特開 2024-116674 扉開閉装置およびサーマルクリーンチャンバー

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024116674

(43)【公開日】2024-08-28

(54)【発明の名称】扉開閉装置およびサーマルクリーンチャンバー

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20240821BHJP

   E05D 15/06 20060101ALI20240821BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

E05D15/06 117

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023022409

(22)【出願日】2023-02-16

(71)【出願人】

【識別番号】591066465

【氏名又は名称】日本エアーテック株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000238197

【氏名又は名称】扶桑電機工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104547

【弁理士】

【氏名又は名称】栗林 三男

(74)【代理人】

【識別番号】100206612

【弁理士】

【氏名又は名称】新田 修博

(74)【代理人】

【識別番号】100209749

【弁理士】

【氏名又は名称】栗林 和輝

(74)【代理人】

【識別番号】100217755

【弁理士】

【氏名又は名称】三浦 淳史

(72)【発明者】

【氏名】豊田 貴大

(72)【発明者】

【氏名】丸山 秋広

(72)【発明者】

【氏名】岡野 宏志

(72)【発明者】

【氏名】中野 慎吾

(72)【発明者】

【氏名】田口 清城

【テーマコード（参考）】

2E034

3L058

【Ｆターム（参考）】

2E034AA00

2E034BD01

2E034CB00

3L058BF09

3L058BG05

(57)【要約】

【課題】検査室内に出入口を通してワーク（製品）を搬入・搬出する際に、出入口を開閉する扉の駆動部からワークに塵が落下して付着するのを防止できる扉開閉装置および扉開閉装置を備えたサーマルクリーンチャンバーを提供する。
【解決手段】検査室１ａ内に出入口５を通してワークを搬入・搬出する際に、扉６を左右に移動させることで、当該扉６によって出入口５を開閉させる扉開閉装置２０であって、出入口５の上方に扉６を開閉駆動させる駆動部２１が設けられ、駆動部２１と出入口５との間に、屋根部２３が当該屋根部の先端縁部２３ａを上下方向において出入口５の位置と重なるように設けられ、駆動部２１は、上下方向において出入口５と重ならないように屋根部２３の基端縁部側に寄せて配置されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

検査室内に出入口を通してワークを搬入・搬出する際に、扉を左右に移動させることで、当該扉によって前記出入口を開閉させる扉開閉装置であって、
前記出入口の上方に前記扉を開閉駆動させる駆動部が設けられ、
前記駆動部と前記出入口との間に、屋根部が当該屋根部の先端縁部を上下方向において前記出入口の位置と重なるように設けられ、
前記駆動部は、上下方向において前記出入口と重ならないように前記屋根部の基端縁部側に寄せて配置されていることを特徴とする扉開閉装置。

【請求項2】

前記駆動部は、扉の移動方向において離間して配置された駆動プーリおよび従動プーリと、これら駆動プーリおよび従動プーリに巻き掛けられたベルトと、を備え、
前記ベルトに前記屋根部の先端縁部を越えて扉に向けて延出するアームが取り付けられ、このアームに前記扉が連結されていることを特徴とする請求項１に記載の扉開閉装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の扉開閉装置を備えたことを特徴とするサーマルクリーンチャンバー。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、サーマルクリーンチャンバー等の検査室にワークを搬入・搬出するための出入口の扉を開閉する扉開閉装置および扉開閉装置を備えたサーマルクリーンチャンバーに関する。

【背景技術】

【0002】

ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）ガラス基板を検査・製造する際にはガラス基板及び検査・製造装置周囲の温度分布が均一でないと、ガラス基板もしくは検査・製造装置が温度差により伸縮し測定精度に影響を与える。従って、必ず事前に定められた設定温度の環境内で測定が行なわれなければならない。
サーマルクリーンチャンバーはその天井部全面から精密に温度制御されたエアーを供給し、庫内に設置された検査・製造装置本体及びその周囲の温度を高精度に安定させているため、上述した測定等に使用される。
このようなサーマルクリーンチャンバーの一例として、特許文献１に記載のものが知られている。このサーマルクリーンチャンバーは、クリーンルーム内に配置されており、当該クリーンルームからの被加工用ガラス基板（製品、ワーク）を受け入れる出入口及びそれに連なるガラス基板搬送路を有している。また、出入口は、上下スライド式の自動シャッタ（扉）によって開閉されるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－２３７５１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、サーマルクリーンチャンバーの出入口を左右スライド式の扉（シャッタ）によって開閉する場合がある。この場合、シャッタの上部に設置されている駆動部（ベルト、プーリ、ギヤ等）より発塵し、当該塵が製品（ガラス基板）上に落下する不具合が発生するおそれがある。
すなわち、従来の左右スライド式の扉開閉装置では、駆動部が扉によって開閉される出入口の上部に設置されているため、駆動部より発塵した場合、製品（ワーク、ガラス基板）がパーティクル（発塵によって生じた数百～数十ｎｍレベルの微粒子）によって影響を受け易い。

