記の液相または気相などの流体は、例えば酸素またはオゾン成分を含有する。酸素またはオゾン成分を含有する環境において、放電加工手順を行うことにより、放電加工の速度を上げることができ、放電加工の品質を改善することもでき、電極の表面に発生した炭化物や残留物の除去にも効果があり、ひいては電極の摩耗を減少することができる。
簡単に説明すると、本発明の放電加工手順は、気相流体の環境または真空環境において、ドライ式で加工対象物１００をカッティングすることができる。そして加工対象物１００を液相流体タンク（例えば液体タンクや加熱された液体タンク）に浸し、又は液相流体を加工対象物１００にスプレーすることにより、湿った環境において、ウェット式で加工対象物１００をカッティングすることができる。
例を挙げて説明すると、上記の流体は、選択的に、電解水などの電解液（図示せず）である。
これにより、本発明は、例えば電解液環境において、放電加工手順を行うことができる。
電極３２は、図１に示すように、給電ユニット３４の陰極と電気的に接続し、加工対象物１００は給電ユニット３４の陽極と電気的に接続するため、放電加工手順を行う過程中に、電解反応が同時に発生される。
本発明は、電解反応による陰極保護（ｃａｔｈｏｄｉｃ ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ）現象により、電極３２の金属成分が、放電加工手順において、電解液に溶けることを回避することができるため、電極３２が断裂する現象を減少することができる。
電解反応により、電解液における水は、加工対象物１００の加工目標領域１１０で水素ガスが発生される。
水素ガスのバブルの発生により、加工溝１２０における残留物の排除を促進することができ、加工対象物１００の洗浄効果を向上することができる。
そして、同じ電気的性質は互いに反発するという原理により、同じマイナスに帯電した残留物が電極３２や加工溝１２０に付着することを回避できる。
本発明は、電解水を電解液として説明したが、何れかの気相や液相流体は電解反応を発生することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
加工溝１２０の深さＨは、全部の放電加工手順が終了するまで、放電加工手順の行いに従って深くなる。
図９（Ａ）に示すように、本発明は、選択的に、充填手順を行うことにより、加工溝１２０に、選択的に、充填材１２４を充填してもよい。
これにより、加工対象物１００の振動を減少することができ、加工対象物１００のカットしたままの状態（ａｓ-ｃｕｔ）／薄肉化距離を保持することができる。
そして、カッティングや研磨された後の加工対象物１００のシートが互いに衝突することを回避することができる。
上記の充填材１２４は、空気、脱イオン水、オイル、グルーなどの絶縁材料、又は他の適切な絶縁材料を誘電材料として使用することができる。
しかし、本発明に係る充填材１２４の材料は、絶縁材料に限定されず、加工溝１２０に充填することが可能な何れかの材料（例えば半絶縁材料または非絶縁材料）でも、全て本発明の請求の範囲に属する。
そして、実際のプロセスの必要によって、放電加工手順と充填手順は、同期、順番または交代に行われてもよい。
例えば、加工溝１２０の一部の深さを形成した後、及び加工溝１２０が加工対象物１００を完全に貫通する前に、本発明は、更に、選択的に、加工溝１２０に対して充填手順を行うことができる。
例えば、図９（Ｂ）に示すように、加工溝１２０に対して分注手順を行う。
これは、接着剤を充填材１２４として、加工溝１２０の両側の加工面を接着して、加工対象物１００に加工溝１２０が形成されたことによるブレの発生を減少することができる。
上記の接着剤は、導電性接着剤または非導電性接着剤である。上記の接着剤は、加工溝１２０の一部や全部を補填することに限定されず、接着して固定することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
或いは、図９（Ｃ）に示すように、本発明は、選択的に、金属箔または金属ブロックを充填材１２４として、充填材１２４を加工溝１２０に入れることができる。
金属箔または金属ブロックは、例えば銅箔または銅シートなどの導電性材料である。
これにより、同じように、加工対象物１００のブレ現象を減少することができる。
同じように、上記の金属箔または金属ブロックは、加工溝１２０の一部または全部を充填することに限定されない。充填材１２４は金属箔または金属ブロックなどの導電性材料に限定されず、絶縁ブロックなども、選択的に、充填材１２４とすることもできる。
補填効果を得ることができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
一方、その他、本発明は、選択的に、加工溝１２０が形成された加工対象物１００に対して、テープ張付け手順を行うことができ、例えば導電性または非導電性のテープ１２６を加工対象物１００の加工溝１２０の両側に張り付けることにより、しっかり固定することができ、加工対象物１００の加工目標領域１１０のブレ現象を減少することもできる。
加工溝１２０に金属箔または金属ブロックなどの充填材１２４を充填したと、充填材１２４を支持エレメントとして、加工溝１２０の両側を支持することができ、加工の過程中または加工の後に、シートである加工対象物１００が外力を受けて破裂し、又は破砕することなどを有効に回避することができる。
例を挙げて説明すると、充填材１２４は金属箔または金属ブロックなどの導電性材料であり、且つ放電加工手順と充填手順が交互に行なわれる。
本発明は、例えば、第１段時間の放電加工手順を行って一部の加工溝１２０を形成した後、第２段時間の充填手順を行い、例えば金属箔または金属ブロックなどの充填材１２４を加工溝１２０に充填して、テープ１２６を張り付ける。
同じように、本発明は、この後、第３段時間の放電加工手順を行って別の部分の加工溝１２０を形成して、第４段時間の充填手順を行い、などなど。
これにより、加工溝１２０の一部または全部を補填することができる。
その他、本発明は、上記の液相または気相などの流体において、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えて、放電加工手順を行うことに限定されず、本発明の放電加工手順は、真空環境において、行われてもよい。真空環境において行われる場合は、放電ロス及び不純物による汚染を減少することができ、放電加工の精度と制御性を向上することもできる。
或いは、上記の液相または気相などの流体は、例えば酸素またはオゾン成分を含有する。酸素またはオゾン成分を含有する環境において、放電加工手順を行うことにより、放電加工の速度を上げることができ、放電加工の品質を改善することもでき、電極の表面に発生した炭化物や残留物の除去にも効果があり、ひいては電極の摩耗を減少することができる。
簡単に説明すると、本発明の放電加工手順は、気相流体の環境または真空環境において、ドライ式で加工対象物１００をカッティングすることができる。そして加工対象物１００を液相流体タンク（例えば液体タンクや加熱された液体タンク）に浸し、又は液相流体を加工対象物１００にスプレーすることにより、湿った環境において、ウェット式で加工対象物１００をカッティングすることができる。
例を挙げて説明すると、上記の流体は、選択的に、電解水などの電解液（図示せず）である。
これにより、本発明は、例えば電解液環境において、放電加工手順を行うことができる。
電極３２は、図１に示すように、給電ユニット３４の陰極と電気的に接続し、加工対象物１００は給電ユニット３４の陽極と電気的に接続するため、放電加工手順を行う過程中に、電解反応が同時に発生される。
本発明は、電解反応による陰極保護（ｃａｔｈｏｄｉｃ ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ）現象により、電極３２の金属成分が、放電加工手順において、電解液に溶けることを回避することができるため、電極３２が断裂する現象を減少することができる。
電解反応により、電解液における水は、加工対象物１００の加工目標領域１１０で水素ガスが発生される。
水素ガスのバブルの発生により、加工溝１２０における残留物の排除を促進することができ、加工対象物１００の洗浄効果を向上することができる。
そして、同じ電気的性質は互いに反発するという原理により、同じマイナスに帯電した残留物が電極３２や加工溝１２０に付着することを回避できる。
本発明は、電解水を電解液として説明したが、何れかの気相や液相流体は電解反応を発生することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
【0078】
図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）を参照する。放電加工手順において、電極３２の放電区分Ｂは、加工方向Ｆに沿って進んで、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加える。電極３２の放電区分Ｂと加工対象物１００の加工目標領域１１０とは、同時に第２の方向Ｙに沿って相対移動する（例えば、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）の白抜きの両矢印と単一の矢印で示す方向に）。電極３２の放電加工手順の過程中に発生される振動を回避するために、本発明に係る放電加工装置１０は、選択的に、安定部材２２を有する。
安定部材２２は、例えば、ステージ２０またはジグ３６に設けられており、例えば電極３２の両側Ａの間に位置する。
安定部材２２の形態は、特に限定されず、電極３２の振動を減少できれば、本発明に適用することができる。
例を挙げて説明すると、安定部材２２の電極３２と接触する接触面２８は、例えば平面であり、例えば、フローティング状態にある電極３２を支持することにより、振動を減少することができる。
安定部材２２の電極３２と接触する接触面２８は、図１０（Ｂ）に示すように、選択的に案内溝２８１を有する。案内溝２８１の深さは、例えば、電極３２を移動可能に収容できる程度の深さである。
案内溝２８１の数は電極３２に対応することにより、電極３２の間隔を保持することができ、第１の方向Ｘに沿う揺れを減少することができ、電極３２を有効に安定化することができ、電極３２をガイドすることもできる。
案内溝２８１は、フローティング状態にある電極３２を支持することが可能である。そして、電極３２が加工対象物１００に対して、往復または周期的に元に戻すように移動するときに、電極３２の安定化およびガイドをする効果を得ることができる。
その他、安定部材２２は、選択的に、その高さが伸縮可能な構造を採用してもよい。
これにより、加工溝１２０の深さに従って、安定部材２２の電極３２と接触する接触面２８の高さを変更することができる。
安定部材２２の隣接する案内溝２８１の間のストリップ状構造も、下記の分離用カラムとして使用することができる。
これにより、複数の電極３２を互いに平行であるように分離することができる。
安定部材２２は、非導電性材料を採用することにより、電極３２同士が互いに電気接触することを防止することができる。
安定部材２２は、導電性材料を採用する場合に、電気接点３１として使用することもできる。
安定部材２２は、例えば、ステージ２０またはジグ３６に設けられており、例えば電極３２の両側Ａの間に位置する。
安定部材２２の形態は、特に限定されず、電極３２の振動を減少できれば、本発明に適用することができる。
例を挙げて説明すると、安定部材２２の電極３２と接触する接触面２８は、例えば平面であり、例えば、フローティング状態にある電極３２を支持することにより、振動を減少することができる。
安定部材２２の電極３２と接触する接触面２８は、図１０（Ｂ）に示すように、選択的に案内溝２８１を有する。案内溝２８１の深さは、例えば、電極３２を移動可能に収容できる程度の深さである。
案内溝２８１の数は電極３２に対応することにより、電極３２の間隔を保持することができ、第１の方向Ｘに沿う揺れを減少することができ、電極３２を有効に安定化することができ、電極３２をガイドすることもできる。
案内溝２８１は、フローティング状態にある電極３２を支持することが可能である。そして、電極３２が加工対象物１００に対して、往復または周期的に元に戻すように移動するときに、電極３２の安定化およびガイドをする効果を得ることができる。
