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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024121645
(43)【公開日】2024-09-06
(54)【発明の名称】締結構造、プラズマ処理装置及び弾性部材付きボルト
(51)【国際特許分類】
F16B 35/06 20060101AFI20240830BHJP
F16B 43/00 20060101ALI20240830BHJP
F16B 41/00 20060101ALI20240830BHJP
H05H 1/46 20060101ALI20240830BHJP
【ＦＩ】
F16B35/06 Z
F16B43/00 Z
F16B41/00 A
H05H1/46 L
【審査請求】有
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023028855
(22)【出願日】2023-02-27
(71)【出願人】
【識別番号】511265154
【氏名又は名称】ＳＰＰテクノロジーズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001748
【氏名又は名称】弁理士法人まこと国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】林 靖之
【テーマコード（参考）】
2G084
3J034
【Ｆターム（参考）】
2G084AA02
2G084AA05
2G084BB25
2G084CC04
2G084CC13
2G084CC33
2G084DD03
2G084DD13
2G084DD55
2G084FF39
3J034AA20
3J034BA20
3J034DA10
3J034EA05
(57)【要約】
【課題】メンテナンス等において、第１部材と第２部材との締結を解除する際に生じる不具合を、比較的簡易且つ交換容易な構成で低減可能な締結構造を提供する。
【解決手段】本発明に係る締結構造１０は、第１部材２０と第２部材３０とを締結する締結構造であって、ボルト１と、第１部材に設けられ、ボルトが挿入される孔部２と、第２部材に設けられ、ボルトの雄ねじ部１１と噛み合う雌ねじ部３と、自然長よりも上下方向に伸長又は収縮していることでボルトに上向きの力を作用させる弾性部材４と、を備える。ボルト１は、第１頭部１２と、第２頭部１３と、連結部１４と、を具備する。弾性部材は、一端が連結部に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が第１部材に対して取り付けられている。弾性部材は、第１部材と第２部材との締結が解除された状態において、ボルトの雄ねじ部の下端が孔部の下端２ａよりも上方に位置するように、ボルトに上向きの力を作用させる。
【選択図】 図４
【解決手段】本発明に係る締結構造１０は、第１部材２０と第２部材３０とを締結する締結構造であって、ボルト１と、第１部材に設けられ、ボルトが挿入される孔部２と、第２部材に設けられ、ボルトの雄ねじ部１１と噛み合う雌ねじ部３と、自然長よりも上下方向に伸長又は収縮していることでボルトに上向きの力を作用させる弾性部材４と、を備える。ボルト１は、第１頭部１２と、第２頭部１３と、連結部１４と、を具備する。弾性部材は、一端が連結部に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が第１部材に対して取り付けられている。弾性部材は、第１部材と第２部材との締結が解除された状態において、ボルトの雄ねじ部の下端が孔部の下端２ａよりも上方に位置するように、ボルトに上向きの力を作用させる。
【選択図】 図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結する締結構造であって、
ボルトと、
前記第１部材に設けられ、前記ボルトが挿入される孔部と、
前記第２部材における前記孔部と前記締結方向に対向する位置に設けられ、前記ボルトの先端側に位置する雄ねじ部と噛み合う雌ねじ部と、
自然長よりも前記締結方向に伸長又は収縮していることで、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる弾性部材と、を備え、
前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、
前記弾性部材は、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられており、
前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材側の端よりも前記第２部材と反対側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、
締結構造。
ボルトと、
前記第１部材に設けられ、前記ボルトが挿入される孔部と、
前記第２部材における前記孔部と前記締結方向に対向する位置に設けられ、前記ボルトの先端側に位置する雄ねじ部と噛み合う雌ねじ部と、
自然長よりも前記締結方向に伸長又は収縮していることで、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる弾性部材と、を備え、
前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、
前記弾性部材は、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられており、
前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材側の端よりも前記第２部材と反対側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、
締結構造。
【請求項2】
前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材と反対側の端よりも前記第２部材側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、
請求項１に記載の締結構造。
請求項１に記載の締結構造。
【請求項3】
前記連結部が挿入される孔部を有し、前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられた環状部材を備え、
前記弾性部材の前記一端が前記環状部材に取り付けられている、
請求項１又は２に記載の締結構造。
前記弾性部材の前記一端が前記環状部材に取り付けられている、
請求項１又は２に記載の締結構造。
【請求項4】
前記締結方向が上下方向であり、
前記第１部材が前記第２部材よりも上方に位置し、
前記弾性部材の下端が前記連結部に対して取り付けられ、前記弾性部材の上端が前記第１部材に対して取り付けられており、
前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、自然長よりも伸長していることで、前記ボルトに上向きの力を作用させる、
請求項１又は２に記載の締結構造。
前記第１部材が前記第２部材よりも上方に位置し、
前記弾性部材の下端が前記連結部に対して取り付けられ、前記弾性部材の上端が前記第１部材に対して取り付けられており、
前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、自然長よりも伸長していることで、前記ボルトに上向きの力を作用させる、
請求項１又は２に記載の締結構造。
【請求項5】
前記第１部材及び前記第２部材は、プラズマ処理装置に用いられる部材である、
請求項１又は２に記載の締結構造。
請求項１又は２に記載の締結構造。
【請求項6】
請求項５に記載の締結構造と、
前記締結構造によって締結される前記第１部材及び前記第２部材と、を備える、
プラズマ処理装置。
前記締結構造によって締結される前記第１部材及び前記第２部材と、を備える、
プラズマ処理装置。
【請求項7】
ボルトと、弾性部材と、を備え、第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結するために用いられる、弾性部材付きボルトであって、
前記ボルトは、
第１頭部と、
前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、
前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、
前記弾性部材は、前記締結方向に伸長又は収縮可能であり、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられる、
弾性部材付きボルト。
前記ボルトは、
第１頭部と、
前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、
前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、
前記弾性部材は、前記締結方向に伸長又は収縮可能であり、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられる、
弾性部材付きボルト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、第１部材と第２部材とを締結する締結構造、この締結構造を備えるプラズマ処理装置、及びこの締結構造に用いられる弾性部材付きボルトに関する。特に、本発明は、メンテナンス等において、第１部材と第２部材との締結を解除する際に生じる不具合を、比較的簡易且つ交換容易な構成で低減可能な締結構造、この締結構造を備えるプラズマ処理装置、及びこの締結構造に用いられる弾性部材付きボルトに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、基板にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、ボルトを用いた締結構造が用いられている。
