特開 2024-116587 液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024116587

(43)【公開日】2024-08-28

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240821BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 607

B41J2/14 301

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023022276

(22)【出願日】2023-02-16

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】塩沢 優

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼部 本規

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AF09

2C057AG12

2C057AG44

2C057AG73

2C057AG75

2C057AN01

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】液体吐出ヘッドにおいて、封止基板の構成を好適化することが可能な技術を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、圧電体と、圧電体と電気的に接続する上部電極および下部電極と、下部電極の下部に位置し圧電体の駆動によって振動する振動板と、振動板の振動によってノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室、および、圧力室に対して隣接し、圧力室から伝搬した液体の振動を吸収する第１吸収室が設けられた圧力室基板と、上部電極の上部に位置し圧電体を覆うようにして設けられた封止基板とを有する。封止基板には、圧力室に対応し下部が開口し大気開放された圧力室側凹部と、第１吸収室に対応し下部が開口し大気開放されていない第１吸収室側凹部と、が設けられる。圧力室側凹部の深さをａ、第１吸収室側凹部の深さをｂとしたとき、ａ＞ｂを満たす。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体吐出ヘッドであって、
ノズルと、
電圧が印加されることで駆動される圧電体と、
前記圧電体の上部に位置し、前記圧電体と電気的に接続する上部電極と、
前記圧電体の下部に位置し、前記圧電体と電気的に接続する下部電極と、
前記下部電極の下部に位置し、前記圧電体の駆動によって振動する振動板と、
前記振動板の振動によって前記ノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室、および、前記圧力室に対して隣接し、前記圧力室から伝搬した液体の振動を吸収する第１吸収室が設けられた圧力室基板と、
前記上部電極の上部に位置し、前記圧電体を覆うようにして設けられた封止基板と、を有し、
前記封止基板には、前記圧力室に対応し、下部が開口し、大気開放された圧力室側凹部と、前記第１吸収室に対応し、下部が開口し、大気開放されていない第１吸収室側凹部と、が設けられ、
前記圧力室側凹部の深さをａ、前記第１吸収室側凹部の深さをｂとしたとき、ａ＞ｂを満たすことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

ａ＞（１．１×ｂ）を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

ａ＞（１．３×ｂ）を満たすことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

ａ＜（１．８×ｂ）を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

ａ＜（１．５×ｂ）を満たすことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記圧力室と前記圧力室側凹部の間には、前記圧電体、前記上部電極、前記下部電極、前記振動板のすべてが設けられ、
前記第１吸収室と前記第１吸収室側凹部の間には、前記圧電体、前記上部電極、前記下部電極と同じ材料で形成され前記下部電極と電気的に接続しない介在部材、前記振動板の少なくとも１つが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記第１吸収室と前記第１吸収室側凹部の間には、前記圧電体、前記上部電極、前記介在部材、前記振動板の全てが設けられていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記圧力室基板には、前記圧力室から伝搬した液体の振動を吸収する第２吸収室が更に設けられ、
前記封止基板には、前記第２吸収室に対応し、下部が開口し、大気開放されていない第２吸収室側凹部が更に設けられ、
前記圧力室と前記第１吸収室の並ぶ方向を第１方向としたとき、
前記圧力室と前記第１吸収室の前記第１方向における離間距離は、前記圧力室と前記第２吸収室の前記第１方向における離間距離よりも短いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記圧力室、前記ノズル、前記第１吸収室、前記第２吸収室を有する個別流路を複数備え、
前記圧力室基板には、前記複数の個別流路に共通に連通し、前記第１吸収室に液体を供給する供給側共通流路と、前記複数の個別流路に共通に連通し、前記第２吸収室から液体を排出する排出側共通流路と、が更に設けられていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記第２吸収室側凹部の深さをｃとしたとき、ａ＞ｃ＞ｂを満たすことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記圧力室と前記第１吸収室の並ぶ方向を第１方向とし、前記第１方向と交差し、前記第１吸収室側凹部が延在する方向を第２方向としたとき、
前記第１吸収室側凹部の底面の一部の領域においてａ＞ｂを満たし、前記一部の領域は、前記第２方向に沿った前記第１吸収室側凹部の開口幅の中央部を含まないことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

前記圧力室と前記第１吸収室の並ぶ方向を第１方向とし、前記第１方向と交差し、前記第１吸収室側凹部が延在する方向を第２方向としたとき、
前記第１吸収室側凹部は前記第２方向において複数に分割されて設けられ、前記第１吸収室側凹部の底面の一部の領域においてａ＞ｂを満たし、前記一部の領域は、前記第２方向に沿った前記第１吸収室側凹部の開口幅の中央部を含まないことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項13】

請求項１～１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、
を有することを特徴とする液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、圧力室と、圧力室内の液体の振動を吸収する吸収室とが、互いに別基板の離間した位置に設けられているため、圧力室における液体振動の吸収効率が低い。これに対し同一の圧力室基板の近接する位置に圧力室と吸収室を設ける構成が検討されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１５３９２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記構成において、圧力室基板の上に積層される封止基板には、吸収室に対応する凹部と、圧力室に対応する凹部と、を設ける必要がある。このような構成において、封止基板の構成を好適化する技術が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。

【0006】

本開示の第１の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと、電圧が印加されることで駆動される圧電体と、前記圧電体の上部に位置し、前記圧電体と電気的に接続する上部電極と、前記圧電体の下部に位置し、前記圧電体と電気的に接続する下部電極と、前記下部電極の下部に位置し、前記圧電体の駆動によって振動する振動板と、前記振動板の振動によって前記ノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室、および、前記圧力室に対して隣接し、前記圧力室から伝搬した液体の振動を吸収する第１吸収室が設けられた圧力室基板と、前記上部電極の上部に位置し、前記圧電体を覆うようにして設けられた封止基板と、を有し、前記封止基板には、前記圧力室に対応し、下部が開口し、大気開放された圧力室側凹部と、前記第１吸収室に対応し、下部が開口し、大気開放されていない第１吸収室側凹部と、が設けられ、前記圧力室側凹部の深さをａ、前記第１吸収室側凹部の深さをｂとしたとき、ａ＞ｂを満たすことを特徴とする。

【0007】

本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本開示の第１実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。

【図2】液体吐出装置を示すブロック図である。

【図3】液体吐出ヘッドの一部断面図である。

【図4】液体吐出ヘッドの断面図であって、図３におけるＩＶ－ＩＶ線断面図である。

【図5】液体吐出ヘッドの断面図であって、図３におけるＶ－Ｖ線断面図である。

【図6】液体吐出ヘッドの断面図であって、図３におけるＶＩ－ＶＩ線断面図である。

【図7】振動板と圧電素子、およびその近傍の一部を拡大した断面図である。

【図8】図７におけるＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線断面模式図であって、第１コンプライアンスの撓みについて説明する図である。

【図9】図７におけるＩＸ－ＩＸ線断面模式図であって、第１コンプライアンスの撓みについて説明する図である。

【図10】振動板と圧電素子、およびその近傍の一部を拡大した断面図である。

【図11】第２実施形態の液体吐出ヘッドにおいて、第１吸収室の周辺構成を模式的に示す断面図である。

【図12】第３実施形態の液体吐出ヘッドにおいて、第１吸収室の周辺構成を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液体吐出装置１の構成：
図１は、本開示の第１実施形態としての液体吐出装置１の概略構成を示す説明図である。本実施形態において、液体吐出装置１は、液体の一例としてのインクを印刷媒体である印刷用紙ＰＡ（以下、単に「用紙ＰＡ」という）に吐出して画像を形成するインクジェット式プリンターである。液体吐出装置１は、用紙ＰＡに代えて、樹脂フィルム、布帛等の任意の種類の媒体を、インクの吐出対象としてもよい。

【0010】

液体吐出装置１は、インクを吐出する液体吐出ヘッド１０、インクを貯留する液体容器２、液体吐出ヘッド１０を搭載するキャリッジ３、キャリッジ３を搬送するキャリッジ搬送機構４、用紙ＰＡを搬送する媒体搬送機構５、及び、制御部３０を備える。制御部３０は、液体の吐出を制御する制御部である。

【0011】

液体容器２の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器２に貯留されるインクの種類は任意である。液体吐出装置１は、例えば、４色のインクに対応して複数の液体容器２を備える。４色のインクとしては、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、及び、ブラックがある。液体容器２は、キャリッジ３に搭載されるものでもよい。

【0012】

液体吐出装置１は、インクを循環させる循環機構８を備える。循環機構８は、液体吐出ヘッド１０にインクを供給する供給流路８１と、液体吐出ヘッド１０から排出されたインクを回収する回収流路８２と、インクを移送するポンプ８３と、を含む。

【0013】

キャリッジ搬送機構４は、キャリッジ３を搬送するための搬送ベルト４ａ及びモーターを有する。媒体搬送機構５は、用紙ＰＡを搬送するための搬送ローラー５ａ及びモーターを有する。キャリッジ搬送機構４及び媒体搬送機構５は、制御部３０によって制御される。液体吐出装置１は、媒体搬送機構５によって用紙ＰＡを搬送させながら、キャリッジ搬送機構４によってキャリッジ３を搬送させて、用紙ＰＡにインク滴を吐出して印刷する。

