特開 2024-118560 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024118560

(43)【公開日】2024-09-02

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240826BHJP

   B41J 2/16 20060101ALI20240826BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 501

B41J2/14 603

B41J2/16 401

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023024903

(22)【出願日】2023-02-21

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】谷口 学

(72)【発明者】

【氏名】四十物 孝憲

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AG01

2C057AG02

2C057AG09

2C057AG33

2C057AG40

2C057AG44

2C057AG99

2C057AP12

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】ノズル内における液体の粘度の増加を抑制できる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、Ｙ方向に配列され、Ｙ方向と交差するＺ方向に液体を吐出する複数のノズルと、複数のノズルのそれぞれに接続し、Ｙ方向およびＺ方向と交差するＸ方向に延在する複数のノズル流路と、を有し、複数のノズルのそれぞれは、第１部分と、Ｚ方向において第１部分よりもノズル流路に近い第２部分と、を含み、第１部分の容積は、第２部分の容積よりも小さく、第１部分のイナータンスをＭ１、第２部分のイナータンスをＭ２としたとき、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６を満たす。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体吐出ヘッドであって、
Ｙ方向に配列され、前記Ｙ方向と交差するＺ方向に液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルのそれぞれに接続し、前記Ｙ方向および前記Ｚ方向と交差するＸ方向に延在する複数のノズル流路と、を有し、
前記複数のノズルのそれぞれは、第１部分と、前記Ｚ方向において前記第１部分よりも前記ノズル流路に近い第２部分と、を含み、
前記第１部分の容積は、前記第２部分の容積よりも小さく、
前記第１部分のイナータンスをＭ１、前記第２部分のイナータンスをＭ２としたとき、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６を満たす、
液体吐出ヘッド。

【請求項2】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
Ｍ２／Ｍ１＜０．２２を満たす、液体吐出ヘッド。

【請求項3】

請求項２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
Ｍ２／Ｍ１＜０．１６を満たす、液体吐出ヘッド。

【請求項4】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
Ｍ２／Ｍ１＞０．００５を満たす、液体吐出ヘッド。

【請求項5】

請求項４に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
Ｍ２／Ｍ１＞０．００７を満たす、液体吐出ヘッド。

【請求項6】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さよりも長い、液体吐出ヘッド。

【請求項7】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第１部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第２部分の前記Ｚ方向における深さよりも短い、液体吐出ヘッド。

【請求項8】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
Ｍ１＞０．１０、Ｍ２＞０．００１を満たす、液体吐出ヘッド。

【請求項9】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記複数のノズル流路の一端に共通に接続し、前記ノズル流路へと液体を供給する共通供給流路と、
前記複数のノズル流路の他端に共通に接続し、前記ノズル流路から液体を排出する共通排出流路と、を更に有する、
液体吐出ヘッド。

【請求項10】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第２部分は、前記Ｚ方向に見て円状である、液体吐出ヘッド。

【請求項11】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第２部分は、前記第１部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されている、
液体吐出ヘッド。

【請求項12】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第２部分は、前記Ｚ方向において前記ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されている、
液体吐出ヘッド。

【請求項13】

請求項１から請求項１２までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御部と、を有する、液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体吐出ヘッドとして、例えば特許文献１に記載されているように、液体がノズル流路を循環し、ノズル流路に直行する方向に液体が吐出される構成を有する液体吐出ヘッドが知られている。かかる液体吐出ヘッドにおいて、サテライト滴を抑制するため、および液体をノズルに効率良く供給するために、液滴を吐出する第１部分と、ノズル流路および第１部分に接続し第１部分よりも大きい容積を有する第２部分と、から構成される２段階ノズルが用いられることがある。また、液体吐出ヘッドとして、通常ノズルに加えて、微小な液滴を吐出するための微小ノズルを備える液体吐出ヘッドが知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１１９０４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

微小ノズルに２段階ノズルを適用すると、微小ノズルにおける第１部分の容積が比較的小さいために液体が滞留しやすくなり、微小ノズル中の液体の粘度が増加するおそれがある。液体の粘度が増加すると、液体が適切に吐出されない頻度が増加し得る。２段階ノズルを適用したノズルにおいて、液体の粘度が増加することを抑制できる技術が求められている。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。

【0006】

本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、Ｙ方向に配列され、前記Ｙ方向と交差するＺ方向に液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルのそれぞれに接続し、前記Ｙ方向および前記Ｚ方向と交差するＸ方向に延在する複数のノズル流路と、を有し、前記複数のノズルのそれぞれは、第１部分と、前記Ｚ方向において前記第１部分よりも前記ノズル流路に近い第２部分と、を含み、前記第１部分の容積は、前記第２部分の容積よりも小さく、前記第１部分のイナータンスをＭ１、前記第２部分のイナータンスをＭ２としたとき、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６を満たす。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本開示の一実施形態としての液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。

【図2】図１に示す液体吐出ヘッドの詳細構成を示す分解斜視図である。

【図3】液体吐出ヘッドの詳細構成を示す断面図である。

【図4】液体吐出ヘッドを－Ｚ方向から見た平面図である。

【図5】本実施形態におけるノズルの説明図である。

【図6】本実施形態におけるノズルの説明図である。

【図7】本実施形態におけるノズルの説明図である。

【図8】メニスカスの状態の一例を模式的に示す説明図である。

【図9】他の実施形態におけるノズルの説明図である。

【図10】他の実施形態におけるノズルの説明図である。

【図11】他の実施形態におけるノズルの説明図である。

【図12】他の実施形態におけるノズルの説明図である。

【図13】他の実施形態におけるノズルの説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液体吐出装置１００の構成：
図１は、本開示の一実施形態としての液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。本実施形態において、液体吐出装置１００は、液体の一例としてのインクを印刷用紙ＰＰに吐出して画像を形成するインクジェット式プリンターである。なお、液体吐出装置１００は、印刷用紙ＰＰに代えて、樹脂フィルム、布帛等の任意の種類の媒体を、インクの吐出対象としてもよい。図１には、相互に直交する３つの軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が表されている。他の図面に記載のＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、いずれも図１のＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸に対応する。

