特開 2024-120962 ミラースキャナ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024120962

(43)【公開日】2024-09-05

(54)【発明の名称】ミラースキャナ

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20240829BHJP

   G02B 26/08 20060101ALI20240829BHJP

   B81B 3/00 20060101ALI20240829BHJP

【ＦＩ】

G02B26/10 104Z

G02B26/08 E

B81B3/00

【審査請求】有

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024106161

(22)【出願日】2024-07-01

(62)【分割の表示】P 2020062201の分割

【原出願日】2020-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000005016

【氏名又は名称】パイオニア株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】520001073

【氏名又は名称】パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001025

【氏名又は名称】弁理士法人レクスト国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大島 清朗

(72)【発明者】

【氏名】矢部 友崇

(72)【発明者】

【氏名】岩崎 新吾

(57)【要約】

【課題】
回路規模及びコストを抑えたミラースキャナを提供する。
【解決手段】
本発明のミラースキャナは、光を反射する第１の面を有し、所定の角度で交わる第１軸及び第２軸廻りに揺動可能なミラーと、前記ミラーの前記第１の面とは反対側の面である第２の面に配された永久磁石と、前記ミラーの前記第２の面に対向しかつ前記永久磁石を挟むように配された一対の端部を有するヨーク及び前記ヨークに巻き付けられたコイルを有する駆動部と、を有し、前記一対の端部は当該端部同士を結ぶ直線が前記第１軸及び前記第２軸に交差するように配されていることを特徴としている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光を反射する第１の面を有し、所定の角度で交わる第１軸及び第２軸廻りに揺動可能なミラーと、
前記ミラーの前記第１の面とは反対側の面である第２の面に配された永久磁石と、
前記ミラーの前記第２の面に対向しかつ前記永久磁石を挟むように配された一対の端部を有するヨーク及び前記ヨークに巻き付けられたコイルを有する駆動部と、
を有し、
前記一対の端部は当該端部同士を結ぶ直線が前記第１軸及び前記第２軸に交差するように配されていることを特徴とするミラースキャナ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ミラースキャナに関し、特に、２軸周りでミラーを揺動させるミラースキャナに関する。

【背景技術】

【0002】

光を偏向しつつ所定の領域に向けて出射し、当該所定の領域から戻ってきた光を検出することによって、当該所定の領域内に位置する物体に関する種々の情報を得る走査装置が知られている。このような走査装置において、光を偏向する部分として、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラー等の可動式のミラーが設けられている。可動式のミラーを有する光走査装置として、ミラー振動子及び永久磁石が上下カバーにより包囲された光走査装置が提案されている（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－６９６７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のような光走査装置では、可動式ミラーの可動部分に対して磁気等により外部から力を加え、揺動運動や往復運動等を行わせる。例えば、ラスタスキャンを行う一般的な２軸駆動の可動式ミラーは、共振駆動による高速軸周りの揺動と、非共振駆動による低速軸周りの揺動とを組み合わせて可動式ミラーの揺動が行われる。

【0005】

非共振駆動は、共振現象を利用しない駆動方法であるため、共振駆動を行う場合よりもより大きなパワーを必要とする。このため、低速軸用の磁気回路は、高速軸用の磁気回路と比べて回路規模が大きい。従って、低速軸用の磁気回路を備えた光走査装置は、当該磁気回路の回路規模にひきずられて、デバイス全体のサイズが大きくなってしまうという問題があった。

【0006】

また、従来の２軸駆動の可動式ミラーは、それぞれ独立し且つ専用設計された高速軸周りの揺動を行うヨーク及びコイルと低速軸周りの揺動を行うヨーク及びコイルを必要とした。そのため、２軸駆動のミラースキャナは、サイズ、重量及びコストも大きくなってしまう。

【0007】

本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、サイズ、重量及びコストを抑えたミラースキャナを提供することを目的の一つとしている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

請求項１に記載の発明は、光を反射する第１の面を有し、所定の角度で交わる第１軸及び第２軸廻りに揺動可能なミラーと、前記ミラーの前記第１の面とは反対側の面である第２の面に配された永久磁石と、前記ミラーの前記第２の面に対向しかつ前記永久磁石を挟むように配された一対の端部を有するヨーク及び前記ヨークに巻き付けられたコイルを有する駆動部と、を有し、前記一対の端部は当該端部同士を結ぶ直線が前記第１軸及び前記第２軸に交差するように配されていることを特徴としている。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施例１に係るミラースキャナの全体構成を示す図である。

