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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024011673
(43)【公開日】2024-01-25
(54)【発明の名称】研磨方法
(51)【国際特許分類】
B24B 31/10 20060101AFI20240118BHJP
H01G 4/30 20060101ALI20240118BHJP
H01F 41/04 20060101ALN20240118BHJP
【ＦＩ】
B24B31/10 Z
H01G4/30 517
H01G4/30 311Z
H01F41/04 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022113883
(22)【出願日】2022-07-15
(71)【出願人】
【識別番号】000003067
【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100124062
【弁理士】
【氏名又は名称】三上 敬史
(72)【発明者】
【氏名】中村 淳
(72)【発明者】
【氏名】吉山 鉄也
【テーマコード（参考）】
3C158
5E001
5E062
5E082
【Ｆターム（参考）】
3C158AA01
3C158CB01
3C158CB10
5E001AH05
5E062FF03
5E082LL01
(57)【要約】
【課題】セラミック素子へのダメージが抑制され得る研磨方法を提供する。
【解決手段】研磨方法は、複数のチップ部品１と複数のメディア２とをバレル槽に充填し、湿式バレル研磨を行うことを含んでいる。各チップ部品１は、素体１０を含んでいる。素体１０の複数の頂点のうち、素体２における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る仮想球体Ｓ１の直径は、“Ｄ”である。メディア２の最大幅は、“ｄ”である。素体１０における第三方向の長さは、“Ｔ”である。メディア２の密度は、“ρ”である。この場合に、２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５、ｄ／Ｔ≦１．７、及び、２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３なる関係が満たされている。
【選択図】図４
【解決手段】研磨方法は、複数のチップ部品１と複数のメディア２とをバレル槽に充填し、湿式バレル研磨を行うことを含んでいる。各チップ部品１は、素体１０を含んでいる。素体１０の複数の頂点のうち、素体２における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る仮想球体Ｓ１の直径は、“Ｄ”である。メディア２の最大幅は、“ｄ”である。素体１０における第三方向の長さは、“Ｔ”である。メディア２の密度は、“ρ”である。この場合に、２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５、ｄ／Ｔ≦１．７、及び、２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３なる関係が満たされている。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
各々が素体を含んでいる複数のチップ部品と、複数のメディアとをバレル槽に充填し、湿式バレル研磨を行うことを含んでおり、
各前記素体は、第一方向において互いに対向する一対の端面と、前記第一方向に交差する第二方向において互いに対向する一対の側面と、前記第一方向及び前記第二方向に交差する第三方向において互いに対向する一対の主面とを含んでいる直方体形状を呈しており、
前記素体において、前記第三方向の長さは、前記第一方向の長さ及び前記第二方向の長さよりも短く、
前記素体の複数の頂点のうち、前記素体における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る仮想球体の直径が“Ｄ”であり、前記メディアの最大幅が“ｄ”であり、前記素体における前記第三方向の長さが“Ｔ”であり、前記メディアの密度が“ρ”である場合に、
２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５
ｄ／Ｔ≦１．７
２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３
なる関係が満たされている、研磨方法。
各前記素体は、第一方向において互いに対向する一対の端面と、前記第一方向に交差する第二方向において互いに対向する一対の側面と、前記第一方向及び前記第二方向に交差する第三方向において互いに対向する一対の主面とを含んでいる直方体形状を呈しており、
前記素体において、前記第三方向の長さは、前記第一方向の長さ及び前記第二方向の長さよりも短く、