【0009】

液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッドユニット１０と、液体容器２０と、循環機構３０と、搬送機構４０と、移動機構５５と、制御部９０とを備える。

【0010】

液体吐出ヘッドユニット１０は、少なくとも１つの液体吐出ヘッド１により構成されている。液体吐出ヘッド１は、多数のノズル（後述のノズルＮ）を有し、－Ｚ方向にインクを吐出して印刷用紙ＰＰ上に画像を形成する。液体吐出ヘッド１の詳細構成は、後述する。吐出するインクとしては、例えば、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの合計４色のインクを吐出してもよい。なお、上記４色に限らずライトシアン、ライトマゼンタ、ホワイトなど、任意の色のインクを吐出してもよい。液体吐出ヘッド１は、移動機構５５が有する後述のキャリッジ５３に搭載され、キャリッジ５３の移動と共に主走査方向に往復移動する。本実施形態において、主走査方向は、＋Ｘ方向および－Ｘ方向（以下、「Ｘ方向」とも呼ぶ）である。

【0011】

液体容器２０は、液体吐出ヘッド１から吐出するインクを収容する。インクとしては、例えば、色材としての顔料が溶媒中に分散されたインクのほか、染料を含有するインクや、顔料と染料との双方を色材として含有するインクを用いることができる。インクには、一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物が含まれてよい。液体容器２０は、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンク等である。

【0012】

循環機構３０は、制御部９０による制御のもとで、液体容器２０に貯留された液体を、液体吐出ヘッド１に供給する装置である。循環機構３０は、例えばポンプにより構成される。また、循環機構３０は、液体吐出ヘッド１内に貯留されたインクを回収し、回収したインクを、液体吐出ヘッド１に還流させる。

【0013】

搬送機構４０は、印刷用紙ＰＰを副走査方向に搬送する。副走査方向は、主走査方向（Ｘ方向）と直交する方向であり、本実施形態では、＋Ｙ方向および－Ｙ方向（以下、「Ｙ方向」とも呼ぶ）である。搬送機構４０は、３つの搬送ローラー４２が装着された搬送ロッド４４と、搬送ロッド４４を回転駆動する搬送用モーター４６とを備える。搬送用モーター４６が搬送ロッド４４を回転駆動することにより、複数の搬送ローラー４２が回転して印刷用紙ＰＰが副走査方向（＋Ｙ方向）に搬送される。なお、搬送ローラー４２の数は３つに限らず任意の数であってもよい。また、搬送機構４０を複数備える構成としてもよい。

【0014】

移動機構５５は、上述のキャリッジ５３に加えて、搬送ベルト５４と、移動用モーター５６と、プーリー５７とを備える。キャリッジ５３は、インクを吐出可能な状態で液体吐出ヘッド１を搭載する。キャリッジ５３は、搬送ベルト５４に取り付けられている。搬送ベルト５４は、移動用モーター５６とプーリー５７との間に架け渡されている。移動用モーター５６が回転駆動することにより、搬送ベルト５４は、主走査方向に往復移動する。これにより、搬送ベルト５４に取り付けられているキャリッジ５３も、主走査方向に往復移動する。

【0015】

制御部９０は、インクの吐出動作を制御する。例えば、制御部９０は、キャリッジ５３の主走査方向に沿った往復動作や、印刷用紙ＰＰの副走査方向に沿った搬送動作を制御する。また、例えば、液体吐出ヘッドユニット１０に駆動信号を出力して圧電素子（後述の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２）を駆動させることにより、印刷用紙ＰＰへのインク吐出を制御する。制御部９０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とにより構成されてもよい。

【0016】

Ａ２．液体吐出ヘッド１の詳細構成：
図２は、図１に示す液体吐出ヘッド１の詳細構成を示す分解斜視図である。図３は、液体吐出ヘッド１の詳細構成を示す断面図である。図３では、図２に示すＩＩＩ－ＩＩＩ断面線における断面を示す。図４は、液体吐出ヘッド１を－Ｚ方向から見た平面図である。

【0017】

図２に示すように、液体吐出ヘッド１は、ノズル基板６０と、連通板２と、圧力室基板３と、振動板４と、貯留室形成基板５と、配線基板８と、コンプライアンスシート６１，６２と、を備えている。

【0018】

図２に示すように、ノズル基板６０は、Ｙ方向に沿って長尺な板状部材である。ノズル基板６０は、液体吐出ヘッド１において最も－Ｚ方向に位置する。ノズル基板６０は、例えば、シリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ノズル基板６０には、Ｍ個のノズルＮが形成されている。なお、Ｍは、１以上の任意の整数である。ノズルＮは、ノズル基板６０において厚さ方向（Ｚ方向）設けられた貫通孔として形成されている。ノズルＮは、液体吐出ヘッド１からのインクの吐出口に相当する。本実施形態において、Ｍ個のノズルＮは、Ｙ方向に延在するノズル列Ｌｎを形成するように直線状に配列されている。図３に示すように、本実施形態におけるノズルＮは、２段階ノズルである。なお、「２段階ノズル」とは、Ｚ方向に、容積の異なる２つの部分が接続されることにより構成されるノズルを意味する。ノズルＮの詳細な構成については、後述する。