図１は、従来の締結構造を備えるプラズマ処理装置の概略構成を模式的に示す断面図である。図１（ａ）はプラズマ処理装置全体の概略構成を示す断面図であり、図１（ｂ）は第１部材と第２部材とが締結している状態での締結構造の概略構成を拡大して示す拡大断面図である。なお、図１において、Ｘ方向及びＹ方向は互いに直交する水平方向であり、Ｚ方向は上下方向を意味する。後述の図２～図６についても同様である。
図１に示すように、従来の締結構造１０’は、ドット状のハッチングを施した第１部材２０（プラズマ処理装置において、プラズマを生成するプラズマ生成空間２１を形成する部材）と、第１部材２０よりも下方に位置する斜線のハッチングを施した第２部材３０（プラズマ処理装置において、基板Ｓにプラズマ処理を施すプラズマ処理空間３１を形成する部材）と、を締結方向（図１に示す例では、上下方向）に締結するために用いられる、通常の締結構造である。
図１は、従来の締結構造を備えるプラズマ処理装置の概略構成を模式的に示す断面図である。図１（ａ）はプラズマ処理装置全体の概略構成を示す断面図であり、図１（ｂ）は第１部材と第２部材とが締結している状態での締結構造の概略構成を拡大して示す拡大断面図である。なお、図１において、Ｘ方向及びＹ方向は互いに直交する水平方向であり、Ｚ方向は上下方向を意味する。後述の図２～図６についても同様である。
図１に示すように、従来の締結構造１０’は、ドット状のハッチングを施した第１部材２０（プラズマ処理装置において、プラズマを生成するプラズマ生成空間２１を形成する部材）と、第１部材２０よりも下方に位置する斜線のハッチングを施した第２部材３０（プラズマ処理装置において、基板Ｓにプラズマ処理を施すプラズマ処理空間３１を形成する部材）と、を締結方向（図１に示す例では、上下方向）に締結するために用いられる、通常の締結構造である。
【0003】
具体的には、図１に示す例では、締結構造１０’によって、第１部材２０を構成する上底板２５と、第２部材３０を構成する下胴部３２と、が締結される。締結構造１０’は、ボルト１’と、第１部材２０（上底板２５）に設けられ、ボルト１’が挿入される孔部２と、第２部材３０（下胴部３２）における孔部２と上下方向（図１に示すＺ方向）に対向する位置に設けられ、ボルト１’の雄ねじ部１１と噛み合う雌ねじ部３と、を備えている。ボルト１’の頭部１２が第１部材２０（上底板２５）に接するまで、ボルト１’の雄ねじ部１１が雌ねじ部３と噛み合うことで、第１部材２０と第２部材３０とが締結される。
なお、図１に示すプラズマ処理装置のその他の構成については、締結構造を除き、後述の図３に示すプラズマ処理装置と同様であるため、図３に示すプラズマ処理装置と同様の構成要素については同じ符号を付すに留め、ここでは、具体的な説明を省略する。
なお、図１に示すプラズマ処理装置のその他の構成については、締結構造を除き、後述の図３に示すプラズマ処理装置と同様であるため、図３に示すプラズマ処理装置と同様の構成要素については同じ符号を付すに留め、ここでは、具体的な説明を省略する。
【0004】
図１に示すようなプラズマ処理装置の内部にメンテナンス等を施す場合には、締結構造１０’による第１部材２０と第２部材３０との締結を解除して、第１部材２０を持ち上げて移動させる必要がある。具体的には、ボルト１’を締結時とは逆方向に回転させて、ボルト１’の雄ねじ部１１と雌ねじ部３との噛み合いを解除することで、第１部材２０と第２部材３０との締結を解除した後、第１部材２０を持ち上げて移動させる。
ここで、締結解除後に、ボルト１’を孔部２から外すと、その際にボルト１’が落下して紛失する等のおそれがある。
これを避けるために、締結解除後もボルト１’を孔部２に挿入したままで、第１部材２０を持ち上げようとすると、以下に述べるように、プラズマ処理装置に損傷が生じる等のおそれがある。
ここで、締結解除後に、ボルト１’を孔部２から外すと、その際にボルト１’が落下して紛失する等のおそれがある。
これを避けるために、締結解除後もボルト１’を孔部２に挿入したままで、第１部材２０を持ち上げようとすると、以下に述べるように、プラズマ処理装置に損傷が生じる等のおそれがある。
【0005】
図２は、従来の締結構造の問題点を模式的に示す拡大断面図である。
図２（ａ）に示すように、ボルト１’を孔部２に挿入したままで、第１部材２０を持ち上げると、ボルト１’の雄ねじ部１１が孔部２の下端２ａから下方に突出しているため、真っ直ぐに持ち上げない限り、ボルト１’の雄ねじ部１１が雌ねじ部３に引っ掛かる（図２（ａ）に破線で囲った部分で引っ掛かる）ことで、第１部材２０を上手く持ち上げられなかったり、雄ねじ部１１や雌ねじ部３に損傷が生じるおそれがある。
また、図２（ｂ）に示すように、第１部材２０を持ち上げた後、水平方向（図２（ｂ）に示すＸ方向）に第１部材２０を移動させる際、ボルト１’の雄ねじ部１１が孔部２の下端２ａから下方に突出しているため、ボルト１’の雄ねじ部１１の下端１１１が第２部材３０の上面（下胴部３２の上面３２１）を擦ることで、第２部材３０の上面にあるシール面に損傷が生じるおそれもある。特に、第１部材２０を十分に持ち上げるだけのスペースが無い環境の場合（十分に持ち上げた後に水平方向にずらすことができない環境の場合）に、図２（ｂ）に示すような問題が生じ易い。
さらには、図示を省略するが、第１部材２０を十分に持ち上げるだけのスペースが無い環境の場合、第１部材２０を持ち上げた後に、水平方向に第１部材２０を移動させる際、雄ねじ部１１の孔部２の下端２ａから下方に突出した部分が、他の付帯設備に干渉するおそれもある。
図２（ａ）に示すように、ボルト１’を孔部２に挿入したままで、第１部材２０を持ち上げると、ボルト１’の雄ねじ部１１が孔部２の下端２ａから下方に突出しているため、真っ直ぐに持ち上げない限り、ボルト１’の雄ねじ部１１が雌ねじ部３に引っ掛かる（図２（ａ）に破線で囲った部分で引っ掛かる）ことで、第１部材２０を上手く持ち上げられなかったり、雄ねじ部１１や雌ねじ部３に損傷が生じるおそれがある。
また、図２（ｂ）に示すように、第１部材２０を持ち上げた後、水平方向（図２（ｂ）に示すＸ方向）に第１部材２０を移動させる際、ボルト１’の雄ねじ部１１が孔部２の下端２ａから下方に突出しているため、ボルト１’の雄ねじ部１１の下端１１１が第２部材３０の上面（下胴部３２の上面３２１）を擦ることで、第２部材３０の上面にあるシール面に損傷が生じるおそれもある。特に、第１部材２０を十分に持ち上げるだけのスペースが無い環境の場合（十分に持ち上げた後に水平方向にずらすことができない環境の場合）に、図２（ｂ）に示すような問題が生じ易い。
さらには、図示を省略するが、第１部材２０を十分に持ち上げるだけのスペースが無い環境の場合、第１部材２０を持ち上げた後に、水平方向に第１部材２０を移動させる際、雄ねじ部１１の孔部２の下端２ａから下方に突出した部分が、他の付帯設備に干渉するおそれもある。
【0006】
上記の説明では、ボルト１’が挿入される孔部２が設けられた第１部材２０と、第１部材２０よりも下方に位置し、ボルト１’の雄ねじ部１１と噛み合う雌ねじ部３が設けられた第２部材３０と、を上下方向に締結する場合を例に挙げたが、上記のような問題は、このような場合に限るものではない。例えば上記の説明と同様に、第１部材２０と第２部材３０とを上下方向に締結するものの、第１部材２０の方が第２部材３０よりも下方に位置する（したがって、ボルト１’を下側から挿入する）場合や、第１部材２０と第２部材３０とを水平方向に締結する場合など、種々の形態の締結構造に共通する問題である。
また、上記の説明では、プラズマ処理装置に用いられる締結構造１０’を例に挙げたが、上記のような問題は、プラズマ処理装置に用いられる締結構造に限るものではなく、第１部材２０と第２部材３０とを締結する締結構造に共通する問題である。
また、上記の説明では、プラズマ処理装置に用いられる締結構造１０’を例に挙げたが、上記のような問題は、プラズマ処理装置に用いられる締結構造に限るものではなく、第１部材２０と第２部材３０とを締結する締結構造に共通する問題である。
【0007】
上記のような従来の締結構造の問題を解決するため、例えば、特許文献１～４に記載の締結構造が提案されている。
しかしながら、特許文献１、２に記載の締結構造を実現するには、十分な第１部材の厚み（ボルトが挿入され、第２部材と直接締結される部分の厚みであり、例えば、図１に示す上底板２５の厚み）が必要となるため、第１部材の仕様を変更しなければならなくなるおそれがある。
また、特許文献３、４に記載の締結構造は、締結構造を構成する部品の劣化が生じた場合に、交換が容易ではないという問題がある。
しかしながら、特許文献１、２に記載の締結構造を実現するには、十分な第１部材の厚み（ボルトが挿入され、第２部材と直接締結される部分の厚みであり、例えば、図１に示す上底板２５の厚み）が必要となるため、第１部材の仕様を変更しなければならなくなるおそれがある。
また、特許文献３、４に記載の締結構造は、締結構造を構成する部品の劣化が生じた場合に、交換が容易ではないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開２０１３－２３３６３０号公報
【特許文献2】特開２０２１－１２１７４０号公報
【特許文献3】特開平２－９３１１２号公報
【特許文献4】特許第２６８０２７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、メンテナンス等において、第１部材と第２部材との締結を解除する際に生じる不具合を、比較的簡易且つ交換容易な構成で低減可能な締結構造、及びこの締結構造を備えるプラズマ処理装置、及びこの締結構造に用いられる弾性部材付きボルトを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
前記課題を解決するため、本発明は、第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結する締結構造であって、ボルトと、前記第１部材に設けられ、前記ボルトが挿入される孔部と、前記第２部材における前記孔部と前記締結方向に対向する位置に設けられ、前記ボルトの先端側に位置する雄ねじ部と噛み合う雌ねじ部と、自然長よりも前記締結方向に伸長又は収縮していることで、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる弾性部材と、を備え、前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、前記弾性部材は、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられており、前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材側の端よりも前記第２部材と反対側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、締結構造を提供する。