その他、安定部材２２は、選択的に、その高さが伸縮可能な構造を採用してもよい。
これにより、加工溝１２０の深さに従って、安定部材２２の電極３２と接触する接触面２８の高さを変更することができる。
安定部材２２の隣接する案内溝２８１の間のストリップ状構造も、下記の分離用カラムとして使用することができる。
これにより、複数の電極３２を互いに平行であるように分離することができる。
安定部材２２は、非導電性材料を採用することにより、電極３２同士が互いに電気接触することを防止することができる。
安定部材２２は、導電性材料を採用する場合に、電気接点３１として使用することもできる。
【0079】
本発明に係る乗せ部材４０の形状は、特に限定されず、例えば、図１２及び図１３に示すようなプレート状、又は図１から図１０に示すようなスリーブ状を呈していてもよい。
乗せ部材４０の表面には、選択的に、例えば複数の制限スロット４２が設けられている。
電極３２の位置は制限スロット４２に制限される。
異なる制限スロット４２における電極３２は、それぞれ電気的に独立でもよいし、順番に接続されて電気的に連通してもよい。
図１から図１３に示す実施の態様では、制限スロット４２は、間隔Ｄで第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列されることにより、電極３２が第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される。
しかし、本発明は、これに限定されず、実際の放電加工プロセスの必要によって、制限スロット４２は、例えば、加工方向Ｆに沿って平行であるように配列されてもよい。
これにより、電極３２を加工方向Ｆに沿って平行であるように配列することができる。
制限スロット４２の幅は、電極３２の幅に対応する。例えば、制限スロット４２の幅は、電極３２の幅よりやや大きい。
これにより、電極３２の位置を制限スロット４２に制限することができる。
二つの乗せ部材４０は、例えば制限スロット４２を有する。
電極３２と乗せ部材４０は相対運動する必要がない場合には、例えば乗せ部材４０が回転する必要がない場合に、本発明は、更に、選択的に、図７及び図８に示すように、付属部材４６により、制限スロット４２に電極３２を固定する。
付属部材４６は、例えば乗せ部材４０のエッジで電極３２と接続する。
付属部材４６は、例えば複数の位置と寸法とを有し、制限スロット４２のバンプに対応し、又は付属部材４６が接着剤でもよい。
一方、付属部材４６は、更に、選択的に、給電ユニット３４からの第１の電源Ｐ１や別の給電ユニット３４’からの第２の電源Ｐ２と電気的に接続する。
第２の電源Ｐ２は、例えば直流電源または無線周波である。すなわち、付属部材４６は、更に、選択的に、図１の電気接点３１として使用することができる。
乗せ部材４０の表面には、選択的に、例えば複数の制限スロット４２が設けられている。
電極３２の位置は制限スロット４２に制限される。
異なる制限スロット４２における電極３２は、それぞれ電気的に独立でもよいし、順番に接続されて電気的に連通してもよい。
図１から図１３に示す実施の態様では、制限スロット４２は、間隔Ｄで第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列されることにより、電極３２が第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される。
しかし、本発明は、これに限定されず、実際の放電加工プロセスの必要によって、制限スロット４２は、例えば、加工方向Ｆに沿って平行であるように配列されてもよい。
これにより、電極３２を加工方向Ｆに沿って平行であるように配列することができる。
制限スロット４２の幅は、電極３２の幅に対応する。例えば、制限スロット４２の幅は、電極３２の幅よりやや大きい。
これにより、電極３２の位置を制限スロット４２に制限することができる。
二つの乗せ部材４０は、例えば制限スロット４２を有する。
電極３２と乗せ部材４０は相対運動する必要がない場合には、例えば乗せ部材４０が回転する必要がない場合に、本発明は、更に、選択的に、図７及び図８に示すように、付属部材４６により、制限スロット４２に電極３２を固定する。
付属部材４６は、例えば乗せ部材４０のエッジで電極３２と接続する。
付属部材４６は、例えば複数の位置と寸法とを有し、制限スロット４２のバンプに対応し、又は付属部材４６が接着剤でもよい。
一方、付属部材４６は、更に、選択的に、給電ユニット３４からの第１の電源Ｐ１や別の給電ユニット３４’からの第２の電源Ｐ２と電気的に接続する。
第２の電源Ｐ２は、例えば直流電源または無線周波である。すなわち、付属部材４６は、更に、選択的に、図１の電気接点３１として使用することができる。
【0080】
図１１に示す実施の態様と、図１から図１０とを同時に参照する。
ジグ３６の乗せ部材４０が円筒形を呈するスリーブ構造であることを例とすれば、複数の制限スロット４２は、例えば第１の方向Ｘ（すなわち、乗せ部材４０の軸方向）に沿って平行であるように配列され、且つ第３の方向Ｚ（すなわち、乗せ部材４０の半径方向）に沿って乗せ部材４０の奥まで入って深さＨを有する。
このため、単一の制限スロット４２において、図１１に示すように、単一の電極または複数の電極３２を積み重ねることができる。
制限スロット４２の深さＨは、実際の必要によって決めることができ、互いに同じであることに限定されない。すなわち、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される複数の制限スロット４２の深さＨは、互いに異なってもよい。
電極３２がラップアラウンド設計を採用することを例とする場合には、電極３２が互いに接触して積み重ね状態にあり、且つ乗せ部材４０を回り込むことにより、制限スロット４２内に積み重ねる。
一方、異なる制限スロット４２における電極３２の数は、互いに同じであることに限定されない。すなわち、異なる制限スロット４２に位置する電極３２の数は、互いに異なってもよい。
換言すると、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される電極３２は、同じ数で第３の方向Ｚに沿って平行であるように配列され、又は第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される電極３２は、異なる数で第３の方向Ｚに沿って平行であるように配列される。
第３の方向Ｚは、例えば、第１の方向Ｘに垂直である。すなわち、乗せ部材４０の半径方向であり、且つ加工対象物１００の半径方向に平行である。
しかし、実際のプロセスの必要によって、放電加工手順は、加工対象物１００の半径方向に沿って、垂直に切断または研削することができ、又は加工対象物１００の半径方向に沿って、ある傾斜角度で斜めに切断または研削することができる。
このため、実際に放電加工手順を行うときには、例えば、ステージ２０やジグ３６を調整して、第３の方向Ｚが加工方向Ｆに平行であるように調整する。
ジグ３６の乗せ部材４０が円筒形を呈するスリーブ構造であることを例とすれば、複数の制限スロット４２は、例えば第１の方向Ｘ（すなわち、乗せ部材４０の軸方向）に沿って平行であるように配列され、且つ第３の方向Ｚ（すなわち、乗せ部材４０の半径方向）に沿って乗せ部材４０の奥まで入って深さＨを有する。
このため、単一の制限スロット４２において、図１１に示すように、単一の電極または複数の電極３２を積み重ねることができる。
制限スロット４２の深さＨは、実際の必要によって決めることができ、互いに同じであることに限定されない。すなわち、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される複数の制限スロット４２の深さＨは、互いに異なってもよい。
電極３２がラップアラウンド設計を採用することを例とする場合には、電極３２が互いに接触して積み重ね状態にあり、且つ乗せ部材４０を回り込むことにより、制限スロット４２内に積み重ねる。
一方、異なる制限スロット４２における電極３２の数は、互いに同じであることに限定されない。すなわち、異なる制限スロット４２に位置する電極３２の数は、互いに異なってもよい。
換言すると、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される電極３２は、同じ数で第３の方向Ｚに沿って平行であるように配列され、又は第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列される電極３２は、異なる数で第３の方向Ｚに沿って平行であるように配列される。
第３の方向Ｚは、例えば、第１の方向Ｘに垂直である。すなわち、乗せ部材４０の半径方向であり、且つ加工対象物１００の半径方向に平行である。
しかし、実際のプロセスの必要によって、放電加工手順は、加工対象物１００の半径方向に沿って、垂直に切断または研削することができ、又は加工対象物１００の半径方向に沿って、ある傾斜角度で斜めに切断または研削することができる。
このため、実際に放電加工手順を行うときには、例えば、ステージ２０やジグ３６を調整して、第３の方向Ｚが加工方向Ｆに平行であるように調整する。
【0081】
保持部材５０は、選択的に、脱着可能式または固定式で、乗せ部材４０にしっかり組付けられている。
乗せ部材４０と保持部材５０の組付け態様は、特に限定されない。
保持部材５０に乗せ部材を組み付けることができ、又は乗せ部材４０が、保持部材５０の移動や回転などの運動により、選択的に、移動や回転などの運動をすることができれば、本発明に適用することができる。
乗せ部材４０は、例えば、図２に示すように、軸穴４１を有する、円筒形、又はその他の形状を呈するスリーブである。
乗せ部材４０は、軸穴４１により、保持部材５０のバンプ５３に嵌めることができる。
一方、電極３２が不意に断裂したときに、電極３２を交換するための時間を減少するために、本発明は、更に、例えば、まず、同様にバンプを有するダミー（Ｄｕｍｍｙ）支持部材に乗せ部材４０の軸穴４１を嵌める。
これにより、ユーザーは、ダミー支持部材から、電極３２に囲まれる乗せ部材４０を快速に取り出すことができる。そして、保持部材５０のバンプ５３に乗せ部材４０の軸穴４１を嵌め、又は乗せ部材４０の軸穴４１に保持部材５０のバンプ５３を差し込む。
このため、ジグ３６の組付け作業を快速に完成することができる。
乗せ部材４０と保持部材５０の組付け態様は、特に限定されない。
保持部材５０に乗せ部材を組み付けることができ、又は乗せ部材４０が、保持部材５０の移動や回転などの運動により、選択的に、移動や回転などの運動をすることができれば、本発明に適用することができる。
乗せ部材４０は、例えば、図２に示すように、軸穴４１を有する、円筒形、又はその他の形状を呈するスリーブである。
乗せ部材４０は、軸穴４１により、保持部材５０のバンプ５３に嵌めることができる。
一方、電極３２が不意に断裂したときに、電極３２を交換するための時間を減少するために、本発明は、更に、例えば、まず、同様にバンプを有するダミー（Ｄｕｍｍｙ）支持部材に乗せ部材４０の軸穴４１を嵌める。
これにより、ユーザーは、ダミー支持部材から、電極３２に囲まれる乗せ部材４０を快速に取り出すことができる。そして、保持部材５０のバンプ５３に乗せ部材４０の軸穴４１を嵌め、又は乗せ部材４０の軸穴４１に保持部材５０のバンプ５３を差し込む。
このため、ジグ３６の組付け作業を快速に完成することができる。
【0082】
プレート状の構造を例とする場合に、図１２及び図１３に示す異なる実施の態様では、図１３の視点が図１２に垂直である。
乗せ部材４０はそれぞれ第１のシート４４Ａ及び第２のシート４４Ｂを備え、且つ電極３２が第１のシート４４Ａと第２のシート４４Ｂとの間にクランプされている。
図１２を例とする場合に、電極３２は、まず、第１のシート４４Ａに巻き付けて、第２のシート４４Ｂが第１のシート４４Ａと結合する。第２のシート４４Ｂは、例えば第１のシート４４Ａの嵌合溝に結合されている。
これにより、上記の制限スロット４２が電極３２をクランプすることができる。
乗せ部材４０は、選択的に、例えば貫通スロット４３を有する。
乗せ部材４０は、貫通スロット４３により、保持部材５０のバンプ５３に嵌めることができる。
貫通スロット４３は、一側に開口し、又は両側に開口することに限定されない。乗せ部材４０と保持部材５０を組み付けて一体になることができれば、何れかの形態の貫通スロット４３、又は組み付け方式は、全て本発明に適用することができる。