【0019】

図２に示すように、連通板２には、インクの流路が形成されている。具体的には、連通板２には、Ｙ方向に延在する一つの共通供給流路ＲＡ１と、Ｙ方向に延在する一つの共通排出流路ＲＡ２とが形成されている。図３に示すように、連通板２には、さらに、Ｍ個のノズルＮのそれぞれに対応するＭ個のノズル流路ＲＮと、Ｍ個の供給流路ＲＲ１と、Ｍ個の排出流路ＲＲ２と、Ｍ個の連通流路ＲＫ１と、Ｍ個の連通流路ＲＫ２と、Ｍ個の連通流路ＲＸ１と、Ｍ個の連通流路ＲＸ２とが形成されている。

【0020】

図３に示すように、連通流路ＲＸ１は、共通供給流路ＲＡ１と接続されている。連通流路ＲＸ１は、Ｘ方向に沿って共通供給流路ＲＡ１から－Ｘ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＸ１には、連通流路ＲＫ１が接続されている。連通流路ＲＫ１は、Ｚ方向に沿って連通流路ＲＸ１から－Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＫ１は、後述する圧力室ＣＢ１の一端に接続されている。圧力室ＣＢ１の他端には、供給流路ＲＲ１が接続されている。供給流路ＲＲ１は、圧力室ＣＢ１からＺ方向に沿って＋Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。供給流路ＲＲ１は、ノズル流路ＲＮの一端に接続されている。ノズル流路ＲＮは、Ｘ方向に延在しており、中央付近に一つのノズルＮが設けられている。ノズル流路ＲＮをＸ方向に流れるインクの一部が、ノズルＮから吐出される。

【0021】

ノズル流路ＲＮの他端には、排出流路ＲＲ２が接続されている。排出流路ＲＲ２は、Ｚ方向に沿ってノズル流路ＲＮから－Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。排出流路ＲＲ２は、後述する圧力室ＣＢ２の一端に接続されている。圧力室ＣＢ２の他端には、連通流路ＲＫ２が接続されている。連通流路ＲＫ２は、圧力室ＣＢ２からＺ方向に沿って＋Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＫ２には、連通流路ＲＸ２の一端が接続されている。連通流路ＲＸ２は、Ｘ方向に沿って連通流路ＲＫ２から－Ｘ方向に延在するように設けられている。連通流路ＲＸ２の他端は、共通排出流路ＲＡ２に接続されている。

【0022】

図２及び図３に示すように、連通板２の＋Ｚ方向側の面には、共通供給流路ＲＡ１、連通流路ＲＸ１、ならびに連通流路ＲＫ１を閉塞するように、コンプライアンスシート６１が配置されている。コンプライアンスシート６１は、共通供給流路ＲＡ１、連通流路ＲＸ１、および連通流路ＲＫ１内のインクの圧力変動を吸収する。また、連通板２の＋Ｚ方向側の面には、共通排出流路ＲＡ２、連通流路ＲＸ２、および連通流路ＲＫ２を閉塞するように、コンプライアンスシート６２が配置されている。共通排出流路ＲＡ２、連通流路ＲＸ２、ならびに連通流路ＲＫ２内のインクの圧力変動を吸収する。コンプライアンスシート６１，６２は、弾性変形可能な可撓性を有するシート状の部材である。

【0023】

図２および図３に示すように、連通板２の－Ｚ方向側の面上には、貯留室形成基板５が配置されている。貯留室形成基板５は、Ｙ方向に長尺な部材である。貯留室形成基板５は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。貯留室形成基板５の内部には、インクの流路が形成されている。具体的には、貯留室形成基板５には、一つの共通供給流路ＲＢ１と、一つの共通排出流路ＲＢ２とが形成されている。共通供給流路ＲＢ１は、共通供給流路ＲＡ１と連通し、共通排出流路ＲＢ２は、共通排出流路ＲＡ２と連通する。

【0024】

貯留室形成基板５には、共通供給流路ＲＢ１と連通する導入口５１と、共通排出流路ＲＢ２と連通する排出口５２とが設けられている。共通供給流路ＲＢ１には、液体容器２０からのインクが導入口５１を介して供給される。また、共通排出流路ＲＢ２に貯留されたインクは、排出口５２を介して回収される。

【0025】

本実施形態において、循環機構３０によって液体容器２０から導入口５１に供給されたインクは、共通供給流路ＲＢ１を経由して、共通供給流路ＲＡ１に流入する。共通供給流路ＲＡ１に流入したインクの一部は、連通流路ＲＸ１および連通流路ＲＫ１に分流されて、各圧力室ＣＢ１に流入する。圧力室ＣＢ１に流入したインクの一部は、供給流路ＲＲ１と、ノズル流路ＲＮと、排出流路ＲＲ２とをこの順に経由して、圧力室ＣＢ２に流入する。圧力室ＣＢ２に流入したインクの一部は、連通流路ＲＫ２と、連通流路ＲＸ２とをこの順に経由した後に、共通排出流路ＲＡ２で合流され、共通排出流路ＲＢ２を経由して、排出口５２から排出される。以下の説明において、共通供給流路ＲＡ１から共通排出流路ＲＡ２までのインクの流路を、循環流路ＲＪとも呼ぶ。具体的には、循環流路ＲＪには、共通供給流路ＲＡ１と、連通流路ＲＸ１と、連通流路ＲＫ１と、圧力室ＣＢ１と、供給流路ＲＲ１と、ノズル流路ＲＮと、排出流路ＲＲ２と、圧力室ＣＢ２と、連通流路ＲＫ２と、連通流路ＲＸ２と、共通排出流路ＲＡ２とが含まれる。Ｍ個の循環流路ＲＪは、Ｙ方向に配列されている。図４に示すように、共通供給流路ＲＡ１と、共通排出流路ＲＡ２とは、Ｍ個のノズルＮのそれぞれに対応するＭ個の循環流路ＲＪによって接続されている。すなわち、共通供給流路ＲＡ１により、Ｍ個のノズル流路ＲＮのそれぞれにインクが供給され、共通排出流路ＲＡ２により、Ｍ個のノズル流路ＲＮのそれぞれからインクが排出される。ここで、ノズル流路ＲＮの一端に共通供給流路ＲＡ１が間接的に接続し、ノズル流路ＲＮの他端に共通排出流路ＲＡ２が間接的に接続しているともいえる。なお、共通供給流路ＲＡ１と共通排出流路ＲＡ２とがノズル流路ＲＮに直接接続する構成としてもよい。