【0014】

図２は、液体吐出装置１を示すブロック図である。液体吐出装置１は、図２に示すように、リニアエンコーダー６を備える。キャリッジ３の位置を検出可能な位置に設けられている。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の位置に関する情報を取得する。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の移動に伴って、制御部３０にエンコーダー信号を出力する。

【0015】

制御部３０は、１又は複数のＣＰＵ３１を含む。制御部３０は、ＣＰＵ３１の代わりに、又は、ＣＰＵ３１に加えて、ＦＰＧＡを備えるものでもよい。制御部３０は、記憶部３５を含む。記憶部３５は、例えばＲＯＭ３６及びＲＡＭ３７を備える。記憶部３５は、ＥＥＰＲＯＭ、又はＰＲＯＭを備えていてもよい。記憶部３５は、ホストコンピューターから供給される印刷データＩｍｇを記憶できる。記憶部３５は、液体吐出装置１の制御プログラムを記憶する。

【0016】

ＣＰＵは、Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔの略称である。ＦＰＧＡは、ｆｉｅｌｄ－ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｇａｔｅ ａｒｒａｙの略称である。ＲＡＭは、Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＲＯＭは、Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＥＥＰＲＯＭは、Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｅｒａｓａｂｌｅ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙの略称である。ＰＲＯＭは、Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ＲＯＭの略称である。

【0017】

制御部３０は、液体吐出装置１の各部の動作を制御するための信号を生成する。制御部３０は、印刷信号ＳＩ及び波形指定信号ｄＣｏｍを生成できる。印刷信号ＳＩは、液体吐出ヘッド１０の動作の種類を指定するためのデジタル信号である。印刷信号ＳＩは、圧電素子２０に対して駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを指定できる。波形指定信号ｄＣｏｍは、駆動信号Ｃｏｍの波形を規定するデジタル信号である。駆動信号Ｃｏｍは、圧電素子２０を駆動するためのアナログ信号である。

【0018】

液体吐出装置１は、駆動信号生成回路３２を備える。駆動信号生成回路３２は、制御部３０と電気的に接続されている。駆動信号生成回路３２は、ＤＡ変換回路を含む。駆動信号生成回路３２は、波形指定信号ｄＣｏｍにより規定される波形を有する駆動信号Ｃｏｍを生成する。制御部３０は、リニアエンコーダー６からエンコーダー信号を受信すると、駆動信号生成回路３２に、タイミング信号ＰＴＳを出力する。タイミング信号ＰＴＳは、駆動信号Ｃｏｍの生成タイミングを規定する。駆動信号生成回路３２は、タイミング信号ＰＴＳを受信するごとに、駆動信号Ｃｏｍを出力する。

【0019】

駆動回路７は、制御部３０及び駆動信号生成回路３２と電気的に接続されている。駆動回路７は、印刷信号ＳＩに基づいて、駆動信号Ｃｏｍを圧電素子２０に供給するか否かを切り替える。駆動回路７は、制御部３０から供給される印刷信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、及び、チェンジ信号ＣＨに基づいて、駆動信号Ｃｏｍが供給される圧電素子２０を選択できる。ラッチ信号ＬＡＴは、印刷データＩｍｇのラッチタイミングを規定する。チェンジ信号ＣＨは、駆動信号Ｃｏｍに含まれる駆動パルスの選択タイミングを規定する。

【0020】

制御部３０は、液体吐出ヘッド１０によるインクの吐出動作を制御する。制御部３０は、圧電素子２０を駆動することにより、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させて、ノズルＮからインクを吐出する。圧電素子２０、圧力室Ｃ、ノズルＮ等の詳細構成については後述する。制御部３０は、印刷動作を行う際に、吐出動作を制御する。

【0021】

Ａ２．液体吐出ヘッド１０の構成：
次に、液体吐出ヘッド１０の構成について説明する。図３は、液体吐出ヘッド１０の一部断面図である。以下の説明において、互いに交差する３方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する。液体吐出ヘッド１０は、後述する供給側共通流路４１、個別流路４２、排出側共通流路４３へと液体を循環させる循環方式を採用する。

【0022】

Ｘ軸方向は、図３における左右方向であり、互いに反対の方向であるＸ１方向（図３においては右方向）及びＸ２方向（図３においては左方向）を含む。Ｙ軸方向は、互いに反対の方向であるＹ１方向及びＹ２方向を含む。Ｙ１方向は、図３において、紙面奥行き方向である。Ｙ２方向は、図３において紙面手前方向である。Ｚ軸方向は、図３における上下方向であり、互いに反対の方向であるＺ１方向（図３においては下方向）及びＺ２方向（図３においては上方向）を含む。なお、以下、Ｚ１方向を「下」として、Ｚ２方向を「上」として説明することもある。

【0023】

Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、互いに直交している。Ｚ軸方向は、通常上下方向に沿う方向であるが、Ｚ軸方向は、上下方向に沿う方向でなくてもよい。なお、以下の説明においては、Ｚ１方向を「上」、Ｚ２方向を「下」として説明する場合もある。

【0024】

本明細書では、「供給側」及び「排出側」との用語を用いる場合がある。「供給側」とは、液体の流路に関してノズルＮよりも上流側を示す。また、ノズルＮよりも上流側に関連するものを「供給側」という場合がある。また、ノズルＮよりも下流側に関連するものを「排出側」という場合がある。

【0025】

液体吐出ヘッド１０は、ノズル基板２１、連通板２２、圧力室基板２３、振動板２４、封止基板２５、及び圧電素子２０を備える。また、液体吐出ヘッド１０は、ＣＯＦ６０を備える。ＣＯＦは、Ｃｈｉｐ ｏｎ Ｆｉｌｍの略称である。ＣＯＦ６０は、制御部３０と液体吐出ヘッド１０とを電気的に接続するための複数の配線が形成された実装部品である。ＣＯＦ６０は、「配線基板」に相当する。

【0026】

さらに、液体吐出ヘッド１０は、供給側共通流路４１、複数の個別流路４２、排出側共通流路４３、複数の圧力室Ｃ、第１吸収室４４、第２吸収室４５、第１コンプライアンス５１、第２コンプライアンス５２、第３コンプライアンス５３、および第４コンプライアンス５４、を有する。なお、複数の個別流路４２および複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向に沿って配列されているため、図３では、それぞれ一つずつのみ表されている。本実施形態では、液体の一例であるインクを吐出する液体吐出ヘッド１０について説明する。液体は、インクに限定されず、液体吐出ヘッド１０は、その他の液体を吐出することができる。

【0027】

ノズル基板２１、連通板２２、圧力室基板２３、振動板２４、及び封止基板２５の各厚さ方向は、Ｚ軸方向に沿う。「Ｚ軸方向」は、各基板２３，２４，２５が積層される「積層方向」に相当する。ノズル基板２１は、液体吐出ヘッド１０の底部に配置される。ノズル基板２１のＺ２方向には、連通板２２が配置される。連通板２２のＺ２方向には、圧力室基板２３が配置される。言い換えると、連通板２２は、圧力室基板２３とノズル基板２１の間に設けられる。圧力室基板２３のＺ２方向には、振動板２４が設けられる。振動板２４は、例えばＳｉＯ_２にて形成される。振動板２４についての詳細は後述する。振動板２４は、圧力室基板２３と別の部材であり、圧力室基板２３に接着されることで配置されても良いし、圧力室基板２３のＺ２方向の表面に熱酸化等の処理が行われることで形成されても良い。

【0028】

振動板２４のＺ２方向には、封止基板２５が配置される。封止基板２５は、振動板２４、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３、圧電素子１５，１６，２０、及び圧力室基板２３を覆う。封止基板２５は、振動板２４上に配置される。圧電素子２０は、圧力室Ｃに対応して設けられている。

【0029】

［流路の説明］
まず、液体吐出ヘッド１０内に形成される液体流路について説明する。液体流路は、図示しない供給口および排出口、供給側共通流路４１、複数の個別流路４２、および排出側共通流路４３を含む。なお、供給側共通流路４１と各個別流路４２との境界には、図示しない周知の流路絞りが設けられている。

【0030】

供給側共通流路４１は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。「Ｘ軸方向」は、「圧力室Ｃと第１吸収室４４の並ぶ方向」であり、「第１方向」に相当する。供給側共通流路４１は、複数の圧力室Ｃに亘ってＹ軸方向に連続する。供給側共通流路４１は、封止基板２５に設けられた液室部６１、圧力室基板２３に設けられた液室部６２、及び連通板２２に設けられた液室部６３を含む。これらの液室部６１，６２，６３は、Ｚ軸方向に連続する。

【0031】

第１吸収室４４は、供給側の吸収室であり、圧力室ＣのＸ１方向に位置する。第１吸収室４４は、圧力室Ｃの上流に連通する。第１吸収室４４は、供給側共通流路４１の一部を構成する。

