特開 2024-118194 ロボットシステム、キャリブレーションツール、及びキャリブレーション方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024118194

(43)【公開日】2024-08-30

(54)【発明の名称】ロボットシステム、キャリブレーションツール、及びキャリブレーション方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240823BHJP

   B25J 9/10 20060101ALI20240823BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/10 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】22

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023024485

(22)【出願日】2023-02-20

(71)【出願人】

【識別番号】000006622

【氏名又は名称】株式会社安川電機

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100145012

【弁理士】

【氏名又は名称】石坂 泰紀

(74)【代理人】

【識別番号】100171099

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】長渕 皓二

(72)【発明者】

【氏名】實政 泰樹

(72)【発明者】

【氏名】南 孝

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707DS01

3C707ES17

3C707HS23

3C707HT02

3C707HT11

3C707HT21

3C707KS01

3C707KS03

3C707KS04

3C707KS36

3C707KV11

3C707KX07

3C707LT17

3C707LV19

3C707MT02

3C707MT04

3C707NS13

5F131AA02

5F131AA03

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5F131CA45

5F131CA49

5F131DA07

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5F131KA16

5F131KA43

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5F131KA52

5F131KA72

5F131KB12

5F131KB32

5F131KB58

(57)【要約】

【課題】キャリブレーションを容易に行うことができるロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１は、基板Ｗをハンド１０により支持して搬送するロボット２と、基板Ｗの代わりに配置可能なターゲット３２０，４２０と、ハンド１０に設けられ、ターゲット３２０，４２０に対向し非接触でターゲット３２０，４２０を検出するセンサ６０と、第１方向に沿ってターゲット３２０，４２０に対向したセンサ６０の検出結果と、センサ６０の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出する第１検出部１１３と、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御し、第２方向に沿った移動によるセンサ６０の検出結果の変化と、センサ６０の位置とに基づいて、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出する第２検出部１１４と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板をハンドにより支持して搬送するロボットと、
前記ロボットによる搬送前又は搬送後の前記基板が配置される基板支持部に、前記基板の代わりに配置可能なターゲットと、
前記ハンドに設けられ、前記ターゲットに対向し非接触で前記ターゲットを検出するセンサと、
第１方向に沿って前記センサを前記ターゲットに対向させるように前記ロボットを制御し、前記第１方向に沿って前記ターゲットに対向した前記センサの検出結果と、前記センサの位置とに基づいて、前記第１方向における前記ターゲットの位置を検出する第１検出部と、
前記第１方向に垂直な第２方向に沿って前記センサを移動させるように前記ロボットを制御し、前記第２方向に沿った移動による前記センサの検出結果の変化と、前記センサの位置とに基づいて、前記第２方向における前記ターゲットの位置を検出する第２検出部と、
を備えるロボットシステム。

【請求項2】

前記第２検出部は、前記第１検出部により前記第１方向における前記ターゲットの位置が検出された後に、前記第２方向に沿って前記センサを移動させるように前記ロボットを制御する、
請求項１記載のロボットシステム。

【請求項3】

前記第２検出部は、
前記第２方向に沿った移動による前記センサの検出結果の変化に基づいて、前記ターゲットのアウトラインを認識し、
前記アウトラインを認識した際の前記センサの位置に基づいて、前記第２方向における前記ターゲットの位置を検出する、
請求項１記載のロボットシステム。

【請求項4】

前記第１方向に沿って前記ターゲットと対向する視点から見て、前記アウトラインは、互いに非平行でそれぞれが前記第２方向に交差する第１ラインと第２ラインとを有し、
前記第２検出部は、
前記第２方向に沿って移動する前記センサの検出結果に基づいて前記第１ラインと前記第２ラインとを認識し、
前記第１ラインを認識した際の前記センサの位置と、前記第２ラインを認識した際の前記センサの位置とに基づいて、前記第１方向と前記第２方向とに垂直な第３方向における前記ターゲットの位置を更に検出する、
請求項３記載のロボットシステム。

【請求項5】

前記第１検出部と、前記第２検出部とは、同一の平面に沿って前記センサを移動させるように前記ロボットを制御する、
請求項４記載のロボットシステム。

【請求項6】

前記第１方向及び前記第２方向はいずれも水平であり、
前記第１検出部と、前記第２検出部とは、水平な前記平面に沿って前記センサを移動させるように前記ロボットを制御する、
請求項５記載のロボットシステム。

【請求項7】

前記第１検出部と、前記第２検出部とは、前記第１方向における前記ターゲットの位置を検出するための前記センサの移動パスと、前記第２方向における前記ターゲットの位置を検出するための前記センサの移動パスとが連続するように前記ロボットを制御する、
請求項６記載のロボットシステム。

【請求項8】

前記ターゲットは、前記第２方向に沿って並び、それぞれが前記第１方向に交差する第１表面と第２表面とを有し、
前記第１ラインと前記第２ラインとは、前記第１表面と前記第２表面との間に位置している、
請求項４記載のロボットシステム。

【請求項9】

前記ロボットは、前記ハンドに接続された多関節アームを有し、
前記多関節アームは、
前記第１方向における前記ハンドの位置と、
前記第２方向における前記ハンドの位置と、
前記第１方向及び前記第２方向に垂直な軸線まわりの前記ハンドの姿勢と、
を１以上の関節の回転により変更し得るように構成されている、
請求項１～８のいずれか一項記載のロボットシステム。

【請求項10】

前記センサは、前記ターゲットまでの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、前記ターゲットまでの距離が前記所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されており、
前記第１検出部は、
前記所定距離よりも大きい距離にて前記センサを前記ターゲットに対向させた後、前記第１方向に沿って前記センサを前記ターゲットに近付けるように前記ロボットを制御し、
前記センサの出力が前記第１信号から前記第２信号に切り替わったときの前記センサの位置に基づいて、前記第１方向における前記ターゲットの位置を検出する、
請求項１～８のいずれか一項記載のロボットシステム。

【請求項11】

前記第１検出部は、前記センサの出力が前記第１信号から前記第２信号に切り替わった後に、前記第１方向に沿って更に前記ターゲットに近付いたセンシング位置まで前記センサを移動させるように前記ロボットを停止させ、
前記第２検出部は、前記センシング位置に配置された前記センサを前記第２方向に沿って移動させるように前記ロボットを制御する、
請求項１０記載のロボットシステム。

【請求項12】

前記センサは、前記ターゲットに対向した状態にて、前記ターゲットまでの距離を表す信号を出力するように構成されており、
前記第１検出部は、前記第１方向に沿って前記ターゲットに対向した前記センサが出力する信号と、前記センサの位置とに基づいて、前記第１方向における前記ターゲットの位置を検出する、
請求項１～８のいずれか一項記載のロボットシステム。

【請求項13】

前記ターゲットは、前記第２方向に沿って互いに離れた第１部分と第２部分とを有し、
前記第１検出部は、
前記第１部分と前記第２部分とのそれぞれに対して、前記第１方向に沿って前記センサを対向させるように前記ロボットを制御し、
前記第１方向に沿って前記第１部分に対向した前記センサの検出結果と、前記第１方向に沿って前記第１部分に対向した前記センサの位置とに基づいて、前記第１方向における前記第１部分の位置を検出し、
前記第１方向に沿って前記第２部分に対向した前記センサの検出結果と、前記第１方向に沿って前記第２部分に対向した前記センサの位置とに基づいて、前記第１方向における前記第２部分の位置を検出し、
前記第１方向における前記第１部分の位置と、前記第１方向における前記第２部分の位置とに基づいて、前記第１方向と前記第２方向とに垂直な軸線まわりの前記ターゲットの傾きを検出する、
請求項１～８のいずれか一項記載のロボットシステム。

【請求項14】

前記センサは、互いに離れて位置し、それぞれが非接触で前記ターゲットを検出する第１センシング部と第２センシング部とを有し、
前記第２センシング部は、前記第１方向に沿って前記第１部分が前記第１センシング部に対向する際に、前記第１方向に沿って前記第２部分に対向し、
前記第１検出部は、
前記第１方向に沿って前記第１センシング部及び前記第２センシング部を前記第１部分及び前記第２部分にそれぞれ対向させるように前記ロボットを制御し、
前記第１方向に沿って前記第１部分に対向した前記第１センシング部の検出結果と、前記第１方向に沿って前記第１部分に対向した前記第１センシング部の位置とに基づいて、前記第１方向における前記第１部分の位置を検出し、
前記第１方向に沿って前記第２部分に対向した前記第２センシング部の検出結果と、前記第１方向に沿って前記第２部分に対向した前記第２センシング部の位置とに基づいて、前記第１方向における前記第２部分の位置を検出する、
請求項１３記載のロボットシステム。

【請求項15】

前記第１センシング部と前記第２センシング部とのそれぞれは、前記ターゲットまでの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、前記ターゲットまでの距離が前記所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されており、
前記第１検出部は、
前記所定距離よりも大きい距離にて前記第１センシング部及び前記第２センシング部を前記第１部分及び前記第２部分にそれぞれ対向させた後、前記第１方向に沿って前記第１センシング部及び前記第２センシング部を前記第１部分及び前記第２部分にそれぞれ近付けるように前記ロボットを制御し、
前記第１センシング部の出力が前記第１信号から前記第２信号に切り替わったときの前記第１センシング部の位置に基づいて、前記第１方向における前記第１部分の位置を検出し、
前記第２センシング部の出力が前記第１信号から前記第２信号に切り替わったときの前記第２センシング部の位置に基づいて、前記第１方向における前記第２部分の位置を検出する、
請求項１４記載のロボットシステム。

【請求項16】

前記第１方向に沿って前記第１部分と対向する視点から見て、前記第１部分のアウトラインは、互いに非平行でそれぞれが前記第２方向に交差する第１ラインと第２ラインとを有し、
前記第１方向に沿って前記第２部分と対向する視点から見て、前記第２部分の前記アウトラインは、互いに非平行でそれぞれが前記第２方向に交差する第３ラインと第４ラインとを有し、
前記第２検出部は、
前記第２方向に沿って移動する前記第１センシング部の検出結果の変化に基づいて前記第１ラインと前記第２ラインとを認識し、
前記第１ラインを認識した際の前記第１センシング部の位置と、前記第２ラインを認識した際の前記第１センシング部の位置とに基づいて、前記第１方向と前記第２方向とに垂直な第３方向における前記第１部分の位置を検出し、
前記第２方向に沿って移動する前記第２センシング部の検出結果の変化に基づいて前記第３ラインと前記第４ラインとを認識し、
前記第３ラインを認識した際の前記第２センシング部の位置と、前記第４ラインを認識した際の前記第２センシング部の位置とに基づいて、前記第３方向における前記第２部分の位置を検出する、
請求項１５記載のロボットシステム。

【請求項17】

前記第１検出部は、前記第１方向に沿って前記第１部分に対向した前記センサの検出結果に基づいて前記第１方向における前記第１部分の位置を検出した後、前記第２方向に沿って移動し前記第１方向に沿って前記第２部分に対向した前記センサの検出結果に基づいて前記第１方向における前記第２部分の位置を検出する、
請求項１３記載のロボットシステム。

【請求項18】

前記センサは、前記ターゲットまでの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、前記ターゲットまでの距離が前記所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されており、
前記第１検出部は、
前記所定距離よりも大きい距離にて前記センサを前記第１部分に対向させた後、前記第１方向に沿って前記センサを前記ターゲットに近付けるように前記ロボットを制御し、
前記センサの出力が前記第１信号から前記第２信号に切り替わったときの前記センサの位置に基づいて、前記第１方向における前記第１部分の位置を検出し、
前記第２方向に沿った前記センサの移動を、前記第１方向に沿って前記第２部分に前記センサが対向した状態で停止させ、
前記第２部分に対向した前記センサを、前記第１方向に沿って前記ターゲットから遠ざけるように前記ロボットを制御し、
前記センサの出力が前記第２信号から前記第１信号に切り替わったときの前記センサの位置に基づいて、前記第１方向における前記第２部分の位置を検出する、
請求項１７記載のロボットシステム。