【0026】

図２および図３に示すように、貯留室形成基板５には、開口５０が設けられている。開口５０の内側には、圧力室基板３と、振動板４と、配線基板８とが設けられている。圧力室基板３は、Ｙ方向に長尺な板状部材である。圧力室基板３は、連通板２の－Ｚ方向側の面上に設けられている。圧力室基板３は、Ｘ－Ｙ平面に略平行となるように配置されている。圧力室基板３は、例えば、エッチング技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。圧力室基板３には、インクの流路が形成されている。具体的には、圧力室基板３には、Ｍ個のノズルＮのそれぞれに対応するＭ個の圧力室ＣＢ１およびＭ個の圧力室ＣＢ２が形成されている。

【0027】

圧力室ＣＢ１は、連通流路ＲＫ１と供給流路ＲＲ１とを連通するように、Ｘ方向に延在して設けられている。圧力室ＣＢ２は、連通流路ＲＫ２と排出流路ＲＲ２とを連通するように、Ｘ方向に延在して設けられている。

【0028】

振動板４は、Ｙ方向に長尺な板状部材である。図２および図３に示すように、振動板４は、圧力室基板３の－Ｚ方向側の面上に設けられている。振動板４は、弾性的に振動可能な部材であり、圧力室ＣＢ１，ＣＮ２内のインクに圧力を付与する。振動板４は、Ｘ－Ｙ平面に略平行となるように配置されている。振動板４の－Ｚ方向側の面上には、Ｍ個の圧力室ＣＢ１のそれぞれに対応するＭ個の圧電素子ＰＺ１と、Ｍ個の圧力室ＣＢ２のそれぞれに対応するＭ個の圧電素子ＰＺ２と、が設けられている。圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、制御部９０から伝達された駆動信号の電気エネルギーを運動エネルギーに変換する、エネルギー変換素子である。本実施形態において、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、駆動信号の電位変化に応じて変形する受動素子である。

【0029】

配線基板８は、振動板４の－Ｚ方向側に実装されている。配線基板８は、制御部９０と、液体吐出ヘッド１とを電気的に接続するための部品である。配線基板８としては、例えば、ＦＰＣまたはＦＦＣ等の可撓性の配線基板が用いられる。配線基板８には、駆動回路８１が実装されている。駆動回路８１は、制御信号に基づいて、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２に駆動信号を供給するか否かを切り替える。

【0030】

圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、駆動信号の電位変化に応じて変形する。振動板４は、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の変形に連動して振動する。振動板４の振動によって、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内の圧力は変動する。圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内の圧力が変動することによって、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２の内部に充填されたインクは、供給流路ＲＲ１、排出流路ＲＲ２、ならびにノズル流路ＲＮを経由して、ノズルＮから吐出される。具体的には、駆動信号により圧電素子ＰＺ１が駆動される場合、圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクの一部は、供給流路ＲＲ１とノズル流路ＲＮとを経由して、ノズルＮから吐出される。駆動信号により圧電素子ＰＺ２が駆動される場合、圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクの一部は、排出流路ＲＲ２とノズル流路ＲＮとを経由して、ノズルＮから吐出される。

【0031】

本実施形態の液体吐出装置１００は、共通供給流路ＲＡ１から循環流路ＲＪを経由して共通排出流路ＲＡ２へとインクを循環させる。そのため、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部のインクがノズルＮから吐出されない期間が存在する場合であっても、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部及びノズル流路ＲＮ等において、インクが滞留することを低減または防止できる。したがって、本実施形態の液体吐出装置１００は、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２及びノズル流路ＲＮ内部のインクが増粘することを低減または防止し、ノズルＮからインクが吐出できなくなる吐出異常の発生を抑制できる。

【0032】

本実施形態の液体吐出装置１００は、圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクと、圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクとを、ノズルＮから吐出する。したがって、本実施形態の液体吐出装置１００は、例えば、１個の圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部に充填されているインクのみをノズルＮから吐出する構成と比較して、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることができる。

【0033】

Ａ３．ノズルＮの詳細構成：
図５～図７は、本実施形態におけるノズルＮの説明図である。図５は、Ｚ方向に見たノズルＮを示す。図６は、図５のＶＩ－ＶＩ断面線における断面を示す。図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ断面線における断面を示す。なお、図５～図７では、ノズル流路ＲＮにおけるノズル基板６０およびノズルＮの構成のみを示し、その他の構成については省略している。

