特開 2024-122361 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024122361

(43)【公開日】2024-09-09

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/18 20180101AFI20240902BHJP

   G01N 23/04 20180101ALI20240902BHJP

【ＦＩ】

G01N23/18

G01N23/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023029865

(22)【出願日】2023-02-28

(71)【出願人】

【識別番号】000147833

【氏名又は名称】株式会社イシダ

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(72)【発明者】

【氏名】万木 太

(72)【発明者】

【氏名】坂上 能章

(72)【発明者】

【氏名】山川 敦史

(72)【発明者】

【氏名】冨永 浩太

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001DA08

2G001DA09

2G001HA13

2G001JA09

2G001KA03

2G001KA05

2G001PA11

2G001SA16

(57)【要約】

【課題】Ｘ線検出部を冷却する構成において、Ｘ線検出部に不具合が発生することを抑制できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送する搬送部４と、搬送部４によって搬送される物品ＧにＸ線を照射するＸ線照射部５と、物品Ｇを透過したＸ線を検出するＸ線検出部６と、Ｘ線検出部６により検出されるＸ線からＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査を行う検査部と、Ｘ線照射部５及びＸ線検出部６を収容している筐体２と、筐体２内の空気を冷却し、Ｘ線検出部６に対して冷気をダクト１７を介して導風する冷風機９と、冷風機９の状態を監視する監視部１９と、監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合、Ｘ線検出部６に対する電力の供給を停止させる制御部８と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部によって搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
前記物品を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部により検出される前記Ｘ線からＸ線透過画像を生成し、前記Ｘ線透過画像に基づいて前記物品の検査を行う検査部と、
前記Ｘ線照射部及び前記Ｘ線検出部を収容している筐体と、
前記筐体内の空気を冷却し、前記Ｘ線検出部に対して冷気をダクトを介して導風する冷風機と、
前記冷風機の状態を監視する監視部と、
前記監視部において前記冷風機の異常が検知された場合、前記Ｘ線検出部に対する電力の供給を停止させる制御部と、を備える、Ｘ線検査装置。

【請求項2】

前記冷風機は、前記筐体内の前記空気を内気循環により冷却して前記冷気を生成し、
前記筐体内において発生した水を前記筐体の外部に排出する排出部を備え、
前記排出部は、前記筐体内に外部の空気が流入することを抑止する封止部及び逆止弁の少なくとも一方を有する、請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記監視部において前記冷風機の異常が検知された場合、前記Ｘ線検出部に対する送風を停止させる、請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

Ｘ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部によって搬送される物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、を備えている。特許文献１に記載のＸ線検査装置は、Ｘ線検出部の少なくとも一部に対して冷風機から供給される冷気をダクトを介して導風する導風部を備え、Ｘ線検出部を冷却している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－１６４０８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のＸ線検査装置のように、Ｘ線検出部を冷却する構成において、冷風機の冷風機能等に何らかの異常（不具合）が発生すると、Ｘ線検出部が十分に冷却されなくなる。この状態において、Ｘ線検出部が動作（検出処理）を継続すると、Ｘ線検出部が高温になる。Ｘ線検出部は、高温になると、不具合が発生し得る。

【0005】

本発明の一側面は、Ｘ線検出部を冷却する構成において、Ｘ線検出部に不具合が発生することを抑制できるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部によって搬送される物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部により検出されるＸ線からＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品の検査を行う検査部と、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を収容している筐体と、筐体内の空気を冷却し、Ｘ線検出部に対して冷気をダクトを介して導風する冷風機と、冷風機の状態を監視する監視部と、監視部において冷風機の異常が検知された場合、Ｘ線検出部に対する電力の供給を停止させる制御部と、を備える。