【請求項19】

前記基板支持部は、基板を収容する基板収容部内に設けられ、
前記ロボットシステムは、前記基板の代わりに前記基板収容部内の前記基板支持部に配置可能なターゲットベースを更に備え、
前記ターゲットは、前記ターゲットベースが前記基板支持部に指示された状態にて、前記基板収容部の外から前記センサにより検出可能な位置に配置されるように前記ターゲットベースに設けられている、
請求項１～８のいずれか一項記載のロボットシステム。

【請求項20】

前記基板支持部は、それぞれが前記基板を水平にして支持可能となるように基板収容部内に設けられた多段の基板支持部のいずれかであり、
前記ロボットシステムは、
前記センサを前記基板収容部に向けながら鉛直方向に沿って移動させるように前記ロボットを制御するスキャン制御部と、
鉛直方向に沿って移動する前記センサによる検出結果に基づいて、前記多段の基板支持部のそれぞれに前記基板が支持されているか否かを検出するマッピング部と、
を更に備える、
請求項１～８のいずれか一項記載のロボットシステム。

【請求項21】

基板をハンドにより支持し、水平な第１方向に沿って基板収容部に出し入れするロボットの前記ハンドに設けられ、ターゲットに対向し非接触で前記ターゲットを検出するセンサの検出結果に基づいて、前記ロボットと前記基板収容部との位置関係を特定するためのキャリブレーションツールであって、
前記第１方向に沿って前記基板の代わりに前記基板収容部に出し入れ可能なターゲットベースと、
前記ターゲットベースが前記基板収容部に収容された状態にて、前記基板収容部の外から前記センサにより検出可能な位置に配置されるように前記ターゲットベースに設けられた前記ターゲットと、
を備え、
前記第１方向に沿って前記ターゲットと対向する視点から見て、前記ターゲットのアウトラインは、互いに非平行でそれぞれが水平方向に交差する第１ラインと第２ラインとを有する、キャリブレーションツール。

【請求項22】

基板をハンドにより支持して搬送するロボットの前記ハンドに設けられたセンサの検出結果に基づいて、前記ロボットによる搬送前又は搬送後の前記基板が配置される基板支持部と、前記ロボットとの位置関係を特定する方法であって、
前記基板支持部にターゲットを配置することと、
第１方向に沿って前記センサを非接触で前記ターゲットに対向させるように前記ロボットを制御し、前記第１方向に沿って非接触で前記ターゲットに対向した前記センサの検出結果と、前記センサの位置とに基づいて、前記第１方向における前記ターゲットの位置を検出することと、
前記第１方向に垂直な第２方向に沿って前記センサを移動させるように前記ロボットを制御し、前記第２方向に沿った移動による前記センサの検出結果の変化と、前記センサの位置とに基づいて、前記第２方向における前記ターゲットの位置を検出することと、
を含むキャリブレーション方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ロボットシステム、キャリブレーションツール、及びキャリブレーション方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ワークピースハンドリングロボットをステーションに対して校正するロボット校正装置が開示されている。ワークピースハンドリングロボットは、エンドエフェクタに取り付けられたセンサを含む。ロボット校正装置は、目標物を含む。目標物の片側には黒の領域と白の領域とを含むパターンが設けられる。ロボット校正装置は、エンドエフェクタを移動させ、センサは黒の領域と白の領域との切り替わりに基づいて目標物の中心を決定する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特表２００４－５３６４４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、キャリブレーションを容易に行うことができるロボットシステムを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一側面に係るロボットシステムは、基板をハンドにより支持して搬送するロボットと、ロボットによる搬送前又は搬送後の基板が配置される基板支持部に、基板の代わりに配置可能なターゲットと、ハンドに設けられ、ターゲットに対向し非接触でターゲットを検出するセンサと、第１方向に沿ってセンサをターゲットに対向させるようにロボットを制御し、第１方向に沿ってターゲットに対向したセンサの検出結果と、センサの位置とに基づいて、第１方向におけるターゲットの位置を検出する第１検出部と、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサを移動させるようにロボットを制御し、第２方向に沿った移動によるセンサの検出結果の変化と、センサの位置とに基づいて、第２方向におけるターゲットの位置を検出する第２検出部と、を備える。

【0006】

本開示の他の側面に係るキャリブレーションツールは、基板をハンドにより支持し、水平な第１方向に沿って基板収容部に出し入れするロボットのハンドに設けられ、ターゲットに対向し非接触でターゲットを検出するセンサの検出結果に基づいて、ロボットと基板収容部との位置関係を特定するためのキャリブレーションツールであって、第１方向に沿って基板の代わりに基板収容部に出し入れ可能なターゲットベースと、ターゲットベースが基板収容部に収容された状態にて、基板収容部の外からセンサにより検出可能な位置に配置されるようにターゲットベースに設けられたターゲットと、を備え、第１方向に沿ってターゲットと対向する視点から見て、ターゲットのアウトラインは、互いに非平行でそれぞれが水平方向に交差する第１ラインと第２ラインとを有する。

【0007】

本開示の更に他の側面に係るキャリブレーション方法は、基板をハンドにより支持して搬送するロボットのハンドに設けられたセンサの検出結果に基づいて、ロボットによる搬送前又は搬送後の基板が配置される基板支持部と、ロボットとの位置関係を特定する方法であって、基板支持部にターゲットを配置することと、第１方向に沿ってセンサを非接触でターゲットに対向させるようにロボットを制御し、第１方向に沿って非接触でターゲットに対向したセンサの検出結果と、センサの位置とに基づいて、第１方向におけるターゲットの位置を検出することと、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサを移動させるようにロボットを制御し、第２方向に沿った移動によるセンサの検出結果の変化と、センサの位置とに基づいて、第２方向におけるターゲットの位置を検出することと、を含む。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、キャリブレーションを容易に行うことができるロボットシステムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】ロボットシステムの構成を例示する模式図である。

【図2】基板支持部に配置されたキャリブレーションツールの正面図である。

【図3】図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う断面図である。

【図4】ロボットコントローラの機能的な構成を例示するブロック図である。

【図5】キャリブレーションのための２の動作を例示する模式図である。

【図6】第１ライン及び第２ラインの認識結果とセンサの高さとの関係を表す模式図である。

【図7】スキャン制御による２の動作を例示する模式図である。

【図8】キャリブレーションツールの変形例を示す小メンズである。

【図9】図８のキャリブレーションツールに対応する２の動作を例示する模式図である。

【図10】１のセンシング部によりキャリブレーションを行うための動作を例示する模式図である。

【図11】１のセンシング部によりキャリブレーションを行うための動作の変形例を示す模式図である。

【図12】１のセンシング部によりキャリブレーションを行うための動作の変形例を示すグラフである。

【図13】ロボットコントローラのハードウェア構成を例示するブロック図である。

【図14】キャリブレーション手順を例示するフローチャートである。

【図15】キャリブレーション手順を例示するフローチャートである。

【図16】マッピング手順を例示するフローチャートである。

【図17】搬送手順を例示するフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

【0011】

〔ロボットシステム〕
図１に示すロボットシステム１は、例えば基板処理装置において、処理対象の基板Ｗをハンドにより支持して搬送するシステムである。基板Ｗの例としては、ガラスエポキシ等の樹脂材料またはガラスにより形成された矩形状のパネルが挙げられるが、これに限られない。基板Ｗは半導体基板であってもよい。

【0012】

例えばロボットシステム１は、基板支持部から基板Ｗを受け取って搬送するか、又は基板Ｗを搬送して基板支持部に引き渡す。例えば、基板支持部は、基板収容部９内に設けられていてもよい。例えば基板収容部９は、複数の基板Ｗを収容するカセットであり、多段の基板支持部９２を有する。多段の基板支持部９２のそれぞれは、水平方向に沿わされた基板Ｗを支持する。多段の基板支持部９２によって、基板収容部９内が多段のスロット９３に区画されている。

【0013】

基板収容部９は、開口９１を更に有する。開口９１は、多段のスロット９３のそれぞれに対して、水平な一方向に沿って基板Ｗを搬入・搬出可能とするように開口している。上記水平な一方向を、以下においては「基板収容部９の奥行方向」という。また、鉛直方向と基板収容部９の奥行方向とに垂直な方向を、「基板収容部９の幅方向」という。多段の基板支持部９２のそれぞれは、複数本（例えば３本）のロッド９４，９５，９６を有する。ロッド９４，９５，９６は、互いに平行であり、同一の高さでそれぞれが水平方向（例えば基板収容部９の奥行方向）に沿って延びている。

【0014】

基板支持部は、ロボットシステム１との間で受け渡し可能となるように基板Ｗを支持する部分であればよく、基板収容部９内の基板支持部９２には限定されない。例えば基板支持部は、基板Ｗに対し処理が行われるチャンバー内において基板Ｗを支持する部分であってもよい。

【0015】

ロボットシステム１は、ロボット２と、ロボットコントローラ１００とを有する。ロボット２は、基板Ｗをハンドにより支持して搬送する。例えばロボット２は、ハンド１０と、多関節アーム２０とを有する。

【0016】

ハンド１０は、水平方向に沿って基板Ｗの下に配置され、基板Ｗを支持する。例えばハンド１０は、上方から見てフォーク状であり、フォークソケット１１と、一対のフォークティン１２，１３とを有する。フォークソケット１１は、水平方向に沿って広がっており、フォークティン１２，１３は、上方から見て互いに平行になるように、フォークソケット１１から水平な一方向に延びている。基板Ｗは、フォークティン１２，１３、によって支持される。なお、ハンド１０は、基板Ｗを載置して搬送でき、基板収容部９に対して基板Ｗを搬入・搬出できるものであれば、以上の形態に限られない。

【0017】

多関節アーム２０は、基板支持部９２から基板Ｗを受け取って搬送するか、基板Ｗを搬送して基板支持部９２に引き渡すようにハンド１０を移動させる。例えば多関節アーム２０は、基板支持部９２から基板Ｗを受け取って搬送するか、基板Ｗを搬送して基板支持部９２に引き渡すために、開口９１を介して基板収容部９内に対してハンド１０を出し入れする。以下、ロボット２の説明においては、開口９１から基板収容部９内に進入する方向をＹ軸正方向とし、鉛直上方をＺ軸正方向とするＸＹＺ座標系を用いる。ＸＹＺ座標系は、ロボット２を基準とする（例えば後述の基部２１を基準とする）ロボット座標系であるものとする。

【0018】

多関節アーム２０は、Ｙ方向（第１方向）におけるハンド１０の位置と、Ｘ方向（第２方向）におけるハンド１０の位置と、Ｚ方向（第１方向及び第２方向に垂直な方向）に沿った軸線まわりのハンド１０の姿勢とを１以上の関節の回転により変更し得るように構成されている。

【0019】

例えば多関節アーム２０は、基部２１と、第１アーム２２と、第２アーム２３と、アクチュエータ５１，５２，５３とを有する。基部２１は、基板収容部９の周囲に固定されている。第１アーム２２は、鉛直な軸線３１まわりに回転可能となるように基部２１に接続されており、軸線３１から遠ざかる方向に延びている。第２アーム２３は、鉛直な軸線３２まわりに回転可能となるように第１アーム２２の端部に接続されており、軸線３２から遠ざかる方向に延びている。

【0020】

第２アーム２３の端部には、ハンド１０のフォークソケット１１が接続される。例えばフォークソケット１１は、鉛直な軸線３３まわりに回転可能となるように、第２アーム２３の端部に接続されている。以上の例において、多関節アーム２０は、基部２１と第１アーム２２とを接続する関節４１と、第１アーム２２と第２アーム２３とを接続する関節４２と、第２アーム２３とフォークソケット１１とを接続する関節４３と、の３関節を有する。

