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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024117829
(43)【公開日】2024-08-29
(54)【発明の名称】伸縮可能載置装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20240822BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 V
【審査請求】有
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024102711
(22)【出願日】2024-06-26
(62)【分割の表示】P 2023025346の分割
【原出願日】2023-02-21
(31)【優先権主張番号】111112649
(32)【優先日】2022-03-31
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(31)【優先権主張番号】111123279
(32)【優先日】2022-06-22
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(31)【優先権主張番号】111150196
(32)【優先日】2022-12-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(71)【出願人】
【識別番号】522270550
【氏名又は名称】大立▲ギョク▼科技有限公司
【氏名又は名称原語表記】ＤＬＹ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＩＥＳ ＩＮＣ．
【住所又は居所原語表記】１５Ｆ．‐２， ＮＯ． ６３， ＦＵＸＩＮＧ １ＳＴ ＲＤ．， ＸＩＮＸＩＮＧ ＤＩＳＴ．， ＫＡＯＨＳＩＵＮＧ ＣＩＴＹ ８００５３， ＴＡＩＷＡＮ
(74)【代理人】
【識別番号】110001818
【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ
(72)【発明者】
【氏名】潘 世峰
(57)【要約】
【課題】コンパクト化が可能であり、載置物品を位置決めすることができ、物品を当接支持して支えることが可能な伸縮可能載置装置を提供する。
【解決手段】各々が板体を載置し得る少なくとも二つの載置台２０と、複数の伸縮ユニットとを備え、各載置台２０は、板体を載置するための第１の載置部２３と、第１の載置部２３に板体が載置されたときに当該板体の底面にその一部が当接する支承部材５０とを有し、伸縮ユニットは、これらの載置台２０に設けられており、これらの載置台２０を、各載置台２０間の距離が広がる展開状態と、各載置台２０間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換える。
【選択図】図１２
【解決手段】各々が板体を載置し得る少なくとも二つの載置台２０と、複数の伸縮ユニットとを備え、各載置台２０は、板体を載置するための第１の載置部２３と、第１の載置部２３に板体が載置されたときに当該板体の底面にその一部が当接する支承部材５０とを有し、伸縮ユニットは、これらの載置台２０に設けられており、これらの載置台２０を、各載置台２０間の距離が広がる展開状態と、各載置台２０間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換える。
【選択図】図１２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の板体を載置するための伸縮可能載置装置であって、
各々が板体を載置し得る少なくとも二つの載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記載置台は、前記板体を載置するための第１の載置部と、前記第１の載置部に前記板体が載置されたときに当該板体の底面にその一部が当接する支承部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、これらの前記載置台に設けられており、これらの前記載置台を、各前記載置台間の距離が広がる展開状態と、各前記載置台間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換える、伸縮可能載置装置。
各々が板体を載置し得る少なくとも二つの載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記載置台は、前記板体を載置するための第１の載置部と、前記第１の載置部に前記板体が載置されたときに当該板体の底面にその一部が当接する支承部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、これらの前記載置台に設けられており、これらの前記載置台を、各前記載置台間の距離が広がる展開状態と、各前記載置台間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換える、伸縮可能載置装置。
【請求項2】
前記支承部材は少なくとも１つの挿入部材を有し、
前記第１の載置部は、各前記挿入部材の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入孔を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、請求項１に記載の伸縮可能載置装置。
前記第１の載置部は、各前記挿入部材の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入孔を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、請求項１に記載の伸縮可能載置装置。
【請求項3】
前記支承部材は少なくとも１つの挿入孔を有し、
前記第１の載置部は、各前記挿入孔の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入部材を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、請求項１に記載の伸縮可能載置装置。
前記第１の載置部は、各前記挿入孔の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入部材を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、請求項１に記載の伸縮可能載置装置。
【請求項4】
