特開 2024-118559 液体吐出ヘッドユニットおよび液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024118559

(43)【公開日】2024-09-02

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドユニットおよび液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240826BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20240826BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 607

B41J2/14 501

B41J2/18

【審査請求】未請求

【請求項の数】19

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023024902

(22)【出願日】2023-02-21

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】谷口 学

(72)【発明者】

【氏名】四十物 孝憲

(72)【発明者】

【氏名】谷内 章紀

(72)【発明者】

【氏名】藤岡 真士

(72)【発明者】

【氏名】渡邊 英一郎

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056FA04

2C056HA05

2C056KB16

2C056KB35

2C057AF21

2C057AG01

2C057AG03

2C057AG12

2C057AG29

2C057AG34

2C057AG44

2C057AR18

2C057BA04

(57)【要約】

【課題】通常の液滴を吐出するノズルと微小な液滴を吐出するノズルとのいずれにおいても２段階ノズルを適用し、液体の吐出性能を向上させること。
【解決手段】液体吐出ヘッドユニットは、Ｘ方向に液体が流れる複数の第１ノズル流路と、Ｙ方向に配列され第１ノズル流路におけるＸ方向に流れる液体をＺ方向に吐出する複数の第１ノズルと、Ｘ方向に液体が流れる複数の第２ノズル流路と、Ｙ方向に配列され第２ノズル流路におけるＸ方向に流れる液体をＺ方向に吐出する複数の第２ノズルと、を有し、第１ノズルは、第１部分と、第２部分と、を含み、第２ノズルは、第３部分と、第４部分と、を含み、第１部分の容積は、第２部分の容積よりも小さく、第３部分の容積は、第４部分の容積よりも小さく、第１部分の容積は、第３部分の容積よりも小さく、第２部分のＸ方向における長さは、第４部分のＸ方向における長さよりも長い。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体吐出ヘッドユニットであって、
Ｘ方向に延在し、前記Ｘ方向に液体が流れる複数の第１ノズル流路と、
前記Ｘ方向と交差するＹ方向に配列され、前記複数の第１ノズル流路それぞれに接続し、前記第１ノズル流路における前記Ｘ方向に流れる液体を前記Ｘ方向および前記Ｙ方向と交差するＺ方向に吐出する複数の第１ノズルと、
前記Ｘ方向に延在し、前記Ｘ方向に液体が流れる複数の第２ノズル流路と、
前記Ｙ方向に配列され、前記複数の第２ノズル流路それぞれに接続し、前記第２ノズル流路における前記Ｘ方向に流れる液体を前記Ｚ方向に吐出する複数の第２ノズルと、
を有し、
前記第１ノズルは、第１部分と、前記Ｚ方向において前記第１部分よりも前記第１ノズル流路に近い第２部分と、を含み、
前記第２ノズルは、第３部分と、前記Ｚ方向において前記第３部分よりも前記第２ノズル流路に近い第４部分と、を含み、
前記第１部分の容積は、前記第２部分の容積よりも小さく、
前記第３部分の容積は、前記第４部分の容積よりも小さく、
前記第１部分の容積は、前記第３部分の容積よりも小さく、
前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第４部分の前記Ｘ方向における長さよりも長い、
液体吐出ヘッドユニット。

【請求項2】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さよりも長い、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項3】

請求項２に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さの３倍よりも長い、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項4】

請求項３に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さの５倍よりも長い、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項5】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第４部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第３部分の前記Ｘ方向における長さよりも長い、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項6】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第１部分と前記第２部分との前記Ｘ方向における長さの差分は、前記第３部分と前記第４部分との前記Ｘ方向における長さの差分よりも大きい、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項7】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分の前記Ｙ方向における幅は、前記第４部分の前記Ｙ方向における幅と等しい、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項8】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第１部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第２部分の前記Ｚ方向における深さよりも短く、
前記第３部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第４部分の前記Ｚ方向における深さよりも短い、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項9】

請求項８に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第１部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第３部分の前記Ｚ方向における深さよりも短い、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項10】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記複数の第１ノズル流路のそれぞれの一端に共通に接続し、前記複数の第１ノズル流路のそれぞれへと液体を供給する共通供給流路と、
前記複数の第１ノズル流路のそれぞれの一端に共通に接続し、前記複数の第１ノズル流路のそれぞれから液体を排出する共通排出流路と、
を更に有する、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項11】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記複数の第１ノズルと前記複数の第１ノズル流路とが設けられた第１液体吐出ヘッドと、
前記複数の第２ノズルと前記複数の第２ノズル流路とが設けられた第２液体吐出ヘッドと、
を有する、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項12】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記複数の第１ノズルと、前記複数の第１ノズル流路と、前記複数の第２ノズルと、前記複数の第２ノズル流路と、が設けられた第３液体吐出ヘッドを有する、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項13】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分および前記第４部分のうちの少なくとも一方の前記Ｚ方向に見た四隅は、直角である、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項14】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分および前記第４部分のうちの少なくとも一方の前記Ｚ方向に見た四隅は、面取りまたは角Ｒ加工されている、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項15】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分および前記第４部分のうちの少なくとも一方の前記Ｘ方向における両端は、前記Ｚ方向に見て弧状である、液体吐出ヘッドユニット。

【請求項16】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分は、前記第１部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されており、
前記第４部分は、前記第３部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されている、
液体吐出ヘッドユニット。

【請求項17】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分は、前記Ｚ方向において前記第１ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されており、
前記第４部分は、前記Ｚ方向において前記第２ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されている、
液体吐出ヘッドユニット。

【請求項18】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニットであって、
前記第２部分の前記Ｙ方向における中心は、前記第１ノズル流路の前記Ｙ方向における中心とずれており、
前記第４部分の前記Ｙ方向における中心は、前記第２ノズル流路の前記Ｙ方向における中心とずれている、
液体吐出ヘッドユニット。

【請求項19】

請求項１から請求項１８までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドユニットと、前記液体吐出ヘッドユニットからの液体の吐出動作を制御する制御部と、を有する、液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体吐出ヘッドユニットおよび液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体吐出ヘッドとして、例えば特許文献１に記載されているように、液体がノズル流路を循環し、ノズル流路に直交する方向に液体が吐出される構成を有する液体吐出ヘッドが知られている。かかる液体吐出ヘッドにおいて、サテライト滴を抑制するため、および液体をノズルに効率良く供給するために、液滴を吐出する第１部分と、ノズル流路および第１部分に接続し第１部分よりも大きい容積を有する第２部分と、から構成される２段階ノズルが用いられることがある。また、液体吐出ヘッドとして、通常ノズルに加えて、微小な液滴を吐出するための微小ノズルを備える液体吐出ヘッドが知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１１９０４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

通常ノズルと微小ノズルとのいずれにも２段階ノズルを適用すると、通常ノズルでは上述したように液体の吐出性能が向上する一方で、微小ノズルでは液体の吐出量が少ない、すなわち第１部分の容積が比較的小さいために、液体が滞留しやすくなり、微小ノズル中の液体の粘度が増加するおそれがある。液体の粘度が増加すると、液体が適切に吐出されない頻度が増加し得る。通常ノズルと微小ノズルのいずれにも２段階ノズルを適用し、通常ノズルと微小ノズルのいずれにおいても液体の吐出性能を向上させることのできる技術が求められている。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。

【0006】

本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドユニットが提供される。この液体吐出ヘッドユニットは、Ｘ方向に延在し、前記Ｘ方向に液体が流れる複数の第１ノズル流路と、前記Ｘ方向と交差するＹ方向に配列され、前記複数の第１ノズル流路それぞれに接続し、前記第１ノズル流路における前記Ｘ方向に流れる液体を前記Ｘ方向および前記Ｙ方向と交差するＺ方向に吐出する複数の第１ノズルと、前記Ｘ方向に延在し、前記Ｘ方向に液体が流れる複数の第２ノズル流路と、前記Ｙ方向に配列され、前記複数の第２ノズル流路それぞれに接続し、前記第２ノズル流路における前記Ｘ方向に流れる液体を前記Ｚ方向に吐出する複数の第２ノズルと、を有し、前記第１ノズルは、第１部分と、前記Ｚ方向において前記第１部分よりも前記第１ノズル流路に近い第２部分と、を含み、前記第２ノズルは、第３部分と、前記Ｚ方向において前記第３部分よりも前記第２ノズル流路に近い第４部分と、を含み、前記第１部分の容積は、前記第２部分の容積よりも小さく、前記第３部分の容積は、前記第４部分の容積よりも小さく、前記第１部分の容積は、前記第３部分の容積よりも小さく、前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第４部分の前記Ｘ方向における長さよりも長い。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本開示の一実施形態としての液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。

