(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024122233
(43)【公開日】2024-09-09
(54)【発明の名称】アクチュエータおよびアクチュエータの組立方法
(51)【国際特許分類】
B06B 1/04 20060101AFI20240902BHJP
【ＦＩ】
B06B1/04 S
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023029670
(22)【出願日】2023-02-28
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】田中 尚吾
【テーマコード（参考）】
5D107
【Ｆターム（参考）】
5D107AA12
5D107BB08
5D107CC09
5D107CC10
5D107FF10
(57)【要約】
【課題】ヨークを一つの部材から構成するとともに、ヨークによりコイルを囲む際の締結作業が一か所となるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、支持体２とＸ軸方向に移動可能な状態で支持体２に支持された可動体３を備える。支持体２は、コイル６と、コイル６を保持するコイル保持部３５を有するコイルホルダ３０とを備える。可動体３は、Ｚ１方向でコイルに対向する一方側マグネット７Ａ、Ｚ２方向でコイルに対向する他方側マグネット７Ｂ、並びに、一方側マグネット７Ａおよび他方側マグネット７Ｂが固定されたヨーク８０、を備える可動体３のヨーク８０は、平板形状の一枚のヨーク部材１００に３つの屈曲部８５、８６、８７と、一つの固定部８８とを設けることにより、コイル保持部３５を囲む形状とされている。
【選択図】図２
【解決手段】アクチュエータ１は、支持体２とＸ軸方向に移動可能な状態で支持体２に支持された可動体３を備える。支持体２は、コイル６と、コイル６を保持するコイル保持部３５を有するコイルホルダ３０とを備える。可動体３は、Ｚ１方向でコイルに対向する一方側マグネット７Ａ、Ｚ２方向でコイルに対向する他方側マグネット７Ｂ、並びに、一方側マグネット７Ａおよび他方側マグネット７Ｂが固定されたヨーク８０、を備える可動体３のヨーク８０は、平板形状の一枚のヨーク部材１００に３つの屈曲部８５、８６、８７と、一つの固定部８８とを設けることにより、コイル保持部３５を囲む形状とされている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
互いに直交する２方向を第１軸方向および第２軸方向とした場合に、前記第１軸方向に開口を向けるコイル、前記コイルを保持するコイル保持部を有するコイルホルダ、前記コイルホルダを前記第１軸方向の一方側から支持する第１支持部材、および前記コイルホルダを前記第１軸方向の他方側から支持する第２支持部材、を備える支持体と、
前記第１軸方向の一方側で前記コイルに対向する一方側マグネット、前記第１軸方向の他方側で前記コイルに対向する他方側マグネット、並びに、前記一方側マグネットおよび前記他方側マグネットが固定されたヨーク、を備える可動体と、
前記第１支持部材と前記可動体との間で、前記第１支持部材と前記可動体とを前記第２軸方向に相対移動可能に接続する接続体と、
前記一方側マグネット、前記他方側マグネット、および前記コイルを備え、前記可動体と前記支持体とを前記第２軸方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記ヨークは、前記コイル保持部の前記第２軸方向の一方側を前記第１軸方向に延びる第１ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第１軸方向の一方側を前記第２軸方向に延び前記一方側マグネットが固定された第２ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側を前記第１軸方向に延びる第３ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第１軸方向の他方側を前記第２軸方向に延び前記他方側マグネットが固定された第４ヨーク部分、前記第１ヨーク部分と前記第２ヨーク部分とを連続させる第１屈曲部分、前記第２ヨーク部分と前記第３ヨーク部分とを連続させる第２屈曲部分、前記第３ヨーク部分と前記第４ヨーク部分とを連続させる第３屈曲部分、および前記第４ヨーク部分の前記第２軸方向の一方側の端部分と前記第１ヨーク部分の前記第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部、を備え、
前記一方側マグネットは、前記第２軸方向で分極着磁されており、
前記他方側マグネットは、前記第２軸方向で分極着磁されており、
前記一方側マグネットと前記他方側マグネットとは、前記コイルを挟んで異なる極同士が対向することを特徴とするアクチュエータ。
前記第１軸方向の一方側で前記コイルに対向する一方側マグネット、前記第１軸方向の他方側で前記コイルに対向する他方側マグネット、並びに、前記一方側マグネットおよび前記他方側マグネットが固定されたヨーク、を備える可動体と、
前記第１支持部材と前記可動体との間で、前記第１支持部材と前記可動体とを前記第２軸方向に相対移動可能に接続する接続体と、
前記一方側マグネット、前記他方側マグネット、および前記コイルを備え、前記可動体と前記支持体とを前記第２軸方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記ヨークは、前記コイル保持部の前記第２軸方向の一方側を前記第１軸方向に延びる第１ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第１軸方向の一方側を前記第２軸方向に延び前記一方側マグネットが固定された第２ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側を前記第１軸方向に延びる第３ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第１軸方向の他方側を前記第２軸方向に延び前記他方側マグネットが固定された第４ヨーク部分、前記第１ヨーク部分と前記第２ヨーク部分とを連続させる第１屈曲部分、前記第２ヨーク部分と前記第３ヨーク部分とを連続させる第２屈曲部分、前記第３ヨーク部分と前記第４ヨーク部分とを連続させる第３屈曲部分、および前記第４ヨーク部分の前記第２軸方向の一方側の端部分と前記第１ヨーク部分の前記第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部、を備え、
前記一方側マグネットは、前記第２軸方向で分極着磁されており、
前記他方側マグネットは、前記第２軸方向で分極着磁されており、
前記一方側マグネットと前記他方側マグネットとは、前記コイルを挟んで異なる極同士が対向することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項2】
前記固定部は、溶接痕を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記固定部は、カシメ痕を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記コイルホルダは、前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に前記第１軸方向に貫通する開口部を備え、
前記第３ヨーク部分は、前記開口部を貫通しており、
前記第３ヨーク部分および前記第４ヨーク部分の厚みは同一であり、
前記第２軸方向における前記開口部の幅寸法は、前記第４ヨーク部分のヨーク厚み寸法と前記他方側マグネットのマグネット厚み寸法との合計寸法よりも長いことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記第３ヨーク部分は、前記開口部を貫通しており、
前記第３ヨーク部分および前記第４ヨーク部分の厚みは同一であり、
前記第２軸方向における前記開口部の幅寸法は、前記第４ヨーク部分のヨーク厚み寸法と前記他方側マグネットのマグネット厚み寸法との合計寸法よりも長いことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記支持体は、前記コイルとして、第１コイルおよび前記第１コイルの前記第２軸方向の他方側に配列された第２コイルを備え、
前記可動体は、前記一方側マグネットとして、前記第１コイルと対向する第１マグネットおよび前記第１マグネットの前記第２軸方向の他方側で前記第２コイルと対向する第２マグネットを備え、前記他方側マグネットとして、前記第２コイルと対向する第３マグネットおよび前記第２マグネットの前記第２軸方向の一方側で前記第１コイルと対応する第４マグネットを備え、
前記第１マグネットと前記第４マグネットとは、前記第１コイルを挟んで異なる極同士が対向し、
前記第３マグネットと前記第２マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士
が対向することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記可動体は、前記一方側マグネットとして、前記第１コイルと対向する第１マグネットおよび前記第１マグネットの前記第２軸方向の他方側で前記第２コイルと対向する第２マグネットを備え、前記他方側マグネットとして、前記第２コイルと対向する第３マグネットおよび前記第２マグネットの前記第２軸方向の一方側で前記第１コイルと対応する第４マグネットを備え、
前記第１マグネットと前記第４マグネットとは、前記第１コイルを挟んで異なる極同士が対向し、
前記第３マグネットと前記第２マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士
