特開 2024-120519 蛍光Ｘ線分析装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024120519

(43)【公開日】2024-09-05

(54)【発明の名称】蛍光Ｘ線分析装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/223 20060101AFI20240829BHJP

   G01N 23/2209 20180101ALN20240829BHJP

【ＦＩ】

G01N23/223

G01N23/2209

【審査請求】有

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023027359

(22)【出願日】2023-02-24

(71)【出願人】

【識別番号】000250339

【氏名又は名称】株式会社リガク

(74)【代理人】

【識別番号】100087941

【弁理士】

【氏名又は名称】杉本 修司

(74)【代理人】

【識別番号】100112829

【弁理士】

【氏名又は名称】堤 健郎

(74)【代理人】

【識別番号】100142608

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 由佳

(74)【代理人】

【識別番号】100155963

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 大輔

(74)【代理人】

【識別番号】100150566

【弁理士】

【氏名又は名称】谷口 洋樹

(74)【代理人】

【識別番号】100213470

【弁理士】

【氏名又は名称】中尾 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100220489

【弁理士】

【氏名又は名称】笹沼 崇

(72)【発明者】

【氏名】原 真也

(72)【発明者】

【氏名】山田 康治郎

(72)【発明者】

【氏名】岡▲崎▼ なつ実

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA04

2G001CA01

2G001EA01

2G001EA03

2G001FA02

2G001FA08

2G001KA01

(57)【要約】

【課題】吸収励起補正および重なり補正を行う検量線法等を用いる定量手段により試料中の成分の含有率を求める蛍光Ｘ線分析装置において、許容できる時間で、補正成分の影響を適切に取り入れて理論定量値標準偏差を求めて表示できる装置を提供する。
【解決手段】定量手段が、各成分についての測定強度に基づく、分析成分の第１の定量値と、各成分についての検量線式において、測定強度を分析成分の含有率の変化が大きくなる方向に変動させて求めた、分析成分の第２の定量値との差を、分析成分の理論定量値標準偏差として表示器に表示する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料に１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の測定強度に基づいて、吸収励起補正および重なり補正を行う検量線法を用いる定量手段により、前記試料中の成分の含有率を求める蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記定量手段が、
分析成分および補正成分についての測定強度に基づいて、分析成分および補正成分についての検量線式から分析成分の含有率を求めて第１の定量値とし、
分析成分についての検量線式において、当該分析成分についての測定強度を、分析成分の含有率が増加または減少する方向に所定量変動させ、
補正成分についての検量線式において、当該補正成分についての測定強度を、分析成分についての測定強度を変動させた方向と同じ方向に所定量変動させ、
分析成分および補正成分についての測定強度ならびに分析成分および補正成分についての変動させた測定強度に基づいて、分析成分および補正成分についての検量線式から分析成分の含有率を求めて第２の定量値とし、
前記第１の定量値と前記第２の定量値の差を理論定量値標準偏差として表示器に表示する蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項2】