前記板体は半導体ウェハ又はディスプレパネルである、請求項１に記載の伸縮可能載置装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は載置装置に関し、特に伸縮可能な載置装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来のウェハボックスは、複数のウェハ又はディスプレパネルを積み重ねる形で収納する構造のものが多かった。しかしながら、このようなウェハボックスは、ウェハ同士が固定の距離を置いて収納される（例えばウェハボックス内の各載置台の間隔が約１０ｍｍとなっている）ことから、やはり一定の体積を有しており、嵩張りがちであった。また、ウェハが載置されるための載置部と、マニピュレータによってウェハが出し入れされるための、当該載置部によって囲まれた中空部とを有する載置台の場合、マニピュレータによるウェハの載置に際し、ウェハの縁部の一部が中空部内に落ちてしまうというような、ウェハが斜めにずれた姿勢で載置されることがある。このことを回避するために、従来の載置台としては、中空部を除いた領域の面積をなるべく広くしたもの（つまり中空部なるべく小さくしたもの）が採用されるが、この場合、各載置台の重量、ひいてはウェハボックス全体の重量が大幅に増加することにより、生産コストが増大するだけでなくウェハボックスの搬送効率が低下してしまうという問題が生じてしまう。更に、ウェハの大面積化及び薄型化が進むなか、従来のウェハボックスに大型なウェハを水平に載置すると、スパンが長くなっており且つウェハが薄くなっていることから、ウェハは重力の影響により中央部が沈むように変形することがある。この場合、搬送中の揺れによる衝撃でウェハが破損しないように、別途の複雜な設備を用いてウェハを固定する必要があるため、生産コストが増大してしまう。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その一つの目的は、伸縮機能を有することによりコンパクト化が可能であり、載置された物品が容易に位置ずれして脱落しないように物品を位置決めすることができ、搬送中に物品が容易に抜けたり衝突したりして破損しないように物品を当接支持して支えることが可能な伸縮可能載置装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
上記目的を達成するための本発明に係る伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するためのものであって、
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、第１の上面と、第１の底面と、前記第１の上面から上方に突出している少なくとも１つの第１の上側位置決め部材と、前記第１の底面から下方に突出している少なくとも１つの第１の下側位置決め部材と、板体を当接支持するための第１の当接支持部材と、支承部材とを有し、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、各前記第２の載置台は、第２の上面と、第２の底面と、前記第２の上面から上方に突出している少なくとも１つの第２の上側位置決め部材と、前記第２の底面から下方に突出している少なくとも１つの第２の下側位置決め部材と、板体を当接支持するための第２の当接支持部材と、支承部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台に設けられており、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
前記第１の当接支持部材は、第１の当接支持側壁部と、第１の嵌挿開口と、第１の突出ブロックとを有し、
前記第１の載置台の前記支承部材は、当該第１の載置台に前記第１の板体が載置されたときに前記第１の板体の底面にその一部が当接するように構成され、
前記第２の当接支持部材は、第２の当接支持側壁部と、第２の嵌挿開口と、第２の突出ブロックとを有し、
前記第２の載置台の前記支承部材は、当該第２の載置台に前記第２の板体が載置されたときに前記第２の板体の底面にその一部が当接するように構成され、
前記第１の当接支持部材は、前記伸縮ユニットの伸縮により載置台間の距離が縮小したときに前記第２の載置台に載置されている前記第２の板体を当接支持するように構成され、
前記第２の当接支持部材は、前記伸縮ユニットの伸縮により載置台間の距離が縮小したときに他の隣接の前記第１の載置台に載置されている前記第１の板体を当接支持するように構成されていることを特徴としている。
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、第１の上面と、第１の底面と、前記第１の上面から上方に突出している少なくとも１つの第１の上側位置決め部材と、前記第１の底面から下方に突出している少なくとも１つの第１の下側位置決め部材と、板体を当接支持するための第１の当接支持部材と、支承部材とを有し、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、各前記第２の載置台は、第２の上面と、第２の底面と、前記第２の上面から上方に突出している少なくとも１つの第２の上側位置決め部材と、前記第２の底面から下方に突出している少なくとも１つの第２の下側位置決め部材と、板体を当接支持するための第２の当接支持部材と、支承部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台に設けられており、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
前記第１の当接支持部材は、第１の当接支持側壁部と、第１の嵌挿開口と、第１の突出ブロックとを有し、
前記第１の載置台の前記支承部材は、当該第１の載置台に前記第１の板体が載置されたときに前記第１の板体の底面にその一部が当接するように構成され、
前記第２の当接支持部材は、第２の当接支持側壁部と、第２の嵌挿開口と、第２の突出ブロックとを有し、
前記第２の載置台の前記支承部材は、当該第２の載置台に前記第２の板体が載置されたときに前記第２の板体の底面にその一部が当接するように構成され、
前記第１の当接支持部材は、前記伸縮ユニットの伸縮により載置台間の距離が縮小したときに前記第２の載置台に載置されている前記第２の板体を当接支持するように構成され、
前記第２の当接支持部材は、前記伸縮ユニットの伸縮により載置台間の距離が縮小したときに他の隣接の前記第１の載置台に載置されている前記第１の板体を当接支持するように構成されていることを特徴としている。
【0005】
上記目的を達成するための本発明に係る他の伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するためのものであって、
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、少なくとも１つの連結部材と、少なくとも１つの第１の固結部材とを有し、
各前記第２の載置台は、少なくとも１つの連結部材と、少なくとも１つの第２の固結部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台に設けられており、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
各前記連結部材は、これらの載置台が前記収縮状態にあるときに隣接の載置台における他の前記連結部材と互いに連結するように構成され、
前記第１の固結部材は、これらの載置台が前記収縮状態にあるときに前記第２の固結部材内に挿入されて互いに固結されるように構成されていることを特徴としている。
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、少なくとも１つの連結部材と、少なくとも１つの第１の固結部材とを有し、