が対向することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
請求項１に記載のアクチュエータの組立方法において、
平板形状のヨーク部材の一方の面に設定された第１固定位置に前記一方側マグネットを固定するとともに、前記第１固定位置の前記第２軸方向の他方側に設定された第２固定位置に前記他方側マグネットを固定するマグネット固定工程と、
前記ヨーク部材を前記一方側マグネットが固定された第１固定位置の前記第２軸方向の一方側で折り曲げて当該ヨーク部材に前記第１屈曲部分および前記第１ヨーク部分を形成するとともに、前記ヨーク部材を前記第１固定位置の前記第２軸方向の他方側で折り曲げて当該ヨーク部材に前記第２屈曲部分、前記第２ヨーク部分、および前記第３ヨーク部分と前記第４ヨーク部分が前記第１軸方向に連続して直線状に延びる延設ヨーク部分を形成するヨーク準備工程と、
前記第１屈曲部分、前記第２ヨーク部分、および前記第２屈曲部分を前記コイル保持部の前記第１軸方向の一方側に配置して、前記第１ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の一方側に位置させるとともに、前記延設ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に位置させるヨーク配置工程と、
前記延設ヨーク部分を前記他方側マグネットが固定された前記第２固定位置と前記第２屈曲部分との間であって前記コイル保持部よりも前記第１軸方向の他方側で折り曲げて前記ヨーク部材に前記第３ヨーク部分、前記第３屈曲部分および前記第４ヨーク部分を形成して前記第４ヨーク部分を前記第２軸方向に延設させるヨーク折曲工程と、
前記第４ヨーク部分の前記第２軸方向の一方側の端部分と前記第１ヨーク部分の前記第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部形成工程と、
を備えることを特徴とするアクチュエータの組立方法。
平板形状のヨーク部材の一方の面に設定された第１固定位置に前記一方側マグネットを固定するとともに、前記第１固定位置の前記第２軸方向の他方側に設定された第２固定位置に前記他方側マグネットを固定するマグネット固定工程と、
前記ヨーク部材を前記一方側マグネットが固定された第１固定位置の前記第２軸方向の一方側で折り曲げて当該ヨーク部材に前記第１屈曲部分および前記第１ヨーク部分を形成するとともに、前記ヨーク部材を前記第１固定位置の前記第２軸方向の他方側で折り曲げて当該ヨーク部材に前記第２屈曲部分、前記第２ヨーク部分、および前記第３ヨーク部分と前記第４ヨーク部分が前記第１軸方向に連続して直線状に延びる延設ヨーク部分を形成するヨーク準備工程と、
前記第１屈曲部分、前記第２ヨーク部分、および前記第２屈曲部分を前記コイル保持部の前記第１軸方向の一方側に配置して、前記第１ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の一方側に位置させるとともに、前記延設ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に位置させるヨーク配置工程と、
前記延設ヨーク部分を前記他方側マグネットが固定された前記第２固定位置と前記第２屈曲部分との間であって前記コイル保持部よりも前記第１軸方向の他方側で折り曲げて前記ヨーク部材に前記第３ヨーク部分、前記第３屈曲部分および前記第４ヨーク部分を形成して前記第４ヨーク部分を前記第２軸方向に延設させるヨーク折曲工程と、
前記第４ヨーク部分の前記第２軸方向の一方側の端部分と前記第１ヨーク部分の前記第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部形成工程と、
を備えることを特徴とするアクチュエータの組立方法。
【請求項7】
前記固定部形成工程では、前記第４ヨーク部分と前記第１ヨーク部分とを溶接することを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
【請求項8】
前記固定部形成工程では、前記第４ヨーク部分と前記第１ヨーク部分とをカシメることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
【請求項9】
前記コイルホルダは、前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に前記第１軸方向に貫通する開口部を備えており、
前記ヨーク配置工程では、前記開口部に前記延設ヨーク部分を貫通させて、前記延設ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に位置させ、
前記第２軸方向における前記開口部の幅寸法は、前記延設ヨーク部分の厚み寸法と前記他方側マグネットの厚み寸法との合計よりも長いことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
前記ヨーク配置工程では、前記開口部に前記延設ヨーク部分を貫通させて、前記延設ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に位置させ、
前記第２軸方向における前記開口部の幅寸法は、前記延設ヨーク部分の厚み寸法と前記他方側マグネットの厚み寸法との合計よりも長いことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
【請求項10】
前記マグネット固定工程では、前記一方側マグネットおよび他方側マグネットとして前記第２軸方向で分極着磁されたものを用い、前記第２軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように配置することを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
【請求項11】
前記アクチュエータは、前記支持体に、前記コイルとして、第１コイルおよび前記第１コイルの前記第２軸方向の他方側に配列された第２コイルを備え、前記可動体に、前記一方側マグネットとして、前記第１コイルと対向する第１マグネットおよび前記第１マグネットの前記第２軸方向の他方側で前記第２コイルと対向する第２マグネットを備え、前記他方側マグネットとして、前記第２コイルと対向する第３マグネットおよび前記第２マグネットの前記第２軸方向の一方側で前記第１コイルと対応する第４マグネットを備え、前記第１マグネットと前記第４マグネットとは、前記第１コイルを挟んで異なる極同士が対
向し、前記第２マグネットと前記第３マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士が対向し、
前記マグネット固定工程では、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および第４マグネットとして前記第２軸方向で分極着磁されたものを用い、前記第２軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および第４マグネットを第２軸方向の一方側から他方側に向かってこの順で配置することを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
向し、前記第２マグネットと前記第３マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士が対向し、
前記マグネット固定工程では、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および第４マグネットとして前記第２軸方向で分極着磁されたものを用い、前記第２軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および第４マグネットを第２軸方向の一方側から他方側に向かってこの順で配置することを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
【請求項12】
前記マグネット固定工程では、前記一方側マグネットおよび他方側マグネットとして未着磁のものを用い、
前記マグネット固定工程と前記ヨーク準備工程との間に、前記一方側マグネットと前記他方側マグネットとを、前記第２軸方向にＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁するマグネット着磁工程を備えることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
前記マグネット固定工程と前記ヨーク準備工程との間に、前記一方側マグネットと前記他方側マグネットとを、前記第２軸方向にＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁するマグネット着磁工程を備えることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
【請求項13】
前記アクチュエータは、前記支持体に、前記コイルとして、第１コイルおよび前記第１コイルの前記第２軸方向の他方側に配列された第２コイルを備え、前記可動体に、前記一方側マグネットとして、前記第１コイルと対向する第１マグネットおよび前記第１マグネットの前記第２軸方向の他方側で前記第２コイルと対向する第２マグネットを備え、前記他方側マグネットとして、前記第２コイルと対向する第３マグネットおよび前記第２マグネットの前記第２軸方向の一方側で前記第１コイルと対応する第４マグネットを備え、前記第１マグネットと前記第４マグネットとは、前記第１コイルを挟んで異なる極同士が対向し、前記第２マグネットと前記第３マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士が対向し、