【0007】

本発明の一側面に係るＸ線検査装置では、制御部は、監視部において冷風機の異常が検知された場合、Ｘ線検出部に対する電力の供給を停止させる。制御部は、例えば、Ｘ線検査装置の電源からＸ線検出部への電力の供給を停止（遮断）させたり、Ｘ線検出部が電源ユニットを有する場合には、電源ユニットの電源をオフにさせて、Ｘ線検出部に対する電力の供給を停止させたりする。これにより、Ｘ線検査装置では、冷風機に何らかの異常が発生し、冷風機から冷気を供給することができなくなった場合であっても、Ｘ線検出部の動作が停止するため、Ｘ線検出部が高温になることを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置では、Ｘ線検出部を冷却する構成において、Ｘ線検出部に不具合が発生することを抑制できる。

【0008】

一実施形態においては、冷風機は、筐体内の空気を内気循環により冷却して冷気を生成し、筐体内において発生した水を筐体の外部に排出する排出部を備え、排出部は、筐体内に外部の空気が流入することを抑止する封止部及び逆止弁の少なくとも一方を有していてもよい。Ｘ線検出部を冷却する構成では、冷風機から供給される冷気は、空気を冷却する際に熱交換によって除湿されている。そのため、冷気が導風されるＸ線検出部及びその周囲の部材等（例えばセンサボックス等）が配置されている環境は、湿度が低い状態（乾燥した状態）となっている。この状態において、十分に冷却されていない空気（湿気を含む空気）が温度の低下しているＸ線検出部に対して導風されると、Ｘ線検出部やＸ線検出部の周囲の部材等に結露が生じ得る。

【0009】

Ｘ線検査装置において、封止部及び逆止弁の少なくとも一方を有する構成では、排出部を介して、筐体内に高温や湿度を含んだ空気が流入することを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置では、当該空気によってＸ線検出部やＸ線検出部の周囲の部材等に結露が生じることを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置では、結露により生じた水がＸ線検出部に浸入することを抑制できる。その結果、Ｘ線検査装置では、Ｘ線検出部を冷却する構成において、Ｘ線検出部に不具合が発生することを抑制できる。

【0010】

一実施形態においては、監視部において冷風機の異常が検知された場合、Ｘ線検出部に対する送風を停止させてもよい。この構成では、冷風機に何らかの異常が発生し、冷風機から冷気を供給することができなくなった場合には、Ｘ線検出部に対して、十分に冷却されていない空気が導風されない。そのため、Ｘ線検査装置では、Ｘ線検出部等に結露が生じることを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置では、結露により生じた水がＸ線検出部に浸入することを抑制できる。その結果、Ｘ線検査装置では、Ｘ線検出部を冷却する構成において、Ｘ線検出部に不具合が発生することを抑制できる。

【発明の効果】

【0011】

本発明の一側面によれば、Ｘ線検出部を冷却する構成において、Ｘ線検出部に不具合が発生することを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、一実施形態に係るＸ線検査装置の外観を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示すＸ線検査装置の背面ドアを開放した状態の斜視図である。

【図3】図３は、図１のＸ線検査装置の構成を側面側から示す図である。

【図4】図４は、図１のＸ線検査装置の筐体内部を示す斜視図である。

【図5】図５は、収容部及びダクトを示す斜視図である。

【図6】図６は、収容部及びダクトを示す斜視図である。

【図7】図７は、他の実施形態に係るＸ線検査装置の側面図である。

【図8】図８は、図７に示すＸ線検査装置の一部を拡大して示す断面図である。

【図9】図９は、他の実施形態に係るＸ線検査装置の筐体内部を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図１、図２、図３及び図５には、説明の便宜のため、「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」方向を設定するが、実施形態はこれらの方向に限定されない。

【0014】

図１～図４に示されるように、Ｘ線検査装置１は、筐体２と、支持脚３と、搬送部４と、Ｘ線照射部５と、Ｘ線検出部６と、表示操作部７と、制御部（検査部）８と、冷風機９と、電源ユニット１０と、を備えている。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。

【0015】

筐体２は、搬送部４、Ｘ線照射部５、Ｘ線検出部６、制御部８及び電源ユニット１０を収容している。筐体２の内部には、Ｘ線による物品Ｇの検査が実施される検査領域Ｒが設けられている。支持脚３は、筐体２を支持している。搬送部４は、搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送部４は、例えば、ベルトコンベアである。