【0021】

アクチュエータ５１，５２，５３は、関節４１，４２，４３をそれぞれ駆動する。例えばアクチュエータ５１は軸線３１まわりに第１アーム２２を回転させ、アクチュエータ５２は軸線３２まわりに第２アーム２３を回転させ、アクチュエータ５３は軸線３３まわりにフォークソケット１１を回転させる。多関節アーム２０は、アクチュエータ５４を更に有してもよい。アクチュエータ５４は、軸線３１に沿って第１アーム２２を昇降させる。アクチュエータ５１，５２，５３，５４は、例えば電動式であるがこれに限られない。

【0022】

図１においては、アクチュエータ５１，５２，５３，５４のそれぞれが駆動対象と同じ位置に示されているが、アクチュエータ５１，５２，５３，５４の少なくともいずれかは、駆動対象から離れた位置に配置され、リンク、タイミングベルト、ギヤ等の動力伝達機構を介して駆動対象に接続されていてもよい。

【0023】

第１方向におけるハンド１０の位置と、第２方向におけるハンド１０の位置と、第１方向及び第２方向に垂直な軸線まわりのハンド１０の姿勢とを変更し得る限りにおいて、多関節アーム２０の構成は変更可能である。例えば多関節アーム２０は、より多くの関節を有していてもよい。関節４１，４２，４３のいずれか２以上が、リンクなどを介して共通のアクチュエータにより駆動されてもよい。

【0024】

ロボット２は、センサ６０を更に有する。センサ６０は、ハンド１０に設けられ、物体に対向し非接触で物体を検出する。例えばセンサ６０は、反射型レーザセンサであり、水平方向へレーザ光を出射し、物体から反射して戻ってくる反射光を検出する。レーザ光の出射方向に物体が存在するか否か、又はセンサ６０から物体までの距離等によって、センサ６０に戻ってくる反射光は変化する。このため、反射光に基づいて、物体を検出することができる。

【0025】

センサ６０は、レーザ光の出射と反射光の検出とを複数箇所で行うように構成されていてもよい。例えばセンサ６０は、第１センシング部６１と、第２センシング部６２とを有する。第１センシング部６１はフォークティン１２の端部に設けられており、フォークソケット１１からフォークティン１２が延びる方向にレーザ光を出射して反射光を検出する。第２センシング部６２はフォークティン１３の端部に設けられており、フォークソケット１１からフォークティン１３が延びる方向にレーザ光を出射して反射光を検出する。

【0026】

センサ６０は、物体までの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、物体までの距離が所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されていてもよい。センサ６０が第１センシング部６１と第２センシング部６２とを有する場合、第１センシング部６１と第２センシング部６２とのそれぞれが、物体までの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、物体までの距離が所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されていてもよい。

【0027】

センサ６０は、非接触で基板Ｗの存否を確認することに利用可能である。例えば、フォークティン１２，１３の端部を、基板収容部９外からスロット９３に対向させ、基板Ｗが存在すべき位置にセンサ６０を向けて反射光を検出し、反射光の強度に基づいて、スロット９３内に基板Ｗが存在するか否かを確認することができる。

【0028】

ロボットコントローラ１００は、予め定められた動作プログラムに基づいて、基板Ｗを搬送するようにロボット２を動作させる。動作プログラムは、例えば時系列に並ぶ複数の動作コマンドを含む。複数の動作コマンドは、少なくともハンド１０の目標位置・目標姿勢を含む。目標位置・目標姿勢は、ロボット２と基板支持部との位置関係に基づいて定められている。

【0029】

ロボット２と基板支持部との実際の位置関係と、目標位置・目標姿勢が前提とする上記位置関係との間には僅かなずれが生じ得る。以下、このずれを「位置関係のずれ」という。位置関係のずれが生じている場合、基板支持部に対してハンド１０を正確に配置することができないので、搬送後における基板Ｗの位置決め精度が低下することになる。そこで、基板Ｗの正確な搬送のためには、上記位置関係のずれを縮小するキャリブレーションが必要である。

【0030】

キャリブレーションを容易に行うために、ロボットシステム１は、基板支持部に基板Ｗの代わりに配置可能なターゲットを更に備える。ロボットコントローラ１００は、第１方向に沿ってセンサ６０をターゲットに対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿ってターゲットに対向したセンサ６０の検出結果と、センサ６０の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲットの位置を検出することと、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御し、第２方向に沿った移動によるセンサ６０の検出結果の変化と、センサ６０の位置とに基づいて、第２方向におけるターゲットの位置を検出することと、を実行するように構成されている。

【0031】

１つのセンサ６０によって、第１方向におけるターゲットの位置と、第２方向におけるターゲットの位置との両方を検出し、第１方向におけるターゲットの位置と、第２方向におけるターゲットの位置とに基づいて、ロボット２と基板支持部との実際の位置関係を特定することができる。従って、キャリブレーションを容易に行うことができる。以下、ターゲットの構成と、ロボットコントローラ１００の構成とを詳細に例示する。

【0032】

（ターゲット）
ロボットシステム１は、上記ターゲットを含むキャリブレーションツール３を備える。図２は、基板収容部９内において基板支持部９２に配置されたキャリブレーションツール３を例示する模式図である。図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う断面図である。図２及び図３に示すように、キャリブレーションツール３は、ターゲットベース２００と、第１ブロック３００と、第２ブロック４００とを有する。

【0033】

ターゲットベース２００は、基板Ｗの代わりに基板収容部９内の基板支持部９２に配置される。例えばターゲットベース２００は板状であり、水平方向に沿わされて基板支持部９２上に配置される。ターゲットベース２００は、予め定められた配置ルールに従って、基板支持部９２に配置される。配置ルールは、少なくとも、何段目の基板支持部９２の上にターゲットベース２００を配置するかを定めるルールと、基板支持部９２の上のいかなる位置にターゲットベース２００を配置するかを定めるルールとを含む。

【0034】

ターゲットベース２００は、上面２０１と、第１エッジライン２０２とを有する。上面２０１は、上記配置ルールに従ってターゲットベース２００が基板支持部９２上に配置された状態で上方に向かう。第１エッジライン２０２は、ターゲットベース２００のアウトラインの一部を構成する直線状のラインである。第１エッジライン２０２は、上記配置ルールに従ってターゲットベース２００が基板支持部９２上に配置された状態で最も開口９１寄りに位置し、基板収容部９の幅方向に沿う。

【0035】

第１ブロック３００と、第２ブロック４００とは、第１エッジライン２０２に平行なラインに沿って並ぶように、上面２０１の上に設けられている。上面２０１の上において、第１ブロック３００と、第２ブロック４００とは、第１エッジライン２０２寄りに位置している。第１ブロック３００と第２ブロック４００とは、上述したセンサ６０の第１センシング部６１と第２センシング部６２とにそれぞれ対応するように配置されている。例えば第１ブロック３００と第２ブロック４００とは、第１センシング部６１が第１ブロック３００に対向する際に、第２センシング部６２が第２ブロック４００に対向するように配置されている。例えば、第１エッジライン２０２に平行な方向における第１ブロック３００と第２ブロック４００との中心間距離は、第１センシング部６１と第２センシング部６２との中心間距離に一致している。

【0036】

第１ブロック３００は、底面３１１と、表面３１２と、裏面３１３とを有する。底面３１１は、上面２０１に対向する。表面３１２は、ターゲットベース２００が上記配置ルールに従って基板支持部９２に配置された状態で、基板収容部９の奥行方向に直交し、開口９１の外に面する。裏面３１３は、表面３１２が面する方向とは反対の方向に面する。

【0037】

第１ブロック３００と同様に、第２ブロック４００は、底面４１１と、表面４１２と、裏面４１３とを有する。底面４１１は、上面２０１に対向する。表面４１２は、ターゲットベース２００が上記配置ルールに従って基板支持部９２に配置された状態で、基板収容部９の奥行方向に直交し、開口９１の外に面する。裏面４１３は、表面４１２が面する方向とは反対の方向に面する。

【0038】

ターゲットベース２００が上記配置ルールに従って基板支持部９２に配置された状態において、表面３１２，４１２は、基板収容部９の外からセンサ６０により検出可能な位置に配置される。基板収容部９の外からセンサ６０により検出可能であるとは、基板収容部９内にセンサ６０を進入させることなく検出可能であることを意味する。例えば表面３１２，４１２は、開口９１から表面３１２，４１２までの距離が、センサ６０の上記所定距離よりも小さくなるように配置される。

【0039】

以上の構成によれば、表面３１２，４１２が、基板収容部９の外からセンサ６０により検出可能なターゲットとなる。以下、ターゲットのうち表面３１２により構成される部分をターゲット３２０とし、ターゲットのうち表面４１２により構成される部分をターゲット４２０として互いに区別する。

【0040】

基板収容部９の奥行方向に沿ってターゲット３２０と対向する視点から見て、ターゲット３２０のアウトライン３３０は、互いに非平行でそれぞれが基板収容部９の幅方向に交差する第１ライン３３１と第２ライン３３２とを有していてもよい。例えば底面３１１には、表面３１２と裏面３１３とに垂直な方向に沿ったＶ字状の溝３１４が形成されている。溝３１４は、上面２０１から遠ざかるにつれて互いに近付く第１内面３１５と第２内面３１６とを有する。底面３１１に溝３１４が形成されることによって、アウトライン３３０には、第１内面３１５に対応する第１ライン３３１と、第２内面３１６に対応する第２ライン３３２とがそれぞれ形成される。

【0041】

また、底面３１１に溝３１４が形成されることによって、ターゲット３２０は、基板収容部９の幅方向に沿って並ぶ第１表面３２１と第２表面３２２とに区画され、第１ライン３３１と第２ライン３３２とが第１表面３２１と第２表面３２２との間に位置する。

【0042】

基板収容部９の奥行方向に沿ってターゲット４２０と対向する視点から見て、ターゲット４２０のアウトライン４３０は、互いに非平行でそれぞれが基板収容部９の幅方向に交差する第３ライン４３１と第４ライン４３２とを有していてもよい。例えば底面４１１には、表面４１２と裏面４１３とに垂直な方向に沿ったＶ字状の溝４１４が形成されている。溝４１４は、上面２０１から遠ざかるにつれて互いに近付く第３内面４１５と第４内面４１６とを有する。底面４１１に溝４１４が形成されることによって、アウトライン４３０には、第３内面４１５に対応する第３ライン４３１と、第４内面４１６に対応する第４ライン４３２とがそれぞれ形成される。

【0043】

また、底面４１１に溝４１４が形成されることによって、ターゲット４２０は、基板収容部９の幅方向に沿って並ぶ第３表面４２１と第４表面４２２とに区画され、第３ライン４３１と第４ライン４３２とが第３表面４２１と第４表面４２２との間に位置する。

【0044】

なお、上記位置関係のずれが僅かである限り、基板収容部９の幅方向はロボット座標系におけるＸ方向に概ね一致し、基板収容部９の奥行方向はロボット座標系におけるＹ方向に概ね一致する。このため、基板収容部９の幅方向に交差する第１ライン３３１と第２ライン３３２とは、Ｘ方向に交差する。また、基板収容部９の幅方向に沿って並ぶ第１表面３２１と第２表面３２２とは、Ｘ方向に沿って並ぶ。同様に、基板収容部９の幅方向に交差する第３ライン４３１と第４ライン４３２とは、Ｘ方向に交差する。また、基板収容部９の幅方向に沿って並ぶ第３表面４２１と第４表面４２２とは、Ｘ方向に沿って並ぶ。

【0045】

以上においては、ターゲット３２０のアウトライン３３０が第１ブロック３００の外形によって形成され、ターゲット４２０のアウトライン４３０が第２ブロック４００の外形によって形成されている。アウトライン３３０，４３０は、必ずしもブロックの外形によって形成されなくてよい。例えば、表面３１２，４１２のそれぞれに、レーザ光の反射率が異なる２領域が形成され、アウトライン３３０，４３０のそれぞれが２領域の境界により構成されていてもよい。例えば、表面３１２，４１２のそれぞれに、黒色領域及び白色領域が形成され、アウトライン３３０，４３０のそれぞれが黒色領域と白色領域との境界により構成されていてもよい。