【0005】

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、サーマルクリーンチャンバー等の内部の検査室内に出入口を通してワーク（製品）を搬入・搬出する際に、出入口を開閉する扉の駆動部からワークに塵が落下して付着するのを防止できる扉開閉装置および扉開閉装置を備えたサーマルクリーンチャンバーを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明に係る扉開閉装置は、検査室内に出入口を通してワークを搬入・搬出する際に扉を左右に移動させることで、当該扉によって前記出入口を開閉させる扉開閉装置であって、
前記出入口の上方に前記扉を開閉駆動させる駆動部が設けられ、
前記駆動部と前記出入口との間に、屋根部が当該屋根部の先端縁部を上下方向において前記出入口の位置と重なるように設けられ、
前記駆動部は、上下方向において前記出入口と重ならないように前記屋根部の基端縁部側に寄せて配置されていることを特徴とする。

【0007】

本発明においては、駆動部と出入口との間に、屋根部が当該屋根部の先端縁部を上下方向において出入口の位置と重なるように設けられるとともに、扉を開閉駆動させる駆動部が、上下方向において出入口と重ならないように屋根部の基端縁部側に寄せて配置されているので、駆動部から発塵しても、当該塵は平面視において出入口より屋根部の基端縁部側に寄った位置において、屋根部に落下して、それ以上の落下が防止されるので、塵が出入口を通る製品（ガラス基板）に付着するのを防止できる。

【0008】

また、本発明の前記構成において、前記駆動部は、扉の移動方向において離間して配置された駆動プーリおよび従動プーリと、これら駆動プーリおよび従動プーリに巻き掛けられたベルトと、を備え、
前記ベルトに前記屋根部の先端縁部を越えて扉に向けて延出するアームが取り付けられ、このアームに前記扉が連結されていてもよい。

【0009】

このような構成によれば、扉を開閉駆動させる駆動部が、上下方向において出入口と重ならないように、つまり、扉と重ならないように、検査室側に寄せて配置されていても、ベルトに屋根部の先端縁部を越えて扉に向けて延出するアームが取り付けられ、このアームに扉が連結されているので、当該アームによって、容易に扉を左右に移動させることができる。

【0010】

また、本発明のサーマルクリーンチャンバーは、前記扉開閉装置を備えたことを特徴とする。

【0011】

本発明においては、サーマルクリーンチャンバーの内部の検査室内に出入口を通してワーク（製品）を搬入・搬出する際に、出入口を開閉する扉開閉装置の駆動部からワークに塵が落下して付着するのを防止できる。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、検査室内に出入口を通してワーク（製品）を搬入・搬出する際に、出入口を開閉する扉の駆動部からワークに塵が落下して付着するのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施形態に係る扉開閉装置を示すもので、側断面図である。

【図2】同、正面図である。

【図3】本発明の実施形態に係る扉開閉装置を備えたサーマルクリーンチャンバーの概略構成を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は本実施形態に係る扉開閉装置を示す側断面図、図２は同扉開閉装置を示す正面図、図３はサーマルクリーンチャンバーの概略構成を示す断面図である。
本実施形態は、本発明に係る扉開閉装置をサーマルクリーンチャンバーに適用したものである。サーマルクリーンチャンバーはその天井部全面から精密に温度制御されたエアーを供給し、庫内の検査室に設置された検査・製造装置本体及びその周囲の温度を高精度に安定させている。このため、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）ガラス基板（ワーク）を検査・製造する際に好適に使用される。

【0015】

図３に示すように、サーマルクリーンチャンバー１は、全自動化されたＦＰＤ工場においてクリーンルーム２内に設置され、内部の検査室１ａにＦＰＤ検査・製造装置３が収容されている。サーマルクリーンチャンバー１には被加工用のガラス基板用搬送路５ａの出入口５が設けられ、左右スライド式の自動シャッタ（扉）６，６によって出入口５が開閉されるようになっている。