図１３を例とする場合には、電極３２は、第１のシート４４Ａと第２のシート４４Ｂとの間にクランプされている。
乗せ部材４０は、例えば貫通スロット４３を有し、貫通スロット４３により、保持部材５０のバンプ５３に嵌めることができる。
第２のシート４４Ｂは、複数層に巻き付けられる電極３２の間の仕切り層として使用することができ、且つ第２のシート４４Ｂの厚さを変更することにより、複数層の電極３２の間の第１の方向Ｘの間隔Ｄを調整することができる。
或いは、図１４に示す実施の態様のように、乗せ部材４０は、選択的に、例えばネジ接続方式を採用して、保持部材５０に組付ける。
例えば乗せ部材４０は、それぞれ貫通穴４５を有し、保持部材５０のバンプ５３は、それぞれねじ穴を有する。
乗せ部材４０は、ボルト５９が貫通穴４５を通って保持部材５０のねじ穴にねじ込む。
或いは、図１５に示す実施の態様のように、保持部材５０は、選択的に、例えば溝構造５７をそれぞれ有する。乗せ部材４０は、保持部材５０の溝構造５７に差し込まれることにより、保持部材５０に組付ける。
乗せ部材４０はそれぞれ第１のシート４４Ａ及び第２のシート４４Ｂを備え、且つ電極３２が第１のシート４４Ａと第２のシート４４Ｂとの間にクランプされている。
図１２を例とする場合に、電極３２は、まず、第１のシート４４Ａに巻き付けて、第２のシート４４Ｂが第１のシート４４Ａと結合する。第２のシート４４Ｂは、例えば第１のシート４４Ａの嵌合溝に結合されている。
これにより、上記の制限スロット４２が電極３２をクランプすることができる。
乗せ部材４０は、選択的に、例えば貫通スロット４３を有する。
乗せ部材４０は、貫通スロット４３により、保持部材５０のバンプ５３に嵌めることができる。
貫通スロット４３は、一側に開口し、又は両側に開口することに限定されない。乗せ部材４０と保持部材５０を組み付けて一体になることができれば、何れかの形態の貫通スロット４３、又は組み付け方式は、全て本発明に適用することができる。
図１３を例とする場合には、電極３２は、第１のシート４４Ａと第２のシート４４Ｂとの間にクランプされている。
乗せ部材４０は、例えば貫通スロット４３を有し、貫通スロット４３により、保持部材５０のバンプ５３に嵌めることができる。
第２のシート４４Ｂは、複数層に巻き付けられる電極３２の間の仕切り層として使用することができ、且つ第２のシート４４Ｂの厚さを変更することにより、複数層の電極３２の間の第１の方向Ｘの間隔Ｄを調整することができる。
或いは、図１４に示す実施の態様のように、乗せ部材４０は、選択的に、例えばネジ接続方式を採用して、保持部材５０に組付ける。
例えば乗せ部材４０は、それぞれ貫通穴４５を有し、保持部材５０のバンプ５３は、それぞれねじ穴を有する。
乗せ部材４０は、ボルト５９が貫通穴４５を通って保持部材５０のねじ穴にねじ込む。
或いは、図１５に示す実施の態様のように、保持部材５０は、選択的に、例えば溝構造５７をそれぞれ有する。乗せ部材４０は、保持部材５０の溝構造５７に差し込まれることにより、保持部材５０に組付ける。
【0083】
一方、図１６に示す実施の態様のように、保持部材５０は、更に、例えば導電構造５４を有する。
導電構造５４は、例えば第１の方向Ｘに沿って、複数の電極３２を跨ぐことにより、乗せ部材４０上の電極３２に押し付けて電気的に接続する。
これにより、上記の実施例での給電ユニット３４からの第１の電源Ｐ１は、選択的に、例えば導電構造５４を経由して電極３２と電気的に接続する。
すなわち、導電構造５４は、選択的に、図１の電気接点３１として使用する。
加えて、電極３２の間にも、選択的に、絶縁構造５６が設けられていることにより、電極３２が互いに電気接触することを回避することができる。
例を挙げて説明すると、図１７に示す実施の態様のように、絶縁構造５６は、選択的に、例えば電極３２と導電構造５４との間に設けられている。
絶縁構造５６の採用する材料は、特に限定されず、上記の絶縁効果を提供することできれば、本発明に適用することができる。
導電構造５４は、例えば第１の方向Ｘに沿って、複数の電極３２を跨ぐことにより、乗せ部材４０上の電極３２に押し付けて電気的に接続する。
これにより、上記の実施例での給電ユニット３４からの第１の電源Ｐ１は、選択的に、例えば導電構造５４を経由して電極３２と電気的に接続する。
すなわち、導電構造５４は、選択的に、図１の電気接点３１として使用する。
加えて、電極３２の間にも、選択的に、絶縁構造５６が設けられていることにより、電極３２が互いに電気接触することを回避することができる。
例を挙げて説明すると、図１７に示す実施の態様のように、絶縁構造５６は、選択的に、例えば電極３２と導電構造５４との間に設けられている。
絶縁構造５６の採用する材料は、特に限定されず、上記の絶縁効果を提供することできれば、本発明に適用することができる。
【0084】
一方、本発明の各実施の態様では、異なる制限スロット４２内に位置する電極３２同士の高さは、同じであることに限定されない。異なる制限スロット４２内に位置する電極３２同士の高さは異なってもよい。
或いは、異なる乗せ部材４０に位置する電極３２同士の高さは、同じであることに限定されず、異なる乗せ部材４０に位置する電極３２同士の高さは異なってもよい。
すなわち、図１１に示す実施の態様のように、電極３２は、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列され可能であることだけではなく、選択的に、同じ高さ又は異なる高さで、第３の方向Ｚに沿って平行であるように配列されることもできる。
同じ制限スロット４２内に位置する電極３２は、積み重ねたり、並列したりすることもできる。
或いは、異なる乗せ部材４０に位置する電極３２同士の高さは、同じであることに限定されず、異なる乗せ部材４０に位置する電極３２同士の高さは異なってもよい。
すなわち、図１１に示す実施の態様のように、電極３２は、第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列され可能であることだけではなく、選択的に、同じ高さ又は異なる高さで、第３の方向Ｚに沿って平行であるように配列されることもできる。
同じ制限スロット４２内に位置する電極３２は、積み重ねたり、並列したりすることもできる。
【0085】
一方、図１１に示すように、同じ制限スロット４２内に位置する複数の電極３２は、第３の方向Ｚ（加工方向Ｆ）に沿って平行であるように配列されるため、第３の方向Ｚに沿って平行であるように配列される。
これらの電極３２は、加工方向Ｆに沿って、加工対象物１００の加工目標領域１１０を順番に切断または研削するときに、後の電極３２は、前の電極３２が通過した位置を通過する。
換言すると、加工方向Ｆが上から下へを例とする場合には、前の電極３２（例えば下方にある電極）が断線しても、後の電極３２（例えば上方にある電極）は、前の電極３２の代わりに、図１に示す加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えることができる。
これにより、電極の断線によるプロセスの中止などを回避することができる。
これらの電極３２は、加工方向Ｆに沿って、加工対象物１００の加工目標領域１１０を順番に切断または研削するときに、後の電極３２は、前の電極３２が通過した位置を通過する。
換言すると、加工方向Ｆが上から下へを例とする場合には、前の電極３２（例えば下方にある電極）が断線しても、後の電極３２（例えば上方にある電極）は、前の電極３２の代わりに、図１に示す加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えることができる。
これにより、電極の断線によるプロセスの中止などを回避することができる。
【0086】
加工対象物１００はステージ２０上に置かれている。
ステージ２０は、加工対象物１００を固定するためのクランプ部材２４を備える。
クランプ部材２４は、例えば二つのプレート２３を有し、選択的に、乗せ板２１を備える。
図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）を参照する。クランプ部材２４のプレート２３は、選択的に、階段状を呈する構造である。クランプ部材２４のプレート２３を階段状の設計にすることにより、加工対象物１００のもっと多くの位置に押し付けて接触することができ、加工対象物１００をクランプする効果をより安定して実現することができる。
しかし、本発明に係るクランプ部材２４の形状は、特に、限定されない。加工対象物１００をクランプすることができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
例を挙げて説明すると、加工対象物１００はブロック状物（例えばインゴット）を例する場合には、クランプ部材２４は、例えば円柱状を呈するインゴットの周面をクランプすることにより、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）に示すように、スクロールや変位を防ぐことができ、且つ加工対象物１００の加工目標領域１１０をクランプ部材２４の外側に位置することができる。
或いは、クランプ部材２４は、例えばインゴットの両端をクランプする。すなわち、軸方向に沿ってインゴットの両側をクランプすることにより、図１９（Ａ）及び図１９（Ｂ）に示すように、変位を防止することができ、且つ加工対象物１００の加工目標領域１１０を二つのクランプ部材２４の間に位置することができる。
クランプ部材２４は、例えば分離される二つのプレート２３である。二つのプレート２３により加工対象物１００をクランプする。
クランプ部材２４と加工対象物１００が二つ以上の接触面を有することにより、加工対象物１００がスクロールや変位することを有効に回避することができる。
ステージ２０の乗せ板２１又はクランプ部材２４は、更に、選択的に、図１９（Ａ）及び図１９（Ｂ）に示すように、接着剤層２６で加工対象物１００と接続する。
これにより、放電加工手順の過程中に、加工対象物１００が振動することを有効に回避することができる。又は放電加工手順が終了する前に、加工対象物１００にバリが発生する現象を有効に回避することができる。
接着剤層２６は、例えば導電性接着剤であり、接着剤により、導電および固定の効果を得ることができる。
接着剤層２６は、連続式または非連続式で、ステージ２０上またはクランプ部材２４上に設けられている。
接着剤層２６は、図１９（Ａ）に示すように、連続式で加工対象物１００とステージ２０の乗せ板２１との間に接着されている。又は図１９（Ｂ）に示すように、接着剤層２６は、非連続式で加工対象物１００とステージ２０の乗せ板２１との間に接着されている。
非連続式であることを例とする場合には、接着剤層２６は、例えば間隔を取るように、ステージ２０の乗せ板２１上に設けられている。且つその位置は、例えば加工目標領域１１０に対応し、すなわち、接着剤層２６は、加工目標領域１１０の下方に位置する。
しかし、本発明では、接着剤層２６は、加工目標領域１１０の真下に位置することに限定されない。加工対象物１００をしっかり接着することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
ステージ２０は、加工対象物１００を固定するためのクランプ部材２４を備える。
クランプ部材２４は、例えば二つのプレート２３を有し、選択的に、乗せ板２１を備える。
図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）を参照する。クランプ部材２４のプレート２３は、選択的に、階段状を呈する構造である。クランプ部材２４のプレート２３を階段状の設計にすることにより、加工対象物１００のもっと多くの位置に押し付けて接触することができ、加工対象物１００をクランプする効果をより安定して実現することができる。
しかし、本発明に係るクランプ部材２４の形状は、特に、限定されない。加工対象物１００をクランプすることができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
例を挙げて説明すると、加工対象物１００はブロック状物（例えばインゴット）を例する場合には、クランプ部材２４は、例えば円柱状を呈するインゴットの周面をクランプすることにより、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）に示すように、スクロールや変位を防ぐことができ、且つ加工対象物１００の加工目標領域１１０をクランプ部材２４の外側に位置することができる。
