特開 2024-119352 基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024119352

(43)【公開日】2024-09-03

(54)【発明の名称】基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240827BHJP

   B08B 1/32 20240101ALI20240827BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 644Z

B08B1/04

B08B3/02 B

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023026185

(22)【出願日】2023-02-22

(71)【出願人】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】篠原 智之

(72)【発明者】

【氏名】船橋 和雅

【テーマコード（参考）】

3B116

3B201

5F157

【Ｆターム（参考）】

3B116AA03

3B116AB03

3B116AB33

3B116AB44

3B116BA02

3B116BA15

3B116BB22

3B116CD23

3B116CD42

3B116CD43

3B201AA03

3B201AB03

3B201AB33

3B201AB44

3B201BA02

3B201BA15

3B201BB22

3B201BB93

3B201CD23

3B201CD42

3B201CD43

5F157AB02

5F157AB14

5F157AB33

5F157AB90

5F157BA07

5F157BA13

5F157BA31

5F157CC03

5F157DC01

5F157DC90

(57)【要約】

【課題】未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、保持回転部３で保持された基板Ｗを洗浄するブラシ２５と、ブラシ２５を着脱可能に保持するブラシ保持部２７と、ブラシ保持部２７が先端部に設けられたアーム３１と、ブラシ保持部２７からブラシ２５を回収するブラシ回収部７９と、未使用のブラシ２５Ｂを保管し、保管された未使用のブラシ２５Ｂをブラシ保持部２７に取り付けるブラシ取り付け部８１と、アーム３１を介してブラシ２５を移動させるブラシ移動機構（昇降機構３５および旋回駆動部３７）と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、
前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、
前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、
未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、
前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。

【請求項2】

請求項１に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ取り付け部は、保管中の未使用の前記ブラシを収容するブラシ収容容器を備えることを特徴とする基板処理装置。

【請求項3】

請求項２に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ収容容器に液体を供給する液体供給部を更に備え、
前記ブラシ収容容器は、貯留された前記液体に未使用の前記ブラシを浸漬させて、保管することを特徴とする基板処理装置。

【請求項4】

請求項３に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ収容容器を水平移動させる水平移動部を更に備えていることを特徴とする基板処理装置。

【請求項5】

請求項１に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ回収部は、取り外された使用済みの前記ブラシを回収するブラシ回収容器を備えることを特徴とする基板処理装置。

【請求項6】

請求項１から５のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記ブラシ回収部は、前記ブラシを取り外すための取り外し部材を備えていることを特徴とする基板処理装置。

【請求項7】

請求項１から５のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ回収部に隣接して配置されることを特徴とする基板処理装置。

【請求項8】

請求項１に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部の間に設けられ、前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部とを隔てる隔離部を更に備えていることを特徴とする基板処理装置。

【請求項9】

請求項１に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ保持部は、
鉛直に延びる中心軸に沿って形成された円柱状の穴部と、
前記穴部の内側の側壁に設けられると共に、前記中心軸周りに配置された３個の開口部と、
前記３個の開口部から前記穴部にそれぞれ突出する３個の突出部と、
前記突出部の外側に設けられ、前記突出部を前記中心軸の方向に付勢する付勢部と、
を備え、
前記ブラシは、
前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、
前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、
前記ブラシ支持部から前記洗浄面の反対側に突出する円柱部と、
前記円柱部の側壁でかつ前記円柱部の軸周りに設けられた凹みと長手凹みと、を備え、
前記長手凹みは、円周方向に長手に凹んでおり、
前記ブラシ保持部の前記穴部に前記円柱部を挿入した場合に、前記凹みは、前記３個の突出部のうちの１個の突出部を収容し、また、前記長手凹みは、残りの２個の突出部のうち少なくとも１つの突出部を収容することを特徴とする基板処理装置。

【請求項10】

請求項１に記載の基板処理装置において、
前記ブラシは、
前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、
前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、を備え、
前記ブラシ支持部は、
前記洗浄面との反対側に、予め設定された水平方向に延びるガイドと、
前記ガイドに設けられた開口部と、
前記開口部から外側に突出する突出部と、
前記ブラシ支持部の外周面に設けられるボタン部と、
前記ボタン部の押し込み量によって前記突出部の突出幅を調整する突出幅調整機構と、を有し、
前記ブラシ保持部は、
前記水平方向に移動可能に前記ガイドを保持するガイド保持部と、
前記ガイド保持部に設けられて前記突出部を収容する凹みと、を備え、
前記ボタン部を押し込んだ場合は、前記突出幅調整機構が前記突出部を前記開口部から内側に後退させることで、前記ブラシが前記ブラシ保持部に対して前記水平方向に移動することができる状態になり、
前記ボタン部を押し込まない場合は、前記突出幅調整機構が前記開口部から外側に前記突出部を突出させることで、前記突出部を前記凹みに収容させて、前記ブラシの前記水平方向の移動を規制することができる状態になることを特徴とする基板処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を処理する基板処理装置に関する。基板は、例えば、半導体基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが挙げられる。ＦＰＤは、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などが挙げられる。

【背景技術】

【0002】

基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する。ブラシは、定期的に交換が必要である。ブラシは、一般的に、操作者の手作業によって交換される。しかし、ブラシ交換により、基板処理装置の稼働率が低下して生産性が悪化するという課題がある。そのため、ブラシを自動的に交換できる装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１には、複数個のブラシを保持するブラシ保持枠を備えたスクラバ洗浄装置が開示されている。ブラシ保持枠は、複数個の保持溝が形成されている。スクラバ洗浄装置は、ブラシ保持枠の空きの保持溝でブラシヘッドからブラシを外す。外されたブラシは、その保持溝に保持される。その後、スクラバ洗浄装置は、ブラシ保持枠に保持される別のブラシをブラシヘッドの下方に移動させ、その別のブラシをブラシヘッドに取り付ける。