各前記第２の載置台は、少なくとも１つの連結部材と、少なくとも１つの第２の固結部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台に設けられており、それらの前記第１の載置台及びそれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
各前記連結部材は、これらの載置台が前記収縮状態にあるときに隣接の載置台における他の前記連結部材と互いに連結するように構成され、
前記第１の固結部材は、これらの載置台が前記収縮状態にあるときに前記第２の固結部材内に挿入されて互いに固結されるように構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【0006】
上記構成によれば、伸縮ユニットによって各載置台を展開させることでマニピュレータによる板体の出し入れを容易にすることができると共に、伸縮ユニットによって各載置台を収縮させることで伸縮可能載置装置をコンパクト化して省スペース化を図ることができる。また、各載置台に載置された板体の縁部は位置決め部材によって位置決めされるので、載置位置のずれによって板体の縁部の一部が移動して脱落することで板体が斜めの姿勢で載置されてしまうことは回避される。更に、当接支持部材は、板体が抜けたり載置装置の内壁に衝突したりして破損することを防止できる。また、連結部材が互いに被嵌して固結部材が互いに固結することで、搬送中の揺れによって載置台がずれることで板体が動いて衝突することによる損傷を効果的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態を示す斜視図である。
【図2】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態を示す部分拡大斜視図である。
【図3】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態における第１の載置台を示す斜視図である。
【図4】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態における第２の載置台を示す斜視図である。
【図5】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態を示す部分側面図である。
【図6】本発明に係る伸縮可能載置装置の他の実施形態を示す部分側面図である。
【図7】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態における当接支持部材を示す拡大斜視図である。
【図8】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態における当接支持部材を示す拡大斜視図である。
【図9】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態において一つの載置台における当接支持部材が他の一つの載置台における当接支持部材に嵌入される動作を説明するための図である。
【図10】本発明に係る伸縮可能載置装置の好ましい実施形態において一つの載置台における当接支持部材が他の一つの載置台における当接支持部材に嵌入される動作を説明するための図である。
【図11】本発明に係る伸縮可能載置装置における位置決め装置を示す模式図である。
【図12】本発明における第１の載置台及び支承部材の好ましい実施形態を示す部分斜視図である。
【図13】本発明における第１の載置台の好ましい実施形態を示す部分斜視図である。
【図14】本発明における一実施形態の支承部材が板体に当接する状態を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、本発明の技術的思想及び特徴について、好ましい実施形態を用いて図面を参照しながら説明する。図１には、本発明に係る伸縮可能載置装置１０の好ましい実施形態が示されている。伸縮可能載置装置１０は、複数の板体を載置するためのものであり、少なくとも二つの第１の載置台２０と、少なくとも二つの第２の載置台３０と、複数の伸縮ユニット４０とを備えている。本実施形態において、第１の載置台２０及び第２の載置台３０のいずれも板体を載置することが可能なものである。また、第１の載置台２０及び第２の載置台３０の数は合計で例えば２５個とすることができるが、この限りではない。
【0009】
図２に示すように、少なくとも二つの第１の載置台２０と少なくとも二つの第２の載置台３０とは、上下方向に間隔を置いて交互に配置されている。それぞれの第１の載置台２０は第１の板体２０’を載置可能であり、それぞれの第２の載置台３０は第２の板体３０’を載置可能である。図３に示すように、各第１の載置台２０は、第１の上面２１と、第１の底面２２と、第１の板体２０’が載置されるための、第１の上面２１から仮想中心線Ｌに向かって斜めに延出した第１の載置部２３と、マニピュレータ（図示せず）によって第１の板体２０’が出し入れされるための、第１の載置部２３によって囲まれた第１の中空部２４と、各々が第１の上面２１から上方に突出している、第１の載置部２３を囲むように配置された複数の第１の上側位置決め部材２５と、各々が第１の底面２２から下方に突出している、第１の載置部２３を囲むように配置された複数の第１の下側位置決め部材２６と、各々が第１の上面２１及び第１の底面２２の両方まで貫通している、第１の載置部２３を囲むように配置された複数の第１の収容孔２７と、第２の載置台３０に載置されている第２の板体３０’を当接支持するための、第１の載置部２３の周縁に設けられた第１の当接支持部材２８と、第１の上面２１から上方に突出した複数の連結部材２９と、第１の載置台２０の側辺から下方に突出した複数の第１の固結部材２９’と、を有している。第１の載置台２０は、射出成形によって製造された一体的なものであり、その材料は例えばプラスチック（一例としてＰＶＣ）とすることができる。本実施形態において、第１の当接支持部材２８の数は複数であってもよく、複数の第１の当接支持部材２８は、第１の載置台２０を囲む円弧状をなすよう間隔をあけて配置されていてもよい。連結部材２９は蓋状のものであり、第１の固結部材２９’はブロック状のものである。他の考えられる実施形態において、第１の上側位置決め部材２５及び第１の下側位置決め部材２６のそれぞれの数は必要に応じて調整可能である。但し、第１の上側位置決め部材２５及び第１の下側位置決め部材２６のそれぞれは少なくとも一つ設ける必要がある。
【0010】