【0046】

（ロボットコントローラ）
図４は、ロボットコントローラ１００の機能的な構成を例示するブロック図である。図４に示すように、ロボットコントローラ１００は、機能上の構成要素（以下、「機能ブロック」という。）として、プログラム記憶部１１１と、ロボット制御部１１２と、第１検出部１１３と、第２検出部１１４と、キャリブレーション部１１５と、を有する。プログラム記憶部１１１は、上記動作プログラムを記憶する。上記動作プログラムにおいて、上記複数の動作コマンドの少なくとも一部の目標位置・目標姿勢は、基板収容部９を基準とする座標系により定められていてもよい。以下、基板収容部９を基準とする座標系を、外部座標系という。

【0047】

この場合、上記動作プログラムは、上記複数の動作コマンドに加えて、座標変換パラメータを更に含む。座標変換パラメータは、ロボット座標系と、外部座標系との間の座標変換を行うためのパラメータである。このような動作プログラムによれば、上記位置関係が、座標変換パラメータにより表されることとなる。

【0048】

プログラム記憶部１１１は、複数種類の動作にそれぞれ対応する複数の動作プログラムを記憶していてもよい。複数の動作プログラムの例としては、上記キャリブレーションのためにロボット２を動作させるためのプログラム（以下、「キャリブレーションプログラム」という。）、ロボット２に基板Ｗを搬送させるためのプログラム（以下、「搬送プログラム」という。）、後述のマッピングのためにロボット２を動作させるためのプログラム（以下、「スキャンプログラム」という。）等が挙げられる。

【0049】

ロボット制御部１１２は、プログラム記憶部１１１が記憶する動作プログラムに基づいて、ロボット２を動作させる。プログラム記憶部１１１が複数の動作プログラムを記憶する場合、ロボット制御部１１２は、指定された動作に対応する動作プログラムを選択し、選択した動作プログラムに基づいてロボット２を動作させる。

【0050】

上述したように、目標位置・目標姿勢が外部座標系により定められている場合、ロボット制御部１１２は、上記座標変換パラメータに基づいて、目標位置・目標姿勢をロボット座標系における目標位置・目標姿勢に変換し、変換済みの目標位置・目標姿勢までハンド１０を移動させるようにロボット２を制御する。例えばロボット制御部１１２は、目標位置・目標姿勢までハンド１０を移動させるためのアクチュエータ５１，５２，５３の動作角度と、アクチュエータ５４による第１アーム２２の昇降高さとを逆運動学演算により算出し、算出結果に基づいてアクチュエータ５１，５２，５３，５４を動作させる。

【0051】

第１検出部１１３と、第２検出部１１４とは、ターゲットベース２００が上記配置ルールに従って基板支持部９２に配置された状態にて、キャリブレーションのために少なくともターゲット３２０の位置を検出する。第１検出部１１３は、第１方向（例えばＹ方向）に沿ってセンサ６０（例えば第１センシング部６１）をターゲット３２０，４２０の一部（例えばターゲット３２０の第１表面３２１）に対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿って第１表面３２１に対向した第１センシング部６１の検出結果と、第１センシング部６１の位置とに基づいて、第１方向における第１表面３２１の位置を検出する。例えば第１検出部１１３は、第１方向に沿って第１センシング部６１を第１表面３２１に対向させることをロボット制御部１１２に要求する。ロボット制御部１１２は、上記キャリブレーションプログラムに基づいて、第１方向に沿って第１センシング部６１を第１表面３２１に対向させるようにロボット２を制御する。

【0052】

例えばロボット制御部１１２は、上記所定距離よりも大きい距離にて第１センシング部６１を第１表面３２１に対向させた後、第１方向に沿って第１センシング部６１を第１表面３２１に近付けるようにロボット２を制御する（図５の（ａ）参照）。第１検出部１１３は、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第１センシング部６１の位置に基づいて、第１方向における第１表面３２１の位置を検出する。

【0053】

第１センシング部６１の位置は、例えばロボット座標系におけるセンサ６０の位置である。例えば第１検出部１１３は、アクチュエータ５１，５２，５３，５４の動作結果に基づく順道学演算により、ロボット座標系におけるハンド１０の位置・姿勢を算出し、ハンド１０の位置・姿勢と、ハンド１０を基準とした第１センシング部６１の位置とに基づいて、第１センシング部６１のＹ座標を算出する。ハンド１０を基準とした第１センシング部６１の位置は、予め定められ、記憶されている。

【0054】

同様に、第１方向における第１表面３２１の位置は、ロボット座標系における第１表面３２１の位置である。第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときに、第１センシング部６１から第１表面３２１までの距離は、上記所定距離にほぼ一致する。そこで、第１検出部１１３は、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第１センシング部６１のＹ座標に、上記所定距離を加算して、第１表面３２１のＹ座標を算出する。

【0055】

センサ６０は、ターゲットに対向した状態にて、ターゲットまでの距離を表す信号を出力するように構成されていてもよい。第１センシング部６１と第２センシング部６２とのそれぞれが、ターゲットに対向した状態にて、ターゲットまでの距離を表す信号を出力するように構成されていてもよい。この場合、第１検出部１１３は、第１方向に沿ってターゲット３２０に対向した第１センシング部６１が出力する信号と、第１センシング部６１の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲット３２０の位置を検出してもよい。例えば第１検出部１１３は、第１方向に沿ってターゲット３２０に対向した第１センシング部６１のＹ座標に、第１センシング部６１が出力する信号に基づく距離を加算して、第１方向におけるターゲット３２０のＹ座標を算出してもよい。

【0056】

第２検出部１１４は、第１方向に垂直な第２方向（例えばＸ方向）に沿ってセンサ６０（例えば第１センシング部６１）を移動させるようにロボット２を制御し、第２方向に沿った移動による第１センシング部６１の検出結果の変化と、第１センシング部６１の位置とに基づいて、第２方向におけるターゲット３２０の位置を検出する。第２検出部１１４は、第１検出部１１３により第１方向におけるターゲット３２０の位置が検出された後に、第２方向に沿って第１センシング部６１を移動させるようにロボット２を制御してもよい。第１方向におけるターゲット３２０の位置が検出された後であれば、ターゲット３２０からの反射光が確実にセンサ６０に届いているので、第２方向に沿って第１センシング部６１が移動する際に、第１表面３２１に対向する状態における第１センシング部６１の検出結果と、第１表面３２１に対向しない状態における第１センシング部６１の検出結果とに差が表れ易くなる。このため、第２方向における第１表面３２１の位置を、第１センシング部６１による検出結果の変化に基づいてより高い信頼性で検出することができる。

【0057】

例えば第２検出部１１４は、第１方向における第１表面３２１の位置が検出された後に、第２方向に沿って第１センシング部６１を移動させることをロボット制御部１１２に要求する。ロボット制御部１１２は、上記キャリブレーションプログラムに基づいて、第２方向に沿って第１センシング部６１を移動させるようにロボット２を制御する。例えばロボット制御部１１２は、第１表面３２１に対向する位置から第２表面３２２に対向する位置に向かって第１センシング部６１を移動させるようにロボット２を制御する（図５の（ｂ）参照）。

【0058】

第２検出部１１４は、第２方向に沿った移動による第１センシング部６１の検出結果の変化に基づいて、ターゲット３２０のアウトライン３３０を認識し、アウトライン３３０を認識した際のセンサ６０の位置に基づいて、第２方向におけるターゲットの位置を検出する。例えば第２検出部１１４は、第２方向に沿ったセンサ６０の移動によって、センサ６０の出力が第２信号から第１信号又は第１信号から第２信号に切り替わったことに基づいてアウトライン３３０を認識する。

【0059】

第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置も、ロボット座標系におけるターゲット３２０，４２０の位置である。例えば第２検出部１１４は、アクチュエータ５１，５２，５３，５４の動作結果に基づく順道学演算により、ロボット座標系におけるハンド１０の位置・姿勢を算出し、ハンド１０の位置・姿勢と、ハンド１０を基準としたセンサ６０の位置とに基づいて、ロボット座標系におけるセンサ６０のＸ座標を算出する。第２検出部１１４は、アウトライン３３０を認識した際のセンサ６０のＸ座標に基づいて、ターゲット３２０のＸ座標を算出する。

【0060】

第２検出部１１４は、第２方向に沿って移動する第１センシング部６１の検出結果に基づいて第１ライン３３１と第２ライン３３２とを認識し、第１ライン３３１を認識した際の第１センシング部６１の位置と、第２ライン３３２を認識した際の第１センシング部６１の位置とに基づいて、第１方向と第２方向とに垂直な第３方向（例えばＺ方向）におけるターゲット３２０の位置を更に検出してもよい。１つのセンサ６０によって、第３方向におけるターゲット３２０の位置に更に基づくキャリブレーションを行うことができる。

【0061】

第３方向におけるターゲット３２０の位置も、ロボット座標系におけるターゲット３２０の位置である。例えば第２検出部１１４は、アクチュエータ５１，５２，５３，５４の動作結果に基づく順道学演算により、ロボット座標系におけるハンド１０の位置・姿勢を算出し、ハンド１０の位置・姿勢と、ハンド１０を基準としたセンサ６０の位置とに基づいて、ロボット座標系におけるセンサ６０のＸ座標及びＺ座標を算出する。第２検出部１１４は、第１ライン３３１を認識した際のセンサ６０のＸ座標及びＺ座標と、第２ライン３３２を認識した際のセンサ６０のＸ座標及びＺ座標とに基づいて、ターゲット３２０のＺ座標を算出する。

【0062】

例えば図６に示すように、第２検出部１１４は、第１ライン３３１を認識した際のセンサ６０のＸ座標及びＺ座標として図中の（Ｘ１，Ｚ１）を算出し、第２ライン３３２を認識した際のセンサ６０のＸ座標及びＺ座標として図中の（Ｘ２，Ｚ２）を算出する。第２検出部１１４は、次式に基づいて、底面３１１からのセンサの高さＨ１を算出する。
Ｈ１＝Ｄ１－Ｄ１・｜Ｘ２－Ｘ１｜／Ｗ１
Ｄ１： 溝３１４の深さ。
Ｗ１： 溝３１４の開口幅。
その後、第２検出部１１４は、センサ６０のＺ座標から高さＨ１を減算して、底面３１１のＺ座標を算出する。センサ６０のＺ座標は、上記Ｚ１であってもよく、上記Ｚ２であってもよく、Ｚ１とＺ２との平均値であってもよい。

【0063】

第２検出部１１４は、第１ライン３３１を認識した際のセンサ６０のＸ座標と、第２ライン３３２を認識した際のセンサ６０のＸ座標とに基づいて、ターゲット３２０のＸ座標を算出してもよい。例えば第２検出部１１４は、上記Ｘ１と上記Ｘ２との平均値をターゲット３２０のＸ座標値して算出する。

【0064】

第１検出部１１３と、第２検出部１１４とは、第１センシング部６１が第１表面３２１に対向した状態を起点として、同一の平面に沿って第１センシング部６１を移動させるようにロボット２を制御してもよい。例えばロボット制御部１１２は、第１表面３２１に対向した状態にて第１方向に沿って第１表面３２１に近付く際の第１センシング部６１の移動パスと、第２方向に沿って移動する際の第１センシング部６１の移動パスとが同一の平面に含まれるように構成されたキャリブレーションプログラムに基づいてロボット２を制御する。第３方向への第１センシング部６１の移動がないので、第３方向における第１センシング部６１の振動を抑制することができる。従って、第３方向におけるターゲット３２０の位置をより高い信頼性で検出することができる。

【0065】

第１方向がＹ方向であり、第２方向がＸ方向である場合、第１検出部１１３と、第２検出部１１４とは、第１センシング部６１が第１表面３２１に対向した状態を起点として、水平な上記平面に沿って第１センシング部６１を移動させることとなる。このため、第３方向における第１センシング部６１の振動を更に抑制することができる。従って、第３方向におけるターゲット３２０の位置をより高い信頼性で検出することができる。