【0032】

複数の個別流路４２は、複数の圧力室Ｃに対してそれぞれ設けられており、Ｙ軸方向に配列されている。個別流路４２は、供給側共通流路４１の下流に配置される。個別流路４２は、圧力室基板２３に設けられた液室部６２の下流に連通する。個別流路４２は、圧力室Ｃと、第１連通流路６５と、第２連通流路６６と、第３連通流路６７と、を上流から順に有している。

【0033】

複数の圧力室Ｃには、第１連通流路６５および第２連通流路６６を介して複数のノズルＮがそれぞれ連通する。各ノズルＮは、各圧力室Ｃに対してＺ１方向に位置する。複数の第１連通流路６５は、Ｚ軸方向に延在する。複数の第２連通流路６６は、第１連通流路６５のＺ１方向の端部に接続し、Ｘ２方向に延在する。ノズルＮは、第２連通流路６６におけるＸ軸方向の略中央に位置する。複数の第３連通流路６７は、第２連通流路６６のＸ２方向の端部に接続し、Ｚ２方向に延在する。

【0034】

排出側共通流路４３は、複数の圧力室Ｃに対して共通に設けられている。排出側共通流路４３は、複数の個別流路４２に対して共通に連通する。排出側共通流路４３は、個別流路４２を介して、各圧力室Ｃと連通する。排出側共通流路４３は、各個別流路４２の下流に配置されている。

【0035】

排出側共通流路４３は、Ｙ軸方向に連続する。排出側共通流路４３は、封止基板２５に設けられた液室部７１、圧力室基板２３に設けられた液室部７２、及び連通板２２に設けられた液室部７３を含む。これらの液室部７１，７２，７３は、Ｚ軸方向に連続する。なお、液室部６１，７１は、封止基板２５に設けられた貫通孔により形成されている。

【0036】

［各基板の説明］
図４～図６は、液体吐出ヘッド１０の断面図であって、図４は、図３におけるＩＶ－ＩＶ線断面図であり、図５は、図３におけるＶ－Ｖ線断面図であり、図６は、図３におけるＶＩ－ＶＩ線断面図である。以下、図３～図６を適宜参照して、液体吐出ヘッド１０を構成する各基板の構造について説明する。図３に示すように、ノズル基板２１には、ノズル基板２１をＺ方向に貫通するノズルＮが形成されている。上述したように、液体吐出ヘッド１０は、このノズルＮを介して液体を吐出する。ノズル基板２１には、複数のノズルＮがＹ軸方向に沿って複数配列されることによって、ノズル列が形成されている。ノズル基板２１は、例えば、ステンレス鋼等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等により形成される。

【0037】

図３、図５に示すように、圧力室基板２３には、供給側液室部６２と、第１吸収室４４と、複数の圧力室Ｃと、第２吸収室４５と、排出側液室部７２と、が形成されている。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、ともに、液体の流路の一部を構成する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、Ｘ軸方向に延在する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、圧力室基板２３をＺ軸方向に貫通する。圧力室Ｃ、各吸収室４４，４５、および各液室部６２，７２は、所定の容積を有する。

【0038】

Ｘ軸方向における圧力室Ｃと第１吸収室４４との間には、圧力室基板２３の一部として形成された、圧力室Ｃと第１吸収室４４とを区画する区画部２８が設けられている。なお、圧力室Ｃと第１吸収室４４とは、区画部２８が設けられない部分における連通路を介して、Ｘ軸方向に連通している。

【0039】

複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸方向において、第１吸収室４４および第２吸収室４５と同じ位置に配置されている。Ｙ軸方向において対応する圧力室Ｃと第１吸収室４４とは、隣接しており、Ｘ軸方向に連通している。供給側液室部６２は、封止基板２５に設けられた液室部６１と、連通板２２に設けられた液室部６３とともに、供給側共通流路４１を形成している。

【0040】

本実施形態の圧力室基板２３は、シリコン単結晶基板により形成されている。他の実施形態では、圧力室基板２３は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）などの金属、ジルコニア（ＺｒＯ_２）あるいはアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を代表とするセラミック材料 、ガラスセラミック材料、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミン酸（ＬａＡｌＯ_３）のような酸化物等によって形成されてもよい。本実施形態では、圧力室Ｃおよび吸収室４４，４５は、例えば、圧力室基板２３を異方性エッチングによって加工することで形成される。本実施形態では、圧力室Ｃおよび吸収室４４，４５の深さがそれぞれ異なるため、複数回に分けてエッチングを行うことで製造できる。なお、圧力室Ｃおよび吸収室４４，４５の機能の詳細については後述する。

【0041】

連通板２２は、ノズル基板２１と圧力室基板２３との間に配置され、接着剤等によってノズル基板２１上に固定されている。連通板２２は、例えば、シリコン単結晶基板によって形成される。図３、図６に示すように、連通板２２には、供給側液室部６３と、排出側液室部７３と、第１連通流路６５と、第２連通流路６６と、第３連通流路６７と、が形成されている。各液室部６３，７３、第１連通流路６５、および第３連通流路６７は、連通板２２をＺ方向に貫通して形成されている。また、第２連通流路６６は、連通板２２をＺ方向に貫通することなく、連通板２２の下面が窪んだ部分として形成されている。液室部７３は、封止基板２５に形成された液室部７１、圧力室基板２３に形成された液室部７２とともに、排出側共通流路４３を形成している。

【0042】

図３に示すように、封止基板２５は、Ｚ１方向の下面に凹部が設けられた部材である。凹部は、圧力室Ｃおよび各吸収室４４，４５のＺ２側において、圧力室Ｃおよび各吸収室４４，４５に対向する位置に開口している。具体的には、本実施形態の封止基板２５には、凹部として、圧力室側凹部７５と、第１吸収室側凹部７６と、第２吸収室側凹部７７と、が設けられている。

【0043】

圧力室側凹部７５は、圧力室Ｃと対向する位置に開口している。すなわち、圧力室側凹部７５は、圧力室Ｃに対応し、下部が開口している。第１吸収室側凹部７６は、第１吸収室４４と対向する位置に開口している。すなわち、第１吸収室側凹部７６は、第１吸収室４４に対応し、下部が開口している。第２吸収室側凹部７７は、第２吸収室４５と対向する位置に開口している。すなわち、第２吸収室側凹部７７は、第２吸収室４５に対応し、下部が開口している。各凹部７５，７６，７７の間は、封止基板２５の一部として形成された壁部によって隔てられており、互いに連通していない。圧力室側凹部７５は、封止基板２５に設けられた図示しない大気連通孔を介して、外部と連通している。すなわち、圧力室側凹部７５は大気開放されており、圧力室側凹部７５内の圧力は大気圧に保たれる。他方、第１吸収室側凹部７６，および第２吸収室側凹部７７は、いずれも外部と連通しておらず、大気開放されていない。

【0044】

図７は、振動板２４と圧電素子２０，１５、およびその近傍の一部を拡大した断面図である。図３，図７に示すように、各凹部７５，７６，７７の開口の深さ、すなわち、各凹部７５，７６，７７のＺ方向の寸法（以下、単に「深さ」という）はそれぞれ異なっている。圧力室側凹部７５の深さをａ、第１吸収室側凹部７６の深さをｂ、第２吸収室側凹部の深さをｃとしたとき、ａ＞ｃ＞ｂの関係を満たす。すなわち、第１吸収室側凹部７６の深さｂが最も深く、次に第２吸収室側凹部７７の深さｃが深く、圧力室側凹部７５の深さａが最も浅くなっている。

【0045】

深さａ、ｂの大小関係においては、上述のようにａ＞ｂを満たすことが必要だが、以下を更に満たすことがより好ましい。第１吸収室側凹部７６の深さを十分に浅くするためには、上述のようにａ＞ｂを満たすことが最低条件として必要だが、実際には圧力室側凹部７５に比べてごくわずかだけ小さくなっているだけだと得られる作用効果は小さい。第１吸収室側凹部７６は、ある程度、圧力室側凹部７５よりも小さくなっていることが好ましい。具体的には、ａ＞（１．１×ｂ）となっていることが好ましく、ａ＞（１．３×ｂ）となっていることが更に好ましい。一方で、第１吸収室側凹部７６が圧力室側凹部７５に比べてあまりにも小さくなり過ぎると、１つの封止基板２５の近接する領域に深さが全く異なる空間を設けられることになるので、剛性が低くなる、製造工程が煩雑になる等の問題が生じる。よって、第１吸収室側凹部７６が圧力室側凹部７５に比べて極端に小さくなることは避けた方が好ましい。具体的にはさらに、ａ＜（１．８×ｂ）となることが好ましく、ａ＜（１．５×ｂ）となることが更に好ましい。なお、本実施形態において、各深さａ、ｂ、ｃは、Ｙ軸方向において一定である。