或いは、クランプ部材２４は、例えばインゴットの両端をクランプする。すなわち、軸方向に沿ってインゴットの両側をクランプすることにより、図１９（Ａ）及び図１９（Ｂ）に示すように、変位を防止することができ、且つ加工対象物１００の加工目標領域１１０を二つのクランプ部材２４の間に位置することができる。
クランプ部材２４は、例えば分離される二つのプレート２３である。二つのプレート２３により加工対象物１００をクランプする。
クランプ部材２４と加工対象物１００が二つ以上の接触面を有することにより、加工対象物１００がスクロールや変位することを有効に回避することができる。
ステージ２０の乗せ板２１又はクランプ部材２４は、更に、選択的に、図１９（Ａ）及び図１９（Ｂ）に示すように、接着剤層２６で加工対象物１００と接続する。
これにより、放電加工手順の過程中に、加工対象物１００が振動することを有効に回避することができる。又は放電加工手順が終了する前に、加工対象物１００にバリが発生する現象を有効に回避することができる。
接着剤層２６は、例えば導電性接着剤であり、接着剤により、導電および固定の効果を得ることができる。
接着剤層２６は、連続式または非連続式で、ステージ２０上またはクランプ部材２４上に設けられている。
接着剤層２６は、図１９（Ａ）に示すように、連続式で加工対象物１００とステージ２０の乗せ板２１との間に接着されている。又は図１９（Ｂ）に示すように、接着剤層２６は、非連続式で加工対象物１００とステージ２０の乗せ板２１との間に接着されている。
非連続式であることを例とする場合には、接着剤層２６は、例えば間隔を取るように、ステージ２０の乗せ板２１上に設けられている。且つその位置は、例えば加工目標領域１１０に対応し、すなわち、接着剤層２６は、加工目標領域１１０の下方に位置する。
しかし、本発明では、接着剤層２６は、加工目標領域１１０の真下に位置することに限定されない。加工対象物１００をしっかり接着することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
【0087】
図２０に示す実施の態様のように、クランプ部材２４は、更に、例えば、単一のプレート２３と乗せ板２１を組み合わせて構成されてもよい。
プレート２３は、加工対象物１００の一側を支持するためのものである。
乗せ板２１は、加工対象物１００の底側に乗せるためのものである。
別の実施の態様では、本発明に係るクランプ部材２４は、乗せ板２１を省略してもよく、単一のプレート２３がステージ２０上に位置する。
一方、本発明は、更に、選択的に、接着剤層２６で、加工対象物１００の加工目標領域１１０の加工溝１２０の二つの溝壁を接着することにより、放電加工手順の過程中、加工対象物１００が振動する現象を回避することができ、そして放電加工手順が終了する前に、バリの発生を回避することもできる。
加工対象物１００は、軸方向の両端または半径方向の周縁が、接着剤層２６を介して、クランプ部材２４の一側に固定することに限定されない。
上記と同じように、接着剤層２６は、連続式または非連続式で、加工対象物１００に位置してもよい。
接着剤層２６は、例えば間隔を取るように、加工対象物１００に設けられており、且つその位置は、例えば、加工対象物１００の加工目標領域１１０に対応するが、これに限定されない。
プレート２３は、加工対象物１００の一側を支持するためのものである。
乗せ板２１は、加工対象物１００の底側に乗せるためのものである。
別の実施の態様では、本発明に係るクランプ部材２４は、乗せ板２１を省略してもよく、単一のプレート２３がステージ２０上に位置する。
一方、本発明は、更に、選択的に、接着剤層２６で、加工対象物１００の加工目標領域１１０の加工溝１２０の二つの溝壁を接着することにより、放電加工手順の過程中、加工対象物１００が振動する現象を回避することができ、そして放電加工手順が終了する前に、バリの発生を回避することもできる。
加工対象物１００は、軸方向の両端または半径方向の周縁が、接着剤層２６を介して、クランプ部材２４の一側に固定することに限定されない。
上記と同じように、接着剤層２６は、連続式または非連続式で、加工対象物１００に位置してもよい。
接着剤層２６は、例えば間隔を取るように、加工対象物１００に設けられており、且つその位置は、例えば、加工対象物１００の加工目標領域１１０に対応するが、これに限定されない。
【0088】
図２１（Ａ）に示す実施の態様について説明する。クランプ部材２４は、例えば複数のプレート２３を組み合わせて構成され、又はプレート２３と乗せ板２１を組み合わせて構成される。、更にクランプ部材２４は、例えば緩衝部材２７をクランプしてもよい。
緩衝部材２７は、接着剤層２６を介して加工対象物１００に固定されている。
放電加工ユニット３０は、加工方向Ｆ（例えば、図面に垂直または平行であり）に沿って、ステージ２０上の加工対象物１００に対して放電加工手順を行う。更に、例えば加工対象物１００と緩衝部材２７とに対して放電加工手順を行う。
接着剤層２６は、選択的に、例えば導電性接着剤層である。
加工対象物１００は、軸方向の両端または半径方向の周縁で、接着剤層２６を介して、緩衝部材２７に固定されることに限定されない。
緩衝部材２７は、例えば導電性材料でもよいが、緩衝部材２７は、クランプ部材２４が加工対象物１００を間接的にクラップするためのものであり、これにより、放電加工手順を行うことができる。
このため、緩衝部材２７は、特定の構造や材料に限定されず、上記の目的を達成することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
緩衝部材２７は、接着剤層２６を介して加工対象物１００に固定されている。
放電加工ユニット３０は、加工方向Ｆ（例えば、図面に垂直または平行であり）に沿って、ステージ２０上の加工対象物１００に対して放電加工手順を行う。更に、例えば加工対象物１００と緩衝部材２７とに対して放電加工手順を行う。
接着剤層２６は、選択的に、例えば導電性接着剤層である。
加工対象物１００は、軸方向の両端または半径方向の周縁で、接着剤層２６を介して、緩衝部材２７に固定されることに限定されない。
緩衝部材２７は、例えば導電性材料でもよいが、緩衝部材２７は、クランプ部材２４が加工対象物１００を間接的にクラップするためのものであり、これにより、放電加工手順を行うことができる。
このため、緩衝部材２７は、特定の構造や材料に限定されず、上記の目的を達成することができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
【0089】
図２１（Ｂ）、図２１（Ｃ）及び図２１（Ｄ）に示す実施の態様について説明する。
クランプ部材２４は、更に、例えば導電枠２５をクランプすることにより、加工対象物１００を固定する。放電加工ユニット３０は、加工方向Ｆ（例えば、図面に垂直または平行であり）に沿って、ステージ２０上の加工対象物１００に対して放電加工手順を行い、更に、例えば、加工対象物１００と導電枠２５とに対して放電加工手順を行う。
加工対象物１００は、軸方向の両端または半径方向の周縁で、導電枠２５を介して、クランプ部材２４に固定されることに限定されず、放電加工手順を行うことができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
そして、実際のプロセスの必要によって、本発明に係る導電枠２５は、選択的に、図２１（Ｃ）及び図２１（Ｄ）に示すように、その一部が加工対象物１００の周縁に付属し、又は図２１（Ｂ）に示すように、その全部が加工対象物１００の周縁に付属する。
クランプ部材２４は、更に、例えば導電枠２５をクランプすることにより、加工対象物１００を固定する。放電加工ユニット３０は、加工方向Ｆ（例えば、図面に垂直または平行であり）に沿って、ステージ２０上の加工対象物１００に対して放電加工手順を行い、更に、例えば、加工対象物１００と導電枠２５とに対して放電加工手順を行う。
加工対象物１００は、軸方向の両端または半径方向の周縁で、導電枠２５を介して、クランプ部材２４に固定されることに限定されず、放電加工手順を行うことができれば、全て本発明の請求の範囲に属する。
そして、実際のプロセスの必要によって、本発明に係る導電枠２５は、選択的に、図２１（Ｃ）及び図２１（Ｄ）に示すように、その一部が加工対象物１００の周縁に付属し、又は図２１（Ｂ）に示すように、その全部が加工対象物１００の周縁に付属する。
【0090】
加えて、放電加工手順の効率を向上するために、本発明は、更に、導電ゲイン層を介して、加工対象物１００とクランプ部材２４との間の電気接触を向上し、又は加工対象物１００とステージ２０との間の電気接触を向上する。
例を挙げて説明すると、図２２に示すように、本発明は、表面改質（例えば放電加工やレーザー）により、まず、加工対象物１００に導電ゲイン層９０を形成して、クランプ部材２４で加工対象物１００をクラップする。
導電ゲイン層９０の成分は、加工対象物１００の組成に応じて決定される。
導電ゲイン層９０を形成する位置は、例えば加工対象物１００がクランプされる位置（すなわち、接触面）に対応する。
例えば、導電ゲイン層９０は、加工対象物１００のクランプ部材２４の両側のプレート２３及び／又は下方にある乗せ板２１と接触する位置に形成されている。
別の実施の態様では、クランプ部材２４の下方にある乗せ板２１が省略される。これにより、本発明は、例えば導電ゲイン層９０がステージ２０と直接に接触する。
本発明は、加工対象物１００に対して表面改質を行うことにより、加工対象物１００とクランプ部材２４（又はステージ２０）との間の電気接触を向上することができる。
或いは、本発明は、メッキやコーティングなどにより、導電ゲイン層９０を形成することにより、電気接触を良くする。
更に、導電枠２５は、図２１（Ｂ）に示すように、メッキにより導電ゲイン層９０を形成し、又は自体が導電ゲイン層９０であることにより、電気接触を良くすることができる。
上記の異なる位置に位置する複数の導電ゲイン層９０は、例えば同じ又は異なる導電材料を採用し、良い電気接触を提供することができれば、本発明に適用することができる。
加えて、本発明に係るクランプ部材２４の各コンポーネントは、例えば、プレート２３及び／又は乗せ板２１自体が導電ゲイン材料で構成される。
導電ゲイン材料は、例えば異なる導電材料又は同じ導電材料を採用する。導電ゲイン材料は、例えば異なる金属材料又は同じ金属材料を採用する。導電ゲイン材料は良い電気接触を提供することができれば、本発明に適用することができる。
これにより、特に、半導体や不良導体などの加工対象物１００の放電加工効率を向上することができる。
上記の導電ゲイン層９０の仕事関数は、例えば約４.５ｅＶ以下であるが、これらに限定されず、電気接触を向上することができれば、本発明に適用することができる。
例を挙げて説明すると、図２２に示すように、本発明は、表面改質（例えば放電加工やレーザー）により、まず、加工対象物１００に導電ゲイン層９０を形成して、クランプ部材２４で加工対象物１００をクラップする。
導電ゲイン層９０の成分は、加工対象物１００の組成に応じて決定される。
導電ゲイン層９０を形成する位置は、例えば加工対象物１００がクランプされる位置（すなわち、接触面）に対応する。
例えば、導電ゲイン層９０は、加工対象物１００のクランプ部材２４の両側のプレート２３及び／又は下方にある乗せ板２１と接触する位置に形成されている。
別の実施の態様では、クランプ部材２４の下方にある乗せ板２１が省略される。これにより、本発明は、例えば導電ゲイン層９０がステージ２０と直接に接触する。
本発明は、加工対象物１００に対して表面改質を行うことにより、加工対象物１００とクランプ部材２４（又はステージ２０）との間の電気接触を向上することができる。
或いは、本発明は、メッキやコーティングなどにより、導電ゲイン層９０を形成することにより、電気接触を良くする。
更に、導電枠２５は、図２１（Ｂ）に示すように、メッキにより導電ゲイン層９０を形成し、又は自体が導電ゲイン層９０であることにより、電気接触を良くすることができる。
上記の異なる位置に位置する複数の導電ゲイン層９０は、例えば同じ又は異なる導電材料を採用し、良い電気接触を提供することができれば、本発明に適用することができる。