【0011】
本発明において、「先端」とは、ボルトの軸方向に沿った両端のうち、第１部材と第２部材とが締結している状態において、雌ねじ部側に位置する端を意味する。
また、本発明において、「第１部材に接する第２頭部」とは、第２頭部が第１部材に直接接触する場合に限らず、締結構造に慣用される平座金やばね座金等の座金を介して接触する場合を含む概念である。換言すれば、第２頭部における第１部材に対向する面がボルトの座面になることを意味する。
また、本発明において、「一端が・・・連結部に対して・・・取り付けられ」とは、弾性部材の一端が連結部に直接的に取り付けられる場合と、弾性部材の一端が所定の部材を介して連結部に間接的に取り付けられる場合との双方を含む概念である。
本発明に係る締結構造は、ボルトが、第１頭部と、第２頭部（第１部材と第２部材とが締結している状態において第１部材に接する頭部）と、第１頭部と第２頭部とを連結する連結部と、を具備する。また、本発明に係る締結構造は、弾性部材を備え、この弾性部材の一端がボルトの連結部に対して締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が第１部材に対して取り付けられている。そして、弾性部材は、締結方向に伸長又は収縮し、第１部材と第２部材との締結が解除された状態（すなわち、ボルトの雄ねじ部と雌ねじ部とが噛み合っていない状態）において、ボルトの雄ねじ部の先端が孔部の第２部材側の端よりも第２部材と反対側に位置するように、ボルトに締結方向の力を作用させるように構成されている。
また、本発明において、「第１部材に接する第２頭部」とは、第２頭部が第１部材に直接接触する場合に限らず、締結構造に慣用される平座金やばね座金等の座金を介して接触する場合を含む概念である。換言すれば、第２頭部における第１部材に対向する面がボルトの座面になることを意味する。
また、本発明において、「一端が・・・連結部に対して・・・取り付けられ」とは、弾性部材の一端が連結部に直接的に取り付けられる場合と、弾性部材の一端が所定の部材を介して連結部に間接的に取り付けられる場合との双方を含む概念である。
本発明に係る締結構造は、ボルトが、第１頭部と、第２頭部（第１部材と第２部材とが締結している状態において第１部材に接する頭部）と、第１頭部と第２頭部とを連結する連結部と、を具備する。また、本発明に係る締結構造は、弾性部材を備え、この弾性部材の一端がボルトの連結部に対して締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が第１部材に対して取り付けられている。そして、弾性部材は、締結方向に伸長又は収縮し、第１部材と第２部材との締結が解除された状態（すなわち、ボルトの雄ねじ部と雌ねじ部とが噛み合っていない状態）において、ボルトの雄ねじ部の先端が孔部の第２部材側の端よりも第２部材と反対側に位置するように、ボルトに締結方向の力を作用させるように構成されている。
【0012】
具体的には、例えば、締結方向が上下方向であり、第１部材が第２部材よりも上方に位置する場合を考える。そして、例えば、弾性部材の他端が上端であり、この上端が第１部材に対して取り付けられている場合を考える。この場合には、第１部材と第２部材との締結が解除された時点を起点として、弾性部材が収縮することにより、連結部に対して取り付けられた弾性部材の一端（下端）が上方に移動し、これにより第１頭部を介してボルトを上方に引っ張り上げることになる。この際、弾性部材の収縮に伴うボルトの上方への移動が終了した時点（ボルト等の自重と、弾性部材によって作用する上向きの力が釣り合った時点）で、ボルトの雄ねじ部の下端（先端）が孔部の下端（第２部材側の端）よりも上方に（第２部材と反対側に）位置するように、弾性部材の弾性定数や自然長を適切な値に設定しておけばよい。
また、弾性部材の他端が下端であり、この下端が第１部材に対して取り付けられている場合には、第１部材と第２部材との締結が解除された時点を起点として、弾性部材が伸長することにより、連結部に対して取り付けられた弾性部材の一端（上端）がボルトの第１頭部を上方に押し上げることになる。この際、弾性部材の伸長に伴うボルトの上方への移動が終了した時点（ボルト等の自重と、弾性部材によって作用する上向きの力が釣り合った時点）で、ボルトの雄ねじ部の下端（先端）が孔部の下端（第２部材側の端）よりも上方に（第２部材と反対側に）位置するように、弾性部材の弾性定数や自然長を適切な値に設定しておけばよい。
なお、締結構造によって第１部材と第２部材とを締結する際には、ボルトを締結方向（上記の例では、上下方向）周りに回転させることで、ボルトの雄ねじ部と雌ねじ部とを噛み合わせるが、弾性部材の一端が、連結部に対して締結方向周りに回転可能である（換言すれば、ボルト（連結部）が締結方向周りに回転しても、これに伴って、弾性部材の一端がボルトと共に回転することがない）ため、弾性部材が捻れるおそれがない。
また、他端が第１部材に対して取り付けられた弾性部材の一端が、ボルトの連結部に対して取り付けられているため、仮に、ボルトが孔部から外れたとしても、ボルトが落下して紛失する等のおそれもない。
また、弾性部材の他端が下端であり、この下端が第１部材に対して取り付けられている場合には、第１部材と第２部材との締結が解除された時点を起点として、弾性部材が伸長することにより、連結部に対して取り付けられた弾性部材の一端（上端）がボルトの第１頭部を上方に押し上げることになる。この際、弾性部材の伸長に伴うボルトの上方への移動が終了した時点（ボルト等の自重と、弾性部材によって作用する上向きの力が釣り合った時点）で、ボルトの雄ねじ部の下端（先端）が孔部の下端（第２部材側の端）よりも上方に（第２部材と反対側に）位置するように、弾性部材の弾性定数や自然長を適切な値に設定しておけばよい。
なお、締結構造によって第１部材と第２部材とを締結する際には、ボルトを締結方向（上記の例では、上下方向）周りに回転させることで、ボルトの雄ねじ部と雌ねじ部とを噛み合わせるが、弾性部材の一端が、連結部に対して締結方向周りに回転可能である（換言すれば、ボルト（連結部）が締結方向周りに回転しても、これに伴って、弾性部材の一端がボルトと共に回転することがない）ため、弾性部材が捻れるおそれがない。
また、他端が第１部材に対して取り付けられた弾性部材の一端が、ボルトの連結部に対して取り付けられているため、仮に、ボルトが孔部から外れたとしても、ボルトが落下して紛失する等のおそれもない。
【0013】
上記の説明では、便宜上、締結方向が上下方向であり、第１部材が第２部材よりも上方に位置する場合を例に挙げて具体的な作用効果を説明したが、締結方向が上下方向であり、第１部材が第２部材よりも下に位置する場合や、締結方向が水平方向である場合や、その他の任意の締結方向である場合についても、同様の作用効果が得られる。すなわち、弾性部材の弾性定数や自然長を適切な値に設定しておくことで、第１部材と第２部材との締結が解除された状態において、ボルトの雄ねじ部の先端を、孔部の第２部材側の端よりも第２部材と反対側に位置させることができるし、弾性部材が捻れるおそれがないし、ボルトが孔部から外れたとしても、ボルトが落下して紛失する等のおそれがない。
【0014】
以上のように、本発明に係る締結構造は、比較的簡易且つ交換容易な構成であり、第１部材と第２部材との締結が解除された状態において、従来の締結構造のように、ボルトが落下して紛失する等のおそれがなく、また、ボルトの雄ねじ部の先端が孔部の第２部材側の端よりも第２部材と反対側に位置するため、ボルトの雄ねじ部の先端が孔部の第２部材側の端よりも第２部材側に突出することに起因した不具合を低減可能である。
【0015】
好ましくは、前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材と反対側の端よりも前記第２部材側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる。
【0016】
上記の好ましい構成によれば、第１部材と第２部材との締結が解除された状態において、ボルトの雄ねじ部の先端が孔部の第２部材側の端よりも第２部材と反対側に位置することに加えて、孔部の第２部材と反対側の端よりも第２部材側に位置することになる。すなわち、ボルトの雄ねじ部の先端が孔部内に位置することになるため、ボルトが孔部から外れ難く、例えば、メンテナンス後に第１部材と第２部材とを再び締結する際、ボルトを孔部に挿入する手間が掛からないという利点が得られる。特に、第１部材と第２部材とを締結するための作業スペースが狭く、孔部の位置を目視で容易に確認し難いような環境では、ボルトを孔部に挿入するだけでも手間の掛かる場合があるため、このような場合に上記の好ましい構成は有効である。
【0017】
本発明に係る締結構造における、連結部に対する弾性部材の一端の好ましい取り付け態様としては、例えば、環状部材を用いて間接的に取り付ける態様が考えられる。
すなわち、本発明に係る締結構造は、前記連結部が挿入される孔部を有し、前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられた環状部材を備え、前記弾性部材の前記一端が前記環状部材に取り付けられていることが好ましい。
なお、上記の好ましい構成において、「環状部材」とは、その外形が閉曲面を構成する完全に環状の部材（完全環状部材）に限るものではなく、その外形の一部が切り欠かれた、部分的に環状の部材（例えば、Ｅ型リング等の部分的環状部材）を含む概念である。
すなわち、本発明に係る締結構造は、前記連結部が挿入される孔部を有し、前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられた環状部材を備え、前記弾性部材の前記一端が前記環状部材に取り付けられていることが好ましい。