【0004】

特許文献２，３には、待機ポットに横に並んで配置された複数個のブラシのうちの所望のブラシをブラシチャックで択一的に保持することができるブラシ洗浄装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開平０８－３１８２２６号公報

【特許文献2】特開平０８－０１０７１９号公報

【特許文献3】特開平１０－２２３５８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、従来の装置は次の問題がある。例えば特許文献１において、取り外された使用済みのブラシは、ブラシ保持枠に保持される。この場合、使用済みのブラシと未使用のブラシとが横に並んだ状態になる。また、ブラシ保持枠の保持溝は、取り外した使用済みのブラシを保持した後に、未使用のブラシを保持する可能性がある。そのため、未使用のブラシに使用済みのブラシのパーティクルが付着する可能性がある。

【0007】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる基板処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。本発明に係る基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、を備えることを特徴とするものである。

【0009】

本発明に係る基板処理装置によれば、ブラシ回収部とブラシ取り付け部とが分けられているので、使用済みのブラシと未使用のブラシとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離した状態で扱うことができる。したがって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。

【0010】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ取り付け部は、保管中の未使用の前記ブラシを収容するブラシ収容容器を備えることが好ましい。

【0011】

ブラシ取り付け部にブラシ収容容器を備えることで、ブラシ取り付け部とブラシ回収部を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部で扱う未使用のブラシに付着することを確実に防止することができる。

【0012】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ収容容器に液体を供給する液体供給部を更に備え、前記ブラシ収容容器は、貯留された前記液体に未使用の前記ブラシを浸漬させて、保管することが好ましい。

【0013】

保管中の未使用のブラシが乾燥すると、例えば、未使用のブラシの細かな隙間にパーティクルが入る可能性がある。パーティクルがその隙間に入り込むと、パーティクルの除去には、長時間を要する。そのため、未使用のブラシをブラシ保持部に取り付けた後、製品となる基板のブラシ洗浄を行うまで、長時間を費やしてしまう可能性がある。そのため、基板処理装置の稼働率が低下して生産性が悪化してしまう。しかし、本発明によれば、液体供給部が保管中の未使用のブラシに液体を供給するので、保管中の未使用のブラシの乾燥を防止することができる。そのため、保管中の未使用のブラシの細かな隙間にパーティクルが入ることを防止することができる。

【0014】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ収容容器を水平移動させる水平移動部を更に備えていることが好ましい。

【0015】

平面視における移動経路上に複数の未使用のブラシを搬送することができる。

【0016】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ回収部は、取り外された使用済みの前記ブラシを回収するブラシ回収容器を備えることが好ましい。

【0017】

ブラシ回収部にブラシ回収容器を備えることで、ブラシ取り付け部とブラシ回収部を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部で扱う未使用のブラシに付着することを確実に防止することができる。

【0018】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ回収部は、前記ブラシを取り外すための取り外し部材を備えていることが好ましい。

【0019】

取り外し部材を用いてブラシ保持部から使用済みのブラシを取り外し、そのブラシをブラシ回収容器に回収することができる。

【0020】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ回収部に隣接して配置されることが好ましい。

【0021】

ブラシ回収部で使用済みのブラシを取り外した後に未使用のブラシを素早く取り付けることができる。また、ブラシ取り付け部がブラシ回収部に隣接した状態でも、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離すことができる。

【0022】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部の間に設けられ、前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部とを隔てる隔離部を更に備えていることが好ましい。

【0023】

ブラシ回収部とブラシ回収容器の間に隔離部を備えることで、ブラシ取り付け部とブラシ回収部を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部で扱う未使用のブラシに付着することを防止することができる。

【0024】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ保持部は、鉛直に延びる中心軸に沿って形成された円柱状の穴部と、前記穴部の内側の側壁に設けられると共に、前記中心軸周りに配置された３個の開口部と、前記３個の開口部から前記穴部にそれぞれ突出する３個の突出部と、前記突出部の外側に設けられ、前記突出部を前記中心軸の方向に付勢する付勢部と、を備え、前記ブラシは、前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、前記ブラシ支持部から前記洗浄面の反対側に突出する円柱部と、前記円柱部の側壁でかつ前記円柱部の軸周りに設けられた凹みと長手凹みと、を備え、前記長手凹みは、円周方向に長手に凹んでおり、前記ブラシ保持部の前記穴部に前記円柱部を挿入した場合に、前記凹みは、前記３個の突出部のうちの１個の突出部を収容し、また、前記長手凹みは、残りの２個の突出部のうち少なくとも１つの突出部を収容することが好ましい。

【0025】

長手凹みは、円周方向に長手に凹んでおり、３個の突出部のうちの２個の突出部を収容することができる。そのため、例えば、ブラシ保持部の穴部にブラシの円柱部を挿入した際に、３個の突出部のうちの１つは、長手凹みに収容される。そのため、ブラシ保持部に対するブラシの上下方向の移動を規制させることできる。