試料に１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の測定強度に基づいて、重なり補正を含むファンダメンタルパラメーター法を用いる定量手段により、前記試料中の成分の含有率を求める蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記定量手段が、
各成分についての測定強度に基づいて、各成分についての理論強度式から各成分の含有率を求めて第１の定量値とし、
各成分についての理論強度式において、分析成分以外の成分の含有率を１つずつ所定量増加させて、分析成分についての理論強度が所定の閾値以上に増大した場合には、その分析成分以外の成分についての測定強度を所定量減少させて変動させ、分析成分についての理論強度が所定の閾値以下に減少した場合には、その分析成分以外の成分についての測定強度を所定量増加させて変動させ、
各成分についての測定強度および各成分についての変動させた測定強度に基づいて、各成分についての理論強度式から各成分の含有率を求めて第２の定量値とし、
各成分について、前記第１の定量値と前記第２の定量値の差を理論定量値標準偏差として表示器に表示する蛍光Ｘ線分析装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試料に１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の測定強度に基づいて、吸収励起補正および重なり補正を行う検量線法または重なり補正を含むファンダメンタルパラメーター法を用いる定量手段により、試料中の成分の含有率を求める蛍光Ｘ線分析装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、定量分析を行う蛍光Ｘ線分析装置は、検量線法によるものと、ファンダメンタルパラメーター法（ＦＰ法とも表記される）によるものに大別される。検量線法による定量分析では、未知試料の分析のために、成分の含有率（濃度比とも表記される）が既知である一組の標準試料を用いて、成分の含有率と成分に対応する測定元素の蛍光Ｘ線（測定線）の測定強度との相関として、検量線が求められる。なお、成分とは元素または化合物である。また、成分が元素である場合には、その元素そのものが成分に対応する測定元素であり、成分が化合物である場合には、その化合物を代表する元素が成分に対応する測定元素となる（例えば特許文献１の段落０００２参照）。

【0003】

検量線法による定量分析においては、バックグラウンドに関するバックグラウンド補正のほかに、共存元素による吸収励起に関する吸収励起補正（マトリックス補正とも表記される）、妨害線の重なりに関する重なり補正が行われることがある（例えば吸収励起補正について、特許文献１の段落０００３参照）。

【0004】

一方、ＦＰ法による定量分析では、仮定した各成分の含有率に基づいて、試料中の各成分から発生する蛍光Ｘ線の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが一致するように、前記仮定した各成分の含有率を逐次近似的に修正計算して、試料における成分の含有率を算出する。ここで、未知試料の分析のために、成分の含有率が既知である一組の標準試料を用いて、既知の含有率に基づいて計算した理論強度と測定強度との相関として、装置感度曲線が求められる（例えば、特許文献２の段落０００３および図４、特許文献１の段落０００９参照）。

【0005】

ＦＰ法による定量分析においては、原理的にすべての成分について吸収励起補正が行われ、また、必要に応じて、成分によっては、例えば次式（ａ）で表される装置感度曲線において重なり補正も行われる（吸収励起補正については、例えば、特許文献２の段落００６９－００７４参照）。

【0006】

Ｉ_Ｔｉ＝ａＩ_ｉ ^３＋ｂＩ_ｉ ^２＋ｃＩ_ｉ＋ｄ＋Σ_ｊｂ_Ｏ ^ｉｊＩ_ｊ …（ａ）
Ｉ_Ｔ：理論強度
Ｉ：測定強度
ａ，ｂ，ｃ，ｄ：装置感度定数
ｉ：分析成分
ｊ：重なり補正成分
ｂ_Ｏ ^ｉｊ：ｊ成分のｉ成分に対する重なり補正係数

【0007】

さて、検量線法による定量分析においては、検量線作成の際に、補正を行なうべきか否かの判断基準として、その検量線で求められる分析成分の含有率である定量値について、標準偏差を計算して表示することが求められている。また、分析後に、定量値の信頼度として、その定量値の標準偏差を計算して表示することが求められる。

【0008】

ＦＰ法による定量分析においても、重なり補正を行なうべきか否かの判断基準として、その重なり補正を含むＦＰ法で求められる定量値について、標準偏差を計算して表示することが求められ、分析後に、定量値の信頼度として、その定量値の標準偏差を計算して表示することが求められる。

【0009】

このように、吸収励起補正、重なり補正を行う定量分析において、標準偏差を計算するには、補正成分の分析についての誤差が分析成分の分析についての誤差に影響すること、つまり補正成分による分析成分への誤差伝搬を考慮すべきであるが、補正成分の影響を取り入れて理論定量値標準偏差（定量値の理論標準偏差）を計算する方法がないため、実際に同一の試料について繰り返し分析を行って、得られた複数の定量値に基づいて標準偏差を計算しているのが現状である。