【0034】

図５～図７に示すように、ノズルＮは、第１部分Ｐ１と、Ｚ方向において第１部分Ｐ１よりもノズル流路ＲＮに近い第２部分Ｐ２と、を有する。すなわち、ノズルＮは２段階ノズルとして構成されている。第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２は、ノズル基板６０をエッチング等の技術により加工することで形成される。第１部分Ｐ１は、第２部分Ｐ２のＸ方向およびＹ方向における中央付近に＋Ｚ方向から接続している。第１部分Ｐ１は、第２部分Ｐ２から供給されるインクを外部に向けて吐出する。図５に示すように、第１部分Ｐ１は、Ｘ方向における長さＬ１と、Ｙ方向における幅Ｗ１とが略等しく、Ｚ方向に見て円状の外観形状を有する。

【0035】

図５～図７に示すように、第２部分Ｐ２における長さＬ２と幅Ｗ２と深さＤ２とのそれぞれは、第１部分Ｐ１における長さＬ１と幅Ｗ１と深さＤ１とのそれぞれよりも大きい。第２部分Ｐ２の幅Ｗ２は、ノズル流路ＲＮの幅Ｗ１０よりも小さい。第２部分Ｐ２の容積は、第１部分Ｐ１の容積よりも大きい。図５に示すように、第２部分Ｐ２は、Ｘ方向における長さＬ２と、Ｙ方向における幅Ｗ２とが略等しく、円状の外観形状を有する。したがって、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２とは、同心円状であるとも言える。第２部分Ｐ２には、ノズル流路ＲＮをＸ方向に流れるインクの少なくとも一部が流れ込む。第２部分Ｐ２に流れ込んだインクの少なくとも一部は、第１部分Ｐ１に供給される。

【0036】

本実施形態において、第１部分Ｐ１のイナータンスＭ１と、第２部分Ｐ２のイナータンスＭ２との比（以下、「イナータンス比」と呼ぶ）は、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６の関係を満たす。ここで、液体が流れる流路におけるイナータンスＭは、流路の断面積をＳ、流路長をｌ、液体の密度をρとして、下記式（１）により求めることができる。
Ｍ＝ρｌ／Ｓ …（１）

【0037】

第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２は、Ｚ方向にインクが流れる流路とみなせるので、第１部分Ｐ１のイナータンスＭ１は、第１部分Ｐ１のＸＹ平面における断面の断面積をＳ１、流路長すなわちＺ方向の長さをｄ１、インクの密度をρとして、Ｍ１＝ρｄ１／Ｓ１と表せる。同様に、第２部分Ｐ２のイナータンスＭ２は、第２部分Ｐ２のＸＹ平面における断面の断面積をＳ２、流路帳すなわちＺ方向の長さをｄ２、インクの密度をρとして、Ｍ２＝ρｄ２／Ｓ２と表せる。本実施形態において、イナータンスＭ１は０．１０より大きく、イナータンスＭ２は０．００１より大きいことが好ましい。

【0038】

本発明者らは、上述のようにイナータンス比をＭ２／Ｍ１＜０．２６の関係を満たすように設定することで、ノズルＮ内におけるインクの増粘を抑制できることを見出した。従来、２段階ノズルにおけるイナータンス比は比較的大きく（例えばＭ２／Ｍ１＞０．３０）設定することが好ましいとされていた。これは、イナータンスＭ２とイナータンスＭ１との差を小さくし、第２部分Ｐ２と第１部分Ｐ１との間のイナータンス変化を低減することで、吐出される液滴を安定させることができるためである。ここで、微小な液滴を吐出するノズルに２段階ノズルを適用した場合においては、液滴の吐出量が通常のノズルと比較して少ないため、ノズルとノズル流路との間での液体の置換頻度も少ない。また、吐出される液滴が小さいことから、メニスカスの揺動量が少なく、メニスカスの揺動によるノズル内のインクの撹拌（インク循環）も困難となる。このため、ノズルと大気との境界面において大気と触れることで増粘した液体がノズル内に滞留し、液体の吐出が適切に行われないおそれがある。

【0039】

ここで、本発明者らは、イナータンス比をＭ２／Ｍ１＜０．２６の関係を満たすように小さく設定することで、ノズル内におけるインクをより循環させることができ、インクの増粘を抑制できることを見出した。図８は、メニスカスの状態の一例を模式的に示す説明図である。図８の左側には、イナータンス比が比較的小さい場合（例えばＭ２／Ｍ１＜０．２６）、すなわち第２部分Ｐ２と第１部分Ｐ１との間のイナータンス変化が大きい場合のメニスカスＭｎ１を示す。図８の右側には、イナータンス比が比較的大きい場合（例えばＭ２／Ｍ１＞０．３０）、すなわち第４部分Ｐ２００と第３部分Ｐ１００との間のイナータンス変化が小さい場合のメニスカスＭｎ２を示す。なお、第４部分Ｐ２００および第３部分Ｐ１００はノズルを構成し、第４部分Ｐ２００の容積は第３部分Ｐ１００の容積よりも大きい。図８の太い矢印は、インクの吐出方向を示す。図８の左側に示すように、イナータンスの変化が大きい場合、第２部分Ｐ２内のメニスカスＭｎ１の界面が、－Ｚ方向に向かって細く伸びている。これは、イナータンスが比較的小さい（すなわち、インクが動きやすい）第２部分Ｐ２から、イナータンスが比較的大きい（すなわち、インクが動きにくい）第１部分Ｐ１へと移動する際のイナータンスの変化が大きいことによるものと推察される。このようなメニスカスＭｎ１が形成されることで、比較的大きいメニスカス揺動が発生する。このため、インクの吐出時に、メニスカスＭｎ１付近の矢印が示すような渦流が発生する。かかる渦流により、ノズルＮ内のインクが大きく撹拌される。これに対して、図８の右側に示すように、イナータンスの変化が小さい場合、第２部分Ｐ３００内のメニスカスＭｎ２の界面は、メニスカスＭｎ１と比較して平坦である。このため、インクの吐出時に、メニスカスＭｎ２近傍で発生する渦流は、メニスカスＭｎ１と比較して小さい。発生する渦流が小さいため、インクの撹拌は行われ難い。このようなことから、イナータンス比をＭ２／Ｍ１＜０．２６と設定することで、ノズルＮ内におけるインクの増粘を抑制し、適切にインクを吐出できると考えられる。