【0026】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシは、前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、を備え、前記ブラシ支持部は、前記洗浄面との反対側に、予め設定された水平方向に延びるガイドと、前記ガイドに設けられた開口部と、前記開口部から外側に突出する突出部と、前記ブラシ支持部の外周面に設けられるボタン部と、前記ボタン部の押し込み量によって前記突出部の突出幅を調整する突出幅調整機構と、を有し、前記ブラシ保持部は、前記水平方向に移動可能に前記ガイドを保持するガイド保持部と、前記ガイド保持部に設けられて前記突出部を収容する凹みと、を備え、前記ボタン部を押し込んだ場合は、前記突出幅調整機構が前記突出部を前記開口部から内側に後退させることで、前記ブラシが前記ブラシ保持部に対して前記水平方向に移動することができる状態になり、前記ボタン部を押し込まない場合は、前記突出幅調整機構が前記開口部から外側に前記突出部を突出させることで、前記突出部を前記凹みに収容させて、前記ブラシの前記水平方向の移動を規制することができる状態になることが好ましい。

【0027】

ブラシは、予め設定された水平方向に延びるガイドを備える。ブラシ保持部は、その水平方向に移動可能にガイドを保持するガイド保持部を備える。そのため、ブラシ保持部に対する上下方向および回転方向のブラシの移動を規制することができる。また、突出部を凹みに収容させることで、上述の水平方向の移動も規制することができる。

【発明の効果】

【0028】

本発明に係る基板処理装置によれば、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す側面図である。

【図2】実施例１に係る基板処理装置の平面図である。

【図3】（ａ）は、ブラシとブラシ保持部を示す縦断面図であり、（ｂ）は、ブラシの斜視図である。

【図4】（ａ）は、円柱部に設けられた凹みと長手凹みを示す横断面図であり、（ｂ）は、円柱部の側壁の部分的な展開図であり、（ｃ）は、凹みと長手凹みに３個の鋼球が収まった状態を示す横断面図である。

【図5】長手凹みの効果を説明するための横断面図である。

【図6】（ａ）は、取り外し部材を示す平面図であり、（ｂ）は、取り外し部材を示す正面図である。

【図7】ブラシ交換部の概略構成を示す縦断面図である。

【図8】（ａ）は、実施例２に係るブラシ交換部の縦断面図であり、（ｂ）は、ブラシ交換部の平面図である。

【図9】（ａ）は、実施例３に係るブラシとブラシ保持部の側面図であり、（ｂ）は、ブラシ保持部の斜視図である。

【図10】（ａ）、（ｂ）は、ブラシとブラシ保持部の横断面図である。

【図11】実施例３に係るブラシ交換部の平面図である。

【図12】実施例３に係るブラシ交換部の概略構成を示す縦断面図である。

【図13】（ａ）～（ｃ）は、実施例３に係るブラシ交換を説明するための縦断面図である。

【図14】変形例に係る取り外し部材を示す側面図である。

【図15】変形例に係るブラシとブラシ保持部を示す縦断面図である。

【図16】変形例に係るブラシとブラシ保持部を示す縦断面図である。

【図17】変形例に係るブラシ交換部を示す縦断面図である。

【図18】変形例に係る基板処理装置を示す平面図である。

【実施例0030】

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、基板処理装置１の概略構成を示す側面図である。図２は、基板処理装置１の平面図である。

【0031】

（１）基板処理装置の基本構成
図１、図２を参照する。基板処理装置１は、ブラシ２５を用いて基板Ｗを洗浄する。基板処理装置１は、保持回転部３、カップ５、処理液供給部７、ブラシ機構９および制御部１０１を備える。なお、保持回転部３は、本発明の基板保持部に相当する。

【0032】

保持回転部３は、基板Ｗを水平姿勢で保持して基板Ｗを鉛直軸ＡＸ１周りに回転させる。基板Ｗは、円板状に形成されている。保持回転部３は、スピンチャック１１と回転駆動部１３を備えている。回転駆動部１３は、電動モータを備える。回転駆動部１３は、基板Ｗを保持するスピンチャック１１を鉛直軸ＡＸ１周りに回転させる。

【0033】

スピンチャック１１は、図２に示すように、スピンベース１５および３本以上（例えば６本）の保持ピン１７を備える。スピンベース１５は、円板状に形成される。鉛直軸ＡＸ１は、スピンベース１５（すなわち基板Ｗ）の中心を通過する。６本の保持ピン１７は、スピンベース１５の上面の周縁部に等間隔に立設される。また、６本の保持ピン１７のうちの例えば一方側に配置された３本の保持ピン１７Ａは各々、自身を通過する鉛直軸周りに回転する。これにより、スピンチャック１１は、６本の保持ピン１７によって基板Ｗの周縁を挟み込むことで、基板Ｗを保持する。なお、スピンチャック１１は、この説明のメカニカルチャックだけでなく、真空チャックまたは静電チャックであってもよい。

【0034】

カップ５は、保持回転部３で保持された水平姿勢の基板Ｗの外周を囲むように構成される。カップ５は、例えば基板Ｗの回転により飛散した処理液を受けるものである。カップ５は、昇降可能に構成される。

【0035】

処理液供給部７は、処理液ノズル１９、処理液配管２１、処理液供給源２３および開閉弁Ｖ１を備える。処理液ノズル１９は、保持回転部３で保持された基板Ｗに処理液を吐出する。処理液は、例えば脱イオン水（ＤＩＷ）などの純水が用いられる。処理液配管２１は、処理液ノズル１９と処理液供給源２３を接続する。処理液供給源２３は、処理液配管２１を通じて処理液ノズル１９に処理液を供給する。開閉弁Ｖ１は、処理液配管２１に設けられる。開閉弁Ｖ１は、処理液の供給とその供給の停止を行う。

【0036】

ブラシ機構９は、ブラシ２５、ブラシ保持部２７、シャフト２９、アーム３１および電動モータ３３を備える。ブラシ２５は、保持回転部３で保持された基板Ｗを洗浄するためのものである。ブラシ保持部２７は、ブラシ２５を着脱可能に保持する。なお、ブラシ２５およびブラシ保持部２７の詳細は後述する。