図４に示すように、各第２の載置台３０は、第２の上面３１と、第２の底面３２と、第２の板体３０’が載置されるための、第２の上面３１から仮想中心線Ｌに向かって斜めに延出した第２の載置部３３と、マニピュレータ（図示せず）によって第２の板体３０’が出し入れされるための、第２の載置部３３によって囲まれた第２の中空部３４と、各々が第２の上面３１から上方に突出している、第２の載置部３３を囲むように配置された複数の第２の上側位置決め部材３５と、各々が第２の底面３２から下方に突出している、第２の載置部３３を囲むように配置された複数の第２の下側位置決め部材３６と、各々が第２の上面３１及び第２の底面３２の両方まで貫通している、第２の載置部３３を囲むように配置された複数の第２の収容孔３７と、他の隣接の第１の載置台２０に載置されている第１の板体２０’を当接支持するための、第２の載置部３３の周縁に設けられた第２の当接支持部材３８と、第２の上面３１から上方に突出した複数の連結部材３９と、第２の載置台３０の側辺から下方に突出した複数の第２の固結部材３９’と、を有している。第２の載置台３０は、射出成形によって製造された一体的なものであり、その材料は例えばプラスチック（一例としてＰＶＣ）とすることができる。本実施形態において、第２の当接支持部材３８の数は複数であってもよく、複数の第２の当接支持部材３８は、第２の載置台３０を囲む円弧状をなすように間隔をあけて配置されていてもよい。連結部材３９は蓋状のものであり、第２の固結部材３９’は溝付きのブロック状のものである。他の考えられる実施形態において、第２の上側位置決め部材３５及び第２の下側位置決め部材３６のそれぞれの数は必要に応じて調整可能である。但し、第２の上側位置決め部材３５及び第２の下側位置決め部材３６のそれぞれは少なくとも一つ設ける必要がある。
【0011】
図２から図５に示すように、本実施形態において、各第１の下側位置決め部材２６の位置と、各第２の上側位置決め部材３５の位置とは、垂直方向及び水平方向のいずれにおいても互いに重ならず、各第１の上側位置決め部材２５の位置と、各第２の下側位置決め部材３６の位置とは、垂直方向及び水平方向のいずれにおいても互いに重ならない。また、各第１の上側位置決め部材２５、各第１の下側位置決め部材２６及び各第１の収容孔２７のそれぞれと、仮想中心線Ｌとの距離は互いに等しく、各第２の上側位置決め部材３５、各第２の下側位置決め部材３６及び各第２の収容孔３７のそれぞれと、仮想中心線Ｌとの距離は互いに等しい。但し、本発明は上記の実施形態に限定されない。考えられる他の実施形態において、例えば、第１の下側位置決め部材２６と仮想中心線Ｌとの距離は、第２の上側位置決め部材３５と仮想中心線Ｌとの距離よりも大きくてもよい。この場合、図５のような視角で観察すると、第１の下側位置決め部材２６の位置と、第２の上側位置決め部材３５の位置とが水平方向において互いに重なる可能性がある。更に、図６に示すように、第２の上側位置決め部材３５には、第１の下側位置決め部材２６が挿設されるための凹溝が凹設されてもよく、この場合では、第２の載置台３０の第２の収容孔３７は省略して設けなくてもよい。つまり、第２の収容孔３７の設置位置を第２の上側位置決め部材３５に置き換えてもよい。これにより、第１の下側位置決め部材２６の位置と、第２の上側位置決め部材３５の位置とは垂直方向において互いに重なることになる。同じように、第１の下側位置決め部材２６には、第２の上側位置決め部材３５が挿設されるための凹溝が凹設されてもよく、この場合では、第２の載置台３０の第２の収容孔３７は省略して設けなくてもよい。また、対向接続が可能な限り、第１の収容孔２７の設置位置を第１の上側位置決め部材２５又は第２の下側位置決め部材３６に置き換えてもよい。
【0012】
伸縮ユニット４０は、これらの第１の載置台２０及びこれらの第２の載置台３０に設けられており、これらの第１の載置台２０及びこれらの第２の載置台３０を、各第１の載置台２０と各第２の載置台３０との距離が広がる展開状態と、各第１の載置台２０と各第２の載置台３０との距離が縮まる収縮状態との間で切り換える。これらの第１の載置台２０及びこれらの第２の載置台３０が収縮状態にあるとき、各第１の下側位置決め部材２６は、その下方にあり且つ位置が対応する第２の収容孔３７内に挿入可能であり、各第１の上側位置決め部材２５は、その上方にあり且つ位置が対応する第２の収容孔３７内に挿入可能であり、そして、各第２の上側位置決め部材３５は、その上方にあり且つ位置が対応する第１の収容孔２７内に挿入可能であり、各第２の下側位置決め部材３６は、その下方にあり且つ位置が対応する第１の収容孔２７内に挿入可能である。
【0013】
一方、図５に示すように、これらの第１の載置台２０及びこれらの第２の載置台３０が展開状態にあるとき、各第１の下側位置決め部材２６の底縁の水平位置は、各第２の上側位置決め部材３５の上縁の水平位置よりも低くなっており、各第１の上側位置決め部材２５の上縁の水平位置は、第２の下側位置決め部材３６の底縁の水平位置よりも高くなっている。考えられる他の実施形態において、各第１の下側位置決め部材２６の底縁の水平位置は、各第２の上側位置決め部材３５の上縁の水平位置と同一の高さにあってもよい。但し、各第１の下側位置決め部材２６の底縁の水平位置は、各第２の上側位置決め部材３５の上縁の水平位置よりも高くなってはならない。同じように、各第１の上側位置決め部材２５の上縁の水平位置は、第２の下側位置決め部材３６の底縁の水平位置と同一の高さにあってもよい。但し、各第１の上側位置決め部材２５の上縁の水平位置は、第２の下側位置決め部材３６の底縁の水平位置よりも低くなってはならない。上記構成において、これらの位置決め部材間には板体が通過可能な上下方向の隙間が形成されないので、板体の載置に際して板体が正確に位置決めされないことを回避することができる。
【0014】
伸縮ユニット４０を備えた上記構成によれば、各第１の載置台２０及び各第２の載置台３０を展開させることで、マニピュレータによる板体の出し入れを容易にすることが可能であり、また、各第１の載置台２０及び各第２の載置台３０を収縮させることで、伸縮可能載置装置１０全体の体積を小さくして省スペース化を図ることが可能である。そして、展開状態にある第１の載置台２０及び第２の載置台３０に対してマニピュレータによって板体を載置する際、板体はその縁部が第１の上側位置決め部材２５、第１の下側位置決め部材２６、第２の上側位置決め部材３５及び第２の下側位置決め部材３６に当たることによって位置決めされるので、板体の縁部の一部が第１の中空部２４又は第２の中空部３４内に落ちてしまうというような、板体が斜めにずれた姿勢で載置されることは回避される。このように、板体を正しい姿勢で載置することが容易になるので、第１の載置部２３、第２の載置部３３としては、第１の中空部２４、第２の中空部３４を除いた部分の面積をなるべく減らした（すなわち第１の中空部２４、第２の中空部３４の領域をより大きくした）ものを採用してもよく、この場合、第１の載置台２０、第２の載置台３０ないし伸縮可能載置装置１０全体の重量が大幅に軽減するので、生産コストの低減及び伸縮可能載置装置１０の搬送効率の向上を図ることが可能になる。
【0015】
一方、伸縮ユニット４０の伸縮により第１の載置台２０と第２の載置台３０との距離が縮まってこれらの載置台２０、３０が収縮状態に移行したとき、第１の当接支持部材２８は、下方にある第２の板体３０’を後述する第２の当接支持側壁部３８３が当接支持するように当該第２の当接支持側壁部３８３を押動すると共に、第２の当接支持部材３８は、下方にある第１の板体２０’を後述する第１の当接支持側壁部２８３が当接支持するように当該第１の当接支持側壁部２８３を押動する。更に、このとき、各連結部材２９が下方にある他の連結部材３９に被嵌される共に、各第１の固結部材２９’が下方にある第２の固結部材３９’の溝内に挿入され（より具体的に説明すると、蓋状である連結部材２９が連結部材３９に被嵌されると共に、ブロック状である第１の固結部材２９’が第２の固結部材３９’の溝内に挿入され）、これにより、各第１の載置台２０及び各第２の載置台３０はより安定的に互いに対して重なることになる。