前記マグネット固定工程では、前記第１マグネット、第２マグネット、第３マグネット、および第４マグネットとして未着磁のものを用い、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および前記第４マグネットを前記第２軸方向の一方側から他方側に向かってこの順で前記ヨーク部材に固定し、
前記マグネット固定工程と前記ヨーク準備工程との間に、前記第１マグネット、第２マグネット、第３マグネット、および第４マグネットを、前記第２軸方向でＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁するマグネット着磁工程を備えることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
前記マグネット固定工程では、前記第１マグネット、第２マグネット、第３マグネット、および第４マグネットとして未着磁のものを用い、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および前記第４マグネットを前記第２軸方向の一方側から他方側に向かってこの順で前記ヨーク部材に固定し、
前記マグネット固定工程と前記ヨーク準備工程との間に、前記第１マグネット、第２マグネット、第３マグネット、および第４マグネットを、前記第２軸方向でＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁するマグネット着磁工程を備えることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータの組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、コイルおよびマグネットを有する磁気駆動機構によって可動体を移動させるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
情報を振動によって報知するデバイスとして、支持体に支持された可動体を磁気駆動機構によって振動させるアクチュエータが知られている。特許文献１のアクチュータは、コイルを備える支持体と、マグネットおよびヨークを備える可動体と、可動体と支持体とを相対移動可能に接続する接続体と、を備える。可動体のマグネットは、コイルの巻回部と対向する。磁気駆動機構は、コイルとマグネットが対向する対向方向と直交する方向に可動体と支持体とを相対移動させる。
【0003】
同文献のアクチュエータは、互いに直交する３方向を第１軸方向、第２軸方向、および第３軸方向とし、コイルとマグネットとの対向方向を第１軸方向、可動体と支持体との相対移動方向を第２軸方向とした場合に、マグネットとして、第１軸方向の一方側でコイルに対向する複数の第１マグネットと、第１軸方向の他方側でコイルに対向する複数の第２マグネットと備える。ヨークは、複数の第１マグネットを保持する第１ヨーク部材と、複数の第２マグネットを保持する第２ヨーク部材との２部材からなる。
【0004】
第１ヨーク部材は、コイルの第１軸方向の一方側を第２軸方向に延びるヨーク部分と、コイルの第２軸方向の一方側を第１軸方向に延びる第１連結板部と、コイルの第２軸方向の他方側を第１軸方向に延びる第２連結板部と、を備える。ヨーク部分と第１連結板部との間には第１屈曲部分が設けられており、ヨーク部分と第２連結板部との間には第２屈曲部が設けられている。複数の第１マグネットは、第１ヨーク部分に固定されている。一方、第２ヨーク部材は平板形状である。第２ヨーク部材は、コイルの第１軸方向の他方側を第２軸方向に延びており、コイルと対向する面に、複数の第２マグネットが固定されている。第２ヨーク部材の第２軸方向の一方の端部分は、溶接により、第１ヨーク部材の第１連結板部の第１屈曲部分とは反対側の端部に固定されている。第２ヨーク部材の第２軸方向の他方の端部分は、溶接により、第１ヨーク部材の第２連結板部の第２屈曲部とは反対側の端部に固定されている。
【0005】
同文献では、アクチュエータを第３軸方向から見た場合に、ヨークがコイルを囲む。従って、第１マグネットからの磁束および第２マグネットからの磁束は、ヨークの形状に従ってコイルを囲むように流れる。これにより、マグネットからの磁束がヨークの外側に漏れることを抑制できるので、磁気駆動機構は、支持体と可動体とを相対移動させる推力を確保することが容易である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開２０１９－０１３０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上記のアクチュエータは、ヨークが２部材からなる。従って、ヨークに固定されたマグネットをコイルの一方側および他方側に位置させ、かつ、ヨークによりコイルを囲むことが容易である。しかし、ヨークが２部材からなるので、ヨークが一つの部材からなる場合と比較して、部品点数が多い。また、上記のアクチュエータでは、第１ヨーク部材と第２
ヨーク部材とを固定する固定部が第２軸方向の２か所ある。従って、ヨークを組み立てる際に、溶接やカシメなどの締結作業を２か所に対して行わなければならない。
ヨーク部材とを固定する固定部が第２軸方向の２か所ある。従って、ヨークを組み立てる際に、溶接やカシメなどの締結作業を２か所に対して行わなければならない。
【0008】
本発明の課題は、以上の問題点に鑑みて、ヨークを一つの部材から構成するとともに、ヨークによりコイルを囲む際の締結作業が一か所となるアクチュエータ、および、その組立方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記の課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、互いに直交する２方向を第１軸方向および第２軸方向とした場合に、前記第１軸方向に開口を向けるコイル、前記コイルを保持するコイル保持部を有するコイルホルダ、前記コイルホルダを前記第１軸方向の一方側から支持する第１支持部材、および前記コイルホルダを前記第１軸方向の他方側から支持する第２支持部材、を備える支持体と、前記第１軸方向の一方側で前記コイルに対向する一方側マグネット、前記第１軸方向の他方側で前記コイルに対向する他方側マグネット、並びに、前記一方側マグネットおよび前記他方側マグネットが固定されたヨーク、を備える可動体と、前記第１支持部材と前記可動体との間で、前記第１支持部材と前記可動体とを前記第２軸方向に相対移動可能に接続する接続体と、前記一方側マグネット、前記他方側マグネット、および前記コイルを備え、前記可動体と前記支持体とを前記第２軸方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記ヨークは、前記コイル保持部の前記第２軸方向の一方側を前記第１軸方向に延びる第１ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第１軸方向の一方側を前記第２軸方向に延び前記一方側マグネットが固定された第２ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側を前記第１軸方向に延びる第３ヨーク部分、前記コイル保持部の前記第１軸方向の他方側を前記第２軸方向に延び前記他方側マグネットが固定された第４ヨーク部分、前記第１ヨーク部分と前記第２ヨーク部分とを連続させる第１屈曲部分、前記第２ヨーク部分と前記第３ヨーク部分とを連続させる第２屈曲部分、前記第３ヨーク部分と前記第４ヨーク部分とを連続させる第３屈曲部分、および前記第４ヨーク部分の前記第２軸方向の一方側の端部分と前記第１ヨーク部分の前記第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部、を備え、前記一方側マグネットは、前記第２軸方向で分極着磁されており、前記他方側マグネットは、前記第２軸方向で分極着磁されており、前記一方側マグネットと前記他方側マグネットとは、前記コイルを挟んで異なる極同士が対向することを特徴とする。
【0010】
本発明のアクチュエータでは、コイルを保持するコイル保持部を囲むヨークが、３つの屈曲部と、一つの固定部と備える一つの部材である。従って、２つのヨーク部材を組み合わせてヨークを構成する場合と比較して、部品点数を削減できる。また、ヨークを組み立てる際の締結作業を、一つの固定部に対して行えばよい。よって、締結作業を複数の固定部に対して行う場合と比較して、締結作業を軽減できる。
【0011】
本発明において、前記固定部は、溶接痕を備えるものとすることができる。すなわち、ヨークの第１ヨーク部分と第４ヨーク部分とは、溶接により固定されているものとすることができる。
【0012】
本発明において、前記固定部は、カシメ痕を備えるものとすることができる。すなわち、ヨークの第１ヨーク部分と第４ヨーク部分とは、かしめにより固定されているものとすることができる。
【0013】
本発明において、前記コイルホルダは、前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に前記第１軸方向に貫通する開口部を備え、前記第３ヨーク部分は、前記開口部を貫通しており、前記第３ヨーク部分および前記第４ヨーク部分の厚みは同一であり、前記第２軸方向における前記開口部の幅寸法は、前記第４ヨーク部分のヨーク厚み寸法と前記他方側マ
グネットのマグネット厚み寸法との合計寸法よりも長いものとすることができる。このようにすれば、第３ヨーク部分をコイル保持部に近い位置に配置できる。従って、ヨークは、コイルに近い位置でコイルを囲むことができる。また、第３ヨーク部分が第１軸方向に貫通する開口部の第２軸方向の幅寸法を第４ヨーク部分の第１厚み寸法と前記他方側マグネットの第２厚み寸法との合計寸法よりも長いものとすれば、第２軸方向に移動する可動体の移動距離を確保することが容易となる。