【0037】

ブラシ保持部２７の上端部は、鉛直方向に延びるシャフト２９の下端部に固定される。シャフト２９の上部は、水平方向に延びるアーム３１によって鉛直軸ＡＸ２周りに回転可能に保持される。シャフト２９は、例えばベルトまたはギヤを介して、電動モータ３３によって鉛直軸ＡＸ２周りに回転される。ブラシ２５、ブラシ保持部２７およびシャフト２９は、アーム３１の先端部（先端側）に設けられる。

【0038】

ブラシ機構９は、更に、昇降機構３５と旋回駆動部３７を備える。昇降機構３５は、ブラシ２５、ブラシ保持部２７およびアーム３１等を昇降させる。昇降機構３５は、ガイドレール３９と昇降駆動部４１を備える。アーム３１の基端部は、ガイドレール３９によって昇降可能に滑り接触される。ガイドレール３９は、アーム３１を上下方向に案内する。昇降駆動部４１は、例えば電動モータとねじ軸を備える。なお、昇降駆動部４１はエアシリンダであってもよい。

【0039】

旋回駆動部３７は、保持回転部３で保持された基板Ｗ、およびカップ５の外側に設けられる。旋回駆動部３７は、ブラシ２５、ブラシ保持部２７、アーム３１および昇降機構３５等を鉛直軸ＡＸ３周りに旋回させる。旋回駆動部３７は電動モータを備える。図２に示すように、昇降機構３５および旋回駆動部３７は、保持回転部３で保持された基板Ｗ上の処理位置と、待機ポット４３と、ブラシ交換部４５（ブラシ回収部７９およびブラシ取り付け部８１）との間で、アーム３１を介してブラシ２５を移動させる。なお、昇降機構３５および旋回駆動部３７は、本発明のブラシ移動機構に相当する。

【0040】

（２）ブラシを着脱させるための構成
図３（ａ）は、ブラシ２５とブラシ保持部２７を示す縦断面図である。図３（ｂ）は、ブラシ２５の斜視図である。ブラシ保持部２７は、円筒部材５１、穴部５３、３個の開口部５５、３個の鋼球５７、ボール収容部５９および付勢部６１を備える。なお、鋼球５７は、本発明の突出部に相当する。

【0041】

円筒部材５１の上部５１Ａの外径は、円筒部材５１の下部５１Ｂの外径よりも小さい。穴部５３は、鉛直に延びる中心軸（すなわち鉛直軸ＡＸ２）に沿って円柱状に形成される。穴部５３の上端には、シャフト２９の下端部が連結される。これにより、シャフト２９に円筒部材５１が固定される。

【0042】

円筒部材５１には、３個のボール収容部５９が形成される。３個のボール収容部５９は鉛直軸周りに等間隔（１２０°）で配置される。ボール収容部５９は、穴部５３の内側の側壁５３Ａに開口部５５を有しており、３個のボール収容部５９に収容された３個の鋼球５７は、開口部５５から一部が突出するように構成される。

【0043】

上述の構成ではボール収容部５９は、３個であったが、４個以上であってもよい。また、鋼球５７は、例えばステンレス鋼など鉄で構成されるが、他の金属または樹脂であってもよい。鋼球５７の個数は、３個であったが、４個以上であってもよい。

【0044】

３個のボール収容部５９に収容された３個の鋼球５７は、付勢部６１によって支持される。付勢部６１は、円筒部材５１の上部５１Ａの外周を囲うように設けられる。付勢部６１は、円筒状のケース部６３と、押し込み部６５と、円筒状のばね部材（弾性部材）６７とを備える。ばね部材６７は、上下方向のスリットを有して、ばね部材６７の横断面がＣ状になっていてもよい。ケース部６３の上端部の内壁は、円筒部材５１の上部５１Ａの外壁に到達するように形成される。ケース部６３の下端は、円筒部材５１の下部５１Ｂの上面に接触する。ケース部６３は、ばね部材６７が配置される空間ＳＰ１を形成する。

【0045】

押し込み部６５は、当接部６５Ａと規制部６５Ｂによって一体的に構成される。当接部６５Ａは、平面視で、円環形状の部材であって、下面から上面に向かって中空部の断面積が小さくなるように内周面にテーパを有している。また、当接部６５Ａは、上下方向Ｚにおいて、ばね部材６７と円筒部材５１の間に配置される。規制部６５Ｂは、平面視で、当接部６５Ａより外径が小さく、当接部６５Ａと内径が同じ円環形状であって、当接部６５Ａの上面から延出されるように形成される。ばね部材６７は、例えばステンレス鋼などの金属で形成される。ばね部材６７は、水平方向において、ケース部６３と規制部６５Ｂの間に配置される。当接部６５Ａの内周面およびばね部材６７は、３個の鋼球５７をそれぞれ内周側（３個の開口部５５側）に押し込む。

【0046】

ブラシ２５は、ブラシ保持部２７に対して着脱可能である。図３（ｂ）に示すように、ブラシ２５は、ブラシ本体６９、ブラシ支持部７１および円柱部７３を備える。ブラシ本体６９は、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール、polyvinyl alcohol）のスポンジブラシが用いられる。ブラシ本体６９は円柱状に形成される。ブラシ本体６９は、基板Ｗを洗浄するための洗浄面６９Ａを有する。ブラシ支持部７１は、洗浄面６９Ａの反対側からブラシ本体６９を支持する。ブラシ支持部７１も円柱状に形成される。円柱部７３は、ブラシ支持部７１から洗浄面６９Ａの反対側に延びる。円柱部７３は、ブラシ支持部７１に固定される。円柱部７３の外周面７３Ａには、凹み７５と、凹み７５と比較して円柱部７３の円周方向に長い凹みである長手凹み７７が形成される。

