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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024121554
(43)【公開日】2024-09-06
(54)【発明の名称】袋収容用具と梱包体と梱包方法
(51)【国際特許分類】
B65D 85/30 20060101AFI20240830BHJP
【ＦＩ】
B65D85/30 500
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023028712
(22)【出願日】2023-02-27
(71)【出願人】
【識別番号】000006264
【氏名又は名称】三菱マテリアル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100101465
【弁理士】
【氏名又は名称】青山 正和
(72)【発明者】
【氏名】廣瀬 和生
(72)【発明者】
【氏名】西村 和泰
【テーマコード（参考）】
3E096
【Ｆターム（参考）】
3E096AA01
3E096BA08
3E096BA16
3E096BB04
3E096CA12
3E096DA11
3E096EA02X
3E096FA03
3E096FA09
3E096GA13
(57)【要約】
【課題】異物が電極板の表面に発生することを抑えることができる袋収容用具を提供する。
【解決手段】丸い板状部材２００を袋に入れる際に用いる袋収容用具１であって、板状部材２００の周縁領域を支持するリング部を備え、リング部１０Ａの内周面は第一内壁面１１０と第二内壁面１２０とを備え、第一内壁面１１０と第二内壁面１２０との間隔がリング部１０Ａの中心軸Ｃへ向うにつれて広がっている。袋収容用具１のリング部１０Ａは複数のパーツに分割構成されている。複数のパーツを固定する固定部材をさらに備えている。袋収容用具と袋とを用いて板状部材を梱包する梱包方法では、板状部材２００の周縁領域を袋収容用具１のリング部１０Ａで支持する第一梱包工程と、板状部材の周縁領域が袋収容用具のリング部で覆われた第一梱包体に袋を被せる第二梱包工程と、を備える。
【選択図】図３
【解決手段】丸い板状部材２００を袋に入れる際に用いる袋収容用具１であって、板状部材２００の周縁領域を支持するリング部を備え、リング部１０Ａの内周面は第一内壁面１１０と第二内壁面１２０とを備え、第一内壁面１１０と第二内壁面１２０との間隔がリング部１０Ａの中心軸Ｃへ向うにつれて広がっている。袋収容用具１のリング部１０Ａは複数のパーツに分割構成されている。複数のパーツを固定する固定部材をさらに備えている。袋収容用具と袋とを用いて板状部材を梱包する梱包方法では、板状部材２００の周縁領域を袋収容用具１のリング部１０Ａで支持する第一梱包工程と、板状部材の周縁領域が袋収容用具のリング部で覆われた第一梱包体に袋を被せる第二梱包工程と、を備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
丸い板状部材を袋で梱包する際に用いる袋収容用具であって、
前記板状部材の周縁領域を支持するリング部を備え、
前記リング部の内周面は、前記板状部材の最大径からなる一方の面の第一縁が当たる第一内壁面と、前記板状部材の前記第一縁とは反対側に設けられる第二縁が当たる第二内壁面とを備え、
前記第一内壁面と前記第二内壁面との間隔が前記リング部の中心軸へ向うにつれて広がっていることを特徴とする、袋収容用具。
前記板状部材の周縁領域を支持するリング部を備え、
前記リング部の内周面は、前記板状部材の最大径からなる一方の面の第一縁が当たる第一内壁面と、前記板状部材の前記第一縁とは反対側に設けられる第二縁が当たる第二内壁面とを備え、
前記第一内壁面と前記第二内壁面との間隔が前記リング部の中心軸へ向うにつれて広がっていることを特徴とする、袋収容用具。
【請求項2】
前記リング部が複数のパーツに分割構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の袋収容用具。
【請求項3】
複数の前記パーツを固定する固定部材をさらに備えていることを特徴とする、請求項２に記載の袋収容用具。
【請求項4】
丸い板状部材と、この板状部材の周縁領域を少なくとも覆う袋収容用具と、前記板状部材及び前記袋収容用具を収容した合成樹脂製の袋と、を備え、
前記袋収容用具は、前記板状部材の前記周縁領域を支持するリング部と、このリング部に接続して設けられていて前記板状部材の一方の面の一部を袋収容用具外部に露出させる第一筒部と、を備え、
前記リング部の内周面は、間隔が前記リング部の中心軸へ向うにつれて広がった第一内壁面及び第二内壁面を備え、
前記第一内壁面には前記板状部材の最大径からなる一方の面の第一縁が当たっており、
前記第二内壁面には前記板状部材の前記第一縁とは反対側に設けられる第二縁が当たっており、
前記板状部材の前記一方の面と前記袋との間には、前記リング部と前記第一筒部とで囲われる第一空間が配置されていることを特徴とする、梱包体。
前記袋収容用具は、前記板状部材の前記周縁領域を支持するリング部と、このリング部に接続して設けられていて前記板状部材の一方の面の一部を袋収容用具外部に露出させる第一筒部と、を備え、
前記リング部の内周面は、間隔が前記リング部の中心軸へ向うにつれて広がった第一内壁面及び第二内壁面を備え、
前記第一内壁面には前記板状部材の最大径からなる一方の面の第一縁が当たっており、
前記第二内壁面には前記板状部材の前記第一縁とは反対側に設けられる第二縁が当たっており、
前記板状部材の前記一方の面と前記袋との間には、前記リング部と前記第一筒部とで囲われる第一空間が配置されていることを特徴とする、梱包体。
【請求項5】
前記袋収容用具は、前記リング部を間に配置して前記第一筒部とは反対側に設けられていて前記板状部材の他方の面の一部を袋収容用具外部に露出させる第二筒部をさらに備え、
前記板状部材の前記他方の面と前記袋との間には、前記リング部と前記第二筒部とで囲われる第二空間が配置されていることを特徴とする、請求項４に記載の梱包体。
前記板状部材の前記他方の面と前記袋との間には、前記リング部と前記第二筒部とで囲われる第二空間が配置されていることを特徴とする、請求項４に記載の梱包体。
【請求項6】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の袋収容用具と前記袋とを用いて前記板状部材を梱包する梱包方法であって、
前記袋収容用具の前記リング部で前記板状部材の前記周縁領域を支持する第一梱包工程と、
前記板状部材の前記周縁領域が前記袋収容用具の前記リング部で覆われた第一梱包体に、前記袋を被せる第二梱包工程と、を備え、
前記第一梱包工程では、前記板状部材の前記第一縁を前記第一内壁部に当てると共に、前記板状部材の前記第二縁を前記第二内壁部に当てることを特徴とする、梱包方法。
前記袋収容用具の前記リング部で前記板状部材の前記周縁領域を支持する第一梱包工程と、
前記板状部材の前記周縁領域が前記袋収容用具の前記リング部で覆われた第一梱包体に、前記袋を被せる第二梱包工程と、を備え、
前記第一梱包工程では、前記板状部材の前記第一縁を前記第一内壁部に当てると共に、前記板状部材の前記第二縁を前記第二内壁部に当てることを特徴とする、梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、高清浄度が要求されるプラズマエッチャー用の電極版や半導体向けスパッタリングターゲット等の外形が丸い板状部材を収容する袋収容用具と梱包体と梱包方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、プラズマエッチャー用の電極板が知られている。このような電極板は、鏡面加工が施された鏡面（鏡面加工面）に異物が付着した状態で使用すると不具合が生じるため、製造の際に鏡面は洗浄されて異物が除去されている。
【0003】
このように鏡面を洗浄された電極板は容器や袋を用いて梱包された状態で搬送される。
梱包の対象が異なるが半導体ウェーハ（以下、ウェーハと称す。）において、鏡面を有するウェーハの梱包に関して、特許文献１にはウェーハの梱包方法が開示されており、このウェーハの梱包方法では、複数のウェーハと超純水から作られた氷板とを交互に積層配置し容器に収容することが行われている。
また、特許文献２にはウェーハの保管方法が開示されている。ウェーハの保管方法では、単一のプラスチック容器に複数枚のウェーハを収容し、この容器を複数個、各容器の間にクッション材を介在させて箱詰めして梱包し、その箱を搬送している。
梱包の対象が異なるが半導体ウェーハ（以下、ウェーハと称す。）において、鏡面を有するウェーハの梱包に関して、特許文献１にはウェーハの梱包方法が開示されており、このウェーハの梱包方法では、複数のウェーハと超純水から作られた氷板とを交互に積層配置し容器に収容することが行われている。
また、特許文献２にはウェーハの保管方法が開示されている。ウェーハの保管方法では、単一のプラスチック容器に複数枚のウェーハを収容し、この容器を複数個、各容器の間にクッション材を介在させて箱詰めして梱包し、その箱を搬送している。
【0004】
さらに電極板の搬送等を行う際に、電極板への異物の付着を抑制するために、例えば電極板を袋に真空状態で密封することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開平４－１２８１７３号公報
【特許文献2】特開平６－２０４３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、電極板を袋で梱包しても、袋内で異物が電極板の表面に発生することを抑えることができない。電極板に限らず、プラズマ処理装置や半導体製造装置のチャンバー内に配置される外形が丸い板状部材を袋で梱包した場合にも、同様の問題が生じ得る。
【0007】
そこで、本発明は、異物が板状部材の表面に発生することを抑えることができる袋収容用具と、梱包体と、梱包方法とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、丸い板状部材を袋で梱包する際に用いる袋収容用具であって、前記板状部材の周縁領域を支持するリング部を備え、前記リング部の内周面は、前記板状部材の最大径からなる一方の面の第一縁が当たる第一内壁面と、前記板状部材の前記第一縁とは反対側に設けられる第二縁が当たる第二内壁面とを備え、前記第一内壁面と前記第二内壁面との間隔が前記リング部の中心軸へ向うにつれて広がっている。
【0009】
第一内壁面と第二内壁面とが中心軸へ向けて開拡していることで、板状部材の第一縁を第一内壁面に当て、第二縁を第二内壁面に当てて、板状部材を支持することができる。これにより板状部材がリング部の内側に固定される。
袋収容用具によれば、板状部材の最大径から成る第一縁とこれとは反対側に位置する第二縁とにだけ接触して、その他の箇所とは接触せずに、板状部材の周縁領域を覆うことができる。これにより、袋収容用具が板状部材の面を擦ることを防止する。このような擦れが起こると、板状部材の表面には異物が生じ得る。この異物は、目視でシミ、曇り、粒子状白点として確認される汚れであり、梱包に用いる袋収容用具や袋の材料である有機成分から成る。
なお、板状部材は、平面視でその輪郭が円形或いは楕円に形成されており、この輪郭を形成する板状部材の第一縁に対応して、第一内壁面もリング状に形成されている。
また、板状部材の第二縁は、第一縁とは反対に位置する他方の面の最大径の周縁に限らず、この周縁よりも板状部材の中心軸側にずらした位置に、周縁よりも厚さ方向に突き出た段差面を有する場合には、段差面の一方の面側とは反対に位置し出隅を成す縁を第二縁として、この第二縁を押さえるように第二内壁面を形成することもできる。