【0016】

Ｘ線照射部５は、搬送部４によって搬送される物品ＧにＸ線を照射する。Ｘ線照射部５は、Ｘ線照射部５の後方には、ファン１１が設けられている。

【0017】

Ｘ線検出部６は、電磁波を検出するセンサ１２である。Ｘ線検出部６は、特定のエネルギー帯のＸ線を検出可能でもよいし、フォトンカウンティング方式でＸ線を検出可能でもよい。Ｘ線検出部６は、直接変換型検出部でもよいし、間接変換型検出部でもよい。本実施形態では、Ｘ線検出部６は、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な直接変換型検出部であり、例えば、物品Ｇを透過する複数のエネルギー帯の各々のＸ線を検出するセンサ（マルチエナジーセンサ）を含む。当該センサは、例えば、少なくとも搬送部４の搬送方向及び上下方向に直交する方向（幅方向）に並べられる。当該素子は、上記幅方向だけでなく、上記搬送方向にも並べられてもよい。すなわち、Ｘ線検出部６は、ラインセンサを含んでもよいし、二次元的に配置されるセンサ群を含んでもよい。センサ１２は、例えば、ＣｄＴｅ半導体検出器などの光子検出型センサである。

【0018】

本実施形態では、Ｘ線検出部６は、センサ１２に制御基板（図示せず）を加え、Ｘ線検出ユニット１３として構成されている。Ｘ線検出ユニット１３は、センサボックス１４に収容されている。センサボックス１４は、Ｘ線検出部６を収容する直方体形状の筐体である。センサボックス１４の上面には、Ｘ線照射部５から照射されるＸ線が通過するスリット１４Ａが設けられている。センサボックス１４の前面には、開口（図示省略）が設けられている。センサボックス１４の後面には、開口（図示省略）が設けられている。

【0019】

本実施形態に係るＸ線検出ユニット１３（Ｘ線検出部６）は、電源ユニット１０からの電力の供給によって電源がオン・オフされる。Ｘ線検出ユニット１３は、自機の電源をオン・オフする機能を有していない。Ｘ線検出ユニット１３は、電源ユニット１０から電力が供給されると電源がオンとなる（起動する）。これにより、Ｘ線検出部６が動作（検出処理）を開始する。Ｘ線検出ユニット１３は、電源ユニット１０からの電力の供給が停止されると電源がオフになる。これにより、Ｘ線検出部６が動作を停止（終了）する。

【0020】

図５及び図６に示されるように、センサボックス１４は、収容部１５に収容されている。収容部１５は、搬送部４の下方に配置されている。収容部１５内において、センサボックス１４の周囲には、フード部材１６が配置されている。フード部材１６は、冷風機９から供給される冷気の流路１６Ａを形成している。収容部１５には、ダクト１７を介して、冷気が導風される。ダクト１７は、収容部１５の後部に接続されている。

【0021】

図３に示されるように、表示操作部７は、筐体２に設けられている。表示操作部７は、各種情報を表示すると共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部７は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。

【0022】

図３に示されるように、制御部８は、筐体２の内部に配置されている。制御部８は、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。制御部８には、Ｘ線検出部６のセンサ１２（図４参照）から低エネルギー帯及び高エネルギー帯のＸ線の検出結果が入力される。制御部８は、低エネルギー帯のＸ線の検出結果、及び高エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいてＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査を行う検査部として機能する。

【0023】

図１及び図２に示されるように、冷風機９は、Ｘ線検査装置１の後面に配置されている。本実施形態では、冷風機９は、筐体２を開閉可能にするドア２ａに取り付けられている。冷風機９は、例えば、クーラである。冷風機９は、筐体２内部の空気を吸気し、吸気した空気を熱交換器（図示しない）において熱交換し、熱交換により冷却された空気（冷気）を生成する。冷風機９は、内気循環により冷気を生成する。冷風機９は、ダクト１７を介して、冷気を収容部１５に供給する。