【0066】

第１方向がＹ方向であり、第２方向がＸ方向であることはあくまで一例であり、第１方向及び第１方向の少なくとも一方は必ずしも水平でなくてもよい。

【0067】

第１検出部１１３と、第２検出部１１４とは、第１方向におけるターゲット３２０の位置を検出するための第１センシング部６１の移動パスと、第２方向におけるターゲット３２０の位置を検出するための第１センシング部６１の移動パスとが連続するようにロボット２を制御してもよい。例えばロボット制御部１１２は、第１表面３２１に対向する位置までの第１センシング部６１の移動パスと、第１表面３２１に対向した状態にて第１方向に沿って第１表面３２１に近付く際の第１センシング部６１の移動パスと、第２方向に沿って移動する際の第１センシング部６１の移動パスとが連続するように構成されたキャリブレーションプログラムに基づいてロボット２を制御する。キャリブレーションを更に容易に行うことができる。

【0068】

第１検出部１１３は、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わった後に、第１方向に沿って更にターゲット３２０に近付いたセンシング位置まで第１センシング部６１を移動させるようにロボット２を制御し、第２検出部１１４は、センシング位置に配置された第１センシング部６１を第２方向に沿って移動させるようにロボット２を制御してもよい。ターゲット３２０に対向する状態における第１センシング部６１の検出結果と、ターゲット３２０に対向しない状態における第１センシング部６１の検出結果との差をより確実に出現させることができる。例えば、ターゲット３２０が、第１方向に垂直な平面に対し僅かに傾斜している場合、第２方向への移動に伴って第１センシング部６１がターゲット３２０から遠ざかり、第１センシング部６１の出力が第２信号から第１信号に切り替わってしまうことも考えられる。この場合、未だターゲット３２０に対向しているにもかかわらず、ターゲット３２０に対向しない状態になったことを誤検出することとなり、ターゲット３２０のアウトライン３３０を正確に認識できない。第２方向に沿って第１センシング部６１を移動させる前に、第１センシング部６１を更にターゲット３２０に近付けておくことで、ターゲット３２０の傾きに起因するアウトライン３３０の誤認識を防ぐことができる。

【0069】

第１検出部１１３は、第２方向に沿って互いに離れた第１部分と第２部分とのそれぞれに対して、第１方向における位置の検出を行い、第１部分に対する検出結果と第２部分に対する検出結果とに基づいて第１方向と第２方向とに垂直な軸線（例えばＺ軸）まわりのターゲット３２０，４２０の傾きを検出してもよい。ターゲットの傾きに更に基づくキャリブレーションを行うことができる。第１部分と第２部分との両方がターゲット３２０に属していてもよく、第１部分がターゲット３２０に属し、第２部分がターゲット４２０に属していてもよい。

【0070】

例えば第１検出部１１３は、第１部分と第２部分とのそれぞれに対して、第１方向に沿ってセンサ６０を対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿って第１部分に対向したセンサ６０の検出結果と、第１方向に沿って第１部分に対向したセンサ６０の位置とに基づいて、第１方向における第１部分の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出し、第１方向に沿って第２部分に対向したセンサ６０の検出結果と、第１方向に沿って第２部分に対向したセンサ６０の位置とに基づいて、第１方向における第２部分の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出し、第１方向における第１部分の位置と、第１方向における第２部分の位置とに基づいて、第１方向と第２方向とに垂直な軸線まわりのターゲット３２０，４２０の傾きを検出する。

【0071】

例えば第１検出部１１３は、第１部分のＹ座標と第２部分のＹ座標との差分を、第１部分と第２部分との間隔で除算し、除算結果の反余弦又は反正接をターゲット３２０，４２０の傾き角度として算出する。

【0072】

第１検出部１１３は、第１部分に対する検出を第１センシング部６１により行い、第２部分に対する検出を第２センシング部６２により行ってもよい。例えば第１検出部１１３は、第１方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１部分（例えば第１表面３２１）及び第２部分（例えば第３表面４２１）にそれぞれ対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿って第１表面３２１に対向した第１センシング部６１の検出結果と、第１方向に沿って第１表面３２１に対向した第１センシング部６１の位置とに基づいて、第１方向における第１表面３２１の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出し、第１方向に沿って第３表面４２１に対向した第２センシング部６２の検出結果と、第１方向に沿って第３表面４２１に対向した第２センシング部６２の位置とに基づいて、第１方向における第３表面４２１の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出する。第１部分を検出するためのロボット２の動作と、第２部分を検出するためのロボット２の動作とを同時に進行させることができる。従って、傾きを短時間で検出することができる。第１部分と第２部分との間隔を大きくすると、ターゲット３２０，４２０の傾きの検出精度は高くなるが、第１部分と第２部分とをロボットシステム１のセンシング部で検出する場合、第１部分と第２部分との間におけるセンサの移動時間が長くなる。これに対し、第１センシング部と第２センシング部とを備える構成によれば、第１部分と第２部分との間でセンサを移動させる必要が無いので、ターゲットの傾きの検出精度の向上と、検出時間の短縮との両立を図ることができる。

【0073】

例えば第１検出部１１３は、所定距離よりも大きい距離にて第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１表面３２１及び第３表面４２１にそれぞれ対向させた後、第１方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１表面３２１及び第３表面４２１にそれぞれ近付けるようにロボット２を制御し、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第１センシング部６１の位置に基づいて、第１方向における第１表面３２１の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出し、第２センシング部６２の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第２センシング部６２の位置に基づいて、第１方向における第３表面４２１の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出する。

【0074】

以上のように、第１検出部１１３による検出に第１センシング部６１及び第２センシング部６２の両方を用いる場合、第２検出部１１４による検出に第１センシング部６１及び第２センシング部６２の両方を用いてもよい。例えば第２検出部１１４は、上述したように、第２方向に沿って移動する第１センシング部６１の検出結果の変化に基づいて第１ライン３３１と第２ライン３３２とを認識するのに加えて、第２方向に沿って移動する第２センシング部６２の検出結果の変化に基づいて第３ライン４３１と第４ライン４３２とを認識し、第３ライン４３１を認識した際の第２センシング部６２の位置と、第４ライン４３２を認識した際の第２センシング部６２の位置とに基づいて、第３方向におけるターゲット４２０の位置を検出する。第３方向におけるターゲット４２０の位置の検出手法は、第１ライン３３１を認識した際の第１センシング部６１の位置と、第２ライン３３２を認識した際の第２センシング部６２の位置とに基づいて、第３方向におけるターゲット３２０の位置を検出する上述の手法と同じである。

【0075】

第１センシング部６１と第２センシング部６２とを利用して、第３方向におけるターゲット３２０の位置と、第３方向におけるターゲット４２０の位置とに更に基づくキャリブレーションを行うことができる。これにより、例えば、ターゲット３２０の位置とターゲット４２０の位置との平均値を検出結果とすることで、第３方向におけるターゲット３２０，４２０の位置の検出結果の信頼性を高めることができる。また、第３方向におけるターゲット３２０の位置と、第３方向におけるターゲット４２０の位置との差を織り込んだキャリブレーションを行うことができる。

【0076】

キャリブレーション部１１５は、第１検出部１１３による検出結果と、第２検出部１１４による検出結果とに基づいて、上記座標変換パラメータを算出する。例えばキャリブレーション部１１５は、ロボット座標系におけるターゲット３２０，４２０の座標と、Ｚ軸まわりのターゲット３２０，４２０の傾きとに基づいて、ロボット座標系を基準とした外部座標系の位置及び姿勢を算出する。キャリブレーション部１１５は、算出した座標変換パラメータによって、プログラム記憶部１１１が記憶する座標変換パラメータを更新する。これにより、上記位置関係のずれが縮小される。

【0077】

ロボットコントローラ１００は、スキャン制御部１１６と、マッピング部１１７と、マップ情報記憶部１１８とを更に有してもよい。スキャン制御部１１６は、センサ６０（例えば第１センシング部６１及び第２センシング部６２の少なくともいずれか）を基板収容部９に向けながら鉛直方向に沿って移動させるようにロボット２を制御する。例えばスキャン制御部１１６は、基板収容部９における最上部のスロット９３に、開口９１の外からＹ方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を対向させた後、基板収容部９における最下部のスロット９３に対向するまで第１センシング部６１及び第２センシング部６２を下降させるスキャン制御をロボット制御部１１２に要求する。スキャン制御部１１６は、基板収容部９における最下部のスロット９３に、開口９１の外からＹ方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を対向させた後、基板収容部９における最上部のスロット９３に対向するまで第１センシング部６１及び第２センシング部６２を上昇させるスキャン制御をロボット制御部１１２に要求してもよい。ロボット制御部１１２は、上記スキャンプログラムをプログラム記憶部１１１が記憶する複数の動作プログラムから選択し、選択したスキャンプログラムに基づいてスキャン制御を実行する（図７参照）。

【0078】

スキャン制御部１１６は、キャリブレーション部１１５により座標変換パラメータが更新された後に、上記スキャン制御をロボット制御部１１２に要求する。ロボット制御部１１２は、スキャン制御部１１６から要求されたスキャン制御を、更新された座標変換パラメータを含むスキャン制御プログラムに基づいて実行する。

【0079】

マッピング部１１７は、上記スキャン制御によって、鉛直方向に沿って移動する第１センシング部６１及び第２センシング部６２による検出結果に基づいて、多段の基板支持部９２のそれぞれに基板Ｗが支持されているか否か（多段のスロット９３のそれぞれに基板Ｗが収容されているか否か）を検出し、検出結果を基板収容部９のマップ情報としてマップ情報記憶部１１８に記憶させる。これにより、マップ情報記憶部１１８が記憶するマップ情報が更新される。多段のスロット９３のそれぞれに基板が収容されているか否かの検出にもセンサを有効活用することができる。

【0080】

搬送制御部１１９は、例えば上位コントローラ９００からの指令に基づいて、基板支持部９２から基板Ｗを受け取って搬送するか、又は基板Ｗを搬送して基板支持部９２に引き渡すようにロボット２を制御する。以下、基板支持部９２から基板Ｗを受け取って搬送するか、又は基板Ｗを搬送して基板支持部９２に引き渡すようにロボット２を制御することを「搬送制御」という。例えば搬送制御部１１９は、搬送制御をロボット制御部１１２に実行する。ロボット制御部１１２は、要求された搬送制御に対応する上記搬送プログラムをプログラム記憶部１１１が記憶する複数の動作プログラムから選択し、選択した搬送プログラムに基づいて搬送制御を実行する。

【0081】

搬送制御部１１９は、キャリブレーション部１１５により座標変換パラメータが更新され、マッピング部１１７によりマップ情報が更新された後に、上記搬送制御をロボット制御部１１２に要求する。ロボット制御部１１２は、搬送制御部１１９から要求された搬送制御を、更新された座標変換パラメータを含む搬送プログラムと、更新されたマップ情報とに基づいて実行する。

【0082】

（ターゲットの変形例）
以上においては、第１ライン３３１と第２ライン３３２とが、第１表面３２１と第２表面３２２との間に位置し、第３ライン４３１と第４ライン４３２とが第３表面４２１と第４表面４２２との間に位置するターゲット３２０，４２０を例示したがこれに限られない。図８に示すように、ターゲット３２０が第１ライン３３１と第２ライン３３２との間に位置し、ターゲット４２０が第３ライン４３１と第４ライン４３２との間に位置していてもよい。

【0083】

この場合、第１検出部１１３は、図９の（ａ）に示すように、所定距離よりも大きい距離にて第１センシング部６１及び第２センシング部６２をターゲット３２０及びターゲット４２０とにそれぞれ対向させた後、第１方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１表面３２１及び第２表面３２２にそれぞれ近付けるようにロボット２を制御し、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第１センシング部６１の位置に基づいて、第１方向におけるターゲット３２０の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出し、第２センシング部６２の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第２センシング部６２の位置に基づいて、第１方向におけるターゲット４２０の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出する。