なお、上記の好ましい構成において、「環状部材」とは、その外形が閉曲面を構成する完全に環状の部材（完全環状部材）に限るものではなく、その外形の一部が切り欠かれた、部分的に環状の部材（例えば、Ｅ型リング等の部分的環状部材）を含む概念である。
【0018】
また、本発明に係る締結構造の好ましい一態様として、前記締結方向が上下方向であり、前記第１部材が前記第２部材よりも上方に位置し、前記弾性部材の下端が前記連結部に対して取り付けられ、前記弾性部材の上端が前記第１部材に対して取り付けられており、前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、自然長よりも伸長していることで、前記ボルトに上向きの力を作用させることが挙げられる。
【0019】
また、本発明に係る締結構造は、プラズマ処理装置に好適に用いられる。
すなわち、本発明に係る締結構造において、前記第１部材及び前記第２部材は、プラズマ処理装置に用いられる部材である、ことが例示できる。
すなわち、本発明に係る締結構造において、前記第１部材及び前記第２部材は、プラズマ処理装置に用いられる部材である、ことが例示できる。
【0020】
また、前記課題を解決するため、本発明は、前記締結構造と、前記締結構造によって締結される前記第１部材及び前記第２部材と、を備える、プラズマ処理装置としても提供される。
【0021】
さらに、前記課題を解決するため、本発明は、ボルトと、弾性部材と、を備え、第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結するために用いられる、弾性部材付きボルトであって、前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、前記弾性部材は、前記締結方向に伸長又は収縮可能であり、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられる、弾性部材付きボルトとしても提供される。
【0022】
以上をまとめると、本発明は、以下の［１］～［７］の事項に関する。
［１］第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結する締結構造であって、ボルトと、前記第１部材に設けられ、前記ボルトが挿入される孔部と、前記第２部材における前記孔部と前記締結方向に対向する位置に設けられ、前記ボルトの先端側に位置する雄ねじ部と噛み合う雌ねじ部と、自然長よりも前記締結方向に伸長又は収縮していることで、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる弾性部材と、を備え、前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、前記弾性部材は、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられており、前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材側の端よりも前記第２部材と反対側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、締結構造。
［２］前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材と反対側の端よりも前記第２部材側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、
［１］に記載の締結構造。
［３］前記連結部が挿入される孔部を有し、前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられた環状部材を備え、前記弾性部材の前記一端が前記環状部材に取り付けられている、［１］又は［２］に記載の締結構造。
［４］前記締結方向が上下方向であり、前記第１部材が前記第２部材よりも上方に位置し、前記弾性部材の下端が前記連結部に対して取り付けられ、前記弾性部材の上端が前記第１部材に対して取り付けられており、前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、自然長よりも伸長していることで、前記ボルトに上向きの力を作用させる、［１］から［３］の何れかに記載の締結構造。
［５］前記第１部材及び前記第２部材は、プラズマ処理装置に用いられる部材である、［１］から［４］の何れかに記載の締結構造。
［６］［５］に記載の締結構造と、前記締結構造によって締結される前記第１部材及び前記第２部材と、を備える、プラズマ処理装置。
［７］ボルトと、弾性部材と、を備え、第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結するために用いられる、弾性部材付きボルトであって、前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、前記弾性部材は、前記締結方向に伸長又は収縮可能であり、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられる、弾性部材付きボルト。
［１］第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結する締結構造であって、ボルトと、前記第１部材に設けられ、前記ボルトが挿入される孔部と、前記第２部材における前記孔部と前記締結方向に対向する位置に設けられ、前記ボルトの先端側に位置する雄ねじ部と噛み合う雌ねじ部と、自然長よりも前記締結方向に伸長又は収縮していることで、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる弾性部材と、を備え、前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、前記弾性部材は、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられており、前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材側の端よりも前記第２部材と反対側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、締結構造。
［２］前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、前記ボルトの前記雄ねじ部の先端が前記孔部の前記第２部材と反対側の端よりも前記第２部材側に位置するように、前記ボルトに前記締結方向の力を作用させる、
［１］に記載の締結構造。
［３］前記連結部が挿入される孔部を有し、前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられた環状部材を備え、前記弾性部材の前記一端が前記環状部材に取り付けられている、［１］又は［２］に記載の締結構造。
［４］前記締結方向が上下方向であり、前記第１部材が前記第２部材よりも上方に位置し、前記弾性部材の下端が前記連結部に対して取り付けられ、前記弾性部材の上端が前記第１部材に対して取り付けられており、前記弾性部材は、前記第１部材と前記第２部材との締結が解除された状態において、自然長よりも伸長していることで、前記ボルトに上向きの力を作用させる、［１］から［３］の何れかに記載の締結構造。
［５］前記第１部材及び前記第２部材は、プラズマ処理装置に用いられる部材である、［１］から［４］の何れかに記載の締結構造。
［６］［５］に記載の締結構造と、前記締結構造によって締結される前記第１部材及び前記第２部材と、を備える、プラズマ処理装置。
［７］ボルトと、弾性部材と、を備え、第１部材と、第２部材と、を締結方向に締結するために用いられる、弾性部材付きボルトであって、前記ボルトは、第１頭部と、前記第１頭部よりも前記ボルトの先端側に位置し、前記第１部材と前記第２部材とが締結している状態において前記第１部材に接する第２頭部と、前記第１頭部と前記第２頭部とを連結して前記締結方向に延び、前記第１頭部及び前記第２頭部よりも小径である連結部と、を具備し、前記弾性部材は、前記締結方向に伸長又は収縮可能であり、一端が前記連結部に対して前記締結方向周りに回転可能に取り付けられ、他端が前記第１部材に対して取り付けられる、弾性部材付きボルト。
【発明の効果】
【0023】
本発明によれば、メンテナンス等において、第１部材と第２部材との締結を解除する際に生じる不具合を、比較的簡易且つ交換容易な構成で低減可能である。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】従来の締結構造を備えるプラズマ処理装置の概略構成を模式的に示す断面図である。
【図2】従来の締結構造の問題点を模式的に示す拡大断面図である。
【図3】本発明の実施形態に係る締結構造を備えるプラズマ処理装置の概略構成を模式的に示す断面図である。
【図4】本発明の第１実施形態に係る締結構造の概略構成を模式的に示す図である。
【図5】本発明の第１実施形態に係る締結構造の変形例の概略構成を模式的に示す図である。
【図6】本発明の第２実施形態に係る締結構造の概略構成を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
以下、添付図面を適宜参照しつつ、本発明の実施形態（第１実施形態及び第２実施形態）に係る締結構造（第１部材と第２部材とを締結方向に締結する締結構造）について、プラズマ処理装置に適用する場合を例に挙げて説明する。また、締結方向が上下方向であり、第１部材が第２部材よりも上方に位置する場合を例に挙げて説明する。なお、各図に表された構成要素の寸法、縮尺及び形状は、実際のものとは異なっている場合があることに留意されたい。
【0026】
＜プラズマ処理装置の概要＞
最初に、本実施形態に係る締結構造を備えるプラズマ処理装置の概要について説明する。