前記素体の複数の頂点のうち、前記素体における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る仮想球体の直径が“Ｄ”であり、前記メディアの最大幅が“ｄ”であり、前記素体における前記第三方向の長さが“Ｔ”であり、前記メディアの密度が“ρ”である場合に、
２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５
ｄ／Ｔ≦１．７
２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３
なる関係が満たされている、研磨方法。
【請求項2】
前記第一方向の長さが“Ｌ”であり、前記第二方向の長さが“Ｗ”である場合に、
５．２ｍｍ≦Ｌ≦６．０ｍｍ
４．６ｍｍ≦Ｗ≦５．４ｍｍ
１．５ｍｍ≦Ｔ≦３．１ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
５．２ｍｍ≦Ｌ≦６．０ｍｍ
４．６ｍｍ≦Ｗ≦５．４ｍｍ
１．５ｍｍ≦Ｔ≦３．１ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
【請求項3】
１．０ｍｍ＜ｄ＜３．０ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、請求項２に記載の研磨方法。
なる関係がさらに満たされている、請求項２に記載の研磨方法。
【請求項4】
１．５ｍｍ≦ｄ≦３．０ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、請求項２に記載の研磨方法。
なる関係がさらに満たされている、請求項２に記載の研磨方法。
【請求項5】
０．４≦ｄ／Ｔ
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
【請求項6】
０．６≦ｄ／Ｔ
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
【請求項7】
Ｄ／ｄ≦５．３
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
なる関係がさらに満たされている、請求項１に記載の研磨方法。
【請求項8】
前記メディアの硬度は、ロックウェル硬さ試験のＨＲ１５Ｔにおける１００以下に相当する、請求項１から７のいずれか一項に記載の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、研磨方法に関する。
【背景技術】
【0002】
バレル研磨によってチップ部品の素体を研磨する研磨方法が知られている（たとえば、特許文献１）。湿式バレル研磨において、複数のチップ部品と複数のメディアとが、バレル槽に充填され撹拌される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００５－１５０２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
湿式バレル研磨において、メディアは素体に接し、素体の研磨を推進する。さらに、メディアは、素体同士の接触を抑制し、素体のダメージを抑制すると考えられる。本願発明者は、メディアと素体との各種パラメータの関係に応じて、素体へのダメージが変化することに着目した。
【0005】
本発明の一つの態様は、素体へのダメージが抑制され得る研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一つの態様における研磨方法は、複数のチップ部品と複数のメディアとをバレル槽に充填し、湿式バレル研磨を行うことを含んでいる。各チップ部品は、素体を含んでいる。各素体は、第一方向において互いに対向する一対の端面と、第一方向に交差する第二方向において互いに対向する一対の側面と、第一方向及び前記第二方向に交差する第三方向において互いに対向する一対の主面とを含んでいる直方体形状を呈している。素体において、第三方向の長さは、第一方向の長さ及び第二方向の長さよりも短い。素体の複数の頂点のうち、素体における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る仮想球体の直径は、“Ｄ”である。メディアの最大幅は、“ｄ”である。素体における第三方向の長さは、“Ｔ”である。メディアの密度は、“ρ”である。この場合に、２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５、ｄ／Ｔ≦１．７、及び、２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３なる関係が満たされている。
【0007】