【0047】

図４（ａ）は、円柱部に設けられた凹み７５と長手凹み７７を示す横断面図である。図４（ｂ）は、円柱部７３の側壁（外周面）７３Ａの部分的な展開図である。図４（ｃ）は、凹み７５と長手凹み７７に３個の鋼球５７が収まった状態を示す横断面図である。

【0048】

凹み７５の上下方向Ｚの長さおよび水平方向の幅は、開口部５５から部分的に突出する鋼球５７の略半球状の部分の長さ（上下方向Ｚ）および幅（水平方向）と略同じになるように形成される。また、長手凹み７７の上下方向Ｚの長さも同様に、開口部５５から部分的に突出する鋼球５７の略半球状の部分の長さ（上下方向Ｚ）と略同じになるように形成される。

【0049】

図４（ｂ）に示すように、長手凹み７７は、円周方向に長手に凹んでいる。図４（a）および図４（ｂ）に示すように、ブラシ保持部２７の穴部５３にブラシ２５の円柱部７３を挿入した場合、凹み７５は、３個の鋼球５７のうちの第１の鋼球５７Ａを収容する。また、長手凹み７７は、その両端部で残りの２個の鋼球５７Ｂ，５７Ｃを収容する。なお、円柱部７３が中空（円筒状）である場合、凹み７５および長手凹み７７は、貫通する孔部であってもよい。

【0050】

凹み７５と長手凹み７７に３個の鋼球５７が収まることで、ブラシ保持部２７に対してブラシ２５の上下方向および円周方向の移動が規制される。円周方向の移動の規制は、第１の鋼球５７Ａが凹み７５に収容されることだけでなく、２個の鋼球５７Ｂ，５７Ｃが長手凹み７７に収容されることによっても行われる。図４（ａ）において、鋼球５７Ｂ，５７Ｃが鉛直軸ＡＸ２周りに回転する場合、第２の鋼球５７Ｂの時計回りの回転は、長手凹み７７の第１端７７Ａで規制され、第３の鋼球５７Ｃの反時計回りの回転は、第２端７７Ｂで規制される。

【0051】

なお、ブラシ保持部２７の穴部５３にブラシ２５の円柱部７３を挿入する際に、各鋼球５７は、円柱部７３によって外周側に押されることで、開口部５５から穴部５３側に突出しない状態になる。具体的には、押し込み部６５は、ばね部材６７によって鉛直方向に移動可能な状態で支持されている。また、押し込み部６５の当接部６５Ａは、平面視で下面から上面に向かって中空部の断面積が小さくなるようなテーパ形状を内周面に有する。そのため、鋼球５７によって内周面が外側に向かって押された際には、押された力の向き(水平方向)が鉛直方向の上向きに変換される。そのため、押し込み部６５が鉛直方向の上向きに移動することで、鋼球５７が円筒部材５１の側壁５３Ａより内側に収容される。その後、３個の開口部５５と２個の凹み７５，７７とが対向するときに、押し込み部６５とばね部材６７の復元力により、３個の鋼球５７が３個の開口部５５から部分的に突出する。具体的には、押し込み部６５による下向き(鉛直方向)の力が、テーパ形状の内周面により、内周面から内側に向かう力(水平方向)に変換される。これにより、テーパ形状の内周面により付勢された３個の鋼球５７が各開口部５５から部分的に突出することで、凹み７５および長手凹み７７に収容され、また、ブラシ２５の移動が規制される。

【0052】

また、図３（ａ）において、ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外すときは、ブラシ２５を下方に引っ張る。所定の引っ張り力により、円柱部７３が３個の鋼球５７を外側に押し込む。これにより、３個の鋼球５７は、開口部５５から穴部５３側に突出しない状態になる。そのため、ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外すことができる。

【0053】

ここで、図５を参照しながら長手凹み７７の効果について説明する。例えば、円柱部７３に長手凹み７７が設けられておらず、３個の鋼球５７に対応する「３個の凹み７５」が１２０°間隔で鉛直軸ＡＸ４周りに配置されていると仮定する。この場合、ブラシ２５をブラシ保持部２７に取り付ける際に、３個の鋼球５７を３個の凹み７５に収めることが難しい。ブラシ２５の円柱部７３をブラシ保持部２７の穴部５３に挿入した際に、３個の鋼球５７が３個の凹み７５に収まっていなければ、円柱部７３が穴部５３から抜けてしまう場合がある。

【0054】

これに対し、本実施例の円柱部７３には、凹み７５と長手凹み７７が設けられる。図５に示すように、ブラシ２５の円柱部７３をブラシ保持部２７の穴部５３に挿入した際に、少なくとも１個の鋼球５７が長手凹み７７に収容される。そのため、ブラシ２５の上下方向の移動が規制される。そのため、円柱部７３が穴部５３から抜けてしまうことを防止できる。その後、例えば、ブラシ２５の鉛直軸ＡＸ２周りの回転により、ブラシ保持部２７に対してブラシ２５が円周方向に滑ることで、３個の鋼球５７が凹み７５と長手凹み７７に収まり、ブラシ２５の回転が規制される。また、ブラシ２５を確実に保持することができる。