【図2】図１に示す液体吐出ヘッドの詳細構成を示す分解斜視図である。

【図3】液体吐出ヘッドの詳細構成を示す断面図である。

【図4】液体吐出ヘッドを－Ｚ方向から見た平面図である。

【図5】本実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図6】本実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図7】本実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図8】本実施形態における第２ノズルの説明図である。

【図9】本実施形態における第２ノズルの説明図である。

【図10】本実施形態における第２ノズルの説明図である。

【図11】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図12】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図13】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図14】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図15】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図16】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図17】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【図18】他の実施形態における第１ノズルの説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

Ａ．実施形態：
Ａ１．液体吐出装置１００の構成：
図１は、本開示の一実施形態としての液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。本実施形態において、液体吐出装置１００は、液体の一例としてのインクを印刷用紙ＰＰに吐出して画像を形成するインクジェット式プリンターである。なお、液体吐出装置１００は、印刷用紙ＰＰに代えて、樹脂フィルム、布帛等の任意の種類の媒体を、インクの吐出対象としてもよい。図１には、相互に直交する３つの軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が表されている。他の図面に記載のＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、いずれも図１のＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸に対応する。

【0009】

液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッドユニット１０と、液体容器２０と、循環機構３０と、搬送機構４０と、移動機構５５と、制御部９０とを備える。

【0010】

液体吐出ヘッドユニット１０は、複数の液体吐出ヘッド１により構成されている。液体吐出ヘッド１は、多数のノズル（後述のノズルＮ）を有し、－Ｚ方向にインクを吐出して印刷用紙ＰＰ上に画像を形成する。液体吐出ヘッド１の詳細構成は、後述する。吐出するインクとしては、例えば、ブラック、シアン、マゼンタ、およびイエローの合計４色のインクを吐出してもよい。なお、上記４色に限らずライトシアン、ライトマゼンタ、ホワイトなど、任意の色のインクを吐出してもよい。液体吐出ヘッド１は、移動機構５５が有する後述のキャリッジ５３に搭載され、キャリッジ５３の移動と共に主走査方向に往復移動する。本実施形態において、主走査方向は、＋Ｘ方向および－Ｘ方向（以下、「Ｘ方向」とも呼ぶ）である。

【0011】

液体容器２０は、液体吐出ヘッド１から吐出するインクを収容する。インクとしては、例えば、色材としての顔料が溶媒中に分散されたインクのほか、染料を含有するインクや、顔料と染料との双方を色材として含有するインクを用いることができる。インクには、一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物が含まれてよい。液体容器２０は、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンク等である。

【0012】

循環機構３０は、制御部９０による制御のもとで、液体容器２０に貯留された液体を、液体吐出ヘッド１に供給する装置である。循環機構３０は、例えばポンプにより構成される。また、循環機構３０は、液体吐出ヘッド１内に貯留されたインクを回収し、回収したインクを、液体吐出ヘッド１に還流させる。

【0013】

搬送機構４０は、印刷用紙ＰＰを副走査方向に搬送する。副走査方向は、主走査方向（Ｘ方向）と直交する方向であり、本実施形態では、＋Ｙ方向および－Ｙ方向（以下、「Ｙ方向」とも呼ぶ）である。搬送機構４０は、３つの搬送ローラー４２が装着された搬送ロッド４４と、搬送ロッド４４を回転駆動する搬送用モーター４６とを備える。搬送用モーター４６が搬送ロッド４４を回転駆動することにより、複数の搬送ローラー４２が回転して印刷用紙ＰＰが副走査方向（＋Ｙ方向）に搬送される。なお、搬送ローラー４２の数は３つに限らず任意の数であってもよい。また、搬送機構４０を複数備える構成としてもよい。

【0014】

移動機構５５は、上述のキャリッジ５３に加えて、搬送ベルト５４と、移動用モーター５６と、プーリー５７とを備える。キャリッジ５３は、インクを吐出可能な状態で液体吐出ヘッド１を搭載する。キャリッジ５３は、搬送ベルト５４に取り付けられている。搬送ベルト５４は、移動用モーター５６とプーリー５７との間に架け渡されている。移動用モーター５６が回転駆動することにより、搬送ベルト５４は、主走査方向に往復移動する。これにより、搬送ベルト５４に取り付けられているキャリッジ５３も、主走査方向に往復移動する。

【0015】

制御部９０は、インクの吐出動作を制御する。例えば、制御部９０は、キャリッジ５３の主走査方向に沿った往復動作や、印刷用紙ＰＰの副走査方向に沿った搬送動作を制御する。また、例えば、液体吐出ヘッドユニット１０に駆動信号を出力して圧電素子（後述の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２）を駆動させることにより、印刷用紙ＰＰへのインク吐出を制御する。制御部９０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とにより構成されてもよい。

【0016】

Ａ２．液体吐出ヘッド１の詳細構成：
図２は、図１に示す液体吐出ヘッド１の詳細構成を示す分解斜視図である。図３は、液体吐出ヘッド１の詳細構成を示す断面図である。図３は、図２に示すＩＩＩ－ＩＩＩ断面線における断面を示す。図４は、液体吐出ヘッド１を－Ｚ方向から見た平面図である。詳細については後述するが、本実施形態における液体吐出ヘッドユニット１０は、複数の液体吐出ヘッド１を含む。具体的には、液体吐出ヘッドユニット１０は、第１ノズルＮ１を有する第１液体吐出ヘッド１１と、第１ノズルＮ１よりも容積の大きい第２ノズルＮ２を有する第２液体吐出ヘッド１２と、を含む。第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２の詳細については、後述する。第１液体吐出ヘッド１１と第２液体吐出ヘッド１２との構成において、ノズルＮを除いた他の構成については同じなので、以下では第１液体吐出ヘッド１１と第２液体吐出ヘッド１２とを区別せずに、液体吐出ヘッド１としてまとめて説明する。なお、同色のインクを吐出する第１液体吐出ヘッド１１と第２液体吐出ヘッド１２は、互いに隣接して配置されても、互いに離れて配置されてもよい。

【0017】

図２に示すように、液体吐出ヘッド１は、ノズル基板６０と、連通板２と、圧力室基板３と、振動板４と、貯留室形成基板５と、配線基板８と、コンプライアンスシート６１，６２と、を備えている。

【0018】

図２に示すように、ノズル基板６０は、Ｙ方向に沿って長尺な板状部材である。ノズル基板６０は、液体吐出ヘッド１において最も－Ｚ方向に位置する。ノズル基板６０は、例えば、シリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ノズル基板６０には、Ｍ個のノズルＮが形成されている。なお、Ｍは、１以上の任意の整数である。ノズルＮは、ノズル基板６０において厚さ方向（Ｚ方向）設けられた貫通孔として形成されている。ノズルＮは、液体吐出ヘッド１からのインクの吐出口に相当する。本実施形態において、Ｍ個のノズルＮは、Ｙ方向に延在するノズル列Ｌｎを形成するように直線状に配列されている。図３に示すように、本実施形態におけるノズルＮは、２段階ノズルである。なお、「２段階ノズル」とは、Ｚ方向に、容積の異なる２つの部分が接続されることにより構成されるノズルを意味する。

【0019】

図２に示すように、連通板２には、インクの流路が形成されている。具体的には、連通板２には、Ｙ方向に延在する一つの共通供給流路ＲＡ１と、Ｙ方向に延在する一つの共通排出流路ＲＡ２とが形成されている。図３に示すように、連通板２には、さらに、Ｍ個のノズルＮのそれぞれに対応するＭ個のノズル流路ＲＮと、Ｍ個の供給流路ＲＲ１と、Ｍ個の排出流路ＲＲ２と、Ｍ個の連通流路ＲＫ１と、Ｍ個の連通流路ＲＫ２と、Ｍ個の連通流路ＲＸ１と、Ｍ個の連通流路ＲＸ２とが形成されている。