図３は、本実施形態に係る締結構造を備えるプラズマ処理装置の概略構成を模式的に示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態に係るプラズマ処理装置は、ドット状のハッチングを施した第１部材２０（プラズマ処理装置において、プラズマを生成するプラズマ生成空間２１を形成する部材）と、第１部材２０よりも下方に位置する斜線のハッチングを施した第２部材３０（プラズマ処理装置において、基板Ｓにプラズマ処理を施すプラズマ処理空間３１を形成する部材）と、を備え、平面視で略円形の装置である。第１部材２０と第２部材３０とは、締結構造１０によって締結されている。図３では、便宜上、２つの締結構造１０が図示されているが、第１部材２０と第２部材３０との締結を確実に行うには、２つより多くの締結構造１０を用いることが好ましい。
最初に、本実施形態に係る締結構造を備えるプラズマ処理装置の概要について説明する。
図３は、本実施形態に係る締結構造を備えるプラズマ処理装置の概略構成を模式的に示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態に係るプラズマ処理装置は、ドット状のハッチングを施した第１部材２０（プラズマ処理装置において、プラズマを生成するプラズマ生成空間２１を形成する部材）と、第１部材２０よりも下方に位置する斜線のハッチングを施した第２部材３０（プラズマ処理装置において、基板Ｓにプラズマ処理を施すプラズマ処理空間３１を形成する部材）と、を備え、平面視で略円形の装置である。第１部材２０と第２部材３０とは、締結構造１０によって締結されている。図３では、便宜上、２つの締結構造１０が図示されているが、第１部材２０と第２部材３０との締結を確実に行うには、２つより多くの締結構造１０を用いることが好ましい。
【0027】
第１部材２０は、上胴部２２と、芯部材２３と、天板２４と、上底板２５と、コイル２６と、カバー２７と、を具備する。上胴部２２の下面には上底板２５が取り付けられ、上胴部２２の上面には天板２４が取り付けられている。天板２４の中心部には、芯部材２３が取り付けられている。これら上胴部２２、芯部材２３、天板２４及び上底板２５によって区画される空間がプラズマ生成空間２１である。コイル２６は、プラズマ生成空間２１を囲うように、上胴部２２の外方に配置されている。カバー２７は、コイル２６を電磁シールドするために、コイル２６の外方に配置されている。
【0028】
第２部材３０は、下胴部３２と、載置台３３と、支持台３４と、下底板３５と、を具備する。下胴部３２の下面には下底板３５が取り付けられ、下胴部３２の上面には締結構造１０によって第１部材２０の上底板２５が締結されている。下底板３５には支持台３４が取り付けられ、支持台３４には、基板Ｓを載置するための載置台３３が取り付けられている。これら下胴部３２、載置台３３、支持台３４及び下底板３５によって区画される空間がプラズマ処理空間３１である。
【0029】
また、本実施形態に係るプラズマ処理装置は、高周波電源４０、５０と、マッチングユニット（インピーダンス整合器）６０、７０と、ガス供給源８０と、排気装置９０と、を備える。高周波電源４０は、マッチングユニット６０を介してコイル２６に高周波電力を印加する。高周波電源５０は、マッチングユニット７０を介して載置台３３に高周波電力を印加する。ガス供給源８０は、プラズマを生成するためのガスをプラズマ生成空間２１に供給する。排気装置９０は、プラズマ生成空間２１及びプラズマ処理空間３１のガスを外部に排気する。
【0030】
以上に説明した構成を有するプラズマ処理装置において、基板Ｓを載置台３３に載置し、排気装置９０によってプラズマ生成空間２１及びプラズマ処理空間３１を減圧状態にした後、高周波電源４０、５０からコイル２６及び載置台３３にそれぞれ高周波電力を印加すると共に、ガス供給源８０からプラズマ生成空間２１に対してプラズマ生成用ガスを供給する。コイル２６に高周波電力が印加されることでプラズマ生成空間２１に誘導電界が生じ、この誘導電界によって、プラズマ生成用ガスがプラズマ化する。一方、載置台３３に高周波電力が印加されることで載置台３３とプラズマとの間に電位差が生じ、プラズマ中のイオンがこの電位差によって載置台３３に向けて移動する。プラズマ中のイオンが基板Ｓに衝突することや、プラズマ中のラジカルが基板Ｓと反応することで、基板Ｓに対してプラズマエッチングやプラズマ成膜等のプラズマ処理が施される。
【0031】
＜締結構造１０＞
以下、本実施形態に係る締結構造１０について説明する。
［第１実施形態］
最初に、第１実施形態に係る締結構造１０について説明する。
図４は、第１実施形態に係る締結構造１０の概略構成を模式的に示す図である。図４（ａ）は、前述の第１部材２０と第２部材３０とが締結している状態における締結構造１０を示す拡大断面図である。図４（ｂ）は、締結構造１０を構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。図４（ｃ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における締結構造１０を示す拡大断面図である。
図４に示すように、第１実施形態に係る締結構造１０は、ボルト１と、孔部２と、雌ねじ部３と、弾性部材４と、を備え、第１部材２０（本実施形態では、上底板２５）と第２部材３０（本実施形態では、下胴部３２）とを締結するものである。また、図４に示す例では、締結構造１０は、環状部材５を備えている。図４に示す環状部材５は、その外形が閉曲面を構成する完全環状部材である。
以下、本実施形態に係る締結構造１０について説明する。
［第１実施形態］
最初に、第１実施形態に係る締結構造１０について説明する。
図４は、第１実施形態に係る締結構造１０の概略構成を模式的に示す図である。図４（ａ）は、前述の第１部材２０と第２部材３０とが締結している状態における締結構造１０を示す拡大断面図である。図４（ｂ）は、締結構造１０を構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。図４（ｃ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における締結構造１０を示す拡大断面図である。
図４に示すように、第１実施形態に係る締結構造１０は、ボルト１と、孔部２と、雌ねじ部３と、弾性部材４と、を備え、第１部材２０（本実施形態では、上底板２５）と第２部材３０（本実施形態では、下胴部３２）とを締結するものである。また、図４に示す例では、締結構造１０は、環状部材５を備えている。図４に示す環状部材５は、その外形が閉曲面を構成する完全環状部材である。
【0032】
ボルト１は、雄ねじ部１１と、第１頭部１２と、第２頭部１３と、連結部１４と、を具備する。
雄ねじ部１１は、一般的なボルトと同様に、ボルト１の下端部に設けられている。
第１頭部１２は、一般的なボルトと同様に、ボルト１の上端部に設けられている。第１頭部１２は、必ずしもこれに限られるものではないが、一般的な六角穴付きボルトと同様に、六角穴１２１を有する。このため、六角穴１２１に六角レンチを挿入して回転させることで、第１頭部１２、ひいてはボルト１を回転させることができる。
第２頭部１３は、第１頭部１２よりも下方に位置し、第１部材２０と第２部材３０とが締結している状態（図４（ａ）に示す状態）において第１部材２０（上底板２５）に接する。第２頭部１３は、必ずしもこれに限られるものではないが、第１頭部１２と同一の外径を有する。
連結部１４は、第１頭部１２と第２頭部１３とを連結して上下方向（Ｚ方向）に延び、第１頭部１２及び第２頭部１３よりも小径である。
雄ねじ部１１は、一般的なボルトと同様に、ボルト１の下端部に設けられている。
第１頭部１２は、一般的なボルトと同様に、ボルト１の上端部に設けられている。第１頭部１２は、必ずしもこれに限られるものではないが、一般的な六角穴付きボルトと同様に、六角穴１２１を有する。このため、六角穴１２１に六角レンチを挿入して回転させることで、第１頭部１２、ひいてはボルト１を回転させることができる。
第２頭部１３は、第１頭部１２よりも下方に位置し、第１部材２０と第２部材３０とが締結している状態（図４（ａ）に示す状態）において第１部材２０（上底板２５）に接する。第２頭部１３は、必ずしもこれに限られるものではないが、第１頭部１２と同一の外径を有する。
連結部１４は、第１頭部１２と第２頭部１３とを連結して上下方向（Ｚ方向）に延び、第１頭部１２及び第２頭部１３よりも小径である。
【0033】
孔部２は、第１部材２０（上底板２５）に設けられ、ボルト１が挿入される。孔部２の内径は、雄ねじ部１１の外径よりも大きく、第２頭部１３の外径よりも小さければよい。
雌ねじ部３は、第２部材３０（下胴部３２）における孔部２と上下方向に対向する位置に設けられ、ボルト１の雄ねじ部１１と噛み合う。
雌ねじ部３は、第２部材３０（下胴部３２）における孔部２と上下方向に対向する位置に設けられ、ボルト１の雄ねじ部１１と噛み合う。
【0034】
弾性部材４は、ボルト１に上向き（Ｚ方向上向き）の力を作用させる機能を有する。弾性部材４としては、必ずしもこれに限るものではないが、本実施形態では、ばねが用いられている。ばねとしては、金属ばねに限るものではなく、樹脂ばねを用いてもよい。弾性部材４は、一端（第１実施形態では、下端）が連結部１４に対して取り付けられており、他端（第１実施形態では、上端）が第１部材２０（図４に示す例では、カバー２７）に対して取り付けられている。
図４に示す例では、弾性部材４の下端は、環状部材５を介して、連結部１４に対して取り付けられている。環状部材５は、連結部１４が挿入される孔部５１を有し、環状部材５の孔部５１の内径は、連結部１４の外径よりも大きい。また、環状部材５の孔部５１の内径は、第１頭部１２の外径及び第２頭部１３の外径よりも小さい。これにより、環状部材５は、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられている。また、環状部材５は、連結部１４に対して上下方向に移動可能である。そして、弾性部材４の下端が、環状部材５に取り付けられている。図４に示す例では、環状部材５に取付孔５２が設けられ、弾性部材４の下端が取付孔５２に係止されることで、環状部材５に取り付けられているが、必ずしもこれに限るものではない。以上の構成により、弾性部材４の下端は、環状部材５を介して、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられている。