【0016】

出入口からＦＰＤ検査・製造装置３に送られるガラス基板４は、図示しない適宜搬送手段で担持されるが、出入口５からＦＰＤ検査・製造装置３に至る間にガラス基板４の温度慣らしのための気流雰囲気中を通過させるように搬送路５ａを構成している。

【0017】

サーマルクリーンチャンバー１の天井部は、噴出ダクト８が設置されＦＰＤ検査・製造装置３の上位に噴気口８ａを開口している。噴気口８ａの噴気はガラス基板４上の水平気流が舞上がるのを防止し温度慣らし時間を短縮させ、またガラス基板４がＦＰＤ検査・製造装置３の所定位置に設置された後には同装置３上面の舞上がり気流を抑えて温度を安定化させる。

【0018】

サーマルクリーンチャンバー１はＦＰＤ検査・製造装置３を収容した作業空間（検査室）１ａの周囲に、冷却コイル１０、ヒーター１１、ファン１２等を収納したダクト１６が設けられ、ヘパフィルター１３を収容したダクト８，７及びそれぞれに圧力空気を送るダクト１４，１５を有している。
ＦＰＤ検査・製造装置３は、大型石定盤上にガラス基盤を設置する高精度ガラステーブル３ａと基板上の各座標点を検出する顕微鏡３ｃとを備え、エアスライダーやＬＭガイド等の駆動部３ｂにより高精度ガラステーブルや顕微鏡３ｃをＸＹ軸方向へ移動させ測定する。

【0019】

このようなサーマルクリーンチャンバー１では、コイル１０及び電気ヒーター１１で所定温度にて精密に保たれたエアーがファン１２からダクト１４を通り、噴出ダクト８内に設置されたヘパフィルター１３を介して作業空間（検査室）１ａ内に噴出する。ダクト８の噴気口８ａから噴出したエアーはＦＰＤ検査・製造装置３の上面の舞上がり気流を抑え、また駆動部３ｂ後方のデットゾーン９を解消し、さらに検査・製造装置後方の舞上がり気流を抑えて有効に温度慣らし作業と温度の安定化を行なっている。

【0020】

次に、本発明に係る扉開閉装置２０について図１および図２を参照して説明する。
図１は、扉開閉装置２０の側断面図、図３は扉開閉装置の正面図である。
図１および図２に示すように、出入口５の上方には、扉６，６を開閉駆動させる駆動部２１が設けられている。本実施形態（本発明）でいう「出入口５」とは、扉６，６によって開閉される開口部のことを意味する。また、本実施形態では、扉６は、前後方向（図１において左右方向、図２において紙面と直交する方向）に配置された前扉６ａと、後扉６ｂとを有している。このような前扉６ａと後扉６ｂを有する扉６が、図２において、左右に一対配置され、出入口５は、左右一対の扉６，６が左右に互いに逆方向に移動することによって、開閉されるようになっている。

【0021】

駆動部２１と出入口５との間には、屋根部２３が当該屋根部２３の先端縁部２３ａを上下方向において（平面視において）、出入口５の位置と重なるようにして設けられている。先端縁部２３ａは、屋根部２３の先端部を上方に略直角に折曲して形成されたものである。この屋根部２３の上面には、駆動部２１で発塵した塵が落下するが、この落下した塵は先端縁部２３ａによって屋根部２３の先端を飛び越えるのを防止されている。

【0022】

駆動部２１は以下のように構成されている。
すなわちまず、図１に示すように、サーマルクリーンチャンバー１の前壁１ｂの上端部にモータ３０が取り付けられている。モータ３０は、図２に示すように、前壁１ｂの上端部でかつ一端部（右端部）に取り付けられており、このモータ３０の回転軸（駆動軸）に駆動プーリ３１が取り付けられている。モータ３０の回転軸は扉６，６の移動方向と直交する方向（図１において左右方向、図２において紙面と直交する方向）に向けられている。したがって、駆動プーリ３１は前壁１ｂと平行な鉛直面内において回転するようになっている。また、モータ３０の回転軸は正逆方向に回転可能となっており、これに伴って駆動プーリ３１も正逆方向（時計回りおよび反時計回り）に回転可能となっている。
また、図２に示すように、前壁１ｂの上端部でかつ他端部（左端部）には、正逆方向（時計回りおよび反時計回り）に回転可能な従動プーリ３２が駆動プーリ３１と同高さ位置に設けられている。また、駆動プーリ３１と従動プーリ３２とは、扉６の移動方向（図２において左右方向）に離間して配置されている。
駆動プーリ３１と従動プーリ３２とにはベルト３３が巻き掛けられており、このベルト３３は駆動プーリ３１がモータ３０によって正逆方向に回転することによって、駆動プーリ３１と従動プーリ３２との間で正逆方向に回転するようになっている。