【0020】

図３に示すように、連通流路ＲＸ１は、共通供給流路ＲＡ１と接続されている。連通流路ＲＸ１は、Ｘ方向に沿って共通供給流路ＲＡ１から－Ｘ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＸ１には、連通流路ＲＫ１が接続されている。連通流路ＲＫ１は、Ｚ方向に沿って連通流路ＲＸ１から－Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＫ１は、後述する圧力室ＣＢ１の一端に接続されている。圧力室ＣＢ１の他端には、供給流路ＲＲ１が接続されている。供給流路ＲＲ１は、圧力室ＣＢ１からＺ方向に沿って＋Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。供給流路ＲＲ１は、ノズル流路ＲＮの一端に接続されている。ノズル流路ＲＮは、Ｘ方向に延在しており、中央付近に一つのノズルＮが設けられている。ノズル流路ＲＮをＸ方向に流れるインクの一部が、ノズルＮから吐出される。

【0021】

ノズル流路ＲＮの他端には、排出流路ＲＲ２が接続されている。排出流路ＲＲ２は、Ｚ方向に沿ってノズル流路ＲＮから－Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。排出流路ＲＲ２は、後述する圧力室ＣＢ２の一端に接続されている。圧力室ＣＢ２の他端には、連通流路ＲＫ２が接続されている。連通流路ＲＫ２は、圧力室ＣＢ２からＺ方向に沿って＋Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＫ２には、連通流路ＲＸ２の一端が接続されている。連通流路ＲＸ２は、Ｘ方向に沿って連通流路ＲＫ２から－Ｘ方向に延在するように設けられている。連通流路ＲＸ２の他端は、共通排出流路ＲＡ２に接続されている。

【0022】

図２及び図３に示すように、連通板２の＋Ｚ方向側の面には、共通供給流路ＲＡ１、連通流路ＲＸ１、ならびに連通流路ＲＫ１を閉塞するように、コンプライアンスシート６１が配置されている。コンプライアンスシート６１は、共通供給流路ＲＡ１、連通流路ＲＸ１、および連通流路ＲＫ１内のインクの圧力変動を吸収する。また、連通板２の＋Ｚ方向側の面には、共通排出流路ＲＡ２、連通流路ＲＸ２、および連通流路ＲＫ２を閉塞するように、コンプライアンスシート６２が配置されている。共通排出流路ＲＡ２、連通流路ＲＸ２、ならびに連通流路ＲＫ２内のインクの圧力変動を吸収する。コンプライアンスシート６１，６２は、弾性変形可能な可撓性を有するシート状の部材である。

【0023】

図２および図３に示すように、連通板２の－Ｚ方向側の面上には、貯留室形成基板５が配置されている。貯留室形成基板５は、Ｙ方向に長尺な部材である。貯留室形成基板５は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。貯留室形成基板５の内部には、インクの流路が形成されている。具体的には、貯留室形成基板５には、一つの共通供給流路ＲＢ１と、一つの共通排出流路ＲＢ２とが形成されている。共通供給流路ＲＢ１は、共通供給流路ＲＡ１と連通し、共通排出流路ＲＢ２は、共通排出流路ＲＡ２と連通する。

【0024】

貯留室形成基板５には、共通供給流路ＲＢ１と連通する導入口５１と、共通排出流路ＲＢ２と連通する排出口５２とが設けられている。共通供給流路ＲＢ１には、液体容器２０からのインクが導入口５１を介して供給される。また、共通排出流路ＲＢ２に貯留されたインクは、排出口５２を介して回収される。

【0025】

本実施形態において、循環機構３０によって液体容器２０から導入口５１に供給されたインクは、共通供給流路ＲＢ１を経由して、共通供給流路ＲＡ１に流入する。共通供給流路ＲＡ１に流入したインクの一部は、連通流路ＲＸ１および連通流路ＲＫ１に分流されて、各圧力室ＣＢ１に流入する。圧力室ＣＢ１に流入したインクの一部は、供給流路ＲＲ１と、ノズル流路ＲＮと、排出流路ＲＲ２とをこの順に経由して、圧力室ＣＢ２に流入する。圧力室ＣＢ２に流入したインクの一部は、連通流路ＲＫ２と、連通流路ＲＸ２とをこの順に経由した後に、共通排出流路ＲＡ２で合流され、共通排出流路ＲＢ２を経由して、排出口５２から排出される。以下の説明において、共通供給流路ＲＡ１から共通排出流路ＲＡ２までのインクの流路を、循環流路ＲＪとも呼ぶ。具体的には、循環流路ＲＪには、共通供給流路ＲＡ１と、連通流路ＲＸ１と、連通流路ＲＫ１と、圧力室ＣＢ１と、供給流路ＲＲ１と、ノズル流路ＲＮと、排出流路ＲＲ２と、圧力室ＣＢ２と、連通流路ＲＫ２と、連通流路ＲＸ２と、共通排出流路ＲＡ２とが含まれる。Ｍ個の循環流路ＲＪは、Ｙ方向に配列されている。図４に示すように、共通供給流路ＲＡ１と、共通排出流路ＲＡ２とは、Ｍ個のノズルＮのそれぞれに対応するＭ個の循環流路ＲＪによって接続されている。すなわち、共通供給流路ＲＡ１により、Ｍ個のノズル流路ＲＮのそれぞれにインクが供給され、共通排出流路ＲＡ２により、Ｍ個のノズル流路ＲＮのそれぞれからインクが排出される。ここで、ノズル流路ＲＮの一端に共通供給流路ＲＡ１が間接的に接続し、ノズル流路ＲＮの他端に共通排出流路ＲＡ２が間接的に接続しているともいえる。なお、共通供給流路ＲＡ１と共通排出流路ＲＡ２とがそれぞれノズル流路ＲＮに直接接続する構成としてもよい。

【0026】

図２および図３に示すように、貯留室形成基板５には、開口５０が設けられている。開口５０の内側には、圧力室基板３と、振動板４と、配線基板８とが設けられている。圧力室基板３は、Ｙ方向に長尺な板状部材である。圧力室基板３は、連通板２の－Ｚ方向側の面上に設けられている。圧力室基板３は、Ｘ－Ｙ平面に略平行となるように配置されている。圧力室基板３は、例えば、エッチング技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。圧力室基板３には、インクの流路が形成されている。具体的には、圧力室基板３には、Ｍ個のノズルＮのそれぞれに対応するＭ個の圧力室ＣＢ１およびＭ個の圧力室ＣＢ２が形成されている。

【0027】

圧力室ＣＢ１は、連通流路ＲＫ１と供給流路ＲＲ１とを連通するように、Ｘ方向に延在して設けられている。圧力室ＣＢ２は、連通流路ＲＫ２と排出流路ＲＲ２とを連通するように、Ｘ方向に延在して設けられている。

【0028】

振動板４は、Ｙ方向に長尺な板状部材である。図２および図３に示すように、振動板４は、圧力室基板３の－Ｚ方向側の面上に設けられている。振動板４は、弾性的に振動可能な部材であり、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内のインクに圧力を付与する。振動板４は、Ｘ－Ｙ平面に略平行となるように配置されている。振動板４の－Ｚ方向側の面上には、Ｍ個の圧力室ＣＢ１のそれぞれに対応するＭ個の圧電素子ＰＺ１と、Ｍ個の圧力室ＣＢ２のそれぞれに対応するＭ個の圧電素子ＰＺ２と、が設けられている。圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、制御部９０から伝達された駆動信号の電気エネルギーを運動エネルギーに変換する、エネルギー変換素子である。本実施形態において、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、駆動信号の電位変化に応じて変形する受動素子である。

【0029】

配線基板８は、振動板４の－Ｚ方向側に実装されている。配線基板８は、制御部９０と、液体吐出ヘッド１とを電気的に接続するための部品である。配線基板８としては、例えば、ＦＰＣまたはＦＦＣ等の可撓性の配線基板が用いられる。配線基板８には、駆動回路８１が実装されている。駆動回路８１は、制御信号に基づいて、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２に駆動信号を供給するか否かを切り替える。