さらに、周縁領域は、前記板状部材の一方の面の第一縁とこれと反対に位置する第二縁とをリング部の内周面に当てるものであれば、一方の面のうち、第一縁から面の中心へ向けて広がる一部の箇所と、他方の面のうち、第二縁から中心へ向けて広がる一部の箇所と、を少なくとも含み、さらに外周面を含む。
また、他方の面に段差面を有する板状部材であれば、他方の面は、少なくとも、第二縁から面の中心へ向けて広がる一部の箇所と、段差面と、段差面の第二縁とは反対に位置して入隅を成す端から最大径の周縁までの箇所とが、一方の面の周縁領域と、外周面と共に、リング部で覆われる。
袋収容用具によれば、板状部材の最大径から成る第一縁とこれとは反対側に位置する第二縁とにだけ接触して、その他の箇所とは接触せずに、板状部材の周縁領域を覆うことができる。これにより、袋収容用具が板状部材の面を擦ることを防止する。このような擦れが起こると、板状部材の表面には異物が生じ得る。この異物は、目視でシミ、曇り、粒子状白点として確認される汚れであり、梱包に用いる袋収容用具や袋の材料である有機成分から成る。
なお、板状部材は、平面視でその輪郭が円形或いは楕円に形成されており、この輪郭を形成する板状部材の第一縁に対応して、第一内壁面もリング状に形成されている。
また、板状部材の第二縁は、第一縁とは反対に位置する他方の面の最大径の周縁に限らず、この周縁よりも板状部材の中心軸側にずらした位置に、周縁よりも厚さ方向に突き出た段差面を有する場合には、段差面の一方の面側とは反対に位置し出隅を成す縁を第二縁として、この第二縁を押さえるように第二内壁面を形成することもできる。
さらに、周縁領域は、前記板状部材の一方の面の第一縁とこれと反対に位置する第二縁とをリング部の内周面に当てるものであれば、一方の面のうち、第一縁から面の中心へ向けて広がる一部の箇所と、他方の面のうち、第二縁から中心へ向けて広がる一部の箇所と、を少なくとも含み、さらに外周面を含む。
また、他方の面に段差面を有する板状部材であれば、他方の面は、少なくとも、第二縁から面の中心へ向けて広がる一部の箇所と、段差面と、段差面の第二縁とは反対に位置して入隅を成す端から最大径の周縁までの箇所とが、一方の面の周縁領域と、外周面と共に、リング部で覆われる。
【0010】
本発明の袋収容用具は、好ましくは、前記リング部が複数のパーツに分割構成されている。
袋収容用具の前記リング部が分割構成されていることで、パーツを個々に取り扱って作業を行うことができ、梱包作業が容易になる。
袋収容用具の前記リング部が分割構成されていることで、パーツを個々に取り扱って作業を行うことができ、梱包作業が容易になる。
【0011】
本発明の袋収容用具は、好ましくは、複数の前記パーツを固定する固定部材をさらに備えている。
各パーツを固定部材で固定することで、板状部材を空間に一層安定して収容することができる。
各パーツを固定部材で固定することで、板状部材を空間に一層安定して収容することができる。
【0012】
本発明の梱包体は、丸い板状部材と、この板状部材の周縁領域を少なくとも覆う袋収容用具と、前記板状部材及び前記袋収容用具を収容した合成樹脂製の袋と、を備え、前記袋収容用具は、前記板状部材の前記周縁領域を支持するリング部と、このリング部に接続して設けられていて前記板状部材の一方の面の一部を袋収容用具外部に露出させる第一筒部と、を備え、前記リング部の内周面は、間隔が前記リング部の中心軸へ向うにつれて広がった第一内壁面及び第二内壁面を備え、前記第一内壁面には前記板状部材の最大径からなる一方の面の第一縁が当たっており、前記第二内壁面には前記板状部材の前記第一縁とは反対側に設けられる第二縁が当たっており、前記板状部材の前記一方の面と前記袋との間には、前記第一内壁面と前記第一筒部とで囲われる第一空間が配置されている。
本発明の梱包体では、袋収容用具のリング部の内側に、板状部材の最大径から成る第一縁とこれとは反対側に位置する第二縁とを接触させて収容されることで、袋収容用具が板状部材の面を擦ることを防止する。
さらに、板状部材を袋で梱包した状態で、袋収容用具によって板状部材と袋との間に第一空間を設けることで、板状部材を袋と非接触の状態で収容することができ、袋が板状部材の面を擦ることを防止する。
本発明の梱包体では、袋収容用具のリング部の内側に、板状部材の最大径から成る第一縁とこれとは反対側に位置する第二縁とを接触させて収容されることで、袋収容用具が板状部材の面を擦ることを防止する。
さらに、板状部材を袋で梱包した状態で、袋収容用具によって板状部材と袋との間に第一空間を設けることで、板状部材を袋と非接触の状態で収容することができ、袋が板状部材の面を擦ることを防止する。
【0013】
本発明の梱包体は、好ましくは、前記リング部を間に配置して前記第一筒部とは反対側に設けられていて前記板状部材の他方の面の一部を袋収容用具外部に露出させる第二筒部をさらに備え、前記板状部材の前記他方の面と前記袋との間には、前記リング部と前記第二筒部とで囲われる第二空間が配置されている。
本発明の梱包体では、袋収容用具が前記第二筒部を設けて、板状部材の他方の面を覆う箇所を省くことで梱包の際に板状部材と接することを一層抑えることができる。さらに、板状部材を袋で梱包した状態で、袋収容用具によって板状部材と袋との間に第二空間を設けることで、板状部材を袋と非接触の状態で収容することができる。
本発明の梱包体では、袋収容用具が前記第二筒部を設けて、板状部材の他方の面を覆う箇所を省くことで梱包の際に板状部材と接することを一層抑えることができる。さらに、板状部材を袋で梱包した状態で、袋収容用具によって板状部材と袋との間に第二空間を設けることで、板状部材を袋と非接触の状態で収容することができる。
【0014】
本発明は、前記袋収容用具と袋とを用いて前記板状部材を梱包する梱包方法であって、前記袋収容用具の前記リング部で前記板状部材の前記周縁領域を支持する第一梱包工程と、前記板状部材の前記周縁領域が前記袋収容用具の前記リング部で覆われた第一梱包体に前記袋を被せる第二梱包工程と、を備え、前記第一梱包工程では、前記板状部材の一方の面の第一縁を前記第一内壁部に当てると共に、前記板状部材の前記第一縁とは反対側に設けられる第二縁を前記第二内壁部に当てる。
【0015】
梱包方法によれば、袋収容用具を板状部材の第一縁とこれとは反対側に位置する第二縁とにだけ接触させ、その他の箇所とは接触せずに、板状部材の周縁領域を袋収容用具のリング部で覆う。これにより、袋収容用具が板状部材の面を擦ることを防止する。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、異物が板状部材の表面に発生することを抑え、清浄度の高い状態を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】（ａ）は本発明の第一実施形態に係る袋収容用具の平面図であり、（ｂ）は（ａ）の袋収容用具のＳ１－Ｓ１線に沿った断面図であり、（ｃ）は（ｂ）の破線の円で囲った部分を拡大した図であり、（ｄ）は（ａ）の袋収容用具を構成するパーツの平面図であり、（ｅ）は（ｄ）のパーツの正面図である。
【図2】（ａ）は本発明の第一実施形態に係る袋収容用具に収容する電極板の平面図であり、（ｂ）は（ａ）の電極板のＳ２－Ｓ２線に沿った断面図であり、（ｃ）は（ｂ）の破線の円で囲った部分を拡大した図である。
【図3】（ａ）は本発明の第一実施形態に係る袋収容用具を用いて電極板を梱包した第一梱包体の平面図であり、（ｂ）は（ａ）の第一梱包体の正面図であり、（ｃ）は（ａ）の第一梱包体のＳ３－Ｓ３線に沿った断面図であり、（ｄ）は（ｃ）の破線の円で囲った部分を拡大した図である。
【図4】（ａ）は本発明の第一実施形態に係る袋収容用具を用いて電極板を梱包した第二梱包体の平面図であり、（ｂ）は（ａ）の第二梱包体のＳ４－Ｓ４線に沿った断面図である。
【図5】（ａ）は本発明の第一実施形態の第一変形例に係る袋収容用具の平面図であり、（ｂ）は（ａ）の袋収容用具の正面図であり、（ｃ）は（ｂ）のＳ５－Ｓ５線に沿った断面図であり、（ｄ）は（ｃ）の破線の円で囲った部分を拡大した図である。
【図6】（ａ）は本発明の第一実施形態の第二変形例に係る袋収容用具の平面図であり、（ｂ）は（ａ）の袋収容用具のＳ６－Ｓ６線に沿った断面図であり、（ｃ）は（ａ）の袋収容用具のＳ７－Ｓ７線に沿った断面図である。
【図7】（ａ）は本発明の第一実施形態の第三変形例に係る袋収容用具の平面図であり、（ｂ）は（ａ）の袋収容用具の梱包方法を説明するための図であり、（ｃ）は（ａ）の袋収容用具のＳ８－Ｓ８線に沿った断面図である。
【図8】（ａ）～（ｄ）は、本発明の第一実施形態の他の変形例に係る袋収容用具の部分断面図である。
【図9】実施例の評価方法を説明するための図である。
【図10】（ａ）は実施例の試料Ａの表面を走査型電子顕微鏡画像であり、（ｂ）は実施例の試料Ｂの表面を走査型電子顕微鏡画像である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、図面を参照しながら実施形態を説明する。
（第一実施形態）
図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、袋収容用具１はリング状に形成されていて、プラズマ処理装置用の電極板２００を支持するリング部１０Ａを備えている。
リング部１０Ａは内周面１０を備えており、この内周面１０は、中心軸Ｃに向かうにつれて互いの間隔が広がる第一内壁面１１０及び第二内壁面１２０と、第一内壁面１１０と第二内壁面１２０の間に設けられる第三内壁面１３０とを有する。
第一内壁面１１０と第二内壁面１２０とは、中心軸Ｃに対して傾斜した面として形成されている。なお、図１（ｃ）では中心軸Ｃと平行に延びる仮想線Ｌ１を破線で表していて、第一内壁面１１０は角度θ１で傾斜し、第二内壁面１２０は角度θ２で傾斜している。図示例では、一定の傾きの面として形成された場合を示すが、第一内壁面１１０と第二内壁面１２０は曲面として形成することもできる。曲面は、第一内壁面１１０であれば中心軸Ｃから最も離れた位置に配置される端（後述の入隅部１１１側）から中心軸Ｃへ向かって延びていて、中心軸Ｃからの距離（ｒ１１，図１（ｂ））が漸次短くなり、さらに第一内壁面１１０よりも中心軸Ｃに沿って位置をずらして設けられた第二内壁面１２０側へ凸となる或いは凹となる曲面に形成することもできる。第二内壁面１２０も曲面の形状も、第一内壁面１１０と同様に、中心軸Ｃから最も離れた位置に配置される端（後述の入隅部１２１側）から中心軸Ｃへ向かって延びていて、中心軸Ｃとの距離（ｒ１２，図１（ｂ））が漸次短くなり、さらに第一内壁面１１０側へ凸となる或いは凹となる曲面に形成することもできる。
（第一実施形態）
図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、袋収容用具１はリング状に形成されていて、プラズマ処理装置用の電極板２００を支持するリング部１０Ａを備えている。
リング部１０Ａは内周面１０を備えており、この内周面１０は、中心軸Ｃに向かうにつれて互いの間隔が広がる第一内壁面１１０及び第二内壁面１２０と、第一内壁面１１０と第二内壁面１２０の間に設けられる第三内壁面１３０とを有する。
第一内壁面１１０と第二内壁面１２０とは、中心軸Ｃに対して傾斜した面として形成されている。なお、図１（ｃ）では中心軸Ｃと平行に延びる仮想線Ｌ１を破線で表していて、第一内壁面１１０は角度θ１で傾斜し、第二内壁面１２０は角度θ２で傾斜している。図示例では、一定の傾きの面として形成された場合を示すが、第一内壁面１１０と第二内壁面１２０は曲面として形成することもできる。曲面は、第一内壁面１１０であれば中心軸Ｃから最も離れた位置に配置される端（後述の入隅部１１１側）から中心軸Ｃへ向かって延びていて、中心軸Ｃからの距離（ｒ１１，図１（ｂ））が漸次短くなり、さらに第一内壁面１１０よりも中心軸Ｃに沿って位置をずらして設けられた第二内壁面１２０側へ凸となる或いは凹となる曲面に形成することもできる。第二内壁面１２０も曲面の形状も、第一内壁面１１０と同様に、中心軸Ｃから最も離れた位置に配置される端（後述の入隅部１２１側）から中心軸Ｃへ向かって延びていて、中心軸Ｃとの距離（ｒ１２，図１（ｂ））が漸次短くなり、さらに第一内壁面１１０側へ凸となる或いは凹となる曲面に形成することもできる。