【0046】

図８は、図７におけるＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線断面模式図であって、第１コンプライアンスの撓みについて説明する図である。換言すると、図８では、圧力室ＣのＸ軸方向の略中央部分をＹＺ平面で切ったときの断面図が表されている。図９は、図７におけるＩＸ－ＩＸ線断面模式図であって、第１コンプライアンスの撓みについて説明する図である。図９では、第１吸収室４４のＸ軸方向の略中央部分をＹＺ平面で切ったときの断面図が表されている。図８、図９に示すように、第１吸収室側凹部７６のＹ軸方向に沿う開口幅Ｌ２は、圧力室側凹部７５のＹ軸方向に沿う開口幅Ｌ１よりも大きい。圧力室Ｃの開口幅Ｌ１は、解像度に応じて設計される。第１吸収室４４の開口幅Ｌ２は、圧力を効率よく吸収するため、少なくとも圧力室Ｃの開口幅Ｌ１よりも大きく設計する必要がある。

【0047】

なお、図８，図９は、後述する第１コンプライアンス５１の振動吸収動作を説明する模式図でもあり、説明の便宜上、第１コンプライアンス５１の構成については、振動板２４や圧電素子２０，１５等の詳細については省略して簡略化した太線として図示している。また、縮尺についても実際とは異なっており、図８と図９とを比較すると、図面上ではＬ２はＬ１の数倍程度の長さとなっているが、実際には、Ｌ２はＬ１の数百倍の長さである。なお、これらの点は、後述する図１１，図１２についても同様である。

【0048】

また、各凹部７５，７６，７７は、液体の流路と連通しておらず、凹部７５，７６，７７には液体が流通しない。各凹部７５，７６，７７のＸ軸方向の幅は、大きい順に圧力室側凹部７５、第１吸収室側凹部７６、第２吸収室側凹部７７となっている。図４に示すように、圧力室側凹部７５、第１吸収室側凹部７６および第２吸収室側凹部７７は、液体吐出ヘッド１０のＹ軸方向の幅に亘って延在する。第１吸収室側凹部７６および第２吸収室側凹部７７のＹ軸方向の幅は同じである。「Ｙ軸方向」は、「第１吸収室側凹部７６が延在する方向」であり、「第２方向」に相当する。第２方向は、圧力室Ｃと第１吸収室４４の並ぶ第１方向と交差する。

【0049】

図３に示すように、封止基板２５のＸ軸方向の中央部よりもＸ２方向寄りの位置には、封止基板２５をＺ軸方向に貫通する貫通孔７８が設けられている。貫通孔７８には、上記ＣＯＦ６０が挿入されている。上下方向（Ｚ方向）に見たとき、ＣＯＦ６０、圧力室Ｃ、第１吸収室４４は、第１側から第２側に向かってこの順で並んで配置されている。Ｘ軸方向において、圧力室Ｃから第１吸収室４４までの離間距離（流路長）は、圧力室Ｃから第２吸収室４５までの離間距離（流路長）よりも短い。

【0050】

振動板２４は、圧力室基板２３上に積層されている。圧電素子１５，１６，２０は、振動板２４上に積層されている。複数の圧電素子２０は、圧力室側凹部７５内に位置する。圧電素子１５は、第１吸収室側凹部７６内に位置する。圧電素子１６は、第２吸収室側凹部７７内に位置する。圧電素子２０は、液体吐出用の圧電素子である。

【0051】

各圧電素子１５，１６、２０の詳細は後述するが、圧電素子２０は、上下の電極を介して電圧が印加されることにより駆動するアクチュエーターである。一方、圧電素子１５、１６は、２つまたは１つの電極と圧電体を有する点では圧電素子２０と略同様の構成であるが、流路内の液体に圧力を付与するものではなく、振動吸収をするためのものであるため、制御部３０とは電気的に接続されておらず、駆動されない。なお、各圧電素子１５，１６，２０の具体的な構成、およびその周辺の構成についての詳細は、図７、図８を用いて後述する。

【0052】

［コンプライアンスの説明］
次に、第１コンプライアンス５１～第４コンプライアンス５４の構成について説明する。第１コンプライアンス５１は、供給側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第１コンプライアンス５１は、振動板２４と、圧電素子１５と、を備える。図４に示すように、第１コンプライアンス５１は、排出側共通流路４３のＹ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続する。振動板２４上に、Ｙ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続する圧電素子１５が形成されている。第１コンプライアンス５１のＸ軸方向の幅Ｗ１は、圧電素子１５のＸ軸方向における幅に相当する。振動板２４は、液体の圧力を受けて変形可能である。振動板２４は、液体の圧力によって変形し、第１吸収室４４内の液体の圧力変動を吸収できる。圧電素子１５は、Ｚ軸方向に見て第１吸収室４４に重なる位置に配置される。

【0053】

第２コンプライアンス５２は、供給側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第２コンプライアンス５２は、連通板２２のＺ１方向に設けられる。第２コンプライアンス５２は、供給側共通流路４１内の液体の圧力変動を吸収する可撓性フィルムである。図３に示すように、第２コンプライアンス５２は、連通板２２の液室部６３のＺ１方向側の開口部を閉塞するように、連通板２２の下面に設置されて、供給側共通流路４１の壁面（具体的には底面）を構成する。

【0054】

ここで、圧力室ＣのＺ方向における中心位置を通り、Ｘ軸とＹ軸とを含むＸＹ平面上にある線Ｂ１を、圧力室Ｃの基準位置とする。圧力室Ｃと第１コンプライアンス５１とのＺ軸方向の距離Ｄ１は、圧力室Ｃと第２コンプライアンス５２とのＺ軸方向の距離Ｄ２よりも短い。距離Ｄ１は、圧力室Ｃの基準位置から振動板２４の底面までの距離である。距離Ｄ２は、圧力室Ｃの基準位置から第２コンプライアンス５２の上面までの距離である。なお、圧力室Ｃから第１コンプライアンス５１までの流路長は、圧力室Ｃから第２コンプライアンス５２までの流路長より短い。

【0055】

第２コンプライアンス５２のＺ軸方向の厚さは、第１コンプライアンス５１のＺ軸方向の厚さより薄い。第２コンプライアンス５２のＸ軸方向の幅Ｗ２（図６参照）は、第１コンプライアンス５１のＸ軸方向の幅Ｗ１（図４参照）よりも大きい。第１コンプライアンス５１のＹ軸方向の幅と、第２コンプライアンス５２のＹ軸方向の幅とは略同じである。

【0056】

上述のような第１コンプライアンス５１および第２コンプライアンス５２の物性や寸法等により、第２コンプライアンス５２のコンプライアンス能力は、第１コンプライアンス５１のコンプライアンス能力よりも大きい。コンプライアンス能力は、コンプライアンス量と同じ意味であり、以下の式（１）を用いて表現できる。

【数1】

【0057】

式（１）中、「ν」は、振動板２４のポアソン比である。「ν」は、コンプライアンスを構成する材料の物性値である。「Ｅ」は、ヤング率である。「Ｅ」は、コンプライアンスを構成する材料の物性値である。

【0058】

「ｗ」は、コンプライアンスが覆うＸ軸に沿う開口の長さである。「ｌ」は、コンプライアンスが覆うＹ軸に沿う開口の長さである。「ｔ」は、コンプライアンスの厚さである。なおここではｗ＜ｌであるため上記の条件となるが、ｗ＞ｌの場合は「ｗ」はＹ軸に沿う長さ、「ｌ」はＸ軸に沿う長さとなる。

【0059】

第３コンプライアンス５３は、排出側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第３コンプライアンス５３の構成は、第１コンプライアンス５１と略同様であり、振動板２４と、圧電素子１６と、を備える。第３コンプライアンス５３を構成する振動板２４は、Ｙ軸方向に連続する。第３コンプライアンス５３のＸ軸方向の幅は、複数の圧電素子１６のＸ軸方向における幅に相当する。振動板２４は、液体の圧力を受けて変形可能である。振動板２４は、液体の圧力によって変形し、第２吸収室４５内の液体の圧力変動を吸収できる。

【0060】

振動板２４上には、Ｙ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続する圧電素子１６が形成されている。圧電素子１６は、Ｚ軸方向に見て第２吸収室４５に重なる位置に対応して配置される。

【0061】

第４コンプライアンス５４は、排出側の液体の振動を吸収するための吸収部である。第４コンプライアンス５４は、連通板２２のＺ１方向に設けられる。第４コンプライアンス５４は、排出側共通流路４３内の液体の圧力変動を吸収する可撓性フィルムである。第４コンプライアンス５４は、連通板２２の液室部７３のＺ１方向側の開口部を閉塞するように、連通板２２の下面に設置されて、排出側共通流路４３の壁面（具体的には底面）を構成する。

【0062】

ここで、圧力室Ｃと第３コンプライアンス５３とのＺ軸方向の距離は、圧力室Ｃと第１コンプライアンス５１とのＺ軸方向の距離Ｄ１と同じである。また、圧力室Ｃと第４コンプライアンス５４とのＺ軸方向の距離は、圧力室Ｃと第２コンプライアンス５２とのＺ軸方向の距離Ｄ２と同じである。すなわち、圧力室Ｃと第３コンプライアンス５３とのＺ軸方向の距離Ｄ１は、圧力室Ｃと第４コンプライアンス５４とのＺ軸方向の距離Ｄ２よりも短い。