【0024】

ダクト１７は、筐体２内に取り付けられている。ダクト１７の一端１７ａは、冷風機９の供給口９ａに接続される。ダクト１７の一端１７ａは、後方に向かって開口している。ダクト１７の一端１７ａは、ドア２ａが閉められた状態において、冷風機９の供給口９ａに接続される。冷風機９の供給口９ａとダクト１７の一端１７ａとの間には、ファン１８が設けられている。ファン１８は、冷風機９から供給される冷気をダクト１７に送風する。ダクト１７の他端１７ｂは、収容部１５に接続されている。

【0025】

図３に示されるように、冷風機９は、監視部１９を備える。監視部１９は、冷風機９の状態を監視する。監視部１９は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等で構成されている。監視部１９は、制御部８と通信可能に接続されている。監視部１９は、冷風機９の動作に係る各種情報を入力して冷風機９の状態を監視し、冷風機９の異常を検知する。監視部１９は、例えば、冷風機９の温度センサ（図示せず）の温度異常、冷風機９のコンプレッサの電流異常等を検知する。監視部１９は、異常を検知すると、エラー信号を制御部８に出力する。

【0026】

電源ユニット１０は、Ｘ線検査装置１の各部（Ｘ線検出部６等）に電力を供給する。電源ユニット１０と各部とは、電源ケーブル（図示省略）によって接続されている。電源ユニット１０から各部への電力の供給の有無は、制御部８によって制御される。電源ユニット１０には、外部電源から電力が供給される。

【0027】

図１に示されるように、Ｘ線検査装置１は、排出部２０を有している。排出部２０は、筐体２内において発生した水を筐体２の外部に排出する。排出部２０は、筐体２に設けられている。排出部２０は、例えば、冷風機９の下方に配置されている。排出部２０には、逆止弁２１が設けられている。逆止弁２１は、筐体２内に、排出部２０を介して筐体２の外部の空気が流入することを抑止する。排出部２０において、筐体２との接続部分には、封止部（図示せず）が設けられている。封止部は、ゴム等の材料で形成されている。封止部により、筐体２と排出部２０との間から、外部の空気が筐体２内に流入することを抑止できる。

【0028】

続いて、冷風機９から供給される冷気の流れについて説明する。冷風機９から供給される冷気は、冷風機９の供給口９ａからダクト１７に供給される。ダクト１７に供給された冷気は、収容部１５に流れ込む。図５に示されるように、収容部１５に流れ込んだ冷気は、センサボックス１４の後方の開口からセンサボックス１４の下方に流れ込み、センサボックス１４を前方に向かって流れて前方の開口から排気され、フード部材１６によって形成されている流路１６Ａを後方に向かって流れる。流路１６Ａを流れる冷気は、センサボックス１４に収納されたＸ線検出ユニット１３から熱を奪う。温度が上昇した空気（暖気）は、流路１６Ａの後方から筐体２内に排気される。

【0029】

続いて、Ｘ線検査装置１の動作について説明する。Ｘ線検査装置１では、制御部８は、監視部１９からエラー信号が出力されると、すなわち冷風機９の異常が検知されると、電源ユニット１０からＸ線検出ユニット１３に対する電力の供給を停止させる。つまり、制御部８は、冷風機９の異常が検知されると、Ｘ線検出部６に対する電力の供給を停止させて、Ｘ線検出部６の電源をオフにする。これにより、Ｘ線検出部６は、Ｘ線の検出を停止する。

【0030】

制御部８は、監視部１９からエラー信号が出力されると、ファン１８の作動を停止させる。つまり、制御部８は、冷風機９の異常が検知されると、Ｘ線検出部６に対する送風を停止させる。制御部８は、監視部１９からエラー信号が出力されると、Ｘ線照射部５におけるＸ線の照射を停止させる。本実施形態では、制御部８は、監視部１９からエラー信号が出力されると、Ｘ線照射部５の電源をオフにする。制御部８は、監視部１９からエラー信号が出力されると、搬送部４における物品Ｇの搬送を停止させる。本実施形態では、制御部８は、監視部１９からエラー信号が出力されると、搬送部４の電源をオフにする。