【0016】
以下、図７から図１０を参考しながら、第１の当接支持部材２８、第２の当接支持部材３８の構造及び作用効果について説明する。第１の当接支持部材２８は、第１の突出ブロック２８１と、第１の固定側壁部２８２と、第１の当接支持側壁部２８３と、二つの第１の連結部２８４，２８５と、第１の当接支持開口２８６と、第１の嵌挿開口２８７とを有している。第１の突出ブロック２８１は第１の固定側壁部２８２に連結している。第１の当接支持側壁部２８３は第１の連結部２８４，２８５を介して第１の載置台２０に連結している。第１の当接支持側壁部２８３及び第１の固定側壁部２８２により第１の嵌挿開口２８７が画定されている。第１の当接支持側壁部２８３及び第１の載置台２０により、それらの間に第１の当接支持開口２８６が画定されている。第１の突出ブロック２８１は、第１の固定側壁部２８２及び第１の当接支持側壁部２８３の長手方向の中央位置に配置され得る。二つの第１の連結部２８４，２８５は、第１の固定側壁部２８２及び第１の当接支持側壁部２８３に対して平行となるように配置され得る。第１の当接支持側壁部２８３は、第１の板体２０’を当接支持するための弧状凹面を有しており、当該弧状凹面は第１の板体２０’に面している。
【0017】
第２の当接支持部材３８は、第１の当接支持部材２８と概ね同一の構成、つまり、第２の突出ブロック３８１と、第２の固定側壁部３８２と、第２の当接支持側壁部３８３と、二つの第２の連結部３８４，３８５と、第２の当接支持開口３８６と、第２の嵌挿開口３８７とを有している。第２の突出ブロック３８１は第２の固定側壁部３８２に連結している。第２の当接支持側壁部３８３は第２の連結部３８４，３８５を介して第２の載置台３０に連結している。第２の当接支持側壁部３８３及び第２の固定側壁部３８２により第２の嵌挿開口３８７が画定されている。第２の当接支持側壁部３８３及び第２の載置台３０により、それらの間に第２の当接支持開口３８６が画定されている。第２の突出ブロック３８１は、第２の固定側壁部３８２及び第２の当接支持側壁部３８３の長手方向の中央位置に配置され得る。二つの第２の連結部３８４，３８５は第２の固定側壁部３８２及び第２の当接支持側壁部３８３に対して平行となるように配置され得る。第２の当接支持側壁部３８３は第２の板体３０’を当接支持するための弧状凹面を有しており、当該弧状凹面は第２の板体３０’に面している。
【0018】
図８に示すように、第１の突出ブロック２８１は突出ブロック上面２８１ａと、突出ブロック側面２８１ｂと、突出ブロック底面２８１ｃとを有している。突出ブロック側面２８１ｂは傾斜面、弧状面、階段状面又は他の態様の面であり得る。突出ブロック上面２８１ａのある所定の方向における幅は、下方にある第２の載置台３０における第２の嵌挿開口３８７の同一方向における幅よりも小さくなっており、且つ、突出ブロック底面２８１ｃの同一方向における幅は、下方にある第２の載置台３０における第２の嵌挿開口３８７の同一方向における幅よりも大きくなっている。このような構成とすることで、第１の載置台２０の第１の突出ブロック２８１が下方の第２の載置台３０の対応の第２の当接支持部材３８における第２の嵌挿開口３８７に嵌入されると、第２の当接支持側壁部３８３は、第１の突出ブロック２８１によって押動されて、第２の載置台３０に載置されている第２の板体３０’を挟持することになる。これにより、第２の板体３０’の脱落や、載置台の側壁との衝突による第２の板体３０’の損傷は回避される。
【0019】
より具体的に説明すると、図９に示すように、第１の載置台２０及び第２の載置台３０が展開状態にあるとき、第２の当接支持側壁部３８３は、第２の載置台３０に載置された第２の板体３０’と第２の当接支持開口３８６を置いて対向する初期位置にある。そして、図１０に示すように、第１の載置台２０及び第２の載置台３０が収縮状態に移行すると、第１の載置台２０の第１の当接支持部材２８における第１の突出ブロック２８１は下方にある第２の載置台３０の第２の当接支持部材３８における第２の嵌挿開口３８７に嵌入するのであるが、このとき、第２の当接支持側壁部３８３は第２の当接支持開口３８６が小さくなる方向に移動し、やがて第２の板体３０’に当接してこれを挟持することになる。
【0020】
図１１に示すように、第１の載置台２０の第１の載置部２３には第１の板体２０’が載置され、第２の載置台３０の第２の載置部３３には第２の板体３０’が載置されるのであるが、第１の載置台２０の第１の底面２２及び第２の載置台３０の第２の底面３２のそれぞれには更に、上下に隣接する載置台間の距離が縮まったときに下方にある載置台に載置されている板体を当該載置台における所定の位置（例えば中央位置）に位置決めするための位置決め装置２２５、位置決め装置３２５が設けられている。
【0021】
図１２、図１３に示すように、第１の載置台２０は、第１の板体２０’を下方から支持するための支承部材５０を更に有してもよい。この実施形態において、第１の載置部２３は少なくとも一つの挿入孔５２を有し、支承部材５０は挿入孔５２に対応する位置に挿入部材５１を有している。支承部材５０は、各挿入孔５２に各挿入部材５１が収容されることにより第１の載置部２３に連結される。更に、図１４～図１６に示すように、支承部材５０は、第１の板体２０’に向けて凸状となる弧状の断面形状を有している。第１の載置部２３に第１の板体２０’が載置されているとき、支承部材５０の一部は第１の板体２０’の裏面に当接し、これにより、重力による第１の板体２０’の下方への変形が防止されるか又は緩和される。
【0022】
伸縮可能載置装置１０は、本発明の要旨から逸脱しない範囲で他の構造を有してもよい。例えば、図５に示すように、第１の収容孔２７は、第１の上面２１及び第１の底面２２の両方まで貫通したものではなく、第２の上側位置決め部材３５又は第２の下側位置決め部材３６の一部が挿入されるための凹溝として構成されてもよい。同様に、第２の収容孔３７も凹溝として構成されてもよい。別の形態として、第１の収容孔２７及び第２の収容孔３７を省略してもよい。この場合、第１の上側位置決め部材２５、第１の下側位置決め部材２６、第２の上側位置決め部材３５、又は第２の下側位置決め部材３６はバネ等の装置に構成される。載置台２０，３０が収縮状態にあるとき、位置決め部材２５，２６，３５，３６は各載置台２０，３０の上面又は底面に押し付けられて圧縮される。一方、載置台２０，３０が展開状態にあるとき、位置決め部材２５，２６，３５，３６は非圧縮状態に戻り、板体の位置決めに用いられる。更に別の形態として、必要に応じて各連結部材２９、第１の固結部材２９’の形状、構造や連結方法を変更してもよく、同様に、必要に応じて各連結部材３９及び各第２の固結部材３９’の形状、構造や連結方法を変更してもよく、ひいてはこれらの連結部材２９，３９及びこれらの固結部材２９’，３９’を省略してもよい。更に別の形態として、第１の載置台の挿入孔５２と、支承部材５０の挿入部材５１とを置き換えてもよく、つまり、支承部材５０に挿入孔を設けて第１の載置部２３に挿入部材を設けるようにしてもよい。このような容易に想到し得る構造上の変更はすべて本発明の特許請求の範囲に含まれるものである。