また、図４に示す例では、弾性部材４の上端は、カバー２７に取り付けられたＬ型ブラケット２７１を介して、カバー２７に対して取り付けられている。Ｌ型ブラケット２７１は、例えば、ねじ止めや溶接によってカバー２７に取り付けられる。また、弾性部材４の上端は、環状部材５と同様に、例えば、Ｌ型ブラケット２７１に取付孔が設けられ、この取付孔に係止されることで、Ｌ型ブラケット２７１に取り付けられる。以上の構成により、弾性部材４の上端は、Ｌ型ブラケット２７１を介して、カバー２７に取り付けられている。
図４に示す例では、弾性部材４の下端は、環状部材５を介して、連結部１４に対して取り付けられている。環状部材５は、連結部１４が挿入される孔部５１を有し、環状部材５の孔部５１の内径は、連結部１４の外径よりも大きい。また、環状部材５の孔部５１の内径は、第１頭部１２の外径及び第２頭部１３の外径よりも小さい。これにより、環状部材５は、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられている。また、環状部材５は、連結部１４に対して上下方向に移動可能である。そして、弾性部材４の下端が、環状部材５に取り付けられている。図４に示す例では、環状部材５に取付孔５２が設けられ、弾性部材４の下端が取付孔５２に係止されることで、環状部材５に取り付けられているが、必ずしもこれに限るものではない。以上の構成により、弾性部材４の下端は、環状部材５を介して、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられている。
また、図４に示す例では、弾性部材４の上端は、カバー２７に取り付けられたＬ型ブラケット２７１を介して、カバー２７に対して取り付けられている。Ｌ型ブラケット２７１は、例えば、ねじ止めや溶接によってカバー２７に取り付けられる。また、弾性部材４の上端は、環状部材５と同様に、例えば、Ｌ型ブラケット２７１に取付孔が設けられ、この取付孔に係止されることで、Ｌ型ブラケット２７１に取り付けられる。以上の構成により、弾性部材４の上端は、Ｌ型ブラケット２７１を介して、カバー２７に取り付けられている。
【0035】
第１実施形態の弾性部材４は、第１部材２０（上底板２５）と第２部材３０（下胴部３２）との締結が解除された状態（すなわち、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３とが噛み合っていない状態）において、自然長よりも上下方向に伸長していることで、ボルト１に上向きの力を作用させるように構成されている。
具体的には、図４（ａ）に示す締結状態から、ボルト１の第１頭部１２を締め付け方向と逆方向に回転させることで、ボルト１は雌ねじ部３に対して上方に移動し、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３との噛み合いが解除される。この時点で、弾性部材４は、自然長よりも伸長しているため、弾性部材４は収縮し、連結部１４に対して取り付けられた弾性部材４の下端が上方に移動する。これにより、弾性部材４の下端が取り付けられた環状部材５も上方に移動し、第１頭部１２を介してボルト１が上方に引っ張り上げられることになる。ボルト１は、ボルト１及び環状部材５の自重と、弾性部材４によって作用する上向きの力が釣り合うまで、引っ張り上げられる。
具体的には、図４（ａ）に示す締結状態から、ボルト１の第１頭部１２を締め付け方向と逆方向に回転させることで、ボルト１は雌ねじ部３に対して上方に移動し、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３との噛み合いが解除される。この時点で、弾性部材４は、自然長よりも伸長しているため、弾性部材４は収縮し、連結部１４に対して取り付けられた弾性部材４の下端が上方に移動する。これにより、弾性部材４の下端が取り付けられた環状部材５も上方に移動し、第１頭部１２を介してボルト１が上方に引っ張り上げられることになる。ボルト１は、ボルト１及び環状部材５の自重と、弾性部材４によって作用する上向きの力が釣り合うまで、引っ張り上げられる。
【0036】
この際、弾性部材４の弾性定数（本実施形態では、ばね定数）や自然長が、図４（ｃ）に示すように、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態において（ボルト１の上方への移動が終了した状態において）、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置するように、また、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の上端２ｂよりも下方に位置するように、適切な値に設定されている。
【0037】
以上に説明した構成を有するボルト１及び環状部材５は、例えば、３Ｄプリンターを用いて、その全体を一体成型して製造することが可能である。また、３Ｄプリンターによるボルト１の製造を途中で中断し（例えば、雄ねじ部１１、第２頭部１３及び連結部１４を製造した時点で中断し）、別途用意した環状部材５を連結部１４に嵌め込んだ後に、３Ｄプリンターによるボルト１の製造を再開（例えば、第１頭部１２を製造）して製造することも可能である。
【0038】
以上に説明したように、第１実施形態に係る締結構造１０は、比較的簡易且つ交換容易な構成であり、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態において、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置するため、図２を参照して説明した従来の締結構造１０’のような不具合を低減可能である。また、上端が第１部材２０に対して取り付けられた弾性部材４の下端が、ボルト１の連結部１４に対して取り付けられているため、仮に、ボルト１が孔部２から外れたとしても、ボルト１が落下して紛失する等のおそれもない。
特に、図４に示す例では、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置し、なお且つ、上端２ｂよりも下方に位置する（すなわち、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２内に位置する）ため、ボルト１が孔部２から外れ難く、例えば、メンテナンス後に第１部材２０と第２部材３０とを再び締結する際、ボルト１を孔部２に挿入する手間が掛からないという利点が得られる。
また、締結構造１０によって第１部材２０と第２部材３０とを締結する際には、ボルト１を上下方向周りに回転させることで、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３とを噛み合わせるが、弾性部材４の下端が、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能である（換言すれば、ボルト１（連結部１４）が上下方向周りに回転しても、これに伴って、弾性部材４の下端がボルト１と共に回転することがない）ため、弾性部材４が捻れるおそれがない。
特に、図４に示す例では、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置し、なお且つ、上端２ｂよりも下方に位置する（すなわち、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２内に位置する）ため、ボルト１が孔部２から外れ難く、例えば、メンテナンス後に第１部材２０と第２部材３０とを再び締結する際、ボルト１を孔部２に挿入する手間が掛からないという利点が得られる。
また、締結構造１０によって第１部材２０と第２部材３０とを締結する際には、ボルト１を上下方向周りに回転させることで、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３とを噛み合わせるが、弾性部材４の下端が、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能である（換言すれば、ボルト１（連結部１４）が上下方向周りに回転しても、これに伴って、弾性部材４の下端がボルト１と共に回転することがない）ため、弾性部材４が捻れるおそれがない。
【0039】
なお、図４には、弾性部材４の下端が、環状部材５を介して、連結部１４に対して取り付けられている例を示したが、本発明はこれに限るものではない。
図５は、第１実施形態に係る締結構造１０の変形例の概略構成を模式的に示す図である。図５（ａ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における第１変形例の締結構造１０Ａを示す拡大断面図である。図５（ｂ）は、締結構造１０Ａを構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。図５（ｃ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における第２変形例の締結構造１０Ｂを示す拡大断面図である。図５（ｄ）は、締結構造１０Ｂを構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。
図５は、第１実施形態に係る締結構造１０の変形例の概略構成を模式的に示す図である。図５（ａ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における第１変形例の締結構造１０Ａを示す拡大断面図である。図５（ｂ）は、締結構造１０Ａを構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。図５（ｃ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における第２変形例の締結構造１０Ｂを示す拡大断面図である。図５（ｄ）は、締結構造１０Ｂを構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。
【0040】