【0023】

また、図１および図２に示すように、ベルト３３には、屋根部２３の先端縁部２３ａを越えて扉６，６に向けて延出する扉側に向けて延出するアーム３５，３５が取り付けられ、このアーム３５，３５に扉６，６の前扉６ａ，６ａが連結されている。図２において左側の前扉６ａに連結されたアーム３５は、ベルト３３の上側ベルト３３ａに連結され、右輪の前扉６ａに連結されたアーム３５は、ベルト３３の下側ベルト３３ｂに連結されている。
アーム３５は、下端部に水平アーム３５ａを有しており、この水平アーム３５ａの両端部に連結アーム３５ｂ，３５ｂを有している。当該連結アーム３５ｂ，３５ｂの下端部は前扉６ａ，６ａの上辺部に連結されている。

【0024】

したがって、ベルト３３が時計回りに回転移動することによって、左側の前扉６ａは右側に移動し、右側の前扉６ａは左側に移動し、これによって、左右の前扉６ａ，６ａが互いに近づいて行き、対向する側端面どうしが当接することによって、出入口５の略半分（左右方向の略半分）を閉じるようになっている。一方、ベルト３３が反時計回りに回転移動することによって、左側の前扉６ａは左側に移動し、右側の前扉６ａは右側に移動し、左右の前扉６ａ，６ａが互いには離れて行き、前扉６ａ，６ａの対向する側端面が出入口５の左右の縦縁部に位置することによって、出入口５を開けるようになっている。

【0025】

また、水平アーム３５ａの両端部には、ローラ３７，３７が回転可能に取り付けられ、当該ローラ３７，３７は、レール３８上を転動するようになっている。レール３８は扉６，６（前扉６ａ，６ａ）の移動方向（図２において左右方向、図１において紙面と直交する方向）に延在するようにして配置され、当該レール３８は前記屋根部２３の下面に固定されている。このように、前扉６ａは、アーム３５によってローラ３７，３７を介してレール３８に左右方向に移動可能に吊持されている。したがって、アーム３５がベルト３３によって左右に移動すると、ローラ３７がレール３８上を転動して行き、アーム３５の移動、つまり前扉６ａの移動がスムーズとなる。

【0026】

また、前記後扉６ｂは、前扉６ａの移動に伴って当該前扉６ａの移動方向と同方向に移動するようになっている。
すなわちまず、前記ベルト３３の下方には、後扉６ｂの移動方向（図１において紙面と直交する方向、図２において左右方向）に延在する移動フレーム４０が水平に設けられており、この移動フレーム４０には、ローラ４１，４１が図２において左右に離間し、かつ回転可能に取り付けられている。
一方、前壁１ｂには、レール４２が移動フレーム４０と平行に固定されており、このレール４２上をローラ４１，４１が転動可能となっている。したがって、移動フレーム４０はレール４２に沿って図２において左右方向（図１において紙面と直交する方向）に移動可能となっている。

【0027】

また、移動フレーム４０の両端部には、一対のプーリ４３，４３が図２において左右方向に離間し、かつ回転可能に取り付けられ、当該プーリ４３，４３にはベルト４４が巻き掛けられている。
一方、前扉６ａに連結されたアーム３５の水平アーム３５ａには、当該水平アーム３５ａから上方に延びる連結アーム３５ｄの下端部が連結され、当該連結アーム３５ｄの上端部はベルト４４の上側ベルト４４ａに連結されている。

【0028】

また、後扉６ｂの上辺部の一方の端部には連結アーム４５の下端部が連結され、この連結アーム４５の上端部は、前記移動フレーム４０に連結されている。連結アーム４５にはローラ４６が回転可能に取り付けられ、このローラ４６はレール４７上を転動可能となっている。レール４７は図２において左右に延在しており、前記屋根部２３の下面に鉛直に設けられた固定部４８（図１参照）に水平に固定されている。
一方、後扉６ｂの上辺部の他方の端部には、支持アーム４９が連結されており、この支持アーム４９にローラ５０が回転可能に取り付けられている。このローラ５０はレール４７上を転動可能となっている。このように、後扉６ｂは、連結アーム４５および支持アーム４９によってローラ４６，５０を介してレール４７に左右方向に移動可能に吊持されている。したがって、移動フレーム４０が図２において左右方向に移動すると、これに伴って後扉６ｂが左右方向にスムーズに移動する。