【0010】

定量値の信頼度としての分析精度に関する従来技術として、例えば、特許文献３に記載の蛍光Ｘ線分析装置では、指定された分析精度が得られる測定時間が算出され、表示されるが、この算出においても、補正成分の影響は取り入れられていない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２０２１－５１０５３号公報

【特許文献2】国際公開第２０１８／１６８９３９号

【特許文献3】特開２０００－６５７６５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

現状では、吸収励起補正、重なり補正を行う定量分析において、補正成分の影響を取り入れて定量値の標準偏差を求めるには、実際に同一の試料について繰り返し分析を行わねばならず、時間がかかる。また、実際の分析前に、検量線法においては、検量線作成にあたって補正を行なうべきか否かの判断の指標がなく、ＦＰ法においては、重なり補正を行なうべきか否かの判断の指標がない。

【0013】

本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、吸収励起補正および重なり補正を行う検量線法または重なり補正を含むファンダメンタルパラメーター法を用いる定量手段により、試料中の成分の含有率を求める蛍光Ｘ線分析装置において、実際に繰り返し分析を行うことなく、許容できる時間で、補正成分の影響を適切に取り入れて理論定量値標準偏差を求めて表示できる装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

前記目的を達成するために、本発明の第１構成は、まず、試料に１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の測定強度に基づいて、吸収励起補正および重なり補正を行う検量線法を用いる定量手段により、前記試料中の成分の含有率を求める蛍光Ｘ線分析装置である。そして、前記定量手段が、分析成分および補正成分についての測定強度に基づいて、分析成分および補正成分についての検量線式から分析成分の含有率を求めて第１の定量値とする。

【0015】

さらに、前記定量手段が、分析成分についての検量線式において、当該分析成分についての測定強度を、分析成分の含有率が増加または減少する方向に所定量変動させるとともに、補正成分についての検量線式において、当該補正成分についての測定強度を、分析成分についての測定強度を変動させた方向と同じ方向に所定量変動させる。

【0016】

さらにまた、前記定量手段が、分析成分および補正成分についての測定強度ならびに分析成分および補正成分についての変動させた測定強度に基づいて、分析成分および補正成分についての検量線式から分析成分の含有率を求めて第２の定量値とし、前記第１の定量値と前記第２の定量値の差を理論定量値標準偏差として表示器に表示する。

【0017】

第１構成の蛍光Ｘ線分析装置によれば、定量手段が、各成分についての測定強度に基づく、分析成分の第１の定量値と、各成分についての検量線式において、測定強度を分析成分の含有率の変化が大きくなる方向に変動させて求めた、分析成分の第２の定量値との差を、分析成分の理論定量値標準偏差として表示器に表示する。ここで、測定強度を変動させるにあたり、補正成分についての検量線式中のさらなる補正成分の含有率の変化については考慮しない。したがって、実際に繰り返し分析を行うことなく、許容できる時間で、補正成分の影響を適切に取り入れて、分析成分の理論定量値標準偏差を求めて表示できる。

【0018】

本発明の第２構成は、まず、試料に１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の測定強度に基づいて、重なり補正を含むファンダメンタルパラメーター法を用いる定量手段により、前記試料中の成分の含有率を求める蛍光Ｘ線分析装置である。そして、前記定量手段が、各成分についての測定強度に基づいて、各成分についての理論強度式から各成分の含有率を求めて第１の定量値とする。

【0019】

さらに、前記定量手段が、各成分についての理論強度式において、分析成分以外の成分の含有率を１つずつ所定量増加させて、分析成分についての理論強度が所定の閾値以上に増大した場合には、その分析成分以外の成分についての測定強度を所定量減少させて変動させ、分析成分についての理論強度が所定の閾値以下に減少した場合には、その分析成分以外の成分についての測定強度を所定量増加させて変動させる。