【0063】

なお、上記各コンプライアンス５１～５４を形成する材料や、コンプライアンス５１～５４の厚み等を調整することによって、圧力室Ｃから伝搬した液体の振動を吸収するのに適した可撓性を有するように、コンプライアンス５１～５４を形成することが好ましい。なお、第１吸収室側凹部７６及び第２吸収室側凹部７７内に位置する圧電素子１５，１６は、圧力室側凹部７５内の圧電素子２０とは異なり圧力室内の液体に圧力を付与するものではないため、制御部３０とは電気的に接続されていない。

【0064】

［圧電素子１５，１６，２０および配線の構成］
図７は、振動板２４と圧電素子２０，１５、およびその近傍の一部を拡大した断面図である。振動板２４は、圧電素子２０の駆動により振動する。図７に示すように、振動板２４は、第１絶縁層２４１と第２絶縁層２４２との積層体で構成される。第１絶縁層２４１は、圧力室基板２３に接触する。第２絶縁層２４２は、第１絶縁層２４１に対して圧力室基板２３とは反対に位置する。

【0065】

第１絶縁層２４１は、二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）等の弾性材料で形成される弾性膜である。第２絶縁層２４２は、二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）等の絶縁材料で形成される。第１絶縁層２４１および第２絶縁層２４２の各々は、熱酸化またはスパッタリング等の公知の成膜技術により形成される。なお、所定の板厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、圧力室基板２３と振動板２４の一部または全部とを一体に形成することが可能である。

【0066】

封止基板２５は、振動板２４の上面に例えば接着剤１３で固定される。圧電素子２０は、概略的には、下部電極１５３と圧電体１５２と上部電極１５１とを、この順番で振動板２４に積層した構造体である。上部電極１５１は、圧電体１５２の上部に位置する。下部電極１５３は、圧電体１５２の下部に位置する。

【0067】

下部電極１５３は、振動板２４の上面に形成される。下部電極１５３は、圧電素子２０ごとに相互に離間して形成された個別電極である。下部電極１５３には、電圧が変動する駆動信号が印加される。下部電極１５３は、相互に間隔をあけてＹ軸に沿って配列される。下部電極１５３は、例えば白金（Ｐｔ）またはイリジウム（Ｉｒ）等の導電材料で形成される。

【0068】

圧電体１５２は、下部電極１５３の上部に形成され、圧力室Ｃおよび第１吸収室４４の上部に位置しており、かつ下部電極１５３に接触する。圧電体１５２は、複数の圧電素子２０に亘りＹ軸に沿って連続する帯状の誘電膜である。圧電体１５２は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）等の公知の圧電材料で形成される。

【0069】

上部電極１５１は、圧電体１５２に接触する。上部電極１５１は、複数の圧電素子２０に亘り連続するようにＹ軸に沿って延在する共通電極である。上部電極１５１は、圧力室Ｃの上部から第１吸収室４４の上部まで一続きの部材で形成されている。上部電極１５１には、所定の基準電圧が印加される。基準電圧は一定の電圧であり、例えば接地電圧よりも高い電圧に設定される。すなわち、上部電極１５１には、例えば、電圧が一定である保持信号が印加される。上部電極１５１に印加される基準電圧と下部電極１５３に供給される駆動信号との差分に相当する電圧が圧電体１５２に印加される。駆動信号は、吐出量に応じて異なる。保持信号は、吐出量によらず一定であり、変動しない。なお、上部電極１５１には、接地電圧が印加されてもよい。また、上部電極１５１は、例えば白金（Ｐｔ）またはイリジウム（Ｉｒ）等の低抵抗な導電材料で形成される。

【0070】

下部電極１５３と上部電極１５１との間に電圧が印加されることで圧電体１５２が変形
することにより、圧電素子２０は、振動板２４を撓み変形させるエネルギーを生成する。圧電素子２０が生成したエネルギーにより振動板２４が振動することにより圧力室Ｃの圧力が変化し、圧力室Ｃ内のインクが図３に示すノズルＮから吐出される。

【0071】

圧電素子１５は、概略的には、介在部材１５４と圧電体１５２と上部電極１５１とを、この順番で振動板２４に積層した構造体である。介在部材１５４は、圧電体１５２の下部に位置する。介在部材１５４は、相互に間隔をあけてＹ軸に沿って配列される。介在部材１５４は、下部電極１５３と同じ材料で形成されており、下部電極１５３とは電気的に接続していない。介在部材１５４は、第１吸収室４４の上部に位置している。第１吸収室４４の上部には、下部電極１５３は設けられていない。なお、製造工程において、下部電極１５３と介在部材１５４とは、同じ材料にて一続きで形成され、その後、圧電体１５２等の成膜前にエッチングにより電気的に遮断されることで構成される。

【0072】

第１吸収室４４と第１吸収室側凹部７６との間には、上記した通り、圧電体１５２、上部電極１５１、介在部材１５４、振動板２４の全てが設けられている。

【0073】

次に、各電極１５１，１５３とＣＯＦ６０とを電気的に接続する配線の構造について説明する。図７に示すように、配線は、上部電極配線１１と、下部電極配線１２と、を含む。上部電極配線１１は、上部電極１５１の上部に位置し、上部電極１５１と図示しない外部電源とを電気的に接続する。下部電極配線１２は、下部電極１５３と図示しない外部電源とを電気的に接続する。

【0074】

なお、上記図３において、各圧電素子２０，１５を構成する電極１５１，１５３や圧電体１５２および、各電極１５１，１５３とＣＯＦ６０とを電気的に接続する配線の図示は省略している。また、図３，図４は、液体吐出ヘッド１０の全体の概要を説明するための図であり、圧電素子２０，１５，１６の構成や、後述する配線を含む部分の詳細は、図７，および後述の図１０の方がより適切である。

【0075】

下部電極配線１２の平面視形状は、Ｘ軸に沿って延在する長手形状である。図７に例示される通り、下部電極配線１２は、下部電極１５３の上面に接触する部分と、圧電体１５２の上面に接触する部分とを有する。また、下部電極配線１２は、圧電体１５２のＸ２側の端に接触する。なお、図７においては、下部電極配線１２のＸ２側の端についての図示を省略しているが、下部電極配線１２は、Ｘ２方向へＣＯＦ６０まで延びて接続されている。下部電極配線１２は、下部電極１５３に駆動信号を印加する。下部電極配線１２は、図３に示すＣＯＦ６０に搭載された駆動回路から駆動信号が供給されるリード配線である。

【0076】

上部電極配線１１は、上部電極１５１の上部に位置し、かつ、上部電極１５１に接触する。上部電極配線１１は、上部電極１５１に基準電圧を印加する。上部電極配線１１には、ＣＯＦ６０を介して図示しない基準電圧が供給される。また、上部電極配線１１が設けられることで、上部電極１５１における基準電圧の電圧降下が抑制される。また、上部電極配線１１は、振動板２４の振動を抑制するための錘としても機能する。

【0077】

図１０は、振動板２４と圧電素子１６、およびその近傍の一部を拡大した断面図であって、排出側に設けられる第３コンプライアンス５３周辺を示す図である。図１０に示すように、第２吸収室４５の上部には、振動板２４、下部電極１５３、圧電体１５２、上部電極１５１、および上部電極配線１１が、Ｚ２方向へ以上の順番で積層されている。なお、上部電極１５１、下部電極１５３、および上部電極配線１１のいずれも、どこにも電気接続されていない。しかし、圧電素子１６が駆動されなければ、それらの一部は電気接続されていてもよい。

【0078】

［動作説明・液体の流れ］
液体容器２内の液体は、ポンプ８３によって移送され、供給流路８１内を流れて、図示しない供給口を通り、供給側共通流路４１に流入する。供給側共通流路４１内の液体は、第１吸収室４４を通り、個別流路４２の一部を構成する圧力室Ｃに供給される。圧力室Ｃ内の液体の一部は、ノズルＮから吐出される。

【0079】

ノズルＮから吐出されなかった液体は、第２連通流路６６および第３連通流路６７、個別流路４２の一部を構成する第２吸収室４５を通り、排出側共通流路４３に流入する。排出側共通流路４３内の液体は、図示しない排出口を通じて、回収流路８２内に流入し、液体容器２に回収される。液体吐出ヘッド１０では、このように液体が循環される。

【0080】

上述した圧力室Ｃは、振動板２４の振動によって、圧力室Ｃ内の液体に圧力を付与する。振動板２４は、圧電素子２０の駆動によって振動する。具体的には、圧電体に電圧が印加されることによって、圧電体のうち第１電極と第２電極とによってＺ方向に挟まれた部分である能動部に、圧電歪みが生じる。圧電素子２０は、この圧電歪みによって、振動板２４を撓むように振動させて圧力室の容積を変化させることで、圧力室Ｃ内の液体に圧力を付与する。なお、圧電体のうち、上部電極１５１と下部電極１５３とによってＺ方向に挟まれない部分である非能動部では、圧電体に電圧が印加された場合であっても、上記の圧電歪みは生じない。つまり、第１吸収室４４の上部には、下部電極１５３に代えて、下部電極１５３とは物理的かつ電気的に分離した介在部材１５４が設けられているのみであるため、第１吸収室４４の上部には圧電歪みは生じない。