本願発明者は、メディアと素体との各種パラメータの関係に応じて、素体にカケが生じることを見出した。たとえば、メディアの幅が小さいほど、素体間の距離が確保されがたいと考えられる。メディアの幅が大きいほど、１つのメディアが素体の表面から離れた場合における素体の表面の露出面積が大きい。上記研磨方法では、メディアと素体とのパラメータにおいて適切な関係が確保されており、素体におけるカケの発生が抑制され得る。
【0008】
上記一つの態様では、第一方向の長さが“Ｌ”であり、第二方向の長さが“Ｗ”である場合に、５．２ｍｍ≦Ｌ≦６．０ｍｍ、４．６ｍｍ≦Ｗ≦５．４ｍｍ、及び、１．５ｍｍ≦Ｔ≦３．１ｍｍなる関係がさらに満たされていてもよい。この場合、素体におけるカケの抑制が顕著に表れ得る。
【0009】
上記一つの態様では、１．０ｍｍ＜ｄ＜３．０ｍｍなる関係がさらに満たされていてもよい。この場合、素体におけるカケの抑制がさらに抑制され得る。。
【0010】
上記一つの態様では、１．５ｍｍ≦ｄ≦３．０ｍｍなる関係がさらに満たされていてもよい。この場合、素体におけるカケの抑制がさらに抑制され得る。。
【0011】
上記一つの態様では、０．４≦ｄ／Ｔなる関係がさらに満たされていてもよい。この場合も、素体におけるカケがさらに抑制され得る。
【0012】
上記一つの態様では、０．６≦ｄ／Ｔなる関係がさらに満たされていてもよい。この場合も、素体におけるカケがさらに抑制され得る。
【0013】
上記一つの態様では、Ｄ／ｄ≦５．３なる関係がさらに満たされていてもよい。この場合も、素体におけるカケがさらに抑制され得る。
【0014】
上記一つの態様では、メディアの硬度は、ロックウェル硬さ試験における１００以下であってもよい。この場合も、素体におけるカケがさらに抑制され得る。
【発明の効果】
【0015】
本発明の一つの態様は、素体へのダメージが抑制され得る研磨方法を提供することを目的とする。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本実施形態における素体と、素体の概形を示す仮想球体とを示している。
【図2】（ａ）から（ｅ）は素体とメディアとの接触状態を示す図である。
【図3】（ａ）から（ｅ）は、素体とメディアとの接触状態を示す図である。
【図4】互いに異なる素体が接触している状態を示す図である。
【図5】互いに異なる素体が接触している状態を示す図である。
【図6】カケの不良とメディアの幅との関係を示すグラフである。
【図7】（ａ）及び（ｂ）は、カケの状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態が詳細に説明される。図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号が用いられ、重複する説明は省略される。
【0018】
本実施形態における研磨方法では、複数のチップ部品１を複数のメディア２を用いて研磨する。当該研磨方法は、湿式バレル研磨である。チップ部品１は、素体１０と素体１０内部に設けられた内部電極とを含んでいる。チップ部品１は、たとえば、積層電子部品を構成する。積層電子部品は、たとえば、積層コンデンサ、及び、積層インダクタなどである。
【0019】
素体１０は、たとえば、焼結体によって構成されている。素体１０は、たとえば、セラミックからなるセラミック素体である。この場合、素体１０の焼成前に内部電極の端部が素体１０から露出していたとしても、焼成において内部電極の端部が素体１０と内部電極との収縮率の違いによって素体１０の内部に埋没する。このため、焼成後の素体１０に対する湿式バレル研磨によって、内部電極の端部が素体１０から確実に露出され得る。この結果、たとえば、内部電極と、素体１０の外部に設けられる端子電極とが確実に接続され得る。
【0020】
湿式バレル研磨において、複数のチップ部品１及び複数のメディア２は、バレル槽に充填される。バレル槽は、ポットともいう。さらに、水、及び、コンパウンドなどが、バレル槽に充填される。バレル槽における複数のチップ部品１と複数のメディア２の充填率は、たとえば、３０体積％～５０体積％である。たとえば、バレル槽に充填される複数のチップ部品１の体積が“ｖ１”であり、バレル槽に充填される複数のメディア２の体積が“ｖ２”である場合、“（ｖ１＋ｖ２）”に対して“ｖ１”は、２５％体積％以下である。
【0021】
バレル槽は、複数のチップ部品１、複数のメディア２、及び、水などが内部に配置された状態で駆動され、バレル槽の内容物が攪拌される。バレル槽の駆動は、たとえば、バレル槽の回転、若しくは、バレル槽の振動、又はその両方である。このようにして、湿式研磨が行われる。
【0022】
【0023】
図１に示されている素体１０は、一対の端面１１と、一対の側面１２と、一対の主面１３とを含んでいる。一対の側面１２及び一対の主面１３は、一対の端面１１の間に位置している。一対の端面１１は、Ｘ軸方向において互いに対向している。一対の側面１２は、Ｙ軸方向において互いに対向している。一対の主面１３は、Ｚ軸方向において互いに対向している。たとえば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及び、Ｚ軸方向は、互いに直交している。たとえば、Ｘ軸方向は第一方向に相当し、Ｙ軸方向は第二方向に相当し、Ｚ軸方向は第三方向に相当する。