【0084】

図９の（ｂ）に示すように、第２検出部１１４は、第２方向に沿って一方側に第１センシング部６１及び第２センシング部６２を移動させるようにロボット２を制御し、第１センシング部６１の出力信号が第２信号から第１信号に切り替わったことにより第１ライン３３１を認識する。第２センシング部６２の出力信号が第２信号から第１信号に切り替わったことにより第３ライン４３１を認識する。その後、第２検出部１１４は、図９の（ｃ）に示すように、第２方向に沿って反対側に第１センシング部６１及び第２センシング部６２を移動させるようにロボット２を制御し、第１センシング部６１の出力信号が第２信号から第１信号に切り替わったことにより第２ライン３３２を認識する。第２センシング部６２の出力信号が第２信号から第１信号に切り替わったことにより第４ライン４３２を認識する。

【0085】

第２検出部１１４は、第１ライン３３１を認識した際の第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標と、第２ライン３３２を認識した際の第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標とに基づいて、ターゲット３２０のＸ座標とＺ座標とを検出する。同様に、第２検出部１１４は、第３ライン４３１を認識した際の第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標と、第４ライン４３２を認識した際の第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標とに基づいて、ターゲット４２０のＸ座標とＺ座標とを検出する。

【0086】

図１０に示すように、キャリブレーションツール３は第１ブロック３００及び第２ブロック４００のいずれか一方を有していなくてもよい。センサ６０は、第１センシング部６１及び第２センシング部６２のいずれか一方を有していなくてもよい。図１０においては、第２ブロック４００及び第２センシング部６２が省略されている。この場合、第１検出部１１３は、上記第１部分に対する検出と、上記第２部分に対する検出との両方を第１センシング部６１により行ってもよい。この場合、例えば第１表面３２１が上記第１部分として用いられ、第２表面３２２が上記第２部分として用いられる。

【0087】

例えば第１検出部１１３は、第１方向に沿って第１表面３２１に対向した第１センシング部６１の検出結果に基づいて第１方向における第１表面３２１の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を検出した後、第２方向に沿って移動し第１方向に沿って第２部分に対向した第１センシング部６１の検出結果に基づいて第１方向における第２表面３２２の位置を検出する。例えば第１検出部１１３は、上記所定距離よりも大きい距離にて第１センシング部６１を第１表面３２１に対向させた後、第１方向に沿って第１センシング部６１を第１表面３２１に近付けるようにロボット２を制御し（図１０の（ａ）参照）、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第１センシング部６１の位置に基づいて、第１方向における第１表面３２１の位置を検出し、第２方向に沿った第１センシング部６１の移動を、第１方向に沿って第２表面３２２に第１センシング部６１が対向した状態で停止させ（図１０の（ｂ）参照）、第２部分に対向した第１センシング部６１を、第１方向に沿って第２表面３２２から遠ざけるようにロボット２を制御し（図１０の（ｃ）参照）、第１センシング部６１の出力が第２信号から第１信号に切り替わったときの第１センシング部６１の位置に基づいて、第１方向における第２表面３２２の位置を検出する。第２方向に沿った第１センシング部６１の移動は、例えば第２検出部１１４がロボット２に実行させる移動である。ロボットシステム１のセンシング部によって、ターゲット３２０の傾きに更に基づくキャリブレーションを行うことができる。

【0088】

ターゲット３２０が第１ライン３３１と第２ライン３３２との間に位置し、ターゲット４２０が第３ライン４３１と第４ライン４３２との間に位置する場合においても、キャリブレーションツール３は第１ブロック３００及び第２ブロック４００のいずれか一方を有していなくてもよく、センサ６０は第１センシング部６１及び第２センシング部６２のいずれか一方を有していなくてもよい。図１１は、第２ブロック４００及び第２センシング部６２が省略され、第１ライン３３１と第２ライン３３２との間にターゲット３２０が位置する場合を例示している。この場合、例えば第１検出部１１３及び第２検出部１１４は、上記所定距離よりも大きい距離でターゲット３２０から離れ、且つターゲット３２０には対向しない位置において、第１センシング部６１をＹ軸正方向に向けるようにロボット２を制御する。その後、第１検出部１１３及び第２検出部１１４は、ターゲット３２０を毎回通過するように、第２方向に沿って第１センシング部６１を往復させることを、片道ごとに第１センシング部６１をターゲット３２０に近付けながら実行するようにロボット２を制御する。図１２の二点鎖線は、第１センシング部６１の移動軌跡を表している。図１２の縦軸はＹ軸に沿い、図１２の横軸はＸ軸に沿っている。

【0089】

ターゲット３２０がＺ軸まわりに傾いた状態において、図１２の軌跡で第１センシング部６１を移動させる場合、第１センシング部６１が第２信号となる区間が、ターゲット３２０に近くなるにつれて長くなった後、一定値となる。以下、第１センシング部６１が第２信号となる区間を「第２信号区間」という。図１２において、第２信号区間は実線で表されている。第２信号区間が一定となったことは、第１ライン３３１と第２ライン３３２との間の全域において、第１センシング部６１が第２信号となったことを意味する。第１検出部１１３は、例えば、第２信号区間が最初に生じた際の第１センシング部６１のＹ座標である位置Ｐ１と、第２信号空間が最初に上記一定値となった際の第１センシング部６１のＹ座標である位置Ｐ２とを認識する。第１検出部１１３は、位置Ｐ２における第２信号区間の長さと位置Ｐ１における第２信号区間の長さとの差分である未検出長さＬ２と、位置Ｐ１から位置Ｐ２までの前進長さＬ１とに基づいて、Ｚ軸周りのターゲット３２０の傾きを検出する。例えば第１検出部１１３は、前進長さＬ１を未検出長さＬ２で除算し、除算結果の反余弦又は反正接を、Ｚ軸まわりのターゲット３２０の傾き角度として算出する。

【0090】

（ハードウェア構成）
図１３は、ロボットコントローラ１００のハードウェア構成を例示するブロック図である。図１３に示すように、ロボットコントローラ１００は、回路１９０を有する。回路１９０は、プロセッサ１９１と、メモリ１９２と、ストレージ１９３と、ドライバ回路１９４と、通信ポート１９５とを有する。ストレージ１９３は、フラッシュメモリ、又はハードディスク等の１以上の不揮発性メモリデバイスにより構成されている。ストレージ１９３は、第１方向に沿ってセンサ６０をターゲットに対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿ってターゲットに対向したセンサ６０の検出結果と、センサ６０の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲットの位置を検出することと、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御し、第２方向に沿った移動によるセンサ６０の検出結果の変化と、センサ６０の位置とに基づいて、第２方向におけるターゲットの位置を検出することと、をロボットコントローラ１００に実行させるプログラムを記憶している。例えばストレージ１９３は、上述した機能ブロックをロボットコントローラ１００に構成させるためのプログラムを記憶している。

【0091】

メモリ１９２は、例えばランダムアクセスメモリ等の１以上の揮発性メモリデバイスにより構成されている。メモリ１９２は、ストレージ１９３からロードされたプログラムを一時的に記憶する。プロセッサ１９１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）又はＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等の１以上の演算デバイスにより構成されている。プロセッサ１９１は、メモリ１９２にロードされたプログラムを実行することで、上述した各機能ブロックを第２ブロック４００に構成させる。プロセッサ１９１による演算結果は一時的にメモリ１９２に格納される。

【0092】

ドライバ回路１９４は、プロセッサ１９１からの要求に応じてロボット２を動作させる。通信ポート１９５は、プロセッサ１９１からの要求に応じ、上位コントローラ９００と通信する。入出力ポート１９６は、プロセッサ１９１からの要求に応じ、センサ６０との間で情報の入出力を行う。

【0093】

〔制御手順〕
制御方法の例として、ロボットコントローラ１００が実行する制御手順を例示する。この制御手順は、キャリブレーション方法の一例であるキャリブレーション手順と、マッピング手順と、搬送手順とを含む。マッピング手順はキャリブレーション手順の後に実行され、搬送手順はマッピング手順及びキャリブレーション手順の後に実行される。以下、各手順を例示する。

【0094】

（キャリブレーション手順）
キャリブレーション手順は、第１方向に沿ってセンサ６０を非接触でターゲット３２０に対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿って非接触でターゲット３２０に対向したセンサ６０の検出結果と、センサ６０の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲット３２０の位置を検出することと、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御し、第２方向に沿った移動によるセンサ６０の検出結果の変化と、センサ６０の位置とに基づいて、第２方向におけるターゲット３２０の位置を検出することと、を含む。

【0095】

例えばロボットコントローラ１００は、図１４に示すように、ステップＳ０１，Ｓ０２を実行する。ステップＳ０１では、第１検出部１１３が、所定距離よりも大きい距離にて第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１表面３２１及び第３表面４２１にそれぞれ対向させるようにロボット２を制御し、ステップＳ０２では、第１検出部１１３が、第１方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１表面３２１及び第３表面４２１にそれぞれ近付ける動作をロボット２に開始させる。

【0096】

次に、ロボットコントローラ１００はステップＳ０４を実行する。ステップＳ０４では、第１センシング部６１により第１表面３２１が検出されたか否かを第１検出部１１３が確認する。例えば第１検出部１１３は、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったか否かを確認する。

【0097】

ステップＳ０４において、第１センシング部６１により第１表面３２１が検出されたと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ０５を実行する。ステップＳ０５では、第１検出部１１３が、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第１センシング部６１の位置に基づいて、第１方向における第１表面３２１の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を算出する。

【0098】

ステップＳ０４において、第１センシング部６１により第１表面３２１は検出されていないと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ０６を実行する。ステップＳ０６では、第２センシング部６２により第３表面４２１が検出されたか否かを第１検出部１１３が確認する。例えば第１検出部１１３は、第２センシング部６２の出力が第１信号から第２信号に切り替わったか否かを確認する。

【0099】

ステップＳ０６において、第２センシング部６２により第３表面４２１が検出されたと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ０７を実行する。ステップＳ０７では、第１検出部１１３が、第２センシング部６２の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第２センシング部６２の位置に基づいて、第１方向における第３表面４２１の位置（例えばロボット座標系のＹ座標）を算出する。

【0100】

次に、ロボットコントローラ１００はステップＳ０８を実行する。ステップＳ０６において、第２センシング部６２により第３表面４２１は検出されていないと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ０７を実行することなくステップＳ０８を実行する。ステップＳ０８では、第１センシング部６１による第１表面３２１の検出と、第２センシング部６２による第３表面４２１の検出との両方が完了したか否かを第１検出部１１３が確認する。

【0101】

ステップＳ０８において、第１センシング部６１による第１表面３２１の検出と、第２センシング部６２による第３表面４２１の検出との少なくともいずれかが完了していないと判定した場合、ロボットコントローラ１００は処理をステップＳ０４に戻す。ステップＳ０８において、第１センシング部６１による第１表面３２１の検出と、第２センシング部６２による第３表面４２１の検出との両方が完了したと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ１１，Ｓ１２を実行する。

【0102】

ステップＳ１１では、第１表面３２１のＹ座標と、第３表面４２１のＹ座標とに基づいて、Ｚ軸まわりのターゲット３２０，４２０の傾きを第１検出部１１３が算出する。ステップＳ１２では、第１方向に沿って更にターゲット３２０，４２０に近付いたセンシング位置までセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御する。

【0103】

図１５に示すように、ロボットコントローラ１００は、次にステップＳ２１を実行する。ステップＳ２１では、第２検出部１１４が、第２方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を移動させる動作をロボット２に開始させる。

【0104】

次に、ロボットコントローラ１００はステップＳ２２を実行する。ステップＳ２２では、第２検出部１１４が、第１センシング部６１により第１ライン３３１を認識できたか否かを確認する。例えば第２検出部１１４は、第１センシング部６１の出力が第２信号から第１信号に切り替わったか否かを確認する。

【0105】

ステップＳ２２において、第１センシング部６１により第１ライン３３１を認識できたと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２３を実行する。ステップＳ２３では、第１ライン３３１を認識した際における第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標を第２検出部１１４が算出する。