加えて、本発明に係るクランプ部材２４の各コンポーネントは、例えば、プレート２３及び／又は乗せ板２１自体が導電ゲイン材料で構成される。
導電ゲイン材料は、例えば異なる導電材料又は同じ導電材料を採用する。導電ゲイン材料は、例えば異なる金属材料又は同じ金属材料を採用する。導電ゲイン材料は良い電気接触を提供することができれば、本発明に適用することができる。
これにより、特に、半導体や不良導体などの加工対象物１００の放電加工効率を向上することができる。
上記の導電ゲイン層９０の仕事関数は、例えば約４.５ｅＶ以下であるが、これらに限定されず、電気接触を向上することができれば、本発明に適用することができる。
【0091】
一方、放電加工手順において、放電加工ユニットは、加工方向Ｆに沿って、ステージ２０上の加工対象物１００とクランプ部材２４とに対して、放電加工手順を行うことができる。
図２３（Ａ）、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）に示すように、本発明に係るクランプ部材２４は、例えば二つのプレート２３及び乗せ板２１を備える。二つのプレート２３は、選択的に、コーム構造１１を有し、例えば二つのプレート２３のうちの少なくとも一つにコーム構造１１が形成されており、すなわち、櫛板になる。
コーム構造１１のくし歯開口２９の位置は、例えば加工目標領域１１０の位置に対応し、すなわち、電極３２の位置に対応する。
しかし、本発明は、これらに限定されず、本発明に係る乗せ板２１は、選択的に、図２３（Ｂ）に示すように、コーム構造１１’を有してもよい。
乗せ板２１を省略した場合には、図２３（Ｃ）に示すように、コーム構造１１’をステージ２０上に直接に形成してもよい。
換言すると、構造を設計するときの実際の必要によって、本発明に係るクランプ部材２４又はステージ２０は、選択的に、コーム構造を有し、又はクランプ部材２４とステージ２０とはコーム構造を有する。
コーム構造１１’のくし歯開口２９’の位置は、例えば加工目標領域１１０の位置に対応する。
これにより、加工対象物１００をしっかりクランプして、放電加工手順を行うことができると共に、電極３２がクランプ部材２４とステージ２０とを損傷することを回避することができる。
一方、本発明に係るコーム構造は、特定の寸法、材料、くし歯開口の数や設置の方位に限定されず、ステージ２０及び／又はクランプ部材２４は、放電加工手順において、加工対象物１００をクランプすることができれば、本発明の請求の範囲に属する。
図２３（Ａ）、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）に示すように、本発明に係るクランプ部材２４は、例えば二つのプレート２３及び乗せ板２１を備える。二つのプレート２３は、選択的に、コーム構造１１を有し、例えば二つのプレート２３のうちの少なくとも一つにコーム構造１１が形成されており、すなわち、櫛板になる。
コーム構造１１のくし歯開口２９の位置は、例えば加工目標領域１１０の位置に対応し、すなわち、電極３２の位置に対応する。
しかし、本発明は、これらに限定されず、本発明に係る乗せ板２１は、選択的に、図２３（Ｂ）に示すように、コーム構造１１’を有してもよい。
乗せ板２１を省略した場合には、図２３（Ｃ）に示すように、コーム構造１１’をステージ２０上に直接に形成してもよい。
換言すると、構造を設計するときの実際の必要によって、本発明に係るクランプ部材２４又はステージ２０は、選択的に、コーム構造を有し、又はクランプ部材２４とステージ２０とはコーム構造を有する。
コーム構造１１’のくし歯開口２９’の位置は、例えば加工目標領域１１０の位置に対応する。
これにより、加工対象物１００をしっかりクランプして、放電加工手順を行うことができると共に、電極３２がクランプ部材２４とステージ２０とを損傷することを回避することができる。
一方、本発明に係るコーム構造は、特定の寸法、材料、くし歯開口の数や設置の方位に限定されず、ステージ２０及び／又はクランプ部材２４は、放電加工手順において、加工対象物１００をクランプすることができれば、本発明の請求の範囲に属する。
【0092】
本発明では、クランプ部材２４は、固定式または取り外し式で、ステージ２０上に固定されていることに限定されない。
取り外し式を採用することを例とする場合には、クランプ部材２４の二つのプレート２３は、例えばロック構造（Ｌｏｃｋ-ｉｎ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）２４０により、脱着可能に互いに接続されており、且つ下方にあるプレート２３も、例えばロック構造２４０により、ステージ２０に脱着可能に接続されている。
下方にあるプレート２３は、前記各図における乗せ板２１と共に、乗せるためのものであるため、乗せ板２１で取り換えてもよいが、説明を簡単化するために、プレート２３だけを例として説明する。
本発明に係るクランプ部材２４は、ロック構造２４０により、二つのプレート２３の間隔（すなわち、クランプ口の幅）を調整することができる。これにより、異なる寸法を有する加工対象物１００をクランプすることができる。
ロック構造２４０は、例えば、図２４（Ａ）及び図２４（Ｂ）に示すように、ボルト２４２及びナット２４４を備えるが、これに限定されない。
これにより、加工対象物１００を脱着可能にクランプすることができると共に、加工対象物１００の寸法に対応して、クランプ口の幅を調整することもできる。
その他、本発明に係るロック構造２４０は、ステージ２０上にクランプ部材２４を脱着可能に設けることができれば、何れかの設計を採用する構造でもよい。
すなわち、脱着可能な構造であれば、本発明の請求の範囲に属する。
一方、本発明に係るクランプ部材２４の二つのプレート２３は、更に、選択的に、スナップイン構造２４３により、例えば互いに嵌めて接続可能なスナップインブロック２４６（例えばバンプ）及びスナップイン穴２４８（例えば貫通穴）により、快速に接続することができる。
例を挙げて説明すると、図２５（Ａ）及び図２５（Ｂ）に示すように、下方にあるプレート２３は、例えばスナップインブロック２４６を有する。
なお、上方にあるプレート２３は、それに対応するスナップイン穴２４８を有する。
これにより、二つのプレート２３を互いに嵌めて接続することが容易となる。
次に、ボルト２４２及びナット２４４を利用すると、上方にあるプレート２３を加工対象物１００にしっかり押し付けることができる。
これにより、快速な脱着および取付を可能にする効果を得ることができると共に、構造の強さを増加する効果を得ることもできる。
その他、図２４（Ａ）及び図２４（Ｂ）と図２５（Ａ）及び図２５（Ｂ）を参照して実施の態様を説明する。
クランプ部材２４の二つのプレート２３は、選択的に、コーム構造１１を有する。ステージ２０も、選択的に、コーム構造１１’を有する。コーム構造１１’のくし歯開口２９’の位置は、例えば加工目標領域１１０の位置に対応する。
これにより、加工対象物１００をしっかりクランプして、放電加工手順を行うことができると共に、クランプ部材２４のプレート２３やステージ２０が損傷されることを回避することができる。
取り外し式を採用することを例とする場合には、クランプ部材２４の二つのプレート２３は、例えばロック構造（Ｌｏｃｋ-ｉｎ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）２４０により、脱着可能に互いに接続されており、且つ下方にあるプレート２３も、例えばロック構造２４０により、ステージ２０に脱着可能に接続されている。
下方にあるプレート２３は、前記各図における乗せ板２１と共に、乗せるためのものであるため、乗せ板２１で取り換えてもよいが、説明を簡単化するために、プレート２３だけを例として説明する。
本発明に係るクランプ部材２４は、ロック構造２４０により、二つのプレート２３の間隔（すなわち、クランプ口の幅）を調整することができる。これにより、異なる寸法を有する加工対象物１００をクランプすることができる。
ロック構造２４０は、例えば、図２４（Ａ）及び図２４（Ｂ）に示すように、ボルト２４２及びナット２４４を備えるが、これに限定されない。
これにより、加工対象物１００を脱着可能にクランプすることができると共に、加工対象物１００の寸法に対応して、クランプ口の幅を調整することもできる。
その他、本発明に係るロック構造２４０は、ステージ２０上にクランプ部材２４を脱着可能に設けることができれば、何れかの設計を採用する構造でもよい。
すなわち、脱着可能な構造であれば、本発明の請求の範囲に属する。
一方、本発明に係るクランプ部材２４の二つのプレート２３は、更に、選択的に、スナップイン構造２４３により、例えば互いに嵌めて接続可能なスナップインブロック２４６（例えばバンプ）及びスナップイン穴２４８（例えば貫通穴）により、快速に接続することができる。
例を挙げて説明すると、図２５（Ａ）及び図２５（Ｂ）に示すように、下方にあるプレート２３は、例えばスナップインブロック２４６を有する。
なお、上方にあるプレート２３は、それに対応するスナップイン穴２４８を有する。
これにより、二つのプレート２３を互いに嵌めて接続することが容易となる。
次に、ボルト２４２及びナット２４４を利用すると、上方にあるプレート２３を加工対象物１００にしっかり押し付けることができる。
これにより、快速な脱着および取付を可能にする効果を得ることができると共に、構造の強さを増加する効果を得ることもできる。
その他、図２４（Ａ）及び図２４（Ｂ）と図２５（Ａ）及び図２５（Ｂ）を参照して実施の態様を説明する。
クランプ部材２４の二つのプレート２３は、選択的に、コーム構造１１を有する。ステージ２０も、選択的に、コーム構造１１’を有する。コーム構造１１’のくし歯開口２９’の位置は、例えば加工目標領域１１０の位置に対応する。
これにより、加工対象物１００をしっかりクランプして、放電加工手順を行うことができると共に、クランプ部材２４のプレート２３やステージ２０が損傷されることを回避することができる。
【0093】
その他、図２６に示すように、加工対象物１００の半径方向の断面形状は、円形に限定されず、任意の形状を呈してもよく、例えば平面区域１３を有する円形を呈してもよい。
加工対象物１００は、選択的に、図２６（Ａ）及び図２６（Ｃ）に示すように、平面区域１３でステージ２０と接続し、又は図２６（Ｂ）に示すように、平面区域１３でクランプ部材２４と接続する。
本発明は、図２６（Ａ）及び図２６（Ｂ）に示すように、クランプ部材２４がステージ２０に合わせて加工対象物１００をクランプすることに限定されない。例えば、図２６（Ｃ）及び図２６（Ｄ）に示すように、クランプ部材２４を省略して、ステージ２０で加工対象物１００を直接にクランプし、又はステージ２０上の乗せ板（未繪示）で加工対象物１００をクランプしてもよい。
加工対象物１００は、二つ以上の面がクランプされたと、クランプ部材２４及び／又はステージ２０にクランプされたかに係わらず、全て加工対象物１００をしっかり固定することができ、且つ加工対象物１００のスクロールや変位を回避することもできる。
本発明に係るクランプ部材２４やステージ２０（又はステージ２０上の乗せ板）は、更に、選択的に、加工対象物１００の形状に対応する形状を有し、例えば円弧状溝１５を有し、これにより、図２６（Ａ）から図２６（Ｄ）に示すように、円弧形を呈する輪郭を有する加工対象物１００に対応することができる。
換言すると、クランプ部材２４が加工対象物１００をクランプするときに、クランプ部材２４の形状は、加工対象物１００の形状にピッタリ（例えばコンフォーマルアタッチメント）であり、もっと良いクランプ効果を得ることができ、放電加工手順において、加工対象物１００のスクロールや変位を回避することができる。
加工対象物１００は、選択的に、図２６（Ａ）及び図２６（Ｃ）に示すように、平面区域１３でステージ２０と接続し、又は図２６（Ｂ）に示すように、平面区域１３でクランプ部材２４と接続する。
本発明は、図２６（Ａ）及び図２６（Ｂ）に示すように、クランプ部材２４がステージ２０に合わせて加工対象物１００をクランプすることに限定されない。例えば、図２６（Ｃ）及び図２６（Ｄ）に示すように、クランプ部材２４を省略して、ステージ２０で加工対象物１００を直接にクランプし、又はステージ２０上の乗せ板（未繪示）で加工対象物１００をクランプしてもよい。