【0030】

圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、駆動信号の電位変化に応じて変形する。振動板４は、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の変形に連動して振動する。振動板４の振動によって、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内の圧力は変動する。圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内の圧力が変動することによって、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２の内部に充填されたインクは、供給流路ＲＲ１、排出流路ＲＲ２、ならびにノズル流路ＲＮを経由して、ノズルＮから吐出される。具体的には、駆動信号により圧電素子ＰＺ１が駆動される場合、圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクの一部は、供給流路ＲＲ１とノズル流路ＲＮとを経由して、ノズルＮから吐出される。駆動信号により圧電素子ＰＺ２が駆動される場合、圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクの一部は、排出流路ＲＲ２とノズル流路ＲＮとを経由して、ノズルＮから吐出される。

【0031】

本実施形態の液体吐出装置１００は、共通供給流路ＲＡ１から循環流路ＲＪを経由して共通排出流路ＲＡ２へとインクを循環させる。そのため、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部のインクがノズルＮから吐出されない期間が存在する場合であっても、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部及びノズル流路ＲＮ等において、インクが滞留することを低減または防止できる。したがって、本実施形態の液体吐出装置１００は、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２及びノズル流路ＲＮ内部のインクが増粘することを低減または防止し、ノズルＮからインクが吐出できなくなる吐出異常の発生を抑制できる。

【0032】

本実施形態の液体吐出装置１００は、圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクと、圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクとを、ノズルＮから吐出する。したがって、本実施形態の液体吐出装置１００は、例えば、１個の圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部に充填されているインクのみをノズルＮから吐出する構成と比較して、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることができる。

【0033】

Ａ３．第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２の詳細構成：
上述したように、本実施形態における液体吐出ヘッド１は、第１ノズルＮ１を有する第１液体吐出ヘッド１１と、第１ノズルＮ１よりも容積の大きい第２ノズルＮ２を有する第２液体吐出ヘッド１２と、を含む。第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２は、いずれも２段階ノズルである。図５～図７は、本実施形態における第１ノズルＮ１の説明図である。図５は、Ｚ方向に見た第１ノズルＮ１を示す。図６は、図５のＶＩ－ＶＩ断面線における断面を示す。図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ断面線における断面を示す。なお、図５～図７では、第１液体吐出ヘッド１１のノズル流路ＲＮ（以下、第１ノズル流路ＲＮ１と呼ぶ）におけるノズル基板６０および第１ノズルＮ１の構成のみを示し、その他の構成については省略している。

【0034】

図５～図７に示すように、第１ノズルＮ１は、第１部分Ｐ１と、Ｚ方向において第１部分Ｐ１よりも第１ノズル流路ＲＮ１に近い第２部分Ｐ２と、を有する。第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２は、ノズル基板６０をエッチング等の技術により加工することで形成される。第１部分Ｐ１は、第２部分Ｐ２のＸ方向およびＹ方向における中央付近に＋Ｚ方向から接続している。第１部分Ｐ１は、第２部分Ｐ２から供給されるインクを外部に向けて吐出する。図５に示すように、第１部分Ｐ１は、Ｘ方向における長さＬ１と、Ｙ方向における幅Ｗ１とが略等しく、Ｚ方向に見て円状の外観形状を有する。

【0035】

図５～図７に示すように、第２部分Ｐ２における長さＬ２と幅Ｗ２と深さＤ２とのそれぞれは、第１部分Ｐ１における長さＬ１と幅Ｗ１と深さＤ１とのそれぞれよりも大きい。第２部分Ｐ２の幅Ｗ２は、第１ノズル流路ＲＮ１の幅Ｗ１０よりも小さい。第２部分Ｐ２の容積は、第１部分Ｐ１の容積よりも大きい。図５に示すように、第２部分Ｐ２は、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状に加工された長方形状の外観形状を有する。第２部分Ｐ２には、第１ノズル流路ＲＮ１をＸ方向に流れるインクの少なくとも一部が流れ込む。第２部分Ｐ２に流れ込んだインクの少なくとも一部は、第１部分Ｐ１に供給される。

【0036】

図８～図１０は、本実施形態における第２ノズルＮ２の説明図である。図８は、Ｚ方向に見た第２ノズルＮ２を示す。図９は、図のＩＸ－ＩＸ断面線における断面を示す。図１０は、図８のＸ－Ｘ断面線における断面を示す。なお、図８～図１０では、第２液体吐出ヘッド１２のノズル流路ＲＮ（以下、第２ノズル流路ＲＮ２と呼ぶ）におけるノズル基板６０および第２ノズルＮ２の構成のみを示し、その他の構成については省略している。

【0037】

図８～図１０に示すように、第２ノズルＮ２は、第３部分Ｐ３と、Ｚ方向において第３部分Ｐ３よりも第２ノズル流路ＲＮ２に近い第４部分Ｐ４と、を有する。第３部分Ｐ３および第４部分Ｐ４は、ノズル基板６０をエッチング等の技術により加工することで形成される。第３部分Ｐ３は、第４部分Ｐ４のＸ方向およびＹ方向における中央付近に＋Ｚ方向から接続している。第３部分Ｐ３は、第４部分Ｐ４から供給されるインクを外部に向けて吐出する。図８に示すように、第３部分Ｐ３は、Ｘ方向における長さＬ３と、Ｙ方向における幅Ｗ３とが略等しく、Ｚ方向に見て円状の外観形状を有する。

【0038】

図８～図１０に示すように、第４部分Ｐ４における長さＬ４と幅Ｗ４と深さＤ４とのそれぞれは、第３部分Ｐ３における長さＬ３と幅Ｗ３と深さＤ３とのそれぞれよりも大きい。第４部分Ｐ４の幅Ｗ４は、第２ノズル流路ＲＮ２の幅Ｗ２０よりも小さい。第４部分Ｐ４の容積は、第３部分Ｐ３の容積よりも大きい。図８に示すように、第４部分Ｐ４は、Ｚ方向に見て円状の外観形状を有する。第３部分Ｐ３および第４部分Ｐ４は、Ｚ方向に見て同心円状の外観形状を有するとも言える。第４部分Ｐ４には、第２ノズル流路ＲＮ２をＸ方向に流れるインクの少なくとも一部が流れ込む。第４部分Ｐ４に流れ込んだインクの少なくとも一部は、第３部分Ｐ３に供給される。

【0039】

本実施形態において、第１部分Ｐ１の容積は、第３部分Ｐ３の容積よりも小さい。すなわち、第１ノズルＮ１から吐出されるインクの液滴は、第２ノズルＮ２から吐出されるインクの液滴よりも小さい。このため、求められるインクの液滴の大きさに応じて、第１ノズルＮ１を備える第１液体吐出ヘッド１１と、第２ノズルＮ２を備える第２液体吐出ヘッド１２とが使い分けられる。

【0040】

また、本実施形態における第２部分Ｐ２のＸ方向における長さＬ２は、第４部分Ｐ４のＸ方向における長さＬ４よりも長い。長さＬ４は、例えば長さＬ２の３倍より長い。本発明者らは、長さＬ２と長さＬ４とをこのように設定することで、第１ノズルＮ１におけるインクの吐出性能を向上できることを見出した。第２ノズルＮ２よりも小さい液滴を吐出可能な第１ノズルＮ１において、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２から構成される２段階ノズルを適用すると、第１ノズルＮ１におけるインクの吐出量が比較的少ないため、第１ノズルＮ１と第１ノズル流路ＲＮ１との間におけるインクの置換が行われにくくなる。また、吐出する液滴が小さいので、メニスカスの揺動量が少なくメニスカスの揺動による第１ノズルＮ１内のインクの撹拌（インク循環）も困難となる。このため、第１部分Ｐ１と大気との境界面において大気と接触し粘度が増加したインクが、第１ノズルＮ１内に滞留しやすくなる。インクの粘度が増加すると、インクを適切に吐出できないおそれがある。特に、微小な液滴のインクを吐出する場合には、インクの粘度が過剰に増加しないことが望ましい。ここで、本発明者らは、本実施形態のように第２部分Ｐ２のＸ方向における長さＬ２を比較的長くすることで、第１ノズルＮ１内でのインクの循環効率を向上できることを見出した。これは、第２部分Ｐ２のＸ方向における長さＬ２を比較的長くすることで、第１ノズル流路ＲＮ１と第２部分Ｐ２との境界面において、インクの流れ方向であるＸ方向のインクの接触部分が比較的大きくなり、第１ノズル流路ＲＮ１を流れるインクと第２部分Ｐ２内のインクとの置換頻度が比較的高くなるためであると考えられる。