【0106】

ステップＳ２２において、第１センシング部６１により第１ライン３３１を認識できなかったと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２４を実行する。ステップＳ２４では、第２検出部１１４が、第１センシング部６１により第２ライン３３２を認識できたか否かを確認する。例えば第２検出部１１４は、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったか否かを確認する。

【0107】

ステップＳ２４において、第１センシング部６１により第２ライン３３２を認識できたと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２５を実行する。ステップＳ２５では、第２ライン３３２を認識した際における第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標を第２検出部１１４が算出する。

【0108】

ステップＳ２４において、第１センシング部６１により第２ライン３３２を認識できなかったと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２６を実行する。ステップＳ２６では、第２検出部１１４が、第２センシング部６２により第３ライン４３１を認識できたか否かを確認する。例えば第２検出部１１４は、第２センシング部６２の出力が第２信号から第１信号に切り替わったか否かを確認する。

【0109】

ステップＳ２６において、第２センシング部６２により第３ライン４３１を認識できたと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２７を実行する。ステップＳ２７では、第３ライン４３１を認識した際における第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標を第２検出部１１４が算出する。

【0110】

ステップＳ２６において、第２センシング部６２により第３ライン４３１を認識できなかったと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２８を実行する。ステップＳ２８では、第２検出部１１４が、第２センシング部６２により第４ライン４３２を認識できたか否かを確認する。例えば第２検出部１１４は、第２センシング部６２の出力が第１信号から第２信号に切り替わったか否かを確認する。

【0111】

ステップＳ２８において、第２センシング部６２により第４ライン４３２を認識できたと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２９を実行する。ステップＳ２９では、第４ライン４３２を認識した際における第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標を第２検出部１１４が算出する。

【0112】

次に、ロボットコントローラ１００はステップＳ３１を実行する。ステップＳ２８において、第２センシング部６２により第４ライン４３２を認識できなかったと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ２９を実行することなくステップＳ３１を実行する。ステップＳ３１では、第１ライン３３１を認識した際における第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標と、第２ライン３３２を認識した際における第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標と、第３ライン４３１を認識した際における第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標と、第４ライン４３２を認識した際における第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標との全ての算出が完了したか否かを第２検出部１１４が確認する。

【0113】

ステップＳ３１において、いずれかの算出が完了していないと判定した場合、ロボットコントローラ１００は処理をステップＳ２２に戻す。ステップＳ３１において、全ての算出が完了したと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ３２，Ｓ３３，Ｓ３４を実行する。ステップＳ３２では、第１検出部１１３が、第２方向に沿った第１センシング部６１及び第２センシング部６２の移動をロボット２に停止させる。

【0114】

ステップＳ３３では、第２検出部１１４が、第１ライン３３１を認識した際における第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標と、第２ライン３３２を認識した際における第１センシング部６１のＸ座標及びＺ座標とに基づいて、上述のようにターゲット３２０のＸ座標及びＺ座標を産出する。また、第２検出部１１４は、第３ライン４３１を認識した際における第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標と、第４ライン４３２を認識した際における第２センシング部６２のＸ座標及びＺ座標とに基づいて、上述のようにターゲット４２０のＸ座標及びＺ座標を算出する。

【0115】

ステップＳ３４では、キャリブレーション部１１５が、キャリブレーション部１１５は、第１検出部１１３による検出結果と、第２検出部１１４による検出結果とに基づいて、上記座標変換パラメータを算出する。算出した座標変換パラメータによって、プログラム記憶部１１１が記憶する座標変換パラメータを更新する。以上でキャリブレーション手順が完了する。

【0116】

（マッピング手順）
マッピング手順は、上記マップ情報をマップ情報記憶部１１８に記憶させる手順である。図１６に示すように、ロボットコントローラ１００は、ステップＳ４１，Ｓ４２，Ｓ４３を実行する。ステップＳ４１では、スキャン制御部１１６が、基板収容部９における最上部のスロット９３に、開口９１の外からＹ方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を対向させるようにロボット２を制御する。ステップＳ４２では、スキャン制御部１１６が、第１センシング部６１及び第２センシング部６２の下降を開始させるようにロボット２を制御する。ステップＳ４３では、マッピング部１１７が、第１センシング部６１及び第２センシング部６２により基板Ｗを検出できたか否かを確認する。例えばマッピング部１１７は、第１センシング部６１及び第２センシング部６２の出力が第１信号から第２信号に切り替わったか否かを確認する。

【0117】

ステップＳ４３において、第１センシング部６１及び第２センシング部６２により基板Ｗを検出できたと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ４４を実行する。ステップＳ４４では、第１センシング部６１及び第２センシング部６２により基板Ｗを検出できた時点で第１センシング部６１及び第２センシング部６２が対向するスロット９３の識別情報を、マッピング部１１７がマップ情報記憶部１１８に記憶させる。

【0118】

次に、ロボットコントローラ１００はステップＳ４５を実行する。ステップＳ４３において、第１センシング部６１及び第２センシング部６２により基板Ｗを検出できなかったと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ４４を実行することなくステップＳ４５を実行する。ステップＳ４５では、スキャン制御部１１６が、第１センシング部６１及び第２センシング部６２が、基板収容部９における最下部のスロット９３に対応する高さに達したか否かをスキャン制御部１１６が確認する。ステップＳ４５において、スキャン制御部１１６は最下部のスロット９３に対応する高さに達していないと判定した場合、ロボットコントローラ１００は処理をステップＳ４３に戻す。ステップＳ４５において、スキャン制御部１１６が最下部のスロット９３に対応する高さに達したと判定した場合、ロボットコントローラ１００はステップＳ４６を実行する。ステップＳ４６では、スキャン制御部１１６が、第１センシング部６１及び第２センシング部６２の下降をロボット２に停止させる。

【0119】

以上でマッピング手順が完了する。スキャン制御部１１６は、ステップＳ４１において、基板収容部９における最下部のスロット９３に第１センシング部６１及び第２センシング部６２を対向させ、ステップＳ４２～ステップＳ４６において、第１センシング部６１及び第２センシング部６２を上昇させてもよい。

【0120】

（搬送手順）
搬送手順は、ロボット２に基板Ｗを搬送させる手順である。図１７に示すよう、ロボットコントローラ１００は、ステップＳ５１，Ｓ５２を実行する。、ステップＳ５１では、搬送制御部１１９が、上位コントローラ９００からの搬送指令を待機する。Ｓ５２では、第１検出部１１３が、上位コントローラ９００からの搬送指令に応じた搬送制御をロボット２に実行させる。ロボットコントローラ１００は、以上を繰り返す。

【0121】

〔まとめ〕
例示した実施形態は、以下の構成を含む。
（１） 基板Ｗをハンド１０により支持して搬送するロボット２と、ロボット２による搬送前又は搬送後の基板Ｗが配置される基板支持部９２に、基板Ｗの代わりに配置可能なターゲット３２０，４２０と、ハンド１０に設けられ、ターゲット３２０，４２０に対向し非接触でターゲット３２０，４２０を検出するセンサ６０と、第１方向に沿ってセンサ６０をターゲット３２０，４２０に対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿ってターゲット３２０，４２０に対向したセンサ６０の検出結果と、センサ６０の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出する第１検出部１１３と、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御し、第２方向に沿った移動によるセンサ６０の検出結果の変化と、センサ６０の位置とに基づいて、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出する第２検出部１１４と、を備えるロボットシステム１。
ロボットシステム１によれば、１つのセンサ６０によって、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置と、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置との両方を検出し、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置と、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置とに基づいて、ロボット２と搬送先との位置関係を特定することができる。従って、キャリブレーションを容易に行うことができる。

【0122】

（２） 第２検出部１１４は、第１検出部１１３により第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置が検出された後に、第２方向に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御する、（１）記載のロボットシステム１。
第２方向に沿ってセンサ６０が移動する際に、ターゲット３２０，４２０に対向する状態におけるセンサ６０の検出結果と、ターゲット３２０，４２０に対向しない状態におけるセンサ６０の検出結果とに差が表れ易くなる。従って、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置をより高い信頼性で検出することができる。

【0123】

（３） 第２検出部１１４は、第２方向に沿った移動によるセンサ６０の検出結果の変化に基づいて、ターゲット３２０，４２０のアウトラインを認識し、アウトラインを認識した際のセンサ６０の位置に基づいて、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出する、（１）又は（２）記載のロボットシステム１。
第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を容易に検出することができる。

【0124】

（４） 第１方向に沿ってターゲット３２０，４２０と対向する視点から見て、アウトラインは、互いに非平行でそれぞれが第２方向に交差する第１ライン３３１と第２ライン３３２とを有し、第２検出部１１４は、第２方向に沿って移動するセンサ６０の検出結果に基づいて第１ライン３３１と第２ライン３３２とを認識し、第１ライン３３１を認識した際のセンサ６０の位置と、第２ライン３３２を認識した際のセンサ６０の位置とに基づいて、第１方向と第２方向とに垂直な第３方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を更に検出する、（３）記載のロボットシステム１。
１つのセンサ６０によって、第３方向におけるターゲット３２０，４２０の位置に更に基づくキャリブレーションを行うことができる。

【0125】

（５） 第１検出部１１３と、第２検出部１１４とは、同一の平面に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御する、（４）記載のロボットシステム１。
第３方向への移動がないので、第３方向におけるセンサ６０の振動を抑制することができる。従って、第３方向におけるターゲット３２０，４２０の位置をより高い信頼性で検出することができる。

【0126】

（６） 第１方向及び第２方向はいずれも水平であり、第１検出部１１３と、第２検出部１１４とは、水平な平面に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御する、（５）記載のロボットシステム１。
第３方向におけるセンサ６０の振動を更に抑制することができる。従って、第３方向におけるターゲット３２０，４２０の位置をより高い信頼性で検出することができる。

【0127】

（７） 第１検出部１１３と、第２検出部１１４とは、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出するためのセンサ６０の移動パスと、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出するためのセンサ６０の移動パスとが連続するようにロボット２を制御する、（６）記載のロボットシステム１。
キャリブレーションを更に容易に行うことができる。

【0128】

（８） ターゲット３２０，４２０は、第２方向に沿って並び、それぞれが第１方向に交差する第１表面３２１と第２表面３２２とを有し、第１ライン３３１と第２ライン３３２とは、第１表面３２１と第２表面３２２との間に位置している、（４）～（７）のいずれか記載のロボットシステム１。
第１表面３２１に対向する位置から第２表面３２２に対向する位置への片道の移動、又は第２表面３２２に対向する位置から第１表面３２１に対向する位置への片道の移動によって、第１ライン３３１と第２ライン３３２とをセンサ６０に認識させることができる。従って、キャリブレーションの効率を向上させることができる。

【0129】

（９） ロボット２は、ハンド１０に接続された多関節アーム２０を有し、多関節アーム２０は、第１方向におけるハンド１０の位置と、第２方向におけるハンド１０の位置と、第１方向及び第２方向に垂直な軸線まわりのハンド１０の姿勢と、を１以上の関節の回転により変更し得るように構成されている、（１）～（８）のいずれか記載のロボットシステム１。
多関節アーム２０をキャリブレーションに有効活用することができる。

【0130】

（１０） センサ６０は、ターゲット３２０，４２０までの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、ターゲット３２０，４２０までの距離が所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されており、第１検出部１１３は、所定距離よりも大きい距離にてセンサ６０をターゲット３２０，４２０に対向させた後、第１方向に沿ってセンサ６０をターゲット３２０，４２０に近付けるようにロボット２を制御し、センサ６０の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときのセンサ６０の位置に基づいて、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出する、（１）～（９）のいずれか記載のロボットシステム１。