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、第１変形例の締結構造１０Ａでは、弾性部材４の下端部４１が、連結部１４に対して巻かれることで連結部１４に対して直接的に取り付けられている点が、前述の締結構造１０と異なり、その他の構成は締結構造１０と同様である。弾性部材４の下端部４１の内径は、連結部１４の外径よりも大きい。また、弾性部材４の下端部４１の内径は、第１頭部１２の外径及び第２頭部１３の外径よりも小さい。
また、図５（ｃ）及び図５（ｄ）に示すように、第２変形例の締結構造１０Ｂでは、弾性部材４の下端が、部分的環状部材であるＥ型リング６を介して、連結部１４に対して取り付けられている点が、前述の締結構造１０と異なり、その他の構成は締結構造１０と同様である。第２変形例の締結構造１０Ｂに用いるＥ型リング６は、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能となるように、その呼び径（内径）が連結部１４の外径よりも若干大きくなっている。具体的には、呼び径（内径）が連結部１４の外径よりも若干大きな既存のＥ型リング６を選択して用いたり、既存のＥ型リング６の内側を削って、呼び径（内径）を連結部１４の外径よりも若干大きくするといった態様が考えられる。また、Ｅ型リング６の呼び径（内径）は、第１頭部１２の外径及び第２頭部１３の外径よりも小さい。なお、Ｅ型リング６は、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能であると共に、連結部１４に対して取り付けられた後には、連結部１４から容易に外れないものである限り、その形状に制約はない。弾性部材４の下端のＥ型リング６への取り付け方法としては、例えば、締結構造１０と同様に、Ｅ型リング６に取付孔（図示せず）を設けて、この取付孔に弾性部材４の下端を係止することで取り付けることが考えられるが、必ずしもこれに限るものではない。
また、図５（ｃ）及び図５（ｄ）に示すように、第２変形例の締結構造１０Ｂでは、弾性部材４の下端が、部分的環状部材であるＥ型リング６を介して、連結部１４に対して取り付けられている点が、前述の締結構造１０と異なり、その他の構成は締結構造１０と同様である。第２変形例の締結構造１０Ｂに用いるＥ型リング６は、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能となるように、その呼び径（内径）が連結部１４の外径よりも若干大きくなっている。具体的には、呼び径（内径）が連結部１４の外径よりも若干大きな既存のＥ型リング６を選択して用いたり、既存のＥ型リング６の内側を削って、呼び径（内径）を連結部１４の外径よりも若干大きくするといった態様が考えられる。また、Ｅ型リング６の呼び径（内径）は、第１頭部１２の外径及び第２頭部１３の外径よりも小さい。なお、Ｅ型リング６は、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能であると共に、連結部１４に対して取り付けられた後には、連結部１４から容易に外れないものである限り、その形状に制約はない。弾性部材４の下端のＥ型リング６への取り付け方法としては、例えば、締結構造１０と同様に、Ｅ型リング６に取付孔（図示せず）を設けて、この取付孔に弾性部材４の下端を係止することで取り付けることが考えられるが、必ずしもこれに限るものではない。
【0041】
第１変形例の締結構造１０Ａ及び第２変形例の締結構造１０Ｂについても、締結構造１０と同様に、比較的簡易且つ交換容易な構成であり、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態において、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置し、雄ねじ部１１の下端が孔部２の上端２ｂよりも下方に位置するため、図２を参照して説明した従来の締結構造１０’のような不具合を低減可能である。また、上端が第１部材２０に対して取り付けられた弾性部材４の下端が、ボルト１の連結部１４に対して取り付けられているため、仮に、ボルト１が孔部２から外れたとしても、ボルト１が落下して紛失する等のおそれもない。
【0042】
なお、連結部１４に対する弾性部材４の下端の取付方法は、締結構造１０、１０Ａ、１０Ｂの態様に限るものではなく、弾性部材４の下端が連結部１４に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられる限りにおいて、その他の種々の態様を採用することも可能である。
【0043】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃについて説明する。
図６は、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃの概略構成を模式的に示す図である。図６（ａ）は、前述の第１部材２０と第２部材３０とが締結している状態における締結構造１０Ｃを示す拡大断面図である。図６（ｂ）は、締結構造１０Ｃを構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。図６（ｃ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における締結構造１０Ｃを示す拡大断面図である。
図６に示すように、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃは、ボルト１と、孔部２と、雌ねじ部３と、弾性部材４と、を備え、第１部材２０（上底板２５）と第２部材３０（下胴部３２）とを締結するものである。また、図６に示す例では、締結構造１０Ｃは、環状部材５を備えている。以上の点では、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃは、第１実施形態に係る締結構造１０と同様の構成である。
以下、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃの具体的な内容について、第１実施形態に係る締結構造１０と同様の構成要素については、同じ符号を付すに留めて適宜説明を省略し、主として第１実施形態に係る締結構造１０と異なる点について説明する。
次に、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃについて説明する。
図６は、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃの概略構成を模式的に示す図である。図６（ａ）は、前述の第１部材２０と第２部材３０とが締結している状態における締結構造１０Ｃを示す拡大断面図である。図６（ｂ）は、締結構造１０Ｃを構成するボルト１の近傍を示す拡大平面図である。図６（ｃ）は、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態（ボルト１の上方への移動が終了した状態）における締結構造１０Ｃを示す拡大断面図である。
図６に示すように、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃは、ボルト１と、孔部２と、雌ねじ部３と、弾性部材４と、を備え、第１部材２０（上底板２５）と第２部材３０（下胴部３２）とを締結するものである。また、図６に示す例では、締結構造１０Ｃは、環状部材５を備えている。以上の点では、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃは、第１実施形態に係る締結構造１０と同様の構成である。
以下、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃの具体的な内容について、第１実施形態に係る締結構造１０と同様の構成要素については、同じ符号を付すに留めて適宜説明を省略し、主として第１実施形態に係る締結構造１０と異なる点について説明する。
【0044】
第２実施形態に係る締結構造１０Ｃの弾性部材（ばね）４は、第１頭部１２と第１部材２０（上底板２５）との間において、ボルト１の第２頭部１３及び連結部１４を囲うように配置されている。換言すれば、弾性部材４の内径は、第２頭部１３及び連結部１４の外径よりも大きくなっている。弾性部材４は、一端（第２実施形態では、上端）が環状部材５を介して連結部１４に対して取り付けられており、他端（第２実施形態では、下端）が第１部材２０（図６に示す例では、上底板２５）に対して取り付けられている。
弾性部材４の上端の環状部材５への取り付け方法は、第１実施形態に係る締結構造１０における弾性部材４の下端の環状部材５への取り付け方法と同様である。
図６に示す例では、弾性部材４の下端は、上底板２５に取り付けられたＹ方向に延びる一対の係止部材７を介して、上底板２５に対して取り付けられている。一対の係止部材７は、例えば、ねじ止めによって上底板２５に取り付けられる。一対の係止部材７は、弾性部材４の外径（ばね径）に応じた距離だけＸ方向に離隔しており、弾性部材４の下端近傍をＹ方向から一対の係止部材７の間に挿入し、一対の係止部材７の間で弾性部材４の下端近傍を挟むことで、弾性部材４の下端が上底板２５に対して取り付けられている。なお、図６に示す例では、弾性部材４の下端近傍がＹ方向にずれて一対の係止部材７の間から外れることを防止するため、弾性部材４の下端近傍をＹ方向から一対の係止部材７の間に挿入した後、一対の係止部材７のＹ方向両端部の間にＸ方向に延びる一対のストッパ（図示せず）を取り付けることが好ましい。
なお、図６では、弾性部材４の下端近傍を、一対の係止部材７を介して、上底板２５に対して直接取り付ける場合を例示したが、これに限られるものではない。例えば、弾性部材４の下端に、図示を省略する環状部材（完全環状部材、部分的環状部材）を溶接等によって取り付け、この環状部材を一対の係止部材７の間で挟むことで、弾性部材４の下端を上底板２５に対して間接的に取り付けることも可能である。また、図６では、Ｙ方向に延びる一対の係止部材７を用いる場合を例示したが、これに限られるものではなく、弾性部材４の下端を第１部材２０（上底板２５）に取り付けることができる限りにおいて、種々の態様を採用することが可能である。
弾性部材４の上端の環状部材５への取り付け方法は、第１実施形態に係る締結構造１０における弾性部材４の下端の環状部材５への取り付け方法と同様である。