【0024】
複数の素体１０は、直方体形状を呈している。直方体形状は、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状を含んでいる。素体１０は、８つの頂点１５を含んでいる。
【0025】
素体１０において、Ｚ軸方向の長さは、Ｘ軸方向の長さ及びＹ軸方向の長さよりも短い。たとえば、素体１０において、Ｘ軸方向の長さは５．６ｍｍであり、Ｙ軸方向の長さは５．０ｍｍであり、Ｚ軸方向の長さは２．３ｍｍである。素体１０において、Ｘ軸方向の長さ、Ｙ軸方向の長さ、及び、Ｚ軸方向の長さは、公差の範囲で変更される。たとえば、素体１０において、Ｘ軸方向の長さが“Ｌ”、Ｙ軸方向の長さが“Ｗ”、Ｚ軸方向の長さが“Ｔ”である場合に、公差の範囲を考慮して、５．２ｍｍ≦Ｌ≦６．０ｍｍ、４．６ｍｍ≦Ｗ≦５．４ｍｍ、１．５ｍｍ≦Ｔ≦３．１ｍｍなる関係が満たされる。
【0026】
仮想球体Ｓ１は、素体１０の複数の頂点１５のうち素体における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る外接球である。たとえば、仮想球体Ｓ１は、素体１０の複数の頂点１５のうち少なくとも３つを通っている。図１に示されている例において、仮想球体Ｓ１は、素体１０の８つの頂点１５を通っている。仮想球体Ｓ１の直径は、たとえば、７．８５ｍｍである。
【0027】
メディア２は、たとえば、バレル槽内において、素体１０の周辺に配置される。複数のメディア２が、一対の端面１１、一対の側面１２、及び、一対の主面１３に接する。バレル槽の駆動によって、複数のメディア２が一対の端面１１、一対の側面１２、及び、一対の主面１３に沿って摺動し、素体１０の研磨が行われる。複数のメディア２は、複数のチップ部品１の各々の素体１０を覆い、互いに異なるチップ部品１の接触を阻害する。複数のメディア２は、各素体１０において、一対の端面１１、一対の側面１２、及び、一対の主面１３を覆う。メディア２は、たとえば、球形状を呈している。本明細書において、「球形状」は、完全な球体の形状だけでなく、楕円形状の断面を有している略球体の形状、及び、少なくとも一部においてカケが生じた略球体の形状を含んでいる。以下、メディア２が球体であると仮定して説明する。本実施形態の変形例として、メディア２は、球形状以外の形状を呈していてもよい。
【0028】
メディア２は、たとえば、材料として、アルミナ及びシリカを含んでいる。メディア２の密度が“ρ”である場合に、たとえば、２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３の関係が満たされる。メディア２の硬度は、たとえば、ロックウェル硬さ試験のＨＲ１５Ｔにおける１００以下に相当する。本明細書におけるロックウェル硬さ試験は、ＪＩＳ Ｚ ２２４５：２０１６において規格されている。
【0029】
メディア２の最大径が“ｄ”である場合、たとえば、１．０ｍｍ≦ｄ≦３．０ｍｍなる関係が満たされる。さらに好ましくは、１．５ｍｍ≦ｄ≦３．０ｍｍなる関係が満たされている。「メディア２の最大径」は、バレル槽内に配置される複数のメディア２の直径のうち最大の直径を意味する。「メディア２の直径」は、各メディア２の最大幅に相当する。本明細書において、「最大幅」は、各メディア２のうち最長の幅の値に相当する。「メディア２の最大径」は、バレル槽内に配置される複数のメディア２の最大幅のうち最大の最大幅に相当する。
【0030】
仮想球体Ｓ１の直径が“Ｄ”であり、メディア２の最大径が“ｄ”である場合に、たとえば、２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５なる関係が満たされる。さらに好ましくは、２．６２≦Ｄ／ｄ≦７．８５なる関係が満たされる。さらに好ましくは、Ｄ／ｄ≦５．３なる関係が満たされる。特に、素体１０において、Ｘ軸方向の長さが５．６０ｍｍであり、Ｙ軸方向の長さが５．００ｍであり、Ｚ軸方向の長さが２．３０ｍｍである場合、２．６２≦Ｄ／ｄ≦７．８５なる関係が満たされてもよい。
【0031】
メディア２の最大径が“ｄ”であり、素体１０におけるＺ軸方向の長さが“Ｔ”である場合に、たとえば、ｄ／Ｔ≦１．７なる関係が満たされる。さらに好ましくは、ｄ／Ｔ≦１．１なる関係が満たされる。さらに好ましくは、０．４≦ｄ／Ｔなる関係が満たされる。さらに好ましくは、０．６≦ｄ／Ｔなる関係がさらに満たされる。特に、素体１０において、Ｘ軸方向の長さが５．６０ｍｍであり、Ｙ軸方向の長さが５．００ｍであり、Ｚ軸方向の長さが２．３０ｍｍである場合、ｄ／Ｔ≦１．１なる関係が満たされてもよい。
【0032】