【図2】実施例１に係るミラーの平面図である。

【図3】実施例１に係るミラーの断面図である。

【図4】実施例１に係るミラースキャナの上面図である。

【図5】コイルのヨークへの巻き付けられ方の態様を模式的に示す図である。

【図6】ヨークの傾斜角に対するミラーにかかる軸トルクを示す図である。

【図7】駆動信号の信号波形を示す図である。

【図8】第１の信号の信号波形を示す図である。

【図9】第２の信号の信号波形を示す図である。

【図10】駆動信号の印加時に発生する磁界の磁極を模式的に示す図である。

【図11】駆動信号の印加時に発生する磁界の磁束を模式的に示す図である。

【図12】合成した磁束を第１軸方向及び第２軸方向に分解した成分を模式的に示す図である。

【図13】駆動信号の印加により磁気回路に交番に磁界が発生することを示す図である。

【図14】駆動信号の印加により磁気回路に交番に磁界が発生することを示す図である。

【図15】コイルのヨークへの巻き付けられ方についての第１の変形例を模式的に示す図である。

【図16】コイルのヨークへの巻き付けられ方についての第２の変形例を模式的に示す図である。

【図17】コイルのヨークへの巻き付けられ方についての第３の変形例を模式的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に本発明の好適な実施例を詳細に説明する。なお、以下の各実施例における説明及び添付図面においては、実質的に同一または等価な部分には同一の参照符号を付している。

【実施例0011】

図１は、本実施例に係るミラースキャナ１００の全体構成を示す斜視図である。ミラースキャナ１００は、可動式のミラーを周期的に揺動することで光の偏向動作を行う光走査装置である。

【0012】

ミラースキャナ１００は、光偏向を行う光偏向子１０と、光偏向子１０を揺動させるための磁界を発生させる磁界発生源である磁気回路２０と、を有する。

【0013】

本実施例のミラースキャナ１００では、磁気回路２０によって発生した磁界が光偏向子１０に印加されることで、光偏向子１０が揺動する。ミラースキャナ１００は、例えば磁界の変化によって光偏向子１０が動作する磁気駆動型のＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）装置である。

【0014】

磁気回路２０は、軟質磁性体材料、例えば、電磁鋼板からなるヨーク２１を有する。ヨーク２１は、例えば、一対のコア部２１Ａと、一対のコア部２１Ａを連結する連結部２１Ｂと、一対の端部２１Ｃと、からなるＣ字型又はＵ字型の形状を有する。一対の端部２１Ｃは、一対のコア部２１Ａの連結部２１Ｂに接続された部分とは反対側に位置している。

【0015】

また、磁気回路２０は、ヨーク２１の連結部２１Ｂに巻き付けられたコイル２３を有する。コイル２３は、例えば、連続した鋼線を用いて連結部２１Ｂに巻き付けられている。

【0016】

また、磁気回路２０は、コイル２３に駆動信号として電流を印加することでヨーク２１から磁界を発生させる駆動回路２５を有する。本実施例においては、駆動回路２５は、コイルに対し、交流電流を駆動信号として印加する。これによって、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃから、それぞれ交流磁界が発生する。すなわち、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃは、磁界を発生させる磁界発生端としての性質を有する。

【0017】

本実施例においては、ヨーク２１は、駆動回路２５によってコイル２３に電流が印加されることにより、電磁石として機能する。すなわち、本実施例の磁気回路２０は、交流磁界を発生させる電磁石を有する。

【0018】

図２は、光偏向子１０の平面図である。また、図３は、光偏向子１０の断面図であり、図２における３－３線に沿った断面図である。図２及び図３を用いて、光偏向子１０の構成について説明する。

【0019】

本実施例においては、光偏向子１０は、所定の光に対して反射性を有するミラーである光反射面１０Ｓを有する。すなわち、光偏向子１０は、光反射面１０Ｓが第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹの周りに揺動するＭＥＭＳミラーである。

【0020】

光偏向子１０は、支持部１１と、支持部１１によって揺動可能に支持された可動部１２と、永久磁石１３と、を含む。永久磁石１３は、磁界の変化に応じて可動部１２を揺動させる。

【0021】

可動部１２は、第１の揺動軸ＡＹの周りに揺動可能な状態で支持部１１に支持された可動枠１２Ａを有する。本実施例においては、可動枠１２Ａは、環状の枠体であり、第２の揺動軸ＡＸに沿って延びるトーションバー１１Ｘによって支持部１１に接続及び支持されている。