【0031】

Ｘ線検査装置１では、例えば、冷風機９のエラーが解消されると、表示操作部７におけるオペレータの操作により、各部（搬送部４、Ｘ線照射部５、Ｘ線検出部６）が動作を再開する。

【0032】

以上説明したように、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部８は、監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合、Ｘ線検出部６に対する電力の供給を停止させる。制御部８は、Ｘ線検査装置１の電源ユニット１０からＸ線検出部６への電力の供給を停止（遮断）させる。これにより、Ｘ線検査装置１では、冷風機９に何らかの異常が発生し、冷風機９から冷気を供給することができなくなった場合であっても、Ｘ線検出部６の動作が停止するため、Ｘ線検出部６が高温になることを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置１では、Ｘ線検出部６を冷却する構成において、Ｘ線検出部６に不具合が発生することを抑制できる。

【0033】

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、冷風機９は、筐体２内の空気を内気循環により冷却して冷気を生成する。Ｘ線検査装置１は、筐体２内において発生した水を筐体２の外部に排出する排出部２０を備える。排出部２０は、筐体２内に外部の空気が流入することを抑止する封止部及び逆止弁２１を有している。Ｘ線検出部６を冷却する構成では、冷風機９から供給される冷気は、空気を冷却する際に熱交換によって除湿されている。そのため、冷気が導風されるＸ線検出部６及びその周囲の部材等（収容部１５、フード部材１６等）が配置されている環境は、湿度が低い状態（乾燥した状態）となっている。この状態において、十分に冷却されていない空気（湿気を含む空気）が温度の低下しているＸ線検出部６に対して導風されると、Ｘ線検出部６やＸ線検出部６の周囲の部材等に結露が生じ得る。

【0034】

Ｘ線検査装置１において、封止部及び逆止弁２１を有する構成では、排出部２０を介して、筐体２内に高温や湿度を含んだ空気が流入することを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置１では、当該空気によってＸ線検出部６やＸ線検出部６の周囲の部材等に結露が生じることを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置１では、結露により生じた水がＸ線検出部６に浸入することを抑制できる。その結果、Ｘ線検査装置１では、Ｘ線検出部６を冷却する構成において、Ｘ線検出部６に不具合が発生することを抑制できる。

【0035】

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合、Ｘ線検出部６に対する送風を停止させる。この構成では、冷風機９に何らかの異常が発生し、冷風機９から冷気を供給することができなくなった場合には、Ｘ線検出部６に対して、十分に冷却されていない空気が導風されない。そのため、Ｘ線検査装置１では、Ｘ線検出部６等に結露が生じることを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置１では、結露により生じた水がＸ線検出部６に浸入することを抑制できる。その結果、Ｘ線検査装置１では、Ｘ線検出部６を冷却する構成において、Ｘ線検出部６に不具合が発生することを抑制できる。

【0036】

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、センサボックス１４の周囲にフード部材１６が配置されている。図５に示されるように、フード部材１６は、冷風機９から供給される冷気の流路１６Ａを形成している。これにより、収容部１５に流れ込んだ冷気は、フード部材１６によって形成されている流路１６Ａを後方に向かって流れて排気される。そのため、センサボックス１４をより冷却できると共に、冷風機９から供給される冷気が直接収容部１５の内壁面に接することが無くなるため、比較的温度の高い収容部１５外の空気との温度差を小さくし、収容部１５においてより結露の発生を防ぐことができる。

【0037】

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【0038】

上記実施形態では、Ｘ線検出ユニット１３（Ｘ線検出部６）は、電源ユニット１０からの電力の供給によって電源がオン・オフされる形態を一例に説明した。すなわち、上記実施形態に係るＸ線検出ユニット１３は、自機の電源をオン・オフする機能を有していない。しかし、Ｘ線検出ユニット１３は、電源ユニットを有していてもよい。この構成では、制御部８は、監視部１９からエラー信号が出力されると、すなわち冷風機９の異常が検知されると、Ｘ線検出ユニット１３の電源ユニットに対して、電源のオフを指示するオフ信号を出力する。Ｘ線検出ユニット１３の電源ユニットは、制御部８からオフ信号が出力されると、電源をオフにする。これにより、電源ユニット１０からＸ線検出部６への電力の供給が停止され、Ｘ線検出部６がＸ線の検出を停止する。