【0081】

液体吐出ヘッド１０は、上述したように、圧力室Ｃにおいて液体に圧力を付与することによって、ノズルＮから液体を吐出する。ここで、圧力室Ｃにおいて液体に圧力が付与された場合、圧力室Ｃ内の液体の一部は、圧力室Ｃよりも上流に位置する、複数の圧力室Ｃに共通の液室等に流れ、圧力室Ｃから液室等へと液体の振動が伝搬する。ここで、複数の圧力室Ｃにおいて液体に圧力が付与された場合、ある圧力室Ｃから液室等へと流れる液体は、例えば、他の圧力室Ｃから液室等へと流れる液体によって流通を阻害される等の影響を受ける。そのため、ある圧力室Ｃからの液体の振動の伝搬の態様が、他の圧力室Ｃからの液体の振動の伝搬の影響によって変化し、ある圧力室Ｃを介してノズルＮから吐出される液体の品質の安定性が低下する場合がある。このような液体の振動は、各コンプライアンス５１～５４により好適に吸収される。

【0082】

第１コンプライアンス５１では、図８，図９に模式的に示すように、圧力室Ｃおよび第１吸収室４４のそれぞれにおいて、開口幅Ｌ１，Ｌ２の中央を最大の撓み量として変形する。開口幅の中央での撓み量をＹとすると、撓み量Ｙは以下の式（２）で表される。

【数2】

式（２）中、「Ｐ」は圧力、「Ｌ」は開口幅、「Ｅ」はヤング率、「Ｉ」は慣性モーメントである。

【0083】

ここで、原理的には、コンプライアンスの変形は、式（２）に示すように開口幅の３乗に比例するため、同じ圧力に対して、開口幅の大きい第１吸収室４４側の第１コンプライアンス５１の方が、圧力室Ｃ側の第１コンプライアンス５１より大きく変形する。すなわち、圧力室Ｃでの開口幅Ｌ１の中央での撓み量をＹ１１とし、第１吸収室４４での開口幅Ｌ２の中央での撓み量をＹ１２とすると、Ｙ１２の方がＹ１１よりも大きい（Ｙ１２＞Ｙ１１）。つまり、第１吸収室４４の開口幅Ｌ２が圧力室Ｃの開口幅Ｌ１よりも大きいため、圧力室Ｃ側と第１吸収室４４側とにおいて同じ膜構成である場合には、同一圧力に対しての変形量は第１吸収室４４の方が大きくなる。

【0084】

このとき、大気開放されていない第１吸収室側凹部７６の深さｂが、圧力室側凹部７５の深さａと同じ、もしくは大きい構成では、第１コンプライアンス５１が変形した際に、封止空間としての第１吸収室側凹部７６の底面（Ｚ２方向の面であり実際には凹部７６の天面）に張り付いてしまい、コンプライアンスとして正常に動作しなくなる虞がある。

【0085】

これは、吸収室側凹部７６の容積が大きすぎることが要因と考えられる。ボイルシャルルの法則などからわかるように一定空間の圧力は容積に反比例する。したがって、吸収室側凹部７６の容積が大きいほど、吸収室側凹部７６から加わる圧力、すなわち第１コンプライアンス５１を下側に押す力は小さくなるため、吸収室４４内の液体の振動吸収により上側に向かった振動板に対して十分に反発することができないためであると考えらえる。このように、吸収室側凹部７６の容積が大きい場合には、第１吸収室側凹部７６内では、第１コンプライアンス５１が上側へ撓んだ状態のまま下側へ戻りにくくなる。

【0086】

ここで、第１吸収室側凹部７６の容積を小さくするには、ノズル列方向（Ｙ軸方向、縦方向）や圧力室Ｃと第１吸収室４４の並び方向（Ｘ軸方向、横方向）の幅を小さくすることが考えられる。しかし、縦方向×横方向の断面積が第１吸収室４４内の液体と対向する部分となるため、これらを小さくすると、そもそもの吸収効率が低下してしまう。よって、第１吸収室側凹部７６の深さを浅くすることで、容積を小さくすることが好ましい。

【0087】

本実施形態によれば、ａ＞ｂの関係を満たしており、第１吸収室側凹部７６の容積が小さくなるように考慮されているため、第１コンプライアンス５１が封止空間である第１吸収室側凹部７６の底面に張り付くことを効果的に抑制できる。

【0088】

上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０および液体吐出装置１によれば、以下の効果を奏することができる。

【0089】

上記第１実施形態によれば、各凹部７５，７６，７７の深さの関係において、第１吸収室側凹部７６の深さｂが最も浅く、次に第２吸収室側凹部７７の深さｃが浅く、圧力室側凹部７５の深さａが最も深くなっている（ａ＞ｃ＞ｂ）。

【0090】

第１吸収室側凹部７６は、圧力室側凹部７５に比べて振動領域が大きく、それゆえ第１コンプライアンス５１の撓み量も大きくなるため、第１吸収室側凹部７６では第１コンプライアンス５１が封止基板２５に張り付いてしまう可能性が高い。第１コンプライアンス５１が封止基板２５に張り付いてしまうと、その後、振動板として正常に機能しない虞がある。この点において、第１実施形態では、第１吸収室側凹部７６の深さｂは圧力室側凹部７５の深さａよりも浅く、第１吸収室側凹部７６の容積がなるべく小さくなるように封止基板２５が構成されているため、吸収効率を低下させることなく第１コンプライアンス５１が封止空間である第１吸収室側凹部７６の底面に張り付くことを抑制できる。

【0091】

なお、圧力室側凹部７５は共振のため所定値にする必要がある。上記形態では、圧力室側凹部７５の深さａは所定値を維持したまま、好適に第１コンプライアンス５１の第１吸収室側凹部７６での張り付きを抑制できる。

【0092】

また、上記第１実施形態では、圧力室側凹部７５は大気開放されており、圧力室側凹部７５内の圧力は大気圧に保たれる。他方、第１吸収室側凹部７６，および第２吸収室側凹部７７は、いずれも外部と連通しておらず、大気開放されていない。圧力室側凹部７５は、大気開放されているため、複数の圧力室間で吐出圧力の変動が伝わること（以下、「クロストーク」という）を好適に抑制できる。

【0093】

上記第１実施形態では、第２吸収室４５は、圧力室Ｃからの離間距離が第１吸収室４４と比較して長いので圧力伝搬が小さい。よって第３コンプライアンス５３の撓み量も第１吸収室４４の第１コンプライアンス５１ほどは大きくない。そのため、第２吸収室側凹部７７では、第１吸収室側凹部７６と比較して第３コンプライアンス５３が凹部７７の底面に張り付くリスクは小さい。よって、容積を小さくする必要性についても、第１吸収室側凹部７６よりは小さい。よって、不要に第２吸収室側凹部７７の深さｃを浅くすることなく適度な深さとできる。

【0094】

なお、従来の一般的な構成では、圧力室側凹部と吸収室側凹部とを連通させて、共に閉空間とし大気開放させていなかった。しかし、ノズルの駆動数によっては、上記クロストークを抑制することが十分にできない虞があった。これを踏まえ、圧力室側凹部を大気に連通させ大気開放したところ、クロストークの問題は解消したが、圧力室側凹部と連通する吸収室側凹部まで大気開放されてしまい、そこで振動板コンプライアンスが封止基板に張り付いてしまうという問題が顕著に生じることを、本願発明者らは見出した。

【0095】

大気開放した吸収室側凹部において上記問題が生じる理由は、吸収室の振動板や圧電素子は圧力室と違い能動的な駆動は行わないため、自由端のような挙動を取り、吸収室側凹部の圧力低下に伴って上側に向かいやすくなるためだと考えられる。また、吸収室は圧力室と異なり、複数の圧力室に対して共通であるため、その振幅が大きくなることも一因だと考えられる。したがって、圧力室側凹部と吸収室側凹部を連通させず、圧力室側凹部は大気開放する一方で、吸収室側凹部は大気開放しない構成が好ましい。上記第１実施形態では、こうした構成を前提とした上で、さらに確実に各吸収室４４，４５に対応する各凹部７６，７７におけるコンプライアンス５１，５３の張り付きを抑制できる構成となっている。

【0096】

上記第１実施形態によれば、液体を供給する第１吸収室４４の方が、液体を排出する第２吸収室４５と比べて、圧力室Ｃからの距離が近く液体の振動影響を受けやすい。また、ノズルＮからの排出分を考えると、第１吸収室４４の方が第２吸収室４５よりも流量が多いため、流量が多く振動影響がより顕著に表れる第１吸収室４４において、第１コンプライアンス５１の吸収室側凹部７６での張り付きを抑制できる。