図２（ａ）から図２（ｅ）は、素体１０と複数のメディア２との接触状態を示している。複数のメディア２が、素体１０を覆っている。図３（ａ）から図３（ｅ）は、１つのメディア２が素体１０の表面から離れた状態を示している。図２（ａ）から図２（ｅ）、及び、図３（ａ）から図３（ｅ）は、それぞれ、互いに異なる大きさのメディア２が用いられた状態を示している。図２（ａ）及び図３（ａ）において、メディア２の最大径は１ｍｍである。図２（ｂ）及び図３（ｂ）において、メディア２の最大径は２ｍｍである。図２（ｃ）及び図３（ｃ）において、メディア２の最大径は３ｍｍである。図２（ｄ）及び図３（ｄ）において、メディア２の最大径は４ｍｍである。図２（ｅ）及び図３（ｅ）において、メディア２の最大径は５ｍｍである。
【0033】
図４は、図３（ａ）の状態において、互いに異なる素体１０が接触している状態を示している。図５は、図３（ｃ）の状態において、互いに異なる素体１０が接触している状態を示している。図４において、メディア２の最大径に対する仮想球体Ｓ１の直径の比率は、７．８５である。図５において、メディア２の最大径に対する仮想球体Ｓ１の直径の比率は、２．６１である。
【0034】
メディア２の幅が小さいほど、互いに異なる素体１０の間の距離が小さくなり易く、互いに異なる素体１０同士が接触し易い。メディア２の幅が大きいほど、１つのメディア２が素体１０の表面から離れた場合に素体１０の表面の露出面積が大きく、互いに異なる素体１０が接触する面積も大きくなり易い。
【0035】
次に、本実施形態及び変形例における研磨方法による作用効果について説明する。
【0036】
メディア２の幅が小さいほど、素体１０間の距離が確保されがたいと考えられる。メディア２の幅が大きいほど、１つのメディア２が素体１０の表面から離れた場合における素体１０の表面の露出面積が大きい。本実施形態及び変形例における研磨方法において、２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５、ｄ／Ｔ≦１．７、及び、２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３なる関係が満たされている。この場合、メディア２と素体１０とのパラメータにおいて適切な関係が確保されており、素体１０におけるカケの発生が抑制され得る。たとえば、５．２ｍｍ≦Ｌ≦６．０ｍｍ、４．６ｍｍ≦Ｗ≦５．４ｍｍ、及び、１．５ｍｍ≦Ｔ≦３．１ｍｍなる関係がさらに満たされる場合、素体１０におけるカケの抑制が顕著に表れ得る。
【0037】
下記表１は、実験例を示すデータである。
【表1】
【0038】
図６は、実験例１～５を含む実験結果におけるカケの不良とメディア２の幅との関係を示すグラフである。図７（ａ）は、比較的小さいカケＤ１が素体１０に発生した状態を示している。図７（ｂ）は、比較的大きいカケＤ２が素体１０に発生した状態を示している。図６において示される実験結果において、チップ部品１の寸法は共通している。プロットＰ１は、比較的大きいカケに関するデータである。プロットＰ２は、比較的小さいカケに関するデータである。プロットＰ３は、全てのカケに関するデータである。横軸は、バレル槽に充填される複数のメディア２の径をｍｍ単位で示している。縦軸は、カケによる不良が生じた数を指数で示している。実験例１において、カケによる不良が発生したチップ部品の数を、基準として、１００に設定している。
【0039】
メディア２と素体１０との関係を示す各種のパラメータが適切に設定されている場合、素体１０におけるカケの発生が抑制され得る。特に、２．６２≦Ｄ／ｄ≦７．８５、ｄ／Ｔ≦１．１、及び、２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３、なる関係が満たされている場合、素体１０におけるカケの発生が抑制され得る。この場合、特に、比較的大きいカケの発生が抑制され得る。
【0040】
たとえば、１．０ｍｍ＜ｄ＜３．０ｍｍなる関係がさらに満たされている。この場合、素体１０におけるカケがさらに抑制され得る。特に、比較的大きいカケの発生が抑制され得ると共に、実験例１よりも全てのカケの発生も抑制され得る。
【0041】
たとえば、１．５ｍｍ＜ｄ＜３．０ｍｍなる関係がさらに満たされている。この場合、素体１０におけるカケの抑制がさらに抑制され得る。
【0042】
たとえば、０．４≦ｄ／Ｔなる関係がさらに満たされている。この場合も、素体１０におけるカケがさらに抑制され得る。
【0043】
たとえば、０．６≦ｄ／Ｔなる関係がさらに満たされている。この場合も、素体１０におけるカケがさらに抑制され得る。
【0044】
たとえば、Ｄ／ｄ≦５．３なる関係がさらに満たされている。この場合も、素体１０におけるカケがさらに抑制され得る。
【0045】
たとえば、メディア２の硬度は、ロックウェル硬さ試験における１００以下であってもよい。この場合も、素体１０におけるカケがさらに抑制され得る。
【0046】
以上、本発明の実施形態及び変形例について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【0047】