【0020】

さらにまた、前記定量手段が、各成分についての測定強度および各成分についての変動させた測定強度に基づいて、各成分についての理論強度式から各成分の含有率を求めて第２の定量値とし、各成分について、前記第１の定量値と前記第２の定量値の差を理論定量値標準偏差として表示器に表示する。

【0021】

第２構成の蛍光Ｘ線分析装置によれば、定量手段が、各成分についての測定強度に基づく第１の定量値と、各成分についての理論強度式における分析成分についての理論強度への影響が大きい測定強度を当該分析成分の含有率が大きくなる方向に変動させて求めた第２の定量値との差を理論定量値標準偏差として表示器に表示するので、実際に繰り返し分析を行うことなく、許容できる時間で、補正成分の影響を適切に取り入れて理論定量値標準偏差を求めて表示できる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について説明する。図１に示すように、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置は、試料１，１４（未知試料１と標準試料１４の双方を含む）に１次Ｘ線３を照射して発生する２次Ｘ線５の強度を測定する走査型の蛍光Ｘ線分析装置であって、試料１，１４が載置される試料台２と、試料１，１４に１次Ｘ線３を照射するＸ線管などのＸ線源４と、試料１，１４から発生する蛍光Ｘ線などの２次Ｘ線５を分光する分光素子６と、その分光素子６で分光された２次Ｘ線７が入射され、その強度を検出する検出器８とを備えている。検出器８の出力は、図示しない増幅器、波高分析器、計数手段などを経て、装置全体を制御するコンピューターなどの制御手段１１に入力される。

【0024】

本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置は、波長分散型でかつ走査型の蛍光Ｘ線分析装置であり、検出器８に入射する２次Ｘ線７の波長が変化するように、分光素子６と検出器８を連動させる連動手段１０、すなわちいわゆるゴニオメーターを備えている。２次Ｘ線５がある入射角θで分光素子６へ入射すると、その２次Ｘ線５の延長線９と分光素子６で分光（回折）された２次Ｘ線７は入射角θの２倍の分光角２θをなすが、連動手段１０は、分光角２θを変化させて分光される２次Ｘ線７の波長を変化させつつ、その分光された２次Ｘ線７が検出器８に入射するように、分光素子６を、その表面の中心を通る紙面に垂直な軸Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、検出器８を、軸Ｏを中心に円１２に沿って回転させる。分光角２θの値（２θ角度）は、連動手段１０から制御手段１１に入力される。なお、本発明においては、蛍光Ｘ線分析装置は、波長分散型でかつ多元素同時分析型の蛍光Ｘ線分析装置でもよいし、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置でもよい。

【0025】

本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置は、制御手段１１に搭載されるプログラムとして定量手段１３を備えており、蛍光Ｘ線５の測定強度に基づいて、吸収励起補正および重なり補正を行う検量線法を用いる定量手段１３により、試料１，１４中の成分の含有率を求める。理論定量値標準偏差を求めるにあたり、定量手段１３は、まず、従来の定量手段と同様に、分析成分ｉおよび補正成分ｊ，ｋについての測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋに基づいて、分析成分ｉおよび補正成分ｊ，ｋについての検量線式、例えば以下の検量線式（１）－（３）から分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉを求める。そして、その分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉを第１の定量値Ｑ_ｉ１とする。