【0023】
（実施形態のまとめ）
本発明の伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するための伸縮可能載置装置であって、
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、第１の上面と、第１の底面と、前記第１の上面から上方に突出している少なくとも１つの第１の上側位置決め部材と、前記第１の底面から下方に突出している少なくとも１つの第１の下側位置決め部材とを有し、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、各前記第２の載置台は、第２の上面と、第２の底面と、前記第２の上面から上方に突出している少なくとも１つの第２の上側位置決め部材と、前記第２の底面から下方に突出している少なくとも１つの第２の下側位置決め部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台に設けられており、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換える。
本発明の伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するための伸縮可能載置装置であって、
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、第１の上面と、第１の底面と、前記第１の上面から上方に突出している少なくとも１つの第１の上側位置決め部材と、前記第１の底面から下方に突出している少なくとも１つの第１の下側位置決め部材とを有し、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、各前記第２の載置台は、第２の上面と、第２の底面と、前記第２の上面から上方に突出している少なくとも１つの第２の上側位置決め部材と、前記第２の底面から下方に突出している少なくとも１つの第２の下側位置決め部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台に設けられており、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換える。
【0024】
各前記第１の載置台は第１の収容孔を更に有し、各前記第２の載置台は第２の収容孔を更に有し、
これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台が前記収縮状態にあるとき、各前記第１の下側位置決め部材は、その下方にあり且つ位置が対応する第２の収容孔内に挿入可能であり、各前記第１の上側位置決め部材は、その上方にあり且つ位置が対応する第２の収容孔内に挿入可能であり、そして、各前記第２の上側位置決め部材は、その上方にあり且つ位置が対応する第１の収容孔内に挿入可能であり、各前記第２の下側位置決め部材は、その下方にあり且つ位置が対応する第１の収容孔内に挿入可能である、と好適である。
これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台が前記収縮状態にあるとき、各前記第１の下側位置決め部材は、その下方にあり且つ位置が対応する第２の収容孔内に挿入可能であり、各前記第１の上側位置決め部材は、その上方にあり且つ位置が対応する第２の収容孔内に挿入可能であり、そして、各前記第２の上側位置決め部材は、その上方にあり且つ位置が対応する第１の収容孔内に挿入可能であり、各前記第２の下側位置決め部材は、その下方にあり且つ位置が対応する第１の収容孔内に挿入可能である、と好適である。
【0025】
各前記第１の下側位置決め部材の位置と、各前記第２の上側位置決め部材の位置とは、垂直方向において互いに重ならず、各前記第１の上側位置決め部材と、各前記第２の下側位置決め部材の位置とは垂直方向において互いに重ならない、と好適である。
【0026】
これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台が前記展開状態にあるとき、各前記第１の下側位置決め部材の底縁の水平位置は、各前記第２の上側位置決め部材の上縁の水平位置よりも低くなっている、と好適である。
【0027】
これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台が前記展開状態にあるとき、各前記第１の上側位置決め部材の上縁の水平位置は、前記第２の下側位置決め部材の底縁の水平位置よりも高くなっている、と好適である。
【0028】
各前記第１の収容孔は、前記第１の上面及び前記第１の底面の両方まで貫通しており、各前記第２の収容孔は、前記第２の上面及び前記第２の底面の両方まで貫通している、と好適である。
【0029】
各前記第１の収容孔は各前記第１の上側位置決め部材又は各前記第１の下側位置決め部材に凹設されており、
各前記第２の収容孔は各前記第２の上側位置決め部材又は各前記第２の下側位置決め部材に凹設されている、と好適である。
各前記第２の収容孔は各前記第２の上側位置決め部材又は各前記第２の下側位置決め部材に凹設されている、と好適である。
【0030】
本発明の伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するための伸縮可能載置装置であって、
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、第１の上面と、第１の底面と、前記第２の載置台に載置されている第２の板体を当接支持するための第１の当接支持部材とを有し、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、各前記第２の載置台は、第２の上面と、第２の底面と、他の隣接の第１の載置台に載置されている第１の板体を当接支持するための第２の当接支持部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、前記第１の載置台及び前記第２の載置台を連結し且つ伸縮することによってこれらの載置台の間隔を変化させるものであり、
前記第１の当接支持部材は、第１の当接支持側壁部と、第１の嵌挿開口と、第１の突出ブロックとを有し、
前記第２の当接支持部材は、第２の当接支持側壁部と、第２の嵌挿開口と、第２の突出ブロックとを有し、
前記第１の当接支持部材の前記第１の突出ブロックは、複数の前記伸縮ユニットの伸縮により前記第１の載置台と前記第２の載置台との間隔が小さくなったときに前記第２の嵌挿開口内に嵌入されて前記第２の当接支持側壁部を前記第２の載置台に載置されている前記第２の板体へ押動し、これにより、当該第２の当接支持側壁部を介して当該第２の板体を当接支持するように構成されている。
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも二つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記第１の載置台は、第１の上面と、第１の底面と、前記第２の載置台に載置されている第２の板体を当接支持するための第１の当接支持部材とを有し、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、各前記第２の載置台は、第２の上面と、第２の底面と、他の隣接の第１の載置台に載置されている第１の板体を当接支持するための第２の当接支持部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、前記第１の載置台及び前記第２の載置台を連結し且つ伸縮することによってこれらの載置台の間隔を変化させるものであり、