【0055】

（３）ブラシ交換部の構成
図２を参照する。ブラシ交換部４５は、使用済みのブラシ２５Ａ（ブラシ２５）を未使用のブラシ２５Ｂに交換するためのものである。未使用のブラシ２５Ｂは、ブラシ２５と同様に構成される。例えば、未使用のブラシ２５Ｂのブラシ本体６９は、ブラシ２５のブラシ本体６９のように、ＰＶＡのスポンジブラシである。待機ポット４３は保持回転部３の周囲に配置されたカップ５の外側に配置される。

【0056】

ブラシ交換部４５は、平面視で、保持回転部３で保持された基板Ｗ、およびカップ５を介して、待機ポット４３の反対側に設けられる。また、ブラシ交換部４５は、保持回転部３で保持された基板Ｗ、およびカップ５の外側の位置に配置される。ブラシ交換部４５は、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１を備える。

【0057】

（３－１）ブラシ回収部
ブラシ回収部７９では、ブラシ保持部２７からブラシ２５が取り外される。ブラシ回収部７９は、取り外し部材８３とブラシ回収容器８５を備える。取り外し部材８３は、ブラシ回収容器８５の上方に設けられる。取り外し部材８３は、平面視で、ブラシ機構９によるブラシ２５の水平移動の経路ＲＴ上に配置される。

【0058】

図６（ａ）は、取り外し部材８３を示す平面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）の矢印ＡＲ１の方向から見た取り外し部材８３を示す正面図である。取り外し部材８３は、ブラシ２５を取り外す際に、ブラシ２５の上面に当接することで、ブラシ２５の高さ方向の位置（動き）を規制するための部材である。図６（ａ）に示すように、取り外し部材８３は、１個の基礎部分８３Ａと、その基礎部分８３Ａから分かれた２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃとを有し、Ｕ字状または二叉フォーク状で構成される。

【0059】

ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外すとき、ブラシ機構９は、先ず、２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃの間にブラシ保持部２７を通す。その後、ブラシ機構９は、ブラシ保持部２７を上昇させる。これにより、図６（ｂ）に示すように、ブラシ２５は、２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃによって上方への移動が妨げられ、また、ブラシ保持部２７は、ブラシ２５と分離されながら上昇される。したがって、ブラシ２５は、ブラシ保持部２７から取り外される。取り外されたブラシ２５は、取り外し部材８３（引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃ）により保持されない。そのため、ブラシ２５は、取り外し位置から落下してブラシ回収容器８５に回収される。

【0060】

図７は、ブラシ交換部４５の概略構成を示す縦断面図である。ブラシ回収容器８５は、未使用のブラシ２５Ｂの保管位置（高さ）Ｐ１１よりも低い位置に、使用済みのブラシ２５Ａを回収する。すなわち、ブラシ回収容器８５の内側の底面８５Ａは、保管位置Ｐ１１よりも低い位置に設けられる。また、ブラシ回収容器８５は、取り外し部材８３の２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃの下方に設けられる。ブラシ回収容器８５は、基板処理装置１の基台８７に対して着脱可能である。そのため、使用済みのブラシ２５Ａを収容した状態でブラシ回収容器８５を持ち運ぶことができる。

【0061】

（３－２）ブラシ取り付け部
図２を参照する。ブラシ取り付け部８１は、未使用のブラシ２５Ｂをブラシ保持部２７に取り付ける。ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９に隣接して配置される。ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９と異なる位置に配置される。

【0062】

図７を参照する。ブラシ取り付け部８１は、１個又は複数個（例えば３個）の未使用のブラシ２５Ｂを保管する。ブラシ取り付け部８１は、ブラシ収容容器９１および液排出容器９３を備える。また、液体供給部８９は、ブラシ収容容器９１に液体を供給する。

【0063】

液体供給部８９は、液体ノズル９５、液体配管９７、液体供給源９８および開閉弁Ｖ２を備える。液体ノズル９５は、ブラシ収容容器９１に、液体として、例えば脱イオン水（ＤＩＷ）などの純水を供給する。液体ノズル９５からの純水は、未使用のブラシ２５Ｂに直接当ててもよいし、直接当てなくてもよい。液体供給源９８は、液体配管９７を通じて液体ノズル９５に純水を供給する。開閉弁Ｖ２は、液体配管９７に設けられる。開閉弁Ｖ２は、純水の供給およびその供給の停止を行う。

【0064】

ブラシ収容容器９１は、液体供給部８９の液体ノズル９５から供給された純水を貯留する。ブラシ収容容器９１は、貯留された純水に３個の未使用のブラシ２５Ｂのブラシ本体６９を浸漬させながら保管中の３個の未使用のブラシ２５Ｂを収容する。ブラシ収容容器９１は、例えば、底が浅いトレイ状に形成される。ブラシ収容容器９１は、未使用のブラシ２５Ｂを保管しているときに、液体ノズル９５から純水が供給され続ける。これにより、未使用のブラシ２５Ｂを浸す純水の清浄度を保つことができる。なお、ブラシ回収容器８５の側壁のうち、ブラシ取り付け部８１に対向する側壁Ｗ１と、ブラシ収容容器９１のうちブラシ回収部７９と対向する側壁Ｗ２が本発明における隔離部に相当する。当該構成によれば、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0065】

液排出容器９３は、ブラシ収容容器９１を収容する。すなわち、ブラシ収容容器９１の側方の外周は、液排出容器９３の内壁に囲まれる。液排出容器９３の底部には、排出口９３Ａが設けられる。したがって、液排出容器９３は、ブラシ収容容器９１の上側開口部からオーバーフローした純水を受け入れながら、その純水を排出する。なお、液排出容器９３のうちブラシ回収部７９と対向する側壁Ｗ３が本発明の隔離部に相当する。すなわち、側壁Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３の少なくとも１つが本発明の隔離部に相当する。