図６に示す例では、弾性部材４の下端は、上底板２５に取り付けられたＹ方向に延びる一対の係止部材７を介して、上底板２５に対して取り付けられている。一対の係止部材７は、例えば、ねじ止めによって上底板２５に取り付けられる。一対の係止部材７は、弾性部材４の外径（ばね径）に応じた距離だけＸ方向に離隔しており、弾性部材４の下端近傍をＹ方向から一対の係止部材７の間に挿入し、一対の係止部材７の間で弾性部材４の下端近傍を挟むことで、弾性部材４の下端が上底板２５に対して取り付けられている。なお、図６に示す例では、弾性部材４の下端近傍がＹ方向にずれて一対の係止部材７の間から外れることを防止するため、弾性部材４の下端近傍をＹ方向から一対の係止部材７の間に挿入した後、一対の係止部材７のＹ方向両端部の間にＸ方向に延びる一対のストッパ（図示せず）を取り付けることが好ましい。
なお、図６では、弾性部材４の下端近傍を、一対の係止部材７を介して、上底板２５に対して直接取り付ける場合を例示したが、これに限られるものではない。例えば、弾性部材４の下端に、図示を省略する環状部材（完全環状部材、部分的環状部材）を溶接等によって取り付け、この環状部材を一対の係止部材７の間で挟むことで、弾性部材４の下端を上底板２５に対して間接的に取り付けることも可能である。また、図６では、Ｙ方向に延びる一対の係止部材７を用いる場合を例示したが、これに限られるものではなく、弾性部材４の下端を第１部材２０（上底板２５）に取り付けることができる限りにおいて、種々の態様を採用することが可能である。
【0045】
第２実施形態の弾性部材４も、ボルト１に上向きの力を作用させる点においては、第１実施形態の弾性部材４と同様である。しかしながら、第２実施形態の弾性部材４は、第１実施形態の弾性部材４と異なり、第１部材２０（上底板２５）と第２部材３０（下胴部３２）との締結が解除された状態（すなわち、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３とが噛み合っていない状態）において、自然長よりも上下方向に収縮していることで、ボルト１に上向きの力を作用させるように構成されている。
具体的には、図６（ａ）に示す締結状態から、ボルト１の第１頭部１２を締め付け方向と逆方向に回転させることで、ボルト１は雌ねじ部３に対して上方に移動し、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３との噛み合いが解除される。この時点で、弾性部材４は、自然長よりも収縮しているため、弾性部材４は伸長し、連結部１４に対して取り付けられた弾性部材４の上端が上方に移動する。これにより、弾性部材４の上端が取り付けられた環状部材５も上方に移動し、第１頭部１２を介してボルト１を上方に押し上げることになる。ボルト１は、ボルト１及び環状部材５の自重と、弾性部材４によって作用する上向きの力が釣り合うまで、押し上げられる。
具体的には、図６（ａ）に示す締結状態から、ボルト１の第１頭部１２を締め付け方向と逆方向に回転させることで、ボルト１は雌ねじ部３に対して上方に移動し、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３との噛み合いが解除される。この時点で、弾性部材４は、自然長よりも収縮しているため、弾性部材４は伸長し、連結部１４に対して取り付けられた弾性部材４の上端が上方に移動する。これにより、弾性部材４の上端が取り付けられた環状部材５も上方に移動し、第１頭部１２を介してボルト１を上方に押し上げることになる。ボルト１は、ボルト１及び環状部材５の自重と、弾性部材４によって作用する上向きの力が釣り合うまで、押し上げられる。
【0046】
この際、弾性部材４の弾性定数（本実施形態では、ばね定数）や自然長が、図６（ｃ）に示すように、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態において（ボルト１の上方への移動が終了した状態において）、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置するように、また、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の上端２ｂよりも下方に位置するように、適切な値に設定されている。
【0047】
以上に説明したように、第２実施形態に係る締結構造１０Ｃも、比較的簡易且つ交換容易な構成であり、第１部材２０と第２部材３０との締結が解除された状態において、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置するため、図２を参照して説明した従来の締結構造１０’のような不具合を低減可能である。また、下端が第１部材２０に対して取り付けられた弾性部材４の上端が、ボルト１の連結部１４に対して取り付けられているため、仮に、ボルト１が孔部２から外れたとしても、ボルト１が落下して紛失する等のおそれもない。
特に、図６に示す例では、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置し、なお且つ、上端２ｂよりも下方に位置する（すなわち、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２内に位置する）ため、ボルト１が孔部２から外れ難く、例えば、メンテナンス後に第１部材２０と第２部材３０とを再び締結する際、ボルト１を孔部２に挿入する手間が掛からないという利点が得られる。
また、締結構造１０Ｃによって第１部材２０と第２部材３０とを締結する際には、ボルト１を上下方向周りに回転させることで、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３とを噛み合わせるが、弾性部材４の上端が、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能である（換言すれば、ボルト１（連結部１４）が上下方向周りに回転しても、これに伴って、弾性部材４の上端がボルト１と共に回転することがない）ため、弾性部材４が捻れるおそれがない。
特に、図６に示す例では、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２の下端２ａよりも上方に位置し、なお且つ、上端２ｂよりも下方に位置する（すなわち、ボルト１の雄ねじ部１１の下端が孔部２内に位置する）ため、ボルト１が孔部２から外れ難く、例えば、メンテナンス後に第１部材２０と第２部材３０とを再び締結する際、ボルト１を孔部２に挿入する手間が掛からないという利点が得られる。
また、締結構造１０Ｃによって第１部材２０と第２部材３０とを締結する際には、ボルト１を上下方向周りに回転させることで、ボルト１の雄ねじ部１１と雌ねじ部３とを噛み合わせるが、弾性部材４の上端が、連結部１４に対して上下方向周りに回転可能である（換言すれば、ボルト１（連結部１４）が上下方向周りに回転しても、これに伴って、弾性部材４の上端がボルト１と共に回転することがない）ため、弾性部材４が捻れるおそれがない。
【0048】
なお、図６には、弾性部材４の上端が、環状部材５を介して、連結部１４に対して取り付けられている例を示したが、本発明はこれに限るものではない。
図示を省略するが、第１実施形態に係る締結構造１０と同様に、弾性部材４の上端部が連結部１４に対して巻かれることで連結部１４に対して直接的に取り付けられた態様や、弾性部材４の上端がＥ型リングを介して連結部１４に対して取り付けられた態様など、弾性部材４の上端が連結部１４に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられる限りにおいて、種々の態様を採用することが可能である。
図示を省略するが、第１実施形態に係る締結構造１０と同様に、弾性部材４の上端部が連結部１４に対して巻かれることで連結部１４に対して直接的に取り付けられた態様や、弾性部材４の上端がＥ型リングを介して連結部１４に対して取り付けられた態様など、弾性部材４の上端が連結部１４に対して上下方向周りに回転可能に取り付けられる限りにおいて、種々の態様を採用することが可能である。
【0049】
本実施形態では、締結構造１０～１０Ｃの締結方向が上下方向であり、第１部材２０が第２部材３０よりも上方に位置する場合を例に挙げて説明したが、本発明に係る締結構造は、これに限るものではなく、締結方向が上下方向であり、第１部材２０が第２部材３０よりも下に位置する場合や、締結方向が水平方向である場合や、その他の任意の締結方向である場合についても、同様に適用可能である。
【0050】
また、本実施形態では、コイル２６を備えた誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）方式のプラズマ処理装置に適用する締結構造１０～１０Ｃを例に挙げて説明したが、本発明に係る締結構造は、これに限るものでなく、平行平板を備えた容量結合プラズマ（ＣＣＰ）方式のプラズマ処理装置など、種々の方式のプラズマ処理装置に適用可能である。
【0051】
さらに、本実施形態では、プラズマ処理装置に適用する締結構造１０～１０Ｃを例に挙げて説明したが、本発明に係る締結構造は、これに限るものでなく、第１部材と第２部材とを締結する限りにおいて、種々の対象に適用可能である。
【符号の説明】
【0052】
１・・・ボルト
２・・・孔部
２ａ・・・孔部の下端（孔部の第２部材側の端）
３・・・雌ねじ部
４・・・弾性部材
５・・・環状部材
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ・・・締結構造
１１・・・雄ねじ部
１２・・・第１頭部
１３・・・第２頭部
１４・・・連結部
２０・・・第１部材
３０・・・第２部材
２・・・孔部
２ａ・・・孔部の下端（孔部の第２部材側の端）
３・・・雌ねじ部
４・・・弾性部材
５・・・環状部材
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ・・・締結構造
１１・・・雄ねじ部
１２・・・第１頭部
１３・・・第２頭部
１４・・・連結部
２０・・・第１部材
３０・・・第２部材
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】