【0029】

移動フレーム４０には、一対のプーリ４３，４３が取り付けられ、当該プーリ４３，４３に巻き掛けられたベルト４４に連結アーム３５ｄが連結され、当該連結アーム３５ｄが前扉６ａに連結されているので、当該前扉６ａの移動に伴って、後扉６ｂが前扉６ａの移動速度より減速されて前扉６ａと同方向に移動する。

【0030】

上述したように駆動部２１は、モータ３０、駆動プーリ３１、従動プーリ３２、ベルト３３、一対のプーリ４３，４３、ベルト４４を備えている。したがって、このような駆動部２１では、図２に示す状態において、モータ３０によってベルト３３が反時計回りに回転すると、左側の前扉６ａは、上側ベルト３３ａに連結されているアーム３５を介して左側に移動し、右側の前扉６ａは、下側ベルト３３ｂに連結されているアーム３５を介して右側に移動する。これによって、左右の前扉６ａ，６ａは互いに離間するように左右方向に移動し、出入口５が開く。
一方、出入口５が開いた状態において、モータ３０によってベルト３３が時計回りに回転すると、左側の前扉６ａは、上側ベルト３３ａに連結されているアーム３５を介して右側に移動し、左側の前扉６ａは、下側ベルト３３ｂに連結されているアーム３５を介して左側に移動する。これによって、左右の前扉６ａ，６ａは互いに接近するように左右方向に移動し、左右の前扉６ａ，６ａが互いに当接することによって、出入口５が閉じる。

【0031】

また、図２に示す状態において、左側の前扉６ａが左側に移動すると、当該前扉６ａに下端部が連結されている連結アーム３５ｄの上端部がベルト４４の上側ベルト４４ａに連結されているので、上側ベルト４４ａは左側に引っ張られ、これによって移動フレーム４０は左側に移動する。ベルト４４は移動フレーム４０に取り付けられているプーリ４３，４３に巻き掛けられているので、移動フレーム４０は前扉６ａの左側への移動速度より減速されて、左側に移動する。
移動フレーム４０が左側に移動すると、移動フレーム４０は連結アーム４５によって左側の後扉６ｂに連結されているので、当該後扉６ｂが左側に移動する。つまり、後扉６ｂは前扉６ａより減速されて左側に移動する。

【0032】

また、図２に示す状態において、右側の前扉６ａが右側に移動すると、当該前扉６ａに下端部が連結されている連結アーム３５ｄの上端部がベルト４４の上側ベルト４４ａに連結されているので、上側ベルト４４ａは右側に引っ張られ、これによって移動フレーム４０は右側に移動する。ベルト４４は移動フレーム４０に取り付けられているプーリ４３，４３に巻き掛けられているので、移動フレーム４０は、前扉６ａの右側への移動速度より減速されて、右側に移動する。
移動フレーム４０が右側に移動すると、移動フレーム４０は連結アーム４５によって右側の後扉６ｂに連結されているので、当該後扉６ｂが右側に移動する。つまり、後扉６ｂは前扉６ａより減速されて右側に移動する。

【0033】

このように、左右の後扉６ｂ，６ｂが互いに離間するように左右に移動することによって、出入口５が開く。

【0034】

一方、出入口５が開いた状態において、左側の前扉６ａが右側に移動すると、上側ベルト４４ａは右側に引っ張られ、これによって移動フレーム４０は右側に移動する。ベルト４４は移動フレーム４０に取り付けられているプーリ４３，４３に巻き掛けられているので、移動フレーム４０は前扉６ａの右側への移動速度より減速されて、右側に移動する。
移動フレーム４０が右側に移動すると、移動フレーム４０は連結アーム４５によって左側の後扉６ｂに連結されているので、当該後扉６ｂが右側に移動する。つまり、後扉６ｂは前扉６ａより減速されて右側に移動する。
また、出入口５が開いた状態において、右側の前扉６ａが左側に移動すると、上側ベルト４４ａは左側に引っ張られ、これによって移動フレーム４０は左側に移動する。ベルト４４は移動フレーム４０に取り付けられているプーリ４３，４３に巻き掛けられているので、移動フレーム４０は前扉６ａの左側への移動速度より減速されて、左側に移動する。
移動フレーム４０が左側に移動すると、移動フレーム４０は連結アーム４５によって左側の後扉６ｂに連結されているので、当該後扉６ｂが左側に移動する。つまり、後扉６ｂは前扉６ａより減速されて左側に移動する。