【0041】

これに対して、第１ノズルＮ１よりも大きい液滴を吐出可能な第２ノズルＮ２においても第４部分Ｐ４の長さＬ４も比較的長い構成とすると、第４部分Ｐ４内のインクと第２ノズル流路ＲＮ２を流れるインクとの置換頻度が過剰に高まり、インクを適切に吐出できないおそれがある。このようなことから、本実施形態において、第２部分Ｐ２のＸ方向における長さＬ２は、第４部分Ｐ４のＸ方向における長さＬ４よりも長く設定されている。

【0042】

以上説明した第１実施形態の液体吐出装置１００によれば、第１部分Ｐ１の容積は、第２部分Ｐ２の容積よりも小さく、第３部分Ｐ３の容積は、第４部分Ｐ４の容積よりも小さく、第１部分Ｐ１の容積は、第３部分Ｐ３の容積よりも小さく、第２部分Ｐ２のＸ方向における長さＬ２は、第４部分Ｐ４のＸ方向における長さＬ４よりも長いので、第２ノズルＮ２よりも小さい液滴を吐出可能な第１ノズルＮ１内の液体が増粘することを抑制できる。これにより、第１ノズルＮ１だけでなく、第２ノズルＮ２も２段階ノズルとして構成でき、液体の吐出性能を向上させることができる。

【0043】

Ｂ．実施例：
様々な寸法の第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２を用いて、吐出試験を行った。吐出試験は、第１ノズルＮ１を有する第１液体吐出ヘッド１１と、第２ノズルＮ２を有する第２液体吐出ヘッド１２と、を有するインクジェット式プリンターを用いて、インクを吐出させることで行った。その結果を下記表１および表２に示す。なお、表１および表２における長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４と、幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４と、深さＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４との単位は、いずれもマイクロメートルである。また、表１および表２では、長さＬ１に対する長さＬ２の比を「Ｌ２／Ｌ１」として示し、長さＬ３に対する長さＬ４の比を「Ｌ４／Ｌ３」として示している。実施例では、第２部分Ｐ２の長さＬ２が第４部分Ｐ４の長さＬ４より長く設定した第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２について試験を行った。比較例では、第２部分Ｐ２の長さＬ２が第４部分Ｐ４の長さＬ４以下の第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２について試験を行った。また、実施例および比較例のいずれにおいても、第１部分Ｐ１の容積は第３部分Ｐ３の容積よりも小さく、第１部分Ｐ１の容積は第２部分Ｐ２の容積よりも小さく、第３部分Ｐ３の容積は第４部分Ｐ４の容積よりも小さい。すなわち、第１ノズルＮ１は、第２ノズルＮ２よりも微小な液滴を吐出可能な２段階ノズルである。また、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２と、第３部分Ｐ３および第４部分Ｐ４とは、それぞれ１枚のノズル基板６０をエッチング加工して形成されるため、深さＤ１および深さＤ２の和と、深さＤ３および深さＤ４の和とは、それぞれノズル基板６０の厚さと一致する。本吐出試験においては、６５μｍの厚さを有するノズル基板６０を用いた。

【0044】

【表1】

【0045】

【表2】

【0046】

表１および表２の右端に示されている「評価」は、吐出試験における吐出性能の評価を示す。具体的には、「良」は、第１ノズルＮ１内および第２ノズルＮ２内のいずれにおいてもインクの増粘が観察されず、第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２のいずれにおいても、インクが適切に吐出されたことを意味する。「否」は、第１ノズルＮ１および第２ノズルＮ２のうち少なくとも一方において、インクが適切に吐出されなかったことを意味する。

【0047】

実施例１～実施例１０では、第２ノズルＮ２の寸法を統一し、第１ノズルＮ１のみの寸法を変えて試験を行った。実施例１と実施例２においては、第２部分Ｐ２の長さＬ２は８４１μｍで共通しているが、深さＤ２がそれぞれ４９μｍと４０μｍとである点において異なっている。実施例３～実施例６のそれぞれと、実施例７～実施例１０のそれぞれとは、第２部分Ｐ２の長さＬ２が対応しており、深さＤ２が異なっている。具体的には、実施例３と実施例７の長さＬ２は、５０μｍであり、実施例４と実施例８の長さＬ２は、７０μｍであり、実施例５と実施例９の長さＬ２は、９０μｍであり、実施例６と実施例１０の長さＬ２は、１２０μｍである。また、実施例３～実施例６の深さＤ２は、４９μｍであり、実施例７～実施例１０の深さＤ２は、４０μｍである。実施例１～実施例１０に示すように、第２部分Ｐ２の長さＬ２が第４部分Ｐ４の長さＬ４より長い場合、評価はいずれも「良」であった。これは、第一に、第１ノズルＮ１よりも大きい液滴を吐出可能な構成である第２ノズルＮ２においては、２段階ノズルを適用することでインクの吐出性能が向上し、良好なインク吐出が行われたこと、第二に、第２ノズルＮ２よりも微妙な液滴を吐出可能な構成である第１ノズルＮ１においては、流れ方向（第１実施形態で説明したＸ方向）に沿った長さＬ２を比較的長くし、第１ノズルＮ１内におけるインクの循環効率が向上することで、第１ノズルＮ１内のインクの増粘を抑制でき、２段階ノズルを適用しながら適切なインクの吐出を実現できたことによると考えられる。

【0048】

実施例１１および実施例１２では、第１ノズルＮ１の寸法を実施例１と同様に設定し、第２ノズルＮ２の寸法のみを実施例１から変更して試験を行った。実施例１１および実施例１２においても、実施例１～実施例１０と同様に、評価は「良」であった。第１ノズルＮ１においては、実施例１～実施例１０で上述した理由と同様の理由から、良好なインク吐出が行われた。第２ノズルＮ２においては、第４部分Ｐ４の深さＤ４を実施例１から変更しても、インクの吐出が適切に行われた。実施例１および実施例２の結果と、実施例３～実施例６および実施例７～実施例１０の結果と、からも明らかなように、第１ノズル流路ＲＮ１および第２ノズル流路ＲＮ２におけるインクの流れ方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｚ方向）に沿った深さＤ２，Ｄ４は、長さＬ２，Ｌ４と比較して、インクの循環に対する影響が小さいと推察される。

【0049】

比較例１～比較例６では、第２部分Ｐ２の長さと第４部分Ｐ４の長さを等しく設定して試験を行った。この結果、評価はいずれも「否」であった。第２ノズルＮ２においてはインクが適切に吐出されたが、第１ノズルＮ１においては、インクが適切に吐出されなかった。これは、微小な液滴を吐出可能な第１ノズルＮ１における長さＬ２が比較的短いため、第１ノズル流路ＲＮ１と第２部分Ｐ２におけるインクの循環効率が比較的低く、第１ノズルＮ１内におけるインクの粘度が上昇したためであると考えられる。また、比較例１～比較例６における深さＤ２を参照すると、深さＤ２に関わらずインクが適切に吐出されない。このことからも、実施例で上述したように、深さＤ２のインクの循環に対する影響は、長さＬ２と比較して小さいと考えられる。

【0050】

比較例７および比較例８では、第２ノズルＮ２の寸法は比較例１～比較例６と同様に設定し、第１ノズルＮ１の長さＬ２を第２ノズルＮ２の長さＬ４よりも小さく設定して試験を行った。この結果、評価はいずれも「否」であった。第２ノズルＮ２においてはインクが適切に吐出されたが、第１ノズルＮ１においてはインクが適切に吐出されなかった。これは、比較例１～６で述べたように、長さＬ２が比較的短いために、第２部分Ｐ２におけるインクの循環効率が比較的低く、第１ノズルＮ１内におけるインクの粘度が上昇したためであると考えられる。