【0131】

（１１） 第１検出部１１３は、センサ６０の出力が第１信号から第２信号に切り替わった後に、第１方向に沿って更にターゲット３２０，４２０に近付いたセンシング位置までセンサ６０を移動させるようにロボット２を停止させ、第２検出部１１４は、センシング位置に配置されたセンサ６０を第２方向に沿って移動させるようにロボット２を制御する、（１０）記載のロボットシステム１。
ターゲット３２０，４２０に対向する状態におけるセンサ６０の検出結果と、ターゲット３２０，４２０に対向しない状態におけるセンサ６０の検出結果との差をより確実に出現させることができる。例えば、ターゲット３２０，４２０が、第１方向に垂直な平面に対し僅かに傾斜している場合、第２方向への移動に伴ってセンサ６０がターゲット３２０，４２０から遠ざかり、センサ６０の出力が第２信号から第１信号に切り替わってしまうことも考えられる。この場合、未だターゲット３２０，４２０に対向しているにもかかわらず、ターゲット３２０，４２０に対向しない状態になったことをご検出することとなり、ターゲット３２０，４２０のアウトラインを正確に認識できない。第２方向に沿ってセンサ６０を移動させる前に、センサ６０を更にターゲット３２０，４２０に近付けておくことで、ターゲット３２０，４２０の傾きに起因するアウトラインの誤認識を防ぐことができる。

【0132】

（１２） センサ６０は、ターゲット３２０，４２０に対向した状態にて、ターゲット３２０，４２０までの距離を表す信号を出力するように構成されており、第１検出部１１３は、第１方向に沿ってターゲット３２０，４２０に対向したセンサ６０が出力する信号と、センサ６０の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出する、（１）～（９）のいずれか記載のロボットシステム１。
第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出するためのロボット２の動作を減らすることができる。

【0133】

（１３） ターゲット３２０，４２０は、第２方向に沿って互いに離れた第１部分と第２部分とを有し、第１検出部１１３は、第１部分と第２部分とのそれぞれに対して、第１方向に沿ってセンサ６０を対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿って第１部分に対向したセンサ６０の検出結果と、第１方向に沿って第１部分に対向したセンサ６０の位置とに基づいて、第１方向における第１部分の位置を検出し、第１方向に沿って第２部分に対向したセンサ６０の検出結果と、第１方向に沿って第２部分に対向したセンサ６０の位置とに基づいて、第１方向における第２部分の位置を検出し、第１方向における第１部分の位置と、第１方向における第２部分の位置とに基づいて、第１方向と第２方向とに垂直な軸線まわりのターゲット３２０，４２０の傾きを検出する、（１）～（１２）のいずれか記載のロボットシステム１。
ターゲット３２０，４２０の傾きに更に基づくキャリブレーションを行うことができる。

【0134】

（１４） センサ６０は、互いに離れて位置し、それぞれが非接触でターゲット３２０，４２０を検出する第１センシング部６１と第２センシング部６２とを有し、第２センシング部６２は、第１方向に沿って第１部分が第１センシング部６１に対向する際に、第１方向に沿って第２部分に対向し、第１検出部１１３は、第１方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１部分及び第２部分にそれぞれ対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿って第１部分に対向した第１センシング部６１の検出結果と、第１方向に沿って第１部分に対向した第１センシング部６１の位置とに基づいて、第１方向における第１部分の位置を検出し、第１方向に沿って第２部分に対向した第２センシング部６２の検出結果と、第１方向に沿って第２部分に対向した第２センシング部６２の位置とに基づいて、第１方向における第２部分の位置を検出する、（１３）記載のロボットシステム１。
第１部分を検出するためのロボット２の動作と、第２部分を検出するためのロボット２の動作とを同時に進行させることができる。従って、傾きを短時間で検出することができる。第１部分と第２部分との間隔を大きくすると、ターゲット３２０，４２０の傾きの検出精度は高くなるが、第１部分と第２部分とを１のセンシング部で検出する場合、第１部分と第２部分との間におけるセンサ６０の移動時間が長くなる。これに対し、第１センシング部６１と第２センシング部６２とを備える構成によれば、第１部分と第２部分との間でセンサ６０を移動させる必要が無いので、ターゲット３２０，４２０の傾きの検出精度の向上と、検出時間の短縮との両立を図ることができる。

【0135】

（１５） 第１センシング部６１と第２センシング部６２とのそれぞれは、ターゲット３２０，４２０までの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、ターゲット３２０，４２０までの距離が所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されており、第１検出部１１３は、所定距離よりも大きい距離にて第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１部分及び第２部分にそれぞれ対向させた後、第１方向に沿って第１センシング部６１及び第２センシング部６２を第１部分及び第２部分にそれぞれ近付けるようにロボット２を制御し、第１センシング部６１の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第１センシング部６１の位置に基づいて、第１方向における第１部分の位置を検出し、第２センシング部６２の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときの第２センシング部６２の位置に基づいて、第１方向における第２部分の位置を検出する、（１４）記載のロボットシステム１。
ターゲット３２０，４２０までの距離が所定距離よりも大きいか小さいかを検出するセンサ６０を、ターゲット３２０，４２０の傾きの検出に有効活用することができる。

【0136】

（１６） 第１方向に沿って第１部分と対向する視点から見て、第１部分のアウトラインは、互いに非平行でそれぞれが第２方向に交差する第１ライン３３１と第２ライン３３２とを有し、第１方向に沿って第２部分と対向する視点から見て、第２部分のアウトラインは、互いに非平行でそれぞれが第２方向に交差する第３ライン４３１と第４ライン４３２とを有し、第２検出部１１４は、第２方向に沿って移動する第１センシング部６１の検出結果の変化に基づいて第１ライン３３１と第２ライン３３２とを認識し、第１ライン３３１を認識した際の第１センシング部６１の位置と、第２ライン３３２を認識した際の第１センシング部６１の位置とに基づいて、第１方向と第２方向とに垂直な第３方向における第１部分の位置を検出し、第２方向に沿って移動する第２センシング部６２の検出結果の変化に基づいて第３ライン４３１と第４ライン４３２とを認識し、第３ライン４３１を認識した際の第２センシング部６２の位置と、第４ライン４３２を認識した際の第２センシング部６２の位置とに基づいて、第３方向における第２部分の位置を検出する、（１５）記載のロボットシステム１。
第１センシング部６１と第２センシング部６２とを利用して、第３方向における第１部分の位置と、第３方向における第２部分の位置とに更に基づくキャリブレーションを行うことができる。これにより、例えば、第１部分の位置と第２部分の位置との平均値を検出結果とすることで、第３方向におけるターゲット３２０，４２０の位置の検出結果の信頼性を高めることができる。また、第３方向における第１部分の位置と、第３方向における第２部分の位置との差を織り込んだキャリブレーションを行うことができる。

【0137】

（１７） 第１検出部１１３は、第１方向に沿って第１部分に対向したセンサ６０の検出結果に基づいて第１方向における第１部分の位置を検出した後、第２方向に沿って移動し第１方向に沿って第２部分に対向したセンサ６０の検出結果に基づいて第１方向における第２部分の位置を検出する、（１３）記載のロボットシステム１。
１のセンシング部によって、ターゲット３２０，４２０の傾きに更に基づくキャリブレーションを行うことができる。

【0138】

（１８） センサ６０は、ターゲット３２０，４２０までの距離が所定距離よりも大きい場合には第１信号を出力し、ターゲット３２０，４２０までの距離が所定距離よりも小さい場合には第２信号を出力するように構成されており、第１検出部１１３は、所定距離よりも大きい距離にてセンサ６０を第１部分に対向させた後、第１方向に沿ってセンサ６０をターゲット３２０，４２０に近付けるようにロボット２を制御し、センサ６０の出力が第１信号から第２信号に切り替わったときのセンサ６０の位置に基づいて、第１方向における第１部分の位置を検出し、第２方向に沿ったセンサ６０の移動を、第１方向に沿って第２部分にセンサ６０が対向した状態で停止させ、第２部分に対向したセンサ６０を、第１方向に沿ってターゲット３２０，４２０から遠ざけるようにロボット２を制御し、センサ６０の出力が第２信号から第１信号に切り替わったときのセンサ６０の位置に基づいて、第１方向における第２部分の位置を検出する、（１７）記載のロボットシステム１。

【0139】

（１９） 基板支持部９２は、基板Ｗを収容する基板収容部９内に設けられ、ロボットシステム１は、基板Ｗの代わりに基板収容部９内の基板支持部９２に配置可能なターゲットベース２００を更に備え、ターゲット３２０，４２０は、ターゲットベース２００が基板支持部９２に指示された状態にて、基板収容部９の外からセンサ６０により検出可能な位置に配置されるようにターゲットベース２００に設けられている、（１）～（１８）のいずれか記載のロボットシステム１。
キャリブレーションの効率を更に向上させることができる。また、キャリブレーション前に基板収容部９にセンサ６０を進入させる際に、ハンド１０を基板収容部９の周囲に衝突させてしまう事態を回避することもできる。

【0140】

（２０） 基板支持部９２は、それぞれが基板Ｗを水平にして支持可能となるように基板収容部９内に設けられた多段の基板支持部９２のいずれかであり、ロボットシステム１は、センサ６０を基板収容部９に向けながら鉛直方向に沿って移動させるようにロボット２を制御するスキャン制御部１１６と、鉛直方向に沿って移動するセンサ６０による検出結果に基づいて、多段の基板支持部９２のそれぞれに基板Ｗが支持されているか否かを検出するマッピング部１１７と、を更に備える、（１）～（１９）のいずれか記載のロボットシステム１。
多段のスロットのそれぞれに基板Ｗが収容されているか否かの検出にもセンサ６０を有効活用することができる。

【0141】

（２１） 基板Ｗをハンド１０により支持し、水平な第１方向に沿って基板収容部９に出し入れするロボット２のハンド１０に設けられ、ターゲット３２０，４２０に対向し非接触でターゲット３２０，４２０を検出するセンサ６０の検出結果に基づいて、ロボット２と基板収容部９との位置関係を特定するためのキャリブレーションツール３であって、第１方向に沿って基板Ｗの代わりに基板収容部９に出し入れ可能なターゲットベース２００と、ターゲットベース２００が基板収容部９に収容された状態にて、基板収容部９の外からセンサ６０により検出可能な位置に配置されるようにターゲットベース２００に設けられたターゲット３２０，４２０と、を備え、第１方向に沿ってターゲット３２０，４２０と対向する視点から見て、ターゲット３２０，４２０のアウトラインは、互いに非平行でそれぞれが水平方向に交差する第１ライン３３１と第２ライン３３２とを有する、キャリブレーションツール３。

【0142】

（２２） 基板Ｗをハンド１０により支持して搬送するロボット２のハンド１０に設けられたセンサ６０の検出結果に基づいて、ロボット２による搬送前又は搬送後の基板Ｗが配置される基板支持部９２と、ロボット２との位置関係を特定する方法であって、基板支持部９２にターゲット３２０，４２０を配置することと、第１方向に沿ってセンサ６０を非接触でターゲット３２０，４２０に対向させるようにロボット２を制御し、第１方向に沿って非接触でターゲット３２０，４２０に対向したセンサ６０の検出結果と、センサ６０の位置とに基づいて、第１方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出することと、第１方向に垂直な第２方向に沿ってセンサ６０を移動させるようにロボット２を制御し、第２方向に沿った移動によるセンサ６０の検出結果の変化と、センサ６０の位置とに基づいて、第２方向におけるターゲット３２０，４２０の位置を検出することと、を含むキャリブレーション方法。

【0143】

以上、実施形態について説明したが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【符号の説明】

【0144】

Ｗ…基板、９…基板収容部、９２…基板支持部、１…ロボットシステム、２…ロボット、１０…ハンド、２０…多関節アーム、６０…センサ、６１…第１センシング部、６２…第２センシング部、３…キャリブレーションツール、２００…ターゲットベース、３３１…第１ライン、３３２…第２ライン、３２１…第１表面、３２２…第２表面、４３１…第３ライン、４３２…第４ライン、４２１…第３表面、４２２…第４表面、３２０，４２０…ターゲット、３３０，４３０…アウトライン、１１３…第１検出部、１１４…第２検出部、１１６…スキャン制御部、１１７…マッピング部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】