【0026】

Ｗ_ｉ＝(Ａ_ｉＩ_ｉ ^３＋Ｂ_ｉＩ_ｉ ^２＋Ｃ_ｉＩ_ｉ＋Ｄ_ｉ)(１＋Ｃ_Ｍ ^ｊｉＷ_ｊ)＋Ｃ_Ｏ ^ｋｉＷ_ｋ …（１）
Ｗ_ｊ＝(Ａ_ｊＩ_ｊ ^３＋Ｂ_ｊＩ_ｊ ^２＋Ｃ_ｊＩ_ｊ＋Ｄ_ｊ)(１＋Ｃ_Ｍ ^ｋｊＷ_ｋ) …（２）
Ｗ_ｋ＝(Ａ_ｋＩ_ｋ ^３＋Ｂ_ｋＩ_ｋ ^２＋Ｃ_ｋＩ_ｋ＋Ｄ_ｋ) …（３）
Ｗ_ｉ：分析成分ｉの含有率
Ｗ_ｊ，Ｗ_ｋ：補正成分ｊ，ｋの含有率
Ｉ_ｉ：分析成分ｉについての測定強度
Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋ：補正成分ｊ，ｋについての測定強度
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ：検量線定数
Ｃ_Ｍ ^ｊｉ：ｊ成分のｉ成分に対する吸収励起補正係数
Ｃ_Ｏ ^ｋｉ：ｋ成分のｉ成分に対する重なり補正係数

【0027】

さらに、定量手段１３は、分析成分ｉについての検量線式（１）において、当該分析成分ｉについての測定強度Ｉ_ｉを、分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉが増加または減少する方向に、例えば分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉが増加する方向に、検量線式（１）の右辺を測定強度Ｉ_ｉで偏微分した値が正の場合は、測定強度Ｉ_ｉが大きくなるように、所定量変動させる。

【0028】

それととともに、補正成分ｊ，ｋについての検量線式（２），（３）において、当該補正成分ｊ，ｋについての測定強度Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋを、分析成分ｉについての測定強度Ｉ_ｉを変動させた方向と同じ方向に、つまりこの場合では分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉが増加する方向に、所定量変動させる。吸収または励起の補正成分ｊについては、補正係数Ｃ_Ｍ ^ｊｉが吸収補正の場合は、補正成分ｊの含有率Ｗ_ｊが増加すると分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉが大きくなる。そこで、検量線式（２）の右辺を測定強度Ｉ_ｊで偏微分した値が正の場合は、測定強度Ｉ_ｊを所定量増加させる。重なり補正成分については、補正成分ｋの含有率Ｗ_ｋが減少すると分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉが大きくなる。そこで、検量線式（３）の右辺を測定強度Ｉ_ｋで偏微分した値が正の場合は、測定強度Ｉ_ｋを所定量減少させる。ここで、変動させる所定量とは、各測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋの理論標準偏差σＩ_ｉ，σＩ_ｊ，σＩ_ｋであり、測定時間ｔ_ｍｅａｓを用いて、σＩ＝（Ｉ／１０００ｔ_ｍｅａｓ）^１／２で求められる。

【0029】

さらにまた、定量手段１３は、１組の、分析成分ｉおよび補正成分ｊ，ｋについての測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋならびに分析成分ｉおよび補正成分ｊ，ｋについての変動させた測定強度Ｉ_ｉ＋σＩ_ｉ，Ｉ_ｊ＋σＩ_ｊ，Ｉ_ｋ－σＩ_ｋに基づいて、分析成分ｉおよび補正成分ｊ，ｋについての検量線式（１）－（３）から分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉを求める。つまり、Ｉ_ｉをＩ_ｉ＋σＩ_ｉとし、Ｉ_ｊをＩ_ｊ＋σＩ_ｊとし、Ｉ_ｋをＩ_ｋ－σＩ_ｋとして、分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉを求める。そして、その分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉを第２の定量値Ｑ_ｉ２とし、第１の定量値Ｑ_ｉ１と第２の定量値Ｑ_ｉ２の差｜Ｑ_ｉ２－Ｑ_ｉ１｜を理論定量値標準偏差σＱ_ｉとして、制御手段１１に接続された液晶ディスプレイ等の表示器１５に表示する。