グネットのマグネット厚み寸法との合計寸法よりも長いものとすることができる。このようにすれば、第３ヨーク部分をコイル保持部に近い位置に配置できる。従って、ヨークは、コイルに近い位置でコイルを囲むことができる。また、第３ヨーク部分が第１軸方向に貫通する開口部の第２軸方向の幅寸法を第４ヨーク部分の第１厚み寸法と前記他方側マグネットの第２厚み寸法との合計寸法よりも長いものとすれば、第２軸方向に移動する可動体の移動距離を確保することが容易となる。
【0014】
本発明において、前記支持体は、前記コイルとして、第１コイルおよび前記第１コイルの前記第２軸方向の他方側に配列された第２コイルを備え、前記可動体は、前記一方側マグネットとして、前記第１コイルと対向する第１マグネットおよび前記第１マグネットの前記第２軸方向の他方側で前記第２コイルと対向する第２マグネットを備え、前記他方側マグネットとして、前記第２コイルと対向する第３マグネットおよび前記第２マグネットの前記第２軸方向の一方側で前記第１コイルと対応する第４マグネットを備え、前記第１マグネットと前記第４マグネットとは、前記第１コイルを挟んで異なる極同士が対向し、前記第３マグネットと前記第２マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士が対向するものとすることができる。このようにすれば、コイルと一方側マグネットおよび他方側マグネットとからなる磁気駆動回路の組を複数設けることができる。従って、磁気駆動機構が可動体と支持体とを相対移動させ推力を上昇させることが容易となる。
【0015】
次に本発明は、上記のアクチュエータの組立方法において、平板形状のヨーク部材の一方の面に設定された第１固定位置に前記一方側マグネットを固定するとともに、前記第１固定位置の前記第２軸方向の他方側に設定された第２固定位置に前記他方側マグネットを固定するマグネット固定工程と、前記ヨーク部材を前記一方側マグネットが固定された第１固定位置の前記第２軸方向の一方側で折り曲げて当該ヨーク部材に前記第１屈曲部分および前記第１ヨーク部分を形成するとともに、前記ヨーク部材を前記第１固定位置の前記第２軸方向の他方側で折り曲げて当該ヨーク部材に前記第２屈曲部、前記第２ヨーク部分、および前記第３ヨーク部分と前記第４ヨーク部分が前記第１軸方向に連続して直線状に延びる延設ヨーク部分を形成するヨーク準備工程と、前記第１屈曲部分、前記第２ヨーク部分、および前記第２屈曲部を前記コイル保持部の前記第１軸方向の一方側に配置して、前記第１ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の一方側に位置させるとともに、前記延設ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に位置させるヨーク配置工程と、前記延設ヨーク部分を前記他方側マグネットが固定された前記第２固定位置と前記第２屈曲部との間であって前記コイル保持部よりも前記第１軸方向の他方側で折り曲げて前記ヨーク部材に前記第３ヨーク部分、前記第３屈曲部および前記第４ヨーク部分を形成して前記第４ヨーク部分を前記第２軸方向に延設させるヨーク折曲工程と、前記第４ヨーク部分の前記第２軸方向の一方側の端部分と前記第１ヨーク部分の前記第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部形成工程と、を備えることを特徴とする。
【0016】
本発明のアクチュエータの組立方法によれば、まず、平板形状のヨーク部材の一方の面に一方側マグネットおよび他方側マグネットを固定する。次に、ヨーク部材を２回折り曲げて第１屈曲部分、第２ヨーク部分、第２屈曲部、第３ヨーク部分、および延設ヨーク部分を形成する。その後、第１屈曲部分、第２ヨーク部分、および第２屈曲部をコイル保持部の第１軸方向の一方側に配置して、第１ヨーク部分をコイル保持部の前記第２軸方向の一方側に位置させ、延設ヨーク部分をコイル保持部の第２軸方向の他方側に位置させる。しかる後に、延設ヨーク部分をコイル保持部の第１軸方向の他方側で折り曲げて第３ヨーク部分、第３屈曲部および第４ヨーク部分を形成し、第４ヨーク部分を第２軸方向に延設させる。その後、第４ヨーク部分の第２軸方向の他方側の端部分と第１ヨーク部分の第１軸方向の他方側の端部分とを固定する。従って、平板形状のヨーク部材に固定された一方側マグネットと他方側マグネットとを第１軸方向でコイルの両側に位置させることが容易である。また、ヨークによって、コイルを保持するコイル保持部を囲むことが容易である
。
。
【0017】
本発明において、前記固定部形成工程では、前記第４ヨーク部分と前記第１ヨーク部分とを溶接するものとすることができる。
【0018】
本発明において、前記固定部形成工程では、前記第４ヨーク部分と前記第１ヨーク部分とをカシメるものとすることができる。
【0019】
本発明において、前記コイルホルダは、前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に前記第１軸方向に貫通する開口部を備えており、前記ヨーク配置工程では、前記開口部に前記延設ヨーク部分を貫通させて、前記延設ヨーク部分を前記コイル保持部の前記第２軸方向の他方側に位置させ、前記第２軸方向における前記開口部の幅寸法は、前記延設ヨーク部分のヨーク厚み寸法と前記他方側マグネットのマグネット厚み寸法との合計よりも長いものとすることができる。このようにすれば、延設ヨーク部分を開口部に挿入することができる。
【0020】
本発明において、前記マグネット固定工程では、前記一方側マグネットおよび他方側マグネットとして前記第２軸方向で分極着磁されたものを用い、前記第２軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように配置するものとすることができる。このようにすれば、第２軸方向で隣り合うマグネット同士が反発して、ヨーク部材に固定できないことを回避できる。また、このようにすれば、ヨーク部材を３つの屈曲部８５、８６、８７で折り曲げたときに、一方側マグネットと他方側マグネットとにおいて、コイルを間に挟んで対向する極が異なる極となる。
【0021】
本発明において、前記アクチュエータは、前記支持体に、前記コイルとして、第１コイルおよび前記第１コイルの前記第２軸方向の他方側に配列された第２コイルを備え、前記可動体に、前記一方側マグネットとして、前記第１コイルと対向する第１マグネットおよび前記第１マグネットの前記第２軸方向の他方側で前記第２コイルと対向する第２マグネットを備え、前記他方側マグネットとして、前記第２コイルと対向する第３マグネットおよび前記第２マグネットの前記第２軸方向の一方側で前記第１コイルと対応する第４マグネットを備え、前記第１マグネットと前記第４マグネットとは、前記第１コイルを挟んで異なる極同士が対向し、前記第２マグネットと前記第３マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士が対向し、前記マグネット固定工程では、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および第４マグネットとして前記第２軸方向で分極着磁されたものを用い、前記第２軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および第４マグネットを第２軸方向の一方側から他方側に向かってこの順で配置するものとすることができる。このようにすれば、第２軸方向で隣り合うマグネット同士が反発して、ヨーク部材に固定できないことを回避できる。また、ヨーク部材を３つの屈曲部８５、８６、８７で折り曲げたときに、第１マグネットと第４マグネットとは、第１コイルを挟んで異なる極同士が対向し、第２マグネットと第３マグネットとは、第２コイルを間に挟んで異なる極同士が対向する。
【0022】
本発明において、前記マグネット固定工程では、前記一方側マグネットおよび他方側マグネットとして未着磁のものを用い、前記マグネット固定工程と前記ヨーク準備工程との間に、前記一方側マグネットと前記他方側マグネットとを、前記第２軸方向にＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁するマグネット着磁工程を備えるものとすることができる。このようにすれば、第２軸方向に配列されたマグネットを同一の極が対向するように着磁する場合と比較して、着磁作業が容易である。また、ヨーク部材を３つの屈曲部８５、８６、８７で折り曲げたときに、一方側マグネットと他方側マグネットとを、コイルを間に挟
んで異なる極同士が対向する状態とすることができる。
んで異なる極同士が対向する状態とすることができる。
【0023】
本発明において、前記アクチュエータは、前記支持体に、前記コイルとして、第１コイルおよび前記第１コイルの前記第２軸方向の他方側に配列された第２コイルを備え、前記可動体に、前記一方側マグネットとして、前記第１コイルと対向する第１マグネットおよび前記第１マグネットの前記第２軸方向の他方側で前記第２コイルと対向する第２マグネットを備え、前記他方側マグネットとして、前記第２コイルと対向する第３マグネットおよび前記第２マグネットの前記第２軸方向の一方側で前記第１コイルと対応する第４マグネットを備え、前記第１マグネットと前記第４マグネットとは、前記第１コイルを挟んで異なる極同士が対向し、前記第２マグネットと前記第３マグネットとは、前記第２コイルを挟んで異なる極同士が対向し、前記マグネット固定工程では、前記第１マグネット、第２マグネット、第３マグネット、および第４マグネットとして未着磁のものを用い、前記第１マグネット、前記第２マグネット、前記第３マグネット、および前記第４マグネットを前記第２軸方向の一方側から他方側に向かってこの順で前記ヨーク部材に固定し、前記マグネット固定工程と前記ヨーク準備工程との間に、前記第１マグネット、第２マグネット、第３マグネット、および第４マグネットを、前記第２軸方向でＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁するマグネット着磁工程を備えるものとすることができる。このようにすれば、第２軸方向に配列されたマグネットを同一の極が対向するように着磁する場合と比較して、着磁作業が容易である。また、ヨーク部材を３つの屈曲部８５、８６、８７で折り曲げたときに第１マグネットと第４マグネットとは、第１コイルを間に挟んで異なる極同士が対向し、第２マグネットと第３マグネットとは、第２コイルを間に挟んで異なる極同士が対向する。