加工対象物１００は、二つ以上の面がクランプされたと、クランプ部材２４及び／又はステージ２０にクランプされたかに係わらず、全て加工対象物１００をしっかり固定することができ、且つ加工対象物１００のスクロールや変位を回避することもできる。
本発明に係るクランプ部材２４やステージ２０（又はステージ２０上の乗せ板）は、更に、選択的に、加工対象物１００の形状に対応する形状を有し、例えば円弧状溝１５を有し、これにより、図２６（Ａ）から図２６（Ｄ）に示すように、円弧形を呈する輪郭を有する加工対象物１００に対応することができる。
換言すると、クランプ部材２４が加工対象物１００をクランプするときに、クランプ部材２４の形状は、加工対象物１００の形状にピッタリ（例えばコンフォーマルアタッチメント）であり、もっと良いクランプ効果を得ることができ、放電加工手順において、加工対象物１００のスクロールや変位を回避することができる。
【0094】
別の実施例では、本発明に係る放電加工ユニット３０は、例えば、二つ以上の乗せ部材４０を往復または周期的に元に戻すように回転することにより、複数の電極３２の放電区分Ｂを往復または周期的に元に戻すように移動することができる。
乗せ部材４０と電極３２の接続形態は、図２７（Ａ）及び図２７（Ｂ）に示す実施の態様のように、各電極３２は四つの乗せ部材４０をそれぞれ包み込む。
図２７は、本発明が複数の乗せ部材を介して、電極を平行であるように配列する二つの実施の態様を示す模式図である。
図２７（Ａ）は、電極３２が加工方向Ｆに沿って平行であるように配列されることにより、複数の電極３２は、単一の加工目標領域１１０に対して、放電加工手順を順番に行うことができることを示す。
図２７（Ｂ）は、電極３２が第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列されることにより、複数の電極３２は、複数の加工目標領域１１０に対して、放電加工手順を同時に行うことができることを示す。
これらの電極３２は、四つの乗せ部材４０のうちの二つを共用するため、これらの電極３２の両側Ａは、互に接触して積み重ね状態になる。且つ一緒に上記の共用される二つ乗せ部材４０に移動可能に押し付ける。残る乗せ部材４０は、ペアになって異なる高さに設けられている。これにより、電極３２は間隔を取って互いに平行であるように配列される。
これにより、乗せ部材４０が往復または周期的に元に戻すように回転するときに、これらの電極３２の放電区分Ｂも、加工対象物１００に対して変位し、且つペアになって異なる高さに設けられる上記の乗せ部材４０により、異なる高さに位置する。
すなわち、前記間隔は、互いに平行であるように配列される。
共用される上記の二つの乗せ部材４０は、例えば往復または周期的に元に戻すように、同期に回転し、且つ回転速度が同じであるため、これらの電極３２は、第２の方向Ｙに沿って、往復または周期的に元に戻すように移動する速度も同じである。
乗せ部材４０と電極３２の接続形態は、図２７（Ａ）及び図２７（Ｂ）に示す実施の態様のように、各電極３２は四つの乗せ部材４０をそれぞれ包み込む。
図２７は、本発明が複数の乗せ部材を介して、電極を平行であるように配列する二つの実施の態様を示す模式図である。
図２７（Ａ）は、電極３２が加工方向Ｆに沿って平行であるように配列されることにより、複数の電極３２は、単一の加工目標領域１１０に対して、放電加工手順を順番に行うことができることを示す。
図２７（Ｂ）は、電極３２が第１の方向Ｘに沿って平行であるように配列されることにより、複数の電極３２は、複数の加工目標領域１１０に対して、放電加工手順を同時に行うことができることを示す。
これらの電極３２は、四つの乗せ部材４０のうちの二つを共用するため、これらの電極３２の両側Ａは、互に接触して積み重ね状態になる。且つ一緒に上記の共用される二つ乗せ部材４０に移動可能に押し付ける。残る乗せ部材４０は、ペアになって異なる高さに設けられている。これにより、電極３２は間隔を取って互いに平行であるように配列される。
これにより、乗せ部材４０が往復または周期的に元に戻すように回転するときに、これらの電極３２の放電区分Ｂも、加工対象物１００に対して変位し、且つペアになって異なる高さに設けられる上記の乗せ部材４０により、異なる高さに位置する。
すなわち、前記間隔は、互いに平行であるように配列される。
共用される上記の二つの乗せ部材４０は、例えば往復または周期的に元に戻すように、同期に回転し、且つ回転速度が同じであるため、これらの電極３２は、第２の方向Ｙに沿って、往復または周期的に元に戻すように移動する速度も同じである。
【0095】
別の実施例では、本発明に係る放電加工ユニット３０は、例えば往復または周期的に元に戻すように回転する二つの乗せ部材４０により、複数の電極３２の放電区分Ｂが往復または周期的に元に戻すように移動する。
例を挙げて説明すると、乗せ部材４０と電極３２のセットアップ構成は、図２８（Ａ）及び図２８（Ｂ）に示す実施の態様のように、これらの電極３２の両側Ａは、互いに接触して積み重ね状態になり、且つ一緒に二つの乗せ部材４０に移動可能に押し付けられる。これらの電極３２の放電区分Ｂは、分離用カラム３３により、ある間隔を取って互いに平行であるように配列される。
これにより、乗せ部材４０が往復または周期的に元に戻すように回転するときに、これらの電極３２の放電区分Ｂも、加工対象物１００に対して変位し、分離用カラム３３に分離されて互いに平行であるように配列される。
これらの電極３２は、分離用カラム３３に移動可能に押し付け、分離用カラム３３は、その位置が固定されるが、固定式やスクロール式設計を採用してもよく、且つ制限スロットを有することにより、方向案内柱とすることができる。
分離用カラム３３も、選択的に、導電性材料を採用してもよい。これにより、電極３２は、分離用カラム３３を介して給電ユニット３４と電気的に接続する。
すなわち、分離用カラム３３は、選択的に、図１に示す電気接点３１として使用することもできる。
一方、分離用カラム３３は、絶縁材料を採用してもよい。これにより、電極３２同士は電気的に接続することを回避することができる。
二つの乗せ部材４０は、例えば往復または周期的に元に戻すように同期して回転する。二つの乗せ部材４０は、回転速度が同じであるため、これらの電極３２は、第２の方向Ｙに沿って、往復または周期的に元に戻すように移動する速度も同じである。
例を挙げて説明すると、乗せ部材４０と電極３２のセットアップ構成は、図２８（Ａ）及び図２８（Ｂ）に示す実施の態様のように、これらの電極３２の両側Ａは、互いに接触して積み重ね状態になり、且つ一緒に二つの乗せ部材４０に移動可能に押し付けられる。これらの電極３２の放電区分Ｂは、分離用カラム３３により、ある間隔を取って互いに平行であるように配列される。
これにより、乗せ部材４０が往復または周期的に元に戻すように回転するときに、これらの電極３２の放電区分Ｂも、加工対象物１００に対して変位し、分離用カラム３３に分離されて互いに平行であるように配列される。
これらの電極３２は、分離用カラム３３に移動可能に押し付け、分離用カラム３３は、その位置が固定されるが、固定式やスクロール式設計を採用してもよく、且つ制限スロットを有することにより、方向案内柱とすることができる。
分離用カラム３３も、選択的に、導電性材料を採用してもよい。これにより、電極３２は、分離用カラム３３を介して給電ユニット３４と電気的に接続する。
すなわち、分離用カラム３３は、選択的に、図１に示す電気接点３１として使用することもできる。
一方、分離用カラム３３は、絶縁材料を採用してもよい。これにより、電極３２同士は電気的に接続することを回避することができる。
二つの乗せ部材４０は、例えば往復または周期的に元に戻すように同期して回転する。二つの乗せ部材４０は、回転速度が同じであるため、これらの電極３２は、第２の方向Ｙに沿って、往復または周期的に元に戻すように移動する速度も同じである。
【0096】
その他、図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示す実施の態様のように、放電加工ユニット３０は、選択的に、調整可能な張力を有する。
例えば、二つの乗せ部材４０又は二つの保持部材５０を相対変位することにより（図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）の左側と右側との下にある二方向矢印で示すように）、例えば、互いに近接し、又は離れる方向へ運動し、ひいては電極３２の張力が調整される。
図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示すように、放電加工ユニット３０は、更に、張力測定ユニット６０を備える。
張力測定ユニット６０は、例えば張力計であり、電極３２の張力を測定する。
図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示すように、前記放電加工装置は、更に、振動測定ユニット６２を備える。振動測定ユニット６２は、電極３２の振動を測定する。
例えば、二つの乗せ部材４０又は二つの保持部材５０を相対変位することにより（図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）の左側と右側との下にある二方向矢印で示すように）、例えば、互いに近接し、又は離れる方向へ運動し、ひいては電極３２の張力が調整される。
図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示すように、放電加工ユニット３０は、更に、張力測定ユニット６０を備える。
張力測定ユニット６０は、例えば張力計であり、電極３２の張力を測定する。
図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示すように、前記放電加工装置は、更に、振動測定ユニット６２を備える。振動測定ユニット６２は、電極３２の振動を測定する。
【0097】
図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示すように、放電加工ユニット３０は、更に、チップス排出ユニット６４を備える。
放電加工ユニット３０が加工対象物１００に対して放電加工手順を行うときに、チップス排出ユニット６４からの一つ又は複数の外力により、電極３２が加工対象物１００に対して放電エネルギーを加えて発生された残留物を排除することができる。
チップス排出ユニット６４からの外力の加え方向や加え位置は、加工対象物１００の形状に対応して調整することができる。
これにより、外力の加え方向や加え位置は、電極３２の放電区分Ｂに対応する。
チップス排出ユニット６４は、例えば気流発生器、水流発生器、超音波発生器、圧電発振器、又は磁力発生エレメントである。
外力は、例えば気流、水流、超音波発振、圧電発振、吸引力、又は磁力などである。
チップス排出ユニット６４は、ジグ３６及びステージ２０上に設けられていることに限定されず、更に、電極３２の放電区分Ｂの周りに設けられていてもよい。
チップス排出ユニット６４が超音波発生器や圧電発振器であることを例とする場合には、チップス排出ユニット６４は、例えばジグ３６及びステージ２０上に設けられている。外力を直接に発生してジグ３６及びステージ２０に直接に加えることにより、チップス排出ユニット６４からの外力は、更に、例えばジグ３６、加工対象物１００や電極３２を発振することができ、且つ例えば同時に発振することにより、残留物の排除を補助する効果を得ることができる。
一方、上記のように、本発明は、選択的に、液相や気相などの流体において、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えて、放電加工手順を行う。
上記の液相や気相などの流体は酸素またはオゾン成分を含有することを例とする場合には、本発明に係るチップス排出ユニット６４における超音波発生器や圧電発振器により、ステージ２０、加工対象物１００及び電極３２を発振することができるだけではなく、例えば上記の流体における酸素やオゾンに微細なバブルを発生することもできる。
しかし、本発明は、これらに限定されず、例えば酸素またはオゾンなどの成分を含有するバブルを、液相や気相などの流体に入れ込むことにより、流体に微細なバブルを含有させてもよい。
その他、本発明は、選択的に、超音波発生器、圧電発振器、又は流体の流速による圧力差などの方法により、これらのバブルの内外の圧力差を変更することができる。
これにより、内破現象を発生させて、放電加工手順をスムーズに進めるのに役立つ。