【0040】

以上説明した液体吐出ヘッド１によれば、第１部分Ｐ１の容積は、第２部分Ｐ２の容積よりも小さく、第１部分Ｐ１のイナータンスをＭ１、第２部分Ｐ２のイナータンスをＭ２としたとき、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６を満たすので、液体の吐出時に比較的大きいメニスカスＭｎ１の揺動が発生し、第２部分内の液体を大きく撹拌できる。これにより、ノズル内で液体が増粘することを抑制できる。

【0041】

Ｂ．実施例：
様々な寸法のノズルを用いて、吐出試験を行った。吐出試験は、インクジェット式プリンターを用いて、インクを吐出させることで行った。その結果を下記表１および表２に示す。実施例では、イナータンス比Ｍ２／Ｍ１を０．２６未満に設定したノズルＮを用いて試験を行った。比較例では、イナータンス比Ｍ２／Ｍ１を０．２６以上に設定したノズルＮを用いて試験を行った。イナータンスＭ１，Ｍ２を算出する際の液体の密度ρは、１とした。なお、表１および表２における長さＬ１，Ｌ２と、幅Ｗ１，Ｗ２と、深さＤ１，Ｄ２との単位は、いずれもマイクロメートルである。また、実施例および比較例のいずれにおいても、第１部分Ｐ１の容積は、第２部分Ｐ２の容積よりも小さい。また、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２は、それぞれ１枚のノズル基板６０をエッチング加工することにより形成されるため、深さＤ１および深さＤ２の和は、ノズル基板６０の厚さと一致する。

【0042】

【表1】

【0043】

【表2】

【0044】

表１および表２の右端に示されている「評価」は、吐出試験における吐出性能の評価を示す。具体的には「Ａ」は、ノズルＮ内におけるインクが十分に撹拌されることでインクの増粘が抑制され、インクが適切に吐出されたことを意味する。「Ｂ」は、インクは適切に吐出されたが、ノズルＮ内におけるインクの撹拌が不十分なおそれがあり、比較的長時間の使用によりインクが増粘するおそれがあることを意味する。「Ｃ」は、ノズルＮ内におけるインクの撹拌が不十分であるために、インクが増粘し、インクが適切に吐出されなかったことを意味する。

【0045】

実施例１～実施例５では、第２部分Ｐ２の寸法を統一し、第１部分Ｐ１の寸法のみを変えて試験を行った。実施例６～実施例１３では、第１部分Ｐ１の寸法を実施例１と同様に設定し、第２部分Ｐ２の寸法のみを変えて試験を行った。実施例１４～実施例１７のそれぞれは、実施例１０～実施例１３のそれぞれと対応する。具体的には、実施例１４～実施例１７のそれぞれでは、実施例１０～実施例１３のそれぞれにおける第１部分Ｐ１の寸法のみを変えて試験を行った。表１に示すように実施例１～実施例１７のいずれにおいても、評価は「Ａ」であった。これは、イナータンス比が０．２６よりも小さく設定されているので、ノズルＮ内においてインクが十分に撹拌され、インクの増粘が抑制されたことによると考えられる。ここで、実施例１７におけるイナータンス比は、比較的小さい０．００７であり、イナータンスＭ１とイナータンスＭ２の変化量が比較的大きい。このため、インクの撹拌は十分に行われ、ノズルＮ内の粘度増加は抑制できるが、メニスカスが吐出方向に過剰に伸び、インクの吐出が不安定になるおそれがある。また、実施例９におけるイナータンス比は、比較的小さい０．００５である。実施例９についても、実施例１７と同様の理由により、インクの吐出が不安定になるおそれがある。

【0046】

表２に示すように、比較例１における評価は「Ｂ」であった。これは、イナータンス比を０．２６に設定することで、インクは適切に吐出されたが、ノズルＮ内におけるインクの撹拌が不十分なおそれがあり、比較的長時間の使用によりインクが増粘するおそれがあるためである。比較例２～比較例８における評価は、いずれも「Ｃ」であった。これは、イナータンス比が比較的大きいことにより、ノズルＮ内における撹拌が不十分であったためである。

【0047】

以上説明した吐出試験の結果から明らかなように、ノズルＮにおける第１部分Ｐ１のイナータンスＭ１と、第２部分Ｐ２のイナータンスＭ２との比を、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６の関係を満たすように設定することで、ノズルＮ内におけるインクを大きく撹拌することができ、インクの増粘を抑制できる。

【0048】

Ｃ．他の実施形態：
（Ｃ１）上記実施形態および上記実施例１～実施例１７で示したように、第２部分Ｐ２のＸ方向における長さＬ２は、第１部分Ｐ１のＸ方向における長さＬ１よりも長くてもよい。かかる構成によれば、長さＬ２が長さＬ１よりも短い構成と比較して、第２部分Ｐ２とノズル流路ＲＮとの液体流れ方向（Ｘ方向）における接触箇所を大きくできるので、第２部分Ｐ２とノズル流路ＲＮとの間でのインクの供給および排出効率を向上できる。これにより、ノズルＮ内におけるインクの増粘を抑制できる。

