特開2024-118650反射型マスクブランク、及び反射型マスク

発明の名称　反射型マスクブランク、及び反射型マスク

出願人　株式会社トッパンフォトマスク　（識別番号 522212882）

　　　　特許公開件数ランキング 1861 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1056 位（17件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-118650

公報発行日　2024年9月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-118650

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