たとえば、チップ部品１の形状は上述した形状に限定されない。種々のチップ部品１にも適用され得る。
【0048】
上述した実施形態の記載から把握されるとおり、本明細書は、以下に示す態様の開示を含んでいる。
（付記１）
素体を含んでいる複数のチップ部品と複数のメディアとをバレル槽に充填し、湿式バレル研磨を行うことを含んでおり、
各前記素体は、第一方向において互いに対向する一対の端面と、前記第一方向に交差する第二方向において互いに対向する一対の側面と、前記第一方向及び前記第二方向に交差する第三方向において互いに対向する一対の主面とを含んでいる直方体形状を呈しており、
前記素体において、前記第三方向の長さは、前記第一方向の長さ及び前記第二方向の長さよりも短く、
前記素体の複数の頂点のうち、前記素体における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る仮想球体の直径がＤであり、前記メディアの最大幅がｄであり、前記素体における前記第三方向の長さがＴであり、前記メディアの密度がρである場合に、
２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５
ｄ／Ｔ≦１．７
２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３
なる関係が満たされている、研磨方法。
（付記２）
前記長さ方向の長さがＬであり、前記幅方向の長さがＷである場合に、
５．２ｍｍ≦Ｌ≦６．０ｍｍ
４．６ｍｍ≦Ｗ≦５．４ｍｍ
１．５ｍｍ≦Ｔ≦３．１ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、付記１に記載の研磨方法。
（付記３）
１．０ｍｍ＜ｄ＜３．０ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、付記２に記載の研磨方法。
（付記４）
１．５ｍｍ≦ｄ≦３．０ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、付記２に記載の研磨方法。
（付記５）
０．４≦ｄ／Ｔ
なる関係がさらに満たされている、付記１から付記４のいずれか一項に記載の研磨方法。
（付記６）
０．６≦ｄ／Ｔ
なる関係がさらに満たされている、付記１から付記４のいずれか一項に記載の研磨方法。
（付記７）
Ｄ／ｄ≦５．３
なる関係がさらに満たされている、付記１から付記６のいずれか一項に記載の研磨方法。
（付記８）
前記メディアの硬度は、ロックウェル硬さ試験のＨＲ１５Ｔにおける１００以下に相当する、付記１から付記７のいずれか一項に記載の研磨方法。
（付記１）
素体を含んでいる複数のチップ部品と複数のメディアとをバレル槽に充填し、湿式バレル研磨を行うことを含んでおり、
各前記素体は、第一方向において互いに対向する一対の端面と、前記第一方向に交差する第二方向において互いに対向する一対の側面と、前記第一方向及び前記第二方向に交差する第三方向において互いに対向する一対の主面とを含んでいる直方体形状を呈しており、
前記素体において、前記第三方向の長さは、前記第一方向の長さ及び前記第二方向の長さよりも短く、
前記素体の複数の頂点のうち、前記素体における最長の対角線を規定する２つの頂点を通る仮想球体の直径がＤであり、前記メディアの最大幅がｄであり、前記素体における前記第三方向の長さがＴであり、前記メディアの密度がρである場合に、
２．３７≦Ｄ／ｄ≦８．６５
ｄ／Ｔ≦１．７
２．２ｇ／ｃｍ３≦ρ≦３．０ｇ／ｃｍ３
なる関係が満たされている、研磨方法。
（付記２）
前記長さ方向の長さがＬであり、前記幅方向の長さがＷである場合に、
５．２ｍｍ≦Ｌ≦６．０ｍｍ
４．６ｍｍ≦Ｗ≦５．４ｍｍ
１．５ｍｍ≦Ｔ≦３．１ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、付記１に記載の研磨方法。
（付記３）
１．０ｍｍ＜ｄ＜３．０ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、付記２に記載の研磨方法。
（付記４）
１．５ｍｍ≦ｄ≦３．０ｍｍ
なる関係がさらに満たされている、付記２に記載の研磨方法。
（付記５）
０．４≦ｄ／Ｔ
なる関係がさらに満たされている、付記１から付記４のいずれか一項に記載の研磨方法。
（付記６）
０．６≦ｄ／Ｔ
なる関係がさらに満たされている、付記１から付記４のいずれか一項に記載の研磨方法。
（付記７）
Ｄ／ｄ≦５．３
なる関係がさらに満たされている、付記１から付記６のいずれか一項に記載の研磨方法。
（付記８）
前記メディアの硬度は、ロックウェル硬さ試験のＨＲ１５Ｔにおける１００以下に相当する、付記１から付記７のいずれか一項に記載の研磨方法。
【符号の説明】
【0049】
１…チップ部品、２…メディア、１０…素体、１１…端面、１２…側面、１３…主面、１５…頂点、Ｓ１…仮想球体。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】