【0019】
第三内壁面１３０は、断面形状が中心軸Ｃに平行な面として形成されているが、これに限らず、曲面として形成されてもよい。また、第三内壁面１３０と第一内壁面１１０とでなる入隅部１１１や第三内壁面１３０と第二内壁面１２０とでなる入隅部１２１を省いて、第一内壁面１１０の最大径の周縁と第二内壁面１２０の最大径の周縁とがつながるように構成してもよい。
【0020】
さらに、袋収容用具１では、リング部１０Ａの第一内壁面１１０の中心軸Ｃ寄りに配置された最小径側の端部（以下、最小径箇所と称す。）に接続して円筒状に形成された第一筒部２０と、リング部１０Ａの第二内壁面１２０の中心軸Ｃ寄りに配置された最小径の端部（以下、最小径箇所と称す。）に接続して円筒状に形成された第二筒部３０と、を有する。第一筒部２０は中心軸Ｃからの半径がｒ２であり、第二筒部３０は中心軸Ｃからの半径がｒ３であり、これらの半径ｒ２，ｒ３は同一に或いは相違するように設定することができる。第二筒部３０はリング部１０Ａを間に配置して第一筒部２０とは反対側に設けられている。
【0021】
第一筒部２０は、リング部１０Ａの第一内壁面１１０側の最小径箇所とつながって中心軸Ｃのまわりに配置される第一内側接続部２１を構成すると共に、第一外壁部４０とつながって中心軸Ｃのまわりに配置される第一外側接続部２２を構成する。第一外側接続部２２は第一内側接続部２１よりも中心軸Ｃに沿った方向に位置をずらして配置されている。第一外側接続部２２によって第一筒部２０の一方の開口（以下、第一開口４１と称す。）が第一外壁部４０に形成されている。なお、図１（ｂ）では、第一開口４１を二点鎖線で表している。
第二筒部３０は、リング部１０Ａの第二内壁面１２０側の最小径箇所とつながって中心軸Ｃのまわりに配置される第二内側接続部３１を構成すると共に、第二外壁部５０とつながって中心軸Ｃのまわりに配置される第二外側接続部３２を構成する。第二外側接続部３２は第二内側接続部３１よりも中心軸Ｃに沿った方向に位置をずらして配置されている。第二外側接続部３２によって第二筒部３０の一方の開口（以下、第二開口５１と称す。）が第二外壁部５０に形成されている。図１（ｂ）では、第二開口５１を二点鎖線で表している。
また、袋収容用具１では、第三外壁部７０が第一外壁部４０の周縁と第二外壁部５０の周縁との間に設けられて、袋収容用具１の外周面７０′を構成している。
さらに袋収容用具１では、第一筒部２０及び第二筒部３０が間に配置したリング部１０Ａと連なって、袋収容用具１の貫通穴１００を構成している。貫通穴１００のうち、リング部１０Ａで形成される箇所は、リング部１０Ａが第一筒部２０及び第二筒部３０とつながる第一内側接続部２１や第二内側接続部３１を除いて、第一筒部２０の半径ｒ２及び第二筒部３０の半径ｒ２よりも中心軸Ｃからの半径ｒ１１，ｒ１２が大きく形成されて、電極板２００を配置可能な収容空間ＳＰ′として構成されている。
第二筒部３０は、リング部１０Ａの第二内壁面１２０側の最小径箇所とつながって中心軸Ｃのまわりに配置される第二内側接続部３１を構成すると共に、第二外壁部５０とつながって中心軸Ｃのまわりに配置される第二外側接続部３２を構成する。第二外側接続部３２は第二内側接続部３１よりも中心軸Ｃに沿った方向に位置をずらして配置されている。第二外側接続部３２によって第二筒部３０の一方の開口（以下、第二開口５１と称す。）が第二外壁部５０に形成されている。図１（ｂ）では、第二開口５１を二点鎖線で表している。
また、袋収容用具１では、第三外壁部７０が第一外壁部４０の周縁と第二外壁部５０の周縁との間に設けられて、袋収容用具１の外周面７０′を構成している。
さらに袋収容用具１では、第一筒部２０及び第二筒部３０が間に配置したリング部１０Ａと連なって、袋収容用具１の貫通穴１００を構成している。貫通穴１００のうち、リング部１０Ａで形成される箇所は、リング部１０Ａが第一筒部２０及び第二筒部３０とつながる第一内側接続部２１や第二内側接続部３１を除いて、第一筒部２０の半径ｒ２及び第二筒部３０の半径ｒ２よりも中心軸Ｃからの半径ｒ１１，ｒ１２が大きく形成されて、電極板２００を配置可能な収容空間ＳＰ′として構成されている。
【0022】
袋収容用具１は、ポリプロピレン、ポリカーボネートなどの合成樹脂で構成されている。
また、袋収容用具１は、複数のパーツに分割構成され、各パーツが分離した状態ではリング部１０Ａ（内周面１０）、第一筒部２０，第二筒部３０も分割されている。図１（ａ）の袋収容用具１は、中心（中心軸Ｃ）まわりに９０度の間隔で四分割にされたパーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄからなり、パーツ１Ａを例にすると、パーツ１Ａはリング部１０Ａ（内周面１０）の一部を形成する第一部分１０Ｐと、第一筒部２０の一部を形成する第二部分２０Ｐと，第二筒部３０の一部を形成する第三部分３０Ｐと、第一外壁部４０の一部を形成する第四部分４０Ｐと、第二外壁部５０の一部を形成する第五部分５０Ｐと、第三外壁部７０の一部を形成する第六部分７０Ｐと、さらにこれらの縁に接続して袋収容用具１が分離する箇所に配置されると共に隣接するパーツと合わさる接合部６１Ｐ，６２Ｐと、を備え、パーツ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄもパーツ１Ａと同様に構成されている。また図１（ａ）はパーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが接合部６１Ｐ，６２Ｐに形成された例えば平坦な分割面６１，６２を合わせて一体になった形態を表している。なお図１（ａ）では中心（中心軸Ｃ）を●の印で表し、図１（ｃ）ではパーツ１Ａの一方の分割面６１を表している。
さらに、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが一体になった状態を保持するために、固定部材として例えばゴム製の弾性リングを用いることができる。この弾性リングを取り付けるための溝部７１が各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄの第六部分７０Ｐに形成されている。なお、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが合わさると、第六部分７０Ｐが連なり袋収容用具１の第三外壁部７０を構成し、また各溝部７１がつながった状態になり、弾性リングを入れることができる。また、このように各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが一体になった状態では、複数の第一部分１０Ｐが連なり、リング部１０Ａを構成する。
なお、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄは、好ましくは後述の図３（ｄ）に示すように内側を第一部分１０Ｐと第二部分２０Ｐと第三部分３０Ｐと第四部分４０Ｐと第五部分５０Ｐと第六部分７０Ｐと接合部６１Ｐ，６２Ｐとで画される空間とした中空に形成されている。
また、袋収容用具１は、複数のパーツに分割構成され、各パーツが分離した状態ではリング部１０Ａ（内周面１０）、第一筒部２０，第二筒部３０も分割されている。図１（ａ）の袋収容用具１は、中心（中心軸Ｃ）まわりに９０度の間隔で四分割にされたパーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄからなり、パーツ１Ａを例にすると、パーツ１Ａはリング部１０Ａ（内周面１０）の一部を形成する第一部分１０Ｐと、第一筒部２０の一部を形成する第二部分２０Ｐと，第二筒部３０の一部を形成する第三部分３０Ｐと、第一外壁部４０の一部を形成する第四部分４０Ｐと、第二外壁部５０の一部を形成する第五部分５０Ｐと、第三外壁部７０の一部を形成する第六部分７０Ｐと、さらにこれらの縁に接続して袋収容用具１が分離する箇所に配置されると共に隣接するパーツと合わさる接合部６１Ｐ，６２Ｐと、を備え、パーツ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄもパーツ１Ａと同様に構成されている。また図１（ａ）はパーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが接合部６１Ｐ，６２Ｐに形成された例えば平坦な分割面６１，６２を合わせて一体になった形態を表している。なお図１（ａ）では中心（中心軸Ｃ）を●の印で表し、図１（ｃ）ではパーツ１Ａの一方の分割面６１を表している。
さらに、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが一体になった状態を保持するために、固定部材として例えばゴム製の弾性リングを用いることができる。この弾性リングを取り付けるための溝部７１が各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄの第六部分７０Ｐに形成されている。なお、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが合わさると、第六部分７０Ｐが連なり袋収容用具１の第三外壁部７０を構成し、また各溝部７１がつながった状態になり、弾性リングを入れることができる。また、このように各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが一体になった状態では、複数の第一部分１０Ｐが連なり、リング部１０Ａを構成する。
なお、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄは、好ましくは後述の図３（ｄ）に示すように内側を第一部分１０Ｐと第二部分２０Ｐと第三部分３０Ｐと第四部分４０Ｐと第五部分５０Ｐと第六部分７０Ｐと接合部６１Ｐ，６２Ｐとで画される空間とした中空に形成されている。
【0023】
（電極板２００）
袋収容用具１の貫通穴１００に収容される電極板２００は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、薄く形成された周縁部２１０と、この周縁部２１０につながって形成されていて周縁部２１０よりも厚く形成された周縁隣接部２２０と、を備えて、円板状に形成されている。本実施形態において、丸い板状部材は例えば電極板である。
また、電極板２００では、周縁部２１０と周縁隣接部２２０とが面一の一方の面２０１を構成し、さらに周縁部２１０と周縁隣接部２２０とで他方の面２０２を構成する。他方の面２０２では、周縁部２１０と周縁隣接部２２０とが段差部２３０を構成している。
ここで、他方の面２０２の段差部２３０は、図２（ｃ）に示すように、他方の面２０２のうち、周縁部２１０に配置される第一ステップ面２０２Ａ、第一ステップ面２０２Ａの中心軸Ｃ′側の端から立ち上がるように延びた段差面２０２Ｂ、周縁隣接部２２０に配置されていて段差面２０２Ｂを介して第一ステップ面２０２Ａにつながっている第二ステップ面２０２Ｃと、から構成されている。図２（ｃ）では周縁部２１０と周縁隣接部２２０の境界を一点鎖線で表している。
なお、電極板２００は、単結晶シリコン、柱状晶シリコン、又は多結晶シリコンからなり、また細部の構成の表示は省略するが、エッチングガスが流れる複数のガス流路が中心軸に沿って電極板２００を貫通している。これらのガス流路を設ける箇所が、周縁部と同様に、周縁隣接部２２０よりも薄い箇所として形成されてもよい。