【0039】

上記実施形態では、図１に示されるように、冷風機９の筐体の下部が平坦となっている形態を一例に説明した。しかし、図７及び図８に示されるように、冷風機９の筐体９Ｈの下部を構成している底部９Ｂは、傾斜していてもよい。図７及び図８に示す例では、底部９Ｂは、筐体２側に向かって下方傾斜している。底部９Ｂの最下部には、排出部（排出穴）９Ｄが設けられている。これにより、筐体９Ｈ内において発生した水が筐体９Ｈの下部に溜まることを抑制でき、当該水を筐体９Ｈの外部に排出することができる。

【0040】

上記実施形態では、Ｘ線検出部６として、いわゆるフォトンカウンティング方式のセンサである形態を一例に説明した。しかし、図９に示されるように、Ｘ線検出部６は、第一ラインセンサ２２ａと、第二ラインセンサ２２ｂと、を有してもよい。第一ラインセンサ２２ａ及び第二ラインセンサ２２ｂは、それぞれ、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列されたＸ線検出素子（図示せず）によって構成されている。第一ラインセンサ２２ａは、物品Ｇ及び搬送部４の搬送ベルトを透過した低エネルギー帯のＸ線を検出する。第二ラインセンサ２２ｂは、物品Ｇ、搬送部４の搬送ベルト及び第一ラインセンサ２２ａを透過した高エネルギー帯のＸ線を検出する。

【0041】

また、Ｘ線検出部６は、一つのラインセンサを有する構成であってもよいし、他のセンサを使用するものであってもよい。

【0042】

上記実施形態及び変形例では、Ｘ線検出部６が、Ｘ線検出ユニット１３として構成されている形態を一例に説明した。しかし、センサ１２と制御基板とはそれぞれ別の位置に配置されていてもよい。

【0043】

上記実施形態及び変形例では、監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合、Ｘ線照射部５におけるＸ線の照射を停止させるためにＸ線照射部５の電源をオフにする形態を一例に説明した。しかし、Ｘ線検査装置１では、監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合、Ｘ線照射部５におけるＸ線の照射を停止させればよい。

【0044】

上記実施形態及び変形例では、監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合、搬送部４による物品Ｇの搬送を停止させる形態を一例に説明した。しかし、監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合、搬送部４による物品Ｇの搬送を継続させてもよい。冷風機９の異常発生によって搬送部４の動作を停止させると、Ｘ線検査装置１に物品Ｇが取り残され、当該物品Ｇが検査済みか否かの判断ができなくなり得る。そのため、物品Ｇを廃棄しなければならなくなり得るため、廃棄ロスが生じ得る。監視部１９において冷風機９の異常が検知された場合において搬送部４による物品Ｇの搬送を継続させる構成では、物品ＧがＸ線検査装置１に取り残されることを回避できるため、廃棄ロスが生じることを回避できる。また、Ｘ線検査装置１では、搬送部４による搬送を継続させることにより、例えば、Ｘ線検出部６が所定の温度になるまで検査を継続させ、その間に冷風機９の異常対応を行うことができる。したがって、Ｘ線検査装置１では、物品Ｇが処理されるラインの稼働を継続させることができる。

【0045】

上記実施形態及び変形例では、冷風機９が、筐体２の内部を開閉可能なドア２ａに設けられる形態を一例に説明した。しかし、冷風機９は、筐体２の内部に配置されてもよい。また、筐体２の外部に配置された冷風機９からダクト等を介してダクト１７に冷気を供給してもよい。

【符号の説明】

【0046】

１…Ｘ線検査装置、２…筐体、４…搬送部、５…Ｘ線照射部、６…Ｘ線検出部、８…制御部（検査部）、９…冷風機、１３…Ｘ線検出ユニット、１７…ダクト、１９…監視部、２０…排出部、２１…逆止弁、Ｇ…物品。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】