【0030】

本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置によれば、定量手段１３が、各成分ｉ，ｊ，ｋについての測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋに基づく、分析成分ｉの第１の定量値Ｑ_ｉ１と、各成分ｉ，ｊ，ｋについての検量線式（１）－（３）において、測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋを分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉの変化が大きくなる方向に変動させ、それぞれＩ_ｉ＋σＩ_ｉ，Ｉ_ｊ＋σＩ_ｊ，Ｉ_ｋ－σＩ_ｋとして求めた、分析成分ｉの第２の定量値Ｑ_ｉ２との差｜Ｑ_ｉ２－Ｑ_ｉ１｜を、分析成分ｉの理論定量値標準偏差σＱ_ｉとして表示器１５に表示する。ここで、測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋを変動させるにあたり、補正成分ｊについての検量線式（２）中のさらなる補正成分ｋの含有率Ｗ_ｋの変化については考慮しない。上述の例で、成分ｋの含有率Ｗ_ｋの変化を考慮して、測定強度Ｉ_ｋを変動させたのは、成分ｋが、分析成分ｉについての検量線式（１）において、分析成分ｉに対する重なり補正成分になっているからであり、補正成分ｊについての検量線式（２）において、補正成分ｊに対するさらなる補正成分になっているからではない。このように、変動させる測定強度の数を適切に制限しているので、実際に繰り返し分析を行うことなく、許容できる時間で、補正成分ｊ，ｋの影響を適切に取り入れて、分析成分ｉの理論定量値標準偏差を求めて表示できる。

【0031】

本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置の定量手段１３は、重なり補正を含むファンダメンタルパラメーター法を用いて、試料１，１４中の成分の含有率を求めることもできる。この場合、理論定量値標準偏差を求めるにあたり、定量手段１３は、まず、従来の定量手段と同様に、１組の各成分ｉについての測定強度Ｉ_ｉに基づいて、１組の各成分ｉについての公知の理論強度式から１組の各成分ｉの含有率Ｗ_ｉを求める。そして、求めた各成分ｉの含有率Ｗ_ｉを第１の定量値Ｑ_ｉ１とする。

【0032】

さて、ファンダメンタルパラメーター法の場合は、吸収・励起に関して試料内すべての成分の補正が考慮される。また、背景技術の説明で述べたように装置感度曲線において重なり補正も考慮されるので、各補正成分ｊが分析線（分析成分ｉに対応する蛍光Ｘ線）に対して吸収か、励起かを明確にして、補正成分ｊの分析線強度（測定強度Ｉ_ｊ）を増加させるか減少させるかを決定する必要がある。そこで、各成分ｉの第１の定量値Ｑ_ｉ１からなる試料組成に対して、分析成分ｉ以外の試料内成分ｊの含有率Ｗ_ｊを一つずつ所定量変化させた場合の、分析成分ｉの分析線理論強度Ｉ_Ｔｉｊを計算する。そして、この分析線理論強度Ｉ_Ｔｉｊが、各成分ｉの第１の定量値Ｑ_ｉ１からなる試料組成での分析線理論強度Ｉ_Ｔｉ０よりも大きい場合には、補正成分ｊは分析線を励起していると判断し、小さい場合には、補正成分ｊが分析線を吸収していると判断する。

【0033】

さらに、励起している場合には、当該補正成分ｊの分析線強度Ｉ_ｊを所定量減少させ、吸収している場合には、当該補正成分ｊの分析線強度Ｉ_ｊを所定量増加させる。ここで、試料内の分析成分ｉ以外のすべての成分ｊの分析線に対して強度Ｉ_ｊを変動させて、後述する第２の定量値Ｑ_ｉ２を求めるための定量計算を実施してもよいが、補正成分ｊの含有率Ｗ_ｊの変化に対する分析線強度Ｉ_Ｔｉｊの変化量に閾値を設定し、閾値以下の変化量の補正成分ｊに関しては、補正成分ｊの分析線を変化させず定量計算を行うことによって、計算時間を短縮することができる。