【発明の効果】
【0024】
本発明のアクチュエータでは、コイルを保持するコイル保持部を囲むヨークは、３つの屈曲部と、一つの固定部と備える一つの部材である。従って、部品点数を削減できる。また、ヨークを組み立てる際の締結作業を、一つの固定部に対して行えばよい。よって、締結作業を複数個所で行う場合と比較して、アクチュエータの組立が容易となる。
【0025】
また、本発明のアクチュエータの組立方法によれば、一つのヨーク部材を折り曲げて形成したヨークによって、コイルを保持するコイル保持部を囲むことが容易である。また、一つのヨーク部材により、一方側マグネットと他方側マグネットとをコイルの両側に配置することが容易である。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本発明に係るアクチュエータの外観斜視図である。
【図6】アクチュエータの組立方法のフローチャートである。
【図7】マグネット固定工程およびマグネット着磁工程の説明図である。
【図8】ヨーク準備工程の説明図である。
【図9】ヨーク配置工程の説明図である。
【図10】ヨーク折曲工程および固定部形成工程の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0027】
以下に、図面を参照して、本発明に係るアクチュエータ１の実施形態を説明する。
【0028】
アクチュエータ１は、例えば、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルや
いす等に組み込まれる触覚デバイスとして使用される。アクチュエータ１は、コイル６およびマグネット７を備える磁気駆動機構４により可動体３を振動させ、この振動によって利用者に触覚を与える。以下の説明では、互いに直交する３軸に沿った方向をそれぞれＺ軸方向（第１軸方向）、Ｘ軸方向（第２軸方向）、Ｙ軸方向（第３軸方向）とする。また、Ｘ軸方向の一方側をＸ１方向、他方側をＸ２方向、Ｚ軸の一方側をＺ１方向、他方側をＺ２方向とする。
いす等に組み込まれる触覚デバイスとして使用される。アクチュエータ１は、コイル６およびマグネット７を備える磁気駆動機構４により可動体３を振動させ、この振動によって利用者に触覚を与える。以下の説明では、互いに直交する３軸に沿った方向をそれぞれＺ軸方向（第１軸方向）、Ｘ軸方向（第２軸方向）、Ｙ軸方向（第３軸方向）とする。また、Ｘ軸方向の一方側をＸ１方向、他方側をＸ２方向、Ｚ軸の一方側をＺ１方向、他方側をＺ２方向とする。
【0029】
（全体構成）
図１は、本発明に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１のアクチュエータ１のＸＺ断面図であり、図４のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図３は、図１のアクチュエータ１のＹＺ断面図であり、図４のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のアクチュエータ１のＸＹ断面図であり、図２のＣ－Ｃ位置で切断した断面図である。図５は、図１のアクチュエータ１の分解斜視図である。
図１は、本発明に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１のアクチュエータ１のＸＺ断面図であり、図４のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図３は、図１のアクチュエータ１のＹＺ断面図であり、図４のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のアクチュエータ１のＸＹ断面図であり、図２のＣ－Ｃ位置で切断した断面図である。図５は、図１のアクチュエータ１の分解斜視図である。
【0030】
図１に示すように、アクチュエータ１は、第２軸方向Ｘの寸法が第３軸方向Ｙの寸法およびＺ軸方向の寸法より大きい直方体形状である。図２～図５に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２と可動体３とをＸ軸方向に相対移動可能に接続する接続体９と、を有する。コイル６は、支持体２に保持されている。マグネット７は、可動体３に保持されている。コイル６とマグネット７とはＺ軸方向で対向しており、磁気駆動機構４は、支持体２と可動体３とをＸ軸方向に相対移動させる。接続体９は、ゲル状部材（粘弾性体）である。支持体２の外周面には配線基板５が固定されている。コイル６には、配線基板５を介して、電流が流れる。
【0031】
（支持体）
支持体２は、コイル６、コイル６を保持するコイルホルダ３０を備える。図２、図３、図５に示すように、コイルホルダ３０のＺ１方向には金属製のプレート４０が重ねられている。また、支持体２は、コイルホルダ３０をＺ１方向の側から支持する第１支持部材１０と、コイルホルダ３０をＺ２方向の側から支持する第２支持部材２０と、を有する。従って、第１支持部材１０、コイルホルダ３０、第２支持部材２０は、Ｚ１方向からＺ２方向に向かってこの順に重ねられている。可動体３は、第１支持部材１０と第２支持部材２０との間に位置する。
支持体２は、コイル６、コイル６を保持するコイルホルダ３０を備える。図２、図３、図５に示すように、コイルホルダ３０のＺ１方向には金属製のプレート４０が重ねられている。また、支持体２は、コイルホルダ３０をＺ１方向の側から支持する第１支持部材１０と、コイルホルダ３０をＺ２方向の側から支持する第２支持部材２０と、を有する。従って、第１支持部材１０、コイルホルダ３０、第２支持部材２０は、Ｚ１方向からＺ２方向に向かってこの順に重ねられている。可動体３は、第１支持部材１０と第２支持部材２０との間に位置する。
【0032】
図２、図５に示すように、第１支持部材１０は、Ｘ軸方向で並ぶ２つの凹部１３を備える第１端板部１１と、第１端板部１１の外周縁からＺ２方向に延びる第１側板部１２を備える。図５に示すように、第１端板部１１の輪郭形状はＸ軸方向に長い長方形形状であり、第１側板部１２は、矩形枠状である。図２に示すように、第２支持部材２０は、Ｘ軸方向で並ぶ２つの凹部２３が形成された第２端板部２１と、第２端板部２１の外周縁からＺ１方向に延びる第２側板部２２を備える。図５に示すように、第１側板部１２における４箇所の角部の先端面には、穴１０ａが設けられている。また、第２側板部２２における４箇所の角部の先端面にも、穴（図示せず）が設けられている。
【0033】
コイルホルダ３０は、ＸＹ面に平行な板部３３を備える。板部３３のＸ軸方向の中央部分には、板部３３をＺ軸方向に貫通する第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が設けられている。第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２はＸ軸方向に配列されており、第１コイル配置穴３１は第２コイル配置穴３２のＸ１方向に位置する。Ｘ軸方向における第１コイル配置穴３１と第２コイル配置穴３２の間には、第３軸方向Ｙに延びる仕切り部３４が設けられている。仕切り部３４は、コイルホルダ３０のＸ軸方向の略中央に位置する。
【0034】
板部３３における第１コイル配置穴３１のＸ１方向には、切欠き部３０１が設けられて
いる。板部３３における第２コイル配置穴３２のＸ２方向には開口部３０２が設けられている。切欠き部３０１および開口部３０２は板部３３をＺ軸方向に貫通する。板部３３においてＸ軸方向で切欠き部３０１と開口部３０２との間に位置する部分、すなわち第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が設けられている部分は、コイル保持部３５である。開口部３０２のＸ軸方向の幅寸法Ｌ（図４参照）は、後述するヨーク部材１００のヨーク厚み寸法Ｙ（図２参照）および他方側マグネット７Ｂ（図２参照）の厚み寸法Ｍの合計寸法よりも大きい。
いる。板部３３における第２コイル配置穴３２のＸ２方向には開口部３０２が設けられている。切欠き部３０１および開口部３０２は板部３３をＺ軸方向に貫通する。板部３３においてＸ軸方向で切欠き部３０１と開口部３０２との間に位置する部分、すなわち第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が設けられている部分は、コイル保持部３５である。開口部３０２のＸ軸方向の幅寸法Ｌ（図４参照）は、後述するヨーク部材１００のヨーク厚み寸法Ｙ（図２参照）および他方側マグネット７Ｂ（図２参照）の厚み寸法Ｍの合計寸法よりも大きい。
【0035】
図５に示すように、コイルホルダ３０の外周の４箇所の角部には、それぞれ、第１支持部材１０の側へ突出する凸部３０ａと、第２支持部材２０側へ突出する凸部３０ｂとが設けられている。支持体２を組み立てる際には、コイルホルダ３０の凸部３０ａは第１支持部材１０の穴１０ａに嵌まり、コイルホルダ３０の凸部３０ｂは第２支持部材２０の穴（図示せず）に嵌まる。従って、第１支持部材１０、コイルホルダ３０および第２支持部材２０は互いに位置決めされた状態で連結される。第１支持部材１０、コイルホルダ３０、および第２支持部材２０は、例えば、接着剤により結合される。
【0036】
図１、図４に示すように、コイルホルダ３０のＸ２方向の側面には、配線基板５が固定される。図２に示すように、第２支持部材２０のＸ２方向の側面には、コイルホルダ３０からＺ２方向に突出する配線基板５の上端部分を配置する凹部２４が形成されている。コイル６から引き出したコイル線（図示せず）は、コイルホルダ３０のＺ２方向の表面に沿って引き回され、配線基板５に接続される。