袋収容用具１の貫通穴１００に収容される電極板２００は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、薄く形成された周縁部２１０と、この周縁部２１０につながって形成されていて周縁部２１０よりも厚く形成された周縁隣接部２２０と、を備えて、円板状に形成されている。本実施形態において、丸い板状部材は例えば電極板である。
また、電極板２００では、周縁部２１０と周縁隣接部２２０とが面一の一方の面２０１を構成し、さらに周縁部２１０と周縁隣接部２２０とで他方の面２０２を構成する。他方の面２０２では、周縁部２１０と周縁隣接部２２０とが段差部２３０を構成している。
ここで、他方の面２０２の段差部２３０は、図２（ｃ）に示すように、他方の面２０２のうち、周縁部２１０に配置される第一ステップ面２０２Ａ、第一ステップ面２０２Ａの中心軸Ｃ′側の端から立ち上がるように延びた段差面２０２Ｂ、周縁隣接部２２０に配置されていて段差面２０２Ｂを介して第一ステップ面２０２Ａにつながっている第二ステップ面２０２Ｃと、から構成されている。図２（ｃ）では周縁部２１０と周縁隣接部２２０の境界を一点鎖線で表している。
なお、電極板２００は、単結晶シリコン、柱状晶シリコン、又は多結晶シリコンからなり、また細部の構成の表示は省略するが、エッチングガスが流れる複数のガス流路が中心軸に沿って電極板２００を貫通している。これらのガス流路を設ける箇所が、周縁部と同様に、周縁隣接部２２０よりも薄い箇所として形成されてもよい。
【0024】
また、電極板２００の周縁部２１０では、一方の面２０１と外周面２１１とが最大径から成る第一角部Ｅ１を構成し、他方の面２０２の第一ステップ面２０２Ａと周縁部２１０の外周面２１１とが第二角部Ｅ２を構成し、さらに、他方の面２０２の段差面２０２Ｂと第二ステップ面２０２Ｃとが第三角部Ｅ３を構成している。
ここで、図２（ｃ）の電極板２００の断面図において、第二角部Ｅ２と第三角部Ｅ３とを通る仮想の直線（以下、仮想線Ｌ２と称す。）を想定すると、この仮想線Ｌ２の仮想線Ｌ３（中心軸Ｃ′に平行な線）に対する傾きθ３と、第二内壁面１２０の傾きθ２とを比べると、第二内壁面１２０の傾きθ２が仮想線Ｌ３の傾きθ３よりも小さく（θ２＜θ３）設定されている。
また、電極板２００の表面は少なくとも一部が、鏡面加工を施して形成されており、例えば一方の面２０１と、この面２０１とは反対に位置する第一ステップ面２０２Ａとは粗さＲａが０．２μｍ以下に形成されていて、電極板２００は鏡面加工体として構成されている。なお、前記のガス流路は鏡面加工された面に配置されている。
ここで、図２（ｃ）の電極板２００の断面図において、第二角部Ｅ２と第三角部Ｅ３とを通る仮想の直線（以下、仮想線Ｌ２と称す。）を想定すると、この仮想線Ｌ２の仮想線Ｌ３（中心軸Ｃ′に平行な線）に対する傾きθ３と、第二内壁面１２０の傾きθ２とを比べると、第二内壁面１２０の傾きθ２が仮想線Ｌ３の傾きθ３よりも小さく（θ２＜θ３）設定されている。
また、電極板２００の表面は少なくとも一部が、鏡面加工を施して形成されており、例えば一方の面２０１と、この面２０１とは反対に位置する第一ステップ面２０２Ａとは粗さＲａが０．２μｍ以下に形成されていて、電極板２００は鏡面加工体として構成されている。なお、前記のガス流路は鏡面加工された面に配置されている。
【0025】
（梱包方法）
電極板２００の梱包方法は、袋収容用具１のリング部１０Ａで電極板２００の周縁領域を支持する第一梱包工程と、第一梱包工程を経て袋収容用具１で電極板２００の周縁領域を支持した状態の電極板２００及び袋収容用具１、つまり第一梱包体を袋で梱包する第二梱包工程と、を備えている。
電極板２００の梱包方法は、袋収容用具１のリング部１０Ａで電極板２００の周縁領域を支持する第一梱包工程と、第一梱包工程を経て袋収容用具１で電極板２００の周縁領域を支持した状態の電極板２００及び袋収容用具１、つまり第一梱包体を袋で梱包する第二梱包工程と、を備えている。
【0026】
（第一梱包工程）
第一梱包工程では、図３（ａ）に示すように、袋収容用具１の各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄで電極板２００の周縁領域としての周縁部２１０と周縁隣接部２２０の一部とを覆うと共に、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄの分割面６１，６２を合わせる。なお、図３（ａ）では、電極板２００の周縁部２１０の外周面２１１と段差面２０２Ｂを一点鎖線で表している。
また、第一梱包工程では、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが合わさった状態で図３（ｂ）に示すように、袋収容用具１の外周面（第三外壁部７０）に設けられた溝部７１に弾性リング８１（本実施形態の固定部材）を伸ばして入れることで、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄを固定する。これにより、電極板２００を袋収容用具１のリング部１０Ａで周縁領域を支持した状態が保持され、袋収容用具１で電極板２００の周縁領域を覆った第一梱包体３００が完成する。
第一梱包体３００では、図３（ｃ）及び（ｄ）に示すように、電極板２００は、最大径から成る第一角部Ｅ１（本実施形態の第一縁）を袋収容用具１の第一内壁面１１０に当てると共に、第三角部Ｅ３（本実施形態の第二縁）を袋収容用具１の第二内壁面１２０に当てて、固定され、収容空間ＳＰ′に収容される。袋収容用具１は、電極板２００が配置される収容空間ＳＰ′
また、第一梱包体３００では、電極板２００の一方の面２０１の一部が、具体的にはリング部１０Ａで覆われていない周縁領域より内側の非被覆箇所が、第一筒部２０を介して袋収容用具外部に露出する。これと同様に、電極板２００の他方の面２０２の一部（周縁領域より内側の非被覆箇所）が第二筒部３０を介して袋収容用具外部に露出する。
なお、電極板２００は袋収容用具１に接触して周縁領域を覆われる前に、電極板２００の洗浄として、エアブローなどで電極板２００の表面に付着した異物の除去を行うことが望ましい。
第一梱包工程では、図３（ａ）に示すように、袋収容用具１の各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄで電極板２００の周縁領域としての周縁部２１０と周縁隣接部２２０の一部とを覆うと共に、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄの分割面６１，６２を合わせる。なお、図３（ａ）では、電極板２００の周縁部２１０の外周面２１１と段差面２０２Ｂを一点鎖線で表している。
また、第一梱包工程では、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが合わさった状態で図３（ｂ）に示すように、袋収容用具１の外周面（第三外壁部７０）に設けられた溝部７１に弾性リング８１（本実施形態の固定部材）を伸ばして入れることで、各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄを固定する。これにより、電極板２００を袋収容用具１のリング部１０Ａで周縁領域を支持した状態が保持され、袋収容用具１で電極板２００の周縁領域を覆った第一梱包体３００が完成する。
第一梱包体３００では、図３（ｃ）及び（ｄ）に示すように、電極板２００は、最大径から成る第一角部Ｅ１（本実施形態の第一縁）を袋収容用具１の第一内壁面１１０に当てると共に、第三角部Ｅ３（本実施形態の第二縁）を袋収容用具１の第二内壁面１２０に当てて、固定され、収容空間ＳＰ′に収容される。袋収容用具１は、電極板２００が配置される収容空間ＳＰ′
また、第一梱包体３００では、電極板２００の一方の面２０１の一部が、具体的にはリング部１０Ａで覆われていない周縁領域より内側の非被覆箇所が、第一筒部２０を介して袋収容用具外部に露出する。これと同様に、電極板２００の他方の面２０２の一部（周縁領域より内側の非被覆箇所）が第二筒部３０を介して袋収容用具外部に露出する。
なお、電極板２００は袋収容用具１に接触して周縁領域を覆われる前に、電極板２００の洗浄として、エアブローなどで電極板２００の表面に付着した異物の除去を行うことが望ましい。
【0027】
（第二梱包工程）
第二梱包工程では、ポリエチレンなどの合成樹脂からなる袋４００に第一梱包体３００を入れた後に、袋４００の内部のエアを真空引きなどで除き、封をすることで、図４（ａ）に示す梱包製品としての第二梱包体５００が完成する。袋４００の内面に付着している付着物の数は、例えば１０００個／ｃｍ２以下であり、好ましくは１００個／ｃｍ２以下であり、より好ましくは１０個／ｃｍ２以下である。ここで、付着物は袋加工時の残渣や切断片、気中のパーティクルなどである。
なお、図４（ｂ）に示すように、袋４００は、袋収容用具１を覆うと共に、第一開口４１に対応して設けられる一部が第一開口閉塞部４１０として第一筒部２０の第一開口４１を塞ぎ、さらに第二開口５１に対応して設けられる袋４００の他の一部が第二開口閉塞部４２０として第二筒部３０の第二開口５１を塞いでいる。このように梱包した状態で、第一梱包体の電極板２００で露出した箇所も袋４００で覆われるが、電極板２００の一方の面２０１と、第一筒部２０の外側の第一開口４１を塞ぐ第一開口閉塞部４１０との間には、第一内壁面１１０（リング部１０Ａ）と第一筒部２０とで囲われる第一空間ＳＰ１が配置されて、電極板２００の一方の面２０１が袋４００（第一開口閉塞部４１０）と離れている。さらに、電極板２００の一方の面２０１とは反対側においても、電極板２００の他方の面２０２と、第二筒部３０の外側の第二開口５１を塞ぐ第二開口閉塞部４２０との間には、第二内壁面１２０（リング部１０Ａ）と第二筒部３０とで囲われる第二空間ＳＰ２が配置されて、電極板２００の他方の面２０２が袋４００（第二開口閉塞部４２０）と離れている。
図４（ｂ）では、第一開口４１と第に開口５１を二点鎖線で表し、また図４（ｂ）にはパーツ１Ａの分割面６１とパーツ１Ｂの分割面６２が表れている。
第二梱包工程では、ポリエチレンなどの合成樹脂からなる袋４００に第一梱包体３００を入れた後に、袋４００の内部のエアを真空引きなどで除き、封をすることで、図４（ａ）に示す梱包製品としての第二梱包体５００が完成する。袋４００の内面に付着している付着物の数は、例えば１０００個／ｃｍ２以下であり、好ましくは１００個／ｃｍ２以下であり、より好ましくは１０個／ｃｍ２以下である。ここで、付着物は袋加工時の残渣や切断片、気中のパーティクルなどである。
なお、図４（ｂ）に示すように、袋４００は、袋収容用具１を覆うと共に、第一開口４１に対応して設けられる一部が第一開口閉塞部４１０として第一筒部２０の第一開口４１を塞ぎ、さらに第二開口５１に対応して設けられる袋４００の他の一部が第二開口閉塞部４２０として第二筒部３０の第二開口５１を塞いでいる。このように梱包した状態で、第一梱包体の電極板２００で露出した箇所も袋４００で覆われるが、電極板２００の一方の面２０１と、第一筒部２０の外側の第一開口４１を塞ぐ第一開口閉塞部４１０との間には、第一内壁面１１０（リング部１０Ａ）と第一筒部２０とで囲われる第一空間ＳＰ１が配置されて、電極板２００の一方の面２０１が袋４００（第一開口閉塞部４１０）と離れている。さらに、電極板２００の一方の面２０１とは反対側においても、電極板２００の他方の面２０２と、第二筒部３０の外側の第二開口５１を塞ぐ第二開口閉塞部４２０との間には、第二内壁面１２０（リング部１０Ａ）と第二筒部３０とで囲われる第二空間ＳＰ２が配置されて、電極板２００の他方の面２０２が袋４００（第二開口閉塞部４２０）と離れている。
図４（ｂ）では、第一開口４１と第に開口５１を二点鎖線で表し、また図４（ｂ）にはパーツ１Ａの分割面６１とパーツ１Ｂの分割面６２が表れている。
【0028】