前記第１の当接支持部材は、第１の当接支持側壁部と、第１の嵌挿開口と、第１の突出ブロックとを有し、
前記第２の当接支持部材は、第２の当接支持側壁部と、第２の嵌挿開口と、第２の突出ブロックとを有し、
前記第１の当接支持部材の前記第１の突出ブロックは、複数の前記伸縮ユニットの伸縮により前記第１の載置台と前記第２の載置台との間隔が小さくなったときに前記第２の嵌挿開口内に嵌入されて前記第２の当接支持側壁部を前記第２の載置台に載置されている前記第２の板体へ押動し、これにより、当該第２の当接支持側壁部を介して当該第２の板体を当接支持するように構成されている。
【0031】
前記第１の突出ブロックは、第１の突出ブロック上面と、第１の突出ブロック底面と、前記第１の突出ブロック上面と前記第１の突出ブロック底面との間に位置する第１の突出ブロック側面とを有する、と好適である。
【0032】
前記第１の突出ブロック側面は傾斜面又は弧状面である、と好適である。
【0033】
前記第１の突出ブロック上面の幅は前記第２の嵌挿開口の幅よりも小さくなっており、
前記第１の突出ブロック底面の幅は前記第２の嵌挿開口の幅よりも大きくなっている、と好適である。
前記第１の突出ブロック底面の幅は前記第２の嵌挿開口の幅よりも大きくなっている、と好適である。
【0034】
前記第１の当接支持部材は、第１の固定側壁部と、少なくとも１つの連結部と、第１の当接支持開口とを更に有し、
前記第１の突出ブロックは、前記第１の固定側壁部に固定されており、
少なくとも１つの前記連結部は、前記第１の当接支持側壁部の両側と前記第１の載置台とを連結し、少なくとも１つの前記連結部と前記第１の固定側壁部とにより前記第１の嵌挿開口が画定され、
前記第１の当接支持側壁部と前記第１の載置台とにより前記第１の当接支持開口が画定される、と好適である。
前記第１の突出ブロックは、前記第１の固定側壁部に固定されており、
少なくとも１つの前記連結部は、前記第１の当接支持側壁部の両側と前記第１の載置台とを連結し、少なくとも１つの前記連結部と前記第１の固定側壁部とにより前記第１の嵌挿開口が画定され、
前記第１の当接支持側壁部と前記第１の載置台とにより前記第１の当接支持開口が画定される、と好適である。
【0035】
前記第１の突出ブロックは、前記第１の固定側壁部及び前記第１の当接支持側壁部の長手方向の中央位置に配置されている、と好適である。
【0036】
少なくとも１つの前記連結部は、前記第１の固定側壁部及び前記第１の当接支持側壁部に対して略平行となっている、と好適である。
【0037】
前記第１の当接支持側壁部は、前記第１の板体を当接支持するための弧状凹面を有している、と好適である。
【0038】
前記第１の載置台は、前記第１の上面に隣接する第１の載置部を有し、
前記第１の載置部は前記第１の板体を載置するためのものであり、
前記第１の当接支持部材は前記第１の上面に設置されている、と好適である。
前記第１の載置部は前記第１の板体を載置するためのものであり、
前記第１の当接支持部材は前記第１の上面に設置されている、と好適である。
【0039】
前記第１の載置台は、射出成形によって製造された一体的なものである、と好適である。
【0040】
前記第１の底面は位置決め装置を更に有し、
前記位置決め装置は、複数の前記伸縮ユニットの伸縮により前記第１の載置台と前記第２の載置台との間隔が小さくなったときに前記第２の載置台に載置されている前記第２の板体に当接して当該第２の板体を前記第２の載置台の中央位置に位置決めするように構成されている、と好適である。
前記位置決め装置は、複数の前記伸縮ユニットの伸縮により前記第１の載置台と前記第２の載置台との間隔が小さくなったときに前記第２の載置台に載置されている前記第２の板体に当接して当該第２の板体を前記第２の載置台の中央位置に位置決めするように構成されている、と好適である。
【0041】
本発明の伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するための伸縮可能載置装置であって、
各々が板体を載置し得る少なくとも二つの載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記載置台は、前記板体を載置するための第１の載置部と、前記第１の載置部に前記板体が載置されたときに当該板体の底面にその一部が当接する支承部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、これらの前記載置台に設けられており、これらの前記載置台を、各前記載置台間の距離が広がる展開状態と、各前記載置台間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換える。
各々が板体を載置し得る少なくとも二つの載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
各前記載置台は、前記板体を載置するための第１の載置部と、前記第１の載置部に前記板体が載置されたときに当該板体の底面にその一部が当接する支承部材とを有し、
前記伸縮ユニットは、これらの前記載置台に設けられており、これらの前記載置台を、各前記載置台間の距離が広がる展開状態と、各前記載置台間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換える。
【0042】
前記支承部材は少なくとも１つの挿入部材を有し、
前記第１の載置部は、各前記挿入部材の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入孔を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、と好適である。
前記第１の載置部は、各前記挿入部材の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入孔を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、と好適である。
【0043】
前記支承部材は少なくとも１つの挿入孔を有し、
前記第１の載置部は、各前記挿入孔の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入部材を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、と好適である。
前記第１の載置部は、各前記挿入孔の位置と対応する位置に設けられた少なくとも１つの挿入部材を有し、
前記支承部材は、前記挿入孔に前記挿入部材が挿入されることにより前記第１の載置部に連結される、と好適である。
【0044】
本発明の伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するための伸縮可能載置装置であって、