【0037】
プレート４０は、コイルホルダ３０のＺ１方向において第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２に重なるが、切欠き部３０１および開口部３０２には重ならない。コイルホルダ３０にコイル６を固定する際には、プレート４０とコイルホルダ３０とを積層し、接着剤を入れた第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２にコイル６を配置して固定する。
【0038】
図１に示すように、第１支持部材１０、コイルホルダ３０、および第２支持部材２０が積層されることにより形成されたアクチュエータ１のＸ１方向の外周面には、コイルホルダ３０の切欠き部３０１を塞ぐシール部材２０１が貼付される。また、アクチュエータ１のＹ１方向の外周面にはシール部材２０２が貼付され、Ｙ２方向の外周面にはシール部材２０３が貼付される（図４参照）。
【0039】
図２、図４、図５に示すように、本例では、支持体２は、コイル６として、第１コイル６１および第２コイル６２を備える。第１コイル６１は、第１コイル配置穴３１に配置される。第２コイル６２は、第２コイル配置穴３２に配置される。従って、第１コイル６１は、第２コイル６２のＸ１方向に位置する。コイル６は、第３軸方向Ｙに延在する２本の有効辺６０１を備える長円形状の空芯コイルである。図５に示すように、コイル６（第１コイル６１および第２コイル６２）は、その開口６０２をＺ軸方向に向ける。第１コイル６１と第２コイル６２は、同一のコイルである。
【0040】
（可動体）
図５に示すように、可動体３は、マグネット７と、マグネット７が固定されたヨーク８０と、を備える。本例では、図２に示すように、可動体３は、マグネット７として、コイル６のＺ１方向でコイル６に対向する一方側マグネット７Ａと、コイル６のＺ２方向でコイル６に対向する他方側マグネット７Ｂと、を備える。また、一方側マグネット７Ａとして、第１コイル６１の有効辺６０１にＺ１方向から対向する第１マグネット７１と、第２コイル６２の有効辺６０１にＺ１方向から対向する第２マグネット７２と、を備える。他方側マグネット７Ｂとして、第２コイル６２の有効辺６０１にＺ２方向から対向する第３
マグネット７３と、第１コイル６１の有効辺６０１にＺ２方向から対向する第４マグネット７４と、を備える。第１マグネット７１は、第２マグネット７２のＸ１方向に位置する。第４マグネット７４は、第３マグネット７３のＸ１方向に位置する。
図５に示すように、可動体３は、マグネット７と、マグネット７が固定されたヨーク８０と、を備える。本例では、図２に示すように、可動体３は、マグネット７として、コイル６のＺ１方向でコイル６に対向する一方側マグネット７Ａと、コイル６のＺ２方向でコイル６に対向する他方側マグネット７Ｂと、を備える。また、一方側マグネット７Ａとして、第１コイル６１の有効辺６０１にＺ１方向から対向する第１マグネット７１と、第２コイル６２の有効辺６０１にＺ１方向から対向する第２マグネット７２と、を備える。他方側マグネット７Ｂとして、第２コイル６２の有効辺６０１にＺ２方向から対向する第３
マグネット７３と、第１コイル６１の有効辺６０１にＺ２方向から対向する第４マグネット７４と、を備える。第１マグネット７１は、第２マグネット７２のＸ１方向に位置する。第４マグネット７４は、第３マグネット７３のＸ１方向に位置する。
【0041】
図２に示すように、ヨーク８０は、Ｙ軸方向から見た場合に、コイルホルダ３０のコイル保持部３５を囲む。すなわち、ヨーク８０は、コイル保持部３５のＸ１方向をＺ軸方向に延びる第１ヨーク部分８１、コイル保持部３５のＺ１方向をＸ軸方向に延びる第２ヨーク部分８２、コイル保持部３５のＸ２方向をＺ軸方向に延びる第３ヨーク部分８３、コイル保持部３５のＺ２方向をＸ軸方向に延びる第４ヨーク部分８４を備える。また、ヨーク８０は、第１ヨーク部分８１と第２ヨーク部分８２とを連続させる第１屈曲部分８５、第２ヨーク部分８２と第３ヨーク部分８３とを連続させる第２屈曲部分８６、第３ヨーク部分８３と第４ヨーク部分８４とを連続させる第３屈曲部分８７、および第４ヨーク部分８４のＸ２方向の端部分と第１ヨーク部分８１のＺ２方向の端部分とを固定する固定部８８、を備える。固定部８８は、溶接痕８８ａを備える。すなわち、第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分と第１ヨーク部分８１のＺ２方向の端部分とは、溶接により、接続されている。後述するように、ヨーク８０は、一定厚さの平板形状の一つのヨーク部材に３つの屈曲部８５、８６、８７と一つの固定部８８を設けることにより、コイル保持部３５を囲む形状としたものである。従って、第１ヨーク部分８１、第２ヨーク部分８２、第３ヨーク部分８３、および第４ヨーク部分８４の厚み寸法（ヨーク厚み寸法Ｙ）は、同一である。
【0042】
第２ヨーク部分８２には、一方側マグネット７Ａ（第１マグネット７１および第２マグネット７２）が固定される。第４ヨーク部分８４には、他方側マグネット７Ｂ（第３マグネット７３および第４マグネット７４）が固定される。第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３および第４マグネット７４は、それぞれ接着等の方法でヨーク８０に固定される。
【0043】
ここで、一方側マグネット７Ａおよび他方側マグネット７Ｂは、いずれもＸ軸方向で分極着磁されている。すなわち、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４は、いずれもＸ軸方向で分極着磁されている。また、第１マグネット７１と第２マグネット７２とは、Ｘ軸方向で異なる極を対向させている。第３マグネット７３と第４マグネット７４とは、Ｘ軸方向で異なる極を対向させている。さらに、第２ヨーク部分８２に固定された第１マグネット７１と第４ヨーク部分８４に固定された第４マグネット７４とは、Ｚ軸方向で第１コイル６１を間に挟んで互いに異なる極を対向させている。また、第２ヨーク部分８２に固定された第２マグネット７２と第４ヨーク部分８４に固定された第３マグネット７３とは、Ｚ軸方向で第２コイル６２を間に挟んで互いに異なる極を対向させている。
【0044】
ヨーク８０に固定された一方側マグネット７Ａ（第１マグネット７１および第２マグネット７２）と、他方側マグネット７Ｂ（第３マグネット７３および第４マグネット７４）は、支持体２に保持された第１コイル６１および第２コイル６２とともに磁気駆動機構４を構成する。
【0045】
（接続体）
図２に示すように、接続体９は、支持体２と可動体３とがＺ軸方向で対向する個所に配置される。可動体３は、接続体９によってＸ軸方向に移動可能に支持される。本形態では、接続体９は、可動体３と第１支持部材１０との間に配置された第１接続体９１および第２接続体９２を備える。第１接続体９１と第２接続体９２とは、Ｘ軸方向で隙間を開けて配列されている。また、接続体９は、可動体３と第２支持部材２０との間に配置された第３接続体９３および第４接続体９４を備える。第３接続体９３と第４接続体９４とは、で
Ｘ軸方向に間隔を開けて配列されている。第１接続体９１および第２接続体９２は、ヨーク８０の第２ヨーク部分８２と第１支持部材１０の凹部１３の底面との間において、Ｚ軸方向に圧縮された状態とされている。第３接続体９３および第４接続体９４は、第４ヨーク部分８４と第２支持部材２０の凹部２３の底面との間において、Ｚ軸方向に圧縮された状態で配置される。
図２に示すように、接続体９は、支持体２と可動体３とがＺ軸方向で対向する個所に配置される。可動体３は、接続体９によってＸ軸方向に移動可能に支持される。本形態では、接続体９は、可動体３と第１支持部材１０との間に配置された第１接続体９１および第２接続体９２を備える。第１接続体９１と第２接続体９２とは、Ｘ軸方向で隙間を開けて配列されている。また、接続体９は、可動体３と第２支持部材２０との間に配置された第３接続体９３および第４接続体９４を備える。第３接続体９３と第４接続体９４とは、で
Ｘ軸方向に間隔を開けて配列されている。第１接続体９１および第２接続体９２は、ヨーク８０の第２ヨーク部分８２と第１支持部材１０の凹部１３の底面との間において、Ｚ軸方向に圧縮された状態とされている。第３接続体９３および第４接続体９４は、第４ヨーク部分８４と第２支持部材２０の凹部２３の底面との間において、Ｚ軸方向に圧縮された状態で配置される。
【0046】
接続体９は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。本形態では、接続体９は粘弾性体である。接続体９（粘弾性体）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。また、粘弾性を備えた接続体９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
【0047】
接続体９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、接続体９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、接続体９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。
【0048】
可動体３がＸ軸方向に振動した際、接続体９は、せん断方向に変形する。従って、接続体９では、可動体３がＸ軸方向に振動した際、せん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。
【0049】
（アクチュエータ１の組立方法）