また、梱包製品（第二梱包体５００）の開梱は、先ず、平面視で袋４００の矩形を成す四つの縁部４０１，４０２，４０３，４０４のうち、一つを残して、三つを切除などして、袋４００を開ける。次に、第一梱包体３００の弾性リング８１を各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄから取り外し、さらに各パーツ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄを電極板２００から取り外す。このように梱包製品（第二梱包体５００）から電極板２００を容易に取り出すことができる。
【0029】
第一実施形態の袋収容用具１によれば、第一内壁面１１０で電極板２００の第一角部Ｅ１を押さえ、第二内壁面１２０で電極板２００の第三角部Ｅ３を押さえて、電極板２００を梱包する。電極板２００が袋収容用具１で梱包された状態で、袋収容用具１は電極板２００の第一角部Ｅ１とこれとは反対側に位置する第三角部Ｅ３とにだけ接触して、その他の箇所とは接触せずに、電極板２００を袋収容用具１の貫通穴１００の中で一定の位置に保持することができる。また袋収容用具１が電極板２００の面２０１、第一ステップ面２０２Ａ，段差面２０２Ｂ及び第二ステップ面２０２Ｃを擦ることも防止できる。
【0030】
袋収容用具１を用いずに、電極板２００を合成樹脂製の袋で直に覆う従来の梱包方法では、電極板２００に密着している袋が外部の環境の温度変化によって膨張などすると、電極板２００の表面が袋で擦れて、袋の一部（有機成分）が分離して異物として電極板２００の表面に付着することになる。このような異物が電極板に存在すると、プラズマ処理装置で使用した際にパーティクルの発生の原因となってしまう。
【0031】
このような従来の梱包方法と比べて、本実施形態では、前記のように、袋収容用具１の電極板２００との接触が第一角部Ｅ１及び第三角部Ｅ３に限られており、鏡面加工を施している一方の面２０１に対して、第一内壁面１１０を合わせずに第一角部Ｅ１を第一内壁面１１０に当て、さらに電極板の反対側でも鏡面加工を施している第二ステップ面２０２Ｃに対して、第二内壁面１２０を合わせずに第三角部Ｅ３を第二内壁面１２０に当てて、鏡面加工が施された面２０１及び第二ステップ面２０２Ｃに実質触れずに電極板２００を袋収容用具１の貫通穴１００に収容することができる。また、第二梱包体５００は袋収容用具１と袋４００との間に第一空間ＳＰ１及び第二空間ＳＰ２を備え、袋収容用具１を用いることで、電極板２００は袋４００と非接触に収容することができる。
【0032】
電極板２００の鏡面加工された面２０１及び第二ステップ面２０２Ｃと袋収容用具１の面や袋４００が成す面との擦れの発生を抑えることができ、梱包に用いる袋収容用具１や袋４００の材料（有機成分）が異物として電極板２００の鏡面加工された面２０１及び第二ステップ面２０２Ｃ等に分離して付着することを防止することができる。また、袋収容用具１を用いて梱包された電極板２００を用いれば、プラズマ処理を好適に行うことができる。
【0033】
（第一変形例）
図５（ａ）及び（ｂ）に示す第一変形例のリング状の袋収容用具２は、第一実施形態の袋収容用具１と比べると、リング状態の形態の分割構造が異なり、袋収容用具２は、電極板２００の一方の面２０１を覆う第一パーツ２Ａと、他方の面２０２を覆う第二パーツ２Ｂと、これらが分割面６３，６４を合わせて一体になった状態を保持する鎹８２（本実施形態の固定部材）と、備えている。
図５（ｃ）及び（ｄ）に示すように、第一パーツ２Ａは第一内壁面１１０と第一筒部２０と分割面６３とを備え、第二パーツ２Ｂは第二内壁面１２０と第二筒部３０と分割面６４とを備えており、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとは分割面６３，６４を合わせて一体になった状態で、これらは協働して電極板２００を支持するためのリング部１０Ａ（内周面１０）を構成する。以下、第一実施形態の袋収容用具１の構成と同じ構成には同じ符号を用いて説明し、また図面に表し、それらの詳細な説明は省略する。
袋収容用具２では、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとは分割面６３，６４を合わせて一体になった状態で、鎹８２の折れ曲がった先端部８２Ａ，８２Ｂが嵌る受部７２Ａ，７２Ｂを第三外壁部７０に有する。図５（ｄ）は、鎹８２が受部７２Ａ，７２Ｂから外れている状態を表している。
図示例の袋収容用具２では、四本の鎹８２を第三外壁部７０に取り付けて、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとを接合させている。なお、鎹８２の数は図示例の四本に限られるものではなない。また、受部７２Ａ，７２Ｂは凹部として、或いは貫通した穴として形成することができる。第一パーツ２Ａの受部７２Ａと第二パーツ２Ｂの受部７２Ｂとは、平面視で中心（中心軸Ｃ）まわりに同じ角度の位置に配置されている。
図５（ａ）及び（ｂ）に示す第一変形例のリング状の袋収容用具２は、第一実施形態の袋収容用具１と比べると、リング状態の形態の分割構造が異なり、袋収容用具２は、電極板２００の一方の面２０１を覆う第一パーツ２Ａと、他方の面２０２を覆う第二パーツ２Ｂと、これらが分割面６３，６４を合わせて一体になった状態を保持する鎹８２（本実施形態の固定部材）と、備えている。
図５（ｃ）及び（ｄ）に示すように、第一パーツ２Ａは第一内壁面１１０と第一筒部２０と分割面６３とを備え、第二パーツ２Ｂは第二内壁面１２０と第二筒部３０と分割面６４とを備えており、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとは分割面６３，６４を合わせて一体になった状態で、これらは協働して電極板２００を支持するためのリング部１０Ａ（内周面１０）を構成する。以下、第一実施形態の袋収容用具１の構成と同じ構成には同じ符号を用いて説明し、また図面に表し、それらの詳細な説明は省略する。
袋収容用具２では、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとは分割面６３，６４を合わせて一体になった状態で、鎹８２の折れ曲がった先端部８２Ａ，８２Ｂが嵌る受部７２Ａ，７２Ｂを第三外壁部７０に有する。図５（ｄ）は、鎹８２が受部７２Ａ，７２Ｂから外れている状態を表している。
図示例の袋収容用具２では、四本の鎹８２を第三外壁部７０に取り付けて、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとを接合させている。なお、鎹８２の数は図示例の四本に限られるものではなない。また、受部７２Ａ，７２Ｂは凹部として、或いは貫通した穴として形成することができる。第一パーツ２Ａの受部７２Ａと第二パーツ２Ｂの受部７２Ｂとは、平面視で中心（中心軸Ｃ）まわりに同じ角度の位置に配置されている。
【0034】
袋収容用具２を用いた電極板２００の梱包は、例えば、先ず第一パーツ２Ａを作業テーブルに置き、その際、第一内壁面１１０を上にする。そして、この第一内壁面１１０に電極板２００を載せる。電極板２００は第一角部Ｅ１を第一内壁面１１０に当てて、鏡面処理された一方の面２０１を第一内壁面１１０とは実質非接触に配置する。さらに電極板２００の段差部２３０とその周辺とが第二パーツ２Ｂで覆われ、さらに第二パーツ２Ｂはその第二内壁面１２０を電極板２００の第三角部Ｅ３に当てて、第二内壁面１２０を鏡面処理された電極板２００の第二ステップ面２０２Ｃとは実質非接触に配置する。また、第一パーツ２Ａの分割面６３と第二パーツ２Ｂの分割面６４とを合わせる。
さらに第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとが一体に合わさった状態で、鎹８２をその先端部８２Ａ，８２Ｂを第三外壁部７０の受部７２Ａ，７２Ｂに嵌めて、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとを固定する。
これにより、電極板２００を空間Ｓ１に収容した第一梱包体が完成する。この第一梱包体を、第一実施形態と同様に袋４００に収容することで（第二梱包工程）、梱包製品としての第二梱包体が完成する。
さらに第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとが一体に合わさった状態で、鎹８２をその先端部８２Ａ，８２Ｂを第三外壁部７０の受部７２Ａ，７２Ｂに嵌めて、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとを固定する。
これにより、電極板２００を空間Ｓ１に収容した第一梱包体が完成する。この第一梱包体を、第一実施形態と同様に袋４００に収容することで（第二梱包工程）、梱包製品としての第二梱包体が完成する。
【0035】
このように、鎹８２で第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂとを一体に合わさった状態を保持することができ、第一パーツ２Ａと第二パーツ２Ｂが電極板２００から外れることを防止し、電極板２００を袋収容用具１の貫通穴１００に安定して収容することができる。また、第二梱包体は袋収容用具２と袋４００との間に第一空間ＳＰ１及び第二空間ＳＰ２を備え、袋収容用具２を用いることで、電極板２００は袋４００と非接触に収容することができる。
また、第一変形例の袋収容用具２も、第一実施形態の袋収容用具１と同様に、異物が電極板２００に付着することを防止することができる。これにより、電極板２００を用いたプラズマ処理を好適に行うことができる。
また、第一変形例の袋収容用具２も、第一実施形態の袋収容用具１と同様に、異物が電極板２００に付着することを防止することができる。これにより、電極板２００を用いたプラズマ処理を好適に行うことができる。
【0036】
（第二変形例）
図６（ａ）に示す第二変形例のリング状の袋収容用具３は、第一実施形態の袋収容用具１と比べると、リング状態の形態の分割構造が異なり、袋収容用具３は平面視で中心（中心軸Ｃ）まわりに二分割されており、第一角度の範囲を構成する第一パーツ３Ａと、第二角度の範囲を構成する第二パーツ３Ｂと、これらが一体に合わさった状態を保持する第一鎹８３及び第二鎹８４（本実施形態の固定部材）と、備えている。例えば第一角度と第二角度は１８０度に設定されているが、角度は限定されるものではない。
図６（ａ）に示すように、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとは分割面６５，６６を合わせて一体になった状態で、これらは協働して電極板２００を固定するためのリング部１０Ａ（内周面１０）を構成する。以下、第一実施形態の袋収容用具１等の構成と同じ構成には同じ符号を用いて説明し、また図面に表し、それらの詳細な説明は省略する。また、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとは、第一実施形態のパーツ１Ａと比べると、中心（中心軸Ｃ）まわりの角度に対応した寸法が相違するが、構成はパーツ１Ａと同様である。
袋収容用具３では、図６（ｂ）に示すように、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとは分割面６５，６６を合わせて一体になった状態で、第一鎹８３の折れ曲がった一方の先端部８３Ａが嵌る受部４２Ａを第一パーツ３Ａの第一外壁部４０に有し、他方の先端部８３Ｂが嵌る受部４２Ｂを第二パーツ３Ｂの第一外壁部４０に有し、さらに、第二鎹８４の折れ曲がった一方の先端部８４Ａが嵌る受部５２Ａを第一パーツ３Ａの第二外壁部５０に有し、第二鎹８４の他方の折れ曲がった先端部８４Ｂが嵌る受部５２Ｂを第二パーツ３Ｂの第二外壁部５０に有する。図６（ｂ）は、第一鎹８３及び第二鎹８４が受部４２Ａ，４２Ｂ，５２Ａ，５２Ｂから外れている状態を表している。