【0051】

比較例９および比較例１０では、第２部分Ｐ２の長さＬ２と第４部分Ｐ４の長さＬ４は等しいが、比較例１～比較例８よりも長く設定した。具体的には、比較例９では長さＬ２および長さＬ４を５０μｍと設定し、比較例１０では長さＬ２および長さＬ４を１２０μｍと設定した。この結果、評価はいずれも「否」であった。第１ノズルＮ１においては、Ｌ２が比較的長くなったことにより、インクの循環効率が向上することで、インクの吐出が適切に行われた。これに対し、第２ノズルＮ２では、長さＬ４を比較的長くしたにも関わらず、インクの吐出が適切に行われなかった。これは、次の理由によると推察される。第１ノズルＮ１よりも大きい液滴を吐出可能な第２ノズルＮ２においては、第１ノズルＮ１よりもインクの置換頻度が高い。かかる第２ノズルＮ２における長さＬ４を長くすることで、第２ノズルＮ２と第２ノズル流路ＲＮ２との間でのインクの置換頻度が過剰に高くなり得る。このため、インクの吐出が適切に行われなくなったと考えられる。

【0052】

以上説明した吐出試験の結果から明らかなように、比較的小さい液滴を吐出する第１ノズルＮ１における第２部分Ｐ２の長さＬ２を、比較的大きい液滴を吐出する第２ノズルＮ２における第４部分Ｐ４の長さＬ４よりも長く設定することで、第１ノズルＮ１と第２ノズルＮ２のいずれにおいても、２段階ノズルを適用し、液体の吐出性能を向上させることができる。

【0053】

Ｃ．他の実施形態：
（Ｃ１）上記実施形態に示すように、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２とのＸ方向における長さの差分は、第３部分Ｐ３と第４部分Ｐ４とのＸ方向における長さの差分よりも大きい構成としてもよい。

【0054】

（Ｃ２）上記実施形態において、第２部分Ｐ２のＹ方向における幅Ｗ２は、第４部分Ｐ４のＹ方向における幅Ｗ４と等しくてもよい。かかる構成によれば、第２部分Ｐ２のＹ方向における幅Ｗ２と第４部分Ｐ４のＹ方向における幅Ｗ４とが異なる構成と比較して、液体吐出ヘッド１内におけるノズルＮの密度をより高めることができる。

【0055】

（Ｃ３）上記実施形態および上記実施例１～実施例１２に示すように、第１部分Ｐ１のＺ方向における深さＤ１は、第３部分Ｐ３のＺ方向における深さＤ３よりも短くてもよい。かかる構成によれば、第２ノズルＮ２よりも微小な液滴を吐出可能な第１ノズルＮ１において、液体の圧力損失を抑制でき、液体の吐出性能を向上できる。また、第１部分Ｐ１におけるイナータンスを小さくできるので、第１部分Ｐ１内の液体が動きやすくなり、液体を吐出しやすくできる。なお、本開示はこれに制限されず、第１部分Ｐ１のＺ方向における深さＤ１は、第３部分Ｐ３のＺ方向における深さＤ３よりも長くてもよい。

【0056】

（Ｃ４）上記実施形態において、共通供給流路ＲＡ１により複数のノズル流路ＲＮのそれぞれに液体が供給され、共通供給流路ＲＡ１により複数のノズル流路ＲＮのそれぞれから液体が排出されていたが、本開示はこれに限定されない。複数のノズル流路ＲＮのそれぞれに液体を供給する複数の供給流路と、複数のノズル流路ＲＮのそれぞれから液体を排出する複数の排出流路と、を備える構成としてもよい。換言すると、複数のノズル流路ＲＮのそれぞれに接続する、個別の供給流路および排出流路を備える構成としてもよい。

【0057】

（Ｃ５）上記実施形態において、液体吐出ヘッドユニット１０は、第１ノズルＮ１および第１ノズル流路ＲＮ１を有する第１液体吐出ヘッド１１と、第２ノズルＮ２および第２ノズル流路ＲＮ２を有する第２液体吐出ヘッド１２と、を含んでいたが、本開示はこれに限定されない。液体吐出ヘッドユニット１０は、複数の第１ノズルＮ１および複数の第１ノズル流路ＲＮ１と、複数の第２ノズルＮ２および複数の第２ノズル流路ＲＮ２と、をいずれも有する第３液体吐出ヘッドを１つ以上備える構成であってもよい。また、液体吐出ヘッドユニット１０は、第１液体吐出ヘッド１１と、第２液体吐出ヘッド１２と、第３液体吐出ヘッドと、を備える構成であってもよい。

【0058】

（Ｃ６）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状に加工された長方形状の外観形状を有しており、第４部分Ｐ４は、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状の外観形状を有していたが、本開示はこれに制限されない。第２部分Ｐ２と第４部分Ｐ４とのうちの少なくとも一方が、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状の外観形状を有していてもよい。

【0059】

（Ｃ７）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状に加工された長方形状の外観形状を有しており、第４部分Ｐ４は、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状の外観形状を有していたが、本開示はこれに制限されない。図１１は、他の実施形態における第１ノズルＮ２１の説明図である。なお、図１１は、Ｚ方向に見た第１ノズルＮ２１の概略構成を示している。図１１に示すように、第１ノズルＮ２１における第２部分Ｐ２１は、Ｚ方向に見て四隅が直角であってもよい。なお、本開示における「直角」は、９０度だけに限らず、８５度～９５度の角度を含む広い概念を意味する。また、第２部分Ｐ２だけでなく、第４部分Ｐ４のＺ方向に見た四隅が直角であってもよい。また、第２部分Ｐ２と第４部分Ｐ４とのうちでいずれか一方のＺ方向に見た四隅が、直角であってもよい。このように四隅を直角とすることで、直角ではない構成と比較して、第２部分Ｐ２および第４部分Ｐ４の容積をより大きく構成できる。

【0060】

（Ｃ８）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状に加工された長方形状の外観形状を有しており、第４部分Ｐ４は、Ｚ方向に見てＸ方向の両端が弧状の外観形状を有していたが、本開示はこれに制限されない。図１２は、他の実施形態における第１ノズルＮ２２の説明図である。なお、図１２は、Ｚ方向に見た第１ノズルＮ２２の概略構成を示している。図１２に示すように、第１ノズルＮ２２における第２部分Ｐ２２は、Ｚ方向に見て四隅が角Ｒ加工されていてもよい。また、図示は省略するが、第１ノズルＮ１における第２部分Ｐ２は、Ｚ方向に見た四隅が面取りされていてもよい。また、第２部分Ｐ２だけでなく、第４部分Ｐ４のＺ方向に見た四隅が、角Ｒに加工または面取りされていてもよい。また、第２部分Ｐ２と第４部分Ｐ４のいずれか一方のＺ方向に見た四隅が、角Ｒ加工または面取りされていてもよい。このように角Ｒ加工または面取りすることで、ノズル流路ＲＮから第２部分Ｐ２および第４部分Ｐ４に液体が供給される際の圧力損失を抑制できる。

【0061】

（Ｃ９）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、第１部分Ｐ１側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。また、第４部分Ｐ４は、第３部分Ｐ３側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。図１３および図１４は、他の実施形態における第１ノズルＮ２３の説明図である。図１３は、第１ノズルＮ２３のＸＺ平面と平行な断面を示す。図１４は、図１３のＸＩＶ－ＸＩＶ断面線における断面を示す。図１３および図１４に示すように、第２部分Ｐ２３の第１部分Ｐ１側の端部が面取りされることで、面取りされていない構成と比較して、第２部分Ｐ２３から第１部分Ｐ１へ＋Ｚ方向に流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。なお、面取りに限らず、角Ｒ加工であってもよい。また、図示は省略するが、第２部分Ｐ２３だけでなく、第４部分Ｐ４における第３部分Ｐ３側の端部も面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。また、第２部分Ｐ２３または第４部分Ｐ４のいずれか一方のみが面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。なお、かかる形態における第２部分Ｐ２３の長さＬ２は、第１ノズル流路ＲＮ１３側の端部におけるＸ方向の長さを意味する。同様に、第４部分Ｐ４の長さＬ４は、第２ノズル流路ＲＮ２側の端部におけるＸ方向の長さを意味する。