放電加工ユニット３０が加工対象物１００に対して放電加工手順を行うときに、チップス排出ユニット６４からの一つ又は複数の外力により、電極３２が加工対象物１００に対して放電エネルギーを加えて発生された残留物を排除することができる。
チップス排出ユニット６４からの外力の加え方向や加え位置は、加工対象物１００の形状に対応して調整することができる。
これにより、外力の加え方向や加え位置は、電極３２の放電区分Ｂに対応する。
チップス排出ユニット６４は、例えば気流発生器、水流発生器、超音波発生器、圧電発振器、又は磁力発生エレメントである。
外力は、例えば気流、水流、超音波発振、圧電発振、吸引力、又は磁力などである。
チップス排出ユニット６４は、ジグ３６及びステージ２０上に設けられていることに限定されず、更に、電極３２の放電区分Ｂの周りに設けられていてもよい。
チップス排出ユニット６４が超音波発生器や圧電発振器であることを例とする場合には、チップス排出ユニット６４は、例えばジグ３６及びステージ２０上に設けられている。外力を直接に発生してジグ３６及びステージ２０に直接に加えることにより、チップス排出ユニット６４からの外力は、更に、例えばジグ３６、加工対象物１００や電極３２を発振することができ、且つ例えば同時に発振することにより、残留物の排除を補助する効果を得ることができる。
一方、上記のように、本発明は、選択的に、液相や気相などの流体において、加工対象物１００の加工目標領域１１０に放電エネルギーを加えて、放電加工手順を行う。
上記の液相や気相などの流体は酸素またはオゾン成分を含有することを例とする場合には、本発明に係るチップス排出ユニット６４における超音波発生器や圧電発振器により、ステージ２０、加工対象物１００及び電極３２を発振することができるだけではなく、例えば上記の流体における酸素やオゾンに微細なバブルを発生することもできる。
しかし、本発明は、これらに限定されず、例えば酸素またはオゾンなどの成分を含有するバブルを、液相や気相などの流体に入れ込むことにより、流体に微細なバブルを含有させてもよい。
その他、本発明は、選択的に、超音波発生器、圧電発振器、又は流体の流速による圧力差などの方法により、これらのバブルの内外の圧力差を変更することができる。
これにより、内破現象を発生させて、放電加工手順をスムーズに進めるのに役立つ。
【0098】
図２９（Ｂ）に示すように、本発明に係るチップス排出ユニット６４は、選択的に、加工対象物１００の形状によって、外力の加え方向や加え位置を調整することにより、電極３２が加工対象物１００に対して放電エネルギーを加えて発生された残留物を排除することもできる。
例を挙げて説明すると、チップス排出ユニット６４が、噴水することにより残留物を除去する水流発生器であることを例とする場合には、チップス排出ユニット６４は、例えば位置が移動可能な複数のノズル６５を有し、且つ加工対象物１００の形状によって、噴水の方向を調整することができる。
例えば、加工対象物１００がインゴットである場合には、チップス排出ユニット６４の複数のノズル６５は、インゴットの円弧面に分布されており、且つ選択的に、インゴットの円弧面の両側に分布されている。
更に、チップス排出ユニット６４の複数のノズル６５は、更に、例えば、選択的に、放電加工の即時の深さ位置に従って、円弧の形状やノズルの位置を調整することにより、加工対象物１００の形状によって、噴水をダイナミックに調整することができるという効果を得ることができる。
同じように、上記はチップス排出ユニット６４が水流発生器であることを例として説明したが、本発明が関係する技術分野の通常の知識を有する者は、チップス排出ユニット６４を如何に適切に変形して、本発明のダイナミックに噴水する設計による効果、又は加工対象物１００の形状の変化に従って、噴水をダイナミックに調整する効果を得ることができるかを理解できるはずであるため、その説明を省略する。
例を挙げて説明すると、チップス排出ユニット６４が、噴水することにより残留物を除去する水流発生器であることを例とする場合には、チップス排出ユニット６４は、例えば位置が移動可能な複数のノズル６５を有し、且つ加工対象物１００の形状によって、噴水の方向を調整することができる。
例えば、加工対象物１００がインゴットである場合には、チップス排出ユニット６４の複数のノズル６５は、インゴットの円弧面に分布されており、且つ選択的に、インゴットの円弧面の両側に分布されている。
更に、チップス排出ユニット６４の複数のノズル６５は、更に、例えば、選択的に、放電加工の即時の深さ位置に従って、円弧の形状やノズルの位置を調整することにより、加工対象物１００の形状によって、噴水をダイナミックに調整することができるという効果を得ることができる。
同じように、上記はチップス排出ユニット６４が水流発生器であることを例として説明したが、本発明が関係する技術分野の通常の知識を有する者は、チップス排出ユニット６４を如何に適切に変形して、本発明のダイナミックに噴水する設計による効果、又は加工対象物１００の形状の変化に従って、噴水をダイナミックに調整する効果を得ることができるかを理解できるはずであるため、その説明を省略する。
【0099】
別の実施例では、図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示すように、本発明に係る放電加工ユニット３０は、更に、選択的に、例えば熱源供給源７０を備える。
熱源供給源７０は、放電加工ユニット３０が放電加工手順を行う加工前、加工中、加工後に、加工対象物１００に熱源を供給することにより、加工対象物１００の一部または全部を加熱することができる。
すなわち、熱源供給源７０からの熱源は、放電加工手順を行う加工前、加工中に、エネルギーを供給することにより、放電加工手順の効率を向上することができると共に、放電加工手順を行う加工後に、修復、研削および退火効果を得ることができる。
熱源供給源７０は、例えばレーザーユニット、マイクロ波ユニット、無線周波ユニット、又は赤外線光源のうちの一つ又は複数を採用して、加工対象物１００（例えば固体の構造）の温度を上げることにより、その材料の脆性を降下することができ、カッティングや薄肉化された面の粗さを降下することができ、熱衝撃による必要ない亀裂の発生や拡大を減少することができる。
一方、複数の同じや異なる熱源供給源７０を使用すると、加工対象物１００の温度を上げることにより、電磁エネルギーの吸収率を増加することができ、好循環を形成する。
例えば、熱源供給源７０がレーザーユニット及びマイクロ波ユニットであることを例とする場合には、熱源供給源７０（レーザーユニット）からのレーザーエネルギーは、加工対象物１００の加工目標領域１１０に自由電子を発生することができる。
前記自由電子の発生により、他の区域（非加工目標領域）に比べて、もっと多くの熱源供給源７０（マイクロ波ユニット）からのマイクロ波エネルギーを吸収することができる。そのため、加工目標領域１１０の温度を上げることができる。温度を上げたと、加工目標領域１１０はもっと多くのレーザーエネルギーを吸収して、もっと多くの自由電子を発生することができる。ひいてはもっと多くのマイクロ波ユニット（例えばマイクロ波や無線周波の射出源）からの電磁エネルギーを吸収することができるため、好循環を形成することができる。
熱源供給源７０は、放電加工ユニット３０が放電加工手順を行う加工前、加工中、加工後に、加工対象物１００に熱源を供給することにより、加工対象物１００の一部または全部を加熱することができる。
すなわち、熱源供給源７０からの熱源は、放電加工手順を行う加工前、加工中に、エネルギーを供給することにより、放電加工手順の効率を向上することができると共に、放電加工手順を行う加工後に、修復、研削および退火効果を得ることができる。
熱源供給源７０は、例えばレーザーユニット、マイクロ波ユニット、無線周波ユニット、又は赤外線光源のうちの一つ又は複数を採用して、加工対象物１００（例えば固体の構造）の温度を上げることにより、その材料の脆性を降下することができ、カッティングや薄肉化された面の粗さを降下することができ、熱衝撃による必要ない亀裂の発生や拡大を減少することができる。
一方、複数の同じや異なる熱源供給源７０を使用すると、加工対象物１００の温度を上げることにより、電磁エネルギーの吸収率を増加することができ、好循環を形成する。
例えば、熱源供給源７０がレーザーユニット及びマイクロ波ユニットであることを例とする場合には、熱源供給源７０（レーザーユニット）からのレーザーエネルギーは、加工対象物１００の加工目標領域１１０に自由電子を発生することができる。
前記自由電子の発生により、他の区域（非加工目標領域）に比べて、もっと多くの熱源供給源７０（マイクロ波ユニット）からのマイクロ波エネルギーを吸収することができる。そのため、加工目標領域１１０の温度を上げることができる。温度を上げたと、加工目標領域１１０はもっと多くのレーザーエネルギーを吸収して、もっと多くの自由電子を発生することができる。ひいてはもっと多くのマイクロ波ユニット（例えばマイクロ波や無線周波の射出源）からの電磁エネルギーを吸収することができるため、好循環を形成することができる。
【0100】
簡単に説明すると、図３０に示すように、本発明は、複数の方式を採用して、電極３２の放電区分Ｂと加工対象物１００の加工目標領域１１０とが、加工方向Ｆに沿って相対移動する。
第１の方式は、加工対象物１００が加工方向Ｆに沿って移動し、且つ電極３２が加工方向Ｆに移動しない。
第２の方式は、電極３２が加工方向Ｆに沿って移動し、且つ加工対象物１００が加工方向Ｆに移動しない。第３の方式は、電極３２と加工対象物１００とが加工方向Ｆの反対方向に沿って移動する。
第１の方式は、加工対象物１００が加工方向Ｆに沿って移動し、且つ電極３２が加工方向Ｆに移動しない。
第２の方式は、電極３２が加工方向Ｆに沿って移動し、且つ加工対象物１００が加工方向Ｆに移動しない。第３の方式は、電極３２と加工対象物１００とが加工方向Ｆの反対方向に沿って移動する。
【0101】
同じように、本発明は、更に、複数の方式を採用して、電極３２の放電区分Ｂと加工対象物１００の加工目標領域１１０とが、第２の方向Ｙに沿って相対移動する。
第１の方式は、加工対象物１００が第２の方向Ｙに沿って移動し、且つ電極３２が第２の方向Ｙに移動しない。
第２の方式は、電極３２が第２の方向Ｙに沿って移動し、且つ加工対象物１００が第２の方向Ｙに移動しない。
第３の方式は、電極３２と加工対象物１００とが、第２の方向Ｙの反対方向に沿って移動する。
放電区分Ｂと加工目標領域１１０とを第２の方向Ｙに沿って相対移動する第２の方式において、本発明は、更に、例えばジグ３６が電極３２を往復または周期的に元に戻すようにスクロールすることにより、電極３２は左右へ往復に移動し、又は周期的に元に戻すように持続に移動し、或いは、電極３２がジグ３６に固定されている。
台座５２は、各図に示す第２の方向Ｙに沿ってジグ３６を左右へ往復に移動することにより、電極３２を間接的に移動する。
第１の方式は、加工対象物１００が第２の方向Ｙに沿って移動し、且つ電極３２が第２の方向Ｙに移動しない。
第２の方式は、電極３２が第２の方向Ｙに沿って移動し、且つ加工対象物１００が第２の方向Ｙに移動しない。
第３の方式は、電極３２と加工対象物１００とが、第２の方向Ｙの反対方向に沿って移動する。
放電区分Ｂと加工目標領域１１０とを第２の方向Ｙに沿って相対移動する第２の方式において、本発明は、更に、例えばジグ３６が電極３２を往復または周期的に元に戻すようにスクロールすることにより、電極３２は左右へ往復に移動し、又は周期的に元に戻すように持続に移動し、或いは、電極３２がジグ３６に固定されている。
台座５２は、各図に示す第２の方向Ｙに沿ってジグ３６を左右へ往復に移動することにより、電極３２を間接的に移動する。
【0102】
しかし、注意すべきことは、本発明は、上記の各種の放電加工手順を行う移動方式を例として挙げたが、これらに限定されない。
例を挙げて説明すると、本発明の請求の範囲も、加工対象物１００は加工方向Ｆに沿って移動し、且つ電極３２は加工方向Ｆと第２の方向Ｙとに移動せず、又は電極３２が加工方向Ｆに沿って移動し、且つ加工対象物１００が加工方向Ｆと第２の方向Ｙとに移動しないことを含む。
すなわち、放電加工手順を行うことができれば、何れかの移動方式は、全て本発明の請求の範囲に属する。