第一鎹８３は、第一パーツ３Ａの第一外壁部４０と第二パーツ３Ｂの第一外壁部４０とに架け渡して配置され、第二鎹８４は、第一パーツ３Ａの第二外壁部５０と第二パーツ３Ｂの第二外壁部５０とに架け渡して配置される。
図示例の袋収容用具３では、第一外壁部４０側に二本の第一鎹８３を取り付け、第二外壁部５０側に二本の第二鎹８４を取り付けているが、第一鎹８３と第二鎹８４の数は図示例に限られるものではなく、また第一鎹８３の数と第二鎹８４の数とは相違してもよく、さらに第一鎹８３及び第二鎹８４の一方を省いて構成することもできる。
また、受部４２Ａ，４２Ｂ，５２Ａ，５２Ｂは凹部として、或いは貫通した穴として形成することができる。
図６（ａ）に示す第二変形例のリング状の袋収容用具３は、第一実施形態の袋収容用具１と比べると、リング状態の形態の分割構造が異なり、袋収容用具３は平面視で中心（中心軸Ｃ）まわりに二分割されており、第一角度の範囲を構成する第一パーツ３Ａと、第二角度の範囲を構成する第二パーツ３Ｂと、これらが一体に合わさった状態を保持する第一鎹８３及び第二鎹８４（本実施形態の固定部材）と、備えている。例えば第一角度と第二角度は１８０度に設定されているが、角度は限定されるものではない。
図６（ａ）に示すように、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとは分割面６５，６６を合わせて一体になった状態で、これらは協働して電極板２００を固定するためのリング部１０Ａ（内周面１０）を構成する。以下、第一実施形態の袋収容用具１等の構成と同じ構成には同じ符号を用いて説明し、また図面に表し、それらの詳細な説明は省略する。また、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとは、第一実施形態のパーツ１Ａと比べると、中心（中心軸Ｃ）まわりの角度に対応した寸法が相違するが、構成はパーツ１Ａと同様である。
袋収容用具３では、図６（ｂ）に示すように、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとは分割面６５，６６を合わせて一体になった状態で、第一鎹８３の折れ曲がった一方の先端部８３Ａが嵌る受部４２Ａを第一パーツ３Ａの第一外壁部４０に有し、他方の先端部８３Ｂが嵌る受部４２Ｂを第二パーツ３Ｂの第一外壁部４０に有し、さらに、第二鎹８４の折れ曲がった一方の先端部８４Ａが嵌る受部５２Ａを第一パーツ３Ａの第二外壁部５０に有し、第二鎹８４の他方の折れ曲がった先端部８４Ｂが嵌る受部５２Ｂを第二パーツ３Ｂの第二外壁部５０に有する。図６（ｂ）は、第一鎹８３及び第二鎹８４が受部４２Ａ，４２Ｂ，５２Ａ，５２Ｂから外れている状態を表している。
第一鎹８３は、第一パーツ３Ａの第一外壁部４０と第二パーツ３Ｂの第一外壁部４０とに架け渡して配置され、第二鎹８４は、第一パーツ３Ａの第二外壁部５０と第二パーツ３Ｂの第二外壁部５０とに架け渡して配置される。
図示例の袋収容用具３では、第一外壁部４０側に二本の第一鎹８３を取り付け、第二外壁部５０側に二本の第二鎹８４を取り付けているが、第一鎹８３と第二鎹８４の数は図示例に限られるものではなく、また第一鎹８３の数と第二鎹８４の数とは相違してもよく、さらに第一鎹８３及び第二鎹８４の一方を省いて構成することもできる。
また、受部４２Ａ，４２Ｂ，５２Ａ，５２Ｂは凹部として、或いは貫通した穴として形成することができる。
【0037】
袋収容用具３を用いた電極板２００の梱包は、例えば、先ず第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとで電極板２００の周縁部２１０と周縁隣接部２２０の一部を覆うと共に、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂの分割面６５，６６を合わせて、袋収容用具３の貫通穴１００に電極板２００を収容する。
電極板２００は第一角部Ｅ１を第一内壁面１１０に当てて、鏡面処理された一方の面２０１を第一内壁面１１０とは実質非接触に配置する。また電極板２００は反対側の第三角部Ｅ３を第二内壁面１２０に当てて、鏡面処理された第二ステップ面２０２Ｃを第二内壁面１２０とは実質非接触に配置する。これにより、電極板２００がリング部１０Ａで支持され、貫通穴１００の一定の位置に保持される。
このように、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとが一体に合わさった状態で、第一鎹８３を第一パーツ３Ａ及び第二パーツ３Ｂの第一外壁部４０に形成された受部４２Ａ，４２Ｂに嵌め、さらに第二鎹８４を第一パーツ３Ａ及び第二パーツ３Ｂの第二外壁部５０に形成された受部５２Ａ，５２Ｂに嵌めて、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとを固定する。
これにより、電極板２００を空間Ｓ１に収容した第一梱包体が完成する。この第一梱包体を、第一実施形態と同様に袋４００に収容する（第二梱包工程）。
第二梱包工程では、ポリエチレンなどの合成樹脂からなる袋４００に第一梱包体を入れた後に、袋４００の内部のエアを真空引きなどで除き、封をすることで、図６（Ｃ）に示す梱包製品としての第二梱包体５００′が完成する。
第二変形例の袋収容用具３と袋４００とを用いて電極板２００を梱包した第二梱包体５００′では、第一開口部４１に対応して設けられる袋４００の一部が第一開口カバー部４１０′として第一鎹８３によって第一筒部２０の第一開口４１から離間して配置され、第一開口部４１に対応して設けられる袋４００の他の一部が第二開口カバー部４２０′として第二鎹８４によって第二筒部３０の第二開口５１から離間して配置されて、第一梱包体の電極板２００で露出した箇所も袋４００で覆われる。第一鎹８３や第二鎹８４を備えた袋収容用具３を用いて梱包した第二梱包体５００′においても、電極板２００の一方の面２０１と第一開口カバー部４１０′との間には、第一内壁面１１０と第一筒部２０とで囲われる第一空間ＳＰ１が配置されて、電極板２００の一方の面２０１が袋４００（第一開口カバー部４１０′）と離れている。
さらに、電極板２００の一方の面２０１とは反対側においても、電極板２００の他方の面２０２と、第二開口カバー部４２０′との間には、第二内壁面１２０と第二筒部３０とで囲われる第二空間ＳＰ２が配置されて、電極板２００の他方の面２０２が袋４００（第二開口カバー部４２０′）と離れている。図６（ｃ）では、第一開口４１と第に開口５１を二点鎖線で表している。
なお、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとを固定する固定部材としては、第一鎹８３及び第二鎹８４に代えて、例えば外周面に溝部を設けて、弾性リングを溝部に装着してもよい。
電極板２００は第一角部Ｅ１を第一内壁面１１０に当てて、鏡面処理された一方の面２０１を第一内壁面１１０とは実質非接触に配置する。また電極板２００は反対側の第三角部Ｅ３を第二内壁面１２０に当てて、鏡面処理された第二ステップ面２０２Ｃを第二内壁面１２０とは実質非接触に配置する。これにより、電極板２００がリング部１０Ａで支持され、貫通穴１００の一定の位置に保持される。
このように、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとが一体に合わさった状態で、第一鎹８３を第一パーツ３Ａ及び第二パーツ３Ｂの第一外壁部４０に形成された受部４２Ａ，４２Ｂに嵌め、さらに第二鎹８４を第一パーツ３Ａ及び第二パーツ３Ｂの第二外壁部５０に形成された受部５２Ａ，５２Ｂに嵌めて、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとを固定する。
これにより、電極板２００を空間Ｓ１に収容した第一梱包体が完成する。この第一梱包体を、第一実施形態と同様に袋４００に収容する（第二梱包工程）。
第二梱包工程では、ポリエチレンなどの合成樹脂からなる袋４００に第一梱包体を入れた後に、袋４００の内部のエアを真空引きなどで除き、封をすることで、図６（Ｃ）に示す梱包製品としての第二梱包体５００′が完成する。
第二変形例の袋収容用具３と袋４００とを用いて電極板２００を梱包した第二梱包体５００′では、第一開口部４１に対応して設けられる袋４００の一部が第一開口カバー部４１０′として第一鎹８３によって第一筒部２０の第一開口４１から離間して配置され、第一開口部４１に対応して設けられる袋４００の他の一部が第二開口カバー部４２０′として第二鎹８４によって第二筒部３０の第二開口５１から離間して配置されて、第一梱包体の電極板２００で露出した箇所も袋４００で覆われる。第一鎹８３や第二鎹８４を備えた袋収容用具３を用いて梱包した第二梱包体５００′においても、電極板２００の一方の面２０１と第一開口カバー部４１０′との間には、第一内壁面１１０と第一筒部２０とで囲われる第一空間ＳＰ１が配置されて、電極板２００の一方の面２０１が袋４００（第一開口カバー部４１０′）と離れている。
さらに、電極板２００の一方の面２０１とは反対側においても、電極板２００の他方の面２０２と、第二開口カバー部４２０′との間には、第二内壁面１２０と第二筒部３０とで囲われる第二空間ＳＰ２が配置されて、電極板２００の他方の面２０２が袋４００（第二開口カバー部４２０′）と離れている。図６（ｃ）では、第一開口４１と第に開口５１を二点鎖線で表している。
なお、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとを固定する固定部材としては、第一鎹８３及び第二鎹８４に代えて、例えば外周面に溝部を設けて、弾性リングを溝部に装着してもよい。
【0038】
このように、第一鎹８３と第二鎹８４とで第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂとを一体に合わさった状態を保持することができる。これにより、第一パーツ３Ａと第二パーツ３Ｂが電極板２００から外れることを防止し、電極板２００を袋収容用具３の貫通穴１００に一層安定して収容することができる。
また、第二変形例の袋収容用具３も、第一実施形態の袋収容用具１と同様に、異物が電極板２００に付着することを防止することができる。これにより、電極板２００を用いたプラズマ処理を好適に行うことができる。
さらに、図６（ｃ）に示すように、第一鎹８３が第一外壁部４０に架け渡されて第一筒部２０の第一開口４１の上に配置され、第二鎹８４が第二外壁部５０に架け渡されて第二筒部３０の第二開口５１の上に配置されることで、袋４００が第一筒部２０や第二筒部３０に入り込むことを抑え、袋４００が電極板２００に接触することを一層防止することができる。なお図６（ｃ）では、第一パーツ３Ａの分割面６５，６６が表れている。
また、第二変形例の袋収容用具３も、第一実施形態の袋収容用具１と同様に、異物が電極板２００に付着することを防止することができる。これにより、電極板２００を用いたプラズマ処理を好適に行うことができる。
さらに、図６（ｃ）に示すように、第一鎹８３が第一外壁部４０に架け渡されて第一筒部２０の第一開口４１の上に配置され、第二鎹８４が第二外壁部５０に架け渡されて第二筒部３０の第二開口５１の上に配置されることで、袋４００が第一筒部２０や第二筒部３０に入り込むことを抑え、袋４００が電極板２００に接触することを一層防止することができる。なお図６（ｃ）では、第一パーツ３Ａの分割面６５，６６が表れている。
【0039】
（第三変形例）
図７（ａ）に示す第三変形例のリング状の袋収容用具４は、第二変形例のリング状の袋収容用具３と同様に、平面視で中心（中心軸Ｃ）まわりに二分割されており、第一角度の範囲を構成する第一パーツ４Ａと、第二角度の範囲を構成する第二パーツ４Ｂと、これらが一体に合わさった状態を保持する第一鎹８３及び第二鎹８４（本実施形態の固定部材）と、備えている。