【0034】

例えば、試料内にｉ成分、ｊ成分、ｋ成分があるとすると、まず、測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋからファンダメンタルパラメーター法を用いて、試料内組成として各成分ｉ，ｊ，ｋの含有率Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊ，Ｗ_ｋを求める。この組成でのｉ成分の分析線理論強度をＩ_Ｔｉ０とする。そして、ｊ成分の含有率Ｗ_ｊを所定量変化させて理論強度を計算し、そのときのｉ成分の分析線理論強度をＩ_Ｔｉｊとする。Ｉ_ＴｉｊがＩ_Ｔｉ０よりも大きい場合は、ｊ成分はｉ成分の分析線に対して励起になっているので、補正成分ｊの分析線強度Ｉ_ｊを所定量減少させる。ｋ成分に対しても同様の処理を行い、補正成分ｋの分析線強度Ｉ_ｋを所定量増加させるか、減少させるかを決定する。

【0035】

以上をまとめると、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置における定量手段１３は、各成分ｉについての理論強度式において、分析成分以外の成分ｊの含有率Ｗ_ｊを１つずつ所定量増加させて、分析成分ｉについての理論強度Ｉ_Ｔｉが所定の閾値以上に増大した場合には、その分析成分以外の成分ｊについての測定強度Ｉ_ｊを所定量減少させて変動させ、分析成分ｉについての理論強度Ｉ_Ｔｉが所定の閾値以下に減少した場合には、その分析成分以外の成分ｊについての測定強度Ｉ_ｊを所定量増加させて変動させる。

【0036】

ここで、測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋについて変動させる所定量とは、各測定強度Ｉ_ｉ，Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋの理論標準偏差σＩ_ｉ，σＩ_ｊ，σＩ_ｋであり、測定時間ｔ_ｍｅａｓを用いて、σＩ＝（Ｉ／１０００ｔ_ｍｅａｓ）^１／２で求められる。また、分析成分以外の成分ｊの含有率Ｗ_ｊについて増加させる所定量とは、例えばＷ_ｊ×０．０１であり、理論強度Ｉ_Ｔｉについての所定の閾値以上とは、例えばＩ_Ｔｉ×１．０１以上であり、理論強度Ｉ_Ｔｉについての所定の閾値以下とは、例えばＩ_Ｔｉ×０．９９以下である。

【0037】

さらにまた、定量手段１５は、１組の、各成分ｉについての測定強度Ｉ_ｉおよび各成分ｉについての変動させた測定強度Ｉ_ｉ＋σＩ_ｉまたはＩ_ｉ－σＩ_ｉに基づいて、１組の各成分ｉについての理論強度式から１組の各成分ｉの含有率Ｗ_ｉを求める。そして、求めた各成分ｉの含有率Ｗ_ｉを第２の定量値Ｑ_ｉ２とし、各成分ｉについて、第１の定量値Ｑ_ｉ１と第２の定量値Ｑ_ｉ２の差｜Ｑ_ｉ２－Ｑ_ｉ１｜を理論定量値標準偏差σＱ_ｉとして表示器１５に表示する。

【0038】

定量手段１３が重なり補正を含むファンダメンタルパラメーター法を用いる場合の本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置によれば、定量手段１３が、各成分ｉについての測定強度Ｉ_ｉに基づく第１の定量値Ｑ_ｉ１と、各成分ｉについての理論強度式における分析成分ｉについての理論強度Ｉ_Ｔｉへの影響が大きい測定強度Ｉ_ｊ，Ｉ_ｋを当該分析成分ｉの含有率Ｗ_ｉが大きくなる方向に変動させて求めた第２の定量値Ｑ_ｉ２との差を理論定量値標準偏差σＱ_ｉとして表示器１５に表示するので、実際に繰り返し分析を行うことなく、許容できる時間で、補正成分ｊ，ｋの影響を適切に取り入れて理論定量値標準偏差σＱ_ｉを求めて表示できる。

【符号の説明】

【0039】

１，１４ 試料
３ １次Ｘ線
５ 蛍光Ｘ線
１３ 定量手段
１５ 表示器

【図1】