以下にアクチュエータ１の組立方法を説明する。図６は、アクチュエータ１の組立方法のフローチャートである。図６に示すように、アクチュエータ１の組立方法は、マグネット固定工程ＳＴ１、マグネット着磁工程ＳＴ２、ヨーク準備工程ＳＴ３、ヨーク配置工程ＳＴ４、ヨーク折曲工程ＳＴ５、固定部形成工程ＳＴ６、および後工程ＳＴ７、をこの順に備える。図７は、マグネット固定工程ＳＴ１およびマグネット着磁工程ＳＴ２の説明図である。図８は、ヨーク準備工程ＳＴ３の説明図である。図９は、ヨーク配置工程ＳＴ４の説明図である。図１０は、ヨーク折曲工程ＳＴ５および固定部形成工程ＳＴ６の説明図である。
以下にアクチュエータ１の組立方法を説明する。図６は、アクチュエータ１の組立方法のフローチャートである。図６に示すように、アクチュエータ１の組立方法は、マグネット固定工程ＳＴ１、マグネット着磁工程ＳＴ２、ヨーク準備工程ＳＴ３、ヨーク配置工程ＳＴ４、ヨーク折曲工程ＳＴ５、固定部形成工程ＳＴ６、および後工程ＳＴ７、をこの順に備える。図７は、マグネット固定工程ＳＴ１およびマグネット着磁工程ＳＴ２の説明図である。図８は、ヨーク準備工程ＳＴ３の説明図である。図９は、ヨーク配置工程ＳＴ４の説明図である。図１０は、ヨーク折曲工程ＳＴ５および固定部形成工程ＳＴ６の説明図である。
【0050】
マグネット固定工程ＳＴ１では、図７に示すように、一定厚さの平板形状のヨーク部材１００の一方の面１００ａに設定された第１固定位置１０１に一方側マグネット７Ａを固定するとともに、第１固定位置１０１のＸ２方向に設定された第２固定位置１０２に他方側マグネット７Ｂを固定する。具体的には、第１固定位置１０１には、Ｘ１方向の側からＸ２方向の側に向かって第１マグネット７１と第２マグネット７２とをこの順に固定する。また、第２固定位置１０２には、Ｘ１方向の側からＸ２方向の側に向かって第３マグネット７３と第４マグネット７４とをこの順に固定する。従って、ヨーク部材１００の一方の面１００ａには、Ｘ１方向の側からＸ２方向の側に向かって、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４がこの順に配列される。ここで、本例では、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３
および第４マグネット７４として、未着磁のものが用いられる。
および第４マグネット７４として、未着磁のものが用いられる。
【0051】
マグネット着磁工程ＳＴ２では、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４を、Ｘ軸方向でＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁する。これにより、ヨーク部材１００上の第１マグネット７１と第２マグネット７２とは、Ｘ軸方向で異なる極が対向する。また、ヨーク部材１００上の第２マグネット７２と第３マグネット７３とは、Ｘ軸方向で異なる極が対向する。さらに、ヨーク部材１００上の第３マグネット７３と第４マグネット７４とは、Ｘ軸方向で異なる極が対向する。ここで、図７に示す例では、各マグネット７１～７４は、Ｎ極がＸ１方向に位置し、Ｓ極がＸ２方向に位置するように着磁されているが、Ｓ極がＸ１方向に位置し、Ｎ極がＸ２方向に位置するように着磁してもよい。
【0052】
ヨーク準備工程ＳＴ３では、図８に示すように、ヨーク部材１００を第１固定位置１０１の両側の２か所で折り曲げる。すなわち、ヨーク準備工程ＳＴ３では、ヨーク部材１００を、一方側マグネット７Ａが固定された第１固定位置１０１のＸ軸方向の一方側で折り曲げてヨーク部材１００に第１屈曲部分８５および第１ヨーク部分８１を形成する。また、ヨーク準備工程ＳＴ３では、ヨーク部材１００を第１固定位置１０１のＸ軸方向の他方側で折り曲げて当該ヨーク部材１００に第２屈曲部分８６および第２ヨーク部分８２を形成するとともに、第１軸方向Ｚに直線状に延びる延設ヨーク部分８９を形成する。延設ヨーク部分８９は、第２固定位置１０２を備える部分である。延設ヨーク部分８９には、他方側マグネット７Ｂが固定されている。
【0053】
ヨーク配置工程ＳＴ４では、図９の上段に示すように、第１支持部材１０の第１端板部１１の２つの凹部１３のそれぞれに第１接続体９１および第２接続体９２を配置して、第１支持部材１０と第１接続体９１および第２接続体９２とを接続する。また、第１接続体９１および第２接続体９２により、ヨーク部材１００の第２ヨーク部分８２を支持する。その後、図９の下段に示すように、コイルホルダ３０をＺ２方向から第１支持部材１０に重ねる。第１支持部材１０にコイルホルダ３０を重ねる際には、コイル保持部３５のＸ１方向に位置する切欠き部３０１に、ヨーク部材１００の第１ヨーク部分８１を、貫通させる。また、コイル保持部３５のＸ２方向に位置する開口部３０２に、ヨーク部材１００の延設ヨーク部分８９を貫通させる。すなわち、ヨーク配置工程ＳＴ４では、ヨーク部材１００の第１屈曲部分８５、第２ヨーク部分８２、および第２屈曲部分８６をコイル保持部３５のＸ１方向に配置して第１ヨーク部分８１をコイル保持部３５のＸ１方向に位置させるとともに、延設ヨーク部分８９をコイル保持部３５のＸ２方向に位置させる。
【0054】
ここで、コイルホルダ３０において、コイル保持部３５のＸ２方向に設けられた開口部３０２のＸ軸方向の幅寸法Ｌ（図４参照）は、ヨーク部材１００のヨーク厚み寸法Ｙおよび他方側マグネット７Ｂ（第３マグネット７３および第３マグネット７３）のマグネット厚み寸法Ｍ（図２参照）よりも大きい。従って、コイルホルダ３０の開口部３０２に、ヨーク部材１００の延設ヨーク部分８９を貫通させることができる。
【0055】
ヨーク折曲工程ＳＴ５では、延設ヨーク部分８９を、他方側マグネット７Ｂが固定された第２固定位置１０２と第２屈曲部分８６との間であって、且つ、コイル保持部３５よりも第１軸方向の他方側で折り曲げる。これにより、図１０に示すように、ヨーク部材１００に、第３ヨーク部分８３、第３屈曲部分８７および第４ヨーク部分８４を形成して、第４ヨーク部分８４をＸ軸方向に延設させる。第４ヨーク部分８４をＸ軸方向に延設させると、第２ヨーク部分８２に固定された一方側マグネット７Ａと第４ヨーク部分８４に固定された他方側マグネット７Ｂが、Ｚ軸方向でコイルを間に挟んで異なる極を対向させる。すなわち、第２ヨーク部分８２に固定された第１マグネット７１と第４ヨーク部分８４に固定された第４マグネット７４とが、Ｚ軸方向で第１コイル６１を間に挟んで互いに異な
る極を対向させる。また、第２ヨーク部分８２に固定された第２マグネット７２と第４ヨーク部分８４に固定された第３マグネット７３とが、Ｚ軸方向で第２コイル６２を間に挟んで互いに異なる極を対向させる。
る極を対向させる。また、第２ヨーク部分８２に固定された第２マグネット７２と第４ヨーク部分８４に固定された第３マグネット７３とが、Ｚ軸方向で第２コイル６２を間に挟んで互いに異なる極を対向させる。
【0056】
固定部形成工程ＳＴ６では、第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分と、第１ヨーク部分８１の第１軸方向の他方側の端部分とを固定する。本例では、第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分と、第１ヨーク部分８１の第１軸方向の他方側の端部分とを溶接する。従って、固定部８８には、溶接痕８８ａが形成される。これにより、ヨーク８０が完成する。ヨーク８０は、Ｙ軸方向から見た場合に、コイル保持部３５を囲んだ状態となる。
【0057】
後工程ＳＴ７では、ヨーク８０の第４ヨーク部分８４のＺ２方向の面に第３接続体９３および第４接続体９４を配置して、第２支持部材をＺ２方向からコイルホルダ３０に重ねる。これにより、第３接続体９３および第４接続体９４は、第２支持部材２０の第２端板部２１の２つの凹部２３のそれぞれに位置した状態で、ヨーク８０と第２支持部材２０とを接続する。第３接続体９３および第４接続体９４がヨーク８０と第２支持部材２０とを接続すると、可動体３と支持体２とは、第１接続体９１、第２接続体９２、第３接続体９３、および第４接続体９４により、Ｘ軸方向に相対移動可能に接続される。
【0058】
（作用効果）
本例のアクチュエータ１では、コイル６を保持するコイル保持部３５を囲むヨーク８０は、３つの屈曲部８５、８６、８７と、一つの固定部８８と備える一つの部材である。従って、２つのヨーク部材１００を組み合わせてヨーク８０を構成する場合と比較して、部品点数を削減できる。また、ヨーク８０を組み立てる際の締結作業である溶接作業を、一つの固定部８８に対して行えばよい。よって、締結作業を複数個所で行う場合と比較して、アクチュエータ１の組立が容易となる。
本例のアクチュエータ１では、コイル６を保持するコイル保持部３５を囲むヨーク８０は、３つの屈曲部８５、８６、８７と、一つの固定部８８と備える一つの部材である。従って、２つのヨーク部材１００を組み合わせてヨーク８０を構成する場合と比較して、部品点数を削減できる。また、ヨーク８０を組み立てる際の締結作業である溶接作業を、一つの固定部８８に対して行えばよい。よって、締結作業を複数個所で行う場合と比較して、アクチュエータ１の組立が容易となる。
【0059】
本例において、支持体２は、コイル６として、第１コイル６１および第１コイル６１のＸ２方向に配列された第２コイル６２を備える。可動体３は、一方側マグネット７Ａとして、第１コイル６１と対向する第１マグネット７１および第１マグネット７１のＸ２方向で第２コイル６２と対向する第２マグネット７２を備える。また、可動体３は、他方側マグネット７Ｂとして、第２コイル６２と対向する第３マグネット７３および第２マグネット７２のＸ１方向で第１コイル６１と対応する第４マグネット７４を備える。第１マグネット７１と第４マグネット７４とは、第１コイル６１を挟んで異なる極同士が対向する。第３マグネット７３と第２マグネット７２とは、第２コイル６２を挟んで異なる極同士が対向する。これにより、コイル６、一方側マグネット７Ａ、および他方側マグネット７Ｂからなる磁気駆動回路の組を複数設けることができるので、磁気駆動機構４が可動体３と支持体２とを相対移動させ推力を上昇させることが容易である。