袋収容用具４を構成する第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂは、第二変形例の袋収容用具３の第一パーツ３Ａ及び第二パーツ３Ｂと比べると、袋収容用具４の外周面の形状が相違する。以下、第一実施形態の袋収容用具１等の構成と同じ構成には同じ符号を用いて説明し、また図面に表し、それらの詳細な説明は省略する。
図７（ａ）に示す第三変形例のリング状の袋収容用具４は、第二変形例のリング状の袋収容用具３と同様に、平面視で中心（中心軸Ｃ）まわりに二分割されており、第一角度の範囲を構成する第一パーツ４Ａと、第二角度の範囲を構成する第二パーツ４Ｂと、これらが一体に合わさった状態を保持する第一鎹８３及び第二鎹８４（本実施形態の固定部材）と、備えている。
袋収容用具４を構成する第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂは、第二変形例の袋収容用具３の第一パーツ３Ａ及び第二パーツ３Ｂと比べると、袋収容用具４の外周面の形状が相違する。以下、第一実施形態の袋収容用具１等の構成と同じ構成には同じ符号を用いて説明し、また図面に表し、それらの詳細な説明は省略する。
【0040】
第一パーツ４Ａの外周面７５は、図７（ｂ）に示す作業テーブルなどの平面９０に載せる接地面７５Ａと、接地面７５Ａの端から延びた第一側面７５Ｂ及び第二側面７５Ｃと、第一側面７５Ｂ及び第二側面７５Ｃの端から延びていて第二パーツ４Ｂに合わさる二つの分割面７５Ｄ，７５Ｅと、これらの分割面７５Ｄ，７５Ｅの間に配置された内周面形成部７５Ｇと、を備えている。
内周面形成部７５Ｇは、図７（ｃ）に示すように、第一内壁面１１０や第二内壁面１２０を有するリング部１０Ａ（内周面１０）の一部を形成する溝状の内周面形成部７５Ｈと、第一筒部２０の一部を形成する第二内周面形成部７５Ｉと、第二筒部３０の一部を形成する第三内周面形成部７５Ｊと、からなる。
第二パーツ４Ｂの外周面７６も、図７（ｂ）に示すように、作業テーブルなどの平面９０に設置可能に形成された接地面７６Ａと、接地面７６Ａの端から延びた第一側面７６Ｂ及び第二側面７６Ｃと、第一側面７６Ｂ及び第二側面７６Ｃの端から延びていて第一パーツ４Ａの分割面７５Ｄ，７５Ｅに合わさる二つの分割面７６Ｄ，７６Ｅと、これらの分割面７６Ｄ，７６Ｅの間に配置された内周面形成部７６Ｇと、を備えている。
内周面形成部７６Ｇは、内周面形成部７５Ｇと同様、図７（ｃ）に示すように、第一内壁面１１０や第二内壁面１２０を有するリング部１０Ａ（内周面１０）の一部を形成する溝状の内周面形成部７６Ｈと、第一筒部２０の一部を形成する第二内周面形成部７６Ｉと、第二筒部３０の一部を形成する第三内周面形成部７６Ｊと、からなる。
これら第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとが分割面７５Ｄ，７５Ｅ，７６Ｄ，７６Ｅを合わせて一体になると、第一パーツ４Ａの内周面形成部７５Ｇと第二パーツ４Ｂの内周面形成部７６Ｇとがリング部１０Ａ（内周面１０）と第一筒部２０と第二筒部３０とを構成する。
内周面形成部７５Ｇは、図７（ｃ）に示すように、第一内壁面１１０や第二内壁面１２０を有するリング部１０Ａ（内周面１０）の一部を形成する溝状の内周面形成部７５Ｈと、第一筒部２０の一部を形成する第二内周面形成部７５Ｉと、第二筒部３０の一部を形成する第三内周面形成部７５Ｊと、からなる。
第二パーツ４Ｂの外周面７６も、図７（ｂ）に示すように、作業テーブルなどの平面９０に設置可能に形成された接地面７６Ａと、接地面７６Ａの端から延びた第一側面７６Ｂ及び第二側面７６Ｃと、第一側面７６Ｂ及び第二側面７６Ｃの端から延びていて第一パーツ４Ａの分割面７５Ｄ，７５Ｅに合わさる二つの分割面７６Ｄ，７６Ｅと、これらの分割面７６Ｄ，７６Ｅの間に配置された内周面形成部７６Ｇと、を備えている。
内周面形成部７６Ｇは、内周面形成部７５Ｇと同様、図７（ｃ）に示すように、第一内壁面１１０や第二内壁面１２０を有するリング部１０Ａ（内周面１０）の一部を形成する溝状の内周面形成部７６Ｈと、第一筒部２０の一部を形成する第二内周面形成部７６Ｉと、第二筒部３０の一部を形成する第三内周面形成部７６Ｊと、からなる。
これら第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとが分割面７５Ｄ，７５Ｅ，７６Ｄ，７６Ｅを合わせて一体になると、第一パーツ４Ａの内周面形成部７５Ｇと第二パーツ４Ｂの内周面形成部７６Ｇとがリング部１０Ａ（内周面１０）と第一筒部２０と第二筒部３０とを構成する。
【0041】
袋収容用具４を用いた梱包方法では、図７（ｂ）に示すように、例えば第一パーツ４Ａの接地面７５Ａを作業テーブルなどの平面に当てて第一パーツ４Ａを立たせると、内周面形成部７５Ｇが上方に向けて口を開けた溝を構成する。そして電極板２００を第一パーツ４Ａの内周面形成部７５Ｇに差し込んだ後に、第一パーツ４Ａから突出している電極板２００の上部を第二パーツ４Ｂで覆うと共に、第二パーツ４Ｂの分割面７６Ｅ，７６Ｆを第一パーツ４Ａの分割面７６Ｅ，７６Ｆに合わせる。
さらに、第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとを第一鎹８３及び第二鎹８４とで固定して、第一梱包体を作製することができる。この第一梱包体に、第一実施形態と同様に袋４００を被せることで（第二梱包工程）、梱包製品としての第二梱包体が完成する。なお、第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとを固定する固定部材としては、第一鎹８３及び第二鎹８４に代えて、例えば外周面に溝部を設けて、例えばゴム製の弾性リングを溝部に装着してもよい。
さらに、第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとを第一鎹８３及び第二鎹８４とで固定して、第一梱包体を作製することができる。この第一梱包体に、第一実施形態と同様に袋４００を被せることで（第二梱包工程）、梱包製品としての第二梱包体が完成する。なお、第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとを固定する固定部材としては、第一鎹８３及び第二鎹８４に代えて、例えば外周面に溝部を設けて、例えばゴム製の弾性リングを溝部に装着してもよい。
【0042】
このように、第一鎹８３と第二鎹８４とで第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとを一体に合わさった状態を保持することができる。これにより、第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂが電極板２００から外れることを防止し、電極板２００を袋収容用具４の貫通穴１００に安定して収容することができる。
また、第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとを立たせて、梱包を行うことができる。
さらに、第三変形例の袋収容用具４も、第一実施形態の袋収容用具１と同様に、異物が電極板２００に付着することを防止することができる。これにより、電極板２００を用いたプラズマ処理を好適に行うことができる。
また、第一パーツ４Ａと第二パーツ４Ｂとを立たせて、梱包を行うことができる。
さらに、第三変形例の袋収容用具４も、第一実施形態の袋収容用具１と同様に、異物が電極板２００に付着することを防止することができる。これにより、電極板２００を用いたプラズマ処理を好適に行うことができる。
【0043】
本発明は前記の実施形態の説明や図示例に限らず実施をすることができる。
（第二内壁面）
前記の説明では、電極板の第一角部Ｅ１とは反対側のエッジとして、第三角部Ｅ３を第二内壁面１２０に当てて、電極板２００を袋収容用具の貫通穴１００に収容する形態を説明したが、図８（ａ）に示すように、第二内壁面１２０が他方の面２０２の最大径の周縁を成す第二角部Ｅ２に当るようにリング部１０Ａ（内周面１０）を構成することもできる。この場合、第二内壁面１２０が中心軸Ｃに対する傾きの角度θ２′が、第二角部Ｅ２と第三角部Ｅ３とを通る仮想線Ｌ３の中心軸Ｃに対する傾きの角度θ３′よりも大きく（θ３′＜θ２′）設定される。なお、図８（ａ）では中心軸Ｃと平行な仮想線を破線Ｌ４，Ｌ５で表している。
また、袋収容用具は、段差部２３０を設けずに構成された電極板２００′をリング部１０Ａで固定して用いることもできる。この場合には、図８（ｂ）に示すように、電極板２００′の一方の面２０１′の端に形成される第一角部Ｅ１′を第一内壁面１１０に当て、電極板２００′の他方の面２０２′の端に形成される第二角部Ｅ２′を第二内壁面１２０に当てて、電極板２００′をリング部１０Ａで固定する。
前記の袋収容用具では、内周面１０、第一筒部２０、第二筒部３０、第一外壁部４０、第二外壁部５０、第三外壁部７０を設けた構成を挙げたが、製造方法によっては、第一筒部２０、第二筒部３０、第一外壁部４０、第二外壁部５０、第三外壁部７０の内、少なくとも一部を省いて構成することもできる。例えば、実施形態では袋収容用具１を第一外壁部４０側から第二外壁部５０側まで貫通する貫通穴１００を設けたが、第二筒部３０を省いてこの第二筒部３０の箇所も電極板２００から離れて電極板２００を覆うカバー部３５として構成した袋収容用具１Ａは、図８（ｂ）に示すように、電極板２００の収容空間ＳＰ′から袋収容用具外部へ通じる貫通穴１００Ａがリング部１０Ａと第一筒部２０とが連なって第一外壁部４０側に構成され、袋収容用具１Ａの収容空間ＳＰ′に電極板２００を収容した第一梱包体では、電極板２００の一方の面２０１の一部が第一筒部２０を介して袋収容用具外部に露出する。この第一梱包体を袋４００に入れ更に内部のエアを真空引きなどで除いた梱包体５００″では、図８（ｃ）に示すように、電極板２００の面２０１と袋４００との間には、リング部１０Ａと第一筒部２０とで囲われる第一空間ＳＰ１が配置されて、袋４００が電極板２００に接触することを防止できる。
また、第一内壁面で一方の角部を受け、第二内壁面で、反対側にある他方の角部を受ける構成を含めたものであれば、内周面１０、第一筒部２０、第二筒部３０、第一外壁部４０、第二外壁部５０、第三外壁部７０の形状は、前記の説明や図示例に限らず変形させることができる。例えば、図８（ｄ）では、第三外壁部７０が省いた断面形状を示している。図示例では、第一内側接続部２１や第二内側接続部３１が円形に形成され、これらから延びた第一筒部２０、第二筒部３０の内周面が円筒面に形成されているが、第一内側接続部２１や第二内側接続部３１を矩形にし、第一筒部２０、第二筒部３０の内周面を角筒状などに形成することもできる。第一筒部２０や第二筒部３０は内周面の形状が外周面の形状と異なるように、例えば内周面が円筒状であるのに対して外周面が角筒状に形成されてもよい。
また、袋収容用具を構成するパーツも、それぞれ複数の部品を組み立てて構成されたものでもよい。
パーツ同士が合わさる分割面も凹凸状に形成されてもよい。
袋収容用具のリング部で覆われる円形部材の周縁領域は図示例の範囲に限らず、第一内壁面１１０で覆われる第一角部Ｅ１から中心Ｃ′への範囲を、さらに第二内壁面１１０が当る第三角部Ｅ３から中心Ｃ′への範囲を、または第二内壁面１１０が当る第二角部Ｅ２から中心への範囲を変えてもよい。
実施形態の袋収容用具はリング状に形成されているが、第一開口４１と第二開口５１を省いて、これらの箇所も板状部材から離間して板状部材を覆う箇所として構成されてもよい。
（第二内壁面）
前記の説明では、電極板の第一角部Ｅ１とは反対側のエッジとして、第三角部Ｅ３を第二内壁面１２０に当てて、電極板２００を袋収容用具の貫通穴１００に収容する形態を説明したが、図８（ａ）に示すように、第二内壁面１２０が他方の面２０２の最大径の周縁を成す第二角部Ｅ２に当るようにリング部１０Ａ（内周面１０）を構成することもできる。この場合、第二内壁面１２０が中心軸Ｃに対する傾きの角度θ２′が、第二角部Ｅ２と第三角部Ｅ３とを通る仮想線Ｌ３の中心軸Ｃに対する傾きの角度θ３′よりも大きく（θ３′＜θ２′）設定される。なお、図８（ａ）では中心軸Ｃと平行な仮想線を破線Ｌ４，Ｌ５で表している。