【0035】

このように、左右の後扉６ｂ，６ｂが互いに接近するように左右に移動することによって、出入口５が閉じる。

【0036】

また、前扉６ａと後扉６ｂの左右の幅がほぼ等しいとすると、後扉６ｂの移動速度が、前扉６ａの移動速度の約１／２となり、かつ、出入口５が扉６，６によって閉じられた状態から前扉６ａおよび後扉６ｂが開く方向に移動し、前扉６ａおよび後扉６ｂの前側端面が出入口５の縦縁部にほぼ同時に到着するように、さらに、出入口５が開いた状態から前扉６ａおよび後扉６ｂが閉じる方向に移動し、前扉６ａ，６ａが互いに当接して停止したと同時に後扉６ｂ，６ｂの後側端麺が出入口の縦縁部に到着するように、プーリ４３，４３の径およびベルト４４の長さが設定されている。

【0037】

以上のように本実施形態によれば、駆動部２１と出入口５との間に、屋根部２３が当該屋根部２３の先端縁部を上下方向において出入口５の位置と重なるように設けられるとともに、扉６，６を開閉駆動させる駆動部２１が、上下方向において出入口５と重ならないように屋根部２３の基端縁部側に寄せて配置されているので、駆動部２１から発塵しても、当該塵は平面視において出入口５より屋根部２３の基端縁部側に寄った位置において、屋根部２３に落下して、それ以上の落下が防止されるので、塵が出入口５を通る製品（ガラス基板）に付着するのを防止できる。

【0038】

また、駆動部２１は、扉６，６の移動方向において離間して配置された駆動プーリ３１および従動プーリ３２と、これら駆動プーリ３１および従動プーリ３２に巻き掛けられたベルト３３と、を備え、ベルト３３に屋根部２３の先端縁部２３ａを越えて前扉６ａに向けて延出するアーム３５が取り付けられ、このアーム３５に前扉６ａ，６ａが連結されているので、駆動部２１が、上下方向において出入口と重ならないように、つまり、前扉６ａ，６ａと重ならないように、検査室側に寄せて配置されていても、ベルト３３によって移動するアーム３５によって、容易に前扉６ａ，６ａを左右に移動させることができる。

【0039】

さらに、駆動部２１は、ベルト４４が巻き掛けられた一対のプーリ４３，４３を有する移動フレーム４０が、前扉６ａの移動に伴って減速されて移動し、これによって後扉６ｂも減速されて移動するので、前扉６ａと後扉６ｂとによって出入口５を同時に開閉できる。
また、検査室１ａがサーマルクリーンチャンバー１に設けられているので、検査室１ａ内に出入口５を通してワーク（製品）を搬入・搬出する際に、出入口５を開閉する扉６，６の駆動部２１からワークに塵が落下して付着するのを防止できる。

【0040】

なお、本実施形態では、サーマルクリーンチャンバー１の出入口５を前扉６ａおよび後扉６ｂを有する一対の扉６，６で開閉するようにしたが、これに限ることはない。例えば、前扉６ａの左右の幅を２倍とすることで出入口５の幅方向の1/2の幅を有する扉とするとともに後扉６ｂを省略してもよい。
この場合、出入口５は左右一対の扉で開閉されることになり、駆動部２１については、移動フレーム４０、一対のプーリ４３，４３およびベルト４４等を省略できる。

【0041】

また、本実施形態では、本発明に係る扉開閉装置を、サーマルクリーンチャンバー１の出入口５を開閉するものに適用したが、扉開閉装置は、他の装置や部屋の出入口の扉開閉装置に適用してもよい。

【符号の説明】

【0042】

１ サーマルクリーンチャンバーの概略構成を示す断面図
１ａ 検査室
５ 出入口
６ 扉
６ａ 前扉
６ｂ 後扉
２０ 扉開閉装置
２１ 駆動部
２３ 屋根部
３１ 駆動プーリ
３２ 従動プーリ
３３ ベルト
３５ アーム

【図1】

【図2】

【図3】