【0060】
また、本例のアクチュエータ１の組立方法では、平板形状のヨーク部材１００の一方の面１００ａに設定された第１固定位置１０１に一方側マグネット７Ａを固定するとともに、第１固定位置１０１のＸ２方向に設定された第２固定位置１０２に他方側マグネット７Ｂを固定するマグネット固定工程ＳＴ１と、ヨーク部材１００を一方側マグネット７Ａが固定された第１固定位置１０１のＸ１方向で折り曲げて当該ヨーク部材１００に第１屈曲部分および第１ヨーク部分８１を形成するとともに、ヨーク部材１００を第１固定位置１０１のＸ２方向で折り曲げて当該ヨーク部材１００に第２屈曲部分８６、第２ヨーク部分８２、および第３ヨーク部分８３と第４ヨーク部分８４が連続して第１軸方向に直線状に延びる延設ヨーク部分８９を形成するヨーク準備工程ＳＴ３と、第１屈曲部分、第２ヨーク部分８２、および第２屈曲部分８６をコイル保持部３５のＺ１方向に配置して、第１ヨーク部分８１をコイル保持部３５のＸ１方向に位置させるとともに、延設ヨーク部分８９をコイル保持部３５のＸ２方向に位置させるヨーク配置工程ＳＴ４と、延設ヨーク部分８
９を他方側マグネット７Ｂが固定された第２固定位置１０２と第２屈曲部分８６との間であってコイル保持部３５よりも第１軸方向の他方側で折り曲げてヨーク部材１００に第３ヨーク部分８３、第３屈曲部分８７および第４ヨーク部分８４を形成して第４ヨーク部分８４をＸ軸方向に延設させるヨーク折曲工程ＳＴ５と、第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分と第１ヨーク部分８１の第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部形成工程ＳＴ６と、を備える。
９を他方側マグネット７Ｂが固定された第２固定位置１０２と第２屈曲部分８６との間であってコイル保持部３５よりも第１軸方向の他方側で折り曲げてヨーク部材１００に第３ヨーク部分８３、第３屈曲部分８７および第４ヨーク部分８４を形成して第４ヨーク部分８４をＸ軸方向に延設させるヨーク折曲工程ＳＴ５と、第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分と第１ヨーク部分８１の第１軸方向の他方側の端部分とを固定する固定部形成工程ＳＴ６と、を備える。
【0061】
かかる組立方法によれば、まず、一方側マグネット７Ａおよび他方側マグネット７Ｂが固定された平板形状のヨーク部材１００を２回折り曲げて第１屈曲部分８５、第２ヨーク部分８２、第２屈曲部分８６、第３ヨーク部分８３、および延設ヨーク部分８９を形成する。次に、第１屈曲部分８５、第２ヨーク部分８２、および第２屈曲部分８６をコイル保持部３５のＺ１方向に配置して、第１ヨーク部分８１をコイル保持部３５のＸ１方向に位置させ、延設ヨーク部分８９をコイル保持部３５のＸ２方向に位置させる。その後、延設ヨーク部分８９をコイル保持部３５のＺ２方向で折り曲げて第３ヨーク部分８３、第３屈曲部分８７および第４ヨーク部分８４を形成し、第４ヨーク部分８４をＸ軸方向に延設させる。しかる後に、第４ヨーク部分８４のＸ２方向の端部分と第１ヨーク部分８１のＺ２方向の端部分とを固定する。従って、平板形状のヨーク部材１００に固定された一方側マグネット７Ａと他方側マグネット７Ｂとを第１軸方向でコイル６の両側に位置させることが容易である。また、ヨーク８０によって、コイル６を保持するコイル保持部３５を囲むことが容易である。
【0062】
また、本例では、マグネット固定工程ＳＴ１では、一方側マグネット７Ａおよび他方側マグネット７Ｂとして未着磁のものを用い、マグネット固定工程ＳＴ１とヨーク準備工程ＳＴ３との間に、一方側マグネット７Ａと他方側マグネット７Ｂとを、Ｘ軸方向にＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁するマグネット着磁工程ＳＴ２を備える。より具体的には、マグネット固定工程ＳＴ１では、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４として未着磁のものを用い、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４をＸ１方向から他方側に向かってこの順でヨーク部材１００に固定する。マグネット固定工程ＳＴ１とヨーク準備工程ＳＴ３との間のマグネット着磁工程ＳＴ２では、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４を、Ｘ軸方向でＳ極とＮ極とが交互に並ぶように着磁する。従って、Ｘ軸方向に配列されたマグネット７１～７４を同一の極が対向するように着磁する場合と比較して、着磁作業が容易である。また、ヨーク部材１００を３つの屈曲部８５、８６、８７で折り曲げたときに第１マグネット７１と第４マグネット７４とは、第１コイル６１を間に挟んで異なる極同士が対向し、第２マグネット７２と第３マグネット７３とは、第２コイル６２を間に挟んで異なる極同士が対向する。
【0063】
（その他の実施の形態）
固定部形成工程ＳＴ６では、ヨーク８０の第１ヨーク部分８１のＺ２方向の端部分と第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分とは、カシメにより接続してもよい。すなわち、アクチュエータ１は、ヨーク８０の第１ヨーク部分８１のＺ２方向の端部分と第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分との固定部８８にカシメ痕８８ａを備えるものとしてもよい。
固定部形成工程ＳＴ６では、ヨーク８０の第１ヨーク部分８１のＺ２方向の端部分と第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分とは、カシメにより接続してもよい。すなわち、アクチュエータ１は、ヨーク８０の第１ヨーク部分８１のＺ２方向の端部分と第４ヨーク部分８４のＸ１方向の端部分との固定部８８にカシメ痕８８ａを備えるものとしてもよい。
【0064】
また、マグネット固定工程ＳＴ１において、一方側マグネット７Ａおよび他方側マグネット７ＢとしてＸ軸方向で分極着磁されたものを用い、Ｘ軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように配置してもよい。
【0065】
より具体的には、マグネット固定工程ＳＴ１では、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４としてＸ軸方向で分極着磁され
たものを用い、Ｘ軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４をＸ１方向から他方側に向かってこの順で配置する。このようにすれば、Ｘ軸方向で隣り合うマグネット同士が反発して、ヨーク部材１００に固定できないことを回避できる。また、ヨーク部材１００を３つの屈曲部８５、８６、８７で折り曲げたときに、第１マグネット７１と第４マグネット７４とは、第１コイル６１を間に挟んで異なる極同士が対向し、第２マグネット７２と第３マグネット７３とは、第２コイル６２を間に挟んで異なる極同士が対向する。
たものを用い、Ｘ軸方向で隣り合うマグネット同士では異なる極が対向するように、第１マグネット７１、第２マグネット７２、第３マグネット７３、および第４マグネット７４をＸ１方向から他方側に向かってこの順で配置する。このようにすれば、Ｘ軸方向で隣り合うマグネット同士が反発して、ヨーク部材１００に固定できないことを回避できる。また、ヨーク部材１００を３つの屈曲部８５、８６、８７で折り曲げたときに、第１マグネット７１と第４マグネット７４とは、第１コイル６１を間に挟んで異なる極同士が対向し、第２マグネット７２と第３マグネット７３とは、第２コイル６２を間に挟んで異なる極同士が対向する。
【0066】
ここで、マグネット固定工程ＳＴ１において着磁済みのマグネット７１～７４を用いる場合には、アクチュエータ１の組立方法は、マグネット固定工程ＳＴ１、ヨーク準備工程ＳＴ３、ヨーク配置工程ＳＴ４、ヨーク折曲工程ＳＴ５、固定部形成工程ＳＴ６、および後工程ＳＴ７、をこの順に備えるものとなる。すなわち、図６に示すフローチャートからマグネット着磁工程ＳＴ２を省略したものとなる。
【符号の説明】
【0067】
１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…磁気駆動機構、５…配線基板、６…コイル、７…マグネット、７Ａ…一方側マグネット、７Ｂ…他方側マグネット、９…接続体、１０…第１支持部材、１０ａ…穴、１１…第１端板部、１２…第１側板部、１３…凹部、２０…第２支持部材、２１…第２端板部、２２…第２側板部、２３…凹部、３０…コイルホルダ、３０ａ…凸部、３０ｂ…凸部、３１…第１コイル配置穴、３２…第２コイル配置穴、３３…板部、３４…仕切り部、３５…コイル保持部、４０…プレート、６１…第１コイル、６２…第２コイル、７１…第１マグネット、７２…第２マグネット、７３…第３マグネット、７４…第４マグネット、８０…ヨーク、８１…第１ヨーク部分、８２…第２ヨーク部分、８３…第３ヨーク部分、８４…第４ヨーク部分、８５…第１屈曲部分、８６…第２屈曲部分、８７…第３屈曲部分、８８…固定部、８８ａ…溶接痕・カシメ痕、８９…延設ヨーク部分、９１…第１接続体、９２…第２接続体、９３…第３接続体、９４…第４接続体、１００…ヨーク部材、１００ａ…ヨーク部材の一方の面、１０１…第１固定位置、１０２…第２固定位置、２０１…シール部材、２０２…シール部材、２０３…シール部材、３０１…切欠き部、３０２…開口部、６０１…有効辺、６０２…開口、ＳＴ１…マグネット固定工程、ＳＴ２…マグネット着磁工程、ＳＴ３…ヨーク準備工程、ＳＴ４…ヨーク配置工程、ＳＴ５…ヨーク折曲工程、ＳＴ６…固定部形成工程、ＳＴ７…後工程
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】