【0049】

（Ｃ２）上記実施形態および上記実施例１～実施例１７に示すように、第１部分Ｐ１のＺ方向における深さＤ１は、第２部分Ｐ２のＺ方向における深さＤ２よりも短くてもよい。かかる構成によれば、深さＤ１が深さＤ２よりも長い構成と比較して、第１部分Ｐ１内の液体の圧力損失を抑制でき、液体の吐出性能を向上できる。また、第１部分Ｐ１におけるイナータンスＭ１を小さくできるので、第１部分Ｐ１内の液体が動きやすくなり、液体が吐出されやすくできる。

【0050】

（Ｃ３）上記実施形態において、イナータンスＭ１は０．１０より大きく、イナータンス
Ｍ２は０．００１よりも大きかったが、本開示はこれに限定されない。第１部分Ｐ１の容積が第２部分の容積よりも小さいという条件を満たす限りにおいて、イナータンスＭ１は０．１０以下であってよく、イナータンスＭ２は０．００１以下であってもよい。

【0051】

（Ｃ４）上記実施形態において、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２とのＹ方向の幅Ｗ１，Ｗ２は、互いに等しくてもよい。

【0052】

（Ｃ５）上記実施形態において、共通供給流路ＲＡ１により複数のノズル流路ＲＮのそれぞれに液体が供給され、共通供給流路ＲＡ１により複数のノズル流路ＲＮのそれぞれから液体が排出されていたが、本開示はこれに限定されない。複数のノズル流路ＲＮのそれぞれに液体を供給する複数の供給流路と、複数のノズル流路ＲＮのそれぞれから液体を排出する複数の排出流路と、を備える構成としてもよい。換言すると、複数のノズル流路ＲＮのそれぞれに直接または間接的に接続する、個別の供給流路および排出流路を備える構成としてもよい。

【0053】

（Ｃ６）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、第１部分Ｐ１側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。図９および図１０は、他の実施形態におけるノズルＮ２の説明図である。図９は、ノズルＮ２のＸＺ平面と平行な断面を示す。図１０は、図９のＸ－Ｘ断面線における断面を示す。図９および図１０に示すように、第２部分Ｐ２２における第１部分Ｐ１側の端部が面取りされることで、面取りされていない構成と比較して、ノズル流路ＲＮから第２部分Ｐ２２に＋Ｚ方向に流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。なお、面取りに限らず、角Ｒ加工であってもよい。なお、かかる形態における第２部分Ｐ２２の長さＬ２は、ノズル流路ＲＮ側の端部におけるＸ方向の長さを意味する。

【0054】

（Ｃ７）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、Ｚ方向においてノズル流路ＲＮと反対側に向かってテーパ加工されていてもよい。図１１および図１２は、他の実施形態におけるノズルＮ３の説明図である。図１１は、ノズルＮ３のＸＺ平面と平行な断面を示す。図１２は、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ断面線における断面を示す。図１１および図１２に示すように、第２部分Ｐ２３がＺ方向においてノズル流路ＲＮと反対側に向かってテーパ加工されることで、テーパ加工されていない構成と比較して、ノズル流路ＲＮから第２部分Ｐ２３に＋Ｚ方向に流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。なお、かかる形態における第２部分Ｐ２３の長さＬ２は、ノズル流路ＲＮ側の端部におけるＸ方向の長さを意味する。

【0055】

（Ｃ８）上記実施形態において、第２部分Ｐ２は、Ｚ方向に見て長方形状の外観形状を有してもよい。図１３は、他の実施形態におけるノズルＮ４の説明図である。図１３は、Ｚ方向に見たノズルＮ４を示す。図１３に示すように、第２部分Ｐ２４をＺ方向に見て長方形状の構成とすることで、第２部分Ｐ２４の容積を比較的大きくできる。

【0056】

（Ｃ９）上記実施形態において、第１部分Ｐ１は、Ｚ方向に見て円状の外観形状を有していたが、本開示はこれに限定されない。第１部分Ｐ１は、Ｚ方向に見て任意の形状を有していてもよい。

【0057】

Ｄ．他の形態：
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【0058】

（１）本形態の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、Ｙ方向に配列され、前記Ｙ方向と交差するＺ方向に液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルのそれぞれに接続し、前記Ｙ方向および前記Ｚ方向と交差するＸ方向に延在する複数のノズル流路と、を有し、前記複数のノズルのそれぞれは、第１部分と、前記Ｚ方向において前記第１部分よりも前記ノズル流路に近い第２部分と、を含み、前記第１部分の容積は、前記第２部分の容積よりも小さく、前記第１部分のイナータンスをＭ１、前記第２部分のイナータンスをＭ２としたとき、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６を満たす。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、Ｍ２／Ｍ１＜０．２６を満たすので、液体の吐出時にノズル内で比較的大きいメニスカスの揺動が発生し、ノズル内の液体を大きく撹拌できる。これにより、ノズル内で液体が増粘することを抑制できる。

【0059】

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、Ｍ２／Ｍ１＜０．２２を満たしてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、Ｍ２／Ｍ１＜０．２２を満たすので、Ｍ２／Ｍ１が０．２２以上の構成と比較して、液体の吐出時に第２部分内の液体をより大きく撹拌でき、ノズル内で液体が増粘することをより抑制できる。

【0060】

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、Ｍ２／Ｍ１＜０．１６を満たしてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、Ｍ２／Ｍ１＜０．１６を満たすので、Ｍ２／Ｍ１が０．１６以上の構成と比較して、液体の吐出時に第２部分内の液体をより大きく撹拌でき、ノズル内で液体が増粘することをより抑制できる。