【0062】

（Ｃ１０）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、Ｚ方向において第１ノズル流路ＲＮ１と反対側に向かってテーパ加工されていてもよい。また、第４部分Ｐ４は、Ｚ方向において第２ノズル流路ＲＮ２と反対側に向かってテーパ加工されていてもよい。図１５および図１６は、他の実施形態における第１ノズルＮ２４の説明図である。図１５は、第１ノズルＮ２４のＸＺ平面と平行な断面を示す。図１６は、図１５のＸＶＩ－ＸＶＩ断面線における断面を示す。図１５および図１６に示すように、第２部分Ｐ２４がＺ方向において第１ノズル流路ＲＮ１と反対側に向かってテーパ加工されることで、テーパ加工されていない構成と比較して、第１ノズル流路ＲＮ１から第２部分Ｐ２４に＋Ｚ方向に流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。また、図示は省略するが、第２部分Ｐ２４だけでなく、第４部分Ｐ４もＺ方向において第２ノズル流路ＲＮ２と反対側に向かってテーパ加工されていてもよい。また、第２部分Ｐ２４または第４部分Ｐ４のいずれか一方のみがテーパ加工されていてもよい。なお、かかる形態における第２部分Ｐ２４の長さＬ２は、第１ノズル流路ＲＮ１側の端部におけるＸ方向の長さを意味する。同様に、第４部分Ｐ４の長さＬ４は、第２ノズル流路ＲＮ２側の端部におけるＸ方向の長さを意味する。

【0063】

（Ｃ１１）上記実施形態において、第２部分Ｐ２のＹ方向における中心は、第１ノズル流路ＲＮ１のＹ方向における中心とずれていてもよい。また、第４部分Ｐ４のＹ方向における中心は、第２ノズル流路ＲＮ２のＹ方向における中心とずれていてもよい。図１７および図１８は、他の実施形態における第１ノズルＮ２５の説明図である。図１７は、Ｚ方向に見た第１ノズルＮ２５の概略構成を示す。図１８は、図１７のＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩ断面線における断面を示す。図１７および図１８に示すように、本形態において第２部分Ｐ２５のＹ方向における中心Ｃ２は、第１ノズル流路ＲＮ１のＹ方向における中心Ｃ１よりも、＋Ｙ方向側にずれている。なお、第１部分Ｐ１の中心は、第１ノズル流路ＲＮ１の中心Ｃ１と略一致している。第１ノズル流路ＲＮ１において、液体の流速が最も速くなる場所は、Ｙ方向における中心からずれている場合がある。かかる場合に、本形態のように第２部分Ｐ２５のＹ方向における中心Ｃ２と、第１ノズル流路ＲＮ１のＹ方向における中心Ｃ１と、をずらすことで、第１ノズル流路ＲＮ１において流速の速い部分と第２部分Ｐ２５との位置を合わせることができる。これにより、第１ノズル流路ＲＮ１と第２部分Ｐ２５とのＹ方向における中心が略一致している構成と比較して、流速の速い部分が第１ノズル流路ＲＮ１のＹ方向における中心からずれている場合に、第１ノズル流路ＲＮ１と第２部分Ｐ２５との液体の置換頻度を高めることができ、第１ノズルＮ２５内で液体の粘度が増加することを抑制できる。同様に、図示は省略するが、第４部分Ｐ４のＹ方向における中心は、第２ノズル流路ＲＮ２のＹ方向における中心とずれていてもよい。

【0064】

（Ｃ１２）上記実施形態において、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２とのＹ方向の幅Ｗ１，Ｗ２は、等しくてもよい。また、第３部分Ｐ３と第４部分Ｐ４とのＹ方向の幅Ｗ１，Ｗ２は、等しくてもよい。また、第１部分Ｐ１と、第２部分Ｐ２と、第３部分Ｐ３と、第４部分Ｐ４とのＹ方向の幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４は、等しくてもよい。

【0065】

（Ｃ１３）上記実施形態において、第１部分Ｐ１および第３部分Ｐ３は、Ｚ方向に見て円状の外観形状を有していたが、本開示はこれに限定されない。第１部分Ｐ１および第３部分Ｐ３は、Ｚ方向に見て任意の形状を有していてもよい。

【0066】

Ｄ．他の形態：
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【0067】

（１）本形態の一形態によれば、液体吐出ヘッドユニットが提供される。この液体吐出ヘッドユニットは、Ｘ方向に延在し、前記Ｘ方向に液体が流れる複数の第１ノズル流路と、前記Ｘ方向と交差するＹ方向に配列され、前記複数の第１ノズル流路それぞれに接続し、前記第１ノズル流路における前記Ｘ方向に流れる液体を前記Ｘ方向および前記Ｙ方向と交差するＺ方向に吐出する複数の第１ノズルと、前記Ｘ方向に延在し、前記Ｘ方向に液体が流れる複数の第２ノズル流路と、前記Ｙ方向に配列され、前記複数の第２ノズル流路それぞれに接続し、前記第２ノズル流路における前記Ｘ方向に流れる液体を前記Ｚ方向に吐出する複数の第２ノズルと、を有し、前記第１ノズルは、第１部分と、前記Ｚ方向において前記第１部分よりも前記第１ノズル流路に近い第２部分と、を含み、前記第２ノズルは、第３部分と、前記Ｚ方向において前記第３部分よりも前記第２ノズル流路に近い第４部分と、を含み、前記第１部分の容積は、前記第２部分の容積よりも小さく、前記第３部分の容積は、前記第４部分の容積よりも小さく、前記第１部分の容積は、前記第３部分の容積よりも小さく、前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第４部分の前記Ｘ方向における長さよりも長い。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第１部分の容積は、第２部分の容積よりも小さく、第３部分の容積は、第４部分の容積よりも小さく、第１部分の容積は、第３部分の容積よりも小さく、第２部分のＸ方向における長さは、第４部分のＸ方向における長さよりも長いので、第２ノズルよりも小さい液滴を吐出可能な第１ノズル内の液体が増粘することを抑制できる。これにより、第２ノズルより大きい液滴を吐出可能な第１ノズルだけでなく、第２ノズルも２段階ノズルとして構成し、液体の吐出性能を向上できる。

【0068】

（２）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さよりも長くてもよい。

【0069】

（３）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さの３倍よりも長くてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分のＸ方向における長さは、第１部分のＸ方向における長さの３倍より長いので、第２部分のＸ方向における長さが第１部分のＸ方向における長さの３倍以下の構成と比較して、第１ノズル内におけるインクの循環効率を向上でき、インクの粘度が増加することを抑制できる。

【0070】

（４）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さの５倍よりも長くてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分のＸ方向における長さは、第１部分のＸ方向における長さの５倍より長いので、第２部分のＸ方向における長さが第１部分のＸ方向における長さの５倍以下の構成と比較して、第１ノズル内におけるインクの循環効率をより向上でき、インクの粘度が増加することをより抑制できる。

【0071】

（５）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第４部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第３部分の前記Ｘ方向における長さよりも長くてもよい。

【0072】

（６）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第１部分と前記第２部分との前記Ｘ方向における長さの差分は、前記第３部分と前記第４部分との前記Ｘ方向における長さの差分よりも大きくてもよい。

【0073】

（７）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分の前記Ｙ方向における幅は、前記第４部分の前記Ｙ方向における幅と等しくてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分のＹ方向における幅は、第４部分のＹ方向における幅と等しいので、第２部分のＹ方向における幅と第４部分のＹ方向における幅とが異なる構成と比較して、液体吐出ヘッド１内におけるノズルの密度をより高めることができる。

【0074】

（８）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第１部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第２部分の前記Ｚ方向における深さよりも短く、前記第３部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第４部分の前記Ｚ方向における深さよりも短くてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第１部分のＺ方向における深さは、第２部分のＺ方向における深さよりも短く、第３部分のＺ方向における深さは、第４部分のＺ方向における深さよりも短いので、第１部分の深さが第２部分の深さよりも長く、第３部分の深さが第４部分の深さよりも長い構成と比較して、第１部分および第３部分内の液体の圧力損失を抑制でき、液体の吐出性能を向上できる。また、第１部分および第３部分におけるイナータンスを小さくできるので、第１部分および第３部分内の液体が動きやすくなり、液体を吐出しやすくできる。