【0022】

また、可動部１２は、可動枠１２Ａの内側に配置され、第２の揺動軸ＡＹの周りに揺動可能な状態で可動枠１２Ａに支持された可動板１２Ｂを有する。本実施例においては、可動板１２Ｂは、平板状の部材であり、その面の一方が光反射面１０Ｓとして機能する。また、可動板１２Ｂは、第２の揺動軸ＡＹに沿って延びるトーションバー１２Ｙによって可動枠１２Ａに接続及び支持されている。

【0023】

トーションバー１１Ｘがその周方向にねじれるように永久磁石１３に磁界が印加されると、可動枠１２Ａ及び可動板１２Ｂは、支持部１１に支持されつつ第１の揺動軸ＡＸの周りに揺動する。また、トーションバー１１Ｘ及び１２Ｙがその周方向にねじれるように永久磁石１３に磁界が印加されると、可動枠１２Ａが第１の揺動軸ＡＸの周りに揺動し、かつ可動板１２Ｂが第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹの周りに揺動する。

【0024】

また、本実施例においては、永久磁石１３は、可動板１２Ｂにおける他方の面（光反射面１０Ｓとして機能する面とは反対側の面）上に固定されている。また、例えば、光偏向子１０における支持部１１及び可動部１２は、半導体材料からなり、例えば半導体ウェハを加工することで形成することができる。

【0025】

図４は、本実施例に係るミラースキャナ１００の光反射面１０Ｓに垂直な方向から見た上面図である。なお、ここではヨーク２１の連結部２１Ｂ及びコイル２３については図示を省略している。

【0026】

ヨーク２１は、一対の端部２１Ｃの各々が光偏向子１０の可動板１２Ｂの第２の面に対向し、且つ一対の端部２１Ｃの中心同士を結ぶ直線である直線Ａ１が第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹとそれぞれ所定の角度として、例えば、第２の揺動軸ＡＹに対して角度θ＜４５°の角度で傾斜するように配置されている。

【0027】

なお、ヨーク２１は、直線Ａ１が、光偏向子１０の光反射面１０Ｓに垂直な方向において第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹの交点に重なる位置となるように配置されている。第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹの交点に相当する位置の光偏向子１０の可動板１２Ｂの第２の面上には、永久磁石１３が配置されている。

【0028】

また、ヨーク２１は、一対の端部２１Ｃが永久磁石１３の配置位置を中心として直線Ａ１上において対称な位置関係となるように配置されている。すなわち、ヨーク２１は、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃが永久磁石１３の配置位置を挟むように配置されている。

【0029】

換言すれば、ミラースキャナ１００は、光を反射する光反射面１０Ｓを有し、所定の角度で交わる第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹ廻りに揺動可能なミラーと、光偏向子１０の光反射面１０Ｓとは反対側の面である第２の面に配された永久磁石１３と、光偏向子１０の第２の面に対向しかつ永久磁石１３を挟むように配された一対の端部２１Ｃを有するヨーク２１及びヨーク２１に巻き付けられたコイル２３を有する磁気回路２０と、を有し、一対の端部２１Ｃは当該端部同士を結ぶ直線が第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹに交差するように配されている。

【0030】

また、永久磁石１３は、光偏向子１０の第２の面上の第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹを含む平面に垂直な方向から見て第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹの交点と重なる位置に配され、一対の端部２１Ｃの各々は、永久磁石１３と対向するように配されている。

【0031】

図５は、ヨーク２１におけるコイル２３の態様を模式的に示す図である。コイル２３は、例えば、共通の巻き線を用いてヨーク２１の連結部２１Ｂに連続して同じ方向に巻き付けられている。このようにコイル２３が巻き付けられることにより、コイル２３に所定の方向（例えば、図５に矢印で示す方向）に交流電流Ｉを流した際、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃの一方がＮ極となり、他方がＳ極となるように交流磁界が発生する。

【0032】

再び図４を参照すると、本実施例のミラースキャナ１００は、光偏向子１０を第２の揺動軸ＡＹの周りに高速で揺動するように共振動作させるとともに、第１の揺動軸ＡＸの周りに低速で揺動するように非共振動作させるべく、交流磁界を発生させる。すなわち、本実施例では第２の揺動軸ＡＹが高速軸、第１の揺動軸ＡＸが低速軸となる。従って、光偏向子１０の光反射面１０Ｓに光を入射することにより、光反射面１０Ｓが光を反射すると共に反射光を第２の揺動軸ＡＹの方向に高速に走査しつつ第１の揺動軸ＡＸの方向に低速に走査する。これにより、反射光を光偏向子１０の光反射面１０Ｓでラスタスキャンさせることが可能となる。