【0066】

図２に示すように、例えば３個の未使用のブラシ２５Ｂは、平面視で、ブラシ保持部２７の移動経路ＲＴ上に配置される。ブラシ収容容器９１は、各未使用のブラシ２５Ｂを予め設定された位置で保管できるように、例えば凹みなどの案内が設けられている。

【0067】

（４）基板処理装置の制御部
基板処理装置１は、制御部１０１と記憶部（図示しない）を備える。制御部１０１は、基板Ｗの処理およびブラシ交換を制御する。制御部１０１は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）などの１つ以上のプロセッサを備える。記憶部は、例えば、ＲＯＭ（Read-Only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、およびハードディスクの少なくとも１つを備えている。記憶部は、制御部１０１が基板処理装置１の各構成を制御するために必要なコンピュータプログラムを記憶する。

【0068】

（５）基板処理装置の動作
次に、基板処理装置１の動作について説明する。図２に示すように、通常、ブラシ保持部２７で保持されたブラシ２５は、待機ポット４３で待機される。まず、通常の基板Ｗの裏面のブラシ洗浄について説明する。

【0069】

（５－１）通常の基板Ｗの裏面のブラシ洗浄
図示しない搬送ロボットは保持回転部３のスピンチャック１１上に基板Ｗを搬送する。搬送された基板Ｗの電子回路が形成されるデバイス面（表面）は、下向きであり、その基板Ｗの非デバイス面（裏面）は、上向きである。保持回転部３は、搬送された基板Ｗを保持し、その基板Ｗを鉛直軸ＡＸ１周りに回転させる。開閉弁Ｖ１が開かれると、処理液ノズル１９から基板Ｗの裏面（すなわち上面）に処理液が吐出される。その後、ブラシ機構９は、ブラシ２５を鉛直軸ＡＸ２周りに回転させながら、ブラシ２５を鉛直軸ＡＸ３周りに揺動し、かつ処理液が吐出された基板Ｗの裏面にブラシ２５を作用させることで、基板Ｗの裏面を洗浄する。

【0070】

基板Ｗの裏面の洗浄後、ブラシ機構９は、ブラシ２５を待機ポット４３に戻し、また、開閉弁Ｖ１を閉じることで、処理液の吐出を停止させる。処理液の吐出を停止した後、保持回転部３は、基板Ｗを高速回転させることで、基板Ｗを乾燥させる。その後、保持回転部３は、基板Ｗの回転を停止させ、また、基板Ｗの保持を解放する。その後、図示しない搬送ロボットは、ブラシ２５で洗浄された基板Ｗをスピンチャック１１から搬送する。

【0071】

（５－２）ブラシ交換
次に、ブラシ交換について説明する。ブラシ機構９は、待機ポット４３からカップ５の外側の位置Ｐ１（図７参照）にブラシ２５を保持するブラシ保持部２７を移動させる。その後、ブラシ機構９の昇降機構３５は、位置Ｐ１から位置Ｐ２にブラシ保持部２７を下降させる。その後、ブラシ機構９の旋回駆動部３７は、位置Ｐ２から位置Ｐ３にブラシ保持部２７を鉛直軸ＡＸ３周りに旋回させる。これにより、ブラシ保持部２７は、ブラシ回収部７９の取り外し部材８３の２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃの間に移動される。

【0072】

その後、昇降機構３５は、位置Ｐ３から位置Ｐ４にブラシ保持部２７を上昇させる。この際、ブラシ２５は、２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃによって上方への移動が制限される。そのため、ブラシ保持部２７のみが位置Ｐ４に上昇される一方、ブラシ２５がブラシ保持部２７から取り外される。取り外されたブラシ２５は、取り外し部材８３による取り外し位置から落下して、使用済みのブラシ２５Ａとしてブラシ回収容器８５に回収される。

【0073】

その後、旋回駆動部３７は、位置Ｐ４から位置Ｐ５にブラシ保持部２７を鉛直軸ＡＸ３周りに旋回される。位置Ｐ５は、ブラシ収容容器９１において保管中の３個の未使用のブラシ２５Ｂのうちの１個の未使用のブラシ２５Ｂの上方の位置である。ブラシ保持部２７が位置Ｐ５に移動された後、昇降機構３５は、ブラシ保持部２７を下降させる。これにより、ブラシ保持部２７の穴部５３に未使用のブラシ２５Ｂの円柱部７３が挿入される。また、円柱部７３に設けられた凹み７５と長手凹み７７に３個の鋼球５７が収まることで、ブラシ保持部２７に対して未使用のブラシ２５Ｂが上下方向および回転方向（鉛直軸ＡＸ２周りの回転方向）が固定される。

【0074】

その後、昇降機構３５は、未使用のブラシ２５Ｂを保持するブラシ保持部２７を位置Ｐ６に上昇させる。その後、ブラシ機構９は、位置Ｐ６から例えば待機ポット４３に未使用のブラシ２５Ｂを移動させる。未使用のブラシ２５Ｂは、洗浄度を高めるために初期汚染を取り除く処理が行われた後に、基板Ｗの裏面のブラシ洗浄を行う。

【0075】

本実施例によれば、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１とが分けられているので、使用済みのブラシ２５Ａと未使用のブラシ２５Ｂとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシ２５Ａから未使用のブラシ２５Ｂを離すことができる。したがって、未使用のブラシ２５Ｂにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシ２５を自動的に交換できる。

【0076】

また、ブラシ取り付け部８１は、保管中の未使用のブラシ２５Ｂを収容するブラシ収容容器９１を備えている。

【0077】

ブラシ取り付け部８１にブラシ収容容器９１を備えることで、ブラシ取り付け部８１とブラシ回収部７９を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0078】