また、袋収容用具は、段差部２３０を設けずに構成された電極板２００′をリング部１０Ａで固定して用いることもできる。この場合には、図８（ｂ）に示すように、電極板２００′の一方の面２０１′の端に形成される第一角部Ｅ１′を第一内壁面１１０に当て、電極板２００′の他方の面２０２′の端に形成される第二角部Ｅ２′を第二内壁面１２０に当てて、電極板２００′をリング部１０Ａで固定する。
前記の袋収容用具では、内周面１０、第一筒部２０、第二筒部３０、第一外壁部４０、第二外壁部５０、第三外壁部７０を設けた構成を挙げたが、製造方法によっては、第一筒部２０、第二筒部３０、第一外壁部４０、第二外壁部５０、第三外壁部７０の内、少なくとも一部を省いて構成することもできる。例えば、実施形態では袋収容用具１を第一外壁部４０側から第二外壁部５０側まで貫通する貫通穴１００を設けたが、第二筒部３０を省いてこの第二筒部３０の箇所も電極板２００から離れて電極板２００を覆うカバー部３５として構成した袋収容用具１Ａは、図８（ｂ）に示すように、電極板２００の収容空間ＳＰ′から袋収容用具外部へ通じる貫通穴１００Ａがリング部１０Ａと第一筒部２０とが連なって第一外壁部４０側に構成され、袋収容用具１Ａの収容空間ＳＰ′に電極板２００を収容した第一梱包体では、電極板２００の一方の面２０１の一部が第一筒部２０を介して袋収容用具外部に露出する。この第一梱包体を袋４００に入れ更に内部のエアを真空引きなどで除いた梱包体５００″では、図８（ｃ）に示すように、電極板２００の面２０１と袋４００との間には、リング部１０Ａと第一筒部２０とで囲われる第一空間ＳＰ１が配置されて、袋４００が電極板２００に接触することを防止できる。
また、第一内壁面で一方の角部を受け、第二内壁面で、反対側にある他方の角部を受ける構成を含めたものであれば、内周面１０、第一筒部２０、第二筒部３０、第一外壁部４０、第二外壁部５０、第三外壁部７０の形状は、前記の説明や図示例に限らず変形させることができる。例えば、図８（ｄ）では、第三外壁部７０が省いた断面形状を示している。図示例では、第一内側接続部２１や第二内側接続部３１が円形に形成され、これらから延びた第一筒部２０、第二筒部３０の内周面が円筒面に形成されているが、第一内側接続部２１や第二内側接続部３１を矩形にし、第一筒部２０、第二筒部３０の内周面を角筒状などに形成することもできる。第一筒部２０や第二筒部３０は内周面の形状が外周面の形状と異なるように、例えば内周面が円筒状であるのに対して外周面が角筒状に形成されてもよい。
また、袋収容用具を構成するパーツも、それぞれ複数の部品を組み立てて構成されたものでもよい。
パーツ同士が合わさる分割面も凹凸状に形成されてもよい。
袋収容用具のリング部で覆われる円形部材の周縁領域は図示例の範囲に限らず、第一内壁面１１０で覆われる第一角部Ｅ１から中心Ｃ′への範囲を、さらに第二内壁面１１０が当る第三角部Ｅ３から中心Ｃ′への範囲を、または第二内壁面１１０が当る第二角部Ｅ２から中心への範囲を変えてもよい。
実施形態の袋収容用具はリング状に形成されているが、第一開口４１と第二開口５１を省いて、これらの箇所も板状部材から離間して板状部材を覆う箇所として構成されてもよい。
【0044】
（板状部材）
板状部材としての電極板２００では、その段差部２３０の第一ステップ面２０２Ａの中心（中心軸Ｃ）から延びる半径に沿った幅寸法ｗと、段差面２０２Ｂの中心軸Ｃに沿った高さ寸法ｈとの比率は図示例に限られるものではない。また、電極板は図示を省略するがエッチングガスが通るガス流路を複数設けたものでもよい。
袋収容用具が収容する板状部材は、電極板やスパッタリングターゲット材に限らず、中央が貫通して形成されたリング部材など、平面視で外形が円形に形成されたものを収容することができる。
板状部材の外形は円形に限らず、楕円形でもよい。
板状部材としての電極板２００では、その段差部２３０の第一ステップ面２０２Ａの中心（中心軸Ｃ）から延びる半径に沿った幅寸法ｗと、段差面２０２Ｂの中心軸Ｃに沿った高さ寸法ｈとの比率は図示例に限られるものではない。また、電極板は図示を省略するがエッチングガスが通るガス流路を複数設けたものでもよい。
袋収容用具が収容する板状部材は、電極板やスパッタリングターゲット材に限らず、中央が貫通して形成されたリング部材など、平面視で外形が円形に形成されたものを収容することができる。
板状部材の外形は円形に限らず、楕円形でもよい。
【0045】
（第一梱包工程）
前記の実施形態では、弾性リングなどの固定部材で各パーツを固定したが、固定部材を用いずに板状部材を袋収容用具に収容して第一梱包体とし、この第一梱包体を袋に入れた後、袋内を真空引きして各パーツを袋で固定させることもできる。
前記の実施形態では、弾性リングなどの固定部材で各パーツを固定したが、固定部材を用いずに板状部材を袋収容用具に収容して第一梱包体とし、この第一梱包体を袋に入れた後、袋内を真空引きして各パーツを袋で固定させることもできる。
【実施例0046】
袋を用いて梱包された図２に示す電極板２００を、小型環境試験機に入れて温度と湿度が異なる二つの環境（第一環境、第二環境）下に交互に晒す加速試験を行い、この加速試験後に電極板を取り出して、その表面に発生した微小異物を確認する。
袋収容用具１で周縁部２１０と周縁隣接部２２０を覆った状態で袋に入れ、真空引きしたものを試料Ａとし、袋収容用具１を用いずに電極板２００を袋に入れ、真空引きして袋を電極板に密着させたものを試料Ｂとする。袋はポリエチレン（ＬＤＰＥ：低密度ポリエチレン）からなる。なお、試料Ａでは、電極板２００の第一角部Ｅ１を第一内壁面１１０に当て、第三角部Ｅ３を第二内壁面１２０に当てて、電極板２００を貫通穴１００に収容した。
加速試験は、第一試験環境から第二試験環境を経て当初の第一試験環境に戻ることを１サイクルとして、これを１０サイクル繰り返した。
第一試験環境は、温度を４０℃、湿度を８５％とし、この雰囲気に試料Ａ，Ｂを１８０分間晒す。第二試験環境は、温度を５℃、湿度を５０％とし、この雰囲気に試料Ａ，Ｂを６０分間晒す。なお、第一試験環境から第二試験環境への移行と、第二試験環境から第一試験環境への移行の時間を、それぞれ３０分間とし、１サイクルの試験時間は、計３００分に設定した。
袋収容用具１で周縁部２１０と周縁隣接部２２０を覆った状態で袋に入れ、真空引きしたものを試料Ａとし、袋収容用具１を用いずに電極板２００を袋に入れ、真空引きして袋を電極板に密着させたものを試料Ｂとする。袋はポリエチレン（ＬＤＰＥ：低密度ポリエチレン）からなる。なお、試料Ａでは、電極板２００の第一角部Ｅ１を第一内壁面１１０に当て、第三角部Ｅ３を第二内壁面１２０に当てて、電極板２００を貫通穴１００に収容した。
加速試験は、第一試験環境から第二試験環境を経て当初の第一試験環境に戻ることを１サイクルとして、これを１０サイクル繰り返した。
第一試験環境は、温度を４０℃、湿度を８５％とし、この雰囲気に試料Ａ，Ｂを１８０分間晒す。第二試験環境は、温度を５℃、湿度を５０％とし、この雰囲気に試料Ａ，Ｂを６０分間晒す。なお、第一試験環境から第二試験環境への移行と、第二試験環境から第一試験環境への移行の時間を、それぞれ３０分間とし、１サイクルの試験時間は、計３００分に設定した。
【0047】
（微小異物の発生評価方法）
加速試験を経た電極板２００の表面を走査型電子顕微鏡で観察し、微小異物の有無を観察した。微小異物としては、「スマッジ」と「パーティクル」を対象とする。
ここで、スマッジとは、暗室で、１０００ルーメン以上のＬＥＤ電灯からの距離を１ｃｍ，３ｃｍ，５ｃｍとし、様々な角度から照射した際に、目視観測できる白い曇りのような汚れ（おおよそ１ｕｍ以上のもの）である。スマッジの測定では、図９の角度において角度αは３０°，４５°，８０°、角度βを０°，６０°，１２０°，１８０°，２４０°，３２０°の範囲でそれぞれ測定した。ＬＥＤの距離が３通り、角度αが３通り、角度βが６通りあるため、全５４通りの条件でスマッジの有無を測定した。
また、パーティクルとは、暗室で、３００ルーメン以上のＬＥＤ電灯からの距離を１ｃｍ，３ｃｍ，５ｃｍとし、様々な角度から照射した際に、目視観測できる点状異物（おおよそ１ｕｍ以上のもの）である。パーティクルの測定では、図９の角度において角度αは３０°，４５°，８０°、角度βを０°，６０°，１２０°，１８０°，２４０°，３２０°の範囲でそれぞれ測定した。全５４通りの条件でパーティクルの有無を測定した。
なお、観察は、日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡『ＪＳＭ－ＩＴ５００ＨＲ』を入射電圧１５ｋＶ、測定倍率を１０００倍として行った。
加速試験を経た電極板２００の表面を走査型電子顕微鏡で観察し、微小異物の有無を観察した。微小異物としては、「スマッジ」と「パーティクル」を対象とする。
ここで、スマッジとは、暗室で、１０００ルーメン以上のＬＥＤ電灯からの距離を１ｃｍ，３ｃｍ，５ｃｍとし、様々な角度から照射した際に、目視観測できる白い曇りのような汚れ（おおよそ１ｕｍ以上のもの）である。スマッジの測定では、図９の角度において角度αは３０°，４５°，８０°、角度βを０°，６０°，１２０°，１８０°，２４０°，３２０°の範囲でそれぞれ測定した。ＬＥＤの距離が３通り、角度αが３通り、角度βが６通りあるため、全５４通りの条件でスマッジの有無を測定した。
また、パーティクルとは、暗室で、３００ルーメン以上のＬＥＤ電灯からの距離を１ｃｍ，３ｃｍ，５ｃｍとし、様々な角度から照射した際に、目視観測できる点状異物（おおよそ１ｕｍ以上のもの）である。パーティクルの測定では、図９の角度において角度αは３０°，４５°，８０°、角度βを０°，６０°，１２０°，１８０°，２４０°，３２０°の範囲でそれぞれ測定した。全５４通りの条件でパーティクルの有無を測定した。
なお、観察は、日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡『ＪＳＭ－ＩＴ５００ＨＲ』を入射電圧１５ｋＶ、測定倍率を１０００倍として行った。
【0048】
【符号の説明】
【0049】
１，１Ａ，２，３，４ 袋収容用具
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ パーツ
１０Ａ リング部
１０ 内周面
１１０ 第一内壁面
１２０ 第二内壁面
１３０ 第三内壁面
２０ 第一筒部
３０ 第二筒部
４０ 第一外壁部
５０ 第二外壁部
７０ 第三外壁部
６１Ｐ，６２Ｐ 接合部
６１，６２ 分割面
７１ 溝部
１００，１００Ａ 貫通穴
２００ 電極板
２１０ 周縁部
２２０ 周縁隣接部
３００ 第一梱包体
４００ 袋
５００，５００′，５００″ 第二梱包体（梱包体）
Ｅ１ 第一角部
Ｅ２ 第二角部
Ｅ３ 第三角部
ＳＰ′ 収容空間
ＳＰ１ 第一空間
ＳＰ２ 第二空間
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ パーツ
１０Ａ リング部
１０ 内周面
１１０ 第一内壁面
１２０ 第二内壁面
１３０ 第三内壁面
２０ 第一筒部
３０ 第二筒部
４０ 第一外壁部
５０ 第二外壁部
７０ 第三外壁部
６１Ｐ，６２Ｐ 接合部
６１，６２ 分割面
７１ 溝部
１００，１００Ａ 貫通穴
２００ 電極板
２１０ 周縁部
２２０ 周縁隣接部
３００ 第一梱包体
４００ 袋
５００，５００′，５００″ 第二梱包体（梱包体）
Ｅ１ 第一角部
Ｅ２ 第二角部
Ｅ３ 第三角部
ＳＰ′ 収容空間
ＳＰ１ 第一空間
ＳＰ２ 第二空間
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