【0033】

駆動回路２５は、駆動信号ＤＳをコイル２３に印加する。

【0034】

駆動信号ＤＳは、第１の信号である低速軸駆動用の鋸歯状波に第２の信号である鋸歯状波よりも振幅が小さく且つ周波数が大きい高速軸駆動用の第２の正弦波を重畳した電流波形を有する。

【0035】

図６は、本実施例に係るミラースキャナ１００のヨーク２１の所定の傾斜角度θにおける第１及び第２の揺動軸ＡＸ及びＡＹにかかる軸トルクを示す図である。

【0036】

横軸は、永久磁石１３と永久磁石１３に対向するヨーク２１の一対の端部の各々との距離を示す。また、縦軸は、各々の揺動軸に係る軸トルクを示す。

【0037】

図中の曲線の各々は、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃの中心同士を結ぶ直線Ａ１と第２の揺動軸ＡＹとの傾斜角θがそれぞれ０°（並行）、５°及び１０°の場合について示す。また、図中の実線は非共振動作をする第１の揺動軸ＡＸにかかる軸トルクであり、破線は共存動作をする第２の揺動軸ＡＹにかかる軸トルクである。

【0038】

低速軸である第１の揺動軸ＡＸにかかる軸トルクは、傾斜角θを０～１０°まで変化させても、傾斜角θによる軸トルクの変化はほとんど影響を受けないことがわかる。また、永久磁石１３と一対の端部２１Ｃが離れるにつれていずれの傾斜角θにおいても距離に対して反比例的に軸トルクの減少がみられるが、いずれの距離においても傾斜角θによる影響はみられない。

【0039】

一方、高速軸である第２の揺動軸ＡＹにかかる軸トルクは、傾斜角θを０°、５°、１０°と変化させるごとに軸トルクの上昇がみられる。

【0040】

前述の通り、共振動作をする高速軸は、非共振動作をする低速軸に比べ、小さな軸トルクで駆動が可能である。すなわち、ヨーク２１を傾斜角θで傾けることで非共振動作に必要な軸トルクに影響を及ぼさずに共振動作に必要な軸トルクを得ることが可能となる。

【0041】

図７は、駆動信号ＤＳの電流波形を示す波形図である。また、図８は、第１の信号である低速軸駆動用の鋸歯状波を示している。また、図９は、第２の信号である高速軸駆動用の正弦波を示している。また、振幅ＡＭＬは、低速軸駆動用の鋸歯状波に相当する低速軸用振幅を示している。また、振幅ＡＭＨは、高速軸駆動用の正弦波に相当する高速軸用振幅を示している。

【0042】

図８に示す第１の信号である鋸歯状波は、第１の揺動軸ＡＸをラスタスキャンにおける低速走査方向に光を走査させるための信号である。本実施例においては、第１の信号は、低速走査方向を１の方向に走査させるものであり、走査開始位置に光反射面を移動させる急峻な傾きを有する区間と、走査開始位置から走査終了位置まで所定の速度で操作させる区間と、を有する。

【0043】

また、図９に示す第２の信号である正弦波は、第２の揺動軸ＡＹをラスタスキャンにおける高速走査方向に光を走査させるための信号である。尚、光偏向子１０の第２の揺動軸ＡＹは共振駆動である故、正弦波は、第２の揺動軸ＡＹの共振周波数に合わせた周波数を有する。また、共振駆動は非共振駆動に比べて大きなパワーを必要としない故、第２の信号である正弦波は、第１の信号による第１の揺動軸ＡＸの駆動に影響を及ぼさないように振幅を小さくすることができる。

【0044】

また、前述の通り、駆動信号ＤＳは第１の信号である低速軸駆動用の鋸歯状波と第２の信号である高速軸駆動用の正弦波を重畳した図７に示すような信号波形を有する。

【0045】

換言すれば、第１の信号は、前記第２の信号よりも振幅が大きくかつ周波数が小さい。

【0046】

また、第１の信号は、鋸歯状波であり、第２の信号は、正弦波である。

【0047】

図１０は、駆動信号ＤＳの印加によって磁界が発生した際に、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃに生じる磁極を模式的に示す図である。