【0075】

（９）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第１部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第３部分の前記Ｚ方向における深さよりも短くてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２ノズルよりも微小な液滴を吐出可能な第１ノズルにおいて、液体の圧力損失を抑制でき、液体の吐出性能を向上できる。また、第１部分におけるイナータンスを小さくできるので、第１部分内の液体が動きやすくなり、液体を吐出しやすくできる。

【0076】

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記複数の第１ノズル流路のそれぞれの一端に共通に接続し、前記複数の第１ノズル流路のそれぞれへと液体を供給する共通供給流路と、前記複数の第１ノズル流路のそれぞれの一端に共通に接続し、前記複数の第１ノズル流路のそれぞれから液体を排出する共通排出流路と、を更に有してもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、共通供給流路および共通排出流路を更に有するので、共通供給流路および共通排出流路を備えない構成と比較して、共通供給流路および共通排出流路内で液体が循環でき、液体が滞留することを抑制できる。

【0077】

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記複数の第１ノズルと前記複数の第１ノズル流路とが設けられた第１液体吐出ヘッドと、前記複数の第２ノズルと前記複数の第２ノズル流路とが設けられた第２液体吐出ヘッドと、を有してもよい。つまり、微小ノズルと通常ノズルとが別々の液体吐出ヘッドに設けられていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第１液体吐出ヘッドに第１ノズルが設けられ、第２液体吐出ヘッドに第２ノズルが設けられるので、単一の液体吐出ヘッド内に第１ノズルおよび第２ノズルが設けられる構成と比較して、液体吐出に異常が発生した場合に異常の原因となるノズルを容易に特定でき、メンテナンス性を向上できる。

【0078】

（１２）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記複数の第１ノズルと、前記複数の第１ノズル流路と、前記複数の第２ノズルと、前記複数の第２ノズル流路とが設けられた第３液体吐出ヘッドを有してもよい。つまり、微小ノズルと通常ノズルとが１つの液体吐出ヘッドに設けられていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第３液体吐出ヘッドに第１ノズルおよび第２ノズルが設けられるので、第１ノズルおよび第２ノズルが異なる液体吐出ヘッドに設けられる構成と比較して、液体吐出ヘッドユニットをよりコンパクトに構成できる。

【0079】

（１３）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分および前記第４部分のうちの少なくとも一方の前記Ｚ方向に見た四隅は、直角であってもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分および前記第４部分のうちの少なくとも一方の前記Ｚ方向に見た四隅は、直角なので、直角ではない構成と比較して、第２部分および第４部分の容積をより大きく構成できる。

【0080】

（１４）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分および前記第４部分のうちの少なくとも一方の前記Ｚ方向に見た四隅は、面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分および第４部分のうちの少なくとも一方のＺ方向に見た四隅は、面取りまたは角Ｒ加工されているので、面取りまたは角Ｒ加工されていない構成と比較して、ノズル流路から第２部分および第４部分に液体が供給される際の圧力損失を抑制できる。

【0081】

（１５）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分および前記第４部分のうちの少なくとも一方の前記Ｘ方向における両端は、前記Ｚ方向に見て弧状であってもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分および第４部分のうちの少なくとも一方のＸ方向における両端は、Ｚ方向に見て弧状なので、弧状でない構成と比較して、ノズル流路から第２部分および第４部分に液体が供給される際の圧力損失を抑制できる。

【0082】

（１６）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分は、前記第１部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されており、前記第４部分は、前記第３部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分は、第１部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されており、第４部分は、第３部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されているので、面取りまたは角Ｒ加工されていない構成と比較して、第２部分から第１部分へ流れ込む液体と、第４っ部分から第３部分へ流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。

【0083】

（１７）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分は、前記Ｚ方向において前記第１ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されており、前記第４部分は、前記Ｚ方向において前記第２ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分は、Ｚ方向において第１ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されており、第４部分は、Ｚ方向において第２ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されているので、テーパ加工されていない構成と比較して、第２部分から第１部分に供給される液体と、第４部分から第３部分に供給される液体と、の圧力損失を抑制できる。

【0084】

（１８）上記形態の液体吐出ヘッドユニットにおいて、前記第２部分の前記Ｙ方向における中心は、前記第１ノズル流路の前記Ｙ方向における中心とずれており、前記第４部分の前記Ｙ方向における中心は、前記第２ノズル流路の前記Ｙ方向における中心とずれていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドユニットによれば、第２部分のＹ方向における中心は、第１ノズル流路のＹ方向における中心とずれており、第４部分のＹ方向における中心は、第２ノズル流路のＹ方向における中心とずれているので、Ｙ方向における第２部分の中心と第１ノズル流路の中心とが一致し、Ｙ方向における第４部分の中心と第２ノズル流路の中心とが一致している構成と比較して、流速の速い部分がノズル流路のＹ方向における中心からずれている場合に、ノズル流路と、第２部分および第４部分と、の液体の置換頻度を高めることができ、第１ノズルおよび第２ノズル内で液体の粘度が増加することを抑制できる。

【0085】

（１９）本開示の他の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、上記形態の液体吐出ヘッドユニットと、前記液体吐出ヘッドユニットからの液体の吐出動作を制御する制御部と、を有する。

【0086】

本開示は、インクジェット方式に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置及びそれらの液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドユニットにも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置およびその液体吐出ヘッドユニットに適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ(Electro Luminescence)ディスプレイや、面発光ディスプレイ(Field Emission Display、ＦＥＤ)等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体消費ヘッドを備える液体吐出装置。

【0087】

「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であれば良い。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。また、液体の代表的な例としては、以下のものが挙げられる。
（１）接着剤の主剤および硬化剤。
（２）塗料のベース塗料および希釈剤や、クリア塗料および希釈剤。
（３）細胞用インクの細胞を含有する主溶媒および希釈溶媒。
（４）金属光沢感を発現するインク（メタリックインク）のメタリックリーフ顔料分散液および希釈溶媒。
（５）車両用燃料のガソリン・軽油およびバイオ燃料。
（６）薬品の薬主成分および保護成分。
（７）発光ダイオード（ＬＥＤ）の蛍光体および封止材。

【符号の説明】

【0088】

１…液体吐出ヘッド、２…連通板、３…圧力室基板、４…振動板、５…貯留室形成基板、８…配線基板、１０…液体吐出ヘッドユニット、１１…第１液体吐出ヘッド、１２…第２液体吐出ヘッド、２０…液体容器、３０…循環機構、４０…搬送機構、４２…搬送ローラー、４４…搬送ロッド、４６…搬送用モーター、５０…開口、５１…導入口、５２…排出口、５３…キャリッジ、５４…搬送ベルト、５５…移動機構、５６…移動用モーター、５７…プーリー、６０…ノズル基板、６１，６２…コンプライアンスシート、８１…駆動回路、９０…制御部、１００…液体吐出装置、Ｃ１，Ｃ２…中心、ＣＢ１，ＣＢ２…圧力室、Ｌｎ…ノズル列、Ｎ…ノズル、Ｎ１，Ｎ２１，Ｎ２２，Ｎ２３，Ｎ２４，Ｎ２５…第１ノズル、Ｎ２…第２ノズル、ＰＰ…印刷用紙、Ｐ１…第１部分、Ｐ２，Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４，Ｐ２５…第２部分、Ｐ３…第３部分、Ｐ４…第４部分、ＰＺ１，ＰＺ２…圧電素子、ＲＡ１…共通供給流路、ＲＡ２…共通排出流路、ＲＢ１…共通供給流路、ＲＢ２…共通排出流路、ＲＪ…循環流路、ＲＫ１…連通流路、ＲＫ２…連通流路、ＲＮ…ノズル流路、ＲＮ１…第１ノズル流路、ＲＮ２…第２ノズル流路、ＲＲ１…供給流路、ＲＲ２…排出流路、ＲＸ１…連通流路、ＲＸ２…連通流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】