【0097】

上記第１実施形態によれば、第１吸収室４４の上部には、下部電極１５３は設けられておらず、下部電極１５３と電気的に接続しないが、下部電極１５３と同じ材料で形成される介在部材１５４が設けられる。このため、圧力室Ｃと第１吸収室４４の材料をなるべく揃えて弾性率や振動率を近づけることができ、第１吸収室４４での吸収効率を向上させることができる。また、製造時において、第１吸収室４４の上部の全てに対してエッチングする場合と比較して、不要なエッチングをする必要がなく、液体吐出ヘッド１０の製造を容易にできる。

【0098】

また、圧電体１５２を焼成するときは、その下部にある材料に配向が影響を受ける。下部電極１５３に相当するものを省略してしまうと配向が所望のものからずれてくるため、下部電極１５３と同じ材料の介在部材１５４を残しておくのが好ましい。

【0099】

上記第１実施形態によれば、下部電極１５３は、Ｘ方向において第１吸収室４４まで延びておらず遮断（断絶）されているため、上部電極１５１は第１吸収室４４の上部まで一続きであっても第１吸収室４４において圧電素子１５は振動しない。このため、製造時において上部電極１５１に不要なエッチングをする必要がなく、液体吐出ヘッド１０の製造を容易にできる。

【0100】

なお、圧電体１５２は、その厚みゆえに遮断することが製造上困難であり、エッチングの際に、圧力室Ｃ側の圧電体１５２の組成や構造が変化し想定した吐出特性を得られなくなる虞があることから、遮断するのは好ましくない。

【0101】

また、上記したように例えばＩｒ（イリジウム）等の材料により形成される上部電極１５１は、圧電体１５２上をなるべく覆うことで圧電体１５２への水分混入を避ける目的もあることから遮断するのは好ましくない。また、上部電極１５１は、ＶＢＳ（時間に寄らず一定の小電圧）が印加されるに過ぎず、たとえ吸収室４４，４５側に印加されても電気的ロスやノイズも小さい。

【0102】

一方、下部電極１５３はＣＯＭ（時間により変位する吐出のために圧力室を収縮・膨張させる波形信号）が印加されるが、時間により変位し、比較的電圧が大きいので、吸収室４４，４５側に印加すると電気的な無駄が大きく、圧力室Ｃ側に影響を及ぼす可能性もある。このため、下部電極１５３を遮断することが好ましい。

【0103】

上記第１実施形態によれば、圧電素子２０，１５，１６の積層構造および、振動板２４の構造は同じであるため、第２吸収室４５、圧力室Ｃ、および第１吸収室４４の材料をなるべく揃えて弾性率を近づけることができ、振動特性を均一にできる。

【0104】

さらに、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を、例えば、フォトレジストによるマスキングを利用したエッチング等の既知の方法を用いて作成することができる。例えば、圧力室側凹部７５内の圧電素子２０を含むアクチュエーターを構成する各部材を形成する際に、アクチュエーターを構成する各部材を形成するのと同様の方法を用いて、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を構成する各部材を形成できる。アクチュエーターを構成する部材を用いて第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を簡易に製造できる。また、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３を構成する部材とアクチュエーターを構成する部材とを、同様の製造方法によって製造することによって、液体吐出ヘッド１０の製造工程をより簡略化できる。

【0105】

Ｂ．第２実施形態：
次に、本開示の第２実施形態について、図１１を参照して説明する。なお、以下複数の実施形態において、上記第１実施形態と実質的に同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。第２実施形態の液体吐出ヘッド１０は、上記第１実施形態の液体吐出ヘッド１０に対して、第１吸収室側凹部７６の深さがＹ軸方向において一定ではない点が異なっている。

【0106】

図１１は、第２実施形態の液体吐出ヘッド１０において、第１吸収室４４の周辺構成を模式的に示す断面図である。図１１は、第１吸収室４４のＸ軸方向幅の略中央部分をＹＺ平面で切ったときの断面図であり、第１実施形態の図９に相当する断面図である。図１１に示すように、第１吸収室側凹部７６の底面において、Ｙ軸方向の開口幅Ｌ２の中央部には、周囲よりさらに深く凹んだ段部７９が設けられている。「中央部」とは、開口幅Ｌ２の中心を含む部位である。本実施形態の「中央部」は、中心を含み、中心からＹ１方向およびＹ２方向に同じ幅を有している。段部のＹ軸方向の幅は、適宜設定可能であり、例えば全体の開口幅Ｌ２の１／４から１／２程度に設定できる。

【0107】

本第２実施形態のように、第１吸収室側凹部７６の深さが場所によって異なる場合には、「第１吸収室側凹部７６の深さ」は、第１吸収室側凹部７６において最も浅いところの深さと定義する。よって、第２実施形態の第１吸収室側凹部７６の深さｂは、第１吸収室側凹部７６の底部において段部７９以外の部位８０の深さである。段部７９の深さは、圧力室側凹部７５の深さａと同じである。なお、段部７９の深さは、圧力室側凹部７５の深さａと同じでなくてもよい。

【0108】

上記第２実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。さらに、段部７９以外の部位８０、すなわち開口幅の中央部を含まない部位は、段部７９が設けられる部位と比較して封止基板２５の厚みが確保されるため、封止基板２５の剛性を高めることができる。また、段部７９においては、圧力室側凹部７５と同じ深さａであるため、第１コンプライアンス５１が撓む最大値である開口幅Ｌ２の中央において、好適に第１コンプライアンス５１の段部７９に相当する底面への干渉を抑制できる。

【0109】

Ｃ．第３実施形態：
次に、本開示の第３実施形態について、図１２を参照して説明する。上記第２実施形態では、第１コンプライアンス５１は、排出側共通流路４３のＹ軸方向の幅に亘ってＹ軸方向に連続するものとしたが、第３実施形態では、Ｙ軸方向において複数（本実施形態では２つ）に分割されている点が異なっている。

【0110】

図１２は、第３実施形態の液体吐出ヘッド１０において、第１吸収室４４の周辺構成を模式的に示す断面図である。図１２は、第１吸収室４４のＸ軸方向幅の略中央部分をＹＺ平面で切ったときの断面図であり、第１実施形態の図９に相当する断面図である。図１２に示すように、第１吸収室側凹部７６の底面において、各第１吸収室４４のそれぞれのＹ軸方向の開口幅Ｌ３の中央部に対向する部位には、周囲よりさらに深く凹んだ段部７９が設けられている。上記第２実施形態と同様に、段部７９以外の部位８０の深さｂは、圧力室側凹部７５の深さａより浅い。
上記第３実施形態によれば、上記第２実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0111】

Ｄ．他の形態：
（Ｄ１）上記各実施形態では、第１コンプライアンス５１において、第１吸収室４４と第１吸収室側凹部７６との間には、圧電体１５２、上部電極１５１、介在部材１５４、振動板２４の全てが設けられているものとしたが、これらのうちの一部を設ける構成としてもよい。第３コンプライアンス５３についても同様である。

【0112】

（Ｄ２）上記各実施形態では、各凹部７５，７６，７７の開口の深さにおいて、ａ＞ｃ＞ｂの関係を満たすものとしたが、少なくとも、圧力室側凹部７５と第１吸収室側凹部７６の深さの関係において、ａ＞ｂを満たしていればよい。よって、第１吸収室側凹部７６の深さｂが、圧力室側凹部７５の深さａより浅く、例えば、第２吸収室側凹部７７の深さｃは、圧力室側凹部７５の深さａもしくは第１吸収室側凹部７６の深さｂと同じでもよいし、深くても浅くてもよい。

【0113】

（Ｄ３）上記各実施形態の液体吐出装置１では、液体吐出ヘッド１０に流入した液体が循環する循環ヘッドとしたが、液体が循環しない非循環ヘッドであってもよい。非循環ヘッドの場合、排出側共通流路４３を備えないため、第２吸収室４５や圧電素子１６は備えず、圧電素子２０，１５を備える構成として実施できる。

【0114】

（Ｄ４）上記各実施形態の液体吐出装置１では、第１コンプライアンス５１～第４コンプライアンス５４までを設ける構成としたが、第１コンプライアンス５１および第３コンプライアンス５３のみを備える構成としてもよい。第２コンプライアンス５２および第４コンプライアンス５４を設けない場合には、当該コンプライアンス５２，５４の部分はノズル基板２１で形成してもよい。

【0115】

（Ｄ５）上記第１実施形態の液体吐出装置１において、介在部材１５４は設けなくてもよい。

【0116】

（Ｄ６）上記各実施形態の液体吐出装置１では、上部電極１５１は、圧力室Ｃの上部から第１吸収室４４の上部まで一続きの部材で形成されているものとしたが、分離していてもよい。また、上記第１実施形態では、図７に示すように、上部電極１５１および介在部材１５４を、第１吸収室側凹部７６のＸ軸方向の幅の一部に重なるように設けたが、第１吸収室側凹部７６のＸ軸方向の幅の全てに亘って存在するように設けてもよい。

【0117】

（Ｄ７）上記第３実施形態の液体吐出装置１では、第１コンプライアンス５１は、排出側共通流路４３のＹ軸方向において２つに分割されているものとしたが、３つ以上の複数に分割されていてもよい。コンプライアンスは、あまり細かく分割してしまうと変形が不十分となるため、コンプライアンスとしての振動吸収の役割を果たす程度の分割形態であればよい。