【0048】

駆動信号ＤＳの印加により第１のコイル２３に電流が流れ、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃの一方がＮ極、他方がＳ極となるように磁界が発生する。図１０では、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃのうち、図中上方の側に示した端部である一方の端部２１ＣがＮ極（図中、Ｎａとして示す）、図中下方の側に示した端部である他方の端部２１ＣがＳ極（図中、Ｓａとして示す）となった場合を示している。

【0049】

図１１は、駆動信号ＤＳの印加によって発生する磁界の磁束を、ベクトルを用いて模式的に示す図である。駆動信号ＤＳの印加により、磁極Ｎａから磁極Ｓａに向かう方向にベクトルＳ１として示す磁束が発生する。

【0050】

なお、ベクトルＳ１は、ヨーク２１が第２の揺動軸ＡＹ対して傾斜して配された傾斜角θの角度で形成される。

【0051】

図１２は、図１１に示すベクトルＳ１の磁束を第２の揺動ＡＹの方向（以下、Ｙ方向と称する）及び第１の揺動軸ＡＸの方向（以下、Ｘ方向と称する）に分解した成分を、ベクトルを用いて模式的に示す図である。磁束のＹ方向の成分ＳＹは、ベクトルＳ１のＹ方向の成分に相当するベクトル成分となる。一方、磁束のＸ方向の成分ＳＸは、ベクトルＳ１のＸ方向の成分に相当するベクトル成分となる。

【0052】

このように、駆動信号ＤＳをコイル２３に印加することにより、Ｙ方向の磁束成分が大きく、Ｘ方向の磁束成分が小さい磁界が発生する。従って、かかる磁界を永久磁石１３に印加することにより、比較的大きなパワーを必要とする非共振駆動（低速駆動）で光偏向子１０を第１の揺動軸ＡＸの周りに揺動させ、大きなパワーを必要としない共振駆動（高速駆動）で光偏向子１０を第２の揺動軸ＡＹの周りに揺動させることができる。

【0053】

図１３及び図１４は、図７に示すような信号波形の駆動信号ＤＳを印加することにより、磁気回路２０に交番に磁界が発生することを示す図である。図１３は図７に示す時刻Ａにおいてヨーク２１の一対の端部２１Ｃで発生する磁極、図１４は図７に示す時刻Ｂにおいてヨーク２１の一対の端部２１Ｃで発生する磁極を示している。

【0054】

時刻Ａでは、ヨーク２１が配された所定の角度の傾斜角θにより、磁極Ｎａから磁極Ｓａに向けて磁束が流れる。そして、時刻Ｂではこれらの関係が反転した状態となる。

【0055】

また、前述の通り、コイル２３に入力される駆動信号ＤＳは第１の信号である低速軸駆動用の鋸歯状波と第２の信号である高速軸駆動用の正弦波とが重畳した波形となる。従って、時刻Ａ近傍及び時刻Ｂ近傍のそれぞれにおいて、一対の端部２１Ｃは、永久磁石１３に対して第２の揺動軸ＡＹ周りに第２の信号の正弦波の周波数で引力又は斥力が印可され、可動板１２Ｂの共振駆動力源となる。また、一対の端部２１Ｃは、永久磁石１３に対して第１の揺動軸ＡＸ周りに鋸歯状波に応じた引力又は斥力が印可され、可動枠１２Ａの非共振駆動力源となる。これにより、光偏向子１０は、駆動信号ＤＳがコイル２３に入力されることで、光偏向子１０を第２の揺動軸ＡＸの方向に非共振駆動させ且つ、光偏向子１０を第１の揺動軸ＡＹの方向に共振駆動させることが可能となる。従って、全体として所望の回転動作（すなわち、揺動動作）を実現することができる。

【0056】

換言すれば、一対の端部２１Ｃ同士を結ぶ直線Ａ１と第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹとがなす角度は、一対の端部２１Ｃ同士を結ぶ直線Ａ１と第１の揺動軸ＡＸとがなす角度よりも一対の端部２１Ｃ同士を結ぶ直線Ａ１と第２の揺動軸ＡＹとがなす角度の方が小さく、コイル２３には、光偏向子１０を第１の揺動軸ＡＸ回りに駆動する第１の信号に光偏向子１０を第２の揺動軸ＡＹ回りに駆動する第２の信号を重畳した駆動信号ＤＳが入力されることで光偏向子１０が揺動する。