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
前記伸縮ユニットは、これらの前記載置台に設けられており、これらの前記載置台を、各前記載置台間の距離が広がる展開状態と、各前記載置台間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
各前記載置台は少なくとも１つの連結部材を有し、
前記連結部材は、これらの前記載置台が前記収縮状態にあるときに隣接の前記載置台の前記連結部材と互いに連結するように構成されている。
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも二つの載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
前記伸縮ユニットは、これらの前記載置台に設けられており、これらの前記載置台を、各前記載置台間の距離が広がる展開状態と、各前記載置台間の距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
各前記載置台は少なくとも１つの連結部材を有し、
前記連結部材は、これらの前記載置台が前記収縮状態にあるときに隣接の前記載置台の前記連結部材と互いに連結するように構成されている。
【0045】
前記連結部材はいずれも蓋状であり、
前記連結部材は、これらの前記載置台が前記収縮状態にあるときに隣接の前記載置台における他の前記連結部材に被嵌されるように構成されている、と好適である。
前記連結部材は、これらの前記載置台が前記収縮状態にあるときに隣接の前記載置台における他の前記連結部材に被嵌されるように構成されている、と好適である。
【0046】
本発明の伸縮可能載置装置は、複数の板体を載置するための伸縮可能載置装置であって、
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも一つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも一つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、
前記伸縮ユニットは、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台に設けられており、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
各前記第１の載置台は、少なくとも１つの第１の固結部材を更に有し、各前記第２の載置台は少なくとも１つの第２の固結部材を更に有し、
前記第１の固結部材及び前記第２の固結部材は、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台が前記収縮状態にあるときに互いに固結されるように構成されている
各々が第１の板体を載置し得る少なくとも一つの第１の載置台と、各々が第２の板体を載置し得る少なくとも一つの第２の載置台と、複数の伸縮ユニットとを備え、
前記第２の載置台のそれぞれは、前記第１の載置台のそれぞれと上下方向に間隔を置いて交互に配置され、
前記伸縮ユニットは、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台に設けられており、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台を、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が広がる展開状態と、各前記第１の載置台と各前記第２の載置台との距離が縮まる収縮状態との間で切り換え、
各前記第１の載置台は、少なくとも１つの第１の固結部材を更に有し、各前記第２の載置台は少なくとも１つの第２の固結部材を更に有し、
前記第１の固結部材及び前記第２の固結部材は、これらの前記第１の載置台及びこれらの前記第２の載置台が前記収縮状態にあるときに互いに固結されるように構成されている
【0047】
前記第１の固結部材はブロック状のものであり、前記第２の固結部材は溝付きのブロック状のものであり、
前記第１の固結部材は、前記第１の載置台及び前記第２の載置台が前記収縮状態にあるときに前記第２の固結部材の前記溝に挿入されるように構成されている、と好適である。
前記第１の固結部材は、前記第１の載置台及び前記第２の載置台が前記収縮状態にあるときに前記第２の固結部材の前記溝に挿入されるように構成されている、と好適である。
【0048】
前記板体は半導体ウェハ又はディスプレパネルである、と好適である。
【符号の説明】
【0049】
１０ 伸縮可能載置装置
２０ 第１の載置台
２１ 第１の上面
２２ 第１の底面
２２５ 位置決め装置
２３ 第１の載置部
２４ 第１の中空部
２５ 第１の上側位置決め部材
２６ 第１の下側位置決め部材
２７ 第１の収容孔
２８ 第１の当接支持部材
２８１ 第１の突出ブロック
２８１ａ 突出ブロック上面
２８１ｂ 突出ブロック側面
２８１ｃ 突出ブロック底面
２８２ 第１の固定側壁部
２８３ 第１の当接支持側壁部
２８４ 第１の連結部
２８５ 第１の連結部
２８６ 第１の当接支持開口
２８７ 第１の嵌挿開口
２９ 連結部材
２９’ 第１の固結部材
２０’ 第１の板体
３０ 第２の載置台
３１ 第２の上面
３２ 第２の底面
３２５ 位置決め装置
３３ 第２の載置部
３４ 第２の中空部
３５ 第２の上側位置決め部材
３６ 第２の下側位置決め部材
３７ 第２の収容孔
３８ 第２の当接支持部材
３８１ 第２の突出ブロック
３８２ 第２の固定側壁部
３８３ 第２の当接支持側壁部
３８４ 第２の連結部
３８５ 第２の連結部
３８６ 第２の当接支持開口
３８７ 第２の嵌挿開口
３９ 連結部材
３９’ 第２の固結部材
３０’ 第２の板体
４０ 伸縮ユニット
５０ 支承部材
５１ 挿入部材
５２ 挿入孔
Ｌ 仮想中心線
２０ 第１の載置台
２１ 第１の上面
２２ 第１の底面
２２５ 位置決め装置
２３ 第１の載置部
２４ 第１の中空部
２５ 第１の上側位置決め部材
２６ 第１の下側位置決め部材
２７ 第１の収容孔
２８ 第１の当接支持部材
２８１ 第１の突出ブロック
２８１ａ 突出ブロック上面
２８１ｂ 突出ブロック側面
２８１ｃ 突出ブロック底面
２８２ 第１の固定側壁部
２８３ 第１の当接支持側壁部
２８４ 第１の連結部
２８５ 第１の連結部
２８６ 第１の当接支持開口
２８７ 第１の嵌挿開口
２９ 連結部材
２９’ 第１の固結部材
２０’ 第１の板体
３０ 第２の載置台
３１ 第２の上面
３２ 第２の底面
３２５ 位置決め装置
３３ 第２の載置部
３４ 第２の中空部
３５ 第２の上側位置決め部材
３６ 第２の下側位置決め部材
３７ 第２の収容孔
３８ 第２の当接支持部材
３８１ 第２の突出ブロック
３８２ 第２の固定側壁部
３８３ 第２の当接支持側壁部
３８４ 第２の連結部
３８５ 第２の連結部
３８６ 第２の当接支持開口
３８７ 第２の嵌挿開口
３９ 連結部材
３９’ 第２の固結部材
３０’ 第２の板体
４０ 伸縮ユニット
５０ 支承部材
５１ 挿入部材
５２ 挿入孔
Ｌ 仮想中心線
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