【0061】

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、Ｍ２／Ｍ１＞０．００５を満たしてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、Ｍ２／Ｍ１＞０．００５を満たすので、Ｍ２／Ｍ１が０．００５以下の構成と比較して、液体の吐出時にメニスカスが吐出方向に過剰に伸びることを抑制し、液体の吐出が不安定になることを抑制できる。

【0062】

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、Ｍ２／Ｍ１＞０．００７を満たしてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、Ｍ２／Ｍ１＞０．００７を満たすので、Ｍ２／Ｍ１が０．００７以下の構成と比較して、液体の吐出時にメニスカスが吐出方向に過剰に伸びることを抑制し、液体の吐出が不安定になることを抑制できる。

【0063】

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２部分の前記Ｘ方向における長さは、前記第１部分の前記Ｘ方向における長さよりも長くてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、第２部分のＸ方向における長さは、第１部分のＸ方向における長さよりも長いので、第２部分の長さが第１部分の長さよりも短い構成と比較して、第２部分とノズル流路との液体流れ方向における接触箇所を大きくできるので、第２部分とノズル流路との間でのインクの供給および排出効率を向上できる。これにより、ノズル内におけるインクの増粘を抑制できる。

【0064】

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１部分の前記Ｚ方向における深さは、前記第２部分の前記Ｚ方向における深さよりも短くてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１部分のＺ方向における深さは、第２部分のＺ方向における深さよりも短いので、第１部分のＺ方向における深さが第２部分のＺ方向における深さよりも長い構成と比較して、第１部分内の液体の圧力損失を抑制でき、液体の吐出性能を向上できる。また、第１部分におけるイナータンスを小さくできるので、第１部分内の液体が動きやすくなり、液体が吐出されやすくできる。

【0065】

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、Ｍ１＞０．１０、Ｍ２＞０．００１を満たしてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、Ｍ１＞０．１０、Ｍ２＞０．００１を満たすので、Ｍ１が０．１以下でありＭ２が０．００１以下である構成と比較して、第１部分を比較的小さく構成でき、第２部分を比較的大きく構成できる。

【0066】

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記複数のノズル流路の一端に共通に接続し、前記ノズル流路へと液体を供給する共通供給流路と、前記複数のノズル流路の他端に共通に接続し、前記ノズル流路から液体を排出する共通排出流路と、を更に有してもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、共通供給流路および共通排出流路を更に有するので、共通供給流路および共通排出流路を備えない構成と比較して、共通供給流路および共通排出流路内で液体が循環でき、液体が滞留することを抑制できる。

【0067】

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２部分は、前記Ｚ方向に見て円状であってもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、第２部分はＺ方向に見て円状なので、円状ではない構成と比較して、ノズル流路から第２部分に流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。

【0068】

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２部分は、前記第１部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、第２部分は、第１部分側の端部において面取りまたは角Ｒ加工されているので、面取りまたは角Ｒ加工されていない構成と比較して、ノズル流路から第２部分に流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。

【0069】

（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２部分は、前記Ｚ方向において前記ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されていてもよい。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、第２部分は、前記Ｚ方向において前記ノズル流路と反対側に向かってテーパ加工されているので、テーパ加工されていない構成と比較して、ノズル流路から第２部分に流れ込む液体の圧力損失を抑制できる。

【0070】

（１３）本開示の他の形態によれば液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御部と、を有する。

【0071】

本開示は、インクジェット方式に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置及びそれらの液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドにも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置およびその液体吐出ヘッドに適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ(Electro Luminescence)ディスプレイや、面発光ディスプレイ(Field Emission Display、ＦＥＤ)等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体消費ヘッドを備える液体吐出装置。

【0072】

「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であれば良い。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。また、液体の代表的な例としては、以下のものが挙げられる。
（１）接着剤の主剤および硬化剤。
（２）塗料のベース塗料および希釈剤や、クリア塗料および希釈剤。
（３）細胞用インクの細胞を含有する主溶媒および希釈溶媒。
（４）金属光沢感を発現するインク（メタリックインク）のメタリックリーフ顔料分散液および希釈溶媒。
（５）車両用燃料のガソリン・軽油およびバイオ燃料。
（６）薬品の薬主成分および保護成分。
（７）発光ダイオード（ＬＥＤ）の蛍光体および封止材。

【符号の説明】

【0073】

１…液体吐出ヘッド、２…連通板、３…圧力室基板、４…振動板、５…貯留室形成基板、８…配線基板、１０…液体吐出ヘッドユニット、２０…液体容器、３０…循環機構、４０…搬送機構、４２…搬送ローラー、４４…搬送ロッド、４６…搬送用モーター、５０…開口、５１…導入口、５２…排出口、５３…キャリッジ、５４…搬送ベルト、５５…移動機構、５６…移動用モーター、５７…プーリー、６０…ノズル基板、６１，６２…コンプライアンスシート、８１…駆動回路、９０…制御部、１００…液体吐出装置、ＣＢ１，ＣＢ２…圧力室、Ｌｎ…ノズル列、Ｍ，Ｍ１，Ｍ２…イナータンス、Ｍｎ１，Ｍｎ２…メニスカス、Ｎ，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４…ノズル、ＰＰ…印刷用紙、Ｐ１…第１部分、Ｐ１００…第３部分、Ｐ２，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４…第２部分、Ｐ２００…第４部分、ＰＺ１，ＰＺ２…圧電素子、ＲＡ１…共通供給流路、ＲＡ２…共通排出流路、ＲＢ１…共通供給流路、ＲＢ２…共通排出流路、ＲＪ…循環流路、ＲＫ１…連通流路、ＲＫ２…連通流路、ＲＮ…ノズル流路、ＲＲ１…供給流路、ＲＲ２…排出流路、ＲＸ１…連通流路、ＲＸ２…連通流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】