また、ブラシ取り付け部８１は、保管中の未使用のブラシ２５Ｂに純水を供給する液体供給部８９を備えている。

【0079】

保管中の未使用のブラシ２５Ｂが乾燥すると、例えば未使用のブラシ２５Ｂの細かな隙間にパーティクルが入る可能性がある。パーティクルがその隙間に入り込むと、パーティクルを取り出すのが大変である。そのため、未使用のブラシ２５Ｂをブラシ保持部２７に取り付けた後、製品となる基板Ｗのブラシ洗浄を行うまで、長時間を費やしてしまう可能性がある。そのため、基板処理装置１の稼働率が低下して生産性が悪化してしまう。しかし、本実施例によれば、液体供給部８９が保管中の未使用のブラシ２５Ｂに純水を供給するので、保管中の未使用のブラシ２５Ｂの乾燥を防止することができる。そのため、保管中の未使用のブラシ２５Ｂの細かな隙間にパーティクルが入ることを防止することができる。

【0080】

また、ブラシ回収部７９は、取り外された使用済みのブラシ２５Ａを回収するブラシ回収容器８５を備えている。

【0081】

ブラシ回収部７９にブラシ回収容器８５を備えることで、ブラシ取り付け部８１とブラシ回収部７９を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0082】

また、ブラシ回収部７９は、ブラシ２５を取り外すための取り外し部材８３を備えている。

【0083】

取り外し部材８３を用いることで、ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外し、使用済みのブラシ２５Ａとしてブラシ回収容器８５に回収することができる。

【0084】

また、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９に隣接して配置される。

【0085】

ブラシ回収部７９で使用済みのブラシ２５Ａを取り外した後に素早く未使用のブラシ２５Ｂを取り付けることができる。また、ブラシ取り付け部８１がブラシ回収部７９に隣接した状態でも、取り外された使用済みのブラシ２５Ａから未使用のブラシ２５Ｂを離すことができる。

【0086】

また、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１の間に、前記ブラシ回収部７９と前記ブラシ取り付け部８１とを隔てるブラシ回収容器８５の側壁Ｗ１、ブラシ収容容器９１の側壁Ｗ２または液排出容器９３の側壁Ｗ３を備えている。当該構成によれば、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0087】

また、長手凹み７７は、円周方向に長手に凹んでおり、３個の鋼球５７のうちの２個の鋼球５７を収容することができる。そのため、例えば、ブラシ保持部２７の穴部５３にブラシ２５の円柱部７３を挿入した際に、３個の鋼球５７のうちの１つは、長手凹み７７に収容される。そのため、ブラシ保持部２７に対するブラシ２５の上下方向の移動を規制させることできる。そのため、ブラシ２５がブラシ保持部２７から外れてしまうことを防止することができる。

【実施例0088】

次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と重複する説明は省略する。実施例１では、保管される未使用のブラシ２５Ｂの位置は一定であった。すなわち、未使用のブラシ２５Ｂを収容するブラシ収容容器９１の位置は、固定されていた。この点、ブラシ収容容器９１は、図２のＸ方向に移動されるように構成されてもよい。

【0089】

図８（ａ）は、実施例２に係るブラシ交換部４５の縦断面図である。図８（ｂ）は、ブラシ交換部４５の平面図である。ブラシ取り付け部８１は、更に、ブラシ収容容器９１をＸ方向に水平移動させる水平移動部１１１を備える。水平移動部１１１は、例えば、液排出容器９３の内壁に取り付けられる。

【0090】

水平移動部１１１は、スライダ１１３、ガイドレール１１５、ねじ軸１１７および電動モータ１１９を備える。スライダ１１３は、例えば、ブラシ収容容器９１の下面に固定される。ガイドレール１１５およびねじ軸１１７は各々、Ｘ方向に延びるように配置される。ガイドレール１１５は、スライダ１１３を貫通する。ねじ軸１１７は、スライダ１１３の内ねじ１１３Ａと噛み合う。電動モータ１１９の出力軸１１９Ａは、ねじ軸１１７の一端に連結される。電動モータ１１９がねじ軸１１７を正方向に回転させると、スライダ１１３およびブラシ収容容器９１が＋Ｘ方向に前進する。電動モータ１１９がねじ軸１１７を逆方向に回転させると、スライダ１１３およびブラシ収容容器９１が－Ｘ方向に後退する。

【0091】

図８（ｂ）において、例えば符号１２１で示す未使用のブラシ２５Ｂを用いてブラシ交換を行う場合に、水平移動部１１１は、ブラシ収容容器９１をＸ方向に移動させて、平面視で移動経路ＲＴと重なる位置に、符号１２１で示す未使用のブラシ２５Ｂを移動させる。そして、ブラシ機構９は、ブラシ２５が取り外されたブラシ保持部２７を符号１２１で示す未使用のブラシ２５Ｂの上方に移動させる。その後、ブラシ機構９は、ブラシ保持部２７を下降させることで、未使用のブラシ２５Ｂをブラシ保持部２７に取り付ける。

【0092】

本実施例によれば、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ収容容器９１を水平移動させる水平移動部１１１を更に備えている。平面視における移動経路ＲＴ上に任意の未使用のブラシ２５Ｂを搬送することができる。そのため、ブラシ収容容器９１に多くの未使用のブラシ２５Ｂを収容して保管することができる。

【0093】

なお、本実施例において、水平移動部１１１は、液排出容器９３を水平移動させずに、ブラシ収容容器９１を水平移動させた。この点、水平移動部１１１は、ブラシ収容容器９１および液排出容器９３を一体的に水平移動させてもよい。