【0057】

以上のように、本実施例のミラースキャナ１００では、ヨーク２１の一対の端部２１Ｃの中心同士を結ぶ直線が光偏向子１０の揺動軸である第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹと所定の角度をなすように配された１のヨーク２１を用いて磁気回路２０を構成している。そして、低速軸用の鋸歯状波に高速軸用の正弦波を重畳した駆動信号ＤＳをコイル２３に印加して交番磁界を発生させる。これにより、本実施例によるミラースキャナ１００は、光偏向子１０を第２の揺動軸ＡＹの周りに高速で揺動させ、第１の揺動軸ＡＸの周りに低速で揺動させるラスタスキャンをすることが可能となる。

【0058】

本実施例のミラースキャナ１００によれば、高速軸用の共振駆動及び低速軸用の非共振駆動を１つのヨークを用いて実現することができるため、ミラースキャナのサイズ、重量及びコストを抑えることが可能となる。

【0059】

尚、上記実施例では、駆動信号として低速軸用の鋸歯状波に高速軸用の正弦波を重畳した信号を用いる例について説明したが、これに限られず、第１の揺動軸ＡＸ及び第２の揺動軸ＡＹの周りに光偏向子１０を揺動させることが可能な駆動信号を用いるものであればよい。

【0060】

また、上記実施例では、低速軸である第１の揺動軸ＡＸを１の方向に走査させる第１の信号として鋸歯状波を入力する場合について説明した。しかしながら、第１の揺動軸ＡＸの操作方向は１の方向に限定されない。例えば、第１の揺動軸ＡＸの往路及び復路の双方向の揺動を利用するために、高速軸用の第２の信号よりも周波数が小さく且つ振幅の大きい正弦波を入力することで、第１の揺動軸ＡＸの往路及び復路の双方向の揺動を利用したラスタスキャンが可能となる。

【0061】

また、上記実施例では、コイル２３がヨーク２１の連結部に鋼線を用いて巻き付けられている例について説明した。しかし、コイルの各々の構成はこれに限られない。

【0062】

例えば、図１５に示すように、共通の鋼線を用いて連続して巻き付けられた第１のコイル２３Ａ及び第２のコイル２３Ｂから構成されていてもよい。すなわち、第１コイル２３Ａ及び第２コイル２３Ｂの各々は、上記実施例のように分離されていない１つのコイルではなく、一対のコア部に分離して巻き付けられた一対のコイルによって構成することが可能である。

【0063】

また、図１６に示すように、コイル２３は、ヨーク２１の一対のコア部２１Ａに巻き付けられた第１のコイル２３Ａ及び第２のコイル２３Ｂと、連結部２１Ｂに巻き付けられたコイル２３Ｃと、から構成されていてもよい。すなわち、第１コイル部及び第２コイル部の各々は、ヨークの一対のコア部及び連結部にそれぞれ分離して巻き付けられた３つのコイルによって構成することが可能である。

【0064】

また、図１７に示すように、コイル２３は、図１６に示した３つのコイル（２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃ）を足し合わせた長さを有する一連のコイル２３Ｄから構成されていてもよい。すなわち、第１コイル部及び第２コイル部の各々は、ヨークの一対のコア部及び連結部に亘って巻き付けられた一連のコイルから構成されていてもよい。

【0065】

尚、上記の図１５～１７に示した変形例では、複数の部分に跨って巻き付けられたコイル２３Ａ～２３Ｃが共通の鋼線を用いて連続して巻き付けられている例について説明した。しかし、第１、第２及び第３のコイル２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃは、それぞれ独立した鋼線を用いてヨーク２１の一対のコア部２１Ａの各々又は連結部２１Ｂに巻き付けられていてもよい。すなわち、第１、第２及び第３のコイル２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃは、駆動信号ＤＳの印加を受けた際にヨーク２１の一対の端部２１Ｃの一方がＮ極、他方がＳ極となるように巻き付けられていればよい。

【0066】

換言すれば、コイル２３は、駆動信号ＤＳの入力を受けた際に、一対の端部２１Ｃの各々が互いに逆極性となるように構成されている。

【0067】

また、上記実施例で説明した一連の処理は、例えばＲＯＭなどの記録媒体に格納されたプログラムに従ったコンピュータ処理により行うことができる。

【符号の説明】

【0068】

１００ ミラースキャナ
１０ ミラー
１０Ｓ 光反射面
１１ 支持部
１２ 可動部
１２Ａ 可動枠
１２Ｂ 可動板
１３ 永久磁石
２０ 磁気回路
２１ のヨーク
２３ コイル
２５ 駆動回路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】