【0118】

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【0119】

（１）本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体吐出ヘッドであって、ノズルと、電圧が印加されることで駆動される圧電体と、前記圧電体の上部に位置し、前記圧電体と電気的に接続する上部電極と、前記圧電体の下部に位置し、前記圧電体と電気的に接続する下部電極と、前記下部電極の下部に位置し、前記圧電体の駆動によって振動する振動板と、前記振動板の振動によって前記ノズルから液体を吐出するための圧力が液体に付与される圧力室、および、前記圧力室に対して隣接し、前記圧力室から伝搬した液体の振動を吸収する第１吸収室が設けられた圧力室基板と、前記上部電極の上部に位置し、前記圧電体を覆うようにして設けられた封止基板と、を有し、前記封止基板には、前記圧力室に対応し、下部が開口し、大気開放された圧力室側凹部と、前記第１吸収室に対応し、下部が開口し、大気開放されていない第１吸収室側凹部と、が設けられ、前記圧力室側凹部の深さをａ、前記第１吸収室側凹部の深さをｂとしたとき、ａ＞ｂを満たすことを特徴とする。
この形態によれば、第１吸収室側凹部の深さｂが圧力室側凹部の深さａよりも浅く、第１吸収室側凹部の容積を小さくできるため、吸収効率を低下させることなく、例えば振動板により構成される振動吸収部材が、封止空間である第１吸収室側凹部の底面に張り付くことを抑制できる。このため、吸収室に対応する凹部と、圧力室に対応する凹部と、が設けられる封止基板の構成を好適化できる。

【0120】

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、ａ＞（１．１×ｂ）を満たしてもよい。

【0121】

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、ａ＞（１．３×ｂ）を満たしてもよい。

【0122】

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、ａ＜（１．８×ｂ）を満たしてもよい。

【0123】

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、ａ＜（１．５×ｂ）を満たしてもよい。

【0124】

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室と前記圧力室側凹部の間には、前記圧電体、前記上部電極、前記下部電極、前記振動板のすべてが設けられ、前記第１吸収室と前記第１吸収室側凹部の間には、前記圧電体、前記上部電極、前記下部電極と同じ材料で形成され前記下部電極と電気的に接続しない介在部材、前記振動板の少なくとも１つが設けられてもよい。

【0125】

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１吸収室と前記第１吸収室側凹部の間には、前記圧電体、前記上部電極、前記介在部材、前記振動板の全てが設けられてもよい。この形態によれば、圧力室と圧力室側凹部の間と、第１吸収室と第１吸収室側凹部の間とに設けられる部材構成をなるべく揃えて弾性率を近づけることができ、振動特性を均一にできる。

【0126】

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室基板には、前記圧力室から伝搬した液体の振動を吸収する第２吸収室が更に設けられ、前記封止基板には、前記第２吸収室に対応し、下部が開口し、大気開放されていない第２吸収室側凹部が更に設けられ、前記圧力室と前記第１吸収室の並ぶ方向を第１方向としたとき、前記圧力室と前記第１吸収室の前記第１方向における離間距離は、前記圧力室と前記第２吸収室の前記第１方向における離間距離よりも短くてもよい。

【0127】

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室、前記ノズル、前記第１吸収室、前記第２吸収室を有する個別流路を複数備え、前記圧力室基板には、前記複数の個別流路に共通に連通し、前記第１吸収室に液体を供給する供給側共通流路と、前記複数の個別流路に共通に連通し、前記第２吸収室から液体を排出する排出側共通流路と、が更に設けられてもよい。
この形態によれば、液体を供給する第１吸収室の方が、液体を排出する第２吸収室と比べて、圧力室からの距離が近いため、振動の吸収効率がより良い構成とできる。また、ノズルからの排出分を考えると、第１吸収室の方が第２吸収室よりも流量が多いため、流量が多く振動影響がより顕著に表れる第１吸収室において、効率的に振動吸収を行うことができる。そして、撓みが大きくなると想定される第１吸収室の振動吸収部材が、第１吸収室側凹部の底面に張り付くことを抑制できる。

【0128】

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２吸収室側凹部の深さをｃとしたとき、ａ＞ｃ＞ｂを満たしてもよい。
一般に、液体を供給する第１吸収室の方が、液体を排出する第２吸収室と比べて、圧力室からの距離が近く液体の振動影響を受けやすい。また、ノズルからの排出分を考えると、第１吸収室の方が第２吸収室よりも流量が多い。このため、流量が多く振動影響がより顕著に表れる第１吸収室に対応する第１吸収室側凹部において、振動吸収部材の張り付きを抑制できる。

【0129】

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室と前記第１吸収室の並ぶ方向を第１方向とし、前記第１方向と交差し、前記第１吸収室側凹部が延在する方向を第２方向としたとき、前記第１吸収室側凹部の底面の一部の領域においてａ＞ｂを満たし、前記一部の領域は、前記第２方向に沿った前記第１吸収室側凹部の開口幅の中央部を含まなくてもよい。
この形態によれば、開口幅の中央部を含まない一部の領域において、第１吸収室側凹部の底面の深さｂが、圧力室側凹部の深さａよりも浅いため、第１吸収室側凹部の容積を小さくできる。さらに、中央部を含まない一部の領域は、中央部と比較して封止基板の厚みが確保されるため、封止基板の剛性を高めることができる。なお、中央部については、ａ＞ｂを満たさないので、振動吸収部材変形時に第１吸収室側凹部との干渉を抑制できる。

【0130】

（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室と前記第１吸収室の並ぶ方向を第１方向とし、前記第１方向と交差し、前記第１吸収室側凹部が延在する方向を第２方向としたとき、前記第１吸収室側凹部は前記第２方向において複数に分割されて設けられ、前記第１吸収室側凹部の底面の一部の領域においてａ＞ｂを満たし、前記一部の領域は、前記第２方向に沿った前記第１吸収室側凹部の開口幅の中央部を含まなくてもよい。
この形態によれば、第２方向において複数に分割された第１吸収室側凹部を備える液体吐出ヘッドにおいて、振動吸収部材が第１吸収室側凹部の底面に張り付くことを好適に抑制できる。

【0131】

（１３）本開示の他の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる吐出動作を制御する制御部と、を有する。この形態によれば、液体吐出装置において、封止基板の構成を好適化できる。

【0132】

また、本開示は、インクジェット方式に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体消費ヘッドを備える液体吐出装置。

【0133】

「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であれば良い。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。また、第１液体と第２液体との組み合わせの代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクと反応液との組み合わせのほか、以下のものが挙げられる。
（１）接着剤の主剤および硬化剤
（２）塗料のベース塗料および希釈剤や、クリア塗料および希釈剤
（３）細胞用インクの細胞を含有する主溶媒および希釈溶媒
（４）金属光沢感を発現するインク（メタリックインク）のメタリックリーフ顔料分散液および希釈溶媒
（５）車両用燃料のガソリン・軽油およびバイオ燃料
（６）薬品の薬主成分および保護成分
（７）発光ダイオード（ＬＥＤ）の蛍光体および封止材

【0134】

さらに、本開示は、上述した液体吐出ヘッド、液体吐出装置としての形態に限らず、液体吐出システムや、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。

【符号の説明】

【0135】

１…液体吐出装置、２…液体容器、３…キャリッジ、４…キャリッジ搬送機構、４ａ…搬送ベルト、５…媒体搬送機構、５ａ…搬送ローラー、６…リニアエンコーダー、７…駆動回路、８…循環機構、１０…液体吐出ヘッド、１１…上部電極配線、１２…下部電極配線、１３…接着剤、１５，１６，２０…圧電素子、２１…ノズル基板、２２…連通板、２３…圧力室基板、２４…振動板、２５…封止基板、２８…区画部、３０…制御部、３１…ＣＰＵ、３２…駆動信号生成回路、３５…記憶部、３６…ＲＯＭ、３７…ＲＡＭ、４１…供給側共通流路、４２…個別流路、４３…排出側共通流路、４４…第１吸収室（供給側吸収室）、４５…第２吸収室（排出側吸収室）、５１…第１コンプライアンス、５２…第２コンプライアンス、５３…第３コンプライアンス、５４…第４コンプライアンス、５５，５６…分割コンプライアンス、６０…ＣＯＦ（配線基板）、６１，６２，６３…供給側液室部、６５…第１連通流路、６６…第２連通流路、６７…第３連通流路、７１，７２，７３…排出側液室部、７５…圧力室側凹部、７６…第１吸収室側凹部、７７…第２吸収室側凹部、７８…貫通孔、７９…段部、８２…回収流路、８３…ポンプ、１１１…本体配線部、１１２…接続配線部、１１３…開口部、１５１…上部電極、１５２…圧電体、１５３…下部電極、１５４…介在部材、２４１…第１絶縁層、２４２…第２絶縁層、Ｃ…圧力室、Ｄ１…距離、Ｄ２…距離、Ｎ…ノズル、ＰＡ…印刷用紙

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】