例を挙げて説明すると、本発明の請求の範囲も、加工対象物１００は加工方向Ｆに沿って移動し、且つ電極３２は加工方向Ｆと第２の方向Ｙとに移動せず、又は電極３２が加工方向Ｆに沿って移動し、且つ加工対象物１００が加工方向Ｆと第２の方向Ｙとに移動しないことを含む。
すなわち、放電加工手順を行うことができれば、何れかの移動方式は、全て本発明の請求の範囲に属する。
【0103】
その他、本発明では、ジグ３６が電極３２を往復または周期的に元に戻すようにスクロールする技術手段は、図３０及び図３１に示す態様を採用することができる、電極３２は、例えば二つのジグ３６を包み込み（両側を跨ぎ）、又は二つのジグ３６の一側だけを跨ぐ。
二つのジグ３６は、台座５２上に回転可能に設けられていてもよい。
二つのジグ３６は、例えば二つのカップリング５５を介して二つのモータ５８と接続することにより、ジグ３６は、モータ５８の運転により旋轉され、そして電極３２が第２の方向Ｙに沿って往復または周期的に元に戻すように移動する。
電極３２の放電区分Ｂがフローティング状態にあるため、本発明は、選択的に、図３１に示すように、張力制御モジュール６６を備え、例えば張力測定ユニット６０と制御器６８とを備える。
張力測定ユニット６０は、電極３２の張力を測定するためのものである。
制御器６８は、二つのモータ５８と電気的に接続することにより、電極３２の張力によって、二つのモータ５８を制御して、二つのモータ５８をそれぞれ同じ速度で格納や放出をするように回転し、ひいては電極３２の張力を調整する。
これにより、電極３２は、第２の方向Ｙに沿って運動するときに、指定された大きさの張力を保持することができる。
一方、本発明は、更に、例えば、電極３２の長さ及び移動速度によって、二つのモータ５８の運轉方向を取り換える時間を計算することができ、ひいては電極３２を往復に移動することが可能であるという効果を得ることができる。
二つのジグ３６は、台座５２上に回転可能に設けられていてもよい。
二つのジグ３６は、例えば二つのカップリング５５を介して二つのモータ５８と接続することにより、ジグ３６は、モータ５８の運転により旋轉され、そして電極３２が第２の方向Ｙに沿って往復または周期的に元に戻すように移動する。
電極３２の放電区分Ｂがフローティング状態にあるため、本発明は、選択的に、図３１に示すように、張力制御モジュール６６を備え、例えば張力測定ユニット６０と制御器６８とを備える。
張力測定ユニット６０は、電極３２の張力を測定するためのものである。
制御器６８は、二つのモータ５８と電気的に接続することにより、電極３２の張力によって、二つのモータ５８を制御して、二つのモータ５８をそれぞれ同じ速度で格納や放出をするように回転し、ひいては電極３２の張力を調整する。
これにより、電極３２は、第２の方向Ｙに沿って運動するときに、指定された大きさの張力を保持することができる。
一方、本発明は、更に、例えば、電極３２の長さ及び移動速度によって、二つのモータ５８の運轉方向を取り換える時間を計算することができ、ひいては電極３２を往復に移動することが可能であるという効果を得ることができる。
【0104】
図３２に示す実施の態様のように、本発明に係る放電加工装置は、選択的に、更に、方向修正エレメント８８を備える。
方向修正エレメント８８は、電極３２は加工方向Ｆに偏向などのズレが発生したときに、電極３２と加工対象物１００との相対方向を調整して、電極３２と加工対象物１００との加工方向Ｆを修正する。
例を挙げて説明すると、方向修正エレメント８８は、例えば伸縮式アクチュエーター（例えば、手動または電動式伸縮式アクチュエーター）であり、例えば、ステージ２０、電極３２、又は放電加工装置において、電極３２や加工対象物１００の相対方向を変更可能な他の部材を押さえることにより、例えば第１の方向Ｘに沿って、電極３２と加工対象物１００との相対方向を調整可能な効果を得ることができる。
例を挙げて説明すると、本発明は、例えば、検出エレメント８９により、電極３２の加工方向Ｆにズレの発生の有無を即時に把握する。
検出エレメント８９は、例えば放電変化検出エレメント、又は投光器及び受光器を有する光電検出エレメントや映像検出エレメントであり、光線の中止や光線の強さの変化などによって、電極３２の加工方向Ｆにズレの発生の有無を把握する。
方向修正エレメント８８は、電極３２は加工方向Ｆに偏向などのズレが発生したときに、電極３２と加工対象物１００との相対方向を調整して、電極３２と加工対象物１００との加工方向Ｆを修正する。
例を挙げて説明すると、方向修正エレメント８８は、例えば伸縮式アクチュエーター（例えば、手動または電動式伸縮式アクチュエーター）であり、例えば、ステージ２０、電極３２、又は放電加工装置において、電極３２や加工対象物１００の相対方向を変更可能な他の部材を押さえることにより、例えば第１の方向Ｘに沿って、電極３２と加工対象物１００との相対方向を調整可能な効果を得ることができる。
例を挙げて説明すると、本発明は、例えば、検出エレメント８９により、電極３２の加工方向Ｆにズレの発生の有無を即時に把握する。
検出エレメント８９は、例えば放電変化検出エレメント、又は投光器及び受光器を有する光電検出エレメントや映像検出エレメントであり、光線の中止や光線の強さの変化などによって、電極３２の加工方向Ｆにズレの発生の有無を把握する。
【0105】
本発明に係る放電加工装置によれば、次のような効果がある。
（１）ジグは、少なくとも二つの乗せ部材と少なくとも二つの保持部材を、それぞれ対応して組付けて構成される。快速脱着可能の設計により、電極を交換する時間を大幅に減少することができ、放電電極の張力を調整することもできる。
（２）チップス排出ユニットを有するため、単一又は複数の加工目標領域に外力を加えることができ、外力の加え方向や加え位置は、加工対象物の形状に応じてダイナミックに調整されて、放電加工手順で発生された残留物を排除する。
（３）クランプ部材は、複数のクランプ態様を有し、コーム構造により、加工対象物をしっかりクランプすることができ、従来の放電加工技術のように、クランプ部材と加工対象物の重なり区域を切ることができないという問題を解決することができ、ロック構造により、脱着および調整が可能となる。
（４）方向修正エレメントにより、電極と加工対象物の加工方向を修正することができ、加工方向にズレの発生を回避することができる。
（５）クランプ部材またはステージにコーム構造を形成することにより、スムーズな放電加工手順が促進され、損傷が最小限に抑えられる。
（６）安定部材により、電極の振動を減少することができ、分離用カラムとしてガイドする効果を得ることができ、電気接点として使用することもできる。
（７）熱源は、熱衝撃による、不要な亀裂や亀裂の拡大を軽減することができ、放電加工手順をスムーズに行うことができる。
（８）導電ゲイン層により、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接触を向上することができる。
（９）接着剤層により、放電加工手順の過程中に、加工対象物の振動を回避することができ、放電加工手順を終了する前に、バリの発生を回避することができ、導電性接着剤層を採用すると、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接続が可能となる。
（１）ジグは、少なくとも二つの乗せ部材と少なくとも二つの保持部材を、それぞれ対応して組付けて構成される。快速脱着可能の設計により、電極を交換する時間を大幅に減少することができ、放電電極の張力を調整することもできる。
（２）チップス排出ユニットを有するため、単一又は複数の加工目標領域に外力を加えることができ、外力の加え方向や加え位置は、加工対象物の形状に応じてダイナミックに調整されて、放電加工手順で発生された残留物を排除する。
（３）クランプ部材は、複数のクランプ態様を有し、コーム構造により、加工対象物をしっかりクランプすることができ、従来の放電加工技術のように、クランプ部材と加工対象物の重なり区域を切ることができないという問題を解決することができ、ロック構造により、脱着および調整が可能となる。
（４）方向修正エレメントにより、電極と加工対象物の加工方向を修正することができ、加工方向にズレの発生を回避することができる。
（５）クランプ部材またはステージにコーム構造を形成することにより、スムーズな放電加工手順が促進され、損傷が最小限に抑えられる。
（６）安定部材により、電極の振動を減少することができ、分離用カラムとしてガイドする効果を得ることができ、電気接点として使用することもできる。
（７）熱源は、熱衝撃による、不要な亀裂や亀裂の拡大を軽減することができ、放電加工手順をスムーズに行うことができる。
（８）導電ゲイン層により、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接触を向上することができる。
（９）接着剤層により、放電加工手順の過程中に、加工対象物の振動を回避することができ、放電加工手順を終了する前に、バリの発生を回避することができ、導電性接着剤層を採用すると、加工対象物のクランプ部材やステージとの電気的な接続が可能となる。
【0106】
以上の記述は例を挙げたものにすぎず、限定するものではない。本発明の精神及び範疇から逸脱しない、それに対して行ういかなる同等効果の修正又は変更も、添付の請求の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0107】
１０ 放電加工装置
１１ コーム構造
１１’ コーム構造
１３ 平面区域
１５ 円弧状溝
２０ ステージ
２１ 乗せ板
２２ 安定部材
２３ プレート
２４ クランプ部材
２５ 導電枠
２６ 接着剤層
２７ 緩衝部材
２８ 接触面
２９ くし歯開口
２９’ くし歯開口
３０ 放電加工ユニット
３１ 電気接点
３２ 電極
３３ 分離用カラム
３４ 給電ユニット
３４’ 別の給電ユニット
３５ 接続構造
３６ ジグ
４０ 乗せ部材
４１ 軸穴
４２ 制限スロット
４３ 貫通スロット
４４Ａ 第１のシート
４４Ｂ 第２のシート
４５ 貫通穴
４６ 付属部材
４７ 面取り
５０ 保持部材
５２ 台座
５３ バンプ
５４ 導電構造
５５ カップリング
５６ 絶縁構造
５７ 溝構造
５８ モータ
５９ ボルト
６０ 張力測定ユニット
６２ 振動測定ユニット
６４ チップス排出ユニット
６５ ノズル
６６ 張力制御モジュール
６８ 制御器
７０ 熱源供給源
８８ 方向修正エレメント
８９ 検出エレメント
９０ 導電ゲイン層
１００ 加工対象物
１１０ 加工目標領域
１２０ 加工溝
１２４ 充填材
１２６ テープ
２８１ 案内溝
２４０ ロック構造
２４２ ボルト
２４３ スナップイン構造
２４４ ナット
２４６ スナップインブロック
２４８ スナップイン穴
Ａ 両側
Ｂ 放電区分
Ｄ 間隔
Ｈ 深さ
ｈ 深さ
Ｘ 第１の方向
Ｙ 第２の方向
Ｚ 第３の方向
Ｆ 加工方向
Ｐ１ 第１の電源
Ｐ２ 第２の電源
１１ コーム構造
１１’ コーム構造
１３ 平面区域
１５ 円弧状溝
２０ ステージ
２１ 乗せ板
２２ 安定部材
２３ プレート
２４ クランプ部材
２５ 導電枠
２６ 接着剤層
２７ 緩衝部材
２８ 接触面
２９ くし歯開口
２９’ くし歯開口
３０ 放電加工ユニット
３１ 電気接点
３２ 電極
３３ 分離用カラム
３４ 給電ユニット
３４’ 別の給電ユニット
３５ 接続構造
３６ ジグ
４０ 乗せ部材
４１ 軸穴
４２ 制限スロット
４３ 貫通スロット
４４Ａ 第１のシート
４４Ｂ 第２のシート
４５ 貫通穴
４６ 付属部材
４７ 面取り
５０ 保持部材
５２ 台座
５３ バンプ
５４ 導電構造
５５ カップリング
５６ 絶縁構造
５７ 溝構造
５８ モータ
５９ ボルト
６０ 張力測定ユニット
６２ 振動測定ユニット
６４ チップス排出ユニット
６５ ノズル
６６ 張力制御モジュール
６８ 制御器
７０ 熱源供給源
８８ 方向修正エレメント
８９ 検出エレメント
９０ 導電ゲイン層
１００ 加工対象物
１１０ 加工目標領域
１２０ 加工溝
１２４ 充填材
１２６ テープ
２８１ 案内溝
２４０ ロック構造
２４２ ボルト
２４３ スナップイン構造
２４４ ナット
２４６ スナップインブロック
２４８ スナップイン穴
Ａ 両側
Ｂ 放電区分
Ｄ 間隔
Ｈ 深さ
ｈ 深さ
Ｘ 第１の方向
Ｙ 第２の方向
Ｚ 第３の方向
Ｆ 加工方向
Ｐ１ 第１の電源
Ｐ２ 第２の電源
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】